KR20180038058A - 열 처리 설비 - Google Patents

Abstract

피처리물을 열 처리하게 하는 처리실과 대면하는 위치에 피처리물을 반송하는 반송 유닛을 안내하고, 신축 가능한 연결 부재에 의해 반송 유닛과 처리실을 밀봉 상태로 연결하게 한 상태에서, 피처리물을 반송 유닛과 처리실과의 사이에서 주고 받는 열 처리 설비에 있어서, 연결 부재에 의해 연결된 반송 유닛과 처리실과의 연결 부분의 내부를 감압하게 한 경우에, 반송 유닛과 처리실과의 사이에 힘을 작용하게 하여 반송 유닛과 처리실을 일정한 거리로 유지하게 하는 유지 수단을 설치했다.

Description

열 처리 설비

본 발명은, 피처리물을 열 처리하게 하는 처리실과, 피처리물을 상기의 처리실로 반송하게 하는 반송 유닛이 설치되고, 상기의 반송 유닛을 상기의 처리실과 대면하는 위치로 이동하게 한 상태에서, 반송 유닛과 처리실이 대면하는 어느 하나의 대면부에 설치된 신축 가능한 연결 부재를 신장하게 하고, 이 연결 부재에 의해 반송 유닛과 처리실을 밀봉 상태로 연결하게 하여, 피처리물을 연결된 반송 유닛과 처리실과의 사이에서 주고 받도록 한 열 처리 설비에 관한 것으로, 연결 부재에 의해 연결된 반송 유닛과 처리실과의 연결 부분을 감압하게 하였을 때, 반송 유닛이나 처리실의 위치가 어긋나거나 하는 일 없이, 반송 유닛과 처리실이 적절하게 연결된 상태로 유지되고, 피처리물을 연결된 반송 유닛과 처리실과의 사이에서 적절하게 주고 받을 수 있도록 한 점에 특징을 갖는 것이다.

종래, 피처리물에 대해 침탄(浸炭) 담금질 등을 실시하는 열 처리 설비로서는, 피처리물을 긴 연속로 내에 차례로 도입하게 하고, 이 연속로 내에 있어서 피처리물을 차례로 이동하게 하여, 피처리물에 대해 가열, 균열, 냉각 등의 열 처리를 연속적으로 실시하도록 한 연속로 형식의 열 처리 설비와, 독립적인 배치로(batch furnace) 내에 있어서 피처리물을 이동하게 하지 않고 가열, 균열, 냉각 등의 열 처리를 실시하도록 한 배치로식 열 처리 설비가 알려져 있다.

여기서, 연속로 형식의 열 처리 설비의 경우, 피처리물을 일정한 열 처리 패턴으로 연속해서 열 처리를 하기 때문에, 생산성은 양호하지만, 승온(昇溫), 강온(降溫) 등의 열 처리 패턴이 일정화되어 버려서, 최근과 같이 승온, 강온 등의 열 처리 패턴을 다양화하게 하여, 다양한 종류의 제품을 소량 생산한다고 하는 요청에 대해 유연하게 대응할 수 없다는 문제가 있었다.

한편, 상기의 배치로식의 열 처리 설비에서는, 하나의 로(爐)에 있어서 가열, 균열, 냉각 등의 열 처리 조건을 변경해서 열 처리를 하기 때문에, 하나의 피처리물의 처리에 많은 시간이 필요하게 되고, 생산성이 나쁘다고 하는 문제가 있었다.

이 때문에, 최근에 있어서는, 특허문헌 1 ~ 4 등에 나타낸 바와 같이, 피처리물을 열 처리하는 처리실로서, 적어도 피처리물을 가열하는 가열실과, 가열된 피처리물을 냉각하는 냉각실을 분리하여 설치하는 동시에, 피처리물을 상기의 처리실로 반송하게 하는 반송 유닛을 설치하고, 이 반송 유닛을 이들 처리실과 대면하는 위치로 이동하게 해서, 이 반송 유닛을 대면하는 처리실에 밀봉 상태로 연결하여 감압하게 하고, 이 상태에서, 상기의 피처리물을 연결된 반송 유닛과 처리실과의 사이에서 주고 받도록 한 열 처리 설비가 제안되고 있다.

여기서, 상기와 같이 반송 유닛을 가열실이나 냉각실로 이루어진 처리실과 대면하는 위치로 이동하게 하고, 반송 유닛을 대면하는 처리실에 밀봉 상태로 연결함에 있어서, 특허문헌 1, 2의 것에 있어서는, 반송 유닛 전체를 대면한 상태에 있는 가열실이나 냉각실로 이루어진 처리실을 향해 슬라이드하게 하고, 반송 유닛을 이들 처리실에 밀봉 상태로 연결하도록 하고 있다.

