JP4694210B2 - Blade cover device - Google Patents
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Description
本発明は,切削装置の切削ブレードを覆うブレードカバー装置に関する。 The present invention relates to a blade cover device that covers a cutting blade of a cutting device.
精密切削装置,例えばダイシング装置においては,高速回転するスピンドルの先端部に装着された切削ブレードを用いて,半導体ウェハ等の被加工物を切削する。かかる切削装置では,図7に示すように,切削ブレード122の外周を覆うようにしてブレードカバー140が配設されている。このブレードカバー140には,切削ブレード122や加工点を冷却したり,切削屑を押し流したりするために,切削ブレード122の両側面(Y軸方向前面および背面)側から切削液を供給する一対の側面ノズル(ブレードクーラノズル)127が設けられている。
In a precision cutting device, for example, a dicing device, a workpiece such as a semiconductor wafer is cut using a cutting blade attached to the tip of a spindle that rotates at high speed. In such a cutting apparatus, as shown in FIG. 7, a
さらに,この側面ノズル127だけでは切削液を十分に供給できない場合などには,切削ブレード122の外周面に対して切削液を供給する外周ノズル(シャワーノズル)164が追加設置される。この外周ノズル164は,通常,切削ブレードの外周面と対向するように切削方向前方に配設される。この外周ノズル164を追加設置する場合,ブレードカバー140に対して外周ノズルユニット160を外付けする方式が一般的であった。
Further, when the cutting fluid cannot be sufficiently supplied by the
この外周ノズルユニット160を外付けするときには,図7に示すように,ブレードカバー140の側面側から,外周ノズルユニット160をブレードカバー140に対してボルト150で固定していた。この固定方式では,外周ノズル164の噴射口162のスピンドル軸方向(Y軸方向)の位置を,切削ブレード122の外周面の位置に正確に合わせる必要がある。この噴射口162の位置と,切削ブレード122の外周面の位置とが正確に合っていないと,外周ノズル164による冷却効果が低減し,被加工物に大きなチッピングが発生してしまうという問題が生じる。そこで,外周ノズルユニット160のボルト貫通孔をY軸方向と平行な長孔にしてY軸方向に位置調節可能な構成にしておき,外周ノズルユニット160をブレードカバー140に取り付けるときには,外周ノズルユニット160が適正なY軸位置に位置づけられるように微調節した上で,ブレードカバー140の側面側からボルト150で外周ノズルユニット160を固定していた。
When the outer
ところが,設置面積が小さい切削装置の場合,図7に示すように,ブレードカバー140の近傍に,切削装置本体の壁やカバー等の障害物111が存在するため,ブレードカバー140の側面側には非常に狭いスペースしか存在ない。このため,外周ノズルユニット160の取り付け作業では,特殊な工具が必要となり作業が困難であるため,ある程度熟練したオペレータでなければ,取り付けることができないという問題があった。
However, in the case of a cutting machine having a small installation area, as shown in FIG. 7, an
かかる問題を解決するために,特許文献1,2に記載されているように,外周ノズルユニットとブレードカバーとを一体化して,外周ノズルをブレードカバーに内蔵化する構成が考えられる。このように外周ノズルをブレードカバーに内蔵化することによって,外周ノズルユニットを後から取り付けるといったオペレータの作業が不要になるからである。 In order to solve this problem, as described in Patent Documents 1 and 2, a configuration in which the outer peripheral nozzle unit and the blade cover are integrated and the outer peripheral nozzle is built in the blade cover is conceivable. This is because by incorporating the outer peripheral nozzle in the blade cover in this way, the operator's work of attaching the outer peripheral nozzle unit later becomes unnecessary.
