KR20170027817A - 검사 단자 유닛 및 프로브 카드 및 검사 단자 유닛의 제조 방법 - Google Patents

검사 단자 유닛 및 프로브 카드 및 검사 단자 유닛의 제조 방법 Download PDF

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KR20170027817A
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히로타다 테라니시
타카히로 사카이
히데아키 오자키
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오므론 가부시키가이샤
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Abstract

일단에 피검사 소자에 접촉하는 접촉부를 가지며, 또한, 타단에 기판(3)에 접속되는 접속부(25)를 갖는 적어도 2개의 검사핀(20)과, 병설한 적어도 2개의 상기 검사핀(20)을 일체로 유지하는 유지부(30)를 구비한 검사 단자 유닛.

Description

검사 단자 유닛 및 프로브 카드 및 검사 단자 유닛의 제조 방법{INSPECTION TERMINAL UNIT, PROBE CARD AND METHOD FOR MANUFACTURING INSPECTION TERMINAL UNIT}
본 발명은, 검사 단자 유닛 및 이 검사 단자 유닛을 구비하는 프로브 카드 및 이 검사 단자 유닛의 제조 방법에 관한 것이다.
종래, 검사 단자 유닛으로서는, 특허 문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 종래의 검사 단자 유닛은, 희생(犧牲) 기판의 위에 제조되고, 이 희생 기판상에 있는 동안에 전자 부품의 단자에 부착되는 복수의 스프링 접촉 요소를 갖고 있다.
특허 문헌 1 : 일본 특개2008-46139호 공보
그러나, 상기 종래의 검사 단자 유닛에서는, 복수의 스프링 접촉 요소를, 납접(brazing), 용접, 또는, 솔더링 등의 방법으로 희생 기판의 위에 고착되어 있기 때문에, 스프링 접촉 요소의 위치 결정 정밀도에 편차가 생기고 있다. 또한, 스프링 접촉 요소의 위치 결정 정밀도를 확보하면서 검사 단자 유닛을 조립하기 위해서는, 시간 및 노력에 더하여, 작업자의 숙련이 필요하기 때문에 생산성이 낮았다.
본 발명은, 전술한 문제를 감안하여, 검사핀의 위치 결정 정밀도가 높고, 생산성이 높은 검사 단자 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 관한 검사 단자 유닛은, 일단에 피검사(被檢査) 소자에 접촉하는 접촉부를 가지며, 또한, 타단에 기판에 접속되는 접속부를 갖는 적어도 2개의 검사핀과, 병설한 적어도 2개의 상기 검사핀을 일체로 유지하는 유지부를 구비한 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명에 관한 프로브 카드는, 상기 검사 단자 유닛을 구비한 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명에 관한 검사 단자 유닛의 제조 방법은, 상호 접촉하는 일 없이 임의의 피치로 나열한 위치 관계로, 적어도 2개의 검사핀을 전주법(電鑄法)으로 형성한 후, 상기 위치 관계를 유지한 채의 상태로, 절연성이 있는 유지부에 의해 일체화하는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 검사 단자 유닛에 의하면, 병설한 적어도 2개의 검사핀이, 유지부에 의해 일체로 유지된다. 이 때문에, 기판에, 복수의 검사핀을 일체로 하여 배치할 수 있고, 검사핀을 높은 정밀도로 위치 결정할 수 있다. 그 결과, 검사 단자 유닛을 용이하게 조립할 수 있고, 검사 단자 유닛의 생산성을 높일 수 있다.
본 발명의 프로브 카드에 의하면, 검사핀의 위치 결정 정밀도가 높고, 생산성이 높은 검사 단자 유닛을 구비한 프로브 카드를 제공할 수 있다.
본 발명의 검사 단자 유닛의 제조 방법에 의하면, 검사핀의 위치 결정 정밀도가 높고, 생산성이 높은 검사 단자 유닛을 제조할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태의 검사 단자 유닛을 프로브 카드의 기판에 부착한 상태를 도시하는 사시도.
도 2는 도 1의 검사 단자 유닛의 평면도.
