KR20190034869A - 액정 배향용 필름의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 명세서는 기재, 전도성 막, 액정 배향막 및 보호필름이 순차적으로 구비된 다층 구조체를 준비하는 단계; 상기 다층 구조체 측에 펄스 레이저를 조사하여, 상기 액정 배향막의 일 영역을 식각하는 단계; 및 상기 보호필름을 제거하여, 상기 전도성 막의 일 영역을 노출시키는 단계;를 포함하고, 상기 펄스 레이저는 상기 보호필름에서 상기 액정 배향막 방향으로 조사되는 것인 액정 배향용 필름의 제조방법에 관한 것이다.

Description

액정 배향용 필름의 제조방법{MANUFACTURING METHOD OF FILM FOR LIQUID CRYSTAL ALIGNMENT}
본 발명은 액정 배향용 필름의 제조방법에 관한 것이다.
디스플레이, 스마트 윈도우 또는 선루프와 같은 플렉서블 전자 소자 제품에 적용될 수 있는 액정 변색 소자에 대한 연구가 지속되고 있다.
특히, 액정 변색 소자용 필름은 기재 상부에 전도성 막이 도입되고, 전도성 막 상하부에 유전필름, 전기적(electrical) 또는 전기광학적(electro-optical) 기능을 갖는 광배향 필름, 갭 스페이서 등이 구비된 액정 배향용 필름의 형태를 포함한다. 또한, 액정을 중심으로 상하부에 구비된 액정 변색 소자용 필름은 기존의 롤-투-롤(Roll-to-Roll; R2R) 기반의 연속 공정으로 제작된다.
상기 액정 변색 소자용 필름에 포함되는 전도성 막은 기재 필름 상부에 투명하고 전도성을 갖는 금속 산화막 층이 형성되어 액정의 배향을 제어하기 위한 전계(electrical-field)를 형성할 수 있을 뿐만 아니라, 고온·고습 조건에서 발생하는 기포를 차단(gas barrier)할 수 있으며, 상기 액정 배향막은 액정에 배향 기능을 부여할 수 있다.
상기 액정 변색 소자용 필름을 제품 용도에 맞게 가공하는 단계에서, 전기적 단락(short-circuit) 및 재단 등의 공정도 중요하지만, 액정을 중심으로 상/하부에 구비된 액정 변색 소자용 필름의 접착성 및 내구성을 부여하는 공정이 특히 중요하다.
또한, 상기 액정을 중심으로 한 상하부 액정 변색 소자용 필름 간의 합착을 위해서는, 상기 액정 배향막이 상기 상하부 액정 변색 소자용 필름 사이에 구비되는 밀봉재(sealant)와의 우수한 접착력을 가져야 하지만, 상기 액정 배향막이 상기 밀봉재와의 우수한 접착력을 가지지 못하는 경우, 상기 액정 배향막을 선택적으로 제거하여 상기 전도성 막을 노출시키는 공정이 추가적으로 요구되었다.
이는 전도성 막에 포함되는 금속 산화물을 기반으로 하는 투명 전극의 전도성뿐만 아니라, 밀봉재와의 우수한 접착 특성 및 고온 고습의 임계적 환경에서 플라스틱 기재 내에서 발생할 수 있는 기포(Outgassing)의 차단 특성 역시 활용하고자 하는 것이다.
종래 상기 액정 배향막을 선택적으로 제거하는 방법으로서, 유기 용제를 처리하는 등의 습식 식각을 이용하였으나, 상기 습식 식각은 연속 공정의 효율을 저해할 뿐 아니라, 상기 유기 용제의 사용에 따른 경제적, 환경적 문제점이 있었다.
또한, 디스플레이 장치의 내구성 향상을 위해서는 상기 액정 배향막이 내화학성 및 고온 안정성을 위한 경화 물성이 요구되는 최근의 기술적 추세임을 감안할 때, 상기 습식 공정을 대체할 수 있는 공정의 개발이 필요한 실정이다.
상기 유기 용제 사용에 따른 문제점을 해결하기 위하여, 이미 형성된 액정 배향막을 제거하는 것이 아닌, 포토리소그래피(photolithography), 잉크젯(inkjet), 슬롯 다이(slot dye), 스크린 프린팅(screen printing) 등의 패터닝(patterning) 공정을 이용하여 상기 액정 배향막을 형성하는 방법이 시도된 바 있다.
다만, 상기 액정 배향막을 형성하는 공정은 롤-투-롤 기반의 연속 공정에 부합하기 않는 문제점이 있었다. 구체적으로, 상기 액정 배향막을 형성하는 공정은 소형 액정 소자에서 유연 소자로의 대면적화(大面積化)를 위한 공정 설비를 확보하기 위한 제조 공정 설비의 가격이 높아지고, 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
이에, 단순하면서도, 롤-투-롤 연속 공정에 부합되는 가공 공정의 개발을 통하여 제조비용을 절감할 수 있는 액정 배향용 필름, 구체적으로 액정 변색 소자용 필름의 제조 방법에 대한 연구가 필요한 실정이다.
일본 특허공개공보 JP 1997-266234 A
본 발명은 액정 배향용 필름의 제조방법을 제공하고자 한다.
다만, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 상기 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 하기의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시상태는, 기재, 전도성 막, 액정 배향막 및 보호필름이 순차적으로 구비된 다층 구조체를 준비하는 단계; 상기 다층 구조체 측에 펄스 레이저를 조사하여, 상기 액정 배향막의 일 영역을 식각하는 단계; 및 상기 보호필름을 제거하여, 상기 전도성 막의 일 영역을 노출시키는 단계;를 포함하고, 상기 펄스 레이저는 상기 보호필름에서 상기 액정 배향막 방향으로 조사되는 것인 액정 배향용 필름의 제조방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시상태는, 롤-투-롤 연속 공정에 부합되는 장점이 있다.
구체적으로, 본 발명의 일 실시상태는 유기 용제를 이용하여 별도의 식각 잔여물을 세척하는 공정을 수반하지 않으므로, 연속 공정에 부합되고, 친환경적이며, 경제적인 장점이 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따라 제조된 액정 배향용 필름은, 전도성 막의 손상을 최소화하여 외부 환경 변화에 따른 수분 및/또는 기포의 차단 특성을 최대화한 액정 변색 소자를 제공할 수 있는 장점이 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따른 제조된 액정 배향용 필름의 제조방법은, 전도성 막 상에 존재하는 식각된 액정 배향막 잔여물의 양을 최소화한 장점이 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따라 제조된 액정 배향용 필름은, 밀봉재와의 접착력이 높은 장점이 있다.
도 1 은 본 발명의 일 실시상태에 따른 액정 배향용 필름의 제조방법의 모식도를 나타낸 것이다.
도 2 는 본 발명의 일 실시상태에 따른 액정 배향용 필름의 평면도를 나타낸 것이다.
도 3 은 본 발명의 일 실시상태에 따라 펄스 레이저가 조사된 다층 구조체, 상기 다층 구조체에서 보호필름을 제거하는 과정, 상기 액정 배향용 필름 및 상기 보호필름의 디지털 카메라 화상을 나타낸 것이다.
도 4 는 본 발명의 일 실시상태에 따라 제조된 액정 배향용 필름을 이용한 액정 변색 소자의 제조방법의 모식도를 나타낸 것이다.
도 5 는 실시예 1-1 내지 실시예 1-3 의 액정 배향용 필름 표면 및 보호필름 표면의 광학현미경 화상을 나타낸 것이다.
도 6 은 실시예 2-1 내지 실시예 2-3 의 액정 배향용 필름 표면 및 보호필름 표면의 광학현미경 화상을 나타낸 것이다.
도 7 은 실시예 3-1 내지 실시예 3-3 의 액정 배향용 필름 표면 및 보호필름 표면의 광학현미경 화상을 나타낸 것이다.
도 8 은 비교예 1-2 내지 비교예 1-4 의 액정 배향용 필름 표면의 광학현미경 화상을 나타낸 것이다.
도 9 는 비교예 2-3 내지 비교예 2-4 의 액정 배향용 필름 표면의 광학현미경 화상을 나타낸 것이다.
도 10 은 비교예 3-1 내지 비교예 3-4 의 액정 배향용 필름 표면의 광학현미경 화상을 나타낸 것이다.
도 11 은 고온·고습 내구성 실험시 사용된 시편의 모식도 및 이의 디지털 카메라 화상을 나타낸 것이다.
도 12 는 실시예 1-4 및 실시예 3-4 의 고온·고습 내구성 평가 결과의 디지털 카메라 화상을 나타낸 것이다.
도 13 은 비교예 4 의 고온·고습 내구성 평가 결과의 디지털 카메라 화상을 나타낸 것이다.
본 명세서에서 어떤 부재가 다른 부재 "상에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.
본 명세서에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용되는 정도의 용어 "~(하는) 단계" 또는 "~의 단계"는 "~를 위한 단계"를 의미하지 않는다.
