KR20170015241A - 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 방법 및 장치 - Google Patents
양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 방법 및 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20170015241A KR20170015241A KR1020160096901A KR20160096901A KR20170015241A KR 20170015241 A KR20170015241 A KR 20170015241A KR 1020160096901 A KR1020160096901 A KR 1020160096901A KR 20160096901 A KR20160096901 A KR 20160096901A KR 20170015241 A KR20170015241 A KR 20170015241A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- mold
- ring
- shaped
- plastic frame
- rotor disk
- Prior art date
Links
- 239000004033 plastic Substances 0.000 title claims abstract description 116
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 title claims abstract description 116
- 238000005266 casting Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 238000003754 machining Methods 0.000 title abstract description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 13
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 7
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 4
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 3
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 3
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 3
- 239000012815 thermoplastic material Substances 0.000 description 3
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 239000002991 molded plastic Substances 0.000 description 2
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229920006453 PC+ABS-GF Polymers 0.000 description 1
- 229920006448 PE-UHMW Polymers 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 229920000491 Polyphenylsulfone Polymers 0.000 description 1
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N benzene-1,4-diol;bis(4-fluorophenyl)methanone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1.C1=CC(F)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(F)C=C1 JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009750 centrifugal casting Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 229920001903 high density polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229920001684 low density polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000012768 molten material Substances 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D12/00—Producing frames
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C39/00—Shaping by casting, i.e. introducing the moulding material into a mould or between confining surfaces without significant moulding pressure; Apparatus therefor
- B29C39/22—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C39/26—Moulds or cores
- B29C39/265—Moulds or cores comprising two large plates positioned at a small distance from each other, e.g. for making panels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
- B24B37/08—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for double side lapping
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
- B29C33/30—Mounting, exchanging or centering
- B29C33/306—Exchangeable mould parts, e.g. cassette moulds, mould inserts
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C39/00—Shaping by casting, i.e. introducing the moulding material into a mould or between confining surfaces without significant moulding pressure; Apparatus therefor
- B29C39/02—Shaping by casting, i.e. introducing the moulding material into a mould or between confining surfaces without significant moulding pressure; Apparatus therefor for making articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C39/10—Shaping by casting, i.e. introducing the moulding material into a mould or between confining surfaces without significant moulding pressure; Apparatus therefor for making articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. casting around inserts or for coating articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C39/00—Shaping by casting, i.e. introducing the moulding material into a mould or between confining surfaces without significant moulding pressure; Apparatus therefor
- B29C39/22—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C39/26—Moulds or cores
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C39/00—Shaping by casting, i.e. introducing the moulding material into a mould or between confining surfaces without significant moulding pressure; Apparatus therefor
- B29C39/22—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C39/38—Heating or cooling
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
- B29C45/1418—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles the inserts being deformed or preformed, e.g. by the injection pressure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
- B29C45/14336—Coating a portion of the article, e.g. the edge of the article
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
- B29C45/1459—Coating annular articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C45/26—Moulds
- B29C45/27—Sprue channels ; Runner channels or runner nozzles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29K—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
- B29K2705/00—Use of metals, their alloys or their compounds, for preformed parts, e.g. for inserts
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
- B29L2031/00—Other particular articles
- B29L2031/34—Electrical apparatus, e.g. sparking plugs or parts thereof
- B29L2031/3481—Housings or casings incorporating or embedding electric or electronic elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
- B29L2031/00—Other particular articles
- B29L2031/736—Grinding or polishing equipment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
본 발명은 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 장치에 관한 것으로, 상기 오목부는 양면 가공 기계에서의 양면 가공 중에 작업물을 유지시키는 역할을 하며, 상기 장치는 로터 디스크를 사이에 수용하는 2개의 몰드부, 및 로터 디스크가 상기 몰드부 사이에 수용될 때 상기 오목부를 부분적으로 채우는 몰드 코어를 포함하고, 몰드 코어는 적어도 하나의 주조 채널을 가지며, 주조 채널의 일 단부는 플라스틱 프레임을 위해 제공되는 몰드 공간부에서 끝나며, 상기 주조 채널의 다른 단부는 소성화돤 플라스틱의 공급부에 연결될 수 있고, 몰드부 중의 적어도 하나는 적어도 하나의 링형 시트(seat)를 가지며, 적어도 하나의 링형 몰드 인서트가 상기 링형 시트 안에 분리 가능하게 삽입되어,적어도 하나의 링형 몰드 인서트는 상기 몰드 코어 및 오목부의 가장자리와 함께, 플라스틱 프레임을 위해 제공되는 상기 몰드 공간부의 범위를 정하게 된다. 본 발명은 또한 대응하는 방법 및 그에 따라 제조된 로터 디스크에 관한 것이다.
Description
본 발명은 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 장치에 관한 것으로, 상기 오목부는 양면 가공 기계에서의 양면 가공 중에 작업물을 유지시키는 역할을 하며, 상기 장치는 로터 디스크를 사이에 수용하는 2개의 몰드부, 및 로터 디스크가 상기 몰드부 사이에 수용될 때 상기 오목부를 부분적으로 채우는 몰드 코어를 포함하고, 몰드 코어는 적어도 하나의 주조 채널을 가지며, 주조 채널의 일 단부는 플라스틱 프레임을 위해 제공되는 몰드 공간부에서 끝나며, 상기 주조 채널의 다른 단부는 소성화된 플라스틱의 공급부에 연결될 수 있다. 본 발명은 또한 대응하는 방법에 관한 것이다. 마지막으로, 본 발명은 양면 가공 기계의 로터 디스크에 관한 것이다.
