KR20160019853A - 제거 방법, 제거 장치 및 인쇄 시스템 - Google Patents

Abstract

[과제] 블랭킷이나 기판 등의 판상체에 부착되는 부착물을 양호하게 제거하는 제거 기술, 및 상기 제거 기술을 이용한 인쇄 시스템을 제공한다.
[해결 수단] 판상체의 한쪽 주면에 부착되는 부착물을 제거하는 제거 방법으로서, 판상체의 한쪽 주면에 전사체를 밀착시켜 부착물을 전사체에 전사하는 전사 공정과, 판상체의 한쪽 주면에 밀착한 전사체를 판상체로부터 박리하여 판상체의 한쪽 주면으로부터 부착물을 제거하는 박리 공정을 구비한다.

Description

제거 방법, 제거 장치 및 인쇄 시스템{REMOVING METHOD, REMOVING APPARATUS AND PRINTING SYSTEM}

이 발명은, 블랭킷이나 기판 등의 판상체의 한쪽 주면에 부착되는 부착물을 제거하는 제거 기술 및 상기 제거 기술을 이용한 인쇄 시스템에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼, 액정 표시 장치용 유리 기판, 플라스마 디스플레이용 유리 기판, 자기 또는 광디스크용의 유리 또는 세라믹 기판, 유기 EL용 유리 기판, 태양전지용 유리 기판 또는 실리콘 기판, 그 외 플렉시블 기판 및 프린트 기판 등의 전자 기기 전용 기판에 대해 패턴층을 형성하기 위해, 블랭킷 등의 판상체를 이용한 인쇄 기술이 제안되고 있다(예를 들어, 일본국 특허 공개 2013-184382호 공보).

이 인쇄 기술에서는, 도포층이 도포된 블랭킷에 대해, 기판에 형성해야 할 패턴과 반대의 패턴, 즉 반전 패턴을 가지는 판을 맞대어 접촉시킴으로써, 블랭킷상의 도포층을 패터닝하여 상기 반전 패턴을 가지는 패턴층을 블랭킷상에 형성한다(패터닝 처리). 그리고, 상기 블랭킷을 기판에 맞대어 접촉시킴으로써, 상기 패턴층을 기판에 전사한다(전사 처리). 또한, 특허 문헌 1에 기재된 장치에서는, 상기 패터닝 처리와 상기 전사 처리를 동일 장치 내에서 연속 실행하여 인쇄 처리를 행하고 있는데, 패터닝 처리를 행하는 장치와, 전사 처리를 행하는 장치를 나란히 설치하여 인쇄 처리(=패터닝 처리＋전사 처리)를 행하는 것도 가능하다.

이와 같이 블랭킷을 이용한 인쇄 기술에서는, 전사 처리시에 있어서 블랭킷에 담지되는 패턴층은 기판에 전사되는데, 전사 불량에 의해 블랭킷상에 패턴층의 일부가 잔류하는 경우가 있다. 또, 전사가 양호하게 행해졌다고 하더라도, 설계상, 블랭킷상에 도포액의 일부가 잔류하는 경우가 있다. 블랭킷으로의 도포층의 형성은 슬릿 노즐을 이용하여 행해지는 경우가 많아, 도포의 시단 부분이나 종단 부분, 더욱이는 노즐 에지부에서는, 도포층의 막두께가 불균일해지는 경우가 있다. 그래서, 다음에 도 10을 이용하여 설명하는 바와 같이, 판이나 기판의 평면 사이즈보다 한바퀴 큰 평면 사이즈의 도포층을 블랭킷에 도포하고, 도포층의 중앙 부분에 패턴층을 형성하는 것이 제안되고 있다. 그로 인해, 상기 제안에 따라 인쇄 처리를 행하면, 블랭킷상에는, 도포층의 일부가 액자형상으로 잔류한다. 따라서, 블랭킷을 재이용하기 위해서는, 블랭킷에 잔류하는 부착물을 제거하는 것이 바람직하고, 상기 제거에 적절한 기술의 확립이 요망되고 있다. 또, 이러한 기술의 확립은 블랭킷을 이용한 인쇄 기술뿐만 아니라, 기판의 표면에 부착되는 부착물을 제거하는 기판 처리 기술에 있어서도 요망되고 있다.

이 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 블랭킷이나 기판 등의 판상체에 부착되는 부착물을 양호하게 제거하는 제거 기술, 및 상기 제거 기술을 이용한 인쇄 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

이 발명의 제1 양태는, 판상체의 한쪽 주면에 부착되는 부착물을 제거하는 제거 방법으로서, 판상체의 한쪽 주면에 전사체를 밀착시켜 부착물을 전사체에 전사하는 전사 공정과, 판상체의 한쪽 주면에 밀착한 전사체를 판상체로부터 박리하여 판상체의 한쪽 주면으로부터 부착물을 제거하는 박리 공정을 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.

또, 이 발명의 제2 양태는, 판상체의 한쪽 주면에 부착되는 부착물을 제거하는 제거 장치로서, 판상체의 한쪽 주면에 전사체를 밀착시켜 부착물을 전사체에 전사한 후에, 전사체를 판상체로부터 박리하여 판상체의 한쪽 주면으로부터 부착물을 제거하는 것을 특징으로 하고 있다.

또한, 이 발명의 제3 양태는, 블랭킷에 도포액을 도포하여 도포층을 형성하는 도포 장치와, 블랭킷에 형성된 도포층을 패터닝하여 패턴층을 형성한 후에, 패턴층을 기판에 전사하는 인쇄 장치와, 패턴층을 기판에 전사하는데 사용된 블랭킷에 전사체를 밀착시켜 블랭킷에 부착되는 부착물을 전사체에 전사한 후에, 전사체를 블랭킷으로부터 박리하여 부착물을 제거하는 제거 장치와, 도포층이 형성된 블랭킷을 인쇄 장치에 반송하고, 패턴층을 기판에 전사하는데 사용된 블랭킷을 제거 장치에 반송하며, 부착물이 제거된 블랭킷을 도포 장치에 반송하여 블랭킷의 재이용에 제공하는 반송 장치를 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.

이 발명에 의하면, 판상체의 한쪽 주면으로부터 부착물을 제거할 수 있도록, 상기 한쪽 주면에 대해 전사체가 밀착되고, 이에 의해 부착물이 전사체에 전사된다. 그 후에, 부착물을 담지하면서 전사체가 판상체로부터 박리된다. 이렇게 하여, 판상체의 한쪽 주면으로부터 부착물이 효율적으로 제거된다.

도 1은 본 발명에 따른 제거 장치의 제1 실시 형태를 도시하는 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 제거 장치의 제어계를 도시하는 블럭도이다.
도 3은 도 1에 도시하는 제거 장치의 동작을 도시하는 도이다.
도 4는 본 발명에 따른 제거 장치의 제2 실시 형태를 도시하는 평면도이다.
도 5는 도 4에 도시하는 제거 장치의 동작을 도시하는 도이다.
도 6a~6d는 본 발명에 따른 제거 장치의 제3 실시 형태를 도시하는 도이다.
도 7은 본 발명에 따른 제거 장치의 제4 실시 형태를 장비하는 인쇄 시스템의 일례를 도시하는 도이다.
도 8은 도 7에 도시하는 제거 장치의 제어계를 도시하는 블럭도이다.
도 9는 도 7에 도시하는 인쇄 시스템에 장비된 도포 장치의 일례를 도시하는 사시도이다.
도 10은 블랭킷, 도포층, 판, 기판 및 유효 영역의 위치 관계를 모식적으로 도시하는 도이다.
도 11은 도 7에 도시하는 인쇄 시스템에 장비된 전사 장치의 일례를 도시하는 사시도이다.
도 12는 하측 스테이지 블록의 구조를 도시하는 사시도이다.
도 13은 승강 핸드 유닛의 구조를 도시하는 도이다.
도 14는 전사 롤러 유닛의 구조를 도시하는 도이다.
도 15는 상측 스테이지 어셈블리의 구조를 도시하는 도이다.
도 16a~16c는 처리의 각 단계에 있어서의 장치 각부의 위치 관계를 모식적으로 도시하는 도이다.
도 17a~17c는 처리의 각 단계에 있어서의 장치 각부의 위치 관계를 모식적으로 도시하는 도이다.
도 18a, 18b는 처리의 각 단계에 있어서의 장치 각부의 위치 관계를 모식적으로 도시하는 도이다.
도 19a~19c는 처리의 각 단계에 있어서의 장치 각부의 위치 관계를 모식적으로 도시하는 도이다.
도 20a~20c는 처리의 각 단계에 있어서의 장치 각부의 위치 관계를 모식적으로 도시하는 도이다.
도 21a~21c는 처리의 각 단계에 있어서의 장치 각부의 위치 관계를 모식적으로 도시하는 도이다.
도 22a~22c는 처리의 각 단계에 있어서의 장치 각부의 위치 관계를 모식적으로 도시하는 도이다.
도 23은 도 7에 도시하는 인쇄 시스템에 장비된 박리 장치의 일례를 도시하는 사시도이다.
도 24는 박리 장치의 주요 구성을 도시하는 사시도이다.
도 25는 초기 박리 유닛의 구조 및 각부의 위치 관계를 도시하는 측면도이다.
도 26a~26d는 박리 처리 중의 각 단계에 있어서의 각부의 위치 관계를 도시하는 도이다.
도 27a~27d는 박리 처리 중의 각 단계에 있어서의 각부의 위치 관계를 도시하는 도이다.
도 28은 잉크 제거에 사용된 전사 플레이트를 세정하는 세정 장치의 개략을 도시하는 측면도이다.

＜제1 실시 형태＞

도 1은 본 발명에 따른 제거 장치의 제1 실시 형태를 도시하는 평면도이다. 또, 도 2는 도 1에 도시하는 제거 장치의 제어계를 도시하는 블럭도이다. 또한, 도 3은 도 1에 도시하는 제거 장치의 동작을 도시하는 도이며, 동 도면에는 동작 플로차트 및 동작의 모식도가 도시되어 있다. 또한, 각 도면에 있어서의 방향을 통일적으로 나타내기 위해, 도 1에 도시하는 바와 같이 XYZ 직교 좌표축을 설정한다. 여기에서는, XY평면이 수평면, Z축이 연직축을 나타낸다. 보다 상세하게는, (＋Z) 방향이 연직 상향 방향을 나타내고 있다. 또, 물품(블랭킷 및 제거용 전사 플레이트)의 반입출을 포함하는 외부로부터의 장치에 대한 액세스는 Y축 방향을 따라 이루어진다.

특허 문헌 1에 기재된 장치에서는, 잉크 등의 도포 재료를 도포하여 이루어지는 도포층을 한쪽 주면에 담지한 블랭킷을 이용해 기판으로의 패턴층의 형성, 즉 인쇄 처리가 행해진다. 즉, 블랭킷상의 도포층을 패터닝하여 패턴층을 형성한 후에, 상기 패턴층을 기판에 전사하고 있다. 이로 인해, 패턴층을 기판에 전사하는데 사용된 블랭킷의 표면에 도포 재료가 부분적으로 잔류하여, 상기 블랭킷에 부착되어 있는 경우가 있다. 그래서, 본 발명에 따른 제거 장치는, 상기 장치로 실행되는 전사 동작 및 박리 동작과 유사한 동작을 실행함으로써 블랭킷을 부착되는 부착물 제거용의 전사 플레이트에 이동시키며, 이에 의해 블랭킷으로부터의 부착물의 제거를 행한다.

이하, 도 1 내지 도 3을 참조하면서 본 발명에 따른 제거 장치의 제1 실시 형태에 대해 상술한다. 제1 실시 형태 및 후에 설명하는 실시 형태에서 취급하는 블랭킷(BL)은 유리판 또는 투명 수지판의 표면에 실리콘 고무에 의한 얇은 탄성층이 형성된 판상체이다. 그리고, 제거 동작을 명확하게 하기 위해, 적당히, 탄성층의 표면(SF)에 부착물이 부착되어 있는 상태에 있는 블랭킷(BL)을 「블랭킷(BLi)」이라고 칭하는 한편, 제거 장치에 의해 부착물이 제거된 블랭킷(BL)을 「블랭킷(BL0)」이라고 칭한다. 또, 제1 실시 형태 등에서 취급하는 전사 플레이트(TP)는 블랭킷(BL)과 동일한 평면 사이즈를 가지는 유리판이며, 전사 플레이트(TP)의 표면장력은 블랭킷(BL)의 표면(SF)의 표면장력보다 낮고, 블랭킷(BL)의 표면(SF)보다 높은 젖음성을 가지고 있다. 이 전사 플레이트(TP)에 대해서도, 블랭킷(BL)과 마찬가지로, 적당히, 부착물이 부착되어 있는 상태에 있는 전사 플레이트를 「전사 플레이트(TPi)」라고 칭하는 한편, 부착물이 부착되어 있지 않은 전사 플레이트를 「전사 플레이트(TP0)」라고 칭한다.

제거 장치(1A)는, 전사 처리를 행하는 전사 장치(201)와, 박리 처리를 행하는 박리 장치(301)와, 블랭킷(BL) 및 전사 플레이트(TP)를 반송하는 반송 장치(401)를 가지고 있다. 전사 장치(201)에서는, 도 3의 우측 상부에 도시하는 바와 같이 2개의 유지부(2011, 2012)가 연직축 방향(Z)에 있어서 서로 근접 및 이격 가능하게 배치되어 있다. 이들 중 상방측에 배치된 유지부(2011)는, 전사 플레이트(TP)를 하방을 향해 유지하는 전사 플레이트 유지부이며, 전사 플레이트 유지부(2011)의 연직 하면에 설치되는 흡착 기구(도시 생략)에 의해 전사 플레이트(TP)를 흡착하여 유지한다. 다른 한쪽의 유지부(2012)는, 부착물(여기에서는, 기판으로의 패턴층의 형성에 의해 블랭킷(BL)의 표면(SF)에 잔류한 잉크(RI))이 부착되어 있는 표면(SF)을 전사 플레이트 유지부(2011)를 향한 상태로 블랭킷(BL)을 유지하는 블랭킷 유지부이며, 블랭킷 유지부(2012)의 연직 상면에 설치되는 흡착 기구(도시 생략)에 의해 블랭킷(BL)을 흡착하여 유지한다. 이들 유지부(2011, 2012)에는, 모터를 구동원으로 하는 승강 구동부(2013)(도 2)가 연결되어 있으며, 제거 장치(1A)를 제어하는 제어 장치(500)로부터의 동작 지령에 따라 승강 구동부(2013)가 작동하여, 도 3의 우측 상부에 도시하는 바와 같이 전사 플레이트 유지부(2011)가 블랭킷 유지부(2012)를 향해 강하하면, 블랭킷(BL)과 전사 플레이트(TP)가 서로 밀착하여 밀착체(AB)(도 3의 우측 중앙부 참조)를 형성한다. 이때, 상기한 표면장력의 차이에 의해 부착물(RI)이 전사 플레이트(TP)에 전사된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 전사 플레이트 유지부(2011)만이 승강하여 블랭킷 유지부(2012)에 대해 근접 및 이격하도록 구성하고 있는데, 블랭킷 유지부(2012)만이 승강하거나, 양 유지부(2011, 2012)가 서로 반대 방향으로 승강하도록 구성해도 된다. 이 점에 대해서는, 다음에 설명하는 박리 장치(301)나 후에 설명하는 전사·박리 장치에 있어서도 마찬가지이다.

박리 장치(301)에서는, 도 3의 우측 중앙부 및 우측 하부에 도시하는 바와 같이 2개의 유지부(3011, 3012)가 연직축 방향(Z)에 있어서 서로 근접 및 이격 가능하게 배치되어 있다. 이들 중 상방측에 배치된 유지부(3011)는, 밀착체(AB)의 전사 플레이트(TP)를 상방으로부터 유지 가능하게 구성된 전사 플레이트 유지부이며, 전사 플레이트 유지부(3011)의 연직 하면에 설치되는 흡착 기구(도시 생략)에 의해 전사 플레이트(TP)를 흡착하여 유지한다. 다른 한쪽의 유지부(3012)는, 밀착체(AB)의 블랭킷(BL)을 하방으로부터 유지하는 블랭킷 유지부이며, 블랭킷 유지부(3012)의 연직 상면에 설치되는 흡착 기구(도시 생략)에 의해 블랭킷(BL)을 흡착하여 유지한다. 이들 유지부(3011, 3012)에는, 모터를 구동원으로 하는 승강 구동부(3013)(도 2)가 연결되어 있으며, 제어 장치(500)로부터의 동작 지령에 따라 승강 구동부(3013)가 작동하여, 도 3의 우측 하부에 도시하는 바와 같이 전사 플레이트 유지부(3011)가 블랭킷 유지부(3012)를 향해 강하하면, 밀착체(AB)의 전사 플레이트(TP)와 맞닿아, 흡착 유지한다. 그것에 계속해서, 전사 플레이트(TP)를 유지한 채로 전사 플레이트 유지부(3011)가 상승하면, 전사 플레이트(TP)가 블랭킷(BL)으로부터 박리되고, 부착물(RI)은 블랭킷(BL)으로부터 전사 플레이트(TP)에 완전히 이동하여 제거된다.

반송 장치(401)는, 반송 로봇 등의 반송 기구로 구성되는 반송부(402)와, 장치 외부 및 반송부(402)의 사이에서 블랭킷(BL)의 수도(受渡)를 행하는 블랭킷 수도부(403)와, 장치 외부 및 반송부(402)의 사이에서 전사 플레이트(TP)의 수도를 행하는 전사 플레이트 수도부(404)를 구비하고 있다. 그리고, 반송부(402)는, 제어 장치(500)로부터의 동작 지령에 따라 이하의 반송, 즉,

(1) 장치 외부로부터 블랭킷 수도부(403)에 제공된 블랭킷(BLi)의 전사 장치(201)로의 반입,

(2) 장치 외부로부터 전사 플레이트 수도부(404)에 제공된 전사 플레이트(TP0)의 전사 장치(201)로의 반입,

(3) 전사 장치(201)로 작성된 밀착체(AB)(도 3 참조)의 박리 장치(301)로의 반송,

(4) 박리 장치(301)에 의해 박리된 블랭킷(BL0)의 블랭킷 수도부(403)로의 반출,

(5) 박리 장치(301)에 의해 박리된 전사 플레이트(TPi)의 전사 플레이트 수도부(404)로의 반출이 실행 가능하게 되어 있다.

상기와 같이 구성된 제거 장치(1A)의 각부는, 제어 장치(500)에 의해 제어된다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 제어 장치(500)는, 장치 전체의 동작을 맡는 CPU(501)와, 각부에 설치된 모터를 제어하는 모터 제어부(502)와, 각부에 설치된 제어 밸브류를 제어하는 밸브 제어부(503)와, 흡착 기구에 공급하는 부압을 발생시키는 부압 공급부(504)를 구비하고 있다. 또한, 외부로부터 공급되는 부압을 이용 가능한 경우에는 제어 장치(500)가 부압 공급부(504)를 구비하지 않아도 된다.