그러나, 특허문헌 1, 2에 나타낸 바와 같이, 반송 유닛 전체를 대면한 상태에 있는 가열실이나 냉각실로 이루어진 처리실을 향해 슬라이드 하게 하는 경우, 반송 유닛 전체의 중량이 크기 때문에, 반송 유닛 전체를 슬라이드 하는데, 대형 의 구동 장치나 가이드 기구 등이 필요하게 되고, 비용이 매우 비싸게 되는 동시에, 장치가 대형화한다고 하는 문제가 있었다.

또한, 특허문헌 3, 4에 나타낸 것에 있어서는, 반송 유닛과 처리실이 대면하는 어느 하나의 대면부에 신축 가능한 연결 부재를 설치하고, 이 연결 부재를 신장하게 하여 반송 유닛과 처리실을 밀봉 상태로 연결하고, 그 후, 연결 부재에 의해 연결된 반송 유닛과 처리실과의 연결 부분을 감압하도록 하고 있다.

여기서, 상기와 같이 연결 부재에 의해 연결된 반송 유닛과 처리실과의 연결 부분을 감압하게 한 경우, 반송 유닛과 처리실이 연결 부분을 통해 서로 끌려서 가까워지려고 하는 힘이 발생하고, 바닥면에 견고하게 고정해 있더라도, 시간이 지나면서 반송 유닛이나 처리실의 위치가 어긋나거나 할 우려가 있었다.

또한, 특허문헌 4에 나타낸 것에 있어서는, 연결 부재를 신축하게 하는 실린더 등의 신축 장치를 설치하고, 이 신축 장치에 의해 연결 부재를 신장하게 하여, 이 연결 부재에 의해 반송 유닛과 처리실을 밀봉 상태로 연결해서, 이 상태에서 반송 유닛과 처리실과의 연결 부분을 감압하도록 하고 있다.

그러나, 특허문헌 4에 나타낸 신축 장치는, 연결 부재를 신장하게 하여 단순히 반송 유닛과 처리실을 연결하게 할 만한 힘 밖에 없고, 상기와 같이 반송 유닛과 처리실과의 연결 부분을 감압하게 한 경우에, 반송 유닛과 처리실이 연결 부분을 통해 서로 끌어당겨져서, 이들이 이동하는 것에 저항 할 수 없고, 상기의 신축 장치에 의해 연결 부재를 신장하게 하여, 반송 유닛과 처리실과의 사이에 이러한 이동에 저항 할 수 있는 큰 압력을 작용하게 했다 하더라도, 그 압력이 너무 커서, 반송 유닛이나 처리실의 위치가 어긋나거나, 밀봉 부재를 너무 강하게 눌러서, 탄력을 잃고, 적절하게 밀봉 할 수 없게 된다고 하는 문제가 있었다.

일본국 특개 2006-63363호 공보 일본국 특개 2014-86475호 공보 일본국 특개평 5-86416호 공보 일본국 특허 제5686918호 공보

본 발명은, 피처리물을 열 처리하게 하는 처리실과, 피처리물을 상기의 처리실로 반송하게 하는 반송 유닛이 설치되고, 상기의 반송 유닛을 상기의 처리실과 대면하는 위치로 이동시킨 상태에서, 반송 유닛과 처리실이 대면하는 어느 하나의 대면부에 설치된 신축 가능한 연결 부재를 신장하게 하고, 이 연결 부재에 의해 반송 유닛과 처리실을 밀봉 상태로 연결하게 하여, 상기의 피처리물을 연결된 반송 유닛과 처리실과의 사이에서 주고 받도록 한 열 처리 설비에 있어서의 상기와 같은 문제를 해결하는 것을 과제로 하는 것이다.

즉, 본 발명은, 상기와 같은 열 처리 설비에 있어서 연결 부재에 의해 연결된 반송 유닛과 처리실과의 연결 부분을 감압하게 하였을 때, 반송 유닛이나 처리실의 위치가 어긋나거나 하는 일 없이, 반송 유닛과 처리실이 적절하게 연결된 상태로 유지되고, 피처리물을 연결된 반송 유닛과 처리실과의 사이에서 적절하게 주고 받을 수 있도록 하는 것을 과제로 하는 것이다.

본 발명에 있어서의 열 처리 설비에 있어서는, 상기와 같은 과제를 해결하기 위해, 피처리물을 열 처리하게 하는 처리실과, 피처리물을 상기의 처리실로 반송시키는 반송 유닛이 설치되고, 상기의 반송 유닛을 상기의 처리실과 대면하는 위치로 이동하게 한 상태에서, 반송 유닛과 처리실이 대면하는 어느 하나의 대면부에 설치된 신축 가능한 연결 부재를 신장하게 하고, 이 연결 부재에 의해 반송 유닛과 처리실을 밀봉 상태로 연결하여, 상기의 피처리물을 연결된 반송 유닛과 처리실과의 사이에서 주고 받게 하는 열 처리 설비에 있어서, 연결 부재에 의해 연결된 반송 유닛과 처리실과의 연결 부분을 감압하게 한 경우에, 반송 유닛과 처리실과의 사이에 힘을 작용하게 해서 반송 유닛과 처리실을 일정한 거리로 유지하는 유지 수단을 설치했다.

