KR20170082597A

KR20170082597A - 플럭스 모음 장치

Info

Publication number: KR20170082597A
Application number: KR1020177015624A
Authority: KR
Inventors: 코헤이 세야마; 쇼지 와다
Original assignee: 가부시키가이샤 신가와
Priority date: 2014-11-11
Filing date: 2015-08-26
Publication date: 2017-07-14
Also published as: CN107107227A; CN107107227B; JPWO2016075982A1; WO2016075982A1; TWI564105B; SG11201703854TA; KR101995771B1; TW201622861A; US20170297131A1; US10137519B2; JP6286729B2

Abstract

플럭스(51, 52, 53)를 모으는 오목부(13)를 가지는 스테이지(12)와, 플럭스(51, 52, 53)가 들어가는 관통 구멍(30)을 가지는 환형상 부재로, 스테이지(12)의 표면(14) 상을 왕복 이동하여 플럭스(51, 52, 53)를 오목부(13)에 공급함과 아울러 바닥면에서 플럭스(51, 52, 53)의 표면을 고르게 하는 플럭스 포트(20)를 구비하는 플럭스 모음 장치(100, 200)에 있어서, 관통 구멍(30)을 왕복 방향과 직각 방향으로 긴 기다란 육각형으로, 그 길이가 오목부(13)의 왕복 방향과 직각 방향의 폭보다 넓게 하고, 플럭스 포트 본체(21)의 바닥면을 2개의 면이 각도를 가지고 직선 형상의 능선으로 접속된 산형면으로 한다. 이것에 의해 플럭스 모음 장치(100, 200)에 있어서의 플럭스(51, 52, 53)의 누출을 억제한다.

Description

플럭스 모음 장치{FLUX RESERVOIR DEVICE}

본 발명은 플럭스 모음 장치의 구조에 관한 것이다. 특히 전자 부품의 돌기 전극에 플럭스를 전사하는 플럭스 전사 장치에 사용되는 플럭스 모음 장치의 구조에 관한 것이다.

최근 반도체 등의 전자 부품에 돌기 전극(예를 들면 땜납 범프)을 형성해두고, 전자 부품을 픽업하여 반전시키고, 돌기 전극을 프린트 기판의 전극 패드 상에 재치하고, 고온으로 가열하여 돌기 전극의 땜납을 용융시켜 전자 부품을 프린트 기판에 접합하는 플립 칩 본딩 방법이 많이 사용되어오고 있다. 이 플립 칩 본딩 방법에 있어서는 땜납과 전극 패드와의 접속성을 높이기 위해서, 돌기 전극(땜납 범프)의 표면에 플럭스(산화막 제거제 또는 표면 활성제)를 전사하고나서 돌기 전극을 전극 패드 상에 재치하는 방법이 사용되고 있다.

전자 부품의 돌기 전극에 플럭스를 전사하는 플럭스를 모으는 플럭스 모음 장치로서는, 회전 디스크 상에 플럭스를 공급하여 그 표면에 플럭스를 모으고, 모은 플럭스의 액 표면을 스퀴지로 평활하게 하여 얇은 플럭스의 층을 만들고, 그 안에 전자 부품의 돌기 전극을 담구어 돌기 전극의 선단에 플럭스를 전사하는 장치가 사용된다(예를 들면 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에서는 스퀴지 단부에 안내판을 설치하여, 스퀴지로 모은 플럭스의 표면을 평활하게 했을 때에 잉여의 플럭스를 회수용의 받침 접시 상으로 이끌어, 잉여의 플럭스가 다른 부재를 오손(汚損)하지 않도록 하는 것이 제안되어 있다.

일본 특개 2001-345543호 공보

그런데 전자 부품의 돌기 전극에 전사하는 플럭스를 모으는 장치로서는 특허문헌 1에 기재된 바와 같은 회전 디스크 상에 플럭스를 모아 그 위를 스퀴지로 평활하게 하는 타입 이외에, 도 9(a), 도 9(b)에 나타내는 바와 같이 플럭스(52, 53)를 모으는 오목부(13)를 가지는 스테이지(12)의 표면(14)을 따라 플럭스(51)가 들어가는 관통 구멍(71)을 가지는 플럭스 포트(70)를 왕복시켜, 관통 구멍(71)의 스테이지측 개구로부터 스테이지(12)의 오목부(13)에 플럭스(51)를 공급함과 아울러, 플럭스 포트(70)의 바닥면(73)에서 오목부(13)에 모은 플럭스(53)의 액 표면을 평활하게 하는 타입의 플럭스 모음 장치(200)가 사용되고 있다. 이 타입의 플럭스 모음 장치(200)에서는 플럭스(51)의 종류에 따라서는 플럭스 포트(70)가 스테이지 표면으로부터 부풀어오른 플럭스(52)를 밀어내버려, 플럭스(52)가 미량씩 누출되어버린다는 문제가 있었다.

