KR20150091986A - Blade cover apparatus - Google Patents

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Abstract

The present invention is to provide a blade cover apparatus capable of preventing the generation of a problem due to the contact of scattering materials. The present invention relates to a blade cover apparatus (38) which is arranged in a spindle hosing (36) and covers a cutting blade (34) having a spindle, and includes a nozzle block (56) which is opposite to the scattering direction of cutting water and injects the cutting water onto the outer end surface of the cutting blade. The nozzle block comprises a cutting water injection hole (56b) which supplies the cutting water to the outer end surface of the cutting blade, a pair of sub cutting water injection holes (56d) which is arranged between the cutting water holes and injects the cutting water to both sides of the cutting blade.

Description

블레이드 커버 장치{BLADE COVER APPARATUS}[0001] BLADE COVER APPARATUS [0002]

본 발명은 절삭 장치에 장착된 원환형의 절삭 블레이드를 덮는 블레이드 커버 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a blade cover device for covering an annular cutting blade mounted on a cutting device.

표면에 IC 등의 디바이스가 형성된 반도체 웨이퍼나, 복수의 디바이스칩을 수지 밀봉한 패키지 기판 등의 피가공물은, 예컨대, 회전하는 원환형의 절삭 블레이드를 구비하는 절삭 장치(다이싱 장치)로 절삭되어, 복수의 칩으로 분할된다. 이 절삭 장치의 절삭 블레이드를 덮는 블레이드 커버 장치에는, 통상, 피가공물이나 절삭 블레이드를 냉각, 세정하기 위한 절삭수를 공급하는 노즐이 설치되어 있다.A workpiece such as a semiconductor wafer on which a device such as an IC is formed on the surface or a package substrate on which a plurality of device chips are resin-sealed is cut with a cutting device (dicing device) having a rotating annular cutting blade , And is divided into a plurality of chips. A blade cover device covering the cutting blade of this cutting device is usually provided with a nozzle for supplying cutting water for cooling and cleaning the workpiece and the cutting blade.

그런데, 전술한 패키지 기판을 분할할 때에는, 예컨대, 분할 후의 칩에 상당하는 영역만을 척 테이블로 흡인 유지하고, 불필요한 단재(端材) 등을 절삭과 동시에 제거하는 것이 효율적이다. In dividing the above-described package substrate, it is effective that, for example, only a region corresponding to a chip after division is sucked and held by a chuck table, and an unnecessary end member or the like is removed at the same time as cutting.

그래서, 절삭에 의해 발생하는 단재의 비산을 재촉하고, 비산한 단재와 절삭 블레이드와의 접촉을 방지하기 위해서, 절삭 블레이드의 전방(또는 후방)으로부터 절삭수를 공급하는 파이프형의 노즐을 구비한 블레이드 커버 장치가 제안되어 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).In order to prevent scattering of the edge material generated by cutting and prevent contact between the cutting edge and the cutting blade, a blade having a pipe type nozzle for supplying cutting water from the front (or rear) of the cutting blade A cover device has been proposed (for example, see Patent Document 1).

[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2009-285769호 공보[Patent Document 1] JP-A-2009-285769

그러나, 비산한 단재 등이 전술한 블레이드 커버 장치의 노즐에 접촉하면, 접촉의 충격으로, 노즐의 낙하, 변형, 위치 어긋남 등의 문제점이 발생해 버린다. 본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 점은, 비산한 단재 등의 접촉에 따른 문제점의 발생을 방지할 수 있는 블레이드 커버 장치를 제공하는 것이다.However, when the scattered end member or the like comes into contact with the nozzle of the above-described blade cover device, the impact of the contact causes problems such as dropping, deformation and positional deviation of the nozzle. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a blade cover device capable of preventing occurrence of problems caused by contact of scattered end materials or the like.

본 발명에 의하면, 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 스핀들 하우징의 선단에 배치되며, 상기 스핀들에 장착된 절삭 블레이드를 덮는 블레이드 커버 장치로서, 상기 절삭 블레이드에 공급된 절삭수가 상기 절삭 블레이드의 회전에 의해 비산하는 측과는 반대측에 배치되고, 상기 절삭 블레이드의 외주 단부면과 대향하여 절삭수를 분출하는 노즐 블록을 구비하며, 상기 노즐 블록은, 상기 절삭 블레이드의 외주 단부면에 상기 절삭수를 공급하는 절삭수 분출구와, 상기 절삭수 분출구를 사이에 두고 배치되고, 상기 절삭 블레이드의 양측면에 상기 절삭수를 분사하는 한 쌍의 보조 절삭수 분출구를 구비한 것을 특징으로 하는 블레이드 커버 장치가 제공된다. According to the present invention, there is provided a blade cover device disposed at the tip of a spindle housing rotatably supporting a spindle and covering a cutting blade mounted on the spindle, wherein a cutting blade supplied to the cutting blade is splashed by the rotation of the cutting blade And a nozzle block disposed on the side opposite to the cutting blade for spraying the cutting water in opposition to the outer peripheral end face of the cutting blade, And a pair of auxiliary cutoff nozzles disposed on both sides of the cutting blade for spraying the cutoff water, the cutoff nozzle being disposed between the cutoff nozzle and the cutoff nozzle.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 스핀들 하우징의 선단에 고정된 베이스부를 더 구비하고, 상기 노즐 블록은, 상기 베이스부에 이동 가능하게 부착되며, 상기 베이스부에 대해 상기 노즐 블록의 연직 방향으로의 이동을 허용하는 위치 조정 수단이 배치된 것이 바람직하다. Further, in the present invention, it is preferable that the nozzle block further include a base portion fixed to a front end of the spindle housing, wherein the nozzle block is movably attached to the base portion, and moves in the vertical direction with respect to the base portion And a position adjusting means for allowing the position adjusting means to be disposed.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 위치 조정 수단은, 상기 베이스부를 연직 방향으로 관통하는 관통 구멍과, 상기 관통 구멍에 삽입되며, 머리 부분이 관통 구멍의 상단에 결합되고, 하단이 상기 노즐 블록의 나사 구멍에 나사 결합되는 조정 나사와, 상기 베이스부에 대해 상기 노즐 블록이 상기 조정 나사를 회전축으로 하여 회전하는 것을 규제하는 회전 규제부를 가지며, 상기 조정 나사를 회동시킴으로써, 상기 베이스부에 대해 상기 노즐 블록이 연직 방향으로 이동하는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the position adjusting means includes a through hole penetrating the base portion in the vertical direction, and a through hole penetrating through the through hole, the head portion being coupled to the upper end of the through hole, And a rotation restricting portion for restricting rotation of the nozzle block with respect to the base portion with the adjustment screw as a rotation axis, wherein the adjustment screw is rotated with respect to the base portion, It is preferable to move in the vertical direction.

