KR100709563B1 - 웨이퍼이송장치 및 그 이송방법 - Google Patents

웨이퍼이송장치 및 그 이송방법 Download PDF

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KR100709563B1
KR100709563B1 KR1020050103328A KR20050103328A KR100709563B1 KR 100709563 B1 KR100709563 B1 KR 100709563B1 KR 1020050103328 A KR1020050103328 A KR 1020050103328A KR 20050103328 A KR20050103328 A KR 20050103328A KR 100709563 B1 KR100709563 B1 KR 100709563B1
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박노정
이혁재
박휴림
우창우
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은, 복수의 웨이퍼를 수납한 웨이퍼카세트로부터 인출된 상기 웨이퍼를 소정의 공정을 진행하는 공정챔버로 이송하는 웨이퍼이송장치 및 그 이송방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 웨이퍼이송장치는, 상기 웨이퍼카세트에 수용된 상기 웨이퍼를 지지하여 상기 공정챔버로 이송하는 아암을 갖는 웨이퍼이송부와; 상기 웨이퍼를 지지하여 인출하는 아암의 소정 영역을 감지가능하게 마련된 센서와, 상기 센서의 검출신호에 기초하여 상기 아암에 지지된 상기 웨이퍼를 촬상 가능하게 마련된 카메라를 갖는 감지부와; 상기 감지부의 검출신호에 기초하여 산출된 검출위치와 목표위치가 상이한 경우에 상기 웨이퍼의 목표위치를 상기 웨이퍼의 검출위치로 보정하여 상기 웨이퍼가 상기 공정챔버로 이송되도록 상기 웨이퍼이송부를 제어하는 제어부를 갖는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 웨이퍼의 센터링시간이 비교적 적게 소요될 수 있는 웨이퍼이송장치 및 그 이송방법이 제공된다.

Description

웨이퍼이송장치 및 그 이송방법{TRANSFERRING APPARATUS FOR WAFER AND TRANSFERRING METHOD FOR THE SAME}
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼이송장치를 나타낸 평면도,
도 2는 웨이퍼카세트에서 인출되는 웨이퍼의 감지상태를 나타낸 사시도,
도 3은 반사량, 센서 및 카메라의 타이밍도,
도 4a 및 도 4b는 검출위치를 검출하는 과정을 설명하기 위한 개략도,
도 5는 웨이퍼표시부를 나타낸 평면도,
도 6은 웨이퍼이송과정을 나타낸 흐름도,
도 7은 웨이퍼이송과정을 나타낸 블록도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 웨이퍼이송장치 20 : 웨이퍼카세트
21 : 웨이퍼 23 : 웨이퍼표시부
30 : 공정챔버 40 : 웨이퍼이송부
41 : 아암 42 : 웨이퍼지지부
43 : 아암연결부 45 : 아암검출부
49 : 링크 51 : 센서
53 : 카메라 60 : 목표위치
70 : 검출위치 80 : 제어부
81 : 송수신장치 83 : 연산장치
본 발명은, 웨이퍼이송장치 및 그 이송방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼의 센터링시간이 비교적 적게 소요될 수 있는 웨이퍼이송장치 및 그 이송방법에 관한 것이다.
웨이퍼는 여러 가지 공정을 거쳐 반도체 칩으로 만들어 진다. 웨이퍼를 에칭공정 및 증착공정과 같은 공정으로 이송하는 웨이퍼이송장치는 복수 개의 웨이퍼가 수용된 웨이퍼카세트와, 웨이퍼를 이송받아 소정의 공정을 진행하는 공정챔버와, 웨이퍼카세트에서 인출한 웨이퍼를 공정챔버의 소정의 위치로 이송하도록 아암을 갖는 로봇과 같은 이송구동부를 갖는다. 이러한 이송구동부에서는 동일한 위치에 정확하게 수용되어 있지 않는 웨이퍼를 인출하여 공정챔버의 소정 위치에 웨이퍼를 정확하게 안착시킬 수 있도록 이송 중의 웨이퍼에 대하여 센터링을 실시하는 것이 일반적이다.