본 발명은 플럭스 모음 장치에 있어서의 플럭스의 누출을 억제하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 플럭스 모음 장치는 플럭스를 모으는 오목부를 가지는 스테이지와, 플럭스가 들어가는 관통 구멍을 가지는 환형상 부재로, 스테이지의 표면 상을 왕복하여 관통 구멍에 들어 있는 플럭스를 오목부에 공급함과 아울러, 그 바닥면에서 상기 플럭스의 표면을 고르게 하는 플럭스 포트를 구비하는 플럭스 모음 장치로서, 플럭스 포트의 관통 구멍은 왕복 방향과 직각 방향으로 긴 기다란 육각형 구멍으로, 그 길이가 스테이지의 오목부의 왕복 방향과 직각 방향의 폭보다 넓고, 플럭스 포트의 바닥면은 2개의 면이 각도를 가지고 직선 형상의 능선으로 접속된 산형면인 것을 특징으로 한다.

본 발명의 플럭스 모음 장치로서, 스테이지 표면으로부터 하측에서 플럭스 포트를 회전이 자유롭게 지지함과 아울러, 스테이지 표면으로부터 하측에서 플럭스 포트에 왕복 방향의 힘을 인가하는 왕복 구동 기구를 구비하는 것으로 해도 적합하다.

본 발명은 플럭스 모음 장치에 있어서의 플럭스의 누출을 억제할 수 있다는 효과를 나타낸다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 있어서의 플럭스 모음 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 있어서의 플럭스 모음 장치의 평면도와 입면도(측면도)이다.
도 3은 본 발명의 실시형태에 있어서의 플럭스 모음 장치의 플럭스 포트를 바닥면측에서 본 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태에 있어서의 플럭스 모음 장치의 플럭스 포트의 왕동 동작을 나타내는 설명도이다.
도 5는 본 발명의 실시형태에 있어서의 플럭스 모음 장치의 플럭스 포트의 왕동 동작을 나타내는 설명도이다.
도 6은 본 발명의 실시형태에 있어서의 플럭스 모음 장치의 플럭스 포트의 복동 동작을 나타내는 설명도이다.
도 7은 본 발명의 실시형태에 있어서의 플럭스 모음 장치의 플럭스 포트의 복동 동작을 나타내는 설명도이다.
도 8은 본 발명의 실시형태에 있어서의 플럭스 모음 장치의 플럭스 포트의 얼라인먼트가 어긋난 경우의 왕복 동작을 나타내는 설명도이다.
도 9는 종래기술의 플럭스 모음 장치의 평면도와 입면도(측면도)이다.

이하 도면을 참조하면서 본 발명의 실시형태의 플럭스 모음 장치(100)에 대해서 설명한다. 본 실시형태의 플럭스 모음 장치(100)는 전자 부품의 돌기 전극에 전사하는 플럭스를 모으는 것이며, 플럭스 전사 장치에 편입되어 사용되는 것이다.

도 1에 나타내는 바와 같이 본 실시형태의 플럭스 모음 장치(100)는 베이스(11)와, 베이스(11)의 상면에 볼트(15)에 의해 부착되는 스테이지(12)와, 스테이지(12)의 표면(14) 상에 배치되는 플럭스 포트 본체(21)와, 플럭스 포트 본체(21)의 양측의 리브(22)로부터 스테이지(12)의 하측으로 뻗는 브래킷(23)과, 베이스(11)의 하측에 배치되고, 양단으로부터 2개의 암(25a)이 베이스(11) 및 스테이지(12)의 측면을 따라 상방향으로 연장되는 슬라이더(25)와, 스테이지(12)의 표면(14)으로부터 하측에서 슬라이더(25)에 대하여 브래킷(23)을 회전이 자유롭게 접속하는 핀(24)을 구비하고 있다.

