JP6394850B2 - 補償光学系及び光学装置 - Google Patents
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Description
この補償光学系では、前記波面位相変調器と前記試料との間に、前記結像共役位置調整機構として、前記試料側から順に、対物レンズ、リレーレンズを構成する第1レンズ及び第2レンズを配置してもよい。
この構成では、前記対物レンズと前記第1レンズとの光学的な距離を変更することにより、前記ゆらぎ補正面と結像共役となる面の前記試料内における位置を調整することができる。
その場合、例えば前記対物レンズと前記第1レンズとの間に、少なくとも1枚のミラーを備える折り返し光学系を配置し、前記折り返し光学系を光軸に平行な方向に移動させることにより、前記対物レンズと前記第1レンズとの光学的な距離が変更される構成にしてもよい。
更に、前述した構成に加えて、又は、前述した構成とは独立に、前記第2レンズと前記波面位相変調器との光学的な距離を変更することにより、前記ゆらぎ補正面と結像共役となる面の前記試料内における位置を調整することもできる。
その場合、例えば前記第2レンズと前記波面位相変調器との間に、少なくとも1枚のミラーを備える折り返し光学系を配置し、前記折り返し光学系を光軸に平行な方向に移動させることにより、前記第2レンズと前記波面位相変調器との光学的な距離が変更される構成にしてもよい。
又は、前記第1レンズと前記第2レンズとの間に、少なくとも1枚のミラーを備える折り返し光学系を配置し、前記折り返し光学系を光軸に平行な方向に移動させると、前記第1レンズと前記2レンズとの光学的な距離が変更される構成にしてもよい。
前記折り返し光学系は、前記光軸に平行な方向に移動可能なスライドステージに載置することもできる。
又は、前記対物レンズが、前記試料が載置されたステージと一体で可動すると共に、前記第1レンズ及び第2レンズも可動する構成としてもよい。
本発明の補償光学系は、更に、前記波面位相変調器により補正された光に含まれる波面残差成分を検出する波面センサーと、前記波面センサーでの検出結果に基づいて前記波面変調器を制御する第1制御部と、を有し、前記第1制御部により、前記揺らぎ補正面が、前記試料内に存在する揺らぎ層と、位相共役になるように前記波面変調器を調整してもよい。
その場合、前記第1制御部は、前記波面センサーへの入射光の波面位相が設定値になるように、前記波面位相変調器を調整することができる。
前記第1レンズ及び前記第2レンズの少なくとも一方を変位させることにより、波面傾斜及び/又は波面曲率を補正してもよい。
また、前記試料と前記波面センサーとの間に、複数の波面位相変調器が、前記試料の深さ方向において異なる位置で結像共役となるように配置されていてもよい。
前記波面位相変調器と前記波面センサーとの間には、焦点面又はその近傍に視野絞りを配置することができる。
その場合、前記試料内に存在する参照物の位置に応じて、前記視野絞りを移動させることができる。
前記試料内に存在する参照物の位置に応じて、前記波面センサーの位置が移動する構成にすることもできる。
複数の波面センサーを備えていてもよい。
前記波面センサーは、前記波面位相変調器に対して、素子の並びを45°回転させた状態で配置されていてもよい。
又は、前記波面センサーは位相差方式とすることもできる。
本発明の光学装置は、前記試料内の観察対象の像及び前記揺らぎ補正面の像を撮像する撮像素子を有し、この撮像素子上に結ばれる像の焦点を調整することにより、前記観察対象の像及び前記揺らぎ補正面の像のいずれか一方を取得する構成とすることができる。
又は、前記試料内の観察対象の像を撮像する第1撮像素子と、前記揺らぎ補正面の像を撮像する第2撮像素子と、前記試料からの光の一部を前記第1撮像素子及び前記第2撮像素子に向けて分岐させる1又は2以上のビームスプリッターと、を有し、前記観察対象の像と、前記揺らぎ補正面の像とを、それぞれ独立して取得する構成にすることもできる。
その場合、前記揺らぎ補正面の像に基づいて、前記結像共役位置調整機構による前記ゆらぎ補正面と結像共役となる面の位置調整を制御する第2制御部を有していてもよい。
また、焦点を深さ方向に特定間隔でずらしながら、前記試料の断層画像群を撮像することもできる。
更に、前記試料内の観察対象の像を一定時間隔で継続して撮像することもできる。
本発明の光学装置は、例えば、顕微鏡装置、望遠鏡、レーザー計測装置、レーザー入射装置、カメラ又は医療用検査装置である。
そして、前記顕微鏡装置としては、例えば蛍光顕微鏡、微分干渉顕微鏡、位相差顕微鏡、超解像顕微鏡、走査型顕微鏡、多光子顕微鏡及びレーザー入射顕微鏡が挙げられる。
先ず、本発明の第1の実施形態に係る顕微鏡装置について、蛍光顕微鏡を例にして説明する。図1は本実施形態の顕微鏡装置の構成を示す模式図であり、図2は試料1の構成例を示す模式図である。
本実施形態の顕微鏡装置は、補償光学系を備えており、この補償光学系の揺らぎ補正面に対する結像共役面の位置が、自在に調整可能となっている。具体的には、図1に示すように、本実施形態の顕微鏡装置は、光源3、波面位相変調器6、波面センサー7、撮像カメラ8、瞳カメラ9、コンピュータ10などを備えている。
