KR20180058730A - 라인 스캔 영상내 실시간 포커싱 - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 일 실시예에 따른 스캐닝 시스템의 예제 측면도를 예시하는 블록 다이어그램이다;
도 2 는 일 실시예에 따른 조명(illumination)의 반경 및 원형의 광학적 FOV(field of view)에 대하여 포커싱 센서 및 영상 센서의 예제 구성을 예시하는 블럭 다이어그램이다;
도 3a은 일 실시예에 따른 영상 센서의 예제 평면도 구성을 예시하는 블록 다이어그램이다;
도 3b는 일 실시예에 따른 틸트된(tilted) 포커싱 센서의 예제 평면도 구성을 예시하는 블록 다이어그램이다;
도 3c는 센서의 예제를 예시하는 블럭 다이어그램이고, 일 실시예에 따라 센서의 절반은 정상 이미지를 생성하기 위해 사용되고, 나머지 절반은 그것을 걸쳐 다양한 초점 깊이들을 갖는 이미지를 생성하기 위해 사용된다;
도 4는 일 실시예에 따른 틸트된 포커싱 센서의 예제 평면도 구성을 예시하는 블록 다이어그램이다;
도 5 는 일 실시예에 따라 스캐닝 동안에 포커싱 센서와 영상 센서 간에 예제 상호작용(interplay)을 예시하는 시간 챠트 다이어그램이다;
도 6은 일 실시예에 따른 포커싱 광학기기(focusing optics)를 갖는 예제 틸트된 포커싱 센서를 예시하는 블록 다이어그램이다;
도면들 7a-7c는 일 실시예에 따른 포커싱 광학기기를 갖는 예제 논-틸트된 포커싱 센서를 예시하는 블록 다이어그램들이다;
도 8 은 일 실시예에 따른 피크-발견(peak-finding) 알고리즘으로부터의 예제 결과들을 예시한다.
도 9a는 일 실시예에 따른 틸트된 포커싱 센서와 영상 센서 사이의 초점 관계(focal relationship)을 예시한다.
도면들 9b-9d는 일 실시예에 따라 틸트된 포커싱 센서 및 영상 센서에 대한 콘트라스트 함수들의 관계들을 예시한다.
도 10 은 일 실시예에 따른 두개의 틸트된 라인 센서들을 포함하는 예제 틸트된 포커싱 센서를 예시한다.
도 11a은 일 실시예에 따른 역전된 이미지들을 획득하기 위한 포커싱 광학기기를 갖는 예제 틸트된 포커싱 센서를 예시하는 블록 다이어그램이다.
도 11b는 일 실시예에 따른 역전된 이미지들을 획득하기 위한 포커싱 광학기기를 갖는 예제 틸트된 포커싱 센서를 예시하는 블록 다이어그램이다.
도 12a는 일 실시예에 따른 포커싱 센서에 의해 획득된 두개의 이미지들의 초점 거리들의 지향성(directionality)을 예시한다.
도 12b는 일 실시예에 따른 포커싱 센서에 의해 획득된 두개의 역전된 이미지들에 대한 콘트라스트 함수들을 예시한다.
도 13은 일 실시예에 따른 실시간 포커싱 프로세스의 흐름도이다.
도 14a은 일 실시예에 따른 예제 현미경 슬라이드 스캐너를 예시하는 블록 다이어그램이다;
도 14b는 일 실시예에 따른 대안 예제 현미경 슬라이드 스캐너를 예시하는 블록 다이어그램이다;
도 14c는 일 실시예에 따른 예제 선형 센서 어레이들을 예시하는 블록 다이어그램이다; 및
도 15는 본 출원에서 설명된 다양한 실시예들에 관련하여 사용될 수 있는 예제 유선 또는 무선 프로세서-인에이블 디바이스를 예시하는 블럭 다이어그램이다.