본 발명의 블레이드 커버 장치는, 절삭 블레이드의 외주 단부면에 절삭수를 공급하는 절삭수 분출구와, 절삭 블레이드의 양측면에 절삭수를 분사하는 보조 절삭수 분출구가 일체로 형성된 노즐 블록을 구비하기 때문에, 커버 부재와는 별도로 파이프형의 노즐을 설치하는 경우와 같이, 비산한 단재 등과의 접촉에 의해, 노즐의 낙하, 변형, 위치 어긋남 등의 문제점이 발생하는 일은 없다. 이와 같이, 본 발명에 의하면, 비산한 단재 등의 접촉에 따른 문제점의 발생을 방지할 수 있는 블레이드 커버 장치를 제공할 수 있다.The blade cover device of the present invention is provided with the nozzle block integrally formed with the cutting water jetting port for supplying the cutting water to the outer peripheral end surface of the cutting blade and the auxiliary cutting water jetting port for spraying the cutting water on both sides of the cutting blade, There is no problem such as dropping, deformation, positional deviation, etc. of the nozzle due to contact with the scattered edge material or the like as in the case of providing a pipe type nozzle separately from the cover member. As described above, according to the present invention, it is possible to provide a blade cover device capable of preventing the occurrence of problems due to contact of scattered end members or the like.

도 1은 본 실시형태에 따른 블레이드 커버 장치를 구비한 절삭 장치의 구성예를 모식적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 블레이드 커버 장치의 주변 구조를 모식적으로 도시한 사시도이다.
도 3의 (A)는 블레이드 커버 장치의 제2 베이스부 및 노즐 블록의 구조를 모식적으로 도시한 측면도이고, 도 3의 (B)는 제2 베이스부 및 노즐 블록의 구조를 모식적으로 도시한 배면도이다.
도 4는 노즐 블록의 구조를 모식적으로 도시한 배면도이다.1 is a perspective view schematically showing a configuration example of a cutting apparatus provided with a blade cover device according to the present embodiment.
2 is a perspective view schematically showing a peripheral structure of the blade cover device.
Fig. 3 (A) is a side view schematically showing the structure of the second base portion and the nozzle block of the blade cover device, Fig. 3 (B) is a view schematically showing the structure of the second base portion and the nozzle block It is a back view.
4 is a rear view schematically showing the structure of the nozzle block.

첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다. 도 1은 본 실시형태에 따른 블레이드 커버 장치를 구비한 절삭 장치의 구성예를 모식적으로 도시한 사시도이다. 도 1에 도시한 바와 같이, 절삭 장치(2)는, 각 구성을 지지하는 기대(基臺; 4)를 구비한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. 1 is a perspective view schematically showing a configuration example of a cutting apparatus provided with a blade cover device according to the present embodiment. As shown in Fig. 1, the cutting apparatus 2 has a base 4 for supporting each component.

기대(4)의 상면에는, 전후 방향(X축 방향, 가공 이송 방향)으로 긴 직사각 형상의 개구(4a)가 형성되어 있다. 이 개구(4a) 내에는, X축 이동 테이블(6), X축 이동 테이블(6)을 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동 기구(도시하지 않음), 및 X축 이동 기구를 덮는 방수 커버(8)가 설치되어 있다.On the upper surface of the base 4, an opening 4a having a rectangular shape elongated in the front-back direction (X-axis direction, processing feed direction) is formed. An X-axis moving mechanism (not shown) for moving the X-axis moving table 6 and the X-axis moving table 6 in the X-axis direction and a water-proof cover (not shown) for covering the X- 8 are provided.

X축 이동 기구는, X축 방향에 평행한 한 쌍의 X축 가이드 레일(도시하지 않음)을 구비하고 있고, X축 가이드 레일에는, X축 이동 테이블(6)이 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. X축 이동 테이블(6)의 하면측에는, 너트부(도시하지 않음)가 고정되어 있고, 이 너트부에는, X축 가이드 레일과 평행한 X축 볼 나사(도시하지 않음)가 나사 결합되어 있다.The X-axis moving mechanism has a pair of X-axis guide rails (not shown) parallel to the X-axis direction, and the X-axis moving table 6 is slidably provided on the X-axis guide rails. A nut portion (not shown) is fixed to the lower surface side of the X-axis moving table 6, and an X-axis ball screw (not shown) parallel to the X-axis guide rail is screwed to the nut portion.

X축 볼 나사의 일단부에는, X축 펄스 모터(도시하지 않음)가 연결되어 있다. X축 펄스 모터로 X축 볼 나사를 회전시킴으로써, X축 이동 테이블(6)은 X축 가이드 레일을 따라 X축 방향으로 이동한다.An X-axis pulse motor (not shown) is connected to one end of the X-axis ball screw. By rotating the X-axis ball screw with the X-axis pulse motor, the X-axis moving table 6 moves along the X-axis guide rail in the X-axis direction.

X축 이동 테이블(6) 상에는, 피가공물(11)을 흡인 유지하는 척 테이블(10)이 설치되어 있다. 피가공물(11)은, 예컨대, 복수의 디바이스칩을 수지 밀봉한 직사각 형상의 패키지 기판이며, 하면측이 척 테이블(10)에 흡인 유지된다.On the X-axis moving table 6, a chuck table 10 for sucking and holding the work 11 is provided. The work 11 is, for example, a rectangular package substrate in which a plurality of device chips are resin-sealed, and the lower surface side is sucked and held by the chuck table 10.

