KR20180006936A - 전자 컴포넌트를 몰딩하기 위한 모듈식 시스템 및 이러한 모듈식 시스템을 조립하기 위한 부품-키트 - Google Patents

전자 컴포넌트를 몰딩하기 위한 모듈식 시스템 및 이러한 모듈식 시스템을 조립하기 위한 부품-키트 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 모듈식 시스템에 관한 것이고, 이는, 전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 프레스 모듈; 몰딩될 상기 전자 컴포넌트들을 카세트로부터 프레스 모듈로 로딩하기 위한 로더 모듈; 및 다른 시스템 모듈들 각각을 적어도 부분적으로 제어하도록 구성되는 서비스 모듈을 포함하는 적어도 3개의 별개의 시스템을 포함한다. 본 발명은 또한 이러한 모듈식 시스템을 조립하기 위한 부품-키트에 관한 것이다.

Description

전자 컴포넌트를 몰딩하기 위한 모듈식 시스템 및 이러한 모듈식 시스템을 조립하기 위한 부품-키트
본 발명은 전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 생산 모듈들의 모듈식 시스템에 관한 것이다. 본 발명은 또한 이러한 모듈식 시스템을 조립하기 위한 부품-키트에 관한 것이다.
캐리어 상에 장착된 전자 컴포넌트들의 몰딩은 전자 컴포넌트들을 적어도 부분적으로 캡슐화하는 공정을 지칭하고, 보다 구체적으로는 통상적으로 반도체 회로들(칩들)/집적 회로들(IC들)의 몰딩에 관한 것이다. 종래 기술에 따르면, 전자 컴포넌트들의 몰딩은 적어도 2 개의 협력하는 몰드 부품들이 제공된 몰딩 프레스에서 발생한다. 몰드 부품들 중 적어도 하나에 하나 또는 복수의 몰드 캐비티들이 리세스된다. 전자 컴포넌트들은 캐리어에 의해 유지되며, 캐리어는 예를 들어 비제한적으로 리드 프레임, 보드(BGA 형) 또는 웨이퍼와 같은 상이한 형상들을 가질 수 있다. 캡슐화를 위한 전자 컴포넌트들을 갖는 캐리어는, 서로를 향해 이동되는 몰드 부품들 사이에 배치되어, 예를 들어, 이들은 캐리어를 클램핑한다. 통상적으로 가열된 액체 몰딩 재료는, 예를 들어, 트랜스퍼 몰딩 재료(또한 에폭시 또는 수지로 지칭됨)에 의해 또는 몰드 부품들의 폐쇄 전에 몰드에 이미 배치된 몰딩 재료를 압축함으로써 리세스들 또는 몰드 캐비티들로 프레스된다. 몰드 캐비티/캐비티들에서 성형 재료의 적어도 부분적(화학적) 경화 이후, 몰드 부품들은 이격되고, 캡슐화된 전자 컴포넌트들을 갖는 캐리어는 캡슐화 프레스로부터 제거된다. 후속 프로세싱 단계에서, 캡슐화된 제품은 예를 들어 톱질, 레이저 커팅 및/또는 워터 커팅에 의해 서로 분리될 수 있다. 적어도 부분적으로 커버된 전자 컴포넌트들은 다양한 애플리케이션들에서 사용될 수 있다. 이러한 몰딩 방법은 산업적으로 대규모로 실시되며 전자 컴포넌트들의 잘 제어된 몰딩을 가능하게 한다. 전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 몰딩 장비는 몇몇 레벨들의 자동화를 알고 있으며 또한 시장에서 입수가능한 몰딩 장비의 용량은 상당히 상이하다.
본 발명은, 전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 몰딩 장비의 기능 및 용량의 효율적인 변경 기회를 제공하는, 전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 생산 모듈들의 모듈식 시스템을 제공하는 목적을 갖는다.
