KR20180029951A

KR20180029951A - Cutting device and cutting method

Info

Publication number: KR20180029951A
Application number: KR1020177030822A
Authority: KR
Inventors: 마사유키 야마모토; 모토키 후카이; 간지 이시바시
Original assignee: 토와 가부시기가이샤
Priority date: 2015-07-17
Filing date: 2016-06-28
Publication date: 2018-03-21
Also published as: JP2017024093A; WO2017013837A1; CN107530859B; TWI599450B; TW201703925A; CN107530859A

Abstract

절단 장치에, 회전날을 사이에 끼운 상태로 회전축에 고정되는 제1 플랜지와 제2 플랜지를 설치한다. 제1 플랜지에, 회전날의 제1 면에 외주부에서 밀착되는 고리형의 유지부와, 고리형의 제1 오목부를 설치하고, 제2 플랜지에, 회전날의 제2 면에 외주부에서 밀착되는 고리형의 유지부와, 고리형의 제2 오목부를 설치한다. 제1 오목부와 제2 오목부를 회전날을 사이에 두고 대향시켜 배치한다. 제1 면으로부터 제1 오목부의 내저면까지의 거리와, 제2 면으로부터 제2 오목부의 내저면까지의 거리를, 회전날의 지립의 최대 직경보다 크고, 회전날의 변형의 허용 범위에서의 변형량의 최대치보다 작은 동등한 거리로 설정한다. 회전날이 변형되면, 지립이 제1 오목부와 제2 오목부의 내저면에 접촉한다. The cutting device is provided with a first flange and a second flange which are fixed to the rotary shaft in a state where the rotating blade is sandwiched therebetween. The first flange is provided with a ring-shaped holding portion which is in close contact with the first surface of the rotary blade at the outer peripheral portion and a ring-shaped first recess portion. The second flange is provided with a ring Shaped holding portion and an annular second concave portion are provided. The first concave portion and the second concave portion are disposed to face each other with the rotary blade therebetween. The distance from the first surface to the inner bottom surface of the first concave portion and the distance from the second surface to the inner bottom surface of the second concave portion are set to be larger than the maximum diameter of the abrasive grains of the rotary blade, Is set to an equal distance smaller than the maximum value. When the rotary blade is deformed, the abrasive grains contact the inner bottom surface of the first concave portion and the inner bottom surface of the second concave portion.

Description

Cutting device and cutting method

본 발명은, 피절단물을 절단함으로써, 개편화된 복수의 제품을 제조하는 절단 장치 및 절단 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cutting apparatus and a cutting method for manufacturing a plurality of individualized pieces by cutting a piece to be cut.

프린트 기판이나 리드 프레임 등으로 이루어진 기판을 격자형의 복수의 영역으로 가상적으로 구획하고, 각각의 영역에 칩형의 소자(예컨대 반도체 칩)를 장착한 후, 기판 전체를 수지 밀봉한 것을 밀봉 종료 기판이라고 한다. 밀봉 종료 기판은, 회전날 등을 사용한 절단 기구에 의해 절단됨으로써 영역 단위로 개편화되고, 개편화된 것 각각이 제품이 된다. A substrate made of a printed board or a lead frame is virtually divided into a plurality of regions in a lattice shape, and chip-like elements (for example, semiconductor chips) are mounted on the respective regions, and then the entire substrate is resin- do. The sealing end substrate is cut by a cutting mechanism using a rotating blade or the like to be separated into individual area units, and each of the separated pieces becomes a product.

종래부터, 절단 장치를 사용한 밀봉 종료 기판의 절단에서는, 우선, 밀봉 종료 기판을 절단용 테이블 위에 얹는다. 다음으로, 밀봉 종료 기판을 얼라인먼트(위치 맞춤)한다. 얼라인먼트함으로써, 복수의 영역을 구획하는 가상적인 절단선의 위치를 설정한다. 다음으로, 밀봉 종료 기판을 얹는 절단용 테이블과 절단 기구를 상대적으로 이동시킨다. 절삭수를 밀봉 종료 기판의 절단 개소에 분사함과 함께, 절단 기구에 의해 밀봉 종료 기판에 설정된 절단선을 따라서 밀봉 종료 기판을 절단한다. 밀봉 종료 기판을 절단함으로써, 개편화된 제품이 제조된다. Conventionally, in the cutting of the sealing end substrate using the cutting apparatus, first, the sealing end substrate is placed on the cutting table. Next, the sealing end substrate is aligned (aligned). By alignment, the position of a virtual cut line for dividing a plurality of regions is set. Next, the cutting table on which the sealing end substrate is placed and the cutting mechanism are relatively moved. The cutting water is jetted to the cut position of the sealing end substrate and the sealing end substrate is cut along the cutting line set on the sealing end substrate by the cutting mechanism. By cutting the sealing end substrate, the individualized product is produced.

절단 기구로서, 원판형의 회전날을 갖는 스핀들이 사용된다. 스핀들은 회전날을 고속으로 회전시킨다. 고속으로 회전하는 회전날이 밀봉 종료 기판을 절단한다. 회전날은, 그 양면이 플랜지(고정 부재)에 의해 끼워지고, 스핀들에 설치된 회전축의 축방향에 대하여 직교하는 면에 평행하게 고정된다. 회전날은, 예컨대 다이아몬드 등의 지립을 금속, 수지, 세라믹 등의 결합재로 결합한 원환형의 지석으로 이루어진다. 「원환형」이란, 상이한 직경을 갖는 2개의 동심원 사이에 끼인 부분의 형상을 의미한다. As the cutting mechanism, a spindle having a disk-shaped rotary blade is used. The spindle rotates the rotating blade at high speed. The rotating blade rotating at high speed cuts the sealing end substrate. The rotary blade is fixed on both sides thereof by a flange (fixing member) and parallel to a plane orthogonal to the axial direction of the rotary shaft provided on the spindle. The rotary blade is made of an annular grinding wheel in which abrasive grains such as diamond are bonded by a binding material such as metal, resin, or ceramic. Means a shape of a portion sandwiched between two concentric circles having different diameters.

회전날의 두께는 수십 ㎛∼수백 ㎛로 매우 얇기 때문에, 회전날의 강성을 충분히 확보하는 것이 어렵다. 회전날은 30,000∼50,000 rpm 정도의 고속으로 회전하기 때문에, 회전날의 중심으로부터 외주 방향을 향해 원심력이 작용한다. 이 원심력이 어느 정도 이상으로 커지면, 원심력에 기인하여 회전날에 있어서 기울기, 휘어짐, 뒤틀림, 틀어짐 등(이하 「변형」이라고 함)이 발생한다. 원심력에 기인하는 회전날의 변형량이 커지면, 회전날이 파손될 우려가 있다. Since the thickness of the rotary blade is as thin as several tens of microns to several hundreds of microns, it is difficult to sufficiently secure the rigidity of the rotary blade. Since the rotary blade rotates at a high speed of about 30,000 to 50,000 rpm, a centrifugal force acts from the center of the rotary blade toward the outer peripheral direction. When the centrifugal force becomes larger than a certain degree, inclination, warpage, warping, and deformation (hereinafter referred to as " deformation ") occur in the rotary blade due to the centrifugal force. If the amount of deformation of the rotary blade due to the centrifugal force is large, the rotary blade may be damaged.

선행기술문헌에는, 절삭 장치에 있어서 「와셔형의 절삭 블레이드는, 2개의 플랜지 사이에 끼워진 상태로 스핀들 선단에 너트에 의해 고정되어 있다.」는 것이 개시되어 있다. 덧붙여, 「블레이드는 플랜지에 접촉한 상태로 고정되기 때문에, 플랜지의 블레이드에 접촉하는 단부면과 스핀들의 회전 중심선이 이루는 각도가 90도가 아니면, 스핀들 회전시에 플랜지가 단부면 떨림을 발생시켜, 정밀한 가공을 할 수 없게 되어 버린다.」는 것이 개시되어 있다(예컨대 특허문헌 1의 단락〔0003〕,〔0004〕, 도 3 참조). The prior art document discloses that in a cutting apparatus "a washer-shaped cutting blade is fixed by a nut at the tip of a spindle while being sandwiched between two flanges". In addition, since the blade is fixed in contact with the flange, if the angle formed by the end surface contacting the blade of the flange and the center line of rotation of the spindle is not 90 degrees, the flange generates an end face vibration during rotation of the spindle, (For example, see paragraphs [0003], [0004], and Fig. 3 of Patent Document 1).

특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2009-297855호 공보Patent Document 1: JP-A-2009-297855

특허문헌 1에 개시된 기술에 의하면, 블레이드(31) 및 플랜지(37)를 플랜지(36)에 감합하고, 블레이드(31)를 한 쌍의 플랜지(36, 37) 사이에 끼워 유지시킨다. 또한, 너트(35)의 암나사부(35a)를 플랜지(36)의 플랜지 수나사부(36a)에 나사 결합시켜 체결함으로써, 블레이드(31)는 플랜지(36, 37)의 외주면 근처의 단부면(36c, 37a)에 의해 끼워져 유지되어 고정된다(특허문헌 1의 단락〔0020〕, 도 3 참조). According to the technique disclosed in Patent Document 1, the blade 31 and the flange 37 are fitted to the flange 36, and the blade 31 is sandwiched between the pair of flanges 36, 37. The female threaded portion 35a of the nut 35 is threadedly engaged with the flange female threaded portion 36a of the flange 36 so that the blade 31 is fixed to the end face 36c near the outer peripheral surface of the flange 36 , 37a (see paragraph [0020] of Patent Document 1, see Fig. 3).

특허문헌 1의 도 3에 도시된 바와 같이, 블레이드(31)는 플랜지(36, 37)의 외주면 근처의 단부면(36c, 37a)에 의해 고정된다. 블레이드(31)에 있어서, 플랜지(36, 37)의 단부면(36c, 37a)에 의해 고정되는 부분 이외의 곳은, 플랜지(36, 37)에 의해 블레이드(31)가 유지되지 않는다. 따라서, 원심력이 커지면, 블레이드(31)에 있어서 플랜지(36, 37)에 의해 유지되지 않는 부분은, 원심력에 기인하는 변형이 발생하기 쉽다. 이 변형량이 커지면, 블레이드(31)가 파손될 우려가 있다. As shown in Fig. 3 of Patent Document 1, the blade 31 is fixed by the end faces 36c and 37a near the outer circumferential surface of the flanges 36 and 37. The blade 31 is not held by the flanges 36 and 37 except the portion fixed by the end faces 36c and 37a of the flanges 36 and 37 in the blade 31. [ Therefore, when the centrifugal force is large, a portion of the blade 31 not held by the flanges 36 and 37 is liable to be deformed due to the centrifugal force. If this deformation amount is large, there is a fear that the blade 31 is broken.

