JP6846669B2 - Blade fixing device and dicing device - Google Patents

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Description

本発明は、ブレード固定装置及びダイシング装置に係り、特に、半導体ウェーハ等のワークに対して切削加工を行うダイシングブレードを回転軸に固定するブレード固定装置及びダイシング装置に関する。 The present invention relates to a blade fixing device and a dicing device, and more particularly to a blade fixing device and a dicing device for fixing a dicing blade for cutting a work such as a semiconductor wafer to a rotating shaft.

ダイシング装置は、半導体装置又は電子部品が形成されたウェーハ等のワークに対して切断又は溝入れ等の切削加工を行う。ダイシング装置は、スピンドルユニットの回転軸に装着されて高速で回転するダイシングブレードを有しており、回転するダイシングブレードの切刃部をワークに接触させて切削加工を行う。 The dicing device performs cutting processing such as cutting or grooving on a workpiece such as a wafer on which a semiconductor device or an electronic component is formed. The dicing device has a dicing blade that is mounted on the rotating shaft of the spindle unit and rotates at high speed, and the cutting edge portion of the rotating dicing blade is brought into contact with the work to perform cutting.

ダイシング装置に使用されるダイシングブレードとしては、特許文献１の如く、切刃部と支持部であるハブとが一体となったハブブレードが知られており、また、特許文献２の如く、ハブを備えておらずリング形状の切削刃のみで構成されたハブレスブレードが知られている。ハブレスブレードは、一対のリング形状のフランジ（挟持部材に相当）をナット（押圧部材に相当）によって締結することにより、一対のフランジにその両側面が押圧されて固定される。 As a dicing blade used in a dicing apparatus, a hub blade in which a cutting edge portion and a hub as a support portion are integrated is known as in Patent Document 1, and a hub is used as in Patent Document 2. A hubless blade is known that does not have a ring-shaped cutting blade and is composed only of a ring-shaped cutting blade. The hubless blade is fixed by pressing both side surfaces of the pair of flanges by fastening a pair of ring-shaped flanges (corresponding to a holding member) with nuts (corresponding to a pressing member).

一方、特許文献３には、回転軸に対するハブブレードの取付構造の一例が開示されている。特許文献３によれば、回転軸に台座が形成されており、この台座に形成されたフランジ面にハブブレードのブレード面（側面）が当接されてハブブレードが台座に固定されている。また、特許文献３には、台座のフランジ面が回転軸に対して垂直な面であることが開示されている。 On the other hand, Patent Document 3 discloses an example of a hub blade attachment structure to a rotating shaft. According to Patent Document 3, a pedestal is formed on the rotating shaft, and the blade surface (side surface) of the hub blade is brought into contact with the flange surface formed on the pedestal, and the hub blade is fixed to the pedestal. Further, Patent Document 3 discloses that the flange surface of the pedestal is a surface perpendicular to the rotation axis.

特開２００２−３４３７４６号公報JP-A-2002-343746 特開２００９−２７９６６２号公報JP-A-2009-279662 特開平６−２６２５１５号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 6-262515

ところで、ハブレスブレードは、一般に、挟持部材によって固定されたときの挟持部材から径方向への突き出し量が大きく設定されている。このため、特に難削材（リチウムタンタレート、サファイヤ又はアルチック等）をハブレスブレードによって切削加工した場合には、ハブレスブレードに大きな振れが生じてハブレスブレードがワーク上を蛇行し、結果としてカットラインが蛇行したり、最悪の場合にはハブレスブレードが破損したりするという虞があった。 By the way, in the hubless blade, generally, the amount of protrusion in the radial direction from the holding member when fixed by the holding member is set to be large. For this reason, especially when a difficult-to-cut material (lithium tantalate, sapphire, altic, etc.) is cut by a hubless blade, a large runout occurs in the hubless blade, and the hubless blade meanders on the work, resulting in this. There was a risk that the cut line would meander and, in the worst case, the hubless blade would be damaged.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ハブレスブレードのように挟持部材から径方向への突き出し量が多いダイシングブレードであっても、ダイシングブレードの振れを抑制してワークに対するダイシングブレードの蛇行を防止することができるブレード固定装置及びダイシング装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and even for a dicing blade having a large amount of protrusion in the radial direction from a holding member such as a hubless blade, the dicing blade is suppressed from swinging to the work. It is an object of the present invention to provide a blade fixing device and a dicing device capable of preventing meandering of a dicing blade.

本発明者が、ダイシングブレードに大きな振れが生じる原因を鋭意検証したところ、挟持部材のフランジ面の外周端側の面がダイシングブレードの側面に有効に押圧されておらず、フランジ面の内周端側の面のみがダイシングブレードの側面に押圧されていることが原因であることを突き止めた。 When the present inventor diligently verified the cause of the large runout of the dicing blade, the surface of the holding member on the outer peripheral end side of the flange surface was not effectively pressed against the side surface of the dicing blade, and the inner peripheral end of the flange surface was not pressed effectively. It was found that the cause was that only the side surface was pressed against the side surface of the dicing blade.

従来の挟持部材のフランジ面は、例えば特許文献３にも開示されているように、回転軸に対して垂直な面であることが一般的である。このようなフランジ面を押圧部材によってダイシングブレードの側面に押圧していくと、フランジ面のうちの内周端側の面がダイシングブレードの側面に押圧され、そしてフランジ面は、フランジ面の内周端からフランジ面の外周端に向けて、ダイシングブレードの側面から次第に離間するように弾性変形することが確認された。 As disclosed in Patent Document 3, for example, the flange surface of the conventional holding member is generally a surface perpendicular to the rotation axis. When such a flange surface is pressed against the side surface of the dicing blade by the pressing member, the surface on the inner peripheral end side of the flange surface is pressed against the side surface of the dicing blade, and the flange surface is the inner circumference of the flange surface. It was confirmed that the dicing blade was elastically deformed from the end toward the outer peripheral end of the flange surface so as to gradually separate from the side surface of the dicing blade.

このようなフランジ面の弾性変形により、ダイシングブレードの振れに大きく影響するダイシングブレードの突き出し量は、すなわち、挟持部材から径方向へのダイシングブレードの突き出し量は、フランジ面の外周端を起点とする短めの突き出し量ではなく、フランジ面の内周端を起点とする長めの突き出し量となる。このため、ダイシングブレードの突き出し量は、当初想定されていたフランジ面の外周端からの突き出し量よりも長くなるので、切削加工中のダイシングブレードに想定外の大きな振れが発生することを突き止めた。 The amount of protrusion of the dicing blade that greatly affects the runout of the dicing blade due to such elastic deformation of the flange surface, that is, the amount of protrusion of the dicing blade in the radial direction from the holding member starts from the outer peripheral end of the flange surface. It is not a short protrusion amount, but a long protrusion amount starting from the inner peripheral end of the flange surface. For this reason, the amount of protrusion of the dicing blade is longer than the amount of protrusion from the outer peripheral edge of the flange surface, which was initially assumed, and it was found that an unexpectedly large runout occurs in the dicing blade during cutting.

