KR20160055119A

KR20160055119A - 진공 펌프의 고정 부품

Info

Publication number: KR20160055119A
Application number: KR1020167000422A
Authority: KR
Inventors: 요시유키 사카구치
Original assignee: 에드워즈 가부시키가이샤
Priority date: 2013-09-17
Filing date: 2014-06-06
Publication date: 2016-05-17
Also published as: EP3048306A4; WO2015040898A1; CN105579711B; US20190154046A1; US10260515B2; CN105579711A; US20160222974A1; EP3048306B1; EP3048306A1; US10508657B2; KR102167209B1; JP2015059426A

Abstract

(과제) 파괴 에너지(로터가 회전 중에 파손됨으로써 발생하는 파괴의 에너지)의 저감, 또한, 펌프 사이즈의 컴팩트화를 도모하는데 적절한 진공 펌프의 고정 부품과 이것을 구비한 진공 펌프를 제공한다.
(해결 수단) 진공 펌프(P)에 있어서, 고정 부품으로서의 스페이서(9) 또는 나사홈 펌프 스테이터(8)는, 펌프 케이스(C) 내에 수용된 상태로, 그 외주면과 펌프 케이스(C)의 내주면 사이에, 후기 《조건》을 만족시키는 간극(G1)을 형성한다. 《조건》 2d/D≤ε_max 또한, 상기 《조건》에 있어서, D는 고정 부품(스페이서(9) 또는 나사홈 펌프 스테이터(8))의 외경, d는 상기 간극의 폭, ε_max는 상기 고정 부품의 파단 신장이다.

Description

진공 펌프의 고정 부품{FIXING COMPONENT OF VACUUM PUMP}

본 발명은, 펌프 케이스 내에서의 로터의 회전에 의해 흡기한 가스를 배기하는 진공 펌프의 구성 부품으로서, 상기 펌프 케이스 내에 수용되는 환상의 고정 부품에 관한 것이다.

종래, 펌프 케이스 내에서의 로터의 회전에 의해 흡기한 가스를 배기하는 진공 펌프로는, 예를 들면, 특허 문헌 1에 기재된 터보 분자 펌프가 알려져 있다. 동 문헌 1의 터보 분자 펌프는, 로터(R)의 회전에 의해 흡기구(플랜지(14a) 부근)로부터 가스를 흡기하고, 흡기한 가스를 배기구(15a)로부터 배기하도록 구성되어 있다(동 문헌 1의 단락 0024의 기재를 참조).

또, 동 문헌 1의 터보 분자 펌프에 있어서는, 펌프 케이싱(14)의 내측에 내측 케이싱(142)을 설치하고, 또한, 이 내측 케이싱(142)의 내측에 상기 로터(R)를 수용하는 구성, 및, 로터(R)가 회전 중에 파손됨으로써 발생하는 파괴의 에너지(이하 「파괴 에너지」라고 한다)를 내측 케이싱(142)에서 흡수하는 수단으로서, 상기 내측 케이싱(142)과 상기 펌프 케이싱(14) 사이에 간극(T)을 형성함으로써, 파괴 에너지에 의한 내측 케이싱(142)의 변형을 가능하게 하고, 그 변형에 의해서 파괴 에너지를 흡수하는 구성을 채용하고 있다.

그러나, 동 문헌 1에 기재된 터보 분자 펌프에 의하면, 로터(R)의 파괴 에너지는 내측 케이싱(142)의 변형 에너지로 변환되어 흡수되는데, 그 내측 케이싱(142)을 구성하는 재료의 신장량을 고려해 상기 간극(T)을 설정하고 있지 않다. 이 때문에, 상기 간극(T)을 설치한 것에 비해서는, 파괴 에너지를 충분히 흡수할 수 없는 경우가 있었다. 또, 공간 절약화의 관점에서, 터보 분자 펌프의 컴팩트화를 도모함에 있어서, 재료의 신장량을 고려하지 않는 상기 간극(T)의 설정은, 컴팩트화를 실현할 때의 방해의 요인 중 하나로 되었다.

