JP4010258B2 - 回路基板の製造方法及びパワーモジュール用基板の製造方法 - Google Patents
回路基板の製造方法及びパワーモジュール用基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4010258B2 JP4010258B2 JP2003039902A JP2003039902A JP4010258B2 JP 4010258 B2 JP4010258 B2 JP 4010258B2 JP 2003039902 A JP2003039902 A JP 2003039902A JP 2003039902 A JP2003039902 A JP 2003039902A JP 4010258 B2 JP4010258 B2 JP 4010258B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit board
- manufacturing
- groove
- power module
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、パワーモジュールを搭載するのに好適な回路基板の製造方法及びパワーモジュール用基板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子の中でも電力供給のためのパワーモジュールは発熱量が比較的高いため、これを搭載する基板としては、通常、セラミックス基板上にCu又はAl等の回路基板が直接又はろう材・はんだ材を介して接着されたものが用いられる。
上記回路基板は、金属板上にレジスト膜で所定パターンのマスクを施した状態で、ウェットエッチングにより所定の回路形状にパターンニングしたものであり、一般的なシリコン基板上に形成されるCuの配線等の薄膜回路に比べて厚い板状のものである(特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開昭62−226692号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の回路基板の製造技術には、以下の課題が残されている。すなわち、図4の(a)(b)に示すように、セラミックス基板1上の金属板2が比較的厚いため、ウェットエッチングによりパターン形成を行うと、等方性エッチングのためにレジスト膜3下にアンダーカットを生じ、アスペクト比が低下してしまう不都合があった。このため、エッチング不足が生じた場合、図4の(b)に示すように、断面V字状のエッチング溝2aとなり、該溝2aで金属板2を完全に分離できないおそれがあった。また、厚い金属板では、回路パターンの細かい(幅の狭い)パターン形成が困難であった。また、イオンビームを用いたドライエッチング(RIBE等)を採用する場合、条件により異方性エッチングが可能であり高いアスペクト比によりマスク寸法に等しいパターン形成が実現できるが、ウェットエッチングに比べて製造コストが高くなるという不都合がある。
【0005】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、厚い金属板でも高アスペクト比でウェットエッチングによりパターン形成を行うことができる回路基板の製造方法及びパワーモジュール用基板の製造方法並びに回路基板及びパワーモジュール用基板
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、本発明の回路基板の製造方法は、金属板上にマスクを施して、マスクされていない部分をウェットエッチングにより除去してパターンニングされた回路基板を製造する方法であって、前記金属板上のマスクされていない部分の中央に溝を予め形成する溝形成工程を有し、該溝形成工程後に、前記ウェットエッチングを行うことを特徴とする。
【0007】
この回路基板の製造方法では、金属板上のマスクされていない部分の中央に溝を予め形成する溝形成工程を有し、該溝形成工程後に、ウェットエッチングを行うので、予め形成した溝からもエッチングされるため、擬似的な異方性エッチングとなり、深さ方向が速くエッチングされて最終的にはアスペクト比0.5〜1.5の高い矩形状のエッチング溝を形成することができる。また、溝を形成しない場合に比べて、エッチング時間の短縮を図ることができる。
【0008】
本発明のパワーモジュール用基板の製造方法は、セラミックス基板と該セラミックス基板上にパターンニングされた回路基板とを備え、該回路基板上に半導体素子が搭載されるパワーモジュール用基板の製造方法であって、前記回路基板を、上記本発明の回路基板の製造方法で作製することを特徴とする。すなわち、このパワーモジュール用基板の製造方法では、回路基板を上記本発明の回路基板の製造方法で作製するので、厚い回路基板でもアスペクト比0.5〜1.5の高い溝でパターンを完全に分離することができると共に幅の狭いパターン形成が可能になる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る回路基板の製造方法及びパワーモジュール用基板の製造方法並びに回路基板及びパワーモジュール用基板の一実施形態を、図1から図3を参照しながら説明する。
【0012】
本実施形態のパワーモジュール用基板は、電力供給用の半導体素子を搭載するための回路基板を有するものである。この回路基板及びパワーモジュール用基板の構造を、その製造プロセスと合わせて説明すると、まず、図1の(a)に示すように、Al2O3等を含むセラミックス基板1の表面に、格子状の突条部10aを有する型10を型押しして、予め格子状の溝であるブレークライン1aを形成しておく。次に、図1の(b)に示すように、セラミックス基板1上に直接又はろう材を介してAl(アルミニウム)の金属板2を接着する。
【0013】