이러한 목적은, 적어도 3개의 별개의 시스템 모듈을 포함하는, 전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 모듈식 시스템으로 달성되며, 상기 시스템 모듈은, 전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 적어도 하나의 프레스 모듈; 몰딩될 전자 컴포넌트들을 카세트(cassette)로부터 프레스 모듈로 로딩하기 위한 적어도 하나의 로더 모듈; 및 다른 시스템 모듈들 각각을 적어도 부분적으로 제어하도록 구성되는 지능형 전자 제어 시스템을 포함하는 서비스 모듈을 포함하고, 시스템 모듈들에는 인접한 시스템 모듈들의 상호 배향 및 고정을 위한 협력 커플링들이 제공되고, 시스템 모듈들의 협력 커플링들은 인접한 시스템 모듈들을 인라인으로 배향 및 고정시키도록 구성되고, 즉, 시스템 모듈들은 일렬로 위치되는데, 즉, 하나가 다른 하나의 뒤에 또는 서로의 다음에 위치된다. 모듈식 시스템은 추가로, 적어도 하나의 프레스 모듈의 협력 커플링들이 기준점, 예를 들어, 인접한 시스템 모듈들의 상호 배향 및 고정을 위한 지표로서 기능하는 것을 특징으로 한다. 서비스 모듈에는, 모듈식 시스템에 존재하는 서비스 모듈과 별개로 추가적인 모듈들 각각의 동작의 적어도 일부를 제어하기 위한 전자 제어 시스템이 제공된다.
본 발명에 따른 모듈식 시스템의 이점들 중 하나는 동시에 복수의 레벨들로 유연성 및 확장성을 제공하고 결합한다는 점이다. 제1 이점은, 다른 것들 중, 시스템에 통합되는 프레스 모듈들의 수 뿐만 아니라 다른 모듈들(예를 들어, 로더 및 오프-로더 모듈들)의 용량에 의해 생산 용량이 확장가능하다는 점이다. 모듈식 시스템의 실시예에서, 2개의 프레스 모듈식으로 제공되지만, 예를 들어 3개의 프레스 모듈들, 4개의 프레스 모듈들, 5개의 프레스 모듈들 또는 심지어 5개 초과의 프레스 모듈들과 같이 더 많은 프레스 모듈들이 또한 단일 모듈식 시스템의 일부일 수 있다. 제2의 중요한 이점은, 시스템에 통합된 모듈들의 타입에 의해(예를 들어, 추후에 본 설명에서 더 상세히 설명될 오프-로더 모듈 공급 모듈과 같은 모듈들을 포함 또는 배제함으로써) 상대적으로 작은 증가 단계들에서 자동화 레벨이 모듈식으로 영향받을 수 있다는 점이다. 실질적인 관련성의 제3 이점은, 보드들(BGA 형) 상에 배치된 전자 컴포넌트들, 팬-아웃 패키징을 위한 E-WLP와 같은 캐리어들, 리드 프레임들 또는 심지어 실리콘-, 세라믹- 또는 유리- 웨이퍼들 상에 적층 또는 에칭된 전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위해 모듈식 시스템 상에서 처리될 수 있는 제품들의 유형이 (예를 들어, 로더 모듈 및 오프-로더 모듈을 변경 또는 추가함으로써) 영향받을 수 있다는 점이다. 제4의 중요한 이점은, 심지어 발생하는 몰딩 공정의 타입에 따라 시스템이 변할 수 있다는 점이다. 프레스 모듈들은 상단 몰드, 저부 몰드 및 몰딩 재료 공급, 예를 들어, 오버-몰딩 뿐만 아니라 노출된 다이 몰딩을 위한 트랜스퍼 몰딩 프레스에 적용될 수 있을 뿐만 아니라 압축 몰딩 프레스와 같은 대안들이 본 발명의 범위 내에서 가능하다. 따라서, 위에서 나열된 4개의 이점들에 의해 입증된 바와 같이, 모듈식 시스템의 유연성 및 확장성은 복수의 자유도들을 제공한다. 이는, 모듈식 시스템을 구매하는 결정을 더 쉽게 만드는데, 이는, 시스템이 용량성일 수 있고, 생산 환경들이 변할 수 있을 때 장비의 수명 동안 모듈식 시스템의 기능이 적응될 수 있기 때문이다. 표준화로 인해, 시스템 모듈들이 본 발명에 따른 다른 모듈식 시스템들에 쉽게 통합될 수 있기 때문에, 심지어 시스템 모듈들이 불필요하게 되면 추후에 판매될 수 있는 것은 옵션이다.