또한, 상기 괄호 내의 부호는, 특허 문헌 1에서 이용되고 있는 부호이다.

일본국 특허 제4197819호 공보

본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위해서 이루어진 것이며, 그 목적은, 파괴 에너지(로터가 회전 중에 파손됨으로써 발생하는 파괴의 에너지)의 저감을 도모하는데 적절한 진공 펌프의 고정 부품과, 이것을 구비한 진공 펌프를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 펌프 케이스 내에서의 로터의 회전에 의해 흡기한 가스를 배기하는 진공 펌프의 구성 부품으로서, 상기 펌프 케이스 내에 수용되는 환상의 고정 부품으로서, 상기 고정 부품은, 상기 펌프 케이스 내에 수용된 상태로, 그 외주면과 상기 펌프 케이스의 내주면 사이에, 하기 《조건》을 만족시키는 간극을 형성하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 고정 부품.

《조건》

2d/D≤ε_max

D:상기 고정 부품의 외경

d:상기 간극의 폭

ε_max:상기 고정 부품의 파단 신장

상기 본 발명에 있어서, 상기 고정 부품은, 주조에 의해 제조된 것을 특징으로 해도 된다.

상기 본 발명에 있어서, 상기 고정 부품은, 금형 주조에 의해 제조된 금형 주물인 것을 특징으로 해도 된다.

상기 본 발명에 있어서, 상기 고정 부품은, 사형 주조 후에 열처리를 실시한 사형 주물인 것을 특징으로 해도 된다.

상기 본 발명에 있어서, 상기 고정 부품은, 상기 주조에 의해 제조될 때에, 첨가제를 추가해, 상기 파단 신장을 무구(無垢) 재료물과 동등하게 한 것을 특징으로 해도 된다.

상기 본 발명에 있어서, 상기 고정 부품은, 알루미늄 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 해도 된다.

또, 본 발명은, 상기 고정 부품을 구비한 진공 펌프이다.

본 발명에서는, 펌프 케이스 내에 수용되는 환상의 고정 부품의 구체적 구성으로서, 이러한 고정 부품은, 펌프 케이스 내에 수용된 상태로, 그 외주면과 펌프 케이스의 내주면 사이에, 상기 《조건》을 만족시키는 간극을 형성하는 것으로 했다. 이 때문에, 파괴 에너지에 의해서 고정 부품이 최대로 신장 변형된 경우, 즉, 고정 부품이 그 파단 신장(ε_max)과 대략 동일한 정도 부근까지 신장 변형된 경우에도, 신장 변형된 고정 부품은 펌프 케이스의 내면에 접촉하지 않거나, 혹은, 가볍게 접촉하는 정도로 끝나므로, 신장 변형된 고정 부품을 통해 펌프 케이스측에 파괴 에너지가 전달되는 현상을 효과적으로 방지할 수 있어, 고정 부품에 있어서 파괴 에너지를 충분히 흡수하는 것이 가능하고, 또한, 펌프 케이스의 소형화를 도모하면서, 파괴 에너지의 저감을 도모하는데 적절한 진공 펌프의 고정 부품과 이것을 구비한 진공 펌프를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 진공 펌프의 고정 부품을 구비한 진공 펌프 단면도.
도 2의 (a)는 도 1의 진공 펌프를 구성하는 스페이서(반분)의 단면도, (b)는 그 스페이서의 평면도.
도 3은 알루미늄 합금의 응력 변형 선도.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태에 대해서, 첨부한 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

도 1은, 본 발명에 따른 진공 펌프의 고정 부품을 구비한 진공 펌프 단면도이며, 도 2에 있어서, (a)는 도 1의 진공 펌프를 구성하는 스페이서(반분)의 단면도, (b)는 그 스페이서의 평면도이다.