슬라이더(25)는 베이스(11)의 하측에 배치된 모터(도시하지 않음)에 의해 도 1의 화살표(81)에 나타내는 방향으로 왕복 이동하고, 슬라이더(25)에 접속되어 있는 핀(24) 및 브래킷(23), 및 브래킷(23)이 부착되어 있는 플럭스 포트 본체(21)를 화살표(81)의 방향으로 왕복 이동시킨다. 플럭스 포트 본체(21), 리브(22) 및 브래킷(23)은 플럭스 포트(20)를 구성하고, 핀(24), 슬라이더(25) 및 모터는 왕복 구동 기구를 구성한다. 또한 이하의 설명에서는 왕복 이동 방향(도 1에 화살표(81)로 나타내는 방향)을 X방향, 왕복 이동 방향과 직각 방향을 Y방향, 상하 방향을 Z방향으로 하여 설명한다.

스테이지(12)는 표면(14)으로부터 함몰되어 플럭스를 모으는 오목부(13)를 가지고 있다. 오목부(13)는 도 2에 나타내는 바와 같이 폭(W1)으로 왕복 이동 방향(X방향)으로 연장되어 있다. 오목부(13)의 깊이는 반도체 등의 전자 부품의 돌기 전극을 침지할 수 있는 깊이이며, 예를 들면 10~20㎛정도이면 된다.

도 2(a), 도 2(b)에 나타내는 바와 같이 플럭스 포트 본체(21)는 플럭스가 들어가는 Z방향으로 관통하는 관통 구멍(30)을 가지는 환형상 부재이며, 관통 구멍(30)에 넣은 플럭스를 관통 구멍(30)의 스테이지측 개구(39)로부터 오목부(13)에 공급함과 아울러, 그 바닥면(28)에서 플럭스의 표면을 고르게 하는 것이다. 이 관통 구멍(30)은 왕복 방향과 직각 방향(Y방향)으로 긴 기다란 육각형 구멍으로, 그 길이 방향(Y방향)의 길이(W2)는 스테이지(12)의 오목부(13)의 Y방향의 폭(W1)보다 넓게 되어 있다. 또 도 2(b), 도 3(a), 도 3(b)에 나타내는 바와 같이 플럭스 포트 본체(21)의 바닥면(28)은 각각 스테이지(12)의 표면(14)에 접하는 제1 접면(26)과 제2 접면(27)이 각도 2θ로써 직선 형상의 능선(40)으로 접속된 산형(山形)면이다.

기다란 육각형의 관통 구멍(30)은 보다 상세하게는 도 2(a), 도 2(b)에 나타내는 바와 같이 오목부(13)의 Y방향 폭(W1)과 대략 동등한 길이로 Y방향으로 연장되는 제1 내면(31)과, 제1 내면(31)에 대향하는 폭(W1)의 제2 내면(32)과, 제1 내면(31)에 접속되고, 도 2(a)에 나타내는 Y방향 플러스측으로 경사진 제3 내면(33)과, 제3 내면(33)과 제2 내면(32)에 접속되고, 도 2(a)에 나타내는 Y방향 플러스측으로 경사진 제4 내면(34)과, 제3 내면(33)과 제4 내면(34)에 각각 대향하는 제5 내면(35), 제6 내면(36)을 가지고 있다. 제5 내면(35), 제6 내면(36)은 도 2(a)에 나타내는 Y방향 마이너스측으로 경사져 있다. 그리고 제3 내면(33)과 제4 내면(34)과의 제1 접속선(37)과 제5 내면(35)과 제6 내면(36)과의 제2 접속선(38)과의 Y방향의 길이(W2)가 스테이지(12)의 오목부(13)의 Y방향의 폭(W1)보다 넓은 W2로 되어 있다. 도 2(a)에 나타내는 바와 같이 각 접속선(37, 38)은 오목부(13)의 양단면보다 각각 폭(d)만큼 외측으로 되어 있다. 또 도 3(a)에 나타내는 바와 같이 관통 구멍(30)의 제1, 제3, 제5 내면(31, 33, 35)은 플럭스 포트 본체(21)의 바닥면(28)의 제1 접면(26)에 접속되고, 제2, 제4, 제6 내면(32, 34, 36)은 바닥면(28)의 제2 접면(27)에 접속되어 있다. 또한 본 실시형태에서는 제1 내면(31), 제2 내면(32)의 Y방향의 길이는 오목부(13)의 Y방향 폭(W1)과 대략 동등한 길이인 것으로 하여 설명하는데, 제1 접속선(37)과 제2 접속선(38)과의 폭(W2)이 오목부(13)의 폭(W1)보다 넓으면, 제1, 제2 내면(31, 32)의 폭은 오목부(13)의 폭(W1)보다 약간 넓어도 되고 좁아도 된다.

