KR20170132222A - 특히 고주파 응용을 위한, 수직형 접촉 프로브 및 수직형 접촉 프로브를 구비한 대응하는 테스트 헤드 - Google Patents

특히 고주파 응용을 위한, 수직형 접촉 프로브 및 수직형 접촉 프로브를 구비한 대응하는 테스트 헤드 Download PDF

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테크노프로브 에스.피.에이.
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Abstract

전자 장치의 테스트 장치를 위한 테스트 헤드의 수직형 접촉 프로브(21)가 설명되며, 상기 프로브는 각각의 접촉 패드와 접촉하도록 구성된 각각의 단부(24, 25) 사이에서 종 방향으로 연장되는 프로브 몸체(20C)를 포함하고, 제2 단부는 테스트중인 장치(26)의 접촉 패드(26A) 상에 접촉하도록 구성된 접촉 팁(25)이고, 각각의 상기 수직형 접촉 프로브(21)의 몸체(22)는 5000㎛ 미만의 길이를 갖고, 그 종 방향 치수에 걸쳐 연장되는 적어도 하나의 관통 개구(28)를 포함한다. 편리하게, 상기 적어도 하나의 관통 개구(28)는 상기 관통 개구(28)에서 충진 물질(36)로 구현된 연결 중심부(22c)에 의해 서로 평행하게 접합되는, 상기 몸체(22)에서 적어도 하나의 제1 및 제2 측면부(22a, 22b)를 한정하도록 상기 충진 물질(36)에 의해 충전되고, 상기 충진 물질(36)로 만든 상기 연결 중심부(22c)는 보강 부재로서 작용한다.

Description

특히 고주파 응용을 위한, 수직형 접촉 프로브 및 수직형 접촉 프로브를 구비한 대응하는 테스트 헤드
본 발명은 특히 고주파 응용을 위한 수직형 접촉 프로브에 관한 것이다.
보다 구체적으로, 본 발명은 제1 및 제2 단부 사이에서 연장되는 몸체를 가진 수직형 접촉 프로브에 관한 것으로, 제2 단부는 테스트중인 장치의 접촉 패드 상에 접촉하기 적합한 접촉 팁이고, 그 몸체는 5000㎛ 미만의 길이를 갖는다.
본 발명은 또한, 특히 고주파 응용을 위한 복수의 이들 수직형 접촉 프로브를 포함하는 테스트 헤드에 관한 것이다.
본 발명은, 특히 웨이퍼 상에 집적된 전자 장치를 테스트하기 위한 수직형 접촉 프로브 및 대응하는 테스트 헤드에 관한 것이지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 이하의 설명은 그 설명을 단순화하기 위한 목적으로 이 응용 분야를 참조하여 이루어진다.
잘 알려진 바와 같이, 테스트 헤드(프로브 헤드)는 미세 구조의 복수의 접촉 패드를, 그 기능 테스트, 특히 전기적 테스트 또는 일반적 테스트를 수행하는 테스트 기계의 대응하는 채널과 전기적으로 연결하는데 적합한 장치이다.
집적 회로에서 수행된 테스트는 특히 생산 단계에서 결함이 있는 회로를 감지하고 분리하는데 유용하다. 일반적으로, 테스트 헤드는 칩-수납 패키지 내부에서 절단 및 조립하기 전에 웨이퍼 상의 직접 회로를 전기적으로 테스트하는 데 사용된다.
테스트 헤드는 기본적으로 서로 평행한 적어도 한 쌍의 실질적으로 플레이트형 지지부 또는 가이드에 의해 유지되는 복수의 이동 접촉 부재 또는 접촉 프로브를 포함한다. 이들 플레이트형 지지부에는 적절한 구멍이 마련되어 있으며, 접촉 프로브의 이동 및 가능한 변형을 위한 자유 공간 또는 에어 갭을 남기기 위해 서로 일정한 거리를 두고 배치된다. 한 쌍의 플레이트형 지지부는 특히 상부 플레이트형 지지부 및 하부 플레이트형 지지부를 포함하고, 둘 모두 접촉 프로브가 축 방향으로 슬라이딩하는 각각의 가이드 구멍이 마련되어 있고, 프로브는 보통 양호한 전기적 및 기계적 특성을 갖는 특수 합금의 와이어로 제조된다.
테스트 프로브와 테스트중인 장치의 접촉 패드 사이의 양호한 연결은 장치 자체 상에 테스트 헤드를 가압함으로써 보장되고, 그 가압 접촉 동안에 상부 및 하부 플레이트형 지지부에 형성된 가이드 구멍 내에서 움직일 수 있는 접촉 프로브는, 2 개의 플레이트형 지지부 사이의 간격 내부에서의 구부러지고 이들 가이드 구멍 내에서 슬라이딩한다. 이러한 유형의 테스트 헤드는 일반적으로 "수직형 프로브" 헤드라고 불린다.
기본적으로, 수직형 프로브를 구비한 테스트 헤드는 접촉 프로브의 구부러짐이 발생하는 간격을 가지며, 설명의 편의를 위해, 테스트 헤드에 일반적으로 포함되는 복수의 프로브 중 단지 하나의 접촉 프로브만이 도시된 도 1에서 개략적으로 도시된 바와 같이, 그 구부러짐은 프로브 자체 또는 해당 지지부의 적절한 구성에 의해 보조될 수 있다.
특히, 도 1에서 테스트 헤드(1)는 적어도 하나의 접촉 프로브(4)가 내부에서 슬라이딩하는 각각의 가이드 구멍(3A 및 2A)을 구비하는, 일반적으로 "하부 다이"로 불리는 적어도 하나의 하부 플레이트형 지지부(3) 및 일반적으로 "상부 다이"로 불리는 상부 플레이트형 지지부(2)를 포함하도록 개략적으로 도시된다.
접촉 프로브(4)는 테스트중인 장치(5)와 테스트 헤드(1)가 단자 요소를 형성하는 테스트 장치(미도시) 사이의 전기적 및 기계적 접촉을 구현하기 위해, 테스트중인 장치(5)의 접촉 패드(5A) 상에 접촉하도록 의도된 접촉 팁(4A)으로 일단에서 종결된다.
본 명세서에서 "접촉 팁"이라는 용어는 테스트중인 장치 또는 테스트 장치와 접촉하도록 의도된 접촉 프로브의 단부 존 또는 영역을 의미하며, 이러한 접촉 존 또는 영역은 반드시 날카롭게 될 필요는 없다.
몇몇 경우에는, 접촉 프로브가 상부 플레이트형 지지부에서 헤드 자체에 고정적으로 매인다: 테스트 헤드는 블록된 프로브 테스트 헤드라고 불린다.
그러나 더 빈번하게, 고정적으로 매이지 않은, 그러나 소위 보드, 아마도 미세 접촉 홀더를 통해 접속을 유지하는 프로브를 가진 테스트 헤드가 사용된다: 테스트 헤드는 블록되지 않은 프로브 테스트 헤드라고 불린다. 미세 접촉 홀더는 프로브를 접촉하는 것 외에도, 테스트중인 장치 상의 접촉 패드에 대해 접촉 패드를 공간적으로 재배치할 수 있으며, 특히 패드 자체의 센터 간의 거리 제한을 완화할 수 있기 때문에 일반적으로 "공간 트랜스포머"라고 불린다.
이 경우, 도 1에 도시된 바와 같이, 접촉 프로브(4)는 공간 트랜스포머(6)의 복수의 접촉 패드 중 패드(6A)를 향하여, 접촉 헤드(4B)로 표시된, 다른 접촉 팁을 갖는다. 프로브(4)와 공간 트랜스포머(6) 사이의 양호한 전기적 접촉은 공간 트랜스포머(6)의 접촉 패드(6A) 상에 접촉 프로브(4)의 접촉 헤드(4B)을 가압함으로써 테스트중인 장치(5)와의 접촉과 유사한 방식으로 보장된다.
상부 및 하부 플레이트형 지지부(2 및 3)는 접촉 프로브(4)의 변형을 허용하는 간격(7)에 의해 적절하게 분리된다. 마지막으로, 가이드 구멍들(2A 및 3A)은 접촉 프로브(4)가 그 안에서 슬라이딩 가능하게 하는 크기이다.
소위 "이동된 플레이트"로 불리는 기술로 만들어진 테스트 헤드의 경우, "좌굴 빔"이라고도 불리는 접촉 프로브(4)는 직선형으로 만들어지며, 지지부의 이동은 프로브의 몸체가 구부러지도록 하고, 그들이 슬라이딩하는 가이드 구멍의 벽과의 마찰로 인해 프로브 자체를 원하는 대로 유지한다. 이 경우, 그들은 이동된 플레이트를 구비한 테스트 헤드라고 불린다.
프로브가 겪는 구부러짐의 형상 및 이 구부러짐을 일으키는 데 필요한 힘은 프로브를 구성하는 합금의 물리적 특성 및 상부 플레이트형 지지부에서의 가이드 구멍 및 하부 플레이트형 지지부에서의 대응하는 가이드 구멍 사이의 오프셋 값과 같은 몇 가지 요인에 의존한다.
테스트 헤드의 올바른 작동은 기본적으로, 접촉 프로브의 수직 이동 또는 과도 이동과 이들 프로브의 접촉 팁의 수평 이동 또는 스크럽; 두 파라미터에 묶인다. 접촉 패드의 표면을 긁어서, 예를 들어 얇은 산화물 층 또는 필름 형태의 불순물을 제거하여, 테스트 헤드에 의해 수행되는 접촉을 향상시킬 수 있도록 하기 위해 접촉 팀의 스크럽을 보장하는 것이 중요하다는 것이 알려져 있다.
이러한 모든 특성은 테스트 헤드의 제조 단계에서 평가되고 교정되어야 하며, 프로브와 테스트중인 장치 사이, 특히 프로브의 접촉 팁과 테스트중인 장치의 접촉 패드 사이의 양호한 전기적 연결이 항상 보장되어야 한다.