도 3은 도 1의 검사 단자 유닛의 폭협부측의 단부의 확대 사시도.
도 4는 도 1의 검사 단자 유닛의 제조 방법을 설명하기 위한 단면 모식도.
도 5는 도 1의 검사 단자 유닛의 폭협부측 단부의 변형례를 도시하는 모식도.
도 6은 도 1의 검사 단자 유닛의 폭협부측 단부의 변형례를 도시하는 다른 모식도.
도 7은 도 1의 검사 단자 유닛의 폭광부측 단부의 제1의 변형례를 도시하는 모식도.
도 8은 도 1의 검사 단자 유닛의 폭광부측 단부의 제2의 변형례를 도시하는 모식도.
도 9는 도 1의 검사 단자 유닛의 폭광부측 단부의 제3의 변형례를 도시하는 모식도.
도 10은 도 1의 검사 단자 유닛의 폭광부측 단부의 제4의 변형례를 도시하는 모식도.
도 11은 도 1의 검사 단자 유닛의 폭광부측 단부의 제5의 변형례를 도시하는 모식도.
도 12는 도 1의 검사 단자 유닛의 폭광부측 단부의 제6의 변형례를 도시하는 모식도.
도 13은 본 발명의 제2 실시 형태의 검사 단자 유닛을 도시하는 도면으로, (A)가 사시도, (B)가 정면도, (C)가 평면도.
도 14는 본 발명의 제3 실시 형태의 검사 단자 유닛을 도시하는 도면으로, (A)가 사시도, (B)가 정면도, (C)가 평면도.
도 15는 본 발명의 제4 실시 형태의 검사 단자 유닛을 도시하는 도면으로, (A)가 사시도, (B)가 정면도, (C)가 평면도.
도 16은 본 발명의 제5 실시 형태의 검사 단자 유닛을 도시하는 도면으로, (A)가 사시도, (B)가 정면도, (C)가 평면도이다.
도 17은 본 발명의 제6 실시 형태의 프로브 카드를 도시하는 평면 모식도.
도 18은 본 발명의 제7 실시 형태의 프로브 카드를 도시하는 평면 모식도.
(제1 실시 형태)
[구성]
도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태의 검사 단자 유닛(10)을 프로브 카드(1)의 기판(3)에 부착한 상태를 도시하는 사시도이다. 또한, 도 2는, 도 1의 검사 단자 유닛(10)의 평면도이고, 도 3은, 도 1의 검사 단자 유닛(10)이 폭협부측의 단부의 확대 사시도이다.
제1 실시 형태의 검사 단자 유닛(10)은, 도 1∼도 3에 도시하는 바와 같이, 복수의 검사핀(20)과, 이 복수의 검사핀(20)을 유지하는 유지부(30)를 구비하고 있다. 검사핀(20)의 각각은, 전주법으로 형성되어 있고, 상호 접촉하는 일 없이 소정의 피치로 나열한 위치 관계를 갖고 있다.
검사핀(20)은, 도 1, 도 2에 도시하는 바와 같이, 폭협부(21)와, 폭광부(22)와, 폭협부(21)와 폭광부(22)에 연속하여 있는 중간부(23)로 이루어지고, 일체로 형성되어 있다. 폭협부(21)와 폭광부(22)는, 동일 방향으로 평행하게 연재(延在)되어 있다.
폭협부(21)는, 피검사 소자(2)의 전극에 응한 폭 치수로 형성되고, 그 자유단부에 돌접(突接)된 접촉부의 한 예로서의 접점(24)을 갖고 있다. 이 접점(24)은, 도 3에 도시하는 바와 같이, 검사핀(20)의 연재 방향에서, 원호형상을 가지며, 피검사 소자(2)의 전극과 접촉하도록 구성되어 있다.
폭광부(22)는, 상기 기판(3)의 피접속부(4)에 응한 폭 치수로 형성되고, 그 자유단부에, 기판(3)의 피접속부(4)와 접속하는 접속부(25)를 갖고 있다.