양면 로터 디스크가 예컨대 DE 102 28 441 B4에 알려져 있다. 로터 디스크는 일반적으로 복수의 오목부를 갖는데, 작업물(특히, 반도체 웨이퍼)이 양면 가공 기계에서의 가공 중에 부유 상태로 상기 오목부 안에 유지된다. 적절한 운동학적 기구에 의해 로터 디스크는 가공 디스크들 사이에 형성되어 있는 작업 틈 사이에서 움직이게 되며, 그래서 로터 디스크는 이 로터 디스크의 오목부에 유지되는 반도체 웨이퍼에서 작업 틈을 통과하는 사이클로이드 경로를 그리게 된다. 로터 디스크는 일반적으로 금속과 같은 내마모성 재료로 이루어진다. 반도체 웨이퍼가 손상되지 않도록, 일반적으로 로터 디스크의 오목부의 가장자리에는 플라스틱 프레임이 제공되는데, 이 플라스틱 프레임은 플라스틱 사출 성형 과정과 같은 주조 과정에서 로터 디스크의 윤곽 가장자리에 주조된다.
발생될 반도체 디스크(예컨대, 실리콘 웨이퍼)의 치수에 대해서는 극히 높은 요건이 부과된다. 이들 치수는 가공 중에 사용되는 소모성 재료에 의해 크게 영향을 받는다. 예컨대 양면 연마의 경우에, 이 연마가 마멸 연마 또는 헤이즈 프리(haze-free) 연마이면, 대역적 팽행도(GBIR), 국부적 평탄도(SFQR), 가장자리 평탄도(ESQFR) 및 반도체 가장자리에서 웨이퍼의 상하측면의 곡률(ZDD)에 대한 공차가 점점 더 작아지고 있다. 로터 디스크, 특히 플라스틱 프레임은 작업 디스크에 가해지는 연마포와 웨이퍼 가장자리 사이의 상호 작용에 영향을 주기 때문에 결정적인 역할을 한다. 플라스틱 프레임은 반도체 두께를 기준으로 하는 그의 두께에 따라 연마포와 상호 작용하며, 그리고 이는 웨이퍼의 가장자리에서의 연마 압력에 영향을 준다. 예컨대, 플라스틱 프레임 때문에 연마포 압축이 강하면, 연마포에 의해 웨이퍼 가장자리에 가해지는 압력은 약하게 되고 그 반대도 가능하다.
특히 작업물 가장자리에서 특정한 작업물 치수의 경우에는, 플라스틱 프레임의 정확한 배치 및 치수가 아주 중요하다. 공지된 방법으로는, 로터 디스크 본체에 대한 플라스틱 프레임의 정렬과 같은 임계 파라미터 및 로터 디스크와 플라스틱 프레임 사이의 특정한 단차 높이가 원하는 방식으로 제어될 수 없다. 이 때문에, 로터 디스크를 기준으로 할 때 축방향으로 비대칭적인 플라스틱 프레임이 얻어지게 된다. 이리하여, 가공 후에 반도체 웨이퍼 가장자리의 곡률이 고르지 않게 되며 그래서 국부적 평탄도가 악화된다. 플라스틱 프레임을 제조하기 위한 공지된 방법에서 프레임 치수, 특히 프레임 두께에 차이가 생기기 때문에, 기계에서 가공된 반도체 웨이퍼의 치수에 바람직하지 않은 편차가 생기게 된다. 공지된 주조 방법에서, 예컨대 사용되는 재료의 수축 및 주조 방법에서 사용되는 파라미터의 변화로 인해 치수 편차가 생긴다.
전술한 종래 기술을 바탕으로 한 본 발명의 목적은, 플라스틱 프레임의 치수및 로터 디스크의 오목부에의 배치 그리고 로터 디스크로 가공되는 작업물의 가공 결과를 유연한 방식으로 정확하게 제어할 수 있는, 위에서 언급한 종류의 장치, 방법 및 로터 디스크를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적은 독립 청구항 1, 7 및 14의 내용으로 달성된다. 유리한 실시 형태는 종속 청구항, 상세한 설명 및 도면에서 알 수 있다.
상기한 종류의 장치의 경우, 본 발명의 목적은, 상기 몰드부 중의 적어도 하나는 적어도 하나의 링형 시트(seat)를 가지며, 적어도 하나의 링형 몰드 인서트가 상기 링형 시트 안에 분리 가능하게 삽입되어,적어도 하나의 링형 몰드 인서트는 상기 몰드 코어 및 오목부의 가장자리와 함께, 플라스틱 프레임을 위해 제공되는 상기 몰드 공간부의 범위를 정하게 되는 구성으로 달성된다.
본 발명의 목적은 또한, 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 방법으로 달성되는데, 상기 오목부는 양면 가공 기계에서의 양면 가공 중에 작업물을 유지시키는 역할을 하며,
로터 디스크가 2개의 몰드부 사이에 수용되고, 로터 디스크가 상기 몰드부 사이에 수용되어 있을 때 상기 오목부는 몰드 코어로 부분적으로 채워지며, 몰드 코어는 적어도 하나의 주조 채널을 가지며, 주조 채널의 일 단부는 플라스틱 프레임을 위해 제공되는 몰드 공간부에서 끝나며, 상기 주조 채널의 다른 단부는 소성화된 플라스틱의 공급부에 연결될 수 있고,
적어도 하나의 링형 몰드 인서트가 상기 몰드부 중의 적어도 한 몰드부의 적어도 하나의 링형 시트 안에 분리 가능하게 삽입되어, 적어도 하나의 링형 몰드 인서트는 상기 몰드 코어 및 오목부의 가장자리와 함께, 플라스틱 프레임을 위해 제공되는 상기 몰드 공간부의 범위를 정하게 되고,
그러 다음, 상기 공급부에서 온 소성화된 플라스틱이 상기 몰드 코어의 적어도 하나의 주조 채널을 통해 상기 플라스틱 프레임을 위해 제공되어 있는 몰드 공간부서 주조되며,
주조된 플라스틱의 형상의 충분한 안정성이 얻어진 후에, 상기 오목부에 주조되어 있는 플라스틱 프레임과 함께 로터 디스크가 제거된다.
로터 디스크는 예컨대 금속 재료로 이루어질 수 있다. 그러나 플라스틱 재료도 가능하다. 로터 디스크는 적어도 하나의(일반적으로, 복수의) 오목부를 가지며, 반도체 웨이퍼와 같은 작업물이 양면 가공, 예컨대 양면 연마 중에 부유된 상태로 상기 오목부에 유지된다. 위에서 언급한 바와 같이, 로터 디스크는 양면 가공 중에 양면 가공 기계의 작업 디스크 사이의 작업 틈을 통해 회전하면서 움직이며, 그래서 가공될 작업물은 상기 작업 틈을 통과하는 사이클로이드 경로를 그리게 된다. 반도체 웨이퍼와 같은 작업물 및 반도체 웨이퍼를 위해 제공되어 있는 로터 디스크에 있는 오목부는 예컨대 원형일 수 있다. 이에 따라, 그 오목부에 주조된 플라스틱 프레임은 링형일 수 있다. 플라스틱 사출 성형 방법과 같은 몰딩 방법에서는, 상기 오목부의 범위를 정하는 로터 디스크의 내면 상에 플라스틱 프레임이 사출된다. 이는 그 자체 알려져 있다. 그러나, 원심 주조 방법과 같은 다른 몰딩 방법도 본 발명에서 가능하다.
본 발명에 따르면, 로터 디스크는 특히 몰드부 사이에 클램핑된다. 몰드부는 몰드 플레이트일 수 있다. 특히, 몰드부는 몰드 반부일 수 있다. 2개 보다 많은 몰드 반부가 제공될 수도 있다. 오목부의 범위를 정하는 로터 디스크의 내면, 몰드 인서트, 또는 링형 몰드 인서트 및 몰드 코어는 플라스틱 프레임을 형성하는 몰드 공동부의 범위를 정한다. 소성화된 플라스틱이 이 몰드 공동부 안으로 주조, 예컨대 사출된다. 이러한 목적으로, 몰드 코어는 적어도 하나의 주조 채널을 갖는데, 이 주조 채널의 일 단부는 압출기와 같은 용융 플라스틱 공급부에 연결되고, 상기 주조 채널의 다른 단부는 몰드 공동부에 연결된다. 몰드 코어는 특히 복수의 그러한 주조 채널을 가질 수 있다. 물론, 복수의 그러한 몰드 코어도 제공될 수 있다.
상기 몰드부 중의 적어도 하나는 적어도 하나의 링형 시트(seat)를 가지며, 적어도 하나의 링형 몰드 인서트가 상기 링형 시트 안에 분리 가능하게 삽입된다. 상기 몰드 코어 및 오목부의 가장자리와 함께 상기 적어도 하나의 링형 몰드 인서트는 플라스틱 프레임을 위해 제공되는 상기 몰드 공간부의 범위를 정하게 된다. 적어도 하나의 몰드 인서트는 예컨대 적어도 하나의 몰드부에 나사 결합될 수 있다. 그러나, 다른 종류의 체결 기구도 가능하다. 몰드 인서트 및 몰드부도 예컨대 금속 재료로 이루어질 수 있다. 이것들은 용융 재료의 부착을 방지하기 위해, 주조될 플라스틱 재료에 맞는 표면 거칠기를 가질 수 있다.
몰드에 있는 본 발명에 따른 몰드 인서트에 의해, 로터 디스크의 본체에 비해 주조된 플라스틱 프레임의 위치와 치수, 특히 두께를 유연한 방식으로 정확하게 제어할 수 있다. 본 발명에 따른 몰드 인서트에 의해, 플라스틱 프레임의 위치는 로터 디스크의 상측면 또는 하측면에 대해 예컨대 ±20㎛의 범위 내에서 조정될 수 있다. 이 결과, 플라스틱 프레임과 로터 디스크 본체 간의 두께 차가 예컨대 -40㎛ 내지 +40㎛ 일 수 있다. 주조된 플라스틱 프레임의 두께 값의 변동이 본 발명에 따른 링형 몰드 인서트에 의해 최소화될 수 있다. 특정한 플라스틱 프레임 두께가 유연한 방식으로 신뢰적으로 조정될 수 있다. 이는 플라스틱 프레임과 로터 디스크 본체 사이의 단차 치수에 대해서도 마찬가지다. 본 발명에 따른 플라스틱 프레임의 치수와 배치의 특정한 조정, 플라스틱 사출 성형 방법에서의 낮은 사출 압력 및 플라스틱의 균일한 결정 구조가 주어지면, 플라스틱 프레임의 치수는 양면 가공, 특히 양면 연마 과정의 요건과 최적으로 조화될 수 있다. 본 발명에 따라 제조된 플라스틱 프레임을 갖는 로터 디스크를 사용하여, 최적의 치수(작업물의 가장자리에 대해서도 마찬가지임)를 갖는 작업물, 특히 반도체 웨이퍼가 제조될 수 있다. 예컨대, 본 발명에 따른 방법 또는 본 발명에 따른 장치로, 플라스틱 프레임의 두께의 편차는 예컨대 ± 5 ㎛로 제한될 수 있고, 바람직하게는 ± 2 ㎛, 더 바람직하게는 ± 1 ㎛로 제한될 수 있다.
일 실시 형태에 따르면, 상기 몰드부 각각은 적어도 하나의 링형 시트(seat)를 가지며, 적어도 하나의 링형 몰드 인서트가 상기 링형 시트 안에 분리 가능하게 삽입되어, 그 링형 몰드 인서트는 상기 몰드 코어 및 오목부의 가장자리와 함께, 플라스틱 프레임을 위해 제공되는 상기 몰드 공간부의 범위를 정하게 된다. 이 실시 형태에서, 유연성과 정밀도를 증가시키기 위해 플라스틱 프레임은 몰드부 내에 분리 가능하게 부착되는 몰드 인서트에 의해 양측에 형성된다.