さらに、図1の(b)及び図2に示すように、セラミックス基板1のブレークライン1aに合わせて、金属板2の表面に型100による型押しをしてパターン用溝2bの一部を形成する。この場合に形成されたパターン用溝2bは、隣接するパワーモジュールの金属板2を互いに分離するパターン形成の領域に配されるものである。さらに、所望の回路パターンの中央に対応させた突条部を有する別の型を用いて、金属板2の表面に型押しし、所望の回路パターンの中央に位置するようパターン用溝2bを形成しておく。
【0014】
次に、金属板2の表面に、レジストを塗布してレジスト膜3を形成した後、フォトリソグラフィ技術により、レジスト膜3に所定のパターンのフォトマスクを施して露光し、現像して、図2の(a)に示すように、回路パターンとして後述するエッチング工程で抜く部分を除去する。なお、レジスト膜のマスクは、現像型だけでなく、熱乾燥させて形成することもできる。また、残存するレジスト膜(マスク)3にマスクされていない部分の中央に、上記パターン用溝2bが配されるように設定する。
【0015】
次に、エッチャントにCuCl3、FeCl3等を用いて金属板2をウェットエッチングして、レジスト膜3でマスクされていない部分を除去する。この際、レジスト膜3にマスクされていない部分では、図2の(b)に示すように、予め設けておいたパターン用溝2bからもエッチングが進むため、擬似的な異方性エッチングとなり、深さ方向が速くエッチングされてアンダーカットが少なくなる。そして、最終的には、図2の(c)に示すように、アスペクト比の高い矩形状のエッチング溝2aがされる。このようにして所望の回路パターンが形成された回路基板4を有するパワーモジュール用基板が形成される。
【0016】
本実施形態では、金属板2上のマスクされていない部分の中央にパターン用溝2bを予め形成する工程を有し、該工程後に、ウェットエッチングを行うので、深さ方向のエッチング量が少なくてすみ、アスペクト比0.5〜1.5の高い矩形状のエッチング溝2aを形成することができる。また、パターン用溝2bを形成しない場合に比べて、エッチング時間の短縮を図ることができる。
【0017】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
上記実施形態では、回路基板をパワーモジュール用基板に適用したが、電力供給用半導体素子以外の素子を搭載するモジュール用基板に適用しても構わない。また、パターン用溝を型による型押しで形成したが、他の手段で形成しても構わない。例えば、レーザー加工により形成しても構わない。
【0018】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明の回路基板の製造方法及びパワーモジュール用基板の製造方法によれば、金属板上のマスクされていない部分の中央に溝を予め形成する溝形成工程を有し、該溝形成工程後に、ウェットエッチングを行うので、予め形成した溝からもエッチングされるため、アスペクト比の高い矩形状のエッチング溝を形成することができ、厚い金属板でも高アスペクト比でウェットエッチングによりパターン形成を行うことができる。
また、溝を形成しない場合に従来の手段に比べて、エッチング時間の短縮を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る一実施形態において、型によるブレイクラインの形成及びパターン用溝の形成を示す要部の概略的な断面図である。
【図2】 本発明に係る一実施形態において、レジスト膜のマスク形成後の製造工程を示す概略的な断面図である。
【図3】 本発明に係る一実施形態において、パターン用溝とブレイクラインとの位置関係を示す要部の平面図である。
【図4】 本発明に係る従来例において、レジスト膜のマスク形成後の製造工程を示す概略的な断面図である。
【符号の説明】
1 セラミックス基板
2 金属板
2a エッチング溝
2b パターン用溝
3 レジスト膜(マスク)
4 回路基板
Claims (2)
- 金属板上にマスクを施して、マスクされていない部分をウェットエッチングにより除去してパターンニングされた回路基板を製造する方法であって、前記金属板上のマスクされていない部分の中央に溝を予め形成する溝形成工程を有し、該溝形成工程後に、前記ウェットエッチングを行うことを特徴とする回路基板の製造方法。
- セラミックス基板と該セラミックス基板上にパターンニングされた回路基板とを備え、該回路基板上に半導体素子が搭載されるパワーモジュール用基板の製造方法であって、前記回路基板を、請求項1に記載の回路基板の製造方法で作製することを特徴としたパワーモジュール用基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003039902A JP4010258B2 (ja) | 2003-02-18 | 2003-02-18 | 回路基板の製造方法及びパワーモジュール用基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003039902A JP4010258B2 (ja) | 2003-02-18 | 2003-02-18 | 回路基板の製造方法及びパワーモジュール用基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004253463A JP2004253463A (ja) | 2004-09-09 |
JP4010258B2 true JP4010258B2 (ja) | 2007-11-21 |
Family
ID=33023945