적어도 하나의 프레스 모듈의 협력 커플링들이 인접한 시스템 모듈들의 상호 배향 및 고정을 위한 기준점으로서 작용하는 시스템을 제공함으로써, 본 발명에 따른 모듈식 시스템은 실현하기 쉽고 신뢰가능하다. 조립될 모듈식 시스템의 출발점으로 사용되는 프레스 모듈을 제공함으로써, 모듈식 시스템의 조립은 견고하고 신뢰가능하다. 그럼에도 불구하고, 본 발명의 모듈식 시스템을 재조립하는 것은, 프레스 모듈 및 인접한 시스템 모듈들과 같은 중요한 시스템 모듈들의 예상되지 않고 의도되지 않은 오정렬을 초래하지 않을 것이다.
추가적인 이점은, 또한 유연성을 실현하기 매우 쉽다는 것이다. 모듈식 시스템의 다른 모듈들 각각을 적어도 부분적으로 제어하도록 구성되는 서비스 모듈은 시스템의 매우 단순한 확장(확대) 또는 적응(조정)을 가능하게 한다. 현재까지, 프레스 모듈(들), 로더 모듈, 오프-로더 모듈, 공급 모듈, 오픈-카세트 로더 및 오프-로더 뿐만 아니라 FOUP-로더 및 FOUP-오프-로더 모듈에 의해 폐쇄된 카세트 모듈들 모두가 서비스 모듈에 의해 적어도 부분적으로 제어된다(상이한 타입의 모듈들은 본 설명에서 추후에 설명될 것이다).
제어 서비스 모듈은 추가적인 모듈들을 시스템에 전자적으로 커플링(또한 불필요한 모듈들을 커플링해제)시킴으로써 추가적인 모듈들의 용이한 "플러그 앤 플레이"를 제공한다. 본 발명에 따른 모듈식 시스템의 전자 제어의 용이한 확장 또는 적응에 따라, 모듈식 시스템의 기계적 확장 또는 적응은 또한 단순한데, 이는, 시스템 모듈들에 제공되는 협력 커플링들이 모듈들을 인라인으로 간단히 배향 및 고정시키는 것을 가능하게 하기 때문이다. 이러한 목적을 위해, 적어도 하나의 측면에서, 로더 모듈에는, 로더 모듈을 프레스 모듈에 인라인으로 배향 및 고정시키기 위한 커플링들이 제공될 수 있다. 본 발명에 따르면, 간단한 전자 및 물리적 커플링 및 디커플링 둘 모두가 용이하게 된다.
일 실시예에서, 시스템은 몰딩된 전자 컴포넌트들을 프레스로부터 카세트로 오프-로딩하기 위한 적어도 하나의 오프-로더 모듈을 더 포함할 수 있고, 오프-로더 모듈에는, 적어도 하나의 측면에서, 오프-로더 모듈의 프레스 모듈에의 상호 배향 및 고정을 위한 커플링들이 제공된다. 모듈식 시스템의 기본 구성은 프레스 모듈, 로더 모듈 및 서비스 모듈을 포함한다. 로더 모듈 및 서비스 모듈은 프레스 모듈보다 적은 볼륨을 요구하기 때문에, 서비스 모듈은 로더 유닛과 하나의 유닛("단일 모듈" 바닥 영역의 결합된 사용)으로 결합될 수 있다. 이러한 모듈들이 모듈식 시스템의 기본 구성의 일부인 이유는 프레스 모듈 및 서비스 모듈이 없으면 어떠한 몰딩도 불가능하기 때문이다. 또한, 몰딩될 전자 컴포넌트들이 너무 취약하여 수동 장착은 옵션이 아니고, 오직 단일의 프레스 모듈보다 많은 모듈이 사용되면 서비스 모듈의 추가적인 기능이 유리하다는 경제적인 논거가 있다. 하나 초과의 프레스 모듈을 포함하는 시스템의 경우, 프레스 모듈 및 오프-로더는 로더 모듈의 가장 먼 거리에서 인라인으로 배치된 프레스 모듈의 커플링들에 의해 고정될 수 있다.