Claims (66)
- 샘플의 디지털 이미지를 획득하기 위해 샘플을 스캐닝하기 위한 시스템에 있어서, 상기 시스템은 :
샘플을 지지하도록 구성된 스테이지(stage);
상기 스테이지에 직교하는 단일 광축(optical axis)를 갖는 대물렌즈;
영상 센서(imaging sensor);
포커싱 센서(focusing sensor); 및
상기 대물렌즈에 광학적으로 결합되고 그리고 상기 대물렌즈의 광축에 대응하는 FOV(field of view)를 수신하고 동시에 적어도 상기 FOV의 제 1 부분을 상기 영상 센서에 그리고 적어도 상기 FOV의 제 2 부분을 상기 포커싱 센서에 제공하도록 구성된 적어도 하나의 제 1 빔 분배기(beam splitter)를 포함하는, 시스템. - 청구항 1에 있어서, 상기 FOV의 제 1 부분은 상기 FOV의 제 1 영역이고, 상기 FOV의 제 2 부분은 상기 FOV의 상기 제 1 영역으로부터 오프셋된 상기 FOV의 제 2 영역인, 시스템.
- 청구항 2에 있어서, 상기 제 1 영역은 상기 FOV의 중심 영역인, 시스템.
- 청구항 3에 있어서, 상기 FOV의 제 2 영역은 스캐닝 방향에서 상기 FOV의 제 1 영역에 선행하는, 시스템.
- 청구항 3에 있어서, 상기 FOV의 제 2 영역은 스캐닝 방향에서 상기 FOV의 제 1 영역을 뒤따르는, 시스템.
- 청구항 1에 있어서, 상기 FOV의 제 1 부분은 상기 FOV의 제 2 부분과 동일한, 시스템.
- 청구항 1 내지 6 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 샘플은 조직 샘플이고, 상기 스테이지는 상기 조직 샘플을 지지하는 기판을 지지하도록 구성된, 시스템.
- 청구항 7에 있어서, 상기 기판은 슬라이드(slide)인, 시스템.
- 청구항 1 내지 8 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 스테이지는 상기 대물렌즈의 광축에 대하여 상기 샘플을 움직이는 전동 스테이지인, 시스템.
- 청구항 1 내지 9 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 포커싱 센서는 광 경로를 따라서 상기 FOV의 제 2 부분을 수신하고, 상기 포커싱 센서는 상기 광 경로에 대하여 각도에서 틸트되어, 상기 FOV의 제 2 부분은 이미지가 상이한 초점 거리들을 나타내는 픽셀들을 포함할 때 상기 포커싱 센서에 의해 획득되는, 시스템.
- 청구항 10에 있어서, 상기 포커싱 센서상에 적어도 하나의 지점은 상기 영상 센서와 초점 거리가 같은(parfocal), 시스템.
- 청구항 1 내지 11 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 포커싱 센서는 복수의 영역들을 포함하고, 상기 포커싱 센서의 각각의 영역은 별개의 광 경로를 따라서 상기 FOV의 제 2 부분을 수신하고, 상기 포커싱 센서는 상기 별개의 광 경로에 대하여 각도에서 틸트되어, 상기 FOV의 제 2 부분은 이미지가 포커싱 센서의 다른 영역들과 다른 초점 거리에서 상기 포커싱 센서의 각각의 영역에 의해 획득되는, 시스템.
- 청구항 12에 있어서, 상기 복수의 영역들 중 하나 영역상에 적어도 하나의 지점은 상기 영상 센서와 초점 거리가 같은(parfocal), 시스템.
- 청구항 12 또는 13에 있어서, 포커싱 광학기기(focusing optics)를 더 포함하고, 상기 포커싱 광학기기는 빔을 분열시키고 상기 적어도 하나의 제 1 빔 분배기에 광학적으로 결합된 적어도 하나의 제 2 빔 분배기를 포함하여, 상기 별개의 광 경로들로 상기 FOV의 제 2 부분을 전달하는, 시스템.
