KR20170108390A - 코일 패턴 및 그 형성 방법, 이를 구비하는 칩 소자 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판의 적어도 일면 상에 형성된 코일 패턴으로서, 기판 상에 형성된 제 1 도금막과, 제 1 도금막을 덮도록 형성된 제 2 도금막을 포함하는 코일 패턴 및 그 형성 방법, 이를 구비하는 칩 소자를 제시한다.
Description
본 발명은 코일 패턴 및 그 형성 방법에 관한 것으로, 특히 인덕턴스를 증대시킬 수 있고 저항을 감소시킬 수 있는 코일 패턴 및 그 형성 방법, 이를 구비하는 칩 소자에 관한 것이다.
칩 소자의 하나인 파워 인덕터는 주로 휴대기기 내의 DC-DC 컨버터 등의 전원 회로에 마련된다. 이러한 파워 인덕터는 전원 회로의 고주파화 및 소형화에 따라 기존의 권선형 초크 코일(Choke Coil)을 대신하여 이용이 증대되고 있다. 또한, 파워 인덕터는 휴대기기의 사이즈 축소와 다기능화에 따라 소형화, 고전류화, 저저항화 등의 방향으로 개발이 진행되고 있다.
일반적으로 파워 인덕터는 페라이트 재료로 이루어진 바디와, 바디 내부에 마련된 기판과, 기판 상에 형성된 코일 패턴과, 바디 외부에 형성되어 코일 패턴과 연결되는 외부 전극 등으로 구성된다. 이때, 코일 패턴은 기판의 적어도 일면 상에 도금 공정으로 형성될 수 있다. 이러한 파워 인덕터는 바디의 재료 특성과 코일 패턴의 구조 등에 의해 전기적인 특성이 결정될 수 있다.
한편, 코일 패턴은 높이와 단면적에 의해 인덕턴스(inductance)와 저항이 조절된다. 최적의 특성을 구현하기 위해 코일 패턴의 형상 제어가 중요하며, 최적의 인덕턴스와 저항을 구현하기 위해 코일 패턴은 단면 형상이 사각형으로 형성되는 것이 가장 이상적이다. 즉, 코일 패턴은 하부면과 상부면, 그리고 이들 사이의 가장자리에 측면이 형성되고, 하부면 및 상부면과 측면이 직각을 이루는 사각형의 형상을 갖는 것이 가장 이상적이다. 그러나, 금속 이온을 이용한 도금 공정에 의해 형성되는 코일 패턴은 상부면과 측면 사이의 모서리가 라운드하게 형성될 수 밖에 없다. 즉, 중앙부의 도금률과 가장자리의 도금률이 달라져 상부면과 측면 사이에 모서리가 없고 라운드한 형태로 코일 패턴이 형성될 수 있다. 이때, 코일 패턴의 높이가 높아질수록 상부면의 폭이 좁아지고 라운드한 영역의 폭이 넓어지게 된다. 즉, 상부면과 하부면의 폭의 차 만큼 상부면과 측면 사이에 라운드한 영역이 형성될 수 있다. 일반적인 도금 방법으로는 상부면의 폭과 하부면의 폭의 비가 0.1:1 내지 0.5:1 정도 밖에 구현되지 못한다.
따라서, 코일 패턴의 인덕턴스를 고려하여 이상적인 형태와 동일 높이로 형성하게 되면 인덕턴스는 동일하지만 상부 모서리 부분의 손실에 의해 저항이 증가하게 된다. 또한, 저항을 고려하여 이상적인 형태와 단면적이 동일하게 형성하면 높이가 증가하기 때문에 인덕턴스가 감소하게 된다.
본 발명은 인덕턴스를 향상시키고 저항을 감소시킬 수 있는 코일 패턴 및 그 제조 방법을 제공한다.
본 발명은 상부면과 하부면의 폭의 비를 증가시킬 수 있는 코일 패턴 및 그 형성 방법을 제공한다.
본 발명의 일 양태에 따른 코일 패턴은 기판의 적어도 일면 상에 형성된 코일 패턴으로서, 상기 기판 상에 형성된 제 1 도금막; 및 상기 제 1 도금막을 덮도록 형성된 제 2 도금막을 포함한다.
상기 코일 패턴은 상기 기판의 양면에 스파이럴 형태로 각각 형성되고, 상기 제 1 도금막의 적어도 일부가 상기 기판에 형성된 도전성 비아를 통해 연결된다.
상기 제 1 도금막은 상기 기판에 접하는 하부면으로부터 상부면으로 갈수록 폭이 좁아지도록 형성된다.
상기 제 1 도금막은 상기 상부면의 폭과 상기 하부면의 폭의 비가 0.2:1 내지 0.9:1로 형성된다.
상기 제 1 도금막은 상기 하부면의 폭과 높이의 비가 1:0.7 내지 1:4로 형성된다.
상기 제 1 도금막의 하부면의 폭과 상기 제 2 도금막의 하부면의 폭의 비는 1:1.2 내지 1:2이고, 상기 제 1 도금막의 하부면의 폭과 인접한 제 1 도금막 사이의 간격의 비는 1.5:1 내지 3:1이다.
상기 제 2 도금막은 상부면과 하부면의 폭의 비가 0.5:1 내지 0.9:1이다.
상부면과 하부면의 폭이 1:1인 설계 저항값에 비해 101% 내지 110%의 저항값을 갖는다.
상기 코일 패턴은 최내부로부터 최외부로 갈수록 폭이 넓어지거나 좁아지도록 형성된다.
본 발명의 다른 양태에 따른 코일 패턴 형성 방법은 기판의 적어도 일면 상에 소정 형상의 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 마스크 패턴 사이의 상기 기판 상에 제 1 도금막을 형성하는 단계; 상기 마스크 패턴을 제거한 후 상기 제 1 도금막을 식각하는 단계; 및 상기 제 1 도금막을 덮도록 제 2 도금막을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 코일 패턴은 상기 기판의 양면에 스파이럴 형태로 각각 형성되고, 상기 제 1 도금막의 적어도 일부가 상기 기판에 형성된 도전성 비아를 통해 연결된다.
상기 제 1 도금막은 상기 하부면으로부터 상부면으로 갈수록 폭이 좁아지도록 식각한다.
상기 제 1 도금막은 적어도 1회의 등방 식각과 적어도 1회의 경사 식각을 실시하여 식각한다.
상기 제 1 도금막은 상기 하부면의 폭과 상기 상부면의 폭의 비가 0.2:1 내지 0.9:1이 되도록 식각한다.
상기 제 1 도금막의 식각은 등방 식각과 경사 식각의 비율을 다르게 하여 적어도 2구간으로 실시한다.
상기 코일 패턴은 최내부로부터 최외부로 갈수록 폭이 넓어지거나 좁아지도록 형성된다.
본 발명의 또다른 양태에 따른 칩 소자는 바디; 상기 바디 내부에 마련된 적어도 하나의 기판; 상기 기판의 적어도 일면 상에 형성된 적어도 하나의 코일 패턴; 및 상기 코일 패턴과 상기 바디 사이에 형성된 절연층을 포함하며, 상기 코일 패턴은 최내부로부터 최외부로 갈수록 폭이 넓어지거나 좁아지도록 형성된다.
상기 코일 패턴은 상기 기판 상에 형성된 제 1 도금막과, 상기 제 1 도금막을 덮도록 형성된 제 2 도금막을 포함한다.
상기 제 1 도금막은 상기 상부면의 폭과 상기 하부면의 폭의 비가 0.2:1 내지 0.9:1로 형성된다.
상기 기판은 적어도 일부 영역이 제거되고, 제거된 영역에 상기 바디가 충진된다.
상기 기판은 적어도 둘 이상 마련되어 상기 바디의 두께 방향으로 적층되고, 상기 둘 이상의 기판 상에 각각 형성된 코일 패턴은 직렬 또는 병렬 연결된다.
본 발명의 실시 예들에 따른 코일 패턴은 소정의 경사를 갖도록 형성된 제 1 도금막을 덮도록 제 2 도금막이 형성된다. 따라서, 최종적인 코일 패턴이 측면이 수직을 이루고 상부 모서리에 라운드가 적게 형성되어 거의 사각형의 형상을 갖게 된다. 따라서, 단일 공정으로 코일 패턴을 형성하는 종래에 비해 동일 높이에서 인덕턴스를 증가시킬 수 있고 저항을 감소시킬 수 있다.
도 1 내지 도 4는 본 발명의 실시 예들에 따른 코일 패턴의 평면도 및 단면도.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 코일 패턴의 형성 방법을 설명하기 위한 단면도.
도 8 내지 도 10은 제 1 도금막의 경사에 따른 코일 패턴의 형상을 도시한 단면도.
도 11은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 코일 패턴의 단면도.
도 12 내지 도 16은 본 발명의 실시 예들에 따른 코일 패턴이 적용된 칩 소자의 일 실시 예를 설명하기 위한 도면들.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 코일 패턴의 형성 방법을 설명하기 위한 단면도.
도 8 내지 도 10은 제 1 도금막의 경사에 따른 코일 패턴의 형상을 도시한 단면도.
도 11은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 코일 패턴의 단면도.
도 12 내지 도 16은 본 발명의 실시 예들에 따른 코일 패턴이 적용된 칩 소자의 일 실시 예를 설명하기 위한 도면들.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명하기로 한 다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 코일 패턴의 평면도이고, 도 2는 도 1의 A-A' 라인을 절취한 상태의 단면도이다. 또한, 도 3은 코일 패턴의 일부 단면도이고, 도 4는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 코일 패턴의 평면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예들에 따른 코일 패턴(200)은 기판(100)의 적어도 일 면 상에 형성될 수 있다. 즉, 코일 패턴(200)은 기판(100)의 일면에만 형성될 수도 있고, 일면 및 타면에 형성될 수도 있다. 본 발명의 실시 예는 도 2에 도시된 바와 같이 기판(100)의 일면 및 타면에 코일 패턴(210, 220)이 각각 형성된 경우를 주로 설명한다.