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003039902A Expired - Lifetime JP4010258B2 (ja) | 2003-02-18 | 2003-02-18 | 回路基板の製造方法及びパワーモジュール用基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4010258B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100974654B1 (ko) | 2007-11-23 | 2010-08-09 | 삼성전기주식회사 | 인쇄회로기판 제조방법 |
WO2013183315A1 (ja) | 2012-06-04 | 2013-12-12 | 株式会社Neomaxマテリアル | シールリングおよびシールリングの製造方法 |
WO2015182229A1 (ja) * | 2014-05-27 | 2015-12-03 | 株式会社村田製作所 | マザーセラミック基板、セラミック基板、マザーモジュール部品、モジュール部品およびマザーセラミック基板の製造方法 |
-
2003
- 2003-02-18 JP JP2003039902A patent/JP4010258B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004253463A (ja) | 2004-09-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6287950B1 (en) | Bonding pad structure and manufacturing method thereof | |
JP4010258B2 (ja) | 回路基板の製造方法及びパワーモジュール用基板の製造方法 | |
KR100917820B1 (ko) | 반도체 소자의 콘택홀 형성 방법 | |
KR20020024415A (ko) | 반도체 소자의 패턴 형성방법 | |
KR100695434B1 (ko) | 반도체 소자의 미세 패턴 형성방법 | |
JPH052981B2 (ja) | ||
JP2004071888A (ja) | 半導体装置用回路基板及び半導体装置 | |
KR20060015949A (ko) | 금속 패턴 형성 방법 | |
KR100290588B1 (ko) | 반도체장치의 도전막 패턴 형성방법 | |
KR100198633B1 (ko) | 반도체 소자의 제조방법 | |
KR20040086679A (ko) | 다양한 단차 구조를 형성하기 위한 기판 식각 방법 및이를 이용한 3차원 마이크로시스템용 방열판 제조 방법 | |
KR100382548B1 (ko) | 반도체 소자의 제조방법 | |
KR100425935B1 (ko) | 반도체 소자의 콘택홀 형성 방법 | |
KR100268898B1 (ko) | 반도체소자의콘택홀형성방법 | |
KR960035815A (ko) | 반도체 소자의 콘택홀 형성방법 | |
KR20050065156A (ko) | 광 마스크 제조방법 | |
KR0140730B1 (ko) | 반도체 소자의 미세콘택 형성방법 | |
KR100252888B1 (ko) | 반도체소자의 제조방법 | |
KR100370159B1 (ko) | 반도체 소자의 제조방법 | |
JPH02189922A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR100209725B1 (ko) | 커패시터의 구조 및 제조방법 | |
KR960001881A (ko) | 반도체소자의 미세 도전층 패턴 제조방법 | |
JPH04255226A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2010135461A (ja) | 電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法 | |
JP2002223066A (ja) | 半田ペースト塗布用スクリーン、およびこれを用いた半田ペースト塗布方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050318 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070418 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070814 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070827 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4010258 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100914 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100914 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100914 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100914 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110914 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120914 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130914 Year of fee payment: 6 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |