KR20180090066A - 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 이송 위치 측정용 테스트 더미 및 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 측정 방법 - Google Patents
반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 이송 위치 측정용 테스트 더미 및 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 측정 방법 Download PDFInfo
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Abstract
반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 이송 위치 측정용 테스트 더미 및 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 측정 방법가 개시된다.
개시되는 이송 위치 측정용 테스트 더미는 감지 대상체를 담아두는 보관함과, 상기 감지 대상체를 고정시켜주는 고정 수단을 포함한 대상체 고정 장치와, 상기 보관함의 상기 감지 대상체를 상기 고정 수단으로 이송시키는 이송로봇이 준비된 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 설비에 적용되는 것에 있어서, 상기 감지 대상체의 크기와 동일하게 형성된 더미 몸체; 상기 고정 수단에 형성된 복수 개의 가이드 핀 홀을 인식, 또는 촬영할 수 있는 핀 홀 영상 측정 부재; 상기 더미 몸체가 상기 보관함에 보관된 상태에서, 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 슬롯과 상기 더미 몸체 사이의 간격이 측정되도록 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 상기 슬롯을 인식, 또는 촬영할 수 있는 슬롯 영상 측정 부재; 및 상기 핀 홀 영상 측정 부재, 또는 상기 슬롯 영상 측정 부재에서 측정된 정보를 미리 준비된 영상처리 컴퓨터로 전송할 수 있는 중앙 처리 부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
개시되는 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 측정 방법은 감지 대상체를 담아두는 보관함과, 상기 감지 대상체를 고정시켜주는 고정 수단을 포함한 대상체 고정 장치와, 상기 보관함의 상기 감지 대상체를 상기 고정 수단으로 이송시키는 이송로봇이 준비된 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 설비에 적용되는 것에 있어서, 상기 감지 대상체의 크기와 동일하게 형성된 더미 몸체와, 상기 고정 수단에 형성된 복수 개의 가이드 핀 홀을 인식, 또는 촬영할 수 있는 핀 홀 영상 측정 부재와, 상기 더미 몸체가 상기 보관함에 보관된 상태에서, 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 슬롯과 상기 더미 몸체 사이의 간격이 측정되도록 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 상기 슬롯을 인식, 또는 촬영할 수 있는 슬롯 영상 측정 부재와, 상기 핀 홀 영상 측정 부재, 또는 상기 슬롯 영상 측정 부재에서 측정된 정보를 미리 준비된 영상처리 컴퓨터로 전송할 수 있는 중앙 처리 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 위치 측정 방법에 있어서, (1) 상기 보관함에 보관된 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미가 상기 이송로봇에 얹혀지는 단계; (2) 상기 (1)단계에서 상기 이송로봇이 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미 를 상기 고정 수단의 상단부로 이송하는 단계; (3) 상기 (2)단계에서 상기 고정 수단의 상단부로 이송된 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미에 있어서, 상기 핀 홀 영상 측정 부재가 상기 고정 수단의 상기 가이드 핀 홀을 인식, 또는 촬영하는 단계; (4) (3)단계에서 인식, 또는 촬영된 영상을 상기 중앙 처리 부재로 전송하는 단계; (5) (4)단계에서 상기 중앙 처리 부재로 전송된 상기 영상을 상기 영상처리 컴퓨터로 전송하는 단계; (6) 상기 (5)단계에서 상기 영상처리 컴퓨터로 전송된 상기 영상으로, 상기이송 위치 측정용 테스트 더미가 상기 고정 수단의 미리 지정된 위치에 안착될 수 있는지 그 여부를 판단하는 단계;를 포함함으로써, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미의 중심이 상기 가이드 핀 홀의 중심과 정확하게 일치하는지 그 위치를 파악할 수 있는 것을 특징으로 한다
개시되는 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 이송 위치 측정용 테스트 더미 및 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 측정 방법에 의하면, 영상 측정 처리를 이용하여 감지 대상체가 정상적으로 이동될 수 있는지 확인하는 테스트 장비로, 감지 대상체가 보관함 내의 슬롯에 부딪히지 않도록 슬롯의 높이를 측정할 수 있고, 별도의 기준점이 형성되어 있지 않아도 리프트 핀 홀을 이용하여 제조 장비에서 감지 대상체가 이송되어야 하는 위치에 정상적으로 이송되는지 판단할 수 있는 장점이 있다.
개시되는 이송 위치 측정용 테스트 더미는 감지 대상체를 담아두는 보관함과, 상기 감지 대상체를 고정시켜주는 고정 수단을 포함한 대상체 고정 장치와, 상기 보관함의 상기 감지 대상체를 상기 고정 수단으로 이송시키는 이송로봇이 준비된 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 설비에 적용되는 것에 있어서, 상기 감지 대상체의 크기와 동일하게 형성된 더미 몸체; 상기 고정 수단에 형성된 복수 개의 가이드 핀 홀을 인식, 또는 촬영할 수 있는 핀 홀 영상 측정 부재; 상기 더미 몸체가 상기 보관함에 보관된 상태에서, 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 슬롯과 상기 더미 몸체 사이의 간격이 측정되도록 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 상기 슬롯을 인식, 또는 촬영할 수 있는 슬롯 영상 측정 부재; 및 상기 핀 홀 영상 측정 부재, 또는 상기 슬롯 영상 측정 부재에서 측정된 정보를 미리 준비된 영상처리 컴퓨터로 전송할 수 있는 중앙 처리 부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
개시되는 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 측정 방법은 감지 대상체를 담아두는 보관함과, 상기 감지 대상체를 고정시켜주는 고정 수단을 포함한 대상체 고정 장치와, 상기 보관함의 상기 감지 대상체를 상기 고정 수단으로 이송시키는 이송로봇이 준비된 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 설비에 적용되는 것에 있어서, 상기 감지 대상체의 크기와 동일하게 형성된 더미 몸체와, 상기 고정 수단에 형성된 복수 개의 가이드 핀 홀을 인식, 또는 촬영할 수 있는 핀 홀 영상 측정 부재와, 상기 더미 몸체가 상기 보관함에 보관된 상태에서, 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 슬롯과 상기 더미 몸체 사이의 간격이 측정되도록 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 상기 슬롯을 인식, 또는 촬영할 수 있는 슬롯 영상 측정 부재와, 상기 핀 홀 영상 측정 부재, 또는 상기 슬롯 영상 측정 부재에서 측정된 정보를 미리 준비된 영상처리 컴퓨터로 전송할 수 있는 중앙 처리 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 위치 측정 방법에 있어서, (1) 상기 보관함에 보관된 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미가 상기 이송로봇에 얹혀지는 단계; (2) 상기 (1)단계에서 상기 이송로봇이 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미 를 상기 고정 수단의 상단부로 이송하는 단계; (3) 상기 (2)단계에서 상기 고정 수단의 상단부로 이송된 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미에 있어서, 상기 핀 홀 영상 측정 부재가 상기 고정 수단의 상기 가이드 핀 홀을 인식, 또는 촬영하는 단계; (4) (3)단계에서 인식, 또는 촬영된 영상을 상기 중앙 처리 부재로 전송하는 단계; (5) (4)단계에서 상기 중앙 처리 부재로 전송된 상기 영상을 상기 영상처리 컴퓨터로 전송하는 단계; (6) 상기 (5)단계에서 상기 영상처리 컴퓨터로 전송된 상기 영상으로, 상기이송 위치 측정용 테스트 더미가 상기 고정 수단의 미리 지정된 위치에 안착될 수 있는지 그 여부를 판단하는 단계;를 포함함으로써, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미의 중심이 상기 가이드 핀 홀의 중심과 정확하게 일치하는지 그 위치를 파악할 수 있는 것을 특징으로 한다
개시되는 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 이송 위치 측정용 테스트 더미 및 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 측정 방법에 의하면, 영상 측정 처리를 이용하여 감지 대상체가 정상적으로 이동될 수 있는지 확인하는 테스트 장비로, 감지 대상체가 보관함 내의 슬롯에 부딪히지 않도록 슬롯의 높이를 측정할 수 있고, 별도의 기준점이 형성되어 있지 않아도 리프트 핀 홀을 이용하여 제조 장비에서 감지 대상체가 이송되어야 하는 위치에 정상적으로 이송되는지 판단할 수 있는 장점이 있다.
Description
본 발명은 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 이송 위치 측정용 테스트 더미 및 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 측정 방법에 관한 것이다.
