KR20160070359A - 가스 인젝터 및 이를 갖는 웨이퍼 처리 장치 - Google Patents

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안재영
임헌형
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삼성전자주식회사
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Abstract

가스 인젝터는 가스 공급원으로 공정 가스를 반응 튜브 내로 도입하기 위한 가스 도입관, 상기 가스 도입관에 연결되고 상기 반응 튜브 내에서 상기 가스 도입관으로부터 일방향으로 연장하고 아치 형상으로 상기 반응 튜브의 원주 방향으로 연장하는 가스 분배체, 및 상기 가스 분배체의 내측면에 상기 가스 분배체의 상기 연장 방향을 따라 이격 형성되고 상기 공정 가스를 분사하는 복수 개의 분사구들을 포함한다.

Description

가스 인젝터 및 이를 갖는 웨이퍼 처리 장치{GAS INJECTOR AND WAFER PROCESSING APPARATUS HAVIN THE SAME}
본 발명은 가스 인젝터 및 이를 갖는 웨이퍼 처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 공정 챔버 내로 공정 가스를 공급하기 위한 가스 인젝터 및 이를 갖는 웨이퍼 처리 장치에 관한 것이다.
배치형 반응로(batch reactor)에서 수직 방향으로 배치된 다수개의 웨이퍼들 상에 박막을 증착하기 위해서 원자층 증착(Atomic Layer Deposition, ALD) 공정이 수행될 수 있다. 특히, VNAND와 같은 수직형 메모리 소자의 셀 트랜지스터의 블로킹 막, 전하 저장막 및 터널 절연막은 배치형 반응로 내에서 ALD 공정에 의해 형성될 수 있다.
가스 인젝터는 배치형 반응 챔버 내에서 수직 방향으로 연장하는 원통형 가스 노즐을 포함하고, 상기 원통형 가스 노즐은 상기 수직 방향으로 배치된 웨이퍼들 상으로 공정 가스를 분사할 수 있다. 그러나, 상기 원통형 분사 노즐의 상부로 갈수록 내부 압력과 분사 속도는 감소하고, 이에 따라, 인젝터 상부와 하부 사이에 압력 차이 및 분사 속도 차이가 비교적 크게 나타나, 공정 산포가 열화되는 문제점이 있다.
본 발명의 일 과제는 균일한 박막을 형성하도록 공정 가스를 공급하는 가스 인젝터를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 과제는 상술한 가스 인젝터를 갖는 웨이퍼 처리 장치을 제공하는 데 있다.
다만, 본 발명의 해결하고자 하는 과제는 상기 언급된 과제에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위해 예시적인 실시예들에 따른 가스 인젝터는 가스 공급원으로 공정 가스를 반응 튜브 내로 도입하기 위한 가스 도입관, 상기 가스 도입관에 연결되고 상기 반응 튜브 내에서 상기 가스 도입관으로부터 일방향으로 연장하고 아치 형상으로 상기 반응 튜브의 원주 방향으로 연장하는 가스 분배체, 및 상기 가스 분배체의 내측면에 상기 가스 분배체의 상기 연장 방향을 따라 이격 형성되고 상기 공정 가스를 분사하는 복수 개의 분사구들을 포함한다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가스 분배체는 상기 반응 튜브의 중심으로부터 제1 반경만큼 이격된 아치 형상의 내측부 및 상기 반응 튜브의 중심으로부터 상기 제1 반경보다 큰 제2반경만큼 이격된 아치 형상의 외측부를 포함하고, 상기 내측부 및 상기 외측부는 이들 사이에서 상기 공정 가스의 이동 통로를 형성할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 분사구들은 상기 내측부에 상기 연장 방향을 따라 이격 형성될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 분사구는 원형, 타원형 또는 다각형 형상을 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가스 도입관으로부터 상기 분사구의 위치가 높아질수록 상기 분사구의 크기가 증가될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 분사구는 상기 가스 도입관으로부터 동일한 높이에서 복수 개가 형성될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가스 도입관으로부터 상기 분사구들의 위치가 높아질수록 동일한 높이에서 형성된 상기 분사구들의 개수가 증가될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가스 도입관으로부터 상기 분사구들의 위치가 높아질수록 상기 분사구들 사이의 거리가 감소될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가스 분배체의 상부로 갈수록 상기 가스 분배체의 가스 이동 통로의 단면적은 증가할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 분사구는 상기 가스 분배체의 연장 방향에 직교하는 방향으로 상기 반응 튜브의 중심을 향하도록 연장 형성될 수 있다.
상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위해 예시적인 실시예들에 따른 웨이퍼 처리 장치는 수직 방향으로 연장하며 공정 챔버를 정의하는 반응 튜브, 상기 반응 튜브 내에 로딩되며 복수 개의 웨이퍼들을 지지하는 보트, 및 상기 반응 튜브 내에서 공정 가스를 상기 공정 챔버 내로 분사하고 상기 반응 튜브와 상기 보트 사이에서 상기 반응 튜브의 연장 방향으로 연장하고 상기 보트를 감싸도록 아치 형상으로 상기 반응 튜브의 원주 방향으로 연장하는 적어도 하나의 가스 분배체 및 상기 가스 분배체의 내측면에 상기 연장 방향을 따라 이격 형성되고 상기 공정 가스를 분사하는 복수 개의 분사구들을 포함하는 가스 인젝터를 포함한다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가스 분배체는 상기 보트와 상대적으로 인접한 아치 형상의 내측부 및 상기 반응 튜브의 내측면에 상대적으로 인접한 아치 형상의 외측부를 포함하고, 상기 내측부 및 상기 외측부는 이들 사이에서 상기 공정 가스의 이동 통로를 형성할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 내측부는 상기 반응 튜브의 중심으로부터 제1 반경만큼 이격되고 상기 외측부는 상기 반응 튜브의 중심으로부터 상기 제1 반경보다 큰 제2 반경만큼 이격될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 분사구들은 상기 내측부에 상기 연장 방향을 따라 이격 형성될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 분사구는 원형, 타원형 또는 다각형 형상을 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가스 분배체의 하단부로부터 상기 분사구의 위치가 높아질수록 상기 분사구의 크기가 증가될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 분사구는 상기 가스 분배체의 하단부로부터 동일한 높이에서 복수 개가 형성될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가스 분배체의 하단부로부터 상기 분사구들의 위치가 높아질수록 동일한 높이에서 형성된 상기 분사구들의 개수가 증가될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가스 분배체의 하단부로부터 상기 분사구들의 위치가 높아질수록 상기 분사구들 사이의 거리가 감소될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가스 분배체의 하부로부터 상부로 갈수록 상기 가스 분배체의 가스 이동 통로의 단면적은 증가할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가스 인젝터는 상기 가스 분배체의 하부에 연결되며 가스 공급원으로부터 상기 공정 가스를 공급하는 가스 도입관을 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 웨이퍼 처리 장치는 상기 공정 챔버 내의 가스를 외부로 배출시키는 배기부를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 웨이퍼 처리 장치는 상기 제1 튜브 내에 배치되며 상기 공정 챔버의 외주부를 정의하는 내부 튜브를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 보트는 상기 반응 튜브 내에서 회전 가능할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가스 인젝터는 상기 원주 방향으로 서로 이격 배치된 제1 가스 분배체 및 제2 가스 분배체를 포함하고, 상기 제1 가스 분배체의 호의 길이는 상기 제2 가스 분배체의 호의 길이와 같거나 다를 수 있다.