しかしながら,上記従来の外周ノズルが内蔵化されたブレードカバーでは,例えば,初期設定時に切削ブレードの外周面と外周ノズルの噴射口とを正確に位置合わせして外周ノズルを内蔵化させ,かつ,同じ種類の切削ブレードを交換使用した場合であったとしても,切削ブレードの交換後には,外周ノズルの噴射口と切削ブレードの外周面とのY軸方向の位置がずれてしまうという問題があった。より詳細には,切削装置では,数μmレベルの切削加工精度が要求されるが,切削ブレードや切削ブレードを固定するマウント部材などの品質がそのレベルを満たすことは難しい。このため,マウントナットを締める力や切削ブレードの品質による厚さのバラツキ,更には,スピンドルとマウント部材とを接合するテーパ面を高精度に製作することは困難であり誤差が生じやすい,などといった要因から,切削ブレードを交換すると,どうしても外周ノズルの噴射口と切削ブレードの外周面とのY軸方向の位置がずれてしまっていた。この結果,外周ノズルから噴射された切削液による冷却効果が低減し,被加工物にチッピングが生じることがあった。 However, in the conventional blade cover with the built-in outer peripheral nozzle, for example, the outer peripheral surface of the cutting blade and the injection port of the outer peripheral nozzle are accurately aligned at the time of initial setting, and the outer peripheral nozzle is built-in. Even when different types of cutting blades are used, there is a problem in that the position of the outer nozzle nozzle and the outer peripheral surface of the cutting blade in the Y-axis direction are shifted after the cutting blade is replaced. More specifically, the cutting apparatus requires a cutting accuracy of several μm level, but it is difficult to satisfy the quality of the cutting blade and the mount member for fixing the cutting blade. For this reason, thickness variation due to the tightening force of the mount nut and the quality of the cutting blade, and furthermore, it is difficult to produce a tapered surface that joins the spindle and mount member with high precision, and errors are likely to occur. For this reason, when the cutting blade was replaced, the Y-axis direction position of the nozzle outlet of the outer peripheral nozzle and the outer peripheral surface of the cutting blade inevitably shifted. As a result, the cooling effect of the cutting fluid sprayed from the outer peripheral nozzle is reduced, and chipping may occur in the workpiece.
また,外周ノズルユニットを外付けする方式のブレードカバーでは,外周ノズルユニット160全体の位置をY軸方向に微調節して取り付けていたが,外周ノズルを内蔵化する方式のブレードカバーでは,このような調節方式では,外周ノズルの噴射口の位置をY軸方向に調節することができないという問題があった。
In addition, in the blade cover with the outer peripheral nozzle unit attached, the entire position of the outer
さらに,かかる外周ノズルの噴射口の位置調節作業を,ブレードカバーの側面側から行ったのでは,特殊な工具が必要となり作業が困難となる。このため,外周ノズルの噴射口の位置を,ブレードカバーの前面側から容易に調節することが可能なブレードカバーが希求されていた。 Furthermore, if the position adjustment operation of the injection nozzle of the outer peripheral nozzle is performed from the side of the blade cover, a special tool is required and the operation becomes difficult. For this reason, there has been a demand for a blade cover that can easily adjust the position of the injection nozzle of the outer peripheral nozzle from the front side of the blade cover.
そこで,本発明はこのような問題に鑑みてなされたもので,その目的とするところは,外周ノズルが内蔵化されたブレードカバー装置において,ブレードカバー装置の前面側から,外周ノズルの噴射口の位置をスピンドル軸方向に容易に調節することが可能な,新規かつ改良されたブレードカバー装置を提供することにある。 Accordingly, the present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a nozzle cover of the outer peripheral nozzle from the front side of the blade cover apparatus in the blade cover apparatus incorporating the outer peripheral nozzle. It is an object of the present invention to provide a new and improved blade cover device capable of easily adjusting its position in the spindle axial direction.