다른 실시 형태에 따르면, 상기 장치는 서로 다른 치수를 갖는 복수의 링형 몰드 인서트를 포함할 수 있고, 이들 링형 몰드 인서트는 선택적으로 상기 적어도 하나의 링형 시트 안에 분리 가능하게 삽입될 수 있어, 서로 다른 치수를 갖는 상기 링형 몰드 인서트를 삽입하여 플라스틱 프레임을 위한 서로 다른 치수의 몰드 공간부가 형성될 수 있다. 이리하여, 유연성이 더 개선된다. 단지 하나의 몰드로, 링형 몰드 인서트를 교환하여 다른 치수의 플라스틱 프레임을 실현할 수 있다.
일 실시 형태에 따르면, 상기 적어도 하나의 링형 몰드 인서트, 몰드 코어 및 오목부의 가장자리에 의해 범위가 정해지고 상기 플라스틱 프레임을 위해 제공되는 상기 몰드 공간부는 오목부의 축방향으로 상기 로터 디스크 보다 긴 연장을 가질 수 있다. 이 실시 형태에 의해, 플라스틱의 냉각 및 경화 중에 일어나는 불가피한 수축에도 불구하고, 로터 디스크와 동일한 두께를 갖는 플라스틱 프레임이 형성될 수 있다.
다른 실시 형태에 따르면, 상기 플라스틱 프레임을 위해 제공되는 상기 몰드 공간부는 피더(feeder)를 위한 하나 이상의 공동부를 가질 수 있다. 그래서, 경화 과정 중에 공동의 형성을 억제하는 피더 또는 라이저가, 제조된 플라스틱 프레임에 형성된다.
다른 실시 형태에 따르면, 가열 장치가 제공될 수 있고, 이 가열 장치에 의해 적어도 하나의 주조 채널이 가열된다. 이러한 가열되는 채널의 사용으로, 용융된 플라스틱의 온도가 고르게 되며, 또한 유동 경로가 짧게 유지될 수 있다. 추가로, 그리하여 사출 압력이 감소될 수 있어, 몰딩이 정확한 몰드 치수로 최적으로 이루어질 수 있고 또한 특히 열가소성 재료의 균일한 결정화가 이루어질 수 있다. 균일한 결정화로 인해, 제조된 플라스틱 프레임의 더 큰 치수 안정성이 얻어지게 된다.
몰드를 배기하기 위한 충분한 영역을 가지며 또한 피더가 규칙적으로 배치되어 있는 최적의 주조 구조에 의해, 사출 및 홀딩 압력의 최소화가 더 간단하게 된다.
본 발명에 따른 방법은 본 발명에 따른 방법으로 수행될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 장치는 본 발명에 따른 방법을 수행하는데에 적할할 수 있다.
본 발명은 또한 양면 가공 기계의 로터 디스크에 관한 것으로, 이 로터 디스크는 적어도 하나의 오목부 및 본 발명에 따른 방법을 사용하여 상기 적어도 하나의 오목부에 주조된 적어도 하나의 링형 플라스틱 프레임을 갖는다. 상기 로터 디스크는 특히 양면 연마 기계용 로터 디스크일 수 있다.
예컨대, 아래의 표에 기재되어 있는 열가소성 재료는 플라스틱 프레임용으로 본 발명에 따라 사용될 수 있는 재료인데, 좌측 칼럼은 비충전 재료를 열거하고, 우측 칼럼은 섬유 성분으로 충전된 또는 그 섬유 성분이 제공되어 있는 재료를 열거한다.
| 열가소성 재료 | |
| 비충전 | 충전 |
| PEEK | PPS GF 40 |
| PTFE | PA 66 GF 50 |
| PFA | PA 66 GF 25 |
| PA 66 | PBT GF 50 |
| PET | PBT GF 30 |
| PBT | PES GF 30 |
| PES | PES GF 20 |
| PA 6 | PA6 GF 50 |
| PEI | PA6 GF 25 |
| PPSU | PEI GF 30 |
| PSU | PSU GF 30 |
| PA 12 | PSU GF 20 |
| PVDF | PA 12 GF 30 |
| POM-H | PVDF CF 10 |
| PP-H | PP GF 40 LF |
| PPO | PP GF 30 |
| PC | PP GF 20 |
| PE-HD | POM GF 25 |
| PE-UHMW | PC GF 30 |
| PC + ABS | PC GF 10 V0 |
| ABS | PPO GF20 |
| PE-LD | PC + ABS GF 20 |
| PMMA | SAN GF 35 |
| SAN | ABS GF17 |
| PS | |
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 더 상세히 설명한다.
도 1 은 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 장치의 단면도를 나타낸다.
도 2 는 도 1 에 개략적으로 나타나 있는 제 1 작업 상태에 있는 본 발명에 따른 장치의 일 부분의 확대 단면도를 나타낸다.
도 3 은 제 2 작업 상태에 있는 도 2 의 도를 나타낸다.
도 4 는 제 3 작업 상태에 있는 도 2 의 도를 나타낸다.
도 5 는 다른 예시적인 실시 형태에 따른 도 4 의 도를 나타낸다.
도 6 은 본 발명에 따른 방법으로 제조된 서로 다른 플라스틱 프레임을 갖는 로터 디스크의 단면도의 발췌를 나타낸다.
도 7 은 본 발명에 따른 방법 또는 본 발명에 따른 장치를 사용하여 제조된 플라스틱 프레임을 나타낸다.
도 2 는 도 1 에 개략적으로 나타나 있는 제 1 작업 상태에 있는 본 발명에 따른 장치의 일 부분의 확대 단면도를 나타낸다.
도 3 은 제 2 작업 상태에 있는 도 2 의 도를 나타낸다.
도 4 는 제 3 작업 상태에 있는 도 2 의 도를 나타낸다.
도 5 는 다른 예시적인 실시 형태에 따른 도 4 의 도를 나타낸다.
도 6 은 본 발명에 따른 방법으로 제조된 서로 다른 플라스틱 프레임을 갖는 로터 디스크의 단면도의 발췌를 나타낸다.
도 7 은 본 발명에 따른 방법 또는 본 발명에 따른 장치를 사용하여 제조된 플라스틱 프레임을 나타낸다.