종래기술은 웨이퍼카세트와 공정챔버 사이에 별도의 어라이너(aligner)를 갖는다. 이러한 종래기술에서는 이송구동부는 웨이퍼카세트에서 웨이퍼를 인출하여 웨이퍼의 센터링을 위하여 어라이너에 웨이퍼를 출입시킨 후 공정챔버로 웨이퍼를 이송한다.
그런데, 이러한 종래기술에서는 웨이퍼가 웨이퍼카세트에서 어라이너에 웨이퍼를 출입된 후 공정챔버로 이송되므로 어라이너의 출입에 따른 시간으로 인해 웨이퍼의 이송시간이 비교적 많이 소요되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은, 웨이퍼의 센터링시간이 비교적 적게 소요될 수 있는 웨이퍼이송장치 및 그 이송방법을 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 복수의 웨이퍼를 수납한 웨이퍼카세트로부터 인출된 상기 웨이퍼를 소정의 공정을 진행하는 공정챔버로 이송하는 웨이퍼이송장치에 있어서, 상기 웨이퍼카세트에 수용된 상기 웨이퍼를 지지하여 상기 공정챔버로 이송하는 아암을 갖는 웨이퍼이송부와; 상기 웨이퍼를 지지하여 인출하는 아암의 소정 영역을 감지가능하게 마련된 센서와, 상기 센서의 검출신호에 기초하여 상기 아암에 지지된 상기 웨이퍼를 촬상 가능하게 마련된 카메라를 갖는 감지부와; 상기 감지부의 검출신호에 기초하여 산출된 검출위치와 목표위치가 상이한 경우에 상기 웨이퍼의 목표위치를 상기 웨이퍼의 검출위치로 보정하여 상기 웨이퍼가 상기 공정챔버로 이송되도록 상기 웨이퍼이송부를 제어하는 제어부를 갖는 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송장치에 의해 달성된다.
여기서, 상기 검출위치는 상기 카메라에 의해 촬상된 상기 웨이퍼 외주면의 일영역에 형성된 웨이퍼표시부의 검출신호에 기초하여 상기 아암에 대하여 산출되는 것을 특징으로 하여 안정적인 검출신호를 얻을 수 있다.
또한, 상기 카메라는 상기 웨이퍼표시부와 상기 웨이퍼 외주면이 만나는 영역 및 상기 웨이퍼표시부의 각도를 촬상한 검출신호를 이용하여 검출하는 것을 특징으로 하여 비교적 신속하며 정확하게 검출신호를 얻을 수 있다.
여기서, 상기 웨이퍼표시부는 상기 웨이퍼카세트에 소정의 방향으로 일정하게 배치되어 안착된 것을 특징으로 하여 비교적 안정적이며 신속한 검출위치를 산출할 수 있다.
한편, 본 발명의 목적은, 복수의 웨이퍼를 수납한 웨이퍼카세트로부터 인출된 상기 웨이퍼를 소정의 공정을 진행하는 공정챔버로 이송하는 웨이퍼이송방법에 있어서, 웨이퍼이송부의 아암이 상기 웨이퍼카세트에 수용된 상기 웨이퍼를 지지하여 상기 웨이퍼를 상기 웨이퍼카세트로부터 인출하는 단계와; 상기 웨이퍼를 지지하여 인출하는 아암의 소정 영역을 센서가 감지하는 감지단계와; 상기 센서의 검출신호에 기초하여 상기 아암에 지지된 상기 웨이퍼의 외주면의 일영역에 형성된 웨이퍼표시부를 카메라가 촬상하는 단계와; 상기 촬상단계의 검출신호에 기초하여 산출된 검출위치와 목표위치가 상이한 경우에, 상기 웨이퍼의 목표위치를 상기 웨이퍼의 검출위치로 보정하여 상기 웨이퍼가 상기 공정챔버로 이송되도록 상기 웨이퍼이송부를 제어하는 제어단계를 갖는 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송방법에 의해 달성된다.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명의 일실시예인 웨이퍼이송장치에 대하여 설명한다.