기판(100)은 소정 두께의 베이스 상부 및 하부에 금속 포일이 부착된 형태로 마련될 수 있다. 여기서, 베이스는 예를 들어 유리 강화 섬유, 플라스틱, 메탈 페라이트 등을 포함할 수 있다. 즉, 유리 강화 섬유에 구리 포일을 접합한 구리 클래드 라미네이션(Copper Clad Lamination; CCL)을 기판(100)으로 이용할 수 있고, 폴리이미드 등의 플라스틱에 구리 포일이 접합되거나 메탈 페라이트에 구리 포일이 접합되어 기판(100)이 제작될 수 있다. 또한, 코일 패턴(200)이 기판(100)의 일면 및 타면에 형성될 경우 기판(100)의 소정 영역에는 적어도 하나의 도전성 비아(110)가 형성될 수 있다. 도전성 비아(110)가 형성됨으로써 기판(100)의 일면 및 타면에 각각 형성된 두개의 코일 패턴(210, 220; 200)이 전기적으로 연결될 수 있다. 도전성 비아(110)는 기판(100)에 두께 방향을 따라 관통하는 비아(미도시)를 형성한 후 코일 패턴 형성 시 도금 공정에 의해 비아가 매립되도록 하거나, 비아에 도전성 페이스트를 매립하는 등의 방법으로 형성할 수 있다. 그러나, 코일 패턴 형성 시 도금에 의해 비아를 매립하는 것이 바람직하다. 이때, 도전성 비아(110)로부터 코일 패턴(200)의 적어도 하나가 성장될 수 있고, 그에 따라 도전성 비아(110)와 코일 패턴(200)의 적어도 하나가 일체로 형성될 수 있다. 또한, 기판(100)은 적어도 일부가 제거될 수 있다. 예를 들어, 기판(100)은 도 4에 도시된 바와 같이 코일 패턴(200)과 중첩되는 영역을 제외한 나머지 영역이 제거될 수 있다. 예를 들어, 스파이럴 형상으로 형성되는 코일 패턴(200) 내측의 기판(100)이 제거되어 관통홀(120)이 형성되고, 코일 패턴(200) 외측의 기판(100)이 제거될 수 있다. 즉, 기판(100)은 코일 패턴(200)의 외측 형상을 따라 예컨데 레이스트랙(racetrack) 형상을 가지고 코일 패턴(200) 단부의 형상을 따라 직선 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 기판(100)의 일면 상에 형성된 코일 패턴(200)의 단부와 기판(100)의 타면 상에 형성된 코일 패턴(200)의 단부는 서로 대향되는 영역에 형성되며, 코일 패턴(200)의 단부는 이후 파워 인덕터 등에 적용되어 외부 전극과 연결될 수 있다. 한편, 코일 패턴(200)과 중첩되는 영역을 제외한 기판(100)의 소정 영역이 제거되는 경우 기판(100)은 코일 패턴(200)보다 넓은 폭을 유지할 수 있다. 즉, 기판(100)은 코일 패턴(200)의 수직 하방에서 소정의 폭으로 잔류할 수 있는데, 예를 들어 기판(100)은 코일 패턴(210, 220)보다 0.3㎛ 정도 돌출되도록 형성될 수 있다.
코일 패턴(210, 220; 200)은 기판(100)의 적어도 일면, 바람직하게는 양면에 형성될 수 있다. 이러한 코일 패턴(210, 220)은 기판(100)의 소정 영역, 예를 들어 중앙부로부터 외측 방향으로 스파이럴 형태로 형성될 수 있고, 기판(100) 상에 형성된 두 코일 패턴(210, 220)이 연결되어 하나의 인덕터를 이룰 수 있다. 즉, 코일 패턴(210, 220)은 기판(100)의 중심부의 소정 폭으로부터 외측으로 스파이럴 형태로 형성될 수 있고, 기판(100)에 형성된 전도성 비아(110)를 통해 서로 연결될 수 있다. 한편, 기판(100)의 중심부에 관통홀(120)이 형성된 경우 코일 패턴(200)은 관통홀(120) 외측으로부터 스파이럴 형태로 형성될 수 있다. 여기서, 상측의 코일 패턴(210)과 하측의 코일 패턴(220)은 서로 동일 형상으로 형성될 수 있고 동일 높이로 형성될 수 있다. 또한, 코일 패턴(210, 220)은 서로 중첩되게 형성될 수도 있고, 코일 패턴(210)이 형성되지 않은 영역에 중첩되도록 코일 패턴(220)이 형성될 수도 있다. 한편, 코일 패턴(210, 220)의 단부는 직선 형상으로 외측으로 연장 형성되고, 다른 영역에 비해 폭이 넓게 형성될 수 있다. 이러한 코일 패턴(210, 220)은 도금으로 형성하며, 코일 패턴(210, 220) 및 도전성 비아(110)는 은(Ag), 구리(Cu) 및 구리 합금 중 적어도 하나를 포함하는 재료로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 코일 패턴(210, 220)은 기판(100)의 두께보다 2배 이상 높게 형성될 수 있다. 예를 들어, 기판(100)이 30㎛∼70㎛의 두께로 형성되고 코일 패턴(210, 220)이 50㎛∼300㎛의 높이로 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 코일 패턴(210, 220)은 이중 구조로 형성될 수 있다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이 제 1 도금막(200a)과, 제 1 도금막(200a)을 덮도록 형성된 제 2 도금막(200b)을 포함할 수 있다. 여기서, 제 2 도금막(200b)은 제 1 도금막(200a)의 상면 및 측면을 덮도록 형성되는데, 제 1 도금막(200a)의 측면보다 상면에 더 두껍게 제 2 도금막(200b)이 형성될 수 있다. 한편, 제 1 도금막(200a)은 측면이 소정의 경사를 갖도록 형성되고, 제 2 도금막(200b)은 측면이 제 1 도금막(200a)의 측면보다 적은 경사를 갖도록 형성된다. 즉, 제 1 도금막(200a)은 측면이 제 1 도금막(200a) 외측의 기판(100)의 표면으로부터 둔각을 갖도록 형성되고, 제 2 도금막(200b)은 제 1 도금막(200a)보다 작은 각도, 바람직하게는 직각을 갖도록 형성된다. 제 1 도금막(200a)은 상부면의 폭(a)과 하부면의 폭(b)의 비율이 0.2:1 내지 0.9:1이 되도록 형성될 수 있고, 바람직하게는 a:b가 0.4:1 내지 0.8:1이 되도록 형성될 수 있다. 또한, 제 1 도금막(200a)은 하부면의 폭(b)과 높이(h)의 비율이 1:0.7 내지 1:4가 되도록 형성될 수 있고, 바람직하게는 1:1 내지 1:2가 되도록 형성될 수 있다. 즉, 제 1 도금막(200a)은 하부면으로부터 상부면으로 갈수록 폭이 좁아지도록 형성되고, 그에 따라 측면에 소정의 경사가 형성될 수 있다. 제 1 도금막(200a)이 소정의 경사를 갖도록 하기 위해 1차 도금 공정 후 식각 공정을 실시할 수 있다. 또한, 제 1 도금막(200a)을 덮도록 형성된 제 2 도금막(200b)은 측면이 바람직하게는 수직하고 상부면과 측면 사이에 라운드한 영역이 적은 대략 사각형의 형태를 갖도록 형성된다. 이때, 제 2 도금막(200b)은 제 1 도금막(200a)의 상부면의 폭(a)과 하부면의 폭(b)의 비율, 즉 a:b에 따라 그 형상이 결정될 수 있다. 예를 들어, 제 1 도금막(200a)의 상부면의 폭(a)과 하부면의 폭(b)의 비율(a:b)의 비율이 클수록 제 2 도금막(200b)의 상부면의 폭(c)과 하부면의 폭(d)이 비율이 커진다. 그러나, 제 1 도금막(200a)의 상부면의 폭(a)과 하부면의 폭(b)의 비율(a:b)이 0.9:1을 초과하는 경우 제 2 도금막(200b)은 하부면의 폭보다 상부면의 폭이 더 넓어지고 측면이 기판(100)과 예각을 이룰 수 있다. 또한, 제 1 도금막(200a)의 상부면의 폭과 하부면의 폭의 비율(a:b)이 0.2:1 미만의 경우 제 2 도금막(200b)은 측면의 소정 영역으로부터 상부면이 둥글게 형성될 수 있다. 따라서, 상부면의 폭이 크고 측면이 수직하게 형성될 수 있도록 제 1 도금막(200a)의 상부면과 하부면의 폭의 비율을 조절하는 것이 바람직하다. 한편, 제 1 도금막(200a)의 하부면의 폭(b)과 제 2 도금막(200b)의 하부면의 폭(d)은 1:1.2 내지 1:2의 비율을 가질 수 있고, 제 1 도금막(200a)의 하부면의 폭(b)과 인접한 제 1 도금막(200a) 사이의 간격(e)은 1.5:1 내지 3:1의 비율을 가질 수 있다. 물론, 제 2 도금막(200b)은 서로 접촉되지 않는다. 이렇게 제 1 및 제 2 도금막(200a, 200b)으로 이루어진 코일 패턴(200)은 상부면과 하부면의 폭의 비(c:d)가 0.5:1 내지 0.9:1일 수 있고, 바람직하게는 0.6:1 내지 0.8:1일 수 있다. 즉, 코일 패턴(200)의 외형, 다시 말하면 제 2 도금막(200b)의 외형은 상부면과 하부면의 폭의 비가 0.5 내지 0.9:1일 수 있다. 따라서, 코일 패턴(200)은 상부면의 모서리의 라운드한 영역이 직각을 이루는 이상적인 사각 형태 대비 0.5 미만일 수 있다. 예를 들어, 라운드한 영역이 직각을 이루는 이상적인 사각 형태 대비 0.001 이상 0.5 미만일 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 코일 패턴(200)은 이상적인 사각형의 형태에 비해 저항 변화가 크지 않다. 예를 들어, 이상적인 사각형 형태의 코일 패턴의 저항이 100이라면 본 발명에 따른 코일 패턴(200)은 101 내지 110 정도를 유지할 수 있다. 즉, 제 1 도금막(200a)의 형상 및 그에 따라 변화되는 제 2 도금막(200b)의 형상에 따라 본 발명의 코일 패턴(200)의 저항은 사각 형상의 이상적인 코일 패턴의 저항에 비해 101% 내지 110% 정도를 유지할 수 있다. 한편, 제 2 도금막(200b)은 제 1 도금막(200a)과 동일 도금액을 이용하여 형성할 수 있다. 예를 들어, 1차 및 2차 도금막(200a, 200b)은 황산구리와 황산을 기본으로 하는 도금액을 사용하며, ppm 단위의 염소(Cl)와 유기 화합물을 첨가하여 제품의 도금성을 향상시킨 도금액을 이용하여 형성할 수 있다. 유기 화합물은 PEG(PolyEthylene Glycol)을 포함한 캐리어와 광택제를 사용하여 도금막의 균일성과 전착성, 그리고 광택 특성을 개선할 수 있다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 코일 패턴의 형성 방법을 설명하기 위한 단면도이다. 도 5 내지 도 7은 기판(100)의 일면 상에 코일 패턴(200)이 형성되는 경우를 도시하였지만, 상기한 바와 같이 기판(100)의 일면 및 타면 상에 각각 코일 패턴(200)이 형성될 수 있다.
도 5를 참조하면, 기판(100)의 적어도 일면 상에 소정 형상의 마스크 패턴(150)을 형성한 후 마스크 패턴(150) 사이의 기판(100) 상에 제 1 도금막(200a)을 형성한다.
기판(100)은 소정 두께의 베이스의 적어도 일면 상에 금속 포일이 부착된 형태로 마련될 수 있다. 예를 들어, 유리 강화 섬유에 구리 포일을 접합한 구리 클래드 라미네이션(Copper Clad Lamination; CCL)을 기판(110)으로 이용할 수 있고, 폴리이미드 등의 플라스틱에 구리 포일이 접합되거나 메탈 페라이트에 구리 포일이 접합되어 기판(110)이 제작될 수 있다. 한편, 기판(110)의 소정 영역에는 비아가 형성될 수 있고, 코일 패턴이 형성될 영역을 제외한 나머지 영역이 제거될 수도 있다.
또한, 마스크 패턴(150)은 기판(100) 상에 감광막을 형성한 후 노광 및 현상 공정을 실시하여 형성할 수 있다. 예를 들어, 기판(100) 상에 소정 두께의 감광성 필름을 부착한 후 노광 및 현상 공정을 실시하여 소정 형상의 마스크 패턴(150)을 형성할 수 있다. 여기서, 마스크 패턴(150)은 기판(100) 상에 형성될 제 1 도금막(200a)의 높이 및 폭에 따라 소정의 높이 및 폭으로 형성될 수 있다. 즉, 마스크 패턴(150)은 제 1 도금막(200a)의 높이 및 폭과 동일 높이 및 폭으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 마스크 패턴(150)은 20㎛∼300㎛의 높이로 형성되며, 1㎛∼150㎛의 폭으로 형성될 수 있다. 그러나, 마스크 패턴(150)은 제 1 도금막(200a)의 높이보다 높거나 낮게 형성될 수도 있다. 또한, 마스크 패턴(150)은 코일 패턴의 형상으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 마스크 패턴(150)은 스파이럴 형태로 기판(100)의 소정 영역이 노출되도록 형성될 수 있다. 마스크 패턴(150)을 소정의 폭을 갖는 스파이럴 형태로 형성하기 위해 이와 동일한 형상을 갖는 마스크를 이용한 노광 공정으로 감광막을 노광한 후 현상할 수 있다.
제 1 도금막(200a)은 1차 도금 공정으로 마스크 패턴(150)에 의해 노출된 기판(100) 상에 형성한다. 제 1 도금막(200a)은 목표로 하는 최종 코일 패턴 높이의 50% 내지 100%의 높이로 형성될 수 있다. 즉, 제 1 도금막(200a)은 목표로 하는 최종 코일 패턴의 높이와 동일 높이로 형성하거나 이보다 낮은 높이로 형성될 수 있다. 그러나, 제 1 도금막(200a)의 높이가 너무 낮을 경우 식각 후에도 소정의 경사를 가질 수 없고, 높이가 너무 높을 경우 도금 공정 및 식각 공정에 많은 시간이 필요하고 재료의 손실이 발생되어 바람직하지 않다. 즉, 제 1 도금막(200a)은 식각하여 소정의 경사를 갖도록 할 수 있도록 소정의 애스펙트비를 갖도록 형성될 수 있다. 이때, 제 1 도금막(200a)은 애스펙트비(aspect ratio), 즉 폭과 높이가 1:0.7 내지 1:4의 비율을 갖도록 형성한다. 즉, 제 1 도금막(200a)은 폭에 대한 높이의 비율이 0.7∼4일 수 있으며, 그 이하의 비율에서는 제 1 도금막(200a)의 경사면 형성이 용이하지 않을 수 있다. 또한, 제 1 도금막(200a)은 예를 들어 구리로 형성할 수 있고, 이를 위해 예를 들어 황산구리(CuSO4)와 황산(H2SO4)을 기본으로 하는 도금액을 이용할 수 있다. 또한, 도금성을 향상시키기 위해 도금액은 ppm 단위의 염소(Cl)와 유기 화합물이 첨가될 수 있다. 여기서, 유기 화합물은 PEG(PolyEthylene Glycol)을 포함한 캐리어와 광택제를 이용하여 제 1 도금막(200a)의 균일성, 전착성 및 광택 특성을 개선시킬 수 있다. 한편, 제 1 도금막(200a)을 형성하기 위한 도금 공정은 20℃∼30℃의 온도에서 실시할 수 있다.
도 6을 참조하면, 마스크 패턴(150)을 제거한 후 제 1 도금막(200a)을 식각하여 제 1 도금막(200a)의 측면이 소정의 경사를 갖도록 한다.
마스크 패턴(150)은 제 1 도금막(200a)과 식각 선택비가 큰 물질을 이용하여 제거한다. 따라서, 제 1 도금막(200a)은 거의 제거되지 않으면서 마스크 패턴(150)을 제거할 수 있다. 또한, 마스크 패턴(150)을 제거한 후 마스크 패턴(150) 하측의 금속 포일을 제거할 수 있다. 즉, 제 1 도금막(200a)은 유지하고 마스트 패턴(300)을 제거한 후 제 1 도금막(200a)에 의해 노출된 금속 포일을 제거하여 기판(100)을 노출시킨다.
이어서, 제 1 도금막(200a)을 식각하여 제 1 도금막(200a)의 측면이 소정의 경사를 갖도록 한다. 즉, 제 1 도금막(200a)의 하부면으로부터 상부면으로 갈수록 폭이 좁아지고, 그에 따라 상부면으로부터 하부면으로 소정의 경사를 갖도록 제 1 도금막(200a)을 식각한다. 이때, 제 1 도금막(200a)은 스파이럴 형상을 유지하고 제 1 도금막(200a)이 인접하는 영역, 즉 제 1 도금막(200a)의 측면이 소정의 경사를 갖도록 식각한다. 한편, 제 1 도금막(200a)의 상부면의 폭(a)과 하부면의 폭(b)의 비율에 따라 이후 2차 도금에 의해 형성되는 최종 코일 패턴의 형상이 결정될 수 있다. 따라서, a:b의 비율이 0.2:1 내지 0.9:1이 되도록 제 1 도금막(200a)을 식각할 수 있고, 바람직하게는 0.4:1 내지 0.8:1이 되도록 제 1 도금막(200a)을 식각할 수 있다. 또한, 제 1 도금막(200a)을 식각하기 위해 황산 및 과수를 포함하고, 20℃∼40℃의 범위에서 이용 가능한 식각액을 이용할 수 있다. 식각액은 소정의 노즐을 통해 제 1 도금막(200a)에 분사되어 제 1 도금막(200a)이 식각된다. 이때, 식각 공정은 등방 식각을 위한 직분사 방식의 노즐과 경사 식각을 위한 경사 분사 노즐을 이용하여 실시할 수 있다. 즉, 적어도 하나의 직분사 노즐과 적어도 하나의 경사 분사 노즐을 구비하는 식각 장치를 이용하여 제 1 도금막(200a)을 식각할 수 있다. 여기서, 직분사는 기판(100)을 향하여 식각액이 수직으로 분사되는 것이고, 경사 분사는 직분사 비율이 매우 낮거나 없는 것으로, 예를 들어 원형 또는 대각 부채꼴 형태로 식각액을 분사하는 것이다. 또한, 식각 공정은 복수의 제 1 도금막(200a)이 형성된 기판(100)이 일 방향으로 이동하고 기판(100)의 적어도 일측에 복수의 분사 노즐이 마련되어 이동하는 기판(100) 상의 제 1 도금막(200a)에 식각액을 분사하여 제 1 도금막(200a)을 식각할 수 있다. 이때, 분사 노즐은 식각액의 분사 각도, 분사 압력 등에 따라 기판(100)이 이동하는 방향과 직교하는 폭 방향에 적어도 하나 이상 마련될 수 있고, 기판(100)이 이동하는 방향으로 적어도 하나 이상 마련될 수 있다. 따라서, 기판(100)이 이동하면서 동일 영역에 각각 적어도 1회의 직분사 노즐에 의한 등방 식각 및 경사 분사 노즐에 의한 경사 식각 공정이 실시될 수 있다. 한편, 직분사에 의한 등방 식각과 경사 분사에 의한 경사 식각을 비율을 다르게 하여 적어도 2구간으로 분할하여 식각 공정을 진행할 수 있다. 예를 들어, 2 구간으로 분할할 경우 제 1 구간에서 40%∼90%의 직분사와 10%∼60%의 경사 분사로 실시하고, 제 2 구간에서 10%∼50%의 직분사와 50%∼90%의 경사 분사로 실시할 수 있다. 이때, 제 1 구간은 직분사가 경사 분사보다 많거나 같게 실시하고 제 2 구간은 직분사가 경사 분사보다 적거나 같게 실시한다. 즉, 제 1 구간에서 직분사에 의한 식각을 주로 실시하고 제 2 구간에서 경사 분사에 의한 식각을 주로 실시할 수 있다. 한편, 노즐의 배열은 적어도 1회의 직분사, 적어도 1회의 직분사 및 경사 분사, 적어도 1회의 경사 분사 및 직분사, 그리고 적어도 1회의 경사 분사로 구성될 수 있다. 또한, 제 1 구간 및 제 2 구간의 식각 속도는 0.5 내지 2.1m/min이며, 타력 형성을 위한 식각 압력은 0.5 내지 2.0bar일 수 있고, 오실레이션을 변경하여 타력을 변화시킬 수 있다. 한편, 경사 식각 공정 후 제 1 도금막(200a)과 그 사이의 간격은 1:1.5 내지 1:3의 비율을 가질 수 있다. 즉, 제 1 도금막(200a)의 하부면의 폭과 인접한 제 1 도금막(200a)의 하부면 사이의 간격은 1:1.5 내지 1:3의 비율을 가질 수 있다.
도 7을 참조하면, 경사 식각된 제 1 도금막(200a) 상에 제 2 도금막(200b)을 형성한다. 즉, 경사 식각된 제 1 도금막(200a)을 덮도록 제 2 도금막(200b)을 형성한다. 따라서, 소정의 폭 및 높이를 갖고, 예를 들어 스파이럴 형태의 코일 패턴(200)이 형성될 수 있다. 여기서, 경사 식각된 제 1 도금막(200a)과 이를 덮도록 형성된 제 2 도금막(200b)의 폭의 비율은 1:1.2 내지 1:2일 수 있다. 한편, 제 2 도금막(200b)은 제 1 도금막(200a)과 동일 도금액을 이용하여 형성할 수 있다. 예를 들어, 제 2 도금막(200b)은 황산구리와 황산을 기본으로 하는 도금액을 사용하며, ppm 단위의 염소(Cl)와 유기 화합물을 첨가하여 제품의 도금성을 향상시킨 도금액을 사용하여 형성할 수 있다. 또한, 제 2 도금막(200b)은 20℃∼30℃의 온도에서 형성한다. 이렇게 하여 형성된 코일 패턴(200)은 상부면과 하부면의 폭의 비가 0.5:1 내지 0.9:1 일 수 있고, 바람직하게는 0.6:1 내지 0.8:1일 수 있다. 즉, 모서리의 라운드한 영역이 직각의 이상적인 사각 형태 대비 0.1 내지 0.5일 수 있다. 또한, 이는 일반적인 도금 공정에 의해 형성된 상부면과 하부면의 폭의 비가 0.1:1 내지 0.5:1보다 크다.
도 8은 제 1 도금막의 경사 식각에 의한 패턴 형상의 다양한 예를 도시한 개략 단면도이고, 도 9 및 도 10은 다양한 형상의 경사 식각된 제 1 도금막 상에 형성된 제 2 도금막의 형상을 도시한 단면 개략도 및 단면 사진이다.
도 8(a) 내지 도 8(d)는 상부면의 폭(a)과 하부면의 폭(b)의 비율이 각각 1:1, 0.8:1, 0.4:1 및 0.2:1인 제 1 도금막의 단면도이다. 즉, 도 8(a)는 제 1 도금막의 경사 식각을 실시하지 않아 상부면의 폭(a)과 하부면의 폭(b)이 1:1을 유지하는 단면도이고, 도 8(b) 내지 도 8(d)는 제 1 도금막을 경사 식각하여 상부면의 폭(a)과 하부면의 폭(b)의 비율이 0.8:1, 0.4:1 및 0.2:1을 유지하는 단면도이다.
도 9(a) 및 도 10(a)에 도시된 바와 같이 제 1 도금막의 a:b가 1:1인 경우 제 1 도금막을 덮도록 제 2 도금막을 형성한 최종 도금 패턴은 상부로 갈수록 폭이 증가하고 상부 모서리에 크게 라운드된 형상으로 형성된다. 즉, 하부로부터 상부로 갈수록 측면에 형성되는 두께가 증가하여 측면이 수직을 이루지 않고 퍼져나가는 형상을 가지며, 상부 모서리 부분에 크게 라운드가 형성된다.
그런데, 도 9(b) 및 도 10(b)에 도시된 바와 같이 a:b가 0.8:1인 경우 최종 도금 패턴은 측면이 거의 수직을 이루며, 상부 모서리에 라운드 영역이 적게 형성되어 거의 직사각형으로 형성된다. 이때, 상부면과 상부 모서리의 라운드 영역의 비는 약 9:1 이상으로 형성된다. 즉, 측면으로부터 상측으로 연장된 제 1 가상선과 상부면으로부터 수평으로 연장된 제 2 가상선에 의한 이상적인 사각형 형태를 가정할 경우 상부면의 폭과 라운드 영역의 폭의 비는 9:1 이상으로 형성된다.
또한, 도 9(c) 및 도 10(c)에 도시된 바와 같이 a:b가 0.4:1인 경우 최종 도금 패턴은 측면이 거의 수직한 형상으로 형성되지만, 상부 모서리의 라운드 영역이 도 9(b) 및 도 10(b)보다 증가하게 된다. 그러나, a:b가 1:1인 경우에 비해 패턴 형상이 사각형에 가깝게 된다. 이때, 상부면과 상부 모서리의 라운드 영역의 비는 약 5:5 내지 9:1로 형성될 수 있다.
그러나, 도 9(d) 및 도 10(d)에 도시된 바와 같이 a:b가 0.2:1인 경우 최종 도금 패턴은 상부면이 거의 라운드하게 형성된다. 이렇게 제 1 도금막의 측면 경사도가 너무 클 경우 최종 도금 패턴이 바람직하지 않은 형상으로 형성됨을 알 수 있다.
또한, 제 1 도금막의 형상에 따라 최종적인 코일 패턴의 저항도 변화될 수 있다. 즉, 실시 예 1 내지 실시 예 3은 각각 도 8(b) 내지 도 8(d)의 제 1 도금막의 형상에 따라 도 9(b) 내지 도 9(d)에 도시된 바와 같이 제 2 도금막을 형성하고, 최종 코일 패턴의 폭 및 높이에 따른 설계 저항값과 실제 측정된 저항값을 측정하였으며, 그 결과는 [표 1]과 같다. 여기서, 설계 저항값은 상부면과 측면 사이에 직각의 모서리가 형성된 이상적인 사각형 형태를 가질 때의 저항이다. 즉, 하부면의 폭과 상부면의 폭이 1:1일 때의 저항값이다. 또한, 저항의 단위는 mΩ이다.
| 폭 및 높이 | 높이/폭 비율 | 설계 저항 |
실시 예 1 | 실시 예 2 | 실시 예 3 | |||||
| 폭(㎛) | 높이(㎛) | 폭 | 높이 | 저항 | 변화율 | 저항 | 변화율 | 저항 | 변화율 | |
| 135 | 140 | 1 | 1 | 30 | 30.4 | 101.4% | 31.5 | 104.8% | 32.7 | 109.2% |
| 72 | 120 | 1 | 1.67 | 55 | 55.8 | 101.4% | 57.1 | 103.8% | 59.0 | 107.3% |
| 50 | 100 | 1 | 2 | 115 | 116.4 | 101.2% | 117.3 | 102.0% | 122.5 | 106.6% |
상기한 바와 같이 하부면의 폭과 상부면의 폭이 1:0.8일 때 측정 저항이 설계 저항에 비해 크게 변화되지 않으며, 하부면의 폭과 상부면의 폭이 클수록 측정 저항이 설계 저항에 비해 크게 변화됨을 알 수 있다. 즉, 제 1 도금막의 하부면의 폭과 상부면의 폭의 비(a:b)가 1:0.8인 실시 예 1의 경우 저항의 변화율이 101% 정도이고, a:b가 1:0.4인 실시 예 2의 경우 저항의 변화율이 102% 내지 104% 정도이며, a:b가 1:0.2인 실시 예 3의 경우 저항의 변화율이 106% 내지 109% 정도될 수 있다.
따라서, 실시 예들은 종래보다 저항 특성이 우수하며, 특히 a:b가 0.4:1 내지 0.8:1일 때 코일 패턴이 사각형에 가까운 형상으로 형성되며, 저항 특성도 우수하다.
