KR20170103416A - 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치 및 그 방법 - Google Patents

광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치 및 그 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20170103416A
KR20170103416A KR1020160026298A KR20160026298A KR20170103416A KR 20170103416 A KR20170103416 A KR 20170103416A KR 1020160026298 A KR1020160026298 A KR 1020160026298A KR 20160026298 A KR20160026298 A KR 20160026298A KR 20170103416 A KR20170103416 A KR 20170103416A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
defect
information
defect information
optical film
primary process
Prior art date
Application number
KR1020160026298A
Other languages
English (en)
Inventor
김종우
박진용
이태규
Original Assignee
동우 화인켐 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 동우 화인켐 주식회사 filed Critical 동우 화인켐 주식회사
Priority to KR1020160026298A priority Critical patent/KR20170103416A/ko
Priority to JP2016162690A priority patent/JP2017156337A/ja
Priority to CN201610875826.1A priority patent/CN107153902A/zh
Publication of KR20170103416A publication Critical patent/KR20170103416A/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06QINFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q10/00Administration; Management
    • G06Q10/06Resources, workflows, human or project management; Enterprise or organisation planning; Enterprise or organisation modelling
    • G06Q10/063Operations research, analysis or management
    • G06Q10/0633Workflow analysis
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06QINFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q50/00Systems or methods specially adapted for specific business sectors, e.g. utilities or tourism
    • G06Q50/04Manufacturing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06KGRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K17/00Methods or arrangements for effecting co-operative working between equipments covered by two or more of main groups G06K1/00 - G06K15/00, e.g. automatic card files incorporating conveying and reading operations
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06KGRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K19/00Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings
    • G06K19/06Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code
    • G06K19/06009Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code with optically detectable marking
    • G06K19/06018Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code with optically detectable marking one-dimensional coding
    • G06K19/06028Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code with optically detectable marking one-dimensional coding using bar codes
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06KGRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K7/00Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns
    • G06K7/10Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06QINFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q10/00Administration; Management
    • G06Q10/06Resources, workflows, human or project management; Enterprise or organisation planning; Enterprise or organisation modelling
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/30Computing systems specially adapted for manufacturing
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S715/00Data processing: presentation processing of document, operator interface processing, and screen saver display processing
    • Y10S715/961Operator interface with visual structure or function dictated by intended use
    • Y10S715/965Operator interface with visual structure or function dictated by intended use for process control and configuration

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Business, Economics & Management (AREA)
  • Human Resources & Organizations (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Strategic Management (AREA)
  • Economics (AREA)
  • Entrepreneurship & Innovation (AREA)
  • General Business, Economics & Management (AREA)
  • Marketing (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Tourism & Hospitality (AREA)
  • Educational Administration (AREA)
  • Game Theory and Decision Science (AREA)
  • Development Economics (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Artificial Intelligence (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Primary Health Care (AREA)

Abstract

본 발명은 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 1차 공정의 결함 관리기 및 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집하는 결함 정보 수집부, 1차 공정의 결함 정보와 2차 공정의 결함 정보를 매칭시키는 결함 정보 매칭부, 매칭 결과를 토대로, 2차 공정의 결함 정보를 기준으로 1차 공정의 결함 정보를 비교하여 동일한 결함의 검출 여부를 판단하는 결함 검출 판단부, 동일한 결함이 검출된 경우, 1차 공정과 2차 공정에서의 해당 결함 정보의 위치 차이를 산출하고, 산출된 위치 차이를 토대로 1차 공정의 결함 정보를 보정하는 결함 정보 보정부 및 보정된 1차 공정의 결함 정보와 2차 공정의 결함 정보를 취합하는 결함 정보 취합부;를 포함한다.