이상과 같이 구성된 플럭스 모음 장치(100)의 동작에 대해서 도 4 내지 도 7을 참조하여 설명한다. 도 4(b)에 나타내는 바와 같이 도시하지 않는 모터에 의해 슬라이더(25)를 X방향 플러스측(화살표(83)의 방향)으로 이동시키면, 핀(24)도 X방향 플러스측으로 이동한다. 핀(24)은 스테이지(12)의 표면(14)보다 하측에 위치하고 있으므로, 핀(24)이 X방향 플러스측으로 이동하면, 플럭스 포트 본체(21)는 화살표(84)로 나타내는 바와 같이 바닥면(28)의 능선(40)을 중심으로 반시계 방향으로 회전하고, 바닥면(28)의 제1 접면(26)이 스테이지(12)의 표면(14)에 접한다. 한편 제2 접면(27)은 스테이지(12)의 표면(14)으로부터 떨어져, 표면(14)과 각도 2θ의 경사가 형성된다. 이것에 의해 플럭스 포트 본체(21)는 스테이지(12)의 표면(14)에 대하여 각도 2θ만큼 X방향 마이너스측으로 기운 상태(진행 방향에 대하여 후측으로 기운 상태)가 된다. 도 4(a)에서는 스테이지(12)의 표면(14)에 접하고 있는 제1 접면(26)을 비스듬한 해칭으로 나타내고 있다. 도 5(a)도 마찬가지이다. 플럭스 포트 본체(21)의 기다란 육각형의 관통 구멍(30)에는 플럭스(51)가 들어 있다. 플럭스(51)는 점성이 있으므로, 관통 구멍(30)의 X방향 및 Y방향의 중앙부에서 부풀어올라 있다. 도 4(a), 도 4(b)에 있어서 플럭스는 점의 음영을 주고 있다.

이 상태에서 도시하지 않는 모터를 구동하여 슬라이더(25)를 더욱 화살표(83)의 방향(X방향 플러스측)을 향하여 이동(왕동)시키면, 플럭스 포트 본체(21)에는 핀(24), 브래킷(23)을 통하여 화살표(83)의 방향(X방향 플러스측)을 향하는 힘이 인가되어, 제1 접면(26)이 스테이지(12)의 표면(14)에 접하고, 슬라이더(25)의 진행 방향에 대하여 후측으로 기운 상태로 도 5(b)에 나타내는 화살표(85, 86)의 방향(X방향 플러스측)으로 이동한다.

플럭스 포트 본체(21)의 관통 구멍(30)이 스테이지(12)의 오목부(13) 상에 오면, 도 5(b)의 화살표(87)에 나타내는 바와 같이 플럭스 포트 본체(21)의 관통 구멍(30)에 들어 있던 플럭스(51)가 관통 구멍(30)의 스테이지측 개구(39)로부터 오목부(13) 안으로 흘러나와, 오목부(13)를 채우는 플럭스(52)가 된다. 또한 도 5(a), 도 5(b)에 있어서는 플럭스(52)는 점의 음영과 비스듬한 해칭으로 나타낸다. 도 5(a)에 나타내는 바와 같이 플럭스 포트 본체(21)가 X방향 플러스측으로 이동하고 있는 동안, 관통 구멍(30) 안의 플럭스(51)는 점성으로 진행 방향 후측(X방향 마이너스측)에 위치하는 플럭스 포트 본체(21)의 제1 내면(31)의 측에 가까워져 있고, 진행 방향 전측(X방향 플러스측)의 제2 내면(32)측에는 간극이 생겨 있다. 또 도 5(c)에 나타내는 바와 같이 관통 구멍(30)의 스테이지측 개구(39)에서는 점성으로 제1 내면(31)으로부터 제2 내면(32)을 향하여 진행 방향 전측(X방향 플러스측)으로 부풀어오르고, 제5, 제6 내면(35, 36)으로부터 떨어지는 것 같은 반달형의 단면 형상으로 되어 있다. 이 때문에 제5, 제6 내면(35, 36)과 플럭스(51) 사이에는 간극이 비어 있다. 본 실시형태에서는 제1, 제2 내면(31, 32)의 Y방향 폭은 오목부(13)의 폭과 대략 동일한 W1로 되어 있으므로, 도 5(c)에 나타내는 바와 같이 플럭스(51)는 오목부(13)의 폭방향(Y방향)으로는 튀어나와 있지 않다. 또 도 5(b)에 나타내는 바와 같이 오목부(13)에 채워진 플럭스(52)의 표면은 플럭스 포트 본체(21)가 X방향 플러스측으로 이동함으로써 플럭스 포트 본체(21)의 제1 접면(26)에 의해 고르게 되는데, 플럭스 포트 본체(21)가 통과한 후에는 점성에 의한 표면장력에 의해 스테이지(12)의 표면(14)보다 조금 부풀어올라 있다.