본 발명에 따른 웨이퍼이송장치(10)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 복수의 웨 이퍼(21)를 수납한 웨이퍼카세트(20)와; 웨이퍼(21)를 수용하여 소정의 공정을 진행하는 공정챔버(30)와; 웨이퍼카세트(20)에 수용된 웨이퍼(21)를 지지하여 공정챔버(30)로 이송하는 아암(41)을 갖는 웨이퍼이송부(40)와; 웨이퍼(21)를 지지하여 인출하는 아암(41)의 소정 영역을 감지가능하게 마련된 센서(51)와, 센서(51)의 검출신호에 기초하여 아암(41)에 지지된 웨이퍼(21)를 촬상 가능하게 마련된 카메라(53)를 갖는 감지부(51, 53)와; 감지부(51, 53)의 검출신호에 기초하여 산출된 검출위치(70)와 목표위치(60)가 상이한 경우에, 웨이퍼(21)의 목표위치(60)를 웨이퍼(21)의 검출위치(70)로 보정하여 웨이퍼(21)가 공정챔버(30)로 이송되도록 상기 웨이퍼이송부(40)를 제어하는 제어부(80)를 갖는다.
웨이퍼카세트(20a, 20b)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 복수 개의 웨이퍼(21)를 수납하고 있다. 또한, 웨이퍼카세트(20)는 복수 개로 마련될 수 있음은 물론이다.
웨이퍼(21a, 21b)는, 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이, 원형으로 되어 있고 필요에 따라 그 크기가 변경될 수 있으며, 공정작업의 기준점이 될 수 있는 웨이퍼표시부(23)를 갖는다. 또한, 웨이퍼(21)는 식각공정, 증착공정과 같은 공정에서 웨이퍼카세트(20)에 수용되어 하나씩 공정챔버(30)로 이송되어 소정의 공정을 수행한다.
웨이퍼표시부(23)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(21)의 위치기준점이 되도록 웨이퍼(21)의 외주면의 일영역에 형성된 플랫존(flat zone, 23a) 및 함몰형성된 노치(23b) 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 또한, 웨이퍼(21)의 웨이퍼표시부 (23)는 일정한 방향을 향하도록 웨이퍼카세트(20)에 안착되어 있다. 또한, 웨이퍼표시부(23)는 웨이퍼(21)의 외주면을 원형으로 형성하고 있지 않으므로 카메라(53)가 촬상할 수 있는 영역으로 활용하여 웨이퍼(21)의 검출위치를 산출(연산)할 수 있다. 이에, 카메라(53)가 비교적 일정한 위치에 있는 웨이퍼표시부(23)를 촬상하여 안정적이며, 신속하고 정확하게 검출위치(70)를 산출할 수 있다.
공정챔버(30a 내지 30d)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 웨이퍼카세트(20)로부터 인출된 웨이퍼(21)를 수용하여 소정의 공정을 진행하며, 복수 개로 마련될 수 있다. 또한, 공정챔버(30)에서는 소정의 공정을 수행하기 위해 필요한 온도 및 압력 등이 유지된다. 또한, 공정챔버(30)에서는 소정의 공정을 진행하기 위하여 웨이퍼(21)가 정확한 위치에 안착되도록 하여야 하며 이러한 기준이 되는 점은 주로 웨이퍼표시부(23)이다.
웨이퍼이송부(40)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(21)를 안착하여 지지하는 아암(41)과, 아암(41)과 연결되어 상호 회동되는 링크(49)와, 링크(49) 및 아암(41)이 회동 및 승강될 수 있는 구동력을 주는 구동부(미도시)를 갖는다. 또한, 웨이퍼이송부(40)는 웨이퍼카세트(20)에 수용된 웨이퍼(21)를 공정챔버(30)로 이송한다. 또한, 웨이퍼이송부(40)에서는 제어부(80)에 의해 웨이퍼이송부(40)의 방향 및 위치 등이 제어될 수 있으며, 제어부(80) 및 웨이퍼이송부(40)는 상호 제어를 하기 위하여 송수신장치(81)를 이용할 수 있다.