Description

광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치 및 그 방법{APPARATUS AND METHOD OF MANAGING DEFECT INFORMATION OF OPTICAL FILM}
본 발명은 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 각 공정마다 검출되는 결함 정보를 광학필름 상에 바코드 마킹하여 전체 공정에서 발견되는 결함 정보를 통합 관리하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
최근 광학필름 제조 장치의 집적도가 증가함에 따라 종래에는 크게 문제되지 않았던 미세한 결함까지도 광학필름 제조 장치의 동작 결함을 야기하고 있으며 광학필름 제조 장치의 신뢰성에도 치명적인 악영향을 주고 있다.
따라서, 광학필름을 제조하기 위한 단위 공정을 수행하기 이전 또는 이후에 표면상의 결함을 검사하고 측정하고 있다.
이를 위해, 결함들을 정확하게 검사해낼 수 있는 결함 검사장치의 도입이 요청되고 있으며, 검사장치에 대한 미세한 제어기술이 광학필름 제조 장치의 성능을 좌우한다.
일반적으로, 광학필름 제조 장치에서 발생하는 결함은 전자 현미경 또는 광학 현미경에 의해 직접 확인할 수 있다. 이처럼 결함을 직접 확인함으로써 검출된 결함의 진위를 알 수 있다.
그러나, 하나의 공정에서 광학필름이 생산된 후에 다음 공정으로 이동하여 접합 및 코팅 작업이 진행되는 경우, 해당 광학필름의 시작 지점 및 좌우 방향이 투입 방향에 따라 변경된다. 이와 같은 방향 변경에 의하여 각 공정에서 검출된 결함 데이터가 상하 또는 좌우 반전되어 전체 공정에서 발생한 결함의 위치를 정확하게 파악하는데 어려움이 발생한다.
이와 관련하여, 한국공개특허 제2009-0078638호는 "광학필름 검사장치"에 관하여 개시하고 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서, 1차 공정의 결함 관리기는 광학필름의 결함이 검출되면 광학필름 상에 해당 결함에 대한 정보를 포함하는 바코드를 마킹하는 바코드 마킹기를 구비하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치 및 그 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 2차 공정의 결함 관리기는 1차 공정에서 광학필름 상에 마킹된 바코드를 리딩하는 바코드 리딩기를 구비하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치 및 그 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 1차 공정의 결함 관리기로부터 입력되는 결함 정보와 2차 공정의 결함 관리기로부터 입력되는 결함 정보를 토대로 전체 공정의 결함 정보를 통합 관리하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치 및 그 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치는 1차 공정의 결함 관리기 및 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집하는 결함 정보 수집부; 1차 공정의 결함 정보와 2차 공정의 결함 정보를 매칭시키는 결함 정보 매칭부; 매칭 결과를 토대로, 2차 공정의 결함 정보를 기준으로 1차 공정의 결함 정보를 비교하여 동일한 결함의 검출 여부를 판단하는 결함 검출 판단부; 동일한 결함이 검출된 경우, 1차 공정과 2차 공정에서의 해당 결함 정보의 위치 차이를 산출하고, 산출된 위치 차이를 토대로 1차 공정의 결함 정보를 보정하는 결함 정보 보정부; 및 보정된 1차 공정의 결함 정보와 2차 공정의 결함 정보를 취합하는 결함 정보 취합부;를 포함한다.
또한, 상기 1차 공정의 결함 관리기는 1차 공정에서 광학필름의 결함을 검출하여 해당 결함에 대한 결함 정보를 수집하여 상기 결함 정보 수집부에 전송하고, 상기 2차 공정의 결함 관리기는 2차 공정에서 광학필름의 결함을 검출하여 해당 결함에 대한 결함 정보를 수집하여 상기 결함 정보 수집부에 전송하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 1차 공정의 결함 관리기는 결함이 검출된 위치에 바코드 마킹하는 바코드 마킹기를 더 포함하고, 상기 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 결함 정보에는 상기 1차 공정의 결함 관리기로부터 바코드 마킹된 바코드 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치.