반도체 소자는 수 만개에서 수십억 개의 전자부품들이 매우 작고 얇은 칩에 형성된 것이다.
이러한 반도체 소자를 만드는 중요한 재료로 사용되는 것이 바로 웨이퍼이다. 여기서, 웨이퍼란, 실리콘(Si), 갈륨 아세나이드(GaAs) 등을 성장시켜 얻은 단결정 기둥을 얇게 썬 원판모양의 판이다.
이러한 웨이퍼는 반도체 소자를 제조하기 위한 여러 제조 공정을 거쳐 그 표면에 트랜지스터나 다이오드 등의 소자가 만들어지고 몇 백개의 아이씨(IC)칩이 배열될 수 있다.
이러한 제조 공정에 있어서, 웨이퍼가 각 제조 단계에 맞게 이송되기 위해 이송로봇이 적용된다.
여기서, 종래에는 테스트 웨이퍼를 이용하여 웨이퍼를 적절한 위치에 이송될 수 있는지 판단을 하기 위한 방법이나 장치가 개발되었으며, 이러한 예로 제시될 수 있는 것이 아래에 제시된 특허문헌들의 그 것들이다.
그러나, 아래 제시된 특허문헌들을 포함한 종래의 웨이퍼를 이송하는 방법이나 장치에 의하면, 웨이퍼가 이송될 장치에 웨이퍼가 적절하게 이송되었는지에 대한 기준점을 별도로 형성하여야 했다.
여기서, 기준점이 형성되어 있지 않은 장치에는 별도의 기준점을 제작하여야 했으며 이에 따라 제작 비용 및 시간이 다소 소요되는 문제점이 있었다.
또한, 종래에는 웨이퍼의 종류에 맞게 제공되는 지그가 정상적인 위치에 적절하게 위치하였는지 확인하는 방법이 있었으나, 이러한 방법에 있어서 우선, 웨이퍼의 종류에 맞게 대응되는 지그도 별도로 생산하여야 하는 단점이 있었다.
또한, 예를 들어 동일한 슬롯으로 분할된 웨이퍼용 운송용기에 웨이퍼가 보관된 상태에서, 보관된 웨이퍼를 이송로봇으로 빼낼 때, 웨이퍼의 측면이 손상되지 않도록 하여야 하는데 이러한 웨이퍼의 측면이 손상되지 않도록 감지하는 장치가 개발되지 아니하였다.
또한, 웨이퍼가 이송되는 과정에 있어서, 제조 장치에 가해지는 진동을 감지하거나, 제조 장치 주변의 온습도 조건이 감지되어야 하는 경우가 있는데, 종래에는 이러한 조건들을 감지할 수 있는 수단이 그 제조 장치에 구비되어 있지 아니하였기 때문에, 그 제조 장치와 별도로 그러한 감지 수단들을 구비하여야 해서, 별도 구비에 따른 비용 상승 및 공간적 비효율성이 발생되는 문제가 있었다.
또한, 위와 같은 장치 및 방법에 있어, 일반적으로 블루투스 통신 기반의 시스템이 적용되었는데 이는 넓은 설비 환경에 비해 단거리 통신일 뿐만 아니라, 대량의 데이터를 전송할 수 없는 문제점이 있었다.
또한, 위 내용에서는 웨이퍼만을 제한하여 설명하였으나, 사각형 모양의 포토 마스크(Photo mask)나 엘씨디 패널(LCD Panel) 등이 사용되는 다른 제조 공정의 이송 역시, 정상적으로 이송이 이루어지고 있는지 확인할 수 있는 테스트 장비가 필요하였다.
본 발명은 영상 측정 처리를 이용하여 감지 대상체가 정상적으로 이동될 수 있는지 확인하는 테스트 장비로, 감지 대상체가 보관함 내의 슬롯에 부딪히지 않도록 슬롯의 높이를 측정할 수 있고, 별도의 기준점이 형성되어 있지 않아도 리프트 핀 홀을 이용하여 제조 장비에서 감지 대상체가 이송되어야 하는 위치에 정상적으로 이송되는지 판단할 수 있는 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 이송 위치 측정용 테스트 더미 및 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 측정 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 이송 위치 측정용 테스트 더미는 감지 대상체를 담아두는 보관함과, 상기 감지 대상체를 고정시켜주는 고정 수단을 포함한 대상체 고정 장치와, 상기 보관함의 상기 감지 대상체를 상기 고정 수단으로 이송시키는 이송로봇이 준비된 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 설비에 적용되는 것에 있어서, 상기 감지 대상체의 크기와 동일하게 형성된 더미 몸체; 상기 고정 수단에 형성된 복수 개의 가이드 핀 홀을 인식, 또는 촬영할 수 있는 핀 홀 영상 측정 부재; 상기 더미 몸체가 상기 보관함에 보관된 상태에서, 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 슬롯과 상기 더미 몸체 사이의 간격이 측정되도록 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 상기 슬롯을 인식, 또는 촬영할 수 있는 슬롯 영상 측정 부재; 및 상기 핀 홀 영상 측정 부재, 또는 상기 슬롯 영상 측정 부재에서 측정된 정보를 미리 준비된 영상처리 컴퓨터로 전송할 수 있는 중앙 처리 부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 측정 방법은 감지 대상체를 담아두는 보관함과, 상기 감지 대상체를 고정시켜주는 고정 수단을 포함한 대상체 고정 장치와, 상기 보관함의 상기 감지 대상체를 상기 고정 수단으로 이송시키는 이송로봇이 준비된 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 설비에 적용되는 것에 있어서, 상기 감지 대상체의 크기와 동일하게 형성된 더미 몸체와, 상기 고정 수단에 형성된 복수 개의 가이드 핀 홀을 인식, 또는 촬영할 수 있는 핀 홀 영상 측정 부재와, 상기 더미 몸체가 상기 보관함에 보관된 상태에서, 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 슬롯과 상기 더미 몸체 사이의 간격이 측정되도록 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 상기 슬롯을 인식, 또는 촬영할 수 있는 슬롯 영상 측정 부재와, 상기 핀 홀 영상 측정 부재, 또는 상기 슬롯 영상 측정 부재에서 측정된 정보를 미리 준비된 영상처리 컴퓨터로 전송할 수 있는 중앙 처리 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 위치 측정 방법에 있어서, (1) 상기 보관함에 보관된 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미가 상기 이송로봇에 얹혀지는 단계; (2) 상기 (1)단계에서 상기 이송로봇이 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미 를 상기 고정 수단의 상단부로 이송하는 단계; (3) 상기 (2)단계에서 상기 고정 수단의 상단부로 이송된 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미에 있어서, 상기 핀 홀 영상 측정 부재가 상기 고정 수단의 상기 가이드 핀 홀을 인식, 또는 촬영하는 단계; (4) (3)단계에서 인식, 또는 촬영된 영상을 상기 중앙 처리 부재로 전송하는 단계; (5) (4)단계에서 상기 중앙 처리 부재로 전송된 상기 영상을 상기 영상처리 컴퓨터로 전송하는 단계; (6) 상기 (5)단계에서 상기 영상처리 컴퓨터로 전송된 상기 영상으로, 상기이송 위치 측정용 테스트 더미가 상기 고정 수단의 미리 지정된 위치에 안착될 수 있는지 그 여부를 판단하는 단계;를 포함함으로써, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미의 중심이 상기 가이드 핀 홀의 중심과 정확하게 일치하는지 그 위치를 파악할 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 이송 위치 측정용 테스트 더미 및 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 측정 방법은 감지 대상체를 담아두는 보관함과, 상기 감지 대상체를 고정시켜주는 고정 수단을 포함한 대상체 고정 장치와, 상기 보관함의 상기 감지 대상체를 상기 고정 수단으로 이송시키는 이송로봇이 준비된 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 설비에 적용되는 것에 있어서, 상기 감지 대상체의 크기와 동일하게 형성된 더미 몸체; 상기 고정 수단에 형성된 복수 개의 가이드 핀 홀을 인식, 또는 촬영할 수 있는 핀 홀 영상 측정 부재; 상기 더미 몸체가 상기 보관함에 보관된 상태에서, 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 슬롯과 상기 더미 몸체 사이의 간격이 측정되도록 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 상기 슬롯을 인식, 또는 촬영할 수 있는 슬롯 영상 측정 부재; 및 상기 핀 홀 영상 측정 부재, 또는 상기 슬롯 영상 측정 부재에서 측정된 정보를 미리 준비된 영상처리 컴퓨터로 전송할 수 있는 중앙 처리 부재;를 포함함으로써, 영상 측정 처리를 이용하여 감지 대상체가 정상적으로 이동될 수 있는지 확인하는 테스트 장비로, 감지 대상체가 보관함 내의 슬롯에 부딪히지 않도록 슬롯의 높이를 측정할 수 있고, 별도의 기준점이 형성되어 있지 않아도 리프트 핀 홀을 이용하여 제조 장비에서 감지 대상체가 이송되어야 하는 위치에 정상적으로 이송되는지 판단할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송 위치 측정용 테스트 더미를 사용하기 위한 이송로봇 및 프로세스 챔버가 준비된 환경을 개략적으로 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송 위치 측정용 테스트 더미를 위에서 내려다본 도면.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송 위치 측정용 테스트 더미를 정면에서 바라본 정면도.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 프로세스 챔버 내부를 위에서 내려다본 도면.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 핀 홀 영상 측정 부재가 가이드 핀 홀을 인식하되, 이송 위치 측정용 테스트 더미의 중심이 고정 수단에 형성된 상기 가이드 핀 홀의 중심과 일치하지 않은 모습을 개략적으로 나타낸 도면.