상기한 바와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따른 코일 패턴은 제 1 도금막(200a)을 형성한 후 제 1 도금막(200a)이 소정의 경사를 갖도록 경사 식각하고, 제 1 도금막(200a)을 덮도록 제 2 도금막(200b)을 형성한다. 따라서, 최종 코일 패턴이 측면이 수직을 이루고 상부 모서리에 라운드가 적게 형성되어 거의 사각형의 형상을 갖게 된다. 따라서, 단일 공정에 의해 코일 패턴을 형성하는 종래에 비해 동일 높이에서 인덕턴스를 증가시킬 수 있고 저항을 감소시킬 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시 예에 따른 코일 패턴은 스파이럴 형상으로 형성되며, 그 폭을 다양하게 변화시킬 수 있다. 예를 들어, 도 11에 도시된 바와 같이 코일 패턴(200)은 최내주로부터 최외주로 갈수록 폭이 변화하는 형상으로 형성될 수 있다. 즉, 최내주로부터 최외주까지 n개의 코일 패턴이 형성되는데, 예를 들어 4개의 코일 패턴이 형성될 경우 최내주의 제 1 코일 패턴(201)으로부터 제 2 및 제 3 코일 패턴(202, 203), 그리고 최외주의 제 4 코일 패턴(204)으로 갈수록 폭이 증가하여 형성될 수 있다. 이때, 코일 패턴(200)은 소정 길이로 회전할 때마다 폭이 변화될 수 있는데, 예를 들어 내주부에 위치한 시작점, 즉 도 1의 도전성 비아(110)가 형성된 영역으로부터 한 바퀴 회전할 때마다 폭이 변화될 수 있고, 반 바퀴 돌 때마다 폭이 변화될 수도 있다. 또한, 코일 패턴(200)의 폭은 하부면 또는 상부면일 수 있고, 하부면과 상부면 사이의 어느 한 영역일 수도 있으며, 각 코일 패턴(200)의 평균 폭일 수도 있다. 여기서는 코일 패턴(200)의 폭은 하부면과 상부면 사이의 어느 한 영역의 폭으로 가정한다. 예를 들어, 제 1 코일 패턴(201)의 폭이 1일 경우, 제 2 코일 패턴(202)은 1 내지 1.5의 비율로 형성되고, 제 3 코일 패턴(203)은 1.2 내지 1.7의 비율로 형성되며, 제 4 코일 패턴(204)은 1.3 내지 2의 비율로 형성될 수 있다. 즉, 제 2 코일 패턴(202)의 폭은 제 1 코일 패턴(201)의 폭과 같거나 크게 형성되고, 제 3 코일 패턴(203)의 폭은 제 1 코일 패턴(201)의 폭보다 크고 제 2 코일 패턴(202)의 폭과 같거나 크게 형성되며, 제 4 코일 패턴(204)의 폭은 제 1 및 제 2 코일 패턴(201, 202)의 폭보다 크고 제 3 코일 패턴(203)의 폭과 같거나 크게 형성될 수 있다. 결국, 제 1 내지 제 4 코일 패턴(201 내지 204)은 1:1∼1.5:1.2∼1.7:1.3∼2의 비율로 형성될 수 있다. 이렇게 최내주로부터 최외주로 갈수록 코일 패턴(200)의 폭을 증가시키기 위해 제 1 도금막(200a)을 최내주로부터 최외주로 갈수록 폭이 넓게 형성할 수 있다. 또한, 제 1 도금막(200a) 사이의 간격은 최종 코일 패턴(200)의 폭을 고려하고 최내주로부터 최외주로 갈수록 간격이 더 크게 형성될 수 있다. 물론, 코일 패턴(200)은 최내주로부터 최외주로 갈수록 폭이 작아지게 형성될 수도 있다. 한편, 이러한 코일 패턴(200)은 기판(100)의 적어도 일면, 바람직하게는 양면에 형성되고, 기판(100)의 양면에 코일 패턴(210, 220; 200)이 형성되는 경우 상부 및 하부의 코일 패턴(210, 220)은 기판(100)에 형성된 도전성 비아(110)를 통해 연결될 수 있다. 이때, 도전성 비아(110)는 최내주의 코일 패턴(201) 내에 형성되어 상하의 코일 패턴(210, 220)이 연결될 수 있다.
상기 본 발명의 실시 예들에 따른 코일 패턴은 적층 칩 소자에 이용될 수 있다. 이러한 본 발명의 실시 예들에 따른 코일 패턴을 이용하는 적층 칩 소자로서 파워 인덕터를 설명하면 다음과 같다.
도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 파워 인덕터의 결합 사시도이고, 도 13은 도 12의 A-A' 라인을 따라 절단한 상태의 단면도이다. 또한, 도 14는 본 발명의 일 예에 따른 파워 인덕터의 분해 사시도이고, 도 15는 기판 및 코일 패턴의 평면도이며, 도 16은 파워 인덕터의 단면도이다.
도 12 내지 도 16을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 파워 인덕터는 바디(300a, 300b; 300)와, 바디(300) 내부에 마련된 기판(100)과, 기판(100)의 적어도 일면 상에 형성된 코일 패턴(210, 220; 200)과, 바디(300) 외부에 마련된 외부 전극(410, 420; 400)을 포함할 수 있다. 또한, 코일 패턴(210, 220)과 바디(300) 사이에 형성된 절연층(500)을 더 포함할 수 있다.
바디(300)는 육면체 형상일 수 있다. 물론, 바디(300)는 육면체 이외의 다면체 형상을 가질 수 있다. 이러한 바디(300)는 금속 분말(310), 폴리머(320)를 포함하고, 열 전도성 필러(330)를 더 포함할 수 있다.
금속 분말(310)은 평균 입경이 1㎛ 내지 50㎛일 수 있다. 또한, 금속 분말(310)은 동일 크기의 단일 입자 또는 2종 이상의 입자를 이용할 수도 있고, 복수의 크기를 갖는 단일 입자 또는 2종 이상의 입자를 이용할 수도 있다. 예를 들어, 30㎛의 평균 크기를 갖는 제 1 금속 입자와 3㎛의 평균 크기를 갖는 제 2 금속 입자를 혼합하여 이용할 수 있다. 이때, 제 1 및 제 2 금속 입자는 동일 물질의 입자일 수 있고 다른 물질의 입자일 수 있다. 크기가 서로 다른 2종 이상의 금속 분말(310)을 이용할 경우 바디(300)의 충진율을 높일 수 있어 용량을 최대한으로 구현할 수 있다. 예를 들어, 30㎛의 금속 분말을 이용할 경우 30㎛의 금속 분말 사이에는 공극이 발생할 수 있고, 그에 따라 충진율이 낮아질 수 밖에 없다. 그러나, 30㎛의 금속 분말 사이에 이보다 크기가 작은 3㎛의 금속 분말을 혼합하여 이용함으로써 바디(300) 내의 금속 분말의 충진율을 높일 수 있다. 이러한 금속 분말(310)은 철(Fe)를 포함하는 금속 물질을 이용할 수 있는데, 예를 들어 철-니켈(Fe-Ni), 철-니켈-규소(Fe-Ni-Si), 철-알루미늄-규소(Fe-Al-Si) 및 철-알루미늄-크롬(Fe-Al-Cr)으로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속을 포함할 수 있다. 즉, 금속 분말(310)은 철을 포함하여 자성 조직을 갖거나 자성을 띄는 금속 합금으로 형성되어 소정의 투자율을 가질 수 있다. 또한, 금속 분말(310)은 표면이 자성체로 코팅될 수 있는데, 금속 분말(310)과 투자율이 상이한 물질로 코팅될 수 있다. 예를 들어, 자성체는 금속 산화물 자성체를 포함할 수 있는데, 니켈 산화물 자성체, 아연 산화물 자성체, 구리 산화물 자성체, 망간 산화물 자성체, 코발트 산화물 자성체, 바륨 산화물 자성체 및 니켈-아연-구리 산화물 자성체로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상의 산화물 자성체를 이용할 수 있다. 즉, 금속 분말(310)의 표면에 코팅되는 자성체는 철을 포함하는 금속 산화물로 형성될 수 있으며, 금속 분말(310)보다 높은 투자율을 갖는 것이 바람직하다. 한편, 금속 분말(310)이 자성을 띄기 때문에 금속 분말(310)이 서로 접촉하면 절연이 파괴되고 쇼트가 발생될 수 있다. 따라서, 금속 분말(310)은 표면이 적어도 하나의 절연체로 코팅될 수 있다. 예를 들어, 금속 분말(310)은 표면이 산화물로 코팅될 수 있고, 파릴렌(parylene) 등의 절연성 고분자 물질로 코팅될 수 있는데, 파릴렌으로 코팅되는 것이 바람직하다. 파릴렌은 1㎛∼10㎛의 두께로 코팅될 수 있다. 여기서, 파릴렌이 1㎛ 미만의 두께로 형성되면 금속 분말(310)의 절연 효과가 저하될 수 있고, 10㎛를 초과하는 두께로 형성하면 금속 분말(310)의 사이즈가 증가하여 바디(300) 내의 금속 분말(310)의 분포가 줄어들어 투자율이 낮아질 수 있다. 또한, 파릴렌 이외에도 다양한 절연성 고분자 물질을 이용하여 금속 분말(310)의 표면을 코팅할 수 있다. 한편, 금속 분말(310)을 코팅하는 산화물은 금속 분말(310)을 산화시켜 형성할 수도 있고, TiO2, SiO2, ZrO2, SnO2, NiO, ZnO, CuO, CoO, MnO, MgO, Al2O3, Cr2O3, Fe2O3, B2O3 및 Bi2O3로부터 선택된 하나가 코팅될 수도 있다. 여기서, 금속 분말(310)은 이중 구조의 산화물로 코팅될 수 있고, 산화물 및 고분자 물질의 이중 구조로 코팅될 수 있다. 물론, 금속 분말(310)은 표면이 자성체로 코팅된 후 절연체로 코팅될 수도 있다. 이렇게 금속 분말(310)의 표면이 절연체로 코팅됨으로써 금속 분말(310) 사이의 접촉에 의한 쇼트를 방지할 수 있다. 이때, 산화물, 절연성 고분자 물질 등으로 금속 분말(310)을 코팅하거나 자성체 및 절연체의 이중으로 코팅되는 경우에도 1㎛∼10㎛의 두께로 코팅될 수 있다.