上記課題を解決するために,本発明の第1の観点によれば,スピンドルの先端に装着された切削ブレードを覆うブレードカバー装置であって:ブレードカバー装置に内蔵化され,切削ブレードの外周面と対向配置され,切削ブレードに切削液を供給する外周ノズルと;外周ノズルの噴射口の位置をスピンドルの軸方向に移動させる噴射口位置調節手段と;を備え,上記ブレードカバー装置の上部側は一体的に構成され,上記ブレードカバー装置の下部側は,スピンドルの軸方向に,外周ノズルが内蔵化されたブレードカバー前部と,ブレードカバー前部と所定の隙間を空けて配置されるブレードカバー後部とに分断されており,上記噴射口位置調節手段は,ブレードカバー装置の前面側からスピンドルの軸方向にブレードカバー前部を貫通して,ブレードカバー後部と係合する押さえボルトと;ブレードカバー装置の前面側からスピンドルの軸方向にブレードカバー前部に挿入されてブレードカバー前部と係合し,その先端部がブレードカバー後部の前面に当接する突き当てボルトと;を備え,押さえボルト及び突き当てボルトをブレードカバー装置の前面側から回転させることにより,外周ノズルの噴射口の位置をスピンドルの軸方向に移動させることを特徴とする,ブレードカバー装置が提供される。
In order to solve the above-mentioned problems, according to a first aspect of the present invention, there is provided a blade cover device that covers a cutting blade attached to the tip of a spindle: And an outer peripheral nozzle for supplying cutting fluid to the cutting blade; and an injection port position adjusting means for moving the position of the injection port of the outer peripheral nozzle in the axial direction of the spindle. The upper side of the blade cover device is The blade cover device is integrally formed, and the lower side of the blade cover device includes a blade cover front portion with a built-in outer peripheral nozzle in the axial direction of the spindle, and a blade cover disposed with a predetermined gap from the blade cover front portion. The injection port position adjusting means passes through the blade cover front part in the axial direction of the spindle from the front side of the blade cover device. , A holding bolt that engages with the rear part of the blade cover; inserted into the front part of the blade cover in the axial direction of the spindle from the front side of the blade cover device, and engages with the front part of the blade cover, and its tip is the front of the rear part of the blade cover An abutting bolt that abuts on the nozzle cover, and by rotating the holding bolt and the abutting bolt from the front side of the blade cover device, the position of the injection nozzle of the outer peripheral nozzle is moved in the axial direction of the spindle. A blade cover device is provided.
かかる構成により,ブレードカバー装置に外周ノズルが内蔵化されている場合であっても,オペレータは,噴射口位置調節手段を操作して,外周ノズルの噴射口の位置をスピンドル軸方向に調節できる。このため,切削ブレードを交換した場合であっても,外周ノズルの噴射口の位置を切削ブレードの位置に合わせることができるので,外周ノズルからの切削液による冷却効果を向上させて,好適な状態で切削加工を実行できる。従って,被加工物にチッピングが発生することがなく,加工品質が向上する。 With such a configuration, even when the outer peripheral nozzle is built in the blade cover device, the operator can adjust the position of the outer nozzle in the spindle axis direction by operating the outlet position adjusting means. For this reason, even when the cutting blade is replaced, the position of the injection nozzle of the outer peripheral nozzle can be adjusted to the position of the cutting blade, so that the cooling effect by the cutting fluid from the outer peripheral nozzle is improved and a suitable state is achieved. You can perform cutting. Therefore, chipping does not occur on the workpiece, and the machining quality is improved.
また,オペレータは,ブレードカバー装置の前面側から噴射口位置調節手段を操作できるので,特殊な工具を用いることなく,外周ノズルの噴射口の位置をスピンドルの軸方向に容易かつ迅速に調節することができる。なお,ブレードカバー装置の前面とは,ブレードカバー装置のスピンドル軸方向手前側の面(オペレータ側の面)である。一方,ブレードカバー装置の背面とは,ブレードカバー装置のスピンドル軸方向奥側の面(オペレータと反対側の面)である。 In addition, since the operator can operate the injection port position adjusting means from the front side of the blade cover device, the position of the injection port of the outer peripheral nozzle can be adjusted easily and quickly in the axial direction of the spindle without using a special tool. Can do. The front surface of the blade cover device is the surface on the near side of the spindle axis direction of the blade cover device (the surface on the operator side). On the other hand, the back surface of the blade cover device is a surface on the back side in the spindle axial direction of the blade cover device (surface opposite to the operator).
また,上記噴射口位置調節手段は,ブレードカバー装置の外周ノズルが内蔵化された部分をスピンドルの軸方向に弾性変形させることにより,外周ノズルの噴射口をスピンドルの軸方向に移動させる。これにより,噴射口位置調節手段の構造を簡単にすることができる。なお,ブレードカバー装置の外周ノズルが内蔵化された部分の材質は,好適に弾性変形な素材,例えばプラスチック等の合成樹脂であることが好ましい。 Further, the injection port position adjusting means moves the injection port of the outer peripheral nozzle in the axial direction of the spindle by elastically deforming a portion in which the outer peripheral nozzle of the blade cover device is built in the axial direction of the spindle. Thereby, the structure of the injection port position adjusting means can be simplified. In addition, it is preferable that the material of the part in which the outer peripheral nozzle of the blade cover device is built is preferably a material that is elastically deformable, for example, a synthetic resin such as plastic.