슬라이더(25)를 더욱 X방향 플러스측으로 이동(왕동)시키면, 도 6(a), 도 6(b)에 나타내는 바와 같이 플럭스 포트 본체(21)는 스테이지(12)의 오목부(13)를 넘어 반대측의 표면(14) 상까지 이동한다. 플럭스 포트 본체(21)가 스테이지(12)의 반대측의 표면(14)까지 이동하면 오목부(13)에는 플럭스(52)가 채워져 있고, 플럭스(52)의 표면은 점성에 의한 표면장력에 의해 스테이지(12)의 표면(14)보다 조금 부풀어올라 있다.

여기서 도 6(b)의 화살표(88)와 같이 슬라이더(25)를 X방향 마이너스측으로 이동(복동)시키면, 핀(24)도 X방향 마이너스측으로 이동한다. 핀(24)은 스테이지(12)의 표면(14)보다 하측에 위치하고 있으므로, 핀(24)이 X방향 마이너스측으로 이동하면, 플럭스 포트 본체(21)는 화살표(89)로 나타내는 바와 같이 바닥면(28)의 능선(40)을 중심으로 시계 방향으로 회전하고, 왕동시에 스테이지(12)의 표면(14)에 접하고 있던 바닥면(28)의 제1 접면(26)이 스테이지(12)의 표면(14)과 각도 2θ의 경사가 형성되도록 떨어지고, 그 때까지 스테이지(12)의 표면으로부터 떨어져 있던 제2 접면(27)이 스테이지(12)의 표면(14)에 접한다. 도 6(a)에서는 스테이지(12)의 표면(14)에 접하고 있는 제2 접면(27)을 비스듬한 해칭으로 나타내고 있다. 도 7(a)도 마찬가지이다. 관통 구멍(30)에 들어 있는 플럭스(51)는 오목부(13)를 채우도록 흘러나온 분만큼 적게 되어 있는데, X방향 플러스측으로의 이동(왕동) 개시 전과 마찬가지로, 점성에 의해 관통 구멍(30)의 X방향 및 Y방향의 중앙부에서 부풀어올라 있다.

이 상태에서 도시하지 않는 모터를 구동하여 슬라이더(25)를 더욱 도 7에 나타내는 화살표(90)의 방향(X방향 마이너스측)을 향하여 이동(복동)시키면, 플럭스 포트 본체(21)에는 핀(24), 브래킷(23)을 통하여 도 7(b)에 나타내는 화살표(90)의 방향(X방향 마이너스측)을 향하는 힘이 인가되어, 제2 접면(27)이 스테이지(12)의 표면(14)에 접하고, 슬라이더(25)의 진행 방향에 대하여 후측으로 기운 상태로 화살표(91)의 방향(X방향 마이너스측)으로 이동한다.

도 7(a)에 나타내는 바와 같이 플럭스 포트 본체(21)가 X방향 마이너스측으로 이동하고 있는 동안, 도 5(a), 도 5(b)를 참조하여 설명한 플럭스 포트 본체(21)가 X방향 플러스측으로 이동하는 경우와 마찬가지로, 관통 구멍(30) 안의 플럭스(51)는 점성으로 진행 방향 후측(X방향 플러스측)의 제2 내면(32)의 측에 가까워져 있고, 진행 방향 전측(X방향 마이너스측)의 제1 내면(31)측에는 간극이 생겨 있다. 또 도 5(c)를 참조하여 설명한 것과 마찬가지로, 도 7(c)에 나타내는 바와 같이 관통 구멍(30)의 스테이지측 개구(39)에서는 점성으로 제2 내면(32)으로부터 제1 내면(31)을 향하여 진행 방향 전측(X방향 마이너스측)으로 부풀어오르고, 제5, 제6 내면(35, 36)으로부터 떨어지는 것 같은 반달형의 단면 형상으로 되어 있다. 이 때문에 제5, 제6 내면(35, 36)과 플럭스(51) 사이에는 간극이 비어 있다.