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 홀 영상 측정 부재가 가이드 핀 홀을 인식하되, 이송 위치 측정용 테스트 더미의 중심이 고정 수단에 형성된 상기 가이드 핀 홀의 중심과 일치하지 않은 모습을 개략적으로 나타낸 도면.
도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송 위치 측정용 테스트 더미가 가이드 핀 홀을 적절한 위치에서 인식한 모습을 개략적으로 나타낸 도면.
도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 슬롯 영상 측정 부재가 일측 슬롯과 타측 슬롯을 인식하는 모습을 개략적으로 나타낸 도면.
도 9는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송로봇을 이용하여 보관함의 이송위치 측정용 테스트 더미를 안전하게 보관함 외측으로 빼거나 내부로 넣을 수 있는지 그 위치를 정확하게 측정하는 것에 대한 방법에 대한 순서도.
도 10은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송로봇에 의해 고정 수단으로 이송된 이송 위치 측정용 테스트 더미의 중심이 고정 수단에 형성된 상기 가이드 핀 홀의 중심과 정확하게 일치하는지 그 위치를 측정하는 방법에 대한 순서도.
도 11은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 도 8의 A에 대한 확대도.
도 12는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 오염 감지용 카메라가 형성된 이송 위치 측정용 테스트 더미를 정면에서 바라본 정면도.
도 13은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 핀 홀 촬영용 이미지센서에 고정 수단이 접촉된 상태에 대한 모습을 확대한 확대도.
도 14는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 스크린 부재에 고정 수단이 접촉된 상태에 대한 모습을 확대한 확대도.
도 15는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 전방 카메라 부재를 포함하는 이송 위치 측정용 테스트 더미를 위에서 내려다본 도면.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송 위치 측정용 테스트 더미를 위에서 내려다본 도면.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송 위치 측정용 테스트 더미를 정면에서 바라본 정면도.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 프로세스 챔버 내부를 위에서 내려다본 도면.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 핀 홀 영상 측정 부재가 가이드 핀 홀을 인식하되, 이송 위치 측정용 테스트 더미의 중심이 고정 수단에 형성된 상기 가이드 핀 홀의 중심과 일치하지 않은 모습을 개략적으로 나타낸 도면.
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 홀 영상 측정 부재가 가이드 핀 홀을 인식하되, 이송 위치 측정용 테스트 더미의 중심이 고정 수단에 형성된 상기 가이드 핀 홀의 중심과 일치하지 않은 모습을 개략적으로 나타낸 도면.
도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송 위치 측정용 테스트 더미가 가이드 핀 홀을 적절한 위치에서 인식한 모습을 개략적으로 나타낸 도면.
도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 슬롯 영상 측정 부재가 일측 슬롯과 타측 슬롯을 인식하는 모습을 개략적으로 나타낸 도면.
도 9는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송로봇을 이용하여 보관함의 이송위치 측정용 테스트 더미를 안전하게 보관함 외측으로 빼거나 내부로 넣을 수 있는지 그 위치를 정확하게 측정하는 것에 대한 방법에 대한 순서도.
도 10은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송로봇에 의해 고정 수단으로 이송된 이송 위치 측정용 테스트 더미의 중심이 고정 수단에 형성된 상기 가이드 핀 홀의 중심과 정확하게 일치하는지 그 위치를 측정하는 방법에 대한 순서도.
도 11은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 도 8의 A에 대한 확대도.
도 12는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 오염 감지용 카메라가 형성된 이송 위치 측정용 테스트 더미를 정면에서 바라본 정면도.
도 13은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 핀 홀 촬영용 이미지센서에 고정 수단이 접촉된 상태에 대한 모습을 확대한 확대도.
도 14는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 스크린 부재에 고정 수단이 접촉된 상태에 대한 모습을 확대한 확대도.
도 15는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 전방 카메라 부재를 포함하는 이송 위치 측정용 테스트 더미를 위에서 내려다본 도면.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 이송 위치 측정용 테스트 더미 및 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 측정 방법에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송 위치 측정용 테스트 더미를 사용하기 위한 이송로봇 및 프로세스 챔버가 준비된 환경을 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송 위치 측정용 테스트 더미를 위에서 내려다본 도면이고, 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송 위치 측정용 테스트 더미를 정면에서 바라본 정면도이고, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 프로세스 챔버 내부를 위에서 내려다본 도면이고, 도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 핀 홀 영상 측정 부재가 가이드 핀 홀을 인식하되, 이송 위치 측정용 테스트 더미의 중심이 고정 수단에 형성된 상기 가이드 핀 홀의 중심과 일치하지 않은 모습을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 홀 영상 측정 부재가 가이드 핀 홀을 인식하되, 이송 위치 측정용 테스트 더미의 중심이 고정 수단에 형성된 상기 가이드 핀 홀의 중심과 일치하지 않은 모습을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송 위치 측정용 테스트 더미가 가이드 핀 홀을 적절한 위치에서 인식한 모습을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 슬롯 영상 측정 부재가 일측 슬롯과 타측 슬롯을 인식하는 모습을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 9는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송로봇을 이용하여 보관함의 이송위치 측정용 테스트 더미를 안전하게 보관함 외측으로 빼거나 내부로 넣을 수 있는지 그 위치를 정확하게 측정하는 것에 대한 방법에 대한 순서도이고, 도 10은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송로봇에 의해 고정 수단으로 이송된 이송 위치 측정용 테스트 더미의 중심이 고정 수단에 형성된 상기 가이드 핀 홀의 중심과 정확하게 일치하는지 그 위치를 측정하는 방법에 대한 순서도이고, 도 11은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 도 8의 A에 대한 확대도이다.
이송 위치 측정용 테스트 더미(100)는 감지 대상체(50)를 담아두는 보관함(10)과, 상기 감지 대상체(50)를 고정시켜주는 고정 수단(27)을 포함한 대상체 고정 장치(25)와, 상기 보관함(10)의 상기 감지 대상체(50)를 상기 고정 수단(27)으로 이송시키는 이송로봇(30)이 준비된 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 설비에 적용되는 것에 있어서, 상기 감지 대상체(50)의 크기와 동일하게 형성된 더미 몸체(110)와, 상기 고정 수단(27)에 형성된 복수 개의 가이드 핀 홀(22)을 인식, 또는 촬영할 수 있는 핀 홀 영상 측정 부재(120)와, 상기 핀 홀 영상 측정 부재(120)에서 측정된 정보를 미리 준비된 영상처리 컴퓨터(60)로 전송할 수 있는 중앙 처리 부재(140)를 포함한다.
이송 위치 측정용 테스트 더미(100)는 감지 대상체(50)를 담아두는 보관함(10)과, 상기 감지 대상체(50)를 고정시켜주는 고정 수단(27)을 포함한 대상체 고정 장치(25)와, 상기 보관함(10)의 상기 감지 대상체(50)를 상기 고정 수단(27)으로 이송시키는 이송로봇(30)이 준비된 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 설비에 적용되는 것에 있어서, 상기 감지 대상체(50)의 크기와 동일하게 형성된 더미 몸체(110)와, 상기 더미 몸체(110)가 상기 보관함(10)에 보관된 상태에서, 상기 더미 몸체(110) 상단에 배치된 상기 보관함(10)의 슬롯(11, 12)과 상기 더미 몸체(110) 사이의 간격이 측정되도록 상기 더미 몸체(110) 상단에 배치된 상기 보관함(10)의 상기 슬롯(11, 12)을 인식, 또는 촬영할 수 있는 슬롯 영상 측정 부재(130)와, 상기 슬롯 영상 측정 부재(130)에서 측정된 정보를 미리 준비된 영상처리 컴퓨터(60)로 전송할 수 있는 중앙 처리 부재(140)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)는 더미 몸체(110)와, 핀 홀 영상 측정 부재(120)와, 중앙 처리 부재(140)를 포함하거나, 또는 더미 몸체(110)와, 슬롯 영상 측정 부재(130)와, 중앙 처리 부재(140)를 포함하는 것으로 구현될 수도 있고, 더미 몸체(110)와, 핀 홀 영상 측정 부재(120)와, 슬롯 영상 측정 부재(130)와, 중앙 처리 부재(140)를 모두 포함하는 것으로 구현될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 더미 몸체(110)와, 핀 홀 영상 측정 부재(120)와, 슬롯 영상 측정 부재(130)와, 중앙 처리 부재(140) 모두를 포함하는 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)를 예로 들어 설명한다.
도 1 내지 도 11을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)는 상기 더미 몸체(110)와, 상기 핀 홀 영상 측정 부재(120)와, 상기 슬롯 영상 측정 부재(130)와, 상기 중앙 처리 부재(140)를 포함한다.
이러한 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)는 센싱 부재(150)를 더 포함할 수 있다.
상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)는 영상 측정 처리 방법을 이용하여, 감지 대상체(50)가 정상적으로 이동될 수 있는지 확인하는 테스트 장비로, 상기 감지 대상체(50)의 이송이 정상적으로 이루어지는지를 확인하는 테스트 기기이다.
상기 감지 대상체(50)는 본 실시예에서는 일반적으로 원형의 얇은 판으로 형성된 웨이퍼 모양으로 예시를 들었으나, 목적에 따라서 사각형의 포토 마스크나, 엘씨디 패널이 될 수 있음은 물론이다.
이러한 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)는 상기 감지 대상체(50)를 담아두는 보관함(10)과, 상기 감지 대상체(50)를 고정시켜주는 고정 수단(27)을 포함한 대상체 고정 장치(25)와, 상기 보관함(10)의 상기 감지 대상체(50)를 상기 고정 수단(27)으로 이송시키는 이송로봇(30)이 준비된 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 설비에 적용된다.
상기 보관함(10)은 동일한 폭의 슬롯(11,12)으로 분할되고 한 폭의 상기 슬롯(11,12)마다 단 일개의 상기 감지 대상체(50)가 각각 보관되는 것으로, 상기 감지 대상체(50)가 다른 장비로 이송되기 전에 보관되어지는 이송용기(FOUP, Front Opening Unified Pod)이다.
상기 대상체 고정 장치(25)는 상기 감지 대상체(50)가 장착되어 공정이 이루어지는 공간인 프로세스 챔버(20) 내에 배치되고, 상기 감지 대상체(50)를 고정하는 상기 고정 수단(27)이 형성되어 있다.
이러한 상기 고정 수단(27)은 예를 들어, 상기 감지 대상체(50)가 웨이퍼로 제공될 때, 정전기 힘으로 상기 감지 대상체(50)를 고정할 수 있는 정전척(ESC, Electro static chuck), 또는 맞물림에 의한 고정 방식을 이용하는 클램핑(Clamping) 장치 등으로 형성될 수 있다.
이러한 상기 고정 수단(27)의 그 하부에는 가이드 핀 홀(22)이 형성되고, 상기 가이드 핀 홀(22)에서 상기 고정 수단(27)이 일정길이 인장되어 상기 감지 대상체(50)의 밑면과 접촉하여 상기 감지 대상체(50)를 지지해준다.
이러한 상기 고정 수단(27)은 일반적으로 3개 이상 존재하고, 복수 개의 상기 고정 수단(27)의 중심이 상기 고정 수단(27)에 얹혀지는 상기 감지 대상체(50)의 중심과 일치해야 상기 감지 대상체(50)가 정상적인 위치에 안착된 것이며, 공정 과정에 있어서 불량품을 줄일 수 있다.
그러나, 복수 개의 상기 고정 수단(27)의 중심이 상기 고정 수단(27)에 얹혀지는 상기 감지 대상체(50)의 중심과 일치하지 않으면, 상기 감지 대상체(50)가 비정상적인 위치에 안착된 것으로, 공정 과정에 있어 불량품을 다량 발생시킬 수 있다.
상기 더미 몸체(110)는 상기 감지 대상체(50)를 대신하여 상기 감지 대상체(50)가 정상적으로 이동되는지를 확인하기 위해 상기 감지 대상체(50)의 크기와 동일하게 형성된 것으로, 예를 들어, 상기 감지 대상체(50)가 웨이퍼로 제공되어 원형의 얇은 판으로 형성되어 있으면, 상기 더미 몸체(110) 역시 원형의 얇은 판으로 형성될 수 있다.
이러한 상기 더미 몸체(110)의 가장자리는 상기 보관함(10)에 보관될 때, 상기 슬롯(11,12)에 얹혀질 수 있다.
상기 핀 홀 영상 측정 부재(120)는 상기 대상체 고정 장치(25)에 형성된 복수 개의 상기 가이드 핀 홀(22)을 인식, 또는 촬영할 수 있는 것으로, 복수 개의 상기 가이드 핀 홀(22)을 각각 측정하도록 하는 복수 개의 핀 홀 카메라(121, 122, 123)로 형성된다.
상기 핀 홀 촬영용 카메라(121, 122, 123)는 상기 가이드 핀 홀(22)의 인식 범위, 또는 촬영 범위가 미리 설정되어 있는 것으로, 도 5에 도시된 도면번호 124, 125, 126이 상기 핀 홀 촬영용 카메라(121, 122, 123)가 각각 그에 대응되는 상기 가이드 핀 홀(22)을 인식하는 인식 범위, 또는 촬영 범위이다.
본 실시예에서는 상기 가이드 핀 홀(22)이 3개로 형성되어 있고, 이러한 상기 가이드 핀 홀(22)을 인식할 수 있도록 상기 핀 홀 영상 측정 부재(120)는 제 1 핀 홀 촬영용 카메라(121)와, 제 2 핀 홀 촬영용 카메라(122)와 제 3 핀 홀 촬영용 카메라(123)로 형성되어 있다. 그러나, 상기 가이드 핀 홀(22)이 다른 복수 개로 형성될 수 있음은 물론이므로, 상기 핀 홀 촬영용 카메라(121, 122, 123) 역시, 다른 복수 개로 형성될 수 있음은 물론이다.
자세히, 상기 제 1 핀 홀 촬영용 카메라(121)는 제 1 범위(124)에 해당되는 부분을 인식 또는 촬영하고, 상기 제 2 핀 홀 촬영용 카메라(122)는 제 2 범위(125)에 해당되는 부분을 인식 또는 촬영하고, 상기 제 3 핀 홀 촬영용 카메라(123)는 제 3 범위(126)에 해당되는 부분을 인식 또는 촬영한다.
상기와 같이 형성된 상태에서 상기 이송로봇(30)에 의해 상기 대상체 고정 장치(25)의 상단부로 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)가 이송되면, 상기 핀 홀 촬영용 카메라(121, 122, 123)가 상기 제 1 범위(124) 및 상기 제 2 범위(125) 및 상기 제 3 범위(126)를 촬영한다.
여기서, 상기 각 범위(124, 125, 126)는 그에 대응되는 상기 가이드 핀 홀(22)에 근접한 위치이다.
상기와 같이 촬영된 상기 영상을 상기 중앙 처리 부재(140)에서 영상처리 컴퓨터(60)로 전송하면, 상기 영상처리 컴퓨터(60)에서 상기 가이드 핀 홀(22)의 위치 값을 계산하고 이러한 상기 가이드 핀 홀(22)의 위치 값을 이용하여 상기 가이드 핀 홀의 중심(23)을 계산한다.
여기서, 상기 제 1 범위(124) 및 상기 제 2 범위(125) 및 상기 제 3 범위(126)가 촬영된 상기 영상에서 상기 가이드 핀 홀(22)을 인식하는 것은 색상 명암을 구별할 수 있는 비전(Vision) 기술을 이용한다.