그리고, 본 발명에 있어서의 열 처리 설비에 있어서는, 상기와 같이 연결 부재에 의해 연결된 반송 유닛과 처리실과의 연결 부분을 감압하게 한 경우에, 상기의 유지 수단에 의해, 반송 유닛과 처리실과의 사이에 힘을 작용하게 해서, 반송 유닛과 처리실을 일정한 거리로 유지하도록 한다.

여기서, 본 발명에 있어서의 열 처리 설비에 있어서, 상기의 유지 수단으로서는, 상기의 연결 부재를 신장하게 하여 반송 유닛과 처리실을 밀봉 상태로 연결하는 신축 장치를 사용할 수 있다.

또한, 유지 수단으로서는, 상기와 같은 신축 장치 외에, 연결 부재에 의해 연결된 반송 유닛과 처리실과의 사이에 가압력을 작용하게 하는 가압 장치를 설치하도록 할 수 있다. 이와 같이, 신축 장치 외에, 연결 부재에 의해 연결된 반송 유닛과 처리실과의 사이에 가압력을 작용하게 하는 가압 장치를 설치하면, 밀봉 부재가 붙은 연결 부재를 신장하게 해서 반송 유닛과 처리실을 밀봉 상태로 연결하는 동작과, 반송 유닛과 처리실과의 연결 부분을 감압하게 했을 때, 반송 유닛과 처리실을 유지하는 동작을 별도로 할 수 있고, 연결 부재에 큰 압력을 걸어서, 밀봉 부재의 탄성을 잃고, 적절한 밀봉을 할 수 없게 된다는 염려가 없어진다.

또한, 본 발명에 있어서의 열 처리 설비에 있어서는, 감압하게 한 반송 유닛과 처리실과의 연결 부분의 내부 압력에 따라, 상기의 유지 수단에 의해, 반송 유닛과 처리실과의 사이에 작용하는 힘이 균형있게 조정하도록 할 수 있다.

그리고, 이와 같이 반송 유닛과 처리실과의 사이에 작용하는 힘을 조정함에 있어서, 연결 부분의 내부 압력이 내려감에 따라, 반송 유닛과 처리실과의 사이에 작용하는 힘을 올려서 가는 것이 바람직하다. 그렇게 하면, 작용하는 힘이 작거나, 너무 크거나 하여, 반송 유닛이나 처리실의 위치가 어긋나는 것을 적절하게 방지 할 수 있다.

또한, 본 발명에 있어서의 열 처리 설비에 있어서, 상기의 반송 유닛에 의해 피처리물을 복수의 처리실에 반송하게 하는 경우, 피처리물을 처리실로 반송하게 하는 반송 유닛의 쪽으로, 상기의 연결 부재와 유지 수단을 설치하는 것이 바람직하다. 이와 같이, 반송 유닛에 연결 부재와 유지 수단을 설치하면, 복수의 처리실에 각각 개별적으로 연결 부재와 유지 수단을 설치하는 경우에 비해 비용 등이 대폭 저감된다.

본 발명에 있어서의 열 처리 설비에서는, 반송 유닛을 처리실과 대면하는 위치로 이동하게 하여, 연결 부재에 의해 반송 유닛과 처리실을 밀봉 상태로 연결하고, 이렇게 연결 부재에 의해 연결된 반송 유닛과 처리실과의 연결 부분을 감압하게 한 상태에서, 피처리물을 연결된 반송 유닛과 처리실과의 사이에서 주고 받게 함에 있어서, 유지 수단에 의해, 연결된 반송 유닛과 처리실과의 사이에 작용하는 힘을 조정하고, 반송 유닛과 처리실을 안정된 상태로 유지하도록 했기 때문에, 반송 유닛과 처리실과의 연결 부분의 내부를 감압하게 하였을 때, 반송 유닛이나 처리실의 위치가 어긋나거나 하는 일 없이, 반송 유닛과 처리실이 적절하게 연결된 상태로 유지되고, 피처리물을 연결된 반송 유닛과 처리실과의 사이에서 적절하게 주고 받을 수 있게 된다.