また,上記ブレードカバー装置の上部側は一体的に構成され,上記ブレードカバー装置の下部側は,スピンドルの軸方向に,外周ノズルが内蔵化されたブレードカバー前部と,ブレードカバー前部と所定の隙間を空けて配置されるブレードカバー後部とに分断されており,上記噴射口位置調節手段は,ブレードカバー装置の前面側からスピンドルの軸方向にブレードカバー前部を貫通して,ブレードカバー後部と係合する押さえボルトと;ブレードカバー装置の前面側からスピンドルの軸方向にブレードカバー前部に挿入されてブレードカバー前部と係合し,その先端部がブレードカバー後部の前面に当接する突き当てボルトと;を備え,押さえボルト及び/又は突き当てボルトをブレードカバー装置の前面側から回転させることにより,外周ノズルの噴射口の位置をスピンドルの軸方向に移動させるようにしてもよい。 Further, the upper side of the blade cover device is integrally formed, and the lower side of the blade cover device is arranged in the axial direction of the spindle with a blade cover front portion having a built-in outer peripheral nozzle, a blade cover front portion and a predetermined portion. The nozzle position adjusting means passes through the blade cover front part in the axial direction of the spindle from the front side of the blade cover device, and is separated from the blade cover rear part. A retaining bolt that engages with the blade cover; inserted into the front of the blade cover in the axial direction of the spindle from the front side of the blade cover device and engaged with the front of the blade cover; A retaining bolt and / or a retaining bolt and / or an abutting bolt rotated from the front side of the blade cover device. The position of the injection port of the nozzle may be moved in the axial direction of the spindle.
かかる構成により,突き当てボルトおよび押さえボルトはブレードカバー装置前面側から操作可能である。この突き当てボルトを締結してブレードカバー前部に深く螺合させる,及び/又は,押さえボルトを弛緩してブレードカバー後部に浅く螺合させることにより,ブレードカバー前部をスピンドルの軸方向前面側に弾性変形させて,外周ノズルの噴射口をスピンドルの軸方向前面側に移動させることができる。また,突き当て部材を弛緩してブレードカバー前部に浅く螺合させる,及び/又は,押さえボルトを締結してブレードカバー後部に深く螺合させることにより,ブレードカバー前部をスピンドルの軸方向背面側に弾性変形させて,外周ノズルの噴射口をスピンドルの軸方向背面側に移動させることができる。このように,比較的簡単な構造の噴射口位置調節手段を用いて,ブレードカバー装置前面側から,外周ノズルの噴射口の位置を容易に調節できる。 With this configuration, the butting bolt and the holding bolt can be operated from the front side of the blade cover device. By tightening the abutting bolt and screwing it deeply into the front part of the blade cover, and / or loosening the holding bolt and screwing it shallowly into the rear part of the blade cover, the front part of the blade cover is axially front side of the spindle. It is possible to move the nozzle of the outer peripheral nozzle to the front side in the axial direction of the spindle. Also, loosen the abutting member and screw it into the front of the blade cover shallowly, and / or tighten the holding bolt and screw it deeply into the rear of the blade cover, so that the front of the blade cover is back in the axial direction of the spindle. It is possible to move the nozzle outlet of the outer peripheral nozzle to the back side in the axial direction of the spindle. In this way, the position of the injection port of the outer peripheral nozzle can be easily adjusted from the front side of the blade cover device by using the injection port position adjusting means having a relatively simple structure.
以上説明したように本発明によれば,ブレードカバー装置に内蔵化された外周ノズルであっても,外周ノズルの噴射口の位置をスピンドル軸方向に調節できるので,切削ブレードを交換した場合であっても,外周ノズルの噴射口の位置を切削ブレードの外周面の位置に合わせることができる。このため,外周ノズルから噴射された切削液による冷却効果を向上させて,好適な状態で切削加工を実行できる。従って,切断加工により被加工物にチッピングが発生することを防止して,加工品質を向上できる。 As described above, according to the present invention, even if the outer peripheral nozzle is built in the blade cover device, the position of the injection port of the outer peripheral nozzle can be adjusted in the spindle axial direction. Even so, the position of the injection port of the outer peripheral nozzle can be matched with the position of the outer peripheral surface of the cutting blade. For this reason, the cooling effect by the cutting fluid injected from the outer peripheral nozzle can be improved, and cutting can be executed in a suitable state. Therefore, chipping can be prevented from occurring on the workpiece due to the cutting process, and the processing quality can be improved.