폴리머(320)는 금속 분말(310) 사이를 절연시키기 위해 금속 분말(310)과 혼합될 수 있다. 즉, 금속 분말(310)은 고주파에서의 와전류 손실 및 히스테리 손실이 높아져서 재료의 손실이 심해지는 문제점이 발생할 수 있는데, 이러한 재료의 손실을 감소시키기 위해 금속 분말(310) 사이를 절연하는 폴리머(320)를 포함시킬 수 있다. 이러한 폴리머(320)는 에폭시(epoxy), 폴리이미드(polyimide) 및 액정 결정성 폴리머(Liquid Crystalline Polymer, LCP)로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 폴리머(320)는 금속 분말(310) 사이에 절연성을 제공하는 것으로 열경화성 수지로 이루어질 수 있다. 열경화성 수지로는 예를 들어 노볼락 에폭시 수지(Novolac Epoxy Resin), 페녹시형 에폭시 수지(Phenoxy Type Epoxy Resin), 비피에이형 에폭시 수지(BPA Type Epoxy Resin), 비피에프형 에폭시 수지(BPF Type Epoxy Resin), 하이드로네이트 비피에이 에폭시 수지(Hydrogenated BPA Epoxy Resin), 다이머산 개질 에폭시 수지(Dimer Acid Modified Epoxy Resin), 우레탄 개질 에폭시 수지(Urethane Modified Epoxy Resin), 고무 개질 에폭시 수지(Rubber Modified Epoxy Resin) 및 디씨피디형 에폭시 수지(DCPD Type Epoxy Resin)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함할 수 있다. 여기서, 폴리머(320)는 금속 분말 100wt%에 대하여 2.0wt% 내지 5.0wt%의 함량으로 포함될 수 있다. 그런데, 폴리머(320)의 함량이 증가할 경우 금속 분말(310)의 부피 분율이 저하되어 포화자화 값을 높이는 효과가 제대로 구현되지 않을 수 있고, 바디(300)의 투자율을 저하시킬 수 있다. 반대로, 폴리머(320)의 함량이 감소하는 경우 인덕터의 제조 과정에서 사용되는 강산 또는 강염기 용액 등이 내부로 침투하여 인덕턴스 특성을 감소시킬 수 있다. 따라서, 폴리머(320)는 금속 분말(310)의 포화자화 값 및 인덕턴스를 저하시키지 않도록 하는 범위에서 포함될 수 있다.
한편, 바디(300)는 외부의 열에 의해 바디(300)가 가열되는 문제를 해결하기 위해 열 전도성 필러(330)가 포함될 수 있다. 즉, 외부의 열에 의해 바디(300)의 금속 분말(310)이 가열될 수 있는데, 열 전도성 필러(330)가 포함됨으로써 금속 분말(310)의 열을 외부로 방출시킬 수 있다. 이러한 열 전도성 필러(330)는 MgO, AlN, 카본 계열의 물질로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 여기서, 카본 계열의 물질은 탄소를 포함하며 다양한 형상을 가질 수 있는데, 예를 들어 흑연, 카본 블랙, 그래핀, 그라파이트 등이 포함될 수 있다. 또한, 열 전도성 필러(330)는 금속 분말(310) 100wt%에 대하여 0.5wt% 내지 3wt%의 함량으로 포함될 수 있다. 열 전도성 필러(330)의 함량이 상기 범위 미만일 경우 열 방출 효과를 얻을 수 없으며, 상기 범위를 초과할 경우 금속 분말(310)의 함량이 낮아져 바디(300)의 투자율을 저하시키게 된다. 그리고, 열 전도성 필러(330)는 예를 들어 0.5㎛ 내지 100㎛의 크기를 가질 수 있다. 즉, 열 전도성 필러(330)는 금속 분말(310)의 크기와 동일하거나, 이보다 크거나 작은 크기를 가질 수 있다. 열 전도성 필러(330)는 크기와 함량에 따라 열 방출 효과가 조절될 수 있다. 예를 들어, 열 전도성 필러(330)의 크기가 크고 함량이 증가할수록 열 방출 효과가 높을 수 있다. 한편, 바디(300)는 금속 분말(310), 폴리머(320) 및 열 전도성 필러(330)를 포함하는 재료로 이루어진 복수 개의 시트를 적층하여 제작될 수 있다. 여기서, 복수의 시트를 적층하여 바디(300)를 제작할 경우 각 시트의 열 전도성 필러(330)의 함량은 다를 수 있다. 예를 들어, 기판(100)을 중심으로 상측 및 하측으로 멀어질수록 시트 내의 열 전도성 필러(330)의 함량은 증가할 수 있다. 또한, 바디(300)는 금속 분말(310), 폴리머(320) 및 열 전도성 필러(330)를 포함하는 재료로 이루어진 페이스트를 일정 두께로 인쇄하여 형성하거나, 이러한 페이스트를 틀에 넣어서 압착하는 방법 등 필요에 따라 다양한 방법이 적용되어 형성될 수 있다. 이때, 바디(300)를 형성하기 위해 적층되는 시트의 개수 또는 일정 두께로 인쇄되는 페이스트의 두께는 파워 인덕터에서 요구되는 인덕턴스 등의 전기적 특성을 고려하여 적정한 수나 두께로 결정될 수 있다. 한편, 기판(100)를 사이에 두고 그 상측 및 하측에 마련된 바디(300a, 300b)는 기판(100)을 통해 서로 연결될 수 있다. 즉, 기판(100)의 적어도 일부가 제거되고 제거된 부분에 바디(300)의 일부가 충진될 수 있다. 이렇게 기판(100)의 적어도 일부가 제거되고 그 부분에 바디(300)가 충진됨으로써 기판(100)의 면적을 줄이고 동일 부피에서 바디(300)의 비율을 증가시킴으로써 파워 인덕터의 투자율을 증가시킬 수 있다.
기판(100)은 바디(300)의 내부에 마련될 수 있다. 예를 들어, 기판(100)은 바디(300) 내부에 바디(300)의 장축 방향, 즉 외부 전극(400) 방향으로 마련될 수 있다. 또한, 기판(100)은 하나 이상으로 마련될 수 있는데, 예를 들어 둘 이상의 기판(100)이 외부 전극(400)이 형성된 방향과 직교하는 방향, 예를 들어 수직 방향으로 소정 간격 이격되어 마련될 수 있다. 물론, 둘 이상의 기판(100)이 외부 전극(400)이 형성된 방향으로 배열될 수도 있다. 이러한 기판(100)은 예를 들어 구리 클래드 라미네이션(Copper Clad Lamination; CCL) 또는 금속 페라이트 등으로 제작될 수 있다. 이때, 기판(100)은 금속 페라이트로 제작됨으로써 투자율을 증가시키고 용량 구현을 용이하게 할 수 있다. 즉, CCL은 투자율을 갖기 않기 때문에 파워 인덕터의 투자율을 저하시킬 수 있다. 그러나, 금속 페라이트를 기판(100)으로 이용하게 되면 금속 페라이트가 투자율을 가지기 때문에 파워 인덕터의 투자율을 저하시키지 않게 된다. 이러한 금속 페라이트 이용한 기판(100)은 철을 함유하는 금속, 예를 들어 철-니켈(Fe-Ni), 철-니켈-규소(Fe-Ni-Si), 철-알루미늄-규소(Fe-Al-Si) 및 철-알루미늄-크롬(Fe-Al-Cr)으로 구성된 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속으로 이루어진 소정 두께의 판에 구리 포일을 접합시켜 제작될 수 있다. 즉, 철을 포함하여 적어도 하나의 금속으로 이루어진 합금을 소정 두께의 판 형상으로 제작하고, 금속판의 적어도 일면에 구리 포일을 접합함으로써 기판(100)이 제작될 수 있다. 또한, 기판(100)의 소정 영역에는 적어도 하나의 도전성 비아(110)가 형성될 수 있고, 도전성 비아(110)에 의해 기판(100)의 상측 및 하측에 각각 형성되는 코일 패턴(210, 220)이 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 기판(100)은 적어도 일부가 제거될 수 있다. 즉, 기판(100)는 도 14 및 도 15에 도시된 바와 같이 코일 패턴(210, 220)과 중첩되는 영역을 제외한 나머지 영역이 제거될 수 있다. 예를 들어, 스파이럴 형상으로 형성되는 코일 패턴(210, 220)의 내측에 기판(100)이 제거되어 관통홀(120)이 형성될 수 있고, 코일 패턴(210, 220) 외측의 기판(100)이 제거될 수 있다. 즉, 기판(100)은 코일 패턴(210, 220)의 외측 형상을 따라 예컨데 레이스트랙(racetrack) 형상을 가지고 외부 전극(400)과 대향되는 영역이 코일 패턴(210, 220) 단부의 형상을 따라 직선 형상으로 형성될 수 있다. 따라서, 기판(100)의 외측은 바디(300)의 가장자리에 대하여 만곡한 형상으로 마련될 수 있다. 이렇게 기판(100)이 제거된 부분에는 도 15에 도시된 바와 같이 바디(300)가 충진될 수 있다. 즉, 기판(100)의 관통홀(120)을 포함한 제거된 영역을 통해 상측 및 하측의 바디(300a, 300b)가 서로 연결된다. 한편, 기판(100)이 금속 페라이트로 제작되는 경우 기판(100)이 바디(300)의 금속 분말(310)과 접촉될 수 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해 기판(100)의 측면에는 파릴렌 등의 절연층(500)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 관통홀(120)의 측면 및 기판(100)의 외측면에 절연층(500)이 형성될 수 있다. 한편, 기판(100)는 코일 패턴(210, 220)보다 넓은 폭으로 마련될 수 있다. 예를 들어, 기판(100)은 코일 패턴(210, 220)의 수직 하방에서 소정의 폭으로 잔류할 수 있는데, 예를 들어 기판(100)은 코일 패턴(210, 220)보다 0.3㎛ 정도 돌출되도록 형성될 수 있다. 한편, 기판(100)은 코일 패턴(210, 220) 내측 영역 및 외측 영역이 제거되어 바디(300)의 횡단면의 면적보다 작을 수 있다. 예를 들어, 바디(300)의 횡단면의 면적을 100으로 할 때, 기판(100)은 40 내지 80의 면적 비율로 마련될 수 있다. 기판(100)의 면적 비율이 높으면 바디(300)의 투자율이 낮아질 수 있고, 기판(100)의 면적 비율이 낮으면 코일 패턴(210, 220)의 형성 면적이 작아질 수 있다. 따라서, 바디(300)의 투자율, 코일 패턴(210, 220)의 선폭 및 턴수 등을 고려하여 기판(100)의 면적 비율을 조절할 수 있다.