척 테이블(10)은, 모터 등의 회전 기구(도시하지 않음)와 연결되어 있고, 연직 방향(Z축 방향)으로 연장되는 회전축 주위로 회전한다. 또한, 척 테이블(10)은, 전술한 X축 이동 기구에 의해 X축 방향으로 이동한다.The chuck table 10 is connected to a rotation mechanism (not shown) such as a motor and rotates about a rotation axis extending in the vertical direction (Z-axis direction). Further, the chuck table 10 is moved in the X-axis direction by the above-described X-axis moving mechanism.

척 테이블(10)의 직사각 형상의 상면은, 피가공물(11)을 흡인 유지하는 유지면(10a)으로 되어 있다. 이 유지면(10a)은, 척 테이블(10)의 내부에 형성된 유로(도시하지 않음)를 통해 흡인원(도시하지 않음)과 접속되어 있다.The upper surface of the chuck table 10 in a rectangular shape is a holding surface 10a for holding the work 11 by suction. The holding surface 10a is connected to a suction source (not shown) through a flow path (not shown) formed inside the chuck table 10.

기대(4)의 상면에는, 절삭 유닛(12)을 지지하는 문형(門型)의 지지 구조(14)가, 개구(4a)에 걸쳐 있도록 배치되어 있다. 지지 구조(14)의 전면(前面) 상부에는, 절삭 유닛(12)을 Y축 방향(인덱싱 이송 방향) 및 Z축 방향으로 이동시키는 절삭 유닛 이동 기구(16)가 설치되어 있다.A gate supporting structure 14 for supporting the cutting unit 12 is disposed on the upper surface of the base 4 so as to extend over the opening 4a. A cutting unit moving mechanism 16 for moving the cutting unit 12 in the Y axis direction (indexing feed direction) and the Z axis direction is provided on the front surface of the support structure 14. [

절삭 유닛 이동 기구(16)는, 지지 구조(14)의 전면에 배치되며 Y축 방향에 평행한 한 쌍의 Y축 가이드 레일(18)을 구비한다. Y축 가이드 레일(18)에는, 절삭 유닛 이동 기구(16)를 구성하는 Y축 이동 테이블(20)이 슬라이드 가능하게 설치되어 있다.The cutting unit moving mechanism 16 has a pair of Y-axis guide rails 18 disposed on the front surface of the support structure 14 and parallel to the Y-axis direction. A Y-axis moving table 20 constituting a cutting unit moving mechanism 16 is slidably mounted on the Y-axis guide rail 18. [

Y축 이동 테이블(20)의 이면측(후면측)에는, 너트부(도시하지 않음)가 고정되어 있고, 이 너트부에는, Y축 가이드 레일(18)과 평행한 Y축 볼 나사(22)가 나사 결합되어 있다. Y축 볼 나사(22)의 일단부에는, Y축 펄스 모터(도시하지 않음)가 연결되어 있다. Y축 펄스 모터로 Y축 볼 나사(22)를 회전시키면, Y축 이동 테이블(20)은, Y축 가이드 레일(18)을 따라 Y축 방향으로 이동한다. A nut portion (not shown) is fixed to the back side (rear side) of the Y-axis moving table 20. A Y-axis ball screw 22 parallel to the Y-axis guide rail 18 is fixed to the nut portion. Respectively. A Y-axis pulse motor (not shown) is connected to one end of the Y-axis ball screw 22. When the Y-axis ball screw 22 is rotated by the Y-axis pulse motor, the Y-axis moving table 20 moves along the Y-axis guide rail 18 in the Y-axis direction.

Y축 이동 테이블(20)의 표면(전면)에는, Z축 방향에 평행한 한 쌍의 Z축 가이드 레일(24)이 설치되어 있다. Z축 가이드 레일(24)에는, Z축 이동 테이블(26)이 슬라이드 가능하게 설치되어 있다.On the surface (front surface) of the Y-axis moving table 20, a pair of Z-axis guide rails 24 parallel to the Z-axis direction are provided. On the Z-axis guide rail 24, a Z-axis moving table 26 is slidably provided.

Z축 이동 테이블(26)의 이면측(후면측)에는, 너트부(도시하지 않음)가 고정되어 있고, 이 너트부에는, Z축 가이드 레일(24)과 평행한 Z축 볼 나사(28)가 나사 결합되어 있다. Z축 볼 나사(28)의 일단부에는, Z축 펄스 모터(30)가 연결되어 있다. Z축 펄스 모터(30)로 Z축 볼 나사(28)를 회전시키면, Z축 이동 테이블(26)은, Z축 가이드 레일(24)을 따라 Z축 방향으로 이동한다.A nut portion (not shown) is fixed to the back side (rear side) of the Z-axis moving table 26. A Z-axis ball screw 28, which is parallel to the Z-axis guide rail 24, Respectively. A Z-axis pulse motor 30 is connected to one end of the Z-axis ball screw 28. When the Z-axis ball screw 28 is rotated by the Z-axis pulse motor 30, the Z-axis moving table 26 moves along the Z-axis guide rail 24 in the Z-axis direction.

Z축 이동 테이블(26)의 하부에는, 피가공물(11)을 절삭하는 절삭 유닛(12)이 설치되어 있다. 또한, 절삭 유닛(12)과 인접하는 위치에는, 피가공물(11)의 가공면을 촬상하는 카메라(32)가 설치되어 있다. 전술한 바와 같이 Y축 이동 테이블(20) 및 Z축 이동 테이블(26)을 이동시킴으로써, 절삭 유닛(12) 및 카메라(32)는, Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동한다.A cutting unit 12 for cutting the workpiece 11 is provided below the Z-axis moving table 26. A camera 32 for picking up a processed surface of the work 11 is provided at a position adjacent to the cutting unit 12. [ The cutting unit 12 and the camera 32 move in the Y-axis direction and the Z-axis direction by moving the Y-axis moving table 20 and the Z-axis moving table 26 as described above.