이하, 본 명세서에 대하여 더욱 상세하게 설명한다.
본 발명의 일 실시상태는, 기재, 전도성 막, 액정 배향막 및 보호필름이 순차적으로 구비된 다층 구조체를 준비하는 단계; 상기 다층 구조체 측에 펄스 레이저를 조사하여, 상기 액정 배향막의 일 영역을 식각하는 단계; 및 상기 보호필름을 제거하여, 상기 전도성 막의 일 영역을 노출시키는 단계;를 포함하고, 상기 펄스 레이저는 상기 보호필름에서 상기 액정 배향막 방향으로 조사되는 것인 액정 배향용 필름의 제조방법을 제공한다.
이하에서는, 상기 제조방법의 각 단계별로 상세하게 설명하기로 한다.
다층 구조체를 준비하는 단계
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 액정 배향용 필름의 제조방법은 기재, 전도성 막, 액정 배향막 및 보호필름이 순차적으로 구비된 다층 구조체를 준비하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다층 구조체는 기재를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 기재는 고분자 기재일 수 있다. 구체적으로, 상기 고분자 기재는 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethyleneterephtalate, PET), 에틸렌 비닐 아세테이트(ethylene vinyl acetate, EVA), 사이클릭 올레핀 중합체(cyclic olefin polymer, COP), 사이클릭 올레핀 공중합체(cyclic olefin copolymer, COC), 폴리아크릴레이트(polyacrylate, PAC), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC), 폴리에틸렌(polyethylene, PE), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate, PMMA), 폴리에테르에테르케톤(polyetheretherketon, PEEK), 폴리에틸렌나프탈레이트(polyethylenenaphthalate, PEN), 폴리에테르이미드(polyetherimide, PEI), 폴리이미드(polyimide, PI), 트리아세틸셀룰로오스(triacetylcellulose, TAC), MMA(methyl methacrylate) 및 불소계 수지 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 휨 특성을 가지는 고분자로서, 당업계에 알려진 것이라면 제한 없이 선택될 수 있다
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다층 구조체는 상기 고분자 기재를 포함함으로써, 상기 액정 배향용 필름의 기계적 내구성 및 구조적 가변성을 확보할 수 있다. 구체적으로, 상기 다층 구조체가 상기 고분자 기재를 포함함으로써, 상기 액정 배향용 필름의 휨 특성을 구현할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 기재의 두께는 50 ㎛ 이상 200 ㎛ 이하일 수 있고, 구체적으로 70 ㎛ 이상 200 ㎛ 이하, 50 ㎛ 이상 150 ㎛ 이하, 또는 70 ㎛ 이상 150 ㎛ 이하일 수 있으며, 보다 구체적으로 90 ㎛ 이상 150 ㎛ 이하, 70 ㎛ 이상 110 ㎛ 이하, 또는 90 ㎛ 이상 110 ㎛ 이하일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 기재의 두께에 따라 조사되는 펄스 레이저의 조건을 적절하게 조절할 수 있다
상기 범위에서 상기 액정 배향용 필름의 내구성 및 휨 특성을 동시에 구현할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다층 구조체는 상기 기재 상에 구비되는 전도성 막을 포함할 수 있다.
전술한 바와 같이, 상기 기재가 고분자 기재인 경우, 상기 액정 배향용 필름이 내구성 및 구조적 가변성을 동시에 구현하도록 할 수 있다. 다만, 상기 고분자 기재는 일반적으로 투습성이 낮지 않기 때문에 외부의 환경 변화에 의한 수분 및/또는 기포가 투과되는 문제점이 있었다.
상기 문제점을 해결하기 위하여, 하기 설명하는 바와 같이, 상기 다층 구조체는 상기 기재 상에 구비되고, 상기 액정 배향용 필름의 전기적 전도성을 확보할 수 있으며, 외부의 환경 변화에 의한 수분 및/또는 기포의 차단 특성을 확보할 수 있는 전도성 막을 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 전도성 막은 상기 액정 배향막 상부에 도포될 수 있는 액정의 배향을 제어하기 위한 전계를 형성할 수 있고, 외부로부터 공급된 전하를 전달할 수 있는 전기적 전도성이 있으며, 높은 표면 에너지를 가질 수 있는 금속 산화막으로서, 밀봉재와의 높은 접착력을 구현할 수 있다.
또한, 상기 전도성 막은 고온·고습 등의 외부 환경 변화에 따른 수분 및/또는 기포를 차단할 수 있는 특성이 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 전도성 막은 전도성 고분자, 전도성 금속 및 전도성 금속 산화물 중 적어도 하나를 포함할 수 있으며, 구체적으로 전도성 금속 및 전도성 금속 산화물 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 전도성 막은 ITO(indium tin oxide), AZO(antimony-doped zinc oxide), ATO(antimony-doped tin oxide), SnO, RuO2, IrO2, 금, 은, 니켈, 구리 및 팔라듐 중 적어도 하나의 금속, 금속 산화물 또는 합금 물질을 포함할 수 있으나, 수분 및/또는 기포를 차단할 수 있고, 액정의 배향을 제어하기 위한 전계를 형성할 수 있으며, 전하를 공급할 수 있고, 밀봉재와의 접착력이 우수한 것으로서, 당업계에 알려진 것이면 제한 없이 선택될 수 있다.
또한, 상기 전도성 막은 투명성을 갖도록 구비될 수 있고, 이와 같은 투명성을 형성할 수 있는 당업계에 알려진 다양한 소재 및 형성방법을 적용하여 구비되는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 전도성 막의 두께는 20 nm 이상 100 nm 이하일 수 있고, 구체적으로 30 nm 이상 100 nm 이하, 20 nm 이상 80 nm 이하, 또는 30 nm 이상 80 nm 이하일 수 있으며, 보다 구체적으로 40 nm 이상 80 nm 이하, 30 nm 이상 70 nm 이하, 또는 40 nm 이상 70 nm 이하일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 전도성 막의 두께에 따라 조사되는 펄스 레이저의 조건을 적절하게 조절할 수 있다.
상기 전도성 막은 전술한 상기 기재의 두께보다 매우 얇은 두께를 가지므로, 상기 전도성 막 상에 구비될 수 있는 상기 액정 배향막을 식각하는 과정에서, 상기 전도성 막이 손상되는 문제점이 발생할 수 있다.
또한, 상기 전도성 막이 손상되는 경우, 상기 액정 배향용 필름 수분 및/또는 기포의 차단 특성을 구현할 수 없는 문제점이 발생할 수 있다.
그러므로, 상기 전도성 막의 손상을 최소화하여야, 상기 액정 배향용 필름의 외부 환경 변화에 따른 수분 및/또는 기포의 차단 특성을 최대화할 수 있다.
이에, 이하 상세하게 설명하는 바와 같이 본 발명의 일 실시상태에 따르면, 펄스 레이저를 조사하여 액정 배향막의 일 영역을 식각하기 전에, 상기 다층 구조체에 포함된 액정 배향막 상부에 보호필름을 더 포함함으로써, 상기 펄스 레이저 조사에 의한 전도성 막의 손상을 최소화할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다층 구조체는 상기 전도성 막 상에 구비되는 액정 배향막을 포함할 수 있다. 상기 다층 구조체가 상기 전도성 막 상에 액정 배향막을 포함함으로써, 상기 액정 배향막 상에 도포되는 액정의 배향을 제어할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 액정 배향막은 광배향막 및 러빙(rubbing) 배향막 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또한, 상기 액정 배향막은 상기 광배향막 및 러빙 배향막이 적층된 구조로 구비될 수 있다.
구체적으로, 상기 광배향막은 광조사에 의하여 액정 배향막 상에 도포될 수 있는 액정의 배향을 제어할 수 있다. 또한, 상기 러빙 배향막은 상기 액정 배향막 상에 롤러를 회전시키는 러빙(rubbing) 공정으로써 상기 액정 배향막 상에 도포될 수 있는 액정의 배향을 제어할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 광배향막은 광배향성 화합물을 포함할 수 있다. 상기 광배향성 화합물은 방향성을 가지도록 정렬된 상태로 존재할 수 있다. 또한, 상기 광배향성 화합물은 광의 조사를 통하여 소정 방향으로 정렬(orientationally ordered)되고, 상기 정렬 상태에서 인접하는 액정 화합물 등을 일정한 방향으로 배향시킬 수 있는 화합물로서, 당업계에 알려진 것이라면 제한 없이 선택될 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 러빙 배향막은 방향성을 가지도록 정렬된 상태로 존재할 수 있다. 또한, 상기 러빙 배향막은 러빙 공정을 통하여 소정 방향으로 정렬되고, 상기 정렬 상태에서 인접하는 액정 화합물 등을 일정한 방향으로 배향시킬 수 있는 물질로서, 당업계에 알려진 것이라면 제한 없이 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 배향막의 두께는 50 nm 이상 300 nm 이하일 수 있고, 구체적으로 70 nm 이상 300 nm 이하, 50 nm 이상 200 nm 이하 또는 70 nm 이상 200 nm 이하일 수 있으며, 보다 구체적으로 90 nm 이상 200 nm 이하, 70 nm 이상 110 nm 이하, 또는 90 nm 이상 110 nm 이하일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 배향막의 두께에 따라 조사되는 펄스 레이저의 조건을 적절하게 조절할 수 있다
상기 배향막은 전술한 상기 기재의 두께보다 상대적으로 얇은 두께를 가지므로, 펄스 레이저 조사를 통하여 상기 배향막을 식각하는 과정에서, 상기 전도성 막의 손상을 최소화하여야, 상기 액정 배향용 필름의 외부 환경 변화에 따른 수분 및/또는 기포의 차단 특성을 최대화할 수 있다.