이와 같이 구성된 발명에 따른 가스 인젝터는 반응 튜브 내에서 보트를 감싸도록 아치 형상을 갖는 가스 분배체를 포함할 수 있다. 따라서, 상기 반응 튜브와 상기 보트 사이의 공간제약 없이 상기 가스 분배체의 체적을 증가시켜, 상기 가스 분배체의 상하부의 가스 분사 속도 차이를 감소시킬 수 있다.
원자층 증착 공정에서의 웨이퍼 내 산포 개선을 위하여 상기 반응 튜브의 내경이 감소할지라도, 곡률형 가스 분배체의 원주 방향 길이를 증가시킴으로써 전체 체적을 증가시킬 수 있다. 따라서, 상기 가스 인젝터의 상부와 하부 사이의 압력 산포를 개선하여, 상부 분사구를 통한 분사 속도를 증가시켜 상기 상부 분사구와 하부 분사구 사이의 가스 분사 속도 차이를 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 웨이퍼 상에 균일한 증착막을 형성할 수 있다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 웨이퍼 처리 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1의 반응 튜브를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 1의 가스 인젝터를 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 1의 반응 튜브 내의 가스 인젝터를 나타내는 평면도이다.
도 5는 도 3의 A-A라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 6은 도 3의 B-B라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 7내지 도 11은 예시적인 실시예들에 따른 가스 인젝터를 나타내는 사시도들이다.
도 12a는 종래의 가스 인젝터의 높이에 따른 내부 압력을 나타내는 그래프이다.
도 12b는 종래의 가스 인젝터의 높이에 따른 가스 분사 속도를 나타내는 그래프이다.
도 13a는 일 실시예에 따른 가스 인젝터의 높이에 따른 내부 압력을 나타내는 그래프이다.
도 13b는 일 실시예에 따른 가스 인젝터의 높이에 따른 가스 분사 속도를 나타내는 그래프이다.
도 14는 다른 실시예에 따른 반응 튜브 내의 가스 인젝터를 나타내는 평면도이다.
도 15는 예시적인 실시예들에 따른 웨이퍼 처리 장치를 나타내는 단면도이다.
도 16은 예시적인 실시예들에 따른 웨이퍼 처리 방법을 나타내는 순서도이다.
도 17 내지 도 26은 예시적인 실시예들에 따른 수직형 메모리 장치를 제조하는 방법을 나타내는 수직 단면도들이다.
본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예들에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제 1 구성요소는 제 2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성요소도 제 1 구성요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 웨이퍼 처리 장치를 나타내는 단면도이다. 도 2는 도 1의 반응 튜브를 나타내는 사시도이다. 도 3은 도 1의 가스 인젝터를 나타내는 사시도이다. 도 4는 도 1의 반응 튜브 내의 가스 인젝터를 나타내는 평면도이다. 도 5는 도 3의 A-A라인을 따라 절단한 단면도이다. 도 6은 도 3의 B-B라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 웨이퍼 처리 장치(100)는 수직 방향으로 연장하는 반응 튜브(110), 반응 튜브(110) 내에 로딩되며 복수 개의 웨이퍼들(W)을 지지하는 보트(150), 및 반응 튜브(110) 내에서 공정 가스를 웨이퍼들(W)로 분사하는 가스 인젝터(200)을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 웨이퍼 처리 장치(100)는 수직형 배치 반응로(batch)를 포함할 수 있다. 반응 튜브(110)는 수직 방향(Z 방향)으로 연장하여 공정 챔버(102)를 정의할 수 있다. 상기 수직형 배치 반응로는 복수 개의 웨이퍼들(W)이 적재된 보트(150)를 수용하고 효율적인 가열 및 로딩 순서에 관하여 장점들을 가질 수 있다.
반응 튜브(110)의 하단부는 개방 단부이고, 반응 튜브(110)의 상단부는 폐쇄 단부일 수 있다. 반응 튜브(110)의 하부 개방 단부는 반경 방향으로 돌출하는 플랜지를 가질 수 있고, 상기 플랜지는 지지부(120)에 장착될 수 있다. 예를 들면, 반응 튜브(110)의 상기 플랜지는 O-링과 같은 밀봉 부재에 의해 지지부(120)에 연결되어 반응 튜브(110)를 밀폐시킬 수 있다. 따라서, 반응 튜브(110)는 지지부(120)로부터 수직 방향으로 연장할 수 있다. 또한, 공정 챔버(102)는 반응 튜브(110) 둘레에 배치된 히터(도시되지 않음)와 같은 온도 조절 시스템에 의해 일정한 온도로 유지될 수 있다.
공정 챔버(102)는 수직 방향으로 배치된 복수 개의 웨이퍼들(W)을 지지하는 보트(150)를 수용할 수 있다. 보트(150)는 도어 플레이트(140) 상에 지지될 수 있다. 도어 플레이트(140)는 승하강하여 보트(150)를 반응 튜브(110) 내부로 인입 또는 인출할 수 있다. 보트(150)의 하부에는 방열판의 역할을 수행하며 보트(150)를 지지하는 보트 캡이 배치될 수 있다. 예를 들면, 보트(150)는 약 25 내지 150매의 웨이퍼들(W)을 탑재할 수 있다.
도어 플레이트(140)는 반응 튜브(110)의 하부에 배치되어 반응 튜브(110)를 밀봉시킬 수 있다. 도어 플레이트(140)는 반응 튜브(110)의 하부에서 O-링과 같은 밀봉 부재에 의해 상기 플랜지와 결합하여 반응 튜브(110)를 밀봉시킬 수 있다.
캡 플레이트(160)는 도어 플레이트(140) 상에 배치되고 보트(150)의 하부인 상기 보트 캡을 둘러싸도록 구비될 수 있다. 캡 플레이트(160)는 도어 플레이트(140) 및 보트(150)의 하단부 사이에 개재되어 상기 보트 캡을 수용할 수 있다. 캡 플레이트(160)는 지지부(120)의 내부면을 향하도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 캡 플레이트(160)는 석영(quartz), 스테인레스강 또는 합금을 포함할 수 있다.
따라서, 캡 플레이트(160)는 반응 튜브(110) 내의 공정 가스 또는 공정 부산물이 지지부(120) 및 캡 플레이트(160) 사이에 유입되는 것을 방지할 수 있다.
캡 플레이트(160)의 높이는 수직형 배치 반응로의 크기 및 형태, 웨이퍼들 상에 수행되는 공정 등에 따라 결정될 수 있다. 예를 들면, 캡 플레이트(160)는 지지부(120)와 실질적으로 동일한 높이를 가지고 지지부(160)의 내부면을 커버할 수 있다. 이와 다르게, 캡 플레이트(160)는 지지부(120)보다 크거나 작은 높이를 가질 수 있다.
캡 플레이트(160)의 하부에는 관통홀이 형성될 수 있다. 보트(150)의 하단부로부터 연장하는 회전축은 상기 관통홀을 통해 도어 플레이트(140)의 외측면에 구비된 모터(M)에 연결될 수 있다. 따라서, 도어 플레이트(140) 상의 보트(150)는 반응 튜브(110) 내에서 회전 가능하도록 지지될 수 있다. 웨이퍼들(W) 상에 공정 가스들이 분사되어 증착 공정을 수행할 때, 보트(150)는 소정의 속도로 회전할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 가스 인젝터(200)는 반응 튜브(120) 내에 설치되어 웨이퍼들(W) 상에 공정 가스를 분사할 수 있다. 가스 인젝터(200)는 상기 공정 가스를 분사하는 분사구들(212)을 가질 수 있다. 상기 공정 가스는 분사구(212)를 통해 반응 튜브(120)의 중심을 향하여 웨이퍼들(W)의 주면들에 평행한 방향(XY 방향)으로 분사될 수 있다.
