JP2015085466A - Flange mechanism - Google Patents

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Akira Hata
亮 畑
研悟 奥鳴
Kengo Okunari
研悟 奥鳴
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flange mechanism capable of preventing galling from occurring between a fitting hole and a boss part.SOLUTION: A flange mechanism 30 includes: a fixed flange 31 comprising a cylindrical boss part 311, a blade mounting part 311a and a receiving flange part 313 which supports a side surface 211a of a cutting blade 20; a pressing flange 32 having a fitting hole 321 of which an inner periphery 321a is supported by a blade mounting part 311a, and which holds the cutting blade 20 with the fixed flange 31; and a fixing nut 33 with which the pressing flange 32 is fixed to the fixed flange 31. The inner periphery 321a includes: a guide part expanding toward the cutting blade 20 from the fixing nut 33; an escape part expanding toward the fixing nut 33 from the cutting blade 20; and a support ridge part formed between the guide part and the escape part. The pressing flange 32 is supported by the support ridge part contacting the blade mounting part 311a.

Description

本発明は、フランジ機構に関する。   The present invention relates to a flange mechanism.

半導体ウェーハ等の被加工物に対する精密な切削加工において、ダイシング装置と呼ばれる切削装置が広く利用されている。ダイシング装置では、スピンドルの先端に装着されたフランジ機構に挟持される切削ブレードによって被加工物が切削される（例えば、特許文献１参照）。フランジ機構は、スピンドルに固定される固定フランジと、固定フランジとの間で切削ブレードを挟持する押さえフランジと、押さえフランジを固定フランジに固定する固定ナットと、を含んで構成されている。   2. Description of the Related Art A cutting device called a dicing device is widely used for precise cutting of a workpiece such as a semiconductor wafer. In the dicing apparatus, a workpiece is cut by a cutting blade held by a flange mechanism attached to the tip of a spindle (see, for example, Patent Document 1). The flange mechanism includes a fixed flange that is fixed to the spindle, a pressing flange that clamps the cutting blade between the fixing flange, and a fixing nut that fixes the pressing flange to the fixing flange.

フランジ機構は、固定フランジに形成されたスピンドルの軸線と平行に突出するボス部が切削ブレードの挿通穴に挿通された状態で、押さえフランジの装着穴がボス部に装着され、固定ナットがボス部の雄ねじに螺合されることにより、切削ブレードが固定フランジと押さえフランジとで挟持されて固定される。また、フランジ機構においては、押さえフランジの装着穴の内径は、ボス部の外径よりも、ボス部が挿通穴に挿入可能な程度に僅かに大きく設定されている。ここで、装着穴の内径とボス部の外径との差は、固定フランジの軸線と押さえフランジの軸線とが同軸上に位置するように、小さく設定されている。   In the flange mechanism, the mounting hole of the holding flange is mounted on the boss part with the boss part that is formed parallel to the spindle axis formed on the fixed flange being inserted into the insertion hole of the cutting blade, and the fixing nut is mounted on the boss part. The cutting blade is clamped and fixed between the fixing flange and the holding flange by being screwed onto the male screw. In the flange mechanism, the inner diameter of the mounting hole of the holding flange is set to be slightly larger than the outer diameter of the boss part so that the boss part can be inserted into the insertion hole. Here, the difference between the inner diameter of the mounting hole and the outer diameter of the boss portion is set to be small so that the axis of the fixed flange and the axis of the holding flange are positioned on the same axis.

特開２００５−１９１０９６号公報JP 2005-191096 A

このようなフランジ機構では、装着穴の内径とボス部の外径との差が僅かであることから、押さえフランジが固定フランジに装着される際、押さえフランジが固定フランジに対して僅かに傾いていると、装着穴とボス部とが容易に嵌合する、いわゆるかじりが発生するという問題があった。また、フランジ機構は組み付け精度が要求されることから、かじりによって装着穴の内周やボス部の外周に傷がつくと、その組み付け精度が満たされなくなり、修理や交換が必要となる虞がある。   In such a flange mechanism, since the difference between the inner diameter of the mounting hole and the outer diameter of the boss portion is slight, when the pressing flange is mounted on the fixed flange, the pressing flange is slightly inclined with respect to the fixed flange. If so, there is a problem that so-called galling occurs, in which the mounting hole and the boss portion are easily fitted. Also, since the flange mechanism requires assembly accuracy, if the inner periphery of the mounting hole or the outer periphery of the boss is damaged by galling, the assembly accuracy may not be satisfied and repair or replacement may be necessary. .

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、装着穴とボス部との間でかじりが発生することを抑えることができるフランジ機構を提供することを目的とする。   This invention is made in view of the above, Comprising: It aims at providing the flange mechanism which can suppress that a galling generate | occur | produces between a mounting hole and a boss | hub part.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、回転可能に支持されたスピンドルの先端に固定され、被加工物を切削加工する環状の切削ブレードを挟持するフランジ機構であって、先端部の外周に雄ねじが形成された円筒状のボス部と、ボス部の軸方向中間部に形成され、切削ブレードの内周面を支持するブレード装着部と、ボス部の軸方向後端部から半径方向外側に突出して形成され、切削ブレードの一方の側面を支持する受けフランジ部と、を備えた固定フランジと、ボス部が挿入され内周がブレード装着部に支持される装着穴を中心に有し、切削ブレードを固定フランジとで挟持する環状の押さえフランジと、ボス部の雄ねじに螺合し、固定フランジに押さえフランジを固定する環状の固定ナットと、を有し、切削ブレードを挟持するボス部に挿入された押さえフランジの装着穴の内周は、切削ブレード側から固定ナット側に向けて縮径し、押さえフランジのボス部への挿入をガイドするガイド部と、固定ナット側から切削ブレード側に向けて縮径する逃げ部と、ガイド部と逃げ部との間に形成された支持稜部とを有し、押さえフランジは、支持稜部が固定フランジのブレード装着部に接触して支持されることを特徴とする。   In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention is a flange mechanism that is fixed to the tip of a spindle that is rotatably supported and clamps an annular cutting blade that cuts a workpiece. A cylindrical boss part having a male screw formed on the outer periphery of the tip part, a blade mounting part formed on an axially intermediate part of the boss part and supporting the inner peripheral surface of the cutting blade, and an axial rear end of the boss part A fixing flange having a receiving flange portion that protrudes radially outward from the portion and supports one side surface of the cutting blade, and a mounting hole in which the boss portion is inserted and the inner periphery is supported by the blade mounting portion. An annular holding flange that holds the cutting blade between the fixing flange and an annular fixing nut that is screwed into the male screw of the boss portion and fixes the holding flange to the fixing flange. The inner circumference of the mounting hole of the presser flange inserted into the boss part that sandwiches the diameter is reduced from the cutting blade side toward the fixed nut side, and the guide part that guides the insertion into the boss part of the presser flange and the fixed nut The relief flange has a relief portion that is reduced in diameter from the side toward the cutting blade side, and a support ridge formed between the guide portion and the relief portion, and the support flange has a support ridge on the blade mounting portion of the fixed flange. It is supported in contact with each other.

また、上記フランジ機構において、ガイド部は、曲面に形成されていることが好ましい。   In the flange mechanism, the guide portion is preferably formed in a curved surface.

本発明によれば、内周を拡径するガイド部と逃げ部との間に形成された支持稜部が固定フランジのブレード装着部に接触することによって、押さえフランジがブレード装着部に支持されるので、内周に対するブレード装着部の接触面積を小さくすることができ、装着穴とボス部との間でかじりが発生することを抑えることができるという効果を奏する。   According to the present invention, the holding flange is supported by the blade mounting portion by the support ridge formed between the guide portion and the escape portion expanding the inner circumference contacting the blade mounting portion of the fixed flange. Therefore, it is possible to reduce the contact area of the blade mounting portion with respect to the inner periphery, and to suppress the occurrence of galling between the mounting hole and the boss portion.