장치의 접촉 패드 상에 프로브의 접촉 팁의 가압 접촉이 프로브 또는 패드 자체의 파손을 일으킬 정도로 크지 않도록 보장하는 것도 마찬가지로 중요하다.
이 문제는 특히 소위 짧은 프로브, 즉 길이가 제한되고 특히 치수가 5000㎛ 미만인 로드형 몸체를 가진 프로브에서 특히 느껴진다. 이러한 종류의 프로브는, 예를 들어, 감소된 길이의 프로브가 관련 셀프-인덕턴스 현상을 제한하는 고주파 응용에서 사용된다. 특히, 용어 "고주파 응용"은 1000MHz보다 높은 주파수를 갖는 신호를 운반할 수 있는 프로브를 의미한다.
그러나, 이 경우, 프로브의 몸체의 감소된 길이는 프로브 자체의 강성을 급격히 증가시키는데, 이는, 예를 들어 테스트중인 장치의 접촉 패드상의 각각의 접촉 팁에 의해 가해지는 힘의 증가를 의미하고, 이는 이들 패드를 파손시킬 수 있으며, 테스트중인 장치를 돌이킬 수 없게 손상시킬 수 있는, 피해야 할 상황으로 유도할 수 있다. 보다 위험한 방법으로, 몸체 길이의 감소로 인한 접촉 프로브의 강성의 증가는 프로브 자체 손상의 위험을 증가시킨다.
다경로 프로브는 예를 들어 엘드리지(Eldridge)라는 이름으로 2015년 1월 15일에 공개된 미국 특허 출원 제 2015/0015289호에 개시되어있다. 프로브는 또한 층의 형태로 전기 절연성 간격에 의해 서로 전기적으로 절연된, 상이한 도전 경로를 한정하는 다층 구조를 갖는다. 또한, 2014년 6월 12일 일본 전자 재료 주식회사(Japan Electronic Material Corp)의 명칭으로 공개된 PCT 출원 WO 2014/087906호는 인접한 것들이 간격을 통해 배치된 3개의 빔 부분을 포함하도록 형성된 탄성 변형 부분을 포함하는 적층 구조를 갖는 전기 접촉 프로브를 개시하고, 이러한 구성은 오버 드라이브 양 및 프로브 압력을 보장하면서 접촉 프로브의 고주파 특성을 향상시키기 위해 프로브의 길이를 단축시키는 것을 가능하게 만든다.
따라서, 본 발명의 기술적 과제는, 길이가 5000㎛ 미만인 프로브를 고주파 응용에 사용할 수 있게 하면서도, 접촉 프로브의 충분한 탄성을 보장함으로써 그들을 파손할 위험성을 낮추고, 대응하는 단부가 대응하는 접촉 패드 상에 접촉할 때 작용하는 힘이 공지된 기술에 따라 구현된 테스트 헤드에 의한 제한 및 단점을 극복하는, 이러한 기능적 및 구조적 특성을 갖는 테스트 헤드를 제공하는 것이다.
본 발명의 근간을 이루는 해결 아이디어는 대응하는 로드형 몸체에서 몸체 그 자체의 종 방향을 따라 구현되고, 적합한 충진 물질, 특히 중합체로 충진된 적어도 하나의 개구를 갖는 프로브를 구비한 테스트 헤드를 구현하는 것이며, 개구는 프로브의 강성을 감소시킬 수 있고 결과적으로 압력이 프로브에 의해 접촉 패드 상에 가해지고, 동시에 이들 프로브의 몸체의 충분한 탄성을 보장하며, 그것을 포함하는 테스트 헤드의 정상적인 동작 중 그것을 둘러쌈으로 인해 프로브 몸체의 균열 또는 파손을 방지할 수 있다.
이 해결책 아이디어에 기초하여, 기술적인 문제는 각각의 접촉 패드와 접촉하도록 구성된 각각의 단부 사이에서 기본적으로 종 방향으로 연장된 프로브 몸체를 포함하는 전자 장치의 테스트 장치용 테스트 헤드의 수직형 접촉 프로브에 의해 해결되며, 제2 단부는 테스트중인 장치의 접촉 패드 상에 접촉하도록 구성된 접촉 팁이고, 각각의 수직형 접촉 프로브의 몸체는 5000㎛ 미만의 길이를 가지며, 그의 종 방향 치수를 따라 연장하는 적어도 하나의 관통하는 개구를 포함하며, 서로 평행하고 상기 개구에 상기 충진 물질에 의해 형성된 연결 중심부에 의해 서로 접합된, 상기 몸체에 적어도 하나의 제1 및 제2 측면부를 한정하기 위해 상기 적어도 하나의 관통하는 개구는 충진 물질로 채워지고, 상기 충진 물질로 만들어진 연결 중심부는 보강 부재로 작용한다.
보다 구체적으로, 본 발명은 필요에 따라 개별적으로 또는 조합하여 취한 다음의 추가적 및 선택적 특성을 포함한다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 수직형 접촉 프로브는 몸체에 구현되고 서로 평행하며 길이 및/또는 폭이 동일하거나 상이한 복수의 관통하는 개구를 구비하고, 이들 관통 개구들 중 적어도 하나, 바람직하게는 모든 관통 개구가 충진 물질에 의해 충전되어 보강 부재로서 작용하는 적어도 하나의 연결 중심부를 형성한다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 수직형 접촉 프로브는 상기 적어도 하나의 관통 개구의 내측에 배치되어 상기 관통 개구의 측면에서 상기 측면 부분을 서로 연결하도록 구성된 적어도 하나의 물질 브리지를 더 포함할 수 있다.
특히, 수직형 접촉 프로브는 하나 이상의 관통 개구 또는 개구들 내부에 배치된 복수의 물질 브리지를 포함할 수 있다.
또한, 이 물질 브리지 또는 이들 물질 브리지 중 적어도 하나는 대응하는 관통 개구의 일단에 배치될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 수직형 접촉 프로브는 그 측벽들 중 하나로부터 유래하는 적어도 하나의 돌출 부재 또는 스토퍼를 더 포함할 수 있다.
상기 스토퍼는 수직형 접촉 프로브의 직경에 필적하는 치수를 갖는, 바람직하게는 5 내지 40㎛인 측면 연장부를 가질 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 충진 물질은 중합체 물질, 바람직하게는 파릴렌® 또는 무기 유전체 물질, 바람직하게는 알루미나(Al2O3)일 수 있다.
또한, 충진 물질은 수직형 접촉 프로브 전체를 코팅할 수 있다.
기술적인 문제는 또한 상술한 바와 같이 구현되는 복수의 수직형 접촉 프로브를 포함하여, 테스트중인 장치의 기능 테스트를 위한 수직형 접촉 프로브를 갖는 테스트 헤드에 의해 해결될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 테스트 헤드는 관통 개구가 없는 수직형 접촉 프로브를 더 포함할 수 있으며, 충진 물질로 채워진 관통 개구가 제공된 수직형 접촉 프로브는 테스트중인 장치의 전력 영역에 속하는 접촉 패드에 접촉하기 쉽고, 관통 개구가 없는 추가 수직형 접촉 프로브는 테스트중인 장치의 신호 영역에 속하는 추가 접촉 패드에 접촉하기 쉽고, 접촉 패드는 추가 접촉 패드보다 큰 치수 및 피치를 갖는다.
보다 구체적으로, 관통 개구가 없는 추가 수직형 접촉 프로브는 충진 물질로 채워진 관통 개구가 제공된 수직형 접촉 프로브의 프로브 직경보다 작은 프로브 직경을 가질 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 테스트 헤드는 테스트중인 장치에 의해 한정된 평면에 평행하게 수직형 접촉 프로브의 몸체를 따라 배치되고 하나의 수직형 접촉 프로브가 그들 각각을 관통하여 슬라이딩하는 적절한 가이드 구멍이 제공된, 적어도 하나의 보조 가이드를 더 포함할 수 있으며, 상기 보조 가이드는 수직형 접촉 프로브의 몸체의 임계 부분, 즉 몸체의 파손되기 쉬운 영역인 적어도 하나의 관통 개구의 일단을 포함하는 간격을 한정하도록 구성되고, 상기 임계 부분은 상기 수직형 접촉 프로브의 나머지 몸체에 대하여 낮은 또는 심지어 굽힘 응력을 겪지 않도록 상기 간격 내에 배치된다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 테스트 헤드는 지지부를 더 포함할 수 있고 접촉 영역에서 지지부에 고정적으로 결합된 각각의 접촉 헤드를 갖는 수직형 접촉 프로브를 포함할 수 있으며, 지지부와 함께 보조 가이드는 간격을 한정할 수 있고, 다른 간격은 이 경우 보조 가이드와 테스트중인 장치에 의해 정의된 평면 사이에서 한정된다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 테스트 헤드는, 평평하고 서로 평행하며 각각의 수직형 접촉 프로브가 내부에 수용되는 각각의 가이드 홀이 제공되는, 공간 트랜스포머의 접촉 패드 상에 접촉하도록 구성된 접촉 헤드를 갖는 적어도 하나의 하부 가이드와 상부 가이드를 더 포함할 수 있으며, 상기 상부 가이드 또는 하부 가이드 각각과 함께 상기 보조 가이드는 상기 적어도 하나의 관통 개구의 일단을 포함하는 간격을 한정할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 테스트 헤드는 수직형 접촉 프로브의 몸체를 따라, 하나의 수직형 접촉 프로브가 그들 각각을 관통하여 슬라이딩하는 적절한 가이드 구멍이 제공되는 하부, 상부 및 보조 가이드의 평면들에 평행하게 배치되고, 상기 보조 가이드와 상기 하부 가이드 또는 상기 상부 가이드 각각의 사이에 배치되는 추가 보조 가이드를 포함할 수 있으며, 상기 추가 보조 가이드는 상기 하부 가이드 또는 상기 상부 가이드 각각과 함께, 상기 수직형 접촉 프로브의 몸체의 추가 임계 부분인 적어도 하나의 관통 개구의 타단을 포함하는 추가적인 간격을 한정하고, 다른 간격은 이 경우 상기 보조 가이드와 상기 추가 보조 가이드 사이에 정의되고 상기 몸체의 임계 부분을 포함하지 않는다.