다른 언급이 없으면, 동일한 참조 번호는 도면에서 동일한 대상을 나타낸다. 도 1 에 나타나 있는 장치는 제 1 몰드부(10)(특히, 제 1 몰드 반부), 및 제 2 몰드부(12)(특히, 제 2 몰드 반부)를 갖는다. 양면 가공 기계, 특히 양면 연마 기계의 로터 디스크(14)가 몰드 반부(10, 12) 사이에 클램핑되어 유지된다. 로터 디스크(14)는 예컨대 복수의 원형 오목부(16)를 가지며, 이들 원형 오목부 중의 하나를 도 1 에서 볼 수 있다. 작업 중에, 예컨대 실리콘 웨이퍼와 같은 원형 반도체 웨이퍼가 오목부(16)에서 부유된 상태로 유지되어 양면 가공 기계에서 가공된다. 도 1 에 나타나 있는 장치는, 오목부(16)에 삽입되어 링형 몰드 공동부(20)까지 그 오목부를 채우는 몰드 코어(18)를 갖는다. 참조 번호 "22, 24"는 도 1 에 있는 몰드 코어(18)에 형성되어 있는 주조 채널을 개략적으로 나타낸다. 도 1 에서 중앙 주조 채널(22)은 그의 상단부에서 압출기와 같은 용융 플라스틱 공급부(미도시)에 연결된다. 중앙 주조 통로(22)에 연결되는 주조 채널(24)은 몰드 공동부(20)에서 끝난다. 작업 중에, 도 1 에서 화살표로 나타나 있는 바와 같이, 용융 플라스틱은 공급부로부터 주조 채널(22, 24)을 통해 몰드 공동부(20) 안으로 전달된다.
도 2 에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 장치에서, 몰드부(10, 12) 각각은 링형(예컨대, 원형 링형) 시트(seat)를 갖는데, 링형, 예컨대 원형 링형 몰드 인서트(26, 28)가 링형 시트 안에 분리 가능하게 삽입된다. 몰드 인서트(26, 28)는 예컨대 몰드부(10, 12)에 나사 결합될 수 있다. 도 2 에서 알 수 있는 바와 같이, 몰드 공동부(20)(역시 링형, 예컨대 원형 링형임)는 몰드 코어(18), 오목부(16)를 형성하는 로터 디스크(14)의 내측 가장자리, 및 환형 링형 몰드 인서트(26, 28)의 내측면에 의해 범위가 정해진다. 이 몰드 공동부(20)는 로터 디스크(14)에 주조될 플라스틱 프레임을 위해 제공되는 몰드 공간부를 형성한다.
도 3 은 여전히 용융 가능한 플라스틱(30)을 몰드 채널(22, 24)을 통해 몰드 공동부(20) 안에서 주조한 직후의 작업 상태를 나타낸다. 도 2 및 3 에서 명확히 알 수 있는 바와 같이, 플라스틱 프레임을 위해 제공되어 있는 몰드 공동부(20)는, 오목부(16)의 축방향으로, 즉 도 2 및 3 에서 상하 방향으로 로터 디스크(14) 보다 긴 연장을 가지고 있다. 따라서, 여전히 유동성이 있는 플라스틱 재료는 도 3 에서 로터 디스크(14)의 상측면과 하측면을 약간 넘어 돌출해 있다. 이 실시 형태에 의해, 플라스틱 재료가 냉각 및 건조될 때 일어나는 수축이 보상된다. 도 4 는 플라스틱 프레임을 형성하는 플라스틱 재료(30)의 경화 상태를 나타낸다. 도 4 에서 쉽게 알 수 있는 바와 같이, 이 경화 상태에서 플라스택 재료(30)는 로터 디스크(14)의 상측면 및 하측면과 평평하게 되어 있다. 단지 완전성을 위해, 로터 디스크(14)의 상측면 또는 하측면과 몰드 인서트(26, 28)의 관련된 표면 사이의 틈(예컨대, 도 3 에서 볼 수 있음)은 충분히 작아서, 소성화된 플라스틱(30)은 그의 점성 때문애 그 틈 안으로 들어갈 수 없다.
도 5 에 있는 실시 형태는, 상측 몰드부(10)에 삽입되는 링형 몰드 인서트(26')는 도 2 ∼ 4 에 나타나 있는 링형 인서트(26') 보다 두껍다라는 점에서, 도 2 ∼ 4 에 나타나 있는 실시 형태와 다르다. 도 5 는 플라스틱 재료(30)가 냉각되어 경화된 상태를 나타낸다. 도 5 에서 알 수 있는 바와 같이, 몰드 인서트(26')의 더 큰 두께로 인해, 경화된 플라스틱(30)은 로터 디스크(14)의 상측면까지 완전히 연장되어 있지는 않다.
본 발명에 따른 장치 또는 본 발명에 따른 방법으로, 각각의 주조 인서트를 적절히 선택하여, 플라스틱 재료(30)로 형성되는 플라스틱 프레임의 원하는 정확한 치수를 유연하게 얻을 수 있다. 본 발명으로 가능한 다른 프레임의 기학적 구조가 도 6 에 예시되어 있다.
도 7 은 본 발명에 따른 방법 또는 본 발명에 따른 장치로 제조된 플라스틱 프레임(32)을 나타내고 있으며, 로터 디스크는 도시의 이유로 생략되어 있다. 알 수 있는 바와 같이, 플라스틱 프레임(32)은 그의 외주에서 도브테일형 형상(34)을 가지고 있는데, 이 형상은 로터 디스크(14)에 있는 오목부(16)의 내측면에 있는 동등한 도브테일형 형상에 대응한다. 참조 번호 "36, 38"로 나타나 있는 바와 같이, 플라스틱 사출 성형 과정 중에 생성된 피더(feeder) 또는 라이저가 플라스틱 프레임(32)의 내측을 가로질러 일정한 간격으로 분산되어 있는 것을 또한 볼 수 있다. 이들 피더는 플라스틱 프레임(32)의 마무리 작업 중에 제거된다. 이들 피더는 특히 플라스틱 사출 성형 과정 중에 공동의 형성을 방지하고 또한 사출 및 홀딩 압력을 낮게 해준다. 이리하여, 플라스틱 재료(30)가 더욱 균일하게 결정화되어 플라스틱 프레임(32)의 형상 유지가 개선된다.
본 발명에 의해, 로터 디스크의 오목부의 축방향으로 정확히 중심 맞춤된 플라스틱 프레임이 제조될 수 있다. 이 축방향 두께의 편차는 예컨대 ± 5 ㎛로 제한될 수 있는데, 바람직하게는 ± 2 ㎛, 더 바람직하게는 ± 1 ㎛로 제한될 수 있다. 특히 이는 플라스틱 프레임의 내측 가장자리로부터 적어도 0.5 mm, 최대 1 mm 떨어져 있는 플라스틱 프레임의 위치 각각에 대해서도 마찬가지다. 플라스틱 프레임의 두께 편차는, 예컨대, 내측 가장자리로부터 0.5 mm 내지 1 mm의 영역 내에서 측방 연장의 적어도 90%에 대해 목표 값 주위로 10 ㎛, 바람직하게는 4 ㎛, 더 바람직하게는 2 ㎛의 범위 내에 있을 수 있다.
위에서 언급한 모든 값들은, 통상적인 주변 공기로부터 물을 흡수한 플라스틱 프레임을 갖는 건조한 로터 디스크 및 실온에 대한 것이다.
Claims (14)
- 양면 가공 기계의 로터 디스크(14)의 오목부(16)에 링형 플라스틱 프레임(32)을 주조하기 위한 장치로서, 상기 오목부(16)는 양면 가공 기계에서의 양면 가공 중에 작업물을 유지시키는 역할을 하며, 상기 장치는 로터 디스크(14)를 사이에 수용하는 2개의 몰드부(10, 12), 및 로터 디스크(14)가 상기 몰드부(10, 12) 사이에 수용될 때 상기 오목부(16)를 부분적으로 채우는 몰드 코어(18)를 포함하고, 몰드 코어(18)는 적어도 하나의 주조 채널(22, 24)을 가지며, 주조 채널의 일 단부는 플라스틱 프레임(32)을 위해 제공되는 몰드 공간부에서 끝나며, 상기 주조 채널의 다른 단부는 소성화된 플라스틱(30)의 공급부에 연결될 수 있고, 상기 몰드부(10, 12) 중의 적어도 하나는 적어도 하나의 링형 시트(seat)를 가지며, 적어도 하나의 링형 몰드 인서트(26, 26', 28)가 상기 링형 시트 안에 분리 가능하게 삽입되어, 적어도 하나의 링형 몰드 인서트(26, 26', 28)는 상기 몰드 코어(18) 및 오목부(16)의 가장자리와 함께, 플라스틱 프레임(32)을 위해 제공되는 상기 몰드 공간부의 범위를 정하게 되는, 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 몰드부(10, 12) 각각은 적어도 하나의 링형 시트를 가지며, 적어도 하나의 링형 몰드 인서트(26, 26', 28)가 상기 링형 시트 안에 분리 가능하게 삽입되어, 링형 몰드 인서트(26, 26', 28)는 상기 몰드 코어(18) 및 오목부(16)의 가장자리와 함께, 플라스틱 프레임(32)을 위해 제공되는 상기 몰드 공간부의 범위를 정하게 되는, 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 장치. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 장치는 서로 다른 치수를 갖는 복수의 링형 몰드 인서트(26, 26', 28)를 포함할 수 있고, 상기 링형 몰드 인서트는 선택적으로 상기 적어도 하나의 링형 시트 안에 분리 가능하게 삽입될 수 있어, 서로 다른 치수를 갖는 상기 링형 몰드 인서트(26, 26', 28)를 삽입하여 플라스틱 프레임(32)을 위한 서로 다른 치수의 몰드 공간부가 형성될 수 있는, 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 장치. - 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 링형 몰드 인서트(26, 26', 28), 몰드 코어(18) 및 오목부(16)의 가장자리에 의해 범위가 정해지고 상기 플라스틱 프레임(32)을 위해 제공되는 상기 몰드 공간부는 오목부(16)의 축방향으로 상기 로터 디스크(14) 보다 긴 연장을 가질 수 있는, 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 장치. - 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 플라스틱 프레임(32)을 위해 제공되는 상기 몰드 공간부는 피더(feeder)(36, 38)를 위한 하나 이상의 공동부를 갖는, 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 장치. - 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
가열 장치가 제공되고, 가열 장치에 의해 상기 적어도 하나의 주조 채널(22, 24)이 가열되는, 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 장치. - 양면 가공 기계의 로터 디스크(14)의 오목부(16)에 링형 플라스틱 프레임(32)을 주조하기 위한 방법으로서, 상기 오목부(16)는 양면 가공 기계에서의 양면 가공 중에 작업물을 유지시키는 역할을 하며,
로터 디스크(14)가 2개의 몰드부(10, 12) 사이에 수용되고, 로터 디스크(14)가 상기 몰드부(10, 12) 사이에 수용되어 있을 때 상기 오목부(16)는 몰드 코어(18)로 부분적으로 채워지며, 몰드 코어(18)는 적어도 하나의 주조 채널(22, 24)을 가지며, 주조 채널의 일 단부는 플라스틱 프레임(32)을 위해 제공되는 몰드 공간부에서 끝나며, 상기 주조 채널의 다른 단부는 소성화된 플라스틱(30)의 공급부에 연결될 수 있는 단계,
적어도 하나의 링형 몰드 인서트(26, 26', 28)가 상기 몰드부(10, 12) 중의 적어도 한 몰드부의 적어도 하나의 링형 시트 안에 분리 가능하게 삽입되어, 적어도 하나의 링형 몰드 인서트(26, 26', 28)는 상기 몰드 코어(18) 및 오목부(16)의 가장자리와 함께, 플라스틱 프레임(32)을 위해 제공되는 상기 몰드 공간부의 범위를 정하게 되는 단계,
그런 다음, 상기 공급부에서 온 소성화된 플라스틱(30)이 상기 몰드 코어(18)의 적어도 하나의 주조 채널(22, 24)을 통해 상기 플라스틱 프레임(32)을 위해 제공되어 있는 몰드 공간부에서 주조되는 단계, 및
주조된 플라스틱(30)의 형상의 충분한 안정성이 얻어진 후에, 상기 오목부(16)에 주조되어 있는 플라스틱 프레임(32)과 함께 로터 디스크(14)가 제거되는단계를 포함하는, 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 방법. - 제 7 항에 있어서,
적어도 하나의 링형 몰드 인서트(26, 26', 28)가 상기 몰드부(10, 12)의 적어도 하나의 링형 시트 안에 분리 가능하게 삽입되어, 링형 몰드 인서트(26, 26', 28)는 상기 몰드 코어(18) 및 오목부(16)의 가장자리와 함께, 플라스틱 프레임(32)을 위해 제공되는 상기 몰드 공간부의 범위를 정하게 되는, 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 방법. - 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
서로 다른 로터 디스크(14)에 서로 다른 치수의 플라스틱 프레임(32)을 주조하기 위해, 서로 다른 치수를 갖는 링형 몰드 인서트(26, 26', 28)가 적어도 하나의 링형 시트 안에 삽입될 수 있는, 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 방법. - 제 7 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 링형 몰드 인서트(26, 26', 28), 몰드 코어(18) 및 오목부(16)의 가장자리에 의해 범위가 정해지고 상기 플라스틱 프레임(32)을 위해 제공되는 상기 몰드 공간부는 오목부(16)의 축방향으로 상기 로터 디스크(14) 보다 긴 연장을 가질 수 있는, 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 방법. - 제 7 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
하나 이상의 피더(36, 38)가 플라스틱 프레임(32)에 형성되는, 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 방법. - 제 7 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
적어도 상기 소성화된 플라스틱(30)을 주조하는 중에 상기 적어도 하나의 주조 채널(22, 24)을 가열하는, 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 방법. - 제 7 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 방법은 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 따른 장치로 수행되는, 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 방법. - 양면 가공 기계의 로터 디스크(14)로서, 적어도 하나의 오목부(16) 및 제 7 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 따른 방법으로 상기 적어도 하나의 오목부(16)에 주조된 적어도 하나의 링형 플라스틱 프레임(32)을 갖는, 양면 가공 기계의 로터 디스크.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102015112527.7 | 2015-07-30 | ||
| DE102015112527.7A DE102015112527B4 (de) | 2015-07-30 | 2015-07-30 | Vorrichtung und Verfahren zum Eingießen eines ringförmigen Kunststoffrahmens in eine Ausnehmung einer Läuferscheibe einer Doppelseitenbearbeitungsmaschine |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20170015241A true KR20170015241A (ko) | 2017-02-08 |
| KR101855197B1 KR101855197B1 (ko) | 2018-05-08 |
Family
ID=57796022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020160096901A KR101855197B1 (ko) | 2015-07-30 | 2016-07-29 | 양면 가공 기계의 로터 디스크의 오목부에 링형 플라스틱 프레임을 주조하기 위한 방법 및 장치 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US10543625B2 (ko) |
| JP (1) | JP6858943B2 (ko) |
| KR (1) | KR101855197B1 (ko) |
| CN (1) | CN106514917B (ko) |
| DE (1) | DE102015112527B4 (ko) |
| SG (1) | SG10201605952TA (ko) |
| TW (1) | TWI642528B (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170089867A (ko) * | 2014-12-16 | 2017-08-04 | 톈진 유니버시티 | 원통형 부품 연마 설비 및 그 작업편 추진 장치와 연마 방법 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7113694B2 (ja) * | 2018-07-31 | 2022-08-05 | 株式会社三井ハイテック | 鉄心製品の製造方法及び鉄心製品の製造装置 |
| CN112590087A (zh) * | 2020-12-21 | 2021-04-02 | 大连理工大学 | 一种模块化的海缆保护管浇注模具 |
Family Cites Families (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE232877C (ko) | ||||
| US3694124A (en) * | 1970-10-16 | 1972-09-26 | Robert W Saumsiegle | Injection blow molding equipment |
| DD232877A1 (de) | 1984-12-27 | 1986-02-12 | Werkzeugmasch Heckert Veb | Verfahren zur herstellung von zahnriemenscheiben |
| JPS6256111A (ja) * | 1985-09-05 | 1987-03-11 | Sony Corp | 樹脂封止金型 |
| GB2198385B (en) * | 1986-12-05 | 1990-02-07 | Metal Box Plc | Apparatus for injection moulding |
| JP2974238B2 (ja) * | 1994-11-30 | 1999-11-10 | 株式会社精工技研 | 型開き案内手段をもつディスク射出成形金型装置 |
| JP3654564B2 (ja) * | 1999-03-02 | 2005-06-02 | 矢崎総業株式会社 | 成形コネクタの製造方法 |
| AU2001251197A1 (en) * | 2000-03-30 | 2001-10-15 | Q 2100, Inc. | Apparatus and method for heating a polymerizable composition |
| JP3439726B2 (ja) * | 2000-07-10 | 2003-08-25 | 住友ベークライト株式会社 | 被研磨物保持材及びその製造方法 |
| DE10228441B4 (de) * | 2001-07-11 | 2005-09-08 | Peter Wolters Werkzeugmaschinen Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum automatischen Beladen einer Doppelseiten-Poliermaschine mit Halbleiterscheiben |
| JP2003305637A (ja) * | 2002-04-15 | 2003-10-28 | Shirasaki Seisakusho:Kk | 脆性薄板の研磨用ホルダ |
| JP2005140140A (ja) * | 2003-11-04 | 2005-06-02 | Shin Kobe Electric Mach Co Ltd | 樹脂製傘歯車及びその製造法 |
| JP2008114542A (ja) * | 2006-11-07 | 2008-05-22 | Toyo Tire & Rubber Co Ltd | 環状部材の成形型 |
| JP2008200834A (ja) * | 2007-02-22 | 2008-09-04 | Shirasaki Seisakusho:Kk | ワークホルダ |
| DE102007029907A1 (de) | 2007-06-28 | 2009-01-02 | Peter Wolters Gmbh | Läuerscheibe zum materialabtragenden Bearbeiten eines Werkstücks in einer Bearbeitungsmaschine sowie Doppelseiten-Bearbeitungsmaschine |
| CN100490105C (zh) * | 2007-10-29 | 2009-05-20 | 株洲南车时代电气股份有限公司 | 一种半导体芯片的灌胶方法及模具 |
| JP5163104B2 (ja) * | 2007-12-25 | 2013-03-13 | 新神戸電機株式会社 | 樹脂製回転体の製造方法及び樹脂製回転体成形用半加工品の製造方法 |