구체적으로, 가스 인젝터(200)는 가스 공급원으로 공정 가스를 반응 튜브(110) 내로 도입하기 위한 가스 도입관(204), 가스 도입관(204)에 연결되고 반응 튜브(110) 내에서 가스 도입관(204)으로부터 수직 방향으로 연장하고 아치 형상으로 반응 튜브(110)의 원주 방향으로 연장하는 가스 분배체(202), 및 가스 분배체(202)의 내측면에 가스 분배체(202)의 상기 연장 방향을 따라 이격 형성되고 상기 공정 가스를 분사하는 복수 개의 분사구들(212)을 포함할 수 있다.
가스 도입관(204)은 반응 튜브(110)의 하부에서 지지부(120)를 관통하여 캡 플레이트(160)의 가이딩 홈까지 연장할 수 있다. 예를 들면, 상기 가스 도입관은 석영, 스테인레스강 또는 합금을 포함할 수 있다. 가스 도입관(204)은 가스 공급원과 연결되어 상기 가스 공급원으로부터 공급된 공정 가스가 주입되는 입구 역할을 할 수 있다. 상기 가스 공급원은 원자층 증착(ALD) 공정을 위한 소스 가스를 제공할 수 있다. 예를 들면, 상기 가스 공급원은 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막을 증착하기 위한 소스 가스를 제공할 수 있다.
가스 분배체(202)는 반응 튜브(110)와 보트(150) 사이에서 캡 플레이트(160)의 가이딩 홈을 거쳐 반응 튜브(110)의 연장 방향을 따라 상부로 연장할 수 있다. 또한, 가스 분배체(202)는 보트(150)를 감싸도록 아치 형상으로 반응 튜브(110)의 원주 방향으로 연장할 수 있다.
도 4, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 가스 분배체(202)는 반응 튜브(110)의 중심(C)에 대하여 소정의 중심각 (θ)을 갖도록 원주 방향으로 연장할 수 있다.
가스 분배체(202)는 아치 형상의 내측부(210), 아치 형상의 외측부(220), 및 내측부(210)와 외측부(220)를 연결하는 제1 및 제2 측부들(230, 240)을 포함할 수 있다. 내측부(210)는 반응 튜브(110)의 중심(C)으로부터 제1 반경(R1)만큼 이격되고 외측부(220)는 반응 튜브(110)의 중심(C)으로부터 제1 반경(R1)보다 큰 제2반경(R2)만큼 이격될 수 있다. 내측부(210) 및 외측부(220)는 이들 사이에서 상기 공정 가스의 이동 통로(201)를 형성할 수 있다.
내측부(210)는 보트(150)의 외주면으로부터 이격 배치되고, 외측부(220)는 반응 튜브(110)의 내주면으로부터 이격 배치될 수 있다. 내측부(210)의 내측면(211)은 보트(150)를 향하고, 외측부(220)의 외측면(221)은 반응 튜브(110)의 내측면을 향하도록 배치될 수 있다.
복수 개의 분사구들(212)은 내측부(210)에 상기 연장 방향을 따라 소정 거리(S)만큼 이격 형성될 수 있다. 분사구들(212)는 웨이퍼들(W)이 위치하는 보트(150)를 향하도록 형성되고, 가스 분배체(202)의 하단부로부터 상단부까지 서로 이격 형성됨으로써 보트(150)에 적층되어 있는 복수 개의 웨이퍼들(W)의 주면들에 평행한 방향으로 공정 가스를 분사할 수 있다. 예를 들면, 상기 분사구는 원형, 타원형 또는 다각형 형상을 가질 수 있다.
도 7내지 도 11은 예시적인 실시예들에 따른 가스 인젝터를 나타내는 사시도들이다.
도 7을 참조하면, 가스 도입관(204)으로부터 분사구들(212)의 위치가 높아질수록 분사구들(212) 사이의 거리가 감소될 수 있다. 분사구들(212)은 원형 형상을 가질 수 있다. 제1 높이의 제1 분사구(212a)와 상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이의 인접한 제2 분사구(212b)는 제1 거리(S1)만큼 이격되고, 상기 제2 높이의 제2 분사구(212b)와 상기 제2 높이보다 낮은 인접한 제3 분사구(212c)는 제1 거리(S1)보다 큰 제2 거리(S2)만큼 이격될 수 있다.
도 8을 참조하면, 가스 도입관(204)으로부터 분사구들(212)의 위치가 높아질수록 분사구(212)의 크기가 증가될 수 있다. 분사구들(212)은 타원형 형상을 가질 수 있다. 제1 높이의 분사구(212d)는 제1 폭(D1)을 가지고, 상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이의 분사구(212e)는 제1 폭(D)보다 작은 제2 폭(D2)을 가질 수 있다.
도 9를 참조하면, 복수 개의 분사구들(212)이 가스 도입관(204)으로부터 동일한 높이에서 형성될 수 있다. 가스 도입관(204)으로부터 분사구들(212)의 위치가 높아질수록 동일한 높이에서 형성된 분사구들(212)의 개수가 증가될 수 있다. 예를 들면, 가스 도입관(204)으로부터 제1 높이에서 형성된 분사구들의 개수보다 가스 도입관(204)으로부터 상기 제1 높이보다 큰 제2 높이에서 형성된 분사구들의 개수가 더 많을 수 있다.
도 10을 참조하면, 가스 도입관(204)으로부터 분사구들(212)의 위치가 높아질수록 분사구(212)의 크기가 증가될 수 있다. 분사구들(212)은 직사각형 형상을 가질 수 있다. 제1 높이의 분사구(212f)는 제1 폭(D1)을 가지고, 상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이의 분사구(212g)는 제1 폭(D)보다 작은 제2 폭(D2)을 가질 수 있다.
도 11을 참조하면, 가스 분배체(202)의 하부로부터 상부로 갈수록 가스 분배체(202)의 가스 이동 통로의 단면적은 증가할 수 있다. 가스 분배체(202)의 상단부의 내측부는 제1 길이(L1)를 가지고, 가스 분배체(202)의 하단부의 내측부는 제1 길이(L1)보다 작은 제2 길이(L2)를 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 웨이퍼 처리 장치(100)는 반응 튜브(110) 내의 가스를 배출시키는 배기부를 포함할 수 있다.
상기 배기부는 반응 튜브(110) 내의 공간에 연결된 배기구(130)를 포함할 수 있다. 배기구(130)는 반응 튜브(110)의 상기 플랜지가 고정된 지지부(120)에 관통 형성될 수 있다. 따라서, 공정 챔버(102) 내의 가스는 반응 튜브(110) 내의 공간에 연결된 배기구(130)를 통해 외부로 배출될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 웨이퍼 처리 장치(100)는 공정 챔버(102)를 세정하기 위한 적어도 하나의 가스 노즐(도시되지 않음)을 더 포함할 수 있다. 상기 가스 노즐은 세정 가스 및 퍼지 가스를 공급할 수 있다. 예를 들면, 웨이퍼 처리 장치(100)는 상기 세정 가스를 공급하기 위한 제1 가스 노즐 및 상기 퍼지 가스를 제공하기 위한 제2 가스 노즐을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 웨이퍼 처리 장치(100)의 공정 챔버(102) 내에서 일정 횟수의 원자층 증착 공정들을 수행한 후, 인시튜(in-situ) 세정 공정을 수행하여 공정 챔버(102) 내에 증착된 박막을 제거할 수 있다.
