KR20180078237A

KR20180078237A - 시트의 검사 장치 및 검사 방법

Info

Publication number: KR20180078237A
Application number: KR1020187010774A
Authority: KR
Inventors: 나오키 도모구치; 요이치 기가와; 마코토 츠치나가; 신 사사키
Original assignee: 닛토덴코 가부시키가이샤
Priority date: 2015-11-05
Filing date: 2016-07-25
Publication date: 2018-07-09
Also published as: TW201716771A; CN108139337A; WO2017077744A1; JP6774176B2; JP2017090117A; TWI704341B; CN108139337B; KR102569341B1

Abstract

이동 경로를 따라 이동하는 띠형 시트를 검사하는 시트의 검사 장치이며, 이동 가능한 가대와, 상기 가대에 지지되어 상기 시트를 검사하는 검사부를 구비하고, 상기 검사부는, 상기 시트에 광을 조사하는 광원부와, 상기 가대가 상기 이동 경로에 있어서의 임의의 위치에 배치된 상태에서 상기 시트에 대한 상대적인 촬상 위치 및 촬상 각도를 조정 가능하게 구성되고, 또한 상기 광원부에 의해 광이 조사되고 있는 상기 시트를 촬상하는 촬상부를 갖고 있는, 시트의 검사 장치이다.

Description

시트의 검사 장치 및 검사 방법

<관련 출원의 상호 참조>

본원은 2015년 11월 5일에 출원된 일본 특허 출원 제2015-217560호의 우선권을 주장하며, 그 내용은 인용에 의해 본원 명세서의 기재에 원용된다.

본 발명은 시트의 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.

종래, 예를 들어 편광판은, 띠형 편광자(원단 시트)의 양면에 보호 필름(원단 시트)이 적층되고, 한쪽 보호 필름에 접착제를 통하여 위상차 필름(원단 시트)이 적층되고, 또한 위상차 필름에 점착제를 통하여 세퍼레이터(원단 시트)가 적층되고, 또한, 다른 쪽 보호 필름에는 표면 처리제층이 적층되어 구성되어 있다. 이러한 편광판은, 표면 처리제층에 박리 라이너(원단 시트)가 적층된 적층체(적층 시트)의 상태로, 이물 검사 등의 검사를 거쳐 유통되고 있다.

이러한 종류의 시트의 검사에 사용되는 검사 장치로서, 예를 들어 적층 시트에 광을 조사하는 광원부와, 해당 광이 조사되고 있는 적층 시트를 촬상하는 촬상부를 갖는 검사부를 구비하고, 이동하고 있는 적층 시트에 광원부에 의해 광을 조사하고, 해당 광이 조사되고 있는 적층 시트를 촬상부에서 촬상하도록 구성된 검사 장치가 제안되어 있다(특허문헌 1, 2 참조). 또한, 이러한 검사 장치는, 원단 시트끼리를 적층하는 적층부의 후단에 고정 설치되고, 적층 시트에 대한 촬상부의 위치 및 초점이 맞추어진 후에, 적층 시트와 촬상부의 위치 관계가 변화하지 않도록 고정 배치된 상태에서 적층 시트를 검사하도록 되어 있다(특허문헌 1, 2 참조).

일본 특허 공개 제2005-62165호 공보 일본 특허 공개 평06-242023호 공보

그런데, 상기한 바와 같은 적층 시트의 검사는, 적층 시트에 대한 이물의 혼입과 같은 불량이 발생한 불량품을 시장에 유통시키지 않게 하기 위해 행해지는 것이다. 그러나, 불량품의 시장으로의 유통을 방지하기만 해서는, 적층 시트의 제작 시의 수율의 저하를 억제할 수 없다. 그래서, 제품 불량이 발견되면, 그 발생 원인을 밝혀내고, 그 이후의 적층 시트의 제작에 있어서, 제품 불량의 발생을 억제하는 대책을 실시하는 것이 바람직하다.

그러나, 완성 단계에서 출하 전에 검사를 행하는 특허문헌 1, 2의 검사 장치에서는, 이물 등의 불량의 발생 원인을 충분히 밝혀내기가 곤란하다.

또한, 이것은 적층 시트만의 문제점은 아니며, 적층되어 있지 않은 시트의 문제점이기도 하다.

상기 사정을 감안하여, 본 발명은 시트 불량의 발생 위치 및 발생 원인을 충분히 특정할 수 있는 시트의 검사 장치 및 검사 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명에 관한 시트의 검사 장치는,

이동 경로를 따라 이동하는 띠형 시트를 검사하는 시트의 검사 장치이며,

이동 가능한 가대와,

상기 가대에 지지되어 상기 시트를 검사하는 검사부를 구비하고,

상기 검사부는,

상기 시트에 광을 조사하는 광원부와,

상기 가대가 상기 이동 경로에 있어서의 임의의 위치에 배치된 상태에서 상기 시트에 대한 상대적인 촬상 위치 및 촬상 각도를 조정 가능하게 구성되고, 또한 상기 광원부에 의해 광이 조사되고 있는 상기 시트를 촬상하는 촬상부를 갖고 있다.

상기 구성의 시트의 검사 장치에 있어서는,

상기 촬상부는,

촬상 본체부와,

상기 시트에 대하여 상기 촬상 본체부를 이동시켜 상기 상대적인 촬상 위치를 조정하는 것이 가능한 위치 조정부와,

상기 시트에 대하여 상기 촬상 본체부를 회전시켜 상기 상대적인 촬상 각도를 조정하는 것이 가능한 각도 조정부를 갖고 있는 것이 바람직하다.

상기 구성의 시트의 검사 장치에 있어서는,

상기 위치 조정부는, 상기 시트에 대하여 제1 방향과, 해당 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 상기 촬상 본체부를 이동시키도록 구성되고,

상기 각도 조정부는, 상기 시트에 대하여 제1 회전축과, 해당 제1 회전축에 수직인 제2 회전축을 중심으로 하여 상기 촬상 본체부를 회전시키도록 구성되어 있어도 된다.

상기 구성의 시트의 검사 장치에 있어서는,

상기 위치 조정부는, 상기 시트에 대하여 접근 및 이격하는 방향으로 상기 촬상 본체부를 이동시키는 것이 가능한 제1 위치 조정부와, 해당 제1 위치 조정부에 의한 이동 방향에 수직인 방향으로 상기 촬상 본체부를 이동시키는 것이 가능한 제2 위치 조정부를 갖고,

상기 각도 조정부는, 상기 시트에 대하여 상기 제1 회전축을 중심으로 하여 상기 촬상 본체부를 회전시키는 제1 각도 조정부와, 상기 제2 회전축을 중심으로 하여 상기 촬상 본체부를 회전시키는 제2 각도 조정부를 가져도 된다.