- 청구항 14에 있어서, 상기 적어도 하나의 제 2 빔 분배기는 복수의 제 2 빔 분배기들을 포함하고, 상기 복수의 제 2 빔 분배기들의 각각은 상기 포커싱 센서로부터 동일 거리에 위치되는, 시스템.
- 청구항 14 또는 15에 있어서, 상기 포커싱 광학기기는 상기 분열 빔을 상기 별개의 광 경로들 중 하나의 광 경로로 반사시키는 적어도 하나의 미러를 더 포함하는, 시스템.
- 청구항 15에 있어서, 상기 포커싱 광학기기는 상기 분열 빔을 상기 별개의 광 경로들 중 하나의 광 경로로 반사시키는 적어도 하나의 미러를 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 미러는 상기 복수의 제 2 빔 분배기들과 상기 포커싱 센서로부터 동일한 거리에 위치되는, 시스템.
- 청구항 12 내지 17 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 포커싱 센서의 모든 영역들은 단일 라인 센서내에 있는, 시스템.
- 청구항 12 내지 17 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 포커싱 센서의 각각의 영역은 별개의 라인 센서를 포함하는, 시스템.
- 청구항 1 내지 9 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 포커싱 센서는 복수의 영역들을 포함하고, 상기 포커싱 센서의 각각의 영역은 별개의 광 경로를 따라서 상기 FOV의 제 2 부분을 수신하고, 상기 포커싱 센서는 상기 별개의 광 경로의 각각에 대하여 직교하고, 상기 별개의 광 경로들의 각각은 상이한 초점 거리를 가져서, 상기 FOV의 제 2 부분은 상기 포커싱 센서의 다른 영역들과 상이한 초점 거리에서 포커싱 센서의 각각의 영역에 의해 획득되는, 시스템.
- 청구항 20에 있어서, 상기 복수의 영역들 중 하나 영역상에 적어도 하나의 지점은 상기 영상 센서와 초점 거리가 같은(parfocal), 시스템.
- 청구항 20 또는 21에 있어서, 포커싱 광학기기를 더 포함하고, 상기 포커싱 광학기기는 빔을 분열시키고 상기 적어도 하나의 제 1 빔 분배기에 광학적으로 결합된 적어도 하나의 제 2 빔 분배기를 포함하여, 상기 별개의 광 경로들로 상기 FOV의 제 2 부분을 전달하는, 시스템.
- 청구항 22에 있어서, 상기 적어도 하나의 제 2 빔 분배기는 복수의 제 2 빔 분배기들을 포함하고, 상기 복수의 제 2 빔 분배기들의 각각은 상기 다른 복수의 제 2 빔 분배기들의 각각과 상기 포커싱 센서로부터 상이한 거리에 위치되는, 시스템.
- 청구항 22 또는 23에 있어서, 상기 포커싱 광학기기는 상기 분열 빔을 상기 별개의 광 경로들 중 하나의 광 경로로 반사시키는 적어도 하나의 미러를 더 포함하는, 시스템.
- 청구항 24에 있어서, 상기 적어도 하나의 미러는 복수의 미러들을 포함하고, 상기 복수의 미러들의 각각은 상기 다른 복수의 미러들의 각각과 상기 포커싱 센서로부터 상이한 거리에 위치되는, 시스템.
- 청구항 25에 있어서, 상기 포커싱 광학기기는 복수의 유리 블럭(glass block)들을 더 포함하고, 상기 복수의 유리 블럭들의 각각은 상기 복수의 미러들 중 하나의 미러와 상기 포커싱 센서의 복수의 영역들 중 하나의 영역 사이에 위치되는, 시스템.
- 청구항 20 내지 26 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 포커싱 광학기기는 적어도 두개의 튜브 렌즈들을 더 포함하고, 적어도 두개의 튜브 렌즈들 중 각각은 적어도 하나의 제 2 빔 분배기와 상기 포커싱 센서의 복수의 영역들 중 하나의 영역 사이의 상기 별개의 광 경로들 중 상이한 광 경로상에 위치되고, 상기 분열 빔을 상기 하나의 영역으로 집속시키는, 시스템.