도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 열 처리 시설에 있어서, 반송 유닛이 주행하는 주행 레일의 한쪽에, 복수의 가열실과 냉각실로 이루어진 처리실을 직선 형상으로 배열하게 한 상태를 나타낸 개략 평면도이다.
도 2는, 상기의 실시 형태에 관한 열 처리 시설에 있어서, 반송 유닛을 가열실이나 냉각실과 대면하게 한 상태를 나타낸 종방향의 단면 설명도이다.
도 3은, 상기의 실시 형태에 관한 열 처리 시설에 있어서, 반송 유닛을 가열실이나 냉각실와 대면하게 한 상태를 나타낸 횡방향의 단면 설명도이다.
도 4는, 상기의 실시 형태에 관한 열 처리 시설에 있어서, 반송 유닛을 가열실이나 냉각실에 연결하게 한 장치 구성을 나타낸 블록도이다.
도 5는, 상기의 실시 형태에 관한 열 처리 시설에 있어서, 반송 유닛의 전면측에 설치한 신축 장치에 의해 연결 부재를 가열실이나 냉각실을 향해 이동하게 하고, 이 연결 부재에 의해 반송 유닛과 가열실이나 냉각실을 밀봉 상태로 연결한 상태를 나타내며, (A)는 종방향의 단면 설명도, (B)는 횡방향의 단면 설명도이다.
도 6은, 상기의 실시 형태에 관한 열 처리 시설에 있어서, 도 5(A), (B)에 나타낸 상태로부터, 반송 유닛의 전면측에 설치한 가압 장치에 있어서의 신축 로드를 신장하게 하여 가열실이나 냉각실의 전면측의 부분에 맞닿게 하고, 반송 유닛과 가열실이나 냉각실과의 사이에 가압력을 작용하게 하는 상태를 나타내며, (A)는 종방향의 단면 설명도, (B)는 횡방향의 단면 설명도이다.
도 7은, 상기의 실시 형태에 관한 열 처리 시설에 있어서, 도 6(A), (B)에 나타낸 상태로부터, 연결 부재에 의해 연결된 반송 유닛이나 가열실이나 냉각실과의 연결 부분을 감압하게 하여, 반송 유닛 및 연결된 가열실이나 냉각실에 있어서의 각 개폐문을 열고, 피처리물을 반송 유닛과 연결된 가열실이나 냉각실과의 사이에서 주고 받게 하는 상태를 나타내고, (A)는 종방향의 단면 설명도, (B)는 횡방향의 단면 설명도이다.
도 8은, 상기의 실시 형태에 관한 열 처리 시설에 있어서, 반송 유닛이 주행하는 주행 레일의 양측에, 복수의 가열실과 냉각실로 이루어진 처리실을 배열하게 한 상태를 나타낸 개략 평면도 있다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 관한 열 처리 설비를 첨부 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다. 또한, 본 발명에 관한 열 처리 설비는, 다음의 실시 형태에 나타낸 것에 한정되지 않고, 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서, 적절하게 변경하여 실시 할 수 있는 것이다.

이 실시 형태에 관한 열 처리 설비에 있어서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 피처리물(W)을 열 처리하는 처리실(H)로서, 피처리물(W)을 가열하는 복수(도면에 나타낸 예에서는 3개)의 가열실(10)과, 가열실(10)에 있어서 가열된 피처리물(W)을 냉각하는 냉각실(20)을, 반송 유닛(30)이 주행하는 주행 레일(L)의 한쪽에 소요 간격을 통해 배치하게 하고 있다. 또한, 이렇게 배치된 가열실(10)이나 냉각실(20)과 같은 주행 레일(L)의 한쪽에, 피처리물(W)을 반송 유닛(30)에 공급하는 공급부(P)를 설치하고 있다.

그리고, 이 실시 형태에 관한 열 처리 설비에 있어서는, 도 2 및 도 3 등에 나타낸 바와 같이, 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)에 있어서, 상기의 반송 유닛(30)과 대면하는 대면부에, 각각 반송 유닛(30)과의 사이에서 피처리물(W)을 주고 받는 개구부(11, 21)를 설치하는 동시에, 이러한 개구부(11, 21)에 대응하게 하여, 개구부(11, 21)의 개폐를 실시하는 밀봉식의 개폐문(12, 22)과, 상기의 개폐문(12, 22)을 수용하게 하는 도어 포켓(13, 23)을 설치하고 있다.

또한, 상기의 반송 유닛(30)에 있어서는, 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)과 대면하는 대면부측에, 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이에서 피처리물(W)을 주고 받는 개구부(31)를 설치하는 동시에, 이 개구부(31)의 개폐를 실시하는 밀봉식 개폐문(32)과, 이 개폐문(32)을 수용하게 하는 도어 포켓(33)을 설치하고 있다.

또한, 이 실시 형태에 있어서는, 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)과 대면하는 상기의 반송 유닛(30)에 있어서의 도어 포켓(33)의 전면측에 신축 가능한 연결 부재(34)를 설치하고 있다. 그리고, 후술하는 바와 같이, 이 연결 부재(34)를 신장하게 하고, 상기의 반송 유닛(30)과 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)을, 이 연결 부재(34)에 의해 밀봉 상태로 연결하도록 하고 있다.