유지부(30)는, 절연성의 재료로 이루어지고, 도 3에 도시하는 바와 같이, 폭협부(21) 및 중간부(23)의 편면의 일부를 덮도록 배치되어 있다. 이 유지부(30)에 의해, 검사핀(20)이 소정의 피치로 병설된 상태로 일체화되어 있다.
검사 단자 유닛(10)에서, 복수의 검사핀(20)은, 이웃하는 폭협부(21)의 간격이, 일정하고, 또한, 이웃하는 폭광부(22)의 간격이, 이웃하는 폭협부(21)의 간격보다도 커지도록, 배치되어 있다. 검사핀(20)의 폭협부(21)의 피치는, 예를 들면, 0.1㎜이고, 폭광부(22)의 피치는, 예를 들면, 0.5㎜이다.
[제조 방법]
도 4는, 도 1의 검사 단자 유닛의 제조 방법을 설명하기 위한 단면 모식도이다.
제1 실시 형태의 검사 단자 유닛(10)의 제조 방법에 관해, 도 4를 이용하여 설명한다.
우선, 도전성 평판(81)과, 이 도전성 평판(81)상에 마련된 절연성 부재(82)로 구성된 모형(80)에, 절연성 부재(82)를 관통하여 도전성 평판(81)까지 달하는 복수의 캐비티(83)를 형성한다. 이 복수의 캐비티(83)는, 검사 단자 유닛(10)을 구성하는 각 검사핀(20)과 동일한 형상을 갖고 있고, 상호 접촉하는 일 없이, 소정의 피치로 병설되어 있다.
다음에, 모형(80)을 전해조 속의 전해액 중에 침지한다. 그리고, 전극(대향 전극)을 도전성 평판(81)과 대향하도록 배치하고, 도전성 평판(81)과 대향 전극과의 사이에 전압을 인가한다. 이에 의해, 캐비티(83)로부터 노출하는 도전성 평판(81)에, 전해액 중의 금속이 전착(電着)된다.
도전성 평판(81)과 대향 전극과의 사이에 전압을 더욱 계속 인가하면, 전압 인가 방향을 향하여, 도전성 평판(81)상에 금속이 적층하여 간다. 그리고, 금속의 층이 소정의 위치에 도달한 시점, 즉, 소망하는 검사핀(20)이 형성된 시점에서, 전압 인가를 중지한다.
계속해서, 형성된 검사핀(20)의 주위에 배치되어 있는 절연성 부재(82)를 제거하고, 이 절연성 부재(82)와 동일한 재료로, 검사핀(20) 상면(도전성 평판(81)에 접하지 않은 면) 전체를 덮는 절연막을 형성한다. 그 후, 절연막의 불필요한 부분을 제거하고, 유지부(30)를 형성하여, 검사 단자 유닛(10)의 제조를 완료한다.
상기 검사 단자 유닛(10)은, 병설한 적어도 2개의 검사핀(20)이, 유지부(30)에 의해 일체로 유지된다. 이 때문에, 프로브 카드(1)의 기판(3)에, 복수의 검사핀(20)을 일체로 배치할 수 있고, 검사핀(20)을 높은 정밀도로 위치 결정할 수 있다. 그 결과, 검사 단자 유닛을 용이하게 조립할 수 있고, 검사 단자 유닛(10)의 생산성을 높일 수 있다.
또한, 전주법을 이용함으로써, 검사핀의 위치 결정 정밀도가 높고, 생산성이 높은 검사 단자 유닛(10)을 용이하게 얻을 수 있다.
[변형례]
도 5 및 도 6은, 도 1의 검사 단자 유닛(10)의 폭협부(21)측 단부의 변형례를 도시하는 모식도이다. 또한, 도 7∼도 12는, 도 1의 검사 단자 유닛(10)의 폭광부(22)측 단부의 변형례를 도시하는 모식도이다.
즉, 상기 검사 단자 유닛(10)에서는, 모든 폭협부(21)를 균일한의 피치로 배치하고 있지만, 이것으로 한하지 않는다. 예를 들면, 도 5에 도시하는 바와 같이, 폭협부(21)의 간격이 각각 다르도록, 랜덤 피치로 배치하여도 좋다. 이에 의해, 검사 단자 유닛(10)의 설계의 자유도가 넓어지고, 다양한 피검사 소자에 대응할 수 있다.