다음에, 상기와 같이 구성된 제거 장치(1A)에 의해 블랭킷(BLi)으로부터 부착물의 일례인 잔류 잉크(RI)를 제거하는 제거 처리에 대해 설명한다. 이 제거 장치(1A)에서는, 제어 장치(500)에 장비되는 메모리(도시 생략)에 미리 기억되어 있는 제거 프로그램에 따라 CPU(501)가 장치 각부를 도 3에 도시하는 바와 같이 제어하여 제거 처리를 실행한다. 장치 외부로부터 블랭킷 수도부(403)에 블랭킷(BLi)이 올려놓여지면, 반송부(402)의 핸드(도시 생략)가 상기 블랭킷(BLi)을 수취한다. 그리고, 반송부(402)가 블랭킷(BLi)을 전사 장치(201)에 반입하여, 도 3의 우측 상부에 도시하는 바와 같이 블랭킷(BLi)의 표면(SF), 즉 잔류 잉크(RI)가 부착된 한쪽 주면을 전사 플레이트 유지부(2011)를 향한 상태로 블랭킷 유지부(2012)에 올려놓는다(단계 S11). 이것에 계속해서, 블랭킷 유지부(2012)의 흡착 기구에 의해 블랭킷(BLi)을 흡착 유지한다.

또, 반송부(402)의 핸드는 미리 장치 외부로부터 전사 플레이트 수도부(404)에 제공되고 있는 전사 플레이트(TP0)를 수취하여, 전사 장치(201)에 반입한다(단계 S12). 이 시점에서는, 전사 플레이트 유지부(2011)는 블랭킷 유지부(2012)로부터 연직축 방향(Z)으로 충분히 이격되어 있다. 그리고, 도 3의 우측 상부에 도시하는 바와 같이 이미 블랭킷 유지부(2012)상에 흡착 유지되어 있는 블랭킷(BLi)의 표면(SF) 전체와 겹치도록 전사 플레이트(TP0)를 위치 결정하고, 그 상태로 전사 플레이트 유지부(2011)의 흡착 기구에 의해 흡착 유지한다. 또한, 본 실시 형태에서는, 블랭킷(BLi) 및 전사 플레이트(TP0)의 순으로 전사 장치(201)에 반입되고 있는데, 이 순서를 바꿔 넣어도 되고, 미리 블랭킷 전용 핸드와 전사 플레이트 전용 핸드를 준비해 두고, 양자를 병행하여 동작시킴으로써 상기 반입 동작 및 후에 설명하는 반출 동작을 동시에 행하도록 구성해도 된다.

이것에 계속해서, 승강 구동부(2013)에 의해 전사 플레이트 유지부(2011)를 강하시켜 블랭킷(BL)과 전사 플레이트(TP)를 서로 밀착시켜 밀착체(AB)를 형성하고(도 3의 우측 중앙부 참조), 이에 의해 부착물인 잔류 잉크(RI)를 전사 플레이트(TP)에 전사한다(단계 S13). 또한, 밀착체(AB)의 형성으로부터 일정 시간이 경과하면, 전사 플레이트 유지부(2011)의 흡착 기구에 의한 전사 플레이트(TP)의 흡착을 해제한 후에, 승강 구동부(2013)에 의해 전사 플레이트 유지부(2011)를 상승시켜 밀착체(AB)로부터 이격시킨다.

다음의 단계 S14에서는, 블랭킷 유지부(2012)의 흡착 기구에 의한 밀착체(AB)의 흡착 유지를 해제한 후에, 반송부(402)의 핸드에 의해 밀착체(AB)를 박리 장치(301)에 반송하고, 밀착체(AB)의 블랭킷(BL)을 블랭킷 유지부(3012)에 올려놓는다(단계 S14). 이것에 계속해서, 블랭킷 유지부(3012)의 흡착 기구에 의해 블랭킷(BL)을 흡착하여, 밀착체(AB)를 유지한다.

이렇게 하여 박리 장치(301)에 반입된 밀착체(AB)를 블랭킷(BL)과 전사 플레이트(TP)로 분리하기 위해, 승강 구동부(3013)에 의해 전사 플레이트 유지부(3011)를 강하시켜 밀착체(AB)의 전사 플레이트(TP)에 맞닿게 한다. 그리고, 전사 플레이트 유지부(3011)의 흡착 기구에 의해 전사 플레이트(TP)를 흡착 유지하고, 그 유지 상태를 유지한 채로 승강 구동부(3013)에 의해 전사 플레이트 유지부(3011)를 상승시킨다. 이에 의해, 블랭킷(BL)으로부터 전사 플레이트(TP)를 박리한다(단계 S15). 이때, 잔류 잉크(RI)는 전사 플레이트(TP)에 부착된 채로 전사 플레이트(TP)와 더불어 상방으로 이동하고, 밀착체(AB)는 전사 플레이트(TPi)와, 잔류 잉크(RI)가 제거된 블랭킷(BL0)으로 분리된다.

이들 중 블랭킷(BL0)을 반송부(402)에 의해 블랭킷 수도부(403)에 반출하고(단계 S16), 그 후에 전사 플레이트(TPi)를 반송부(402)에 의해 전사 플레이트 수도부(404)에 반출한다(단계 S17). 물론, 반출 순서는 이것에 한정되는 것이 아니며, 반출 순서를 바꿔 넣어도 되고, 양자를 동시에 반출하도록 구성해도 된다. 이 점에 대해서는 제2 실시 형태에 있어서도 마찬가지이다. 또한, 이와 같이 반출된 블랭킷(BL0)은 그대로 도포 장치(블랭킷(BL0)의 표면(SF)에 잉크를 도포하여 도포층을 형성하는 장치)에 반송되어 재이용된다. 한편, 전사 플레이트(TPi)는 전사 플레이트 세정 장치(도시 생략)에 반송되어 세정 공정을 받는다. 이 세정 공정의 일례에 대해서는 후에 상술한다.

이상과 같이, 본 실시 형태에서는, 잔류 잉크(RI)가 부착되어 있는 블랭킷의 한쪽 주면에 대해 전사 플레이트(TP)를 밀착시켜 잔류 잉크(RI)를 전사 플레이트(TP)에 전사한(전사 공정) 후에, 잔류 잉크(RI)를 담지한 채로 전사 플레이트(TP)를 블랭킷(BL)으로부터 박리시켜 블랭킷(BL)의 표면(SF)으로부터 잔류 잉크(RI)를 제거하고 있다(박리 공정). 이로 인해, 블랭킷(BL)으로부터의 잔류 잉크(RI)의 제거를 효율적으로 행할 수 있다.

또, 전사 플레이트(TP)를 이용한 건식 방식으로 잔류 잉크(RI)를 제거하고 있기 때문에, 다음의 작용 효과도 얻어진다. 블랭킷(BL)으로부터 부착물을 제거하는 방법으로서는, 예를 들어 일본국 특허 공개 평9-155306호 공보나 일본국 특허 공개 2006-41439호 공보 등에 기재된 세정 방법을 이용할 수 있다. 즉, 롤러 반송에 의해 블랭킷을 반송하면서 블랭킷의 표면에 물이나 약액 등의 처리액을 공급하여, 이른바 웨트 세정을 행한다. 이 경우, 블랭킷의 표면 부분, 즉 실리콘 고무층이 처리액에 의해 팽윤할 가능성은 크고, 부착물의 제거(웨트 세정)를 받은 블랭킷을 그대로 재이용하지 못해, 잉크 등의 도포 재료를 도포하기 전에 블랭킷의 표면 상태를 정돈할 필요가 있다. 그러기 위해서는, 핫 플레이트를 구비한 베이크 장치나 감압 챔버를 구비한 건조 장치를 별도 설치할 필요가 있어, 제거 장치의 대형화 및 고비용화는 불가피해진다. 또, 웨트 세정과 베이크 처리(혹은 건조 처리)를 조합한 제거 장치에서는, 블랭킷의 재이용마다 실리콘 고무층의 팽윤과 수축이 발생하여, 실리콘 고무층의 열화가 심해, 러닝코스트의 증대를 초래해 버린다. 이에 비해, 본 실시 형태에서는 표면장력의 차이를 이용한 물리적인 작용에 의한 전사 기술에 의해 부착물의 제거를 도모하고 있기 때문에, 베이크 장치나 건조 장치 등을 추가 설비할 필요가 없고, 게다가 블랭킷의 표면 상태를 현저하게 변화시키는 일없이 부착물을 제거할 수 있다. 그 결과, 소형이고 또한 저비용으로 블랭킷을 반복하여 사용할 수 있다.

이와 같이, 제1 실시 형태에서는, 전사 플레이트(TP) 및 블랭킷(BL)이 각각 본 발명의 「전사체」 및 「판상체」의 일례에 상당하고 있다. 그리고, 전사 플레이트 유지부(2011, 3011)가 각각 본 발명의 「제1 전사체 유지부」 및 「제2 전사체 유지부」의 일례에 상당하고 있다. 또, 블랭킷 유지부(2012, 3012)가 각각 본 발명의 「제1 판상체 유지부」 및 「제2 판상체 유지부」의 일례에 상당하고 있다. 또, 승강 구동부(2013, 3013)가 각각 본 발명의 「제1 구동부」 및 「제2 구동부」의 일례에 상당하고 있다. 또, 단계 S13 및 S15가 각각 본 발명의 「전사 공정」 및 「박리 공정」의 일례에 상당하고 있다.

＜제2 실시 형태＞

도 4는 본 발명에 따른 제거 장치의 제2 실시 형태를 도시하는 평면도이다. 또, 도 5는 도 4에 도시하는 제거 장치의 동작을 도시하는 도이며, 동 도에는 동작 플로차트 및 동작의 모식도가 도시되어 있다. 이 제2 실시 형태가 제1 실시 형태와 크게 다른 점은, 전사 장치(201) 및 박리 장치(301)를 설치하는 대신에, 전사 공정과 박리 공정을 동일 장치 내에서 행하는 전사·박리 장치(601)를 설치하고 있는 점이며, 그 외의 구성은 기본적으로 제1 실시 형태와 동일하다. 이하, 차이점을 중심으로 설명하며, 동일 구성에 대해서는 동일 부호를 붙이고 설명을 생략한다.

제2 실시 형태에 따른 제거 장치(1B)에서는, 반송 장치(401)에 인접하여 전사·박리 장치(601)가 배치되어 있다. 이 전사·박리 장치(601)에서는, 도 5의 우측 상부에 도시하는 바와 같이 2개의 유지부(6011, 6012)가 연직축 방향(Z)에 있어서 서로 근접 및 이격 가능하게 배치되어 있다. 이들 중 상방측에 배치된 유지부(6011)는, 전사 플레이트(TP)를 하방을 향해 유지하는 전사 플레이트 유지부이며, 전사 플레이트 유지부(6011)의 연직 하면에 설치되는 흡착 기구(도시 생략)에 의해 전사 플레이트(TP)를 흡착하여 유지한다. 다른 한쪽의 유지부(6012)는, 잔류 잉크(RI)가 부착되어 있는 표면(SF)을 전사 플레이트 유지부(6011)를 향한 상태로 블랭킷(BL)을 유지하는 블랭킷 유지부이며, 블랭킷 유지부(6012)의 연직 상면에 설치되는 흡착 기구(도시 생략)에 의해 블랭킷(BL)을 흡착하여 유지한다. 전사 플레이트 유지부(6011)에는, 모터를 구동원으로 하는 승강 구동부(6013)가 연결되어 있으며, 제어 장치(500)로부터의 동작 지령에 따라 승강 구동부가 작동하여, 도 5의 우측 상부에 도시하는 바와 같이 전사 플레이트 유지부(6011)가 블랭킷 유지부(6012)를 향해 강하하거나, 도 5의 우측 하부에 도시하는 바와 같이 전사 플레이트 유지부(6011)가 블랭킷 유지부(6012)와 반대측으로 상승한다. 또한, 이 실시 형태에서는, 승강 구동부(6013)가 전사 플레이트 유지부(6011)에만 연결되어 있는데, 승강 구동부(6013)가 블랭킷 유지부(6012)에만 연결되어 블랭킷 유지부(6012)를 승강시키거나, 혹은 양 유지부(6011, 6012)에 연결되어 양 유지부(6011, 6012)를 승강시키도록 구성해도 된다.

다음에, 상기와 같이 구성된 제거 장치(1B)에 의한 잔류 잉크(RI)의 제거 처리에 대해 설명한다. 이 제거 장치(1B)에서는, 제어 장치(500)에 장비되는 메모리(도시 생략)에 미리 기억되어 있는 제거 프로그램에 따라 CPU(501)가 장치 각부를 도 5에 도시하는 바와 같이 제어하여 제거 처리를 실행한다. 이 제거 장치(1B)에 있어서도, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 반송부(402)에 의해 블랭킷(BLi)을 블랭킷 수도부(403)로부터 전사·박리 장치(601)에 반입함(단계 S21)과 더불어 전사 플레이트(TP0)를 전사 플레이트 수도부(404)로부터 전사·박리 장치(601)에 반입한다(단계 S22). 또한, 이렇게 하여 반입된 블랭킷(BLi) 및 전사 플레이트(TP0)는, 도 5의 우측 상부에 도시하는 바와 같이 연직축 방향(Z)에 있어서 서로 이격하면서 대향하도록 위치 결정되고, 각각 블랭킷 유지부(6012) 및 전사 플레이트 유지부(6011)에 흡착 유지된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 블랭킷(BLi) 및 전사 플레이트(TP0)의 순으로 전사·박리 장치(601)에 반입되고 있는데, 이 순서를 바꿔 넣어도 되고, 미리 블랭킷 전용 핸드와 전사 플레이트 전용 핸드를 준비해 두고, 양자를 병행하여 동작시킴으로써 상기 반입 동작 및 후에 설명하는 반출 동작을 동시에 행하도록 구성해도 된다.

이것에 계속해서, 도 5의 우측 중앙부에 도시하는 바와 같이 승강 구동부(6013)에 의해 전사 플레이트 유지부(6011)를 강하시켜 블랭킷(BLi)과 전사 플레이트(TP0)를 서로 밀착시켜 잔류 잉크(RI)를 전사 플레이트(TP)에 전사한다(단계 S23). 이렇게 하여 전사 공정이 완료하면, 승강 구동부(3013)에 의해 전사 플레이트 유지부(3011)를 상승시켜, 블랭킷(BL)으로부터 전사 플레이트(TP)를 박리한다(단계 S24). 이때, 잔류 잉크(RI)는 전사 플레이트(TP)에 부착된 채로 전사 플레이트(TP)와 더불어 상방으로 이동하여, 전사 플레이트(TPi)와, 잔류 잉크(RI)가 제거된 블랭킷(BL0)으로 분리된다.

분리 완료 후에 반송부(402)에 의해, 블랭킷(BL0)을 블랭킷 수도부(403)에 반출하고(단계 S25), 또한 전사 플레이트(TPi)를 전사 플레이트 수도부(404)에 반출한다(단계 S26).

이상과 같이, 본 실시 형태에 있어서도, 블랭킷(BLi)의 표면(SF)에 대해 전사 플레이트(TP0)를 밀착시켜 잔류 잉크(RI)를 전사 플레이트(TP)에 전사한(전사 공정) 후에, 잔류 잉크(RI)를 담지한 채로 전사 플레이트(TP)를 블랭킷(BL)으로부터 박리시켜 블랭킷(BL)의 표면(SF)으로부터 잔류 잉크(RI)를 제거하고 있다(박리 공정). 이로 인해, 제1 실시 형태와 같은 작용 효과가 얻어진다. 게다가, 제2 실시 형태에서는, 전사·박리 장치(601)에 있어서 전사 공정 및 박리 공정을 연속해서 행하고 있기 때문에, 제1 실시 형태에 비해 제거 장치의 구성을 간소화할 수 있다.

이와 같이 제2 실시 형태에서는, 전사 플레이트 유지부(6011), 블랭킷 유지부(6012) 및 승강 구동부(6013)가 각각 본 발명의 「전사체 유지부」, 「판상체 유지부」 및 「구동부」의 일례에 상당하고 있다.

＜제3 실시 형태＞

제1 실시 형태 및 제2 실시 형태에서는, 본 발명의 「전사체」로서 전사 플레이트(TP)를 이용하고 있는데, 전사 플레이트(TP) 대신에 원통 또는 원기둥 형상의 전사 롤러(혹은 전사 드럼)를 이용해도 된다. 이하, 도 6a~6d를 참조하면서 본 발명의 제3 실시 형태에 대해 설명한다.

도 6a~6d는 본 발명에 따른 제거 장치의 제3 실시 형태를 도시하는 도이고, 도 6a는 제3 실시 형태에 따른 제거 장치의 측면도이며, 도 6b~6d는 상기 제거 장치의 동작을 모식적으로 도시하는 도이다. 이 제거 장치(1C)에서는, 복수의 롤러(4071)가 소정의 간격을 두고 X방향으로 배치되어 있고, 이들 롤러(4071)에 의해 블랭킷(BL)을 X방향으로 이동시키는 이동부(407)가 구성되어 있다. 이 이동부(407)에서는, 제어 장치(500)로부터의 이동 지령에 따라 모터 등의 구동원이 작동하여, 복수의 롤러(4071)가 소정 방향(도 6a~6d의 지면에 있어서 반시계 방향)으로 회전한다. 이에 의해 표면(SF)에 잔류 잉크(RI)가 부착되는 블랭킷(BLi)의 표면(SF)을 연직 상방을 향한 자세인 채로 롤러 반송에 의해 블랭킷(BLi)을 X방향으로 이동시킨다.

또, 복수의 롤러(4071) 중 밀착 위치(CP)에 위치하는 하나의 롤러(4071)의 연직 상방에, 블랭킷(BLi)의 두께와 동일하거나 혹은 약간 좁은 간격을 두고 전사 롤러(TR)가 회전 가능하게 배치되어 있다. 이 전사 롤러(TR)는, 그 표면장력이 블랭킷(BL)의 표면(SF)의 표면장력보다 낮고, 블랭킷(BL)의 표면(SF)보다 높은 젖음성을 가지는 재료로 형성되며, Y방향에 있어서 블랭킷(BLi)의 Y방향 폭 이상의 폭을 가짐과 더불어 블랭킷(BLi)의 X방향 길이를 초과하는 둘레 길이를 가지고 있다. 또, 이 전사 롤러(TR)는 모터 등의 회전부(408)에 접속되어 있고, 제어 장치(500)로부터의 회전 지령을 받아 회전부(408)가 작동함으로써 전사 롤러(TR)는 블랭킷(BLi)의 이동과 종동하는 방향(도 6a~6d의 지면에 있어서 시계 방향)으로 회전한다. 이로 인해, 밀착 위치(CP)에 있어서 블랭킷(BLi)은 전사 롤러(TR)와 롤러(4071) 사이에 끼워지고, 그 상태인 채로 전사 롤러(TR)에 대해 X방향으로 이동된다. 이와 같이 밀착 위치(CP)에 대응하는 롤러(4071)가 전사 롤러(TR)의 백업 롤러로 기능하고, 전사 롤러(TR)의 둘레면과 블랭킷(BLi)의 표면을 밀착시켜, 블랭킷(BLi)상의 잔류 잉크(RI)를 전사 롤러(TR)에 전사한다(전사 공정). 이와 같이 제3 실시 형태에서는, 전사 롤러(TR)의 둘레면과 블랭킷(BLi)의 표면의 밀착 영역은 Y방향으로 연장되는 선형상을 가지고 있으며, 도 6b에 도시하는 바와 같이 이동 공정을 실행함으로써 잔류 잉크(RI)가 밀착 위치(CP)로 이동해 오면, 상기 밀착 위치(CP)에서 전사 롤러(TR)에 전사된다.