| JP2010006314A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Daihatsu Motor Co Ltd | 自動車の換気構造 |
| DE102009038942B4 (de) * | 2008-10-22 | 2022-06-23 | Peter Wolters Gmbh | Vorrichtung zur beidseitigen Bearbeitung von flachen Werkstücken sowie Verfahren zur gleichzeitigen beidseitigen Material abtragenden Bearbeitung mehrerer Halbleiterscheiben |
| US20100117262A1 (en) | 2008-11-13 | 2010-05-13 | Donald Gringer | Method of dual molding products with logos and other indicia |
| US8999721B2 (en) * | 2009-10-23 | 2015-04-07 | Therabrake, Inc. | Method and system to provide personalized pharmaceutical compositions and dosages |
| DE102010044223A1 (de) | 2010-02-24 | 2011-08-25 | Kern, H.-Jürgen, 83093 | Anguß für Formwerkzeug zur Herstellung einer Fußprothese auch geeignet für eine Produktion im Taktbetrieb einer Transporteinrichtung |
| JP2012116025A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Toyo Jushi Kk | 合成樹脂製成形品 |
| TWI519403B (zh) * | 2013-06-24 | 2016-02-01 | 緯創資通股份有限公司 | 量測熔體溫度的熱澆道結構 |
| JP2015108573A (ja) * | 2013-12-05 | 2015-06-11 | 中西金属工業株式会社 | リング形状インサート成形品 |
-
2015
- 2015-07-30 DE DE102015112527.7A patent/DE102015112527B4/de active Active
-
2016
- 2016-07-20 SG SG10201605952TA patent/SG10201605952TA/en unknown
- 2016-07-21 TW TW105123035A patent/TWI642528B/zh active
- 2016-07-25 JP JP2016145631A patent/JP6858943B2/ja active Active
- 2016-07-29 CN CN201610940389.7A patent/CN106514917B/zh active Active
- 2016-07-29 KR KR1020160096901A patent/KR101855197B1/ko active IP Right Grant
- 2016-07-29 US US15/223,702 patent/US10543625B2/en active Active
-
2019
- 2019-12-17 US US16/717,006 patent/US10987835B2/en active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170089867A (ko) * | 2014-12-16 | 2017-08-04 | 톈진 유니버시티 | 원통형 부품 연마 설비 및 그 작업편 추진 장치와 연마 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102015112527A1 (de) | 2017-02-02 |
| DE102015112527B4 (de) | 2018-11-29 |
| SG10201605952TA (en) | 2017-02-27 |
| CN106514917A (zh) | 2017-03-22 |
| CN106514917B (zh) | 2019-02-12 |
| TWI642528B (zh) | 2018-12-01 |
| US10987835B2 (en) | 2021-04-27 |
| JP6858943B2 (ja) | 2021-04-14 |
| US20170028596A1 (en) | 2017-02-02 |
| US20200114549A1 (en) | 2020-04-16 |
| KR101855197B1 (ko) | 2018-05-08 |
| TW201706103A (zh) | 2017-02-16 |
| US10543625B2 (en) | 2020-01-28 |
| JP2017030354A (ja) | 2017-02-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10987835B2 (en) | Method and device for casting a ring-shaped plastic frame in a recess of a rotor disk of a double-sided machining machine | |
| KR102401501B1 (ko) | 기판 프로세싱 챔버를 위한 에지 링 | |
| US9764443B2 (en) | Method of producing carrier for use in double-side polishing apparatus and method of double-side polishing wafers | |
| KR101196418B1 (ko) | 웨이퍼 연마용 리테이너 링 및 그 제조 방법 | |
| EP3308923B1 (en) | Tire mold and method for manufacturing tire mold | |
| WO2016107191A1 (zh) | 抛光夹具以及使用该抛光夹具进行抛光的方法 | |
| CN105793024B (zh) | 切割轮胎模具的区段的方法和提供用于模制轮胎的模具的区段的半成品元件 | |
| CA3002862C (en) | Press assembly having a press tool | |
| CN101557916A (zh) | 热固性树脂制成的成型品的制造方法和注射成型装置 | |
| WO2016036426A1 (en) | Molding tool and casting mold | |
| US9242341B2 (en) | CMP head structure | |
| EP1732721A1 (en) | Cutting tool for simultaneous facing and grooving of cmp pad | |
| EP3520984B1 (en) | Injection molding method and mold unit | |
| US10710272B2 (en) | Hybrid material airflow impression molds | |
| BRPI1004703A2 (pt) | dispositivo para a fabricaÇço de produtos de elastâmero | |
| CN102458793B (zh) | 制造齿轮的方法、成形装置及成形模 | |
| JP6541305B2 (ja) | タイヤ加硫モールドの製造方法 | |
| WO2019151410A1 (ja) | 射出成形機、および射出成形システム | |
| JPH0413559A (ja) | 自動研磨装置および自動研磨方法 | |
| ITUA20164621A1 (it) | Impianto e metodo di calibratura e/o squadratura di elementi squadrabili, quali manufatti ceramici o pietre naturali e simili |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right |