상기 가이드 핀 홀(22)은 그 주변보다 상대적으로 어두운 명암을 띄므로, 각각의 상기 제 1 범위(124), 상기 제 2 범위(125), 상기 제 3 범위(126)에서 촬영된 영상에서 상대적으로 어두운 부분을 상기 가이드 핀 홀(22)의 위치로 판단할 수 있다.
여기서, 각각의 상기 제 1 범위(124), 상기 제 2 범위(125), 상기 제 3 범위(126)에서 촬영된 상기 가이드 핀 홀(22)의 위치를 위치 값으로 출력하고, 각각의 상기 위치 값을 이용하여 상기 가이드 핀 홀의 중심(23)을 계산한다.
상기와 같이 구해진 상기 가이드 핀 홀의 중심(23)이 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)의 중심(127)과 동일하다면 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)가 상기 고정 수단(27)에 정확하게 이송되었다고 판단을 한다.
그러나, 도 5, 또는 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 비전 기술을 이용하여 구해진 상기 가이드 핀 홀의 중심(23)이 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미의 중심(127)과 일치하지 않으면, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)가 상기 고정 수단(27)에 부정확하게 이송되었다고 판단한다. 나아가, 상기 영상처리 컴퓨터(60)에서 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미의 중심(127)과 상기 가이드 핀 홀의 중심(23)인 두 점을 잇는 선분을 구하고 그 선분의 기울기를 구함으로써, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)가 상기 고정 수단(27)에 정확하게 이송되기 위한 수정될 위치 값을 계산할 수 있다.
자세히, 예를 들어, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)의 중심(127)의 좌표 값을 (0,0)으로 지정하였을 때, 상기 제 1 범위(124)에서 측정된 상기 가이드 핀 홀(22)의 위치 값인 (x1,y1)가 (-2.3)으로 측정되고, 상기 제 2 범위(125)에서 측정된 상기 가이드 핀 홀(22)의 위치 값인 (x2,y2)가 (2,5)으로 측정되고, 상기 제 3 범위(126)에서 측정된 상기 가이드 핀 홀(22)의 위치 값인 (x3, y3)가 (0,-2)라고 하였을 때, 상기 가이드 핀 홀(22)의 위치 값인 (x0,y0)은 무게중심을 구하는 방식인 
으로 구한다. 상기의 식을 사용하여 상기 가이드 핀 홀(22)의 위치 값을 구하면, 으로, (0,2)의 값이 나오게 되어 상기 가이드 핀 홀의 중심(23)을 구할 수 있게 된다. 나아가, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)의 중심(127)의 좌표 값인 (0,0)과 계산된 상기 가이드 핀 홀의 중심(23)의 좌표 값인 (0,2)을 선분으로 이어 그 기울기를 구하고 그 거리를 구하게 되면, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)가 상기 고정 수단(27)에 정확하게 이송되기 위한 수정될 위치 값을 계산할 수 있다.
본 실시예에서는 상기 가이드 핀 홀(22)이 3개이고, 상기 핀 홀 촬영용 카메라(121, 122, 123) 역시 3개로 제한하였으나, 상기 가이드 핀 홀(22)을 2개 이상 인식하여도 그 중심을 계산할 수 있으므로, 상기 가이드 핀 홀(22)과 상기 핀 홀 촬영용 카메라(121, 122, 123)이 다른 복수 개로 존재하여 그 중심을 계산할 수 있음은 물론이다.
상기 슬롯 영상 측정 부재(130)는 상기 더미 몸체(110)가 상기 보관함(10)에 보관된 상태에서 상기 더미 몸체(110) 상단에 배치된 상기 보관함(10)의 슬롯(11,12)과 상기 더미 몸체(110) 사이의 간격이 측정되도록 상기 더미 몸체(110) 상단에 배치된 상기 보관함(10)의 상기 슬롯(11,12)을 인식, 또는 촬영할 수 있는 것으로, 상기 더미 몸체(110)의 지름 선상에 형성되어 있다.
자세히, 상기 슬롯 영상 측정 부재(130)는 상기 더미 몸체(110)의 양측 상단에 배치되어 있는 일측 슬롯(11)과 타측 슬롯(12)을 각각 인식할 수 있는 일측 슬롯 카메라(131)와 타측 슬롯 카메라(132)를 포함하고, 상기 일측 슬롯 카메라(131)와 상기 타측 슬롯 카메라(132)는 각각 상기 일측 슬롯(11)과 상기 타측 슬롯(12)의 인식 범위, 또는 촬영 범위가 미리 설정되어 있다.
일반적으로, 한 쌍의 상기 일측 슬롯(11)과 상기 타측 슬롯(12)이 수평선 상에 위치함으로, 이에 대응하게 상기 일측 슬롯 카메라(131)와 상기 타측 슬롯 카메라(132)가 동일한 수평선 상에 존재한다.
본 실시예에서의 일측 방향은 도 8에 도시된 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)의 중심(127)을 기준으로 상기 일측 슬롯 카메라(131)가 형성된 측을 말한다.
도면번호 133은 상기 일측 슬롯 카메라(131)가 인식 또는 촬영할 수 있는 일측 인식 범위이며, 도면번호 134는 상기 타측 슬롯 카메라(132)가 인식 또는 촬영할 수 있는 타측 인식 범위이다.
상기와 같이 형성되면, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 보관함(10)에 보관된 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)의 저면부에서 상기 이송로봇(30)이 삽입되면서 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)를 일정 높이 들어 올리면, 상기 일측 슬롯 카메라(131)가 상기 더미 몸체(110)의 일측 상단에 배치된 상기 일측 슬롯(11)을 인식 또는 촬영하고, 촬영된 영상을 상기 중앙 처리 부재(140)로 전송한다. 또한 상기 타측 슬롯 카메라(132) 역시, 상기 더미 몸체(110)의 타측 상단에 배치된 상기 타측 슬롯(12)을 인식 또는 촬영하고, 촬영된 영상을 상기 중앙 처리 부재(140)로 전송한다.
그런 다음, 상기 중앙 처리 부재(140)의 와이파이(Wifi) 통신을 이용하여 상기 영상처리 컴퓨터(60)로 상기 영상을 전송한다.
그런 다음 상기 영상을 이용하여, 후술될 계산법을 이용하여 상기 슬롯 영상 측정 부재(130)를 이용하여 상기 슬롯(11,12)과 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)의 간격을 구한다.
그런 다음, 상기 중앙 처리 부재(140)의 와이파이 통신을 이용하여 상기 영상처리 컴퓨터(60)로 상기 영상을 전송한다.
그런 다음 상기 영상을 이용하여, 후술될 계산법을 이용하여 상기 슬롯 영상 측정 부재(130)를 이용하여 상기 슬롯(11,12)과 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)의 간격을 구한다.
도 11에 도시된 H는 상기 슬롯 영상 측정 부재(130)를 이용하여 측정된 값들을 이용하여 아래와 같이 연산된 값으로, 상기 슬롯(11,12)과 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)의 간격 값으로 미리 상기 영상처리 컴퓨터(60)에 입력된 정상적인 비교값(H')과 비교된다.
즉, 상기와 같이 측정되어 연산된 높이 값인 상기 H의 값이 상기와 같이 미리 입력된 상기 H'의 값과 일치하는지 판단하여, 상기 이송로봇(30)을 이용하여 상기 보관함(10)의 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)를 안전하게 상기 보관함(10)의 외측으로 빼거나 내부로 넣을 수 있는지를 판단하는 것이다.
h1은 상기 일측 슬롯 카메라(131)에서 촬영된 일측 인식 범위(133)의 상기 영상을 상기 영상처리 컴퓨터(60)의 비전 기술을 이용하여 처리하여 추출된 상기 일측 슬롯(11) 저면과 상기 더미 몸체(110) 간의 수직 간격값이다.
d1은 상기 보관함(10) 내벽면에서 상기 일측 슬롯 카메라(131)까지의 수평 거리이고, 이 값은 상기 영상처리 컴퓨터(60)에 미리 입력되어 있는 값이다.
h4는 상기 일측 슬롯(11) 높이의 절반값으로, 이 값은 상기 영상처리 컴퓨터(60)에 미리 입력된 값이다.
h5는 상기 더미 몸체(110) 상단부에서 상기 일측 측정 카메라(131)의 중앙까지의 수직 거리로, 이 값은 상기 영상처리 컴퓨터(60)에 미리 입력된 값이다.