상기 구성의 시트의 검사 장치에 있어서는,

상기 촬상부와 전기적으로 접속되어, 상기 촬상부로부터의 검사 결과를 취득하는 제어부를 더 구비하고,

상기 제어부는, 상기 가대의 이동에 따라 이동 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명에 관한 시트의 검사 방법은,

상기 시트의 검사 장치를 사용하여,

상기 시트를 검사하는 방법이다.

도 1은, 본 발명의 실시 형태의 시트의 검사 장치를 구비한 시트의 반송 장치를 도시하는 개략 측면도이다.
도 2는, 도 1의 A 방향으로부터 검사 장치 주변을 도시하는 개략 정면도이다.
도 3은, 도 2의 B 방향으로부터 검사 장치 주변을 도시하는 개략 상면도이다.
도 4는, 도 3의 C 방향으로부터 검사 장치 주변을 도시하는 개략 측면도이다.
도 5는, 도 4의 검사 장치에 각 부가 배치되는 상태를 도시하는 개략 상면도이다.
도 6은, 도 4의 D 방향으로부터 검사 장치 주변을 도시하는 개략 상면도이다.
도 7은, 도 6의 검사 장치에 각 부가 배치되는 상태를 도시하는 개략 상면도이다.
도 8a는, 제1 및 제2 위치 조정부의 촬상 위치 조정 동작을 도시하는 개략 측면도이다.
도 8b는, 제1 및 제2 위치 조정부의 촬상 위치 조정 동작을 도시하는 개략 측면도이다.
도 8c는, 제1 및 제2 위치 조정부의 촬상 위치 조정 동작을 도시하는 개략 측면도이다.
도 9a는, 제1 및 제2 각도 조정부의 촬상 각도 조정 동작을 도시하는 개략 측면도이다.
도 9b는, 제1 및 제2 각도 조정부의 촬상 각도 조정 동작을 도시하는 개략 측면도이다.
도 9c는, 제1 및 제2 각도 조정부의 촬상 각도 조정 동작을 도시하는 개략 측면도이다.
도 10a는, 제1 위치 조정부에 의해 시트에 대한 촬상 본체부의 촬상 위치가 조정되는 상태를 도시하는 개략 측면도이다.
도 10b는, 제1 위치 조정부에 의해 시트에 대한 촬상 본체부의 촬상 위치가 조정되는 상태를 도시하는 개략 측면도이다.
도 10c는, 제1 위치 조정부에 의해 시트에 대한 촬상 본체부의 촬상 위치가 조정되는 상태를 도시하는 개략 측면도이다.
도 11a는, 제2 위치 조정부에 의해 시트에 대한 촬상 본체부의 촬상 위치가 조정되는 상태를 도시하는 개략 측면도이다.
도 11b는, 제2 위치 조정부에 의해 시트에 대한 촬상 본체부의 촬상 위치가 조정되는 상태를 도시하는 개략 측면도이다.
도 11c는, 제2 위치 조정부에 의해 시트에 대한 촬상 본체부의 촬상 위치가 조정되는 상태를 도시하는 개략 측면도이다.
도 12a는, 제1 각도 조정부에 의해 시트에 대한 촬상 본체부의 촬상 각도가 조정되는 상태를 도시하는 개략 측면도이다.
도 12b는, 제1 각도 조정부에 의해 시트에 대한 촬상 본체부의 촬상 각도가 조정되는 상태를 도시하는 개략 측면도이다.
도 12c는, 제1 각도 조정부에 의해 시트에 대한 촬상 본체부의 촬상 각도가 조정되는 상태를 도시하는 개략 측면도이다.
도 13a는, 제2 각도 조정부에 의해 시트에 대한 촬상 본체부의 촬상 각도가 조정되는 상태를 도시하는 개략 측면도이다.
도 13b는, 제2 각도 조정부에 의해 시트에 대한 촬상 본체부의 촬상 각도가 조정되는 상태를 도시하는 개략 측면도이다.
도 13c는, 제2 각도 조정부에 의해 시트에 대한 촬상 본체부의 촬상 각도가 조정되는 상태를 도시하는 개략 측면도이다.
도 14는, 본 실시 형태의 검사 장치가 적용되는 일례의 시트를 도시하는 개략 측면도이다.
도 15는, 본 실시 형태의 검사 장치를 구비한 다른 시트의 반송 장치를 도시하는 개략 측면도이다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 관한 시트의 검사 장치 및 검사 방법에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 도 1 내지 도 7, 도 10 내지 도 13, 도 15에 있어서 시트의 반송 방향을 백색 화살표로 나타낸다.

먼저, 본 실시 형태의 시트의 검사 장치를 구비한 시트의 반송 장치에 대하여 설명된다.

도 1 및 도 2에 도시되는 바와 같이, 본 실시 형태의 시트(40)의 반송 장치(1)는, 띠형 시트(40)로서의 원단 시트(60)가 권회되어 이루어지는 복수의 롤체(61)로부터 원단 시트(60)를 각각 조출하는 복수의 조출부(3)와, 조출된 원단 시트(60)끼리를 적층하여 시트(40)로서의 적층 시트(50)를 형성하는 적층부(7)와, 적층 시트(50)를 권취하여 롤체(51)로서 회수하는 권취부(9)와, 이동 가능하며, 시트(40)를 검사 가능한 검사 장치(20)를 구비하고 있다.

본 실시 형태에서는, 2개의 검사 장치(20)가 시트(40)의 폭 방향을 따라 쌍을 이루도록 하여 구비되고, 이들 한 쌍의 검사 장치(20)가, 시트(40)를 검사하도록 되어 있다.

이 반송 장치(1)는, 조출부(3)로부터 조출된 원단 시트(60)끼리 적층부(7)에서 적층되어 적층 시트(50)가 형성되고, 형성된 적층 시트(50)가 권취부(9)에 의해 권취되도록 되어 있다.

또한, 이 시트(40)의 이동 시, 시트(40)가 검사 장치(20)에 의해 검사되도록 되어 있다.

본 실시 형태에서는, 2개의 검사 장치(20)가 완전히 동일한 구성을 갖기 때문에, 이하, 한쪽 검사 장치(20)(도 2의 우측의 검사 장치(20))에 대해서만 설명한다.