절삭 유닛(12)은, Y축 주위로 회전하는 스핀들(도시하지 않음)의 일단측에 장착된 원환형의 절삭 블레이드(34)를 구비한다. 스핀들의 타단측에는 모터(도시하지 않음)가 연결되어 있고, 스핀들에 장착된 절삭 블레이드(34)를 회전시킨다. 이 스핀들 및 모터는, Z축 이동 테이블(26)의 하부에 고정된 스핀들 하우징(36)에 수용되어 있다. The cutting unit 12 has an annular cutting blade 34 mounted on one end side of a spindle (not shown) that rotates about the Y axis. A motor (not shown) is connected to the other end of the spindle to rotate the cutting blade 34 mounted on the spindle. The spindle and the motor are housed in a spindle housing 36 fixed to the lower portion of the Z-axis moving table 26.

스핀들 하우징(36)의 일단(선단)측에는, 절삭 블레이드(34)를 덮는 블레이드 커버 장치(38)가 설치되어 있다. 도 2는 블레이드 커버 장치(38)의 주변 구조를 모식적으로 도시한 사시도이다. A blade cover unit 38 for covering the cutting blade 34 is provided at one end (front end) side of the spindle housing 36. 2 is a perspective view schematically showing a peripheral structure of the blade cover device 38. As shown in Fig.

도 2에 도시한 바와 같이, 절삭 블레이드(34)는, 스핀들의 선단 부분에 부착된 플랜지(도시하지 않음)와 고정 너트(40) 사이에 끼워 넣어지도록 장착되어 있고, 하단부를 전방으로부터 후방을 향해 이동시키도록 회전한다. 즉, 절삭 블레이드(34)의 회전 방향은, 도 2에 도시한 회전 방향(R)이다. 단, 피가공물(11)의 절삭 방향은, 전후 방향 중 어느 쪽이어도 된다.2, the cutting blade 34 is mounted so as to be sandwiched between a flange (not shown) attached to the tip end portion of the spindle and the fixing nut 40, and has a lower end portion To rotate. That is, the rotation direction of the cutting blade 34 is the rotation direction R shown in Fig. However, the cutting direction of the work 11 may be either the forward or backward direction.

이 절삭 블레이드(34)는, 이른바 허브 블레이드이며, 원반형의 지지 기대(42)의 외주 부분에, 피가공물(11)을 절삭하는 링형의 절삭날(44)이 고정되어 있다. 한편, 절삭 블레이드(34)로서는, 절삭날만으로 구성된 와셔 블레이드를 이용해도 된다.The cutting blade 34 is a so-called hub blade, and a ring-like cutting edge 44 for cutting the work 11 is fixed to the outer peripheral portion of the disk-shaped support base 42. On the other hand, as the cutting blade 34, a washer blade including only a cutting edge may be used.

절삭 블레이드(34)를 덮는 블레이드 커버 장치(38)는, 스핀들 하우징(36)의 일단측에 고정된 베이스부(46)를 포함한다. 베이스부(46)는, 절삭 블레이드(34)의 후방측에 위치시켜진 제1 베이스부(48)와, 절삭 블레이드(34)의 전방측에 위치시켜진 제2 베이스부(50)로 구성되어 있으며, 절삭 블레이드(34)의 상부를 덮고 있다.The blade cover device 38 covering the cutting blade 34 includes a base portion 46 fixed to one end side of the spindle housing 36. The base portion 46 is composed of a first base portion 48 positioned on the rear side of the cutting blade 34 and a second base portion 50 positioned on the front side of the cutting blade 34 And covers the upper portion of the cutting blade 34. As shown in Fig.

제1 베이스부(48)의 후방 하부에는, 절삭 블레이드(34)의 후방측을 덮으며, 절삭 블레이드(34)의 하부를 사이에 둔 대략 L자형의 한 쌍의 노즐(52)이 부착되어 있다. 각 노즐(52)에는, 상단(기단)에 설치된 연결부(54)를 통해 절삭수(순수 등)가 공급된다.A pair of substantially L-shaped nozzles 52, which cover the rear side of the cutting blade 34 and sandwich the lower portion of the cutting blade 34, are attached to the rear lower portion of the first base portion 48 . Cutting water (pure water or the like) is supplied to each nozzle 52 through a connecting portion 54 provided at the upper end (base end).

노즐(52)의 선단측에는, 절삭 블레이드(34)의 측면과 대향하는 복수의 슬릿(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 복수의 슬릿을 통해 분출되는 절삭수에 의해, 절삭 블레이드(34)는 냉각, 세정된다.A plurality of slits (not shown) facing the side surface of the cutting blade 34 are formed on the tip side of the nozzle 52. By the cutting water ejected through the plurality of slits, the cutting blade 34 is cooled and cleaned.

한편, 제2 베이스부(50)의 전방 하부에는, 절삭 블레이드(34)의 전방측을 덮으며, 후방의 절삭 블레이드(34)를 향해 절삭수를 분출하는 노즐 블록(56)이 부착되어 있다.On the other hand, a nozzle block 56 for covering the front side of the cutting blade 34 and spraying the cutting water toward the rear cutting blade 34 is attached to the front lower portion of the second base portion 50.

도 3의 (A)는 블레이드 커버 장치(38)의 제2 베이스부(50) 및 노즐 블록(56)의 구조를 모식적으로 도시한 측면도이고, 도 3의 (B)는 제2 베이스부(50) 및 노즐 블록(56)의 구조를 모식적으로 도시한 배면도이다. 또한, 도 4는 노즐 블록(56)의 구조를 모식적으로 도시한 배면도이다. 3 (A) is a side view schematically showing the structure of the second base portion 50 and the nozzle block 56 of the blade cover device 38, and FIG. 3 (B) 50 and the nozzle block 56. As shown in Fig. 4 is a rear view schematically showing the structure of the nozzle block 56. As shown in Fig.