또한, 이와 같이 연결 부재(34)에 의해 반송 유닛(30)을 가열실(10)이나 냉각실(20)과 밀봉 상태로 연결하게 한 상태에서, 연결 부재(34)에 의해 연결된 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 연결 부분을, 후술하는 바와 같이 감압 장치(35)에 의해 감압하게 한 후, 후술하는 바와 같이, 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)에 설치된 개폐문(12, 22)과, 반송 유닛(30)에 설치된 개폐문(32)을 열고, 반송 유닛(30)에 있어서의 개구부(31)와 가열실(10)이나 냉각실(20)에 있어서의 개구부(11, 21)를 통해, 피처리물(W)을 연결된 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이에서 주고 받도록 하고 있다.

또한, 상기와 같이 연결 부재(34)에 의해 연결된 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 연결 부분을 감압하게 한 경우에, 유지 수단(40)에 의해, 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이에 힘을 작용하게 하여, 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)을 일정한 거리로 유지하도록 하고 있다.

여기서, 이 실시 형태에 있어서는, 가열실(10)이나 냉각실(20)과 대면하는 반송 유닛(30)에서의 도어 포켓(33)의 전면측에 신축 가능한 연결 부재(34)를 설치함에 있어서는, 가열실(10)이나 냉각실(20)과 대면하는 반송 유닛(30)에 있어서의 도어 포켓(33)의 전면에, 통(筒) 형상으로 된 돌출 부재(341)를 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)을 향해 소요 길이 돌출하게 함과 동시에, 이 돌출 부재(341)의 외주측에 있어서 돌출 부재(341)와 슬라이딩 가능한 밀봉 부재 (도시하지 않음)를 이용해 밀접 상태에서 가열실(10)이나 냉각실(20)을 향해 이동하는 통 형상으로 된 가동 부재(342)를 설치하고, 이 가동 부재(342)에 있어서 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)과 대면하는 전면측의 차양부(342a)에, 이 가동 부재(342)와 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이를 밀봉하는 밀봉 부재(343)를 설치하고 한다.

그리고, 상기의 연결 부재(34)에 있어서의 가동 부재(342)를 가열실(10)이나 냉각실(20)을 향해 이동하게 할 때는, 반송 유닛(30)에 있어서의 도어 포켓(33)의 전면측에 실린더로 이루어진 신축 장치(41)를 설치하고, 이 신축 장치(41)에 있어서의 신축 로드(41a)의 선단을 가동 부재(342)에 장착하고, 신축 로드(41a)를 신축하여 상기의 가동 부재(342)를 가열실(10)이나 냉각실(20)을 향해 이동하게 하고, 가동 부재(342)를 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)에 연결하거나, 가열실(10)이나 냉각실(20)에서 이격하도록 하고 있다.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 신축 가능한 연결 부재(34)로서, 가열실(10)이나 냉각실(20)을 향해 통 형상으로 된 돌출 부재(341)를 소요 길이 돌출 하게 함과 동시에, 이 돌출 부재(341)의 외주측에 있어서 돌출 부재(341)와 밀접 상태에서 가열실(10)이나 냉각실(20)을 향해 이동되는 통 형상으로 된 가동 부재(342)를 설치하도록 했지만, 신축 가능한 연결 부재(34)는 이런 것들에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도시하고 있지 않지만, 신축 가능한 연결 부재로서, 벨로즈식의 신축 가능한 연결 부재를 설치하도록 할 수도 있다.

또한, 이 실시 형태에 있어서는, 상기의 반송 유닛(30)에 있어서, 가열실(10)이나 냉각실(20)과 대면하는 도어 포켓(33)의 전면측이며, 상기의 가동 부재(342)보다 바깥쪽의 위치에 실린더로 이루어진 가압 장치(42)를 설치하고, 이 가압 장치(42)에 있어서의 신축 로드(42a)를 신장하게 한 경우에, 이 신축 로드(42a)의 선단부가 접촉하는 가열실(10)이나 냉각실(20)에 있어서의 도어 포켓(13, 23)의 전면측 부분에 맞춤 부재(14, 24)를 설치하고 있다.

그리고, 이 실시 형태에 있어서는, 상기의 유지 수단(40)으로서, 상기의 신축 장치(41)와 가압 장치(42)를 이용하여, 상기와 같이 신축 장치(41)에 의해 연결 부재(34)에 있어서의 가동 부재(342)를 가열실(10)이나 냉각실(20)을 향해 이동하게 하여, 반송 유닛(30)을 연결 부재(34)에 의해 가열실(10)이나 냉각실(20)과 밀봉 상태로 연결하는 동시에, 이와 같이 연결된 반송 유닛(30)과 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이의 연결 부분을 감압하게 한 경우에, 상기와 같이 가압 장치(42)에 의해 연결된 반송 유닛(30)과 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이에 가압력을 작용하게 하여, 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)을 일정한 거리로 유지하도록 하고 있다. 이렇게 하면, 연결 부재(34)에 의해 연결된 반송 유닛(30)과 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이의 연결 부분을 감압하게 한 경우에, 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이에 있어서의 거리 등의 위치가 가까워지는 방향으로 어긋나는 것이 방지된다.