도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 검사 장치(20)는, 이동 경로를 따라 이동하는 띠형 시트(40)를 검사하는 시트(40)의 검사 장치(20)이며, 이동 가능한 가대(21)와, 상기 가대(21)에 지지되어 상기 시트(40)를 검사하는 검사부(22)를 구비하고 있다. 상기 검사부(22)는, 상기 시트(40)에 광을 조사하는 광원부(23)와, 상기 가대(21)가 시트(40)의 이동 경로에 있어서의 임의의 위치에 배치된 상태에서 상기 시트(40)에 대한 상대적인 촬상 위치 및 촬상 각도를 조정 가능하게 구성되고, 또한 상기 광원부(23)에 의해 광이 조사되고 있는 상기 시트(40)를 촬상하는 촬상부(25)를 갖고 있다.

또한, 시트(40)의 검사 장치(20)는, 상기 촬상부(25)와 전기적으로 접속되어, 상기 촬상부(25)로부터의 검사 결과를 취득하는 제어부(37)를 더 구비하고, 상기 제어부(37)는, 가대(21)의 이동에 따라 이동 가능하게 구성되어 있다.

가대(21)는, 검사 개소를 이동시키도록 이동 가능하게 구성되어 있고, 시트(40)의 이동 경로에 있어서 임의의 위치로 이동되는 것이다. 이 가대(21)가 검사부(22)와 함께 이동됨으로써, 검사 장치(20)가 이동되도록 되어 있다.

도 1에 도시되는 형태에서는, 가대(21)는, 시트(40)의 이동 경로에 있어서, 반송 장치(1)가 갖는 프레임(5)에 설치되도록 되어 있다. 예를 들어, 가대(21)는 볼트 등에 의해 프레임(5)에 설치되도록 되어 있다.

이 도 1에는, 2개의 조출부(3) 중 한쪽 조출부(3)의 근방의 프레임(5)에 가대(21)가 설치된 상태가 예시된다.

가대(21)는, 작업자가 운반할 수 있는 크기로 형성되어 있다.

이와 같이, 가대(21)가 운반 가능하게 형성되어 있음으로써, 가대(21)의 이동이 용이해진다.

도 2, 도 3에 도시하는 바와 같이, 가대(21)는, 그 주체를 이루는 L자형 본체부(21a)와, 해당 본체부(21a)를 보강하는 보강부(21b)를 갖고 있다. 본체부(21a)의 L자의 일단부는, 프레임(5)의 측면에 볼트 등에 의해 고정되고, 타단부는, 해당 프레임(5)의 측면측(외측)으로부터 내측을 향하여 돌출되어 있다. 상기 L자의 일단부에는 광원부(23)가 고정되어 있다. 상기 L자의 타단부에는 촬상부(25)가 고정되어 있다. 보강부(21b)는, 본체부(21a)의 측면부에 배치되어, 해당 본체부(21a)를 보강하도록 되어 있다.

검사부(22)는, 시트(40)에 광을 조사하는 광원부(23)와, 촬상부(25)를 갖고 있다.

촬상부(25)는, 가대(21)가 시트(40)의 이동 경로에 있어서의 임의의 위치에 배치된 상태에서 시트(40)에 대한 상대적인 촬상 위치 및 촬상 각도를 조정 가능하게 구성되고, 또한 상기 광원부(23)에 의해 광이 조사되고 있는 상기 시트(40)를 촬상하도록 구성되어 있다.

광원부(23)는, 시트(40)에 광을 조사하는 것이다. 해당 광원부(23)는, 광원 본체부(23a)와, 가대(21)에 접속되는 접속부(23b)를 갖고 있으며, 해당 접속부(23b)가 가대(21)의 본체부(21a)의 상기 일단부에 접속되어 있다. 광원부(23)는, 시트(40)의 일면(여기서는 하면)측으로부터 시트(40)를 향하여 광을 조사하도록 되어 있다.

촬상부(25)는, 시트(40)에 대한 상대적인 촬상 위치 및 촬상 각도를 조정 가능하게 구성되고, 또한 상기 광원부(23)에 의해 광이 조사되고 있는 상기 시트(40)를 촬상하는 것이다.

상기 촬상 각도는, 시트(40)의 피촬상면(여기서는 상면)과 촬상부(25)의 촬상 방향이 이루는 각도이다.

본 실시 형태에서는, 촬상부(25)는, 시트(40)의 일면(여기서는 하면)측으로부터 광이 조사되고 있는 시트(40)를, 타면(여기서는 상면)측으로부터 촬상하도록 되어 있다.

촬상부(25)는, 시트(40)에 대한 상대적인 촬상 위치 및 촬상 각도를 조정 가능하도록 구성되어 있다.

구체적으로는, 도 4 내지 도 7에 도시되는 바와 같이, 촬상부(25)는, 촬상 본체부(27)와, 시트(40)에 대하여 촬상 본체부(27)를 이동시켜 상기 상대적인 촬상 위치를 조정하는 것이 가능한 위치 조정부(31)와, 시트(40)에 대하여 촬상 본체부(27)를 회전시켜 상기 상대적인 촬상 각도를 조정하는 것이 가능한 각도 조정부(33)를 갖고 있다.

촬상 본체부(27)는, 시트(40)를 촬상하는 주체를 이루는 것이다.

이러한 촬상 본체부(27)로서는, 종래 공지의 카메라 등이 채용될 수 있다.

위치 조정부(31)는, 시트(40)에 대하여 촬상 본체부(27)를 이동시킴으로써 상기 상대적인 촬상 위치를 조정 가능한 것이다. 구체적으로는, 위치 조정부(31)는, 일방향(제1 방향), 및 해당 일방향(제1 방향)에 수직인 방향(제2 방향)으로 촬상 본체부(27)를 이동시키는 것이 가능하게 구성되어 있다.

보다 구체적으로는, 위치 조정부(31)는, 시트(40)에 대하여 접근 및 이격하는 방향(제1 방향, 여기서는 연직 방향, 즉 시트(40)에 수직인 방향)으로 촬상 본체부(27)를 이동시키는 것이 가능한 제1 위치 조정부(31a)와, 해당 제1 위치 조정부(31a)에 의한 이동 방향에 수직인 방향(제2 방향, 여기서는 수평 방향, 즉 시트(40)의 폭 방향)으로 촬상 본체부(27)를 이동시키는 것이 가능한 제2 위치 조정부(31b)를 갖고 있다.