전술한 바와 같이, 상기 배향막은 밀봉재와의 낮은 접착력으로 인하여 액정 배향용 필름의 수분 및/또는 기포의 차단성이 저하되는 문제가 있었다. 구체적으로, 상기 배향막은 밀봉재와의 낮은 접착력 때문에, 향후 상기 액정 배향용 필름을 포함하는 액정 변색 소자를 제조하더라도, 상기 액정 배향용 필름 간 합착이 원활하게 이루어지지 않아, 이후 외부 환경 변화에 따라 외부에서 수분 및/또는 기포가 유입되는 문제점이 있었다.
다만, 상기 펄스 레이저 조사를 통하여 상기 배향막의 일 영역을 식각하여 상기 배향막의 식각 잔여물을 제거하고, 일 영역이 노출되는 상기 전도성 막의 상부에 밀봉재를 도포하며, 식각되지 않은 상기 배향막의 다른 영역에는 액정을 도포함으로써, 상기 액정 배향용 필름을 상부 및 하부로 포함하고, 상기 2 이상의 액정 배향용 필름이 합착된 것인 액정 변색 소자의 수분 및/또는 기포의 차단성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다층 구조체는 상기 액정 배향막 상에 구비되는 보호필름을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 보호필름은 이후 펄스 레이저를 조사하여 상기 액정 배향막의 일 영역을 식각하는 과정에서, 상기 펄스 레이저 조사에 의한 상기 전도성 막의 손상을 최소화함과 동시에, 상기 전도성 막 상에 구비된 상기 액정 배향막의 식각 잔여물이 충분히 박리되도록 할 수 있다.
구체적으로, 전술한 바와 같이 상기 액정 배향막 및 상기 전도성 막은 상기 기재보다 얇은 두께를 가지므로, 상기 액정 배향막의 일 영역을 식각하는 과정에서 펄스 레이저를 조사하는 경우, 상기 액정 배향막뿐 아니라 상기 전도성 막이 손상되는 문제점이 있었다.
보다 구체적으로, 상기 액정 배향용 필름이 고분자 기재를 포함하는 경우, 상기 전도성 막이 손상됨에 따라 외부의 수분 및/또는 기포가 배향막 상에 구비된 액정 측에 유입되는 문제점이 있었다.
그러므로, 상기 문제점을 해결하기 위하여, 상기 펄스 레이저의 조사로도 상기 전도성 막의 손상을 최소화할 필요가 있었다.
이에, 본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다층 구조체는 상기 액정 배향막 상에 구비되는 보호필름을 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 펄스 레이저의 조사를 통하여 상기 액정 배향막의 일 영역을 식각할 수 있고, 상기 식각된 액정 배향막의 일 영역 하부에 구비된 상기 전도성 막의 손상을 최소화할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다층 구조체가 상기 액정 배향막 상에 구비된 보호필름을 포함함으로써, 펄스 레이저의 조사를 통하여 일 영역이 식각된 액정 배향막의 식각 잔여물을 상기 보호필름으로 전사(transfer) 및 제거시킬 수 있다.
종래의 액정 배향용 필름의 제조방법은 전도성 막의 일 영역이 노출된 액정 배향막을 구비하기 위하여, 패터닝된 액정 배향막을 상기 전도성 막 상에 구비하는 방법, 보호필름을 제거한 후 액정 배향막에 직접 레이저를 조사하여 액정 배향막을 절단하는 방법 또는 보호필름을 제거한 후 유기 용제 등을 이용하여 액정 배향막을 녹여내는 방법을 사용하였다.
다만, 종래의 방법은 전술한 바와 같이 롤-투-롤 방식의 연속 공정에는 부합되지 못하고, 전도성 막이 손상되며, 경제성을 확보하지 못한 문제점이 있었다.
이에 본 발명의 일 실시상태에 따른 액정 배향용 필름의 제조방법은 상기 액정 배향막 상에 보호필름을 구비함으로써, 전도성 막의 손상을 최소화할 수 있고, 펄스 레이저 조사에 따른 액정 배향막 식각 잔여물을 제거하는 별도의 공정을 수반하지 않아 공정상 경제성을 확보한 장점이 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 보호필름의 343 nm 파장에서의 광투과도는 50 % 이상, 구체적으로 70 % 이상일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 광투과도에 따라 조사되는 펄스 레이저의 조건을 적절하게 조절할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 343 nm 파장에서의 광투과도는, 343 nm 의 파장을 가지는 광, 구체적으로 343 nm 의 파장을 갖는 펄스 레이저를 조사하는 경우, 피조사체에 조사되는 광량에 대한 상기 피조사체를 투과하는 광량의 비를 의미하는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 보호필름은 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴레에틸렌, 폴리올레핀 및 에틸렌비닐 아세테이트 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 보호필름의 두께는 20 ㎛ 이상 60 ㎛ 이하, 20 ㎛ 이상 50 ㎛ 이하, 30 ㎛ 이상 60 ㎛ 이하, 30 ㎛ 이상 50 ㎛ 이하, 30 ㎛ 이상 45 ㎛ 이하, 35㎛ 이상 50 ㎛ 이하, 또는 35 ㎛ 이상 45 ㎛ 이하일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 보호필름의 두께에 따라 조사되는 펄스 레이저의 조건을 적절하게 조절할 수 있다
이에 따라, 상기 보호필름이 전술한 상기 액정 배향막 및 상기 전도성 막 보다 큰 두께를 가지므로, 상기 액정 배향막을 식각하기 위한 펄스 레이저가 조사되는 경우, 상기 펄스 레이저는 상기 보호필름을 투과하게 되고, 상기 펄스 레이저가 상기 범위의 두께를 갖는 보호필름을 투과함에 따라 상기 액정 배향막의 식각이 가능하면서도 상기 전도성 막을 손상시키지 않는 정도의 에너지를 갖는 펄스 레이저가 조사될 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다층 구조체는 상기 보호필름 및 상기 액정 배향막 사이에 점착층을 더 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 점착층을 포함함에 따라 상기 다층 구조체는 기재, 전도성 막, 액정 배향막, 점착층 및 보호필름이 순차적으로 구비되는 것일 수 있다. 또한, 상기 점착층은 상기 액정 배향막의 상부 면 및 상기 보호필름의 하부 면에 접하는 것일 수 있다.
나아가, 상기 펄스 레이저는 기재, 전도성 막, 액정 배향막, 점착층 및 보호필름이 순차적으로 구비된 다층 구조체에 조사될 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 점착층은 상기 펄스 레이저 조사 후, 상기 보호필름을 제거/박리하는 과정에서, 상기 액정 배향막의 식각 잔여물이 상기 전도성 막으로부터 제거 또는 박리되게 할 수 있다. 구체적으로, 상기 점착층은 액정 배향막의 식각 잔여물 및 상기 보호필름에 접하게 되고, 상기 보호필름을 제거/박리함으로써, 상기 점착층에 접하는 상기 식각 잔여물이 동시에 제거/박리되는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 점착층의 두께는 5 ㎛ 이상 20 ㎛ 이하, 5 ㎛ 이상 15 ㎛ 이하, 10 ㎛ 이상 20 ㎛ 이하, 또는 10 ㎛ 이상 15 ㎛ 이하일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 두께에 따라 조사되는 펄스 레이저의 조건을 적절하게 조절할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 점착층은 아크릴계, 천연 고무계, 합성 고무계 및 실리콘계 중 적어도 하나의 점착제를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다층 구조체는 상기 전도성 막 및 상기 액정 배향막 사이에 2 이상의 서로 이격된 스페이서를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 스페이서는 상기 전도성 막과 상기 액정 배향막 사이에 함침되는 것일 수 있다.