本実施形態の顕微鏡装置により観察する試料1は、動物組織、植物組織及び培養細胞などの生物試料であり、例えば図2に示すように、スライドグラス(図示せず)上に載置されカバーグラス103で封止されている。図2に示す試料1の場合、光源3から出射された励起光は、対物レンズ104及びカバーグラス103を介して、試料1に入射する。
試料ステージ2は、試料1の位置を、対物レンズに対してxyzの三軸(三方向)に変位させるものである。本実施形態の顕微鏡装置では、試料ステージ2を、z軸方向に変位させることにより焦点の調整を行い、x軸及びy軸方向に変位させることにより、視野内における観察対象100の位置の調整を行う。
光源3は、試料1に、蛍光を発生させるための励起光を照射するためのものであり、ハロゲンランプ、タングステンランプ、水銀ランプ、LED(Light Emitting Diode;発光ダイオード)、固体プラズマ光源及び各種レーザーなどを用いることができる。
光源用フィルターF1は、光源3から発せられた励起光から、蛍光の励起に必要な波長の光のみを透過し、不要な波長の光を遮断するものである。
ビームスプリッターBS1は、蛍光励起用ミラーであり、試料1内部の観察対象100及び/又は参照物101で蛍光を励起させる場合に、光源3から出射された励起光を、対物レンズ104(対物レンズLo)を介して、試料1に入射させるものである。例えば、図1に示す構成の場合、ビームスプリッターBS1は、波長の短い励起光を反射すると共に、観察対象100や参照物101から発せられた波長の長い蛍光を透過して観察側の光学系(ミラーM1)に導く。ビームスプリッターBS1には、光の波長により反射と透過を弁別できるものを用いることができ、例えばダイクロックミラーなどのハーフミラーを使用することができる。
対物レンズLoとしては、例えば無限遠焦点光学系用の対物レンズを用いることができる。無限遠焦点光学系用の対物レンズは、図2に示すように、対物レンズ104の作動距離に置かれた観察対象100からの発散光が平行光線に変換されるが、その場合に光学収差が少なくなるように設計されている。
共役スライドステージ4には、2枚のミラーM1,M2が90°の角度で配置されており、試料1から発せられた光は、ミラーM1,M2により入射方向と平行な方向に折り返される。また、共役スライドステージ4は、入射光及び出射光の光軸に沿って移動可能となっており、これにより、リレーレンズL1から対物レンズLoまでの光路長の可変調節を実現することができる。そして、本実施形態の顕微鏡装置では、この方法で光路長を変更することにより、試料1内における揺らぎ補正面の結像共役位置の調整を行う。ここでいう「光路長」は、光線に沿った空間の長さであり、本実施形態の顕微鏡装置においては、光束の光軸の長さ又は光学素子の間の光学的な距離を表す。
フォーカススライドステージ5にも、2枚のミラーM3,M4が90°の角度で配置されている。そして、ミラーM2で反射され、リレーレンズL1を介して入射した光は、ミラーM3,M4により入射方向と平行な方向に折り返される。また、フォーカススライドステージ5も、入射光及び出射光の光軸に沿って移動可能となっており、これにより光路長の可変調節を実現することができる。フォーカススライドステージ5を調整する場合は、例えば波面位相変調器6からリレーレンズL2を適正な位置に配置した後、リレーレンズL1からリレーレンズL2までの光路長を調節し、像の焦点が正しくなるようにその位置を移動させる。
リレーレンズL1,L2は、凸レンズなどの正の屈折力をもつ光学素子を用いたリレー光学系である。そして、リレーレンズL1,L2の主な機能は、以下の通りである。
(1)対物レンズLoと共に像の倍率を定める。
(2)対物レンズLoの瞳開口からの光線を、波面位相変調器6に投射する際に、その光束と波面位相変調器6の開口の大きさが適合するように調整する。
(3)入射面と出射面の間を結像共役にすると共に、入射面と出射面の間で波面位相に余分な傾斜や曲率などの不要な成分を増加させないようにする。
波面位相変調器6は、入射光に対して変動する位相誤差の動的な収差補正を行い、補正後の光を出射する装置である。本実施形態の顕微鏡装置の補償光学系においては、波面位相変調器6によって位相の補正動作を行う。この場合、波面位相変調器6の素子面は、補償光学系において揺らぎ補正面として機能する。
ビームスプリッターBS2は、ハーフミラーの1種であり、光学系の性能を劣化させないように、効率が高く、かつ平面度が高く作られているものである。光を波長で分割して感度の向上を図る場合には、ビームスプリッターBS2としてダイクロイックミラーを用いることも可能である。なお、光の効率の向上のために、ハーフミラーによる分岐ではなく、透過の無い反射鏡を出し入れして反射と透過の光路を切り替える手法を用いることもできる。
フィルターF2は、蛍光用フィルターであり、試料1から発せられた蛍光のうち、観察対象100に由来する観察に必要な波長の光のみを透過し、不要成分を遮断する。
レンズL5は、結像レンズであり、撮像カメラ8の撮像面上に、試料1の内部にある観察対象100の像を結像する。
撮像カメラ8は、観察対象100を撮像するものであり、例えばCCD(Charge-Coupled Device)カメラなどを用いることができる。撮像カメラ8の撮像面上に生じた像は、電気信号に変換されコンピュータ10の画像記憶部11に出力される。