또한, 상기 결함 정보 수집부는 인덱스, 결함의 위치 좌표(X축,Y축), 크기 및 강도 중 적어도 어느 하나의 정보를 포함하는 결함 정보를 수집하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 광학필름에 대한 결함 정보에 인덱스를 포함하는 경우, 상기 인덱스는 상기 1차 공정의 결함 관리기에서 검출되는 각각의 결함에 부여하고, 상기 2차 공정의 결함 관리기에서 검출되는 각각의 결함 중, 검출된 결함의 위치 좌표에 1차 공정의 결함 관리기에서 마킹된 바코드 정보가 부여된 경우에는 1차 공정의 결함 관리기에서 부여한 인덱스값과 동일한 값을 부여하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 결함 검출 판단부는, 상기 인덱스가 동일한 결함인 경우, 동일한 결함인 것으로 판단하거나 상기 광학필름에 대한 결함 정보 중 적어도 둘 이상의 정보가 일치하는 경우, 동일한 결함으 로 판단하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 결함 정보 취합부는 상기 결함 검출 판단부에 의해 동일한 결함이 검출되지 않은 경우, 1차 공정의 결함 정보는 별도의 보정 없이 2차 공정의 결함 정보와 취합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 취합된 1차 공정의 결함 정보와 2차 공정의 결함 정보를 토대로 모니터링을 수행하는 통합 관리부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 광학필름의 결함 정보 통합 관리 방법은 결함 정보 수집부에 의해, 1차 공정의 결함 관리기 및 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집하는 단계; 결함 정보 매칭부에 의해, 상기 1차 공정의 결함 정보와 상기 2차 공정의 결함 정보를 매칭시키는 단계; 결함 검출 판단부에 의해, 매칭 결과를 토대로, 상기 2차 공정의 결함 정보를 기준으로 상기 1차 공정의 결함 정보를 비교하여 동일한 결함을 검출 여부를 판단하는 단계; 결함 정보 보정부에 의해, 동일한 결함이 검출된 경우, 1차 공정과 2차 공정에서의 해당 결함 정보의 위치 차이를 산출하고, 산출된 위치 차이를 토대로 상기 1차 공정의 결함 정보를 보정하는 단계; 및 결함 정보 취합부에 의해, 보정된 상기 1차 공정의 결함 정보와 상기 2차 공정의 결함 정보를 취합하는 단계;를 포함한다.
또한, 상기 1차 공정의 결함 관리기 및 상기 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집하는 단계는, 상기 1차 공정의 결함 관리기는 1차 공정에서 광학필름 상의 결함을 검출하여 해당 결함에 대한 결함 정보를 수집하여 전송하고, 상기 2차 공정의 결함 관리기는 2차 공정에서 광학필름 상의 결함을 검출하여 해당 결함에 대한 결함 정보를 수집하여 전송하고, 상기 1차 공정의 결함 관리기 및 상기 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 각각의 결함정보를 수집하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 1차 공정의 결함 관리기 및 상기 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집하는 단계에서, 상기 1차 공정의 결함 관리기는 결함이 검출된 위치에 바코드 마킹하는 바코드 마킹기를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 1차 공정의 결함 관리기 및 상기 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집하는 단계에서, 상기 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 결함 정보에는 상기 1차 공정의 결함 관리기로부터 바코드 마킹된 바코드 정보를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 1차 공정의 결함 관리기 및 상기 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집하는 단계에서, 상기 광학필름에 대한 결함 정보는 인덱스, 결함의 위치 좌표(X축,Y축), 크기 및 강도 중 적어도 어느 하나의 정보를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 1차 공정의 결함 관리기 및 상기 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집하는 단계에서, 상기 광학필름에 대한 결함 정보에 인덱스를 포함하는 경우, 상기 인덱스는 상기 1차 공정의 결함 관리기에서 검출되는 각각의 결함에 부여하고, 상기 2차 공정의 결함 관리기에서 검출되는 각각의 결함 중, 검출된 결함의 위치 좌표에 1차 공정의 결함 관리기에서 마킹된 바코드 정보가 부여된 경우에는 1차 공정의 결함 관리기에서 부여한 인덱스값과 동일한 값을 부여하는 것을 특징으로 한다.