그리고, 상기 전사 공정에 계속해서 박리 공정이 실행된다. 즉, 전사 롤러(TR)의 회전 및 블랭킷(BL)의 이동이 진행함으로써, 도 6c에 도시하는 바와 같이, 밀착 위치(CP)에 대해 (＋X)방향측에서 전사 롤러(TR)의 둘레면이 잔류 잉크(RI)를 담지하면서 블랭킷(BL)으로부터 박리된다(박리 공정). 이에 의해, 전사 롤러(TR)의 둘레면과 잔류 잉크(RI)가 제거된 블랭킷(BL0)으로 분리된다.

이와 같이 제3 실시 형태에서는, 블랭킷(BL)의 X방향 이동과 전사 롤러(TR)의 회전에 의해 X방향에 있어서의 블랭킷(BL)의 둘레면 부위에 대한 전사 공정과 박리 공정이 연속적으로 행해지고 있다. 그리고, 블랭킷(BL)의 종단부(-X방향측 단부)가 밀착 위치(CP)를 통과한 시점에서 잔류 잉크(RI)의 전부가 전사 롤러(TR)의 둘레면에 전사된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 전사 롤러(TR)의 둘레면에 전사된 잔류 잉크(RI)를 전사 롤러(TR)의 둘레면으로부터 제거하고, 다음의 블랭킷(BL)에 대해서도 같은 제거 처리를 행하기 위해, 세정 장치(710)가 전사 롤러(TR)의 근방에 설치되어 있다.

이 세정 장치(710)는, 세정 롤러(711)와 건조부(712)를 가지고 있으며, 전사 롤러(TR)에 대해 근접 및 이격 가능하게 설치되어 있다. 그리고, 제어 장치(500)로부터의 동작 지령에 따라 세정 장치(710)가 도 6d에 도시하는 바와 같이 전사 롤러(TR)에 대해 근접 이동하면, 세정 롤러(711)가 전사 롤러(TR)의 둘레면에 맞닿아 상기 둘레면에 전사된 잔류 잉크(RI)를 제거하고, 회수한다. 또한, 도 6a~6d에 대한 도시를 생략하고 있으나, 잔류 잉크(RI)를 제거하기 위해 세정 롤러(711)의 둘레면에 세정액이 공급된다. 그래서, 본 실시 형태에서는, 세정액으로 젖은 전사 롤러(TR)의 둘레면을 건조부(712)로 건조시키도록 구성되어 있다. 또한, 전사 롤러(TR)의 둘레면으로의 잔류 잉크(RI)의 전사를 행하고 있는 동안(도 6b 및 도 6c), 제어 장치(500)는 세정 장치(710)를 전사 롤러(TR)의 둘레면으로부터 퇴피시키고 있는데, 상시 맞닿게 하도록 구성해도 된다. 이와 같이 세정 장치(710)를 전사 롤러(TR)의 둘레면에 상시 맞닿게 하는 경우, 전사 롤러(TR)의 둘레면이 블랭킷(BLi)의 X방향 길이 이하가 되도록 전사 롤러(TR)를 구성해도 되고, 이에 의해 제거 장치(1C)의 소형화를 도모할 수 있다.

이상과 같이, 제3 실시 형태에서는, 전사 롤러(TR)를 본 발명의 「전사체」로서 이용하고 있는데, 제1 실시 형태나 제2 실시 형태와 마찬가지로, 잔류 잉크(RI)를 전사 롤러(TR)에 전사한(전사 공정) 후에, 잔류 잉크(RI)를 담지한 채로 전사 롤러(TR)를 블랭킷(BL)으로부터 박리시켜 블랭킷(BL)의 표면(SF)으로부터 잔류 잉크(RI)를 제거하고 있다(박리 공정). 이로 인해, 블랭킷(BL)으로부터의 잔류 잉크(RI)의 제거를 효율적으로 행할 수 있다.

또, 세정 장치(710)에 의한 전사 롤러(TR)의 둘레면 세정을 행하고 있기 때문에, 블랭킷(BL)에 대한 제거 공정을 반복하여 연속적으로 행할 수 있다. 그로 인해, 제거 장치(1C)의 가동 효율을 높일 수 있다.

＜제4 실시 형태＞

상기 제1 실시 형태 내지 제3 실시 형태에서는, 제거 장치(1A~1C)를 독립하여 설치하고 있는데, 본 발명에 따른 제거 장치를 인쇄 시스템에 넣어, (1) 블랭킷(BL)에 도포층을 형성하는 도포 처리, (2) 도포층을 패터닝하여 패턴층을 형성한 후에 상기 패턴층을 기판에 전사하는 인쇄 처리, (3) 패턴층을 기판에 전사하는데 사용된 블랭킷으로부터 잔류 잉크를 제거하는 제거 처리를 실행하도록 구성해도 된다. 이하, 도 7~15, 도 16a~16c, 도 17a~17c, 도 18a, 도 18b, 도 19a~19c, 도 20a~20c, 도 21a~21c, 도 22a~22c, 도 23~25, 도 26a~26d, 도 27a~27d, 및 도 28을 참조하면서 인쇄 시스템(100)의 일례에 대해, 시스템의 개략 구성 및 구성의 배치 레이아웃을 설명한 후에, 각부의 구성에 대해 상술한다.

＜＜인쇄 시스템의 구성 및 레이아웃＞＞

도 7은 본 발명에 따른 제거 장치의 제4 실시 형태를 장비하는 인쇄 시스템의 일례를 도시하는 도이다. 또, 도 8은 도 7에 도시하는 제거 장치의 제어계를 도시하는 블럭도이다. 이 인쇄 시스템(100)은, 상기 도포 처리를 실행하기 위한 도포 장치(800)와, 상기 인쇄 처리 중 도포층을 패터닝하는 패터닝 처리를 실행하기 위한 전사 장치(202) 및 박리 장치(302)와, 상기 인쇄 처리 중 패턴층을 기판에 전사하는 전사 처리를 실행하기 위한 전사 장치(203) 및 박리 장치(303)와, 상기 제거 처리를 실행하기 위한 전사 장치(204) 및 박리 장치(304)를 가지고 있다.

전사 장치(202) 및 박리 장치(302)는 X방향으로 배열되어 패터닝 처리용의 제1 장치열(AL1)을 형성하고 있다. 또, 전사 장치(203) 및 박리 장치(303)는 Y방향으로 배열되어 전사 처리용의 제2 장치열(AL2)을 형성하고 있다. 또한, 전사 장치(204), 박리 장치(304) 및 도포 장치(800)는 X방향으로 배열되어 제거 처리 및 도포 처리용의 제3 장치열(AL3)을 형성하고 있다. 그리고, 도 7에 도시하는 바와 같이, 제1 장치열(AL1)과 제3 장치열(AL3)이 Y방향으로 이격하면서 평행하게 배치됨과 더불어, 제1 장치열(AL1) 및 제3 장치열(AL3)의 (＋X)방향측에 제2 장치열(AL2)이 배치되어 있으며, 환상의 블랭킷 반송 경로(PTB)를 따라 블랭킷(BL)이 순환 반송 가능하게 되어 있다.

제1 장치열(AL1)(=전사 장치(202)＋박리 장치(302))의 (＋Y)방향측에서는, 판(PP)을 세정하는 판 세정 장치(720)가 배치되어 있고, 환상의 판 반송 경로(PTP)를 따라 패터닝 처리에 사용하는 판(PP)이 반송 가능하게 되어 있다. 또한, 도 7 중의 「PPi」 및 「PP0」는 판 세정 장치(720)에 반송되는 전후의 판을 나타내고 있으며, 판(PPi)은 패터닝 처리에 사용되어 표면에 잉크가 부착되어 있는 판을 의미하고, 판(PP0)은 판 세정 장치(720)에 의해 세정되어 패터닝 처리에 재이용되는 판을 의미하고 있다.

또, 제3 장치열(AL3)(=전사 장치(204)＋박리 장치(304)＋도포 장치(800))의 (-Y)방향측에서는, 전사 플레이트(TP)를 세정하는 전사 플레이트 세정 장치(730)가 배치되어 있고, 환상의 전사 플레이트 반송 경로(PTT)를 따라 제거 처리에 사용하는 전사 플레이트(TP)가 반송 가능하게 되어 있다.

도 7 중의 파선(PTS)은 제2 장치열(AL2)(=전사 장치(203)＋박리 장치(303))에 의한 전사 처리를 행하기 위해 기판(SB)을 반송하는 경로, 즉 기판 반송 경로를 나타내고 있다.

또, 인쇄 시스템(100)에서는, 블랭킷(BL), 판(PP), 기판(SB) 및 전사 플레이트(TP)를 반송하기 위해 반송 장치(401)가 설치되어 있다. 반송 장치(401)는, 복수의 반송부(402), 복수의 블랭킷 수도부(403), 복수의 전사 플레이트 수도부(404), 복수의 판 수도부(405) 및 복수의 기판 수도부(406)를 가지고 있으며, 블랭킷 반송 경로(PTB), 판 반송 경로(PTP), 전사 플레이트 반송 경로(PTT) 및 기판 반송 경로(PTS)상에 배치되어 있다.

이 인쇄 시스템(100)에서는, 블랭킷(BL)은 표면(SF)(도포층이나 패턴층이 형성되고, 전사 처리 후에 잔류 잉크가 부착되는 블랭킷(BL)의 한쪽 주면)을 상시 연직 상방, 즉 (＋Z)방향을 향한 상태로 각종 처리를 받는다. 그로 인해, 블랭킷 반송 경로(PTB) 이외의 반송 경로(PTP, PTT, PTS) 중 적어도 블랭킷 반송 경로(PTB)와 겹치는 경로 부분에서는, 판(PP), 기판(SB) 및 전사 플레이트(TP)는 블랭킷(BL)과 접촉하는 한쪽 주면을 연직 하방, 즉 (-Z)방향을 향한 상태로 반송된다. 그래서, 인쇄 시스템(100)에서는, 판(PP), 기판(SB)이나 전사 플레이트(TP)를 반송하는 반송부(402)의 일부에 대해서는, 핸드(도시 생략)를 반전시키는 반전 기구를 장비하고 있으며, 판(PP), 기판(SB)이나 전사 플레이트(TP)의 주면을 반전시키는 것이 가능하게 되어 있다. 그래서, 도 7에 있어서는, 반전 기구를 가지는 반송부(402)에 대해서는 이중 동그라미 안표를 붙이는 한편, 반전 기구를 가지지 않은 반송부(402)에 대해서는 동그라미 안표를 붙여 양자를 구별하고 있다.

상기와 같이 레이아웃 된 인쇄 시스템(100)의 각부는, 제어 장치(500)에 의해 제어된다. 도 8에 도시하는 바와 같이, 제어 장치(500)는, 시스템 전체의 동작을 맡는 CPU(501)와, 각 장치에 설치된 모터를 제어하는 모터 제어부(502)와, 각 장치에 설치된 제어 밸브류를 제어하는 밸브 제어부(503)와, 각 장치에 공급되는 부압을 발생시키는 부압 공급부(504)와, 카메라에 의해 촬상된 화상에 대해 화상 처리를 실시하는 화상 처리부(505)와, 건조 공기나 불활성 가스 등의 기체를 공급하는 가스 공급부(506)를 구비하고 있다. 또한, 여기에서는, 제어 장치(500)에 의해 시스템 각부를 직접 제어하고 있는데, 각 장치를 개별의 제어 장치로 제어함과 더불어 호스트 컴퓨터가 통신에 의해 각 제어 장치를 제어하도록 구성해도 되는 것은 말할 필요도 없다.

다음에, 인쇄 시스템(100)을 구성하는 각 장치에 대해 설명한다.

＜＜도포 장치＞＞

도 9는, 도 7에 도시하는 인쇄 시스템에 장비된 도포 장치의 일례를 도시하는 사시도이다. 이 도포 장치(800)는 블랭킷(BL)을 흡착 유지하기 위한 블랭킷 유지부(810)를 구비하고 있다. 이 블랭킷 유지부(810)에는, 도시를 생략한 복수의 리프트 핀이, 적당한 간격을 두고 설치되어 있다. 이들 리프트 핀은, 블랭킷(BL)의 반입, 반출시에, 블랭킷(BL)을 그 하방으로부터 지지하고, 블랭킷 유지부(810)의 표면보다 상방으로 상승시킨다.

블랭킷 유지부(810)의 상방에는, 이 블랭킷 유지부(810)의 양측 부분으로부터 대략 수평으로 걸쳐진 캐리지(820)가 설치되어 있다. 이 캐리지(820)는, 슬릿 노즐(830)을 지지하기 위한 노즐 지지부(840)와, 이 노즐 지지부(840)의 양단을 지지하는 좌우 한 쌍의 승강 기구(850)를 구비한다. 또, 블랭킷 유지부(810)의 양단부에는, 대략 수평 방향으로 평행하게 연장되는 한 쌍의 주행 레일(860)이 배치된다. 이들 주행 레일(860)은, 캐리지(820)의 양단부를 가이드 함으로써, 캐리지(820)를, 도 9에 도시하는 Y방향으로 왕복 이동시킨다.

블랭킷 유지부(810) 및 캐리지(820)의 양측 부분에는, 블랭킷 유지부(810)의 양측의 가장자리측을 따라, 각각 고정자(871)와 이동자(872)를 구비하는 한 쌍의 리니어 모터(870)가 배치되어 있다. 또, 블랭킷 유지부(810) 및 캐리지(820)의 양측 부분에는, 각각 스케일부와 검출자를 구비한 한 쌍의 리니어 엔코더(880)가 고정 설치된다. 이 리니어 엔코더(880)는, 캐리지(820)의 위치를 검출한다.

이와 같이 구성된 도포 장치(800)에서는, 캐리지(820)가 Y방향으로 왕로 이동하는 동안에 슬릿 노즐(830)로부터 잉크를 연속적으로 토출시켜 블랭킷(BL)의 표면(SF)에 잉크를 공급하여 도포층을 형성한다. 또한, 본 실시 형태에서는, 슬릿 노즐(830)의 잉크 토출구의 X방향 폭이 블랭킷(BL)의 폭보다 짧고, 또한 패턴층의 폭보다 길어지도록 설정되어 있으며, 도포 장치(800)는 도 10에 도시하는 위치 관계로 도포층을 도포한다.

도 10은, 블랭킷, 도포층, 판, 기판 및 유효 영역의 위치 관계를 모식적으로 도시하는 도이다. 도포 장치(800)는, 도 10에 도시하는 위치 관계가 되도록, 블랭킷(BL)의 표면(SF)에 도포층(CL)을 형성한다. 즉, 블랭킷(BL)에서는, 그 중앙 부분에 도포층(CL)은 도포되지만, 주연부에는 잉크가 도포되어 있지 않은 여백 부분으로 되어 있다. 또한, 동 도면 중의 부호 「AR」은, 도포층(CL)을 판(PP)에 의해서 패터닝하여 얻어지는 패턴층이 기판(SB)에 대해 유효하게 전사되어 디바이스로서 기능하는 유효 영역을 나타내고 있다. 이 실시 형태에서는, 유효 영역(AR)은 도포층(CL)보다 좁고, 전사 공정 및 박리 공정을 행함으로써 도포층(CL)으로부터 유효 영역(AR)을 제외한 액자형상의 영역(이하 「잔류 영역」이라고 한다)(RR)이 블랭킷(BL)의 표면(SF)에 잔류한다. 이와 같이 잔류 영역(RR)을 설치하는 이유는, 도포층(CL) 전체를 균일한 막두께로 도포하는 것은 사실상 어렵기 때문이다. 즉, 막두께가 균일한 도포층(CL)의 중앙 영역만을 사용하여 패턴층을 형성하기 때문이다. 이에 의해 양호한 패턴층을 형성할 수 있고, 기판(SB)으로의 패턴층의 형성을 양호하게 행할 수 있다.

＜＜전사 장치＞＞

인쇄 시스템(100)에서는, 3종류의 전사 장치(202, 203, 204)가 설치되어 있는데, 이들은 기본적으로 동일 구성을 가지고 있다. 그래서, 전사 장치(203)에 대해 설명하고, 전사 장치(202, 204)에 대한 설명을 생략한다.

도 11은, 도 7에 도시하는 인쇄 시스템에 장비된 전사 장치의 일례를 도시하는 사시도이다. 또한, 동 도면에서는, 장치의 내부 구성을 도시하기 위해 외부 커버를 제외한 상태를 도시하고 있다. 이 전사 장치(203)에서는, 기판(SB) 및 블랭킷(BL)의 반입출은 Y축 방향을 따라 이루어진다.

이 전사 장치(203)는, 메인 프레임(2)에 상측 스테이지 블록(4) 및 하측 스테이지 블록(6)이 장착된 구조를 가지고 있다. 도 11에서는, 각 블록의 구별을 명시하기 위해, 상측 스테이지 블록(4)에는 성긴 피치의 도트를, 또 하측 스테이지 블록(6)에는 촘촘한 피치의 도트를 붙이고 있다.

전사 장치(203)는, 하측 스테이지 블록(6)에 의해 유지된 블랭킷(BL)과, 상측 스테이지 블록(4)에 의해 유지된 기판(SB)을 서로 맞닿게 함으로써 블랭킷(BL)과 기판(SB)을 밀착시켜 블랭킷(BL)상의 패턴층을 기판(SB)에 전사하는 장치이다.

전사 장치(203)의 하측 스테이지 블록(6)은, 메인 프레임(2)의 베이스 프레임(21)에 의해 지지되어 있다. 한편, 상측 스테이지 블록(4)은, 하측 스테이지 블록(6)을 X방향으로부터 끼우도록 베이스 프레임(21)으로부터 세워 설치되고 Y방향으로 연장되는 1쌍의 상측 스테이지 지지 프레임(22, 23)에 장착되어 있다.

또, 메인 프레임(2)에는, 장치에 반입되는 기판(SB)과 블랭킷(BL)의 위치 검출을 행하기 위한 프리얼라인먼트 카메라가 장착되어 있다. 구체적으로는, Y축방향을 따라 장치에 반입되는 기판(SB)의 에지를 상이한 3개소에서 검출하기 위한 3기의 기판용 프리얼라인먼트 카메라(241, 242, 243)가, 상측 스테이지 지지 프레임(22, 23)으로부터 세워 설치된 붐에 각각 장착되어 있다. 마찬가지로, Y축 방향을 따라 장치에 반입되는 블랭킷(BL)의 에지를 상이한 3개소에서 검출하기 위한 3기의 블랭킷용 프리얼라인먼트 카메라(244, 245, 246)가 상측 스테이지 지지 프레임(22, 23)으로부터 세워 설치된 붐에 각각 장착되어 있다. 또한 도 11에서는, 상측 스테이지 블록(4)의 배후에 위치하는 1기의 블랭킷용 프리얼라인먼트 카메라(246)가 나타나 있지 않다.