そこで、本発明のブレード固定装置は、本発明の目的を達成するために、回転軸に装着されたダイシングブレードを両側面から挟持する一対の挟持部材であって、ダイシングブレードの側面に押圧されるリング形状のフランジ面を有する一対の挟持部材と、一対の挟持部材の各々のフランジ面をダイシングブレードの側面に押圧する押圧部材と、を備えるブレード固定装置において、ダイシングブレードの側面に押圧される前の一対の挟持部材のフランジ面は、ダイシングブレードの外周端からダイシングブレードの中心に向けて、ダイシングブレードの側面から次第に離間していく傾斜面を備える。 Therefore, the blade fixing device of the present invention is a pair of holding members for holding the dicing blade mounted on the rotating shaft from both side surfaces in order to achieve the object of the present invention, and is pressed against the side surface of the dicing blade. In a blade fixing device including a pair of holding members having a ring-shaped flange surface and a pressing member for pressing each flange surface of the pair of holding members against the side surface of the dicing blade, before being pressed by the side surface of the dicing blade. The flange surfaces of the pair of holding members are provided with inclined surfaces that gradually separate from the side surface of the dicing blade from the outer peripheral end of the dicing blade toward the center of the dicing blade.

本発明のブレード固定装置によれば、挟持部材のフランジ面を押圧部材によってダイシングブレードの側面に押圧していくと、フランジ面が弾性変形していき、押圧完了時には、フランジ面の内周端からフランジ面の外周端に向けたフランジ面の全面又は略全面がダイシングブレードの側面に押圧される。又は、フランジ面の少なくとも外周端側の面がダイシングブレードの側面に押圧される。 According to the blade fixing device of the present invention, when the flange surface of the holding member is pressed against the side surface of the dicing blade by the pressing member, the flange surface is elastically deformed, and when the pressing is completed, from the inner peripheral end of the flange surface. The entire surface or substantially the entire surface of the flange surface toward the outer peripheral end of the flange surface is pressed against the side surface of the dicing blade. Alternatively, at least the outer peripheral end side surface of the flange surface is pressed against the side surface of the dicing blade.

したがって、本発明のブレード固定装置によれば、ダイシングブレードの振れに大きく影響するダイシングブレードの突き出し量が、フランジ面の外周端近傍を起点とした短めの突き出し量となる。これにより、本発明によれば、ハブレスブレードのように挟持部材から径方向への突き出し量が多いダイシングブレードであっても、ダイシングブレードの振れを抑制することができるので、ワークに対するダイシングブレードの蛇行を防止することができる。 Therefore, according to the blade fixing device of the present invention, the amount of protrusion of the dicing blade, which greatly affects the runout of the dicing blade, is a short amount of protrusion starting from the vicinity of the outer peripheral end of the flange surface. As a result, according to the present invention, even a dicing blade having a large amount of protrusion in the radial direction from the holding member, such as a hubless blade, can suppress the runout of the dicing blade. Meandering can be prevented.

本発明のブレード固定装置の一態様は、挟持部材のフランジ面の傾斜面は、曲面状に形成されることが好ましい。 In one aspect of the blade fixing device of the present invention, it is preferable that the inclined surface of the flange surface of the holding member is formed into a curved surface.

本発明の一態様によれば、フランジ面の傾斜面が曲面状であっても、フランジ面の内周端からフランジ面の外周端に向けたフランジ面の全面又は略全面をダイシングブレードの側面に押圧することができる。又は、フランジ面の内周端側の面を除く外周端側の面をダイシングブレードの側面に押圧することができる。 According to one aspect of the present invention, even if the inclined surface of the flange surface is curved, the entire surface or substantially the entire surface of the flange surface from the inner peripheral end of the flange surface to the outer peripheral end of the flange surface is formed on the side surface of the dicing blade. Can be pressed. Alternatively, the surface on the outer peripheral end side excluding the surface on the inner peripheral end side of the flange surface can be pressed against the side surface of the dicing blade.

本発明のブレード固定装置の一態様によれば、一対の挟持部材は、押圧部材によってフランジ面の全面がダイシングブレードの側面に押圧されることが好ましい。 According to one aspect of the blade fixing device of the present invention, it is preferable that the entire surface of the flange surface of the pair of holding members is pressed against the side surface of the dicing blade by the pressing member.

本発明の一態様によれば、フランジ面の全面がダイシングブレードの両側面を押圧するので、ダイシングブレードの振れを効果的に抑制することができる。 According to one aspect of the present invention, since the entire surface of the flange surface presses both side surfaces of the dicing blade, the runout of the dicing blade can be effectively suppressed.

また、本発明のブレード固定装置は、本発明の目的を達成するために、回転軸に装着されたダイシングブレードを両側面から挟持する一対の挟持部材であって、ダイシングブレードの側面に押圧されるリング形状のフランジ面を有する一対の挟持部材と、一対の挟持部材の各々のフランジ面をダイシングブレードの側面に押圧する押圧部材と、を備えるブレード固定装置において、ダイシングブレードの側面に押圧される前の一対の挟持部材のフランジ面は、ダイシングブレードの外周端からダイシングブレードの中心に向けて外側に凸状に湾曲した湾曲面を備える。 Further, the blade fixing device of the present invention is a pair of holding members for holding the dicing blade mounted on the rotating shaft from both side surfaces in order to achieve the object of the present invention, and is pressed against the side surface of the dicing blade. In a blade fixing device including a pair of holding members having a ring-shaped flange surface and a pressing member for pressing each flange surface of the pair of holding members against the side surface of the dicing blade, before being pressed by the side surface of the dicing blade. The flange surface of the pair of holding members includes a curved surface that is convexly curved outward from the outer peripheral end of the dicing blade toward the center of the dicing blade.

本発明のブレード固定装置によれば、挟持部材のフランジ面を押圧部材によってダイシングブレードの側面に押圧していくと、フランジ面が弾性変形していき、押圧完了時には、フランジ面の外周端と内周端との間の中央部がダイシングブレードの側面に押圧される。これにより、ダイシングブレード１０の突き出し量は、中央部を起点とする長さとなるので、フランジ面の内周端を起点とする従来の長めの突き出し量よりも短くなる。よって、本発明によれば、ハブレスブレードのように挟持部材から径方向への突き出し量が多いダイシングブレードであっても、ダイシングブレードの振れを抑制することができるので、ワークに対するダイシングブレードの蛇行を防止することができる。 According to the blade fixing device of the present invention, when the flange surface of the holding member is pressed against the side surface of the dicing blade by the pressing member, the flange surface is elastically deformed. The central portion between the peripheral end and the peripheral end is pressed against the side surface of the dicing blade. As a result, the amount of protrusion of the dicing blade 10 is a length starting from the central portion, and is therefore shorter than the conventional longer amount of protrusion starting from the inner peripheral end of the flange surface. Therefore, according to the present invention, even a dicing blade having a large amount of protrusion in the radial direction from the holding member, such as a hubless blade, can suppress the runout of the dicing blade, so that the dicing blade meanders with respect to the work. Can be prevented.