또한, 매칭 결과를 토대로, 상기 2차 공정의 결함 정보를 기준으로 상기 1차 공정의 결함 정보를 비교하여 동일한결함의 검출 여부를 판단하는 단계는, 상기 인덱스가 동일한 결함인 경우, 동일한 결함 인 것으로 판단하는 것을 특징으로 한다.
또한, 매칭 결과를 토대로, 상기 2차 공정의 결함 정보를 기준으로 상기 1차 공정의 결함 정보를 비교하여 동일한 결함의 검출 여부를 판단하는 단계는, 상기 광학필름에 대한 결함 정보 중 적어도 둘 이상의 정보가 일치하는 경우, 동일한 결함인 것으로 판단하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 의한 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치 및 그 방법은 1차 공정의 결함 관리기로부터 입력되는 결함 정보에 대한 바코드 마킹 정보와 2차 공정의 결함 관리기로부터 입력되는 1차 공정에서의 결함 정보에 대한 바코드 리딩 정보를 매칭시켜 2차 공정의 결함 정보를 기준으로 1차 공정의 결함 정보를 보정함으로써, 결함의 위치를 정확하게 파악할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 1차 공정의 결함 정보와 2차 공정의 결함 정보를 동일한 필름상 위치를 기준으로 매칭함으로써, 전체 공정에서 발견되는 결함 정보를 통합 관리할 수 있고, 공정의 변화에 따른 결함 특성 변화를 용이하게 모니터링할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 1차 공정의 결함 관리기, 2차 공정의 결함 관리기 및 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치로 구성되는 시스템 환경을 설명하기 위한 도면이다.
도 2 내지 도 5는 광학 필름의 투입 방향에 따라 달라지는 1차 공정 및 2차 공정의 결함 정보를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명에 따른 광학필름의 결함 정보 통합 관리 방법의 순서를 설명하기 위한 순서도이다.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 우선, 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 출력되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명에 따른 1차 공정의 결함 관리기, 2차 공정의 결함 관리기 및 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치로 구성되는 시스템 환경을 설명하기 위한 도면이고, 도 2 내지 도 5는 광학 필름의 투입 방향에 따라 달라지는 1차 공정 및 2차 공정의 결함 정보를 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하여 설명하면, 먼저 본 발명에서 말하는 결함 관리기는 각 공장 또는 연속되지 않은 공정의 인라인 상태로 광학필름의 결함을 검사하는 장치이다. 본 발명에서는 설명의 편의를 위해 광학필름의 결함을 검사하는 장치인 것으로 한정하였으나, 이에 한정되지 않는다.
본 발명에 따른 1차 공정(전 공정)의 결함 관리기(10)는 1차 공정에서 광학필름의 결함을 검출하는 검사기 및 검출된 결함에 대한 정보를 광학필름 상에 바코드로 마킹하는 바코드 마킹기를 구비할 수 있다. 또한, 1차 공정(전 공정)의 결함 관리기(10)는 전송 장치를 더 구비하여, 광학필름의 결함 정보(결함 A,B,C,D)를 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치로 전송한다.
본 발명에 따른 2차 공정(후 공정)의 결함 관리기(20)는 1차 공정에서 마킹된 바코드를 리딩하는 바코드 리딩기를 구비할 수 있다. 이때, 2차 공정에서 검출되는 광학필름의 결함 정보는 1차 공정에서 검출된 결함이 유지되는 경우(결함 A,B,C), 1차 공정에서 검출된 결함이 제거된 경우(결함 D), 2차 공정에서 결함이 새롭게 검출되는 경우(결함 G,F)에 따라 1차 공정에서 검출되는 광학필름의 결함 정보와 다를 수 있다.
뿐만 아니라, 1차 공정 및 2차 공정에서 마킹된 결함 정보는, 공정 이동에 따라 광학필름의 투입 방향에 따라 달라질 수 있다. 즉, 도 2와 같이 좌우 이동되어 있거나, 도 3과 같이 상하 이동되어 있거나, 도 4와 같이 좌우 반전되어 있거나, 도 5과 같이 상하 반전된 형태로 표시될 수 있다 .
그리고 2차 공정의 결함 관리기는 전송 장치를 더 구비하여, 광학필름의 결함 정보를 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치로 전송한다.