도 1의 진공 펌프(P)는, 예를 들면, 반도체 제조 장치, 플랫·패널·디스플레이 제조 장치, 솔러·패널 제조 장치에 있어서의 프로세스 챔버나 그 외의 밀폐 챔버의 가스 배기 수단 등으로서 이용된다.

도 1의 진공 펌프(P)에 있어서, 외장 케이스(1)는, 통형상의 펌프 케이스(C)와 펌프 베이스(B)를 그 통축방향으로 체결 수단(E)로 일체로 연결함으로써, 바닥이 있는 원통 형상으로 되어 있다.

펌프 케이스(C)의 상단부측(도 1에 있어서 지면 상방)은 가스 흡기구(1A)로서 개구하고 있고, 또, 펌프 베이스(B)에는 가스 배기구(2)가 설치되어 있다. 또한, 가스 흡기구(1A)는 예를 들면 반도체 제조 장치의 프로세스 챔버 등, 고진공이 되는 도시하지 않은 밀폐 챔버에 접속되고, 가스 배기구(2)는, 도시하지 않은 보조 펌프에 연통 접속된다.

펌프 케이스(C) 내의 중앙부에는 원통형의 스테이터 칼럼(3)이 설치되어 있다. 이 스테이터 칼럼(3)은 펌프 베이스(B) 상에 세워져 설치되어 있고, 스테이터 칼럼(3)의 외측에는 로터(4)가 설치되고, 스테이터 칼럼(3)의 내측에는, 로터(4)를 지지하는 수단으로서의 자기 베어링(MB)이나, 상기 로터(4)를 회전 구동하는 수단으로서의 구동 모터(MT) 등의 각종 전장 부품이 내장되어 있다. 또한, 자기 베어링(MB)이나 구동 모터(MT)는 공지이므로, 그 구체적인 구성의 상세 설명은 생략한다.

로터(4)는, 펌프 베이스(B) 상에 회전 가능하게 배치되고, 펌프 베이스(B)와 펌프 케이스(C)에 내포되어 있다. 또, 이 로터(4)는, 스테이터 칼럼(3)의 외주를 둘러싸는 원통 형상이며, 연결부(4A)에서 직경이 상이한 2개의 통체(제1의 통체(4B)와 제2의 통체(4C))를 그 통축방향으로 연결하고, 또한, 그 제1의 통체(4B)의 상단면측을 단 부재(4D)로 막은 구조로 되어 있다.

로터(4)의 내측에는 회전축(41)이 부착되어 있고, 회전축(41)을 상기 스테이터 칼럼(3)에 내장된 자기 베어링(MB)으로 지지하는 것, 및, 회전축(41)을 상기 스테이터 칼럼(3)에 내장된 구동 모터(MT)로 회전 구동함으로써, 로터(4)는, 그 축심(상기 회전축(41)) 둘레로 회전 가능하게 지지됨과 더불어, 그 축심 둘레로 회전 구동되는 구성으로 되어 있다. 이 구성의 경우, 상기 회전축(41), 스테이터 칼럼(3)에 내장된 상기 자기 베어링(MB) 및 구동 모터(MT)가 로터(4)의 지지 및 구동 수단으로서 기능한다. 이것과는 다른 구성에 의해 로터(4)를 그 축심 둘레로 회전 가능하게 지지해 회전 구동해도 된다.

도 1의 진공 펌프(P)는, 펌프 케이스(C) 내에서의 로터(4)의 회전에 의해 흡기구(1A)로부터 흡기한 가스를 배기구(2)로 인도해 상기 배기구(2)보다 외부로 배기하는 수단으로서 가스 유로(R)를 구비하고 있다.