도 5 및 도 7이 참조되면서, 도 8a 내지 도 8c에 도시되는 바와 같이, 제1 위치 조정부(31a)는, 서로 상대적으로 이동 가능한 2개의 스테이지부(31aa, 31ab)와, 2개의 스테이지부(31aa, 31ab)의 상대적인 이동량을 조정하기 위한 이동량 조정부(31ac)와, 평탄한 저면(31ad)을 갖고 있다. 이동량 조정부(31ac)로서는, 회전시킴으로써 상기 이동량을 조정 가능한 손잡이부가 채용되어 있다.

이러한 제1 위치 조정부(31a)로서는, 한쪽이 다른 쪽에 대하여 직선적으로 이동하도록 2개의 스테이지부(31aa, 31ab)가 랙 피니언 기구에 의해 연결되어 이루어지는 것이 사용될 수 있다. 이러한 제1 위치 조정부(31a)로서는, 시그마 고키사제의 조미동 랙 피니언 스테이지(예를 들어, 품번 TAR-38801D 등)를 들 수 있다.

이 제1 위치 조정부(31a)는, 2개의 스테이지부(31aa, 31ab)가, 시트(40)에 대하여 접근 및 이격하는 방향(여기서는 연직 방향)으로 서로 상대적으로 이동 가능하도록 배치되어 있다.

또한, 제2 위치 조정부(31b)는, 서로 상대적으로 이동 가능한 2개의 스테이지부(31ba, 31bb)와, 2개의 스테이지부(31ba, 31bb)의 상대적인 이동량을 조정하기 위한 이동량 조정부(31bc)와, 평탄한 저면(31bd)을 갖고 있다. 이동량 조정부(31bc)로서는, 회전시킴으로써 상기 이동량을 조정 가능한 손잡이부가 채용되어 있다.

이러한 제2 위치 조정부(31b)로서는, 한쪽이 다른 쪽에 대하여 직선적으로 이동하도록 2개의 스테이지부(31ba, 31bb)가 랙 피니언 기구에 의해 연결되어 이루어지는 것이 사용될 수 있다. 이러한 제2 위치 조정부(31b)로서는, 상기와 마찬가지로, 시그마 고키사제의 조미동 랙 피니언 스테이지(예를 들어, 품번 TAR-38801D 등)를 들 수 있다.

이 제2 위치 조정부(31b)는, 2개의 스테이지부(31ba, 31bb)가, 제1 위치 조정부(31a)에 의한 이동 방향에 수직인 방향(여기서는 수평 방향, 즉 시트(40)의 폭 방향)으로 서로 상대적으로 이동 가능하도록 배치되어 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 제1 및 제2 위치 조정부(31a, 31b)로서, 동일한 구성을 갖는 2개의 위치 조정부가, 서로의 이동 방향이 90°기울어져 있도록 배치된 것이 채용된다.

도 5 및 도 7에 도시되는 바와 같이, 제1 위치 조정부(31a)의 한쪽 스테이지부(31ab)는, 제2 위치 조정부(31b)의 한쪽 스테이지부(31ba)에, 도시하지 않은 접속부에 의해 연결되어 있다. 또한, 제1 위치 조정부(31a)의 다른 쪽 스테이지부(31aa)는, 도시하지 않은 접속부에 의해 가대(21)에 설치되어 있다.

각도 조정부(33)는, 시트(40)에 대하여 촬상 본체부(27)를 회전시킴으로써 상기 상대적인 촬상 각도를 조정 가능한 것이다. 또한, 촬상 각도의 변경은, 촬상 본체부(27)의 자세의 변경에 상당한다. 구체적으로는, 각도 조정부(33)는, 임의의 하나의 회전축(제1 회전축)(R1), 및 해당 회전축(R1)에 수직인 회전축(제2 회전축)(R2)을 중심으로 하여 촬상 본체부(27)를 회전시키도록 구성되어 있다(도 4, 도 6 참조).

보다 구체적으로는, 각도 조정부(33)는, 회전축(R1)(여기서는 제1 각도 조정부(33a)의 저면(33ad)에 평행, 또한 시트(40)의 폭 방향에 평행인 회전축, 즉 시트(40)의 폭 방향에 평행인 회전축)을 중심으로 하여, 시트(40)에 대하여 촬상 본체부(27)를 회전시키는 제1 각도 조정부(33a)와, 해당 제1 각도 조정부(33a)의 회전축(R1)에 수직인 회전축(R2)(여기서는, 제2 각도 조정부(33b)의 평탄한 저면(33bd)에 평행, 또한 제1 각도 조정부(33a)의 회전축(R1)에 수직인 회전축, 즉 시트(40)에 수직인 회전축)을 중심으로 하여, 시트(40)에 대하여 촬상 본체부(27)를 회전시키는 제2 각도 조정부(33b)를 갖고 있다.

도 5 및 도 7이 참조되면서, 도 9a 내지 도 9c에 도시되는 바와 같이, 제1 각도 조정부(33a)는, 서로 상대적으로 회전 가능한 2개의 스테이지부(33aa, 33ab)와, 2개의 스테이지부(33aa, 33ab)의 상대적인 회전량을 조정하기 위한 회전량 조정부(33ac)와, 평탄한 저면(33ad)을 갖고 있다. 회전량 조정부(33ac)로서는, 회전시킴으로써 상기 회전량을 조정 가능한 손잡이부가 채용되어 있다.

이러한 제1 각도 조정부(33a)로서는, 한쪽이 다른 쪽에 대하여 원호를 그리면서 이동하도록 2개의 스테이지부(33aa, 33ab)가 연결되어 이루어지는 고니오 스테이지가 사용될 수 있다. 이러한 제1 각도 조정부(33a)로서는, 시그마 고키사제의 α축 고니오 스테이지(예를 들어, 품번 GOH-60A115, GOH-60A50 등)를 들 수 있다.

이 제1 각도 조정부(33a)는, 2개의 스테이지부(33aa, 33ab)가, 스테이지부(33aa)의 저면(즉, 제1 각도 조정부(33a)의 저면)(33ad)에 평행, 또한 시트(40)의 폭 방향에 평행인 회전축(R1)(즉, 상기와 같이, 시트(40)의 폭 방향에 평행인 회전축)을 중심으로 하여 서로 상대적으로 회전 가능하게 되도록 배치되어 있다.

또한, 제2 각도 조정부(33b)는, 서로 상대적으로 회전 가능한 2개의 스테이지부(33ba, 33bb)와, 2개의 스테이지부(33ba, 33bb)의 상대적인 회전량을 조정하기 위한 회전량 조정부(33bc)를 갖고 있다. 회전량 조정부(33bc)로서는, 회전시킴으로써 상기 회전량을 조정 가능한 손잡이부가 채용되어 있다.