θ는 90°에서 상기 일측 측정 카메라(131)가 촬영하는 방향의 가상의 중앙선으로부터 상기 더미 몸체(110)까지의 촬영되는 각도를 제외한 연산 값으로, 이 값은 상기 영상처리 컴퓨터(60)에 미리 입력된 값이다.
h2는 상기 h1에서 제거되어야 하는 높이 값으로, 미리 입력된 θ을 이용하여 h2=d1*tan(180-θ)의 식으로 구해지는 간격으로, 상기 식에 이용되는 상기 d1 및 상기 θ가 미리 입력된 값이므로, 상기 h2 역시 미리 입력된 값으로 미리 계산이 가능하다.
h3은 상기 h1에서 상기 h2가 제거된 값으로 h3 = h1 - h2 의 식으로 구한다.
상기와 같이 정해진 값들을 아래 수식에 대입하여 상기 H값이 연산된다.
H = h3 + h4 + h5
상기와 같이 연산된 상기 H 값을 미리 입력된 상기 H'값과 비교하면, 상기 이송 위치측정용 테스트 더미(100)가 상기 이송로봇(30)에 의해 상기 보관함(10)에서 빼내어지거나 상기 보관함(10)으로 넣을 때, 안전한 작업이 이루어지는지 판단할 수 있다.
본 실시예에서는 상기 일측 슬롯 카메라(131)를 이용한 측정 방법에 대하여 예를 들었으나, 상기 타측 슬롯 카메라(132) 역시 상기 일측 슬롯 카메라(131)의 방식과 동일한 측정 방법을 사용한다.
상기와 같이 형성되면, 상기 일측 슬롯 카메라(131)측에서 측정되어 계산된 상기 H 값과, 상기 타측 슬롯 카메라(132)측에서 측정되어 계산된 H 값을 비교하면, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)의 일측과 타측에 대한 기울기가 수평인지 판단할 수 있다.
또한, 상기 일측 슬롯 카메라(131)에서 측정되어 계산된 상기 H 값과 상기 타측 슬롯 카메라(132)에서 측정되어 계산된 H 값의 차이 역시 계산이 가능하며, 이를 통해 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)가 정확하게 이송될 수 있는지 판단할 수 있음은 물론이다.
상기 중앙 처리 부재(140)는 상기 핀 홀 영상 측정 부재(120), 또는 상기 슬롯 영상 측정 부재(130)에서 측정된 정보를 미리 준비된 상기 영상처리 컴퓨터(60)로 전송할 수 있는 것으로, 상기 정보를 저장할 수 있는 저장 공간이 제공되고, 상기 정보를 상기 영상처리 컴퓨터(60)로 전송할 수 있는 와이파이 통신 모듈(미도시)이 내장되어 있다.
상기와 같이 상기 정보를 상기 영상처리 컴퓨터(60)로 전송할 때, 와이파이통신을 할 수 있으므로, 종래의 블루투스(bluetooth) 기반의 통신보다 장거리로 통신이 가능하면서도 대량의 데이터를 빠르게 전송할 수 있는 장점이 있다.
본 실시예에서는 상기 핀 홀 영상 측정 부재(120), 또는 상기 슬롯 영상 측정 부재(130)에서 촬영된 영상 및 상기 센싱 부재(150)에서 측정된 측정 값이 상기 중앙 처리 부재(140)로 전송되어 상기 영상처리 컴퓨터(60)로 전송된다. 그러나, 상기 핀 홀 영상 측정 부재(120)의 각 카메라(121, 122, 123), 상기 슬롯 영상 측정 부재(130)의 각 카메라(131, 132), 및 상기 센싱 부재(150)의 각 센서마다 개별적으로 와이파이 통신이 가능한 와이파이 칩이 내장되어, 각각 측정되거나 촬영된 정보를 상기 중앙 처리 부재(140)를 거치지 않고도 상기 영상처리 컴퓨터(60)로 독립적인 형태로 송신할 수 있도록 형성될 수 있음은 물론이다.
또한, 본 실시예에서는 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)가 정상적으로 이동되는지 확인하기 위한 연산이 상기 영상처리 컴퓨터(60)에서 연산되도록 형성되었으나, 상기 중앙 처리 부재(140) 자체에서 연산하고, 연산된 값만 상기 영상처리 컴퓨터(60)에 발송할 수 있도록 형성될 수 있음은 물론이다.
본 실시예에서는 상기 중앙 처리 부재(140)와 상기 영상처리 컴퓨터(60)간의 통신에 있어 와이파이 통신이 가능하도록 형성되었으나, 블루투스, 알에프(RF) 등 다른 무선 통신으로 통신할 수 있도록 형성될 수 있음은 물론이다.
상기 센싱 부재(150)는 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)의 주변 환경의 변화와 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100) 자체의 기울기를 측정할 수 있는 것이다.
여기서, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100) 자체의 기울기를 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)의 기울어진 정도로 정의될 수 있다.
이러한 상기 센싱 부재(150)는 상기 더미 몸체(110)에 형성되어, 상기 더미 몸체(110) 자체의 진동을 측정할 수 있는 진동센서, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100) 자체의 기울기를 측정하는 기울기 센서, 상기 더미 몸체(110) 주변의 온습도를 측정할 수 있는 온·습도센서, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100) 주변의 가스 여부를 측정하는 가스 센서, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100) 주변의 기압을 측정하는 기압 센서 등 다양한 센서가 하나의 모듈로 형성되어 상기 센싱 부재(150)에 내장되어 있으며, 이러한 각각의 센서에서 측정된 측정 값이 상기 중앙 처리 부재(140)로 전송되어 상기 영상처리 컴퓨터(60), 또는 다른 통신 장치로 전송될 수 있다.
상기와 같이 형성되면, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)가 이송되는 과정에 있어서, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100) 또는, 접촉된 장비에 진동을 측정하거나, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)의 주변 온습도 등을 측정할 수 있으므로, 주변 환경 조건이 일정하게 유지되는지, 또는 갑작스런 충격이나 외부 환경 변화가 일어났는지를 판단할 수 있다.
이하에서는 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)를 이용한 정밀 이송 측정 방법에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명에 있어 위에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고 여기서는 생략하기로 한다.
이하에서는 상기 이송로봇(30)을 이용하여 상기 보관함(10)의 상기 이송위치 측정용 테스트 더미 감지 대상체(50)를 안전하게 상기 보관함(10) 외측으로 빼거나 내부로 넣을 수 있는지 그 위치를 정확하게 측정하는 것에 대한 방법(S100)을 설명한다.
우선, 상기 보관함(10)에 보관된 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)를 상기 이송로봇(30)이 들어올린다(S110).
그런 다음, 상기 단계(S110)에서 들어올려진 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)의 상기 더미 몸체(110)와 상기 더미 몸체(110) 상단의 상기 슬롯(11,12)을 상기 슬롯 영상 측정 부재(130)가 인식하거나 또는 촬영한다(S120).
여기서, 상기 (S120)단계에서 인식, 또는 촬영된 영상을 상기 중앙 처리 부재(140)로 전송한다(S130).
그런 다음, 상기 (S130)단계에서 상기 중앙 처리 부재(140)로 전송된 상기 영상을 상기 영상처리 컴퓨터(60)로 전송한다(S140).
그런 다음, 상기 (S140)단계에서 상기 영상처리 컴퓨터(60)로 전송된 상기 영상으로 상기 더미 몸체(110)와 상기 슬롯(11,12)의 간격을 계산하여 상기 더미 몸체(110)의 위치를 측정한다(S150).
상기와 같이 상기 더미 몸체(110)와 상기 슬롯(11,12)의 간격을 계산하여 상기 더미 몸체(110)의 위치를 측정함으로써, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)가 상기 이송로봇(30)에 의해 상기 보관함(10)에서 빼내어 질 때, 상기 보관함(10) 내의 슬롯(11,12)에 부딪히지 않도록 하는 슬롯(11,12)과의 간격을 측정할 수 있다.
즉, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)가 상기 감지 대상체(50) 대신 상기 보관함(10) 내의 슬롯(11,12)에 부딪히지 않도록 하는 슬롯(11,12)과의 간격을 측정해줌으로써, 추후 상기 보관함(10) 내의 상기 감지 대상체(50)를 상기 이송로봇(30)으로 빼낼 때, 안정적으로 상기 보관함(10) 외측으로 빼내거나 그 내부로 넣을 수 있는지를 측정할 수 있다.
이하에서는 상기 이송로봇(30)에 의해 상기 고정 수단(27)으로 이송된 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100) 중심(127)이 상기 고정 수단(27)에 형성된 상기 가이드 핀 홀의 중심(23)과 정확하게 일치하는지 그 위치를 측정하는 방법(S200)에 대하여 설명한다.