도 7(b)에 나타내는 바와 같이 플럭스 포트 본체(21)가 X방향 마이너스측으로 이동할 때는 진행 방향 전측의 제1 접면(26)이 스테이지(12)의 표면으로부터 각도 2θ로 상방향으로 경사져 있으므로, 점성에 의한 표면장력으로 스테이지(12)의 표면(14)보다 상측으로 부풀어오른 플럭스(52)의 표면과 제1 접면(26) 사이에 간극이 생긴다. 이 때문에 플럭스(52)의 스테이지(12)의 표면(14)보다 위로 부풀어오른 부분은 이 간극으로부터 도 5(b)에 나타내는 화살표(94)와 같이 관통 구멍(30)의 스테이지측 개구(39)로부터 관통 구멍(30) 안으로 들어온다. 도 7(a), 도 7(c)에 나타내는 바와 같이 플럭스(52)는 관통 구멍(30) 안에 들어 있던 플럭스(51)와 제1, 제3, 제4, 제5, 제6 내면(31, 33, 34, 35, 36) 사이의 간극에 들어온다. 간극에 들어간 플럭스(52)의 일부는 도 7(a)에 나타내는 화살표(92)와 같이 스테이지(12)의 표면(14)을 따라 오목부(13)의 폭(W1)보다 넓어져온다.

도 7(a)~도 7(c)에 나타내는 바와 같이 제2 접면(27)은 스테이지(12)의 표면(14)에 접하고 있고, 도 2(b)를 참조하여 설명한 바와 같이 제1 접속선(37)과 제2 접속선(38) 사이의 Y방향 폭은 오목부(13)의 Y방향 폭(W1)보다 넓은 W2이며 각 접속선(37, 38)은 오목부(13)의 양단면보다 각각 폭(d)만큼 Y방향 외측으로 되어 있고, 제2 내면(32)의 Y방향 폭은 오목부(13)의 Y방향 폭(W1)과 대략 동일한 폭(W1)으로 되어 있으므로, 제4 내면(34), 제6 내면(36)은 스테이지(12)의 표면(14)에 접하여 상하 방향(Z방향)으로 연장되는 면을 구성한다. 따라서 플럭스 포트 본체(21)가 X방향 마이너스측으로 이동(복동)함으로써 스테이지(12)의 표면(14)을 따라 오목부(13)의 폭(W1)보다 넓어져 관통 구멍(30)에 들어간 플럭스(52)는 제4, 제6 내면(34, 36)에 의해 막혀, 관통 구멍(30)의 외측으로는 누출되지 않는다. 도 7(c)에 나타내는 바와 같이 제4, 제6 내면(34, 36)은 진행 방향 후측을 향하여 대향 폭이 좁아져 있으므로, 도 7(c)의 화살표(93)로 나타내는 바와 같이 제6 내면(36)에 의해 막힌 플럭스(52)는 제6 내면(36)을 따라 플럭스 포트 본체(21)의 관통 구멍(30)의 중앙을 향하여 흘러 관통 구멍(30) 안으로 회수된다. 제4 내면(34)에 의해 막힌 플럭스(52)도 마찬가지로 제4 내면(34)을 따라 플럭스 포트 본체(21)의 관통 구멍(30)의 중앙을 향하여 흘러 관통 구멍(30) 안으로 회수된다.

또 스테이지(12)의 표면(14)으로부터 위로 부풀어오른 플럭스(52)가 플럭스 포트 본체(21)에 회수된 후의 플럭스(52)의 표면은 플럭스 포트 본체(21)의 제2 접면(27)에 의해 고르게 되어 그 표면이 대략 평면의 플럭스(53)가 된다. 또한 도 7(a) 내지 도 7(c)에 있어서 플럭스(53)는 점의 음영과 크로스 해칭을 주어 점의 음영과 사선의 해칭을 준 플럭스(52)와 구별하여 도시하고 있다.