추가적인 실시예에서, 시스템은 캡슐화 재료를 프레스 모듈에 공급하기 위한 적어도 하나의 공급 모듈을 더 포함할 수 있다. 몰딩 재료의 공급은 (특히 트랜스퍼 몰딩 공정을 위한) 펠릿 공급기로서 구현될 수 있을 뿐만 아니라, 예를 들어, 액체 몰딩 재료 공급 모듈 및/또는 (예를 들어, 몰딩 재료 시트들과 같은) 사이징된 몰딩 재료 본체들을 프레스 모듈에 공급하는 압축 몰딩을 위한 공급 모듈과 같은 대안적인 공급 모듈들이 제공될 수 있다. 로더 모듈을 서비스 모듈과 통합할 수 있는 가능성에 따라, 공급 모듈이 통상적으로 세정실 조건들에 더 많은 방해물을 제공하고 있다는 추가적인 이점으로 공급 모듈은 오프-로더 모듈에 통합될 수 있고, 따라서 제품들이 덜 취약한 모듈과 공급 모듈의 통합은 최적의 공정 조건들을 생성하는 것에 대해 긍정적이다. 기존의 펠릿 공급에는 통상적으로 외부 펠릿 호퍼, 중량 검출, 필터 유닛 및 다양한 다른 추가적인 기능들이 제공된다.
본 발명에 따른 모듈식 시스템의 또 다른 실시예에서, 시스템은 FOUP-캐리어로부터 인접한 모듈로 몰딩될 전자 컴포넌트들을 갖는 웨이퍼들을 로딩하기 위한 FOUP-로더 모듈을 더 포함할 수 있다. FOUP-캐리어는 "Front Opening Universal Product Carrier"이고, 웨이퍼들을 로딩하기 위해 사용된다. 본 발명에 따른 모듈식 시스템에 통합된 FOUP-로더는 전용 설계일 수 있거나 또는 본 발명에 따른 모듈식 시스템에서 적용되는 것과 같은 인터페이스들이 제공되는 한 "규격 제품"일 수 있고; FOUP-로더를 서비스 모듈에 커플링시키는 것 및 인접 시스템 모듈들의 상호 배향 및 고정을 위한 협력 커플링들이 제공된다. FOUP-로더에 따라 본 시스템은 또한 인접한 모듈로부터 FOUP-카세트로 전자 컴포넌트들을 갖는 몰딩된 웨이퍼들을 오프로딩하기 위한 FOUP-오프-로더 모듈을 포함할 수 있다.
로더 모듈은 로더 헤드를 포함할 수 있고, 로더 헤드는 적어도 하나의 프레스 모듈 내로 확장되도록 구성된다. 특정 실시예에서, 로더 모듈은 하나 이상의 프레스 모듈들을 따라 연장되고 그에 의해 운반되는 가이드와 협력할 수 있다. 모듈식 시스템에 추가적인 프레스 모듈이 추가되는 상황에서, 가이드는 또한 하나의 프레스 모듈 폭으로 확장되어, 이와 같은 로더 모듈의 로더 헤드는 이러한 상황에서 어떠한 수정도 요구하지 않을 것이다. 기술적 솔루션은 모듈식 시스템의 (용량) 구성의 매우 간단한 적응을 가능하게 한다. 유사한 이유로, 또한 오프-로더 모듈(모듈식 시스템의 일부인 경우)은 세정 및 오프-로더 헤드를 포함할 수 있고, 세정 및 오프-로더 헤드는 적어도 하나의 프레스 모듈로 확장되도록 구성된다. 또한, 이러한 오프-로더 헤드는 적어도 하나의 프레스 모듈을 따라 확장되고 그에 의해 운반되는 가이드와 협력할 수 있지만, 또한 로더 헤드 및 오프-로더 헤드 둘 모두에 대한 단일 가이드가 적용될 수 있다. 따라서, 프레스 모듈들에는 협력하는 가이드 부품들이 제공될 수 있다. 또한, 기술적 솔루션은 모듈식 시스템의 (자동화 레벨) 구성의 매우 간단한 적응을 가능하게 한다. 로더 헤드 및 오프-로더 헤드에 관해서, 이들에는 예를 들어 기판들 또는 리드프레임들을 취급하기 위한 헤드가 제공될 수 있지만, 로더 헤드 및 오프-로더 헤드는 또한 캐리어의 웨이퍼 타입을 취급하도록 구성될 수 있다.
