KR20160132462A

KR20160132462A - 마더 세라믹 기판, 세라믹 기판, 마더 모듈 부품, 모듈 부품 및 마더 세라믹 기판의 제조 방법

Info

Publication number: KR20160132462A
Application number: KR1020167028447A
Authority: KR
Inventors: 유키오 마에다; 마사시 마츠바라; 다이고 마츠바라; 마사토시 카리야
Original assignee: 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
Priority date: 2014-05-27
Filing date: 2015-03-24
Publication date: 2016-11-18
Also published as: CN106465536B; WO2015182229A1; KR101954631B1; JPWO2015182229A1; CN106465536A; US10257927B2; JP6222355B2; US20170079137A1

Abstract

분할하여 개개의 기판(세라믹 기판)으로 했을 때의 분할단면이 개개의 기판의 주면에 수직이 되도록 분할하는 것이 가능하며, 형상 정밀도가 높은 세라믹 기판을 얻는 것이 가능한 마더 세라믹 기판, 상기 마더 세라믹 기판으로부터 얻어지는 개개의 세라믹 기판, 상기 세라믹 기판을 구비한 모듈 부품, 및 마더 세라믹 기판의 제조 방법을 제공한다. 소정의 위치에서 분할하여 복수개의 각 기판으로 나눌 수 있도록 구성된 마더 세라믹 기판(1)에 있어서, 일방측 주면(2a)에 분할 위치를 규정하는 분할 홈(3)을 형성하고, 타방측 주면(2b)의 마더 세라믹 기판(1)을 두께 방향으로부터 보았을 경우에 일방측 주면(2a)의 분할 홈(3)이 형성된 위치에 대응하는 위치에 볼록조(4)를 형성한다. 분할 후에 얻어지는 각 기판(세라믹 기판)(31)이 각각 내부 도체를 구비한 구성이 되는 형태로 내부 도체를 배치한다.

Description

마더 세라믹 기판, 세라믹 기판, 마더 모듈 부품, 모듈 부품 및 마더 세라믹 기판의 제조 방법{MOTHER CERAMIC SUBSTRATE, CERAMIC SUBSTRATE, MOTHER MODULE COMPONENT, MODULE COMPONENT, AND MANUFACTURING METHOD FOR MOTHER CERAMIC SUBSTRATE}

본 발명은 소정의 위치에서 분할하여 복수개의 각 기판으로 나눌 수 있도록 구성된 마더 세라믹 기판, 상기 마더 세라믹 기판을 분할함으로써 얻어지는 세라믹 기판, 상기 마더 세라믹 기판을 사용한 마더 모듈 부품, 상기 마더 모듈 부품을 분할함으로써 얻어지는 모듈 부품, 및 마더 세라믹 기판의 제조 방법에 관한 것이다.

세라믹 기판을 제조하는 것에 있어서는 소성 후에 마더 세라믹 기판을 분할하여 개개의 세라믹 기판으로 분할하는 방법이 널리 사용되어 있다.

그리고, 소성 후의 마더 세라믹 기판을 소정의 치수의 개개의 세라믹 기판으로 분할하는 방법으로서, 예를 들면 특허문헌 1에는 분할 위치에 격자형상으로 연속된 돌기부를 갖는 프레스판을 사용하여 가압함으로써 마더 세라믹 적층체의 분할 위치에 격자형상으로 홈을 형성하고, 소성 후에 이 홈을 따라 소성 후의 마더 세라믹 적층체를 분할하여 적층 세라믹 기판을 얻는 방법이 기재되어 있다.

또한, 특허문헌 2에는 한쪽 표면에 점착재층을 형성한 소결 페라이트 기판에 적어도 1개의 연속하는 홈을 형성하고, 상기 연속하는 홈을 기점으로 하여 분할 가능한 소결 페라이트 기판을 형성하고, 이것을 분할함으로써 개개의 세라믹 기판으로 분할하는 방법이 개시되어 있다.

또한, 특허문헌 3에는 복수의 기판용 그린 시트를 적층하여 이루어지는 적층체의 양면에 수축 억제용 그린 시트를 배치함과 아울러, 수축 억제용 그린 시트의 적어도 한쪽에는 표면에 분할 홈의 형성 위치의 기준이 되는 분할 홈 형성 패턴을 형성한 수축 억제용 그린 시트를 사용하고, 수축 억제용 그린 시트의 상기 분할 홈 형성 패턴을 이용하여 상기 적층체의 표면에 기판 분할용의 분할 홈을 형성하고, 소성한 후 분할 홈을 따라 분할함으로써 다층 세라믹 기판을 제조하는 방법이 개시되어 있다.

그러나, 상기 특허문헌 1~3에 개시되어 있는 방법에서는 도 22(a), 도 22(b)에 나타내는 바와 같이 마더 기판(300)의 일방측 표면(300a)에 브레이크용의 분할 홈(301)을 형성하고, 이 분할 홈을 기점으로 하여 마더 기판(300)을 브레이크 하도록 구성되어 있고, 마더 기판의 편측 표면에밖에 브레이크의 기점이 없기 때문에 의도한 바와 같이 분할단면(302)이 마더 기판(300)의 표면(300a)에 수직이 되도록 마더 기판(300)을 분할하는 것은 곤란하며, 도 23에 모식적으로 나타내는 바와 같이 분할단면(302)이 주면에 수직이 되지 않고 비스듬하게 되어버리는 경우가 있다.

그 결과, 분할함으로써 얻어지는 개개의 세라믹 기판의 외관이나 치수에 불량이 발생하거나, 세라믹 기판이, 예를 들면 내부 전극을 갖는 다층 세라믹 기판 등일 경우에는 내부 전극의 노출 등의 치명적인 결함이 발생하거나 한다는 문제점이 있다.

또한, 브레이크의 기점이 되는 분할 홈이 얕을수록 비스듬하게 갈라질 우려가 늘어나고, 반대로 분할 홈이 지나치게 깊으면 취급 시에 세라믹 기판이 의도치 않게 갈라진다는 트러블을 초래하는 경우가 있다.

또한, 최근 마더 세라믹 기판 상태의 판형상의 페라이트 소결체(페라이트 시트)를 다수개의 개편으로 분할한 것이 전자파의 차단·흡수를 행하기 위한 전자파 차단·흡수재나 RFID나 NFC의 안테나 장치 등에 사용되어 있다. 또한, 이러한 페라이트 시트는 필요에 따라 그 편측 또는 양측에 유지 시트를 부착하여 사용되는 경우가 있다. 유지 시트는 1개의 개편에 대하여 1개 부착되는 경우 이외에 복수의 개편에 대하여 1개 부착되어 있는 것도 존재한다.