아암(41)은, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(21)를 안착하여 지지하며, 웨이퍼(21)를 지지하며 흑색으로 표면처리(anodizing)된 웨이퍼지지부(42) 와, 링크(49)와 웨이퍼지지부(42)를 연결하는 알루미늄으로 된 아암연결부(43)를 갖는다. 또한, 아암(41)은 안착된 웨이퍼(21)를 진공압에 의해 흡착하여 아암(41)에 웨이퍼(21)를 견고하게 고정시킬 수 있는 흡착공(미도시)을 가질 수 있다. 이에, 웨이퍼지지부(42)와 아암연결부(43)의 재질이 달라 빛이 반사되는 반사량이 달라질 수 있는 구조를 갖는다.
아암검출부(45)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 센서(51)가 작동되는 기준이 되는 위치로 아암연결부(43)에서 웨이퍼지지부(42)로 바뀌는 영역이며, 레이저센서와 같은 센서(51)에 의해 빛의 반사량으로 검출 가능한 영역이다. 이에, 센서(51)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 아암(41)에 지지된 웨이퍼(21)가 이송방향으로 이송되면, 알루미늄으로 되어 반사율이 높은 "u"영역의 아암연결부(43)에서 흑색으로 표면 처리되어 반사율이 낮은 "v"영역의 웨이퍼지지부(42)로 바뀌는 영역을 감지하도록 설정되어 있다.
감지부(51, 53)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(21)를 지지하여 인출하는 아암(41)의 소정 영역을 감지하는 센서(51)와, 센서(51)의 검출신호에 기초하여 아암(41)에 지지된 웨이퍼(21)를 촬상하는 카메라(53)를 갖는다. 감지부(51, 53)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 먼저 센서(51)가 웨이퍼(21)의 소정영역을 감지한 신호를 제어부(80)에 보내면, 제어부(80)는 즉시 또는 소정시간 이후에 카메라(53)가 웨이퍼표시부(23)를 촬상하도록 제어한다. 이 때의 지연시간이 "X"로 나타난다.
센서(51)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(21)의 이송방향의 상부에 이격되게 적어도 하나 이상 설치된다. 그리고, 센서(51)는 송출된 빛으로부터 반사되 는 빛의 량으로 신호를 검출할 수 있는 레이저센서와 같은 공지된 다양한 센서를 선택적으로 채용할 수 있음은 물론이다.
카메라(53)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 센서(51)의 검출신호에 기초하여 아암(41)에 지지된 웨이퍼(21)를 촬상한다. 이러한 카메라(53)는 디지털카메라의 일종인 CCD(Charge Coupled Device)카메라를 사용하는 것이 바람직하며, 같은 역할을 할 수 있는 공지의 다양한 종류를 선택할 수 있다. 이에, 카메라(53)는 웨이퍼(21)의 웨이퍼표시부(23)을 촬상하여 신호를 제어부(80)로 전달하면 검출신호에 기초하여 연산장치(83)에서 목표위치(60)와 비교하여 검출위치(70)를 산출할 수 있다. 검출위치(70) 산출과정은 다음에 설명한다.
목표위치(60)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 예를 들면, a, b, c 및 d로 이루어진 삼각형에서 a, b 및 d로 이루어진 직각삼각형의 꼭지점인 "d"이다. 또한, 목표위치(60)는 소정의 정확도로 아암(41)에 지지되어 이송되는 웨이퍼(21)의 웨이퍼표시부(23)를 촬상한 기준자료(Teaching Data)를 기초로 한다. 이러한 목표위치(60)는 센서(51) 또는 카메라(53)의 재설치, 웨이퍼(21)의 크기 변경, 웨이퍼표시부(23)의 변경, 아암(41) 크기 변경 등에 따라 재설정을 할 수 있다.
검출위치(70)는, 도 4b에 도시된 바와 같이, 예를 들면, A, B, C 및 D로 이루어진 삼각형에서 A, B 및 D에 의해 이루어진 직각삼각형의 꼭지점인 "D"이다. 이하에서 검출위치(70)의 산출방법을 도 4a 및 도 4b를 참조하여 설명한다. 여기서, 웨이퍼(21)의 반경은 100mm인 것으로 한다.