また,オペレータは,ブレードカバー装置の前面側から噴射口位置調節手段を操作できるので,特殊な工具を必要とせずに,外周ノズルの噴射口の位置を容易に調節することができる。 Further, since the operator can operate the injection port position adjusting means from the front side of the blade cover device, the position of the injection port of the outer peripheral nozzle can be easily adjusted without requiring a special tool.
以下に添付図面を参照しながら,本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお,本明細書及び図面において,実質的に同一の機能構成を有する構成要素については,同一の符号を付することにより重複説明を省略する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present specification and drawings, components having substantially the same functional configuration are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
(第1の実施形態)
まず,図1に基づいて,本発明の第1の実施形態にかかる切削装置の一例であるダイシング装置10の全体構成について説明する。なお,図1は,本実施形態にかかるダイシング装置10を示す全体斜視図である。
(First embodiment)
First, based on FIG. 1, the whole structure of the
図1に示すように,ダイシング装置10は,例えば,半導体ウェハなどの被加工物を切削加工する切削手段である切削ユニット20と,被加工物を保持する被加工物保持手段であるチャックテーブル(図示せず。)と,切削ユニット移動機構(図示せず。)と,チャックテーブル移動機構(図示せず。)とを備える。
As shown in FIG. 1, the dicing
切削ユニット20は,スピンドルに装着された切削ブレード22を備えている。この切削ユニット20は,切削ブレード22を高速回転させながら被加工物に切り込ませることにより,被加工物を切削して極薄のカーフ(切溝)を形成する。
The cutting
また,チャックテーブルは,例えば,その上面が略平坦な円盤状のテーブルであり,その上面に真空チャック(図示せず。)等を具備している。このチャックテーブル上には,例えば,ウェハテープ(図示せず。)を介してフレーム(図示せず。)に支持された状態の被加工物が載置される。チャックテーブルは,かかる被加工物を真空吸着して安定的に保持する。 The chuck table is, for example, a disk-shaped table whose upper surface is substantially flat, and is provided with a vacuum chuck (not shown) on the upper surface. On the chuck table, for example, a workpiece supported by a frame (not shown) is placed via a wafer tape (not shown). The chuck table stably holds the workpiece by vacuum suction.
切削ユニット移動機構は,切削ユニット20をY軸方向に移動させる。このY軸方向は,切削方向(X軸方向)に対して直交する水平方向であり,切削ユニット20内に延設されたスピンドルの軸方向と一致する。切削ユニット20をY軸方向に移動させることにより,切削ブレード22の刃先を被加工物の切削位置(切削ライン)に位置合わせすることができる。また,切削ブレード22の交換作業時や,後述する外周ノズルの噴射口位置調節作業時には,切削ユニット20をY軸方向手前側(オペレータ側),即ち,ダイシング装置10の前面(正面)側に前進させて,切削ユニット20をオペレータが作業しやすい位置に配置することができる。さらに,この切削ユニット移動機構は,切削ユニット20をZ軸方向(垂直方向)にも移動させる。これにより,被加工物に対する切削ブレード22の切り込み深さを調整することができる。
The cutting unit moving mechanism moves the cutting
チャックテーブル移動機構は,切削加工時に,被加工物を保持したチャックテーブルを切削方向(X軸方向)に往復移動させて,被加工物に対し切削ブレード22の刃先を直線的な軌跡で作用させる。
The chuck table moving mechanism reciprocates the chuck table holding the workpiece in the cutting direction (X-axis direction) at the time of cutting and causes the cutting edge of the