상술한 판형상의 페라이트 소결체(페라이트 시트)를 다수개의 개편으로 분할할 수 있도록 하기 위해서 그 편면에 분할 홈을 형성하는 것이 행해져지고 있다.

그러나, 최근 이러한 용도에 사용되는 페라이트 소결체(페라이트 시트)의 박형화(예를 들면, 200㎛ 두께 이하)가 진행되어 있어 적정한 깊이의 분할 홈을 형성하는 것이 곤란해져 있고, 분할 홈이 지나치게 깊으면 소성 전에 페라이트 시트가 분할되어버리고, 지나치게 얕으면 분할 홈을 따라 바르게 브레이크될 수 없고, 예를 들면 브레이크 시에 가늘게 갈라져 버리는 특성이 저하된다는 문제점이 있다.

일본 특허공개 2001-338832호 공보 일본 특허공개 2005-15293호 공보 일본 특허공개 2007-165540호 공보

본 발명은 상기 과제를 해결하는 것이며, 분할하여 개개의 기판(세라믹 기판)으로 했을 때의 분할단면이 개개의 기판의 주면에 수직이 되도록 분할하는 것이 가능하며, 형상 정밀도가 높은 세라믹 기판을 얻는 것이 가능한 마더 세라믹 기판, 그것을 분할함으로써 얻어지는 개개의 세라믹 기판, 상기 마더 세라믹 기판을 사용한 마더 모듈 부품, 그것을 분할함으로써 얻어지는 모듈 부품, 및 마더 세라믹 기판의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 마더 세라믹 기판은,

소정의 위치에서 분할하여 복수개의 각 기판으로 나눌 수 있도록 구성된 마더 세라믹 기판으로서,

일방측 주면에 분할 위치를 규정하는 분할 홈이 형성되고,

타방측 주면의 상기 마더 세라믹 기판을 두께 방향으로부터 보았을 경우에 상기 일방측 주면의 상기 분할 홈이 형성된 위치에 대응하는 위치에 볼록조가 형성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

또한, 본 발명의 마더 세라믹 기판에 있어서는 분할 후에 얻어지는 상기 각 기판이 각각 내부 도체를 구비한 구성이 되는 실시형태이며, 내부 도체를 구비하는 것이 바람직하다.

상술한 바와 같이 분할 후에 얻어지는 각 기판이 각각 내부 도체를 구비한 구성이 되도록 했을 경우, 내부에 회로나 전극 등의 도체를 구비한 세라믹 기판을 효율 좋게 제조하는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명의 세라믹 기판은 상기 본 발명의 마더 세라믹 기판을 상기 분할 홈을 따라 분할함으로써 얻어지는 상기 각 기판인 것을 특징으로 하고 있다.

또한, 본 발명의 마더 모듈 부품은 상기 본 발명의 마더 세라믹 기판의 분할 후에 각 기판이 되는 영역의 각각에 표면 실장 부품이 탑재되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

또한, 본 발명의 모듈 부품은 상기 본 발명의 마더 모듈 부품을 상기 마더 세라믹 기판의 상기 분할 홈을 따라 분할함으로써 얻어지는 것을 특징으로 하고 있다.

또한, 본 발명의 마더 세라믹 기판의 제조 방법은,

상기 본 발명의 마더 세라믹 기판을 제조하기 위한 방법으로서,

표면에 볼록조부가 형성된 제 1 금형과, 표면의 상기 제 1 금형의 상기 볼록조부와 정대하는 위치에 홈부가 형성된 제 2 금형을 사용하고,

미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 상기 제 1 금형의 상기 볼록조부가 형성된 면을 접촉시키고, 타방측 주면에 상기 제 2 금형의 상기 홈부가 형성된 면을 접촉시키고, 상기 제 1 금형과 상기 제 2 금형에 의해 프레스 가공을 행함으로써 상기 미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 상기 분할 홈을 형성함과 아울러, 타방측 주면의 상기 마더 세라믹 기판을 두께 방향으로부터 보았을 경우에 상기 일방측 주면의 상기 분할 홈이 형성된 위치에 대응하는 위치에 볼록조를 형성하는 공정과,

상기 분할 홈 및 상기 볼록조가 형성된 상기 미소성의 마더 세라믹 기판을 소성하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.

또한, 본 발명의 다른 마더 세라믹 기판의 제조 방법은,

미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 볼록조부가 형성된 금형의 상기 볼록조부가 형성된 면을 접촉시키고, 타방측 주면에 탄성체를 접촉시킨 상태로 정수압 프레스를 행하고, 상기 미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 상기 분할 홈을 형성함과 아울러, 타방측 주면의 상기 마더 세라믹 기판을 두께 방향으로부터 보았을 경우에 상기 일방측 주면의 상기 분할 홈이 형성된 위치에 대응하는 위치에 볼록조를 형성하는 공정과,

또한, 본 발명의 또 다른 마더 세라믹 기판의 제조 방법은,

미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 볼록조부가 형성된 금형의 상기 볼록조부가 형성된 면을 접촉시키고, 타방측 주면에 탄성체를 개재하여 강체를 배치한 상태로 프레스 가공을 행하고, 상기 미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 상기 분할 홈을 형성함과 아울러, 타방측 주면의 상기 마더 세라믹 기판을 두께 방향으로부터 보았을 경우에 상기 일방측 주면의 상기 분할 홈이 형성된 위치에 대응하는 위치에 볼록조를 형성하는 공정과,

또한, 본 발명의 또 다른 마더 세라믹 기판의 제조 방법은,

미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 홈부가 형성된 금형의 상기 홈부가 형성된 면을 접촉시키고, 프레스 가공을 행함으로써 상기 미소성의 마더 세라믹 기판의 상기 일방측 주면에 볼록조를 형성하는 공정과,

상기 미소성의 마더 세라믹 기판의 타방측 주면의 상기 마더 세라믹 기판을 두께 방향으로부터 보았을 경우에 상기 일방측 주면의 상기 볼록조가 형성된 위치에 대응하는 위치에 상기 분할 홈을 형성하기 위한 가공을 행하는 공정과,

또한, 본 발명의 세라믹 기판은,

평면형상이 사각형이며, 일방측 주면과 타방측 주면을 갖는 세라믹 기판으로서,

상기 타방측 주면의 4변 중, 적어도 1변은 볼록조를 갖고,

상기 일방측 주면의 4변 중, 상기 세라믹 기판을 두께 방향으로부터 보았을 경우에 상기 타방측 주면의 상기 볼록조가 형성된 위치에 대응하는 위치의 변은 모서리부가 모따기되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

(발명의 효과)

본 발명의 마더 세라믹 기판은 일방측 주면에 분할 위치를 규정하는 분할 홈이 형성되고, 타방측 주면의 마더 세라믹 기판을 두께 방향으로부터 보았을 경우에 일방측 주면의 분할 홈이 형성된 위치에 대응하는 위치에 볼록조가 형성되어 있으므로 이하와 같은 작용 효과를 나타낸다.