또한, 상기 검사 단자 유닛(10)에서는, 폭협부(21)측의 선단이 동일 직선상에 위치하도록, 검사핀(20)을 마련하고 있지만, 이것으로 한하지 않는다. 예를 들면, 도 6에 도시하는 바와 같이, 평면시(平面視)에 있어서, 폭협부(21)측의 선단이 사행(蛇行)하도록, 검사핀(20)을 마련하여도 좋다. 이에 의해, 검사 단자 유닛(10)의 설계의 자유도가 넓어지고, 다양한 피검사 소자에 대응할 수 있다.
상기 검사 단자 유닛에서는, 모든 검사핀(20)에 접촉부로서 접점(24)을 마련하고 있지만, 이것으로 한하지 않는다. 예를 들면, 검사핀(20)마다 크기가 다른 접점을 마련하여도 좋고, 접점을 전혀 마련하지 않아도 좋다.
요컨대, 검사 단자 유닛(10)의 폭협부(21)측의 단부는, 피검사 소자의 전극에 접촉할 수 있는 형상 및 배치라면 좋고, 검사 단자 유닛(10)의 설계에 응하여, 임의의 형상 및 배치를 채용할 수 있다.
한편, 도 7에 도시하는 바와 같이, 검사핀(20)의 폭광부(22)를 덮는 유지부(130)를 마련하여도 좋다. 유지부(130)를 마련함에 의해, 상호 접촉하는 일 없이 임의의 피치로 나열한 위치 관계를 유지한 채의 상태로, 검사핀(20)을 확실하게 일체화할 수 있고, 검사 단자 유닛(10)의 치수 정밀도를 향상할 수 있다.
또한, 도 8에 도시하는 바와 같이, 프로브 카드(1)의 기판(3)상에 마련한 위치 결정부(131)에, 유지부(130)의 길이 방향의 양단을 위치 결정하여 고정함에 의해, 검사 단자 유닛(10)을 위치 결정하도록 하여도 좋다. 이에 의해, 검사 단자 유닛(10)의 위치 결정 정밀도를 높일 수 있다.
도 9에 도시하는 바와 같이, 검사 단자 유닛(10)의 폭광부(22)측의 선단이 사행하도록, 검사핀(20)을 마련하여도 좋다. 이에 의해, 검사 단자 유닛(10)의 설계의 자유도가 넓어지고, 다양한 프로브 카드의 기판에 대응할 수 있다. 또한, 선단을 사행시킴에 의해, 접속부(25)의 폭 치수를 크게 할 수 있다. 이에 의해, 도 2에 도시한 프로브 카드(1)의 기판(3)에 대한 접속이 용이해진다.
도 10에 도시하는 바와 같이, 검사핀(20)의 접속부(25)의 각각에, 구멍(40)을 마련하여도 좋다. 예를 들면, 도 2에 도시한 프로브 카드(1)의 기판(3)의 피접속부(4)에, 구멍(40)에 대응하는 돌기를 마련하여 두고, 이 돌기와 구멍(40)을 감합(勘合)함에 의해, 검사 단자 유닛(10)을 기판(3)에 고정하도록 하여도 좋다. 이에 의해, 검사 단자 유닛(10)의 위치 결정 정밀도를 높일 수 있다.
도 11에 도시하는 바와 같이, 검사핀(20)의 폭광부(22)측의 선단에, 반송용의 캐리어(50)를 일체 형성하여 두어도 좋다. 이 캐리어(50)는, 폭광부(22)와의 사이에 폭이 좁은 파단부(51)를 각각 가지며, 이 파단부(51)를 파단시킴으로써, 검사 단자 유닛(10)을 분리할 수 있다. 캐리어(50)를 마련함에 의해, 상호 접촉하는 일 없이 임의의 피치로 나열한 위치 관계를 유지한 채의 상태로, 검사핀(20)을 높은 위치 결정 정밀도로 용이하게 일체화할 수 있음과 함께, 검사 단자 유닛(10)을 기판(3)상에 위치 결정할 수 있다. 이 때문에, 검사 단자 유닛(10)의 제조 오차의 발생을 방지할 수 있고, 위치 결정 정밀도를 높일 수 있다.