도 12는 하측 스테이지 블록의 구조를 도시하는 사시도이다. 하측 스테이지 블록(6)에서는, 중앙부가 개구하는 플레이트형의 얼라인먼트 스테이지(601)의 네 모서리에 각각 지지 기둥(602)이 연직축 방향(Z방향)으로 세워 설치되어 있고, 이들 지지 기둥(602)에 의해, 스테이지 지지 플레이트(603)가 지지되어 있다. 도시를 생략하고 있으나, 얼라인먼트 스테이지(601)의 하부에는, 연직축 방향(Z)으로 연장되는 회전축을 회전 중심으로 하는 회전 방향(이하, 「θ방향」이라고 칭한다), X방향 및 Y방향의 3자유도를 가지는 예를 들어 크로스 롤러 베어링 등의 얼라인먼트 스테이지 지지 기구(도시 생략)가 설치되어 있으며, 상기 얼라인먼트 스테이지 지지 기구를 개재하여 얼라인먼트 스테이지(601)는 베이스 프레임(21)에 장착되어 있다. 따라서, 얼라인먼트 스테이지 지지 기구의 작동에 의해, 얼라인먼트 스테이지(601)는 베이스 프레임(21)에 대해 X방향, Y방향 및 θ방향으로 소정의 범위에서 이동 가능하다.

스테이지 지지 플레이트(603)의 상부에, 상면이 대략 수평면과 일치하는 평면이 되고 중앙부에 개구창(611)이 형성된 환상 직사각형의 하측 스테이지(61)가 배치되어 있다. 하측 스테이지(61)의 상면에 블랭킷(BL)이 올려놓여지고, 하측 스테이지(61)가 이것을 유지한다.

개구창(611)의 개구 사이즈에 대해서는, 블랭킷(BL)의 표면 영역 중, 패턴 형성 영역으로서 유효하게 기능하는 중앙부의 유효 영역(AR)(도 10 참조)의 평면 사이즈보다는 큰 것이 필요하다. 즉, 블랭킷(BL)이 하측 스테이지(61)에 올려놓여졌을 때, 블랭킷(BL) 하면 중 유효 영역에 대응하는 영역의 전체가 개구창(611)을 향해, 유효 영역(AR)의 하방이 완전하게 개방된 상태일 필요가 있다. 또 패턴 형성 재료에 의한 도포층은, 적어도 유효 영역(AR)의 전체를 덮도록 형성된다.

하측 스테이지(61)의 상면(61a)에는, 개구창(611)의 주연의 각 변을 각각 따르도록 복수의 홈(612)이 설치되어 있으며, 각 홈(612)은 도시하지 않은 제어 밸브를 개재하여 제어 장치(500)의 부압 공급부(504)에 접속되어 있다. 각 홈(612)은, 블랭킷(BL)의 평면 사이즈보다 작은 평면 사이즈의 영역 내에 배치되어 있다. 그리고, 도면에 있어서 일점 쇄선으로 도시하는 바와 같이, 블랭킷(BL)은, 이들 홈(612)을 모두 덮도록 하여 하측 스테이지(61)에 올려놓여진다. 또 이를 가능하게 하기 위해, 하측 스테이지 상면(61a)에 블랭킷(BL)의 위치 규제용의 스토퍼 부재(613)가 적당히 배치된다.

각 홈(612)에 부압이 공급됨으로써 각 홈(612)은 진공 흡착홈으로서 기능하고, 이렇게 하여 블랭킷(BL)의 주연부의 네변이 하측 스테이지(61)의 상면(61a)에 흡착 유지된다. 진공 흡착홈을 서로 독립된 복수의 홈(612)으로 구성함으로써, 어떤 원인으로 일부의 홈에 있어서 진공 파괴가 발생하더라도 다른 홈에 의한 블랭킷(BL)의 흡착이 유지되므로, 블랭킷(BL)을 확실히 유지할 수 있다. 또, 단독의 홈을 설치한 경우보다 강한 흡착력으로 블랭킷(BL)을 흡착할 수 있다.

하측 스테이지(61)의 개구창(611)의 하방에는, 블랭킷(BL)을 Z축 방향으로 상하 이동시키기 위한 승강 핸드 유닛(62, 63)과, 블랭킷(BL)에 하방으로부터 맞닿아 밀어 올리는 전사 롤러 유닛(64)이 설치되어 있다.

도 13은 승강 핸드 유닛의 구조를 도시하는 도이다. 2개의 승강 핸드 유닛(62, 63)의 구조는 동일하므로, 여기에서는 한쪽의 승강 핸드 유닛(62)의 구조에 대해 설명한다. 승강 핸드 유닛(62)은, 베이스 프레임(21)으로부터 Z방향으로 세워 설치된 2개의 지지 기둥(621, 622)을 가지고 있으며, 이들 지지 기둥(621, 622)에 대해 플레이트형의 슬라이드 베이스(623)가 상하 이동 가능하게 장착되어 있다. 보다 구체적으로는, 2개의 지지 기둥(621, 622)에는 각각 연직축 방향(Z방향)으로 연장되는 가이드 레일(6211, 6221)이 장착되어 있으며, 슬라이드 베이스(623)의 배면, 즉 (+Y)측 주면에 장착된 도시하지 않은 슬라이더가 가이드 레일(6211, 6221)에 슬라이드 가능하게 장착된다. 그리고, 예를 들어 모터 및 볼 나사 기구 등의 적당한 구동 기구를 구비하는 승강 기구(624)가, 제어 장치(500)로부터의 제어 지령에 따라 슬라이드 베이스(623)를 상하 이동시킨다.

슬라이드 베이스(623)에는 복수(이 예에서는 4개)의 핸드(625)가 상하 이동 가능하게 장착되어 있다. 각 핸드(625)의 구조는, 설치 위치에 따라 베이스 부분의 형상이 상이한 점을 제외하고 기본적으로 동일하다. 각 핸드(625)는, 슬라이드 베이스(623)의 정면, 즉 (-Y)측 주면에 연직축 방향(Z방향)을 따라 장착된 가이드 레일(626)에 대해 슬라이드 가능하게 걸어맞춰진 슬라이더(627)에 고정되어 있다. 슬라이더(627)는 슬라이드 베이스(623)의 배면에 장착된 예를 들어 로드레스 실린더 등의 적당한 구동 기구를 구비하는 승강 기구(628)에 연결되어 있으며, 상기 승강 기구(628)의 작동에 의해 슬라이드 베이스(623)에 대해 상하 방향으로 이동한다. 각 핸드(625)에는 각각 독립된 승강 기구(628)가 설치되어 있어, 각 핸드(625)를 개별적으로 상하 이동시킬 수 있다.

즉, 승강 핸드 유닛(62)에서는, 승강 기구(624)가 슬라이드 베이스(623)를 상하 이동시킴으로써 각 핸드(625)를 일체적으로 승강시킬 수 있음과 더불어, 각 승강 기구(628)가 독립하여 작동함으로써 각 핸드(625)를 개별적으로 승강시키는 것이 가능하게 되어 있다.

핸드(625)의 상면(625a)은 Y방향을 길이 방향으로 하는 가늘고 긴 평면형으로 완성되어 있고, 상기 상면(625a)을 블랭킷(BL)의 하면에 맞닿게 하여 블랭킷(BL)을 지지할 수 있다. 또 상면(625a)에는, 도시하지 않은 배관 및 제어 밸브를 개재하여 제어 장치(500)에 설치된 부압 공급부(504)와 연통하는 흡착 구멍(625b)이 설치되어 있다. 이에 의해, 흡착 구멍(625b)에는 필요에 따라 부압 공급부(504)로부터의 부압이 공급되고, 핸드(625)의 상면(625a)에 블랭킷(BL)을 흡착 유지할 수 있다. 그로 인해, 핸드(625)로 블랭킷(BL)을 지지할 때의 미끄러짐을 방지할 수 있다.

또, 흡착 구멍(625b)에 대해서는, 도시하지 않은 배관 및 제어 밸브를 개재하여 제어 장치(500)의 가스 공급부(506)로부터 적당한 기체, 예를 들어 건조 공기나 불활성 가스 등이 필요에 따라 공급된다. 즉, 제어 장치(500)에 의해 제어되는 각 제어 밸브의 개폐에 의해, 흡착 구멍(625b)에는, 부압 공급부(504)로부터의 부압 및 가스 공급부(506)로부터의 기체가 선택적으로 공급된다.

가스 공급부(506)로부터의 기체가 흡착 구멍(625b)에 공급될 때, 흡착 구멍(625b)으로부터는 소량의 기체가 토출된다. 이에 의해 블랭킷(BL)의 하면과 핸드 상면(625a)의 사이에 미소한 간극이 형성되고, 핸드(625)는 블랭킷(BL)을 하방으로부터 지지하면서, 블랭킷(BL) 하면으로부터는 이격한 상태가 된다. 그로 인해, 각 핸드(625)에 의해 블랭킷(BL)을 지지하면서, 블랭킷(BL)을 각 핸드(625)에 대해 미끄럼 마찰(摺擦)시키는 일 없이 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 기체 토출 구멍을 흡착 구멍(625b)과는 별도로 핸드 상면(625a)에 설치해도 된다.

도 12로 돌아와, 하측 스테이지 블록(6)에서는, 상기와 같은 구성을 가지는 승강 핸드 유닛(62, 63)이 핸드(625)를 내향으로 하여 Y방향에 서로 마주보도록 대향 배치되어 있다. 각 핸드(625)가 가장 하강한 상태에서는, 핸드 상면(625a)은 하측 스테이지 상면(61a)보다 하방, 즉 (-Z)방향으로 크게 후퇴한 위치에 있다. 한편, 각 핸드(625)가 가장 상승한 상태에서는, 각 핸드(625)의 선단은 하측 스테이지(61)의 개구창(611)으로부터 상방으로 돌출한 상태가 되고, 핸드 상면(625a)은 하측 스테이지 상면(61a)보다 상방, 즉 (＋Z)방향으로 돌출한 위치까지 도달한다.

또, 상방으로부터 보았을 때, 양쪽 승강 핸드 유닛(62, 63)의 서로 마주 보는 핸드(625)의 선단들의 사이에는 일정한 간격이 설치되어 있어, 이들이 접촉할 일은 없다. 또 다음에 기술하는 바와 같이, 이 간극을 이용하여, 전사 롤러 유닛(64)이 X방향으로 이동한다.

도 14는 전사 롤러 유닛의 구조를 도시하는 도이다. 전사 롤러 유닛(64)은, Y방향으로 연장되는 원통형의 롤러 부재인 전사 롤러(641)와, 상기 전사 롤러(641)의 하방을 따라 Y방향으로 연장되어 그 양단부에서 전사 롤러(641)를 회전 가능하게 지지하는 지지 프레임(642)과, 적당한 구동 기구를 가지고 지지 프레임(642)을 Z방향으로 상하 이동시키는 승강 기구(644)를 가지고 있다. 전사 롤러(641)는 회전 구동 기구와 접속되어 있지 않고, 자유 회전한다. 또, 지지 프레임(642)에는, 전사 롤러(641)의 표면에 하방으로부터 맞닿아 전사 롤러(641)의 변형을 방지하는 백업 롤러(643)가 설치되어 있다.

Y방향에 있어서의 전사 롤러(641)의 길이는, 하측 스테이지(61)의 개구창(611)의 네변 중 Y방향에 따른 변의 길이, 즉 개구창(611)의 Y방향에 있어서의 개구 치수보다 짧고, 또한, 후술하는 상측 스테이지에 유지되었을 때의 기판(SB)의 Y방향을 따른 길이보다는 길다. 블랭킷(BL) 중 패턴 형성 영역으로서 유효한 유효 영역(AR)의 길이는 당연히 기판(SB)의 길이 이하이기 때문에, Y방향에 있어서 전사 롤러(641)는 유효 영역(AR)보다 길다.

승강 기구(644)는, 베이스부(644a)와, 상기 베이스부(644a)로부터 상방으로 연장되어 지지 프레임(642)의 Y방향에 있어서의 중앙 부근에 연결된 지지각(644b)을 가지고 있다. 지지각(644b)은 모터 또는 실린더 등의 적당한 구동 기구에 의해 베이스부(644a)에 대해 상하 이동 가능하게 되어 있다. 베이스부(644a)는, X방향으로 연장 설치된 가이드 레일(646)에 대해 슬라이드 가능하게 장착되어 있고, 더욱 예를 들어 모터 및 볼 나사 기구 등의 적당한 구동 기구를 구비하는 이동 기구(647)에 연결되어 있다. 가이드 레일(646)은, X방향으로 연장 설치되어 베이스 프레임(21)에 고정된 하방 프레임(645)의 상면에 장착되어 있다. 이동 기구(647)가 작동함으로써, 전사 롤러(641), 지지 프레임(642) 및 승강 기구(644)가 일체적으로 X방향으로 주행한다.

상세하게는 후술하나, 이 전사 장치(203)에서는, 하측 스테이지(61)에 유지된 블랭킷(BL)에 전사 롤러(641)를 맞닿게 하여 블랭킷(BL)을 부분적으로 밀어 올림으로써, 상측 스테이지에 유지되고 블랭킷(BL)에 근접 대향 배치된 기판(SB)에 블랭킷(BL)을 맞닿게 한다.

승강 기구(644)는, 승강 핸드 유닛(62, 63)의 서로 마주 보는 핸드(625)가 만드는 간극을 통해 주행한다. 또 각 핸드(625)는, 그 상면(625a)이 전사 롤러 유닛(64)의 지지 프레임(642)의 하면보다 하방까지 (-Z)방향으로 후퇴 가능하게 되어 있다. 따라서 이 상태로 승강 기구(644)가 주행함으로써, 전사 롤러 유닛(64)의 지지 프레임(642)이 각 핸드(625)의 상면(625a)의 상방을 통과하고, 전사 롤러 유닛(64)과 핸드(625)가 충돌하는 것이 회피된다.

다음에 상측 스테이지 블록(4)의 구조에 대해 설명한다. 도 11에 도시하는 바와 같이, 상측 스테이지 블록(4)은, X방향으로 연장되는 구조체인 상측 스테이지 어셈블리(40)와, 상측 스테이지 지지 프레임(22, 23)으로부터 각각 세워 설치되어 상측 스테이지 어셈블리(40)의 X방향 양단부를 각각 지지하는 1쌍의 지지 기둥(45, 46)과, 예를 들어 모터 및 볼 나사 기구 등의 적당한 구동 기구를 구비하여 상측 스테이지 어셈블리(40) 전체를 Z방향으로 승강 이동시키는 승강 기구(47)를 구비하고 있다.

도 15는 상측 스테이지 어셈블리의 구조를 도시하는 도이다. 상측 스테이지 어셈블리(40)는, 하면에 기판(SB)을 유지하는 상측 스테이지(41)와, 상측 스테이지(41)의 상부에 설치된 보강 프레임(42)과, 보강 프레임(42)에 결합되어 X방향을 따라 수평으로 연장되는 빔형 구조체(43)와, 상측 스테이지(41)에 장착되는 상부 흡착 유닛(44)을 구비하고 있다. 도 15에 도시하는 바와 같이, 상측 스테이지 어셈블리(40)는 그 외형상의 중심을 포함하는 XZ평면 및 YZ평면에 대해 각각 대체로 대칭인 형상을 가지고 있다.

상측 스테이지(41)는, 유지해야 할 기판(SB)의 평면 사이즈보다 조금 작은 평판형 부재이며, 수평 자세로 유지된 그 하면(41a)이 기판(SB)을 맞닿게 하여 유지하는 유지 평면으로 되어 있다. 유지 평면은 높은 평면도가 요구되므로, 그 재료로서는 석영 유리 또는 스테인리스 판이 적절하다. 또 유지 평면에는 후술하는 상부 흡착 유닛(44)의 흡착 패드를 장착하기 위한 관통 구멍이 설치되어 있다.

보강 프레임(42)은, 상측 스테이지(41)의 상면에 Z방향으로 연장 설치된 보강 리브의 조합으로 이루어져 있으며, 도면에 도시하는 바와 같이, 상측 스테이지(41)의 변형을 방지하여 그 하면(유지 평면)(41a)의 평면도를 유지하기 위해, YZ평면과 평행한 보강 리브(421)와, XZ평면과 평행한 보강 리브(422)가 각각 복수 적당히 조합되어 있다. 보강 리브(421, 422)는 예를 들어 금속판에 의해 구성할 수 있다.

또, 빔형 구조체(43)는, 복수의 금속판을 조합하여 형성된 X방향을 길이 방향으로 하는 구조체이며, 그 양단부가 지지 기둥(45, 46)에 지지되어 상하 이동 가능하게 되어 있다. 구체적으로는, 지지 기둥(45, 46)에는 Z방향으로 연장되는 가이드 레일(451, 461)이 각각 설치되는 한편, 이와 대향하는 빔형 구조체(43)의 (＋Y)측 주면에 도시하지 않은 슬라이더가 장착되어 있으며, 이들이 슬라이드 가능하게 걸어맞춰져 있다. 그리고, 도 11에 도시하는 바와 같이, 빔형 구조체(43)와 지지 기둥(46)은 승강 기구(47)에 의해 연결되어 있어, 승강 기구(47)가 작동함으로써, 빔형 구조체(43)가 수평 자세를 유지한 채로 연직축 방향(Z방향)으로 이동한다. 상측 스테이지(41)는 보강 프레임(42)을 개재하여 빔형 구조체(43)와 일체적으로 결합되어 있으므로, 승강 기구(47)의 작동에 의해, 상측 스테이지(41)가 유지 평면(41a)을 수평으로 유지한 채로 상하 이동한다.

또한, 보강 프레임(42) 및 빔형 구조체(43)의 구조는 도시한 것에 한정되지 않는다. 여기에서는 YZ평면과 평행한 판형 부재와 XZ평면과 평행한 판형 부재를 조합하여 필요한 강도를 얻고 있는데, 이 이외의 형상으로 판금이나 앵글 부재 등을 적당히 조합해도 된다. 이러한 구조로 하는 것은 상측 스테이지 어셈블리(40)를 경량으로 구성하기 위함이다. 각부의 변형을 저감시키기 위해, 상측 스테이지(41)의 두께를 더하거나 빔형 구조체(43)를 중실체로 하는 것도 생각할 수 있으나, 그와 같이 하면 상측 스테이지 어셈블리(40) 전체 질량이 커져 버린다.

장치의 상부에 배치되는 구조물의 중량이 커지면, 이를 지지하거나 이동시키기 위한 기구에 새로운 강도 및 내구성이 필요하여, 장치 전체도 매우 크고 무거워져 버린다. 판재 등의 조합에 의해 필요한 강도를 얻으면서, 구조물 전체의 경량화를 도모하는 것이 보다 현실적이다.