공정 챔버(102) 내에서 상기 증착 공정들을 반복적으로 수행하게 되면, 공정 챔버(102) 내에 박막이 증착되고 증착된 박막이 박리되어 공정 챔버(102) 내에 파티클들이 발생할 수 있다. 따라서, 일정 횟수의 공정들이 수행된 후, 공정 챔버(102) 내의 세정 여부를 판단하여 세정 공정을 진행할 수 있다.
상술한 바와 같이, 가스 인젝터(200)는 반응 튜브(110) 내에서 보트(150)를 감싸도록 아치 형상을 갖는 가스 분배체(202)를 포함할 수 있다. 따라서, 반응 튜브(110)와 보트(150) 사이의 공간제약 없이 가스 분배체(202)의 체적을 증가시켜, 가스 분배체(202)의 상하부의 가스 분사 속도 차이를 감소시킬 수 있다.
ALD 공정 산포 개선을 위하여 반응 튜브(110)의 내경이 감소할지라도, 곡률형 가스 분배체(202)의 원주 방향 길이를 증가시킴으로써 전체 체적을 증가시킬 수 있다. 따라서, 가스 인젝터(200)의 상부와 하부 사이의 압력 산포를 개선하여, 상부 분사구를 통한 분사 속도를 증가시켜 상기 상부 분사구와 하부 분사구 사이의 가스 분사 속도 차이를 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 웨이퍼(W) 상에 균일한 증착막을 형성할 수 있다.
또한, 공정 산포를 더욱 개선하기 위하여 반응 튜브(110) 내의 가스 분배체(202)의 높이에 따라 가스 분배체(202)의 단면적, 상기 분사구들의 직경들, 개수 및 간격들을 변화시킬 수 있다.
도 12a는 종래의 가스 인젝터의 높이에 따른 내부 압력을 나타내는 그래프이고, 도 12b는 종래의 가스 인젝터의 높이에 따른 가스 분사 속도를 나타내는 그래프이다.
도 12a 및 도 12b를 참조하면, 원통형 막대 형상을 갖는 종래의 가스 인젝터에 있어서, 상기 가스 인젝터의 상부로 갈수록 내부 압력과 분사 속도는 감소한다. 따라서, 인젝터 상부와 하부 사이에 압력 차이 및 분사 속도 차이가 비교적 크게 나타나므로, 공정 산포가 열화될 수 있다.
도 13a는 일 실시예에 따른 가스 인젝터의 높이에 따른 내부 압력을 나타내는 그래프이고, 도 13b는 일 실시예에 따른 가스 인젝터의 높이에 따른 가스 분사 속도를 나타내는 그래프이다.
도 13a 및 도 13b를 참조하면, 일 실시예에 따른 가스 인젝터는 반응 튜브 내에서 보트를 감싸도록 아치 형상을 갖는 가스 분배체를 포함할 수 있다. 상기 가스 분배체의 상부와 하부 사이에 압력 차이 및 분사 속도 차이가 감소되므로, 공정 산포가 개선될 수 있다.
도 14는 다른 실시예에 따른 반응 튜브 내의 가스 인젝터를 나타내는 평면도이다.
도 14를 참조하면, 가스 인젝터는 제1 가스 분배체(202a) 및 제2 가스 분배체(202b)를 포함할 수 있다. 상기 가스 인젝터는 2개의 가스 분배체들을 포함할 수 있지만, 상기 가스 분배체들의 개수는 이에 제한되지는 않는다.
제1 가스 분배체(202a) 및 제2 가스 분배체(202b)는 반응 튜브(110) 내에서 원주 방향으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 제1 가스 분배체(202a) 및 제2 가스 분배체(202b)는 반응 튜브(110)의 하부까지 연장되어 가스를 공급하는 공통의 가스 도입관으로부터 수직 방향으로 각각 연장 설치될 수 있다. 이와 다르게, 제1 및 제2 가스 분배체들(202a, 202a)은 반응 튜브(110)의 하부까지 각각 연장되어 독립적으로 가스를 공급하는 제1 및 제2 가스 도입관들로부터 수직 방향으로 각각 연장 설치될 수 있다.
제1 가스 분배체(202a)는 반응 튜브(110)의 중심(C)에 대하여 제1 중심각(θ1)을 갖도록 원주 방향으로 연장하고, 제2 가스 분배체(202b)는 반응 튜브(110)의 중심(C)에 대하여 제1 중심각(θ1)과 같거나 다른 제2 중심각(θ2)을 갖도록 원주 방향으로 연장할 수 있다. 제 1 가스 분배체(202a)의 호의 길이는 제2 가스 분배체(202b)의 호의 길이와 같거나 다를 수 있다.
예를 들면, 제1 가스 분배체(202a)는 제1 호의 길이(L1)를 가질 수 있고, 제2 가스 분배체(202b)는 제1 호의 길이(L1)보다 작은 제2 호의 길이(L2)를 가질 수 있다. 제1 중심각(θ1)은 제2 중심각(θ2)보다 클 수 있다.
도 15는 예시적인 실시예들에 따른 웨이퍼 처리 장치를 나타내는 단면도이다. 상기 웨이퍼 처리 장치는 내부 튜브를 제외하고는 도 1을 참조로 설명한 웨이퍼 처리 장치와 실질적으로 동일하거나 유사하다. 이에 따라, 동일한 구성요소들에 대해서는 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략한다.
도 15를 참조하면, 웨이퍼 처리 장치(101)는 반응 튜브(110) 내에 배치되며 공정 챔버(102)를 정의하는 내부 튜브(112)를 더 포함할 수 있다. 웨이퍼 처리 장치(101)는 반응 튜브(110) 및 내부 튜브(112)로 이루어진 듀얼 튜브형(dual tube type) 배치 반응로를 포함할 수 있다.
내부 튜브(112)의 하단부는 개방 단부이고, 내부 튜브(112)의 상단부는 개방 단부일 수 있다. 이와 다르게, 내부 튜브(112)의 상단부는 폐쇄 단부일 수 있다. 내부 튜브(112)는 수직 방향으로 연장하여 상기 반응로의 공정 챔버(102)의 외주부를 정의할 수 있다. 내부 튜브(112) 내에 복수 개의 웨이퍼들(W)을 지지하는 보트(150)가 수용될 수 있다.
가스 인젝터(200)의 가스 분배체(202)는 내부 튜브(112) 내에서 가스 도입관(204)으로부터 수직 방향으로 연장하고 아치 형상으로 내부 튜브(112)의 원주 방향으로 연장할 수 있다.
상기 배기 슬릿은 내부 튜브(112)의 일측벽에 형성될 수 있다. 상기 배기 슬릿은 내부 튜브(112)의 연장 방향을 따라 연장하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 배기 슬릿은 10㎜ 내지 50㎜의 폭을 가질 수 있다.
상기 배기부는 공정 챔버(102) 내의 가스를 상기 배기 슬릿으로부터 반응 튜브(110) 및 내부 튜브(112) 사이를 통해 외부로 배출시킬 수 있다. 상기 배기부는 반응 튜브(110)의 내측면 및 내부 튜브(112)의 외측면 사이의 공간에 연결된 배기구(130)를 포함할 수 있다. 배기구(130)는 반응 튜브(110)의 플랜지가 고정된 지지부(120)에 관통 형성될 수 있다.