추가적인 옵션은, 대향 측면들에 커버가능한 트랜스퍼 개구들이 제공되는 하우징을 각각의 프레스 모듈에 제공하는 것일 수 있다. 개구를 통한 어떠한 제품들의 교환도 요구되지 않는 상황들에서, 예를 들어, 일 측의 프레스 모듈에 인접 모듈이 제공되지 않는 경우, 이러한 커버가능 트랜스퍼 개구들이 바람직하게는 클리어한 대응하는 안전 창들 및/또는 부분적 금속 창들에 의해 커버되도록 제공될 수 있지만, 다른 한편으로, 2개의 인접한 모듈들이 모듈들 사이에서 제품의 교환을 요구하는 경우 개구를 통한 제품들의 방해받지 않는 트랜스퍼를 위해 개구가 개방될 수 있다. 또한, 이러한 특징은 수동 작동 머신으로부터, 자동 제품 로딩에 의한 부분적 자동화를 통해, 완전 자동 제품 오프로딩 및/또는 펠릿- 또는 액체 에폭시 공급의 추가적인 자동화의 최대 레벨까지 모든 자동화 레벨들을 지원한다.
본 발명에 따른 모듈식 시스템의 확장 또는 축소에 있어서 훨씬 더 향상된 단순화를 위해, 프레스 모듈(들), 서비스 모듈, 로더 모듈 및 오프-로더 모듈은, 이들이 존재하는 한 동일한 폭을 가질 수 있다.
프레스 모듈들의 견고하고 단단한 결합을 가능하게 하기 위해, 프레스 모듈 상에 제공되는 커플링들은 프레스 구조의 일체형 부분일 수 있는데, 이는 프레스 구조("프레임")가 몰딩 공정의 "하트(hart)"의 포지셔닝을 제어하고, 이는 인접한 모듈들의 프레스 모듈에의 더 견고한 정렬에 대한 가능성을 제공하기 때문이다. 특수한 공구들없이 상대적으로 무거운 모듈들(특히 프레스 모듈은 무겁고, 통상적으로 적어도 수 톤임)의 용이한 커플링을 위해, 커플링들은 수형 및 암형 커플링 엘리먼트들을 포함할 수 있다. 또한, 맞물림 커플링들은 또한, 장비의 조립체 설치 시에 최적의 인라인 포지셔닝이 완료되기 전에 인접한 모듈들을 함께 고정시키기 위한 볼드(bold)를 포함할 수 있다.
단순하면서도 또한 신뢰가능한 구성에서, 프레스 모듈은 모듈의 대향 측면들 상에 2개의 커플링들을 포함할 수 있고, 2개의 커플링들은 수평이거나 또는 시스템 모듈들의 모든 커플링들이 하나의 수평 평면에 위치된다. 이는 모듈식 시스템의 모듈들의 정확히 수평적이고 상대적인 포지셔닝에 대한 가능성을 제공하고, 또한 설치 시에 또는 생산 동안 모듈들 및/또는 방해 환경 조건들에서 정확한 작은 편차들을 가능하게 한다.
본 발명은 또한 본 발명에 따른 모듈식 시스템을 조립하기 위한 부품-키트를 제공하고, 이는, 전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 적어도 하나의 프레스 모듈; 몰딩될 전자 컴포넌트들을 카세트(cassette)로부터 프레스 모듈로 로딩하기 위한 적어도 하나의 로더 모듈; 다른 시스템 모듈들 각각을 적어도 부분적으로 제어하도록 구성되는 지능형 전자 제어 시스템을 포함하는 서비스 모듈을 포함하고, 시스템 모듈들에는 인접한 시스템 모듈들의 상호 배향 및 고정을 위한 협력 커플링들이 제공되고, 시스템 모듈들의 협력 커플링들은 인접한 시스템 모듈들을 인라인으로 배향 및 고정시키도록 구성되고, 적어도 하나의 프레스 모듈의 협력 커플링들이 인접한 시스템 모듈들의 상호 배향 및 고정을 위한 기준점으로서 기능하는 것을 특징으로 한다. 이러한 부품-키트의 경우, 본 발명에 따른 모듈식 시스템이 실현될 수 있고, 따라서 이러한 모듈식 시스템의 이점들이 실현될 수 있다. 본 발명에 따른 부품-키트의 이점들과 관련하여, 본 발명에 따른 모듈식 시스템과 관련하여 앞서 이미 언급된 이점들이 참조된다.
