JP6985506B2 - リアルタイムオートフォーカス合焦アルゴリズム - Google Patents
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Description
本願は、2017年9月29日に出願された米国仮特許出願第62/566,145号に対する優先権を主張するものであり、この出願は、完全に記載されるかのように参照によってここで本明細書に組み込まれる。
Claims (16)
- デジタル走査装置であって、前記デジタル走査装置は、
試料を支持するように構成されたステージと、
前記試料の一部を観察するために位置付けられた対物レンズであって、光学径路を定める対物レンズと、
前記対物レンズに光学的に結合された撮像センサと、
前記対物レンズに光学的に結合された合焦センサと、
プロセッサと、
を含み、
前記撮像センサは、前記光学径路を介して画像データを取り込むように構成された複数の撮像センサ画素を含み、前記複数の撮像センサ画素のすべてが、前記光学径路に直交する単一の第1画像平面内にあり、
前記合焦センサは、前記光学径路を介して画像データを取り込むように構成された複数の合焦センサ画素を含み、前記合焦センサは、前記複数の合焦センサ画素のそれぞれが他の前記合焦センサ画素のすべてとは異なる画像平面上にあるように、前記光学径路に対して論理的に傾斜され、前記合焦センサの同焦点位置は、前記第1画像平面と同焦点であり、
前記プロセッサは、前記試料の走査中、前記対物レンズと前記試料との間の距離を自動的に調節するように構成され、自動的に調節することは、
前記複数の撮像センサ画素のそれぞれから画像データを受信し、前記撮像センサの複数の撮像センサ位置のそれぞれについて前記画像データのコントラスト値を決定することと、
前記複数の合焦センサ画素のそれぞれから画像データを受信し、前記合焦センサの複数の合焦センサ位置のそれぞれについて前記画像データのコントラスト値を決定することと、
対応する撮像センサ位置と合焦センサ位置との複数のペアのそれぞれについて、前記ペアにおける前記合焦センサ位置についての前記画像データの前記コントラスト値と、前記ペアにおける前記対応する撮像センサ位置についての前記画像データの前記コントラスト値と、のコントラスト値比を算出することと、
前記算出したコントラスト値比のピーク値を識別することと、
前記合焦センサの前記同焦点位置と関連付けられたコントラスト値比を同焦点値として識別することと、
前記ピーク値と前記同焦点値との間の距離および方向を決定することであって、前記決定した距離および方向は、前記撮像センサから受信した前記画像データにおけるピーク焦点を達成する前記対物レンズの位置を示すことと、
前記ピーク値と前記同焦点値との間の前記決定した距離および方向に従って、前記試料の走査中、前記対物レンズと前記試料との間の距離を、ピーク焦点を達成する前記対物レンズの前記位置に調節することと、
により行う、
デジタル走査装置。 - 前記撮像センサおよび前記合焦センサは、等しい数の画素からなる、
請求項1に記載のデジタル走査装置。 - 前記複数の撮像センサ位置のそれぞれは、前記複数の撮像センサ画素の個々の1つからなる、
請求項1または2に記載のデジタル走査装置。 - 前記複数の合焦センサ位置のそれぞれは、前記複数の合焦センサ画素の個々の1つからなる、
請求項3に記載のデジタル走査装置。 - 前記複数の合焦センサ画素のそれぞれは、その対応する撮像センサ画素と同一の前記試料の視野を検知するように、前記光学径路内の位置に対して、対応する撮像センサ画素と論理的に整列される、
請求項4に記載のデジタル走査装置。 - 前記複数の合焦センサ画素の少なくとも1つは、その対応する撮像センサ画素と同一の前記試料の視野を検知するように、前記光学径路内の位置に対して、対応する撮像センサ画素と論理的に整列される、
請求項1に記載のデジタル走査装置。 - 前記複数の合焦センサ画素のいずれも、前記光学径路内の位置に対して、任意の対応する撮像センサ画素と論理的に整列されない、