또, 보강 프레임(42)에 의해 둘러싸인 상측 스테이지(41)의 상부에는, 1쌍의 상부 흡착 유닛(44)이 장착된다. 한쪽의 상부 흡착 유닛(44)이 상방으로 취출된 상태가 도 15 상부에 도시되어 있다. 상부 흡착 유닛(44)에서는, 지지 프레임(441)으로부터 하방으로 연장되는 복수의 파이프(442)의 하단에 예를 들어 고무제의 흡착 패드(443)가 각각 장착되어 있다. 각 파이프(442)의 상단측은 도시하지 않은 배관 및 제어 밸브를 개재하여 제어 장치(500)의 부압 공급부(504)에 접속되어 있다. 지지 프레임(441)은, 보강 프레임(42)을 구성하는 리브(421, 422)와 간섭하지 않는 형상으로 여겨진다.

지지 프레임(441)은, 1쌍의 슬라이더(444)와 이에 걸어맞춰지는 1쌍의 가이드 레일(445)을 개재하여, 베이스 플레이트(446)에 대해 연직축 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 또, 베이스 플레이트(446)와 지지 프레임(441)은, 예를 들어 모터 및 볼 나사 기구 등의 적당한 구동 기구를 가지는 승강 기구(447)에 의해 결합되어 있다. 승강 기구(447)의 작동에 의해, 베이스 플레이트(446)에 대해 지지 프레임(441)이 승강하고, 이와 일체적으로 파이프(442) 및 흡착 패드(443)가 승강한다.

베이스 플레이트(446)가 상측 스테이지(41)에 고정됨으로써, 상부 흡착 유닛(44)이 상측 스테이지(41)에 장착된다. 이 상태에서는, 각 파이프(442)의 하단 및 흡착 패드(443)는, 상측 스테이지(41)에 설치된 도시하지 않은 관통 구멍에 삽입 통과되어 있다. 그리고, 승강 기구(447)의 작동에 의해, 흡착 패드(443)는, 그 하면이 상측 스테이지(41)의 하면(유지 평면)(41a)보다 하방까지 토출한 흡착 위치와, 하면이 상측 스테이지(41)의 관통 구멍의 내부(상방)로 퇴피한 퇴피 위치의 사이에서 승강 이동한다. 또 흡착 패드(443)의 하면이 상측 스테이지(41)의 유지 평면(41a)과 거의 동일 높이에 위치 결정되었을 때, 상측 스테이지(41)와 흡착 패드(443)가 협동하여, 기판(SB)을 유지 평면(41a)에 유지할 수 있다.

도 11로 돌아와, 상기와 같이 구성된 상측 스테이지 어셈블리(40)는 베이스 플레이트(481)상에 설치되어 있다. 보다 상세하게는, 지지 기둥(45, 46)이 각각 베이스 플레이트(481)에 세워 설치되어 있고, 상기 지지 기둥(45, 46)에 대해 상측 스테이지 어셈블리(40)가 승강 가능하게 장착되어 있다. 베이스 플레이트(481)는, 상측 스테이지 지지 프레임(22, 23)에 장착되고 예를 들어 크로스 롤러 베어링 등의 적당한 가동 기구를 구비하는 상측 스테이지 블록 지지 기구(482)에 의해 지지되어 있다.

이로 인해, 상측 스테이지 어셈블리(40) 전체가, 메인 프레임(2)에 대해 수평 이동 가능하게 되어 있다. 구체적으로는, 베이스 플레이트(481)가 상측 스테이지 블록 지지 기구(482)의 작동에 의해 수평면, 즉 XY평면 내에서 수평 이동한다. 지지 기둥(45, 46)의 각각 대응하여 설치된 1쌍의 베이스 플레이트(481)는 서로 독립하여 이동 가능하게 되어 있으며, 이들의 이동에 수반하여, 상측 스테이지 어셈블리(40)는 메인 프레임(2)에 대해 X방향, Y방향 및 θ방향으로 소정의 범위에서 이동 가능하다.

다음에, 상기와 같이 구성된 전사 장치(203)에 있어서의 전사 처리에 대해 설명한다. 이 전사 처리에서는, 상측 스테이지(41)에 유지된 기판(SB)과, 하측 스테이지(61)에 유지된 블랭킷(BL)이 미소한 갭을 사이에 두고 근접 대향 배치된다. 그리고, 전사 롤러(641)가 블랭킷(BL)의 하면에 맞닿아 블랭킷(BL)을 국소적으로 상방으로 밀어 올리면서 블랭킷(BL) 하면을 따라 이동한다. 밀어 올려진 블랭킷(BL)은 기판(SB)과 우선 국소적으로 맞닿고, 롤러 이동에 수반하여 접촉 부분이 점차 확대하여 최종적으로는 기판(SB)의 전체와 맞닿는다. 이에 의해, 블랭킷(BL)과 기판(SB)이 밀착되어 블랭킷(BL)상의 패턴층이 기판(SB)에 전사된다.

도 16a~16c, 도17a~17c, 도18a, 도18b, 도 19a~19c, 도 20a~20c, 도21a~21c, 도 22a~22c는 처리의 각 단계에 있어서의 장치 각부의 위치 관계를 모식적으로 도시하는 도이다. 이하, 전사 처리에 있어서의 각부의 동작을 이들 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 처리의 각 단계에 있어서의 각부의 관계를 알기 쉽게 나타내기 위해, 상기 단계의 처리에 직접 관계하지 않는 구성 또는 그것에 붙여야 할 부호의 도시를 생략하는 경우가 있다.

이 전사 처리에서는, 초기화된 전사 장치(203)에 대해, 우선 기판(SB)이 도 7의 반송 경로(PTS)를 따라 반입되고, 상측 스테이지(41)에 세트된다. 이어서, 판(PP)에 의해 패터닝된 패턴층을 담지한 블랭킷(BL)이 도 7의 블랭킷 반송 경로(PTB)를 따라 반입되며, 하측 스테이지(61)에 세트된다. 기판(SB)은 패턴층의 전사를 받는 피전사면을 하향으로 하고, 또 블랭킷(BL)은 패턴층을 상향으로 하여 반입된다.

도 16a~16c는, 기판(SB)이 장치에 반입되어 상측 스테이지(41)에 세트될 때까지의 과정을 도시하고 있다. 도 16a에 도시하는 바와 같이, 초기 상태에서는, 상측 스테이지(41)가 상방으로 퇴피하여 하측 스테이지(61)와의 간격이 커지고 있어, 양쪽 스테이지의 사이에 넓은 처리 공간(SP)이 형성되어 있다. 또, 각 핸드(625)는 하측 스테이지(61)의 상면보다 하방으로 퇴피되어 있다. 전사 롤러(641)는 하측 스테이지(61)의 개구창(611)을 향하는 위치 중 가장 (-X)방향에 치우친 위치로, 또한 연직축 방향(Z방향)에는 하측 스테이지(61)의 상면보다 하방으로 퇴피한 위치에 있다. 부압 공급부(504)에 접속되는 각 제어 밸브는 닫혀 있다.

이 상태로, (-Y)방향으로부터 (＋Y)방향을 향해, 반송부(402)의 기판용 핸드(HS)에 올려놓여진 기판(SB)이, 미리 그 두께가 계측된 다음에 처리 공간(SP)에 반입된다. 이때 핸드(625) 및 전사 롤러(641)가 하방으로 퇴피하고 있음으로써, 반입 작업을 용이하게 할 수 있다. 기판(SB)이 소정의 위치에 위치 결정되면, 화살표로 나타내는 바와 같이 상측 스테이지(41)가 강하해 온다.

상측 스테이지(41)가 기판(SB)에 근접한 소정의 위치까지 강하하면, 도 16b에 도시하는 바와 같이, 상측 스테이지(41)에 설치된 흡착 패드(443)가 상측 스테이지(41)의 하면, 즉 유지 평면(41a)보다 하방까지 밀려 나와, 기판(SB)의 상면에 맞닿는다. 흡착 패드(443)에 연결되는 제어 밸브가 열림으로써, 흡착 패드(443)에 의해 기판(SB)의 상면이 흡착되어 기판(SB)이 유지된다. 그리고, 흡착을 계속한 상태로 흡착 패드(443)가 상승함으로써, 기판(SB)은 기판용 핸드(HS)로부터 들어 올려진다. 이 시점에서 기판용 핸드(HS)는 장치 밖으로 이동한다.

최종적으로는, 도 16c에 도시하는 바와 같이, 흡착 패드(443)의 하면이 유지 평면(41a)과 동일 높이 혹은 그보다 약간 높은 위치까지 상승하고, 이에 의해, 기판(SB)의 상면이 상측 스테이지(41)의 유지 평면(41a)에 밀착한 상태로 유지된다. 상측 스테이지(41)의 하면에 흡착홈 혹은 흡착 구멍을 설치하고, 이들에 의해 기판(SB)을 흡착하는 구성이어도 된다. 이와 같이 하여 기판(SB)의 유지가 완료한다.

도 17a~17c, 도 18a 및 도 18b는, 기판(SB)의 반입 후, 블랭킷(BL)이 반입되어 하측 스테이지(61)에 유지될 때까지의 과정을 도시하고 있다. 상측 스테이지(41)에 의한 기판(SB)의 유지가 완료하면, 도 17a에 도시하는 바와 같이, 상측 스테이지(41)를 상승시켜 다시 넓은 처리 공간(SP)을 형성함과 더불어, 각 핸드(625)를 하측 스테이지(61)의 상면(61a)보다 상방까지 상승시킨다. 이때, 각 핸드(625)의 상면(625a)이 모두 동일 높이가 되도록 한다.

이 상태로, 도 17b에 도시하는 바와 같이, 상면에 패턴층(PL)이 형성된 블랭킷(BL)이 반송부(402)의 블랭킷용 핸드(HB)에 올려놓여지고 처리 공간(SP)에 반입되는 것을 접수한다. 블랭킷(BL)은 반입에 앞서 그 두께가 계측된다. 블랭킷용 핸드(HB)는, 핸드(625)와 간섭하는 일 없이 그들의 간극을 통해 진입할 수 있도록, Y방향으로 연장되는 핑거를 가지는 포크형인 것이 바람직하다.

블랭킷용 핸드(HB)가 진입 후 강하하거나, 또는 핸드(625)가 상승함으로써, 핸드(625)의 상면(625a)은 블랭킷(BL)의 하면에 맞닿고, 도 17c에 도시하는 바와 같이, 그 이후 블랭킷(BL)은 핸드(625)에 의해 지지된다. 핸드(625)에 설치한 흡착 구멍(625b)(도 13)에 부압을 공급함으로써, 지지를 보다 확실한 것으로 할 수 있다. 이렇게 하여 블랭킷(BL)은 블랭킷용 핸드(HB)로부터 핸드(625)에 수도되고, 블랭킷용 핸드(HB)에 대해서는 장치 밖으로 배출할 수 있다.

그 후, 도 18a에 도시하는 바와 같이, 각 핸드(625)의 상면(625a)의 높이를 같게 한 상태에서 핸드(625)를 강하시켜, 최종적으로는 핸드 상면(625a)을 하측 스테이지(61)의 상면(61a)과 같은 높이로 한다. 이에 의해, 블랭킷(BL) 네변의 주연부가 하측 스테이지(61)의 상면(61a)에 맞닿는다.

이때, 도 18b에 도시하는 바와 같이, 하측 스테이지 상면(61a)에 설치한 진공 흡착홈(612)에 부압을 공급하여, 블랭킷(BL)을 흡착 유지한다. 이에 수반하여, 핸드(625)에서의 흡착은 해제한다. 이에 의해, 블랭킷(BL)은, 그 네변의 주연부를 하측 스테이지(61)에 의해 흡착 유지된 상태가 된다. 도 18b에서는, 핸드(625)에 의한 흡착 유지를 해제한 것을 명시하기 위해 블랭킷(BL)과 핸드(625)가 이격되어 있는데, 실제로는 블랭킷(BL)의 하면이 핸드 상면(625a)에 맞닿은 상태가 유지된다.

만일 이 상태에서 핸드(625)를 이격시켰다고 하면, 블랭킷(BL)은 자중에 의해 중앙부가 하방으로 변형, 전체적으로 아래로 볼록한 형상이 된다고 생각할 수 있다. 핸드(625)를 하측 스테이지 상면(61a)과 같은 높이로 유지함으로써, 이러한 변형을 억제하여 블랭킷(BL)을 평면 상태로 유지할 수 있다. 이렇게 하여, 블랭킷(BL)은 그 주연부가 하측 스테이지(61)에 의해 흡착 유지되면서 중앙부에 대해서는 핸드(625)에 의해 보조적으로 지지된 상태가 되어, 블랭킷(BL)의 유지가 완료한다.

기판(SB)과 블랭킷(BL)의 반입 순서는 상기와 역이어도 상관없다. 단, 블랭킷(BL)을 반입한 후에 기판(SB)을 반입하는 경우, 기판(SB)의 반입시에 블랭킷(BL)상에 이물이 낙하하여 패턴층(PL)을 오염시키거나 결함을 발생시킬 우려가 있다. 상기와 같이 기판(SB)을 상측 스테이지(41)에 세트한 후에 하측 스테이지(61)에 블랭킷(BL)을 세트함으로써, 그러한 문제를 미연에 회피하는 것이 가능하다.

이렇게 하여 상하측 스테이지에 기판(SB) 및 블랭킷(BL)이 각각 세트되면, 계속해서 기판(SB) 및 블랭킷(BL)의 프리얼라인먼트 처리가 행해진다. 또한, 양자가 미리 설정된 갭을 사이에 두고 대향하도록, 갭 조정이 행해진다.

도 19a~19c는 갭 조정 처리 및 얼라인먼트 처리의 과정을 도시하는 도이다. 이 중 도 19c에 도시하는 정밀 얼라인먼트 처리는 전사 장치(203)에서만 실행되고, 그 밖의 전사 장치(202, 204)에서는 실행되지 않는다. 이는, 도포층에 패턴층을 형성하는 정밀도나 전사 플레이트(TP)를 블랭킷(BL)에 전사하는 정밀도가 패턴층을 기판(SB)에 전사하는 정밀도에 비해 낮은 것에 기인한다.

상기와 같이 기판(SB)이나 블랭킷(BL)이 외부의 장치로부터 반입되는데, 그 수도시에 위치 편차가 일어나기 쉽다. 프리얼라인먼트 처리는, 상측 스테이지(41)에 유지된 기판(SB)과, 하측 스테이지(61)에 유지된 블랭킷(BL)의 각각을, 이후의 처리에 적절한 위치에 개략 위치 결정하기 위한 처리이다.

도 19a는 프리얼라인먼트를 실행하기 위한 구성의 배치를 모식적으로 도시하는 측면도이다. 상기 서술한 바와 같이, 이 실시 형태에서는, 장치 상부에 전부에서 6기의 프리얼라인먼트 카메라(241~246)가 설치되어 있다. 이 중 3기의 카메라(241~243)는, 상측 스테이지(41)에 유지된 기판(SB)의 외연을 검출하기 위한 기판용 프리얼라인먼트 카메라이다. 또, 다른 3기의 카메라(244~246)는, 블랭킷(BL)의 외연을 검출하기 위한 블랭킷용 프리얼라인먼트 카메라이다. 또한, 여기에서는 프리얼라인먼트 카메라(241~243)를 편의적으로 「기판용 프리얼라인먼트 카메라」라고 칭하고 있는데, 이들은 기판(SB)의 위치 맞춤 및 기판(SB)의 위치 맞춤 중 어느 것에도 사용 가능한 것이며, 또 그 처리 내용도 같다.

도 11 및 도 19a에 도시하는 바와 같이, 기판용 프리얼라인먼트 카메라(241, 242)는 X방향에는 대략 같은 위치로 Y방향에 서로 위치를 상이하게 하여 설치되어 있고, 기판(SB)의 (-X)측 외연부를 상방으로부터 각각 촬상한다. 상측 스테이지(41)는 기판(SB)보다 조금 작은 평면 사이즈로 형성되어 있기 때문에, 상측 스테이지(41)의 단부보다 외측까지 연장된 기판(SB)(또는 기판(SB))의 (-X)측 외연부를 상방으로부터 촬상할 수 있다. 또, 도면에는 나타나지 않으나, 도 19a 지면의 앞측에는 또 다른 1기의 기판용 프리얼라인먼트 카메라(243)가 설치되어 있으며, 상기 카메라(243)는 기판(SB)(또는 기판(SB))의 (-Y)측 외연부를 상방으로부터 촬상한다.

한편, 블랭킷용 프리얼라인먼트 카메라(244, 246)는 X방향에는 대략 같은 위치로 Y방향에 서로 위치를 상이하게 하여 설치되어 있고, 하측 스테이지(61)에 올려놓여지는 블랭킷(BL)의 (＋X)측 외연부를 상방으로부터 각각 촬상한다. 또, 도 19a 지면의 앞측에 또 다른 1기의 블랭킷용 프리얼라인먼트 카메라(245)가 설치되어 있으며, 상기 카메라(245)는 블랭킷(BL)의 (-Y)측 외연부를 상방으로부터 촬상한다.

이들 프리얼라인먼트 카메라(241~246)에 의한 촬상 결과로부터 기판(SB) 및 블랭킷(BL)의 위치가 각각 파악된다. 그리고, 필요에 따라 상측 스테이지 블록 지지 기구(482) 및 얼라인먼트 스테이지 지지 기구가 작동함으로써, 기판(SB) 및 블랭킷(BL)이 각각 미리 설정된 목표 위치에 위치 결정된다.

또한, 하측 스테이지(61)와 더불어 블랭킷(BL)을 수평 이동시킬 때, 도 19a에 도시하는 바와 같이, 각 핸드(625)의 상면(625a)과 블랭킷(BL)의 하면은 약간 이격시켜 두는 것이 바람직하다. 이 목적을 위해, 가스 공급부(506)로부터 공급되는 가스를 핸드(625)의 흡착 구멍(625b)으로부터 토출시켜 둘 수 있다. 이는 후술하는 정밀 얼라인먼트 처리에 있어서도 마찬가지이다.

또, 박형 혹은 대형으로 변형이 발생하기 쉬운 기판(SB)에 대해서는, 취급을 용이하게 하기 위해 예를 들어 배면에 판형의 지지 부재를 맞닿게 한 상태로 기판(SB)이 처리에 제공되는 경우가 있다. 이러한 경우, 비록 지지 부재가 기판(SB)보다 대형인 것이어도, 예를 들어 지지 부재를 투명 재료로 구성하거나, 지지 부재에 부분적으로 투명한 창 또는 관통 구멍을 설치하는 등, 기판(SB)의 외연부의 위치를 검출 용이한 구성으로 해 두면, 상기와 같은 프리얼라인먼트 처리가 가능하다.

이어서, 도 19b에 도시하는 바와 같이, 블랭킷(BL)을 유지하는 하측 스테이지(61)에 대해, 기판(SB)을 유지하는 상측 스테이지(41)를 강하시켜, 기판(SB)과 블랭킷(BL)의 간격(G)을 미리 정해진 설정값에 맞춘다. 이때, 사전에 계측된 기판(SB) 및 블랭킷(BL)의 두께가 고려된다. 즉, 기판(SB) 및 블랭킷(BL)의 두께를 가미한 다음 양자의 갭이 소정값이 되도록, 상측 스테이지(41)와 하측 스테이지(61)의 간격이 조정된다. 여기에서의 갭치(G)로는, 예를 들어 300μm 정도로 할 수 있다.