도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 노즐 블록(56)에는, 제2 베이스부(50)의 전방 하부에 위치하는 가이드부(회전 규제부)(50a)에 맞춰 후방 상부를 노치한 노치부(회전 규제부)(56a)가 형성되어 있다. 노즐 블록(56)은, 이 노치부(56a)를 가이드부(50a)에 결합시킨 상태로, 제2 베이스부(50)에 부착되어 있다.2 to 4, the nozzle block 56 is provided with a notch portion (not shown) which is notched at the rear upper portion in alignment with the guide portion (rotation restricting portion) 50a located at the front lower portion of the second base portion 50, (Rotation restricting portion) 56a is formed. The nozzle block 56 is attached to the second base portion 50 in a state where the notch portion 56a is engaged with the guide portion 50a.

노즐 블록(56)의 후면[절삭 블레이드(34)측의 면] 하부에는, 절삭 블레이드(34)를 향해 개구된 원형의 절삭수 분출구(56b)가 형성되어 있다. 이 절삭수 분출구(56b)는, 노즐 블록(56)의 내부에 형성된 공급로(56c)를 통해 노즐 블록(56)의 상면에 배치된 연결부(58)와 접속되어 있고, 절삭수를 절삭 블레이드(34)의 외주 단부면을 향해 분사한다.A circular cutting water jetting port 56b is formed in a lower portion of the rear surface (the surface on the cutting blade 34 side) of the nozzle block 56 toward the cutting blade 34. [ The cutting water jetting port 56b is connected to a connecting portion 58 disposed on the upper surface of the nozzle block 56 through a supply path 56c formed in the nozzle block 56, 34 toward the outer peripheral end face.

또한, 노즐 블록(56)의 후면 하부에는, Y축 방향에 있어서 절삭수 분출구(56b)를 사이에 둔 한 쌍의 직사각 형상의 보조 절삭수 분출구(56d)가 형성되어 있다. 이 보조 절삭수 분출구(56d)는, 노즐 블록(56)의 내부에 형성된 공급로(56e)를 통해 노즐 블록(56)의 상면에 배치된 연결부(60)와 접속되어 있고, 절삭수를 절삭 블레이드(34)의 양측면을 향해 분사한다.A pair of rectangular auxiliary cutting water spouting ports 56d are formed in the lower portion of the rear surface of the nozzle block 56 with the cutting water spouting port 56b interposed therebetween in the Y axis direction. The auxiliary cutting water jetting port 56d is connected to a connecting portion 60 disposed on the upper surface of the nozzle block 56 through a supply path 56e formed in the nozzle block 56, (34).

전술한 바와 같이, 절삭 블레이드(34)는 회전 방향(R)으로 회전하기 때문에, 노즐 블록(56)으로부터 절삭 블레이드(34)에 공급된 절삭수도 절삭 블레이드(34)와 함께 회전 방향(R)으로 회전하고, 주로, 후방의 노즐(52) 및 제1 베이스부(48)를 향해 비산한다. 즉, 노즐 블록(56)은, 절삭 블레이드(34)의 회전에 의해 절삭수가 주로 비산하는 측(후방)과는 반대측(전방)에 배치되어 있다.The cutting blade 34 rotates in the rotation direction R so that the cutting blade 34 rotates together with the cutting water cutting blade 34 supplied to the cutting blade 34 from the nozzle block 56 in the rotation direction R And is scattered mainly toward the rear nozzle 52 and the first base portion 48. [ In other words, the nozzle block 56 is disposed on the opposite side (front side) to the side (rear side) on which the cutting water is mainly scattered by the rotation of the cutting blade 34.

이와 같이 구성된 노즐 블록(56)은, 노즐 블록(56)을 Z축 방향으로 이동시키는 위치 조정 기구(위치 조정 수단)(62)를 통해 제2 베이스부(50)에 부착되어 있다. 위치 조정 기구(62)는, 제2 베이스부(50)를 연직 방향으로 관통하는 관통 구멍(50b)과, 노즐 블록(56)의 노치부(56a)에 있어서 관통 구멍(50b)과 대응하는 위치에 형성된 나사 구멍(56f)을 포함하고 있다. 나사 구멍(56f)의 내주면에는, 정해진 나사홈이 형성되어 있다.The thus constructed nozzle block 56 is attached to the second base portion 50 through a position adjusting mechanism (position adjusting means) 62 for moving the nozzle block 56 in the Z-axis direction. The position adjusting mechanism 62 includes a through hole 50b that penetrates the second base portion 50 in the vertical direction and a position corresponding to the through hole 50b in the notch portion 56a of the nozzle block 56 And a screw hole 56f formed in the screw hole 56f. On the inner circumferential surface of the screw hole 56f, predetermined screw grooves are formed.

관통 구멍(50b)에는, 나사 구멍(56f)의 나사홈에 대응하는 나사산을 구비한 조정 나사(64)가 삽입된다. 이 조정 나사(64)의 전체 길이는, 관통 구멍(50b)의 전체 길이보다 길게 되어 있다. 그 때문에, 관통 구멍(50b)에 조정 나사(64)를 삽입하여, 관통 구멍(50b)의 상단에 형성된 직경 확장부(50c)에 조정 나사(64)의 머리 부분(64a)을 결합시키면, 조정 나사(64)의 하단부는 관통 구멍(50b)의 하단으로부터 하향으로 돌출한다.An adjusting screw 64 having a thread corresponding to the screw groove of the screw hole 56f is inserted into the through hole 50b. The entire length of the adjusting screw 64 is longer than the entire length of the through hole 50b. Therefore, when the adjusting screw 64 is inserted into the through hole 50b and the head portion 64a of the adjusting screw 64 is engaged with the diameter enlarging portion 50c formed at the upper end of the through hole 50b, The lower end of the screw 64 protrudes downward from the lower end of the through hole 50b.