상기 가스 유로(R)의 일 실시형태로서, 도 1의 진공 펌프(P)에서는, 그 가스 유로(R) 전체 중, 전반의 흡기측 가스 유로(R1)(로터(4)의 연결부(4A)보다 상류측)는, 로터(4)의 외주면에 설치된 복수의 회전 날개(6)와, 펌프 케이스(C)의 내주면에 스페이서(9)를 통해 고정된 복수의 고정 날개(7)에 의해서 형성되는 것으로 하고, 후반의 배기측 가스 유로(R2)(로터(4)의 연결부(4A)보다 하류측)는, 로터(4)의 외주면(구체적으로는, 제2의 통체(4C)의 외주면)과 이것에 대향하는 나사홈 펌프 스테이터(8)에 의해 나사홈형상의 유로로서 형성되어 있다.

흡기측 가스 유로(R1)의 구성을 더욱 상세하게 설명하면, 도 1의 진공 펌프(P)에 있어서, 흡기측 가스 유로(R1)를 구성하는 회전 날개(6)는, 로터(4) 회전 중심 등의 펌프 축심을 중심으로 하여 방사상으로 나란히 복수 배치되어 있다. 그 한편, 흡기측 가스 유로(R1)를 구성하는 고정 날개(7)는, 스페이서(9)를 통해 펌프 경방향 및 펌프 축방향에 위치 결정되는 형식으로 펌프 케이스(C)의 내주측에 배치 고정됨과 더불어, 펌프 축심을 중심으로 하여 방사상으로 나란히 복수 배치되어 있다.

그리고, 도 1의 진공 펌프(P)에서는, 상기와 같이 방사상으로 배치된 회전 날개(6)와 고정 날개(7)가 펌프 축심을 따라서 번갈아 다단으로 배치됨으로써, 흡기측 가스 유로(R1)가 형성되도록 구성되어 있다.

이상의 구성으로 이루어지는 흡기측 가스 유로(R1)에서는, 구동 모터(MT)의 기동에 의해 로터(4) 및 복수의 회전 날개(6)가 일체로 고속 회전함으로써, 회전 날개(6)가 가스 흡기구(1A)로부터 입사한 가스 분자에 하향 방향의 운동량을 부여한다. 이 하향 방향의 운동량을 갖는 가스 분자가 고정 날개(7)에 의해서 다음 단의 회전 날개측으로 이송된다. 이상과 같은 가스 분자로의 운동량의 부여와 이송 동작이 반복해서 다단으로 행해짐으로써, 가스 흡기구측의 가스 분자는, 흡기측 가스 유로(R1)를 통해서, 배기측 가스 유로(R2)의 방향으로 순차적으로 이행하도록 배기된다.

다음에, 상기 배기측 가스 유로(R2)의 구성을 더욱 상세하게 설명하면, 도 1의 진공 펌프(P)에 있어서, 배기측 가스 유로(R2)를 구성하는 나사홈 펌프 스테이터(8)는, 로터(4)의 하류측 외주면(구체적으로는, 제2의 통체(4C)의 외주면. 이하도 마찬가지)을 둘러싸는 환상의 고정 부품이며, 또한, 그 내주면측이 소정 간극을 두고 로터(4)의 하류측 외주면(구체적으로는, 제2의 통체(4C)의 외주면)과 대향하도록 배치되어 있다.

또, 이 나사홈 펌프 스테이터(8)의 내주부에는 나사홈(8A)이 형성되어 있고, 나사홈(8A)은, 그 깊이가 하방을 향해서 소경화한 테이퍼 콘 형상으로 변화하고, 나사홈 펌프 스테이터(8)의 상단에서부터 하단에 걸쳐 나선형상으로 형성되어 있다.

그리고, 도 1의 진공 펌프(P)에서는, 로터(4)의 하류측 외주면과 상기 나사홈(8A)을 구비한 나사홈 펌프 스테이터(8)가 대향함으로써, 상기 배기측 가스 유로(R2)가 나사홈의 가스 유로로서 형성되도록 구성되어 있다. 이와는 다른 실시형태로서, 도시는 생략하지만, 예를 들면, 이러한 나사홈(8A)을 로터(4)의 하류측 외주면에 설치함으로써, 상기와 같은 배기측 가스 유로(R2)가 형성되는 구성을 채용하는 것도 가능하다.