フィルターF3は、蛍光用フィルターであり、試料1から発せられた光のうち、参照物101から発せられた蛍光成分のみを透過し、不要成分を除去する。
リレーレンズL3,L4は、凸レンズなどの正の屈折力をもつレンズであり、波面位相変調器6を入射面、波面センサー7の開口を出射面として結像共役を構成する。そして、これらリレーレンズL3,L4は、波面位相変調器6からの出射光と波面センサー7への入射光との間で波面の曲率に差が出ないように、図3に示すような4f光学系に基づいた拡大縮小リレー光学系の配置とすることが好ましい。
視野絞りSTは、参照物101から発せられた光のうち、開口穴を透過する光のみを透過し、その他の余分な光は遮断する。視野絞りSTの開口穴の大きさは、絞り機構により調整が可能となっている。この視野絞りSTは、焦点のずれた光に対しても、開口穴とビームの集光スポットの不整合により、透過光量を低減する効果もある。視野絞りSTが配置される位置は、リレーレンズL3とリレーレンズL4との間の焦点面又はその近傍であり、例えばリレーレンズL3,L4に図3に示す拡大縮小リレー光学系を用いた場合、フーリエ回折面DPに相当する位置又はその前後の位置が好ましい。
ビームスプリッターBS3は、ハーフミラーの1種であり、波面測定光路に入射した光の一部を、波面センサー7の手前で、瞳カメラ9に向けて分岐させる。
波面センサー7は、試料1内の参照物101から発せられ、揺らぎ層102を通過して揺らぎを受けた光波面について、波面位相変調器6でも補正し切れずに残った波面残差成分を検出する。波面センサー7の方式は特に限定されるものではないが、例えばシャックハルトマン方式のものを使用することができる。シャックハルトマン型波面センサーは、入射開口部分にレンズレットアレイが配置されており、更に、その後方に生ずる小開口ごとの集光スポットの横変位を用いて入射波面の傾斜を検出をするために、受光用のCCDカメラを備えている。
コンピュータ10には、撮像カメラ8や瞳カメラ9で取得した画像を記憶する画像記憶部11と、波面センサー7からの信号に基づいて波面位相変調器6などを制御する補償光学制御部12が設けられている。補償光学制御部12は、波面センサー7から出力された波面残差の測定信号を、補償光学制御用プログラムによって波面位相変調器6の制御電圧補正値に変換し、その結果を波面位相変調器6に出力し、波面補正面で波面位相の誤差の補償を行う。
レンズL6は、瞳カメラ9用の結像レンズであり、図1に示すように、ビームスプリッターBS3で分岐された光の中から、波面センサー7における揺らぎ測定面の鏡像13を、瞳カメラ9の撮像面上に結像させるものである。このレンズL6は、位置を変更可能とし、ビームスプリッターBS3側の焦点距離を無限遠に調整する(レンズL6´の位置に移動する)ことで、瞳カメラ9の撮像面上に参照物101の像を結像させることもできる。
瞳カメラ9は、波面センサー7における揺らぎ測定面の像や参照物101の像を撮像するものであり、例えばCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)カメラなどを用いることができる。瞳カメラ9の撮像面上に生じた像は、電気信号に変換されコンピュータ10の画像記憶部11に出力される。
次に、本実施形態の顕微鏡装置の動作について、図2に示す試料1を観察する場合を例にして説明する。
本実施形態の顕微鏡装置では、予め、可変形状鏡を平坦にした上で、波面補正無しでも通常の顕微鏡としての像が得られるように、レンズやカメラなどの光学部品を調整しておく。そして、試料1を試料ステージ2上に載置し、撮像カメラ8で観察対象100を観察しながら試料ステージ2を動かし、像が最良となるようにフォーカスと横位置を調整する。撮像カメラ8で撮像した画像は、コンピュータ10に記憶される。そして、必要に応じてコンピュータ10から読みだして、画像処理や分析を行う。
補償光学により、像の補正を行う場合は、先ず、瞳カメラ9で取得した参照物101の像を確認しながら、視野絞りSTの大きさ及び位置の調整、並びに試料ステージ2を移動させることにより試料1の位置を調整し、波面センサー7に光が適切に入射するようにする。なお、視野絞りSTの調整や試料1の位置調整は、位置調整制御部(図示せず)によって各調整機構を制御することで、自動で行うことができる。
図4は図1に示す顕微鏡装置の補償光学系の構成例を示す図であり、図5はその揺らぎ補正面の結像共役位置調整機構の動作を示す図である。なお、図4及び図5において、点線は観察対象又は参照物からの光を示し、実線は揺らぎ補正面に収束する光を示し、fo及びf1〜f4は、それぞれ対物レンズLo及びレンズL1〜L4の焦点距離を示す。また、図5において、P1は観察対象又は参照物の位置を、P2は揺らぎ補正面の結像共役面の位置を、それぞれ示す。更に、図4では、揺らぎ補正面の結像共役面の位置調整に関係する要素のみを抜粋し、等価になるように示しており、位置調整に直接関係のない要素は省略している。
補償光学は、参照物101の像を鮮鋭化させるように働くため、例えば図2に示すように参照物101が観察対象100から離れている場合には、観察対象100に焦点を調整する方法が、別途必要になる。この観察対象100への焦点の調整は、以下の方法で行うことができる。