따라서, 공정 챔버(102) 내의 가스는 상기 배기 슬릿을 통해 내부 튜브(112)로부터 배출되고, 반응 튜브(110) 및 내부 튜브(112) 사이의 공간에 연결된 배기구(130)를 통해 외부로 배출될 수 있다.
이하에서는, 도 1의 웨이퍼 처리 장치를 이용하여 복수 개의 웨이퍼들을 처리하는 방법 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법에 대하여 설명하기로 한다.
도 16은 예시적인 실시예들에 따른 웨이퍼 처리 방법을 나타내는 순서도이다. 상기 웨이퍼 처리 방법은 원자층 증착 공정에 의해 웨이퍼 상에 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막을 형성하기 위해 사용될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
도 1, 도 3, 도 4 및 도 16을 참조하면, 웨이퍼 처리 장치(100)의 공정 챔버(102) 내에 복수 개의 웨이퍼들(W)을 로딩한다(S100).
웨이퍼 처리 장치(100)의 반응 튜브(110)는 수직 방향으로 연장하고, 공정 챔버(102)를 정의할 수 있다. 공정 챔버(102)의 하부에는 대기실(도시되지 않음)이 배치될 수 있다. 웨이퍼들(W)이 보트(150) 상에 탑재되면, 보트(150)는 구동부(도시되지 않음)에 의해 승강되어 공정 챔버(102) 내로 로딩될 수 있다.
이어서, 반응 튜브(110) 내에 설치된 가스 인젝터(200)의 분사구들(212)을 통해 공정 가스를 웨이퍼들(W) 상에 공급하여 박막을 증착한다(S110).
가스 인젝터(200)의 가스 분배체(202)는 반응 튜브(110)와 보트(150) 사이에서 수직 방향으로 따라 연장할 수 있다. 가스 분배체(202)는 보트(150)를 감싸도록 아치 형상으로 반응 튜브(110)의 원주 방향으로 연장할 수 있다.
공정 가스는 가스 분배체(202)의 내측면에 형성된 복수 개의 분사구들(212)을 통해 반응 튜브(110)의 중심(C)을 향하여 분사할 수 있다. 예를 들면, 상기 공정 가스는 VNAND의 셀 트랜지스터의 블록킹막, 전하 저장막 또는 터널 절연막을 형성하기 위한 소스 가스를 포함할 수 있다. 또한, 펄스 가스 또는 세정 가스가 공정 챔버(102) 내에 추가적으로 공급될 수 있다. 따라서, 원자층 증착(Atomic Layer Deposition, ALD) 공정을 수행하여 웨이퍼들(W) 상에 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물과 같은 절연막을 형성할 수 있다.
이 후, 공정 챔버(102) 내의 가스를 외부로 배출한다(S120).
공정 챔버(102) 내의 가스는 지지부(120)에 형성된 배기구(130)를 통해 외부로 배출될 수 있다.
웨이퍼들(W) 상에 원하는 두께의 박막을 형성한 이후에, 웨이퍼들(W)을 공정 챔버(102)로부터 언로딩한다(S130).
예시적인 실시예들에 있어서, 단계 S100 내지 단계 S130으로 이루어진 박막 증착 공정이 완료되면, 공정 챔버(102) 내부의 세정 여부에 따라 세정 공정이 수행될 수 있다. 세정 공정을 진행할 필요가 없는 경우, 단계 S100 내지 단계 S130으로 이루어진 상기 박막 증착 공정을 다시 수행할 수 있다.
이하에서는, 도 16의 웨이퍼 처리 방법을 이용하여 반도체 장치를 제조하는 방법에 대하여 설명하기로 한다.
도 17 내지 도 26은 예시적인 실시예들에 따른 수직형 메모리 장치를 제조하는 방법을 나타내는 수직 단면도들이다. 상기 도면들에서 웨이퍼 기판 상면에 수직한 방향을 제1 방향, 상기 기판 상면에 평행하면서 서로 수직한 두 방향들을 각각 제2 및 제3 방향으로 정의하며, 도면상에서 화살표로 표시된 방향 및 이의 반대 방향은 모두 동일한 방향으로 간주한다. 전술한 방향에 대한 정의는 이후 모든 도면들에서 동일하다.
도 17을 참조하면, 웨이퍼 기판(300) 상에 제1 절연막(310) 및 희생막(320)을 교대로 반복적으로 적층한다. 이에 따라, 복수의 제1 절연막들(310) 및 복수의 희생막들(320)이 상기 제1 방향을 따라 교대로 적층될 수 있다. 웨이퍼 기판(300)은 실리콘, 게르마늄 등과 같은 반도체 물질을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따르면, 제1 절연막들(310) 및 희생막들(320)은 화학 기상 증착(Chemical Vapor Deposition: CVD) 공정, 플라즈마 화학 기상 증착(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition: PECVD) 공정, 원자층 증착(Atomic Layer Deposition: ALD) 공정 등을 통해 형성할 수 있다. 특히, 기판(300) 상면에 직접 형성되는 최하층 제1 절연막(310)의 경우, 기판(300) 상면에 대한 열산화 공정에 의해 형성될 수도 있다. 예시적인 실시예들에 따르면, 제1 절연막들(310)은 실리콘 산화물을 사용하여 형성될 수 있으며, 희생막들(320)은 제1절연막(310)에 대해 식각 선택비를 갖는 물질, 예를 들어, 실리콘 질화물을 사용하여 형성될 수 있다.
제1 절연막(310) 및 희생막(320)이 적층되는 수는 이후 형성되는 그라운드 선택 라인(GSL)(546, 도 24 참조), 워드 라인(542, 도 24 참조) 및 스트링 선택 라인(SSL)(544, 도 24 참조)이 적층되는 수에 따라 달라질 수 있다. 본 실시예에서, GSL(546) 및 SSL(544)은 각각 2개의 층에 형성되고, 워드 라인(542)은 4개의 층에 형성된다. 이에 따라, 희생막(320)은 모두 8개의 층으로 적층되고 제1 절연막(310)은 모두 9개의 층으로 적층될 수 있다. 하지만, 제1 절연막(310) 및 희생막(320)이 적층되는 수는 이에 한정되지는 않으며, 예를 들어, GSL(546)및 SSL(544)은 각각 1개의 층에 형성되고 워드 라인(542)은 2개, 8개 혹은 16개의 층에 형성될 수도 있으며, 이 경우 희생막(120)은 모두 4개, 10개 혹은 18개의 층에 형성되고 제1 절연막(110)은 모두 5개, 11개 혹은 19개의 층에 형성될 수 있다.
이어서, 제1 절연막들(310) 및 희생막들(320)을 부분적으로 관통하는 트렌치를 형성하고, 상기 트렌치를 채우는 분리막 패턴(330)을 형성한다.
상기 트렌치는 사진 식각 공정을 통해, 이후 SSL(544)이 형성되는 층의 희생막들(320) 및 이들 상에 형성된 제1 절연막들(310)을 관통하도록 형성될 수 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 상기 트렌치는 상기 제3 방향으로 연장되도록 형성될 수 있다.
상기 트렌치를 충분히 채우는 분리막을 제1 절연막(310) 상에 형성한 후, 최상층 제1 절연막(310)의 상면이 노출될 때까지 상기 분리막을 평탄화함으로써, 상기 트렌치를 매립하는 분리막 패턴(330)을 형성할 수 있다.
이 후, 제1 절연막들(310) 및 희생막들(320)을 관통하여 웨이퍼 기판(300) 상면을 노출시키는 복수개의 홀들(holes)(350)을 형성한다.