특히, 상기 다른 간격은 1000㎛ 내지 4000㎛, 바람직하게는 2000㎛ 내지 3000㎛의 길이를 가질 수 있고, 상기 간격 및 상기 추가적인 간격은 존재한다면, 100㎛ 내지 500㎛, 바람직하게는 200um 내지 300㎛의 길이를 가질 수 있다.
마지막으로, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 각각의 수직형 접촉 프로브는 돌출 부재 또는 스토퍼 위의 가이드의 가이드 구멍의 한 벽에 접촉할 수 있는, 그 측벽들 중 하나로부터 유래하는 적어도 하나의 돌출 부재 또는 스토퍼를 포함 할 수 있다.
본 발명에 따른 수직형 접촉 프로브 및 테스트 헤드의 특성 및 이점은 첨부된 도면을 참조하여 비 제한적인 실시 예로서 주어진 일 실시 예의 다음의 설명으로부터 명백해질 것이다.
첨부의 도면에서:
도 1은 종래 기술에 따라 구현된 테스트 헤드의 개략도이다.
도 2는 본 발명에 따라 구현된 접촉 프로브의 개략도이다.
도 3a 내지 3b는 도 2의 접촉 프로브의 대안적인 실시 예의 개략적인 단면도이다.
도 4a 내지 4c는 본 발명에 따른 접촉 프로브의 다른 실시 예의 개략도이다.
도 5a 내지 5c 및 도 6a 내지 6c는 도 4b의 접촉 프로브의 대안적인 실시 예의 개략적인 단면도이다.
도 7a 내지 7b는 본 발명에 따른 테스트 헤드의 실시 예의 개략도이다.
도 8은 본 발명에 따른 테스트 헤드의 바람직한 실시 예의 개략도이다.
도 9a 내지 9c 및 도 10a 내지 10b는 본 발명에 따른 테스트 헤드의 대안적인 실시 예의 개략도이다.
이러한 도면들, 특히 도 2를 참조하면, 본 발명에 따라 구현된 테스트 헤드가 설명되며, 전체적으로 21로 표시된다.
도면은 개략도를 나타내며, 도면은 일정한 비율로 그려진 것이 아니라, 본 발명의 중요한 특징을 강조하기 위해 그려져 있음을 유의해야 한다. 또한, 도면들에서 상이한 부분들은 개략적인 방식으로 도시되고, 그들의 형상은 원하는 응용에 따라 변경될 수 있다.
접촉 프로브(21)는 비틀리지 않은 구성으로 몸체(22)의 종 방향 치수로서 의도된, 미리 설정된 길이를 갖는 로드형 몸체(22)를 포함하고, 몸체(22)에 인접하는 각각의 단부가 제공된다.
편리하게, 접촉 프로브는 소위 짧은 유형이며, 길이가 5000㎛ 미만인 몸체(22)를 포함하여, 고주파 응용, 즉 1000MHz보다 높은 주파수를 갖는 신호를 운반하는 데 적합하게 만든다.
각각의 접촉 프로브(21)는 또한 적어도 하나의 제1 및 제2 단부, 특히 몸체(22)에 인접한 접촉 헤드(24) 및 접촉 팁(25)을 포함한다.
편리하게, 각각의 접촉 프로브(21)는 길이 치수에서 몸체(22)를 따라 연장되는 개구(28)를 또한 포함한다. 도 2에 도시된 예에서, 이 개구(28)는 실질적으로 중심 위치에서, 몸체(22)의 모든 길이에 대해 실질적으로 연장된다. 다시 말해, 개구(28)는 전체적으로 절개와 같이 또는 적어도 주로 몸체(22) 길이를 따라 나있는, 몸체에 관통 리세스를 구현한다.
따라서, 접촉 프로브(21)의 몸체(22)는 실질적으로 평행하고 개구(28)에서 중심부(22c)에 의해 서로 연결된, 적어도 하나의 제1 및 제2 측면부(22a, 22b)에 의해 형성된다.
이러한 방식으로, 접촉 프로브(21)의 강성은 현저하게 감소되어, 고주파 응용에 적합한 감소된 치수를 갖는 경우에도 몸체(22)를 파손할 위험을 없애지 않는다면 감소시킨다. 또한, 접촉 프로브(21)는 개구(28)없이 동일한 치수를 갖는 공지된 접촉 프로브에 대해 테스트중인 장치의 접촉 패드 상에 보다 적은 힘을 가하는 것으로 확인된다.
그러나, 본 출원인에 의해 행해진 시험은, 압박 및 접촉 프로브(21), 특히 그의 몸체(22)가 테스트 헤드(20) 수명 동안 겪는 굽힘으로 인해, 접촉 팁(25) 및 테스트중인 장치의 접촉 패드의 접촉에 대한 수 천번의 터치 동작 동안, 파손되기 쉬운 몸체(22)의 적어도 하나의 임계 부분(28A)이, 특히 측면부(22a 및 22b)의 접합부 근처에서 존재하여, 테스트 헤드(20)의 유효 수명을 대폭 감소시킨다는 것이 강조된다. 특히, 적어도 하나의 임계 부분(28A)이 접촉 헤드(24) 부근의 개구(28)의 일단에 있는 것이 확인된다.
특히, 임계 부분(28A)은 횡단면에서 명확한 변화가 발생하는 부분에 대응하고, 따라서 기계적 응력의 현저한 집중을 결정한다.
편리하게, 본 발명에 따르면, 도 3a의 단면도에 개략적으로 도시된 바와 같이, 접촉 프로브(21)는 중심부(22c)에서 몸체(22)의 강화 구조를 구현할 수 있는 적어도 하나의 충진 물질(36), 특히 중합체 물질을 포함하고, 제거되지 않는다면, 측면 구조(22a, 22b)에서 균열 또는 파손의 발생을 감소시킬 수 있어, 접촉 프로브(21)의, 따라서 이를 포함하는 시험 헤드의 유효 수명을 현저하게 증가시킬 수 있다.
대안으로, 도 3b에서 개략적으로 도시된 바와 같이, 개구(28)를 채우고 접촉 프로브(21) 전체를 코팅하기 위해 충진 물질(36)이 구현될 수 있다.
본 발명에 따른 접촉 프로브(21)의 일 실시 변형 예에 따르면, 그 내부에 그 몸체(22)를 따라 서로 실질적으로 평행하고 상기 개구로부터 분리된 복수의 부분을 한정하는 데 적합한 복수의 개구와 함께 포함된 접촉 프로브(21)의 몸체(22)를 제공하는 것도 가능하다.
예를 들어, 도 4a에서, 거의 모든 길이에 걸쳐 그 몸체(22)를 따라 연장되고 개구들(28 및 28')에서 측면에 형성된 복수의 물질 부분(22a-22e)을 한정하는 적어도 하나의 제1 개구(28) 및 제2 개구(28')를 구비한 접촉 프로브(21)가 도시되어 있다. 상기와 같이, 개구들(28 및 28')은 각각의 단부 사이에서, 즉 접촉 프로브(21)의 접촉 헤드(24)와 접촉 팁(25) 사이의 몸체(22) 전체를 따라 연장될 수 있다. 명백히, 동일한 길이 및/또는 폭을 갖지 않는 복수의 개구를 고려하는 것이 가능하다. 적어도 하나의 개구, 바람직하게는 몸체(22)에 구현된 모든 개구는 충진 물질(36)로 채워진다.
도 4b에 개략적으로 도시된 다른 대안적인 실시 예에 따르면, 접촉 프로브(21)는 개구(들)(28)의 내부에 배치되고 이들 개구의 측면에 있는 물질 부분을 서로 연결하는데 적합한 물질 브리지(35)를 또한 포함할 수 있고, 실질적으로 보강 부재처럼 작용한다. 본 발명에 따라 바람직하게는, 이들 물질 브리지(35)는 응력을 축적하기 쉬운 부분이고 측면 또는 각각의 개구(28)에서 물질 부분에 영향을 줄 수 있는 균열 또는 절개의 시작부로서 중요한 개구(28)의 단부 근처에 알맞게 배치된다.
보다 구체적으로, 도 4b에 도시된 예에서, 중심부(22c)에서 제1 및 제2 측면부(22a, 22b) 사이의 개구(28)에 배치되고, 개구(28) 자체의 단부에, 즉 접촉 프로브(21)의 접촉 헤드(24) 및 접촉 팁(25)의 근처에 배치되는 2개의 물질 브리지(35A 및 35B)가 도시된다.
명백히, 물질 브리지(35)의 개수 및 위치는 도시된 것과 다를 수 있다; 예를 들어, 이들 물질 브리지(35)가 개구의 단부에 대해 임의의 위치에서 구현될 수 있는 2보다 크고 및/또는 작은 수가 될 수 있을 뿐만 아니라 개구들(28) 전체 및/또는 일부의 내부에 구현될 수 있다는 것을 고려할 수 있다.
도 4c에 개략적으로 도시된, 또 다른 변형 예에 따르면, 접촉 프로브(21)는 또한 그의 측벽들(21a) 중 하나에서 각각의 몸체(22)로부터 돌출하는 적어도 하나의 부재를 포함 할 수 있다. 특히, 돌출 부재는 테스트중인 장치 또는 프로브의 단부 상에 접촉하는 공간 트랜스포머가 없는 경우 테스트 헤드로부터 나오는 것을 방지하는 데 적합한 접촉 프로브(21)의 정지 수단을 구현하는 데 사용되며, 특히 접촉 프로브(21)의 상향 이동(도면의 국부적인 기준에서)을 방지하는데 적합하다. 따라서, 돌출 부재는 스토퍼(23)로 도시된다.
도면에 도시된 바람직한 실시 예에서, 스토퍼(23)는 치형(tooth-shaped)이며, 접촉 프로브(21)의 몸체(22)와 일체로 형성된다; 또한 스토퍼(23)는 접촉 프로브(21)의 직경에 필적하는 치수, 특히 5 내지 40㎛의 치수의 측면 돌출부로 몸체(22)로부터 돌출할 수 있으며, ‘필적하는’은 전체적인 측면 치수와 접촉 프로브(21)의 직경 사이의 차이가 20% 미만인 것을 의미한다. 또한, 용어 ‘직경’은 이하에서, 비-원형 단면의 경우에도, 접촉 프로브(21)의 종 방향 전개 축에 수직인 단면의 최대 횡단 치수를 의미한다는 것이 강조되어야 한다.