분할 홈을 따라 분할할 때에 마더 세라믹 기판의 주면에 대하여 거의 수직으로 분할할 수 있다.

마더 세라믹 기판을 분할할 때에는 일방측 주면에 형성된 분할 홈이 브레이크의 기점이 되도록 마더 세라믹 기판을 만곡시키는 힘이 가해진다.

이때, 타방측 주면에 형성된 볼록조(산부)의 끝에 응력을 집중시킬 수 있다. 그 결과, 마더 세라믹 기판을 분할할 때에 일방측 주면의 분할 홈으로부터 진전되는 크랙이 타방측 주면의 대향 위치에 있는 볼록조(산부)의 끝으로 유도된다.

그리고, 볼록조의 폭은 마더 세라믹 기판의 두께에 비해 작으므로 도 5(a)에 나타내는 바와 같이 크랙(C)이 연장됨으로써 분할된 마더 세라믹 기판(1)의 분할단면(분할 후의 세라믹 기판의 단면이기도 함)(31a)은 마더 세라믹 기판의 주면에 대하여 거의 수직이 된다.

또한, 본 발명의 마더 세라믹 기판에 있어서는 일방측 주면에 분할 홈을 형성하고, 타방측 주면에 볼록조를 형성하고 있으므로 분할 홈의 깊이와, 볼록조의 높이가 수㎛ 정도이어도(즉, 분할 홈의 깊이에 의존하는 일 없이) 확실하게 마더 세라믹 기판의 주면에 대하여 거의 수직으로 분할(파단)할 수 있다.

또한, 분할 홈을 얕게 할 수 있기 때문에 소성 전의 취급 시에 마더 세라믹 기판이 의도치 않게 분할되어버리는 것을 방지할 수 있다.

또한, 마더 세라믹 기판이, 예를 들면 전자파의 차단·흡수를 행하기 위한 전자파 차단·흡수재나, RFID나 NFC의 안테나 장치에 사용되는 페라이트 시트로서의 세라믹 기판(페라이트 각 기판)에 사용되는 것인 경우에도 분할단면이 수직이 되기 때문에 분할 후 집합 상태로 핸들링할 때 등에 페라이트 각 기판의 단면끼리가 스쳐 페라이트 분말이 발생하는(분말이 떨어지는) 것에 의한 분진의 발생을 초래하는 경우가 없다.

또한, 예를 들면 볼록조가 형성된 타방측 주면을 유지 필름(점착 테이프)에 부착하여 사용할 경우, 볼록조가 앵커로서 유지 필름에 파고드는 점에서 분할된 페라이트 각 기판이 유지 필름의 굴곡 시에 탈락하는 것을 억제하여 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 세라믹 기판은 상기 본 발명의 마더 세라믹 기판을 분할 홈을 따라 분할함으로써 얻어지는 각 기판(세라믹 기판)이며, 분할단면이 마더 세라믹 기판의 주면(=개개의 세라믹 기판의 주면)에 수직이며, 형상 정밀도가 높고, 여러 가지 용도에 널리 사용할 수 있다.

또한, 본 발명의 마더 모듈 부품은 상기 본 발명의 마더 세라믹 기판의 분할 후에 각 기판이 되는 영역의 각각에 표면 실장 부품이 탑재되어 있기 때문에 분할 홈을 따라 분할하는 것만으로 용이하며 또한 확실하게 신뢰성이 높은 모듈 부품을 얻을 수 있다.

또한, 본 발명의 마더 세라믹 기판의 제조 방법은 표면에 볼록조부가 형성된 제 1 금형과, 표면의 제 1 금형의 볼록조부와 정대한 위치에 홈부가 형성된 제 2 금형을 사용하고, 미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 제 1 금형의 볼록조부가 형성된 면을 접촉시키고, 타방측 주면에 제 2 금형의 홈부가 형성된 면을 접촉시키고, 제 1 금형과 제 2 금형에 의해 프레스 가공을 행하도록 하고 있으므로 일방측 주면에 분할 홈이 형성되고, 타방측 주면의 상기 분할 홈이 형성된 위치에 대응하는 위치에 볼록조가 형성된 미소성의 마더 세라믹 기판을 확실하게 제작할 수 있다.

그리고, 이 미소성의 마더 세라믹 기판을 소성함으로써 소결이 완료되며, 일방측 주면에 분할 홈을 구비하고, 타방측 주면에 볼록조를 구비한 마더 세라믹 기판을 효율 좋게 게다가 확실히 제조할 수 있다.

또한, 본 발명의 다른 마더 세라믹 기판의 제조 방법과 같이 미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 금형의 볼록조부가 형성된 면을 접촉시키고, 타방측 주면에 탄성체를 접촉시킨 상태로 정수압 프레스를 행하도록 했을 경우에도 일방측 주면에 분할 홈이 형성되고, 타방측 주면의 상기 분할 홈이 형성된 위치에 대응하는 위치에 볼록조가 형성된 미소성의 마더 세라믹 기판을 확실하게 제작하는 것이 가능해지고, 이것을 소성함으로써 소결이 완료되며, 일방측 주면에 분할 홈을 구비하고, 타방측 주면에 볼록조를 구비한 마더 세라믹 기판을 효율 좋게 게다가 확실하게 제조할 수 있다.

또한, 타방측 주면의 상기 분할 홈이 형성된 위치에 대응하는 위치에 볼록조가 형성되는 것은 금형의 볼록조부로부터 마더 세라믹 기판에 가해지는 압력에 의해 일방측 주면에는 분할 홈이 형성됨과 아울러, 타방측 주면에까지 그 힘이 전달되어 볼록조부가 형성되는 것에 의한다.