예시적인 실시예들에 따르면, 홀들(350)은 최상층 제1 절연막(310) 상에 하드 마스크(340)를 형성하고, 하드 마스크(340)를 식각 마스크로 사용하는 건식 식각 공정을 통해 형성될 수 있다. 이에 따라, 각 홀들(350)은 상기 제1 방향으로 연장되도록 형성될 수 있다. 다만, 상기 건식 식각 공정의 특성 상, 각 홀들(350)은 아래로 갈수록 폭이 좁아지도록 형성될 수도 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 하드 마스크(340)는 제1 절연막들(310) 및 희생막들(320)이 각각 포함하는 실리콘 산화물 및 실리콘 질화물과 식각 선택비를 갖는 물질, 예를 들어 폴리실리콘, 비정질 실리콘 등을 사용하여, CVD 공정, PECVD 공정, ALD 공정 등을 통해 형성될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따르면, 홀들(350)은 상기 제2 및 제3 방향들을 따라 각각 복수 개로 형성될 수 있으며, 이에 따라 홀 어레이(array)가 정의될 수 있다.
도 18을 참조하면, 각 홀들(350)을 부분적으로 채우는 반도체 패턴(360)을 형성한다.
구체적으로, 홀들(350)에 의해서 노출된 기판(300) 상면을 시드(seed)로 사용하는 선택적 에피택시얼 성장(Selective Epitaxial Growth: SEG) 공정을 수행하여 홀들(350)을 부분적으로 채우는 반도체 패턴(360)을 형성할 수 있다. 이에 따라, 반도체 패턴(360)은 기판(300)의 재질에 따라 단결정 실리콘 혹은 단결정 게르마늄을 포함하도록 형성될 수 있으며, 경우에 따라 불순물이 도핑될 수도 있다. 이와는 달리, 홀들(350)을 채우는 비정질 실리콘막을 형성한 후, 상기 비정질 실리콘막에 레이저 에피택시얼 성장(Laser Epitaxial Growth: LEG) 공정 혹은 고상 에피택시(Solid Phase Epitaxy: SPE) 공정을 수행하여 반도체 패턴(560)을 형성할 수도 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 반도체 패턴(560)은 이후 GSL(546)이 형성되는 층의 희생막(520)의 상면보다 높은 상면을 갖도록 형성될 수 있다.
도 19를 참조하면, 홀들(350)의 내측벽, 반도체 패턴(360)의 상면 및 하드 마스크(340)의 상면에 제1 블로킹막(370), 전하 저장막(380), 터널 절연막(390), 제1 채널막(400), 식각 저지막(410) 및 스페이서막(420)을 순차적으로 형성한다.
예시적인 실시예들에 있어서, 도 1(또는 도 14)의 웨이퍼 처리 장치(100)를 이용하여 웨이퍼 기판(300) 상에 제1 블로킹막(370), 전하 저장막(380) 및 터널 절연막(390)을 형성할 수 있다.
도 1 및 도 16에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 기판(300)은 보트(150) 상에 탑재된 후, 웨이퍼 처리 장치(100)의 공정 챔버(102) 내로 로딩된 후, 증착 공정을 위한 공정 가스는 아치 형상의 가스 분배체(202)의 분사구들(212)을 통해 웨이퍼 기판(300) 상으로 분사될 수 있다. 따라서, ALD 공정들을 수행하여 웨이퍼 기판(100) 상에 균일한 두께를 갖는 제1 블로킹막(370), 전하 저장막(380) 및 터널 절연막(390)을 순차적으로 형성할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 제1 블로킹막(370)은 실리콘 산화물과 같은 산화물을 사용하여 형성할 수 있고, 전하 저장막(380)은 실리콘 질화물과 같은 질화물을 사용하여 형성할 수 있으며, 터널 절연막(390)은 실리콘 산화물과 같은 산화물을 사용하여 형성할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 제1 채널막(400)은 불순물이 도핑되거나 또는 도핑되지 않은 폴리실리콘 혹은 비정질 실리콘을 사용하여 형성할 수 있다. 제1 채널막(400)이 비정질 실리콘을 사용하여 형성되는 경우, 이후 LEG 공정 혹은 SPE 공정을 추가적으로 수행하여 이를 결정질 실리콘으로 변환시킬 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 식각 저지막(410)은 제1 블로킹막(370)과 실질적으로 동일한 물질, 예를 들어 실리콘 산화물을 사용하여 형성할 수 있고, 스페이서막(420)은 전하 저장막(380)과 실질적으로 동일한 물질, 예를 들어 실리콘 질화물을 사용하여 형성할 수 있다.
도 20을 참조하면, 스페이서막(420)을 이방성 식각하여 반도체 패턴(360) 상면에 형성된 부분을 제거함으로써 각 홀들(350)의 내측벽 상에 스페이서(422)를 형성한 후, 스페이서(422)를 식각 마스크로 사용하여 하부의 식각 저지막(410) 및 제1 채널막(400)을 각각 식각함으로써, 터널 절연막(390) 일부를 노출시키는 식각 저지막 패턴(412) 및 제1 채널(402)을 각각 형성한다. 즉, 반도체 패턴(360) 상면의 중앙부 및 하드 마스크(340) 상에 형성된 식각 저지막(410) 및 제1 채널막(400) 부분이 제거될 수 있다.
도 21을 참조하면, 노출된 터널 절연막(390) 부분, 전하 저장막(380) 부분, 및 제1 블로킹막(370) 부분을을 제거하여 각각 터널 절연막 패턴(392), 전하 저장막 패턴(382) 및 제1 블로킹막 패턴(372)을 형성할 수 있다. 이에 따라 반도체 패턴(360)의 상면 중앙부 및 하드 마스크(140)의 상면이 노출될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 터널 절연막(390) 및 전하 저장막(380)은 습식 식각 공정을 통해 식각될 수 있다. 즉, 실리콘 산화물을 포함하는 터널 절연막(390)은 불산을 식각액으로 하여 식각될 수 있으며, 실리콘 질화물을 포함하는 전하 저장막(380)은 인산 혹은 황산을 식각액으로 하여 식각될 수 있다. 이때, 실리콘 질화물을 포함하는 스페이서(422)가 함께 식각되어 제1 채널(402)이 노출될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 실리콘 산화물을 포함하는 제1 블로킹막(370)은 불산을 식각액으로 하는 습식 식각 공정을 통해 식각될 수 있다. 이때, 제1 채널(402)은 제1 블로킹막(370)과는 다른 물질을 포함하므로, 그 하부에 형성된 터널 절연막 패턴(392), 전하 저장막 패턴(382) 및 제1 블로킹막(370) 부분은 제1 채널(402)에 의해 보호될 수 있다.
도22를 참조하면, 제2 채널막을 제1 채널(402), 노출된 반도체 패턴(360) 상면 중앙부 및 하드 마스크(340) 상에 형성한다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제2 채널막은 제1 채널(402)과 실질적으로 동일한 물질을 사용하여 형성될 수 있으며, 이에 따라 제1 채널(402)과 상기 제2 채널막은 서로 병합될 수 있다. 이하에서는, 상기 병합된 막을 단순히 제2 채널막으로 통칭하기로 한다.