- 청구항 20 내지 27 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 포커싱 센서의 모든 영역들은 단일 라인 센서내에 있는, 시스템.
- 청구항 20 내지 27 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 포커싱 센서의 각각의 영역은 별개의 라인 센서를 포함하는, 시스템.
- 청구항 29에 있어서, 상기 별개의 라인 센서들 중 적어도 하나는 상기 별개의 라인 센서들 중 적어도 하나의 다른 하나와 별개의 평면내에 있는, 시스템.
- 청구항 1 내지 9 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 포커싱 센서는 제 1 부분 및 제 2 부분을 포함하고, 상기 포커싱 센서의 제 1 부분은 제 1 광 경로를 따라서 상기 FOV의 제 2 부분을 수신하고 상기 제 1 광 경로에 대하여 제 1 각도에서 틸트되고, 상기 포커싱 센서의 제 2 부분은 상기 제 1 광 경로로부터 분리되고, 상기 제 1 각도에 역전되고 제 2 광 경로에 대하여 제 2 각도에서 틸트되는 상기 제 2 광 경로를 따라서 상기 FOV의 제 2 부분을 수신하는, 시스템.
- 청구항 31에 있어서, 상기 포커싱 센서의 제 1 부분 및 상기 포커싱 센서의 제 2 부분 양쪽 위에 적어도 하나의 지점은 상기 영상 센서와 초점 거리가 같은, 시스템.
- 청구항 31 또는 32에 있어서, 상기 포커싱 센서의 제 1 부분은 제 1 이미지를 획득하고, 상기 포커싱 센서의 제 2 부분은 제 2 이미지를 획득하고, 상기 제 1 이미지는 상기 제 1 이미지의 제 1 측면으로부터 상기 제 1 이미지의 제 2 측면으로의 방향에서 초점 거리들을 감소시켜서 획득된 픽셀들을 포함하고, 상기 제 2 이미지는 상기 제 2 이미지의 제 1 측면으로부터 상기 제 2 이미지의 제 2 측면으로의 방향에서 초점 거리들을 증가시켜 획득된 픽셀들을 포함하는, 시스템.
- 청구항 1 내지 9 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 포커싱 센서는 제 1 영역 및 제 2 영역을 포함하고, 상기 제 1 영역은 제 1 광 경로를 따라서 상기 FOV의 제 2 부분을 수신하고, 상기 제 2 영역은 제 2 광 경로를 따라서 상기 FOV의 미러링된 제 2 부분을 수신하고, 상기 포커싱 센서는 상기 제 1 광 경로 및 상기 제 2 광 경로의 각각에 대하여 각도에서 틸트되는, 시스템.
- 청구항 34에 있어서, 상기 포커싱 센서의 제 1 영역 및 상기 포커싱 센서의 제 2 영역 양쪽 위에 적어도 하나의 지점은 상기 영상 센서와 초점 거리가 같은, 시스템.
- 청구항 34 또는 35에 있어서, 상기 FOV의 제 2 부분은 초점 거리에서 상기 포커싱 센서의 제 1 영역에 의해 수신되고, 상기 FOV의 미러링된 제 2 부분은 상기 동일한 초점 거리에서 상기 포커싱 센서의 제 2 영역에 의해 수신되는, 시스템.
- 청구항 34 또는 36 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 포커싱 센서의 제 1 영역은 상기 FOV의 제 2 부분의 제 1 이미지를 획득하고, 상기 포커싱 센서의 제 2 영역은 상기 FOV의 미러링된 제 2 부분의 제 2 이미지를 획득하고, 상기 제 1 이미지는 상기 제 1 이미지의 제 1 측면으로부터 상기 제 1 이미지의 제 2 측면으로의 방향에서 초점 거리들을 감소시켜서 획득된 픽셀들을 포함하고, 상기 제 2 이미지는 상기 제 1 이미지와 동일한 방향에서 초점 거리들을 감소시켜서 획득된 픽셀들을 포함하는, 시스템.