상기 다층 구조체가 스페이서를 더 포함함으로써, 이후 상기 액정 배향용 필름을 포함하는 액정 변색 소자를 제조하는 과정에서, 2 이상의 상기 액정 배향용 필름을 압착하는 공정을 수행하더라도, 상기 전도성 막과 상기 액정 배향막 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 스페이서는 비드스페이서(Bead Spacer, B/S) 및 칼럼스페이서(Column Spacer, C/S) 중 어느 하나일 수 있다. 구체적으로, 상기 비드스페이서는 구슬(Bead) 형태인 구형의 스페이서를 의미할 수 있고, 상기 칼럼스페이서는 기둥(column) 형태의 스페이서를 의미할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 스페이서가 칼럼스페이서인 경우, 상기 다층 구조체는 기재, 전도성 막, 칼럼스페이서, 액정 배향막 및 보호필름이 순차적으로 구비된 형태일 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 스페이서가 비드스페이서인 경우, 상기 액정 배향막은 광배향막 및 러빙 배향막이 순차적으로 구비된 것일 수 있고, 상기 비드스페이서는 상기 광배향막 및 러빙배향막 사이에 구비되는 것일 수 있다.
즉, 상기 스페이서가 비드스페이서인 경우, 상기 다층 구조체는 기재, 전도성 막, 광배향막, 비드스페이서, 러빙 배향막 및 보호필름이 순차적으로 구비된 형태일 수 있다.
액정 배향막의 일 영역을 식각하는 단계
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 액정 배향용 필름의 제조방법은 상기 다층 구조체 측에 펄스 레이저를 조사하여, 상기 액정 배향막의 일 영역을 식각하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 액정 배향막의 일 영역을 식각하는 단계는 상기 보호필름 상에 식각 마스크를 구비한 후, 상기 식각 마스크에 의하여 상기 보호필름이 노출되는 영역에 펄스 레이저를 조사하는 것일 수 있다.
본 명세서에서, 펄스 레이저는 당업계에서 알려진 펄스 레이저를 의미할 수 있으며, 구체적으로 펄스 형태의 레이저, 즉 시간적으로 발진 및 정지가 있는 레이저를 의미할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 펄스 레이저는 피코 초(pico second) 레이저, 구체적으로 피코 초 펄스 레이저일 수 있다.
본 명세서에서 피코 초 레이저는 펄스 폭이 피코(pico, 10-12)초 단위인 레이저를 의미할 수 있다. 구체적으로, 상기 펄스 폭은 펄스 레이저의 펄스의 상승 시간과 하강 시간에서 진폭이 절반이 되는 시각의 간격을 의미할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 펄스 레이저의 파장은 자외선 영역의 파장, 구체적으로 10 nm 이상 400 nm 이하, 10 nm 이상 100 nm 이하, 100 이상 280 nm 이하, 280 nm 이상 320 nm 이하, 320 nm 이상 400 nm 이하, 또는 343 nm 일 수 있다.
즉, 본 발명의 일 실시상태에 따른 펄스 레이저는 초단파 자외선 레이저일 수 있다. 반면에, 상기 초단파 자외선 레이저 대신 적외선 파장의 레이저를 조사하는 경우, 상기 액정 배향막뿐 아니라, 상기 전도성 막 역시 박리되는 문제점이 발생할 수 있다. 구체적으로, 상기 다층 구조체에 적외선 파장, 구체적으로 장파장 적외선 레이저를 조사하는 경우, 전도성 막과 기재 사이의 열팽창률 차이에 의하여 계면이 박리되는 문제점이 발생할 수 있다.
구체적으로, 본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 다층 구조체에 초단파 자외선 레이저를 조사함으로써, 상기 전도성 막은 박리되지 않고, 상기 전도성 막의 손상을 최소화할 수 있으며, 상기 액정 배향막만 선택적으로 식각할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 펄스 레이저의 최대 펄스 에너지는 50 μJ 이상 100 μJ 이하, 50 μJ 이상 90 μJ 이하, 50 μJ 이상 80 μJ 이하, 60 μJ 이상 100 μJ 이하, 60 μJ 이상 90 μJ 이하, 60 μJ 이상 80 μJ 이하, 70 μJ 이상 100 μJ 이하, 70 μJ 이상 90 μJ 이하, 70 μJ 이상 80 μJ 이하, 또는 75 μJ 일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 전술한 기재, 전도성 막, 액정 배향막, 점착층 및 보호필름의 두께 및/또는 물성에 따라 적절하게 조절될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 펄스 레이저의 펄스 에너지는 상기 최대 펄스 에너지의 5 % 이상 15 % 이하, 5 % 이상 12 % 이하, 8 % 이상 15 % 이하, 또는 8 % 이상 12 % 이하일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 전술한 기재, 전도성 막, 액정 배향막, 점착층 및 보호필름의 두께 및/또는 물성에 따라 적절하게 조절될 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 펄스 레이저의 주파수는 10 kHz 이상 400 kHz 이하, 10 kHz 이상 300 kHz 이하, 100 kHz 이상 400 kHz 이하, 100 kHz 이상 300 kHz 이하, 100 kHz 이상 250 kHz 이하, 150 kHz이상 300 kHz 이하, 150 kHz 이상 250 kHz 이하, 또는 200 kHz 일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 전술한 기재, 전도성 막, 액정 배향막, 점착층 및 보호필름의 두께 및/또는 물성에 따라 적절하게 조절될 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 펄스 레이저의 스폿 간격은 10㎛ 이상 100 ㎛ 이하, 10 ㎛ 이상 75 ㎛ 이하, 10 ㎛ 이상 50 ㎛ 이하, 또는 10 ㎛ 이상 15 ㎛ 이하일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 전술한 기재, 전도성 막, 액정 배향막, 점착층 및 보호필름의 두께 및/또는 물성에 따라 적절하게 조절될 수 있다.
본 명세서에서, 상기 펄스 레이저의 스폿 간격은 상기 펄스 레이저가 조사되는 지점 간의 거리를 의미할 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 전술한 기재, 전도성 막, 액정 배향막, 점착층 및 보호필름의 두께 및/또는 물성에 따라 적절하게 조절될 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 펄스 레이저의 조사 속도는 0.1 m/s 이상 10 m/s 이하, 0.1 m/s 이상 7 m/s 이하, 0.5 m/s 이상 10 m/s 이하, 0.5 m/s 이상 7 m/s 이하, 0.5 m/s 이상 5 m/s 이하, 1 m/s 이상 7 m/s 이하, 1 m/s 이상 5 m/s 이하, 또는 3.5 m/s 일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 전술한 기재, 전도성 막, 액정 배향막, 점착층 및 보호필름의 두께 및/또는 물성에 따라 적절하게 조절될 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 펄스 레이저는 상기 보호필름에서 상기 액정 배향막 방향으로 조사되는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 펄스 레이저는 상기 보호필름에 인접한 상기 액정 배향막의 표면에 초점을 맞추어 조사될 수 있다.
상기 펄스 레이저가 상기 보호필름에 인접한 상기 액정 배향막의 표면에 초점을 맞추어 조사됨으로써, 상기 펄스 레이저는 상기 보호필름을 투과하여 조사될 수 있으며, 이로써 상기 전도성 막의 손상을 방지할 수 있다.
구체적으로, 상기 펄스 레이저가 조사되는 초점에 따라 상기 보호필름에 의하여 펄스 에너지가 여과될 수 있고, 상기 펄스 에너지가 여과된 펄스 레이저에 의하여 상기 액정 배향막이 식각될 수 있으며, 상기 펄스 레이저가 조사되는 상기 액정 배향막이 균일하게 식각될 수 있고, 이에 따른 상기 전도성 막의 손상을 최소화할 수 있다.
또한, 상기 펄스 레이저는 상기 보호필름이 구비되지 않은 다층 구조체 또는 상기 보호필름이 제거된 다층 구조체 측에 조사되는 것이 아니고, 상기 보호필름을 포함하는 다층 구조체 측에 조사되는 것일 수 있으며, 상기 보호필름은 상기 다층 구조체 측에 상기 펄스 레이저가 조사된 후 제거되는 것일 수 있다.
상기 보호필름이 제거된 다층 구조체 측에 상기 펄스 레이저가 조사되는 경우, 상기 액정 배향막뿐 아니라, 상기 전도성 막 까지 상기 펄스 레이저에 조사에 의하여 손상되는 문제점이 발생할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 펄스 레이저는 식각하고자 하는 상기 액정 배향막의 일 영역의 양측 말단이 아닌, 식각하고자 하는 상기 액정 배향막의 일 영역 전체에 조사되는 것일 수 있다.
상기 펄스 레이저가 상기 액정 배향막의 일 영역의 양측 말단에만 조사되어, 상기 액정 배향막을 절단하는 경우, 상기 액정 배향막의 일 영역을 제거하기 위해서는 상기 펄스 레이저가 상기 보호필름 및 상기 액정 배향막을 모두 투과하여 조사되어야 하고, 상기 펄스 레이저가 상기 액정 배향막을 투과하며 조사되는 경우, 상기 전도성 막이 손상되는 문제점이 발생할 수 있다.