本発明のダイシング装置は、本発明の目的を達成するために、ワークを保持するワーク保持部と、回転軸を有するスピンドルユニットと、スピンドルユニットの回転軸に装着されるダイシングブレードと、スピンドルユニットの回転軸に装着される本発明のブレード固定装置であって、回転軸に装着されたダイシングブレードを回転軸に固定するブレード固定装置と、を備える。 In order to achieve the object of the present invention, the dicing apparatus of the present invention includes a work holding portion for holding a work, a spindle unit having a rotating shaft, a dicing blade mounted on the rotating shaft of the spindle unit, and a spindle unit. The blade fixing device of the present invention mounted on the rotating shaft includes a blade fixing device for fixing the dicing blade mounted on the rotating shaft to the rotating shaft.

本発明のダイシング装置によれば、ハブレスブレードのように挟持部材から径方向への突き出し量が多いダイシングブレードであっても、ダイシングブレードの振れを抑制することができるので、ワークに対するダイシングブレードの蛇行を防止することができる。 According to the dicing apparatus of the present invention, even a dicing blade having a large amount of protrusion in the radial direction from a holding member such as a hubless blade can suppress the runout of the dicing blade. Meandering can be prevented.

本発明によれば、ハブレスブレードのように挟持部材から径方向への突き出し量が多いダイシングブレードであっても、ダイシングブレードの振れを抑制することができるので、ワークに対するダイシングブレードの蛇行を防止することができる。 According to the present invention, even if the dicing blade has a large amount of protrusion in the radial direction from the holding member such as a hubless blade, the dicing blade can suppress the runout, so that the dicing blade can be prevented from meandering with respect to the work. can do.

実施形態に係るダイシング装置の斜視図Perspective view of the dicing apparatus according to the embodiment 加工部の構造を示した拡大斜視図Enlarged perspective view showing the structure of the machined part 第１実施形態のブレード固定装置の概略断面図Schematic cross-sectional view of the blade fixing device of the first embodiment フランジ部材のフランジ面の断面形状を示した拡大図Enlarged view showing the cross-sectional shape of the flange surface of the flange member ナットの締結完了時のフランジ面の変形状態を示した要部拡大断面図Enlarged cross-sectional view of the main part showing the deformed state of the flange surface when the nut is tightened. 従来のブレード固定装置の要部拡大断面図Enlarged sectional view of the main part of the conventional blade fixing device 第２実施形態のブレード固定装置の概略断面図Schematic cross-sectional view of the blade fixing device of the second embodiment 第３実施形態のブレード固定装置の概略断面図Schematic cross-sectional view of the blade fixing device of the third embodiment 第３実施形態におけるフランジ面の変形状態を示した要部拡大断面図An enlarged cross-sectional view of a main part showing a deformed state of the flange surface in the third embodiment. 第４実施形態のブレード固定装置の概略断面図Schematic cross-sectional view of the blade fixing device of the fourth embodiment 第４実施形態におけるフランジ面の変形状態を示した要部拡大断面図Enlarged sectional view of the main part showing the deformed state of the flange surface in the fourth embodiment. フランジ面に形成される条痕を示した説明図Explanatory drawing showing the streak formed on the flange surface

以下、添付図面に従って本発明に係るブレード固定装置及びダイシング装置の好ましい実施形態について詳説する。 Hereinafter, preferred embodiments of the blade fixing device and the dicing device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図１は、ダイシングブレード１０を備えたダイシング装置１２の外観を示す斜視図である。 FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of a dicing device 12 provided with a dicing blade 10.

ダイシング装置１２は、加工部１８を備える。加工部１８は、先端にダイシングブレード１０が取り付けられた一対の高周波モータ内蔵型のスピンドルユニット１４、１４と、ワークＷを吸着保持するワークテーブル（ワーク保持部）１６とを有する。また、ダイシング装置１２は、加工済みのワークＷをスピン洗浄する洗浄部２０と、多数枚のワークＷを収納したカセットが載置されるロードポート２２と、ワークＷを搬送する搬送装置２４等を備える。 The dicing device 12 includes a processing unit 18. The processing unit 18 has a pair of spindle units 14 and 14 with a built-in high-frequency motor to which a dicing blade 10 is attached to the tip, and a work table (work holding unit) 16 that attracts and holds the work W. Further, the dicing device 12 includes a cleaning unit 20 for spin-cleaning the processed work W, a load port 22 on which a cassette containing a large number of work Ws is placed, a transfer device 24 for transporting the work W, and the like. Be prepared.

図２は、加工部１８の構造を示した拡大斜視図である。 FIG. 2 is an enlarged perspective view showing the structure of the processed portion 18.

図２に示す加工部１８は、Ｘベース２５の一対のＸガイド２６、２６にガイドされたＸテーブル２８であって、リニアモータ３０によってＸ方向に駆動されるＸテーブル２８を有する。このＸテーブル２８には、θ方向に回転する回転テーブル３２を介してワークテーブル１６が設けられている。 The processing portion 18 shown in FIG. 2 is an X table 28 guided by a pair of X guides 26, 26 of the X base 25, and has an X table 28 driven in the X direction by a linear motor 30. The X table 28 is provided with a work table 16 via a rotary table 32 that rotates in the θ direction.

Ｘベース２５の上方には、Ｘベース２５を跨ぐようにＹベース３４が設けられる。Ｙベース３４の正面には、一対のＹガイド３６、３６にガイドされた一対のＹテーブル３８、３８であって、図示しない送り装置によってＹ方向に駆動される一対のＹテーブル３８、３８が設けられる。 Above the X base 25, a Y base 34 is provided so as to straddle the X base 25. A pair of Y tables 38, 38 guided by a pair of Y guides 36, 36, which are driven in the Y direction by a feeding device (not shown), are provided on the front surface of the Y base 34. Be done.

また、一対のＹテーブル３８、３８には、図示しない送り装置によってＺ方向に駆動されるＺテーブル４０、４０が設けられている。Ｚテーブル４０、４０には高周波モータ内蔵型のスピンドルユニット１４、１４が対向した状態で固定され、スピンドルユニット１４の回転軸１４Ａ（図３参照）にダイシングブレード１０、１０が対向した状態で固定されている。 Further, the pair of Y tables 38, 38 are provided with Z tables 40, 40 driven in the Z direction by a feeding device (not shown). Spindle units 14 and 14 with built-in high-frequency motors are fixed to the Z tables 40 and 40 in a state of facing each other, and dicing blades 10 and 10 are fixed to the rotating shaft 14A (see FIG. ing.

このように構成された加工部１８によれば、スピンドルユニット１４、１４はＹ方向にインデックス送りされるとともにＺ方向に切り込み送りされ、また、ワークテーブル１６はＸ方向に切削送りされる。 According to the processing unit 18 configured in this way, the spindle units 14 and 14 are index-fed in the Y direction and cut-fed in the Z direction, and the work table 16 is cut-fed in the X direction.