- 청구항 34 내지 37 중 어느 하나의 항에 있어서, 포커싱 광학기기를 더 포함하고, 상기 포커싱 광학기기는 빔을 분열시키고 상기 적어도 하나의 제 1 빔 분배기에 광학적으로 결합된 적어도 하나의 제 2 빔 분배기를 포함하여, 상기 제 1 광 경로 및 상기 제 2 광 경로로 상기 FOV의 제 2 부분을 전달하는, 시스템.
- 청구항 38에 있어서, 상기 포커싱 광학기기는 상기 분열 빔을 상기 상기 제 1 광 경로 및 상기 제 2 광 경로 중 하나로 반사시키는 적어도 하나의 미러를 더 포함하는, 시스템.
- 청구항 38 또는 39에 있어서, 상기 포커싱 광학기기는 상기 FOV의 미러링된 제 2 부분을 형성하기 위해 상기 FOV의 제 2 부분을 플립(flip)하는 상기 포커싱 센서의 제 2 영역과 상기 적어도 하나의 제 1 빔 분배기사이에, 상기 제 2 광 경로에 도브 프리즘(dove prism)을 더 포함하는, 시스템.
- 청구항 38 또는 39에 있어서, 상기 적어도 하나의 미러는 제 1 미러 및 제 2 미러를 포함하고, 상기 제 2 광 경로는 상기 제 1 미러로부터 상기 제 2 미러상으로 반사, 다시 상기 제 2 미러로부터 상기 적어도 하나의 제 2 빔 분배기로 반사, 및 상기 적어도 하나의 제 2 빔 분배기로부터 상기 포커싱 센서의 제 2 영역으로 경로를 포함하여, 상기 FOV의 제 2 부분이 상기 FOV의 미러링된 제 2 부분을 형성하기 위해 플립되는, 시스템.
- 청구항 1 내지 41 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 포커싱 센서상에 하나의 지점은 상기 영상 센서와 초점 거리가 같은, 시스템.
- 청구항 42에 있어서, 상기 하나의 초점 거리가 같은 지점은 상기 포커싱 센서의 중심에 있는, 시스템.
- 청구항 42 또는 43에 있어서, 스캐닝될 상기 샘플의 각각의 부분에 대하여 :
상기 포커싱 센서로부터 상기 샘플의 부분의 포커싱 이미지를 획득하고;
상기 영상 센서로부터 상기 샘플의 부분의 메인 이미지를 획득하고;
상기 포커싱 센서상에 복수의 위치들의 각각에 대하여, 상기 포커싱 센서상의 해당 위치에 대응하는 상기 포커싱 이미지의 영역에 대한 콘트라스트 측정값을 산출하고;
상기 영상 센서상에 복수의 위치들의 각각에 대하여, 상기 영상 센서상의 해당 위치에 대응하는 상기 메인 이미지의 영역에 대한 콘트라스트 측정값을 산출하고;
상기 포커싱 이미지와 상기 메인 이미지간의 관계를 결정하고;
상기 관계에 대한 피크를 결정하고;
상기 피크에 대응하는 상기 포커싱 센서상의 위치와 상기 포커싱 센서와 상기 영상 센서 사이의 초점 거리가 같은 지점간의 거리에 기초하여 타겟 표면을 업데이트하고; 및
다음 타겟 표면으로 이동하는 상기 대물렌즈에 대한 위치를 결정하도록 구성된, 프로세서를 더 포함하는, 시스템. - 청구항 44에 있어서, 상기 프로세서는 :
상기 결정된 위치로 상기 대물렌즈를 이동시키고; 및
스캐닝될 상기 샘플의 다음 부분에 대한 새로운 포커싱 이미지 및 메인 이미지를 획득하도록 더 구성되는, 시스템. - 청구항 45에 있어서, 상기 프로세서는 스캐닝될 상기 샘플의 각각의 부분에 대하여 상기 포커싱 이미지와 상기 메인 이미지간의 관계를 결정하도록 더 구성된, 시스템.