관통 구멍(50b)으로부터 하향으로 돌출한 조정 나사(64)의 하단부는, 노즐 블록(56)의 나사 구멍(56f)에 나사 결합된다. 조정 나사(64)의 머리 부분(64a)에는 육각 구멍이 형성되어 있기 때문에, 육각 렌치 등의 공구로 임의로 회전시켜 조정 나사(64)의 조임량을 조정할 수 있다. 한편, 나사 구멍(56f)은, 조정 나사(64)의 조임량을 최대로 한 상태에서 조정 나사(64)의 하단과 나사 구멍(56f)의 바닥이 간섭하지 않을 정도로 깊게 형성된다.The lower end of the adjusting screw 64 projecting downward from the through hole 50b is screwed into the screw hole 56f of the nozzle block 56. [ Since the hexagonal hole is formed in the head portion 64a of the adjusting screw 64, the amount of tightening of the adjusting screw 64 can be adjusted by rotating it with a tool such as a hexagonal wrench. On the other hand, the screw hole 56f is formed so deep that the lower end of the adjusting screw 64 and the bottom of the screw hole 56f do not interfere with each other, with the tightening amount of the adjusting screw 64 being maximized.

제2 베이스부(50)의 상면에 있어서, 관통 구멍(50b)과 대응하는 위치에는, 조정 나사(64)의 상방으로의 빠짐을 방지하는 빠짐 방지 플레이트(66)가 고정되어 있다. 이 빠짐 방지 플레이트(66)는, 제2 베이스부(50)에 대해 2개의 고정 나사(68, 70)로 고정되어 있다.A stopping prevention plate 66 is fixed to the upper surface of the second base portion 50 at a position corresponding to the through hole 50b to prevent the adjustment screw 64 from dropping upward. The stopper plate 66 is fixed to the second base portion 50 by two fixing screws 68, 70.

빠짐 방지 플레이트(66)에 있어서 관통 구멍(50b)과 대응하는 위치에는, 조정 나사(64)의 머리 부분(64a)보다 작고, 머리 부분(64a)의 육각 구멍보다 큰 개구(66a)가 형성되어 있다. 그 때문에, 개구(66a)로부터 육각 렌치 등의 공구를 삽입함으로써, 상방으로의 빠짐을 방지하면서 조정 나사(64)를 회전시킬 수 있다.An opening 66a which is smaller than the head portion 64a of the adjusting screw 64 and is larger than the hexagonal hole of the head portion 64a is formed at the position corresponding to the through hole 50b of the stopper plate 66 have. Therefore, by inserting a tool such as a hexagonal wrench from the opening 66a, the adjustment screw 64 can be rotated while preventing the upward withdrawal.

이와 같이 구성된 블레이드 커버 장치(38)에서는, 위치 조정 기구(62)를 구성하는 조정 나사(64)를 회전시켜, 나사 구멍(56f)에 대한 조정 나사(64)의 조임량을 변경함으로써, 노즐 블록(56)의 Z축 방향에서의 위치를 조정할 수 있다. In the blade cover device 38 thus constructed, by rotating the adjusting screw 64 constituting the position adjusting mechanism 62 and changing the tightening amount of the adjusting screw 64 with respect to the screw hole 56f, It is possible to adjust the position in the Z-axis direction of the arm 56.

예컨대, 나사 구멍(56f)에 대한 조정 나사(64)의 조임량을 많게 하면, 노즐 블록(56)은 제2 베이스부(50)에 대해 상승한다[제2 베이스부(50)에 근접한다]. 반대로, 나사 구멍(56f)에 대한 조정 나사(64)의 조임량을 적게 하면, 노즐 블록(56)은 제2 베이스부(50)에 대해 하강한다[제2 베이스부(50)로부터 멀어진다].For example, when the tightening amount of the adjusting screw 64 with respect to the screw hole 56f is increased, the nozzle block 56 rises with respect to the second base portion 50 (close to the second base portion 50) . Conversely, when the tightening amount of the adjusting screw 64 with respect to the screw hole 56f is reduced, the nozzle block 56 descends with respect to the second base portion 50 (away from the second base portion 50) .

여기서, 노즐 블록(56)은, 노치부(56a)를 가이드부(50a)에 결합시킨 상태로, 제2 베이스부(50)에 부착되어 있기 때문에, 조정 나사(64)를 회전시켜도, 노즐 블록(56)이 제2 베이스부(50)에 대해 회전해 버리는 일은 없다.Since the nozzle block 56 is attached to the second base portion 50 in a state where the notch portion 56a is coupled to the guide portion 50a, even if the adjustment screw 64 is rotated, (56) does not rotate about the second base portion (50).

이와 같이, 제2 베이스부(50)의 가이드부(50a)와 노즐 블록(56)의 노치부(56a)는, 노즐 블록(56)이 조정 나사(64)를 회전축으로 하여 제2 베이스부(50)에 대해 회전하는 것을 규제하는 회전 규제부로서 기능하고 있다.Thus, the guide portion 50a of the second base portion 50 and the notch portion 56a of the nozzle block 56 are positioned such that the nozzle block 56 is rotated by the second base portion 50 as a rotation restricting portion for restricting the rotation relative to the rotation restricting portion.

이상과 같이, 본 실시형태에 따른 블레이드 커버 장치(38)는, 절삭 블레이드(34)의 외주 단부면에 절삭수를 공급하는 절삭수 분출구(56b)와, 절삭 블레이드(34)의 양측면에 절삭수를 분사하는 보조 절삭수 분출구(56d)가 일체로 형성된 노즐 블록(56)을 구비하기 때문에, 커버 부재와는 별도로 파이프형의 노즐을 설치하는 경우와 같이, 비산한 단재 등과의 접촉에 의해, 노즐의 낙하, 변형, 위치 어긋남 등의 문제점이 발생하는 일은 없다. 이와 같이, 본 실시형태에 의하면, 비산한 단재 등의 접촉에 따른 문제점의 발생을 방지할 수 있는 블레이드 커버 장치(38)를 제공할 수 있다.As described above, the blade cover device 38 according to the present embodiment is provided with a cutting water jetting port 56b for supplying cutting water to the outer peripheral end face of the cutting blade 34, Since the nozzle block 56 integrally formed with the subsidiary cutting water spouting port 56d for spraying the auxiliary cutting water is provided in the nozzle block 56, There is no problem such as drop, deformation, positional deviation, etc. As described above, according to the present embodiment, it is possible to provide the blade cover device 38 capable of preventing the occurrence of problems caused by contact of scattered end members or the like.