여기서, 상기와 같이 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이의 연결 부분을 감압 장치(35)에 의해 감압하게 한 경우에, 상기의 가압 장치(42)에 의해, 연결된 반송 유닛(30)과 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이에 가압력을 작용하는데 있어서는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 감압 장치(35)에 의해 감압된 연결 부분의 내부에 있어서의 압력을 압력 센서(43)에 의해 감지하고, 이렇게 감지한 결과를 제어 장치(44)로 출력하여, 이 제어 장치(44)에 의해 상기의 가압 장치(42)를 제어하고, 이 가압 장치(42)에 의해 연결된 반송 유닛(30)과 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이에 작용하는 가압력을 조정할 수 있다.

구체적으로는, 연결 부분의 내부 감압을 개시해, 소정의 압력까지 서서히 내려서 가는 것에 맞춰서, 연결 부분에 있어서의 압력에 따라, 연결된 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이에 작용하는 압박력을 서서히 올려서 가도록 조정한다. 그렇게 함으로써, 가압 장치(42)의 가압력이, 감압에 의해 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)이 가까워지고자 하는 힘보다 커져서, 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이에 있어서의 거리 등의 위치가 떨어진 방향으로 어긋나거나 하는 것도 방지되게 되고, 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)을 원래의 위치로 유지하게 하는 것이 간단히 이루어질 수 있게 된다.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 상기와 같이 유지 수단(40)으로서, 신축 장치(41)와 가압 장치(42)를 이용하도록 하고, 가압 장치(42)에 의해 연결된 반송 유닛(30)과 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이에 작용하게 하는 가압력을 상기와 같이 조정하도록 했지만, 상기의 신축 장치(41)만으로, 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)을 일정한 거리로 유지하도록 하는 것도 가능하다. 그 경우는, 가압력이 너무 커지지 않도록 하고, 밀봉 부재(343)를 반복해 밀어서 붙이더라도 탄력을 잃지 않는 재질로 한다.

다음으로, 본 실시 형태에 있어서의 열 처리 설비에서, 상기의 반송 유닛(30)과 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이에서, 피처리물(W)을 산화되지 않도록 감압 상태로 주고 받는 경우에 대해 설명한다.

우선, 반송 유닛(30)에 있어서의 상기의 개폐문(32)을 닫고, 반송 유닛(30) 내를 비(非)산화 분위기로 하는 동시에, 피처리물(W)을 주고 받는 가열실(10)이나 냉각실(20)에 있어서의 상기의 개폐문(12, 22)을 닫고, 피처리물(W)을 주고 받는 가열실(10)이나 냉각실(20) 내를 비산화 분위기로 하여, 상기의 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기의 반송 유닛(30)을, 피처리물(W)을 주고 받는 가열실(10)이나 냉각실(20)과 소요 간격을 통해 대면하는 위치로 이동하게 한다.

이어서, 도 5(A), (B)에 나타낸 바와 같이, 가열실(10)이나 냉각실(20)과 대면하는 반송 유닛(30)의 전면측에 설치한 상기의 신축 장치(41)에 있어서의 신축 로드(41a)를 신장하게 하고, 이 신축 로드(41a)의 선단에 부착된 연결 부재(34)에 있어서의 가동 부재(342)를 상기의 돌출 부재(341)에 밀접하게 한 상태에서 가열실(10)이나 냉각실(20)을 향해 이동하고, 이 가동 부재(342)의 전면측의 차양부(342a)에 설치한 밀봉 부재(343)를, 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)의 전면측에 있어서의 도어 포켓(13, 23)에 밀접하게 밀봉한다.

이어서, 이와 같이 가동 부재(342)의 전면측의 차양부(342a)에 설치한 밀봉 부재(343)를, 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)의 전면측에 도어 포켓(13, 23)에 밀접해 밀봉하게 한 상태에서, 도 6(A), (B)에 나타낸 바와 같이, 반송 유닛(30)의 전면측에 설치한 상기의 가압 장치(42)에 있어서의 신축 로드(42a)를 신장하게 하고, 이 신축 로드(42a)의 선단부를, 가열실(10)이나 냉각실(20)에 있어서의 도어 포켓(13, 23)의 전면측의 부분에 설치된 맞춤 부재(14, 24)에 맞닿도록 한다.