- 청구항 46에 있어서, 상기 포커싱 이미지와 상기 메인 이미지 간의 관계는 상기 포커싱 이미지의 콘트라스트 측정값과 상기 메인 이미지의 콘트라스트 측정값 간의 비율을 포함하는, 시스템.
- 청구항 46에 있어서, 상기 포커싱 이미지와 상기 메인 이미지 간의 관계는 상기 포커싱 이미지의 콘트라스트 측정값과 상기 메인 이미지의 콘트라스트 측정값 간의 차이를 포함하는, 시스템.
- 청구항 44 내지 48 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 관계에 대한 피크를 결정하는 것은 :
상기 관계에 대한 최상-피팅(best-fit) 커브를 산출하는 것; 및
상기 최상-피팅 커브의 피크를 결정하는 것을 더 포함하는, 시스템. - 청구항 44 내지 49 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 포커싱 센서상의 상기 복수의 위치들의 각각은 상기 대물렌즈에 대한 위치에 매핑되고, 상기 대물렌즈에 대한 위치를 결정하는 것은 상기 결정된 피크에 대응하는 상기 포커싱 센서상에 위치에 매핑된 상기 대물렌즈에 대한 위치를 결정하는 것을 포함하는, 시스템.
- 청구항 44 내지 49 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 관계에 대한 피크를 제공하는 상기 대물렌즈의 위치를 결정하는 것은 상기 피크가 상기 업데이트된 타겟 표면상에 있을 때까지 상기 대물렌즈를 이동시키기 위한 피드백 루프를 이용하는 것을 포함하는, 시스템.
- 청구항 51에 있어서, 상기 피드백 루프를 이용하여 상기 대물렌즈의 움직임의 방향은 상기 포커싱 이미지와 상기 포커싱 이미지의 미러 이미지간의 관계에 기초하고, 상기 포커싱 이미지는 상기 제 1 이미지의 제 1 측면으로부터 상기 제 1 이미지의 제 2 측면으로의 방향에서 초점 거리들을 감소시켜서 획득된 픽셀들을 포함하고, 상기 포커싱 이미지의 미러 이미지는 상기 포커싱 이미지와 동일한 방향에서 초점 거리들을 감소시켜서 획득된 픽셀들을 포함하는, 시스템.
- 청구항 52에 있어서, 상기 포커싱 이미지와 상기 포커싱 이미지의 미러 이미지 간의 관계는 상기 포커싱 이미지의 콘트라스트 측정값과 상기 포커싱 이미지의 미러 이미지의 콘트라스트 측정값 간의 비율을 포함하는, 시스템.
- 청구항 52에 있어서, 상기 포커싱 이미지와 상기 포커싱 이미지의 미러 이미지 간의 관계는 상기 포커싱 이미지의 콘트라스트 측정값과 상기 포커싱 이미지의 미러 이미지의 콘트라스트 측정값 간의 차이를 포함하는, 시스템.