또한, 본 발명의 또 다른 마더 세라믹 기판의 제조 방법과 같이 미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 볼록조부가 형성된 금형의 볼록조부가 형성된 면을 접촉시키고, 타방측 주면에 탄성체를 개재하여 강체를 배치한 상태로 프레스 가공을 행하도록 했을 경우에도 일방측 주면에 분할 홈이 형성되고, 타방측 주면의 상기 분할 홈이 형성된 위치에 대응하는 위치에 볼록조가 형성된 미소성의 마더 세라믹 기판을 확실하게 제작하는 것이 가능해지고, 이것을 소성함으로써 소결이 완료되며, 일방측 주면에 분할 홈을 구비하고, 타방측 주면에 볼록조를 구비한 마더 세라믹 기판을 효율 좋게 게다가 확실하게 제조할 수 있다.

또한, 본 발명의 또 다른 마더 세라믹 기판의 제조 방법과 같이 미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 홈부가 형성된 금형의 홈부가 형성된 면을 접촉시켜서 프레스 가공을 행하고, 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 볼록조를 형성한 후, 타방측 주면에 분할 홈을 형성하기 위한 가공(홈 형성 가공)(예를 들면, 절삭 가공 등)을 행하도록 했을 경우에도 일방측 주면에 분할 홈이 형성되고, 타방측 주면의 상기 분할 홈이 형성된 위치에 대응하는 위치에 볼록조가 형성된 미소성의 마더 세라믹 기판을 확실히 제작하는 것이 가능해지고, 이것을 소성함으로써 소결이 완료되며, 일방측 주면에 분할 홈을 구비하고, 타방측 주면에 볼록조를 구비한 마더 세라믹 기판을 효율 좋게 게다가 확실하게 제조할 수 있다.

또한, 본 발명에 있어서 분할 홈이나 볼록조는 V자형상(역V자형상)인 것이 바람직하지만, U자형 조(역U자형상) 등의 다른 형상이어도 좋다.

도 1은 본 발명의 일실시형태(실시형태 1)에 있어서, 마더 세라믹 그린시트(미소성의 마더 세라믹 기판)를 제 1 금형과 제 2 금형 사이에 위치시킨 상태를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시형태 1에 있어서, 미소성의 마더 세라믹 기판을 제 1 금형과 제 2 금형에 의해 프레스하고 있는 상태를 나타내는 도면이다.
도 3(a)는 본 발명의 실시형태 1에 있어서, 프레스 후의 마더 세라믹 기판으로부터 제 1 금형과 제 2 금형을 분리한 상태를 나타내는 도면, 도 3(b)는 프레스 후의 마더 세라믹 기판의 평면도이다.
도 4a는 본 발명의 실시형태 1에 있어서 사용한 제 1 금형을 나타내는 도면이다.
도 4b는 본 발명의 실시형태 1에 있어서 사용한 제 2 금형을 나타내는 도면이다.
도 5(a)는 본 발명의 실시형태 1에 있어서, 마더 세라믹 기판이 분할 홈을 따르고, 또한 분할단면이 주면에 수직이 되는 형태로 분할되는 메커니즘을 설명하는 도면이며, 도 5(b)는 마더 세라믹 기판이 개개의 세라믹 기판에 분할된 상태를 나타내는 도면이다.
도 6(a)는 마더 세라믹 기판의 볼록조가 형성된 타방측 주면에 유지 필름을 부착한 상태를 나타내는 도면이며, 도 6(b)는 도 6(a)의 상태의 마더 세라믹 기판을 분할 홈을 따라 분할한 상태를 나타내는 도면이며, 도 6(c)는 유지 필름 상에 유지된 집합체로서의 세라믹 기판을 유지 필름째 만곡시킨 상태를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시형태 3에서 제작한 내부 전극을 구비한 마더 세라믹 기판을 나타내는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시형태(실시형태 2)에 있어서, 프레스 후의 마더 세라믹 기판으로부터 제 1 금형과 제 2 금형을 분리한 상태를 나타내는 도면이다.
도 9는 실시형태 2에 있어서, 마더 세라믹 기판이 개개의 세라믹 기판으로 분할된 상태를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시형태 3에 의한 모듈 부품의 제조 방법에 의해 제조한 모듈 부품의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 11은 본 발명의 실시형태 3에 있어서, 세라믹 그린시트에 도체 패턴을 형성한 패턴 형성 시트를 나타내는 사시도이다.
도 12는 도 11의 패턴 형성 시트를 소정의 순서로 적층한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 13은 도 12의 패턴 형성 시트를 적층한 적층체를 압착함으로써 얻은 적층체(미소성 마더 세라믹 기판)를 나타내는 사시도이다.
도 14는 도 13의 미소성 마더 세라믹 기판을 제 1 금형과 제 2 금형에 의해 프레스하고, 일방측 주면에 분할 홈, 타방측 주면에 볼록조를 형성한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 15는 도 14의 일방측 주면에 분할 홈, 타방측 주면에 볼록조를 형성한 마더 세라믹 기판에 표면 실장 부품을 탑재한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 16은 소성 후의 마더 세라믹 기판을 브레이크하여 개개의 모듈 부품으로 분할한 상태를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 17은 본 발명에 있어서 홈 및 볼록조를 형성하기 위한 다른 제 1 방법을 나타내는 도면이다.
도 18은 본 발명에 있어서 홈 및 볼록조를 형성하기 위한 다른 제 2 방법을 나타내는 도면이다.
도 19는 본 발명에 있어서 홈 및 볼록조를 형성하기 위한 다른 제 3 방법의 일공정을 나타내는 도면이다.
도 20은 본 발명에 있어서 홈 및 볼록조를 형성하기 위한 다른 제 3 방법에 있어서, 마더 세라믹 기판의 일방 주면에 볼록조를 형성한 상태를 나타내는 도면이다.
도 21은 본 발명에 있어서 홈 및 볼록조를 형성하기 위한 다른 제 3 방법에 있어서, 마더 세라믹 기판의 타방 주면에 분할 홈을 형성한 상태를 나타내는 도면이다.
도 22(a)는 종래의 마더 기판의 분할 방법을 나타내는 정면도이며, 도 22(b)는 평면도이다.
도 23은 종래의 마더 기판의 분할 방법의 문제점을 나타내는 도면이다.

이하에 본 발명의 실시형태를 나타내어 본 발명의 특징으로 하는 점을 더 상세하게 설명한다.

[실시형태 1]

이 실시형태 1에서는 세라믹 재료로서 자성체 세라믹을 사용한 세라믹 기판(페라이트 기판)의 제조 방법에 대하여 설명한다.

(1) 우선, 자성체 세라믹 분말(이 실시형태 1에서는 페라이트 분말)과 바인더 수지와 유기 용제를 혼합하고, 용해, 분산시킨 후, 탈포함으로써 세라믹 원료 슬러리를 제작했다.