이어서, 홀들(350)의 나머지 부분을 충분히 채우는 제2 절연막을 상기 제2 채널막 상에 형성한 후, 최상층 제1 절연막(310) 상면이 노출될 때까지 상기 제2 절연막, 상기 제2 채널막, 터널 절연막 패턴(392), 전하 저장막 패턴(382), 제1 블로킹막 패턴(372) 및 하드 마스크(340)를 평탄화함으로써, 각 홀들(350)의 나머지 부분을 채우는 제2 절연막 패턴(460)을 형성할 수 있으며, 상기 제2 채널막은 채널(442)로 변환될 수 있다.
이에 따라, 각 홀들(350) 내 반도체 패턴(360) 상에는 제1 블로킹막 패턴(372), 전하 저장막 패턴(382), 터널 절연막 패턴(392), 채널(442) 및 제2 절연막 패턴(460)이 순차적으로 형성될 수 있다.
이후, 제2 절연막 패턴(460), 채널(442), 터널 절연막 패턴(392), 전하 저장막 패턴(382) 및 제1 블로킹막 패턴(372)으로 구성되는 제1 구조물의 상부를 제거하여 제2 리세스(475)를 형성하고, 제2 리세스(475)를 채우는 패드(470)를 형성한다.
패드(470)는 각 채널들(442) 상에 형성되므로, 상기 채널 어레이에 대응하여 패드 어레이를 형성할 수 있다.
한편, 각 홀들(350) 내부에 형성되는 상기 제1 구조물, 반도체 패턴(360) 및 패드(470)는 제2 구조물을 정의할 수 있다.
도 23을 참조하면, 제1 절연막들(310) 및 희생막들(320)을 관통하는 제1 개구(480)를 형성하여 웨이퍼 기판(300) 상면을 노출시킨다.
예시적인 실시예들에 따르면, 제1 개구(480)는 최상층 제1 절연막(310) 상에 하드 마스크(도시되지 않음)를 형성하고, 상기 하드 마스크를 식각 마스크로 사용하는 건식 식각 공정을 통해 형성될 수 있다. 이에 따라, 제1 개구(480)는 상기 제1 방향으로 연장되도록 형성될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따르면, 제1 개구(480)는 상기 제3 방향을 따라 연장되도록 형성될 수 있으며, 상기 제2 방향을 따라 복수 개로 형성될 수 있다. 이에 따라, 제1 절연막들(310) 및 희생막들(320)은 각각 제1 절연막 패턴들(315) 및 희생막 패턴들로 변환될 수 있다. 이때, 각 층의 제1 절연막 패턴들(315) 및 상기 제1 희생막 패턴들은 상기 제3 방향을 따라 연장될 수 있으며, 상기 제2 방향을 따라 복수 개로 형성될 수 있다.
이어서, 상기 제1 희생막 패턴들을 제거하여, 각 층의 제1 절연막 패턴들(115) 사이에 갭(490)을 형성하며, 갭(490)에 의해 제1 블로킹막 패턴(372)의 외측벽 일부 및 반도체 패턴(560)의 측벽 일부가 노출될 수 있다. 예시적인 실시예들에 따르면, 인산 혹은 황산을 포함하는 식각액을 사용하는 습식 식각 공정을 통해 제1 개구(480)에 의해 노출된 상기 제1 희생막 패턴들을 제거할 수 있다.
도 24 및 도 25를 참조하면, 노출된 제1 블로킹막 패턴(372)의 외측벽, 노출된 반도체 패턴(360)의 측벽, 갭(490)의 내벽, 제1 절연막 패턴들(315)의 표면, 노출된 웨이퍼 기판(300) 상면, 패드(470)의 상면 및 분리막 패턴(330)의 상면에 제2 블로킹막(500)을 형성하고, 갭(490)의 나머지 부분을 충분히 채우는 게이트 전극막(540)을 제2 블로킹막(500) 상에 형성한다.
예시적인 실시예들에 따르면, 제2 블로킹막(500)은 예를 들어, 알루미늄 산화물, 하프늄 산화물, 란탄 산화물, 란탄 알루미늄 산화물, 란탄 하프늄 산화물, 하프늄 알루미늄 산화물, 티타늄 산화물, 탄탈륨 산화물, 지르코늄 산화물 등의 금속 산화물을 사용하여 형성할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따르면, 게이트 금속막(540)은 금속 및/또는 금속 질화물을 사용하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 게이트 전극막(540)은 텅스텐, 티타늄, 탄탈륨, 백금 등의 전기 저항이 낮은 금속 혹은 티타늄 질화물, 탄탈륨 질화물 등의 금속 질화물을 사용하여 형성될 수 있다.
이어서, 게이트 전극막(540)을 부분적으로 제거하여, 갭(490) 내부에 게이트 전극(542, 544, 546)을 형성한다. 예시적인 실시예들에 따르면, 게이트 전극막(540)은 습식 식각 공정을 통해 부분적으로 제거될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 게이트 전극(542, 544, 546)은 상기 제3 방향을 따라 연장될 수 있으며, 웨이퍼 기판(300) 상면으로부터 상기 제1 방향을 따라 순차적으로 형성된 GSL(546), 워드 라인(542) 및 SSL(544)을 포함할 수 있다. 이때, 각 GSL(546), 워드 라인(542) 및 SSL(544)은 1개 혹은 수 개의 층에 형성될 수 있으며, 본 실시예에서 GSL(546) 및 SSL(544)은 2개의 층에 형성되고, 워드 라인(542)은 GSL(546) 및 SSL(544) 사이의 4개의 층으로 형성된다. 한편, GSL(546)은 반도체 패턴들(360)에 인접하여 형성되고, 워드 라인(542) 및 SSL(544)은 채널들(442)에 인접하여 형성되며, 특히 SSL(544)은 분리막 패턴(330)에 인접하여 형성된다.
한편, 게이트 전극막(540)을 부분적으로 제거할 때, 제1 절연막 패턴들(315)의 표면, 웨이퍼 기판(300) 상면, 패드(470) 상면 및 분리막 패턴(330) 상면의 제2 블로킹막(500) 부분이 함께 제거될 수 있으며, 이에 따라 제2 블로킹막 패턴(502)이 형성될 수 있다. 제1 및 제2 블로킹막 패턴들(372, 502)은 함께 블로킹막 패턴 구조물(512)을 형성할 수 있다.
한편, 게이트 전극막(540) 및 제2 블로킹막(500)이 부분적으로 제거됨에 따라, 웨이퍼 기판(300) 상부를 노출시키며 상기 제3 방향으로 연장되는 제1 개구(480)가 다시 형성되며, 상기 노출된 웨이퍼 기판(300) 상부에 불순물을 주입하여 불순물 영역(305)을 형성할 수 있다. 예시적인 실시예들에 따르면, 상기 불순물은 인, 비소와 같은 n형 불순물을 포함할 수 있다. 예시적인 실시예들에 따르면, 불순물 영역(305)은 상기 제3 방향으로 연장되어 공통 소스 라인(CSL)의 역할을 수행할 수 있다.
도시되지는 않았지만, 불순물 영역(305) 상에, 예를 들어, 코발트 실리사이드 패턴 혹은 니켈 실리사이드 패턴과 같은 금속 실리사이드 패턴을 더 형성할 수도 있다.
도 26을 참조하면, 제1 개구(480)를 채우는 제3 절연막 패턴(580)을 형성한다. 예시적인 실시예들에 따르면, 제1 개구(480)를 채우는 제3 절연막을 기판(300) 및 최상층 제1 절연막 패턴(315) 상에 형성한 후, 최상층 제1 절연막 패턴(315)의 상면이 노출될 때까지 상기 제3 절연막 상부를 평탄화함으로써, 제3 절연막 패턴(580)을 형성할 수 있다.