図１は、実施形態に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration example of a cutting apparatus according to an embodiment. 図２は、実施形態に係るフランジ機構の構成例を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a configuration example of the flange mechanism according to the embodiment. 図３は、実施形態に係るフランジ機構の構成例を示す分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view illustrating a configuration example of the flange mechanism according to the embodiment. 図４は、実施形態に係るフランジ機構の構成例を示す分解断面図である。FIG. 4 is an exploded cross-sectional view illustrating a configuration example of the flange mechanism according to the embodiment. 図５は、曲面部を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a curved surface portion. 図６は、押さえフランジが固定フランジに対して傾斜した状態を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state in which the holding flange is inclined with respect to the fixed flange. 図７は、実施形態に係るフランジ機構により厚みの大きい切削ブレードを挟持した状態を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing a state where a thick cutting blade is sandwiched by the flange mechanism according to the embodiment.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. The constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the structures described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the scope of the present invention.

〔実施形態〕
図１は、実施形態に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態に係るフランジ機構の構成例を示す断面図である。図３は、実施形態に係るフランジ機構の構成例を示す分解斜視図である。図４は、実施形態に係るフランジ機構の構成例を示す分解断面図である。図５は、曲面部を示す断面図である。 Embodiment
FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration example of a cutting apparatus according to an embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a configuration example of the flange mechanism according to the embodiment. FIG. 3 is an exploded perspective view illustrating a configuration example of the flange mechanism according to the embodiment. FIG. 4 is an exploded cross-sectional view illustrating a configuration example of the flange mechanism according to the embodiment. FIG. 5 is a cross-sectional view showing a curved surface portion.

図１に示す切削装置１は、図３に示すフランジ機構３０が挟持して固定する切削ブレード２０により、被加工物を切削する加工装置である。切削装置１は、図１に示すように、チャックテーブル２と、移動手段３と、撮像手段４と、切削手段５と、を含んで構成されている。被加工物は、特に限定されないが、例えば、板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ、板状の無機材料基板、板状の延性材料等、板状の各種加工材料である。本実施形態では、被加工物の表面に互いに直交する分割予定ラインが複数形成されている場合について説明する。   A cutting apparatus 1 shown in FIG. 1 is a processing apparatus that cuts a workpiece by a cutting blade 20 that is sandwiched and fixed by a flange mechanism 30 shown in FIG. As shown in FIG. 1, the cutting apparatus 1 includes a chuck table 2, a moving unit 3, an imaging unit 4, and a cutting unit 5. Although a workpiece is not specifically limited, For example, it is various plate-shaped processing materials, such as a plate-shaped semiconductor wafer, an optical device wafer, a plate-shaped inorganic material substrate, a plate-shaped ductile material. In the present embodiment, a case will be described in which a plurality of scheduled division lines that are orthogonal to each other are formed on the surface of the workpiece.

チャックテーブル２は、被加工物を吸引保持するものである。チャックテーブル２は、円盤状に形成されており、上面が水平方向に平行となる平面に形成されている。チャックテーブル２は、ポーラスセラミックで構成されており、図示しない真空吸引源に接続されている。   The chuck table 2 sucks and holds a workpiece. The chuck table 2 is formed in a disk shape, and is formed in a plane whose upper surface is parallel to the horizontal direction. The chuck table 2 is made of porous ceramic and is connected to a vacuum suction source (not shown).

移動手段３は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向において、チャックテーブル２と切削手段５とを相対移動させるものである。移動手段３は、Ｘ軸移動手段３ａと、Ｙ軸移動手段３ｂと、Ｚ軸移動手段３ｃと、を含んで構成されている。Ｘ軸移動手段３ａは、チャックテーブル２を本体部６に対してＸ軸方向（切削送り方向に相当）に相対移動可能に支持している。Ｙ軸移動手段３ｂは、切削手段５を本体部６に対してＹ軸方向（割り出し送り方向に相当）に相対移動可能に支持している。Ｚ軸移動手段３ｃは、切削手段５を本体部６に対してＺ軸方向（切り込み送り方向に相当）に相対移動可能に支持している。各移動手段３ａ〜３ｃは、例えば、モータ、ボールねじ、ナット等から構成されている。   The moving means 3 moves the chuck table 2 and the cutting means 5 relative to each other in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction. The moving unit 3 includes an X-axis moving unit 3a, a Y-axis moving unit 3b, and a Z-axis moving unit 3c. The X-axis moving means 3a supports the chuck table 2 so as to be movable relative to the main body 6 in the X-axis direction (corresponding to the cutting feed direction). The Y-axis moving means 3b supports the cutting means 5 so as to be movable relative to the main body portion 6 in the Y-axis direction (corresponding to the indexing feed direction). The Z-axis moving unit 3c supports the cutting unit 5 so as to be relatively movable with respect to the main body 6 in the Z-axis direction (corresponding to the cutting feed direction). Each moving means 3a-3c is comprised from the motor, the ball screw, the nut, etc., for example.

撮像手段４は、切削手段５を被加工物の分割予定ライン（ストリート）に対してアライメント調整するために、ストリートを切削加工前に撮像するものである。撮像手段４は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサを用いたカメラ等である。   The image pickup means 4 picks up an image of the street before cutting in order to adjust the alignment of the cutting means 5 with respect to a division line (street) of the workpiece. The imaging means 4 is, for example, a camera using a CCD (Charge Coupled Device) image sensor.

切削手段５は、被加工物に対して切削加工を施すものである。切削手段５は、図３に示すように、回転駆動手段１０と、切削ブレード２０と、フランジ機構３０と、固定手段４０と、を含んで構成されている。   The cutting means 5 performs a cutting process on the workpiece. As shown in FIG. 3, the cutting means 5 includes a rotation driving means 10, a cutting blade 20, a flange mechanism 30, and a fixing means 40.

回転駆動手段１０は、切削ブレード２０を高速で回転駆動させるものである。回転駆動手段１０は、スピンドル１１と、スピンドルハウジング１２と、図示しないモータと、を備えている。スピンドル１１は、その先端に着脱可能にフランジ機構３０を固定するものであり、スピンドルハウジング１２に対して回転可能に支持されている。スピンドル１１は、先端に向かって縮径する円錐台形状に形成されている。スピンドル１１は、図３および図４に示すように、その先端にフランジ機構３０を固定させる固定手段４０と螺合する雌ねじ１１ｂが形成されたねじ穴１１ａを有している。スピンドルハウジング１２は、筒状に形成されており、ラジアルエアベアリングおよびスラストエアベアリングにより、内挿されたスピンドル１１を回転可能に支持する。   The rotation driving means 10 is for rotating the cutting blade 20 at a high speed. The rotation driving means 10 includes a spindle 11, a spindle housing 12, and a motor (not shown). The spindle 11 fixes a flange mechanism 30 to the tip of the spindle 11 so as to be detachable, and is supported rotatably with respect to the spindle housing 12. The spindle 11 is formed in a truncated cone shape that decreases in diameter toward the tip. As shown in FIGS. 3 and 4, the spindle 11 has a screw hole 11 a in which a female screw 11 b that is screwed with a fixing means 40 that fixes the flange mechanism 30 is formed at the tip. The spindle housing 12 is formed in a cylindrical shape, and rotatably supports the inserted spindle 11 by a radial air bearing and a thrust air bearing.

切削ブレード２０は、図３に示すように、環状の円板状に形成された切削砥石であり、高速回転することでチャックテーブル２に保持された被加工物を切削するものである。切削ブレード２０は、例えば、いわゆるメタルボンドブレード、レジンボンドブレード、ビドボンドブレード等である。切削ブレード２０は、その厚みが数十μｍ程度であり、柔軟性を有している。切削ブレード２０は、後述するブレード装着部３１１ａ（図４参照）の外形に対応する大きさの円形状の挿通穴２１を有している。切削ブレード２０は、図２に示すように、フランジ機構３０の押さえフランジ３２と固定フランジ３１とで挟持され、固定フランジ３１上に固定される。   As shown in FIG. 3, the cutting blade 20 is a cutting grindstone formed in an annular disk shape, and cuts the workpiece held on the chuck table 2 by rotating at high speed. The cutting blade 20 is, for example, a so-called metal bond blade, resin bond blade, bid bond blade, or the like. The cutting blade 20 has a thickness of about several tens of μm and has flexibility. The cutting blade 20 has a circular insertion hole 21 having a size corresponding to the outer shape of a blade mounting portion 311a (see FIG. 4) described later. As shown in FIG. 2, the cutting blade 20 is sandwiched between a pressing flange 32 and a fixed flange 31 of the flange mechanism 30 and fixed on the fixed flange 31.