또한, 상기 펄스 레이저가 상기 액정 배향막의 일 영역의 양측 말단에만 조사되는 경우, 상기 액정 배향막의 잔여물을 제거하기 위한 별도의 공정이 요구되어, 상기 액정 배향용 필름을 포함하는 액정 변색 소자의 제조공정이 복잡해지는 문제점이 발생할 수 있다.
반면에, 본 발명의 일 실시상태와 같이 상기 펄스 레이저를 식각하고자 하는 상기 액정 배향막의 일 영역 전체에 조사하는 경우, 상기 펄스 레이저가 상기 액정 배향막을 투과하지 않고서도 상기 액정 배향막의 일 영역을 식각할 수 있고, 상기 보호필름을 박리 또는 제거 하면서 상기 액정 배향막의 식각 잔여물이 함께 박리 또는 제거되므로, 상기 액정 배향용 필름을 포함하는 액정 변색 소자의 제조공정을 단순화할 수 있다.
전도성 막의 일 영역을 노출시키는 단계
본 발명의 일 실시상태에 따르면 상기 액정 배향용 필름의 제조방법은 상기 보호필름을 제거하여, 상기 전도성 막의 일 영역을 노출시키는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 전도성 막의 일 영역이 노출됨으로써, 상기 전도성 막 상에 상기 전도성 막이 노출되고, 액정 배향막의 식각 잔여물이 제거된 영역을 갖는 액정 배향막이 구비될 수 있다.
구체적으로, 상기 전도성 막의 일 영역을 노출시킴으로써, 상기 액정 배향용 필름은 기재, 전도성 막 및 상기 전도성 막이 노출된 영역을 갖는 액정 배향막이 순차적으로 구비된 것일 수 있다.
또한, 상기 액정 배향막은 상기 펄스 레이저의 조사에 따라 식각된 액정 배향막의 식각 잔여물이 제거된 영역을 포함하는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 전도성 막의 일 영역을 노출시키는 단계는 상기 펄스 레이저 조사에 의하여 식각된 상기 액정 배향막의 잔여물과 함께 상기 보호필름을 제거하여 수행되는 것일 수 있다.
구체적으로, 상기 전도성 막의 일 영역을 노출시키는 단계는 상기 펄스 레이저 조사에 의하여 식각되고, 상기 점착층에 접하는 상기 액정 배향막의 잔여물과 함께 상기 보호필름을 제거하여 수행되는 것일 수 있다.
이에 따라, 액정 배향막의 식각 잔여물이 제거된 상기 전도성 막의 일 영역이 외부로 노출될 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 액정 배향용 필름을 포함하는 액정 변색 소자의 제조 과정에서, 상기 외부로 노출된 전도성 막의 일 영역 상에 밀봉재가 도포될 수 있다.
전술한 바와 같이 상기 전도성 막은 상기 액정 배향막보다 밀봉재와의 접착력이 우수하므로, 2 이상의 상기 액정 배향용 필름을 합착하여 제조되는 액정 변색 소자의 우수한 수분 및/또는 기포 차단 특성을 구현할 수 있다.
또한, 상기 전도성 막이 노출되지 않는 상기 액정 배향막 상에는 액정이 도포될 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따른 액정 배향용 필름의 제조방법의 모식도를 도 1 에 나타내었다.
도 1 의 (a) 에 따르면, 기재(10), 전도성 막(20), 액정 배향막(30 및 31) 및 보호필름(40)이 순차적으로 구비된 다층 구조체(100)가 준비되고, 상기 다층 구조체 측에 펄스 레이저(200)가 조사될 수 있다.
구체적으로, 상기 펄스 레이저(200)는 상기 보호필름(40)을 투과하고, 상기 보호필름에 인접한 상기 액정 배향막의 표면에 초점을 맞추어 조사될 수 있다. 상기 펄스 레이저(200)의 조사에 따라, 상기 액정 배향막 식각 영역(31)이 식각될 수 있다.
또한, 도 1 의 (a) 에 따르면, 상기 보호필름(40)에 접하고 상기 펄스 레이저(200)에 의하여 일 영역이 식각된 상기 액정 배향막의 잔여물(31)은, 상기 보호필름(40)의 제거 또는 박리시 상기 보호필름에 접하여, 다층 구조체(100) 로부터 제거될 수 있다.
그 결과, 본 발명의 일 실시상태에 따른 액정 배향용 필름(110)은, 상기 기재(10), 상기 전도성 막(20) 및 상기 전도성 막이 노출되는 영역을 갖는 상기 액정 배향막(30)이 순차적으로 구비된 형태일 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따라 제조된 액정 배향용 필름의 평면 모식도를 도 2 에 나타내었다. 다만, 도 2 는 본 발명의 다양한 실시상태 중 하나의 예시에 불과하며, 본 발명은 도 2 에 나타난 것으로 제한되는 것은 아니다.
도 2 에 따르면, 상대적으로 밝은 영역을 액정 배향막을 나타낸 것이고, 상대적으로 어두운 영역은 상기 액정 배향막의 식각 잔여물이 제거되어, 상기 전도성 막이 노출된 일 영역을 나타낸 것이다.
본 발명의 일 실시상태에 따른 액정 배향용 필름의 제조방법의 일부 단계의 디지털 카메라 화상을 도 3 에 나타내었다.
도 3 의 (a) 는 펄스 레이저가 조사되고, 보호필름이 제거되지 않은 다층 구조체의 디지털 카메라 화상을 나타낸 것이고, (b) 는 보호필름을 제거하는 과정의 디지털 카메라 화상을 나타낸 것이며, (c) 는 보호필름 제거 후의 다층 구조체 및 보호필름의 디지털 카메라 화상을 나타낸 것이다.
또한, 도 3 에서 화살표(→)로 나타낸 부분은 상기 펄스 레이저의 조사로 식각되는 액정 배향막의 일 영역을 나타낸 것이다.
도 3 에 따르면, 본 발명의 일 실시상태에 따른 액정 배향용 필름의 제조방법에 따라 제조된 액정 배향용 필름은 레이저 조사에 의하여 식각된 액정 배향막의 식각 잔여물이 보호필름에 접하여 제거되는 것을 확인할 수 있다.
본 발명의 일 실시상태에 따라 제조된 액정 배향용 필름은 액정 변색 소자용 필름으로 사용될 수 있다.
본 발명의 다른 실시상태는, 상기 제조방법에 따라 제조된 액정 배향용 필름을 제공한다.
본 발명의 일 실시상태는, 상기 제조방법에 따라 제조되고, 기재, 전도성 막 및 상기 전도성 막이 노출되는 영역을 갖는 액정 배향막이 순차적으로 구비된 것인 액정 배향용 필름을 제공한다.
상기 기재, 전도성 막 및 상기 액정 배향막에 대한 설명은 전술한 바와 같다.
본 발명의 일 실시상태는 액정 변색 소자용 필름으로 사용될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시상태는, 액정 배향용 필름을 제공한다.
본 발명의 일 실시상태는, 기재, 전도성 막 및 상기 전도성 막이 노출되는 영역을 갖는 액정 배향막이 순차적으로 구비된 것인 액정 배향용 필름을 제공한다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 기재, 전도성 막 및 상기 액정 배향막에 대한 설명은 전술한 바와 같다.
본 발명의 다른 실시상태는, 상기 액정 배향용 필름을 이용하고, 상기 액정 배향용 필름을 포함하는 액정 변색 소자의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시상태는, 상기 액정 배향용 필름을 상부필름 및 하부필름으로 준비하는 단계; 상기 하부필름의 일 영역이 노출된 전도성 막 상에 밀봉재를 도포하는 단계; 상기 하부 필름의 일 영역이 제거되지 않은 액정 배향막 상에 액정을 도포하는 단계; 및 상기 하부필름 상에 상기 상부필름을 구비하고, 상기 하부필름과 상기 상부필름을 합착하는 단계;를 포함하는 액정 변색 소자의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시상태에 따르면, 상기 밀봉재 및 상기 액정은 각각 밀봉재 및 액정으로서, 당업계에서 알려진 일반적인 것으로부터 선택되는 것일 수 있고, 그 종류가 제한/한정 되는 것은 아니다.
본 발명의 일 실시상태에 따른 액정 변색 소자의 제조방법의 모식도를 도 4 에 나타내었다.
도 4 에 따르면, 상기 액정 변색 소자는, 본 발명의 일 실시상태에 따른 액정 배향용 필름을 상부필름 및 하부필름으로 준비하고, 상기 하부필름의 일 영역이 노출된 전도성 막 상에는 밀봉재를, 상기 하부필름의 전도성 막의 일 영역이 제거되지 않은 액정 배향막 상에는 액정을 도포하며, 상기 하부필름과 상기 상부필름을 서로 합착함으로써 제조되는 것일 수 있다.
이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 실시예를 들어 상세하게 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명에 따른 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 기술하는 실시예들에 한정되는 것으로 해석되지 않는다. 본 명세서의 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다.