먼저, 도 4a에 도시된 바와 같이, 카메라(53)에서 촬상한 웨이퍼표시부(23) 의 모서리인 "A"점과 선분 AC의 각도에 대한 검출신호를 이용하여 제어부(80)에서 검출기준점(a)과의 좌표 및 선분 ac와의 각도 차이를 인식한다. 연산장치(83)는 이러한 데이터에 의하여 먼저, 선분AC와 선분ac의 각도 차이를 도 4b에 도시된 바와 같이 웨이퍼(21)를 평행 이동시켜 계산한다. 즉, 검출위치의 x좌표(Wx) 및 y좌표(Wy)는 각각
Wx = -100 × sin (-θ) + 100 ------------- 식 (1)
Wy = 100 × cos (-θ) ------------------- 식 (2)
으로 된다. 여기서, 각도(θ)는 원점(a / 0,0)을 중심으로 선분 ac의 시계방향으로 음(-)의 부호를 붙이며, 원점(a / 0,0)을 중심으로 선분 ac의 반시계방향으로 양(+)의 부호를 붙인다.
다음에, "A"위치에서 "a"위치로 평행 이동된 수치(Δx, Δy)를 감안하여 검출위치(Wx′, Wy′)를 연산하면,
Wx′= -100 × sin (-θ) + 100 + Δx ------------- 식 (1)
Wy′= 100 × cos (-θ) + Δy ------------------- 식 (2)
로 된다. 이에, 연산장치(83)는 카메라(53)에서 촬상한 검출신호로부터 간편하게 검출위치(70)를 산출할 수 있다.
제어부(80)는, 도7에 도시된 바와 같이, 센서(51), 카메라(53) 및 웨이퍼이송부(40)로 신호를 송수신하는 송수신장치(81)와, 센서(51) 및 카메라(53)에서 전달되는 검출신호 및 소정의 입력수치를 기초로 하여 검출위치(70)를 산출하여 목표위치(60)와 비교하는 등의 각종 연산을 시행하는 연산장치(83)를 포함한다.
이에, 별도의 어라이너를 거치지 않고 간단하게 웨이퍼(21)의 센터링이 이루어져 공정시간이 단축될 수 있다.
이러한 구성에 의해, 본 발명에 따른 웨이퍼이송장치(10)의 이송방법을 도 6 및 도 7을 참조하여 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 웨이퍼이송장치(10)의 전원을 인가한다. 사용자는 입력부(미도시)에 웨이퍼(21)의 직경, 웨이퍼표시부(23)의 거리 등을 입력한다. 한편, 제어부(80)는 웨이퍼이송부(40)의 가속도 변화 등과 같은 속도에 대한 데이터를 제어 및 인식할 수 있다.
아암인출단계(S110)에서는, 도 6에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(21)를 안착하여 지지하기 위하여 웨이퍼카세트(20)로 아암(41)이 인입하여 웨이퍼카세트(20) 내의 웨이퍼(21)를 아암(41)에 안착된다. 그런 후 아암(41)에 마련된 흡착공(47)에 소정의 진공압을 주어 이송 중인 웨이퍼(21)를 아암(41)에 견고하게 지지한다. 그리고, 웨이퍼(21)를 지지한 아암(41)은 웨이퍼카세트(20)로부터 인출된다.
센서감지단계(S120)에서는, 도 6에 도시된 바와 같이, 센서(51)가 웨이퍼카세트(20)의 출구측 웨이퍼(21)의 이송방향의 상부에 설치되어 웨이퍼(21)를 지지하여 인출하는 아암(41)의 소정 영역인 아암검출부(45)를 감지한다.
카메라감지단계(S130)에서는, 도 6에 도시된 바와 같이, 카메라(53)가 센서(51)의 감지신호에 기초하여 즉시 또는 소정 지연시간을 가지고 아암(41)에 지지된 웨이퍼(21)의 웨이퍼표시부(23)를 촬상한다.
이에, 감지된 검출신호를 송수신장치(81)을 통하여 제어부(80)에 전달한다.
검출위치검출단계(S140)에서는, 도 6에 도시된 바와 같이, 카메라(53)의 검출신호, 입력된 소정의 수치를 이용하여 제어부(80)의 연산장치(83)에서 검출위치(70)를 연산하여 산출한다. 이에 대한 상세한 내용은 검출위치(70)의 설명에서 도 4를 참조하여 상세하게 설명하였으므로 , 여기서는 생략하기로 한다.
