CN108350517B - 热处理设备 - Google Patents

Abstract

一种热处理设备，将运送处理对象的运送单元引导至与对处理对象进行热处理的处理室相对的位置，在利用能伸缩的连结构件使运送单元与处理室以密封状态连结的状态下，在运送单元与处理室之间对处理对象进行传送，设置有维持元件，当对通过连结构件连结的运送单元与处理室的连结部分的内部进行减压时，所述维持元件使力作用于运送单元与处理室之间，以使运送单元与处理室维持一定的距离。

Description

热处理设备

技术领域

本发明涉及一种热处理设备，该热处理设备设有对处理对象进行热处理的处理室以及将处理对象运送至上述处理室的运送单元，在上述运送单元移动至与上述处理室相对的位置的状态下，使设于运送单元和处理室相对的任一个相对部的、能伸缩的连结构件伸长，从而利用上述连结构件将运送单元与处理室以密封状态连结，在连结的运送单元与处理室之间对处理对象进行传送，其特点是，在对通过连结构件连结的运送单元与处理室的连结部分进行减压时，不会使运送单元和处理室的位置发生偏移，能维持运送单元与处理室合适地连结的状态，从而在连结的运送单元与处理室之间对处理对象合适地进行传送。

背景技术

以往，作为对处理对象进行渗碳淬火等的热处理设备，已知有连续炉式的热处理设备和间歇炉式的热处理设备，在上述连续炉式的热处理设备中，依次将处理对象导入长的连续炉内，在上述连续炉内依次移动处理对象，从而连续地对处理对象进行加热、均热、冷却等热处理，在上述间歇炉式的热处理设备中，在独立的间歇炉内，以不移动的方式对处理对象进行加热、均热、冷却等热处理。

在此，在连续炉式的热处理设备的情况下，由于是以恒定的热处理模式连续地对处理对象进行热处理，因此，生产性良好，但会使升温、降温等热处理模式恒定，近年来，升温、降温等热处理模式正在变得多样化，因此存在无法灵活地应对少量生产各种各样种类产品这样需求的问题。

另一方面，在上述间歇炉式的热处理设备中，由于是在一个炉中对加热、均热、冷却等热处理的条件进行改变而进行热处理，因此，对一个处理对象的处理需要花费较多的时间，从而存在生产性差这样的问题。

因此，近年来，如专利文献1～4等所示，作为对处理对象进行热处理的处理室，提出了一种热处理设备，在这种热处理设备中，至少将对处理对象进行加热的加热室和对经过加热的处理对象进行冷却的冷却室分开设置，并且设置将处理对象运送至上述处理室的运送单元，将上述运送单元移动至与上述处理室相对的位置，使上述运送单元与相对的处理室以密封状态连结并减压，在上述状态下，在连结的运送单元与处理室之间对上述处理对象进行传送。

在此，如上所述，在将运送单元移动至与由加热室、冷却室构成的处理室相对的位置并使运送单元与相对的处理室以密封状态连结时，在专利文献1、2中，使运送单元整体朝处于相对状态的由加热室、冷却室构成的处理室滑动，并使运送单元与上述处理室以密封状态连结。

然而，如专利文献1、2所示，在使运送单元整体朝处于相对状态的由加热室、冷却室构成的处理室滑动的情况下，由于运送单元整体的重量较大，因此，存在以下问题：为了使运送单元整体滑动，需要大型驱动装置、导向机构等，从而成本会变得非常高并且装置会大型化。

此外，在专利文献3、4所示的结构中，在运送单元和处理室相对的任一个相对部设置能伸缩的连结构件，使该连结构件伸长以使运送单元与处理室以密封状态连结后，对通过连结构件连结的运送单元与处理室的连结部分进行减压。

在此，如上所述，在对通过连结构件连结的运送单元与处理室的连结部分进行减压时，会产生通过连结部分使运送单元与处理室彼此拉动而欲靠近的力，即使被牢固地固定于底面，也存在时间变长运送单元与处理室的位置发生偏移的可能。

此外，在专利文献4所示的结构中，设置有使连结构件伸缩的汽缸等伸缩装置，利用该伸缩装置使连结构件伸长，并利用该连结构件将运送单元与处理室以密封状态连结，在上述状态下，对运送单元与处理室的连结部分进行减压。

然而，在专利文献4所示的伸缩装置中存在以下问题：在使连结构件伸长而仅存在将运送单元与处理室连结的力并如上述那样对运送单元与处理室的连结部分进行减压的情况下，通过连结部分使运送单元与处理室彼此拉动，没有能与上述移动对抗的力，此外，即使利用上述伸缩装置使连结构件伸长，从而使能对抗上述移动大小的压力作用于运送单元与处理室之间，由于上述压力过大，会导致运送单元、处理室的位置发生偏移，或者用力按压密封构件，从而使弹力丧失，无法合适地进行密封。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2006－63363号公报

专利文献2：日本专利特开2014－86475号公报

专利文献3：日本专利特开平5-86416号公报

专利文献4：日本专利特许第5686918号公报

发明内容

本发明的热处理设备为解决下述热处理设备中的上述问题而作，该热处理设备设有对处理对象进行热处理的处理室以及将处理对象运送至上述处理室的运送单元，在将上述运送单元移动至与上述处理室相对位置的状态下，使设于运送单元和处理室相对的任一个相对部的能伸缩的连结构件伸长，从而利用上述连结构件将运送单元与处理室以密封状态连结，在连结的运送单元与处理室之间对上述处理对象进行传送。

也就是说，本发明在于解决以下技术问题：在如上所述的热处理设备中，在对通过连结构件连结的运送单元与处理室的连结部分进行减压时，不会使运送单元和处理室的位置发生偏移，能维持运送单元与处理室合适地连结的状态，从而能在连结的运送单元与处理室之间对处理对象合适地进行传送。

解决技术问题所采用的技术方案

为解决上述技术问题，在本发明的热处理设备中，设有对处理对象进行热处理的处理室以及将处理对象运送至上述处理室的运送单元，在上述运送单元移动至与上述处理室相对位置的状态下，使设于运送单元和处理室相对的任一个相对部的能伸缩的连结构件伸长，从而利用上述连结构件将运送单元与处理室以密封状态连结，在连结的运送单元与处理室之间对上述处理对象进行传送，设置有维持元件，当对通过连结构件连结的运送单元与处理室的连接部分进行减压时，上述维持元件使力作用于运送单元与处理室之间，以使运送单元与处理室维持一定的距离。

此外，在本发明的热处理设备中，如上所述，当对通过连结构件连结的运送单元与处理室的连结部分进行减压时，通过上述维持元件使力作用于运送单元与处理室之间，以使运送单元与处理室维持一定的距离。

在此，在本发明的热处理设备中，作为上述维持元件，可以采用伸缩装置，该伸缩装置使上述连结构件伸长，以将运送单元与处理室以密封状态连结。

此外，作为维持元件，在上述那样的伸缩装置以外，还可以设置按压装置，上述按压装置使按压力作用于通过连结构件连结的运送单元与处理室之间。这样，若在伸缩装置以外，还设置有使按压力作用于通过连结构件连结的运送单元与处理室之间的按压装置，则可以分开进行以下动作：使带密封构件的连结构件伸长以使运送单元与处理室以密封状态连结的动作；以及当对运送单元与处理室的连结部分进行减压时，维持运送单元与处理室的动作，并且不存在对连结构件施加较大压力而导致密封构件的弹性丧失，无法合适地进行密封这样的顾虑。

此外，在本发明的热处理设备中，可以利用上述维持元件，根据经过减压的运送单元与处理室的连结部分的内部的压力，对作用于运送单元与处理室之间的力进行调节，以实现平衡。

此外，如上所述，较为理想的是，在对作用于运送单元与处理室之间的力进行调节时，随着连结部分的内部的压力下降，使作用于运送单元与处理室之间的力上升。这样，能合适地防止因作用力较小或过大导致运送单元、处理室的位置发生偏移。

此外，在本发明的热处理设备中，较为理想的是，在利用上述运送单元将处理对象运送至多个处理室的情况下，在将处理对象运送至处理室的运送单元上，设置上述连结构件和维持元件。这样，若在运送单元设置连结构件和维持元件，则与在多个处理室分别单独地设置连结构件和维持元件的情况相比，能大幅降低成本等。

发明效果

在本发明的热处理设备中，将运送单元移动至与处理室相对的位置，并利用连结构件将运送单元与处理室以密封状态连结，在对如上所述通过连结构件连结的运送单元与处理室的连结部分进行减压的状态下，在连结的运送单元与处理室之间对处理对象进行传送时，利用维持元件，对作用于连结的运送单元与处理室之间的力进行调节，从而使运送单元和处理室维持稳定的状态，因此，在对运送单元与处理室的连结部分的内部进行减压时，不会使运送单元和处理室的位置发生偏移，能维持运送单元与处理室合适地连结的状态，从而能在连结的运送单元与处理室之间对处理对象合适地进行传送。

附图说明

图1是表示在本发明一实施方式的热处理设备中，在供运送单元行驶的行驶轨道的单侧，由多个加热室和冷却室构成的处理室排列成直线状的状态的示意俯视图。

图2是表示在上述实施方式的热处理设备中，使运送单元与加热室、冷却室相对的状态的纵向的剖视说明图。

图3是表示在上述实施方式的热处理设备中，使运送单元与加热室、冷却室相对的状态的横向的剖视说明图。

图4是表示在上述实施方式的热处理设备中，使运送单元与加热室、冷却室连结的装置结构的框图。

图5表示在上述实施方式的热处理设备中，通过设于运送单元的前表面侧的伸缩装置来使连结构件朝加热室、冷却室移动，从而利用上述连结构件使运送单元与加热室、冷却室以密封状态连结的状态，图5的(A)是纵向的剖视说明图，图5的(B)是横向的剖视说明图。

图6表示在上述实施方式的热处理设备中，从图5的(A)、(B)所示状态起，使设于运送单元的前表面侧的按压装置的伸缩杆伸长而与加热室、冷却室的前表面侧的部分抵接，从而在运送单元与加热室、冷却室之间作用按压力的状态，图6的(A)是纵向的剖视说明图，图6的(B)是横向的剖视说明图。

图7是表示在上述实施方式的热处理设备中，从图6的(A)、(B)所示状态起，使由连结构件连结的运送单元与加热室、冷却室的连结部分减压，将运送单元和所连结的加热室、冷却室的各开闭门打开，从而使处理对象在运送单元与所连结的加热室、冷却室之间传送的状态，图7的(A)是纵向的剖视说明图，图7的(B)是横向的剖视说明图。

图8是表示在上述实施方式的热处理设备中，在供运送单元行驶的行驶轨道的两侧，排列有由多个加热室和冷却室构成的处理室的状态的示意主视图。

具体实施方式

以下，基于附图，对本发明实施方式的热处理设备进行详细说明。另外，本发明的热处理设备并不限定于下述实施方式所示的设备，能在不改变发明思想的范围内进行适当改变来加以实施。

在本实施方式的热处理设备中，如图1所示，作为对处理对象W进行热处理的处理室H，在供运送单元30行驶的行驶轨道L的单侧，隔着需要的间隔配置有多个(图中所示例中为三个)对处理对象W进行加热的加热室10以及对经过加热室10加热的处理对象W进行冷却的冷却室20。此外，在与上述那样配置的加热室10、冷却室20相同的行驶轨道L的单侧，设置有将处理对象W供给至运送单元30的供给部P。

此外，在上述实施方式的热处理设备中，如图2和图3等所示，在上述加热室10、冷却室20中，在与上述运送单元30相对的相对部处，分别在上述加热室10、冷却室20与运送单元30之间设置有传送处理对象W的开口部11、21，并且以与上述开口部11、21对应的方式，设置有将开口部11、21打开关闭的密封式开闭门12、22和将上述开口部11、21收容的门套13、23。

此外，在上述运送单元30中，在与上述加热室10、冷却室20相对的相对部侧处，设置有在上述运送单元30与加热室10、冷却室20之间传送处理对象W的开口部31，并且设置有将上述开口部31打开关闭的密封式开闭门32和将上述开闭门32收容的门套33。

此外，在本实施方式中，在与上述加热室10、冷却室20相对的上述运送单元30的门套33的前表面侧，设置有能伸缩的连结构件34。此外，如后所述，使上述连结构件34伸长，能利用该连结构件34使上述运送单元30与上述加热室10、冷却室20以密封状态连结。

此外，如上所述，在利用连结构件34使运送单元30与加热室10、冷却室20以密封状态连结的状态下，当由连结构件34连结的运送单元30与加热室10、冷却室20之间的连结部分如后所述被减压装置35减压后，如后所述，设于上述加热室10、冷却室20的开闭门12、22和设于运送单元30的开闭门32打开，从而使运送单元30的开口部31与加热室10、冷却室20的开口部11、21连通，以使处理对象W在连结的运送单元30与加热室10、冷却室20之间传送。

此外，如上所述，在由连结构件34连结的运送单元30与加热室10、冷却室20之间的连结部分被减压的情况下，利用维持元件40，使力作用于运送单元30与加热室10、冷却室20之间，从而使运送单元30与加热室10、冷却室20之间维持一定的距离。

在此，在本实施方式中，在与加热室10、冷却室20相对的运送单元30的门套33的前表面侧设置能伸缩的连结构件34时，在与加热室10、冷却室20相对的运送单元30的门套33的前表面，形成为筒状的突出构件341朝上述加热室10、冷却室20突出需要的长度，并且在上述突出构件341的外周侧设置可动构件342，该可动构件342使用能相对于突出构件341滑动的密封构件(未图示)而以紧贴状态朝向加热室10、冷却室20移动，且形成为筒状，在上述可动构件342中，在与上述加热室10、冷却室20相对的前表面侧的凸缘部342a，设置有将上述可动构件342与上述加热室10、冷却室20之间密封的密封构件343。

此外，在上述连接构件34的可动构件342朝向加热室10、冷却室20移动时，在运送单元30的门套33的前表面侧设置由汽缸构成的伸缩装置41，该伸缩装置41的伸缩杆41a的前端安装于可动构件342，使上述伸缩杆41a伸缩，以使上述可动构件342朝向加热室10、冷却室20移动，从而使可动构件342与上述加热室10、冷却室20连结或者远离加热室10、冷却室20。

另外，在本实施方式中，作为能伸缩的连结构件34，使形成为筒状的突出构件341朝向加热室10、冷却室20突出需要的长度，并且在上述突出构件341的外周侧设置以与突出构件341紧贴的状态朝向加热室10、冷却室20移动且形成为筒状的可动构件342，不过，能伸缩的连结构件34并不限定于此。例如，虽未图示，但作为能伸缩的连结构件，也可以设置波纹管式的能伸缩的连结构件。

此外，在本实施方式中，在上述运送单元30中，在与加热室10、冷却室20相对的门套33的前表面侧，且在比上述可动构件342更靠外侧的位置，设置有由汽缸构成的按压装置42，在使该按压装置42的伸缩杆42a伸长时与上述伸缩杆42a的前端部接触的加热室10、冷却室20的门套13、23的前表面侧部分，设置有抵接构件14、24。

此外，在本实施方式中，作为上述维持元件40，利用上述伸缩装置41和按压装置42，如上所述，利用伸缩装置41使连结构件34的可动构件342朝向加热室10、冷却室20移动，从而利用连结构件34将运送单元30与加热室10、冷却室20以密封状态连结，并且在上述连结的运送单元30与上述加热室10、冷却室20之间的连结部分被减压的情况下，如上所述，利用按压装置42使按压力作用于连结的运送单元30与上述加热室10、冷却室20之间，从而使运送单元30与加热室10、冷却室20之间维持一定的距离。这样，在通过连结构件34连结的运送单元30与上述加热室10、冷却室20之间的连结部分被减压的情况下，可以防止运送单元30与加热室10、冷却室20之间的距离等位置朝靠近方向偏移。

在此，如上所述，在运送单元30与加热室10、冷却室20之间的连结部分被减压装置35减压的情况下，利用上述按压装置42使按压力作用于连结的运送单元30与上述加热室10、冷却室20之间，此时，如图4所示，能利用压力传感器43对被减压装置35减压的连结部分内部的压力进行检测，将上述检测的结果向控制装置44输出，并利用该控制装置44对上述按压装置42进行控制，能对利用上述按压装置42作用于连结的运送单元30与上述加热室10、冷却室20之间的按压力进行调节。

具体而言，开始对连结部分的内部进行减压，使压力逐渐下降至规定的压力，与之配合地，根据连结部分的压力，以逐渐上升的方式对作用于连结的运送单元30与加热室10、冷却室20之间的按压力进行调节。这样，按压装置42的按压力变得比因减压而欲使运送单元30与加热室10、冷却室20靠近的力大，从而还可以防止运送单元30与加热室10、冷却室20之间的距离等位置朝远离方向偏移，可以简单地使运送单元30与加热室10、冷却室20维持在原来的位置。

另外，在本实施方式中，如上所述，作为维持元件40，利用伸缩装置41和按压装置42，并如上所述对通过按压装置42作用于连结的运送单元30与上述加热室10、冷却室20之间的按压力进行调节，不过，也可以仅利用上述伸缩装置42来使运送单元30与加热室10、冷却室20之间维持一定的距离。在这种情况下，为了避免按压力过大，密封构件343采用即使反复按压也不会丧失弹力的材质。

接着，对在本实施方式的热处理设备中，在上述运送单元30与上述加热室10、冷却室20之间，以不会使处理对象W氧化的方式在减压状态下传送处理对象W的情况进行说明。

首先，将运送单元30的上述开闭门32关闭，以使运送单元30内处于非氧化性气氛，并且将传送处理对象W的加热室10、冷却室20的上述开闭门12、22关闭，以使传送处理对象W的加热室10、冷却室20内处于非氧化性气氛，如上述图2和图3所示，使上述运送单元30移动至隔着需要的间隔与传送处理对象W的加热室10、冷却室20相对的位置。

接着，如图5的(A)、(B)所示，使设于与加热室10、冷却室20相对的运送单元30的前表面侧的上述伸缩装置41的伸缩杆41a伸长，从而使安装于上述伸缩杆41a前端的连结构件34的可动构件342以与上述突出构件341紧贴的状态朝向加热室10、冷却室20移动，使设于上述可动构件342的前表面侧的凸缘部342a的密封构件343与上述加热室10、冷却室20的前表面侧的门套13、23紧贴并密封。

然后，如上所述，在设于可动构件342的前表面侧的凸缘部342a的密封构件343与上述加热室10、冷却室20的前表面侧的门套13、23紧贴而密封的状态下，如图6的(A)、(B)所示，使设于运送单元30的前表面侧的上述按压装置42的伸缩杆42a伸长，从而使上述伸缩杆42a的前端部与设于加热室10、冷却室20的门套13、23的前表面侧部分的抵接构件14、24抵接。

此外，在上述状态下，如上所述，利用减压装置35对运送单元30与加热室10、冷却室20之间的连结部分的内部进行减压，并且利用上述按压装置42使按压力作用于连结的运送单元30与上述加热室10、冷却室20之间，从而使运送单元30与加热室10、冷却室20维持一定的状态。这样，在运送单元30与加热室10、冷却室20之间的连结部分的内部被减压后，不会如现有技术那样使运送单元30与加热室10、冷却室20的位置发生偏移，能使运送单元30和加热室10、冷却室20以稳定的状态维持在规定的位置处。

另外，在本实施方式中，如上所述，在使伸缩装置41的伸缩杆41a伸长，从而使设于可动构件342的前表面侧的凸缘部342a的密封构件343与加热室10、冷却室20的前表面侧的门套13、23紧贴并密封后，使按压装置42的伸缩杆42a伸长，从而使上述伸缩杆42a的前端部与设于加热室10、冷却室20的门套13、23的前表面侧部分的抵接构件14、24抵接，但是，也可以同时进行以下两个动作：使设于可动构件342的前表面侧的凸缘部342a的密封构件343与加热室10、冷却室20的前表面侧的门套13、23紧贴并密封的动作；以及使按压装置42的伸缩杆42a伸长，从而使上述伸缩杆42a的前端部与设于加热室10、冷却室20的门套13、23的前表面侧部分的抵接构件14、24抵接的动作。另外，可以设置抵接构件14、24，也可以不设置。

接着，如上所述，在对运送单元30与加热室10、冷却室20之间的连结部分的内部进行减压，从而使运送单元30与加热室10、冷却室20维持在规定位置的状态下，如图7的(A)、(B)所示，将运送单元30的上述开闭门32和连结的加热室10、冷却室20的上述开闭门12、22打开，从而在上述运送单元30与上述加热室10、冷却室20之间对处理对象W进行传送。

此时，较为理想的是，使连结部分的内部的压力逐渐下降至规定的压力，与之配合地，使按压装置42的压力逐渐上升，从而使按压装置42的压力尽可能与因减压而欲使运送单元30与加热室10、冷却室20靠近的力相同而平衡。

此外，如上所述，在运送单元30与加热室10、冷却室20之间传送完处理对象W后，与上述情况相反，将运送单元30的开闭门32和连结的加热室10、冷却室20的开闭门12、22关闭，从而使处于减压状态的运送单元30与加热室10、冷却室20之间的连结部分的内部回到大气压。