図6Aに示す焦点調整前では、破線で示した観察対象100からの光の焦点が、撮像カメラ8の結像面からずれた状態となっている。これに対して、レンズL5の焦点又は撮像カメラ8の位置を変更することにより、焦点位置を調整することができる。この場合、レンズL5に焦点調整と連動させた収差補正系を組み込むことも可能である。
補償光学系による波面補正では、波面センサー7の入射面で波面が平面、即ち、波面センサー7への入射光が平行光線となるように、波面位相変調器6の各素子6aが制御される。一方、図6Bに示すように、視野絞りST、リレーレンズL4及び波面センサー7を、個別に又は一体で、光軸に沿って移動させると、波面センサー7への入射光線に変位が生ずる。
同様の手法で、補償光学系からの出射光を無限遠焦点とすることが可能となる。図2に示すように、参照物101が観察対象100から離れている場合、焦点のずれによって、破線で示す観察対象100からの光線と、点線で示す参照物101からの光線の間で、図6Aに示すような収束又は発散の差が生ずる。そこで、図6Bに示すように、視野絞りST、レンズL5及び波面センサー7を光軸に沿って変位させると、点線で示す参照物からの光線は波面センサー7に平行光線として入射し、破線で示す観察対象からの光線は撮像観察光路への出射が平行光線となるように調整することができる。
図6Cに示すように、レンズL4及び波面センサー7の位置を移動させて参照物からの光(点線)の収束発散を吸収する代わりに、波面センサー7からの信号に、光の収束・発散に相当する意図的な偏差、即ちオフセットを与えることで、焦点調整の効果を得ることができる。その際、例えば波面センサー7の測定値に偏差を与え、負帰還制御を介して波面位相変調器6に伝達し、それに基づいて現れる素子6aの変位を調整することで、出射光の焦点をずらすことができる。
前述した焦点調整方法により、対物レンズLoから観察対象までの距離が設計値からずれることによって、又は、リレーレンズへの透過状態の変化によって、収差が生ずる場合がある。その際の収差は、例えば、結像レンズL5にレンズのフォーカスに連動した収差補正機構を内蔵したり、波面センサー7及び波面位相変調器6の波面補正値に意図的な偏差を与えて収差分の微調整をかけたり、リレーレンズを工夫したりすることにより、補正することができる。
図7は、図6Bに示した方法によって、参照物からの光(点線)と観察対象からの光(破線)の間の焦点ずれの補正を行う方法を示す図である。図7に示すように、観察対象からの光(破線)は、ビームスプリッターBS2から撮像カメラ8に向かう撮像観察光路への出射において平行光線、即ち無限遠焦点光学系となる。また、観察対象からの光(破線)は、リレーレンズL2から波面位相変調器6の間でも平行に保持されるため、この部分における光路長の変位は、撮像カメラ8上での観察対象の像の焦点や倍率などの像特性に影響しない。
次に、本発明の第1の実施形態の第1変形例に係る顕微鏡装置について説明する。図8は本変形例の顕微鏡装置の補償光学系の構成例を示す図であり、図9はその揺らぎ補正面の結像共役位置調整機構の動作を示す図である。なお、図8においては、前述した第1の実施形態の顕微鏡装置の構成要素と同じものには、同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。また、図8は、揺らぎ補正面の結像共役面の位置調整に関係する要素のみを抜粋し、等価になるように示しており、位置調整に直接関係のない要素は省略している。
そこで、本変形例の顕微鏡装置では、図8に示すように、リレーレンズL2と波面位相変調器6との間の光路に、光路長調整機構が設けられている。この光路長調整機構の構成は特に限定されるものではないが、例えば、図1に示すミラーM1〜M4と同様に、光軸に沿って移動可能なスライドステージ上に2枚のミラーM5,M6を90°の角度で配置した構成とすることができる。
本変形例の顕微鏡装置では、対物レンズLoとリレーレンズL1との間の光路長lc1やリレーレンズL2と波面位相変調器6との間の光路長lc2が短くなると、揺らぎ補正面の結像面P2と対物レンズLoとの距離lc’が伸びる。即ち、揺らぎ補正面の結像面P2と対物レンズLoとの距離lc’を調整するには、光路長lc1及び光路長lc2のいずれか一方又は両方を、伸縮変化させればよい。
次に、本発明の第1の実施形態の第2変形例の顕微鏡装置について説明する。図10は本変形例の顕微鏡装置の補償光学系の構成例を示す図である。なお、図10においては、前述した第1の実施形態の第1変形例の顕微鏡装置の構成要素と同じものには、同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。また、図10は、揺らぎ補正面の結像共役面の位置調整に関係する要素のみを抜粋し、等価になるように示しており、位置調整に直接関係のない要素は省略している。
次に、本変形例の顕微鏡装置の動作について説明する。図11は光路長lrを調整することにより光路長lc2を独立に変更可能にする方法を示す図である。本変形例の顕微鏡装置においては、先ず、リレーレンズL1とリレーレンズL2との間の光路長lrを焦点距離の和(f1+f2)に、リレーレンズL2と波面位相変調器6との間の光路長lc2を焦点距離f2に保った状態で、対物レンズLoの作動距離にある焦点に参照物を置き、補償光学を動作させる。その状態で、揺らぎ層と揺らぎ補正面との結像共役位置の調整を行い、補償光学の効果が最も大きくなるような光路長lc1を探し出す。この光路長lc1の決定が、参照物と揺らぎ層との間隔の粗調整となる。