기판(SB) 및 블랭킷(BL)의 두께에 대해서는, 제조상의 치수 편차에 의한 개체 차가 있는 것 외에, 동일 부품이어도 예를 들어 팽윤에 의한 두께의 변화를 생각할 수 있으므로, 사용할 때마다 계측되는 것이 바람직하다. 또, 갭(G)에 대해서는, 기판(SB)의 하면과, 블랭킷(BL)의 상면의 사이로 정의되어도 되고, 또 기판(SB)의 하면과, 블랭킷(BL)에 담지된 패턴 형성 재료의 패턴층(PL)의 상면의 사이로 정의되어도 된다. 패턴층(PL)의 두께가 도포 단계에서 엄밀하게 관리되고 있는 한, 기술적으로는 등가이다.

이렇게 하여 기판(SB)과 블랭킷(BL)이 갭(G)을 사이에 두고 대향 배치되면, 계속해서 전사 롤러(641)를 블랭킷(BL)의 하면에 맞닿게 하면서 X방향으로 주행시킴으로써, 기판(SB)과 블랭킷(BL)을 밀착시킨다. 이에 의해 블랭킷(BL)상의 패턴층(PL)을 기판(SB)에 전사한다.

도 20a~20c는 전사 처리의 과정을 도시하고 있다. 구체적으로는, 도 20a에 도시하는 바와 같이, 전사 롤러(641)를 블랭킷(BL)의 바로 아래 위치까지 상승시킴과 더불어, X방향에는 전사 롤러(641)의 중심선이 기판(SB)의 단부와 대략 같은 위치, 또는 이보다 (-X)방향으로 약간 어긋난 위치에, 전사 롤러(641)를 배치한다. 이 상태로, 도 20b에 도시하는 바와 같이, 전사 롤러(641)를 더 상승시켜 블랭킷(BL)의 하면에 맞닿게 하고, 상기 맞닿은 위치의 블랭킷(BL)을 국소적으로 상방으로 밀어 올린다. 이에 의해, 블랭킷(BL)(보다 엄밀하게는 블랭킷(BL)에 담지된 패턴층(PL))이 소정의 가압력으로 기판(SB)의 하면에 가압된다. 전사 롤러(641)는 Y방향에 있어서 기판(SB)(및 유효 영역(AR))보다 길기 때문에, 기판(SB)의 하면 중 Y방향에 있어서의 한쪽 단으로부터 다른쪽 단에 이르는 Y방향을 따른 가늘고 긴 영역이 블랭킷(BL)과 맞닿는다.

이렇게 하여 전사 롤러(641)가 블랭킷(BL)을 가압한 상태인 채로 승강 기구(644)가 (＋X)방향을 향해 주행함으로써, 블랭킷(BL)의 밀어 올림 위치를 (＋X)방향으로 이동시킨다. 이때 핸드(625)가 전사 롤러(641)와 접촉하는 것을 방지하기 위해, 도 20c에 도시하는 바와 같이, 전사 롤러(641)와의 X방향 거리가 소정값 이하가 된 핸드(625)에 대해서는 적어도 상기 핸드(625)의 상면(625a)이 지지 프레임(642)의 하면보다 낮은 위치가 될 때까지 하방으로 퇴피시킨다.

핸드(625)에 의한 흡착은 이미 해제되어 있으므로, 핸드(625)의 강하와 더불어 블랭킷(BL)이 하방으로 내려지는 일은 없다. 또, 강하를 개시하는 타이밍을 전사 롤러(641)의 주행에 동기하여 적당히 관리함으로써, 핸드(625)에 의한 지지를 잃은 블랭킷(BL)이 자중으로 하방에 처지는 일도 방지하는 것이 가능하다.

도 21a~21c는 전사 롤러(641)의 주행 과정을 도시하고 있다. 일단 맞닿은 기판(SB)과 블랭킷(BL)은 패턴층(PL)을 개재하여 밀착한 상태가 유지되므로, 도 21a에 도시하는 바와 같이, 전사 롤러(641)의 주행에 수반하여 기판(SB)과 블랭킷(BL)이 밀착한 영역이 점차 (＋X)방향으로 확대해 간다. 이때, 도 21에 도시하는 바와 같이, 전사 롤러(641)가 접근함에 따라 핸드(625)를 차례로 강하시킨다.

이렇게 하여 최종적으로는, 도 21b에 도시하는 바와 같이, 모든 핸드(625)가 강하하여, 전사 롤러(641)가 하측 스테이지(61) 하방의 (＋X)측 단부까지 도달한다. 이 시점에서 전사 롤러(641)는 기판(SB)의 (＋X)측 단부의 대략 바로 아래 또는 이것보다 약간 (＋X)측의 위치에 도달하고 있어, 기판(SB)의 하면 전체가 블랭킷(BL)상의 패턴층(PL)에 맞닿는다.

전사 롤러(641)가 일정한 높이를 유지하며 주행하는 동안, 블랭킷(BL) 하면 중 전사 롤러(641)에 의해 가압되는 영역의 면적은 일정하다. 따라서, 승강 기구(644)가 일정한 하중을 주면서 전사 롤러(641)를 블랭킷(BL)에 누름으로써, 기판(SB)과 블랭킷(BL)은 사이에 패턴 형성 재료의 패턴층(PL)을 끼우면서 일정한 가압력으로 서로 가압되게 된다. 이에 의해, 기판(SB)으로부터 블랭킷(BL)으로의 패턴 전사를 양호하게 행할 수 있다.

또한, 패턴층(PL)의 전사시에는, 기판(SB)의 표면 영역의 전체를 유효하게 이용할 수 있는 것이 이상적이지만, 기판(SB)의 주연부에는 상처나 반송시의 핸드와의 접촉 등에 의해 유효 이용할 수 없는 영역이 불가피적으로 발생한다. 도 21b에 도시하는 바와 같이, 기판(SB)의 단부 영역을 제외한 중앙 부분을, 유효 영역(AR)으로 했을 때, 적어도 유효 영역(AR) 내에서는 전사 롤러(641)의 가압력 및 주행 속도가 일정한 것이 바람직하다. 이를 위해서는, 전사 롤러(641)의 Y방향 길이가 같은 방향에 있어서의 유효 영역(AR)의 길이보다 길 필요가 있다. 또 X방향에 있어서는, (-X)방향에 있어서의 유효 영역(AR)의 단부보다 (-X)측 위치로부터 전사 롤러(641)의 주행을 개시하고, 적어도 (＋X)방향에 있어서의 유효 영역(AR)의 단부에 도달할 때까지는 일정 속도를 유지하는 것이 바람직하다. 기판(SB)의 유효 영역(AR)과 대향하는 블랭킷(BL)의 표면 영역이, 블랭킷(BL)측의 유효 영역(AR)이 된다.

이렇게 하여 전사 롤러(641)가 (＋X)측 단부까지 도달하면, 전사 롤러(641)의 주행을 정지함과 더불어, 도 21c에 도시하는 바와 같이 전사 롤러(641)를 하방으로 퇴피시킨다. 이에 의해, 전사 롤러(641)는 블랭킷(BL) 하면으로부터 이격되고 전사 처리가 종료한다.

이렇게 하여 전사 처리가 종료하면 기판(SB) 및 블랭킷(BL)의 밀착체의 반출이 행해진다. 도 22a~22c는 판 및 블랭킷의 반출의 과정을 도시하고 있다. 우선, 도 22a에 도시하는 바와 같이, 전사 처리시에 강하하고 있던 각 핸드(625)를 다시 상승시키고, 상면(625a)이 하측 스테이지(61)의 상면(61a)과 동일 높이가 되는 위치에 위치 결정한다. 이 상태로, 상측 스테이지(41)의 흡착 패드(443)에 의한 기판(SB)의 흡착을 해제한다. 이에 의해 상측 스테이지(41)에 의한 기판(SB)의 유지가 해제되어, 기판(SB)과 블랭킷(BL)이 패턴 형성 재료의 패턴층(PL)을 개재하여 일체화된 밀착체가 하측 스테이지(61)상에 남는다. 밀착체의 중앙부에 대해서는 핸드(625)에 의해 지지된다.

계속해서, 도 22b에 도시하는 바와 같이, 상측 스테이지(41)를 상승시켜 넓은 처리 공간(SP)을 형성하고, 하측 스테이지(61)의 홈(612)에 의한 흡착을 해제함과 더불어, 핸드(625)를 더 상승시켜 하측 스테이지(61)보다 상방으로 이동시킨다. 이때 핸드(625)에 의해 밀착체를 흡착 유지하는 것이 바람직하다.

이렇게 함으로써 외부로부터의 액세스가 가능해진다. 그래서, 도 22c에 도시하는 바와 같이, 반송부(402)의 블랭킷용 핸드(HB)를 외부로부터 받아들여, 반입시와는 반대의 동작을 함으로써, 기판(SB)을 밀착시킨 상태의 블랭킷(BL)이 외부로 반출되고, 박리 장치(303)에 반송된다. 그리고, 박리 장치(303)에 의해 기판(SB)을 블랭킷(BL)으로부터 박리하면, 블랭킷(BL)상에 기판(SB)의 패턴층이 형성된다.

＜＜박리 장치＞＞

인쇄 시스템(100)에서는, 3종류의 박리 장치(302, 303, 304)가 설치되어 있는데, 이들은 기본적으로 동일 구조를 가지고 있다. 그래서, 전사 장치(303)에 대해 설명하고, 전사 장치(302, 304)에 대한 설명은 생략한다.

도 23은, 도7에 도시하는 인쇄 시스템에 장비된 박리 장치의 일례를 도시하는 사시도이다. 박리 장치(303)는, 주면들이 서로 밀착한 상태로 반입되는 밀착체를 박리시키기 위한 장치이다. 이 박리 장치(303)는, 하우징에 장착된 메인 프레임(11) 위에 스테이지 블록(3) 및 상부 흡착 블록(5)이 각각 고정된 구조를 가지고 있다. 도 23에서는 장치의 내부 구조를 나타내기 위해 하우징의 도시를 생략하고 있다.

스테이지 블록(3)은, 기판(SB)과 블랭킷(BL)이 밀착되어 이루어지는 밀착체 (이하, 「워크」라고 함)를 올려놓기 위한 스테이지(30)를 가지고 있고, 스테이지(30)는, 상면이 대략 수평의 평면으로 된 수평 스테이지부(31)와, 상면이 수평면에 대해 수 도(예를 들어, 2도 정도)의 기울기를 가지는 평면으로 된 테이퍼 스테이지부(32)를 구비하고 있다. 스테이지(30)의 테이퍼 스테이지부(32)측, 즉, (-Y)측의 단부 근방에는 초기 박리 유닛(33)이 설치되어 있다. 또, 수평 스테이지부(31)에 걸쳐 롤러 유닛(34)이 설치된다.

한편, 상부 흡착 블록(5)은, 메인 프레임(11)으로부터 세워 설치됨과 더불어 스테이지 블록(3)의 상부를 덮도록 설치된 지지 프레임(50)과, 상기 지지 프레임(50)에 장착된 제1 흡착 유닛(51), 제2 흡착 유닛(52), 제3 흡착 유닛(53) 및 제4 흡착 유닛(54)을 구비하고 있다. 이들 흡착 유닛(51~54)은 (+Y)방향으로 순서대로 나열되어 있다.

도 24는 박리 장치의 주요 구성을 도시하는 사시도이다. 보다 구체적으로는, 도 24는, 박리 장치(303)의 각 구성 중 스테이지(30), 롤러 유닛(34) 및 제2 흡착 유닛(52)의 구조를 도시하고 있다. 스테이지(30)는, 상면(310)이 대략 수평면으로 된 수평 스테이지부(31)와 상면(320)이 테이퍼면으로 된 테이퍼 스테이지부(32)를 구비하고 있다. 수평 스테이지부(31)의 상면(310)은 올려놓여지는 워크의 평면 사이즈보다도 조금 큰 평면 사이즈를 가지고 있다.

테이퍼 스테이지부(32)는 수평 스테이지부(31)의 (-Y)측 단부에 밀착하여 설치되어 있으며, 그 상면(320)은, 수평 스테이지부(31)와 접하는 부분에서는 수평 스테이지부(31)의 상면(310)과 같은 높이(Z방향 위치)에 위치하는 한편, 수평 스테이지부(31)로부터 (-Y)방향으로 멀어짐에 따라 하방, 즉 (-Z)방향으로 후퇴하고 있다. 따라서, 스테이지(30) 전체에서는, 수평 스테이지부(31)의 상면(310)의 수평면과 테이퍼 스테이지부(32)의 상면(320)의 테이퍼면이 연속하고 있으며, 그들이 접속하는 능선부(E)는 X방향으로 연장되는 직선형으로 되어 있다.

또, 수평 스테이지부(31)의 상면(310)에는 격자형상의 홈이 형성되어 있다. 보다 구체적으로는, 수평 스테이지부(31)의 상면(310)의 중앙부에 격자형상의 홈(311)이 설치됨과 더불어. 상기 홈(311)이 형성된 영역을 둘러싸도록, 직사각형 중 테이퍼 스테이지부(32)측의 한 변을 제외한 대략 コ자형이 되도록, 홈(312)이 수평 스테이지부(31)의 상면(310) 주연부에 설치되어 있다. 이들 홈(311, 312)은 제어 밸브를 개재하여 부압 공급부(504)(도 8)에 접속되어 있으며, 부압이 공급됨으로써, 스테이지(30)에 올려놓여지는 워크를 흡착 유지하는 흡착 홈으로서의 기능을 가진다. 2종류의 홈(311, 312)은 스테이지 상에서는 연결되어 있지 않고, 또 서로 독립된 제어 밸브를 개재하여 부압 공급부(504)에 접속되어 있으므로, 양쪽 홈을 사용한 흡착 외에, 한쪽 홈만 사용한 흡착도 가능하게 되어 있다.

이와 같이 구성된 스테이지(30)에 걸쳐, 롤러 유닛(34)이 설치된다. 구체적으로는, 수평 스테이지부(31)의 X방향 양단부를 따라, 1쌍의 가이드 레일(351, 352)이 Y방향으로 연장 설치되어 있으며, 이들 가이드 레일(351, 352)은 메인 프레임(11)에 고정되어 있다. 그리고, 가이드 레일(351, 352)에 대해 슬라이드 가능하게 롤러 유닛(34)이 장착되어 있다.

롤러 유닛(34)은, 가이드 레일(351, 352)과 각각 슬라이드 가능하게 걸어맞추는 슬라이더(341, 342)를 구비하고 있고, 이들 슬라이더(341, 342)를 연결하도록, 스테이지(30) 상부에 걸쳐 X방향으로 연장 설치된 하부 앵글(343)이 설치되어 있다. 하부 앵글(343)에는 적당한 승강 기구(344)를 개재하여 상부 앵글(345)이 승강 가능하게 장착되어 있다. 그리고, 상부 앵글(345)에 대해, X방향으로 연장 설치된 원기둥형상의 박리 롤러(340)가 회전 가능하게 장착된다.

상부 앵글(345)이 승강 기구(344)에 의해 하방, (-Z)방향으로 하강되면, 스테이지(30)에 올려놓여진 워크의 상면에 박리 롤러(340)의 하면이 맞닿는다. 한편, 상부 앵글(345)이 승강 기구(344)에 의해 상방, (+Z)방향의 위치에 위치 결정된 상태에서는, 박리 롤러(340)는 워크의 상면으로부터 상방으로 이격한 상태가 된다. 상부 앵글(345)에는, 박리 롤러(340)의 변형을 억제하기 위한 백업 롤러(346)가 회전 가능하게 장착됨과 더불어, 상부 앵글(345) 자체의 변형을 방지하기 위한 리브가 적당히 설치된다. 박리 롤러(340) 및 백업 롤러(346)는 구동원을 가지지 않고, 이들은 자유 회전한다.

롤러 유닛(34)은, 메인 프레임(11)에 장착된 모터(353)에 의해 Y방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 보다 구체적으로는, 하부 앵글(343)이, 모터(353)의 회전운동을 직선 운동으로 변환하는 변환 기구로서의 예를 들어 볼 나사 기구(354)에 연결되어 있으며, 모터(353)가 회전하면 하부 앵글(343)이 가이드 레일(351, 352)을 따라 Y방향으로 이동하고, 이에 의해 롤러 유닛(34)이 Y방향으로 이동한다. 롤러 유닛(34)의 이동에 수반하는 박리 롤러(340)의 가동 범위는, (-Y)방향으로는 수평 스테이지부(31)의 (-Y)측 단부의 근방까지, (+Y)방향으로는 수평 스테이지부(31)의 (+Y)측 단부보다도 외측, 즉 (+Y)측으로 더 나아간 위치까지가 된다.

다음에 제2 흡착 유닛(52)의 구성에 대해 설명한다. 또한, 제1 내지 제4 흡착 유닛(51~54)은 모두 동일 구조를 가지고 있으며, 여기에서는 대표적으로 제2 흡착 유닛(52)의 구조에 대해 설명한다. 제2 흡착 유닛(52)은, X방향으로 연장 설치되고 지지 프레임(50)에 고정되는 빔 부재(521)를 가지고 있으며, 상기 빔 부재(521)에는 연직 하향, 즉 (-Z)방향으로 연장되는 1쌍의 기둥 부재(522, 523)가 X방향으로 서로 위치를 상이하게 하여 장착되어 있다. 기둥 부재(522, 523)에는, 도면에는 나타나 있지 않은 가이드 레일을 개재하여 플레이트 부재(524)가 승강 가능하게 장착되어 있으며, 플레이트 부재(524)는 모터 및 변환 기구(예를 들어 볼 나사 기구)로 이루어지는 승강 기구(525)에 의해 승강 구동된다.

플레이트 부재(524)의 하부에는 X방향으로 연장되는 봉형상의 패드 지지 부재(526)가 장착되어 있으며, 상기 패드 지지 부재(526)의 하면에 복수의 흡착 패드(527)가 X방향으로 등 간격으로 배열되어 있다. 도 24에서는 제2 흡착 유닛(52)을 실제 위치보다도 상방으로 이동시킨 상태를 나타내고 있는데, 승강 기구(525)에 의해 플레이트 부재(524)가 하방으로 이동되었을 때, 흡착 패드(527)가 수평 스테이지부(31)의 상면(310)에 매우 근접한 위치까지 하강할 수 있고, 스테이지(30)에 워크가 올려놓여진 상태에서는 상기 워크의 상면에 맞닿는다. 각 흡착 패드(527)에는 부압 공급부(504)로부터의 부압이 부여되어, 워크의 상면이 흡착 유지된다.