그리고, 이 세라믹 원료 슬러리를 독터 블레이드법 등의 공지의 방법에 의해 시트형상으로 성형하고, 건조함으로써 두께 200㎛의 마더 세라믹 그린시트를 제작했다.

또한, 마더 세라믹 그린시트는 복수매의 세라믹 그린시트가 적층된 적층체이어도 좋다.

그리고, 얻어진 마더 세라믹 그린시트를 소정의 크기로 컷팅함으로써 본 발명에 있어서의 미소성의 마더 세라믹 기판인 컷팅이 완료된 마더 세라믹 그린시트를 얻었다.

(2) 이어서, 도 1에 나타내는 바와 같이 소정의 크기로 컷팅된 마더 세라믹 그린시트(미소성의 마더 세라믹 기판)(1)를 표면(10a)에 볼록조부(11)가 형성된 제 1 금형(10)과, 표면(20a)에 홈부(21)가 형성된 제 2 금형(20)의 사이에 위치시키고, 도 2에 나타내는 바와 같이 제 1 금형(10) 및 제 2 금형(20)에 의해 프레스했다. 이에 따라 일방측 주면(2a)에 분할 홈(3)이 형성되고, 타방측 주면(2b)에 볼록조(4)가 형성된 프레스 후의 마더 세라믹 기판(1(1A))(도 3)을 얻었다.

또한, 이 실시형태에서는 제 1 금형(10)으로서 도 4a에 나타내는 바와 같이 표면(10a)에 높이가 약 5㎛이며, 폭이 약 20㎛인 산형의 볼록조부(11)가 격자형상으로 형성된 구조의 것을 사용했다.

또한, 제 2 금형(20)으로서 도 4b에 나타내는 바와 같이 표면(20a)에 깊이가 약 5㎛이며, 폭이 약 20㎛인 V자형상의 홈부(21)가 격자형상으로 형성된 구조의 것을 사용했다.

제 1 금형(10)과 제 2 금형(20)을 사용하여 프레스를 행하는 것에 있어서는 마더 세라믹 기판(1)을 두께 방향으로부터 보았을 경우에 제 1 금형(10)의 표면(10a)에 형성된 볼록조부(11)가 형성된 위치에 대응하는 위치에 제 2 금형(20)의 표면(20a)에 형성된 V자형상의 홈부(21)가 위치하도록 제 1 금형(10)과 제 2 금형(20)의 위치 관계를 조절하여 프레스를 행했다(도 2 참조).

(3) 그리고, 프레스 후의 마더 세라믹 기판(1(1A))을 950℃에서 소성함으로써 소결이 완료된 마더 세라믹 기판(페라이트 소결 기판)(1(1B))을 얻었다.

(4) 이어서, 소결이 완료된 마더 세라믹 기판(1(1B))을. 예를 들면 롤러 브레이크 등의 방법에 의해 분할 처리를 실시하고, 분할 홈(3)을 따라 분할했다. 이때, 도 5(a)에 나타내는 바와 같이 일방측 주면(2a)의 분할 홈(3)에 있어서 발생한 크랙(C)은 타방측 주면(2b)의 볼록조(4)의 끝을 향해서 연장된다.

그리고, 볼록조(4)의 폭은 마더 세라믹 기판(1(1B))의 두께에 비해 작으므로 크랙(C)이 연장됨으로써 분할된 후에 얻어지는 세라믹 기판(31)의 분할단면(31a)은 세라믹 기판(31)의 주면(=마더 세라믹 그린시트의 일방측 주면(2a), 타방측 주면(2b))에 대하여 거의 수직이 된다.

그 결과, 마더 세라믹 기판(1(1B))을 분할 홈(3)을 따라 분할함으로써 분할단면(31a)이 세라믹 기판(31)의 주면(=마더 세라믹 그린시트의 일방측 주면(2a), 타방측 주면(2b))에 대하여 거의 수직인 세라믹 기판(31)이 얻어진다(도 5(b)참조).

이때, 도 5(b)에 나타내는 세라믹 기판(31)은 일방측 주면(상면)의 좌우의 모서리부가 상기 분할 홈(3a)(도 5(a))이 최심부에서 분할됨으로써 형성되는 모따기된 형상이 되고, 또한 타방측 주면(하면)의 일방측 단부(도 5(b)에서는 좌측의 단부)에는 상술한 볼록조(4)가 존재하고 있다. 또한, 일방측 단부(도 5(b)에서는 좌측의 단부)에만 상술한 볼록조(4)가 존재하는 것은 상술한 바와 같이 일방측 주면(2a)의 분할 홈(3)에 있어서 발생한 크랙(C)이 타방측 주면(2b)의 볼록조(4)의 끝을 향해서 연장되는 것에 의한 것이다.

단, 볼록조(4)가 주요부와 나머지 일부로 분할되는 형태로 상기 크랙(C)이 연장되었을 경우에는 타방측 주면(하면)의 일방측 단부와 타방의 단부의 각각 분할된 상기 볼록조(4)의 일부가 존재하는 경우도 있다.

또한, 본 발명의 마더 세라믹 기판(1(1B))에 있어서는 일방측 주면(2a)에 분할 홈(3)을 형성하고, 타방측 주면(2b)에 볼록조(4)를 형성하고 있으므로 분할 홈(3)의 깊이와, 볼록조(4)의 높이가 수㎛ 정도이어도 확실하게 마더 세라믹 기판(1(1B))의 주면(일방측 주면(2a), 타방측 주면(2b))에 대하여 거의 수직으로 분할(파단)할 수 있다.

이와 같이, 마더 세라믹 기판(1(1B))을 분할함으로써 얻어지는 세라믹 기판(31)은 분할단면(31a)이 개개의 세라믹 기판(31)의 주면에 수직이며, 형상 정밀도가 높고, 여러 가지 용도에 널리 사용할 수 있는 것이다.

또한, 도 6(a)에 나타내는 바와 같이 소결이 완료된 마더 세라믹 기판(1(1B))의 볼록조(4)가 형성된 면인 타방측 주면(2b)에, 예를 들면 유지 필름으로서 기능하는 점착 테이프(5)를 부착한 상태로, 예를 들면 롤러 브레이크 등의 방법에 의해 분할 처리를 실시하여 분할 홈(3)을 따라 분할하고(도 6(b)), 그 후 점착 테이프(5)를 박리함으로써 분할단면(31a)이 주면에 수직인 세라믹 기판(31)을 얻도록 할 수도 있다. 이러한 세라믹 기판(31)의 각각(각 기판)은 RFID나 NFC의 안테나 장치용의 자성체 세라믹 기판으로서 적합하게 사용할 수 있다.