이후, 제1 및 제3 절연막 패턴들(315, 380), 패드(470) 및 분리막 패턴(330) 상에 제5 절연막(590)을 형성하고, 패드(470) 상면을 노출시키는 제2 개구(605)를 형성한다. 예시적인 실시예들에 따르면, 제2 개구(605)는 패드(470)에 대응하도록 복수 개로 형성되어 제2 개구 어레이를 형성할 수 있다.
이후, 제2 개구(605)를 채우는 비트 라인 콘택(600)을 패드(470) 상에 형성하고, 비트 라인 콘택(600)에 전기적으로 연결되는 비트 라인(610)을 형성하여 수직형 메모리 장치를 완성한다. 비트 라인 콘택(600) 및 비트 라인(610)은 금속, 금속 질화물, 도핑된 폴리실리콘 등을 사용하여 형성될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따르면, 비트 라인 콘택(600)은 패드(470)에 대응하도록 복수 개로 형성되어 비트 라인 콘택 어레이를 형성할 수 있으며, 비트 라인(610)은 각각이 상기 제2 방향으로 연장되도록 상기 제3 방향을 따라 복수 개로 형성될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100, 101: 웨이퍼 처리 장치 102: 공정 챔버
110: 반응 튜브 112: 내부 튜브
120: 지지부 130: 배기구
140: 도어 플레이트 150: 보트
160: 캡 플레이트 200: 가스 인젝터
201: 가스 이동 통로 202: 가스 분배체
204: 가스 도입관 210: 내측부
212: 분사구 220: 외측부
230: 제1 측부 240: 제2 측부
300: 웨이퍼 기판 305: 불순물 영역
310: 제1 절연막 315: 제1 절연막 패턴
320: 희생막 330: 분리막 패턴
340: 하드 마스크 350: 홀
360: 반도체 패턴 370, 500: 제1, 제2 블로킹막
372: 제1블로킹막 패턴 380: 전하 저장막
382: 전하 저장막 패턴 390: 터널 절연막
392: 터널 절연막 패턴 400: 제1 채널막
402: 제1 채널 442: 채널
460: 제2 절연막 패턴 502: 제2 블로킹막 패턴
512: 블로킹막 패턴 구조물 580: 제3 절연막 패턴
600: 비트 라인 콘택 610: 비트 라인

Claims (20)

  1. 가스 공급원으로 공정 가스를 반응 튜브 내로 도입하기 위한 가스 도입관;
    상기 가스 도입관에 연결되고, 상기 반응 튜브 내에서 상기 가스 도입관으로부터 일방향으로 연장하고 아치 형상으로 상기 반응 튜브의 원주 방향으로 연장하는 가스 분배체; 및
    상기 가스 분배체의 내측면에 상기 가스 분배체의 상기 연장 방향을 따라 이격 형성되고 상기 공정 가스를 분사하는 복수 개의 분사구들을 포함하는 가스 인젝터.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 가스 분배체는 상기 반응 튜브의 중심으로부터 제1 반경만큼 이격된 아치 형상의 내측부 및 상기 반응 튜브의 중심으로부터 상기 제1 반경보다 큰 제2반경만큼 이격된 아치 형상의 외측부를 포함하고, 상기 내측부 및 상기 외측부는 이들 사이에서 상기 공정 가스의 이동 통로를 형성하는 가스 인젝터.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 분사구들은 상기 내측부에 상기 연장 방향을 따라 이격 형성된 가스 인젝터.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 분사구는 원형, 타원형 또는 다각형 형상을 갖는 가스 인젝터.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 가스 도입관으로부터 상기 분사구의 위치가 높아질수록 상기 분사구의 크기가 증가되는 가스 인젝터.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 분사구는 상기 가스 도입관으로부터 동일한 높이에서 복수 개가 형성된 가스 인젝터.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 가스 도입관으로부터 상기 분사구들의 위치가 높아질수록 동일한 높이에서 형성된 상기 분사구들의 개수가 증가되는 가스 인젝터.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 가스 도입관으로부터 상기 분사구들의 위치가 높아질수록 상기 분사구들 사이의 거리가 감소되는 가스 인젝터.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 가스 분배체의 상부로 갈수록 상기 가스 분배체의 가스 이동 통로의 단면적은 증가하는 가스 인젝터.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 분사구는 상기 가스 분배체의 연장 방향에 직교하는 방향으로 상기 반응 튜브의 중심을 향하도록 연장 형성되는 가스 인젝터.
  11. 수직 방향으로 연장하며 공정 챔버를 정의하는 반응 튜브;
    상기 반응 튜브 내에 로딩되며, 복수 개의 웨이퍼들을 지지하는 보트; 및
    상기 반응 튜브 내에서 공정 가스를 상기 공정 챔버 내로 분사하고, 상기 반응 튜브와 상기 보트 사이에서 상기 반응 튜브의 연장 방향으로 연장하고 상기 보트를 감싸도록 아치 형상으로 상기 반응 튜브의 원주 방향으로 연장하는 적어도 하나의 가스 분배체 및 상기 가스 분배체의 내측면에 상기 연장 방향을 따라 이격 형성되고 상기 공정 가스를 분사하는 복수 개의 분사구들을 포함하는 가스 인젝터를 포함하는 웨이퍼 처리 장치.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 가스 분배체는 상기 보트와 상대적으로 인접한 아치 형상의 내측부 및 상기 반응 튜브의 내측면에 상대적으로 인접한 아치 형상의 외측부를 포함하고, 상기 내측부 및 상기 외측부는 이들 사이에서 상기 공정 가스의 이동 통로를 형성하는 웨이퍼 처리 장치.
  13. 제 11 항에 있어서, 상기 가스 분배체의 하단부로부터 상기 분사구의 위치가 높아질수록 상기 분사구의 크기가 증가되는 웨이퍼 처리 장치.
  14. 제 11 항에 있어서, 상기 분사구는 상기 가스 분배체의 하단부로부터 동일한 높이에서 복수 개가 형성된 웨이퍼 처리 장치.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 가스 분배체의 하단부로부터 상기 분사구들의 위치가 높아질수록 동일한 높이에서 형성된 상기 분사구들의 개수가 증가되는 웨이퍼 처리 장치.
  16. 제 11 항에 있어서, 상기 가스 분배체의 하단부로부터 상기 분사구들의 위치가 높아질수록 상기 분사구들 사이의 거리가 감소되는 웨이퍼 처리 장치.
  17. 제 11 항에 있어서, 상기 가스 분배체의 하부로부터 상부로 갈수록 상기 가스 분배체의 가스 이동 통로의 단면적은 증가하는 웨이퍼 처리 장치.
  18. 제 11 항에 있어서, 상기 가스 인젝터는 상기 가스 분배체의 하부에 연결되며 가스 공급원으로부터 상기 공정 가스를 공급하는 가스 도입관을 더 포함하는 웨이퍼 처리 장치.
  19. 제 11 항에 있어서, 상기 가스 인젝터는 상기 원주 방향으로 서로 이격 배치된 제1 가스 분배체 및 제2 가스 분배체를 포함하고, 상기 제1 가스 분배체의 호의 길이는 상기 제2 가스 분배체의 호의 길이와 같거나 다른 웨이퍼 처리 장치.
  20. 제 11 항에 있어서, 상기 제1 튜브 내에 배치되며, 상기 공정 챔버의 외주부를 정의하는 내부 튜브를 더 포함하는 웨이퍼 처리 장치.
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