- 자동의, 실시간 포커싱을 위한 방법에 있어서, 상기 방법은 스캐닝될 샘플의 각각의 부분에 대하여:
상기 샘플의 부분이 영상 센서에 의해 센싱되기 전에, 센싱될 때 또는 그 후에,
포커싱 센서로부터 상기 샘플의 부분의 포커싱 이미지를 획득하고, 상기 포커싱 센서에 의해 센싱된 FOV(field of view)의 부분은 상기 영상 센서에 의해 센싱된 상기 FOV부분으로부터 오프셋되어, 스캔 방향에서, 상기 포커싱 센서는 상기 영상 센서가 상기 FOV의 동일한 부분을 센싱하기 전에, 동일한 시간 또는 그 후에, 상기 FOV의 부분을 센싱하고 상기 포커싱 센서상의 하나의 지점은 상기 영상 센서와 초점 거리가 같고,
상기 포커싱 센서상에 복수의 위치들의 각각에 대하여, 상기 포커싱 센서상의 해당 위치에 대응하는 상기 포커싱 이미지의 영역에 대한 콘트라스트 측정값을 산출하고,
상기 포커싱 이미지와 상기 영상 센서에 의해 획득된 상기 샘플의 부분의 메인 이미지 간의 관계를 결정하고,
상기 관계에 대한 피크를 결정하고,
상기 피크에 대응하는 상기 포커싱 센서상의 위치와 상기 초점 거리가 같은 지점간의 거리에 기초하여 타겟 표면을 업데이트하고, 및
다음 타겟 표면으로 이동하는 대물렌즈에 대한 위치를 결정하고; 및
상기 대물렌즈가 상기 결정된 위치에 있는 동안 상기 영상 센서로부터 상기 샘플의 부분의 이미지를 획득하도록 슬라이드 스캐너내 프로세서를 이용하는 단계를 포함하는, 방법. - 청구항 55에 있어서, 상기 관계에 대한 피크를 결정하는 단계는 :
상기 관계에 대한 최상-피팅(best-fit) 커브를 산출하는 단계; 및
상기 최상-피팅 커브의 피크를 결정하는 단계를 포함하는, 방법. - 청구항 55 또는 56에 있어서, 상기 포커싱 센서상의 상기 복수의 위치들의 각각은 상기 대물렌즈에 대한 위치에 매핑되고, 상기 대물렌즈에 대한 위치를 결정하는 단계는 상기 결정된 피크에 대응하는 상기 업데이트된 타겟 표면상의 위치에 매핑된 상기 대물렌즈에 대한 위치를 결정하는 단계를 포함하는, 방법.
- 청구항 55 내지 57 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 관계에 대한 피크를 제공하는 상기 대물렌즈의 위치를 결정하는 단계는 상기 피크가 상기 업데이트된 타겟 표면상에 있을 때까지 상기 대물렌즈를 이동시키기 위한 피드백 루프를 이용하는 단계를 포함하는, 방법.
- 청구항 58에 있어서, 스캐닝될 상기 샘플의 각각의 부분에 대하여 상기 샘플의 부분이 상기 영상 센서에 의해 센싱되기 전에, 동일한 시간에 또는 그 후에, 상기 포커싱 이미지를 획득하는 것과 동시에 상기 포커싱 이미지의 미러 이미지를 획득하는 것을 더 포함하고, 상기 피드백 루프를 이용하여 상기 대물렌즈의 움직임의 방향은 상기 포커싱 이미지와 상기 포커싱 이미지의 미러 이미지간의 관계에 기초하고, 상기 포커싱 이미지는 상기 제 1 이미지의 제 1 측면으로부터 상기 제 1 이미지의 제 2 측면으로의 방향에서 초점 거리들을 감소시켜서 획득된 픽셀들을 포함하고, 상기 포커싱 이미지의 미러 이미지는 상기 포커싱 이미지와 동일한 방향에서 초점 거리들을 감소시켜서 획득된 픽셀들을 포함하는, 방법.
- 청구항 59에 있어서, 상기 포커싱 이미지와 상기 포커싱 이미지의 미러 이미지 간의 관계는 상기 포커싱 이미지의 콘트라스트 측정값과 상기 포커싱 이미지의 미러 이미지의 콘트라스트 측정값 간의 비율을 포함하는, 방법.