본 발명은, 원심력에 기인하여 발생하는 회전날의 변형을 억제함으로써, 회전날의 파손을 방지할 수 있는 절단 장치 및 절단 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. It is an object of the present invention to provide a cutting apparatus and a cutting method which can prevent breakage of a rotary blade by suppressing deformation of a rotary blade caused by centrifugal force.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 절단 장치는, Means for Solving the Problems In order to solve the above problems,

피절단물을 얹는 테이블과, 상기 피절단물을 절단하는 절단 기구와, 상기 테이블과 상기 절단 기구를 상대적으로 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 피절단물을 절단함으로써 복수의 제품을 제조할 때에 사용되는 절단 장치로서, A cutting machine comprising a table on which a workpiece to be cut is placed, a cutting mechanism for cutting the workpiece, and a moving mechanism for relatively moving the table and the cutting mechanism. When a plurality of products are manufactured by cutting the workpiece As a cutting apparatus to be used,

상기 절단 기구에 설치되는 회전축과, A rotating shaft provided in the cutting mechanism,

상기 회전축에 대하여 고정되는 원판형의 회전날과, A disk-shaped rotary blade fixed to the rotary shaft,

상기 회전날에서의 상기 절단 기구의 본체에 가까운 측에 위치하는 제1 면 측에 설치되는 제1 고정 부재와, A first fixing member provided on a side of a first surface positioned on a side of the rotary blade near the main body of the cutting mechanism,

상기 제1 고정 부재의 외주부에 설치되고 상기 회전날의 상기 제1 면에 형성되는 지립에 밀착되는 제1 유지부와, A first holding portion provided at an outer peripheral portion of the first holding member and closely contacting an abrasive formed on the first surface of the rotary blade,

상기 제1 고정 부재에 있어서 상기 제1 유지부의 내측에 설치되는 제1 오목부와, A first concave portion provided inside the first holding portion of the first fixing member,

상기 회전날에서의 상기 제1 면의 반대면인 제2 면 측에 설치되는 제2 고정 부재와, A second fixing member provided on a second surface side opposite to the first surface in the rotary blade,

상기 제2 고정 부재의 외주부에 설치되고 상기 회전날의 상기 제2 면에 형성되는 지립에 밀착되는 제2 유지부와, A second holding portion provided on an outer peripheral portion of the second fixing member and brought into close contact with an abrasive formed on the second surface of the rotary blade,

상기 제2 고정 부재에 있어서 상기 제2 유지부의 내측에 설치되는 제2 오목부 And the second holding member has a second concave portion provided on the inner side of the second holding portion,

를 구비하고, And,

상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재에 의해 상기 회전날이 끼워진 상태에서 상기 회전날이 상기 회전축에 대하여 고정되고, Wherein the rotary blade is fixed to the rotary shaft in a state in which the rotary blade is sandwiched by the first fixing member and the second fixing member,

상기 제1 오목부와 상기 제2 오목부가 상기 회전날을 사이에 두고 서로 대향하도록 배치되며, Wherein the first concave portion and the second concave portion are arranged so as to face each other with the rotary blade therebetween,

상기 회전날의 상기 제1 면으로부터 상기 제1 오목부의 내저면까지의 제1 거리와 상기 회전날의 상기 제2 면으로부터 상기 제2 오목부의 내저면까지의 제2 거리가, 동등한 정해진 거리이며, The first distance from the first surface of the rotary blade to the inner bottom surface of the first concave portion and the second distance from the second surface of the rotary blade to the inner bottom surface of the second concave portion are equal to the predetermined distance,

상기 정해진 거리는, 상기 지립의 최대 직경보다 크고, 상기 회전날의 변형이 허용되는 범위에서의 변형량의 최대치보다 작다. The predetermined distance is larger than the maximum diameter of the abrasive grains and smaller than the maximum value of the deformation amount in a range in which deformation of the rotary blade is allowed.

본 발명에 관한 절단 장치에는, In the cutting apparatus according to the present invention,

상기 제1 고정 부재에 있어서, 상기 제1 유지부와 상기 제1 오목부가 각각 고리형으로 형성되고, In the first fixing member, the first holding portion and the first concave portion are formed in an annular shape,

상기 제2 고정 부재에 있어서, 상기 제2 유지부와 상기 제2 오목부가 각각 고리형으로 형성된다In the second fixing member, the second holding portion and the second concave portion are each formed in an annular shape

는 양태가 있다. .

상기 회전날이 정지해 있는 상태에 있어서, 상기 제1 유지부가 상기 회전날의 상기 제1 면에 형성되는 지립에 밀착되는 면으로 이루어지는 단부면, 및 상기 제2 유지부가 상기 회전날의 상기 제2 면에 형성되는 지립에 밀착되는 면으로 이루어지는 단부면은, 상기 회전축에 근접할수록 상기 회전날로부터 멀어지도록 경사진다 Wherein the first holding portion is an end face formed by a surface which comes into close contact with an abrasive formed on the first surface of the rotary blade in a state in which the rotary blade is stationary, The end face made of the face that comes into close contact with the abrasive grains formed on the face is inclined so as to be farther from the rotary blade toward the rotation axis

는 양태가 있다. .

상기 피절단물은 밀봉 종료 기판이다 The object to be cut is a sealing terminated substrate

라는 양태가 있다. .

상기 피절단물은, 상기 복수의 제품에 각각 대응하는 복수의 영역에 각각 기능 소자를 만들어 넣은 판형 부재이다 The object to be cut is a plate-like member in which functional elements are formed in a plurality of areas respectively corresponding to the plurality of products

라는 양태가 있다. .

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 절단 방법은, Means for Solving the Problems In order to solve the above problems,

피절단물을 테이블에 얹는 공정과, 절단 기구가 갖는 회전축에 고정되는 원판형의 회전날과 상기 피절단물을 상대적으로 이동시키는 공정을 포함하고, 피절단물을 절단함으로써 복수의 제품을 제조하는 절단 방법으로서, A step of placing the cut material on a table, and a step of relatively moving a circular blade and a rotary object fixed to the rotary shaft of the cutting mechanism and the object to be cut, and cutting the object to be cut to produce a plurality of products As a cutting method,

상기 회전날에서의 상기 절단 기구의 본체에 가까운 측에 위치하는 제1 면 측에 있어서, 제1 유지부와 제1 오목부를 갖는 제1 고정 부재를 준비하는 공정과, Preparing a first fixing member having a first holding portion and a first concave portion on a side of a first surface located on a side of the rotary blade near the main body of the cutting mechanism;

상기 회전날에서의 상기 제1 면의 반대면인 제2 면 측에 있어서, 제2 유지부와 제2 오목부를 갖는 제2 고정 부재를 준비하는 공정과, Preparing a second fixing member having a second holding portion and a second concave portion on a second surface side opposite to the first surface in the rotary blade;

상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재에 의해 끼워진 상태에서 상기 회전축에 고정되는 상기 회전날을 준비하는 공정과, Preparing the rotary blade fixed to the rotary shaft in a state of being fitted by the first fixing member and the second fixing member;

상기 회전날을 회전시키는 공정 A step of rotating the rotary blade

을 포함하고, / RTI >

상기 제1 고정 부재를 준비하는 공정에서는, 상기 제1 고정 부재에서의 외주부에 상기 제1 유지부를 설치하고, 상기 제1 유지부의 내측에 상기 제1 오목부를 설치하며, In the step of preparing the first fixing member, the first holding portion is provided on the outer peripheral portion of the first holding member, the first recess is provided on the inner side of the first holding portion,

상기 제2 고정 부재를 준비하는 공정에서는, 상기 제2 고정 부재에서의 외주부에 상기 제2 유지부를 설치하고, 상기 제2 유지부의 내측에 상기 제2 오목부를 설치하며, In the step of preparing the second fixing member, the second holding portion is provided on the outer peripheral portion of the second holding member, the second recess is provided on the inner side of the second holding portion,

상기 회전날을 준비하는 공정은 다음 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다. The step of preparing the rotary blade includes the following steps.

ㆍ상기 제1 오목부와 상기 제2 오목부를, 상기 회전날을 사이에 두고 서로 대향시켜 배치하는 공정. The step of disposing the first concave portion and the second concave portion opposite to each other with the rotary blade interposed therebetween.

ㆍ상기 회전날의 상기 제1 면에 형성되는 지립에 상기 제1 유지부를 밀착시키는 공정. The step of bringing the first holding portion into close contact with abrasive grains formed on the first surface of the rotary blade.

ㆍ상기 회전날의 상기 제2 면에 형성되는 지립에 상기 제2 유지부를 밀착시키는 공정. The step of bringing the second holding portion into close contact with abrasive grains formed on the second surface of the rotary blade.

ㆍ상기 회전날의 상기 제1 면으로부터 상기 제1 오목부의 내저면까지의 제1 거리와, 상기 회전날의 상기 제2 면으로부터 상기 제2 오목부의 내저면까지의 제2 거리를, 동등한 정해진 거리로 하는 공정. The first distance from the first surface of the rotary blade to the inner bottom surface of the first concave portion and the second distance from the second surface of the rotary blade to the inner bottom surface of the second concave portion are equal to a predetermined distance .

ㆍ상기 정해진 거리를, 상기 지립의 최대 직경보다 크고, 상기 회전날의 변형이 허용되는 범위에서의 변형량의 최대치보다 작게 하는 공정. The step of making the predetermined distance smaller than the maximum value of the deformation amount in a range larger than the maximum diameter of the abrasive grains and in which the deformation of the rotary blade is allowed.

본 발명에 관한 절단 방법에는, In the cutting method according to the present invention,

상기 제1 고정 부재를 준비하는 공정에서는, 상기 제1 유지부와 상기 제1 오목부를 각각 고리형으로 형성하고, In the step of preparing the first fixing member, the first holding portion and the first concave portion are formed in an annular shape,

상기 제2 고정 부재를 준비하는 공정에서는, 상기 제2 유지부와 상기 제2 오목부를 각각 고리형으로 형성한다In the step of preparing the second fixing member, the second holding portion and the second concave portion are formed in a ring shape

는 양태가 있다. .

상기 회전날을 준비하는 공정에서는, 상기 회전날이 정지해 있는 상태에 있어서, 상기 제1 유지부가 상기 회전날의 상기 제1 면에 형성되는 지립에 밀착되는 면으로 이루어지는 단부면, 및, 상기 제2 유지부가 상기 회전날의 상기 제2 면에 형성되는 지립에 밀착되는 면으로 이루어지는 단부면을, 상기 회전축에 근접할수록 회전날로부터 멀어지도록 경사지게 한다Wherein the step of preparing the rotary blade includes an end surface in which the first holding portion is in contact with the abrasive formed on the first surface of the rotary blade in a state where the rotary blade is stationary, 2 holding portion is inclined so as to be distant from the rotary blade toward the rotary shaft as the end surface comprising the surface brought into close contact with the abrasive grains formed on the second surface of the rotary blade

는 양태가 있다. .

라는 양태가 있다. .

본 발명에 의하면, 절단 기구에, 회전날을 양측에서 사이에 끼운 상태로 회전축에 고정되는 제1 고정 부재와 제2 고정 부재를 설치한다. 제1 고정 부재의 외주부에, 회전날의 제1 면에 형성되는 지립에 밀착되는 고리형의 제1 유지부를 설치한다. 제1 고정 부재에서의 제1 유지부의 내측(회전축의 중심에 가까운 측을 말한다. 본 출원 서류에 있어서 동일.)에 고리형의 제1 오목부를 설치한다. 제2 고정 부재의 외주부에, 회전날의 제2 면에 형성되는 지립에 밀착되는 고리형의 제2 유지부를 설치한다. 제2 고정 부재에서의 제2 유지부의 내측에 고리형의 제2 오목부를 설치한다. 제1 오목부와 제2 오목부를, 회전날을 사이에 두고 서로 대향하도록 배치한다. 회전날의 제1 면으로부터 제1 오목부의 내저면까지의 제1 거리와 회전날의 제2 면으로부터 제2 오목부의 내저면까지의 제2 거리를, 동등한 정해진 거리로 한다. 정해진 거리를, 지립의 최대 직경보다 크고, 회전날의 변형이 허용되는 범위에서의 변형량의 최대치보다 작게 한다. 이것에 의해, 회전날이 회전함으로써 발생하는 원심력에 기인하는 회전날의 변형이, 미소한 변형으로 억제된다. 따라서, 원심력에 기인하여 발생하는 회전날의 파손이 방지된다. According to the present invention, the first fixing member and the second fixing member, which are fixed to the rotary shaft in a state in which the rotary blade is sandwiched from both sides, are provided in the cutting mechanism. An annular first holding portion which is in close contact with an abrasive formed on the first surface of the rotary blade is provided on the outer peripheral portion of the first fixing member. An annular first concave portion is provided on the inner side of the first holding portion of the first fixing member (the side close to the center of the rotating shaft, the same applies in the present application document). An annular second holding portion which is in close contact with an abrasive formed on the second surface of the rotary blade is provided on the outer peripheral portion of the second fixing member. And an annular second concave portion is provided inside the second holding portion of the second fixing member. The first concave portion and the second concave portion are disposed so as to face each other with the rotary blade interposed therebetween. The first distance from the first surface of the rotary blade to the inner bottom surface of the first concave portion and the second distance from the second surface of the rotary blade to the inner bottom surface of the second concave portion are set to an equal fixed distance. The predetermined distance is set to be smaller than the maximum value of the deformation amount in a range larger than the maximum diameter of the abrasive grain and allowing deformation of the rotating blade. As a result, the deformation of the rotary blade due to the centrifugal force generated when the rotary blade rotates is suppressed by a minute deformation. Therefore, breakage of the rotating blade caused by centrifugal force is prevented.

도 1은 본 발명에 관한 절단 장치의 개요를 나타내는 평면도이다.
도 2a는 도 1에 도시된 절단 장치에서 사용되는 스핀들을 나타내는 개략 평면도이다.
도 2b는 도 1에 도시된 절단 장치에서 사용되는 스핀들을 나타내는 개략 우측면도이다.
도 3은 도 2A, 도 2B에 도시된 스핀들의 구성 부재를 나타내는 개략 분해 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 구성 부재가 스핀들에 고정된 상태를 나타내는 개략 단면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 회전날 및 플랜지와, 본 발명의 실시예 2에 관한 절단 장치에서 사용되는 회전날 및 플랜지를, 함께 확대하여 나타내는 개략 단면도이다. 1 is a plan view showing an outline of a cutting apparatus according to the present invention.
2A is a schematic plan view showing a spindle used in the cutting apparatus shown in Fig.
Fig. 2b is a schematic right side view showing a spindle used in the cutting apparatus shown in Fig. 1. Fig.
Fig. 3 is a schematic exploded sectional view showing the constituent members of the spindle shown in Figs. 2A and 2B.
4 is a schematic sectional view showing a state in which the component member shown in Fig. 3 is fixed to the spindle.
Fig. 5 is a schematic cross-sectional view showing the rotating blade and the flange shown in Fig. 4 together with the rotating blade and the flange used in the cutting apparatus according to the second embodiment of the present invention.

도 4와 도 5에 도시된 바와 같이, 스핀들(7)에, 회전날(9)을 양측에서 사이에 끼운 상태로 회전축(8)에 고정되는 제1 플랜지(15)와 제2 플랜지(16)를 설치한다. 제1 플랜지(15)에는, 외주부에 있어서 회전날의 제1 면(S1)에 형성되는 지립에 밀착되는 고리형의 유지부(15c)와, 유지부(15c)의 내측에 고리형으로 형성되는 제1 오목부(19)를 설치한다. 제2 플랜지(16)에, 외주부에 있어서 회전날(9)의 제2 면(S2)에 형성되는 지립에 밀착되는 고리형의 유지부(16c)와, 유지부(16c)의 내측에 고리형으로 형성되는 제2 오목부(24)를 설치한다. 제1 오목부(19)와 제2 오목부(24)를, 회전날(9)을 사이에 두고 서로 대향하도록 배치한다. 회전날(9)의 제1 면(S1)으로부터 제1 오목부(19)의 내저면까지의 거리(L1)와, 회전날(9)의 제2 면(S2)으로부터 제2 오목부(24)의 내저면까지의 거리(L2)를, 동등한 소정의 거리로 설정한다. 소정의 거리는, 지립(26)의 최대 직경보다 크고, 회전날(9)의 변형이 허용되는 범위에서의 변형량의 최대치보다 작다. 이것에 의해, 회전날(9)이 회전함으로써 발생하는 원심력에 기인하는 회전날(9)의 변형이 미소한 변형으로 억제된다. 따라서, 원심력에 기인하여 발생하는 회전날(9)의 파손이 방지된다. A first flange 15 and a second flange 16 fixed to the rotary shaft 8 with the rotary blade 9 interposed therebetween are provided on the spindle 7 as shown in Figs. 4 and 5, . The first flange 15 is provided with an annular holding portion 15c which is in close contact with the abrasive grains formed on the first surface S1 of the rotary blade in the outer peripheral portion and an annular holding portion 15c which is annularly formed inside the holding portion 15c The first concave portion 19 is provided. An annular holding portion 16c which is in close contact with the abrasive formed on the second surface S2 of the rotary blade 9 at the outer peripheral portion of the second flange 16 and a ring- The second concave portion 24 is formed. The first concave portion 19 and the second concave portion 24 are disposed so as to face each other with the rotary blade 9 therebetween. The distance L1 from the first surface S1 of the rotary blade 9 to the inner bottom surface of the first concave portion 19 and the distance L1 from the second surface S2 of the rotary blade 9 to the second concave portion 24 ) To the inner bottom surface of the lower portion of the inner surface of the base plate 2 is set equal to a predetermined distance. The predetermined distance is larger than the maximum diameter of the abrasive grains 26 and smaller than the maximum value of the deformation amount within a range in which deformation of the rotary blade 9 is permitted. Thus, the deformation of the rotary blade 9 due to the centrifugal force generated by the rotation of the rotary blade 9 is suppressed by a minute deformation. Therefore, breakage of the rotary blade 9 caused by the centrifugal force is prevented.

실시예 1Example 1

본 발명에 관한 절단 장치의 실시예 1에 관해, 도 1을 참조하여 설명한다. 본 출원 서류에서의 모든 도면은, 알기 쉽게 하기 위해 적절하게 생략 또는 과장하여 모식적으로 그려져 있다. 동일한 구성 요소에 관해서는, 동일한 부호를 붙이고 설명을 적절하게 생략한다. Embodiment 1 of the cutting apparatus according to the present invention will be described with reference to Fig. All drawings in the present application are drawn schematically by omitting or exaggerating them appropriately for the sake of clarity. The same constituent elements are denoted by the same reference numerals and the description thereof is appropriately omitted.

도 1에 도시된 바와 같이, 절단 장치(1)는, 피절단물을 절단함으로써 복수의 제품으로 개편화하는 장치이다. 절단 장치(1)는, 기판 공급 모듈(A)과 기판 절단 모듈(B)과 검사 모듈(C)을, 각각 구성 요소로서 구비한다. 각 구성 요소(각 모듈 A∼C)는, 각각 다른 구성 요소에 대하여 착탈 가능하고 또한 교환 가능하다. As shown in Fig. 1, the cutting apparatus 1 is a device for cutting pieces to be cut into a plurality of products by cutting them. The cutting apparatus 1 includes a substrate supply module A, a substrate cutting module B, and an inspection module C as constituent elements. Each component (each module A to C) is detachable and exchangeable with respect to each other component.

기판 공급 모듈(A)에는, 피절단물에 해당하는 밀봉 종료 기판(2)을 공급하는 기판 공급 기구(3)와, 절단 장치(1)의 동작이나 제어 등을 행하는 제어부(CTL)가 설치된다. 밀봉 종료 기판(2)은, 프린트 기판이나 리드 프레임 등으로 이루어지는 기판과, 기판이 갖는 복수의 영역에 장착되는 복수의 기능 소자(반도체 소자 등의 칩)와, 복수의 영역이 일괄적으로 덮이도록 하여 형성되는 밀봉 수지를 갖는다. 밀봉 종료 기판(2)은, 최종적으로 절단되어 개편화되는 피절단물이다. 밀봉 종료 기판(2)은, 반송 기구(도시 없음)에 의해 기판 절단 모듈(B)로 반송된다. The substrate supply module A is provided with a substrate supply mechanism 3 for supplying a sealing end substrate 2 corresponding to a material to be cut and a control unit CTL for operating and controlling the cutting apparatus 1 . The sealing end substrate 2 includes a substrate made of a printed substrate or a lead frame, a plurality of functional elements (chips such as semiconductor elements) mounted on a plurality of regions of the substrate, and a plurality of functional elements And the sealing resin is formed. The sealing end substrate 2 is the object to be cut which is finally cut and separated. The sealing end substrate 2 is transported to the substrate cutting module B by a transport mechanism (not shown).

도 1에 도시되는 절단 장치(1)는, 싱글 컷 테이블 방식의 절단 장치이다. 따라서, 기판 절단 모듈(B)에는 1개의 절단용 테이블(4)이 설치된다. 절단용 테이블(4)은, 이동 기구(5)에 의해 도면의 Y 방향으로 이동 가능하고, 또한 회전 기구(6)에 의해 θ 방향으로 회동 가능하다. 절단용 테이블(4)에는 절단용 지그(도시 없음)가 고정되고, 절단용 지그의 위에 밀봉 종료 기판(2)을 얹는다.The cutting apparatus 1 shown in Fig. 1 is a single-cut table type cutting apparatus. Therefore, the substrate cutting module B is provided with one cutting table 4. The cutting table 4 is movable in the Y direction in the drawing by the moving mechanism 5 and is rotatable in the? Direction by the rotating mechanism 6. [ A cutting jig (not shown) is fixed to the cutting table 4, and the sealed end substrate 2 is placed on the cutting jig.