이러한 제2 각도 조정부(33b)로서는, 한쪽이 다른 쪽에 대하여 원호를 그려서 이동하도록 2개의 스테이지부(33ba, 33bb)가 연결되어 이루어지는 고니오 스테이지가 사용될 수 있다. 이러한 제2 각도 조정부(33b)로서는, 상기와 마찬가지로, 시그마 고키사제의 α축 고니오 스테이지(예를 들어, 품번 GOH-60A115, GOH-60A50 등)를 들 수 있다.

이 제2 각도 조정부(33b)는, 2개의 스테이지부(33ba, 33bb)가, 스테이지부(33ba)의 저면(즉, 제2 각도 조정부(33b)의 저면)(33bd)에 평행, 또한 제1 각도 조정부(33a)의 회전축(R1)에 수직인 회전축(R2)(즉, 상기와 같이, 시트(40)에 수직인 회전축)을 중심으로 하여 서로 상대적으로 회전 가능하게 되도록 배치되어 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 제1 및 제2 각도 조정부(33a, 33b)로서, 동일한 구성을 갖는 2개의 각도 조정부가, 서로의 회전축이 90°기울어져 있도록 배치된 것이 채용되어 있다.

도 5 및 도 7에 도시되는 바와 같이, 제1 각도 조정부(33a)의 한쪽 스테이지부(33ab)는, 제2 각도 조정부(33b)의 한쪽 스테이지부(33ba)에, 도시하지 않은 접속부에 의해 연결되어 있다. 또한, 제1 각도 조정부(33a)의 다른 쪽 스테이지부(33aa)는, 제2 위치 조정부(31b)에 있어서의 제1 위치 조정부(31a)와는 반대측의 스테이지부(31bb)에 도시하지 않은 접속부에 의해 연결되어 있다.

상기 위치 조정부(31) 및 각도 조정부(33)에 의한, 시트(40)에 대한 촬상 본체부(27)의 촬상 위치 및 촬상 각도의 조정에 대하여, 이하에 설명한다.

도 10a 내지 도 10c에 도시되는 바와 같이, 제1 위치 조정부(31a)의 이동량 조정부(31ac)가 회전됨으로써 해당 제1 위치 조정부(31a)가 작동하면, 가대(21)에 설치된 스테이지부(31aa)에 대하여 다른 쪽 스테이지부(31ab)가, 상기와 같이 연직 방향으로 이동한다. 이 이동에 수반하여, 제2 위치 조정부(31b), 각도 조정부(33) 및 촬상 본체부(27)가, 상기와 같이 연직 방향으로 이동한다. 이에 의해, 시트(40)에 수직인 방향에 있어서의 시트(40)에 대한 촬상 본체부(27)의 촬상 위치(즉, 시트(40)와 촬상 본체부(27)의 중심을 연결하는 최단 거리 L)가 조정될 수 있다.

도 11a 내지 도 11c에 도시하는 바와 같이, 제2 위치 조정부(31b)의 이동량 조정부(31bc)가 회전됨으로써 해당 제2 위치 조정부(31b)가 작동하면, 제1 위치 조정부(31a)의 스테이지부(31ab)에 연결된 제2 위치 조정부(31b)의 스테이지부(31ba)에 대하여, 다른 쪽 스테이지부(31bb)가, 상기와 같이 시트(40)의 폭 방향으로 이동한다. 이 이동에 수반하여, 각도 조정부(33) 및 촬상 본체부(27)가, 상기와 같이 시트(40)의 폭 방향으로 이동한다. 이에 의해, 시트(40)의 폭 방향에 있어서의 시트(40)에 대한 촬상 본체부(27)의 촬상 위치가 조정될 수 있다.

도 12a 내지 도 12c에 도시되는 바와 같이, 제1 각도 조정부(33a)의 회전량 조정부(33ac)가 회전됨으로써 해당 제1 각도 조정부(33a)가 작동하면, 제2 위치 조정부(31b)의 스테이지부(31bb)에 연결된 제1 각도 조정부(33a)의 스테이지부(33aa)에 대하여, 다른 쪽 스테이지부(33ab)가, 상기와 같이 시트(40)의 폭 방향에 평행인 회전축(R1)을 중심으로 하여 회전한다. 이 회전에 수반하여, 제2 각도 조정부(33b) 및 촬상 본체부(27)가, 상기와 같이 시트(40)의 폭 방향에 평행인 회전축(R1)을 중심으로 하여 회전한다. 이에 의해, 시트(40)에 대한 촬상 본체부(27)의 촬상 각도 중, 시트(40)에 수직, 또한 시트(40)의 폭 방향에 수직(긴 변 방향에 평행)인 가상 평면에 있어서의 촬상 각도 성분 θ1이 조정될 수 있다.

도 13a 내지 도 13c에 도시되는 바와 같이, 제2 각도 조정부(33b)의 회전량 조정부(33bc)가 회전됨으로써 해당 제2 각도 조정부(33b)가 작동하면, 제1 각도 조정부(33a)의 스테이지부(33ab)에 연결된 제2 각도 조정부(33b)의 스테이지부(33ba)에 대하여, 다른 쪽 스테이지부(33bb)가, 상기와 같이 스테이지부(33ba)의 저면(33bd)에 평행, 또한 제1 각도 조정부(33a)의 회전축(R1)에 수직인 회전축(즉, 시트(40)에 수직인 회전축)(R2)을 중심으로 하여 회전한다. 이 회전에 수반하여, 촬상 본체부(27)가, 상기와 같이 스테이지부(33ba)의 저면(33bd)에 평행, 또한 제1 각도 조정부(33a)의 회전축(R1)에 수직인 회전축(즉, 시트(40)에 수직인 회전축)(R2)을 중심으로 하여 회전한다. 이에 의해, 시트(40)에 대한 촬상 본체부(27)의 촬상 각도 중, 시트(40)에 평행인 가상 평면에 있어서의 촬상 각도 성분 θ2가 조정될 수 있다.

상기한 제1 위치 조정부(31a)에 의한 촬상 본체부(27)의 이동 동작과 제2 위치 조정부(31b)에 의한 촬상 본체부(27)의 이동 동작을 조합함으로써, 시트(40)에 대한 촬상 본체부(27)의 촬상 위치를 자유롭게 조정할 수 있다.