図３は、第１実施形態のブレード固定装置４２の概略断面図である。 FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the blade fixing device 42 of the first embodiment.

ブレード固定装置４２は、一対の挟持部材である第１フランジ部材４４及び第２フランジ部材４６と、押圧部材であるナット４８と、を備えている。ダイシングブレード１０は、第１フランジ部材４４と第２フランジ部材４６との間で狭持される。 The blade fixing device 42 includes a pair of holding members, a first flange member 44 and a second flange member 46, and a nut 48, which is a pressing member. The dicing blade 10 is sandwiched between the first flange member 44 and the second flange member 46.

ダイシングブレード１０は、リング形状に構成されたハブレスブレードである。ダイシングブレード１０の中央部には、ダイシングブレード１０を回転軸１４Ａ側に装着するための装着孔１０Ａが形成される。 The dicing blade 10 is a hubless blade configured in a ring shape. A mounting hole 10A for mounting the dicing blade 10 on the rotation shaft 14A side is formed in the central portion of the dicing blade 10.

ダイシングブレード１０は、ダイヤモンド砥粒を結合材によって結合させたものであり、ダイシングブレード１０の外周部の切刃部１０Ｂに、ダイヤモンド砥粒が散りばめられた形で存在している。 The dicing blade 10 is formed by bonding diamond abrasive grains with a binder, and the diamond abrasive grains are scattered on the cutting edge portion 10B on the outer peripheral portion of the dicing blade 10.

第１フランジ部材４４は、円盤状に形成され、その中央部に第１フランジ部材４４を回転軸１４Ａに装着するための装着孔４４Ａが形成される。また、第１フランジ部材４４の背面４４Ｂには、回転軸１４Ａの台座１５に当接される位置決め面４４Ｃが形成される。また、第１フランジ部材４４の正面４４Ｄには、装着孔４４Ａに連通された筒状部４４Ｅであって、ダイシングブレード１０の装着孔１０Ａが嵌合される筒状部４４Ｅが形成される。ダイシングブレード１０は、その装着孔１０Ａが筒状部４４Ｅに嵌合されることにより、筒状部４４Ｅを介して回転軸１４Ａに装着される。 The first flange member 44 is formed in a disk shape, and a mounting hole 44A for mounting the first flange member 44 on the rotating shaft 14A is formed in the central portion thereof. Further, a positioning surface 44C that comes into contact with the pedestal 15 of the rotating shaft 14A is formed on the back surface 44B of the first flange member 44. Further, on the front surface 44D of the first flange member 44, a tubular portion 44E which is a tubular portion 44E communicated with the mounting hole 44A and into which the mounting hole 10A of the dicing blade 10 is fitted is formed. The dicing blade 10 is mounted on the rotating shaft 14A via the tubular portion 44E by fitting the mounting hole 10A into the tubular portion 44E.

また、第１フランジ部材４４の正面４４Ｄには、ダイシングブレード１０の一方の側面１０Ｃに当接されるフランジ面４４Ｆが形成される。このフランジ面４４Ｆは、正面４４Ｄの外縁部に沿ったリング状の面であり、外周端ａと内周端ｂとを有する。フランジ面４４Ｆについては後述する。 Further, a flange surface 44F that comes into contact with one side surface 10C of the dicing blade 10 is formed on the front surface 44D of the first flange member 44. The flange surface 44F is a ring-shaped surface along the outer edge of the front surface 44D, and has an outer peripheral end a and an inner peripheral end b. The flange surface 44F will be described later.

第２フランジ部材４６は、円盤状に形成され、その中央部に第２フランジ部材４６を筒状部４４Ｅに装着するための装着孔４６Ａが形成される。また、第２フランジ部材４６の正面４６Ｂには、ダイシングブレード１０の他方の側面１０Ｄに当接されるフランジ面４６Ｆが形成される。このフランジ面４６Ｆは、第２フランジ部材４６が筒状部４４Ｅに装着された際に、第１フランジ部材４４のフランジ面４４Ｆに対向される。また、フランジ面４６Ｆは、正面４６Ｂの外縁部に沿ったリング状の面であり、フランジ面４４Ｆと同様に外周端ａと内周端ｂとを有する。フランジ面４６Ｆについても後述する。 The second flange member 46 is formed in a disk shape, and a mounting hole 46A for mounting the second flange member 46 on the tubular portion 44E is formed in the central portion thereof. Further, a flange surface 46F that comes into contact with the other side surface 10D of the dicing blade 10 is formed on the front surface 46B of the second flange member 46. The flange surface 46F faces the flange surface 44F of the first flange member 44 when the second flange member 46 is mounted on the tubular portion 44E. Further, the flange surface 46F is a ring-shaped surface along the outer edge portion of the front surface 46B, and has an outer peripheral end a and an inner peripheral end b like the flange surface 44F. The flange surface 46F will also be described later.

なお、第１及び第２フランジ部材４４、４６は、ダイシングブレード１０とともに高速回転されることから、慣性変形を防止するために軽量で剛性のあるチタン製であることが好ましい。 Since the first and second flange members 44 and 46 rotate at high speed together with the dicing blade 10, it is preferable that the first and second flange members 44 and 46 are made of lightweight and rigid titanium in order to prevent inertial deformation.

ナット４８は、筒状部４４Ｅの外周面に形成されたネジ部（不図示）に螺合されて、第２フランジ部材４６の背面４６Ｃに当接される。この状態からナット４８を締結していくと、ナット４８の軸力（押圧力）により第２フランジ部材４６が第１フランジ部材４４に向けて押圧付勢される。これにより、ダイシングブレード１０の側面Ｃが第１フランジ部材４４のフランジ面４４Ｆに押圧され、かつダイシングブレード１０の側面Ｄが第２フランジ部材４６のフランジ面４６Ｆに押圧される。これによって、ダイシングブレード１０が、第１及び第２フランジ部材４４、４６に挟持されて回転軸１４Ａに固定される。 The nut 48 is screwed into a screw portion (not shown) formed on the outer peripheral surface of the tubular portion 44E, and is brought into contact with the back surface 46C of the second flange member 46. When the nut 48 is fastened from this state, the second flange member 46 is pressed and urged toward the first flange member 44 by the axial force (pushing pressure) of the nut 48. As a result, the side surface C of the dicing blade 10 is pressed against the flange surface 44F of the first flange member 44, and the side surface D of the dicing blade 10 is pressed against the flange surface 46F of the second flange member 46. As a result, the dicing blade 10 is sandwiched between the first and second flange members 44 and 46 and fixed to the rotating shaft 14A.

次に、第１及び第２フランジ部材４４、４６のフランジ面４４Ｆ、４６Ｆについて説明する。 Next, the flange surfaces 44F and 46F of the first and second flange members 44 and 46 will be described.

図４は、ダイシングブレード１０を回転軸１４Ａに固定する前の第１及び第２フランジ部材４４、４６のフランジ面４４Ｆ、４６Ｆの断面形状の一例を示した拡大図である。 FIG. 4 is an enlarged view showing an example of the cross-sectional shape of the flange surfaces 44F and 46F of the first and second flange members 44 and 46 before fixing the dicing blade 10 to the rotating shaft 14A.