특히, 스토퍼(23)는, 예를 들어 공간 트랜스포머의 제거의 경우 및 프로브의 접촉 헤드(24) 및 공간 트랜스포머의 접촉 패드 사이의 일시적으로라도 원하지 않는 "고착"의 경우에, 접촉 프로브(21)의 가능한 상향 이동의 경우에만 작용한다. 또한, 스토퍼(23)는 잘 알려진 바와 같이, 특히 접촉 프로브를 움직일 수 있는, 통상 강력한 에어 제트에 의한 클리닝 작업 시 접촉 프로브(21)의 원하지 않는 움직임을 방지할 수 있다.
도 4b에 개략적으로 도시 된 바와 같이, 접촉 프로브(21)가 개구(들)(28)에서 물질 브리지(35)를 또한 포함하는 경우, 중합체 물질(36)은 이들 물질 브리지(35)를 코팅하거나 또는 코팅하지 않는다. 특히, 일 실시 예에서, 이들 물질 브리지(35)는 접촉 프로브(21) 중 하나와 동일한 두께를 가지며 개구(28)를 채우는 충진 물질(36)로부터 나오거나 그렇지 않을 수 있다.
대안으로서, 접촉 프로브(21)의 몸체(22)의 측면부(22a, 22b)를 연결하는 물질 브리지(35) 중 하나에서 취해진 접촉 프로브(21)의 단면도를 도시하는, 도 5a-5c에 개략적으로 도시된 바와 같이, 접촉 프로브(21)의 두께(H)보다 작은 두께(H1)를 갖는 물질 브리지(35)를 고려할 수 있다.
보다 구체적으로, 각각의 물질 브리지(35)는 접촉 프로브(21)의 두께(H)의 예를 들어 10~90%와 동일한 두께(H1)를 가질 수 있다.
뿐만 아니라, 도 5a에 개략적으로 도시된 바와 같이, 접촉 프로브(21)의 일 측면에 평행하고 출현하는 적어도 하나의 측면을 갖도록 이들 물질 브리지(35)를 구현하는 것이 가능하다. 이 경우, 충진 물질(36)은 이들 물질 브리지에서 한정되고 접촉 프로브(21)의 두께(H)와 물질 브리지의 두께(H1) 사이의 차이와 동일한, H2=H-H1, 두께(H2)를 갖는 공동을 채울 수 있다.
실시 변형 예에 따르면, 접촉 프로브(21)는 도 5b에 도시된 바와 같이 대칭 구성에 따라, 또는 도 5c에 도시된 바와 같이 비대칭 구성에 따라, 접촉 프로브(21)의 몸체(22)의 외피 내부에 배치되는 두께(H1)를 갖는 물질 브리지(35)를 포함할 수 있다.
또한 이 경우, 충진 물질(36)은 동일하거나 상이한 두께를 갖는 이들 물질 브리지에서 한정된 공동을 채울 수 있다.
편리하게, 다른 대안적인 실시 예에 따르면, 도 6a-6c에 개략적으로 도시된 바와 같이, 접촉 프로브(21) 전체를 채우고 또한 코팅하기 위해 충진 물질(36)이 구현될 수 있다.
특히, 이 충진 물질(36)은 중합체 물질, 바람직하게는 파릴렌®, 또는 무기 유전체 물질, 바람직하게는 알루미나(Al2O3)이다.
특히, 충진 물질(36)은 오로지 공동 또는 공동들 내부에서만 제공되거나 추가 에칭 단계가 공동 또는 공동들 밖에서 충진 물질(36)을 제거하기 위해 요구되지 않는다는 것을 보장하기 위해 필요한 특별한 제한이 없기 때문에, 공동(28) 또는 공동들(28A 및 28B)를 채우는 충진 물질(36)에 의해 전체적으로 코팅된 접촉 프로브(21)를 제조하는 공정은 간소화될 수 있다.
또한, 충진 물질(36)은 접촉 프로브(21)의 코팅층이기도 하며, 프로브 전체의 성능을 향상시키기 위해 선택될 수 있다. 예를 들어, 접촉 프로브(21)의 몸체 부분에 한정된 절연 물질이 선택되어, 인접한 프로브들 사이에 우연한 접촉이 발생하지 않도록 보장할 수 있다. 선택적으로, 로듐과 같은 높은 강성을 갖는 전도성 물질이 프로브 자체의 소모를 감소시키기 위해, 특히 그의 단부에 대응하여 사용될 수 있다.
본 발명은 또한, 설명의 단순화 및 명료성을 위해 단지 하나의 프로브가 도시된 도 7a에 개략적으로 도시된 바와 같이, 상술한 바와 같이 구현되는 복수의 접촉 프로브(21)를 포함하는 테스트 헤드(20)에 관한 것이다.
이 실시 예에서, 프로브 유형은 자유 몸체 유형이고, 예를 들어, 세라믹인 지지부(27)에, 특히 접촉 영역(27A)에 고정적으로 결합된, 예를 들어 납땜된, 접촉 헤드(24)을 구비하는 반면, 접촉 팁(25)은 테스트중인 장치(26)의 접촉 패드(26A) 상에 접촉하기에 적합하다. 이는 고정 프로브 또는 자유 몸체 프로브를 구비한 테스트 헤드(20)로 불린다.
도 7b에 개략적으로 도시된 바와 같이, 소위 이동된 플레이트 유형의 테스트 헤드(20)를 구현하는 것도 가능하다; 이 경우에, 테스트 헤드(20)는 평평하고 서로 평행하며 복수의 접촉 프로브가 슬라이딩 가능하게 수납되는 가이드 구멍들(32A, 33A)이 제공되는, 도면에서는 설명의 간략화를 위해 항상 하나만 도시된, 일반적으로 "하부 다이"라고 불리는 적어도 하나의 플레이트형 지지부 또는 하부 가이드(32)와, 일반적으로 "상부 다이"로 불리는 적어도 하나의 플레이트형 지지부 또는 상부 가이드(33)를 포함한다. 상부 및 하부 가이드(33 및 32) 사이에는 길이(L), 예를 들어 1000㎛ 내지 4000㎛, 바람직하게는 2000㎛ 내지 3000㎛의 간격(31)이 한정되어 있다.
도 7b에 도시된 예에서, 테스트 헤드(20)는 또한 비-고정식 프로브 유형이고 각 접촉 프로브(21)의 접촉 헤드(24)는 공간 트랜스포머(29)의 접촉 패드(29A) 상에 접촉하기에 적합하다.
또한 이 경우에, 각각의 접촉 프로브(21)는 몸체(22)를 따라, 예를 들어 실질적으로 모든 길이에 대해, 다시 순수하게 예시를 통해 실질적으로 중앙 위치에서 연장되는 개구(28)를 포함한다.
따라서, 접촉 프로브(21)의 몸체(22)는 개구(28)에서 중심부(22c)에 의해 실질적으로 서로 평행하고 연결되는, 적어도 하나의 제1 및 제2 측면부(22a, 22b)에 의해 형성된다.
편리하게, 개구(28)는 접촉 프로브(21)의 몸체(22)의 강화 구조를 구현하기 위해 충진 물질(36)로 채워진다.
이러한 방식으로 짧은 프로브를 포함하는 테스트 헤드(20)를 구현하는 것이 가능하고, 따라서 고주파 응용에 적합하며, 개구(28)의 사용은 이들 접촉 프로브(21)의 몸체의 강성을 감소시키면서 동시에 테스트중인 장치(26)의 접촉 패드(26A) 상에 프로브의 접촉 팁(25)의 충돌 압력을 감소시킬 수 있고, 물질(36), 특히 중합체 물질의 충진은 접촉 프로브(21)의 몸체(22)의 균열 또는 절단을 방지할 수 있다는 것이 강조되어야 한다.
편리하게, 충진 물질(36)로 채워진 개구(28)가 제공된 접촉 프로브(21)는 프로브 자체 또는 접촉하는 패드를 파손할 위험 없이, 이들 개구가 없는 종래의 접촉 프로브에 비해 더 큰 직경을 갖도록 구현될 수 있다.
본 발명에 따른 테스트 헤드(20)의 특히 바람직한 실시 예가 도 8에 개략적으로 도시된다.
테스트 헤드(20)는 종래의 방식으로 구현되고 그에 따라서 종 방향 개구가 제공되지 않는, 21B로 도시된 복수의 접촉 프로브와 함께, 충진 물질(36)로 채워진 개구(28)가 제공되고, 상술한 바와 같이 구현되는 복수의 접촉 프로브(21)를 포함한다.
도면에 도시된 예에서, 테스트 헤드(20)는 이동된 플레이트 유형이고 따라서 평평하고 서로 평행하며, 내부에 개구가 없는 접촉 프로브(21B)가 슬라이딩식으로 수납된 각각의 추가 가이드 구멍(32B 및 33B)이 제공된 하부 가이드(32) 및 상부 가이드(33)를 포함한다.
보다 구체적으로, 개구가 없는 각각의 접촉 프로브(21B)는 테스트중인 장치(26)의 추가 접촉 패드(26B) 상에 접촉하기에 적합한 접촉 팁(25B)뿐만 아니라, 공간 트랜스포머(29)의 추가 접촉 패드(29B) 상에 접촉하기에 적합한 접촉 헤드(24B)를 포함한다.
도 8에 도시된 테스트 헤드(20)의 접촉 프로브들(21 및 21B)은 실질적으로 동일한 길이를 갖는다는 것이 강조되어야 한다. 그러나, 개구가 없는 접촉 프로브(21B)는 충진 물질(36)로 채워진 개구(28)가 제공된 접촉 프로브(21)의 대응하는 프로브 직경보다 작은 프로브 직경을 갖는다. 그러나, 충진 물질(36)로 채워진 개구(28)의 존재 덕분에, 더 큰 직경을 갖는 접촉 프로브(21)는 적절한 작동 및 이들을 포함하는 테스트 헤드(20)에 대한 충분한 유효 수명을 보장하기에 충분한 탄성을 갖는다.
따라서, 도 8에 도시된 바와 같이 구현되는 동일한 테스트 헤드(20)를 사용하여, 상이한 피치(pitch)를 갖는 영역을 갖는 집적 장치를 테스트하는 것이 가능하다는 점이 강조되어야 한다.
실제로, 집적 회로를 구현하는 데 사용된 가장 최신의 기술 발전으로 인해 장치 자체의 서로 다른 영역에서 다른 상대 거리 또는 피치를 갖는 접촉 패드의 2차원 어레이를 갖는 장치를 구현할 수 있다는 것이 알려져 있다. 특히, 상이한 피치를 갖는 이들 영역은 상이한 특성을 갖는 신호를 취급하기 위해 전용된, 상이한 치수를 갖는 접촉 패드를 또한 포함한다.
보다 구체적으로, 이러한 장치는 전력 영역이라 불리는 제1 영역을 포함하며, 여기서 접촉 패드는 신호 영역이라 불리는 제2 영역에 대해 대응하는 중심들 사이의 더 큰 횡단 치수 및 거리를 가지며, 여기서 패드는 더 작고 서로 가깝다. 이 경우에는 멀티-피치 장치라고 불린다.
일반적으로, 제1 전력 영역에서 1A의 범위에서 높은 전류 값을 갖는 공급 신호가 처리되는 반면, 제2 신호 영역에서는 특히 0.5A의 범위에서 보다 낮은 전류 값을 갖는 입력/출력 신호가 처리된다.
편리하게, 도 8에 도시된 본 발명에 따른 테스트 헤드(20)는, 특히 제1 전력 영역에 충진 물질(36)로 채워진 개구(28)가 제공된 접촉 프로브(21) 및 제2 신호 영역에 개구가 없는 접촉 프로브(21B)를 사용하여, 이들 장치의 테스트를 수행할 수 있게 하고, 모든 프로브는 동일한 길이를 갖는다. 이런 방식으로, 멀티-피치 장치의 테스트가 수행된다.
도 9a에 개략적으로 도시된 다른 대안적인 실시 예에 따르면, 테스트 헤드(20)는 고정된 프로브를 갖는 유형이고, 지지부(27) 또는 테스트중인 장치(26)에 의해 한정된 평면에 평행하게 몸체(22)를 따라 배치되고, 일반적으로 평평하고 서로 평행하며, 적절한 가이드 구멍들(30A) 및 그들 각각의 내부에서 슬라이딩하는 하나의 접촉 프로브(21)가 제공된 적어도 하나의 플레이트형 지지부 또는 보조 가이드(30)를 더 포함한다.
이러한 방식으로, 보조 가이드(30)와 테스트중인 장치(26) 사이의 간격 (31A)에 더하여, 보조 가이드(30)와 지지부(27) 사이에 추가적인 간격(31B)이 한정된다. 편리하게, 추가적인 간격(31B)에서 접촉 프로브(21)에서 구현된 개구(28)의 적어도 일단 부분이 배치되고, 충진 물질(36)이 존재하더라도, 이는 균열 또는 파손이 발생할 가능성이 더 높은 접촉 프로브(21)의 임계 부분(28A)으로 고려될 수 있다.
특히, 임계 부분(28A)은 횡단면의 명확한 변화가 발생하는 프로브 부분에 대응하고, 따라서 기계적 응력의 현저한 집중을 결정한다.
도 9a의 국부적인 기준 및 실시 예를 참조하면, 보조 가이드(30)는 임계 부분(28A) 아래 및 그 부근의 몸체(22)를 따라 배치된다.
보조 가이드(30)에 의해 한정된 추가적인 간격(31B)은, 추가적인 간격(31B) 내에 포함된 임계 부분(28A)에서 오른쪽으로 파손될 가능성을 감소시키는, 특히 간격(31A)의 굽힘 응력보다 낮은 굽힘 응력을 갖는 접촉 프로브(21)의 부분을 한정한다는 것인 강조되어야 한다.
편리하게, 간격(31A)은 보조 가이드(30)의 언더컷 표면 및 접촉 패드(26A)를 포함하는 테스트중인 장치(26)의 표면 사이의 거리로 정의된, 길이(L1A)를 갖는다; 간격(31A)의 길이(L1A)는 1000㎛ 내지 4000㎛ 사이, 바람직하게는 2000㎛ 내지 3000㎛ 사이이다. 유사한 방식으로, 추가적인 간격(31B)은 보조 가이드(30)의 언더컷 표면에 대향하는 표면 및 접촉 프로브(21)의 접촉 헤드(24)가 연결된, 특히 납땜된 지지부(27)의 표면 사이의 거리로 정의된, 길이(L1B)를 갖는다; 추가적인 간격(31B)의 길이(L1B)는 100㎛ 내지 500㎛ 사이, 바람직하게는 200㎛ 내지 300㎛ 사이이다.
본 발명에 따라 유리하게는, 접촉 프로브(21)가 낮은 또는 심지어 굽힘 응력을 겪지 않으며, 개구(28)에 의해 몸체(22)에 도입된 임계 부분(28A), 즉 파손되기 쉬운 영역을 포함하는 추가적인 간격(31B)을 형성하기에 적합한 보조 가이드(30)의 사용은, 짧은 수직형 프로브, 즉 5000㎛ 미만의 길이를 갖는 테스트 헤드(20)를 구현할 수 있게 하고, 따라서 공지된 테스트 헤드의 수명보다 길지 않으면 비교할만한 유효 수명을 가지고 고주파 응용에 적합하며, 임계 부분(28A)에서 그 프로브를 파손할 가능성을 없애지 않으면 감소시킨다.
도 9b에 개략적으로 도시된 바와 같이, 소위 이동된 플레이트 유형의 테스트 헤드(20)를 구현하는 것도 가능하다; 이 경우, 테스트 헤드(20)는 평평하고 서로 평행하고, 그 내부에 복수의 접촉 프로브가 슬라이딩 가능하게 수납되는 각각의 가이드 구멍(32A 및 33A)이 제공된 적어도 하나의 하부 가이드 (32) 및 상부 가이드(33)를 포함하며, 간략화를 위해, 도면에는 항상 그들 중 하나만이 도시되고, 특히 공간 트랜스포머(29)의 접촉 패드(29A) 상에 접촉하기에 적합한 접촉 헤드(24)가 제공되고 고정되지 않는 하나만이 도시된다.
또한 이 경우, 각각의 접촉 프로브(21)는 몸체(22)를 따라 실질적으로 그 전체 길이에 걸쳐 연장되는 개구(28)를 포함하고 그것은 충진 물질(36)로 채워지고, 그 몸체는 감소된 치수, 특히 5000㎛ 미만의 길이를 갖고, 따라서 고주파 응용에 적합하다.
도 9b에 도시된 대안적인 실시 예에 따르면, 테스트 헤드(20)는 또한, 대체로 서로 평행한 테스트중인 장치(26) 및 공간 트랜스포머(29)의 평면에 차례로 평행한, 하부 및 상부 가이드(32 및 33)의 평면들과 평행하게 몸체(22)를 따라 배치된, 적어도 하나의 플레이트형 지지부 또는 보조 가이드(30)를 포함한다. 이 경우에도, 충전 물질(36)로 충전된 개구(28)의 일단에 임계 부분(28A)을 포함하지 않는, 보조 가이드(30)와 하부 가이드(32) 사이에 간격(31A)과, 예를 들어 접촉 헤드(24) 근처에 임계 부분(28A)이 위치되는 보조 가이드(30) 및 상부 가이드(33) 사이에 추가적인 간격(31B)이 한정된다.
이 경우에도, 추가적인 간격(31B)은 낮은 굽힘 응력을 갖는 접촉 프로브(21)의 일부분에 대응하며, 그 안에 포함된 임계 부분(28A)에서 몸체(22)를 파손할 가능성을 감소시킨다.
간격(31A)은 보조 가이드(30)의 언더컷 표면과 간격(31) 자체의 내부에 하부 가이드(32)의 표면 사이의 거리로 정의된, 길이(L1A)를 갖는다; 상기와 같이, 길이(L1A)는 1000㎛ 내지 4000㎛, 바람직하게는 2000㎛ 내지 3000㎛의 값을 가질 수 있다.
추가적인 간격(31B)은 보조 가이드(30)의 언더컷 표면에 대향하는 표면 및 상부 가이드(33)의 언더컷 표면 사이의 거리로 정의된, 길이(L1B)를 갖는다; 추가적인 간격(31B)의 길이(L1B)는 100㎛ 내지 500㎛, 바람직하게는 200㎛ 내지 300㎛의 값을 가질 수 있다.
도 9c에 도시된 대안적인 실시 예에 따르면, 테스트 헤드(20)는 또한, 차례로 평평하고 서로 대체로 평행한 테스트중인 장치(26) 및 공간 트랜스포머 (29)의 평면들에 평행하고, 하부, 상부 및 보조 가이드(32, 33 및 30)의 평면들과 평행하게 몸체(22)를 따라 배치된, 특히 보조 가이드(30) 및 하부 가이드(32) 사이에 배치된, 적어도 하나의 추가 보조 가이드(34)를 포함할 수 있다.
이러한 추가 보조 가이드(34)는 접촉 팁(25) 부근에서 개구(28)의 타단에 배치되는, 파손되기 쉬운 몸체(22)의 추가 임계 부분(28B)을 둘러싸는, 다른 추가적인 간격(31C)을 한정할 수 있다.
다시 말해서, 도 9c의 실시 예 및 국부적인 기준을 참조하면, 추가 보조 가이드(34)는 임계 부분(28B) 위 및 그 부근의 몸체(22)를 따라 배치된다.
이 경우에도, 다른 추가적인 간격(31C)은 낮은 굽힘 응력을 갖는 접촉 프로브(21)의 일부분에 대응하며, 그 안에 포함된 임계 부분(28B)에서 몸체(22)를 파손할 가능성을 감소시킨다.
명백히, 접촉 헤드(24) 부근의 개구(28)의 일단에 임계 부분(28A)이 위치된, 보조 가이드(30) 및 상부 가이드(33) 사이에 추가적인 간격(31B)을 한정하기 위해 상부 가이드(33) 및 하부 가이드(32) 사이에 배치된 보조 가이드(30)를 포함하는 테스트 헤드(20)를 고려하는 것이 가능하다.
유사한 방식으로, 이 경우에 테스트 헤드(20)는 접촉 팁(25) 근처의 개구(28)의 타단에 배치되는, 파손되기 쉬운 몸체(22)의 추가 임계 부분(28B)을 둘러싸는 다른 추가적인 간격(31C)을 한정하기 위해 보조 가이드(30) 및 하부 가이드(32) 사이에 배치된, 추가 보조 가이드(34)를 포함할 수 있다.
도면에 도시된 예를 참조하면, 보조 가이드(30) 및 추가 보조 가이드(34)의 존재로 인해, 임계 부분들(28A 및 28B)을 포함하지 않는 보조 가이드(30) 및 추가 보조 가이드(34) 사이에 하나의 간격(31A)이, 임계 부분(28A)이 위치되는 보조 가이드(30) 및 상부 가이드(33) 사이에 추가적인 간격(31B)이, 추가 임계 부분(28B)이 위치되는 추가 보조 가이드(34) 및 하부 가이드(32) 사이에 다른 추가적인 간격(31C)이 한정된다.
명백히, 이 경우 간격(31A)의 길이(L1A)는 보조 가이드(30)의 벽과 그 내부로 향하는 추가 보조 가이드(34) 사이의 거리로서 정의되는 반면, 다른 추가적인 간격(31C)은 추가 보조 가이드(34) 및 그 내부로 향하는 하부 가이드(32)의 벽들 사이의 거리로서 의도된 길이(L1C)를 갖는다.
다른 추가적인 간격(31C)의 길이(L1C)에 대해서도 추가적인 간격(31B)의 길이(L1B)에 대해 도 9b의 실시 예에 상기 도시된 동일한 범위의 값을 고려하는 것이 가능하다.
도 9c에 도시된 테스트 헤드(20)의 실시 예는 충진 물질(36)로 채워지더라도 각각의 개구(28)가 제공된 접촉 프로브(21)의 응력, 특히 굽힘 응력으로 인한 파손의 가능성을 더욱 감소 시키고, 낮은 또는 매우 낮은 응력, 특히 굽힘 응력을 갖는 영역에서 임계 부분(28A 및 28B)을 둘러싸는 보조 가이드(30) 및 추가 보조 가이드(34)의 배치 덕분에, 고주파 응용에 적합하게 한다. 따라서, 테스트 헤드(20)는 적절한 유효 수명, 특히 공지된 해결책보다 더 긴 수명을 가질 것으로 기대된다.
마지막으로, 출원인에 의한 테스트는, 이동된 플레이트 유형의 테스트 헤드의 경우, 상부 가이드(33)에 부가한 보조 가이드(30)의 존재가 어떻게 각각의 가이드 구멍(30A 및 33A) 내에서 접촉 프로브(21)의 슬라이딩을 상당히 증가시키는지 검증할 수 있었다.
이 경우, 접촉 프로브(21)의 몸체(22)의 원하는 굽힘을 구현하기 위해 하부 가이드(32)와 상부 가이드(33)를 서로에 대해 이동시키는 것이 잘 알려져 있다. 또한, 공지된 기술 및 상술한 바와 같이, 테스트 헤드(20)의 내부에 프로브를 원하는 상태로 유지하기 위해, 상부 가이드(33) 및 보조 가이드(30)를 서로에 대해 이동시키는 것도 가능하다. 그러나, 상부 가이드(33)와 보조 가이드(30)의 상대적인 움직임으로 얻어진 접촉 프로브(21)의 유지는 접촉 프로브(21)가 테스트중인 장치(26) 또는 공간 트랜스포머(29)가 없는 상태에 테스트 헤드(20) 외부로 슬라이딩하는 것을 방지할 수 없다. 유사하게 하부 가이드(32) 및 추가 보조 가이드(34)가 존재한다면 고려될 수 있다.
도 10a에 개략적으로 도시된, 본 발명의 테스트 헤드(20)의 대안적인 실시 예에 따라 바람직하게는, 접촉 프로브(21)는 또한 그 벽들 중 하나에서 각각의 몸체(22)로부터 돌출하는 적어도 하나의 부재를 포함한다. 상기 돌출 부재는 특히 테스트중인 장치(26) 또는 공간 트랜스포머(29)가 없는 상태에서도 접촉 프로브(21)가 테스트 헤드(20)로부터 빠져 나가는 것을 방지하기에 적합한 접촉 프로브(21)의 정지 수단을 구현하는데 사용되며, 다음에 스토퍼(23)로 표시될 것이다.
특히, 이하의 설명에서 설명되는 바와 같이, 스토퍼(23)는 대응하는 접촉 프로브(21)의 상향 이동(도 9a의 국부적인 기준에서)을 방지할 수 있다.
도면에 도시된 바람직한 실시 예에서, 스토퍼(23)는 접촉 프로브(21)의 몸체(22)와 일체인, 치형이다. 또한, 스토퍼(23)는 접촉 프로브 (21)의 직경에 필적하는 특히 5 내지 40 ㎛인 측면 돌출부를 갖는 몸체(22)로부터 돌출하고, ‘필적하는’은 전체적인 측면 치수와 접촉 프로브(21)의 직경 사이의 차이가 20% 미만이라는 것을 의미한다. 또한, 용어 ‘직경’은, 본 명세서 및 이하에서 비-원형 횡단면의 경우에도, 대응하는 횡단면의 최대 횡단 치수를 의미한다는 것을 상기해야 한다.
도 10a에 도시된 실시 예에서, 스토퍼(23)는 그 위의 보조 가이드(30)의 가이드 구멍(30A)의 벽에 접촉하기에 적합한 접촉 프로브(21)의 벽(21a)으로부터 돌출하는 간격(31A)에 배치된다.
스토퍼(23)는 접촉 프로브(21)의 몸체(22)를 따라 배치되어, 대응하는 테스트 헤드(20)의 정상적인 작동 중에, 대응하는 접촉 프로브(21)의 이동을 방해하지 않도록 하기 위해 스토퍼(23)는 보조 가이드(30)와 접촉하지 않는다. 이러한 방식으로, 스토퍼(23)는 접촉 프로브(21)의 가능한 상향 이동의 경우에만, 예를 들어 공간 트랜스포머(29)의 제거 및 원하지 않게 일시적인 경우라도 프로브의 접촉 헤드(24)와 공간 트랜스포머(29)의 접촉 패드(29A) 사이에 "고착"되는 경우에 작용한다.
실제로, 스토퍼(23)는 스토퍼(23)가 돌출하는 접촉 프로브(21)의 벽(21a) 상에 정확하게 접촉하는 보조 가이드(30)의 가이드 구멍(30A)의 벽에 위치되어, 다시 도 10a의 국부적인 기준에서, 접촉 프로브(21)가 상향 이동하려고 시도하는 경우 보조 가이드(30)의 언더컷 표면 상에 접촉하는 것을 보장한다.
스토퍼(23)는 일반적으로 강력한 공기 분사기에 의해 수행되는, 특히 접촉 프로브를 이동시킬 수 있는 테스트 헤드 (20)의 클리닝 작업 시 접촉 프로브(21)의 바람직하지 못한 이동을 방지 할 수 있으며, 상기 이동은 보조 가이드(30)의 존재로 인한 가이드 구멍 내의 프로브의 향상된 슬라이딩에 의해 촉진된다는 것이 또한 강조되어야 한다.
또한, 종래 기술이므로 도시되지 않은, 접촉 헤드(24)는 상부 지지부(33)에 구현된 가이드 구멍(33A)의 직경보다 큰 치수를 갖도록 구현될 수 있어, 대응하는 접촉 프로브(21)의 하부 슬라이딩(도 10a의 국부적인 기준에서)을 방지할 수 있다.
대안적인 일 실시 예에서, 접촉 프로브(21)는 벽(21a)에 대향하는 다른 벽(21b)으로부터 돌출하도록 구현되고 추가적인 간격(31B)에 배치된 적어도 하나의 스토퍼(23')를 포함한다; 특히, 다른 벽(21b)은 그 위의 상부 가이드(33)의 가이드 구멍(33A)의 벽에 접촉하기에 적합하다.
상부 가이드(33)와 보조 가이드(30) 사이, 즉 추가적인 간격(31B)에 스토퍼(23')의 배치는 응력이 감소된 영역, 특히 구부러짐이 거의 없는 영역이기 때문에 특히 유리하다. 이러한 방식으로, 접촉 프로브(21)의 벽으로부터 돌출하는 형상이 필연적으로 응력 축적 점을 도입하는 스토퍼(23')에서 원하지 않는 파손을 야기할 위험이 없다.
상이한 가이드들(32, 33, 30 또는 34)에서 구현되는 가이드 구멍은 스토퍼(23 및 23')에서 또한 접촉 프로브(21)의 통과를 허용하기 위해 적절한 크기를 갖는다는 것이 강조될 필요가 있다.
보다 구체적으로, 가이드 구멍은 접촉 프로브(21)의 직경과 스토퍼(23 또는 23')의 전체 측면 치수의 합에 프로세스 공차를 고려한 값을 더한 직경으로 제조된다.
도 10b에 도시된 예에서, 접촉 프로브(21)는 간격(31A)에 배치된 스토퍼(23) 및 추가적인 간격(31B)에 배치된 추가 스토퍼(23')를 포함하고, 이들은 접촉 프로브(21)의 대향하는 벽들(21a, 21b)로부터 돌출한다.