도 25는 초기 박리 유닛의 구조 및 각부의 위치 관계를 도시하는 측면도이다. 우선, 도 23 및 도 25를 참조하면서 초기 박리 유닛(33)의 구조를 설명한다. 초기 박리 유닛(33)은, 테이퍼 스테이지부(32)의 상방에서 X방향으로 연장 설치된 봉형상의 가압 부재(331)를 가지고 있으며, 가압 부재(331)는 지지 아암(332)에 의해 지지되고 있다. 지지 아암(332)은 연직축 방향으로 연장 설치되는 가이드 레일(333)을 개재하여 기둥 부재(334)에 승강 가능하게 장착되어 있고, 승강 기구(335)의 작동에 의해, 지지 아암(332)이 기둥 부재(334)에 대해 상하 이동한다. 기둥 부재(334)는 메인 프레임(11)에 장착된 베이스부(336)에 의해 지지되는데, 위치 조정 기구(337)에 의해 베이스부(336) 상에서의 기둥 부재(334)의 Y방향 위치가 소정의 범위 내에서 조정 가능하게 되어 있다.

수평 스테이지부(31) 및 테이퍼 스테이지부(32)에 의해 구성되는 스테이지(30)에 대해, 박리 대상물인 워크(WK)(=기판(SB)+블랭킷(BL))이 올려놓여진다.

워크(WK)에 있어서, 기판(SB)보다도 블랭킷(BL)이 큰 평면 사이즈를 가지고 있으며, 기판(SB)은 블랭킷(BL)의 대략 중앙부에 밀착된다. 워크(WK)는 블랭킷(BL)을 아래, 기판(SB)을 위로 하여 스테이지(30)에 올려놓여진다. 이때, 도 25에 도시하는 바와 같이, 워크(WK) 중 기판(SB)의 (-Y)측 단부가 수평 스테이지부(31)와 테이퍼 스테이지부(32)의 경계의 능선부(E)의 대략 상방, 보다 상세하게는 능선부(E)보다도 약간 (-Y)측으로 어긋난 위치가 되도록, 워크(WK)가 스테이지(30)에 올려놓여진다. 따라서, (-Y)방향에 있어서 기판(SB)보다도 외측의 블랭킷(BL)은 테이퍼 스테이지부(32) 위로 밀려나오도록 배치되고, 블랭킷(BL)의 하면과 테이퍼 스테이지부(32)의 상면(320) 사이에는 간극이 발생한다. 블랭킷(BL)의 하면과 테이퍼 스테이지부(32)의 상면(320)이 이루는 각(θ)은 테이퍼 스테이지부(32)의 테이퍼 각과 같은 수 도(이 실시 형태에서는 2도) 정도이다.

수평 스테이지부(31)에는 흡착 홈(311, 312)이 설치되어 있으며, 블랭킷(BL)의 하면을 흡착 유지한다. 이 중 흡착 홈(311)은 기판(SB)의 하부에 해당하는 블랭킷(BL)의 하면을 흡착하는 한편, 흡착 홈(312)은 기판(SB)보다도 외측의 블랭킷(BL)의 하면을 흡착한다. 흡착 홈(311, 312)은 서로 독립하여 흡착을 온·오프할 수 있으며, 2종류의 흡착 홈(311, 312)을 함께 사용하여 강력하게 블랭킷(BL)을 흡착할 수 있다. 한편, 외측의 흡착 홈(312)만을 사용하여 흡착을 행하고, 패턴이 유효하게 형성된 블랭킷(BL)의 중앙부에 대해서는 흡착을 행하지 않도록 함으로써, 흡착에 의한 블랭킷(BL)의 변형에 기인하는 패턴의 손상을 방지할 수 있다. 이와 같이, 중앙부의 흡착 홈(311)과 주연부의 흡착 홈(312)으로의 부압 공급을 독립적으로 제어함으로써, 블랭킷(BL)의 흡착 유지의 양태를 목적에 따라 전환하는 것이 가능하게 되어 있다.

이와 같이 하여 스테이지(30)에 흡착 유지되는 워크(WK)의 상방에, 제1 내지 제4 흡착 유닛(51~54)과, 롤러 유닛(34)의 박리 롤러(340)가 배치된다. 상기 서술한 바와 같이 제2 흡착 유닛(52)의 하부에는 복수의 흡착 패드(527)가 X방향으로 나란히 설치되어 있다. 보다 상세하게는, 흡착 패드(527)는, 예를 들어 고무나 실리콘 수지 등의 유연성 및 탄성을 갖는 재료로 일체적으로 형성된, 하면이 워크(WK)의 상면(보다 구체적으로는 기판(SB)의 상면)에 맞닿아 이것을 흡착하는 흡착부(527a)와, 상하 방향(Z방향)으로의 신축성을 가지는 벨로즈부(527b)를 가지고 있다. 다른 흡착 유닛(51, 53 및 54)에 설치된 흡착 패드도 동일 구조이나, 이하에서는 이들 각 흡착 유닛(51, 53 및 54)에 설치된 흡착 패드에 각각 부호(517, 537 및 547)를 붙임으로써 서로를 구별하는 것으로 한다.

제1 흡착 유닛(51)은 수평 스테이지부(31)의 (-Y)측 단부의 상방에 설치되어 있으며, 하강했을 때에 기판(SB)의 (-Y)측 단부의 상면을 흡착한다. 한편, 제4 흡착 유닛(54)은, 스테이지(30)에 올려놓여지는 기판(SB)의 (+Y)측 단부의 상방에 설치되며, 하강했을 때에 기판(SB)의 (+Y)측 단부의 상면을 흡착한다. 제2 흡착 유닛(52) 및 제3 흡착 유닛(53)은 이들 사이에 적당히 분산 배치되고, 예를 들어 흡착 패드(517~547)가 Y방향에 있어서 대략 등 간격이 되도록 할 수 있다. 이들 흡착 유닛(51~54) 사이에서는, 상하 방향으로의 이동 및 흡착의 온·오프를 서로 독립하여 실행 가능하도록 되어 있다.

박리 롤러(340)는 상하 방향으로 이동하여 기판(SB)에 대해 접근·이격 이동함과 더불어, Y방향으로 이동함으로써 기판(SB)을 따라 수평 이동한다. 박리 롤러(340)가 하강한 상태에서는, 기판(SB)의 상면에 맞닿아 전동하면서 수평 이동한다. 가장 (-Y)측으로 이동했을 때의 박리 롤러(340)의 위치는, 제1 흡착 유닛(51)의 흡착 패드(517)의 (+Y)측 가장 가까운 위치이다. 이러한 근접 위치로의 배치를 가능하게 하기 위해, 제1 흡착 유닛(51)에 대해서는, 도 24에 도시하는 제2 흡착 유닛(52)과 동일 구조의 것이, 도 23에 도시하는 바와 같이 다른 제2 내지 제4 흡착 유닛(52~54)과는 반대 방향으로 하여 지지 프레임(50)에 장착되어 있다.

초기 박리 유닛(33)은, 테이퍼 스테이지부(32)의 상방으로 돌출된 블랭킷(BL)의 상방에 가압 부재(331)가 위치하도록, 그 Y방향 위치가 조정되어 있다. 그리고, 지지 아암(332)이 하강함으로써, 가압 부재(331)의 하단이 하강하여 그 하단이 블랭킷(BL)의 상면을 가압한다. 이때, 가압 부재(331)가 블랭킷(BL)을 손상시키지 않도록, 가압 부재(331)의 선단은 탄성 부재에 의해 형성되어 있다.

다음에, 상기와 같이 구성된 박리 장치(303)에 의한 박리 동작에 대해, 도 26a~26d 및 도 27a~27d를 참조하면서 설명한다. 이들의 도면은 박리 처리 중의 각 단계에 있어서의 각부의 위치 관계를 도시하는 도면이며, 처리의 진행 상황을 모식적으로 나타낸 것이다. 이 박리 처리는, CPU(501)가 미리 기억된 처리 프로그램을 실행하여 각부를 제어함으로써 이루어진다.

우선, 전사 장치(203)와 박리 장치(303)의 사이에 배치된 반송부(402)에 의해 워크(WK)가 스테이지(30) 위의 상기 위치에 로드되면, 장치가 초기화되어 장치 각부가 소정의 초기 상태로 설정된다. 초기 상태에서는, 워크(WK)가 흡착 홈(311, 312)의 한쪽 또는 양쪽에 의해 흡착 유지되고, 초기 박리 유닛(33)의 가압 부재(331), 롤러 유닛(34)의 박리 롤러(340), 제1 내지 제4 흡착 유닛(51~54)의 흡착 패드(517~547)는 모두 워크(WK)로부터 이격되어 있다. 또 박리 유닛(340)은 그 가동 범위에 있어서 가장 (-Y)측으로 치우친 위치에 있다.

이 상태로부터, 제1 흡착 유닛(51) 및 박리 롤러(340)를 하강시켜, 각각 워크(WK)의 상면에 맞닿게 한다. 이때, 도 26a에 도시하는 바와 같이, 제1 흡착 유닛(51)의 흡착 패드(517)가 기판(SB)의 (-Y)측 단부의 상면을 흡착하고, 박리 롤러(340)는 그 (+Y)측 인접 위치에서 기판(SB)의 상면에 맞닿는다. 도 26a에 있어서 가압 부재(331)의 근방에 붙인 하향 화살표는, 도면에 나타나는 상태에서, 계속되는 공정에서는 가압 부재(331)가 상기 화살표 방향으로 이동하는 것을 의미하고 있다. 이하의 도면에 있어서도 마찬가지이다.

다음에 초기 박리 유닛(33)을 작동시키고, 가압 부재(331)를 하강시켜 블랭킷(BL) 단부를 가압한다. 블랭킷(BL)의 단부는 테이퍼 스테이지부(32)의 상방으로 돌출하고 있으며, 그 하면과 테이퍼 스테이지(32)의 상면(320) 사이에는 간극이 있다. 따라서, 도 26b에 도시하는 바와 같이, 가압 부재(331)가 블랭킷(BL)의 단부를 하방으로 가압함으로써, 블랭킷(BL)의 단부가 테이퍼 스테이지부(32)의 테이퍼면을 따라 하방으로 굴곡한다. 그 결과, 제1 흡착 유닛(51)에 의해 흡착 유지되는 기판(SB)의 단부와 블랭킷(BL) 사이가 이격해 박리가 개시된다. 가압 부재(331)는 X방향으로 연장되는 봉형상으로 형성되고, 게다가 그 X방향 길이가 블랭킷(BL)보다도 길게 설정되어 있다. 따라서, 가압 부재(331)가 블랭킷(BL)에 맞닿는 접촉 영역은, 블랭킷(BL)의 (-X)측 단부에서부터 (+X)측 단부까지 직선형으로 연장된다. 이렇게 함으로써, 블랭킷(BL)을 기둥면 형상으로 굴곡시킬 수 있어, 기판(SB)과 블랭킷(BL)이 이미 박리된 박리 영역과, 아직 박리되어 있지 않은 미박리 영역의 경계선(이하, 「박리 경계선」이라 함)을 직선형으로 할 수 있다.

이 상태에서, 제1 흡착 유닛(51)의 상승을 개시함과 더불어, 이와 동기 시켜 박리 롤러(340)를 (+Y)방향을 향해 이동시킨다. 구체적으로는, 제1 흡착 유닛(51)의 상승에 의해 (+Y)방향으로 이동하는 박리 경계선이 롤러(340)의 바로 아래에 도달하는 타이밍에서, 박리 롤러(340)의 이동을 개시한다. 이에 의해 박리 롤러(340)가 가판(SB)에 맞닿는 영역은 (+Y)방향으로 이동해 간다. 이 후, 제1 흡착 유닛(51)은 상방, 즉 (+Z)방향으로, 또 박리 롤러(340)는 (+Y)방향으로, 각각 일정 속도로 이동한다.

도 26c에 도시하는 바와 같이, 기판(SB)의 단부를 유지하는 제1 흡착 유닛(51)이 상승함으로써 기판(SB)이 끌어올려져 블랭킷(BL)과의 박리가 (+Y)방향을 향해 진행되는데, 박리 롤러(340)를 맞닿게 하고 있기 때문에, 박리 롤러(340)에 의한 접촉 영역을 초과하여 박리가 진행되지는 않는다. 박리 롤러(340)를 기판(SB)에 맞닿게 하면서 일정 속도로 (+Y)방향으로 이동시킴으로써, 박리의 진행 속도를 일정하게 유지할 수 있다. 즉, 박리 경계선이 롤러 연장 설치 방향 즉 X방향을 따른 일직선이 되고, 게다가 일정 속도로 (+Y)방향으로 진행된다. 이에 의해, 박리의 진행 속도의 변동에 따른 응력 집중에 기인하는 패턴의 손상을 확실하게 방지할 수 있다.

계속해서, 이하의 처리를 위한 내부적인 제어 파라미터 N의 값을 2로 설정한다. 그리고, 박리 롤러(340)가 제N 흡착 위치를 통과하기를 기다린다. 제N 흡착 위치는, 기판(SB) 상면 중 제N 흡착 유닛(N=1~4)의 바로 아래 위치이며, 상기 제N 흡착 유닛에 의한 흡착을 받는 위치이다.

여기에서는 N=2이므로, 박리 롤러(340)가 제2 흡착 위치, 즉 제2 흡착 유닛(52)의 바로 아래 위치를 통과할 때까지 기다린다. 박리 롤러(340)가 제2 흡착 위치를 통과하면, 제2 흡착 유닛(52)의 하강을 개시해, 제2 흡착 유닛(52)의 흡착 패드(527)에 의해 기판(SB)을 포착한다.

도 26d에 도시하는 바와 같이, 박리 롤러(340)가 이미 통과한 것으로부터, 제2 흡착 유닛(52)의 바로 아래 위치에서는 기판(SB)은 블랭킷(BL)으로부터 박리되어 상방으로 부상한 상태로 되어 있다. 신축성을 가지는 탄성 부재로 구성된 흡착 패드(527)에 부압을 부여하면서 기판(SB)에 근접시켜 나감으로써, 흡착 패드(527)의 하면이 기판(SB)의 상면에 맞닿은 시점에서 기판(SB)을 포착하여 흡착할 수 있다. 흡착 패드(527)를 소정 위치까지 하강시킨 후, 끌어올려져 오는 기판(SB)을 대기하는 양태이어도 된다. 어느 경우에 있어서도, 흡착 패드에 유연성을 갖게 함으로써, 흡착의 실패를 방지할 수 있다.

기판(SB)의 흡착을 개시한 후, 제2 흡착 유닛(52)의 이동을 상승으로 바꾼다. 이에 의해, 도 27a에 도시하는 바와 같이, 박리의 진행 속도는 여전히 박리 롤러(340)에 의해 제어되면서, 박리를 위해 기판(SB)을 끌어올리는 주체는 제1 흡착 유닛(51)에서 제2 흡착 유닛(52)으로 인계된다. 또 박리 후의 기판(SB)은, 제1 흡착 유닛(51)에 의해서만 유지하는 것으로부터 제1 흡착 유닛(51)과 제2 흡착 유닛(52)에 의한 유지로 전환되어, 유지 개소가 증가하게 된다. 또한, 각 흡착 유닛(51~54)이 상승할 때, 박리 후의 기판(SB)의 자세가 대략 평면이 되도록, 각 흡착 유닛(51~54) 사이의 Z방향에 있어서의 상대 위치가 유지된다.

계속해서 제어 파라미터 N의 값에 1이 더해지고, 처리는 파라미터 N이 4가 될 때까지 단계 S107로 되돌아오는 루프 처리가 된다. 따라서 다음 루프에서는, 박리 롤러(340)가 제3 흡착 유닛(53) 바로 아래의 제3 흡착 위치를 통과한 시점에서 제3 흡착 유닛(53)의 하강이 개시되고, 도 27b에 도시하는 바와 같이, 박리를 위한 기판(SB)을 끌어올리는 주체가 제2 흡착 유닛(52)에서 제3 흡착 유닛(53)으로 이행된다. 또한 다음 루프에서는 박리 롤러(340)가 제4 흡착 위치를 통과한 후에 제4 흡착 유닛(54)이 하강하고, 기판(SB)을 끌어올린다. 단계 S110에서의 N의 상한값을 변경함으로써, 흡착 유닛의 수가 상기와 상이한 경우에도 대응 가능하다.

이렇게 하여 제4 흡착 유닛(54)에 의해 기판(SB)이 끌어올려짐으로써, 도 27c에 도시하는 바와 같이, 기판(SB)의 전체가 블랭킷(BL)으로부터 떼내어진다. 그래서, 제4 흡착 유닛(54)을 상승시킨 후, 박리 롤러(340)를 스테이지(30)보다도 (+Y)측까지 이동시키고 그 이동을 정지시킨다. 그리고, 도 27d에 도시하는 바와 같이, 각 흡착 유닛(51~54)을 모두 같은 높이까지 상승시킨 후에 정지시킨다. 또, 초기 박리 유닛(33)의 가압 부재(331)를 블랭킷(BL)으로부터 이격시켜, 블랭킷(BL)의 상면보다 상방 또한 블랭킷(BL)의 (-Y)측 단부보다도 (-Y)측의 퇴피 위치까지 이동시킨다(단계 S114). 그 후, 흡착 홈에 의한 블랭킷(BL)의 흡착 유지를 해제하고, 분리된 기판(SB) 및 블랭킷(BL)을 장치 밖으로 반출함으로써 박리 처리가 완료된다.

각 흡착 유닛(51~54)의 높이를 같게 하는 것은, 박리 후의 기판(SB)과 블랭킷(BL)을 평행하게 유지함으로써, 외부 로봇 또는 오퍼레이터에 의해 삽입되는 불출용 핸드의 액세스와, 그것으로의 블랭킷(BL) 및 기판(SB)의 수도를 용이하게 하기 위함이다.

＜＜세정 장치＞＞

인쇄 시스템(100)에서는, 패터닝 처리에 사용한 판(PPi)을 세정하고 재이용에 제공하기 위해 판용 세정 장치(720)가 설치됨과 더불어, 블랭킷(BL)으로부터의 잔류 잉크(RI)의 제거를 위해 이용한 전사 플레이트(TPi)를 세정하여 재이용에 제공하기 위해 전사 플레이트용 세정 장치(730)가 설치되어 있다. 이들은 일본국 특허 공개평 9-155306호 공보나 일본국 특허 공개 2006-41439호 공보 등에 기재된 세정 장치와 같은 구성을 가지고 있다. 그래서, 세정 장치(730)에 대해 설명하고, 세정 장치(720)에 대한 설명을 생략한다. 도 28은, 잉크 제거에 사용된 전사 플레이트를 세정하는 세정 장치의 개략을 도시하는 측면도이다. 이 세정 장치(730)에서는, 세정 하우징(731)의 내부 공간이 2매의 격벽에 의해 3개의 처리 공간으로 나누어져 있다. 각 격벽에는, 수평면(XY평면)에 대해 경사한 자세로 전사 플레이트(TP)를 통과할 수 있도록 개구가 형성되어 있다. 또, 각 개구를 통과하면서 처리 공간을 관통하도록 복수의 경사 롤러(732)가 소정의 간격을 두고 X방향에 배치되고, 롤러 반송에 의해 전사 플레이트(TP)가 3개의 처리 공간 내를 차례로 이동 가능하게 되어 있다.