코일 패턴(210, 220; 200)은 기판(100)의 적어도 일면, 바람직하게는 양면에 형성될 수 있다. 이러한 코일 패턴(210, 220)은 기판(100)의 소정 영역, 예를 들어 중앙부로부터 외측 방향으로 스파이럴 형태로 형성될 수 있고, 기판(100) 상에 형성된 두 코일 패턴(210, 220)이 연결되어 하나의 코일을 이룰 수 있다. 즉, 코일 패턴(210, 220)은 기판(100)의 중심부에 형성된 관통홀(120) 외측으로부터 스파이럴 형태로 형성될 수 있고, 기판(100)에 형성된 전도성 비아(110)를 통해 서로 연결될 수 있다. 여기서, 상측의 코일 패턴(210)과 하측의 코일 패턴(220)은 서로 동일 형상으로 형성될 수 있고 동일 높이로 형성될 수 있다. 또한, 코일 패턴(210, 220)은 서로 중첩되게 형성될 수도 있고, 코일 패턴(210)이 형성되지 않은 영역에 중첩되도록 코일 패턴(220)이 형성될 수도 있다. 한편, 코일 패턴(210, 220)의 단부는 직선 형상으로 외측으로 연장 형성될 수 있는데, 바디(300)의 단변 중앙부를 따라 연장 형성될 수 있다. 그리고, 코일 패턴(210, 220)의 외부 전극(400)과 접촉되는 영역은 도 14 및 도 15에 도시된 바와 같이 다른 영역에 비해 폭이 넓게 형성될 수 있다. 코일 패턴(210, 220)의 일부, 즉 인출부가 넓은 폭으로 형성됨으로써 코일 패턴(210, 220)과 외부 전극(400)의 접촉 면적을 증가시킬 수 있고 그에 따라 저항을 낮출 수 있다. 물론, 코일 패턴(210, 220)이 외부 전극(400)이 형성되는 일 영역에서 외부 전극(400)의 폭 방향으로 연장 형성될 수도 있다. 이때, 코일 패턴(210, 220)의 말단부, 즉 외부 전극(400)으로 향하여 인출되는 인출부는 바디(300)의 측면 중앙부를 향해 직선 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 코일 패턴(210, 220)는 경사지게 형성된 제 1 도금막(200a)과, 이를 덮도록 형성된 제 2 도금막(200b)을 포함할 수 있다.
외부 전극(410, 420; 400)은 바디(300)의 서로 대향하는 두 면에 형성될 수 있다. 예를 들어, 외부 전극(400)은 바디(300)의 장축 방향으로 서로 대향되는 두 측면에 형성될 수 있다. 이러한 외부 전극(400)은 바디(300)의 코일 패턴(210, 220)과 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 외부(400)은 바디(300)의 두 측면 전체에 형성되고, 두 측면의 중앙부에서 코일 패턴(210, 220)과 접촉될 수 있다. 즉, 코일 패턴(210, 220)의 단부가 바디(300)의 외측 중앙부로 노출되고 외부 전극(400)이 바디(300)의 측면에 형성되어 코일 패턴(210, 220)의 단부와 연결될 수 있다. 이러한 외부 전극(400)은 도전성 페이스트에 바디(300)를 침지하거나, 인쇄, 증착 및 스퍼터링 등의 다양한 방법을 통하여 바디(300)의 양단에 형성될 수 있다. 외부 전극(400)은 전기 전도성을 가지는 금속으로 형성될 수 있는데, 예를 들어 금, 은, 백금, 구리, 니켈, 팔라듐 및 이들의 합금으로부터 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속으로 형성될 수 있다. 또한, 외부 전극(400)은 표면에 니켈-도금층(미도시) 또는 주석 도금층(미도시)이 더 형성될 수 있다.
절연층(500)은 코일 패턴(210, 220)과 금속 분말(310)을 절연시키기 위해 코일 패턴(210, 220)과 바디(300) 사이에 형성될 수 있다. 즉, 절연층(500)이 코일 패턴(210, 220)의 상면 및 측면을 덮도록 형성될 수 있다. 또한, 절연층(500)은 코일 패턴(210, 220)의 상면 및 측면 뿐만 아니라 기판(100)를 덮도록 형성될 수도 있다. 즉, 소정 영역이 제거된 기판(100)의 코일 패턴(210, 220)보다 노출된 영역, 즉 기판(100)의 표면 및 측면에도 절연층(500)이 형성될 수 있다. 기판(100) 상의 절연층(500)은 코일 패턴(210, 220) 상의 절연층(500)과 동일 두께로 형성될 수 있다. 이러한 절연층(500)은 코일 패턴(210, 220) 상에 파릴렌을 코팅하여 형성할 수 있다. 예를 들어, 코일 패턴(210, 220)이 형성된 기판(100)를 증착 챔버 내에 마련한 후 파릴렌을 기화시켜 진공 챔버 내부로 공급함으로써 코일 패턴(210, 220) 상에 파릴렌을 증착시킬 수 있다. 예를 들어, 파릴렌을 기화기(Vaporizer)에서 1차 가열하여 기화시켜 다이머(dimer) 상태로 만든 후 2차 가열하여 모노머(Monomer) 상태로 열분해시키고, 증착 챔버에 연결되어 구비된 콜드 트랩(Cold Trap)과 기계적 진공 펌프(Mechanical Vaccum Pump)를 이용하여 파릴렌을 냉각시키면 파릴렌은 모노머 상태에서 폴리머 상태로 변환되어 코일 패턴(210, 220) 상에 증착된다. 물론, 절연층(500)은 파릴렌 이외의 절연성 고분자, 예를 들어 에폭시, 폴리이미드 및 액정 결정성 폴리머로부터 선택된 하나 이상의 물질로 형성될 수 있다. 그러나, 파릴렌을 코팅함으로써 코일 패턴(210, 220) 상에 균일한 두께로 절연층(500)을 형성할 수 있고, 얇은 두께로 형성하더라도 다른 물질에 비해 절연 특성을 향상시킬 수 있다. 즉, 절연층(500)으로서 파릴렌을 코팅하는 경우 폴리이미드를 형성하는 경우에 비해 얇은 두께로 형성하면서 절연 파괴 전압을 증가시켜 절연 특성을 향상시킬 수 있다. 또한, 코일 패턴(210, 220)의 패턴 사이의 간격에 따라 패턴 사이를 매립하여 균일한 두께로 형성되거나 패턴의 단차를 따라 균일한 두께로 형성될 수 있다. 즉, 코일 패턴(210, 220)의 패턴 사이의 간격이 멀 경우 패턴의 단차를 따라 균일한 두께로 파릴렌이 코팅될 수 있고, 패턴 사이의 간격이 가까울 경우 패턴 사이를 매립하여 코일 패턴(210, 220) 상에 소정 두께로 형성될 수 있다. 도 15에 도시된 바와 같이 파릴렌의 경우 코일 패턴(210, 220)의 단차를 따라 얇은 두께로 형성되지만, 폴리이미드는 파릴렌에 비해 두꺼운 두께로 형성된다. 한편, 절연층(500)은 파릴렌을 이용하여 3㎛∼100㎛의 두께로 형성할 수 있다. 파릴렌이 3㎛ 미만의 두께로 형성되면 절연 특성이 저하될 수 있고, 100㎛를 초과하는 두께로 형성하는 경우 동일 사이즈 내에서 절연층(500)이 차지하는 두께가 증가하여 바디(300)의 체적이 작아지고 그에 따라 투자율이 저하될 수 있다. 물론, 절연층(500)은 소정 두께의 시트로 제작된 후 코일 패턴(210, 220) 상에 형성될 수 있다.