이상의 구성으로 이루어지는 배기측 가스 유로(R2)에서는, 구동 모터(MT)의 기동에 의해 로터(4)가 회전하면, 흡기측 가스 유로(R1)로부터 가스가 유입되고, 나사홈(8A)과 로터(4)의 하류측 외주면에서의 드래그 효과에 의해, 그 유입된 가스를 천이류에서 점성류로 압축하면서 이송하는 형식으로 배기한다.

《파괴 에너지를 흡수하는 수단의 설명》

상기 스페이서(9)는, 진공 펌프(P)의 구성 부품으로서 펌프 케이스(C) 내에 수용되는 환상의 고정 부품(도 2(a), (b)를 참조)이며, 도 1과 같이 나사홈 펌프 스테이터(8)의 상단부에 다단으로 적층되어 있다. 그리고, 다단으로 적층된 스페이서(9) 사이에 고정 날개(7)의 외주단이 끼워짐으로써, 고정 날개(7)는, 펌프 케이스(C) 내에 위치 결정 고정되도록 구성되어 있다.

또, 상기와 같이 고정 날개(7)를 위치 결정 고정하고 있는 스페이서(9)는, 또한 파괴 에너지를 흡수하는 수단으로서의 기능도 갖고 있다. 즉 도 1의 진공 펌프(P)에 있어서, 상기 스페이서(9)는, 펌프 케이스(C) 내에 수용된 상태로, 그 외주면과 펌프 케이스(C)의 내주면 사이에, 하기 《조건 1》을 만족시키는 간극(G1)을 형성하고 있다.

《조건 1》

2d/D≤ε_max

D:고정 부품(스페이서(9))의 외경

2d:간극(G1)의 폭

ε_max:고정 부품(스페이서(9))의 파단 신장(도 3을 참조)

그런데, 앞서 설명한 나사홈 펌프 스테이터(8)도, 스페이서(9)와 동일하게, 진공 펌프(P)의 구성 부품으로서 펌프 케이스(C) 내에 수용되는 환상의 고정 부품이다. 그리고, 도 1의 진공 펌프(P)에서는, 이 나사홈 펌프 스테이터(8)가, 펌프 케이스(C) 내에 수용된 상태로, 그 외주면과 펌프 케이스(C)의 내주면 사이에, 하기 《조건 2》를 만족시키는 간극(G2)을 형성하도록 구성되어 있다.

《조건 2》

2d/D≤ε_max

D:고정 부품(나사홈 펌프 스테이터(8))의 외경

2d:간극(G2)의 폭

ε_max:고정 부품(나사홈 펌프 스테이터(8))의 파단 신장(도 3을 참조)

도 1의 진공 펌프(P)에 있어서의 로터(4)는, 상술한 바와 같이, 자기 베어링으로 지지되며, 예를 들면 30000RPM으로 고속 회전하기 때문에, 로터(4)가 그 주위의 부재에 접촉하여 파손되었을 때에 발생하는 파괴 에너지는 크다.

그러나, 도 1의 진공 펌프(P)에서는, 스페이서(9)나 나사홈 펌프 스테이터(8)의 구체적인 구성으로서, 스페이서(9)나 나사홈 펌프 스테이터(8)는, 펌프 케이스(C) 내에 수용된 상태로, 그 외주면과 펌프 케이스(C)의 내주면 사이에, 상기 《조건 1》 또는 《조건 2》를 만족시키는 간극(G1 또는 G2)을 형성하는 것으로 했다.