또한, 유지 필름으로서 기능하는 점착 테이프(5)를 박리하지 않고 부착한 채 사용하는 것도 가능하다. 그 경우, 복수개가 집합 상태로 유지 필름(5) 상에 유지되어 전체적으로 유연성을 구비한 페라이트 시트로서 사용하는 것이 가능한 세라믹 기판(31)을 얻을 수 있다. 이러한 페라이트 시트로서의 세라믹 기판(31)은 전자파의 차단·흡수를 행하기 위한 전자파 차단·흡수재로서 적합하게 사용할 수 있다.

상기 어느 경우에 있어서나 복수개가 집합 상태로 유지 필름(5) 상에 유지된 집합체로서의 세라믹 기판(31)은, 예를 들면 집합 상태로 핸들링할 때에 도 6(c)에 나타내는 바와 같이 의도적으로 또는 의도하지 않고 전체를 만곡하거나, 구면형상으로 변형되거나 하는 것이 고려된다. 그 경우에도 유지 필름(5)의 굴곡 시에 개개의 세라믹 기판(페라이트 기판)(31)의 단면(분할단면)끼리가 스쳐 페라이트 분말이 발생하는(분말이 떨어지는) 것에 의한 분진의 발생을 초래하는 경우가 없다. 이에 따라 전자파 차단·흡수재나, RFID나 NFC의 안테나 장치 등에 적합하게 사용할 수 있다.

[실시형태 2]

이 실시형태 2에서는 세라믹 재료로서 저온 소결 세라믹을 사용한 세라믹 기판(다층 세라믹 기판)의 제조 방법에 대하여 설명한다.

(1) 우선, 유리 세라믹 분말(저온 소결 세라믹 분말)과 바인더 수지와 유기 용제를 혼합하여 용해, 분산시킨 후, 탈포함으로써 세라믹 원료 슬러리를 제작했다.

그리고, 이 세라믹 원료 슬러리를 독터 블레이드법 등의 공지의 방법에 의해 시트형상으로 성형하고, 건조함으로써 두께 50㎛의 마더 세라믹 그린시트를 복수매 제작했다.

이어서, 이 세라믹 원료 슬러리를 독터 블레이드법 등의 공지의 방법에 의해 시트형상으로 성형하고, 건조함으로써 두께 50㎛의 단일 마더 세라믹 그린시트를 복수매 제작했다.

그리고, 얻어진 마더 세라믹 그린시트를 소정의 크기로 컷팅하고, 각각에 내부 전극 형성용의 도전성 페이스트(Ag 페이스트)를 스크린 인쇄하여 내부 전극 패턴을 형성했다. 또한, 필요에 따라 마더 세라믹 그린시트에 관통 구멍을 형성하고, 도전성 페이스트를 충전함으로써 비아 도체(내부 전극의 1종)를 구비한 마더 세라믹 그린시트로 하는 것도 가능하다.

계속해서, 이 내부 전극 패턴을 구비한 마더 세라믹 그린시트를 소정의 순서로 적층함으로써 도 7에 나타내는 바와 같이 내부 전극(6)을 구비한 미소성의 마더 세라믹 기판(마더 세라믹 그린시트의 적층체)(1)을 얻었다.

(2) 그리고, 이 마더 세라믹 기판(1)을 상기 실시형태 1의 경우와 같은 금형을 사용하여 같은 방법에 의해 프레스하고, 도 8에 나타내는 바와 같이 일방측 주면(2a)에 분할 홈(3)이 형성되고, 타방측 주면(2b)에 볼록조(4)가 형성된 프레스 후의 마더 세라믹 기판(1(1A))을 얻었다. 도 8은 프레스 후에 제 1 금형(10)과 제 2 금형(20)을 마더 세라믹 기판(1(1A))으로부터 분리한 상태를 나타내고 있다.

(3) 그리고, 프레스 후의 마더 세라믹 기판(1(1A))을 900℃에서 소성함으로써 소결이 완료된 마더 세라믹 기판(1(1B))을 얻었다.

(4) 이어서, 소결이 완료된 마더 세라믹 기판(1(1B))을, 예를 들면 롤러 브레이크 등의 방법에 의해 분할 처리를 실시하고, 분할 홈(3)을 따라 분할함으로써 도 9에 나타내는 바와 같은 개개의 세라믹 기판(다층 세라믹 기판)(31)을 얻었다.

또한, 상술한 마더 세라믹 기판(1(1B))을 분할함으로써 얻어지는 세라믹 기판(다층 세라믹 기판)(31)은 도 9에 나타내는 바와 같이 분할단면(세라믹 기판(31)의 단면)(31a)이 개개의 세라믹 기판(31)의 주면에 수직이며, 형상 정밀도가 높아 여러 가지 용도에 널리 사용할 수 있는 것이다.

[실시형태 3]

이 실시형태 3에서는 도 10에 나타내는 바와 같이 표면 도체, 내부 도체, 비아 도체 등을 구비한 세라믹 기판(다층 세라믹 기판)(1)이 표면 실장 부품(151)을 탑재하여 이루어지는 모듈 부품(150)의 제조 방법에 대하여 설명한다.

(1) 우선, 상기 실시형태 2의 경우와 마찬가지의 방법에 의해 세라믹 그린시트(저온 소결 세라믹 그린시트)(1)를 제작하고, 얻어진 세라믹 그린시트(1)에, 예를 들면 표면 도체나 내부 도체가 되는 도체 패턴의 형성, 비아 홀의 형성 및 상기 비아 홀로의 비아 도체가 되는 도체 재료의 충전 등을 행하여 도 11에 나타내는 바와 같이 필요한 도체 패턴(140)을 구비한 패턴 형성 시트(101a)를 제작한다.

(2) 그리고, 도체 패턴(140)을 구비한 패턴 형성 시트(101a)를 소정의 순서로 적층하고(도 12), 얻어진 적층체를 자루에 넣어 탈기한 후 밀폐하여 소정의 온도로 가열한 후, 정수압 프레스를 행함으로써 도 13에 나타내는 바와 같이 각패턴 형성 시트(101a)가 압착된 적층체(미소성의 마더 세라믹 기판)(1)를 얻었다.

(3) 그리고, 도 14에 나타내는 바와 같이 미소성의 마더 세라믹 기판(1)을 상기 실시형태 1 및 2의 경우와 같은 금형을 사용하여 같은 방법에 의해 프레스하여 일방측 주면(2a)에 분할 홈(3)이 형성되고, 타방측 주면(2b)에 볼록조(4)가 형성된 프레스 후의 마더 세라믹 기판(1(1A))을 얻었다.