請求項1に記載のデジタル走査装置。 - 前記撮像センサおよび前記合焦センサは、前記試料の走査中、同一の前記試料の視野を有する、
請求項1から7のいずれかに記載のデジタル走査装置。 - 前記光学径路は、前記対物レンズと前記撮像センサとの間の第1光学径路および前記対物レンズと前記合焦センサとの間の第2光学径路を含む、
請求項1から8のいずれかに記載のデジタル走査装置。 - 前記ピーク値と前記同焦点値との間の距離を決定することは、前記同焦点位置と前記ピーク値に対応する合焦センサ位置との間の合焦センサ画素の数を算出することを含む、
請求項1から9のいずれかに記載のデジタル走査装置。 - 前記ピーク値と前記同焦点値との間の方向を決定することは、前記ピーク値または前記同焦点値のうちの一方を前記ピーク値または前記同焦点値のうちの他方から減算し、値が負か正かを判定することを含む、
請求項10に記載のデジタル走査装置。 - 前記ピーク値と前記同焦点値との間の前記決定した距離および方向に従って前記対物レンズと前記試料との間の前記距離を調節することは、
前記ピーク値と前記同焦点値との間の前記距離を物理的距離に変換することと、
前記ピーク値と前記同焦点値との間の前記方向を前記光学径路に沿った物理的方向に変換することと、
前記物理的方向において前記物理的距離だけ前記対物レンズと前記試料との間の前記距離を変更することと、
を含む、
請求項10に記載のデジタル走査装置。 - 前記ピーク値と前記同焦点値との間の前記距離を物理的距離に変換することは、合焦センサ画素の前記算出した数と前記複数の合焦センサ画素のうちの2つ以上の間の物理的距離とを乗算することを含む、
請求項12に記載のデジタル走査装置。 - 前記複数の撮像センサ位置のそれぞれは、撮像センサ画素の列からなり、
前記複数の合焦センサ位置のそれぞれは、合焦センサ画素の列からなる、
請求項1に記載のデジタル走査装置。 - 前記複数の撮像センサ位置のそれぞれについての前記画像データの前記コントラスト値は、前記撮像センサ画素の各列の平均コントラスト値であり、
前記複数の合焦センサ位置のそれぞれについての前記画像データの前記コントラスト値は、前記合焦センサ画素の各列の平均コントラスト値である、
請求項14に記載のデジタル走査装置。 - デジタル走査装置の対物レンズと前記デジタル走査装置によって走査されている試料との間の距離を自動的に調節する方法であって、前記試料の走査中、
撮像センサの複数の撮像センサ画素のそれぞれから画像データを受信し、前記撮像センサの複数の撮像センサ位置のそれぞれについて前記画像データのコントラスト値を決定することと、
合焦センサの複数の合焦センサ画素のそれぞれから画像データを受信し、前記合焦センサの複数の合焦センサ位置のそれぞれについて前記画像データのコントラスト値を決定することと、
対応する撮像センサ位置と合焦センサ位置との複数のペアのそれぞれについて、前記ペアにおける前記合焦センサ位置についての前記画像データの前記コントラスト値と、前記ペアにおける前記対応する撮像センサ位置についての前記画像データの前記コントラスト値と、のコントラスト値比を算出することと、
前記算出したコントラスト値比のピーク値を識別することと、
前記複数の合焦センサ位置のうちの同焦点合焦センサ位置と関連付けられたコントラスト値比を同焦点値として識別することであって、前記同焦点合焦センサ位置が、前記対物レンズによって定められた光学径路に直交する前記撮像センサの画像平面と同焦点であることと、
前記ピーク値と前記同焦点値との間の距離および方向を決定することであって、前記決定した距離および方向は、前記撮像センサから受信した前記画像データにおけるピーク焦点を達成する前記対物レンズの位置を示すことと、
前記ピーク値と前記同焦点値との間の前記決定した距離および方向に従って、前記試料の走査中、前記対物レンズと前記試料との間の距離を、ピーク焦点を達成する前記対物レンズの前記位置に調節することと、
を含む方法。
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