기판 절단 모듈(B)에는, 절단 기구로서 스핀들(7)이 설치된다. 도 1에 도시되는 절단 장치(1)는, 1개의 스핀들(7)이 설치되는 싱글 스핀들 구성의 절단 장치이다. 스핀들(7)은, 독립적으로 X 방향과 Z 방향으로 이동 가능하다. 스핀들(7)은, 회전축(8)과, 회전축(8)의 선단부에 장착되는 원판형의 회전날(9)을 구비한다. 회전날(9)은, 회전축(8)의 축방향(X 방향)에 대하여 직교하는 면(Y축과 Z축을 포함하는 면)에 평행하게 배치된다. 스핀들(7)에는, 고속으로 회전하는 회전날(9)에 의해 발생하는 마찰열을 억제하기 위해 절삭수를 분사하는 절삭수용 노즐(도시 없음)이 설치된다. 절단용 테이블(4)과 스핀들(7)을 상대적으로 이동시키는 것에 의해 밀봉 종료 기판(2)이 절단된다. 회전날(9)은, Y축과 Z축을 포함하는 면 내에서 회전함으로써 밀봉 종료 기판(2)을 절단한다. The substrate cutting module B is provided with a spindle 7 as a cutting mechanism. The cutting apparatus 1 shown in Fig. 1 is a single-spindle cutting apparatus in which one spindle 7 is installed. The spindle 7 is independently movable in the X and Z directions. The spindle 7 has a rotary shaft 8 and a disk-shaped rotary blade 9 mounted on the distal end of the rotary shaft 8. The rotary blade 9 is arranged parallel to a plane (a plane including the Y axis and the Z axis) orthogonal to the axial direction (X direction) of the rotary shaft 8. [ The spindle 7 is provided with a cutting water receiving nozzle (not shown) for spraying cutting water to suppress frictional heat generated by the rotating blade 9 rotating at a high speed. The sealing end substrate 2 is cut off by moving the cutting table 4 and the spindle 7 relative to each other. The rotary blade 9 rotates within the plane including the Y-axis and the Z-axis to cut the end-sealed substrate 2.

검사 모듈(C)에는 검사용 테이블(10)이 설치된다. 검사용 테이블(10)에는, 밀봉 종료 기판(2)을 절단하여 개편화된 복수의 제품(P)으로 이루어지는 집합체, 즉 절단 종료 기판(11)을 얹는다. 복수의 제품(P)은, 검사용의 카메라(도시 없음)에 의해 검사되어, 양품과 불량품으로 선별된다. 양품은 트레이(12)에 수용된다. The inspection module (C) is provided with an inspection table (10). On the inspection table 10, an assembly made up of a plurality of separated products P, that is, a cutting end substrate 11 is placed by cutting the sealed end substrate 2. The plurality of products P are inspected by a camera (not shown) for inspection, and are selected as good products and defective products. The good product is received in the tray 12.

실시예 1에 있어서는, 싱글 컷 테이블 방식이자 싱글 스핀들 구성의 절단 장치(1)를 설명했다. 본 발명은, 이것에 한정되지 않고, 싱글 컷 테이블 방식이자 트윈 스핀들 구성의 절단 장치나, 트윈 컷 테이블 방식이자 트윈 스핀들 구성의 절단 장치 등을 사용해도 좋다. In the first embodiment, the cutting apparatus 1 having a single-cut table system and a single-spindle configuration has been described. The present invention is not limited thereto, and a single-cut table type cutting device having a twin spindle configuration, a twin-cut table type cutting device having a twin spindle configuration, or the like may be used.

도 2A∼도 5를 참조하여, 본 발명에 관한 절단 장치(1)에서 사용되는 스핀들(7)을 설명한다. 도 2A 및 도 2B에 도시되는 절단 기구인 스핀들(7)은, 스핀들 본체부(13)와, 구동 기구인 스핀들 모터(14)와, 스핀들 모터(14)에 접속되는 회전축(8)을 구비한다. 회전축(8)은, 레이디얼 에어베어링과 축방향 에어베어링(도시 없음)으로부터 분출되는 공기(에어)에 의해, 비접촉의 상태로 스핀들(7)에 회전 가능하게 지지된다. 회전축(8)의 선단부에는 밀봉 종료 기판(2)(도 1 참조)을 절단하는 회전날(9)이 장착된다. 회전날(9)은, 회전축(8)의 축방향(X 방향)에 대하여 직교하는 면(Y축과 Z축을 포함하는 면)에 평행하게 배치된다. 회전날(9)은, 고정 부재인 제1 플랜지(15)와 제2 플랜지(16)에 의해 양측이 끼워져 있다. 제1 플랜지(15)와 제2 플랜지(16)는, 회전날(9)을 사이에 끼운 상태에서 회전축(8)에 고정된다. 회전날(9)은, 관통 구멍을 갖는 와셔 타입의 회전날이다. 회전날(9)은, 스핀들(7)에 대하여 착탈될 수 있고, 교환될 수 있다. 2A to 5, a spindle 7 used in the cutting apparatus 1 according to the present invention will be described. 2A and 2B includes a spindle body 13, a spindle motor 14 as a drive mechanism, and a rotary shaft 8 connected to the spindle motor 14 . The rotary shaft 8 is rotatably supported on the spindle 7 in a noncontact state by air (air) ejected from a radial air bearing and an axial air bearing (not shown). A rotary blade 9 for cutting the end-sealed substrate 2 (see Fig. 1) is mounted at the distal end of the rotary shaft 8. The rotary blade 9 is arranged parallel to a plane (a plane including the Y axis and the Z axis) orthogonal to the axial direction (X direction) of the rotary shaft 8. [ Both sides of the rotary blade 9 are sandwiched by a first flange 15 and a second flange 16 which are fixing members. The first flange 15 and the second flange 16 are fixed to the rotary shaft 8 with the rotary blade 9 sandwiched therebetween. The rotary blade 9 is a washer-type rotary blade having a through-hole. The rotary blade 9 can be attached to and detached from the spindle 7 and can be exchanged.

도 3을 참조하여, 본 실시예에서 사용되는 스핀들(7)의 구성 부재에 관해 설명한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 스핀들(7)에 설치되는 회전축(8)은, 그 선단에 제1 플랜지(15)를 고정하기 위해, 작은 직경을 갖는 선단부(8a)를 갖는다. 회전축(8)의 선단부(8a)에는, 제1 플랜지(15)를 회전축(8)에 고정하기 위한 볼트(17)가 나사 체결되는 암나사부(8i)가 형성된다. 3, the constituent members of the spindle 7 used in this embodiment will be described. As shown in Fig. 3, the rotary shaft 8 provided on the spindle 7 has a tip portion 8a having a small diameter for fixing the first flange 15 to the tip thereof. A female threaded portion 8i is formed in the distal end portion 8a of the rotary shaft 8 so that a bolt 17 for fixing the first flange 15 to the rotary shaft 8 is screwed.

제1 플랜지(15)와 제2 플랜지(16)는, 회전날(9)을 사이에 끼워 유지하는 부재이다. 제1 플랜지(15)와 제2 플랜지(16)가 회전날(9)을 사이에 끼운 상태로, 제1 플랜지(15)와 제2 플랜지(16)가 고정되어 일체화된다. 일체화되는 제1 플랜지(15)와 제2 플랜지(16) 중 제1 플랜지(15)가, 볼트(17)에 의해 회전축(8)에 고정된다. The first flange 15 and the second flange 16 are members that sandwich the rotary blade 9 therebetween. The first flange 15 and the second flange 16 are fixed and integrated with the first flange 15 and the second flange 16 interposed between the rotary blades 9. The first flange 15 of the first flange 15 and the first flange 15 of the second flange 16 are fixed to the rotary shaft 8 by the bolts 17.

제1 플랜지(15)는, 회전날(9)이 갖는 제1 면(S1)(스핀들(7)측의 면)에 배치되는 후측 플랜지이다. 제1 플랜지(15)는 회전축(8)에 직접 고정된다. 제1 플랜지(15)의 중심부에는, 회전축(8)의 선단부(8a)에 감합되는 관통 구멍(18)이 형성된다. The first flange 15 is a rear flange disposed on the first surface S1 of the rotary blade 9 (the surface on the spindle 7 side). The first flange 15 is fixed directly to the rotating shaft 8. A through hole 18 is formed in the center of the first flange 15 so as to be fitted into the tip end portion 8a of the rotary shaft 8. [

제1 플랜지(15)에는, 회전날(9)이 삽입되는 통형상의 베이스부(15a)와, 제2 플랜지(16)가 감합되는 통형상의 베이스부(15b)가 설치된다. 제1 플랜지(15)의 외주부에는, 회전날(9)을 유지하기 위해 고리형(바람직하게는 원환형)으로 형성되는 볼록부로 이루어지는 유지부(15c)가 설치된다. 제1 플랜지(15)에는, 회전날(9)의 변형을 억제하기 위해 고리형(바람직하게는 원환형)으로 형성되는 제1 오목부(19)가 설치된다. 제1 플랜지(15)의 중심 선단부에는, 회전축(8)의 암나사부(8i)에 나사 고정되는 볼트(17)의 헤드부가 수용되는 오목부(20)와, 너트(21)가 나사 고정되는 너트 수나사부(15e)가 형성된다. 본 출원 서류에 있어서는, 「회전날(9)의 외주부」라는 말은, 회전날(9)의 외측 가장자리를 포함하는 부분에 더하여, 회전날(9)의 외측 가장자리를 포함하지 않고 그 외측 가장자리로부터 약간 내측으로 들어간 부분을 포함한다. The first flange 15 is provided with a tubular base portion 15a into which the rotary blade 9 is inserted and a cylindrical base portion 15b with which the second flange 16 is fitted. At the outer periphery of the first flange 15, a holding portion 15c formed of an annular (preferably annular) convex portion for holding the rotary blade 9 is provided. The first flange 15 is provided with a first concave portion 19 formed in an annular shape (preferably an annular shape) in order to suppress the deformation of the rotary blade 9. A concave portion 20 in which the head portion of the bolt 17 screwed to the female threaded portion 8i of the rotary shaft 8 is accommodated and a nut A male screw portion 15e is formed. In the present application document, the phrase "outer peripheral portion of the rotary blade 9" means not only the outer edge of the rotary blade 9, but also the outer edge of the rotary blade 9, in addition to the portion including the outer edge of the rotary blade 9 Includes a slightly inward portion.

원환형의 유지부(15c)는 회전날(9)의 외주부에 대응하는 위치에 설치된다. 제1 오목부(19)는, 유지부(15c)로부터 내측으로 들어간 부분에 설치된다. 후술하는 바와 같이, 제1 오목부(19)의 깊이는, 회전날(9)이 갖는 지립이 제1 오목부(19)의 내저면에 접촉하지 않을 정도의 깊이로 형성된다. The annular holding portion 15c is provided at a position corresponding to the outer peripheral portion of the rotary blade 9. [ The first concave portion 19 is provided at a portion inward from the holding portion 15c. As described later, the depth of the first concave portion 19 is formed to a depth such that the abrasive grains of the rotary blade 9 do not contact the inner bottom surface of the first concave portion 19.

회전날(9)은 관통 구멍(22)을 구비하고, 원환형으로 형성되는 와셔 타입의 회전날이다. 회전날(9)의 관통 구멍(22)은, 제1 플랜지의 통형상의 베이스부(15a)에 삽입된다. 회전날(9)은, 예컨대 다이아몬드 등의 지립을, 금속, 수지, 세라믹 등의 결합재로 결합한 원환형의 지석으로 이루어진다. 밀봉 종료 기판을 절단할 때에 사용되는 지립으로는, 수 ㎛∼수십 ㎛ 정도의 입경을 갖는 다이아몬드 지립이 사용되는 경우가 많다. The rotary blade 9 is a washer-type rotary blade having a through hole 22 and formed in an annular shape. The through hole 22 of the rotary blade 9 is inserted into the cylindrical base portion 15a of the first flange. The rotary blade 9 is made of an annular grinding wheel in which abrasive grains such as diamond are bonded by a binding material such as metal, resin, or ceramic. A diamond abrasive having a particle diameter of several mu m to several tens of mu m is often used as an abrasive for use in cutting a sealing end substrate.