(4) 이어서, 프레스 후의 마더 세라믹 기판(1(1A))을 900℃에서 소성함으로써 소결이 완료된 마더 세라믹 기판(1(1B))을 얻었다.

(5) 그리고, 소결이 완료된 마더 세라믹 기판(1(1B))(도 15)의 소성 후에 개개의 세라믹 기판(31)이 되는 각 영역 상에 각 표면 실장 부품(151)을 탑재했다.

또한, 표면 실장 부품(151)으로서, 예를 들면 IC칩, 적층 세라믹 콘덴서, 칩 인덕터, 칩 저항 등이 탑재된다.

(6) 그리고, 각 세라믹 기판 상에 표면 실장 부품(151)이 탑재된 마더 세라믹 기판(1(1B))을 분할 홈(3)을 따라 분할했다(도 16). 이에 따라 분할단면(31a)이 그 주면에 수직인 치수 정밀도, 형상 정밀도가 높은 각 세라믹 기판(다층 세라믹 기판)(31) 상에 표면 실장 부품(151)이 탑재된 개개의 모듈 부품(150)이 얻어진다.

또한, 도 16에 나타내는 세라믹 기판(다층 세라믹 기판)(31)의 경우에도 일방측 주면(상면)의 좌우의 모서리부가 상술한 분할 홈(3a)(도 5(a) 참조)이 최심부에서 분할됨으로써 형성되는 모따기된 형상이 되고(도 5(b) 참조), 또한 타방측 주면(하면)의 일방측 단부(도 5(b)에서는 좌측의 단부)에는 상기 볼록조(4)가 존재하고 있지만, 도 16에서는 모서리부의 모따기된 형상이나 타방측 주면(하면)의 볼록조의 도시되는 것은 생략하고 있다.

또한, 상기 실시형태 3에서는 다층 세라믹 기판 상에 표면 실장형 전자부품이 탑재된 모듈 부품을 예로 들어서 설명했지만, 본 발명은 단층의 세라믹 기판 상에 표면 실장형 전자부품이 탑재된 모듈 부품을 제조하는 경우에도 적용하는 것이 가능하다.

이 실시형태 3의 방법에 의하면 치수 정밀도, 형상 정밀도가 높은 세라믹 기판 상에 표면 실장 부품이 탑재된 모듈 부품을 효율 좋게 제조할 수 있다.

[실시형태 4]

상기 실시형태 1, 2, 3에 있어서는 볼록조부가 형성된 제 1 금형과, 홈부가 형성된 제 2 금형을 사용하여 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 분할 홈을, 타방측 주면에 볼록조를 형성하도록 하고 있지만, 이하에 설명하는 방법에 의해서도 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 분할 홈을, 타방측 주면에 볼록조를 형성하는 것이 가능하다.

(1) 홈 및 볼록조를 형성하기 위한 다른 제 1 방법

도 17에 모식적으로 나타내는 바와 같이 미소성의 마더 세라믹 기판(1)의 일방측 주면(2a)에 볼록조부(51)가 형성된 금형(50)의 상기 볼록조부(51)가 형성된 면을 접촉시키고, 타방측 주면(2b)에 정수압 프레스용 탄성체(52)를 접촉시킨 상태로 전체를 자루형상 부재(53)에 수용하고, 수중에서 가압하는 정수압 프레스를 행한다. 이에 따라 볼록조부(51)에 의한 프레스 압력에 의해 미소성의 마더 세라믹 기판(1)의 일방측 주면(2a)의 볼록조부(51)에 대응하는 위치에 분할 홈(3)이 형성됨과 아울러, 미소성의 마더 세라믹 기판(1)의 타방측 주면(2b)에 볼록조(4)가 형성된다.

또한, 자루형상 부재(53)에 정수압 프레스용 탄성체(52)의 기능을 겸하게 하여 정수압 프레스용 탄성체(52)를 사용하지 않고 정수압 프레스를 행하는 것도 가능하며, 정수압 프레스의 구체적인 방법에 특별히 제한은 없다.

이 방법의 경우에도 미소성의 마더 세라믹 기판(1)의 일방측 주면(2a)에 분할 위치를 규정하는 분할 홈(3)을 형성함과 아울러, 타방측 주면(2b)의 미소성의 마더 세라믹 기판(1)을 두께 방향으로부터 보았을 경우에 일방측 주면(2a)의 분할 홈(3)이 형성된 위치에 대응하는 위치에 볼록조(4)를 구비한 마더 세라믹 기판(1)을 형성할 수 있다.

(2) 홈 및 볼록조를 형성하기 위한 다른 제 2 방법

도 18에 모식적으로 나타내는 바와 같이 미소성의 마더 세라믹 기판(1)의 일방측 주면(2a)에 볼록조부(51)가 형성된 금형(50)의 상기 볼록조부(51)가 형성된 면을 접촉시키고, 타방측 주면(2b)에 탄성체(62)를 개재하여 강체(63)를 배치한 상태로 프레스 가공을 행한다.

(3) 홈 및 볼록조를 형성하기 위한 다른 제 3 방법

도 19에 나타내는 바와 같이 평탄한 강체(63) 상에 적재한 미소성의 마더 세라믹 기판(1)의 타방측 주면(2b)에 홈부(61)가 형성된 금형(60)의 상기 홈부(61)가 형성된 면을 접촉시키고, 프레스 가공을 행함으로써 도 20에 나타내는 바와 같이 미소성의 마더 세라믹 기판(1)의 타방측 주면(2b)에 볼록조(4)를 형성한다.

그리고, 도 21에 나타내는 바와 같이 미소성의 마더 세라믹 기판(1)의 일방측 주면(2a)에 홈 형성 가공을 행하여 미소성의 마더 세라믹 기판(1)의 일방측 주면(2a)의 미소성의 마더 세라믹 기판(1)을 두께 방향으로부터 보았을 경우에 타방측 주면(2b)의 볼록조(4)가 형성된 위치에 대응하는 위치에 분할 홈(3)을 형성한다.

홈 형성 가공에는 절삭 가공, 레이저 가공 등의 방법을 적용하는 것이 가능하다.

또한, 상기 실시형태에서는 분할 홈 및 볼록조가 V자형상(역V자형상)인 경우를 예로 들어서 설명했지만, 분할 홈 및 볼록조는 U자형 조(역U자형상) 등의 다른 형상으로 하는 것도 가능하다.