次に、本発明の第1の実施形態の第3変形例の顕微鏡装置について説明する。前述した第1の実施形態及びその第1変形例に係る顕微鏡装置の補償光学系は、実現が容易である。また、第1の実施形態の第2変形例に係る顕微鏡装置は、補償光学系の揺らぎ補正層を試料の揺らぎ層に結像共役に調整した上で、観察対象及び参照物の位置が異なる場合に関しても、独立に焦点の調整が可能となる。
図13に示す系では、リレーレンズL1,L2を移動可能にすると共に、折り返しミラーM1,M2が設置されたスライドステージ4が、入射光及び出射光の光軸と平行に移動可能となっている。これにより、図12に示す光路長pl1、光路長pl2及び光路長pl3の全てが調整可能となる。
図14に示す系では、リレーレンズL1,L2を移動可能にし、更に、対物レンズLo及び試料ステージ2を載置したステージ22を、光軸に沿って移動可能にしている。これにより、自由度が加わり、光路長pl1、光路長pl2及び光路長pl3の全てが調整可能となる。
図15に示す系では、対物レンズLoの物体側フォーカスの調整は、試料1を試料ステージ2に載置して移動可能にすることで行う。一方、リレーレンズL1,L2及びステージ4を載置したステージ24も、光軸に平行方向に移動可能とする。ステージ24を移動させることは、光路長pl1と光路長pl3とを同時に伸縮させることになり、簡素な系で揺らぎ補正面の共役の効果を大きくすることができる。この構成には、重要な光路長に調整手段を確保しつつ、系を簡素化するという実用上の利点がある。
図16に示す系では、リレーレンズを構成するリレーレンズL1及びリレーレンズL2の代わりに凹面鏡CM1及び凹面鏡CM2を用いている。これらの凹面鏡CM1,CM2はスライドステージ4上に配置されており、このステージ4を入射及び出射の光軸に沿って移動させることができる。これによって、光路長pl1と光路長pl3を同時に伸縮させることができるため、簡素な系で揺らぎ補正面の共役位置の調整の効果を大きくすることが可能となる。
図17に示す系では、リレーレンズL1,L2の位置を可変とすることで、光路長pl1,pl3を調整可能にすると共に、ミラーM1及びミラーM2の位置と角度を変えることで、更に光路長pl2を独立に設定することが可能になっている。この系は、リレーレンズL1からミラーM1への入射光と、ミラーM2からリレーレンズL2への出射光の光軸が平行でない場合にも、対応することが可能である。同様又は類似の光路長の独立な調整機能は、リレーレンズL1、ミラーM1、ミラーM2、リレーレンズL2となっている配列順序を、ミラーM1、リレーレンズL1、リレーレンズL2、ミラーM2などのように、順番を入れ替えた配置によっても実現することができる。
次に、本発明の第1の実施形態の第4変形例に係る顕微鏡装置について説明する。揺らぎ補正面を揺らぎ層に合わせる結像共役位置調整機構は、有限の焦点距離を持つ対物レンズを用いた場合でも、実現することが可能である。図18及び図19は本変形例の顕微鏡装置における揺らぎ補正面の結像共役位置調整機構を示す図であり、図20はその具体的構成例を示す図である。
対物レンズLoから波面位相変調器6までに1枚のリレーレンズを用いた構成の場合、図12に示す対物レンズLoからリレーレンズL1までの光路長pl0を0にした状況に類似している。図18に示す調整機構では、光路長pl2の調整によって、点線で示す参照物からの光線、又は破線で示す観察対象からの光線を、リレーレンズL2と波面位相変調器6との間で平行光線にする。
図19は2枚又は2群のリレーレンズを用いた系であり、リレーレンズL1の負又は正の屈折力と光路長pl1の調整により、実線で示す揺らぎ層からの光線をリレーレンズL1からリレーレンズL2の間で平行となるようにする。これにより、揺らぎ層と揺らぎ補正層との間の共役関係には影響を与えずに光路長pl2を調整し、参照物からの光線又は観察対象からの光線の平行性や焦点を調整することができる。
前述した有限遠焦点を持つ設計の対物レンズ又は対物レンズ群を用いた共役調整光学系は、無限遠焦点を持つ対物レンズと同様に、撮像光学系及び波面センサーとの光学系に組み合わせて、補償光学系を構成することができる。例えば、図18に示す1枚のリレーレンズを用いた系は、図20に示すような構成となる。また、2枚のリレーレンズを用いた系の場合は、図20に示す対物レンズLo及びリレーレンズL2の代わりに、図19に示す対物レンズLo及びリレーレンズL1,L2を用いる系に置き換えればよい。
次に、本発明の第1の実施形態の第5変形例の顕微鏡装置について説明する。波面位相変調器6からその出射側のレンズまでの光路長と、波面センサー7とその手前のレンズ間までの光路の長さは、リレーレンズL3及びリレーレンズL4の焦点距離を変更せずに調整することができる。
次に、本発明の第1の実施形態の第6変形例に係る顕微鏡装置について説明する。図22及び図23は本変形例の顕微鏡装置における揺らぎ補正面の結像共役位置調整機構の構成例を示す図である。図22及び図23に示すように、本変形例の顕微鏡装置の補償光学系では、波面位相変調器を複数備えており、それぞれの波面位相変調器が試料1内において異なる位置で結像共役となっている。これにより、揺らぎ層が複数ある場合や揺らぎ層に厚みのある場合にも、対応することが可能となる。