도 12에 도시하는 바와 같이, 검사핀(20)의 접속부(25)에, 원주 형상의 돌기(60)를 형성하여도 좋다. 예를 들면, 도 2에 도시하는 프로브 카드(1)의 기판(3)의 피접속부(4)에, 돌기(60)에 대응하는 구멍(도시 생략)을 마련하고, 돌기(60)와 구멍을 감합함에 의해, 검사 단자 유닛(10)을 기판(3)에 고정하여도 좋다. 이에 의해, 검사 단자 유닛(10)의 위치 결정 정밀도를 높일 수 있다.
또한, 검사 단자 유닛(10)의 폭광부(22)측의 단부는, 프로브 카드(1)의 기판(3)에 마련된 피접속부(4)에 접속할 수 있는 형상 및 배치를 갖고 있으면 좋고, 검사 단자 유닛(10)의 설계에 응하여, 임의의 형상 및 배치를 채용할 수 있다.
검사 단자 유닛(10)은, 적어도 2개의 검사핀(20)을 갖고 있으면 좋고, 검사 단자 유닛(10)의 설계 등에 응하여, 2개 이상의 검사핀(20)을 가질 수 있다.
검사핀(20)은, 전주법으로 형성되는 경우로 한하지 않고, 가능하면, 임의의 방법을 이용하여 형성하여도 좋다.
유지부(30)는, 모든 검사핀(20)을 유지하여, 검사핀(20)을 고정할 수 있는 것이면 좋고, 도 1∼도 3에 도시하는 폭협부(21) 및 중간부(23)의 일부를 덮는 평면 형상으로 한정되지 않는다. 유지부의 형상은, 예를 들면, 유지부를 형성하는 재료, 또는, 검사핀의 수 및 크기에 의해, 적절히 변경할 수 있다.
(제2 실시 형태)
도 13은, 본 발명의 제2 실시 형태의 검사 단자 유닛(110)을 도시하는 도면으로, (A)가 사시도, (B)가 정면도, (C)가 평면도이다.
제2 실시 형태의 검사 단자 유닛(110)은, 접속부(125)를 갖는 복수의 검사핀(120)을, 유지부(30)로 일체화한 것이다. 이 접속부(125)는, 도 13(B)에 도시하는 바와 같이, 개략 U자형상의 단면 형상을 갖고 있다.
또한, 검사핀(120)은, 접속부(125)를 제외하고, 제1 실시 형태의 검사핀(20)과 거의 동일한 구성을 갖고 있다. 이 때문에, 제1 실시 형태와 동일 부분에 관해서는, 동일 참조 번호를 붙이고 설명을 생략한다.
(제3 실시 형태)
도 14는, 본 발명의 제3 실시 형태의 검사 단자 유닛(210)을 도시하는 도면으로, (A)가 사시도, (B)가 정면도, (C)가 평면도이다.
제3 실시 형태의 검사 단자 유닛(210)은, 접점(24)을 하방(도 14(B)의 하측)으로 돌설한 폭협부(21)를 갖는 제1 실시 형태의 검사핀(20)과, 접점(24)을 상방(도 14(B)의 상측으로 돌설한 폭협부(221)를 갖는 검사핀(220)을 교대로 배치하여, 유지부(30)로 일체화한 것이다.
또한, 검사핀(220)은, 폭협부(221)를 제외하고, 제1 실시 형태의 검사핀(20)과 거의 동일한 구성을 갖고 있다. 이 때문에, 제1 실시 형태와 동일 부분에 관해서는, 동일 참조 번호를 붙이고 설명을 생략한다.
(제4 실시 형태)
도 15는, 본 발명의 제4 실시 형태의 검사 단자 유닛(310)을 도시하는 도면으로, (A)가 사시도, (B)가 정면도, (C)가 평면도이다.
제4 실시 형태의 검사 단자 유닛(310)은, 제1 실시 형태의 검사핀(20)과, 제1 실시 형태의 검사핀(20)보다도 길이가 짧은 폭협부(321)를 갖는 검사핀(320)을 유지부(30)로 일체화한 것이다. 이 검사 단자 유닛(310)에서는, 폭협부(321)측의 단부가 사행하도록, 검사핀(20, 320)을 교대로 배치하고 있다. 폭협부(321)의 접점(324)은, 도 15(B)에 도시하는 바와 같이, 폭협부(21)의 접점(24)보다도 작게 형성되어 있다.
또한, 검사핀(320)은, 폭협부(321)를 제외하고, 제1 실시 형태의 검사핀(20)과 거의 동일한 구성을 갖고 있다. 이 때문에, 제1 실시 형태와 동일 부분에 관해서는, 동일 참조 번호를 붙이고 설명을 생략한다.
(제5 실시 형태)
도 16은, 본 발명의 제5 실시 형태의 검사 단자 유닛(410)을 도시하는 도면으로, (A)가 사시도, (B)가 정면도, (C)가 평면도이다.
제5 실시 형태의 검사 단자 유닛(410)은, 폭협부(421)에 주름상자형상(蛇腹狀)의 스프링부(425)를 갖는 검사핀(420)을, 유지부(30)로 일체화한 것이다. 스프링부(425)는, 중간부(23)와 접점(24)과의 사이, 또한, 유지부(30)로 덮이지 않은 위치에 형성되어 있다.
또한, 검사핀(420)은, 폭협부(421)를 제외하고, 제1 실시 형태의 검사핀(20)과 동일한 구성을 갖고 있다. 이 때문에, 제1 실시 형태와 동일 부분에 관해서는, 동일 참조 번호를 붙이고 설명을 생략한다.
(제6 실시 형태)
도 17은, 본 발명의 제6 실시 형태의 프로브 카드(101)를 도시하는 평면 모식도이다.
제6 실시 형태의 프로브 카드(101)는, 기판(도시 생략)과, 이 기판에 부착된 2개의 위치 결정 부재(70, 71)와, 이 위치 결정 부재(70, 71)에 위치 결정된 2개의 검사 단자 유닛(11, 12)을 구비하고 있다. 이 검사 단자 유닛(11, 12)에서는, 검사핀(20)의 폭협부(21)를 유지부(230)로 일체로 유지하고 있다.
또한, 검사 단자 유닛(11, 12)은, 유지부(230)를 제외하고, 제1 실시 형태의 검사 단자 유닛(10)과 동일한 구성을 갖고 있다. 이 때문에, 제1 실시 형태와 동일 부분에 관해서는, 동일 참조 번호를 붙이고 설명을 생략한다.
검사 단자 유닛(11, 12)은, 검사핀(20)의 폭협부(21)측의 선단이 서로 대향하고, 또한, 상호 접촉하지 않도록 배치되어 있다. 또한, 위치 결정 부재(70, 71)는, 양단부가 상호 대향하고, 또한, 소정이 간격을 두고 배치되어 있다. 이 위치 결정 부재(70, 71)의 사이에, 검사 단자 유닛(11, 12)의 유지부(230)가 배치되어 있다. 검사 단자 유닛(11, 12)의 유지부(230)와 위치 결정 부재(70, 71)는, 예를 들면, 접착제로 접착되어 고정되어 있다.
이와 같이, 위치 결정 부재(70, 71)를 통하여 검사 단자 유닛(11, 12)을 프로브 카드(101)의 기판에 고정함에 의해, 검사 단자 유닛(11, 12)을 기판에 높은 위치 결정 정밀도로 부착할 수 있다. 이에 의해, 높은 위치 결정 정밀도를 갖는 프로브 카드(101)를 얻을 수 있다.
또한, 위치 결정 부재(70, 71)는, 검사 단자 유닛(11, 12)을 위치 결정하고, 검사 단자 유닛(11, 12)의 위치 관계를 유지할 수 있는 것이면 좋고, 임의의 형상을 채용할 수 있다.
(제7 실시 형태)
도 18은, 본 발명의 제7 실시 형태의 프로브 카드(201)를 도시하는 평면 모식도이다.
제7 실시 형태의 프로브 카드(201)는, 기판(도시 생략)과, 이 기판에 부착된 4개의 위치 결정 부재(72, 73, 74, 75)와, 이 위치 결정 부재(72, 73, 74, 75)에 위치 결정된 4개의 검사 단자 유닛(13, 14, 15, 16)을 구비하고 있다. 또한, 제1 실시 형태와 동일 부분에 관해서는, 동일한 참조 번호를 붙이고 설명을 생략한다.
검사 단자 유닛(13, 14)은, 검사핀(20)의 폭협부(21)측의 단부가 사행하고, 또한, 길다란 폭협부(21a)의 선단과 짧은 폭협부(21b)의 선단이 대향하도록, 지그재그형상으로 배치되어 있다. 또한, 검사 단자 유닛(15, 16)은, 폭협부(21)측의 단부가, 검사 단자 유닛(13, 14)이 폭협부(21)측의 측면에 대향하도록 배치되어 있다. 또한, 검사 단자 유닛(13, 14, 15, 16)의 각각은, 폭협부(21)만에 마련되어 있는 유지부(230)로 일체화되어 있고, 상호 접촉하지 않도록 배치되어 있다.
위치 결정 부재(72, 73, 74, 75)의 각각은, 소정이 간격을 두고 도시하지 않은 기판에 배치되어 있다. 그리고, 위치 결정 부재(72, 73)의 사이에는, 검사 단자 유닛(15)의 유지부(230)가 배치되고, 위치 결정 부재(73, 74)의 사이에는, 검사 단자 유닛(14)의 유지부(230)가 배치되고, 위치 결정 부재(74, 75)의 사이에는, 검사 단자 유닛(16)의 유지부(230)가 배치되고, 위치 결정 부재(75, 72)의 사이에는, 검사 단자 유닛(13)의 유지부(230)가 배치되어 있다. 검사 단자 유닛(13, 14, 15, 16)의 유지부(230)와 위치 결정 부재(72, 73, 74, 75)는, 예를 들면, 접착제로 접착되어 고정되어 있다.
이와 같이, 위치 결정 부재(72, 73, 74, 75)로 검사 단자 유닛(13, 14, 15, 16)을 프로브 카드(201)의 기판에 고정함에 의해, 검사 단자 유닛(13, 14, 15, 16)을 기판에 높은 위치 결정 정밀도로 마련할 수 있다. 이에 의해, 높은 위치 결정 정밀도를 갖는 프로브 카드(201)를 얻을 수 있다.
상기 제1∼제7 실시 형태 및 변형례에서 기술한 구성 요소는, 적절히, 조합하여도 좋고, 또한, 적절히, 선택, 치환, 또는, 삭제하여도 좋음은, 물론이다.
본 발명 및 실시 형태를 정리하면, 다음과 같이 된다.
본 발명의 검사 단자 유닛은, 일단에 피검사 소자(2)에 접촉하는 접촉부(24, 324)를 가지며, 또한, 타단에 기판(3)에 접속되는 접속부(25)를 갖는 적어도 2개의 검사핀(20)과, 병설한 적어도 2개의 상기 검사핀(20)을 일체로 유지하는 유지부(30)를 구비한 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명에 의하면, 병설한 적어도 2개의 검사핀(20)이, 유지부(30)에 의해 일체로 유지된다. 이 때문에, 기판(3)에, 복수의 검사핀(20)을 일체로 하여 배치할 수 있고, 검사핀(20)을 높은 정밀도로 위치 결정할 수 있다. 그 결과, 검사 단자 유닛(10)을 용이하게 조립할 수 있고, 검사 단자 유닛(10)의 생산성을 높일 수 있다.
본 발명의 실시 형태로서는, 상기 검사핀(20)이, 전주법으로 형성된 구성으로 하여도 좋다.
본 실시 형태에 의하면, 검사핀(20)의 위치 결정 정밀도가 높은 검사 단자 유닛(10)을 용이하게 얻을 수 있다.
본 발명의 실시 형태로서는, 상기 유지부(30)가, 상기 검사핀(20)을 전주법으로 형성한 때에 통한 절연성 부재와 동일한 재료로 형성된 구성으로 하여도 좋다.
본 실시 형태에 의하면, 검사핀(20)의 형성에 사용한 절연성 부재를 유지부(30)의 형성에 전용(轉用)할 수 있기 때문에, 사용하는 재료의 종류를 줄일 수 있다. 그 결과, 검사 단자 유닛(10)의 생산성을 높일 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 검사핀(20)의 일단에 상기 접촉부로서의 접점(24, 324)을 마련한 구성으로 하여도 좋다.
본 실시 형태에 의하면, 접촉부에 접점(24, 324)을 마련함에 의해, 접촉부와 피검사 소자(2)와의 사이의 접압(接壓)을 조정할 수 있다. 이 때문에, 접촉 신뢰성이 높은 검사 단자 유닛(10)을 얻을 수 있다.
본 발명에 관한 프로브 카드(1, 101, 201)는, 상기 검사 단자 유닛(10)을 구비한 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명에 의하면, 검사핀(20)의 위치 결정 정밀도가 높고, 생산성이 높은 검사 단자 유닛(10)을 구비한 프로브 카드(1, 101, 201)를 제공할 수 있다.
본 발명의 검사 단자 유닛(10)의 제조 방법은, 상호 접촉하는 일 없이 임의의 피치로 나열한 위치 관계로, 적어도 2개의 검사핀을 전주법으로 형성한 후, 상기 위치 관계를 유지한 채의 상태로, 절연성이 있는 유지부(30)에 의해 일체화하는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명에 의하면, 검사핀(20)의 위치 결정 정밀도가 높고, 생산성이 높은 검사 단자 유닛(10)을 제조할 수 있다.
[산업상의 이용 가능성]
본 발명에 관한 검사 단자 유닛은, 프로브 카드에 이용할 수 있다. 또한, 본 발명의 프로브 카드는, 반도체 제조의 웨이퍼 검사 등에 이용할 수 있다.
1, 101, 201 : 프로브 카드
2 : 피검사 소자
3 : 기판
4 : 피접속부
10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 110, 210, 310, 410 : 검사 단자 유닛
20, 120, 220, 320, 420 : 검사핀
21, 221, 321, 421 : 폭협부
22 : 폭광부
23 : 중간부
24, 324 : 접점(접촉부)
25, 125 : 접속부
30, 130, 230 : 유지부
40 : 구멍
50 : 캐리어
51 : 파단부
60 : 돌기
70, 71, 72, 73, 74, 75 : 위치 결정 부재
131 : 위치 결정부
425 : 스프링부

Claims (6)

  1. 일단(一端)에 피검사(被檢査) 소자에 접촉하는 접촉부를 가지며, 또한, 타단에 기판에 접속되는 접속부를 갖는 적어도 2개의 검사핀과,
    병설한 적어도 2개의 상기 검사핀을 일체로 유지하는 유지부를 구비한 것을 특징으로 하는 검사 단자 유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 검사핀이, 전주법(electroforming)으로 형성된 것을 특징으로 하는 검사 단자 유닛.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 유지부가, 상기 검사핀을 전주법으로 형성할 때에 사용한 절연성 부재와 동일한 재료로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 단자 유닛.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검사핀의 일단에 상기 접촉부로서의 접점을 마련한 것을 특징으로 하는, 청구항 1으로부터 3의 어느 한쪽1항에 기재된 검사 단자 유닛.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 검사 단자 유닛을 구비한 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
  6. 상호 접촉하는 일 없이 임의의 피치로 나열한 위치 관계로, 적어도 2개의 검사핀을 전주법으로 형성한 후,
    상기 위치 관계를 유지한 채의 상태로, 절연성이 있는 유지부에 의해 일체화하는 것을 특징으로 하는 검사 단자 유닛의 제조 방법.
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