또한, 본 실시형태에 따른 블레이드 커버 장치(38)에서는, 조정 나사(64)를 회전시킴으로써, Z축 방향에서의 절삭수 분출구(56b) 및 한 쌍의 보조 절삭수 분출구(56d)의 위치를 한번에 조정할 수 있기 때문에, 노즐의 조정이 용이해지고, 노즐의 조정에 요하는 시간을 단축할 수 있다.In the blade cover device 38 according to the present embodiment, by rotating the adjusting screw 64, the positions of the cutting water jetting ports 56b and the pair of auxiliary cutting water jetting ports 56d in the Z-axis direction The adjustment of the nozzle is facilitated and the time required for adjustment of the nozzle can be shortened.

한편, 본 발명은 상기 실시형태의 기재에 한정되지 않고, 여러 가지로 변경하여 실시 가능하다. 예컨대, 상기 실시형태에서는, 직사각 형상의 패키지 기판 등을 절삭하는 절삭 장치(2)에 블레이드 커버 장치(38)를 적용하고 있으나, 일반적인 반도체 웨이퍼 등을 절삭하는 절삭 장치에 본 발명의 블레이드 커버 장치를 적용해도 좋다.On the other hand, the present invention is not limited to the description of the above embodiments, but can be modified in various ways. For example, in the above embodiment, the blade cover device 38 is applied to the cutting device 2 for cutting a rectangular package substrate or the like. However, in the cutting device for cutting a general semiconductor wafer or the like, May be applied.

또한, 회전 규제부로서 기능하는 가이드부(50a) 및 노치부(56a)의 형상을 변경할 수도 있다. 예컨대, 가이드부(50a)와 노치부(56a)와의 접촉면을, 조정 나사(64)가 연장되는 방향에 대해 수직으로 형성하면, 가이드부(50a)와 노치부(56a)를 회전 규제부로서 기능시킬 수 있다. It is also possible to change the shape of the guide portion 50a and the notch portion 56a which function as the rotation regulating portion. For example, if the contact surface between the guide portion 50a and the notch portion 56a is formed perpendicular to the direction in which the adjustment screw 64 extends, the guide portion 50a and the notch portion 56a function as rotation regulating portions .

그 외, 상기 실시형태에 따른 구성, 방법 등은 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절히 변경하여 실시할 수 있다.In addition, the configuration, method, and the like according to the above-described embodiment can be appropriately modified and implemented without departing from the scope of the present invention.

2: 절삭 장치 4: 기대
4a: 개구 6: X축 이동 테이블
8: 방수 커버 10: 척 테이블
10a: 유지면 12: 절삭 유닛
14: 지지 구조 16: 절삭 유닛 이동 기구
18: Y축 가이드 레일 20: Y축 이동 테이블
22: Y축 볼 나사 24: Z축 가이드 레일
26: Z축 이동 테이블 28: Z축 볼 나사
30: Z축 펄스 모터 32: 카메라
34: 절삭 블레이드 36: 스핀들 하우징
38: 블레이드 커버 장치 40: 고정 너트
42: 지지 기대 44: 절삭날
46: 베이스부 48: 제1 베이스부
50: 제2 베이스부 50a: 가이드부(회전 규제부)
50b: 관통 구멍 50c: 직경 확장부
52: 노즐 54: 연결부
56: 노즐 블록 56a: 노치부(회전 규제부)
56b: 절삭수 분출구 56c: 공급로
56d: 보조 절삭수 분출구 56e: 공급로
56f: 나사 구멍 58: 연결부
60: 연결부 62: 위치 조정 기구(위치 조정 수단)
64: 조정 나사 64a: 머리 부분
66: 빠짐 방지 플레이트 66a: 개구
68: 고정 나사 70: 고정 나사
11: 피가공물 R: 회전 방향2: Cutting device 4: Expectation
4a: aperture 6: X-axis moving table
8: Waterproof cover 10: Chuck table
10a: retaining surface 12: cutting unit
14: support structure 16: cutting unit moving mechanism
18: Y-axis guide rail 20: Y-axis moving table
22: Y-axis ball screw 24: Z-axis guide rail
26: Z-axis moving table 28: Z-axis ball screw
30: Z axis pulse motor 32: Camera
34: cutting blade 36: spindle housing
38: blade cover device 40: fixing nut
42: support base 44: cutting edge
46: base portion 48: first base portion
50: second base portion 50a: guide portion (rotation regulating portion)
50b: Through hole 50c:
52: nozzle 54:
56: nozzle block 56a: notch (rotation regulating portion)
56b: cutting water jet port 56c: supply path
56d: auxiliary cutting water jetting port 56e: supply path
56f: screw hole 58: connecting portion
60: connecting portion 62: position adjusting mechanism (position adjusting means)
64: adjusting screw 64a: head portion
66: drop prevention plate 66a: opening
68: Set screw 70: Set screw
11: Workpiece R: Direction of rotation

Claims (3)