次に、本発明の第1の実施形態の第7変形例に係る顕微鏡装置について説明する。図24は本変形例の顕微鏡装置の補償光学系の概要を示す図であり、図25は図24に示す補償光学系において複数の波面センサーを用いる場合の構成を示す図である。単一の参照物を用いた場合に、参照物を中心にした補正可能領域のみに視野の大きさが限られるため、本変形体の顕微鏡装置では、複数の参照物を波面測定に用いて補正可能領域を接続し、視野の拡大を図る。
次に、本発明の第1の実施形態の第8変形例に係る顕微鏡装置について説明する。図26はリレー光学系のレンズの変位による波面傾斜成分の補正方法を示す図であり、図27はリレー光学系のレンズの変位による波面曲率成分の補正方法を示す図である。なお、図26及び図27に示す点線は入射波面が傾斜又は曲率を持たない場合に対する光線とレンズの位置を示し、実線は入射波面が傾斜又は曲率を持つ場合を示す。
波面傾斜成分の補正については、例えば、公知のティップティルトミラーや波面位相変調器そのものをティップティルトマウントに載せる方法を用いることができる。その他に、リレーレンズを光軸に対して垂直に変位させる手法(横変位)を用いることもできる。例えば、図26に示すように、入射波面の傾斜に対してリレーレンズL1を一点鎖線で示すように光軸に対して横変位させて波面の傾斜の補正を行う際に、更にリレーレンズL2で逆の変位を与えて光線の振れを相殺することで、出射光線の位置を一定に保つことができる。
波面の曲率成分の補正については、リレーレンズL1とリレーレンズL2との間の距離を変化させることにより、調整することができる。例えば、図27に示すように、リレーレンズL1を一点鎖線で示すように光軸に沿って変位させることで、リレーレンズL1とリレーレンズL2との間の距離を調整する。
次に、本発明の第1の実施形態の第9変形例として、計算値の利用と調整手順の簡素化について説明する。揺らぎ層と揺らぎ補正面が結像共役となるように調整する光路長lc又は光路長lc1,lc2、参照物の位置によって定まる光路長lr、像の焦点が合うように定められる波面センサー7、リレーレンズL4及び視野絞りSTの位置、波面センサー7や波面位相変調器6への偏差やオフセット値などの各種設定値は、光学系のレンズの焦点距離、揺らぎ層の位置及び参照物の位置などの既定値により決定される。
次に、本発明の第1の実施形態の第10変形例として、Zスタック画像の取得への応用について説明する。一般に、顕微鏡の焦点を試料の深さ方向に特定の間隔でずらしながら撮影した断層画像群を、Zスタック画像という。このZスタック画像を取得するために焦点を移動させる際にも、前述した調整方法を適用すれば、補償光学系の揺らぎ補正面を試料内部の揺らぎ層と結像共役にすることができるため、補償光学による補正に対する擾乱や変動を防ぐことができる。
次に、本発明の第1の実施形態の第11変形例として、タイムラプス撮影への応用について説明する。一般に、一定時間隔で継続して撮影を行う観察法を、タイムラプス撮影という。この場合のタイムラプスとは、時間間隔が低速のものからビデオレートやそれより速い高速の撮影を含む。
次に、本発明の第1の実施形態の第12変形例として、参照物と観察対象との間で、励起波長及び蛍光波長を調整する方法について説明する。参照物及び観察対象から発生される検出対象光がいずれも蛍光である場合、一方の励起光と蛍光の波長の特性を、他方の波長の特性とずらすことによって、弁別性を向上し、相互の影響による性能の劣化を防ぐことが可能である。
次に、本発明の第1の実施形態の第13変形例として、波面揺らぎの情報を用いた画像処理について説明する。補償光学系の波面センサー7及び波面位相変調器6の情報を用いて点像分布を推定可能である。本変形例の顕微鏡装置では、揺らぎ補正面を可変にすることで、三次元的な揺らぎの情報を得ることができる。これにより、顕微鏡試料のような立体構造を持つ対象において、揺らぎの情報を画像として可視化することが可能になると共に、そのような点像分布の推定の精度を向上することが可能になる。その結果、得られた揺らぎの立体構造及び点像分布の推定を、画像の回復処理に利用することができる。
次に、本発明の第2の実施形態に係る顕微鏡装置について説明する。現在のところ、波面センサーはシャックハルトマン方式が主流であるが、調整の原理は光学面の結像共役によっているため、他の公知の方式を共役位置調整と組み合わせて用いることが可能である。波面センサーの例としては、曲率方式、位相差方式、タルボマスクなど他のハルトマンマスクを用いた傾斜検出方式などが存在する。これらの公知の方式のうち、位相差方式は、位相差法による光位相の可視化検出を、波面位相の検出に用いる手法である。
次に、本発明の第3の実施形態に係るレーザー入射装置について、レーザー入射顕微鏡に適用した場合を例にして説明する。前述した補償光学系は、光の逆進性を用いて、レーザーなどを試料に入射させる際の回折散乱の補正に用いることもできる。図33は本実施形態のレーザー入射装置を用いたレーザー入射顕微鏡の構成を示す模式図である。
次に、本発明の第4の実施形態に係る位相差顕微鏡装置について説明する。図34は本実施形態の位相差顕微鏡装置の構成を示す模式図である。補償光学系による揺らぎ補正により整った波面に対して、位相差法を適用することにより、光位相イメージングの精度を向上させることができる。