이처럼, 본 발명에 따른 1차 공정의 결함 관리기(10)는 1차 공정에서의 광학필름의 결함을 검출하고, 검출된 결함이 2차 공정에서 검출되지 않는 경우를 방지하기 위해 검출된 결함 정보를 바코드 마킹을 이용하여 2차 공정의 결함 관리기에 전달하고, 파일 전송 시스템을 통해 검출된 결함 정보를 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치(100)로 전송한다.
또한, 본 발명에 따른 2차 공정의 결함 관리기(20)는 1차 공정에서 전달한 결함 정보를 바코드 리딩을 이용하여 인식하고, 파일 전송 시스템을 통해 검출 및 인식된 결함 정보를 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치(100)로 전송한다.
본 발명에 따른 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치(100)는 1차 공정의 결함 관리기 및 2차 공정의 결함 관리기로부터 결함 정보를 전송받아 2차 공정의 결함 정보를 기준으로 1차 공정의 결함 정보를 보정한 후 취합하여 광학필름의 결함 정보를 통합하여 관리할 수 있다. 이때, 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치(100)는 이후에 설명되는 도 2를 통해 자세하게 설명하기로 한다.
도 6은 본 발명에 따른 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 6을 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치(100)는 크게 결함 정보 수집부(110), 결함 정보 매칭부(120), 결함 검출 판단부(130), 결함 정보 보정부(140), 결함 정보 취합부(150) 및 통합 관리부(160)를 포함한다.
결함 정보 수집부(110)는 1차 공정의 결함 관리기(10) 및 2차 공정의 결함 관리기(20)로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집한다. 이때, 결함 정보는 인덱스, 결함의 위치 좌표(X축,Y축), 크기 및 강도 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
결함 정보 수집부(110)는 1차 공정에서 광학필름의 결함이 검출되면 광학필름 상에 해당 결함에 대한 정보를 포함하는 바코드를 마킹하는 바코드 마킹기를 구비하는 1차 공정의 결함 관리기(10)로부터 바코드 마킹된 결함 정보를 수집한다.
또한, 결함 정보 수집부(110)는 1차 공정에서 광학필름 상에 마킹된 바코드를 리딩하는 바코드 리딩기를 구비하는 2차 공정의 결함 관리기(20)로부터 바코드 마킹된 결함 정보 및 바코드 리딩된 결함 정보를 수집한다.
결함 정보 매칭부(120)는 1차 공정의 결함 정보와 2차 공정의 결함 정보를 매칭시킨다.
결함 검출 판단부(130)는 매칭 결과를 토대로, 2차 공정의 결함 정보를 기준으로 1차 공정의 결함 정보를 비교하여 동일한 결함 의 검출 여부를 판단한다.
결함 검출 판단부(130)는 2차 공정 의 결함 관리기 에서 바코드 리딩된 결함 정보를 기준으로 1차 공정의 결함 정보를 비교하여 동일한 결함을 검출한다.
결함 정보 보정부(140)는 동일한 결함이 검출된 경우, 1차 공정과 2차 공정에서의 해당 결함 정보의 위치 차이를 산출하고, 산출된 차이를 토대로 1차 공정의 결함 정보를 보정한다. 한편, 동일한 결함이 검출되지 않은 경우, 1차 공정의 결함 정보 보정이 이루어지지 않는다.
결함 정보 보정부(140)는 동일한 결함에서 해당 결함 정보의 X축 좌표 차이가 기 설정된 값 이상일 경우 1차 공정의 결함 정보를 좌우 반전시켜 보정하고, 해당 결함 정보의 Y축 좌표 차이가 기 설정된 값 이상일 경우 1차 공정의 결함 정보를 상하 반전시켜 보정한다. 이때, 기 설정된 값은 통상 광학 필름(원반) 폭의 절반으로 설정하는 것이 바람직하나 이에 한정되지는 않는다.
또한, 결함 정보 보정부(140)는 동일한 결함 정보가 2개 이상 검색된 경우에는 오차 발생 위험이 있으므로 제외하되, 해당 결함 정보의 평균을 산출하여 1차 공정의 결함 정보를 보정하여 오차를 최소화시킬 수 있다.
또한, 결함 정보 보정부(140)는 2차 공정의 결함 정보에서의 위치 동기화를 위해 별도의 오프셋(Offset) 값을 줄 수도 있다.
결함 정보 취합부(150)는 보정된 1차 공정의 결함 정보와 2차 공정의 결함 정보를 취합한다.
통합 관리부(160)는 취합된 1차 공정의 결함 정보와 2차 공정의 결함 정보를 토대로 모니터링을 수행한다.
통합 관리부는 1차 공정의 결함 정보와 2차 공정의 결함 정보를 취합하여 바코드 마킹 수, 바코드 리딩 수 등을 비교하여 광학필름의 전체적인 품질을 관리할 수 있다.
도 7은 본 발명에 따른 광학필름의 결함 정보 통합 관리 방법의 순서를 설명하기 위한 순서도이다.