상기한 제1 각도 조정부(33a)에 의한 촬상 본체부(27)의 회전 동작과 제2 각도 조정부(33b)에 의한 촬상 본체부(27)의 회전 동작을 조합함으로써, 시트(40)에 대한 촬상 본체부(27)의 촬상 각도를 자유롭게 조정할 수 있다.

제어부(37)는, 촬상부(25)와 전기적으로 접속되어 있고, 촬상부(25)에서의 검사 결과가 전자 데이터로서 송신되어, 송신된 검사 결과를 취득하는 것이다.

또한, 제어부(37)는, 이동 가능하게 구성되어 있고, 이에 의해, 가대(21)의 이동에 수반하여 제어부(37)가 이동되도록 되어 있다.

이러한 제어부(37)로서는, 중앙 처리 장치(CPU)를 구비한 컴퓨터 등을 들 수 있다.

이어서, 본 실시 형태의 시트(40)의 반송 장치(1)에 있어서, 이동하고 있는 시트(40)를, 검사 장치(20)를 사용하여 검사하는 검사 방법에 대하여, 이하에 설명된다.

우선, 반송 장치(1)의 프레임(5)에, 검사 장치(20)가 이동되어 가대(21)가 설치된다.

예를 들어, 도 1에 도시하는 바와 같이, 원단 시트(60)(시트(40))의 조출부(3)의 근방의 프레임(5)에, 검사 장치(20)의 가대(21)가 설치된다.

가대(21)가 설치된 후(즉, 가대(21)가 시트(40)의 이동 경로에 있어서의 임의의 위치에 배치된 상태에서), 위치 조정부(31) 및 각도 조정부(33)에 의해, 원단 시트(60)에 대한 촬상부(25)의 촬상 위치 및 촬상 각도가 조정된다.

구체적으로는, 상기한 바와 같이, 제1 위치 조정부(31a)에 의한, 원단 시트(60)에 대하여 접근하는 방향 및 이격하는 방향에 있어서의 촬상 본체부(27)의 촬상 위치 조정(도 10a 내지 도 10c 참조)과, 제2 위치 조정부(31b)에 의한, 원단 시트(60)의 폭 방향에 있어서의 촬상 본체부(27)의 촬상 위치 조정(도 11a 내지 도 11c 참조)과, 제1 각도 조정부(33a)에 의한, 원단 시트(60)에 수직, 또한 원단 시트(60)의 폭 방향에 수직인 가상 평면 상에서의 원단 시트(60)에 대한 촬상 본체부(27)의 촬상 각도 성분 θ1의 조정(도 12a 내지 도 12c 참조)과, 제2 각도 조정부(33b)에 의한, 원단 시트(60)에 평행인 가상 평면 상에서의 원단 시트(60)에 대한 촬상 본체부(27)의 촬상 각도 성분 θ2의 조정(도 13a 내지 도 13c 참조)이 조합되어 행해짐으로써, 원단 시트(60)에 대한 촬상 본체부(27)의 촬상 위치 및 촬상 각도가 조정되고, 이에 의해, 촬상 본체부(27)의 촬상 대상 영역 및 초점이 적절한 것으로 된다.

이 상태에서, 롤체(61)로부터 조출부(3)에 의해 원단 시트(60)가 조출되고, 이와 같이 조출됨으로써 이동하고 있는 원단 시트(60)에 대하여, 광원부(23)에 의해 광이 조사되고, 광이 조사되고 있는 원단 시트(60)가 촬상부(25)의 촬상 본체부(27)에 의해 촬상됨으로써, 검사가 행해진다.

얻어진 검사 결과는, 전자 데이터로서 촬상부(25)로부터 제어부(37)로 송신된다.

이와 같이, 조출부(3)의 근방의 프레임(5)에 검사 장치(20)가 이동되어, 해당 검사 장치(20)가 이동된 위치에서, 원단 시트(60)가 검사된다.

또한, 이와 같이 원단 시트(60)의 검사가 행해지면서, 검사된 원단 시트(60)와, 다른 조출부(3)로부터 조출된 원단 시트(60)가 적층부(7)에 의해 적층되어 적층 시트(50)(시트(40))가 형성되고, 형성된 적층 시트(50)가, 권취부(9)에 의해 권취되어 롤체(51)로서 회수된다.

또한, 시트(40)의 이동 경로에 있어서, 다른 위치에서 시트(40)의 검사가 행해지는 경우에는, 권취부(3)의 근방의 프레임(5)으로부터 검사 장치(20)가 분리되고, 예를 들어 적층부(7)의 근방의 프레임(도시하지 않음)으로 검사 장치(20)가 이동되고, 해당 프레임에 검사 장치(20)가 상기와 마찬가지로 설치되어, 해당 검사 장치(20)가 이동된 위치에서, 적층 시트(50)의 검사가 행해진다.

상기한 본 실시 형태의 시트(40)의 검사 장치(20) 및 시트(40)의 검사 방법은, 이하와 같은 이점을 갖는다.

즉, 본 실시 형태의 시트(40)의 검사 장치(20)는,

이동 경로를 따라 이동하는 띠형 시트(40)를 검사하는 시트(40)의 검사 장치이며,

이동 가능한 가대(21)와,

가대(21)에 지지되어 시트(40)를 검사하는 검사부(22)를 구비하고,

검사부(22)는,

시트(40)에 광을 조사하는 광원부(23)와,

가대(21)가 시트(40)의 이동 경로에 있어서의 임의의 위치에 배치된 상태에서 시트(40)에 대한 상대적인 촬상 위치 및 촬상 각도를 조정 가능하게 구성되고, 또한 광원부(23)에 의해 광이 조사되고 있는 시트(40)를 촬상하는 촬상부(25)를 갖고 있다.

이러한 구성에 따르면, 검사부(22)와 함께 가대(21)를 이동시킴으로써, 시트(40)의 이동 경로에 있어서의 임의의 위치로 검사 장치(20)를 이동시킬 수 있다. 그리고, 이와 같이 검사 장치(20)가 이동된 위치에서, 시트(40)에 대한 촬상부(25)의 촬상 위치 및 촬상 각도를 조정할 수 있다. 이에 의해, 촬상부(25)의 촬상 대상 영역 및 초점을 적절하게 맞추어, 시트(40)의 검사를 행하는 것이 가능하게 된다.

따라서, 어느 위치에서 어떠한 불량이 발생하였는지와 같은, 시트 불량의 발생 위치 및 발생 원인을 충분히 특정할 수 있다.