우선, 상기 보관함(10)에 보관된 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)가 상기 프로세스 챔버(20)로 이송되기 위해 상기 이송로봇(30)에 얹혀진다(S210).
그런 다음, 상기 (S210)단계에서 상기 이송로봇(30)에 얹혀진 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)를 상기 고정 수단(27)의 상단부로 이송한다(S220).
그런 다음, 상기 (S220)단계에서 상기 고정 수단(27)의 상단부로 이송된 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)에 있어서, 상기 핀 홀 영상 측정 부재(120)가 상기 고정 수단(27)의 상기 가이드 핀 홀(22)을 인식, 또는 촬영한다(S230).
이러한 (S230)단계에서 인식, 또는 촬영된 영상을 상기 중앙 처리 부재(140)로 전송한다(S240).
그런 다음, (S240)단계에서 상기 중앙 처리 부재(140)로 전송된 상기 영상을 상기 영상처리 컴퓨터(60)로 전송한다(S250).
그런 다음, 상기 (S250)단계에서 상기 영상처리 컴퓨터(60)로 전송된 상기 영상으로, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)가 상기 고정 수단(27)의 미리 지정된 위치에 안착될 수 있는지 그 여부를 판단한다(260).
종래에는 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)가 상기 고정 수단(27)의 적합한 위치에 이송되었는지 확인하기 위해 기준점을 별도로 형성하였으나, 상기와 같이 상기 핀 홀 영상 측정 부재(120)가 상기 고정 수단(27)에 일반적으로 형성되어 있는 상기 가이드 핀 홀(22)을 인식하여 상기 가이드 핀 홀의 중심(23)과 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100) 중심(127)이 일치하는지 그 여부의 판단 및 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100)의 이송 위치를 측정할 수 있으므로, 상기 기준점을 별도로 형성하지 않아도 되는 장점이 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예들에 따른 이송 위치 측정용 테스트 더미에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 제 1 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.
도 12는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 오염 감지용 카메라가 형성된 이송 위치 측정용 테스트 더미를 정면에서 바라본 정면도이다.
도 12를 참조하면, 본 실시예에 따른 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(200)의 더미 몸체(210) 상단부에는 오염 감지용 카메라(260)가 형성되어 있다.
상기 오염 감지용 카메라(260)는 핀 홀 영상 측정 부재(220) 및 슬롯 영상 측정 부재(230)가 촬영하는 범위를 가리지 안되, 상기 더미 몸체(210)의 상단부에 형성되고, 작동시, 상기 더미 몸체(210)의 상단부 전방을 촬영할 수 있으며, 촬영된 영상을 중앙 처리 부재에 전송하던지, 또는 영상처리 컴퓨터로 전송할 수 있는 것이다.
상기와 같이 형성되면, 상기 오염 감지용 카메라(260)가 촬영하는 영상을 판독하여 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(100) 주변의 오염된 물질을 확인할 수 있다. 예를 들어, 상기 오염 감지용 카메라(260)로 챔버를 촬영하면 그 내부에 오염된 물질이 묻어있지는 않는지 확인할 수 있다.
도 13은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 핀 홀 촬영용 이미지센서에 고정 수단이 접촉된 상태에 대한 모습을 확대한 확대도이다.
도 13을 참조하면, 본 실시예에 따른 이송 위치 측정용 테스트 더미의 핀 홀 영상 측정 부재에는 핀 홀 촬영용 이미지센서(328)가 형성되어 있다.
상기 핀 홀 촬영용 이미지센서(328)는 상기 더미 몸체(310) 저면에 형성되되, 고정 수단(27)이 접촉된 상태를 촬영할 수 있는 것으로, 빛을 전기적인 신호로 바꿔줄 수 있는 광센서이다.
도 13에 도시된 바와 같이, 상기 고정 수단(27)이 상기 핀 홀 촬영용 이미지센서(328)에 면 접촉한 상태를 상기 핀 홀 촬영용 이미지센서(328)가 촬영하면, 상기 핀 홀 촬영용 이미지센서(328)와 상기 고정 수단(27)이 면 접촉된 부분의 상기 핀 홀 촬영용 이미지센서(328)에는 빛이 들어올 수 없고, 그 주변에만 빛이 들어올 수 있다. 그러므로, 상기 고정 수단(27)이 면접촉된 부분이 상대적으로 매우 어둡게 촬영된다. 그러면, 비전 기술을 이용하여 어둡게 촬영된 부분을 위치 값으로 출력하고, 그 값을 상기 고정 수단(27)의 위치로 판별한다.
상기와 같은 방식으로 다른 복수 개의 상기 고정 수단(27)도 위치 값을 출력하고, 이러한 상기 위치 값들을 이용하여 상기 고정 수단(27)의 중심과 동일한 가이드 핀 홀의 중심을 계산할 수 있고 계산된 값을 이용하여 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미가 상기 고정 수단(27)에 정확하게 이송되었는지 판단할 수 있다.
도 14는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 스크린 부재에 고정 수단이 접촉된 상태에 대한 모습을 확대한 확대도이다.
도 14를 살펴보면, 본 실시예에 따른 이송 위치 측정용 테스트 더미의 핀 홀 영상 측정 부재는 더미 몸체(410)의 저면에 형성되어 그 저면에 고정 수단(27)이 접촉될 수 있고, 접촉된 부분을 좌표 값으로 출력할 수 있는 스크린 부재(429)를 포함한다.
상기 스크린 부재(429)는 터치 스크린으로 형성될 수 있으며, 서로 다른 위치에 있는 복수 개의 상기 고정 수단(27)이 상기 스크린 부재(429)를 터치하면, 그 부분을 각각 좌표 값으로 출력하고, 출력된 좌표 값을 이용하여 상기 고정 수단(27)의 중심을 계산할 수 있고, 계산된 상기 고정 수단(27)의 중심과 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미의 중심이 일치하는지 그 여부를 판단하여 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미가 상기 고정 수단(27)에 정확하게 이송되었는지 판단할 수 있다.
도 15는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 전방 카메라 부재를 포함하는 이송 위치 측정용 테스트 더미를 위에서 내려다본 도면이다.
도 15를 참조하면, 본 실시예에 따른 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(500)는 더미 몸체(510)와, 핀 홀 영상 측정 부재(520)와, 슬롯 영상 측정 부재(530)와, 중앙 처리 부재(540)와, 전방 카메라 부재(560)를 포함한다.
상기 전방 카메라 부재(560)는 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(500)의 이동경로를 관측할 수 있도록 상기 더미 몸체(510)에 장착된 것으로, 바람직하게는 도 15에 도시된 바와 같이, 상기 더미 몸체(510) 지름 상의 양 끝단부에 탑재된다.
상기 전방 카메라 부재(560)는 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(500)의 전방을 촬영하고 촬영된 영상을 작업자가 확인할 수 있도록 미리 준비되는 영상 시스템에 전송한다. 여기서, 상기 영상 시스템이란, 스마트폰의 애플리케이션이나, 촬영 영상 확인 가능 모니터가 구비된 시스템 등이 될 수 있다.