본 발명은 이하의 도면들에 도시된 비제한적인 예시적인 실시예들에 기초하여 추가로 설명될 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 모듈식 시스템의 최소 구성을 조립하기 위한 부품-키트에 대한 사시도이다.
도 2는 모듈식 시스템을 따라 헤드들을 안내하는 가이드 구조를 포함하는 로더 헤드 및 오프-로더 헤드에 대한 사시도이다.
도 3은 FOUP-로더에 대한 사시도이다.
도 4는 서비스 모듈, 로더 모듈, 2개의 프레스 모듈들 및 오프-로더 모듈을 포함하는, 본 발명에 따른 전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 모듈식 시스템에 대한 사시도이다.
도 5는 도 4에 도시된 실시예에 따른 전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 모듈식 시스템 뿐만 아니라 FOUP-로더 모듈 및 FOUP 오프-로더 모듈을 포함하는 대안적인 실시예에 대한 사시도이다.
도 1은, 모듈식 몰딩 시스템의 모든 다른 시스템 모듈들을 제어하기 위한 지능형 전자 제어 시스템을 갖는 서비스 모듈(service module)(2), 몰딩될 전자 컴포넌트들을 카세트로부터 로딩하기 위한 로더 모듈(loader module)(3) 및 전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 프레스 모듈(press module)(4)을 포함하는 전자 컴포넌트를 몰딩하기 위한 모듈식 시스템의 최소 구성을 조립하기 위한 부품-키트(1)에 대한 사시도를 도시한다. 로더 모듈(3)은 개방 공간(5)을 가지며, 서비스 모듈(2)은 후속하는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 피팅된다. 서비스 모듈(2)은 제어 패널(6) 및 서비스 모델을 외부 전원에 연결하기 위한 연결 폴(7)을 포함한다. 로더 모듈(3)에는 도면으로부터 먼 쪽을 향하는 로더 모듈 측에 도어(미도시)가 제공될 수 있다. 도어는, 로더 모듈(3)에서 몰딩될 전자 컴포넌트들의 캐리어를 갖는 카세트를 배치하기 위해 제공된다. 로더 모듈(3)은 도 2에 도시된 바와 같이 로더 헤드(10)의 이동을 제어한다. 로더 모듈(3) 및 프레스 모듈(4)이 제공되고, 시스템 모듈에는 인접한 시스템 모듈들(3, 4)의 상호 배향 및 고정을 위한 협력 커플링들(8)이 제공된다. 프레스 모듈(4) 내부에는 도 2에서 보다 상세히 설명되는 바와 같이 가이드 엘리먼트들을 위치시키기 위한 중앙 공간(9)이 제공된다.
도 2는 전자 컴포넌트를 몰딩하기 위한 모듈식 시스템을 따라 헤드들(10, 11)을 안내하는 가이드 구조(12)를 포함하는 로더 헤드(10) 및 오프-로더 헤드(11)에 대한 사시도이다. 로더 헤드(10)는 (도 1에 도시된 바와 같은) 로더 모듈(3)에 의해 제어되고, 오프-로더 헤드(11)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 오프-로더 모듈에 의해 제어되어야 한다. 가이드 구조(12)는 복수의 (이 도면에서는 4개)의 가이드부(13 내지 16)의 인라인 조립체이다. 제1 가이드부(13)는 로더 모듈(3)에 포함되어야 하고, 제2 및 제3 가이드부들(14, 15)은 프레스 모듈들(4)에 통합되어야 하고, 마지막 가이드부(16)는 오프-로더 모듈에 통합되어야 한다. 전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 특정한 모듈식 시스템의 모듈 부품의 수 및 타입에 따라 가이드 구조의 길이가 선택되어야 한다.