次に、本発明の第5の実施形態に係る微分干渉顕微鏡装置について説明する。図35は本実施形態の微分干渉顕微鏡装置の構成を示す模式図である。補償光学系による揺らぎ補正により整った波面に対して、微分干渉法を適用しても、前述した位相差法と同様に、光位相イメージングの精度を向上させることができる。
次に、本発明の第6の実施形態に係る共焦点走査顕微鏡装置について説明する。図36は本実施形態の共焦点走査顕微鏡装置の構成を示す模式図である。各種走査型の補償光学顕微鏡に対して、揺らぎ層と揺らぎ補正面の共役位置の調整を組み合わせることにより、性能向上を図ることができる。
次に、本発明の第7の実施形態に係る多光子励起顕微鏡について説明する。図37は本実施形態の多光子励起顕微鏡の構成を示す模式図である。図37に示すように、本実施形態の多光子励起顕微鏡は、ビームスプリッターBS2から分岐する撮像観察用光路に、多光子励起用のレーザーの走査検出光学系(多光子走査検出部83)が設けられている。
次に、本発明の第8の実施形態に係る顕微鏡装置について説明する。本発明の補償光学系は、前述した各種顕微鏡装置の他に、種々の顕微鏡装置に適用することが可能である。具体的には、超解像顕微鏡装置といわれる方式の顕微鏡装置も、基本原理は公知であるが、補償光学系を組み合わせることにより、出入射波束の収束性及び断面形状を改善し、その性能を向上させることができる。
次に、本発明の第9の実施形態に係る望遠鏡装置について説明する。図38は本実施形態の望遠鏡装置の構成を示す模式図である。望遠鏡装置に補償光学を組み合わせる技術は、従来より検討されており、大気揺らぎの高度と揺らぎ補償面を結像共役にし、調整を固定化する技術は、既に提案されている。
2 試料ステージ
3 光源
4、5、21、22、24、25 スライドステージ
6、16a、16b 波面位相変調器
6a 波面位相変調器の素子
7、17a〜17c 波面センサー
7a 波面センサーの素子
8 撮像カメラ
9 瞳カメラ
10、14 コンピュータ
11 画像記憶部
12 補償光学制御部
13 波面センサー開口鏡像
30、31 光源部
80、81 撮像部
82 共焦点走査部
83 多光子走査検出部
100 観察対象
101 参照物
102 揺らぎ層
103 カバーグラス
104、Lo 対物レンズ
110、111、L1〜L12、L1a、L1b、L2a、L2b、L4a〜L4c レンズ
BPF バンドパスフィルター
BS1〜BS3 ビームスプリッター
C コリメーター
CM1,CM2 凹面鏡
DP フーリエ回折面
F1〜F3 フィルター
GMX,GMY ガルバノミラー
LS レーザー光源
M1〜M6、M1a〜M1d ミラー
P、P1、P2 ピンホール
PH スリット又はピンホール
PL1、PL2 偏光フィルター
PM 位相差マスク
PMT 光電子増倍管
PP1、PP2 ウォラストン偏光プリズム
ST、STa〜STc 視野絞り
TS 望遠鏡
WP1、WP2 波長板
Claims (31)
- 入射光に対して収差補正を行い補正後の光を出射する波面位相変調器と、
前記波面位相変調器により形成されるゆらぎ補正面と結像共役となる面の位置を試料内において自在に調整する結像共役位置調整機構と、を有し、
前記結像共役位置調整機構により、前記揺らぎ補正面が、前記試料内に存在する揺らぎ層と、結像共役になるように調整され、
前記波面位相変調器と前記試料との間には、前記結像共役位置調整機構として、前記試料側から順に、対物レンズ及び少なくとも1枚のリレーレンズが配置され、
前記対物レンズと前記少なくとも1枚のリレーレンズとの光学的な距離を変更すること、前記少なくとも1枚のリレーレンズと前記波面位相変調器との光学的な距離を変更すること、及び/又は前記少なくとも1枚のリレーレンズが少なくとも2枚のリレーレンズから構成されて、前記少なくとも2枚のリレーレンズの光学的な距離を変更することにより、前記ゆらぎ補正面と結像共役となる面の前記試料内における位置を調整し、
前記試料内に存在する揺らぎ層には、位相収差の誤差を発生させる揺らぎ要素が存在している、補償光学系。 - 前記対物レンズと前記少なくとも1枚のリレーレンズとの間には、少なくとも2枚のミラーを備える折り返し光学系が配置されており、
前記折り返し光学系を光軸に平行な方向に移動させると、前記対物レンズと前記少なくとも1枚のリレーレンズとの光学的な距離が変更される、請求項1に記載の補償光学系。 - 前記少なくとも1枚のリレーレンズと前記波面位相変調器との間には、少なくとも2枚のミラーを備える折り返し光学系が配置されており、
前記折り返し光学系を光軸に平行な方向に移動させると、前記少なくとも1枚のリレーレンズと前記波面位相変調器との光学的な距離が変更される、請求項1又は2に記載の補償光学系。 - 前記折り返し光学系は、前記光軸に平行な方向に移動可能なスライドステージに載置されている請求項2又は3に記載の補償光学系。
- 前記対物レンズは、前記試料が載置されたステージと一体で可動すると共に、前記少なくとも1枚のリレーレンズが可動となっている請求項1に記載の補償光学系。
- 前記少なくとも1枚のリレーレンズを変位させることにより、波面傾斜及び/又は波面曲率が補正される請求項1〜5のいずれか1項に記載の補償光学系。