상기와 같이 형성되면, 상기 전방 카메라 부재(560)를 이용하여 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(500)의 이동 경로를 실시간으로 관측할 수 있으므로, 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(500)가 제대로 이동되고 있는지를 실시간으로 확인할 수 있다. 그러므로 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(500)가 얹혀지는 이송로봇 역시 제대로 작동하고 있는지를 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미(500)의 이동 경로 측정에 의해 판단할 수 있는 효과가 있다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 이송 위치 측정용 테스트 더미 및 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 측정 방법에 의하면, 영상 측정 처리를 이용하여 감지 대상체가 정상적으로 이동될 수 있는지 확인하는 테스트 장비로, 감지 대상체가 보관함 내의 슬롯에 부딪히지 않도록 슬롯의 높이를 측정할 수 있고, 별도의 기준점이 형성되어 있지 않아도 리프트 핀 홀을 이용하여 제조 장비에서 감지 대상체가 이송되어야 하는 위치에 정상적으로 이송되는지 판단할 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
100 : 이송 위치 측정용 테스트 더미
110 : 더미 몸체
120 : 핀 홀 영상 측정 부재
130 : 슬롯 영상 측정 부재
140 : 중앙 처리 부재
150 : 센싱 부재
110 : 더미 몸체
120 : 핀 홀 영상 측정 부재
130 : 슬롯 영상 측정 부재
140 : 중앙 처리 부재
150 : 센싱 부재
Claims (10)
- 감지 대상체를 담아두는 보관함과, 상기 감지 대상체를 고정시켜주는 고정 수단을 포함한 대상체 고정 장치와, 상기 보관함의 상기 감지 대상체를 상기 고정 수단으로 이송시키는 이송로봇이 준비된 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 설비에 적용되는 것에 있어서,
상기 감지 대상체의 크기와 동일하게 형성된 더미 몸체;
상기 고정 수단에 형성된 복수 개의 가이드 핀 홀을 인식, 또는 촬영할 수 있는 핀 홀 영상 측정 부재; 및
상기 핀 홀 영상 측정 부재에서 측정된 정보를 미리 준비된 영상처리 컴퓨터로 전송할 수 있는 중앙 처리 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 위치 측정용 테스트 더미. - 제 1항에 있어서,
상기 핀 홀 영상 측정 부재는
상기 고정 수단에서 형성되는 복수 개의 상기 가이드 핀 홀을 각각 측정하도록 하는 복수 개의 핀 홀 촬영용 카메라로 형성되고,
상기 핀 홀 촬영용 카메라는 상기 가이드 핀 홀의 인식 범위, 또는 촬영 범위가 미리 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 이송 위치 측정용 테스트 더미. - 제 2항에 있어서,
상기 핀 홀 촬영용 카메라는
상기 더미 몸체 저면에 형성되되, 미리 설정되어 있는 상기 가이드 핀 홀의 촬영 범위에 맞게 형성되고,
상기 핀 홀 촬영용 카메라에 상기 고정 수단이 접촉된 상태를 촬영할 수 있는 것을 특징으로 하는 이송 위치 측정용 테스트 더미. - 제 1항에 있어서,
상기 핀 홀 영상 측정 부재는
상기 더미 몸체의 저면에 형성되어 상기 고정 수단이 접촉될 수 있고, 그 부분을 좌표 값으로 출력할 수 있는 스크린 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 위치 측정용 테스트 더미. - 감지 대상체를 담아두는 보관함과, 상기 감지 대상체를 고정시켜주는 고정 수단을 포함한 대상체 고정 장치와, 상기 보관함의 상기 감지 대상체를 상기 고정 수단으로 이송시키는 이송로봇이 준비된 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 설비에 적용되는 것에 있어서,
상기 감지 대상체의 크기와 동일하게 형성된 더미 몸체;
상기 더미 몸체가 상기 보관함에 보관된 상태에서, 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 슬롯과 상기 더미 몸체 사이의 간격이 측정되도록 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 상기 슬롯을 인식, 또는 촬영할 수 있는 슬롯 영상 측정 부재; 및
상기 슬롯 영상 측정 부재에서 측정된 정보를 미리 준비된 영상처리 컴퓨터로 전송할 수 있는 중앙 처리 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 위치 측정용 테스트 더미. - 제 5항에 있어서,
상기 슬롯 영상 측정 부재는
상기 더미 몸체의 양측 상단에 배치되어 있는 일측 슬롯과 타측 슬롯을 각각 인식할 수 있는 일측 슬롯 카메라와 타측 슬롯 카메라를 포함하고,
상기 일측 슬롯 카메라와 상기 타측 슬롯 카메라는 각각 상기 일측 슬롯과 상기 타측 슬롯의 인식 범위, 또는 촬영 범위가 미리 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 이송 위치 측정용 테스트 더미. - 제 1항, 또는 제 5항에 있어서,
상기 이송 위치 측정용 테스트 더미는
상기 이송 위치 측정용 테스트 더미의 주변 환경의 변화와 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미 자체의 기울기를 측정할 수 있는 센싱 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 위치 측정용 테스트 더미. - 감지 대상체를 담아두는 보관함과, 상기 감지 대상체를 고정시켜주는 고정 수단을 포함한 대상체 고정 장치와, 상기 보관함의 상기 감지 대상체를 상기 고정 수단으로 이송시키는 이송로봇이 준비된 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 설비에 적용되는 것에 있어서,
상기 감지 대상체의 크기와 동일하게 형성된 더미 몸체;
상기 고정 수단에 형성된 복수 개의 가이드 핀 홀을 인식, 또는 촬영할 수 있는 핀 홀 영상 측정 부재;
상기 더미 몸체가 상기 보관함에 보관된 상태에서, 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 슬롯과 상기 더미 몸체 사이의 간격이 측정되도록 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 상기 슬롯을 인식, 또는 촬영할 수 있는 슬롯 영상 측정 부재; 및
상기 핀 홀 영상 측정 부재, 또는 상기 슬롯 영상 측정 부재에서 측정된 정보를 미리 준비된 영상처리 컴퓨터로 전송할 수 있는 중앙 처리 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 위치 측정용 테스트 더미. - 감지 대상체를 담아두는 보관함과, 상기 감지 대상체를 고정시켜주는 고정 수단을 포함한 대상체 고정 장치와, 상기 보관함의 상기 감지 대상체를 상기 고정 수단으로 이송시키는 이송로봇이 준비된 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 설비에 적용되는 것에 있어서, 상기 감지 대상체의 크기와 동일하게 형성된 더미 몸체와, 상기 고정 수단에 형성된 복수 개의 가이드 핀 홀을 인식, 또는 촬영할 수 있는 핀 홀 영상 측정 부재와, 상기 더미 몸체가 상기 보관함에 보관된 상태에서, 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 슬롯과 상기 더미 몸체 사이의 간격이 측정되도록 상기 더미 몸체 상단에 배치된 상기 보관함의 상기 슬롯을 인식, 또는 촬영할 수 있는 슬롯 영상 측정 부재와, 상기 핀 홀 영상 측정 부재, 또는 상기 슬롯 영상 측정 부재에서 측정된 정보를 미리 준비된 영상처리 컴퓨터로 전송할 수 있는 중앙 처리 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 위치 측정 방법에 있어서,
(1) 상기 보관함에 보관된 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미가 상기 이송로봇에 얹혀지는 단계;
(2) 상기 (1)단계에서 상기 이송로봇이 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미 를 상기 고정 수단의 상단부로 이송하는 단계;
(3) 상기 (2)단계에서 상기 고정 수단의 상단부로 이송된 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미에 있어서, 상기 핀 홀 영상 측정 부재가 상기 고정 수단의 상기 가이드 핀 홀을 인식, 또는 촬영하는 단계;
(4) (3)단계에서 인식, 또는 촬영된 영상을 상기 중앙 처리 부재로 전송하는 단계;
(5) (4)단계에서 상기 중앙 처리 부재로 전송된 상기 영상을 상기 영상처리 컴퓨터로 전송하는 단계;
(6) 상기 (5)단계에서 상기 영상처리 컴퓨터로 전송된 상기 영상으로, 상기이송 위치 측정용 테스트 더미가 상기 고정 수단의 미리 지정된 위치에 안착될 수 있는지 그 여부를 판단하는 단계;를 포함함으로써,
상기 이송 위치 측정용 테스트 더미의 중심이 상기 가이드 핀 홀의 중심과 정확하게 일치하는지 그 위치를 파악할 수 있는 것을 특징으로 하는 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 위치 측정 방법. - 제 9항에 있어서,
(a) 상기 보관함에 보관된 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미를 상기 이송로봇이 들어올리는 단계;
(b) 상기 (a)단계에서 들어 올려진 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미의 상기 더미 몸체와 상기 더미 몸체 상단의 상기 슬롯을 상기 슬롯 영상 측정 부재가 인식, 또는 촬영하는 단계;
(c) 상기 (b)단계에서 인식, 또는 촬영된 영상을 상기 중앙 처리 부재로 전송하는 단계;
(d) 상기 (c)단계에서 상기 중앙 처리 부재로 전송된 상기 영상을 상기 영상처리 컴퓨터로 전송하는 단계;
(e) 상기 (d)단계에서 상기 영상처리 컴퓨터로 전송된 상기 영상으로, 상기 더미 몸체와 상기 슬롯의 간격을 계산하여 상기 더미 몸체의 위치를 측정할 수 있는 단계;를 포함함으로써,
상기 이송로봇을 이용하여 상기 보관함의 상기 이송 위치 측정용 테스트 더미를 안전하게 상기 보관함 외측으로 빼거나 내부로 넣을 수 있는지 그 위치를 정확하게 측정할 수 있는 것을 특징으로 하는 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 위치 측정 방법.
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