도 3은 폐쇄된 카세트들(21)이 (취약한) 웨이퍼들(22)의 저장에 사용되는 폐쇄된 카세트들(21)("전방 개구 유니버설 제품 캐리어")가 있는 FOUP-로더 모듈(20)을 도시한다. FOUP-로더 모듈(20)은 도 1에 도시된 바와 같이 로더 모듈(3)과 커플링되어야 한다. FOUP-로더 모듈(20)은 이 도면에 도시된 바와 같이 폐쇄된 카세트들(21)로부터 웨이퍼들(22)을 제거하고 선택된 웨이퍼(22)를 옆으로 제공하도록 설계된다. 그 다음, 도시된 바와 같이 제공된 웨이퍼(22)는 인접한 로더 모듈(3)(이 도면에는 도시되지 않음) 내부에 위치되어 도 2에 도시된 바와 같은 로더 헤드(10)로 처리된다.
도 4는 서비스 모듈(31), 로더 모듈(32), 2개의 프레스 모듈들(33, 34) 및 오프-로더 모듈(35)을 포함하는, 본 발명에 따른 전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 모듈식 시스템(30)에 대한 사시도이다. 모듈식 시스템(30)은 로더 헤드(10) 및 오프-로더 헤드(11)가 모듈들(32 내지 35)을 따라 이동될 수 있는 정면 측으로부터 도시된다. 모듈들(31-35)은 온라인 구성으로 커플링되어, 커플링 엘리먼트들(8)(여기서는 도시되지 않고; 도 1 참조)가 협력할 수 있다. 또한, 몰딩된 전자 컴포넌트들의 캐리어와 함께 로딩되어야 하는 카세트에 대한 접근을 제공하는 오프-로더 모듈(35)의 도어(36)가 도시되어 있어서 몰딩된 제품은 모듈식 시스템으로부터 제거될 수 있다. 오프-로더 모듈(35)에는 또한 로더 모듈(32) 및 프레스 모듈들(33, 34)과 마찬가지로, 하우징(37)이 제공되고, 하우징(37)의 대향 측면들에는 커버가능한 트랜스퍼 개구들(38)이 제공된다. 이러한 커버가능한 트랜스퍼 개구들(38)을 개방함으로써, 인접한 모듈로의 연결이 이루어질 수 있고, (커플링될 인접 모듈이 없는) 단부 위치에서 트랜스퍼 개구들(38)이 커버될 것이다.
도 5는 도 4에 도시된 모듈식 시스템(30)의 일부로서 모든 모듈들을 포함하는 전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 모듈식 시스템(40) 뿐만 아니라 이제 FOUP-로더 모듈(41) 및 FOUP 오프-로더 모듈(42)을 포함하는 대안적인 실시예에 대한 사시도이다.

Claims (18)

  1. 적어도 3개의 별개의 시스템 모듈들을 포함하는, 전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 모듈식 시스템으로서,
    전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 적어도 하나의 프레스 모듈;
    몰딩될 상기 전자 컴포넌트들을 카세트(cassette)로부터 프레스 모듈로 로딩하기 위한 적어도 하나의 로더 모듈; 및
    다른 시스템 모듈들 각각을 적어도 부분적으로 제어하도록 구성되는 지능형 전자 제어 시스템을 포함하는 서비스 모듈을 포함하고,
    상기 시스템 모듈들에는 인접한 시스템 모듈들의 상호 배향 및 고정을 위한 협력 커플링들이 제공되고,
    상기 시스템 모듈들의 상기 협력 커플링들은 인접한 시스템 모듈들을 인라인으로 배향하고 고정시키도록 구성되고,
    상기 적어도 하나의 프레스 모듈의 상기 협력 커플링들이 인접한 시스템 모듈들의 상호 배향 및 고정을 위한 기준점으로서 기능하는,
    모듈식 시스템.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 시스템은 몰딩된 전자 컴포넌트들을 상기 프레스로부터 상기 카세트로 오프-로딩하기 위한 적어도 하나의 오프-로더 모듈을 더 포함하고, 상기 오프-로더 모듈에는, 적어도 하나의 측면에서, 상기 오프-로더 모듈의 상기 프레스 모듈에의 상호 배향 및 고정을 위한 커플링들이 제공되는,
    모듈식 시스템.