이와 같이 플럭스 포트 본체(21)가 X방향 마이너스측으로 이동(복동)할 때는 스테이지(12)의 표면(14)으로부터 위로 부풀어오른 플럭스(52)가 플럭스 포트 본체(21)의 관통 구멍(30)에 회수되므로, 플럭스(52)가 플럭스 포트 본체(21)의 외부로 누출되는 것을 억제할 수 있다.

이상의 설명에서는 플럭스 포트 본체(21)가 X방향 마이너스측으로 이동(복동)할 때에 플럭스(52)를 관통 구멍(30) 안에 회수하는 것으로서 설명했지만, 플럭스 포트 본체(21)가 X방향 플러스측으로 이동(왕동)할 때에도 도 6, 도 7을 참조하여 설명한 바와 같이 플럭스(52)를 플럭스 포트 본체(21)의 관통 구멍(30)에 회수할 수 있다. 이 경우, 제1 접면(26)이 스테이지(12)의 표면(14)에 접하므로, 스테이지(12)의 표면(14)을 따라 오목부(13)의 폭(W1)보다 넓어져 관통 구멍(30)에 들어간 플럭스(52)는 제3, 제5 내면(33, 35)에 의해 막혀 관통 구멍(30)의 외측으로 누출되지 않는다. 또 제3, 제5 내면(33, 35)에 의해 막힌 플럭스(52)는 제3, 제5 내면(33, 35)을 따라 플럭스 포트 본체(21)의 관통 구멍(30)의 중앙을 향하여 흘러 관통 구멍(30) 안에 회수된다. 이와 같이 본 실시형태의 플럭스 모음 장치(100)는 플럭스 포트 본체(21)를 왕동할 때에도 복동할 때에도 마찬가지로 플럭스(52)를 관통 구멍(30) 안으로 회수하여, 플럭스 포트 본체(21)의 외부로 누출되는 것을 억제할 수 있다.

한편, 도 9에 나타내는 종래기술의 플럭스 모음 장치(200)에서는 플럭스 포트(70)의 바닥면(73)이 산형면이 아니라 평면으로 되어 있으므로, 플럭스 포트(70)를 도 9(b)에 나타내는 화살표(95)와 같이 왕복동시키면, 스테이지(12)의 표면(14)보다 위로 부풀어오른 플럭스(52)는 도 9(b)에 나타내는 화살표(96)와 같이 플럭스 포트(70)의 진행 방향 전측의 표면(72)에 닿아 표면(72)의 하부에 부착된다. 그리고 표면(72)의 하부에 부착된 플럭스(52)는 플럭스 포트(70)가 스테이지(12)의 표면(14) 위까지 이동했을 때에 스테이지(12)의 표면(14)에 부착된다. 이와 같이 플럭스 포트(70)가 왕복 이동하면, 플럭스(52)는 플럭스 포트(70)에 회수되지 않고 조금씩 외부로 누출되어버린다.

또 종래기술의 플럭스 포트(70)의 바닥면(73)을 스테이지(12)의 표면(14)에 대하여 경사지게 하여 부착했다고 해도, 바닥면(73)과 표면(14)이 면 접촉하는 부분이 없으므로, 플럭스(52)를 막는 면이 없어, 플럭스(52)는 플럭스 포트(70)의 바닥면(73)과 스테이지(12)의 표면(14)의 간극으로부터 외부로 누출되어버린다.