フランジ機構３０は、切削ブレード２０を着脱可能に挟持して固定するものであり、スピンドル１１の先端に着脱可能に固定されるものである。フランジ機構３０は、図２および図３に示すように、固定フランジ３１と、押さえフランジ３２と、固定ナット３３と、を含んで構成されている。   The flange mechanism 30 detachably clamps and fixes the cutting blade 20 and is detachably fixed to the tip of the spindle 11. As shown in FIGS. 2 and 3, the flange mechanism 30 includes a fixed flange 31, a pressing flange 32, and a fixed nut 33.

固定フランジ３１は、円筒状に形成されている。固定フランジ３１は、図４に示すように、ボス部３１１と、スピンドル装着部３１２と、受けフランジ部３１３と、固定手段取付部３１４と、を備えている。   The fixed flange 31 is formed in a cylindrical shape. As shown in FIG. 4, the fixing flange 31 includes a boss part 311, a spindle mounting part 312, a receiving flange part 313, and a fixing means attaching part 314.

ボス部３１１は、固定フランジ３１の軸方向に突出した円筒状に形成されている。ボス部３１１は、ブレード装着部３１１ａと、雄ねじ部３１１ｂと、環状凹部３１１ｃと、を有している。ブレード装着部３１１ａは、ボス部３１１の軸方向中間部の外周に形成されており、図３に示す切削ブレード２０の挿通穴２１の内周面２１ａを支持する。雄ねじ部３１１ｂは、ボス部３１１の軸方向先端部の外周に形成されており、先端部に固定ナット３３と螺合する雄ねじ３１１ｄが形成されている。雄ねじ部３１１ｂは、その外周がブレード装着部３１１ａの外周よりも小径に形成されている。環状凹部３１１ｃは、ブレード装着部３１１ａと雄ねじ部３１１ｂとの間に設けられている。環状凹部３１１ｃは、雄ねじ部３１１ｂの外周よりも小径となる溝状に形成されている。   The boss 311 is formed in a cylindrical shape that protrudes in the axial direction of the fixed flange 31. The boss portion 311 has a blade mounting portion 311a, a male screw portion 311b, and an annular recess 311c. The blade mounting portion 311a is formed on the outer periphery of the intermediate portion in the axial direction of the boss portion 311 and supports the inner peripheral surface 21a of the insertion hole 21 of the cutting blade 20 shown in FIG. The male screw portion 311b is formed on the outer periphery of the tip end portion in the axial direction of the boss portion 311. A male screw 311d screwed with the fixing nut 33 is formed at the tip end portion. The outer periphery of the male screw portion 311b is formed to have a smaller diameter than the outer periphery of the blade mounting portion 311a. The annular recess 311c is provided between the blade mounting portion 311a and the male screw portion 311b. The annular recess 311c is formed in a groove shape having a smaller diameter than the outer periphery of the male screw portion 311b.

スピンドル装着部３１２は、固定フランジ３１の軸方向において、ボス部３１１とは反対側に突出する円筒状に形成されている。スピンドル装着部３１２は、その内周がスピンドル１１の先端の外周に対応する形状に形成され、スピンドル１１の先端と嵌合するスピンドル嵌合部３１２ａを有している。   The spindle mounting portion 312 is formed in a cylindrical shape that protrudes to the opposite side of the boss portion 311 in the axial direction of the fixed flange 31. The spindle mounting portion 312 is formed in a shape corresponding to the outer periphery of the tip of the spindle 11 and has a spindle fitting portion 312 a that fits with the tip of the spindle 11.

受けフランジ部３１３は、ボス部３１１の軸方向後端部の外周に形成されており、切削ブレード２０の一方の側面２１１ａを支持するものである。本実施形態では、受けフランジ部３１３は、固定フランジ３１の軸方向中間部に設けられている。受けフランジ部３１３は、ボス部３１１の外周から半径方向外側に突出して形成されている。受けフランジ部３１３は、切削ブレード２０の外形よりも小さい円板状に形成されている。受けフランジ部３１３は、切削ブレード２０の一方の側面２１１ａと対向して接触する挟持突起３１３ａを有している。挟持突起３１３ａは、受けフランジ部３１３の外周に沿って形成されており、軸方向においてボス部３１１に向かって環状に突出して形成されている。挟持突起３１３ａは、切削ブレード２０の一方の側面２１１ａと対向して接触する部分が、平坦な平面となっている。   The receiving flange portion 313 is formed on the outer periphery of the rear end portion in the axial direction of the boss portion 311, and supports one side surface 211 a of the cutting blade 20. In the present embodiment, the receiving flange portion 313 is provided in the intermediate portion in the axial direction of the fixed flange 31. The receiving flange portion 313 is formed so as to protrude radially outward from the outer periphery of the boss portion 311. The receiving flange portion 313 is formed in a disk shape smaller than the outer shape of the cutting blade 20. The receiving flange portion 313 has a holding protrusion 313 a that faces and contacts one side surface 211 a of the cutting blade 20. The sandwiching protrusion 313a is formed along the outer periphery of the receiving flange portion 313, and is formed to project in an annular shape toward the boss portion 311 in the axial direction. A portion of the sandwiching protrusion 313a that is in contact with one side surface 211a of the cutting blade 20 is a flat plane.

固定手段取付部３１４は、スピンドル１１の雌ねじ１１ｂと螺合する固定手段４０を取り付けるためのものである。固定手段取付部３１４は、その内周（ボス部３１１の内周）が後述するワッシャ４１よりも大径に形成され、ワッシャ４１と当接するワッシャ当接部３１４ａを有している。   The fixing means attaching portion 314 is for attaching the fixing means 40 that is screwed with the female screw 11 b of the spindle 11. The fixing means mounting portion 314 has a washer abutting portion 314 a that has an inner circumference (an inner circumference of the boss portion 311) that is larger in diameter than a washer 41 described later and abuts against the washer 41.

押さえフランジ３２は、図２に示すように、切削ブレード２０を固定フランジ３１とで挟持するものである。つまり、押さえフランジ３２は、固定フランジ３１との間で切削ブレード２０を挟んで支持するものである。押さえフランジ３２は、図３に示すように、環状の円板状に形成されている。押さえフランジ３２は、装着穴３２１と、フランジ部３２２と、曲面部３２３と、リブ部３２４と、を備えている。   As shown in FIG. 2, the holding flange 32 sandwiches the cutting blade 20 with the fixed flange 31. That is, the pressing flange 32 supports the cutting blade 20 with the fixed flange 31 interposed therebetween. As shown in FIG. 3, the pressing flange 32 is formed in an annular disk shape. The holding flange 32 includes a mounting hole 321, a flange portion 322, a curved surface portion 323, and a rib portion 324.

装着穴３２１は、図４に示すように、押さえフランジ３２の軸線を中心とする円形状に形成されている。装着穴３２１の内周３２１ａは、ボス部３１１が挿入可能な大きさに形成されており、ブレード装着部３１１ａの外周に対応する大きさの径で形成されている。   As shown in FIG. 4, the mounting hole 321 is formed in a circular shape centering on the axis of the pressing flange 32. The inner periphery 321a of the mounting hole 321 is formed to have a size that allows the boss portion 311 to be inserted, and has a diameter corresponding to the outer periphery of the blade mounting portion 311a.

フランジ部３２２は、切削ブレード２０の他方の側面２１１ｂを支持するものである。フランジ部３２２は、切削ブレード２０の外形よりも小さい円板状に形成されており、受けフランジ部３１３と同様の大きさに形成されている。フランジ部３２２は、受けフランジ部３１３の挟持突起３１３ａと対向し、切削ブレード２０の他方の側面２１１ｂと対向して接触する挟持突起３２２ａを有している。挟持突起３２２ａは、フランジ部３２２の外周に沿って形成されており、軸方向において受けフランジ部３１３に向かって環状に突出して形成されている。挟持突起３２２ａは、切削ブレード２０の他方の側面２１１ｂと対向して接触する部分が、平坦な平面となっている。   The flange portion 322 supports the other side surface 211 b of the cutting blade 20. The flange portion 322 is formed in a disk shape smaller than the outer shape of the cutting blade 20, and has the same size as the receiving flange portion 313. The flange portion 322 has a sandwiching projection 322 a that faces the sandwiching projection 313 a of the receiving flange portion 313 and contacts the other side surface 211 b of the cutting blade 20. The sandwiching protrusion 322a is formed along the outer periphery of the flange portion 322, and is formed to project in an annular shape toward the receiving flange portion 313 in the axial direction. The portion of the clamping protrusion 322a that faces the other side surface 211b of the cutting blade 20 is a flat surface.

曲面部３２３は、押さえフランジ３２が固定フランジ３１に対して着脱される際に、図６に示すように押さえフランジ３２が固定フランジ３１の軸方向に対して傾くことを許容するものであり、押さえフランジ３２が傾いた状態であっても、ブレード装着部３１１ａとの接触面積を小さくするものである。曲面部３２３は、図４に示すように、軸方向中間部から軸方向両端部に向かって、押さえフランジ３２の軸線に対して内周３２１ａが半径方向外側に反る双曲面状に形成されている。本実施形態では、曲面部３２３は、図５に示すように、内周３２１ａを軸方向両端部側に向けて軸方向断面円弧状となるように拡径して形成されている。曲面部３２３は、図４に示すボス部３１１の軸方向に平行な円周面を有し、押さえフランジ３２が固定フランジ３１に対して同軸上に位置するように内径が設定された装着穴３２１の内周３２１ａの軸方向両端部側に対して、例えば旋削加工が施されることによって形成されている。曲面部３２３は、軸方向の幅が、挟持突起３２２ａおよびリブ部３２４の軸方向の幅を除いたフランジ部３２２の幅と同じである。曲面部３２３は、軸方向中間部と軸方向両端部との軸直交方向の差が、例えば３〜０．２ｍｍ程度である。曲面部３２３は、ガイド部３２３ａと、支持稜部３２３ｂと、逃げ部３２３ｃと、を有している。つまり、内周３２１ａは、ガイド部３２３ａと、支持稜部３２３ｂと、逃げ部３２３ｃと、を有している。   The curved surface portion 323 allows the pressing flange 32 to be inclined with respect to the axial direction of the fixing flange 31 as shown in FIG. 6 when the pressing flange 32 is attached to and detached from the fixing flange 31. Even when the flange 32 is inclined, the contact area with the blade mounting portion 311a is reduced. As shown in FIG. 4, the curved surface portion 323 is formed in a hyperboloid shape in which an inner periphery 321 a warps outward in the radial direction with respect to the axial line of the pressing flange 32 from the intermediate portion in the axial direction toward both end portions in the axial direction. Yes. In the present embodiment, as shown in FIG. 5, the curved surface portion 323 is formed by expanding the diameter so that the inner circumference 321a is arcuate in the axial direction cross section toward both end portions in the axial direction. The curved surface portion 323 has a circumferential surface parallel to the axial direction of the boss portion 311 shown in FIG. 4, and a mounting hole 321 whose inner diameter is set so that the holding flange 32 is coaxially positioned with respect to the fixed flange 31. For example, a turning process is performed on both ends of the inner periphery 321a in the axial direction. The curved surface portion 323 has the same axial width as the flange portion 322 excluding the axial widths of the sandwiching protrusion 322a and the rib portion 324. In the curved surface portion 323, the difference in the axis orthogonal direction between the axial intermediate portion and both axial end portions is, for example, about 3 to 0.2 mm. The curved surface portion 323 includes a guide portion 323a, a support ridge portion 323b, and a relief portion 323c. That is, the inner periphery 321a has the guide part 323a, the support ridge part 323b, and the escape part 323c.

ガイド部３２３ａは、図４および図５に示すように、軸方向において、曲面部３２３の挟持突起３２２ａ側に設けられており、固定ナット３３側から切削ブレード２０側に向けて拡径して形成されている。つまり、ガイド部３２３ａは、支持稜部３２３ｂ側から挟持突起３２２ａ側に向けて内周３２１ａを拡径している。本実施形態では、ガイド部３２３ａは、装着穴３２１の挟持突起３２２ａ側の端部を軸方向断面円弧状に拡径している。ガイド部３２３ａの曲率半径ｒ２は、例えば、曲面部３２３の軸方向中間部（つまり支持稜部３２３ｂ）における内周３２１ａの半径ｒ１以下であり、例えば１０〜３ｍｍ程度である。ガイド部３２３ａの挟持突起３２２ａ側の端部は、図５に示すように、曲面部３２３の軸方向の挟持突起３２２ａ側の端部でもあり、内周３２１ａのリブ部３２４における軸方向断面平坦部分の延長線上に位置している。ガイド部３２３ａの支持稜部３２３ｂ側の端部は、支持稜部３２３ｂの軸方向のガイド部３２３ａ側の端部でもある。ガイド部３２３ａの支持稜部３２３ｂ側の端部に対する接線は、支持稜部３２３ｂと平行かつ面一である。   As shown in FIGS. 4 and 5, the guide portion 323 a is provided on the holding projection 322 a side of the curved surface portion 323 in the axial direction, and is formed by expanding the diameter from the fixing nut 33 side toward the cutting blade 20 side. Has been. That is, the guide part 323a has an inner diameter 321a that expands from the support ridge part 323b side toward the clamping protrusion 322a side. In the present embodiment, the guide portion 323a has a diameter of the end portion of the mounting hole 321 on the side of the holding protrusion 322a that is expanded in an arc shape in the axial direction. The curvature radius r2 of the guide part 323a is, for example, not more than the radius r1 of the inner periphery 321a in the axially intermediate part (that is, the support ridge part 323b) of the curved surface part 323, and is, for example, about 10 to 3 mm. As shown in FIG. 5, the end portion of the guide portion 323a on the holding protrusion 322a side is also the end portion on the holding protrusion 322a side in the axial direction of the curved surface portion 323, and the flat section in the axial direction in the rib portion 324 of the inner periphery 321a. It is located on the extension line. The end portion on the support ridge portion 323b side of the guide portion 323a is also the end portion on the guide portion 323a side in the axial direction of the support ridge portion 323b. A tangent to the end of the guide portion 323a on the support ridge portion 323b side is parallel and flush with the support ridge portion 323b.

支持稜部３２３ｂは、図４に示すブレード装着部３１１ａに接触して支持されるものである。支持稜部３２３ｂは、図５に示すように、ガイド部３２３ａと逃げ部３２３ｃとの間に形成されており、押さえフランジ３２の軸線に対して平行な円周面状に形成されている。支持稜部３２３ｂは、軸方向の幅Ｌが、例えば３〜０．２ｍｍ程度である。支持稜部３２３ｂは、その表面から内周３２１ａのリブ部３２４における軸方向断面平坦部分の延長線までの軸直交方向の長さが、曲面部３２３の軸方向中間部と軸方向両端部との軸直交方向の差と同じ長さである。支持稜部３２３ｂの直径（つまり支持稜部３２３ｂにおける内周３２１ａの直径）は、曲面部３２３を有していない場合の押さえフランジの内周の直径と同じである。支持稜部３２３ｂとブレード装着部３１１ａとの隙間は、支持稜部３２３ｂの内周とブレード装着部３１１ａの外周とが同心円上に配置された時の隙間として、例えば数μｍから数十μｍである。   The support ridge portion 323b is supported in contact with the blade mounting portion 311a shown in FIG. As shown in FIG. 5, the support ridge portion 323 b is formed between the guide portion 323 a and the escape portion 323 c, and is formed in a circumferential surface shape parallel to the axis of the pressing flange 32. The support ridge portion 323b has an axial width L of, for example, about 3 to 0.2 mm. The length of the support ridge portion 323b in the direction perpendicular to the axis from the surface to the extension line of the flat portion in the axial direction of the rib portion 324 of the inner periphery 321a is between the axial intermediate portion of the curved surface portion 323 and both axial end portions. The length is the same as the difference in the direction perpendicular to the axis. The diameter of the support ridge portion 323b (that is, the diameter of the inner periphery 321a of the support ridge portion 323b) is the same as the inner periphery diameter of the pressing flange when the curved surface portion 323 is not provided. The clearance between the support ridge portion 323b and the blade mounting portion 311a is, for example, several μm to several tens of μm as a clearance when the inner periphery of the support ridge portion 323b and the outer periphery of the blade mounting portion 311a are arranged concentrically. .

逃げ部３２３ｃは、図４および図５に示すように、軸方向において、曲面部３２３のリブ部３２４側に設けられており、切削ブレード２０側から固定ナット３３側に向けて拡径して形成されている。つまり、逃げ部３２３ｃは、支持稜部３２３ｂ側からリブ部３２４側に向けて内周３２１ａを拡径している。本実施形態では、逃げ部３２３ｃは、曲率半径がガイド部３２３ａの曲率半径と同じである。逃げ部３２３ｃのリブ部３２４側の端部は、図５に示すように、曲面部３２３の軸方向のリブ部３２４側の端部でもあり、内周３２１ａのリブ部３２４における軸方向断面平坦部分の逃げ部３２３ｃ側の端部でもある。逃げ部３２３ｃの支持稜部３２３ｂ側の端部は、支持稜部３２３ｂの軸方向の逃げ部３２３ｃ側の端部でもある。逃げ部３２３ｃの支持稜部３２３ｂ側の端部に対する接線は、支持稜部３２３ｂと平行かつ面一である。   As shown in FIGS. 4 and 5, the escape portion 323c is provided on the rib portion 324 side of the curved surface portion 323 in the axial direction, and is formed by expanding the diameter from the cutting blade 20 side toward the fixed nut 33 side. Has been. That is, the escape portion 323c expands the inner periphery 321a from the support ridge portion 323b side toward the rib portion 324 side. In the present embodiment, the escape portion 323c has the same radius of curvature as that of the guide portion 323a. As shown in FIG. 5, the end portion of the escape portion 323c on the rib portion 324 side is also the end portion on the rib portion 324 side in the axial direction of the curved surface portion 323, and is a flat section in the axial direction in the rib portion 324 of the inner periphery 321a. This is also the end of the escape portion 323c side. The end portion on the support ridge portion 323b side of the escape portion 323c is also an end portion on the escape portion 323c side in the axial direction of the support ridge portion 323b. The tangent to the end portion of the escape portion 323c on the support ridge portion 323b side is parallel and flush with the support ridge portion 323b.

リブ部３２４は、フランジ部３２２を補強するためのものである。リブ部３２４は、挟持突起３２２ａとは反対側のフランジ部３２２の装着穴３２１の周囲から環状に突出して形成されている。リブ部３２４は、フランジ部３２２からの突出量が、押さえフランジ３２を固定フランジ３１に対して着脱する際に、押さえフランジ３２が固定フランジ３１の軸方向に対して傾いても、リブ部３２４の内周３２１ａの固定ナット３３側の端部がボス部３１１に接触しない突出量に設定されている。リブ部３２４は、その内周３２１ａが、押さえフランジ３２の軸方向に対して平行な円周面状に形成されている。   The rib portion 324 is for reinforcing the flange portion 322. The rib portion 324 is formed to project in an annular shape from the periphery of the mounting hole 321 of the flange portion 322 on the opposite side to the sandwiching protrusion 322a. Even if the rib portion 324 is protruded from the flange portion 322 so that the pressing flange 32 is inclined with respect to the axial direction of the fixing flange 31 when the pressing flange 32 is attached to and detached from the fixing flange 31, the rib portion 324 The end of the inner periphery 321a on the side of the fixing nut 33 is set to a protruding amount that does not contact the boss 311. The rib portion 324 has an inner periphery 321 a formed in a circumferential surface parallel to the axial direction of the pressing flange 32.

固定ナット３３は、押さえフランジ３２を固定フランジ３１に着脱可能に固定するものである。固定ナット３３は、図４に示すように、雄ねじ部３１１ｂよりも大きい環状に形成されている。固定ナット３３は、雄ねじ部３１１ｂの雄ねじ３１１ｄと螺合する雌ねじ３３１ａが形成されたねじ穴３３１を有している。ねじ穴３３１は、雄ねじ部３１１ｂの外周に対応する大きさで形成されている。   The fixing nut 33 fixes the holding flange 32 to the fixing flange 31 in a detachable manner. As shown in FIG. 4, the fixing nut 33 is formed in an annular shape larger than the male screw portion 311b. The fixing nut 33 has a screw hole 331 in which a female screw 331a to be screwed with the male screw 311d of the male screw portion 311b is formed. The screw hole 331 is formed in a size corresponding to the outer periphery of the male screw portion 311b.

固定手段４０は、フランジ機構３０をスピンドル１１の先端に着脱可能に固定するものである。固定手段４０は、図３に示すように、ワッシャ４１と、固定ねじ４２と、を含んで構成されている。ワッシャ４１は、図４に示すように、固定手段取付部３１４に挿入可能な大きさに形成されており、ワッシャ当接部３１４ａと当接可能な大きさに形成されている。本実施形態では、ワッシャ４１は、いわゆる平座金である。ワッシャ４１は、固定ねじ４２の軸部よりも大きく形成され、固定ねじ４２の頭部よりも小さく形成された挿通穴４１ａを有している。固定ねじ４２は、スピンドル１１の雌ねじ１１ｂと螺合する雄ねじ４２ａと、図示しない六角棒スパナ等の工具が差し込まれる六角穴４２ｂと、を有している。   The fixing means 40 is for detachably fixing the flange mechanism 30 to the tip of the spindle 11. As shown in FIG. 3, the fixing means 40 includes a washer 41 and a fixing screw 42. As shown in FIG. 4, the washer 41 is formed in a size that can be inserted into the fixing means mounting portion 314, and is formed in a size that can be contacted with the washer contact portion 314a. In the present embodiment, the washer 41 is a so-called flat washer. The washer 41 has an insertion hole 41 a that is formed larger than the shaft portion of the fixing screw 42 and smaller than the head portion of the fixing screw 42. The fixing screw 42 has a male screw 42a screwed with the female screw 11b of the spindle 11 and a hexagonal hole 42b into which a tool such as a hexagonal bar spanner (not shown) is inserted.

ここで、図１を参照して、上述の如く構成された切削装置１の動作について説明する。まず、切削装置１は、作業員等のオペレータにより被加工物がチャックテーブル２に載置された後、真空吸引源により被加工物をチャックテーブル２上に吸引保持する。次に、切削装置１は、撮像手段４により被加工物のストリートを撮像し、撮像したストリートに基づいて被加工物と切削手段５とのアライメントを調整した後、図示しないノズルから切削水を切削ブレード２０に向けて噴射しつつ、切削ブレード２０を高速で回転させる。次に、切削装置１は、切削ブレード２０を高速で回転させつつ、複数のストリートのそれぞれに対して切削ブレード２０を切り込み送り、加工送り、および割り出し送りすることで、同一方向の全てのストリートに切削加工を施して切削溝を形成する。次に、切削装置１は、同一方向の全てのストリートについて切削加工を施した後、チャックテーブル２を軸心周りに９０度回転させ、切削手段５により同様の切削加工を繰り返すことで、被加工物を個々のチップに分割する。   Here, with reference to FIG. 1, operation | movement of the cutting device 1 comprised as mentioned above is demonstrated. First, after a workpiece is placed on the chuck table 2 by an operator such as an operator, the cutting apparatus 1 sucks and holds the workpiece on the chuck table 2 by a vacuum suction source. Next, the cutting apparatus 1 images the street of the workpiece by the imaging unit 4, adjusts the alignment between the workpiece and the cutting unit 5 based on the captured street, and then cuts cutting water from a nozzle (not shown). While spraying toward the blade 20, the cutting blade 20 is rotated at a high speed. Next, the cutting apparatus 1 rotates the cutting blade 20 at a high speed, and cuts, feeds, and feeds the cutting blade 20 to each of the plurality of streets, so that all the streets in the same direction are fed. Cutting is performed to form a cutting groove. Next, the cutting apparatus 1 cuts all the streets in the same direction, then rotates the chuck table 2 90 degrees around the axis, and repeats the same cutting by the cutting means 5, so that the workpiece is processed. Divide objects into individual chips.

次に、図２、図４から図６を参照して、切削装置１における切削ブレード２０の交換作業について説明する。図６は、押さえフランジが固定フランジに対して傾斜した状態を示す断面図である。なお、切削装置１は、切削ブレード２０の交換作業を行う前に電源が切断されている。   Next, with reference to FIG. 2 and FIG. 4 to FIG. 6, replacement work of the cutting blade 20 in the cutting apparatus 1 will be described. FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state in which the holding flange is inclined with respect to the fixed flange. The cutting device 1 is turned off before the cutting blade 20 is replaced.

まず、オペレータにより、押さえフランジ３２と固定フランジ３１とにより切削ブレード２０が挟持されて固定された図２に示す状態において、固定ナット３３が緩む方向に回転されることで、固定ナット３３が雄ねじ部３１１ｂから取り外される。ここで、押さえフランジ３２は、図５に示す支持稜部３２３ｂがブレード装着部３１１ａ上で支持されており、支持稜部３２３ｂの内周とブレード装着部３１１ａの外周との上記隙間が数μｍから数十μｍであるので、押さえフランジ３２と固定フランジ３１との中心が合わされている（つまり同軸上に位置する）。このため、押さえフランジ３２は、固定フランジ３１に対する偏心が抑えられている。また、押さえフランジ３２は、支持稜部３２３ｂが押さえフランジ３２の軸線に対して平行な円周面状に形成されているので、ブレード装着部３１１ａ上に安定して支持されている。   First, in the state shown in FIG. 2 in which the cutting blade 20 is sandwiched and fixed by the pressing flange 32 and the fixing flange 31 by the operator, the fixing nut 33 is rotated in the loosening direction, so that the fixing nut 33 becomes the male thread portion. 311b is removed. Here, in the holding flange 32, the support ridge 323b shown in FIG. 5 is supported on the blade mounting portion 311a, and the gap between the inner periphery of the support ridge 323b and the outer periphery of the blade mounting portion 311a is several μm. Since it is several tens of μm, the center of the pressing flange 32 and the fixing flange 31 are aligned (that is, located on the same axis). For this reason, the pressing flange 32 is prevented from being eccentric with respect to the fixed flange 31. In addition, the pressing flange 32 is stably supported on the blade mounting portion 311a because the support ridge portion 323b is formed in a circumferential surface parallel to the axis of the pressing flange 32.

次に、オペレータにより、軸方向において、押さえフランジ３２が固定フランジ３１とは反対側に移動されることで、押さえフランジ３２が固定フランジ３１から取り外される（引き抜かれる）。ここで、曲面部３２３は、ガイド部３２３ａと逃げ部３２３ｃとにより軸方向両端部側の内周３２１ａを拡径しており、支持稜部３２３ｂにおける内周３２１ａとボス部３１１との隙間を最小にしているので、軸方向両端部側の内周３２１ａとボス部３１１との隙間を拡大している。このため、曲面部３２３を有しておらず、内周の全周とボス部３１１との隙間が、支持稜部３２３ｂにおける内周３２１ａとボス部３１１との隙間と同じになる場合では、押さえフランジ３２が固定フランジ３１の軸方向に対して傾くと、ボス部３１１が内周３２１ａに接触しやすくなる。一方、曲面部３２３を有する押さえフランジ３２では、軸方向両端部側の内周３２１ａとボス部３１１との隙間を拡大しているので、押さえフランジ３２が傾いても、ボス部３１１がガイド部３２３ａおよび逃げ部３２３ｃに接触しにくくなる。このため、押さえフランジ３２が傾いた状態で固定フランジ３１から引き抜かれても、内周３２１ａやボス部３１１が傷付きにくい。   Next, the pressing flange 32 is removed (pulled out) from the fixed flange 31 by the operator moving the pressing flange 32 to the side opposite to the fixed flange 31 in the axial direction. Here, the curved surface portion 323 has a diameter of the inner periphery 321a on both ends in the axial direction increased by the guide portion 323a and the relief portion 323c, and the gap between the inner periphery 321a and the boss portion 311 at the support ridge portion 323b is minimized. Therefore, the gap between the inner periphery 321a on both axial ends and the boss 311 is enlarged. For this reason, in the case where the curved surface portion 323 is not provided and the clearance between the entire inner periphery and the boss portion 311 is the same as the clearance between the inner periphery 321a and the boss portion 311 in the support ridge portion 323b, When the flange 32 is inclined with respect to the axial direction of the fixed flange 31, the boss portion 311 is likely to come into contact with the inner periphery 321a. On the other hand, in the pressing flange 32 having the curved surface portion 323, the gap between the inner periphery 321a on the both axial end sides and the boss portion 311 is enlarged. Therefore, even if the pressing flange 32 is inclined, the boss portion 311 is guided by the guide portion 323a. And it becomes difficult to contact escape part 323c. For this reason, even if it pulls out from the fixing flange 31 in a state where the holding flange 32 is inclined, the inner periphery 321a and the boss 311 are not easily damaged.

次に、オペレータにより、図４に示すように、押さえフランジ３２がボス部３１１から引き抜かれた後、切削ブレード２０が押さえフランジ３２と同様にボス部３１１から引き抜かれる。ここで、切削ブレード２０は、その厚みが数十μｍ程度であり柔軟性を有していることから、ブレード装着部３１１ａとの間でかじりが発生することはない。なお、固定フランジ３１をスピンドル１１から取り外す場合には、オペレータにより、固定ねじ４２が緩む方向に回転され、固定ねじ４２がスピンドル１１のねじ穴１１ａから取り外されることで、固定フランジ３１がスピンドル１１から取り外される。取り外された固定フランジ３１は、取り外すのとは逆の作業手順により、再度スピンドル１１に固定される。   Next, as shown in FIG. 4, after the pressing flange 32 is pulled out from the boss portion 311 by the operator, the cutting blade 20 is pulled out from the boss portion 311 in the same manner as the pressing flange 32. Here, the cutting blade 20 has a thickness of about several tens of μm and has flexibility, so that no galling occurs between the cutting blade 20 and the blade mounting portion 311a. When the fixing flange 31 is removed from the spindle 11, the operator rotates the fixing screw 42 in the loosening direction, and the fixing screw 42 is removed from the screw hole 11 a of the spindle 11, so that the fixing flange 31 is removed from the spindle 11. Removed. The removed fixing flange 31 is fixed to the spindle 11 again by a work procedure reverse to that of the removal.

次に、オペレータにより、例えば未使用等の切削ブレード２０の一方の側面２１１ａが挟持突起３１３ａと対向して接触するまで、切削ブレード２０が受けフランジ部３１３側に移動されることで、切削ブレード２０が固定フランジ３１に装着される。ここで、切削ブレード２０は、その内周面２１ａがブレード装着部３１１ａに支持される。   Next, the cutting blade 20 is moved toward the receiving flange portion 313 until the operator contacts, for example, one side surface 211a of the unused cutting blade 20 so as to face the clamping protrusion 313a. Is attached to the fixed flange 31. Here, the inner peripheral surface 21a of the cutting blade 20 is supported by the blade mounting portion 311a.