제2 플랜지(16)는, 회전날(9)이 갖는 제2 면(S2)(스핀들(7)과는 반대측의 면이며, 제1 면(S1)에 대한 반대면)에 배치되는 전측 플랜지이다. 제2 플랜지(16)는 제1 플랜지(15)에 감합된다. 제2 플랜지(16)의 중심부에는, 제1 플랜지(15)의 통형상의 베이스부(15b)에 감합되는 관통 구멍(23)이 형성된다. 제2 플랜지(16)의 외주부에는, 회전날(9)을 유지하기 위해 고리형(바람직하게는 원환형)으로 형성되는 볼록부로 이루어지는 유지부(16c)가 설치된다. 제2 플랜지(16)에는, 회전날(9)의 변형을 억제하기 위해 고리형(바람직하게는 원환형)으로 형성되는 제2 오목부(24)가 설치된다. The second flange 16 is a front flange disposed on the second surface S2 of the rotary blade 9 (the surface opposite to the spindle 7 and the surface opposite to the first surface S1) . The second flange 16 is engaged with the first flange 15. A through hole 23 to be fitted to the cylindrical base portion 15b of the first flange 15 is formed at the central portion of the second flange 16. The outer peripheral portion of the second flange 16 is provided with a holding portion 16c formed of a convex portion formed in an annular shape (preferably an annular shape) for holding the rotary blade 9. [ The second flange 16 is provided with a second concave portion 24 formed in a ring shape (preferably an annular shape) in order to suppress the deformation of the rotary blade 9.

유지부(16c)는 회전날(9)의 외주부에 대응하는 위치에 설치된다. 유지부(15c)와 유지부(16c)는, 회전날(9)을 사이에 두고 서로 대향하는 위치에 설치된다. 제2 오목부(24)는, 유지부(16c)로부터 내측으로 들어간 부분에 설치된다. 제1 오목부(19)와 제2 오목부(24)는, 회전날(9)을 사이에 두고 서로 대향하는 위치에 설치된다. 제1 오목부(19)의 깊이와 마찬가지로, 제2 오목부(24)의 깊이는, 회전날(9)이 갖는 지립이 제2 오목부(24)의 내저면에 접촉하지 않을 정도의 깊이로 형성된다. The holding portion 16c is provided at a position corresponding to the outer peripheral portion of the rotary blade 9. The holding portion 15c and the holding portion 16c are provided at positions opposite to each other with the rotary blade 9 interposed therebetween. The second concave portion 24 is provided at a portion that is inwardly inward from the holding portion 16c. The first concave portion 19 and the second concave portion 24 are provided at positions facing each other with the rotary blade 9 interposed therebetween. The depth of the second concave portion 24 is set such that the abrasive grains of the rotary blade 9 do not contact the inner bottom surface of the second concave portion 24 as in the depth of the first concave portion 19 .

회전날(9)은, 제1 플랜지(15)의 외주부에 설치되는 고리형의 유지부(15c)와, 제2 플랜지(16)의 외주부에 설치되는 고리형의 유지부(16c) 사이에 끼워지는 것에 의해 유지된다. 회전날(9)은, 회전축(8)의 축방향에 대하여 직교하는 면에 평행해지도록 하여 유지된다. 유지부(15c)의 단부면(도 3에서는 유지부(15c)의 하면)은, 회전날(9)의 제1 면(S1)에 접촉(밀착)하는 면이다. 미시적으로 말하면, 유지부(15c)의 단부면은, 회전날(9)의 제1 면(S1)에 형성되는 지립에 접촉(밀착)한다. 유지부(16c)의 단부면(도 3에서는 유지부(16c)의 상면)은, 회전날(9)의 제2 면(S2)에 접촉(밀착)하는 면이다. 미시적으로 말하면, 유지부(16c)의 단부면은, 회전날(9)의 제2 면(S2)에 형성되는 지립에 접촉(밀착)한다. 회전날(9)을 정밀하게 유지하기 위해, 유지부(15c)의 단부면 및 유지부(16c)의 단부면은 각각 높은 평탄성을 갖는다. The rotary blade 9 is sandwiched between an annular holding portion 15c provided on the outer peripheral portion of the first flange 15 and an annular holding portion 16c provided on the outer peripheral portion of the second flange 16 . The rotary blade 9 is held so as to be parallel to a plane orthogonal to the axial direction of the rotary shaft 8. The end face of the holding portion 15c (the lower face of the holding portion 15c in Fig. 3) is a face that comes into contact (tight contact) with the first face S1 of the rotary blade 9. Microstatically, the end face of the holding portion 15c is brought into contact with (adhered to) the abrasive grains formed on the first surface S1 of the rotary blade 9. The end face (the upper face of the holding portion 16c in Fig. 3) of the holding portion 16c is a face that comes into contact (tight contact) with the second face S2 of the rotary blade 9. Microstatically, the end face of the holding portion 16c is in contact (tight contact) with the abrasive grains formed on the second surface S2 of the rotary blade 9. In order to keep the rotary blade 9 precisely, the end face of the holding portion 15c and the end face of the holding portion 16c each have a high flatness.

너트(21)는, 제2 플랜지(16)를 제1 플랜지(15)에 고정하기 위한 플랜지 너트이다. 너트(21)의 내주면에는 너트 암나사부(21i)가 형성된다. 너트(21)를 제1 플랜지(15)의 너트 수나사부(15e)에 나사 고정하는 것에 의해, 회전날(9)은 제1 플랜지(15)와 제2 플랜지(16)에 의해 끼워져 고정된다. The nut 21 is a flange nut for fixing the second flange 16 to the first flange 15. A nut female threaded portion 21i is formed on the inner circumferential surface of the nut 21. The rotary blade 9 is fitted and fixed by the first flange 15 and the second flange 16 by screwing the nut 21 to the nut screw portion 15e of the first flange 15. [

볼트(17)는, 회전날(9)을 사이에 끼우고 너트(21)에 의해 고정되는 제1 플랜지(15) 및 제2 플랜지(16)를 회전축(8)에 고정하기 위한 고정 부재이다. 볼트(17)에는, 회전축(8)의 암나사부(8i)에 나사 고정되는 수나사부(17e)가 형성된다. 볼트(17)의 헤드에는, 볼트(17)를 회전축(8)에 대하여 나사 고정할 때에, 또는 볼트(17)를 회전축(8)으로부터 풀 때에 회전시키기 위해, 예컨대 육각 구멍(25)이 형성된다. The bolt 17 is a fixing member for fixing the first flange 15 and the second flange 16 which are fixed by the nut 21 to the rotary shaft 8 with the rotary blade 9 interposed therebetween. The bolt 17 is provided with a male threaded portion 17e which is screwed to the female threaded portion 8i of the rotary shaft 8. [ A hexagonal hole 25 is formed in the head of the bolt 17 in order to fix the bolt 17 to the rotary shaft 8 or to rotate the bolt 17 when the bolt 17 is loosened from the rotary shaft 8 .

도 3을 참조하여, 스핀들(7)에 회전날(9)을 장착하는 순서에 관해 설명한다. 우선, 회전날(9)의 관통 구멍(22)을, 제1 플랜지(15)의 통형상의 베이스부(15a)에 삽입한다. 다음으로, 제2 플랜지(16)의 관통 구멍(23)을, 제1 플랜지(15)의 통형상의 베이스부(15b)에 끼워 넣는다. 또한, 너트(21)의 너트 암나사부(21i)를, 제1 플랜지(15)의 선단부에 형성되는 너트 수나사부(15e)에 대하여 조여서 체결한다. 이것에 의해, 회전날(9)은, 제1 플랜지(15)와 제2 플랜지(16)에 의해 끼워져 고정된다. 3, the procedure for mounting the rotary blade 9 on the spindle 7 will be described. First, the through hole 22 of the rotary blade 9 is inserted into the cylindrical base portion 15a of the first flange 15. Next, the through hole 23 of the second flange 16 is fitted into the tubular base portion 15b of the first flange 15. The nut female threaded portion 21i of the nut 21 is fastened to the nut threaded portion 15e formed at the distal end of the first flange 15 by tightening. Thereby, the rotary blade 9 is fitted and fixed by the first flange 15 and the second flange 16.

다음으로, 제1 플랜지(15)와 제2 플랜지(16)에 의해 회전날(9)을 고정한 상태로, 제1 플랜지(15)의 중심부에 형성되는 관통 구멍(18)을, 스핀들(7)의 회전축(8)의 선단부(8a)에 끼워 넣는다. 다음으로, 회전축(8)의 선단부(8a)에 형성된 암나사부(8i)에 대하여, 볼트(17)를 조여서 체결한다. 볼트(17)의 헤드에 형성되는 육각 구멍(25)에, 예컨대 L-자형 육각 렌치 등을 삽입하여 볼트(17)를 체결한다. 볼트(17)를 회전축(8)에 나사 고정하는 것에 의해, 제1 플랜지(15)와 제2 플랜지(16)에 의해 끼워져 고정된 회전날(9)을, 스핀들(7)의 회전축(8)에 고정한다. The through hole 18 formed in the center of the first flange 15 is inserted into the spindle 7 in a state in which the rotary blade 9 is fixed by the first flange 15 and the second flange 16, Is inserted into the distal end portion (8a) of the rotary shaft (8). Next, the bolt 17 is fastened to the female threaded portion 8i formed on the distal end portion 8a of the rotary shaft 8. An L-shaped hexagonal wrench or the like is inserted into the hexagonal hole 25 formed in the head of the bolt 17 and the bolt 17 is fastened. The bolt 17 is screwed to the rotary shaft 8 so that the rotary blade 9 fitted and fixed by the first flange 15 and the second flange 16 is engaged with the rotary shaft 8 of the spindle 7, .

도 4, 도 5를 참조하여, 스핀들(7)에 회전날(9)이 장착된 상태를 설명한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 회전날(9)이 제1 플랜지(15)와 제2 플랜지(16)에 의해 끼워지고, 너트(21)에 의해 고정된다. 고정된 회전날(9)이, 볼트(17)에 의해 회전축(8)에 고정된다. 회전날(9)은, 제1 플랜지(15)의 외주부에 형성된 유지부(15c)와 제2 플랜지(16)의 외주부에 형성되는 유지부(16c)에 의해, 끼워져 고정된다. The state in which the rotary blade 9 is mounted on the spindle 7 will be described with reference to Figs. 4 and 5. Fig. 4, the rotary blade 9 is fitted by the first flange 15 and the second flange 16, and is fixed by the nut 21. The fixed rotary blade 9 is fixed to the rotary shaft 8 by means of the bolts 17. The rotary blade 9 is fitted and fixed by a holding portion 15c formed on the outer peripheral portion of the first flange 15 and a holding portion 16c formed on the outer peripheral portion of the second flange 16.

도 5에 도시된 바와 같이, 유지부(15c)의 단부면은 회전날(9)의 제1 면(S1)에 형성되는 지립(26)에 접촉(밀착)한다. 유지부(16c)의 단부면은 회전날(9)의 제2 면(S2)에 형성되는 지립(26)에 접촉(밀착)한다. 유지부(15c)의 단부면과 유지부(16c)의 단부면에 의해 끼워져 고정된 회전날(9)이 고속으로 회전하는 것에 의해, 밀봉 종료 기판(2)(도 1 참조)을 절단한다. 5, the end face of the holding portion 15c is brought into contact with (adhered to) the abrasive grains 26 formed on the first surface S1 of the rotary blade 9. As shown in Fig. The end face of the holding portion 16c is brought into contact with (adhered to) the abrasive grains 26 formed on the second surface S2 of the rotary blade 9. [ The sealing end substrate 2 (see Fig. 1) is cut off by rotating the rotary blade 9 fixed and fixed by the end face of the holding portion 15c and the end face of the holding portion 16c at a high speed.

스핀들(7)에 회전날(9)을 장착하는 순서에 관해서는, 본 실시예 및 종래의 기술 모두 완전히 동일한 순서로 행해진다(특허문헌 1의 단락 〔0019〕,〔0020〕, 도 3 참조). 종래에 있어서는, 제1 오목부(19)의 깊이와 제2 오목부(24)의 깊이가, 본 출원에 관한 발명과는 상이하다. 종래에 있어서, 본 출원의 도 4에 도시된 제1 플랜지(15)와 제2 플랜지(16)에 해당하는 2개의 플랜지를 사용했을 때에 발생하는 문제에 관해, 본 출원의 도 4를 적절하게 참조하여 설명한다. The order in which the rotary blades 9 are mounted on the spindle 7 is carried out in completely the same order in both of the present embodiment and the related art (paragraphs [0019], [0020], and [0020] in Fig. . Conventionally, the depth of the first concave portion 19 and the depth of the second concave portion 24 are different from those of the present invention. Conventionally, referring to FIG. 4 of the present application as a reference to a problem that arises when two flanges corresponding to the first flange 15 and the second flange 16 shown in FIG. 4 of the present application are used .

종래에 있어서는, 일반적으로, 본 출원의 도 4에 도시된 제1 오목부(19)의 깊이와 제2 오목부(24)의 깊이에 해당하는 깊이가 0.3 mm∼0.5 mm 정도가 되도록 2개의 오목부가 형성된다. 회전날(9)이 고속으로 회전하는 것에 의해 회전날(9)에 원심력이 작용한다. 원심력은, 회전날(9)의 중심으로부터 직경 방향을 따르는 외측을 향해 작용한다. 이 원심력에 기인하여, 회전날(9)은 중심으로부터 외측으로 향하는 힘을 받아, 외측을 향해 변위(변형)하고자 한다. Conventionally, in general, two recesses (not shown) are formed so that the depth corresponding to the depth of the first recess 19 and the depth of the second recess 24 shown in Fig. 4 of the present application is about 0.3 mm to 0.5 mm Is formed. Centrifugal force acts on the rotary blade 9 as the rotary blade 9 rotates at a high speed. The centrifugal force acts from the center of the rotary blade 9 toward the outside along the radial direction. Due to this centrifugal force, the rotary blade 9 receives a force directed outward from the center and tries to displace (deform) toward the outside.

종래에 있어서는, 회전날(9)은, 2개의 플랜지의 외주부에서 유지부(15c)와 유지부(16c)에 의해 끼워져 고정되어 있다. 이것에 의해, 회전날(9)은, 원심력에 의해 직경 방향을 따르는 외측을 향해 변위할 수 없다. 그 때문에, 회전날(9)은, 제1 플랜지(15)에 형성되는 제1 오목부(19)의 내저면, 또는 제2 플랜지(16)에 형성되는 제2 오목부(20)의 내저면으로 향하는 힘을 받는다. 따라서, 회전날(9)에는 원심력에 기인하는 변형이 발생한다. 제1 오목부(19)와 제2 오목부(24)는, 모두 0.3 mm∼0.5 mm 정도의 깊이를 갖기 때문에, 회전날(9)은 이들의 깊이에 해당하는 내부 공간에서 변형된다. 원심력에 기인하여 회전날(9)의 변형량이 허용되는 범위를 초과하는 경우가 있다. 이 경우에는, 제1 플랜지(15)와 제1 면(S1)에 의해 형성되는 내부 공간과, 제2 플랜지(16)와 제2 면(S2)에 의해 형성되는 내부 공간에서, 회전날(9)이 파손될 우려가 있다. Conventionally, the rotary blades 9 are fitted and fixed by the holding portions 15c and the holding portions 16c at the outer peripheral portions of the two flanges. Thereby, the rotary blade 9 can not be displaced toward the outer side along the radial direction by the centrifugal force. Therefore, the rotary blades 9 can be fixed to the inner bottom surface of the first concave portion 19 formed in the first flange 15 or the inner bottom surface of the second concave portion 20 formed in the second flange 16 . &Lt; / RTI > Therefore, deformation caused by the centrifugal force occurs in the rotary blade 9. Since the first concave portion 19 and the second concave portion 24 all have depths of about 0.3 mm to 0.5 mm, the rotary blades 9 are deformed in the inner space corresponding to these depths. The deformation amount of the rotary blade 9 may exceed the allowable range due to the centrifugal force. In this case, in the inner space formed by the first flange 15 and the first surface S1 and the inner space formed by the second flange 16 and the second surface S2, the rotary blade 9 ) May be damaged.

한편, 본 발명에 의하면, 도 4, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 플랜지(15)와 제2 플랜지(16)에는, 제1 오목부(19)와 제2 오목부(24)가 각각 형성된다. 제1 오목부(19)와 제2 오목부(24)는 매우 작은 깊이를 갖는다. 도 5에 도시된 바와 같이, 회전날(9)은, 본드라고 불리는 결합재(9a)의 표면에, 예컨대 다이아몬드로 이루어진 지립(26)이 다수 결합되어 구성된다. 회전날(9)에 포함되는 지립(26)은, 결합재(9a)의 표면 부근에 매립된 상태로 놓인다. 회전날(9)에 포함되는 지립(26)은 수 ㎛∼수십 ㎛의 입경을 갖는다. 4 and 5, the first recess 19 and the second recess 24 are formed in the first flange 15 and the second flange 16, respectively, . The first concave portion 19 and the second concave portion 24 have a very small depth. As shown in Fig. 5, the rotary blade 9 is formed by coupling a plurality of abrasive grains 26 made of, for example, diamond on the surface of a binder 9a called a bond. The abrasive grains 26 contained in the rotary blade 9 are embedded in the vicinity of the surface of the binder 9a. The abrasive grains 26 included in the rotary blade 9 have a particle diameter of several mu m to several tens of mu m.

회전날(9)이 제1 플랜지(15)와 제2 플랜지(16)에 의해 끼워져 고정된 상태에서, 회전날(9)이 갖는 제1 면(S1)으로부터 제1 오목부(19)의 내저면까지의 거리를 L1로 한다. 회전날(9)이 갖는 제2 면(S2)으로부터 제2 오목부(24)의 내저면까지의 거리를 L2로 한다. The rotary blade 9 is moved from the first surface S1 of the rotary blade 9 to the inside of the first concave portion 19 while the rotary blade 9 is fitted and fixed by the first flange 15 and the second flange 16, Let L1 be the distance to the bottom. The distance from the second surface S2 of the rotary blade 9 to the inner bottom surface of the second concave portion 24 is L2.

회전날(9)의 제1 면(S1)으로부터 제1 오목부(19)의 내저면까지의 거리(L1)와, 회전날(9)의 제2 면(S2)으로부터 제2 오목부(24)의 내저면까지의 거리(L2)는, 회전날(9)에 포함되는 지립(26)의 입경의 최대치보다 약간 커지도록 설정된다. 덧붙여, 거리(L1)와 거리(L2)는, 동등한 소정의 거리가 되도록 설정된다. The distance L1 from the first surface S1 of the rotary blade 9 to the inner bottom surface of the first concave portion 19 and the distance L1 from the second surface S2 of the rotary blade 9 to the second concave portion 24 Is set to be slightly larger than the maximum value of the particle diameter of the abrasive grains 26 included in the rotary blade 9. [ In addition, the distance L1 and the distance L2 are set to be equal to a predetermined distance.

예컨대, 회전날(9)에 형성되는 지립(26)의 입경의 최대치가 15 ㎛인 경우를 상정한다. 이 경우라면, 제1 면(S1)으로부터 제1 오목부(19)의 내저면까지의 거리(L1)를, 회전날(9)에 형성되는 지립(26)의 입경의 최대치보다 약간 커지도록, 예컨대 0.02 mm(=20 ㎛)로 설정한다. 마찬가지로, 제2 면(S2)으로부터 제2 오목부(24)의 내저면까지의 거리(L2)를, 회전날(9)에 형성되는 지립(26)의 입경의 최대치보다 약간 커지도록, 또한 거리(L1)와 같아지도록, 예컨대 0.02 mm로 설정한다. For example, it is assumed that the maximum value of the particle diameter of the abrasive grains 26 formed on the rotary blade 9 is 15 占 퐉. The distance L1 from the first surface S1 to the inner bottom surface of the first concave portion 19 is set to be slightly larger than the maximum value of the particle diameter of the abrasive grains 26 formed on the rotary blade 9, 0.02 mm (= 20 mu m). The distance L2 from the second surface S2 to the inner bottom surface of the second concave portion 24 is set to be slightly larger than the maximum value of the particle diameter of the abrasive grains 26 formed on the rotary blade 9, For example, 0.02 mm so as to be equal to L1.

회전날(9)에 형성되는 지립(26) 중, 보다 구체적으로는 회전날(9)의 결합재(9a)의 표면에 매립된 상태로 놓이는 지립(26) 중, 최대의 입경(=15 ㎛)을 갖는 지립(26)을 상정한다. 이 지립(26)이 결합재(9a)의 표면(제1 면(S1) 및 제2 면(S2))으로부터 돌출되는 양의 최대치는, 그 지립(26)이 약간 결합재(9a)에 매립된 경우에서의 15 ㎛에 약간 미치지 않는 값이다. The maximum diameter of the abrasive grains (= 15 占 퐉) among the abrasive grains 26 formed on the rotary blade 9, more specifically, the abrasive grains 26 embedded in the surface of the binder 9a of the rotary blade 9, And an abrasive grains 26 having the same shape. The maximum value of the amount by which the abrasive grains 26 protrude from the surfaces (the first surface S1 and the second surface S2) of the engaging member 9a is that the abrasive grains 26 are slightly embedded in the binder 9a Lt; RTI ID = 0.0 > 15 < / RTI >

이 경우에 있어서, 회전날(9)에서 발생하는 변형의 변형량이 5(=20-15) ㎛를 약간 초과하면, 제1 오목부(19)의 내저면이 제1 면(S1)으로부터 돌출되는 지립(26)에 접촉한다. 마찬가지로, 회전날(9)에서 발생하는 변형의 변형량이 5(=20-15) ㎛를 약간 초과하면, 제2 오목부(24)의 내저면이 제2 면(S2)으로부터 돌출되는 지립(26)에 접촉한다. 이러한 것에 의해, 5 ㎛를 약간 초과할 때까지 커진 변형이 더욱 크게 변형되는 것이, 지립(26)에 의해 방해된다. 따라서, 회전날(9)에 작용하는 원심력에 기인하여 회전날(9)에 변형이 발생했다 하더라도, 그 변형이 미소한 변형량으로(예컨대 5 ㎛를 약간 초과할 정도의 변형량으로) 억제된다. In this case, if the deformation amount of the deformation generated in the rotary blade 9 exceeds 5 (= 20-15) 占 퐉, the inner bottom surface of the first concave portion 19 protrudes from the first surface S1 And abuts against the abrasive grains 26. Likewise, when the deformation amount of the deformation generated in the rotary blade 9 exceeds 5 (= 20-15) 占 퐉, the inner bottom surface of the second concave portion 24 abuts against the abrasive 26 . By this, it is disturbed by the abrasive grains 26 that the larger deformation is slightly deformed until slightly exceeding 5 占 퐉. Therefore, even if deformation occurs in the rotary blade 9 due to the centrifugal force acting on the rotary blade 9, the deformation is suppressed to a minute amount of deformation (for example, to a deformation amount so as to slightly exceed 5 탆).

제1 면(S1)으로부터 제1 오목부(19)의 내저면까지의 거리(L1)와, 제2 면(S2)으로부터 제2 오목부(24)의 내저면까지의 거리(L2)는, 회전날(9)의 변형이 허용되는 범위에서의 변형량의 최대치보다 작아지도록 설정된다. 따라서, 회전날(9)의 변형은 그 최대치 이하로 억제된다. The distance L1 from the first surface S1 to the inner bottom surface of the first concave portion 19 and the distance L2 from the second surface S2 to the inner bottom surface of the second concave portion 24, Is set so that the deformation of the rotary blade (9) becomes smaller than the maximum value of the deformation amount in the allowable range. Therefore, the deformation of the rotary blade 9 is suppressed to a maximum value or less.

본 발명에 의하면, 제1 플랜지(15)의 오목부(19)와 제2 플랜지(16)의 오목부(24)는, 회전날(9)을 사이에 두고 서로 대향하도록 하여 설치된다. 회전날(9)의 제1 면(S1)으로부터 제1 오목부(19)의 내저면까지의 거리(L1)와, 회전날(9)의 제2 면(S2)으로부터 제2 오목부(24)의 내저면까지의 거리(L2)는, 서로 동등한 소정의 거리로 미리 설정된다. 설정된 소정의 거리는, 회전날(9)이 갖는 지립(26)의 최대 직경보다 크고, 회전날(9)의 변형이 허용되는 범위에서의 변형량의 최대치보다 작다. The concave portion 19 of the first flange 15 and the concave portion 24 of the second flange 16 are provided so as to face each other with the rotary blade 9 interposed therebetween. The distance L1 from the first surface S1 of the rotary blade 9 to the inner bottom surface of the first concave portion 19 and the distance L1 from the second surface S2 of the rotary blade 9 to the second concave portion 24 ) Is set in advance to a predetermined distance equal to each other. The set predetermined distance is larger than the maximum diameter of the abrasive grains 26 of the rotary blade 9 and smaller than the maximum value of the deformation amount in a range in which the rotation blade 9 is allowed to be deformed.

전술한 것에 의해, 회전날(9)이 원심력에 기인하여 변형되기 시작한 경우에, 제1 면(S1)으로부터 돌출되는 지립(26)이, 제1 오목부(19)의 내저면에, 이른 단계에서 접촉한다. 제2 면(S2)으로부터 돌출되는 지립(26)이, 제2 오목부(24)의 내저면에, 이른 단계에서 접촉한다. 이러한 것에 의해, 제1 오목부(19)의 내저면과 제2 오목부(24)의 내저면이, 회전날(9)의 변형이 커지는 것을, 그 변형이 미소한 단계에서 억제한다. 따라서, 회전날(9)이 고속으로 회전하는 경우라 하더라도, 원심력에 기인하여 발생하는 회전날(9)의 파손이 방지된다. The abrasive grains 26 protruding from the first surface S1 are formed on the inner bottom surface of the first concave portion 19 in the early stage Lt; / RTI > The abrasive grains 26 projecting from the second surface S2 contact the inner bottom surface of the second concave portion 24 at an early stage. This suppresses deformation of the rotary blade 9 in the inner bottom surface of the first concave portion 19 and the inner bottom surface of the second concave portion 24 in a small step. Therefore, even when the rotary blade 9 rotates at a high speed, breakage of the rotary blade 9 caused by the centrifugal force is prevented.

본 출원 서류에 있어서는, 「동등한 거리」라는 말은, 이들의 거리가 엄밀하게는 상이하지만, 회전날(9)의 변형이 커지는 것을 억제할 정도로 이들의 거리의 차가 충분히 작은 경우를 포함한다. 바꿔 말하면, 「동등한 거리」라는 말은, 이들의 거리가 실질적으로 같은 경우를 포함한다. In the present application, the term " equivalent distance " includes cases where the distances between these distances are strictly different, but the difference between these distances is sufficiently small to suppress the deformation of the rotary blades 9 from increasing. In other words, the term " equivalent distance " includes cases where the distances are substantially the same.

제1 플랜지(15)에 형성되는 유지부(15c)와, 제2 플랜지(16)에 형성되는 유지부(16c)는, 모두 고리형(바람직하게는 원환형)의 형상을 갖는다. 이것에 한정되지는 않고, 유지부(15c, 16c) 중 적어도 한쪽이, 전체 둘레에 걸친 고리형(바람직하게는 원환형)의 볼록부가 부분적으로 도중에 끊긴 형상을 가져도 좋다. 유지부(15c, 16c) 중 적어도 한쪽이 다각형으로 이루어진 형상의, 폭을 갖는 볼록부이어도 좋다. 유지부(15c, 16c) 중 적어도 한쪽이 회전날(9)의 외주를 따르는, 직경 방향으로 폭을 갖는 복수의 선분형의 볼록부, 또는 직경 방향으로 폭을 갖는 복수의 곡선형의 볼록부를 가져도 좋다. The holding portion 15c formed in the first flange 15 and the holding portion 16c formed in the second flange 16 all have a ring shape (preferably, an annular shape). The present invention is not limited to this, and at least one of the holding portions 15c and 16c may have a shape in which an annular (preferably annular) convex portion extending over the entire circumference is partially cut off on the way. Or a convex portion having a width of at least one of the holding portions 15c and 16c formed in a polygonal shape. At least one of the holding portions 15c and 16c has a plurality of line segment convex portions having a width in the radial direction along the outer periphery of the rotary blades 9 or a plurality of curved convex portions having a width in the radial direction It is also good.

제1 플랜지(15)에 형성되는 제1 오목부(19)와, 제2 플랜지(16)에 형성되는 제2 오목부(24)는, 모두 고리형(바람직하게는 원환형)의 형상을 갖는다. 이것에 한정되지는 않고, 제1 오목부(19)와 제2 오목부(24) 중 적어도 한쪽이, 전체 둘레에 걸친 고리형(바람직하게는 원환형)의 오목부가 부분적으로 도중에 끊긴 형상을 가져도 좋다. 제1 오목부(19)와 제2 오목부(24) 중 적어도 한쪽이 다각형으로 이루어진 형상의, 폭을 갖는 오목부이어도 좋다. 제1 오목부(19)와 제2 오목부(24) 중 적어도 한쪽이 회전날(9)의 외주를 따르는, 직경 방향으로 폭을 갖는 복수의 선분형의 오목부, 또는 직경 방향으로 폭을 갖는 복수의 곡선형의 오목부를 가져도 좋다. The first concave portion 19 formed in the first flange 15 and the second concave portion 24 formed in the second flange 16 all have a ring shape (preferably an annular shape) . The present invention is not limited thereto and at least one of the first concave portion 19 and the second concave portion 24 may have an annular shape (preferably an annular shape) It is also good. A concave portion having a width of at least one of the first concave portion 19 and the second concave portion 24 may be polygonal. At least one of the first concave portion 19 and the second concave portion 24 has a plurality of line segment concave portions having a width in the radial direction along the outer periphery of the rotary blade 9, And may have a plurality of curved concave portions.

본 출원 서류에 있어서, 「고리형」이라는 말은, 지금까지 설명한 유지부(15c, 16c), 제1 오목부(19), 제2 오목부(24)의 형상을 포함하는 형상을 의미한다. In the present application document, the term " annular " means a shape including the shapes of the holding portions 15c and 16c, the first concave portion 19, and the second concave portion 24 described so far.

실시예 2Example 2

회전날(9)을 고속으로 회전시키는 경우 등에 있어서, 본 발명의 실시예 1에 의해서도 회전날(9)의 날끝에서의 변형의 발생을 충분히 억제할 수 없는 경우가 고려된다. 그 경우에 있어서, 회전날(9)의 날끝에서의 변형을 억제하는 스핀들(절단 기구)(7)을, 도 5를 참조하여 설명한다. 본 발명에 관한 절단 장치의 실시예 2에 있어서, 절단 장치는 전술한 스핀들(7)을 구비한다. It is considered that the occurrence of deformation in the blade edge of the rotary blade 9 can not be sufficiently suppressed even in the first embodiment of the present invention in the case of rotating the rotary blade 9 at a high speed. In this case, a spindle (cutting mechanism) 7 for suppressing deformation in the blade edge of the rotary blade 9 will be described with reference to Fig. In the cutting apparatus according to the second embodiment of the present invention, the cutting apparatus has the spindle 7 described above.

회전날(9)의 날끝에서의 변형의 발생을 충분히 억제할 수 없는 원인으로서, 제1 플랜지(15)와 제2 플랜지(16)가 원심력에 기인하여 변형되는 것을 들 수 있다. 예컨대, 원심력에 기인하여, 제1 플랜지(15)의 외주부와 제2 플랜지(16)의 외주부의 적어도 한쪽이, 회전축(8)(도 4 참조)의 축방향을 따라서 회전날(9)의 표면으로부터 멀어지는 방향을 향해 구부러지도록 변형되는 경우가 있다. 이 경우에는, 변형된 쪽의 플랜지가 갖는 유지부(유지부(15c 또는 16c) 중 적어도 한쪽)의 단부면을, 회전날(9)이 정지해 있는 상태에 있어서, 회전축(8)에 근접할수록 회전날(9)로부터 멀어지도록 경사지게 해도 좋다. 도 5에 있어서, 경사진 단부면이 가는 파선에 의해 도시된다. 회전날(9)의 제1 면(S1)에 대한 유지부(15c)의 단부면의 각도(경사)를 조정한다. 회전날(9)의 제2 면(S2)에 대한 유지부(16c)의 단부면의 각도(경사)를 조정한다. 본 실시예에 의하면, 이들 조정의 적어도 한쪽을 실행함으로써, 회전날(9)의 날끝의 변형이 억제된다. It is considered that the first flange 15 and the second flange 16 are deformed due to the centrifugal force as a cause that the occurrence of deformation at the blade edge of the rotary blade 9 can not be suppressed sufficiently. At least one of the outer circumferential portion of the first flange 15 and the outer circumferential portion of the second flange 16 is moved along the axial direction of the rotary shaft 8 (see Fig. 4) So that it is deformed so as to bend toward the direction away from it. In this case, the end face of the holding portion (at least one of the holding portions 15c or 16c) of the flange on the deformed side is set so that the closer to the rotating shaft 8 in the state where the rotating blade 9 is stopped It may be inclined so as to be away from the rotary blade 9. In Fig. 5, the inclined end face is shown by a thin broken line. (Inclination) of the end surface of the holding portion 15c with respect to the first surface S1 of the rotary blade 9 is adjusted. (Inclination) of the end surface of the holding portion 16c with respect to the second surface S2 of the rotary blade 9 is adjusted. According to the present embodiment, deformation of the blade edge of the rotary blade 9 is suppressed by executing at least one of these adjustments.

각 실시예에 있어서는, 피절단물로서, 기판 상에 밀봉 수지를 형성한 밀봉 종료 기판(2)을 절단하는 경우를 나타냈다. 이것에 한정되지 않고, 피절단물에서의 기판으로서, 유리 에폭시 적층판, 프린트 배선판, 세라믹스 기판, 금속 베이스 기판, 필름 베이스 기판 등을 사용하고, 그 위에 밀봉 수지를 형성한 밀봉 종료 기판에 관해서도 본 발명이 적용된다. In each of the examples, the case where the sealing end substrate 2 in which the sealing resin was formed on the substrate was cut as the object to be cut. However, the present invention is not limited to this, and a sealed end substrate on which a glass epoxy laminate, a printed wiring board, a ceramics substrate, a metal base substrate, a film base substrate or the like is used as a substrate in the material to be cut, Is applied.

기능 소자로는, IC(Integrated Circuit), 트랜지스터, 다이오드 등의 반도체 소자 외에, 센서, 필터, 액추에이터, 발진자 등이 포함된다. 1개의 영역에 복수개의 기능 소자가 탑재되어도 좋다. The functional elements include sensors, filters, actuators, oscillators, and the like in addition to semiconductor elements such as ICs (integrated circuits), transistors, and diodes. A plurality of functional elements may be mounted in one area.

또한, 실리콘 반도체나 화합물 반도체의 웨이퍼가 웨이퍼 상태인 채로 일괄 수지 밀봉된 웨이퍼 레벨 패키지와 같은 실질적으로 원형의 형상을 갖는 피절단물을 절단하는 경우에 있어서도 본 발명이 적용된다. 실리콘 반도체나 화합물 반도체의 웨이퍼 자체를 절단하는 경우에 있어서도 본 발명이 적용된다. The present invention is also applied to a case where a workpiece having a substantially circular shape such as a wafer level package in which a wafer of a silicon semiconductor or a compound semiconductor is held in a wafer state is cut. The present invention is also applied to the case where the wafer itself of a silicon semiconductor or a compound semiconductor is cut.

피절단물은 밀봉 종료 기판(2)(도 1 참조)에 한정되지 않는다. 수지 성형법에 의해 제조한 판형 부재(수지 성형체)를 절단하여 렌즈 어레이 등의 광학 부품, 일반적인 수지 성형품 등의 제품을 제조하는 경우가 있다. 이 경우에서의 수지 성형체가 피절단물에 포함된다. 회전날(9)을 사용하여 피절단물(판형 부재)을 절단할 때에, 회전날(9)에서의 변형을 가능한 한 억제하고자 하는 경우, 바꿔 말하면, 절단되는 것에 의해 제조되는 제품에 요구되는 치수 정밀도, 외관 품위 등의 레벨이 높은 경우일수록 본 발명은 유효하다. The material to be cut is not limited to the sealing end substrate 2 (see Fig. 1). There is a case where a plate member (resin molded body) produced by the resin molding method is cut to produce a product such as an optical component such as a lens array or a general resin molded product. The resin-molded body in this case is included in the workpiece. In the case where it is desired to suppress the deformation in the rotary blade 9 as much as possible when cutting the object to be cut (plate member) using the rotary blade 9, in other words, Precision, appearance quality, etc. are high, the present invention is effective.

본 발명은, 전술한 각 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위 내에서, 필요에 따라서 임의로 또한 적절하게 조합, 변경하거나 또는 선택하여 채용할 수 있는 것이다. The present invention is not limited to the above-described embodiments, but may be appropriately combined, changed, or selected as necessary within the scope of the present invention.

1: 절단 장치 2: 밀봉 종료 기판(피절단물)
3: 기판 공급 기구 4: 절단용 테이블(테이블)
5: 이동 기구 6: 회전 기구
7: 스핀들(절단 기구) 8: 회전축
8a: 선단부 8i: 암나사부
9: 회전날 9a: 결합재
10: 검사용 테이블 11: 절단 종료 기판
12: 트레이 13: 스핀들 본체부
14: 스핀들 모터 15: 제1 플랜지(제1 고정 부재)
15a: 베이스부 15b: 베이스부
15c: 유지부(제1 유지부) 15e: 너트 수나사부
16: 제2 플랜지(제2 고정 부재) 16c: 유지부(제2 유지부)
17: 볼트 17e: 수나사부
18: 관통 구멍 19: 제1 오목부
20: 오목부 21: 너트
21i: 너트 암나사부 22: 관통 구멍
23: 관통 구멍 24: 제2 오목부
25: 육각 구멍 26: 지립
A: 기판 공급 모듈 B: 기판 절단 모듈
C: 검사 모듈 CTL: 제어부
L1: 제1 면으로부터 제1 오목부의 내저면까지의 거리(제1 거리)
L2: 제2 면으로부터 제2 오목부의 내저면까지의 거리(제2 거리)
P: 제품 S1: 제1 면
S2: 제2 면1: cutting device 2: sealing end substrate (cut material)
3: substrate feeding mechanism 4: cutting table (table)
5: Movement mechanism 6: Rotation mechanism
7: spindle (cutting mechanism) 8: rotating shaft
8a: tip portion 8i: female thread portion
9: rotating blade 9a:
10: inspection table 11: cutting end substrate
12: tray 13: spindle body part
14: spindle motor 15: first flange (first fixing member)
15a: base portion 15b: base portion
15c: holding portion (first holding portion) 15e: nut-threaded portion
16: second flange (second fixing member) 16c: holding portion (second holding portion)
17: bolt 17e: male thread
18: through hole 19: first concave portion
20: recess 21: nut
21i: nut female thread portion 22: through hole
23: through hole 24: second recess
25: Hexagon hole 26: Grain
A: Substrate supply module B: Substrate cutting module
C: Inspection module CTL:
L1: Distance from the first surface to the inner bottom surface of the first concave portion (first distance)
L2: Distance from the second surface to the inner bottom surface of the second concave portion (second distance)
P: product S1: first side
S2: second side

Claims

A cutting machine comprising a table on which a workpiece to be cut is placed, a cutting mechanism for cutting the workpiece, and a moving mechanism for relatively moving the table and the cutting mechanism. When a plurality of products are manufactured by cutting the workpiece As a cutting apparatus to be used,
A rotating shaft provided in the cutting mechanism,
A disk-shaped rotary blade fixed to the rotary shaft,
A first fixing member provided on a side of a first surface positioned on a side of the rotary blade near the main body of the cutting mechanism,
A first holding portion provided at an outer peripheral portion of the first holding member and closely contacting an abrasive formed on the first surface of the rotary blade,
A first concave portion provided inside the first holding portion of the first fixing member,
A second fixing member provided on a second surface side opposite to the first surface in the rotary blade,
A second holding portion provided on an outer peripheral portion of the second fixing member and brought into close contact with an abrasive formed on the second surface of the rotary blade,
And the second holding member has a second concave portion provided on the inner side of the second holding portion,
And,
Wherein the rotary blade is fixed to the rotary shaft in a state in which the rotary blade is sandwiched by the first fixing member and the second fixing member,
Wherein the first concave portion and the second concave portion are arranged so as to face each other with the rotary blade therebetween,
A first distance from the first surface of the rotary blade to the inner bottom surface of the first concave portion and a second distance from the second surface of the rotary blade to the inner bottom surface of the second concave portion are equal to a predetermined distance ,
Wherein the predetermined distance is larger than a maximum diameter of the abrasive grains and smaller than a maximum value of a deformation amount in a range in which deformation of the rotary blade is allowed.

The method according to claim 1,
In the first fixing member, the first holding portion and the first concave portion are formed in an annular shape,
Wherein the second holding member and the second concave portion are formed in an annular shape, respectively.

The method according to claim 1,
Wherein the first holding portion is an end face formed by a surface which comes into close contact with an abrasive formed on the first surface of the rotary blade in a state where the rotary blade is stationary, Wherein the end face formed by the surface which is in close contact with the abrasive grains formed on the two surfaces is inclined so as to be further away from the rotary blade toward the rotation axis.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the object to be cut is a sealed end substrate.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Characterized in that the material to be cut is a plate-like member in which functional elements are formed in a plurality of areas respectively corresponding to the plurality of products.

A step of placing the cut material on a table, and a step of relatively moving a rotary blade of a disc-shaped rotary blade fixed to a rotary shaft of the cutting mechanism and the object to be cut, and cutting the object to be cut to manufacture a plurality of products As a cutting method,
Preparing a first fixing member having a first holding portion and a first concave portion on a side of a first surface located on a side of the rotary blade near the main body of the cutting mechanism;
Preparing a second fixing member having a second holding portion and a second concave portion on a second surface side opposite to the first surface in the rotary blade;
Preparing the rotary blade fixed to the rotary shaft in a state of being fitted by the first fixing member and the second fixing member;
A step of rotating the rotary blade
/ RTI >
In the step of preparing the first fixing member, the first holding portion is provided on the outer peripheral portion of the first holding member, the first recess is provided on the inner side of the first holding portion,
In the step of preparing the second fixing member, the second holding portion is provided on the outer peripheral portion of the second holding member, the second recess is provided on the inner side of the second holding portion,
Wherein the step of preparing the rotary blade comprises the following step.
(6-1) The step of disposing the first concave portion and the second concave portion so as to face each other with the rotary blade interposed therebetween.
(6-2) A step of bringing the first holding portion into close contact with abrasive grains formed on the first surface of the rotary blade.
(6-3) A step of bringing the second holding portion into close contact with an abrasive formed on the second surface of the rotary blade.
(6-4) a first distance from the first surface of the rotary blade to the inner bottom surface of the first concave portion, and a second distance from the second surface of the rotary blade to the inner bottom surface of the second concave portion , The process of making equal distance.
(6-5) The step of making the predetermined distance smaller than the maximum value of the deformation amount in a range larger than the maximum diameter of the abrasive grains and in which the deformation of the rotating blade is allowed.

The method according to claim 6,
In the step of preparing the first fixing member, the first holding portion and the first concave portion are formed in an annular shape,
Wherein in the step of preparing the second holding member, the second holding portion and the second concave portion are formed in an annular shape.

The method according to claim 6,
Wherein the step of preparing the rotary blade includes an end surface in which the first holding portion is in contact with an abrasive formed on the first surface of the rotary blade in a state in which the rotary blade is stationary, Wherein the holding portion is inclined so that the end face formed by the surface brought into close contact with the abrasive formed on the second surface of the rotary blade is moved away from the rotary blade toward the rotary shaft.

9. The method according to any one of claims 6 to 8,
Wherein the object to be cut is a sealed end substrate.

9. The method according to any one of claims 6 to 8,
Wherein the object to be cut is a plate-like member in which a functional element is formed in each of a plurality of regions respectively corresponding to the plurality of products.