이 때문에, 도 1의 진공 펌프(P)에 의하면, 파괴 에너지에 의해서 스페이서(9) 혹은 나사홈 펌프 스테이터(8)가 최대로 신장 변형된 경우, 즉, 스페이서(9) 혹은 나사홈 펌프 스테이터(8)가 그 파단 신장(ε_max)과 대략 동일한 정도 부근까지 최대로 신장 변형된 경우에서도, 신장 변형된 스페이서(9) 혹은 나사홈 펌프 스테이터(8)는 펌프 케이스(C)의 내면에 접촉하지 않거나, 혹은 가볍게 접촉하는 정도로 끝난다. 따라서, 신장 변형된 스페이서(9)나 나사홈 펌프 스테이터(8)를 통해 펌프 케이스(C)측에 파괴 에너지가 전달되는 현상은 효과적으로 방지되어, 스페이서(9)나 나사홈 펌프 스테이터(8)에 있어서 대부분의 파괴 에너지를 흡수하는 것이 가능하다.

이상과 같이, 도 1의 진공 펌프에 의하면, 스페이서(9)나 나사홈 펌프 스테이터(8)에 있어서 대부분의 파괴 에너지를 흡수하는 것이 가능하므로, (1) 파괴 에너지에 의해서 펌프 케이스(C)가 파손되어 진공 파괴가 발생할 가능성이나, (2) 파괴 에너지가 펌프 케이스(C)에 전달됨으로써 펌프 케이스(C)에 이상 토크가 발생해, 그에 따라 펌프 케이스(C)가 가스 흡기구(1A)측을 고정점으로 하여 비틀릴 가능성, 및 (3) 진공 펌프(P)의 가스 흡기구(1A)에 접속되는 반도체 제조 장치의 프로세스 챔버 등, 진공 펌프(P) 외의 장치에 파괴 에너지가 미침으로써 상기 장치를 파손할 가능성의 저감을 도모할 수 있어, 진공 펌프의 안전성이 향상되었다.

스페이서(9)나 나사홈 펌프 스테이터(8)는, 그 자체가 파괴 에너지에 의해서 신장 변형됨으로써 파괴 에너지를 흡수하는 수단으로서 기능하는 것이기 때문에, 신장성이 뛰어난 재료로 형성하는 것이 바람직하다.

도 3은, 알루미늄 합금에 대한 응력 변형 선도이다. 이 응력 변형 선도에 있어서, 사선이 들어간 면적 부분은 알루미늄 합금이 변형됨으로써 흡수할 수 있는 파괴 에너지량(최대치)에 상당한다. 이 응력 변형 선도로부터도 알 수 있듯이, 신장성이 좋은 재료(잘 신장되는 재료)가, 사선의 면적 부분이 넓어져, 파괴 에너지의 흡수량이 많아진다.

일반적으로, 동일한 알루미늄 합금으로 이루어지는 부품에서도, 그것이 무구 재료물인 경우와 주물인 경우에서는, 무구 재료물이 신장성이 뛰어나다. 이 때문에, 도 1의 진공 펌프에 있어서, 스페이서(9)나 나사홈 펌프 스테이터(8)를 알루미늄 합금으로 형성하는 경우에는, 그들을 무구 재료로 형성해도 된다.

그러나, 무구 재료의 스페이서(9)나 나사홈 펌프 스테이터(8)는 재료비가 비싸고, 진공 펌프(P) 전체의 고비용을 초래하므로, 스페이서(9)나 나사홈 펌프 스테이터(8)는, 재료비가 싸고 또한 무구 재료물과 대략 동일한 정도의 신장성을 구비한 주물로 형성하는 것이 바람직하다.

무구 재료물과 대략 동일한 정도의 신장성을 구비한 주물로는, 금형 주조에 의해 제조된 금형 주물, 예를 들면 Al-Mg계 알루미늄 합금제의 금형 주물이 있다. 또한, Al-Mg계 알루미늄 합금은, 진공하에서의 사용에도 적합하기 때문에, 도 1의 진공 펌프에 있어서의 스페이서(9)나 나사홈 펌프 스테이터(8)의 구성 재료로서 적절하다.