이에 대해, 앞서 설명한 바와 같이 본 실시형태의 플럭스 누출 장치(100)는 플럭스 포트 본체(21)의 관통 구멍(30)을 Y방향으로 긴 기다란 육각형 구멍으로, 그 Y방향 길이(W2)가 스테이지(12)의 오목부(13)의 Y방향의 폭(W1)보다 넓고, 바닥면(28)을 제1, 제2 접면(26, 27)이 각도 2θ로써 직선 형상의 능선으로 접속된 산형면으로 하고, 스테이지(12)의 표면(14)으로부터 하측에서 플럭스 포트 본체(21)를 회전이 자유롭게 지지함과 아울러, 스테이지(12)의 표면(14)으로부터 하측에서 플럭스 포트 본체(21)에 왕복 방향의 힘을 인가하도록, 플럭스 포트(20)를 구성하는 플럭스 포트 본체(21), 리브(22) 및 브래킷(23) 및 왕복 구동 기구를 구성하는 핀(24), 슬라이더(25), 모터를 배치함으로써, 왕복동시에 제1, 제2 접면(26, 27) 중 진행 방향 후측의 면이 스테이지(12)의 표면(14)에 접함과 아울러, 진행 방향 전측의 면을 스테이지(12)의 표면(14)으로부터 경사지게 하여 표면(14)과의 사이에 간극을 형성하고, 스테이지(12)의 표면(14)을 따라 오목부(13)의 폭(W1)보다 넓어져 관통 구멍(30)에 들어간 플럭스(52)를 관통 구멍(30)의 각 내면(33~36)이 막아 플럭스(52)가 관통 구멍(30)의 외측으로 누출되는 것을 효과적으로 억제할 수 있는 것이다. 또한 본 실시형태는 플럭스(52)를 효과적으로 회수할 수 있는 것이다.

또 본 실시형태의 플럭스 모음 장치(100)에서는 플럭스 포트 본체(21)의 관통 구멍(30)을 Y방향으로 긴 기다란 육각형 구멍으로, 그 Y방향 길이(W2)가 스테이지(12)의 오목부(13)의 Y방향의 폭(W1)보다 넓게 되어 있으므로, 도 8에 나타내는 바와 같이 플럭스 포트 본체(21)의 XY방향의 얼라인먼트가 약간 어긋나, 플럭스 포트 본체(21)의 길이 방향이 Y방향으로부터 조금 비스듬하게 된 상태로 X방향으로 왕복 이동한 경우에, Y방향 길이는 얼라인먼트가 어긋나 있지 않은 경우의 W2보다 경사 각도에 따른 분만큼 작은 W3이 되지만, 스테이지(12)의 오목부(13)의 Y방향의 폭(W1)보다 넓고, 각 접속선(37, 38)은 오목부(13)의 양단면보다 각각 폭(e)만큼 외측으로 되어 있다. 이 때문에 앞서 도 4 내지 도 7을 참조하여 설명한 바와 같이 스테이지(12)의 표면(14)을 따라 오목부(13)의 폭(W1)보다 넓어져 관통 구멍(30)에 들어간 플럭스(52)를 관통 구멍(30)의 각 내면(33~36)이 막아 플럭스(52)가 관통 구멍(30)의 외측으로 누출되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

본 발명은 이상 설명한 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 청구의 범위에 의해 규정되어 있는 본 발명의 기술적 범위 내지 본질로부터 일탈하지 않는 모든 변경 및 수정을 포함하는 것이다.

11…베이스
12…스테이지
13…오목부
14, 72…표면
15…볼트
20, 70…플럭스 포트
21…플럭스 포트 본체
22…리브
23…브래킷
24…핀
25…슬라이더
25a…암
26…제1 접면
27…제2 접면
28, 73…바닥면
30, 71…관통 구멍
31~36…내면
37, 38…접속선
39…스테이지측 개구
40…능선
51~53…플럭스
81~96…화살표
100, 200…플럭스 모음 장치

Claims

플럭스 모음 장치로서,
플럭스를 모으는 오목부를 가지는 스테이지; 및
상기 플럭스가 들어가는 관통 구멍을 가지는 환형상 부재로, 상기 스테이지의 표면 상을 왕복하여 상기 관통 구멍에 들어 있는 상기 플럭스를 상기 오목부에 공급함과 아울러, 그 바닥면에서 상기 플럭스의 표면을 고르게 하는 플럭스 포트;
를 구비하고,
상기 플럭스 포트의 상기 관통 구멍은 왕복 방향과 직각 방향으로 긴 기다란 육각형 구멍으로, 그 길이가 상기 스테이지의 상기 오목부의 왕복 방향과 직각 방향의 폭보다 넓고,
상기 플럭스 포트의 상기 바닥면은 2개의 면이 각도를 가지고 직선 형상의 능선으로 접속된 산형면인 것을 특징으로 하는 플럭스 모음 장치.
제1 항에 있어서,
상기 스테이지 표면으로부터 하측에서 상기 플럭스 포트를 회전이 자유롭게 지지함과 아울러, 상기 스테이지 표면으로부터 하측에서 상기 플럭스 포트에 왕복 방향의 힘을 인가하는 왕복 구동 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 플럭스 모음 장치.