- 비-일시적 컴퓨터 판독가능한 매체에 있어서, 그 위에 저장된 명령들을 갖고, 상기 명령들은 프로세서에 의해 실행될 때 상기 프로세서로 하여금 스캐닝될 샘플의 각각의 부분에 대하여 :
상기 샘플의 부분이 영상 센서에 의해 센싱되기 전에, 센싱될 때 또는 그 후에,
포커싱 센서로부터 상기 샘플의 부분의 포커싱 이미지를 획득하고, 상기 포커싱 센서에 의해 센싱된 FOV(field of view)의 부분은 상기 영상 센서에 의해 센싱된 상기 FOV부분으로부터 오프셋되어, 스캔 방향에서, 상기 포커싱 센서는 상기 영상 센서가 상기 FOV의 동일한 부분을 센싱하기 전에, 동일한 시간 또는 그 후에, 상기 FOV의 부분을 센싱하고 하나의 지점은 상기 영상 센서와 초점 거리가 같고,
상기 포커싱 센서상에 복수의 위치들의 각각에 대하여, 상기 포커싱 센서상의 해당 위치에 대응하는 상기 포커싱 이미지의 영역에 대한 콘트라스트 측정값을 산출하고,
상기 포커싱 이미지와 상기 영상 센서에 의해 획득된 상기 샘플의 부분의 메인 이미지 간의 관계를 결정하고,
상기 관계에 대한 피크를 결정하고,
상기 피크에 대응하는 상기 포커싱 센서상의 위치와 상기 초점 거리가 같은 지점간의 거리에 기초하여 타겟 표면을 업데이트하고,
다음 타겟 표면으로 이동하는 대물렌즈에 대한 위치를 결정하고, 및
상기 결정된 위치로 상기 대물렌즈를 이동시키고; 및
상기 대물렌즈가 상기 결정된 위치에 있는 동안 상기 영상 센서로부터 상기 샘플의 부분의 이미지를 획득하게 하는, 비-일시적 컴퓨터 판독가능한 매체. - 청구항 61에 있어서, 상기 관계에 대한 피크를 결정하는 단계는 :
상기 관계에 대한 최상-피팅(best-fit) 커브를 산출하는 단계; 및
상기 최상-피팅 커브의 피크를 결정하는 단계를 포함하는, 비-일시적 컴퓨터 판독가능한 매체. - 청구항 61 또는 62에 있어서, 상기 포커싱 센서상의 상기 복수의 위치들의 각각은 상기 대물렌즈에 대한 위치에 매핑되고, 상기 대물렌즈에 대한 위치를 결정하는 단계는 상기 결정된 피크에 대응하는 상기 업데이트된 타겟 표면상의 위치에 매핑된 상기 대물렌즈에 대한 위치를 결정하는 단계를 포함하는, 비-일시적 컴퓨터 판독가능한 매체.
- 청구항 61 내지 63 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 대물렌즈에 대한 위치를 결정하는 단계는 상기 피크가 상기 업데이트된 타겟 표면상에 있을 때까지 상기 대물렌즈를 이동시키기 위한 피드백 루프를 이용하는 단계를 포함하는, 비-일시적 컴퓨터 판독가능한 매체.
- 청구항 64에 있어서, 상기 명령들은 추가로 상기 프로세서가 스캐닝될 상기 샘플의 각각의 부분에 대하여 상기 샘플의 부분이 상기 영상 센서에 의해 센싱되기 전에, 동일한 시간에 또는 그 후에, 상기 포커싱 이미지를 획득하는 것과 동시에 상기 포커싱 이미지의 미러 이미지를 획득하게 하고, 상기 피드백 루프를 이용하여 상기 대물렌즈의 움직임의 방향은 상기 포커싱 이미지와 상기 포커싱 이미지의 미러 이미지간의 관계에 기초하고, 상기 포커싱 이미지는 상기 제 1 이미지의 제 1 측면으로부터 상기 제 1 이미지의 제 2 측면으로의 방향에서 초점 거리들을 감소시켜서 획득된 픽셀들을 포함하고, 상기 포커싱 이미지의 미러 이미지는 상기 포커싱 이미지와 동일한 방향에서 초점 거리들을 감소시켜서 획득된 픽셀들을 포함하는, 비-일시적 컴퓨터 판독가능한 매체.
- 청구항 65에 있어서, 상기 포커싱 이미지와 상기 포커싱 이미지의 미러 이미지 간의 관계는 상기 포커싱 이미지의 콘트라스트 측정값과 상기 포커싱 이미지의 미러 이미지의 콘트라스트 측정값 간의 비율을 포함하는, 비-일시적 컴퓨터 판독가능한 매체.
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