그리고, 이 상태에서, 상기와 같이 감압 장치(35)에 의해 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이의 연결 부분의 내부를 감압하게 하는 동시에, 상기의 가압 장치(42)에 의해 연결된 반송 유닛(30)과 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이에 가압력을 작용하게 하여, 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)을 일정한 상태로 유지하도록 한다. 이렇게 하면, 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이의 연결 부분의 내부를 감압하게 한 경우에, 종래와 같이 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)의 위치가 어긋나거나 하는 일 없이, 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)이 소정의 위치에 있어서 안정된 상태로 유지되게 된다.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 상기와 같이 신축 장치(41)에 있어서의 신축 로드(41a)를 신장하게 하고, 가동 부재(342)의 전면측의 차양부(342a)에 설치된 밀봉 부재(343)를, 가열실(10)이나 냉각실(20)의 전면측에 있어서의 도어 포켓(13, 23)에 밀접하여 밀봉한 후, 가압 장치(42)에 있어서의 신축 로드(42a)를 신장하게 하고, 이 신축 로드(42a)의 선단부를, 가열실(10)이나 냉각실(20)에 있어서의 도어 포켓(13, 23)의 전면측의 부분에 설치된 맞춤 부재(14, 24)에 맞닿도록 했지만, 가동 부재(342)의 전면측의 차양부(342a)에 설치된 밀봉 부재(343)를, 가열실(10)이나 냉각실(20)의 전면측에 있어서의 도어 포켓(13, 23)에 밀접하여 밀봉하는 동작과, 가압 장치(42)에 있어서의 신축 로드(42a)를 신장하게 하고, 이 신축 로드(42a)의 선단부를, 가열실(10)이나 냉각실(20)에 있어서의 도어 포켓(13, 23)의 전면측의 부분에 설치된 맞춤 부재(14, 24)에 맞닿게 하는 동작을 동시에 수행하도록 할 수도 있다. 또한, 맞춤 부재(14, 24)는 설치하더라도, 설치하지 않더라도 괜찮다.

다음으로, 상기와 같이 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이의 연결 부분의 내부를 감압하게 하여, 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)을 소정의 위치에 유지한 상태에서, 도 7(A), (B)에 나타낸 바와 같이, 반송 유닛(30)에 있어서의 상기의 개폐문(32) 및 연결된 가열실(10)이나 냉각실(20)에 있어서의 상기의 개폐문(12, 22)을 열고, 피처리물(W)을 상기의 반송 유닛(30)과 상기의 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이에서 주고 받게 한다.

이 때, 연결 부분의 내부 압력이, 소정의 압력까지 서서히 내려서 가는 것에 맞춰, 가압 장치(42)의 압력을 서서히 올려서 가고, 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)이 감압에 의해 가까워지려고 하는 힘과 최대한 같은 압력이 되도록 균형을 맞게 하는 것이 바람직하다.

그리고, 이와 같이 피처리물(W)을 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이에서 주고 받은 후에는, 상기의 경우와는 반대로, 반송 유닛(30)에 있어서의 개폐문(32) 및 연결된 가열실(10)이나 냉각실(20)에 있어서의 개폐문(12, 22)을 닫음과 동시에, 감압 상태에 있는 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이의 연결 부분의 내부를 대기압으로 되돌리도록 한다.

이 때도, 연결 부분의 내부 압력이, 대기압까지 서서히 올려서 가는 것에 맞춰, 가압 장치(42)의 압력을 서서히 내려서 가고, 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)이 감압에 의해 가까워지려고 하는 힘과 균형을 맞게 하는 것이 바람직하다.

이어서, 상기의 가압 장치(42)에 있어서의 신축 로드(42a)을 수축하게 하여, 이 신축 로드(42a)의 선단부를, 가열실(10)이나 냉각실(20)에 있어서의 도어 포켓(13, 23)의 전면측의 부분에서 이간하게 하고, 또한 상기의 신축 장치(41)에 있어서의 신축로드(41a)을 수축하게 해서, 이 신축 로드(41a)의 선단에 장착된 연결 부재(34)에 있어서의 가동 부재(342)를 가열실(10)이나 냉각실(20)의 전면측에 있어서의 도어 포켓(13, 23)으로부터 이간하도록 한다.

그리고, 이 실시 형태에 있어서는, 상기와 같이 감압 장치(42)에 있어서의 신축 로드(42a)를 수축하게 하고, 이 신축 로드(41a)의 선단부를, 가열실(10)이나 냉각실(20)에 있어서의 도어 포켓(13, 23)의 전면측의 부분으로부터 이간하게 한 후, 신축 부재(41)에 있어서의 신축 로드(41a)를 수축하게 해서, 이 신축 로드(41a)의 선단에 부착된 연결 부재(34)에 있어서의 가동 부재(342)를 가열실(10)이나 냉각실(20)의 전면측에 있어서의 도어 포켓(13, 23)으로부터 이간하도록 했지만, 가압 장치(42)에 있어서의 신축 로드(42a)를 수축하게 하는 동작과, 신축 장치(41)에 있어서의 신축 도르(41a)를 수축하게 하는 동작을 동시에 수행하도록 하는 것도 가능하다.

그리고, 이 실시 형태에 있어서의 열 처리 설비에서는, 상기와 같이 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이의 연결 부분을 감압 상태로 하여, 피처리물(W)을 반송 유닛(30)과 가열실(10)이나 냉각실(20)과의 사이에서 주고 받는 조작을 반복해서 하고, 피처리물(W)을 차례로 처리하게 하도록 한다.