- 前記波面位相変調器と前記試料との間には、前記結像共役位置調整機構として、前記試料側から順に、対物レンズ、リレーレンズを構成する第1レンズ及び第2レンズが配置され、前記対物レンズと前記第1レンズとの光学的な距離を変更することにより、前記ゆらぎ補正面と結像共役となる面の前記試料内における位置を調整するか、又は前記第2レンズと前記波面位相変調器との光学的な距離を変更することにより、前記ゆらぎ補正面と結像共役となる面の前記試料内における位置を調整する、請求項1に記載の補償光学系。
- 前記第1レンズと前記第2レンズとの間には、少なくとも2枚のミラーを備える折り返し光学系が配置されており、
前記折り返し光学系を光軸に平行な方向に移動させると、前記第1レンズと前記第2レンズとの光学的な距離が変更される、請求項7に記載の補償光学系。 - 前記折り返し光学系は、前記光軸に平行な方向に移動可能なスライドステージに載置されている請求項8に記載の補償光学系。
- 前記第1レンズ及び前記第2レンズの少なくとも一方を変位させることにより、波面傾斜及び/又は波面曲率が補正される請求項7〜9のいずれか1項に記載の補償光学系。
- 前記波面位相変調器により補正された光に含まれる波面残差成分を検出する波面センサーと、
前記波面センサーでの検出結果に基づいて前記波面位相変調器を制御する第1制御部と、を有し、
前記第1制御部は、前記揺らぎ補正面が、前記試料内に存在する揺らぎ層と、位相共役になるように前記波面位相変調器を調整する請求項1〜5のいずれか1項に記載の補償光学系。 - 前記第1制御部は、前記波面センサーへの入射光の波面位相が設定値になるように、前記波面位相変調器を調整する請求項11に記載の補償光学系。
- 前記少なくとも1枚のリレーレンズを変位させることにより、波面傾斜及び/又は波面曲率が補正される請求項11又は12に記載の補償光学系。
- 前記波面位相変調器により補正された光に含まれる波面残差成分を検出する波面センサーと、
前記波面センサーでの検出結果に基づいて前記波面位相変調器を制御する第1制御部と、を有し、
前記第1制御部は、前記揺らぎ補正面が、前記試料内に存在する揺らぎ層と、位相共役になるように前記波面位相変調器を調整する請求項7〜9のいずれか1項に記載の補償光学系。 - 前記第1制御部は、前記波面センサーへの入射光の波面位相が設定値になるように、前記波面位相変調器を調整する請求項14に記載の補償光学系。
- 前記第1レンズ及び前記第2レンズの少なくとも一方を変位させることにより、波面傾斜及び/又は波面曲率が補正される請求項14又は15に記載の補償光学系。
- 前記試料と前記波面センサーとの間に、複数の波面位相変調器及びリレーレンズが、前記試料の深さ方向において異なる位置で結像共役となるように配置されている請求項11〜16のいずれか1項に記載の補償光学系。
- 前記波面位相変調器と前記波面センサーとの間には、焦点面又はその近傍に視野絞りが配置されている請求項11〜17のいずれか1項に記載の補償光学系。
- 前記試料内に存在する参照物の位置に応じて、前記視野絞りを移動させる請求項18に記載の補償光学系。
- 前記試料内に存在する参照物の位置に応じて、前記波面センサーの位置を移動させる請求項11〜18のいずれか1項に記載の補償光学系。
- 複数の波面センサーを備える請求項11〜20のいずれか1項に記載の補償光学系。
- 前記波面センサーは、前記波面位相変調器に対して、素子の並びを45°回転させた状態で配置されている請求項11〜21のいずれか1項に記載の補償光学系。
- 前記波面センサーは位相差方式である請求項11〜22のいずれか1項に記載の補償光学系。
- 請求項1〜23のいずれか1項に記載の補償光学系を備えた光学装置。
- 前記試料内の観察対象の像及び前記揺らぎ補正面の像を撮像する撮像素子を有し、
前記撮像素子上に結ばれる像の焦点を調整することにより、前記観察対象の像及び前記揺らぎ補正面の像のいずれか一方を取得する請求項24に記載の光学装置。 - 前記試料内の観察対象の像を撮像する第1撮像素子と、
前記揺らぎ補正面の像を撮像する第2撮像素子と、
前記試料からの光の一部を前記第1撮像素子及び前記第2撮像素子に向けて分岐させる1又は2以上のビームスプリッターと、を有し、
前記観察対象の像と、前記揺らぎ補正面の像とを、それぞれ独立して取得する請求項24に記載の光学装置。 - 前記揺らぎ補正面の像に基づいて、前記結像共役位置調整機構による前記ゆらぎ補正面と結像共役となる面の位置調整を制御する第2制御部を有する請求項25又は26に記載の光学装置。
- 焦点を深さ方向に特定間隔でずらしながら、前記試料の断層画像群を撮像する請求項25〜27のいずれか1項に記載の光学装置。
- 前記試料内の観察対象の像を一定時間隔で継続して撮像する請求項25〜28のいずれか1項に記載の光学装置。
- 顕微鏡装置、望遠鏡、レーザー計測装置、レーザー入射装置、カメラ又は医療用検査装置である請求項24〜29のいずれか1項に記載の光学装置。
- 前記顕微鏡装置は、蛍光顕微鏡、微分干渉顕微鏡、位相差顕微鏡、超解像顕微鏡、走査型顕微鏡、多光子顕微鏡又はレーザー入射顕微鏡である請求項30に記載の光学装置。
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