이러한 구성으로, 스토퍼들(23, 23') 모두는 접촉 프로브(21)의 벽에서 각각의 가이드 구멍의 벽과 접촉하고, 따라서 테스트 헤드(20) 내부에서 접촉 프로브(21)의 향상된 유지를 보장하고, 이중 힘으로 그것의 어떠한 가능한 상향 이동도 방지한다.
이 경우, 가이드 구멍은 접촉 프로브(21)의 직경과 스토퍼(23 또는 23')의 전체 측면 치수의 합에 프로세스 공차를 고려한 값을 더한 직경으로 제조된다.
대안적으로, 이들 스토퍼들(23 및 23')이 접촉 프로브(21)의 동일한 벽(21a 또는 21b)으로부터 돌출하는 것을 고려할 수 있다.
실제로 이러한 방식으로, 스토퍼들(23 및 23') 중 적어도 하나는 일반적으로 프로브의 장착 각도로 불리는 프로브 자체의 구부러짐과는 독립적으로, 가이드 구멍의 벽에서 접촉 프로브(21)의 벽과 접촉하기 때문에 가이드 구멍을 통한 이동이 방지되는 반면, 도 10b에 도시된 실시 예는 접촉 프로브(21)의 단일 장착 각도를 위해 사용될 수 있다.
또한, 스토퍼들(23, 23')은 동일한 방향으로 전체 치수를 도입하고, 따라서 가이드(32, 33, 30 및 가능하면 34)의 가이드 구멍을 구현할 때 고려되어야 하는 최소 직경 값의 최소화를 보장한다.
추가 실시 예(미도시)에 따르면, 접촉 프로브(21)는 접촉 프로브(21)의 벽으로부터 돌출하고 추가적인 간격(31B) 및 간격(31A)에서 각각 쌍으로 배열되는 적어도 4개의 스토퍼를 포함할 수 있다.
이러한 방식으로, 한 쌍의 스토퍼가 장착 각도로부터 독립적으로, 접촉 프로브(21)의 바람직하지 않은 상향 이동 시 가이드의 언더컷 벽 상에 항상 접촉하기에 적합하다는 사실로 인해 향상된 유지를 보장할 수 있다.
다시, 설명되는 모든 다른 실시 예에서, 테스트 헤드(20)의 정상적인 작동 중에, 스토퍼(23 및/또는 23')는 대응하는 접촉 프로브(21)의 이동을 방해하지 않기 위해, 가이드(33 또는 30)와 접촉하지 않는다는 것이 강조되어야 한다. 편리하게, 스토퍼(23)는 대신, 예를 들어 공간 트랜스포머(29)의 제거 또는 테스트 헤드(20)의 클리닝 작업 시에, 접촉 프로브(21)의 상향 이동을 방지하기 위해 작용한다.
또한, 스토퍼(23)가 접촉 프로브(21)를 포함하는 테스트 헤드(20)의 정상 작동을 방해하지 않는 것을 보장하기 위해, 스토퍼(23)는 바람직하게 5~10㎛와 동일한 최소값보다 큰 거리(D)에 배치될 수 있다. 임의의 간섭 문제를 피하기 위해, 거리(D)는 바람직하게는 100㎛ 초과, 보다 바람직하게는 150㎛ 초과로 선택된다.
스토퍼(23)는 접촉 프로브(21)의 접촉 팁(25)이 하부 지지부(32)로부터, 특히 대응하는 가이드 구멍(32A)으로부터 빠져 나가지 못하게 하기 위해 적절히 위치된다. 실제로, 접촉 팁(25)이 빠져 나오면, 접촉 프로브(21)가 일단 제자리로 되돌아 올 때 접촉 팁(25)에 가이드 구멍(32A)을 새롭게 정렬시키지 않고는, 접촉 프로브(21)를 포함하는 테스트 헤드(20)를 사용할 수 없게 만든다.
따라서, 스토퍼(23)는 그 위의 가이드, 예를 들어 도 10a에 도시된 경우와 같은 보조 가이드(30), 특히 이 보조 가이드(30)의 언더컷 벽으로부터, 테스트 헤드(20) 외부로 하부 가이드(32)로부터 돌출된 접촉 팁(24)의 길이(Lp)와, 특히 대응하는 가이드 구멍(32A)의 높이에 대응하는 하부 가이드(32)의 두께(Sp)의 합보다 작은 값을 가지는, 즉 D<Lp+Sp인, 거리(D)에 배치된다. 스토퍼(23)의 적절한 배치는 좌굴 빔 유형의 접촉 프로브의 경우에 특히 유리함이 강조되어야 한다; 실제로 이 경우, 하부 가이드(32)의 가이드 구멍(32A)으로부터 접촉 프로브(21)의 접촉 팁(25)이 빠져 나가는 것은 프로브 자체의 갑작스런 펴짐을 유발하여, 제자리에 다시 넣지 못하게 한다.
결론적으로, 소위 짧은 접촉 프로브, 즉 길이가 5000㎛ 미만인 몸체를 갖도록 구현하는 것이 가능하고, 따라서 고주파 응용에 적합하지만, 프로브 자체를 파손할 가능성이 없어지지 않은 경우, 감소시킬 수 있는 탄성을 제공한다.
특히, 프로브 몸체에서 구현되고 충진 물질, 예를 들어 폴리머 물질로 적절하게 채워진 관통 개구의 존재는 프로브 몸체의 탄성을 증가 시키며, 파손의 위험과, 접촉 프로브가 또한 고주파 응용에 적합한 감소된 치수를 갖는 때, 대응하는 접촉 팁이 테스트중인 장치의 접촉 패드 상에 작용하는 압력을 감소 시킨다.
이러한 방식으로, 고주파 응용에서, 특히 1000MHz보다 높은 주파수에서 길이가 5000 ㎛ 미만인, 이들에 포함되는 프로브 몸체의 감소된 치수와, 특히 성능이 좋고 사용에 적합한 작동 특성을 갖고, 이들 프로브의 강성을 감소시키는 접촉 프로브의 몸체에 충진 물질로 채워진 개구의 존재 덕분에, 프로브 자체를 파손시킬 가능성을 크게 줄이고 동시에 대응하는 접촉 팁에 의해 가해지는 압력을 적절하게 감소시켜 테스트중인 장치의 접촉 패드가 파손되는 것을 방지하는, 테스트 헤드를 구현하는 것이 가능하다.
바람직한 실시 예에 따르면, 본 발명에 따른 테스트 헤드는, 특히 더 큰 치수 및 피치를 갖는 접촉 패드가 있는 제1 전력 영역에 공동이 제공된 접촉 프로브 및 더 작은 치수 및 피치를 갖는 접촉 패드가 있는 장치의 제2 신호 영역에 공동이 없는 접촉 프로브를 사용함으로써, 멀티-피치 장치의 테스트를 수행할 수 있게 하며, 모든 프로브는 동일한 길이를 갖는다.
편리하게, 본 발명에 따른 테스트 헤드의 다른 실시 예에 따르면, 충전 물질로 채워진 개구 및 프로브 몸체의 낮은 또는 매우 낮은 응력을 갖는 영역을 한정하기에 적합하고, 개구의 존재로 인해 파손되기 쉬운 영역으로 의도된 그 몸체의 하나 이상의 임계 부분을 포함하도록 적합하게 배치된 적어도 하나의 보조 가이드의 조합된 사용은, 특히 공지의 해결책보다 길지 않은 경우 비교할만한, 적절한 유효 수명을 갖는 고주파 응용에 적합한 테스트 헤드를 얻게 한다.
또한, 접촉 프로브의 슬라이딩을 위한 적절한 가이드 구멍을 포함하는 적어도 2개의 가이드의 존재는 그 슬라이딩을 향상시키고 프로브가 바람직하지 않게 블록되지 않도록 보장한다.
테스트 헤드 내부의 마찰력의 감소는 개별 부품의 연장된 수명뿐만 아니라 부품의 향상된 작동과 그에 따른 비용 절감을 의미한다는 것이 강조되어야 한다.
또한, 적어도 하나의 스토퍼의 존재는 테스트 헤드의 적절한 작동, 특히 그 안에 포함되는 접촉 프로브의 배치 및 적절한 유지를 보장한다.
특히, 스토퍼는 특히 접촉 프로브를 이동시킬 수 있는 강력한 에어 제트에 의해 통상 수행되는 테스트 헤드의 클리닝 작업 시 접촉 프로브의 바람직하지 못한 이동을 방지할 수 있으며, 공간 트랜스포머 제거 시 테스트 헤드 내부에서 접촉 프로브를 유지할 수 있으며, 상부 지지부의 가이드의 대응하는 언더컷 벽 상에 스토퍼를 접촉시킴으로써 구현되는 저항력은 공간 트랜스포머 자체의 패드에 대한 접촉 헤드의 접촉을 유지하는 산화물을 파손하도록 보장한다.
다시, 테스트 헤드의 정상 작동 중에, 스토퍼는 가이드와 접촉하지 않으며, 따라서 대응하는 접촉 프로브의 이동을 방해하지 않는다는 것이 강조되어야 한다. 편리하게, 스토퍼는 공간 트랜스포머쪽으로 접촉 프로브의 바람직하지 못한 이동 시도의 경우에만 작용한다.
특히, 스토퍼는 접촉 프로브의 접촉 팁이 하부 가이드, 특히 대응하는 가이드 구멍으로부터 빠져나는 것을 방지하기 위해 배치되며, 이는 특히 좌굴 빔 기술의 경우, 테스트 헤드를 상당히 쓸 수 없게 만든다.
종래의 포토 리소그래피 기술에 의해 몰드로부터 직접적으로 또는 MEMS(Micro Electro-Mechanical System) 기술에 의해, 또는 레이저 기술에 의해 일체로 제조되는 각각의 정지 수단 또는 스토퍼와 함께 접촉 프로브가 용이하고 저비용으로 제조된다는 사실로 인한 장점에 주목해야 한다.