도 7을 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 광학필름의 결함 정보 통합 관리 방법은 앞서 설명한 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치를 이용하는 것으로, 이하 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
먼저, 1차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집한다(S100). S100 단계는 1차 공정에서 광학필름의 결함이 검출되면 광학필름 상에 해당 결함에 대한 정보를 포함하는 바코드를 마킹하는 바코드 마킹기를 구비하는 1차 공정의 결함 관리기로부터 검출된 결함 정보를 수집한다.
다음, 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집한다(S200). S200 단계는 2차 공정에서 1차 공정에서 광학필름 상에 마킹된 바코드를 리딩하는 바코드 리딩기를 구비하는 2차 공정의 결함 관리기로부터 검출된 결함 정보 및 바코드 리딩된 결함 정보를 수집한다.
다음, 1차 공정의 결함 정보와 2차 공정의 결함 정보를 매칭한다(S300).
보다 자세하게 S300 단계는, 먼저 1차 공정의 결함 정보를 기준으로, 2차 공정에서 검출되지 않을 것으로 예상되는 결함을 필터링한다. 다음, 2차 공정에서 1차 공정의 결함이 아닐 것으로 예상되는 결함을 필터링한다. 다음, 1차 공정과 2차 공정에서 검출된 결함 정보 중 결함의 위치 좌표를 사용하여 바이너리 정보로 변환한다. 다음, 1차 공정과 2차 공정에서 변환된 각각의 바이너리 정보를 사용하여 결함 정보 매칭을 수행하는 과정을 통해 이루어질 수 있다.
다음, 매칭 결과를 토대로, 2차 공정의 결함 정보를 기준으로 1차 공정의 결함 정보를 비교하여 동일한 결함 의 검출 여부를 판단한다(S400). S400 단계는 2차 공정에서 바코드 리딩된 결함 정보를 기준으로 1차 공정의 결함 정보를 비교하여 동일한 결함을 검출한다.
다음, 동일한 결함이 검출된 경우, 2개 이상 동일한 결함 정보가 검출되었는지 여부를 판단한다(S500).
S500 단계에서 동일한 결함이 검출되었으나, 2개 이상 동일한 결함 정보가 검출되지 않은 경우에는 1차 공정과 2차 공정에서의 해당 결함 정보들의 위치 좌표의 평균을 산출한다(S510).
S500 단계에서 동일한결함이 검출되었으나, 2개 이상 동일한 결함 정보가 검출되지 않은 경우, 1차 공정과 2차 공정에서의 해당 결함 정보의 위치 차이를 산출한다(S520).
다음, S510 단계 및 S520 단계 이후 산출된 값을 토대로 1차 공정의 결함 정보를 보정한다(S600). S600 단계는 S520 단계에서 동결함 인덱스를 갖는 결함 정보에서 해당 결함 정보의 X축 좌표 차이가 기 설정된 값 이상일 경우 1차 공정의 결함 정보를 좌우 반전시켜 보정하고, 해당 결함 정보의 Y축 좌표 차이가 기 설정된 값 이상일 경우 1차 공정의 결함 정보를 상하 반전시켜 보정한다.
다음, 2차 공정의 결함 정보의 위치 동기화를 위해 별도의 오프셋(Offset) 값을 반영한다(S700). 한편, S500 단계에서, 동일한 결함 정보가 검출되지 않은 경우에는 S700 단계로 이동하여 2차 공정의 결함 정보에 오프셋 값을 반영하도록 한다.
다음, 보정된 1차 공정의 결함 정보와 2차 공정의 결함 정보를 취합한다(S800).
다음, 취합된 1차 공정의 결함 정보와 2차 공정의 결함 정보를 토대로 모니터링을 수행한다(S900).
이처럼, 본 발명에 의한 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치 및 그 방법은 1차 공정의 결함 관리기로부터 입력되는 결함 정보에 대한 바코드 마킹 정보와 2차 공정의 결함 관리기로부터 입력되는 1차 공정에서의 결함 정보에 대한 바코드 리딩 정보를 매칭시켜 2차 공정의 결함 정보를 기준으로 1차 공정의 결함 정보를 보정함으로써, 결함의 위치를 정확하게 파악할 수 있다.
또한, 본 발명은 1차 공정의 결함 정보와 2차 공정의 결함 정보를 변화된 위치를 기준으로 매칭함으로써, 전체 공정에서 발견되는 결함 정보를 통합 관리할 수 있고, 공정의 변화에 따른 결함 특성 변화를 용이하게 모니터링할 수 있다.
이상에서 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대해 설명하였으나, 다양한 형태로 변형이 가능하며, 본 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 특허청구범위를 벗어남이 없이 다양한 변형예 및 수정예를 실시할 수 있을 것으로 이해된다.
100 : 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치
110 : 결함 정보 수집부
120 : 결함 정보 매칭부
130 : 결함 검출 판단부
140 : 결함 정보 보정부
150 : 결함 정보 취합부
160 : 통합 관리부