[ 제조예 - 다층 구조체의 제조]
제조예 1 - Clear 시편
기재, 전도성 막, 러빙 배향막, 점착층 및 보호필름이 순차적으로 구비된 다층 구조체를 제조하였다.
제조예 2 - C/S 시편
기재, 전도성 막, 칼럼스페이서, 러빙 배향막, 점착층 및 보호필름이 순차적으로 구비된 다층 구조체를 제조하였다.
제조예 3 - B/S 시편
기재, 전도성 막, 광배향막, 비드스페이서, 러빙 배향막, 점착층 및 보호필름이 순차적으로 구비된 다층 구조체를 제조하였다.
상기 제조예 1 내지 제조예 3 의 구체적인 정보는 하기 표 1 과 같다.
기재 전도성 막 광배향막 스페이서 러빙
배향막		 점착층 보호필름
제조예 1 COP
100 ㎛		 ITO
40 ~ 70 nm		 - - PI
0.1 ㎛		 아크릴계 점착층
12 ㎛		 PET
38 ㎛
제조예 2 PC
100 ㎛		 ITO
40 ~ 70 nm		 - 칼럼스페이서 PI
0.1 ㎛		 아크릴계 점착층
12 ㎛		 PET
38 ㎛
제조예 3 PC
100 ㎛		 ITO
40 ~ 70 nm		 cinnamate 아크릴레이트 비드스페이서 PI
0.1 ㎛		 아크릴계 점착층
12 ㎛		 PET
38 ㎛
* COP: Cyclo Olefin Polymer
* PC: Polycarbonate
* ITO: Indium Tin Oxide
* PI: Polyimide
* PET: Polyethylene Terephthalate
[ 실시예 1-1 내지 실시예 3-4 - 보호필름 미제거 후 레이저 조사]
제조예 1 내지 제조예 3 중 어느 하나의 다층 구조체에 하기 표 2 와 같은 정보의 펄스 레이저를 상기 상기 보호필름에 접하는 상기 러빙 배향막에 초점을 맞추어, 상기 보호필름에서 상기 러빙 배향막 방향으로, 펄스 레이저의 펄스 에너지를 조절하며 조사하며 상기 러빙 배향막을 식각하였다.
상기 러빙 배향막이 식각된 다층 구조체의 보호필름을 박리하여 액정 배향용 필름을 제조하였다.
펄스 레이저 조사 장비 Trumicro 5050, Trumpf社, picosecond laser
최대 펄스 에너지(μJ) 75
파장(nm) 343
주파수(kHz) 200
식각 간격(㎛) 15
조사 속도(m/s) 3.5
초점거리 160
실시예 1-1 내지 실시예 3-4 의 구체적인 정보는 하기 표 3 과 같다.
다층 구조체 펄스 에너지
실시예 1-1 제조예 1 최대 펄스 에너지의 8 %
실시예 1-2 제조예 1 최대 펄스 에너지의 9 %
실시예 1-3 제조예 1 최대 펄스 에너지의 10 %
실시예 1-4 제조예 1 최대 펄스 에너지의 11 %
실시예 2-1 제조예 2 최대 펄스 에너지의 10 %
실시예 2-2 제조예 2 최대 펄스 에너지의 11 %
실시예 2-3 제조예 2 최대 펄스 에너지의 12 %
실시예 3-1 제조예 3 최대 펄스 에너지의 8 %
실시예 3-2 제조예 3 최대 펄스 에너지의 9 %
실시예 3-3 제조예 3 최대 펄스 에너지의 10 %
실시예 3-4 제조예 3 최대 펄스 에너지의 11 %
[ 비교예 1-1 내지 비교예 3-4 - 보호필름 제거 후 레이저 조사]
제조예 1 내지 제조예 3 중 어느 하나의 다층 구조체의 보호필름을 제거하고, 상기 표 2 와 같은 정보의 펄스 레이저를 펄스 에너지를 조절하여 상기 러빙 배향막에 직접 초점을 맞추어 조사하였다.
상기 펄스 레이저 조사후, 시판되는 점착 테이프(3M社製)를 이용하여 배향 잔여물을 제거하였다.
비교예 1-1 내지 비교예 3-4 의 구체적인 정보는 하기 표 4 와 같다.
다층 구조체 펄스 에너지
비교예 1-1 제조예 1 최대 펄스 에너지의 6 %
비교예 1-2 제조예 1 최대 펄스 에너지의 7 %
비교예 1-3 제조예 1 최대 펄스 에너지의 8 %
비교예 1-4 제조예 1 최대 펄스 에너지의 9 %
비교예 2-1 제조예 2 최대 펄스 에너지의 6 %
비교예 2-2 제조예 2 최대 펄스 에너지의 7 %
비교예 2-3 제조예 2 최대 펄스 에너지의 8 %
비교예 2-4 제조예 2 최대 펄스 에너지의 9 %
비교예 3-1 제조예 3 최대 펄스 에너지의 6 %
비교예 3-2 제조예 3 최대 펄스 에너지의 7 %
비교예 3-3 제조예 3 최대 펄스 에너지의 8 %
비교예 3-4 제조예 3 최대 펄스 에너지의 9 %
[ 비교예 4 - 보호필름 제거 및 적외선 파장 레이저 조사]
제조예 3 에 다른 다층 구조체의 보호필름을 제거하고, 하기 표 5 에 따른 적외선 파장의 펄스 레이저를 상기 러빙 배향막에 직접 초점을 맞추어 조사하고, 배향막 식각 잔여물을 톨루엔을 이용하여 제거하여 액정 배향용 필름을 제조하였다.
레이저 조사 장비 redENERGY G4, SPI Laser社
출력(W) 50
파장(nm) 1064
주파수(kHz) 40
조사 속도(mm/s) 2,000
스폿 크기(㎛) 40
식각 간격(㎛) 38
오버랩(%) 25
[ 실험예 1 - 보호필름에의 배향막 잔여물 전사 여부 평가]
실시예 1-1 내지 실시예 1-3, 실시예 2-1 내지 실시예 2-3 및 실시예 3-1 내지 실시예 3-3 에 따른 액정 배향용 필름의 전도성 막 표면 및 상기 보호필름의 상기 다층 구조체에의 접착면을 광학현미경(BX51M, 올림푸스社)을 이용하여 촬영하고, 상기 광학현미경 화상을 도 5 내지 도 7 에 나타내었다.
도 5 는 실시예 1-1 내지 실시예 1-3 의 전도성 막 표면 및 보호필름의 접착면의 광학현미경 화상을 나타낸 것이다.
구체적으로 도 5 의 (a) 및 (b) 는 각각 실시예 1-1 의 전도성 막 표면 및 보호필름의 접착면의 광학현미경 화상을, (c) 및 (d) 는 각각 실시예 1-2 의 전도성 막 표면 및 보호필름의 접착면의 광학현미경 화상을, (e) 및 (f) 는 각각 실시예 1-3 의 전도성 막 표면 및 보호필름의 접착면의 광학현미경 화상을 나타낸 것이다.
도 5 에서 화살표(→)로 표시되는 영역은 펄스 레이저의 조사로 식각되고, 보호필름으로 전사되는 러빙 배향막의 식각 잔여물을 나타낸 것이다.
구체적으로 도 5 의 (a), (c) 및 (e) 에서 식각되는 러빙 배향막의 식각 잔여물은 도 5 의 (b), (d) 및 (f) 에 따라 보호필름의 접착면에 전사되는 것을 확인할 수 있었다.
도 5 에 따르면, 상기 펄스 레이저의 펄스 에너지가 증가함에 따라 식각되는 정도에 차이가 있으나, 다층 구조체의 러빙 배향막의 식각 잔여물이 보호필름의 표면으로 전사되는 것을 확인할 수 있으며, 전도성 막 표면의 패턴이 균일하게 유지됨에 따라, 상기 펄스 레이저의 조사에 의하여도 전도성 막의 손상이 최소화되는 것을 확인할 수 있었다.
도 6 은 실시예 2-1 내지 실시예 2-3 의 전도성 막 표면 및 보호필름의 접착면의 광학현미경 화상을 나타낸 것이다.
구체적으로 도 6 의 (a) 및 (b) 는 각각 실시예 2-1 의 전도성 막 표면 및 보호필름의 접착면의 광학현미경 화상을, (c) 및 (d) 는 각각 실시예 2-2 의 전도성 막 표면 및 보호필름의 접착면의 광학현미경 화상을, (e) 및 (f) 는 각각 실시예 2-3 의 전도성 막 표면 및 보호필름의 접착면의 광학현미경 화상을 나타낸 것이다.
도 6 에서 화살표(→)로 표시되는 영역은 펄스 레이저의 조사로 식각되고 보호필름으로 전사되는 러빙 배향막의 식각 잔여물을 나타낸 것이다. 또한, 도 6 에서 원형으로 표시되는 영역은 칼럼스페이서에 해당한다.