또한, 상기의 실시 형태에 있어서의 열 처리 설비에서는, 피처리물(W)을 열 처리하게 하는 처리실(H)로서, 피처리물(W)을 가열하게 하는 복수의 가열실(10)과, 가열실(10)에 있어서 가열된 피처리물(W)을 냉각하게 하는 냉각실(20)을, 반송 유닛(30)이 주행하는 주행 레일(L)의 한쪽에 배치하도록 했을 뿐이지만, 피처리물(W)을 열 처리하게 하는 처리실(H)의 종류나 수는 특별히 한정되지 않는다.

예를 들어, 도 8에 나타낸 바와 같이, 피처리물(W)을 열 처리하게 하는 처리실(H)로서, 피처리물(W)을 가열하게 하는 복수의 가열실(10)과, 가열실(10)에 있어서 가열된 피처리물(W)을 냉각하게 하는 냉각실(20)을, 반송 유닛(30)이 주행하는 주행 레일(L)의 양측에 배치하도록 할 수 있다.

또한, 상기의 실시 형태에 있어서의 열 처리 설비에서는, 상기와 같은 연결 부재(34)와 유지 수단(40)을 반송 유닛(30)에 설치하도록 했는데, 도시하지 않고 있지만, 피처리물(W)을 열 처리하게 하는 처리실(H)에 상기와 같은 연결 부재(34)와 유지 수단(40)을 설치하도록 하는 것도 가능하다.

10 : 가열실
11 : 개구부
12 : 개폐문
13 : 도어 포켓
14 : 맞춤 부재
20 : 냉각실
21 : 개구부
22 : 개폐문
23 : 도어 포켓
24 : 맞춤 부재
30 : 반송 유닛
31 : 개구부
32 : 개폐문
33 : 도어 포켓
34 : 연결 부재
35 : 감압 장치
40 : 유지 수단
41 : 신축 장치
41a : 신축 로드
42 : 가압 장치
42a : 신축 로드
43 : 압력 센서
44 : 제어 장치
341 : 돌출 부재
342 : 가동 부재
342a : 차양부
343 : 밀봉 부재
H : 처리실
L : 주행 레일
P : 공급부
W : 피처리물

Claims (6)

1. 피처리물을 열 처리하게 하는 처리실과, 피처리물을 상기의 처리실로 반송하게 하는 반송 유닛이 설치되고, 상기의 반송 유닛을 상기의 처리실과 대면하는 위치로 이동하게 한 상태에서, 반송 유닛과 처리실이 대면하는 어느 하나의 대면부에 설치된 신축 가능한 연결 부재를 신장하게 하고, 이 연결 부재에 의해 반송 유닛과 처리실을 밀봉 상태로 연결하게 하여, 상기의 피처리물을 연결된 반송 유닛과 처리실과의 사이에서 주고 받는 열 처리 설비에 있어서, 연결 부재에 의해 연결된 반송 유닛과 처리실과의 연결 부분을 감압하게 한 경우에, 반송 유닛과 처리실과의 사이에 힘을 작용하게 하여 반송 유닛과 처리실을 일정한 거리로 유지하는 유지 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 열 처리 설비.
2. 청구항 1의 기재에 있어서,
   상기의 유지 수단으로서, 상기의 연결 부재를 신장하게 하여 반송 유닛과 처리실을 밀봉 상태로 연결하게 하는 신축 장치를 이용한 것을 특징으로 하는 열 처리 설비.
3. 청구항 1의 기재에 있어서,
   상기의 유지 수단으로서, 상기의 연결 부재를 신장하게 하여 반송 유닛과 처리실을 밀봉 상태로 연결하게 하는 신축 장치 외에, 연결 부재에 의해 연결된 반송 유닛과 처리실과의 사이에 가압력을 작용하게 하는 가압 장치를 설치한 것을 특징으로 하는 열 처리 설비.
4. 청구항 1 내지 청구항 3의 어느 한 항의 기재에 있어서,
   상기의 유지 수단은, 상기와 같이 감압하게 한 반송 유닛과 처리실과의 연결 부분의 내부 압력에 따라, 반송 유닛과 처리실과의 사이에 작용하는 힘을 조정하는 것을 특징으로 하는 열 처리 설비.
5. 청구항 4의 기재에 있어서,
   반송 유닛과 처리실과의 사이에 작용하는 힘을 조정함에 있어, 연결 부분의 내부 압력이 내려감에 따라, 반송 유닛과 처리실과의 사이에 작용하는 힘을 올려서 가는 것을 특징으로 하는 열 처리 설비.
6. 청구항 1 내지 청구항 5의 어느 한 항의 기재에 있어서,
   피처리물을 처리실로 반송하게 하는 반송 유닛에, 상기의 연결 부재와 유지 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 열 처리 설비 .
   
   

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