이들 처리 공간에는, 프리 웨트부(733), 약액 처리부(734) 및 린스부(735)가 각각 설치되어 있다. 이들 중 전사 플레이트(TPi)의 반송 방향에 있어서 가장 상류측에 위치하는 프리 웨트부(733)는, 샤워 노즐(7331)로부터 물 또는 소정의 약액을 전사 플레이트(TPi)에 공급하여 전사 플레이트(TPi)를 프리웨트한다. 또, 프리 웨트부(733)의 (＋X)방향측에 인접하는 약액 처리부(734)는, 프리 웨트부(733)를 통과해 온 전사 플레이트(TPi)에 대해 이류체 노즐(7341)로부터 세정용의 약액을 공급하여 세정 처리를 실시한다. 또한, 약액 처리부(734)의 (＋X)방향측에 인접하는 린스부(735)는, 약액 처리부(734)를 통과해 온 전사 플레이트(TPi)에 대해 샤워 노즐(7351)로부터 물 등의 린스액을 공급하여, 세정용의 약액을 씻어낸다. 또한, 반송 중, 전사 플레이트(TPi)는 수평면에 대해 경사하고 있기 때문에, 전사 플레이트(TPi)에 공급된 액체는, 수시로, 중력 방향 하측으로 흘러 떨어진다. 이와 같이 하여, 전사 플레이트(TPi)에 대해 웨트 세정을 행하여 상기 전사 플레이트(TPi)에 전사된 잔류 잉크(RI)를 세정 제거하고, 이것을 전사 플레이트(TP0)로서 재이용한다. 또한, 전사 플레이트(TP0)를 강제적으로 건조시키기 위해, 린스부(735)의 (＋X)방향측에 건조부를 설치해도 된다. 이상과 같이, 상기 인쇄 시스템(100)에 있어서는, 전사 장치(204)와, 박리 장치(304)와, 전사 장치(204) 및 박리 장치(304) 사이에 배치되는 반송부(402)에서 본 발명의 「제거 장치」가 구성되어 있다. 즉, 전사 장치(204)에 의해 잔류 잉크(RI)가 부착되어 있는 블랭킷(BLi)의 표면(SF)에 대해 전사 플레이트(TP)가 밀착되어 밀착체(워크(WK))가 형성되는데, 그때에 잔류 잉크(RI)가 전사 플레이트(TP)에 전사된다. 그리고, 밀착체가 반송부(402)에 의해 박리 장치(304)에 반송되고, 상기 박리 장치(304)에 의해 잔류 잉크(RI)를 담지한 채로 전사 플레이트(TP)가 블랭킷(BL)으로부터 박리되어 블랭킷(BL)의 표면(SF)으로부터 잔류 잉크(RI)가 제거된다. 이로 인해, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 블랭킷(BL)으로부터의 잔류 잉크(RI)의 제거를 효율적으로 행할 수 있다.

또, 상기 인쇄 시스템(100)에서는, 도 7에 도시하는 바와 같이, 환상의 블랭킷 반송 경로(PTB)를 따라 블랭킷(BL)을 반송하면서 상기 블랭킷 반송 경로(PTB)상에 배치된 전사 장치(202~204), 박리 장치(302~304) 및 도포 장치(800)에 의해 도포 처리, 인쇄 처리 및 제거 처리를 반복함으로써, 원하는 패턴(판(PP)의 반전 패턴)을 가지는 패턴층(PL)이 형성된 기판(SB)을 양산할 수 있다. 또, 이들 장치를 처리 순서에 따라 블랭킷 반송 경로(PTB)를 따라 환상 배치하고 있다. 즉, 도포 장치(800), 전사 장치(202), 박리 장치(302), 전사 장치(203), 박리 장치(303), 전사 장치(204), 박리 장치(304)를 이 순서로 블랭킷 반송 경로(PTB)상에서 환상으로 배치하고 있다. 이러한 배치 레이아웃을 채용함으로써 인쇄 시스템(100)의 점유 면적, 이른바 인쇄 시스템(100)의 풋프린트를 억제할 수 있다.

이와 같이 인쇄 시스템(100)에서는, 블랭킷 반송 경로(PTB)상에 배치된 반송부(402)가 본 발명의 「제1 반송부」, 「제2 반송부」 및 「제3 반송부」로서 기능하고 있다. 또, 전사 장치(202) 및 박리 장치(302)에 의해 블랭킷(BL)상의 도포층(CL)을 패터닝하여 패턴층을 형성하는 패터닝 처리를 행하고, 또한 전사 장치(203) 및 박리 장치(303)에 의해 상기 패턴층을 기판(SB)에 전사하여 기판(SB)에 패턴층을 형성하고 있다. 즉, 전사 장치(202, 203) 및 박리 장치(302, 303)의 조합이 본 발명의 「인쇄 장치」로서 기능하고 있다. 단, 인쇄 장치의 구성은 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어 전사 장치(203) 및 박리 장치(303) 대신에 특허 문헌 1에 기재된 장치를 이용하여 패터닝 처리를 행해도 된다. 또, 전사 장치(203) 및 박리 장치(303) 대신에 특허 문헌 1에 기재된 장치를 이용하여 전사 처리를 행해도 된다.

또, 상기 인쇄 시스템(100)에서는, 환상의 판 반송 경로(PTP)를 따라 판(PP)을 반송하고 판(PP)을 재이용 가능하게 구성하고 있는데, 패터닝 처리마다 새로운 판(PP)을 전사 장치(202)에 반입하도록 구성해도 된다. 또, 환상의 전사 플레이트 반송 경로(PTT)를 따라 전사 플레이트(TP)를 반송하고 전사 플레이트(TP)를 재이용 가능하게 구성하고 있는데, 제거 처리마다 새로운 전사 플레이트(TP)를 전사 장치(204)에 반입하도록 구성해도 된다.

또, 상기 인쇄 시스템(100)에 있어서의 「제거 장치」로서, 도 1에 도시하는 제거 장치(1A), 도 4에 도시하는 제거 장치(1B) 혹은 도 6에 도시하는 제거 장치(1C)를 이용해도 된다.

＜그 외＞

또한, 본 발명은 상기한 실시 형태에 한정되는 것이 아니며, 그 취지를 일탈하지 않는 한에 있어서 상기 서술한 것 이외에 여러 가지의 변경을 행하는 것이 가능하다. 예를 들어, 상기 제1 실시 형태, 제2 실시 형태 및 제4 실시 형태에서는, 전사 플레이트(TP)는 진공 흡착 유지되지만, 유지의 양태는 이에 한정되지 않고 임의이다.

또, 상기 제3 실시 형태에서는, 전사 롤러(TR)를 소정 위치에서 회전시키면서 블랭킷(BL)을 X방향으로 이동시키고 있는데, 블랭킷(BL)을 소정 위치에서 유지하는 한편 전사 롤러(TR)를 회전시키면서 X방향으로 이동시키도록 구성해도 된다. 요점은, 전사 롤러(TR)에 대해 블랭킷(BL)을 상대적으로 본 발명의 「제1 방향」에 상당하는 X방향으로 이동, 즉 상대 이동시키도록 구성하면 된다. 또한, 제3 실시 형태에서는, Y방향이 본 발명의 「제2 방향」에 상당하고 있다.

또, 상기 실시 형태에서는, 블랭킷(BL)을 본 발명의 「판상체」의 일례로 하고, 또 블랭킷(BL)상의 잔류 잉크(RI)를 본 발명의 「부착물」이라고 하고 있는데, 본 발명의 적용 대상은 이에 한정되는 것이 아니고, 예를 들어 기판에 부착되어 있는 물질을 전사 플레이트(TP)나 전사 롤러(TR) 등의 전사체에 의해 제거하는 제거 장치에 대해서도 본 발명을 적용할 수 있다.

또, 상기 실시 형태에서는, 전사 플레이트(TP)나 전사 롤러(TR)를, 그 표면장력이 블랭킷(BL)의 표면(SF)의 표면장력보다 낮고, 블랭킷(BL)의 표면(SF)보다 높은 젖음성을 가지는 재료로 형성하고 있는데, 블랭킷(BL)과 밀착하는 밀착 부위만이 블랭킷(BL)의 표면(SF)보다 표면장력이 낮아지도록 구성해도 된다. 즉, 전사 플레이트(TP)나 전사 롤러(TR) 등의 전사체 중 적어도 블랭킷(BL)이나 기판 등의 판상체의 한쪽 주면에 밀착하는 밀착 부위의 표면장력이 판상체의 한쪽 주면의 표면장력보다 낮아지도록 구성하면 된다.

이 발명은, 블랭킷이나 기판 등의 판상체에 부착되는 부착물을 제거하는 제거 기술, 및 상기 제거 기술을 이용한 인쇄 시스템에 대해 적절하게 적용 가능하다.

1A~1C 제거 장치
100 인쇄 시스템
201, 202, 203, 204 전사 장치
301, 302, 303, 304 박리 장치
407 이동부
408 회전부
500 제어 장치
601 전사·박리 장치
710, 720, 730 세정 장치
800 도포 장치
2011 전사 플레이트 유지부(제1 전사체 유지부)
2012 블랭킷 유지부(제1 판상체 유지부)
2013 (제1) 승강 구동부
3011 전사 플레이트 유지부(제2 전사체 유지부)
3012 블랭킷 유지부(제2 판상체 유지부)
3013 (제2) 승강 구동부
6011 전사 플레이트 유지부(전사체 유지부)
6012 블랭킷 유지부(판상체 유지부)
6013 승강 구동부
401 반송 장치
402 반송부
AB 밀착체
BL, BLO, BLi 블랭킷
CL 도포층
CP 밀착 위치
PL 패턴층
PP, PPO, PPi 판
PTB 블랭킷 반송 경로
RI 잔류 잉크(부착물)
SB 기판
SF (블랭킷(BL)의) 표면
TP, TPO, TR, TPi 전사 플레이트
TR 전사 롤러(전사체)
WK 워크(밀착체)
Z 연직축 방향

Claims (14)

1. 판상체의 한쪽 주면에 부착되는 부착물을 제거하는 제거 방법으로서,
   상기 판상체의 한쪽 주면에 전사체를 밀착시켜 상기 부착물을 상기 전사체에 전사하는 전사 공정과,
   상기 판상체의 한쪽 주면에 밀착한 상기 전사체를 상기 판상체로부터 박리하여 상기 판상체의 한쪽 주면으로부터 상기 부착물을 제거하는 박리 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 제거 방법.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 전사체 중 적어도 상기 판상체의 한쪽 주면에 밀착하는 밀착 부위의 표면장력이 상기 판상체의 한쪽 주면의 표면장력보다 낮은, 제거 방법.
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 전사체는 상기 판상체의 한쪽 주면 전체와 밀착 가능한 한쪽 주면을 가지고,
   상기 전사 공정은 상기 판상체의 한쪽 주면 전체와 상기 전사체의 한쪽 주면을 밀착시키는 공정이며,
   상기 박리 공정은, 상기 전사 공정에 의해 상기 판상체의 한쪽 주면 전체와 상기 전사체의 한쪽 주면이 밀착되어 상기 부착물이 상기 전사체의 한쪽 주면에 전사된 후에, 상기 전사체를 상기 판상체로부터 박리하는 공정인, 제거 방법.
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 판상체로부터 박리된 상기 전사체를 세정하여 상기 부착물을 상기 전사체로부터 제거하는 세정 공정을 더 구비하고,
   상기 세정 공정을 받은 상기 전사체를 재이용하는, 제거 방법.
5. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 판상체의 한쪽 주면과 평행한 제1 방향에 있어서 상기 전사체에 대해 상기 판상체를 상대적으로 이동시키는 이동 공정을 구비하고,
   상기 전사체는, 원통 또는 원기둥 형상으로 마무리되며, 상기 판상체의 한쪽 주면과 평행하고 또한 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향에 있어서 상기 판상체의 한쪽면과 접촉 가능한 둘레면을 가지며,
   상기 전사 공정은, 상기 전사체의 둘레면을 상기 판상체의 한쪽면과 접촉시킨 상태로 상기 판상체의 상기 제1 방향으로의 상대 이동과 더불어 상기 전사체가 회전함으로써 상기 전사체의 둘레면과 상기 판상체의 한쪽면이 밀착하는 밀착 위치에서 상기 부착물의 상기 전사체로의 전사를 행하는 공정이며,
   상기 박리 공정은, 상기 판상체의 상기 제1 방향으로의 상대 이동과 상기 전사체의 회전에 의해 상기 전사체의 둘레면에 전사된 상기 부착물을 상기 판상체로부터 이격시켜 박리하는 공정인, 제거 방법.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 전사체의 둘레면 중 상기 부착물이 부착되는 둘레면 부위가 상기 판상체로부터 이격한 후에 또한 상기 판상체의 상기 제1 방향으로의 상대 이동과 상기 전사체의 회전에 의해 다시 상기 판상체의 한쪽면과 접촉하기 전에, 상기 둘레면 부위를 세정하여 상기 부착물을 상기 전사체로부터 제거하는 세정 공정을 더 구비하는, 제거 방법.
7. 판상체의 한쪽 주면에 부착되는 부착물을 제거하는 제거 장치로서,
   상기 판상체의 한쪽 주면에 전사체를 밀착시켜 상기 부착물을 상기 전사체에 전사한 후에, 상기 전사체를 상기 판상체로부터 박리하여 상기 판상체의 한쪽 주면으로부터 상기 부착물을 제거하는 것을 특징으로 하는 제거 장치.
8. 청구항 7에 있어서,
   상기 전사체를 유지하는 제1 전사체 유지부와, 상기 제1 전사체 유지부에 유지된 상기 전사체에 대해 상기 판상체의 한쪽 주면이 대면하도록 상기 판상체를 유지하는 제1 판상체 유지부와, 상기 제1 전사체 유지부 및 상기 제1 판상체 유지부 중 적어도 한쪽을 구동하여 서로 근접시킴으로써 상기 판상체의 한쪽 주면에 상기 전사체를 밀착시켜 밀착체를 형성하는 제1 구동부를 가지고, 상기 밀착체의 형성에 의해 상기 부착물을 상기 전사체에 전사시키는 전사 장치와,
   상기 밀착체를 구성하는 상기 전사체를 유지하는 제2 전사체 유지부와, 상기 밀착체를 구성하는 상기 판상체를 유지하는 제2 판상체 유지부와, 상기 제2 전사체 유지부 및 상기 제2 판상체 유지부 중 적어도 한쪽을 구동하여 서로 이격시켜 상기 판상체의 한쪽 주면에 밀착한 상기 전사체를 상기 판상체로부터 박리시키는 제2 구동부를 가지고, 상기 판상체로부터의 상기 전사체의 박리에 의해 상기 판상체의 한쪽 주면으로부터 상기 부착물을 제거하는 박리 장치와,
   상기 밀착체를 상기 전사 장치로부터 상기 박리 장치에 반송하는 반송 장치를 구비하는, 제거 장치.
9. 청구항 7에 있어서,
   상기 전사체를 유지하는 전사체 유지부와,
   상기 전사체 유지부에 유지된 상기 전사체에 대해 상기 판상체의 한쪽 주면이 대면하도록 상기 판상체를 유지하는 판상체 유지부와,
   상기 전사체 유지부 및 상기 판상체 유지부 중 적어도 한쪽을 구동하여 상기 판상체 유지부 및 상기 전사체 유지부를 서로 근접 및 이격시키는 구동부를 구비하고,
   상기 구동부가 상기 판상체 유지부 및 상기 전사체 유지부를 서로 근접시킴으로써 상기 판상체의 한쪽 주면이 상기 전사체에 밀착하여 상기 부착물이 상기 전사체에 전사되며,
   상기 구동부가 상기 판상체 유지부 및 상기 전사체 유지부를 서로 이격시킴으로써 상기 전사체가 상기 판상체로부터 박리하여 상기 판상체의 한쪽 주면으로부터 상기 부착물을 제거하는 것을 특징으로 하는 제거 장치.
10. 청구항 7에 있어서,
    상기 판상체의 한쪽 주면과 평행한 제1 방향에 있어서 상기 전사체에 대해 상기 판상체를 상대적으로 이동시키는 이동부와,
    상기 전사체를 회전시키는 회전부를 구비하고,
    상기 전사체는, 원통 또는 원기둥 형상으로 마무리되며, 상기 판상체의 한쪽 주면과 평행하고 또한 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향에 있어서 상기 판상체의 한쪽면과 접촉 가능한 둘레면을 가지고,
    상기 전사체의 둘레면을 상기 판상체의 한쪽면과 접촉시킨 상태로 상기 이동부가 상기 판상체를 상기 제1 방향으로 상대 이동시킴과 더불어 상기 회전부가 상기 전사체를 회전시킴으로써, 상기 판상체로부터 상기 전사체의 둘레면으로의 상기 부착물의 전사와, 상기 전사체의 둘레면에 전사된 상기 부착물의 상기 판상체로부터의 박리가 행해져 상기 판상체의 한쪽 주면으로부터 상기 부착물을 제거하는, 제거 장치.
11. 청구항 7 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전사체를 세정하여 상기 전사체에 전사된 상기 부착물을 제거하는 세정 장치를 더 구비하는, 제거 장치.
12. 블랭킷에 도포액을 도포하여 도포층을 형성하는 도포 장치와,
    상기 블랭킷에 형성된 상기 도포층을 패터닝하여 패턴층을 형성한 후에, 상기 패턴층을 기판에 전사하는 인쇄 장치와,
    상기 패턴층을 상기 기판에 전사하는데 사용된 상기 블랭킷에 전사체를 밀착시켜 상기 블랭킷에 부착되는 부착물을 상기 전사체에 전사한 후에, 상기 전사체를 상기 블랭킷으로부터 박리하여 상기 부착물을 제거하는 제거 장치와,
    상기 도포층이 형성된 상기 블랭킷을 상기 인쇄 장치에 반송하고, 상기 패턴층을 상기 기판에 전사하는데 사용된 상기 블랭킷을 상기 제거 장치에 반송하며, 상기 부착물이 제거된 상기 블랭킷을 상기 도포 장치에 반송하여 블랭킷의 재이용에 제공하는 반송 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 인쇄 시스템.
13. 청구항 12에 있어서,
    상기 도포 장치, 상기 인쇄 장치 및 상기 제거 장치는 환상으로 배치되고,
    상기 반송 장치는 상기 도포 장치, 상기 인쇄 장치 및 상기 제거 장치를 환상으로 연결하는 블랭킷 반송 경로를 따라 상기 블랭킷을 순환 반송하는, 인쇄 시스템.
14. 청구항 13에 있어서,
    상기 반송 장치는, 상기 도포층이 형성된 상기 블랭킷을 반송하는 제1 반송부와, 상기 패턴층을 상기 기판에 전사하는데 사용된 상기 블랭킷을 반송하는 제2 반송부와, 상기 부착물이 제거된 상기 블랭킷을 반송하는 제3 반송부를 가지고,
    상기 제1 반송부, 상기 제2 반송부 및 상기 제3 반송부는 상기 블랭킷 반송 경로에 배치되는, 인쇄 시스템.

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