図４に示すように、フランジ面４４Ｆは、フランジ面４４Ｆの外周端ａから内周端ｂに向けて、ダイシングブレード１０の側面１０Ｃから次第に離間していく傾斜面として形成されている。つまり、フランジ面４４Ｆは、ダイシングブレード１０の外周端１０Ｅからダイシングブレード１０の中心１０Ｆに向けて、ダイシングブレード１０の側面１０Ｃから次第に離間していく傾斜面として形成されている。 As shown in FIG. 4, the flange surface 44F is formed as an inclined surface that gradually separates from the side surface 10C of the dicing blade 10 from the outer peripheral end a to the inner peripheral end b of the flange surface 44F. That is, the flange surface 44F is formed as an inclined surface that gradually separates from the side surface 10C of the dicing blade 10 from the outer peripheral end 10E of the dicing blade 10 toward the center 10F of the dicing blade 10.

フランジ面４６Ｆも同様に、フランジ面４６Ｆの外周端ａから内周端ｂに向けて、ダイシングブレード１０の側面１０Ｄから次第に離間していく傾斜面として形成されている。つまり、フランジ面４６Ｆは、ダイシングブレード１０の外周端１０Ｅからダイシングブレード１０の中心１０Ｆに向けて、ダイシングブレード１０の側面１０Ｄから次第に離間していく傾斜面として形成されている。 Similarly, the flange surface 46F is also formed as an inclined surface that gradually separates from the side surface 10D of the dicing blade 10 from the outer peripheral end a to the inner peripheral end b of the flange surface 46F. That is, the flange surface 46F is formed as an inclined surface that gradually separates from the side surface 10D of the dicing blade 10 from the outer peripheral end 10E of the dicing blade 10 toward the center 10F of the dicing blade 10.

第１実施形態のブレード固定装置４２によれば、第１及び第２フランジ部材４４、４６のフランジ面４４Ｆ、４６Ｆをナット４８（図３参照）の軸力によってダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧していくと、図４に示したように、ダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄから互いに離れていたフランジ面４４Ｆ、４６Ｆが、ナット４８の軸力によって互いに近づく方向に弾性変形していく。 According to the blade fixing device 42 of the first embodiment, the flange surfaces 44F and 46F of the first and second flange members 44 and 46 are attached to the side surfaces 10C and 10D of the dicing blade 10 by the axial force of the nut 48 (see FIG. 3). As the pressure is applied, as shown in FIG. 4, the flange surfaces 44F and 46F, which are separated from the side surfaces 10C and 10D of the dicing blade 10, are elastically deformed in the direction of approaching each other due to the axial force of the nut 48.

そして、図５に示すナット４８の締結完了時には、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの内周端ｂから外周端ａに向けたフランジ面４４Ｆ、４６Ｆの全面又は略全面がダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧される。又は、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの少なくとも外周端ａ側の面がダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧される。 When the nut 48 shown in FIG. 5 is fastened, the entire surface or substantially the entire surface of the flange surfaces 44F and 46F from the inner peripheral end b of the flange surfaces 44F and 46F toward the outer peripheral end a becomes the side surfaces 10C and 10D of the dicing blade 10. Be pressed. Alternatively, at least the outer peripheral end a side of the flange surfaces 44F and 46F is pressed against the side surfaces 10C and 10D of the dicing blade 10.

ここで、従来例と比較する。図６は、従来のブレード固定装置１の要部拡大断面図である。図６には、ナット２の締結完了時における、第１及び第２フランジ部材３、４のフランジ面３Ａ、４Ａの変形状態が示されている。 Here, a comparison with a conventional example is made. FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the conventional blade fixing device 1. FIG. 6 shows the deformed states of the flange surfaces 3A and 4A of the first and second flange members 3 and 4 when the nut 2 has been fastened.

従来の第１及び第２フランジ部材３、４のフランジ面３Ａ、４Ａは、ダイシングブレード６の側面６Ａ、６Ｂに押圧される前状態で、回転軸（不図示）の軸５に対して垂直な面であることが一般的である。このようなフランジ面３Ａ、４Ａをナット２の軸力によってダイシングブレード６の側面６Ａ、６Ｂに押圧していくと、フランジ面３Ａ、４Ａのうちの内周端ｂ側の面のみがダイシングブレード６の側面６Ａ、６Ｂに押圧され、そしてフランジ面３Ａ、４Ａは、内周端ｂから外周端ａに向けて、ダイシングブレード６の側面６Ａ、６Ｂから次第に離間するように弾性変形していく。 The flange surfaces 3A and 4A of the conventional first and second flange members 3 and 4 are perpendicular to the axis 5 of the rotation axis (not shown) before being pressed by the side surfaces 6A and 6B of the dicing blade 6. It is generally a surface. When such flange surfaces 3A and 4A are pressed against the side surfaces 6A and 6B of the dicing blade 6 by the axial force of the nut 2, only the surface of the flange surfaces 3A and 4A on the inner peripheral end b side is the dicing blade 6. The flange surfaces 3A and 4A are elastically deformed from the inner peripheral end b to the outer peripheral end a so as to be gradually separated from the side surfaces 6A and 6B of the dicing blade 6.

このようなフランジ面３Ａ、４Ａの弾性変形により、ダイシングブレード６の振れに大きく影響するフランジ部材３、４から径方向へのダイシングブレード６の突き出し量ｄは、フランジ面３Ａ、４Ａの外周端ａの近傍を起点とする短めの突き出し量ｃ（図５参照）ではなく、フランジ面３Ａ、４Ａの内周端ｂを起点とする長めの突き出し量となる。このため、ダイシングブレード６の突き出し量ｄは、当初想定されていた突き出し量ｃ（図５参照）よりも長くなるので、切削加工中のダイシングブレード６に想定外の大きな振れが発生した。 The amount d of the dicing blade 6 protruding in the radial direction from the flange members 3 and 4, which greatly affects the runout of the dicing blade 6 due to such elastic deformation of the flange surfaces 3A and 4A, is the outer peripheral end a of the flange surfaces 3A and 4A. It is not a short protrusion amount c (see FIG. 5) starting from the vicinity of the flange surface 3A, but a long protrusion amount starting from the inner peripheral end b of the flange surfaces 3A and 4A. Therefore, the protrusion amount d of the dicing blade 6 is longer than the initially expected protrusion amount c (see FIG. 5), so that an unexpectedly large runout occurs in the dicing blade 6 during cutting.