次に、オペレータにより、押さえフランジ３２がボス部３１１に向かって移動される。ここで、図５に示すガイド部３２３ａは、挟持突起３２２ａ側の内周を拡径しているので、押さえフランジ３２が固定フランジ３１の軸方向に対して傾いている場合、ボス部３１１の先端部と接触しつつ、その先端部を装着穴３２１内に向けてガイドする。   Next, the holding flange 32 is moved toward the boss 311 by the operator. Here, since the guide part 323a shown in FIG. 5 has an enlarged inner diameter on the holding protrusion 322a side, when the holding flange 32 is inclined with respect to the axial direction of the fixed flange 31, the tip of the boss part 311 The tip part is guided toward the mounting hole 321 while contacting the part.

次に、オペレータにより、ガイド部３２３ａによりガイドされたボス部３１１の先端部が装着穴３２１を挿通するように、押さえフランジ３２が受けフランジ部３１３側に移動される。ここで、ボス部３１１の先端部は、ガイド部３２３ａから支持稜部３２３ｂおよび図５に示す逃げ部３２３ｃへと移動する。また、逃げ部３２３ｃは、軸方向の支持稜部３２３ｂ側からリブ部３２４側に向けて内周３２１ａを半径方向外側に拡径する軸方向断面円弧状に形成されているので、押さえフランジ３２が固定フランジ３１の軸方向に対して傾いている場合であっても、ボス部３１１の先端部に接触しにくい。   Next, the pressing flange 32 is moved toward the receiving flange 313 so that the tip of the boss 311 guided by the guide 323a is inserted through the mounting hole 321 by the operator. Here, the distal end portion of the boss portion 311 moves from the guide portion 323a to the support ridge portion 323b and the escape portion 323c shown in FIG. In addition, the escape portion 323c is formed in an axial cross-section arc shape that expands the inner periphery 321a radially outward from the support ridge portion 323b side in the axial direction toward the rib portion 324 side. Even when it is inclined with respect to the axial direction of the fixed flange 31, it is difficult to contact the tip of the boss 311.

次に、オペレータにより、挟持突起３２２ａが切削ブレード２０の他方の側面２１１ｂと対向して接触するまで、押さえフランジ３２が受けフランジ部３１３側に移動される。ここで、押さえフランジ３２は、曲面部３２３が軸方向両端部側に向けて内周３２１ａを拡径しており、押さえフランジ３２が傾いた状態でも、ボス部３１１がガイド部３２３ａおよび逃げ部３２３ｃと接触しにくいので、曲面部３２３がブレード装着部３１１ａ上をスライド移動することで、固定フランジ３１に装着される。   Next, the pressing flange 32 is moved toward the receiving flange portion 313 until the clamping protrusion 322a comes into contact with the other side surface 211b of the cutting blade 20 by the operator. Here, in the pressing flange 32, the curved surface portion 323 expands the inner circumference 321a toward both ends in the axial direction, and even when the pressing flange 32 is inclined, the boss portion 311 has the guide portion 323a and the escape portion 323c. Since the curved surface portion 323 slides on the blade mounting portion 311a, the curved flange portion 323 is mounted on the fixed flange 31.

次に、オペレータにより、固定ナット３３のねじ穴３３１が雄ねじ部３１１ｂに押しあてられた状態で固定ナット３３が締め付けられる方向に回転されることで、雌ねじ３３１ａが雄ねじ部３１１ｂの雄ねじ３１１ｄと螺合し、固定ナット３３が雄ねじ部３１１ｂに固定される。ここで、フランジ機構３０は、切削ブレード２０を挟持して固定する。   Next, the operator rotates the fixing nut 33 in a direction in which the screw hole 331 of the fixing nut 33 is pressed against the male screw portion 311b so that the female screw 331a is screwed with the male screw 311d of the male screw portion 311b. Then, the fixing nut 33 is fixed to the male screw portion 311b. Here, the flange mechanism 30 clamps and fixes the cutting blade 20.

以上のように、実施形態に係るフランジ機構３０によれば、押さえフランジ３２が固定フランジ３１の軸方向に対して傾いても、ボス部３１１がガイド部３２３ａおよび逃げ部３２３ｃと接触しにくいので、押さえフランジ３２が傾いた状態であっても固定フランジ３１に着脱することができる。つまり、実施形態に係るフランジ機構３０によれば、押さえフランジ３２が固定フランジ３１の軸方向に対して傾いた状態であっても、ボス部３１１との間でかじりが発生することを抑えることができる。したがって、実施形態に係るフランジ機構３０によれば、装着穴３２１とボス部３１１との間でかじりが発生することを抑えることができるという効果を奏する。   As described above, according to the flange mechanism 30 according to the embodiment, even if the holding flange 32 is inclined with respect to the axial direction of the fixed flange 31, the boss portion 311 is unlikely to contact the guide portion 323a and the escape portion 323c. Even if the holding flange 32 is inclined, it can be attached to and detached from the fixed flange 31. That is, according to the flange mechanism 30 according to the embodiment, even when the holding flange 32 is inclined with respect to the axial direction of the fixed flange 31, it is possible to suppress the occurrence of galling with the boss portion 311. it can. Therefore, according to the flange mechanism 30 according to the embodiment, it is possible to suppress the occurrence of galling between the mounting hole 321 and the boss portion 311.

また、実施形態に係るフランジ機構３０によれば、ガイド部３２３ａがボス部３１１の先端部を装着穴３２１内にガイドし、逃げ部３２３ｃがボス部３１１の先端部と接触しにくいので、押さえフランジ３２を固定フランジ３１にスムーズに装着することができる。   Further, according to the flange mechanism 30 according to the embodiment, the guide portion 323a guides the tip end portion of the boss portion 311 into the mounting hole 321 and the escape portion 323c is difficult to contact the tip end portion of the boss portion 311. 32 can be smoothly mounted on the fixing flange 31.

また、実施形態に係るフランジ機構３０によれば、押さえフランジ３２が固定フランジ３１の軸方向に対して傾くことを曲面部３２３が許容するので、押さえフランジ３２が傾いた状態であっても、内周３２１ａやブレード装着部３１１ａに傷がつくことを抑えることができる。   Further, according to the flange mechanism 30 according to the embodiment, since the curved surface portion 323 allows the holding flange 32 to be inclined with respect to the axial direction of the fixed flange 31, even if the holding flange 32 is inclined, It is possible to suppress damage to the circumference 321a and the blade mounting portion 311a.

また、実施形態に係るフランジ機構３０によれば、例えば直径が３インチ以上となる大型の切削ブレード２０を挟持する場合、受けフランジ部３１３およびフランジ部３２２を切削ブレード２０に対応させて大型化すると、受けフランジ部３１３およびフランジ部３２２の強度を確保するために固定フランジ３１自体および押さえフランジ３２自体も大型化され、ボス部３１１および内周３２１ａが軸方向に長くなるので、内周３２１ａが曲面部３２３を有していない場合ではボス部３１１との間でかじりが発生しやすくなるが、曲面部３２３が軸方向断面円弧状に形成されているので、ボス部３１１との間でかじりが発生することを抑えることができる。   Further, according to the flange mechanism 30 according to the embodiment, for example, when a large cutting blade 20 having a diameter of 3 inches or more is sandwiched, the receiving flange portion 313 and the flange portion 322 are made larger corresponding to the cutting blade 20. In order to ensure the strength of the receiving flange portion 313 and the flange portion 322, the fixing flange 31 itself and the holding flange 32 themselves are also enlarged, and the boss portion 311 and the inner periphery 321a are elongated in the axial direction, so that the inner periphery 321a is a curved surface. In the case where the portion 323 is not provided, galling is likely to occur between the boss portion 311, but galling occurs between the curved surface portion 323 and the boss portion 311 since the curved surface portion 323 is formed in an arc shape in the axial direction. Can be suppressed.