Claims (16)

1차 공정의 결함 관리기 및 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집하는 결함 정보 수집부;
1차 공정의 결함 정보와 2차 공정의 결함 정보를 매칭시키는 결함 정보 매칭부;
매칭 결과를 토대로, 2차 공정의 결함 정보를 기준으로 1차 공정의 결함 정보를 비교하여 동일한 결함 의 검출 여부를 판단하는 결함 검출 판단부;
동일한 결함이 검출된 경우, 1차 공정과 2차 공정에서의 해당 결함 정보의 위치 차이를 산출하고, 산출된 위치 차이를 토대로 1차 공정의 결함 정보를 보정하는 결함 정보 보정부; 및
보정된 1차 공정의 결함 정보와 2차 공정의 결함 정보를 취합하는 결함 정보 취합부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치.
제1항에 있어서,
상기 1차 공정의 결함 관리기는 1차 공정에서 광학필름의 결함을 검출하여 해당 결함에 대한 결함 정보를 수집하여 상기 결함 정보 수집부에 전송하고, 상기 2차 공정의 결함 관리기는 2차 공정에서 광학필름의 결함을 검출하여 해당 결함에 대한 결함 정보를 수집하여 상기 결함 정보 수집부에 전송하는 것을 특징으로 하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치.
제1항에 있어서,
상기 1차 공정의 결함 관리기는 결함이 검출된 위치에 바코드 마킹하는 바코드 마킹기를 더 포함하고,
상기 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 결함 정보에는 상기 1차 공정의 결함 관리기로부터 바코드 마킹된 바코드 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치.
제1항에 있어서,
상기 결함 정보 수집부는 인덱스, 결함의 위치 좌표(X축,Y축), 크기 및 강도 중 적어도 어느 하나의 정보를 포함하는 결함 정보를 수집하는 것을 특징으로 하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치.
제1항에 있어서,
상기 광학필름에 대한 결함 정보에 인덱스를 포함하는 경우,
상기 인덱스는 상기 1차 공정의 결함 관리기에서 검출되는 각각의 결함에 부여하고, 상기 2차 공정의 결함 관리기에서 검출되는 각각의 결함 중, 검출된 결함의 위치 좌표에 1차 공정의 결함 관리기에서 마킹된 바코드 정보가 부여된 경우에는 1차 공정의 결함 관리기에서 부여한 인덱스값과 동일한 값을 부여하는 것을 특징으로 하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치.
제4항에 있어서,
상기 결함 검출 판단부는, 상기 인덱스가 동일한 결함인 경우, 동일한 결함인 것으로 판단하거나 상기 광학필름에 대한 결함 정보 중 적어도 둘 이상의 정보가 일치하는 경우, 동일한 필름상 위치의 결함인 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치.
제1항에 있어서,
상기 결함 정보 취합부는 상기 결함 검출 판단부에 의해 동일한 필름상 위치를 갖는 결함 정보가 검출되지 않은 경우, 1차 공정의 결함 정보는 별도의 보정 없이 2차 공정의 결함 정보와 취합되는 것을 특징으로 하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치.
제1항에 있어서,
상기 취합된 1차 공정의 결함 정보와 2차 공정의 결함 정보를 토대로 모니터링을 수행하는 통합 관리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치.
결함 정보 수집부에 의해, 1차 공정의 결함 관리기 및 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집하는 단계;
결함 정보 매칭부에 의해, 상기 1차 공정의 결함 정보와 상기 2차 공정의 결함 정보를 매칭시키는 단계;
결함 검출 판단부에 의해, 매칭 결과를 토대로, 상기 2차 공정의 결함 정보를 기준으로 상기 1차 공정의 결함 정보를 비교하여 동일한 결함 의 검출 여부를 판단하는 단계;
결함 정보 보정부에 의해, 동일한 결함이 검출된 경우, 1차 공정과 2차 공정에서의 해당 결함 정보의 위치 차이를 산출하고, 산출된 위치 차이를 토대로 상기 1차 공정의 결함 정보를 보정하는 단계; 및
결함 정보 취합부에 의해, 보정된 상기 1차 공정의 결함 정보와 상기 2차 공정의 결함 정보를 취합하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 방법.
제9항에 있어서,
상기 1차 공정의 결함 관리기 및 상기 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집하는 단계는,
상기 1차 공정의 결함 관리기는 1차 공정에서 광학필름 상의 결함을 검출하여 해당 결함에 대한 결함 정보를 수집하여 전송하고,
상기 2차 공정의 결함 관리기는 2차 공정에서 광학필름 상의 결함을 검출하여 해당 결함에 대한 결함 정보를 수집하여 전송하고,
상기 1차 공정의 결함 관리기 및 상기 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 각각의 결함정보를 수집하는 것을 특징으로 하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 방법.
제10항에 있어서,
상기 1차 공정의 결함 관리기 및 상기 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집하는 단계에서,
상기 1차 공정의 결함 관리기는 결함이 검출된 위치에 바코드 마킹하는 바코드 마킹기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 정보 통합 관리 방법.
제11항에 있어서,
상기 1차 공정의 결함 관리기 및 상기 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집하는 단계에서,
상기 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 결함 정보에는 상기 1차 공정의 결함 관리기로부터 바코드 마킹된 바코드 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 정보 통합 관리 방법.
제9항에 있어서,
상기 1차 공정의 결함 관리기 및 상기 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집하는 단계에서,
상기 광학필름에 대한 결함 정보는 인덱스, 결함의 위치 좌표(X축,Y축), 크기 및 강도 중 적어도 어느 하나의 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 방법.
제13항에 있어서,
상기 1차 공정의 결함 관리기 및 상기 2차 공정의 결함 관리기로부터 전송되는 광학필름에 대한 결함 정보를 수집하는 단계에서,
상기 광학필름에 대한 결함 정보에 인덱스를 포함하는 경우, 상기 인덱스는 상기 1차 공정의 결함 관리기에서 검출되는 각각의 결함에 부여하고,
상기 2차 공정의 결함 관리기에서 검출되는 각각의 결함 중, 검출된 결함의 위치 좌표에 1차 공정의 결함 관리기에서 마킹된 바코드 정보가 부여된 경우에는 1차 공정의 결함 관리기에서 부여한 인덱스값과 동일한 값을 부여하는 것을 특징으로 하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 방법.
제13항에 있어서,
매칭 결과를 토대로, 상기 2차 공정의 결함 정보를 기준으로 상기 1차 공정의 결함 정보를 비교하여 동일한결함의 검출 여부를 판단하는 단계는,
상기 인덱스가 동일한 결함인 경우, 동일한 결함인 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 방법.
제13항에 있어서,
매칭 결과를 토대로, 상기 2차 공정의 결함 정보를 기준으로 상기 1차 공정의 결함 정보를 비교하여 동일한결함의 검출 여부를 판단하는 단계는,
상기 광학필름에 대한 결함 정보 중 적어도 둘 이상의 정보가 일치하는 경우, 동일한결함인 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 광학필름의 결함 정보 통합 관리 방법.
KR1020160026298A 2016-03-04 2016-03-04 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치 및 그 방법 KR20170103416A (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160026298A KR20170103416A (ko) 2016-03-04 2016-03-04 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치 및 그 방법
JP2016162690A JP2017156337A (ja) 2016-03-04 2016-08-23 光学フィルムの欠陥情報統合管理装置およびその方法
CN201610875826.1A CN107153902A (zh) 2016-03-04 2016-09-30 光学薄膜的缺陷信息综合管理装置及其方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160026298A KR20170103416A (ko) 2016-03-04 2016-03-04 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치 및 그 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20170103416A true KR20170103416A (ko) 2017-09-13