본 실시 형태의 시트(40)의 검사 장치(20)에 있어서는,

촬상부(25)는,

촬상 본체부(27)와,

시트(40)에 대하여 촬상 본체부(27)를 이동시켜 상기 상대적인 촬상 위치를 조정하는 것이 가능한 위치 조정부(31)와,

시트(40)에 대하여 촬상 본체부(27)를 회전시켜 상기 상대적인 촬상 각도를 조정하는 것이 가능한 각도 조정부(33)를 갖고 있다.

이러한 구성에 따르면, 위치 조정부(31)에 의해, 시트(40)에 대하여 촬상 본체부(27)를 이동시켜 상기 상대적인 촬상 위치를 조정하고, 각도 조정부(33)에 의해, 시트(40)에 대하여 촬상 본체부(27)를 회전시켜 상기 상대적인 촬상 각도를 조정할 수 있다.

이에 의해, 시트(40)에 대한 촬상 본체부(27)의 촬상 위치 조정과 촬상 각도 조정을 독립적으로 행하는 것도, 이들 촬상 위치 조정과 촬상 각도 조정을 조합하여 행하는 것도 가능하므로, 시트(40)에 대한 촬상 본체부(27)의 촬상 위치 및 촬상 각도를 보다 상세하게 조정할 수 있다.

따라서, 가대(21)의 배치 상태에 영향을 받지 않고, 촬상 본체부(27)의 촬상 위치와 촬상 각도를, 원하는 촬상 위치와 촬상 각도로 조정할 수 있고, 이에 의해, 시트 불량의 발생 위치 및 발생 원인을 보다 충분히 특정할 수 있다.

본 실시 형태의 시트(40)의 검사 장치(20)에 있어서는,

위치 조정부(31)는, 시트(40)에 대하여 제1 방향과, 해당 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 촬상 본체부(27)를 이동시키도록 구성되고,

각도 조정부(33)는, 시트(40)에 대하여 제1 회전축(R1)과, 해당 제1 회전축(R1)에 수직인 제2 회전축(R2)을 중심으로 하여 촬상 본체부(27)를 회전시키도록 구성되어 있다.

이러한 구성에 따르면, 촬상 본체부(27)의 촬상 위치와 촬상 각도를, 보다 상세하게 조정할 수 있다.

본 실시 형태의 시트(40)의 검사 장치(20)에 있어서는,

위치 조정부(31)는, 시트(40)에 대하여 접근 및 이격하는 방향으로 촬상 본체부(27)를 이동시키는 것이 가능한 제1 위치 조정부(31a)와, 해당 제1 위치 조정부(31a)에 의한 이동 방향에 수직인 방향으로 촬상 본체부(27)를 이동시키는 것이 가능한 제2 위치 조정부(31b)를 갖고,

각도 조정부(33)는, 시트(40)에 대하여 제1 회전축(R1)을 중심으로 하여 촬상 본체부(27)를 회전시키는 제1 각도 조정부(33a)와, 제2 회전축(R2)을 중심으로 하여 촬상 본체부(27)를 회전시키는 제2 각도 조정부(33b)를 갖고 있다.

이러한 구성에 따르면, 제1 위치 조정부(31a)에 의한 촬상 본체부(27)의 이동 동작과 제2 위치 조정부(31b)에 의한 촬상 본체부(27)의 이동 동작을 조합함으로써, 시트(40)에 대한 촬상 본체부(27)의 촬상 위치를 자유롭게 조정할 수 있다.

또한, 제1 각도 조정부(33a)에 의한 촬상 본체부(27)의 회전 동작과 제2 각도 조정부(33b)에 의한 촬상 본체부(27)의 회전 동작을 조합함으로써, 시트(40)에 대한 촬상 본체부(27)의 촬상 각도를 자유롭게 조정할 수 있다.

따라서, 촬상 본체부(27)의 촬상 위치와 촬상 각도를 더욱 상세하게 조정할 수 있다.

본 실시 형태의 시트(40)의 검사 장치(20)에 있어서는, 광원부(23)가 시트(40)의 하측에 배치되고, 촬상부(25)가 시트(40)의 상측에 배치되도록 되어 있다.

이러한 구성에 따르면, 이물 등이 촬상부(25)에 낙하하는 것을 억제할 수 있기 때문에, 해당 촬상부(25)에 대한 이물의 부착에 기인하는 검사 정밀도의 저하를 억제할 수 있다.

본 실시 형태의 시트(40)의 검사 장치(20)는,

촬상부(25)와 전기적으로 접속되어, 촬상부(25)로부터의 검사 결과를 취득하는 제어부(37)를 더 구비하고,

제어부(37)는, 가대(21)의 이동에 따라 이동 가능하게 구성되어 있다.

이러한 구성에 따르면, 가대(21)의 이동(즉, 촬상부(25)의 이동)에 따라 제어부(37)를 이동시킴으로써, 촬상부(25)로부터의 검사 결과를 제어부(37)가 취득할 수 있기 때문에, 그만큼, 촬상부(25)와 제어부(37)를 전기적으로 접속하기 위한 배선을 짧게 할 수 있다. 또한, 촬상부(25)와 제어부(37)의 배치의 자유도가 높아지기 때문에, 양자를 보다 이동시키기 쉽게 할 수 있고, 이에 의해, 보다 간편하게 시트(40)를 검사할 수 있다. 게다가, 복수의 위치에서의 검사 결과를 보다 간편하게 취득할 수 있다.

또한, 복수의 위치에서 검사 결과를 취득하는 형태를 채용하는 경우에는, 취득한 복수의 검사 결과를 비교하여, 보다 이물이 발생하기 쉬운 위치를 특정하는 것이 가능하게 되므로, 시트(40)의 이동 경로에 있어서의 검사해야 할 위치를 보다 적절하게 특정할 수 있다.

이와 같이, 검사 장치(20)가 보다 유용한 것이 된다.

본 실시 형태의 시트(40)의 검사 방법은,

시트(40)의 검사 장치(20)를 사용하여, 시트(40)를 검사하는 방법이다.

이러한 구성에 따르면, 상기 시트(40)의 검사 장치(20)를 사용하여 시트(40)의 검사를 행함으로써, 상기와 마찬가지로, 시트 불량의 발생 위치 및 발생 원인을 충분히 특정할 수 있다.

본 실시 형태의 시트(40)의 검사 방법에 있어서는, 시트(40)의 검사 장치(20)를 사용하여, 이동 경로에 있어서의 소정의 위치로 검사 장치(20)를 이동시켜 시트(40)를 검사한다.