  3. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 시스템은 캡슐화 재료를 프레스 모듈에 공급하기 위한 적어도 하나의 공급 모듈을 더 포함하는,
    모듈식 시스템.
  4. 제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 시스템은 FOUP-캐리어로부터 인접한 모듈로 몰딩될 전자 컴포넌트들을 갖는 웨이퍼들을 로딩하기 위한 FOUP-로더 모듈을 더 포함하는,
    모듈식 시스템.
  5. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 시스템은 인접한 모듈로부터 FOUP-카세트로 전자 컴포넌트들을 갖는 몰딩된 웨이퍼들을 오프로딩하기 위한 FOUP-오프-로더 모듈을 더 포함하는,
    모듈식 시스템.
  6. 제1 항 내지 제5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 로더 모듈은 로더 헤드를 포함하고, 상기 로더 헤드는 적어도 하나의 프레스 모듈로 확장되도록 구성되는,
    모듈식 시스템.
  7. 제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    각각의 프레스 모듈에는 대향 측면들에 커버가능한 트랜스퍼 개구들이 제공되는 하우징이 제공되는,
    모듈식 시스템.
  8. 제2 항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 오프-로더 모듈은 세정 및 오프-로더 헤드를 포함하고, 상기 세정 및 오프-로더 헤드는 적어도 하나의 프레스 모듈로 확장되도록 구성되는,
    모듈식 시스템.
  9. 제1 항 내지 제8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 시스템은 적어도 2개의 프레스 모듈들을 포함하는,
    모듈식 시스템.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 프레스 모듈들에는 협력 가이드부들이 제공되는,
    모듈식 시스템.
  11. 제3 항 내지 제10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공급 모듈은 상기 오프-로더 모듈에 통합되는,
    모듈식 시스템.
  12. 제1 항 내지 제11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레스 모듈(들), 상기 서비스 모듈, 상기 로더 모듈 및 상기 오프-로더 모듈은 이들이 존재하는 범위까지 동일한 폭을 갖는,
    모듈식 시스템.
  13. 제1 항 내지 제12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레스 모듈(들), 상기 로더 모듈, 상기 오프-로더 모듈, 상기 공급 모듈, 상기 FOUP-로더 및 상기 FOUP-오프-로더 모듈은 이들이 존재하는 범위까지 상기 서비스 모듈에 의해 적어도 부분적으로 제어되는,
    모듈식 시스템.
  14. 제1 항 내지 제13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레스 모듈 상에 제공되는 상기 커플링들은 상기 프레스 구조의 일체형 부분인,
    모듈식 시스템.
  15. 제1 항 내지 제14 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 커플링들은 수형 및 암형 커플링 엘리먼트들을 포함하는,
    모듈식 시스템.
  16. 제1 항 내지 제15 항 중 어느 한 항에 있어서,
    프레스 모듈은 상기 모듈의 대향 측면들 상에 2개의 커플링들을 포함하고, 상기 2개의 커플링들은 수평인,
    모듈식 시스템.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 시스템 모듈들의 모든 커플링들은 하나의 수평 평면에 위치되는,
    모듈식 시스템.
  18. 제1 항 내지 제17 항 중 어느 한 항에 따른 모듈식 시스템을 조립하기 위한 부품-키트로서,
    전자 컴포넌트들을 몰딩하기 위한 적어도 하나의 프레스 모듈;
    몰딩될 상기 전자 컴포넌트들을 카세트로부터 프레스 모듈로 로딩하기 위한 적어도 하나의 로더 모듈; 및
    다른 시스템 모듈들 각각을 적어도 부분적으로 제어하도록 구성되는 지능형 전자 제어 시스템을 포함하는 서비스 모듈을 포함하고,
    상기 시스템 모듈들에는 인접한 시스템 모듈들의 상호 배향 및 고정을 위한 협력 커플링들이 제공되고,
    상기 시스템 모듈들의 상기 협력 커플링들 인접한 시스템 모듈들을 인라인으로 배향하고 고정시키도록 구성되고,
    상기 적어도 하나의 프레스 모듈의 상기 협력 커플링들이 인접한 시스템 모듈들의 상호 배향 및 고정을 위한 기준점으로서 기능하는,
    부품-키트.
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