なお、上記の実施形態では、切削ブレード２０は、数μｍから数十μｍの厚みに形成されていたが、これに限定されるものではなく、図７に示すように、支持稜部３２３ｂがブレード装着部３１１ａ上に配置された状態で、切削ブレード２０を挟持して固定できればよいので、例えば数百μｍの厚みに形成されていてもよい。これにより、例えば、被加工物の外周の縁に沿って切削する、いわゆるエッジトリミングにおいてフランジ機構３０を利用することができ、種々の厚みの切削ブレード２０をフランジ機構３０により挟持することができる。   In the above embodiment, the cutting blade 20 is formed to have a thickness of several μm to several tens of μm. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. Since it is only necessary that the cutting blade 20 can be clamped and fixed in a state of being disposed on the mounting portion 311a, it may be formed to a thickness of, for example, several hundred μm. Thereby, for example, the flange mechanism 30 can be used in so-called edge trimming in which cutting is performed along the outer peripheral edge of the workpiece, and the cutting blade 20 having various thicknesses can be held by the flange mechanism 30.

なお、押さえフランジ３２に曲面部３２３を設けることに代えて、ボス部３１１の基端部側に曲面部３２３のような突起を設けることも考えられる。しかしながら、このようにボス部３１１の先端部側を除く基端部側（つまり受けフランジ部３１３側）に突起を設けた場合では、切削ブレード２０の内周面２１ａが突起を挿通できる大きさになるため、厚みが数十μｍ程度に形成された薄い切削ブレード２０を固定フランジ３１のボス部３１１の基端部側に装着すると、ボス部３１１の基端部側の外周と内周面２１ａとの隙間が大きくなり、切削ブレード２０の軸心とボス部３１１の軸心との位置を合わせた状態で支持することができない。つまり、ボス部３１１の基端部側に突起を設けた場合では、薄く形成された切削ブレード２０を利用することができない。もしくは、突起に内周面２１ａが位置付けられる厚さの切削ブレード２０に使用が限られてしまう。   Instead of providing the curved surface portion 323 on the holding flange 32, it is also conceivable to provide a projection like the curved surface portion 323 on the base end side of the boss portion 311. However, when the protrusion is provided on the base end side (that is, the receiving flange part 313 side) excluding the tip end side of the boss part 311 as described above, the inner peripheral surface 21a of the cutting blade 20 can be inserted into the protrusion. Therefore, when the thin cutting blade 20 having a thickness of about several tens of μm is attached to the base end side of the boss portion 311 of the fixed flange 31, the outer periphery and the inner peripheral surface 21a of the boss portion 311 on the base end side. Thus, the gap cannot be supported in a state in which the axial center of the cutting blade 20 and the axial center of the boss 311 are aligned. That is, when the protrusion is provided on the base end side of the boss portion 311, the thin cutting blade 20 cannot be used. Alternatively, the use of the cutting blade 20 having a thickness that allows the inner peripheral surface 21a to be positioned on the protrusion is limited.

また、上記の実施形態では、ガイド部３２３ａは、軸方向断面円弧状に形成されていたが、これに限定されるものではなく、ボス部３１１の先端部を装着穴３２１内に向けてガイドすることができるものであればよいので、例えば軸方向断面テーパ状であってもよい。この場合、ガイド部３２３ａが押さえフランジ３２の傾きを許容することが好ましい。   In the above-described embodiment, the guide portion 323a is formed in an axial cross-section arc shape. However, the guide portion 323a is not limited to this, and the tip portion of the boss portion 311 is guided toward the mounting hole 321. As long as it can be used, it may be, for example, tapered in the axial direction. In this case, it is preferable that the guide portion 323a allows the holding flange 32 to tilt.

また、上記の実施形態では、曲面部３２３は、軸方向において内周３２１ａの一部であったが、軸方向において内周３２１ａの全周が双曲面状に形成されたものであってもよい。これにより、上記の実施形態と同様に、装着穴３２１とボス部３１１との間でかじりが発生することを抑えることができ、押さえフランジ３２を固定フランジ３１にスムーズに装着することができる。   In the above embodiment, the curved surface portion 323 is a part of the inner periphery 321a in the axial direction, but the entire periphery of the inner periphery 321a in the axial direction may be formed in a hyperboloid shape. . As a result, as in the above embodiment, the occurrence of galling between the mounting hole 321 and the boss portion 311 can be suppressed, and the pressing flange 32 can be smoothly mounted on the fixed flange 31.

１１ スピンドル
２０ 切削ブレード
２１ａ 内周面
２１１ａ 一方の側面
３０ フランジ機構
３１ 固定フランジ
３１１ ボス部
３１１ａ ブレード装着部
３１１ｄ 雄ねじ
３１２ スピンドル装着部
３１３ 受けフランジ部
３２ 押さえフランジ
３２１ 装着穴
３２１ａ 内周
３２３ａ ガイド部
３２３ｂ 支持稜部
３２３ｃ 逃げ部
３３ 固定ナット DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Spindle 20 Cutting blade 21a Inner peripheral surface 211a One side surface 30 Flange mechanism 31 Fixed flange 311 Boss part 311a Blade mounting part 311d Male screw 312 Spindle mounting part 313 Reception flange part 32 Holding flange 321 Mounting hole 321a Inner circumference 323a Guide part 323b Support Ridge 323c Escape 33 Locking nut

Claims (2)

回転可能に支持されたスピンドルの先端に固定され、被加工物を切削加工する環状の切削ブレードを挟持するフランジ機構であって、
先端部の外周に雄ねじが形成された円筒状のボス部と、前記ボス部の軸方向中間部に形成され、切削ブレードの内周面を支持するブレード装着部と、前記ボス部の軸方向後端部から半径方向外側に突出して形成され、前記切削ブレードの一方の側面を支持する受けフランジ部と、を備えた固定フランジと、
前記ボス部が挿入され内周が前記ブレード装着部に支持される装着穴を中心に有し、前記切削ブレードを前記固定フランジとで挟持する環状の押さえフランジと、
前記ボス部の前記雄ねじに螺合し、前記固定フランジに前記押さえフランジを固定する環状の固定ナットと、を有し、
前記切削ブレードを挟持する前記ボス部に挿入された前記押さえフランジの前記装着穴の内周は、
前記固定ナット側から前記切削ブレード側に向けて拡径し、前記押さえフランジの前記ボス部への挿入をガイドするガイド部と、
前記切削ブレード側から前記固定ナット側に向けて拡径する逃げ部と、
前記ガイド部と前記逃げ部との間に形成された支持稜部とを有し、
前記押さえフランジは、前記支持稜部が前記固定フランジの前記ブレード装着部に接触して支持されるフランジ機構。 A flange mechanism that is fixed to the tip of a spindle that is rotatably supported and sandwiches an annular cutting blade that cuts a workpiece,
A cylindrical boss portion having a male thread formed on the outer periphery of the tip portion, a blade mounting portion formed at an axially intermediate portion of the boss portion and supporting the inner peripheral surface of the cutting blade, and an axial rear of the boss portion A receiving flange formed to protrude radially outward from the end and supporting one side of the cutting blade; and a fixing flange,
An annular pressing flange having the mounting hole in which the boss portion is inserted and an inner periphery supported by the blade mounting portion, and sandwiching the cutting blade with the fixed flange;
An annular fixing nut that is screwed into the male screw of the boss portion and fixes the pressing flange to the fixing flange;
The inner periphery of the mounting hole of the pressing flange inserted into the boss portion that sandwiches the cutting blade is:
A guide portion that expands from the fixing nut side toward the cutting blade side and guides insertion of the pressing flange into the boss portion;
An escape portion that expands from the cutting blade side toward the fixed nut side;
A support ridge formed between the guide portion and the escape portion;
The pressing flange is a flange mechanism in which the support ridge portion is supported in contact with the blade mounting portion of the fixed flange. 前記ガイド部は、曲面に形成されている請求項１記載のフランジ機構。   The flange mechanism according to claim 1, wherein the guide portion is formed in a curved surface.
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