Family

ID=59792430

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160026298A KR20170103416A (ko) 2016-03-04 2016-03-04 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치 및 그 방법

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2017156337A (ko)
KR (1) KR20170103416A (ko)
CN (1) CN107153902A (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111094953A (zh) * 2017-09-19 2020-05-01 柯尼卡美能达株式会社 非破坏检查方法
CN107703152A (zh) * 2017-10-27 2018-02-16 深圳精创视觉科技有限公司 光学膜缺点自动标示装置
CN111452514B (zh) * 2020-04-26 2021-01-12 杭州利珀科技有限公司 偏光膜整线打标系统及方法
CN114953764B (zh) * 2021-02-18 2023-08-22 恒美光电股份有限公司 一种偏光膜缺点汇整标记系统

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000014790A1 (fr) * 1998-09-03 2000-03-16 Hitachi, Ltd. Systeme d'inspection et procede de production d'un dispositif electronique l'utilisant
JP2008200788A (ja) * 2007-02-19 2008-09-04 Sumitomo Chemical Co Ltd 光学フィルムの裁断装置および光学フィルムの製造方法
JP5733879B2 (ja) * 2008-12-24 2015-06-10 株式会社神戸製鋼所 工程不良検出装置及び工程不良検出方法
KR101315102B1 (ko) * 2011-07-25 2013-10-07 동우 화인켐 주식회사 필름의 수율 예측 시스템 및 방법

Also Published As

Publication number Publication date
CN107153902A (zh) 2017-09-12
JP2017156337A (ja) 2017-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20170103416A (ko) 광학필름의 결함 정보 통합 관리 장치 및 그 방법
TWI817134B (zh) 判定圖案化製程之校正之方法、元件製造方法、用於微影裝置之控制系統及微影裝置
US10466041B2 (en) Reference system for online vision inspection
KR20100029781A (ko) 검사 장치, 검사 방법 및 프로그램
TW201523760A (zh) 工件處理裝置、工件輸送系統
KR20080102708A (ko) 프로빙 검사장치용 맵 생성 시스템 및 이를 이용하는 맵생성 방법
CN112539714B (zh) 一种偏心检测方法、检测方法、处理方法及检测设备
EP4156317A1 (en) Roll map for electrode coating process, roll map creation method, and roll map creation system
US20090030639A1 (en) Method for Correcting Measured Values Resulting from the Bending of a Substrate
JP7278138B2 (ja) 基板処理装置、物品製造方法、基板処理方法、基板処理システム、管理装置、およびプログラム
CN111145247B (zh) 基于视觉的位置度检测方法及机器人、计算机存储介质
JP4842782B2 (ja) 欠陥レビュー方法および装置
CN101701792B (zh) 量块自动检定系统及检定方法
KR101962830B1 (ko) 사전 정렬 측정 장치 및 방법
JP3672884B2 (ja) パターン検査方法、パターン検査装置およびマスクの製造方法
CN116539638A (zh) 掺杂浓度测量方法、装置、电子设备及存储介质
KR20150117153A (ko) 패턴 신뢰성 검사 방법 및 이를 이용한 반도체 소자 테스트 방법
Weickmann et al. Automatic, task-sensitive and simulation-based optimization of fringe projection measurements
US20090228218A1 (en) Composite Inspection Tool Suite
JP4373564B2 (ja) 露光工程の診断方法および露光工程の制御方法
JP2010164326A (ja) 凹凸文字抽出のための画像処理方法
JPH11251377A (ja) 欠陥検査方法およびその装置並びに欠陥の観察または分析方法およびそのシステム
CN112904605B (zh) 彩膜缺陷的测高方法、设备及介质
JP5672919B2 (ja) マスク検査装置、描画方法、及びウェハ露光方法
JP2019015694A (ja) 処理装置、基板検査装置、処理方法および基板検査方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E601 Decision to refuse application