스핀들을 회전 가능하게 지지하는 스핀들 하우징의 선단에 배치되며, 상기 스핀들에 장착된 절삭 블레이드를 덮는 블레이드 커버 장치로서,
상기 절삭 블레이드에 공급된 절삭수가 상기 절삭 블레이드의 회전에 의해 비산하는 측과는 반대측에 배치되고, 상기 절삭 블레이드의 외주 단부면과 대향하여 절삭수를 분출하는 노즐 블록을 구비하며,
상기 노즐 블록은,
상기 절삭 블레이드의 외주 단부면에 상기 절삭수를 공급하는 절삭수 분출구와,
상기 절삭수 분출구를 사이에 두고 배치되고, 상기 절삭 블레이드의 양측면에 상기 절삭수를 분사하는 한 쌍의 보조 절삭수 분출구를 구비한 것을 특징으로 하는 블레이드 커버 장치. 1. A blade cover device disposed at a tip of a spindle housing for rotatably supporting a spindle and covering a cutting blade mounted on the spindle,
And a nozzle block disposed on a side opposite to a side where the cutting blade is scattered by the rotation of the cutting blade and spraying the cutting water against the outer peripheral end face of the cutting blade,
The nozzle block includes:
A cutting water jetting port for supplying the cutting water to the outer peripheral end face of the cutting blade,
And a pair of auxiliary cutting water spouts which are arranged on both sides of the cutting blade with the cutting water spouted therebetween and which spray the cutting water. 제1항에 있어서, 상기 스핀들 하우징의 선단에 고정된 베이스부를 더 구비하고,
상기 노즐 블록은, 상기 베이스부에 이동 가능하게 부착되며,
상기 베이스부에 대해 상기 노즐 블록의 연직 방향으로의 이동을 허용하는 위치 조정 수단이 배치된 것을 특징으로 하는 블레이드 커버 장치. 2. The spindle device according to claim 1, further comprising a base fixed to a front end of the spindle housing,
Wherein the nozzle block is movably attached to the base portion,
And position adjusting means for allowing the nozzle block to move in the vertical direction with respect to the base portion. 제2항에 있어서, 상기 위치 조정 수단은,
상기 베이스부를 연직 방향으로 관통하는 관통 구멍과,
상기 관통 구멍에 삽입되며, 머리 부분이 관통 구멍의 상단에 결합되고, 하단이 상기 노즐 블록의 나사 구멍에 나사 결합되는 조정 나사와,
상기 베이스부에 대해 상기 노즐 블록이 상기 조정 나사를 회전축으로 하여 회전하는 것을 규제하는 회전 규제부를 가지며,
상기 조정 나사를 회동시킴으로써, 상기 베이스부에 대해 상기 노즐 블록이 연직 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 블레이드 커버 장치. 3. The apparatus according to claim 2,
A through hole penetrating the base portion in the vertical direction,
An adjusting screw inserted into the through hole and having a head portion coupled to an upper end of the through hole and a lower end screwed into a screw hole of the nozzle block,
And a rotation restricting portion for restricting rotation of the nozzle block with respect to the base portion with the adjustment screw as a rotation axis,
And the nozzle block is moved in the vertical direction with respect to the base portion by rotating the adjustment screw.
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6700800B2 (en) * 2016-01-15 2020-05-27 株式会社ディスコ Blade cover
JP2017213628A (en) 2016-05-31 2017-12-07 株式会社ディスコ Cutting device
JP6847729B2 (en) * 2017-03-28 2021-03-24 株式会社ディスコ Cutting equipment
JP7034548B2 (en) * 2018-02-28 2022-03-14 株式会社ディスコ Blade cover
JP6999450B2 (en) * 2018-03-02 2022-01-18 株式会社ディスコ Blade cover
CN110497540A (en) * 2019-08-14 2019-11-26 郑州光力瑞弘电子科技有限公司 A kind of scribing machine and its main cooling spray of cutter cooling device, cutter
CN111267255B (en) * 2020-01-13 2021-12-24 精典电子股份有限公司 Round wafer cutting equipment

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006187850A (en) * 2005-01-07 2006-07-20 Disco Abrasive Syst Ltd Blade cover device
JP2007111840A (en) * 2005-10-21 2007-05-10 Disco Abrasive Syst Ltd Cutting device
JP2007216377A (en) * 2006-01-20 2007-08-30 Tokyo Seimitsu Co Ltd Dicing device and dicing method
JP2009285769A (en) 2008-05-28 2009-12-10 Disco Abrasive Syst Ltd Cutting device

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4590058B2 (en) * 2000-04-12 2010-12-01 株式会社ディスコ Cutting blade detection mechanism of cutting equipment
JP2005167145A (en) * 2003-12-05 2005-06-23 Sanyo Electric Co Ltd Method of manufacturing semiconductor device and dicing apparatus
JP4192135B2 (en) * 2004-09-29 2008-12-03 株式会社東芝 Processing apparatus and processing method
JP4694210B2 (en) * 2005-01-07 2011-06-08 株式会社ディスコ Blade cover device
JP4786949B2 (en) * 2005-06-23 2011-10-05 株式会社ディスコ Cutting equipment
JP2007329263A (en) * 2006-06-07 2007-12-20 Disco Abrasive Syst Ltd Wafer cutting method
US8449356B1 (en) * 2007-11-14 2013-05-28 Utac Thai Limited High pressure cooling nozzle for semiconductor package
JP5363746B2 (en) * 2008-02-29 2013-12-11 Ｔｏｗａ株式会社 Cutting apparatus and cutting method
CN201555754U (en) * 2009-12-14 2010-08-18 江苏飞船股份有限公司 Device for metallographic sample cutting and cooling water circulation use
JP2012064617A (en) * 2010-09-14 2012-03-29 Disco Abrasive Syst Ltd Cutting method
JP5855379B2 (en) * 2011-07-25 2016-02-09 新電元工業株式会社 Dicing machine
JP6012239B2 (en) * 2012-04-23 2016-10-25 株式会社ディスコ Wafer processing method
JP6010827B2 (en) * 2012-05-10 2016-10-19 株式会社東京精密 Dicing apparatus and dicing method
JP6039512B2 (en) * 2013-07-18 2016-12-07 Ｔｏｗａ株式会社 Cutting apparatus and method for manufacturing electronic parts

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006187850A (en) * 2005-01-07 2006-07-20 Disco Abrasive Syst Ltd Blade cover device
JP2007111840A (en) * 2005-10-21 2007-05-10 Disco Abrasive Syst Ltd Cutting device
JP2007216377A (en) * 2006-01-20 2007-08-30 Tokyo Seimitsu Co Ltd Dicing device and dicing method
JP2009285769A (en) 2008-05-28 2009-12-10 Disco Abrasive Syst Ltd Cutting device

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