이러한 구성에 따르면, 검사 장치(20)를 사용하여 검사를 행함으로써, 시트 불량의 발생 위치 및 발생 원인을 충분히 특정할 수 있다.

본 실시 형태의 시트(40)의 검사 장치(20)가 구비된 반송 장치(1)에 따르면, 검사 장치(20)에 의해 시트(40)를 검사하면서 시트(40)를 반송할 수 있다.

이와 같이, 검사 장치(20)를 사용하여 검사를 행하면서 시트(40)를 반송함으로써, 시트 불량의 발생 위치 및 발생 원인을 충분히 특정하면서 시트(40)를 반송하는 것이 가능하게 된다.

본 실시 형태의 시트(40)의 검사 장치(20)를 사용한 시트(40)의 반송 방법에 따르면, 시트(40)를 검사하면서 시트(40)를 반송할 수 있다.

이상과 같이, 본 실시 형태에 따르면, 시트 불량의 발생 위치 및 발생 원인을 충분히 특정할 수 있는 시트(40)의 검사 장치(20) 및 검사 방법이 제공된다.

본 실시 형태의 시트(40)의 검사 장치 및 검사 방법은, 상기와 같은 구성을 구비하고, 상기와 같은 이점을 갖지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 본 발명이 의도하는 범위 내에 있어서 적절하게 설계 변경되는 것이 가능하다.

예를 들어, 검사 장치(20)에서 검사되는 시트(40)로서, 도 14에 도시하는 바와 같은 적층 시트(편광판)(50)가 채용되어도 된다. 도 14에 도시되는 적층 시트(50)는, 각각 원단 시트로서의 세퍼레이터(60a), 위상차 필름(60b), 보호 필름(60c), 편광자(60d), 보호 필름(60e), 박리 라이너(60f)를 갖고 있다. 이들 각 원단 시트가, 각 롤러체로부터 조출부에 의해 조출되어 적층부에 공급되면서, 적층부에서 적층되어, 적층 시트(50)가 형성되도록 되어 있다. 또한, 형성된 적층 시트(50)가 권취되어 회수되도록 되어 있다.

이러한 각 원단 필름(60a 내지 60f) 및 적층 시트(50)의 어느 이동 경로에 있어서 임의의 위치로 검사 장치(20)가 이동되어, 해당 검사 장치(20)가 이동된 위치에서, 해당 어느 시트가 검사되는 형태가 채용되어도 된다.

또한, 예를 들어 도 15에 도시되는 바와 같은 형태의 반송 장치(1)에 검사 장치(20)가 구비되는 형태가 채용되어도 된다. 이 반송 장치(1)는, 시트(40)로서의 원단 시트(60)가 권회되어 이루어지는 롤체(61)로부터 조출부(3)에 의해 원단 시트(60)가 조출되고, 조출된 원단 시트(60)가 제1 건조부(71)에 의해 건조되고, 코로나 처리부(73)에 의해 코로나 처리된 후, 도포 시공부(75)에 의해 원단 시트(60)에 도포 시공액이 도포 시공되고, 제2 건조부(77)에 의해 건조되어, 원단 시트(60)에 도포 시공막이 형성되어 이루어지는 시트(63)(시트(40))가 형성된 후, 해당 시트(63)가 텐션 롤러(79)에 걸쳐지면서 이동하고, 권취부(9)에 의해 권취되어 롤체(65)로서 회수되도록 구성되어 있다. 이 경우, 원단 시트(60) 및 도포 시공막이 형성되어 이루어지는 시트(63)의 이동 경로에 있어서 임의의 위치로 검사 장치(20)가 이동되어, 각 시트가 검사될 수 있다.

1: 반송 장치
3: 조출부
7: 적층부
9: 권취부
20: 검사 장치
21: 가대
22: 검사부
23: 광원부
25: 촬상부
27: 촬상 본체부
31: 위치 조정부
33: 각도 조정부
37: 제어부
40: 시트
50: 적층 시트
60: 원단 시트

Claims

이동 경로를 따라 이동하는 띠형 시트를 검사하는 시트의 검사 장치이며,
이동 가능한 가대와,
상기 가대에 지지되어 상기 시트를 검사하는 검사부를 구비하고,
상기 검사부는,
상기 시트에 광을 조사하는 광원부와,
상기 가대가 상기 이동 경로에 있어서의 임의의 위치에 배치된 상태에서 상기 시트에 대한 상대적인 촬상 위치 및 촬상 각도를 조정 가능하게 구성되고, 또한 상기 광원부에 의해 광이 조사되고 있는 상기 시트를 촬상하는 촬상부를 갖고 있는, 시트의 검사 장치.
제1항에 있어서, 상기 촬상부는,
촬상 본체부와,
상기 시트에 대하여 상기 촬상 본체부를 이동시켜 상기 상대적인 촬상 위치를 조정하는 것이 가능한 위치 조정부와,
상기 시트에 대하여 상기 촬상 본체부를 회전시켜 상기 상대적인 촬상 각도를 조정하는 것이 가능한 각도 조정부를 갖는, 시트의 검사 장치.
제2항에 있어서, 상기 위치 조정부는, 상기 시트에 대하여 제1 방향과, 해당 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 상기 촬상 본체부를 이동시키도록 구성되고,
상기 각도 조정부는, 상기 시트에 대하여 제1 회전축과, 해당 제1 회전축에 수직인 제2 회전축을 중심으로 하여 상기 촬상 본체부를 회전시키도록 구성되어 있는, 시트의 검사 장치.
제3항에 있어서, 상기 위치 조정부는, 상기 시트에 대하여 접근 및 이격하는 방향으로 상기 촬상 본체부를 이동시키는 것이 가능한 제1 위치 조정부와, 해당 제1 위치 조정부에 의한 이동 방향에 수직인 방향으로 상기 촬상 본체부를 이동시키는 것이 가능한 제2 위치 조정부를 갖고,
상기 각도 조정부는, 상기 시트에 대하여 상기 제1 회전축을 중심으로 하여 상기 촬상 본체부를 회전시키는 제1 각도 조정부와, 상기 제2 회전축을 중심으로 하여 상기 촬상 본체부를 회전시키는 제2 각도 조정부를 갖고 있는, 시트의 검사 장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 촬상부와 전기적으로 접속되어, 상기 촬상부로부터의 검사 결과를 취득하는 제어부를 더 구비하고,
상기 제어부는, 상기 가대의 이동에 따라 이동 가능하게 구성되어 있는, 시트의 검사 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 시트의 검사 장치를 사용하여,
상기 시트를 검사하는, 시트의 검사 방법.