상기 「금형 주물」이란, 금형을 이용해, 중력하에서 주조를 행하여 제조한 주물이다. 이런 종류의 금형 주물은, 사형 주물이나 다이캐스트 제법에 의한 주물에 비해, 신장률이 높고, 무구 재료물에 가까운 신장률을 갖는다. 또, 이런 종류의 금형 주물의 신장성을 보다 한층 높이는 수단으로서, 금형 주물 중에 스트론튬(Sr) 등의 첨가제를 부가해도 된다. 상술한 나사홈 펌프 스테이터(8)나 스페이서(9)와 같은 고정 부품은, 주조에 의해 제조될 때에 상기 첨가제를 추가함으로써, 그 파단 신장을 무구 재료물과 동등하게 하는 것이 가능하다.

사형 주물 중에서도, 사형 주조 후에 열처리를 실시한 사형 주물(이하 「열처리 사형 주물」이라고 한다)은, 그 열처리의 방법에 따라, 금형 주물보다도 신장률이 높고, 무구 재료물에 가까운 신장률을 갖는 경우가 있다.

이상으로부터, 도 1의 진공 펌프(P)에서는, 스페이서(9)나 나사홈 펌프 스테이터(8)의 구체적인 구성으로서, 그들을 금형 주조에 의해 제조된 Al-Mg계 알루미늄 합금제의 금형 주물, 또는, 열처리 사형 주물로 형성하고 있다.

본 발명은, 이상 설명한 실시형태로 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에 있어서 통상의 지식을 갖는 자에 의해 많은 변형이 가능하다.

예를 들면, 본 발명은, 도 1의 진공 펌프(P)에 있어서, 가스 유로(R) 중의 흡기측 가스 유로(R1)를 생략한 형식의 진공 펌프나, 배기측 가스 유로(R2)를 생략한 형식의 진공 펌프에도 적용하는 것이 가능하다.

1:외장 케이스
1A:가스 흡기구
2:가스 배기구
3:스테이터 칼럼
4:로터
41:회전축
4A:연결부
4B:제1의 통체
4C:제2의 통체
4D:단 부재
6:회전 날개
7:고정 날개
8:나사홈 펌프 스테이터
8A:나사홈
9:스페이서
B:펌프 베이스
C:펌프 케이스
D:스페이서 또는 나사홈 펌프 스테이터의 외경
G1:펌프 케이스와 스페이서 사이의 간극
G2:펌프 케이스와 나사홈 펌프 스페이서 사이의 간극
d:간극의 폭
MB:자기 베어링
MT:구동 모터
P:진공 펌프
R:가스 유로
R1:흡기측 가스 유로
R2:배기측 가스 유로

Claims

펌프 케이스 내에서의 로터의 회전에 의해 흡기한 가스를 배기하는 진공 펌프의 구성 부품으로서, 상기 펌프 케이스 내에 수용되는 환상의 고정 부품으로서,
상기 고정 부품은, 상기 펌프 케이스 내에 수용된 상태로, 그 외주면과 상기 펌프 케이스의 내주면 사이에, 하기 《조건》을 만족시키는 간극을 형성하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 고정 부품.
《조건》
2d/D≤ε_max
D:상기 고정 부품의 외경
d:상기 간극의 폭
ε_max:상기 고정 부품의 파단 신장
청구항 1에 있어서,
상기 고정 부품은, 주조에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 고정 부품.
청구항 2에 있어서,
상기 고정 부품은, 금형 주조에 의해 제조된 금형 주물인 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 고정 부품.
청구항 2에 있어서,
상기 고정 부품은, 사형 주조 후에 열처리를 실시한 사형 주물인 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 고정 부품.
청구항 2 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 고정 부품은, 상기 주조에 의해 제조될 때에, 첨가제를 추가해, 상기 파단 신장을 무구(無垢) 재료물과 동등하게 한 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 고정 부품.
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
상기 고정 부품은, 알루미늄 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 고정 부품.
청구항 1 내지 청구항 6에 기재된 고정 부품을 구비한 진공 펌프.