上記の従来例に対し、第１実施形態のブレード固定装置４２は、図４の如く、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆを、ダイシングブレード１０の外周端１０Ｅからダイシングブレード１０の中心１０Ｆに向けて、ダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄから次第に離間していく傾斜面として形成したので、図５の如く、ナット４８の締結完了時には、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの全面又は略全面がダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧される。又は、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの少なくとも外周端ａの面がダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧される。 In contrast to the above conventional example, in the blade fixing device 42 of the first embodiment, as shown in FIG. 4, the flange surfaces 44F and 46F are directed from the outer peripheral end 10E of the dicing blade 10 toward the center 10F of the dicing blade 10. Since it was formed as an inclined surface gradually separated from the side surfaces 10C and 10D of the dicing blade 10, the entire surface or substantially the entire surface of the flange surfaces 44F and 46F is the side surfaces 10C and 10D of the dicing blade 10 when the nut 48 is fastened as shown in FIG. Is pressed against. Alternatively, at least the outer peripheral end a surface of the flange surfaces 44F and 46F is pressed against the side surfaces 10C and 10D of the dicing blade 10.

したがって、第１実施形態によれば、ダイシングブレード１０の振れに大きく影響するダイシングブレード１０の突き出し量ｃが、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの外周端ａの近傍を起点とした短めの突き出し量となる。これにより、第１及び第２フランジ部材４４、４６から径方向への突き出し量が多いハブレス型のダイシングブレード１０であっても、ダイシングブレード１０の振れを効果的に抑制することができ、これによって、ワークＷに対するダイシングブレード１０の蛇行を防止することができる。 Therefore, according to the first embodiment, the protrusion amount c of the dicing blade 10, which greatly affects the runout of the dicing blade 10, is a short protrusion amount starting from the vicinity of the outer peripheral ends a of the flange surfaces 44F and 46F. As a result, even in the hubless type dicing blade 10 having a large amount of protrusion in the radial direction from the first and second flange members 44 and 46, the runout of the dicing blade 10 can be effectively suppressed. , The meandering of the dicing blade 10 with respect to the work W can be prevented.

なお、図３の如く、回転軸１４Ａの軸１４Ｃに直交する方向に対するフランジ面４４Ｆ、４６Ｆの傾斜角度α（図４参照）は、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの変形要因である第１及び第２フランジ部材４４、４６の回転時の慣性力、第１及び第２フランジ部材４４、４６の材質、形状、及びナット４８の軸力等に応じて適宜調整されることが好ましい。 As shown in FIG. 3, the inclination angles α (see FIG. 4) of the flange surfaces 44F and 46F with respect to the direction orthogonal to the axis 14C of the rotating shaft 14A are the first and second flanges that are the deformation factors of the flange surfaces 44F and 46F. It is preferable to appropriately adjust the inertial force during rotation of the members 44 and 46, the material and shape of the first and second flange members 44 and 46, the axial force of the nut 48, and the like.

図７は、第２実施形態に係るブレード固定装置５０の要部拡大断面図である。なお、図５に示した第１実施形態のブレード固定装置４２と同一若しくは類似の部材については同一の符号を付してその説明は省略する。 FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the blade fixing device 50 according to the second embodiment. The same or similar members as those of the blade fixing device 42 of the first embodiment shown in FIG. 5 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

図５に示したブレード固定装置４２と図７のブレード固定装置５０とは、フランジ面の形状が異なる。図５のフランジ面４４Ｆ、４６Ｆは、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの外周端ａから内周端ｂに向けた全ての面を傾斜面として形成している。これに対して、図７のフランジ面４４Ｇ、４６Ｇは、外周端ａ側の面４４Ｈ、４６Ｈがダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに対して平行な面として形成され、面４４Ｈ、４６Ｈを除く内周端ｂ側の面４４Ｉ、４６Ｉがフランジ面４４Ｆ、４６Ｆ（図４参照）と同様の傾斜面として形成されている。すなわち、第２実施形態のブレード固定装置５０は、フランジ面４４Ｇ、４６Ｇの一部に傾斜面である面４４Ｉ、４６Ｉが備えられている。 The shape of the flange surface is different between the blade fixing device 42 shown in FIG. 5 and the blade fixing device 50 shown in FIG. The flange surfaces 44F and 46F in FIG. 5 are formed with all surfaces of the flange surfaces 44F and 46F from the outer peripheral end a to the inner peripheral end b as inclined surfaces. On the other hand, in the flange surfaces 44G and 46G of FIG. 7, the surfaces 44H and 46H on the outer peripheral end a side are formed as surfaces parallel to the side surfaces 10C and 10D of the dicing blade 10, and the surfaces 44H and 46H are excluded. The surfaces 44I and 46I on the peripheral end b side are formed as inclined surfaces similar to the flange surfaces 44F and 46F (see FIG. 4). That is, the blade fixing device 50 of the second embodiment is provided with surfaces 44I and 46I which are inclined surfaces in a part of the flange surfaces 44G and 46G.

このように構成されたブレード固定装置５０であっても、ダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄから互いに離れていた面４４Ｉ、４６Ｉが、ナット４８（図３参照）の軸力によって互いに近づく方向に弾性変形していき、ナット４８の締結完了時には、面４４Ｉ、４６Ｉがダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧される。 Even in the blade fixing device 50 configured in this way, the surfaces 44I and 46I separated from the side surfaces 10C and 10D of the dicing blade 10 are elastic in the direction of approaching each other due to the axial force of the nut 48 (see FIG. 3). As the nut 48 is deformed, the surfaces 44I and 46I are pressed against the side surfaces 10C and 10D of the dicing blade 10.

また、ブレード固定装置５０によれば、外周端ａ側の面４４Ｈ、４６Ｈがダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄと平行な面であり、内周端ｂ側の面４４Ｉ、４６Ｉが傾斜面であるので、外周端ａ側に必要な剛性を確保しつつ、外周端ａ側の面４４Ｈ、４６Ｈでダイシングブレード１０を挟持することができる。 Further, according to the blade fixing device 50, the surfaces 44H and 46H on the outer peripheral end a side are surfaces parallel to the side surfaces 10C and 10D of the dicing blade 10, and the surfaces 44I and 46I on the inner peripheral end b side are inclined surfaces. Therefore, the dicing blade 10 can be sandwiched between the surfaces 44H and 46H on the outer peripheral end a side while ensuring the necessary rigidity on the outer peripheral end a side.

なお、第２実施形態のブレード固定装置５０の変形例として、外周端ａ側の面４４Ｈ、４６Ｈの形状を、外側に突出した円弧状面とすることもできる。 As a modification of the blade fixing device 50 of the second embodiment, the shapes of the surfaces 44H and 46H on the outer peripheral end a side may be made into an arcuate surface protruding outward.

図８は、第３実施形態に係るブレード固定装置５２の要部拡大断面図である。なお、図５に示した第１実施形態のブレード固定装置４２と同一若しくは類似の部材については同一の符号を付してその説明は省略する。 FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the blade fixing device 52 according to the third embodiment. The same or similar members as those of the blade fixing device 42 of the first embodiment shown in FIG. 5 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

図５に示したブレード固定装置４２と図８のブレード固定装置５２とは、フランジ面の形状が異なる。図５のフランジ面４４Ｆ、４６Ｆの傾斜面は、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの外周端ａから内周端ｂに向けたフラットな面である。これに対して、図８のフランジ面４４Ｊ、４６Ｊの傾斜面は、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの外周端ａから内周端ｂに向けて曲面状に形成されている。 The shape of the flange surface is different between the blade fixing device 42 shown in FIG. 5 and the blade fixing device 52 shown in FIG. The inclined surfaces of the flange surfaces 44F and 46F in FIG. 5 are flat surfaces from the outer peripheral end a to the inner peripheral end b of the flange surfaces 44F and 46F. On the other hand, the inclined surfaces of the flange surfaces 44J and 46J in FIG. 8 are formed in a curved surface shape from the outer peripheral end a to the inner peripheral end b of the flange surfaces 44F and 46F.