도 6 의 (a), (c), (e) 에 따르면, 펄스 레이저의 펄스 에너지가 증가함에 따라 식각되는 정도의 차이가 있으나, 다층 구조체의 러빙 배향막의 식각 잔여물이 보호필름의 표면으로 전사되는 것을 확인할 수 있었다. 또한, 상기 식각 잔여물에 해당하는 부분은 도 6 의 (b), (d) 및 (f) 에 따라 보호필름의 접착면에 전사되는 것을 확인할 수 있었다.
나아가, 도 6 에 따르면, 러빙 배향막의 컬럼스페이서에 인접하는 영역은 보호필름과 접하지 않게 되어, 보호필름을 박리하더라도 보호필름에 액정 배향막 식각 잔여물이 전사되지 않음을 확인할 수 있었다. 다만, 상기 전도성 막 표면의 패턴이 균일하게 유지됨에 따라, 상기 펄스 레이저의 조사에 의하여도 전도성 막의 손상이 최소화되는 것을 확인할 수 있었다.
도 7 은 실시예 3-1 내지 실시예 3-3 의 전도성 막 표면 및 보호필름의 접착면의 광학현미경 화상을 나타낸 것이다.
구체적으로 도 7 의 (a) 및 (b) 는 각각 실시예 3-1 의 전도성 막 표면 및 보호필름의 접착면의 광학현미경 화상을, (c) 및 (d) 는 각각 실시예 3-2 의 전도성 막 표면 및 보호필름의 접착면의 광학현미경 화상을, (e) 및 (f) 는 각각 실시예 3-3 의 전도성 막 표면 및 보호필름의 접착면의 광학현미경 화상을 나타낸 것이다.
도 7 에서 화살표(→)로 표시되는 영역은 펄스 레이저의 조사로 식각되고, 보호필름으로 전사되는 러빙 배향막 및 광배향막의 식각 잔여물을 나타낸 것이다. 또한, 도 7 에서 어두운 원형으로 표시되는 영역은 비드스페이서에 해당한다.
도 7 의 (a), (c) 및 (e)에 따르면 상기 펄스 레이저 조사에 의하여 식각되고 상기 보호필름에 전사되는 영역이 상기 펄스 레이저가 조사되는 영역과 일치하지 않는 것을 통하여, 전도성 막 상부의 광배향막과, 비드스페이서 상부의 배향막이 동시에 박리되는 것을 확인할 수 있었다.
나아가 도 7 의 (b), (d) 및 (f) 에 따라 상기 펄스 레이저 조사에 의한 식각 잔여물이 보호필름에 전사되는 것을 확인할 수 있었다.
도 5 내지 도 7 에 대한 내용을 종합하여 보면, 보호필름을 제거하지 않고 펄스 레이저를 조사하는 경우, 전도성 막의 손상을 최소화할 수 있음과 동시에 액정 배향막의 부분적 식각이 가능할 수 있으며, 상기 액정 배향막과 상기 전도성 막 사이에 별도의 스페이서가 구비되더라도 마찬가지임을 확인할 수 있었다. 또한, 상기 액정 배향막의 부분적 식각에 따른 액정 배향막의 잔여물은 상기 보호필름에 전사되어 박리가 가능한 것을 확인할 수 있었다.
[ 실험예 2 - 비교예의 전도성 표면 손상여부 평가]
비교예 1-2 내지 비교예 1-4, 비교예 2-3 내지 비교예 2-4 및 비교예 3-1 내지 비교예 3-4 에 따른 액정 배향용 필름의 전도성 막 표면을 광학현미경(BX51M, 올림푸스社)을 이용하여 촬영하고, 상기 광학현미경 화상을 도 8 내지 도 10 에 나타내었다.
비교예 1-2 내지 비교예 1-4 에 따른 액정 배향용 필름의 전도성 막 표면의 광학현미경 화상을 도 8 에 나타내었다.
구체적으로 도 8 의 (a), (b) 및 (c) 는 각각 비교예 1-2, 비교예 1-3 및 비교예 1-4 에 따른 액정 배향용 필름의 전도성 막 표면의 광학현미경 화상을 나타낸 것이다. 도 8 의 (a), (b) 및 (c) 각각의 중앙의 선을 기준으로 상부는 러빙 배향막이 식각되지 않은 영역을, 하부는 러빙 배향막이 식각된 영역을 나타낸 것이다.
또한, 도 8 에서 화살표(→)로 표시된 영역을 통하여 펄스 레이저가 조사된 전도성 막 표면이 손상된 것을 확인할 수 있었다.
도 8 에 따르면, 조사되는 펄스 레이저의 펄스 에너지에 따른 정도의 차이는 있으나, 중앙의 선 하부의 상대적으로 어두운 점으로 표시되는 영역을 통하여 상기 펄스 레이저의 조사로 인하여 전도성 막이 손상된 것을 확인할 수 있었다.
특히, 도 8 의 (c) 에 나타난 우측 중앙부의 액정 배향막의 식각 잔여물이 하부로 돌출된 것을 통하여, 펄스 레이저 조사 전 보호필름을 제거하는 경우, 상기 펄스 레이저의 조사 후 점착테이프를 이용하더라도 식각 잔여물이 제대로 제거되지 않는 문제점이 발생한 것을 확인할 수 있었다.
비교예 2-3 내지 비교예 2-4 에 따른 액정 배향용 필름의 전도성 막 표면의 광학현미경 화상을 도 9 에 나타내었다.
구체적으로 도 9 의 (a) 및 (b) 는 각각 비교예 2-3 및 비교예 2-4 에 따른 액정 배향용 필름의 전도성 막 표면의 광학현미경 화상을 나타낸 것이다. 도 9 의 (a) 및 (b) 각각의 중앙의 선을 기준으로 상부는 러빙 배향막이 식각되지 않은 영역을, 하부는 러빙 배향막이 식각된 영역을 나타낸 것이다.
특히, 도 9 에서 화살표(→)로 표시된 영역을 통하여 펄스 레이저가 조사된 전도성 막 표면이 손상된 것을 확인할 수 있었다.
특히, 도 9 (b) 우측 하부에 칼럼스페이서에 해당하는 영역이 나타난 것을 통하여, 다층 구조체의 형상과 무관하게 보호필름을 제거하고 직접 액정 배향막 표면에 레이저를 조사하는 경우 전도성 막의 손상이 일어나는 것을 확인할 수 있었다.
비교예 3-1 내지 비교예 3-4 에 따른 액정 배향용 필름의 전도성 막 표면의 광학현미경 화상을 도 10 에 나타내었다.
구체적으로, 도 10 의 (a), (b), (c) 및 (d) 은 각각 비교예 3-1, 비교예 3-2, 비교예 3-3 및 비교예 3-4 에 따른 액정 배향용 필름의 전도성 막 표면의 광학현미경 화상을 나타낸 것이다.
도 10 의 (a) 내지 (d) 각각의 중앙의 선을 기준으로 상부는 펄스 레이저가 조사된 영역을, 하부는 펄스 레이저가 조사되지 않은 영역을 나타낸 것이다.
도 10 의 (a) 내지 (d) 에 따르면, 액정 배향막이 제거되는 영역과 펄스 레이저가 조사된 영역이 일치하지 않는 것을 통하여, 러빙 배향막 및 광배향막이 동시에 제거되는 것을 확인할 수 있었다.
또한, 정도의 차이는 있지만, 도 10 에서 화살표(→)로 표시된 영역을 통하여 펄스 레이저가 조사된 전도성 막 표면이 손상된 것을 확인할 수 있었다.
또한, 도 10 에는 나타나지 않았지만, 별도의 비드스페이서가 구비되더라도, 보호필름을 제거하고 직접 액정 배향막 표면에 레이저를 조사하는 경우 전도성 막이 손상되는 것을 확인할 수 있었다.
도 8 내지 도 10 의 내용을 종합하여보면, 도 8 내지 도 10 에서 화살표로 나타낸 부분을 통하여, 펄스 레이저가 조사된 다층 구조체의 종류와 무관하게, 보호필름을 제거한 후 펄스 레이저를 조사하는 경우, 상기 펄스 레이저의 조사에 의하여 전도성 막의 손상이 일어나는 것을 확인할 수 있었다.
이하에서는, 상기 전도성 막의 손상의 정도를 보다 구체적으로 나타내기 위하여, 이를 정량화한 실험에 대한 내용을 설명한다.
[ 실험예 3 - 4 침 측정법]
비교예 1-1 내지 비교예 1-4, 비교예 2-1 내지 비교예 2-4 및 비교예 3-1 내지 비교예 3-4 에 따른 액정 배향용 필름의 전도성 막 표면에 4 개의 탐침을 사용하여, 각각의 면저항을 측정하였고, 3 회의 측정 값의 평균 값을 하기 표 6 에 나타내었다.