此时，较为理想的是，使连结部分的内部的压力逐渐上升至大气压，与之配合地，使按压装置42的压力逐渐下降，从而使按压装置42的压力尽可能与因减压而欲使运送单元30与加热室10、冷却室20靠近的力相同而平衡。

接着，使上述按压装置42的伸缩杆42a收缩，从而使上述伸缩杆42a的前端部从加热室10、冷却室20的门套13、23的前表面侧的部分远离，然后，使上述伸缩装置41的伸缩杆41a收缩，从而使安装于上述伸缩杆41a的前端的连结构件34的可动构件342从加热室10、冷却室20的前表面侧的门套13、23远离。

另外，在本实施方式中，如上所述，使按压装置42的伸缩杆42a收缩，从而使上述伸缩杆42a的前端部从加热室10、冷却室20的门套13、23的前表面侧的部分远离后，使伸缩装置41的伸缩杆41a收缩，从而使安装于上述伸缩杆41a前端的连结构件34的可动构件342从加热室10、冷却室20的前表面侧的门套13、23远离，但是，也可以同时进行使按压装置42的伸缩杆42a收缩的动作以及使伸缩装置41的伸缩杆41a收缩的动作。

此外，在本实施方式的热处理设备中，如上所述，使运送单元30与加热室10、冷却室20之间的连结部分处于减压状态，在运送单元30与加热室10、冷却室20之间反复对处理对象W进行传送，从而依次对处理对象W进行处理。

另外，在上述实施方式的热处理设备中，作为对处理对象W进行热处理的处理室H，将对处理对象W进行加热的多个加热室10以及对经过加热室10加热的处理对象W进行冷却的冷却室20配置于供运送单元30行驶的行驶轨道L的单侧，不过，对处理对象W进行热处理的处理室H的种类、数量没有特别限定。

例如，如图8所示，作为对处理对象W进行热处理的处理室H，也可以将对处理对象W进行加热的多个加热室10以及对经过加热室10加热的处理对象W进行冷却的冷却室20配置于供运送单元30行驶的行驶轨道L的两侧。

此外，在上述实施方式的热处理设备中，将上述那样的连结构件34、维持元件40设置于运送单元30，不过，虽未图示，但也可以在对处理对象W进行热处理的处理室H设置上述那样的连结构件34、维持元件40。

符号说明

10：加热室

11：开口部

12：开闭门

13：门套

14：抵接构件

20：冷却室

21：开口部

22：开闭门

23：门套

24：抵接构件

30：运送单元

31：开口部

32：开闭门

33：门套

34：连结构件

35：减压装置

40：维持元件

41：伸缩装置

41a：伸缩杆

42：按压装置

42a：伸缩杆

43：压力传感器

44：控制装置

341：突出构件

342：可动构件

342a：凸缘部

343：密封构件

H：处理室

L：行驶轨道

P：供给部

W：处理对象

Claims (4)

1.一种热处理设备，设有对处理对象进行热处理的处理室以及将处理对象运送至所述处理室的运送单元，在所述运送单元移动至与所述处理室相对位置的状态下，使设于运送单元和处理室相对的任一个相对部的、能伸缩的连结构件伸长，从而利用所述连结构件将运送单元与处理室以密封状态连结，在连结的运送单元与处理室之间对所述处理对象进行传送，其特征在于，

设置有维持元件，当对通过连结构件连结的运送单元与处理室的连结部分进行减压时，所述维持元件使力作用于运送单元与处理室之间，以使运送单元与处理室维持一定的距离，作为所述维持元件，设有伸缩装置和按压装置，所述伸缩装置使所述连结构件伸长，以将运送单元与处理室以密封状态连结，所述按压装置使按压力作用于通过连结构件连结的运送单元与处理室之间。

2.如权利要求1所述的热处理设备，其特征在于，

所述维持元件根据减压后的运送单元与处理室的连结部分的内部的压力，对作用于运送单元与处理室之间的力进行调节。

3.如权利要求2所述的热处理设备，其特征在于，

在对作用于运送单元与处理室之间的力进行调节时，随着连结部分的内部的压力下降，使作用于运送单元与处理室之间的力上升。

4.如权利要求1～3中任一项所述的热处理设备，其特征在于，

在将处理对象运送至处理室的运送单元，设置有所述连结构件和维持元件。