JP5970680B2 - 樹脂モールド品の製造方法、および樹脂除去装置 - Google Patents
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まず、本発明に係る樹脂除去装置10について、主に図1を参照して説明する。図1は、樹脂除去装置10の構成を示す説明図である。樹脂除去装置10は、樹脂モールドされたワークWの不要箇所の樹脂を除去するものである。なお、図1中の白抜き矢印は、各構成部(あるいはワークW)の移動方向を示している。
前記実施形態1では、ウェハ51および樹脂モールド部52の平面形状が同じ樹脂モールド品50であって、外周面51cの全体を露出した板状の樹脂モールド部52を備えたものについて説明した。本実施形態では、ウェハ51および樹脂モールド部52の平面形状が同じ(相似した)樹脂モールド品50a(50)であって、裏面51bの外周縁を部分的に露出した板状の樹脂モールド部52を備えたものについて、主に図5〜図7を参照して説明する。図5〜図7は、樹脂モールド品50aの製造工程の説明図であり、それぞれの(a)は平面図、(b)は(a)に示すB−B線に対応する断面図である。なお、図5(a)、図6(a)、図7(a)は、ウェハ51の裏面51b側からみた平面図であって、ウェハ51を透視して波線で示している。
51 被成形品(ウェハ)
52 樹脂モールド部
Claims (5)
- (a)ウェハないしウェハに準ずる円形平板状物品である被成形品を準備する工程と、
(b)前記被成形品の一方の面を露出させて、前記被成形品の他方の面および外周面を覆う樹脂モールド部を前記被成形品に形成する工程と、
(c)前記被成形品の一方の面側から前記被成形品と前記樹脂モールド部にかかるような境界にレーザ光を照射することによって前記被成形品の周囲の前記樹脂モールド部を除去し、前記被成形品の他方の面上に平面視外形が前記被成形品に倣った前記樹脂モールド部を残存させる工程と、
を含むことを特徴とする樹脂モールド品の製造方法。 - 請求項1記載の樹脂モールド品の製造方法において、
前記(c)工程では、前記被成形品の平面視において前記被成形品を直線移動および回転移動させながら、前記被成形品にレーザ光を照射することを特徴とする樹脂モールド品の製造方法。 - 請求項1または2記載の樹脂モールド品の製造方法において、
前記(a)工程では、オリエンテーションフラットまたはノッチの切り欠き部が形成されている前記被成形品を準備し、
前記(c)工程では、前記被成形品の前記切り欠き部と前記樹脂モールド部の境界のレーザ光照射に、ポリゴンミラーを用いてレーザ光を直線的に走査させることを特徴とする樹脂モールド品の製造方法。 - (a)ウェハないしウェハに準ずる円形平板状物品である被成形品を準備する工程と、
(b)前記被成形品の一方の面を露出させて、前記被成形品の他方の面および外周面を覆う樹脂モールド部を前記被成形品に形成する工程と、
(c)前記被成形品の他方の面側から前記被成形品と前記樹脂モールド部にかかるような境界の所定箇所にレーザ光を照射することによって前記樹脂モールド部に孔部を形成する工程と、を含み、
前記(c)工程では、前記孔部の底面で前記被成形品の他方の面が露出するように前記孔部を形成することを特徴とする樹脂モールド品の製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の樹脂モールド品の製造方法における前記(c)工程を行う樹脂除去装置であって、
前記被成形品を載置させた状態で前記被成形品の平面視において直線移動および回転移動可能なテーブルと、
レーザ光を発振させるレーザ発振器と、
を備えることを特徴とする樹脂除去装置。
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