구분 면저항(Ω/sq)
비교예 1-1 253.0
비교예 1-2 506.8
비교예 1-3 690.4
비교예 1-4 1025.6
비교예 2-1 148.1
비교예 2-2 141.7
비교예 2-3 168.9
비교예 2-4 229.4
비교예 3-1 241.5
비교예 3-2 242.6
비교예 3-3 505.2
비교예 3-4 753.3
구체적으로, 면저항 값이 클 수록, 전도성 막의 손상 정도가 큰 것을 의미할 수 있다.
상기 표 6 에 따르면, 조사되는 펄스 레이저의 펄스 에너지가 증가할수록 면저항 값이 증가하므로, 조사되는 펄스 레이저의 펄스 에너지가 증가함에 따라 전도성 막이 손상되는 정도가 큰 것을 확인할 수 있었다.
또한, 펄스 레이저가 조사되는 다층 구조체의 종류(제조예 1 내지 제조예 3)에 따라 전도성 막이 손상되는 정도가 상이한 것을 확인할 수 있었다.
상기 내용을 종합하여 보면, 펄스 레이저 조사 전에 보호필름을 제거하는 경우, 전도성 막의 손상이 발생하고, 조사되는 펄스 레이저의 펄스 에너지가 증가할수록 전도성 막이 손상되는 정도가 크며, 펄스 레이저가 조사되는 다층 구조체의 종류에 따라 전도성 막의 손상 정도가 상이한 것을 확인할 수 있었다.
구체적으로, 동일한 펄스 에너지를 갖는 펄스 레이저가 조사되는 경우, 칼럼스페이서가 구비되는 경우, 비드스페이서가 구비되는 경우 및 스페이서가 구비되지 않는 경우 순으로 전도성 막의 손상 정도가 증가하는 것을 확인할 수 있었다.
이하에서는, 보호필름을 제거하지 않고 펄스 레이저를 조사하는 경우 전도성 막의 손상이 최소화 된 것을 나타내기 위한 고온·고습 내구성 평가에 대하여 설명한다.
[ 실험예 4 - 고온·고습 내구성 평가]
실시예 1-4, 실시예 3-4 및 비교예 4 에 따른 액정 배향용 필름을 각각 두장씩 준비하였다.
상기 두장의 액정 배향용 필름을 각각 상부필름 및 하부필름으로하고, 상기 하부필름의 전도성 막이 노출된 부분에 밀봉재를 도포하고, 전도성 막이 노출되지 않은 액정 배향막 부분에는 액정을 도포하였다.
상기 밀봉재 및 액정이 도포된 하부필름 상에 상부필름을 구비하고, 합착하여 시편을 제조하였다.
상기 실험시 사용된 시편의 모식도 및 이의 디지털 카메라 화상을 도 11 에 나타내었다.
도 11 (a) 는 상기 시편의 모식도이고, 도 11 의 (b) 는 실시예 1-4 및 실시예 3-4 에 따른 시편의 디지털 카메라 화상이다.
도 11 (a) 에서 화살표로 나타낸 부분이 펄스 레이저에 의하여 액정 배향막이 식각된 영역에 해당한다.
실시예 1-4 및 실시예 3-4 에 따른 시편은 60 ℃ 의 온도, 상대습도 90 % 의 조건에서 약 70 시간동안 방치하고, 상기 비교예 4 에 따른 시편은 60 ℃ 의 온도, 상대습도 90 % 의 조건에서 약 300 시간동안 방치하여, 고온·고습 내구성 실험을 수행하였다.
실시예 1-4 및 실시예 3-4 의 고온·고습 내구성 실험 평가 결과의 디지털 카메라 화상을 도 12 에 나타내었다. 구체적으로, 도 12 의 (a) 는 실시예 1-4, (b) 는 실시예 3-4 의 고온·고습 내구성 실험 평가 결과의 디지털 카메라 화상에 해당한다.
도 12 에 따르면, 본 발명의 일 실시상태에 따라 제조된 액정 배향용 필름을 이용하여 제조된 시편은 고온·고습 조건 하에서도 기포가 발생하지 않는 것을 확인할 수 있었다.
비교예 4 의 고온·고습 내구성 실험 평가용 시편의 평가 전/후의 디지털 카메라 화상을 도 13 에 나타내었다. 구체적으로, 도 13 (a) 는 평가 전, (b) 는 평가 후의 비교예 4 의 고온·고습 내구성 실험 평가용 시편의 디지털 카메라 화상을 나타낸 것이다.
한편, 도 13 에 따르면, 보호필름을 제거한 후 레이저를 조사하고, 상기 레이저가 적외선의 장파장 레이저인 비교예 4 의 액정 배향용 필름을 이용하여 제조된 시편은 고온·고습 조건 하에서 기포가 발생하는 것을 확인할 수 있었다.
상기 내용을 종합하여 보면, 상기 기포는 기포 차단 특성을 갖는 전도성 막이 손상되는 경우 발생하는 것이므로, 본 발명의 일 실시상태에 따라 제조된 액정 배향용 필름은 전도성 막의 손상이 최소화 된 것임을 확인할 수 있었다.
즉, 상기 내용을 통하여, 보호필름을 제거하지 않고, 보호필름에 인접하는 액정 배향막 표면에 초점을 맞추어, 피코 초 단위의 초단파 자외선 레이저를 조사하여야 전도성 막의 손상이 최소화된 액정 배향용 필름을 제조할 수 있음을 확인할 수 있었다.
또한, 이에 따라 제조된 액정 배향용 필름을 포함하는 액정 변색 소자는 고온·고습의 조건 하에서도 외부 환경 변화에 따른 수분 및/또는 기포의 유입이 차단되는 것을 통하여 상기 전도성 막의 손상이 최소화 된 것을 확인할 수 있었다.
10: 기재
20: 전도성 막
30, 31: 액정 배향막
40: 보호필름
100: 다층 구조체
110: 액정 배향용 필름
200: 펄스 레이저

Claims (13)

  1. 기재, 전도성 막, 액정 배향막 및 보호필름이 순차적으로 구비된 다층 구조체를 준비하는 단계;
    상기 다층 구조체 측에 펄스 레이저를 조사하여, 상기 액정 배향막의 일 영역을 식각하는 단계; 및
    상기 보호필름을 제거하여, 상기 전도성 막의 일 영역을 노출시키는 단계;를 포함하고,
    상기 펄스 레이저는 상기 보호필름에서 상기 액정 배향막 방향으로 조사되는 것인 액정 배향용 필름의 제조방법.
  2. 청구항 1 에 있어서,
    상기 기재는 고분자 기재인 것인 액정 배향용 필름의 제조방법.
  3. 청구항 1 에 있어서,
    상기 보호필름의 343 nm 파장에서의 광 투과도는 50 % 이상인 것인 액정 배향용 필름의 제조방법.
  4. 청구항 1 에 있어서,
    상기 전도성 막의 일 영역을 노출시키는 단계;는 상기 펄스 레이저 조사에 의하여 식각된 상기 액정 배향막의 잔여물과 함께 상기 보호필름을 제거하여 수행되는 것인 액정 배향용 필름의 제조방법.
  5. 청구항 1 에 있어서,
    상기 다층 구조체는 상기 보호필름 및 상기 액정 배향막 사이에 점착층을 더 포함하는 것인 액정 배향용 필름의 제조방법.
  6. 청구항 1 에 있어서,
    상기 다층 구조체는 상기 전도성 막 및 상기 액정 배향막 사이에 2 이상의 서로 이격된 스페이서를 더 포함하는 것인 액정 배향용 필름의 제조방법.
  7. 청구항 6 에 있어서,
    상기 스페이서는 컬럼스페이서 또는 비드스페이서인 것인 액정 배향용 필름의 제조방법.
  8. 청구항 1 에 있어서,
    상기 펄스 레이저는 상기 보호필름에 인접한 상기 액정 배향막의 표면에 초점을 맞추어 조사되는 것인 액정 배향용 필름의 제조방법.
  9. 청구항 1 에 있어서,
    상기 펄스 레이저는 피코 초 레이저인 것인 액정 배향용 필름의 제조방법.
  10. 청구항 1 에 있어서,
    상기 펄스 레이저의 최대 펄스 에너지는 50 μJ 이상 100 μJ 이하이고,
    상기 펄스 레이저의 펄스 에너지는 상기 최대 펄스 에너지의 5 % 이상 15 % 이하인 것인 액정 배향용 필름의 제조방법.
  11. 청구항 1 에 있어서,
    상기 펄스 레이저의 주파수는 10 kHz 이상 400 kHz 이하인 것인 액정 배향용 필름의 제조방법.
  12. 청구항 1 에 있어서,
    상기 펄스 레이저의 스폿 간격은 10 ㎛ 이상 100 ㎛ 이하인 것인 액정 배향용 필름의 제조방법.
  13. 청구항 1 에 있어서,
    상기 펄스 레이저의 조사 속도는 0.1 m/s 이상 10 m/s 이하인 것인 액정 배향용 필름의 제조방법.
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