또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 제조하는 세라믹 기판의 치수나 형상, 제조 공정에서 미소성 마더 세라믹 기판에 홈 및 볼록조를 형성하는 방법이나 그것에 사용하는 장치의 종류, 소결이 완료된 마더 세라믹 기판을 브레이크하는 방법 등에 관한 것이며, 발명의 범위 내에 있어서 여러 가지 응용, 변형을 추가하는 것이 가능하다.

1 : 마더 세라믹 기판
1(1A) : 분할 홈과 볼록조를 구비한 마더 세라믹 기판
1(1B) : 소결이 완료된 마더 세라믹 기판
2a : 마더 세라믹 기판의 일방측 주면
2b : 타방측 주면 3 : 분할 홈
4 : 볼록조 5 : 점착 테이프(유지 필름)
6 : 내부 전극 10 : 제 1 금형
10a : 제 1 금형의 표면 11 : 볼록조부
20 : 제 2 금형 20a : 제 2 금형의 표면
21 : 홈부 31 : 세라믹 기판
31a : 분할단면(세라믹 기판의 단면) 50 : 금형
51 : 볼록조부 52 : 정수압 프레스용 탄성체
53 : 자루형상 부재 60 : 금형
61 : 홈부 62 : 탄성체
63 : 강체 101a : 패턴 형성 시트
140 : 도체 패턴 150 : 모듈 부품
151 : 표면 실장 부품 C : 크랙

Claims

소정의 위치에서 분할하여 복수개의 각 기판으로 나눌 수 있도록 구성된 마더 세라믹 기판으로서,
일방측 주면에 분할 위치를 규정하는 분할 홈이 형성되고,
타방측 주면의 그 마더 세라믹 기판을 두께 방향으로부터 보았을 경우에 상기 일방측 주면의 상기 분할 홈이 형성된 위치에 대응하는 위치에 볼록조가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마더 세라믹 기판.
제 1 항에 있어서,
분할 후에 얻어지는 상기 각 기판이 각각 내부 도체를 구비한 구성이 되는 형태로 내부 도체를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 마더 세라믹 기판.
제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 마더 세라믹 기판을 상기 분할 홈을 따라 분할함으로써 얻어지는 상기 각 기판인 것을 특징으로 하는 세라믹 기판.
제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 마더 세라믹 기판의 분할 후에 각 기판이 되는 영역의 각각에 표면 실장 부품이 탑재되어 있는 것을 특징으로 하는 마더 모듈 부품.
제 4 항에 기재된 마더 모듈 부품을 상기 마더 세라믹 기판의 상기 분할 홈을 따라 분할함으로써 얻어지는 것을 특징으로 하는 모듈 부품.
제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 마더 세라믹 기판을 제조하기 위한 방법으로서,
표면에 볼록조부가 형성된 제 1 금형과, 표면의 상기 제 1 금형의 상기 볼록조부와 정대하는 위치에 홈부가 형성된 제 2 금형을 사용하고,
미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 상기 제 1 금형의 상기 볼록조부가 형성된 면을 접촉시키고, 타방측 주면에 상기 제 2 금형의 상기 홈부가 형성된 면을 접촉시키고, 상기 제 1 금형과 상기 제 2 금형에 의해 프레스 가공을 행함으로써 상기 미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 상기 분할 홈을 형성함과 아울러, 타방측 주면의 상기 마더 세라믹 기판을 두께 방향으로부터 보았을 경우에 상기 일방측 주면의 상기 분할 홈이 형성된 위치에 대응하는 위치에 볼록조를 형성하는 공정과,
상기 분할 홈 및 상기 볼록조가 형성된 상기 미소성의 마더 세라믹 기판을 소성하는 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 마더 세라믹 기판의 제조 방법.
제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 마더 세라믹 기판을 제조하기 위한 방법으로서,
미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 볼록조부가 형성된 금형의 상기 볼록조부가 형성된 면을 접촉시키고, 타방측 주면에 탄성체를 접촉시킨 상태로 정수압 프레스를 행하고, 상기 미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 상기 분할 홈을 형성함과 아울러, 타방측 주면의 상기 마더 세라믹 기판을 두께 방향으로부터 보았을 경우에 상기 일방측 주면의 상기 분할 홈이 형성된 위치에 대응하는 위치에 볼록조를 형성하는 공정과,
상기 분할 홈 및 상기 볼록조가 형성된 상기 미소성의 마더 세라믹 기판을 소성하는 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 마더 세라믹 기판의 제조 방법.
제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 마더 세라믹 기판을 제조하기 위한 방법으로서,
미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 볼록조부가 형성된 금형의 상기 볼록조부가 형성된 면을 접촉시키고, 타방측 주면에 탄성체를 통해 강체를 배치한 상태로 프레스 가공을 행하고, 상기 미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 상기 분할 홈을 형성함과 아울러, 타방측 주면의 그 마더 세라믹 기판을 두께 방향으로부터 보았을 경우에 상기 일방측 주면의 상기 분할 홈이 형성된 위치에 대응하는 위치에 볼록조를 형성하는 공정과,
상기 분할 홈 및 상기 볼록조가 형성된 상기 미소성의 마더 세라믹 기판을 소성하는 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 마더 세라믹 기판의 제조 방법.
제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 마더 세라믹 기판을 제조하기 위한 방법으로서,
미소성의 마더 세라믹 기판의 일방측 주면에 홈부가 형성된 금형의 상기 홈부가 형성된 면을 접촉시키고, 프레스 가공을 행함으로써 상기 미소성의 마더 세라믹 기판의 상기 일방측 주면에 볼록조를 형성하는 공정과,
상기 미소성의 마더 세라믹 기판의 타방측 주면의 그 마더 세라믹 기판을 두께 방향으로부터 보았을 경우에 상기 일방측 주면의 상기 볼록조가 형성된 위치에 대응하는 위치에 상기 분할 홈을 형성하기 위한 가공을 행하는 공정과,
상기 분할 홈 및 상기 볼록조가 형성된 상기 미소성의 마더 세라믹 기판을 소성하는 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 마더 세라믹 기판의 제조 방법.
평면형상이 사각형이며, 일방측 주면과 타방측 주면을 갖는 세라믹 기판으로서,
상기 타방측 주면의 4변 중, 적어도 1변은 볼록조를 갖고,
상기 일방측 주면의 4변 중, 상기 세라믹 기판을 두께 방향으로부터 보았을 경우에 상기 타방측 주면의 상기 볼록조가 형성된 위치에 대응하는 위치의 변은 모서리부가 모따기되어 있는 것을 특징으로 하는 세라믹 기판.