검출 및 목표위치 비교단계(S150)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 제어부(80)의 연산장치(83)에서 산출한 검출위치(70)와 제어부(80)에서 저장하고 있는 목표위치(60)를 비교한다.
보정 및 이송단계(S160)에서는, 도 6에 도시된 바와 같이, 검출위치(70)와 목표위치(60)를 비교하여 차이가 나면 제어부(80)는 목표위치(60)를 검출위치(70)로 보정하여 웨이퍼(21)가 공정챔버(30)로 이송되도록 웨이퍼이송부(40)를 제어한다.
이에, 본 발명에 따르면, 아암에 대한 웨이퍼의 검출위치의 산출이 신속하고 간단하여 웨이퍼의 센터링시간이 비교적 적게 소요되므로 웨이퍼가 공정챔버로 이송되는 공정시간을 단축시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면, 센서들이 웨이퍼카세트로부터 웨이퍼가 인출되는 영역에 간단하게 설치될 수 있으며 추가되는 부품이 적어 적은 비용으로 기존설비의 개조를 할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 웨이퍼의 센터링시간이 비교적 적게 소요될 수 있는 웨이퍼이송장치 및 그 이송방법이 제공된다.

Claims (5)

  1. 복수의 웨이퍼를 수납한 웨이퍼카세트로부터 인출된 상기 웨이퍼를 소정의 공정을 진행하는 공정챔버로 이송하는 웨이퍼이송장치에 있어서,
    상기 웨이퍼카세트에 수용된 상기 웨이퍼를 지지하여 상기 공정챔버로 이송하며, 아암검출부가 형성된 아암을 갖는 웨이퍼이송부와;
    상기 웨이퍼를 지지하여 인출하는 아암의 소정 영역을 감지가능하게 마련된 센서와, 상기 센서가 상기 아암검출부를 감지한 신호에 기초하여 상기 아암에 지지된 상기 웨이퍼를 촬상 가능하게 마련된 카메라를 갖는 감지부와;
    상기 감지부의 검출신호에 기초하여 산출된 검출위치와 목표위치가 상이한 경우에 상기 웨이퍼의 목표위치를 상기 웨이퍼의 검출위치로 보정하여 상기 웨이퍼가 상기 공정챔버로 이송되도록 상기 웨이퍼이송부를 제어하는 제어부를 갖는 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 검출위치는 상기 카메라에 의해 촬상된 상기 웨이퍼 외주면의 일영역에 형성된 웨이퍼표시부의 검출신호에 기초하여 상기 아암에 대하여 산출되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 카메라는 상기 웨이퍼표시부와 상기 웨이퍼 외주면이 만나는 영역 및 상기 웨이퍼표시부의 각도를 촬상한 검출신호를 이용하여 검출하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 웨이퍼표시부는 상기 웨이퍼카세트에 소정의 방향으로 일정하게 배치되어 안착된 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송장치.
  5. 복수의 웨이퍼를 수납한 웨이퍼카세트로부터 인출된 상기 웨이퍼를 소정의 공정을 진행하는 공정챔버로 이송하는 웨이퍼이송방법에 있어서,
    웨이퍼이송부의 아암이 상기 웨이퍼카세트에 수용된 상기 웨이퍼를 지지하여 상기 웨이퍼를 상기 웨이퍼카세트로부터 인출하는 단계와;
    상기 웨이퍼를 지지하여 인출하는 상기 아암의 아암검출부를 센서가 감지하는 감지단계와;
    상기 센서의 감지신호에 기초하여 상기 아암에 지지된 상기 웨이퍼의 외주면의 일영역에 형성된 웨이퍼표시부를 카메라가 촬상하는 단계와;
    상기 촬상단계의 검출신호에 기초하여 산출된 검출위치와 목표위치가 상이한 경우에, 상기 웨이퍼의 목표위치를 상기 웨이퍼의 검출위치로 보정하여 상기 웨이퍼가 상기 공정챔버로 이송되도록 상기 웨이퍼이송부를 제어하는 제어단계를 갖는 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송방법.
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