상기한 바와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따른 파워 인덕터는 금속 분말(310) 및 폴리머(320) 뿐만 아니라 열 전도성 필러(330)를 포함하여 바디(300)를 제작함으로써 금속 분말(310)의 가열에 의한 바디(300)의 열을 외부로 방출할 수 있어 바디(300)의 온도 상승을 방지할 수 있고, 그에 따라 인덕턴스 저하 등의 문제를 방지할 수 있다. 또한, 코일 패턴(210, 220)과 바디(300) 사이에 파릴렌을 이용하여 절연층(500)을 형성함으로써 코일 패턴(210, 220)의 측면 및 상면에 얇고 균일한 두께로 절연층(500)을 형성하면서 절연 특성을 향상시킬 수 있다. 그리고, 바디(300) 내부의 기판(100)을 금속 자성체로 형성함으로써 파워 인덕터의 투자율 감소를 방지할 수 있고, 기판(100)의 적어도 일부가 제거되고 그 부분에 바디(300)를 충진함으로써 투자율을 향상시킬 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 파워 인덕터는 바디(300) 내에 적어도 하나의 페라이트층(미도시)이 더 마련될 수 있다. 즉, 바디(300)의 상면 및 하면의 적어도 어느 하나에 페라이트층이 마련될 수도 있고, 바디(300) 내에 기판(100)과 이격되어 적어도 하나 페라이트층이 마련될 수도 있다. 이러한 페라이트층은 시트 형태로 제작되어 복수의 시트가 적층된 바디(300)의 사이에 마련될 수 있다. 즉, 바디(300)를 제작하기 위한 복수의 시트 사이에 적어도 하나의 페라이트층을 마련할 수 있다. 또한, 금속 분말(310), 폴리머(320) 및 열 전도성 필러(330)를 포함하는 재료로 이루어진 페이스트를 일정 두께로 인쇄하여 바디(300)를 형성하는 경우 인쇄 도중에 페라이트층을 형성할 수 있고, 페이스트를 틀에 넣어서 압착하는 경우에도 페라이트층을 그 사이에 넣고 압착할 수 있다. 물론, 페라이트층은 페이스트를 이용하여 형성할 수도 있는데, 바디(300)를 인쇄할 때 연자성 물질을 도포하여 바디(300) 내에 페라이트층을 형성할 수 있다. 이렇게 바디(300)에 적어도 하나의 페라이트층을 마련함으로써 파워 인덕터의 자성률을 향상시킬 수 있다.
또한, 적어도 일 면에 코일 패턴(200)이 각각 형성된 적어도 둘 이상의 기판(100)이 바디(300) 내에 이격되어 마련되고, 서로 다른 기판(100) 상에 형성된 코일 패턴(200)이 바디(300) 외부의 연결 전극(미도시)에 의해 연결될 수 있다. 따라서, 하나의 바디(300) 내에 복수의 코일 패턴을 형성하고, 그에 따라 파워 인덕터의 용량을 증가시킬 수 있다. 즉, 바디(300) 외부의 연결 전극을 이용하여 서로 다른 기판(100) 상에 각각 형성된 코일 패턴(200)을 직렬 연결할 수 있고, 그에 따라 동일 면적 내의 파워 인덕터의 용량을 증가시킬 수 있다.
물론, 적어도 둘 이상의 기판(100)이 수평 방향으로 배열되고, 그 상부에 각각 형성된 코일 패턴들(200)이 서로 다른 외부 전극(400)에 의해 연결됨으로써 복수의 인덕터가 병렬로 마련될 수 있고, 그에 따라 하나의 바디(300) 내에 두개 이상이 파워 인덕터가 구현될 수도 있다. 즉, 하나의 바디(300) 내에 복수의 인턱터가 구현될 수 있다.
또한, 바디(300) 내에 적어도 일면 상에 코일 패턴들(200)이 각각 형성된 복수의 기판(100)이 바디(300)의 두께 방향(즉 수직 방향)으로 적층되거나 또는 이와 직교하는 방향(즉 수평 방향)으로 배열될 수 있다. 그리고, 복수의 기판(100) 상에 각각 형성된 코일 패턴들(200)은 외부 전극(400)과 직렬 또는 병렬 연결될 수 있다. 즉, 복수의 기판(100) 각각에 형성된 코일 패턴들(200)이 서로 다른 외부 전극(400)에 연결되어 병렬로 연결될 수 있고, 복수의 기판(100) 각각에 형성된 코일 패턴들(200)이 동일한 외부 전극(400)에 연결되어 직렬 연결될 수 있다. 직렬 연결되는 경우 각각의 기판(100) 상에 각각 형성된 코일 패턴들(200)이 바디(300) 외부의 연결 전극에 의해 연결될 수 있다. 따라서, 병렬 연결되는 경우 복수의 기판(100) 각각에 두개의 외부 전극(400)이 필요하고, 직렬 연결되는 경우 기판(100)의 수에 관계없이 두개의 외부 전극(400)이 필요하고 하나 이상의 연결 전극이 필요하다. 예를 들어, 세개의 기판(100) 상에 형성된 코일 패턴(200)이 외부 전극(400)에 병렬로 연결되는 경우 여섯개의 외부 전극(400)이 필요하고, 세개의 기판(100) 상에 형성된 코일 패턴(200)이 직렬로 연결되는 경우 두개의 외부 전극(400)과 적어도 하나의 연결 전극이 필요하다. 또한, 병렬 연결되는 경우 바디(300) 내에 복수의 코일이 마련되고, 직렬 연결되는 경우 바디(300) 내에 하나의 코일이 마련된다.
본 발명은 상기에서 서술된 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 즉, 상기의 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명의 범위는 본원의 특허 청구 범위에 의해서 이해되어야 한다.
100 : 기판
200 : 코일 패턴
200a : 제 1 도금막 200b : 제 2 도금막
300 : 바디 400 : 외부 전극
500 : 절연막
200a : 제 1 도금막 200b : 제 2 도금막
300 : 바디 400 : 외부 전극
500 : 절연막
Claims (21)
- 기판의 적어도 일면 상에 형성된 코일 패턴으로서,
상기 기판 상에 형성된 제 1 도금막; 및
상기 제 1 도금막을 덮도록 형성된 제 2 도금막을 포함하는 코일 패턴.
- 청구항 1에 있어서, 상기 코일 패턴은 상기 기판의 양면에 스파이럴 형태로 각각 형성되고, 상기 제 1 도금막의 적어도 일부가 상기 기판에 형성된 도전성 비아를 통해 연결된 코일 패턴.
- 청구항 2에 있어서, 상기 제 1 도금막은 상기 기판에 접하는 하부면으로부터 상부면으로 갈수록 폭이 좁아지도록 형성된 코일 패턴.
- 청구항 3에 있어서, 상기 제 1 도금막은 상기 상부면의 폭과 상기 하부면의 폭의 비가 0.2:1 내지 0.9:1로 형성된 코일 패턴.
- 청구항 4에 있어서, 상기 제 1 도금막은 상기 하부면의 폭과 높이의 비가 1:0.7 내지 1:4로 형성된 코일 패턴.
- 청구항 5에 있어서, 상기 제 1 도금막의 하부면의 폭과 상기 제 2 도금막의 하부면의 폭의 비는 1:1.2 내지 1:2이고, 상기 제 1 도금막의 하부면의 폭과 인접한 제 1 도금막 사이의 간격의 비는 1.5:1 내지 3:1인 코일 패턴.
- 청구항 6에 있어서, 상기 제 2 도금막은 상부면과 하부면의 폭의 비가 0.5:1 내지 0.9:1인 코일 패턴.
- 청구항 7에 있어서, 상부면과 하부면의 폭이 1:1인 설계 저항값에 비해 101% 내지 110%의 저항값을 갖는 코일 패턴.
- 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서, 상기 코일 패턴은 최내부로부터 최외부로 갈수록 폭이 넓어지거나 좁아지도록 형성된 코일 패턴.
- 기판의 적어도 일면 상에 소정 형상의 마스크 패턴을 형성하는 단계;
상기 마스크 패턴 사이의 상기 기판 상에 제 1 도금막을 형성하는 단계;
상기 마스크 패턴을 제거한 후 상기 제 1 도금막을 식각하는 단계; 및
상기 제 1 도금막을 덮도록 제 2 도금막을 형성하는 단계를 포함하는 코일 패턴의 형성 방법.
- 청구항 10에 있어서, 상기 코일 패턴은 상기 기판의 양면에 스파이럴 형태로 각각 형성되고, 상기 제 1 도금막의 적어도 일부가 상기 기판에 형성된 도전성 비아를 통해 연결되는 코일 패턴의 형성 방법.
- 청구항 11에 있어서, 상기 제 1 도금막은 상기 하부면으로부터 상부면으로 갈수록 폭이 좁아지도록 식각하는 코일 패턴의 형성 방법.
- 청구항 12에 있어서, 상기 제 1 도금막은 적어도 1회의 등방 식각과 적어도 1회의 경사 식각을 실시하여 식각하는 코일 패턴의 형성 방법.
- 청구항 13에 있어서, 상기 제 1 도금막은 상기 하부면의 폭과 상기 상부면의 폭의 비가 0.2:1 내지 0.9:1이 되도록 식각하는 코일 패턴의 형성 방법.
- 청구항 14에 있어서, 상기 제 1 도금막의 식각은 등방 식각과 경사 식각의 비율을 다르게 하여 적어도 2구간으로 실시하는 코일 패턴의 형성 방법.
- 청구항 10 내지 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서, 상기 코일 패턴은 최내부로부터 최외부로 갈수록 폭이 넓어지거나 좁아지도록 형성된 코일 패턴의 형성 방법.
- 바디;
상기 바디 내부에 마련된 적어도 하나의 기판;
상기 기판의 적어도 일면 상에 형성된 적어도 하나의 코일 패턴; 및
상기 코일 패턴과 상기 바디 사이에 형성된 절연층을 포함하며,
상기 코일 패턴은 최내부로부터 최외부로 갈수록 폭이 넓어지거나 좁아지도록 형성된 칩 소자. - 청구항 17에 있어서, 상기 코일 패턴은 상기 기판 상에 형성된 제 1 도금막과, 상기 제 1 도금막을 덮도록 형성된 제 2 도금막을 포함하는 칩 소자.
- 청구항 18에 있어서, 상기 제 1 도금막은 상기 상부면의 폭과 상기 하부면의 폭의 비가 0.2:1 내지 0.9:1로 형성된 칩 소자.
- 청구항 17 내지 청구항 19 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판은 적어도 일부 영역이 제거되고, 제거된 영역에 상기 바디가 충진된 칩 소자.
- 청구항 20에 있어서, 상기 기판은 적어도 둘 이상 마련되어 상기 바디의 두께 방향으로 적층되고, 상기 둘 이상의 기판 상에 각각 형성된 코일 패턴은 직렬 또는 병렬 연결된 칩 소자.
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