상기 고려 사항은 여기에 설명되지 않았지만 본 발명의 목적인 다른 실시 예, 예를 들어 다수의 공동 및 단지 하나의 보조 가이드를 갖는 또는 하부 가이드 근처에 배치된 스토퍼를 갖는 또는 전반적으로 더 많은 수의 가이드를 갖는 테스트 헤드에 대해서도 적용된다. 또한, 일 실시 예와 관련하여 시행된 수단은 다른 실시 예에서도 사용 가능하며, 2 이상이 서로 자유롭게 결합될 수 있다.
명백하게, 상술한 테스트 헤드에, 특정하고 구체적인 요구를 충족시키기 위해, 당업자는 다음의 청구 범위에 의해 한정된 본 발명의 보호 범위에 포함되는 몇 가지 변경 및 변형을 할 수 있을 것이다.

Claims (18)

  1. 전자 장치의 테스트 장치를 위한 테스트 헤드의 수직형 접촉 프로브(21)로서,
    각각의 접촉 패드와 접촉하도록 구성된 각각의 단부(24, 25) 사이에서 종 방향으로 연장되는 프로브 몸체(22)를 포함하고,
    하나의 단부는 테스트중인 장치(26)의 접촉 패드(26A) 상에 접촉하도록 구성된 접촉 팁(25)이고,
    각각의 상기 수직형 접촉 프로브(21)의 상기 몸체(22)는 5000㎛ 미만의 길이를 갖고, 그 종 방향 치수에 걸쳐 연장되는 적어도 하나의 관통 개구(28)를 포함하고,
    상기 적어도 하나의 관통 개구(28)는 상기 몸체(22)에서 상기 관통 개구(28)에 대응하여 충진 물질(36)로 만든 연결 중심부(22c)에 의해 서로 평행하게 접합되는, 적어도 하나의 제1 및 제2 측면부(22a, 22b)를 한정하도록 상기 충진 물질(36)에 의해 채워지고,
    상기 충진 물질(36)로 만든 상기 연결 중심부(22c)는 보강 부재로서 작용하는, 수직형 접촉 프로브(21).
  2. 청구항 1에 있어서,
    서로 평행하고, 동일하거나 상이한 길이, 폭 또는 길이와 폭을 갖고 상기 몸체(22)에서 복수의 측면부들을 한정하는, 상기 몸체(22)에 제공된 복수의 관통 개구들(28, 28')을 포함하고,
    상기 관통 개구들 중 적어도 하나는, 바람직하게는 모든 상기 관통 개구들 (28, 28')은, 보강 부재로서 작용하는 적어도 하나의 연결 중심부(22c, 22e)를 형성하기 위해 상기 충진 물질(36)로 채워지는, 수직형 접촉 프로브(21).
  3. 청구항 1 또는 2항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 관통 개구(28, 28')의 내부에 배치되고, 상기 측면부들을 상기 관통 개구(28)의 측면 상에 서로 연결하도록 구성된 적어도 하나의 물질 브리지(35)를 더 포함하는, 수직형 접촉 프로브(21).
  4. 청구항 2에 있어서,
    하나 이상의 상기 관통 개구 또는 개구들(28, 28') 내부에 배치된 복수의 물질 브리지들(35)을 더 포함하는, 수직형 접촉 프로브(21).
  5. 청구항 3 또는 4항에 있어서,
    상기 물질 브리지 또는 물질 브리지들(35) 중 적어도 하나는 대응하는 관통 개구(28, 28')의 일단에 배치되는, 수직형 접촉 프로브(21).
  6. 청구항 1 내지 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    그의 측벽들(21a, 21b) 중 하나로부터 유래하는 적어도 하나의 돌출 부재 또는 스토퍼(23)를 더 포함하는, 수직형 접촉 프로브(21).
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 스토퍼(23)는 상기 수직형 접촉 프로브(21)의 직경에 필적하는 치수, 바람직하게는 5 내지 40㎛를 갖는 측면 연장부를 구비하는, 수직형 접촉 프로브(21).
  8. 청구항 1 내지 7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 충진 물질(36)은 중합체 물질, 바람직하게는 파릴렌®, 또는 무기 유전체 물질, 바람직하게는 알루미나(Al2O3)인, 수직형 접촉 프로브(21).
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 충진 물질(36)은 상기 수직형 접촉 프로브(21) 전체를 코팅하는, 수직형 접촉 프로브(21).
  10. 테스트중인 장치(26)의 기능 테스트를 위한 수직형 접촉 프로브를 구비한 테스트 헤드(20)로서,
    복수의 수직형 접촉 프로브(21)를 포함하고,
    각각의 수직형 접촉 프로브(21)는 청구항 1 내지 9항 중 어느 한 항에 따라 구현되는, 테스트 헤드(20).
  11. 청구항 10에 있어서,
    관통 개구(28)가 없는 추가 수직형 접촉 프로브(21B)를 포함하고,
    관통 개구(28)가 제공되고 상기 충진 물질(36)로 채워진 상기 수직형 접촉 프로브(21)는 상기 테스트중인 장치(26)의 전력 영역에 속하는 접촉 패드(26A) 상에 접촉하기 쉽고,
    관통 개구(28)가 없는 상기 추가 수직형 접촉 프로브(21B)는 상기 테스트중인 장치(26)의 신호 영역에 속하는 추가 접촉 패드(26B) 상에 접촉하기 쉽고,
    상기 접촉 패드(26A)는 상기 추가 접촉 패드(26B)보다 더 큰 치수 및 피치를 갖는, 테스트 헤드(20).
  12. 청구항 11에 있어서,
    관통 개구(28)가 없는 상기 추가 수직형 접촉 프로브(21B)는 상기 충진 물질(36)로 채워진 관통 개구(28)가 제공된 상기 수직형 접촉 프로브(21)의 프로브 직경보다 작은 프로브 직경을 갖는, 테스트 헤드(20).
  13. 청구항 10 내지 12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 테스트중인 장치(26)의 의해 한정된 평면에 평행하게 상기 수직형 접촉 프로브(21)의 상기 몸체(22)를 따라서 배치되고 하나의 수직형 접촉 프로브(21)가 그들 각각을 관통하여 슬라이딩하는 적합한 가이드 구멍(31A)이 제공된 적어도 하나의 보조 가이드(30)를 더 포함하고,
    상기 보조 가이드(30)는 상기 수직형 접촉 프로브(21)의 상기 몸체(22)의 임계 부분(28A), 즉 상기 몸체(22)에서 파손되기 더 쉬운 영역인 상기 적어도 하나의 관통 개구(28)의 일단을 포함하는 간격(31B)를 한정하도록 구성되고,
    상기 임계 부분(28A)은 상기 수직형 접촉 프로브(21)의 상기 몸체(22)의 나머지에 대해 낮은 또는 굽힙 응력을 겪지 않도록 하기 위해, 상기 간격(31B)에 위치되는, 테스트 헤드(20).
  14. 청구항 13에 있어서,
    지지부(27)를 더 포함하고, 상기 보조 가이드(30)가 상기 지지부(27)와 함께 상기 간격(31B)을 한정하는, 접촉 영역(27A)에서 상기 지지부(27)에 고정적으로 연결된 각각의 접촉 헤드(24)를 갖는 수직형 접촉 프로브를 구비하고,
    다른 간격(31A)은 상기 보조 가이드(30) 및 상기 테스트중인 장치(26)에 의해 한정된 상기 평면 사이에서 이 경우 한정되는, 테스트 헤드(20).
  15. 청구항 13에 있어서,
    평평하고 서로 평행하며, 각각의 수직형 접촉 프로브(21)가 내부에 수납되고 공간 트랜스포머(29)의 접촉 패드(29A) 상에 접촉하도록 구성된 접촉 헤드(24)를 갖는 각각의 가이드 구멍(32A, 33A)이 제공된, 적어도 하나의 하부 가이드(32) 및 상부 가이드(33)를 더 포함하고,
    상기 보조 가이드(30)는, 상기 상부 가이드(33) 또는 상기 하부 가이드(32) 각각과 함께 상기 적어도 하나의 관통 개구(28)의 일단을 포함하는 상기 간격(31B, 31C)을 한정하는, 테스트 헤드(20).
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 하부, 상부 및 보조 가이드(32, 33, 30)의 평면들과 평행하고, 각각의 수직형 접촉 프로브(21)가 그들 각각을 관통하여 슬라이딩하는 적합한 가이드 구멍(34A)이 제공되며, 상기 보조 가이드(30) 및 상기 하부 가이드(32) 또는 상기 상부 가이드(33) 사이에 각각 배치된, 상기 수직형 접촉 프로브의 상기 몸체(22)를 따라 배치된 추가 보조 가이드(34)를 더 포함하고,
    상기 추가 보조 가이드(34)는, 상기 하부 가이드(32) 또는 상기 상부 가이드(33) 각각과 함께, 상기 수직형 접촉 프로브(21)의 상기 몸체(22)의 추가 임계 부분(28B)인 상기 적어도 하나의 관통 개구(28)의 타단을 포함하는 추가적인 간격(31B, 31C)을 한정하고,
    다른 간격(31A)은 상기 보조 가이드(30) 및 상기 추가 보조 가이드(34) 사이에서 이 경우 한정되고 상기 몸체(22)의 상기 임계 부분들(28A, 28B)을 포함하지 않는, 테스트 헤드(20).
  17. 청구항 15 또는 16항에 있어서,
    상기 다른 간격(31A)은 1000㎛ 내지 4000㎛, 바람직하게는 2000㎛ 내지 3000㎛의 길이(L1A)를 가지고,
    상기 간격(31B) 및 가능하게는 상기 추가적인 간격(31C)은 100㎛ 내지 500㎛, 바람직하게는 200㎛ 내지 300㎛의 길이들(L1B, L1C)을 갖는, 테스트 헤드(20).
  18. 청구항 10 내지 17항 중 어느 한 항에 있어서,
    각각의 수직형 접촉 프로브(21)는 그 측벽들(21a, 21b) 중 하나로부터 유래하는 적어도 하나의 돌출 부재 또는 스토퍼(23)를 포함하고, 상기 돌출 부재 또는 스토퍼(23) 위의 가이드(30, 33)의 가이드 구멍(30A, 33A)의 한 벽에 접촉하는, 테스트 헤드(20).
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