図９は、図８のブレード固定装置５２において、ナット４８（図３参照）の締結完了時のフランジ面４４Ｊ、４６Ｊの変形状態を示した要部拡大断面図である。 FIG. 9 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing a deformed state of the flange surfaces 44J and 46J when the nut 48 (see FIG. 3) has been fastened in the blade fixing device 52 of FIG.

図９の如く、第１及び第２フランジ部材４４、４６のフランジ面４４Ｊ、４６Ｊの傾斜面が曲面状であっても、フランジ面４４Ｊ、４６Ｊの内周端ｂから外周端ａに向けたフランジ面４４Ｊ、４６Ｊの全面又は略全面をダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧することができる。又は、フランジ面４４Ｊ、４６Ｊの内周端ｂ側の面を除く外周端ａ側の面をダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧することができる。 As shown in FIG. 9, even if the inclined surfaces of the flange surfaces 44J and 46J of the first and second flange members 44 and 46 are curved, the flanges of the flange surfaces 44J and 46J from the inner peripheral end b to the outer peripheral end a. The entire surface or substantially the entire surface of the surfaces 44J and 46J can be pressed against the side surfaces 10C and 10D of the dicing blade 10. Alternatively, the surface of the flange surfaces 44J and 46J on the outer peripheral end a side excluding the surface on the inner peripheral end b side can be pressed against the side surfaces 10C and 10D of the dicing blade 10.

なお、フランジ面４４Ｊ、４６Ｊの曲率半径r（図７参照）は、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの変形要因である第１及び第２フランジ部材４４、４６の回転時の慣性力、第１及び第２フランジ部材４４、４６の材質、形状、及びナット４８の軸力等に応じて適宜調整されることが好ましい。 The radius of curvature r of the flange surfaces 44J and 46J (see FIG. 7) is the inertial force during rotation of the first and second flange members 44 and 46, which are the deformation factors of the flange surfaces 44F and 46F, and the first and second flange surfaces. It is preferable that the flange members 44 and 46 are appropriately adjusted according to the material and shape of the flange members 44 and 46, the axial force of the nut 48 and the like.

図１０は、第４実施形態に係るブレード固定装置５４の要部拡大断面図である。なお、図５に示した第１実施形態のブレード固定装置４２と同一若しくは類似の部材については同一の符号を付してその説明は省略する。 FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the blade fixing device 54 according to the fourth embodiment. The same or similar members as those of the blade fixing device 42 of the first embodiment shown in FIG. 5 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

図５に示したブレード固定装置４２と図１０のブレード固定装置５４とは、フランジ面の形状が異なる。図５のフランジ面４４Ｆ、４６Ｆは、ダイシングブレード１０の外周端１０Ｅ（図４参照）からダイシングブレード１０の中心１０Ｆに向けて、ダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄから次第に離間していくフラットな面である。これに対して、図１０のフランジ面４４Ｋ、４６Ｋは、ダイシングブレード１０の外周端１０Ｅから中心１０Ｆに向けて外側に凸状に湾曲した湾曲面である。 The shape of the flange surface is different between the blade fixing device 42 shown in FIG. 5 and the blade fixing device 54 shown in FIG. The flange surfaces 44F and 46F in FIG. 5 are flat surfaces gradually separated from the side surfaces 10C and 10D of the dicing blade 10 from the outer peripheral end 10E (see FIG. 4) of the dicing blade 10 toward the center 10F of the dicing blade 10. Is. On the other hand, the flange surfaces 44K and 46K in FIG. 10 are curved surfaces that are convexly curved outward from the outer peripheral end 10E of the dicing blade 10 toward the center 10F.

図１１は、図１０のブレード固定装置５４において、ナット４８（図３参照）の締結完了時のフランジ面４４Ｋ、４６Ｋの変形状態を示した要部拡大断面図である。 FIG. 11 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing the deformed states of the flange surfaces 44K and 46K when the nut 48 (see FIG. 3) has been fastened in the blade fixing device 54 of FIG.

図１１の如く、第１及び第２フランジ部材４４、４６のフランジ面４４Ｋ、４６Ｋが湾曲面なので、フランジ面４４Ｋ、４６Ｋの外周端ａと内周端ｂとの間の中央部ｅがダイシングブレード１０の側面１０Ｃ、１０Ｄに押圧される。よって、ダイシングブレード１０の突き出し量ｆは、中央部ｅを起点とするものなので、図６に示した従来の突き出し量ｄよりも短くなる。 As shown in FIG. 11, since the flange surfaces 44K and 46K of the first and second flange members 44 and 46 are curved surfaces, the central portion e between the outer peripheral end a and the inner peripheral end b of the flange surfaces 44K and 46K is the dicing blade. It is pressed by the side surfaces 10C and 10D of 10. Therefore, since the protrusion amount f of the dicing blade 10 starts from the central portion e, it is shorter than the conventional protrusion amount d shown in FIG.

よって、フランジ面４４Ｋ、４６Ｋが湾曲面であるブレード固定装置５４であっても、ダイシングブレード１０の振れを抑制することができるので、ワークに対するダイシングブレード１０の蛇行を防止することができる。 Therefore, even in the blade fixing device 54 in which the flange surfaces 44K and 46K are curved surfaces, the dicing blade 10 can be suppressed from swinging, so that the dicing blade 10 can be prevented from meandering with respect to the work.

なお、フランジ面４４Ｋ、４６Ｋの曲率半径r（図７参照）は、フランジ面４４Ｆ、４６Ｆの変形要因である第１及び第２フランジ部材４４、４６の回転時の慣性力、第１及び第２フランジ部材４４、４６材質、形状、ナット４８の軸力等に応じて適宜調整されることが好ましい。 The radius of curvature r of the flange surfaces 44K and 46K (see FIG. 7) is the inertial force during rotation of the first and second flange members 44 and 46, which are the deformation factors of the flange surfaces 44F and 46F, and the first and second flange surfaces. It is preferable that the flange members 44 and 46 are appropriately adjusted according to the material, shape, axial force of the nut 48, and the like.

ところで、ダイシングブレード１０に対する第１及び第２フランジ部材４４、４６の保持力を高めるための手段として、第１及び第２フランジ部材４４、４６のフランジ面に条痕を形成することが考えられる。この場合、＃４００〜＃８００レベルの砥石をフランジ面に当てて、挟持部材を回転させながらフランジ面を研削した場合に生じる条痕が有効となる。 By the way, as a means for increasing the holding force of the first and second flange members 44 and 46 with respect to the dicing blade 10, it is conceivable to form streaks on the flange surfaces of the first and second flange members 44 and 46. In this case, the streaks generated when a # 400 to # 800 level grindstone is applied to the flange surface and the flange surface is ground while rotating the holding member are effective.

図１２には、第１フランジ部材４４のフランジ面４４Ｆに形成される上述の条痕ｆが示されている。 FIG. 12 shows the above-mentioned streak f formed on the flange surface 44F of the first flange member 44.

図１２の如くフランジ面４４Ｆに条痕ｆを形成することにより、特にフランジ面４４Ｆとダイシングブレード１０の側面１０Ｃ（図３参照）との接触が部分的になる場合には、条痕ｆがダイシングブレード１０の側面１０Ｃに噛み込むことで、第１フランジ部材４４に対するダイシングブレード１０の空転を防止することができる。なお、ダイシング装置内で行われるフランジ面４４Ｆの端面修正作業においては、ステンレスよりもチタンの方が硬度が低いので、条痕ｆを容易に得ることができる。 By forming the streak f on the flange surface 44F as shown in FIG. 12, the streak f is dicing, especially when the contact between the flange surface 44F and the side surface 10C of the dicing blade 10 (see FIG. 3) is partial. By engaging with the side surface 10C of the blade 10, it is possible to prevent the dicing blade 10 from idling with respect to the first flange member 44. In the end face correction work of the flange surface 44F performed in the dicing apparatus, titanium has a lower hardness than stainless steel, so that the streak f can be easily obtained.

１０…ダイシングブレード、１２…ダイシング装置、１４…スピンドルユニット、１４Ａ…回転軸、１５…台座、１６…ワークテーブル、１８…加工部、２０…洗浄部、２２…ロードポート、２４…搬送装置、２５…Ｘベース、２６…Ｘガイド、２８…Ｘテーブル、３０…リニアモータ、３２…回転テーブル、３４…Ｙベース、３６…Ｙガイド、３８…Ｙテーブル、４０…Ｚテーブル、４２…ブレード固定装置、４４…第１フランジ部材、４６…第２フランジ部材、４４Ｆ…フランジ面、４６Ｆ…フランジ面、４４Ｇ…フランジ面、４６Ｇ…フランジ面、４４Ｊ…フランジ面、４６Ｊ…フランジ面、４４Ｋ…フランジ面、４６Ｋ…フランジ面、４８…ナット、５０…ブレード固定装置、５２…ブレード固定装置、５４…ブレード固定装置 10 ... Dying blade, 12 ... Dying device, 14 ... Spinnge unit, 14A ... Rotating shaft, 15 ... Pedestal, 16 ... Work table, 18 ... Machining part, 20 ... Cleaning part, 22 ... Load port, 24 ... Conveying device, 25 ... X base, 26 ... X guide, 28 ... X table, 30 ... Linear motor, 32 ... Rotating table, 34 ... Y base, 36 ... Y guide, 38 ... Y table, 40 ... Z table, 42 ... Blade fixing device, 44 ... 1st flange member, 46 ... 2nd flange member, 44F ... Flange surface, 46F ... Flange surface, 44G ... Flange surface, 46G ... Flange surface, 44J ... Flange surface, 46J ... Flange surface, 44K ... Flange surface, 46K ... Flange surface, 48 ... nut, 50 ... blade fixing device, 52 ... blade fixing device, 54 ... blade fixing device

Claims (4)

回転軸に装着されたダイシングブレードを両側面から挟持する一対の挟持部材であって、前記ダイシングブレードの側面に押圧されるリング形状のフランジ面を有する前記一対の挟持部材と、
前記一対の挟持部材の各々の前記フランジ面を前記ダイシングブレードの側面に押圧する押圧部材と、
を備えるブレード固定装置において、
前記ダイシングブレードの側面に押圧される前の前記一対の挟持部材の前記フランジ面は、前記ダイシングブレードの外周端から前記ダイシングブレードの中心に向けて、前記ダイシングブレードの側面から次第に離間していく傾斜面を備え、
前記挟持部材のフランジ面の前記傾斜面は、曲面状に形成される、ブレード固定装置。 A pair of holding members for holding the dicing blade mounted on the rotating shaft from both side surfaces, and the pair of holding members having a ring-shaped flange surface pressed against the side surface of the dicing blade.
A pressing member that presses the flange surface of each of the pair of holding members against the side surface of the dicing blade, and
In the blade fixing device including
The flange surface of the pair of holding members before being pressed against the side surface of the dicing blade is inclined so as to gradually separate from the side surface of the dicing blade from the outer peripheral end of the dicing blade toward the center of the dicing blade. With a face ,
A blade fixing device in which the inclined surface of the flange surface of the holding member is formed in a curved surface. 前記一対の挟持部材は、前記押圧部材によって前記フランジ面の全面が前記ダイシングブレードの側面に押圧される、請求項１に記載のブレード固定装置。 The blade fixing device according to claim 1, wherein the entire surface of the flange surface of the pair of holding members is pressed against the side surface of the dicing blade by the pressing member. 回転軸に装着されたダイシングブレードを両側面から挟持する一対の挟持部材であって、前記ダイシングブレードの側面に押圧されるリング形状のフランジ面を有する前記一対の挟持部材と、
前記一対の挟持部材の各々の前記フランジ面を前記ダイシングブレードの側面に押圧する押圧部材と、
を備えるブレード固定装置において、
前記ダイシングブレードの側面に押圧される前の前記一対の挟持部材の前記フランジ面は、前記ダイシングブレードの外周端から前記ダイシングブレードの中心に向けて外側に凸状に湾曲した湾曲面を備える、ブレード固定装置。 A pair of holding members for holding the dicing blade mounted on the rotating shaft from both side surfaces, and the pair of holding members having a ring-shaped flange surface pressed against the side surface of the dicing blade.
A pressing member that presses the flange surface of each of the pair of holding members against the side surface of the dicing blade, and
In the blade fixing device including
The flange surface of the pair of holding members before being pressed against the side surface of the dicing blade includes a curved surface that is convexly curved outward from the outer peripheral end of the dicing blade toward the center of the dicing blade. Fixing device. ワークを保持するワーク保持部と、
回転軸を有するスピンドルユニットと、
前記スピンドルユニットの前記回転軸に装着されるダイシングブレードと、
前記スピンドルユニットの前記回転軸に装着される請求項１から３のいずれか１項に記載のブレード固定装置であって、前記回転軸に装着された前記ダイシングブレードを前記回転軸に固定する前記ブレード固定装置と、
を備える、ダイシング装置。
The work holding part that holds the work and
A spindle unit with a rotating shaft and
A dicing blade mounted on the rotating shaft of the spindle unit and
The blade fixing device according to any one of claims 1 to 3 , which is mounted on the rotating shaft of the spindle unit, and fixes the dicing blade mounted on the rotating shaft to the rotating shaft. Fixing device and
A dicing device.
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