かかる構成のダイシング装置10は,高速回転する切削ブレード22を被加工物に切り込ませながら,切削ユニット20とチャックテーブルとを相対移動させることにより,被加工物の格子状に配置された複数の切削ラインを切削する。これによって,被加工物をダイシング加工して,複数のチップに分割することができる。
The dicing
ところで,図1に示すようなダイシング装置10は,設置面積が小さくなるように装置構成が工夫されており,比較的縦長の構造となっている。このため,切削ユニット20のX軸方向両サイドには,切削ユニット20を覆う壁11が,切削ユニット20の近傍に配置されているので,切削ユニット20の側方には,狭いスペースしか存在しない。従って,オペレータは,切削ユニット20の側面側(X軸方向両側)から切削ユニット20にアクセスして,各種の調整,メンテナンス作業を行うことが困難である。そこで,本実施形態にかかる切削ユニット20では,オペレータが,切削ユニット20の前面側(Y軸方向手前側)からアクセスして,外周ノズルの噴射口の位置をスピンドルの軸方向(Y軸方向)に調節できるように改善されている点に特徴を有する。なお,この噴射口位置調節手段の詳細については後述する。
By the way, the dicing
次に,図2に基づいて,本実施形態にかかる切削ユニット20の構成について詳細に説明する。なお,図2は,本実施形態にかかる切削ユニット20を示す斜視図である。
Next, based on FIG. 2, the structure of the cutting
図2に示すように,切削ユニット20は,例えば,フランジ21と,切削ブレード22と,ナット24と,スピンドル25と,スピンドルハウジング26と,側面ノズル27と,ブレードカバー装置40と,を主に備える。
As shown in FIG. 2, the cutting
切削ブレード22は,例えば,略リング形状を有する極薄の切削砥石である。かかる切削ブレード22は,例えば,フランジ21およびナット24などによって,スピンドル25の先端部25aに装着される。本実施形態にかかる切削ブレード22は,例えば,所謂ワッシャーブレードで構成されており,その両側をフランジ21で挟持してナット24で固定することによって,スピンドル25に軸着される構成である。しかし,かかる例に限定されず,切削ブレード22は,外周部に配される切削砥石である切り羽部と,当該切り羽部をスピンドル25に軸着するための基台部とが一体構成されたハブブレードで構成されてもよい。
The
また,スピンドル25は,例えば,モータ(図示せず。)の回転駆動力を切削ブレード22に伝達するための回転軸であり,装着された切削ブレード22を例えば30,000rpmで高速回転させることができる。このスピンドル25の大部分は,スピンドルハウジング26に覆われているが,その先端部25aは,スピンドルハウジング26から露出しており,かかる先端部25aに切削ブレード22等が装着される。なお,このスピンドル25は,切削方向(X軸方向)と直交するY軸方向に延設されている。
The
また,スピンドルハウジング26は,スピンドル25の外周を覆うようにして設けられたハウジングである。このスピンドルハウジング26は,内部に設けられたエアベアリング(図示せず。)等によって,スピンドル25を回転可能に支持する。
The
また,側面ノズル27は,例えば,ブレードカバー装置40に取り付けられ,切削ブレード22の側面(切削ブレード22のY軸方向側の平坦面をいう。)の下部に隣接して配設される切削液供給ノズルである。この側面ノズル27は,後述する図3等で示すように,切削ブレード22の正面側に配される正面ノズル27aと,切削ブレード22の背面側に配される背面ノズル27bの総称である。かかる側面ノズル27は,切削ブレード22の側面下部および加工点に向けて,切削液(例えば切削水)を噴射する。このようにして切削液を供給することによって,切削ブレード22および加工点を冷却して,切削加工時に被加工物にチッピングが発生することを防止できる。また,かかる切削液の供給によって,切削加工により生じた切削屑を洗い流すこともできる。
The
また,ブレードカバー装置40は,切削ブレード22の外周を覆うようにして配設され,スピンドルハウジング26の先端部に固定される。このブレードカバー装置40は,切削ブレード22を保護するとともに,切削加工に伴う切削液や切削屑,破損したブレード片などが,切削ユニット20外部に飛散することを防止する。このブレードカバー装置40は,以下に詳述するように,切削液供給ノズルとして外周ノズルが内蔵化されており,この外周ノズルの噴射口の位置を調整する噴射口位置調節手段が設けられている点に特徴を有する。
The
次に,図2〜図3に基づいて,本実施形態にかかるブレードカバー装置40について詳細に説明する。図3は,本実施形態にかかるブレードカバー装置40を示す正面図(a)および右側面図(b)である。
Next, the
図2および図3に示すように,ブレードカバー装置40は,大別すると,例えば,スピンドルハウジング26に固定され,切削ブレード22の外周を覆う固定基台部44と,固定基台部44の上部にX軸方向にスライド可能に取り付けられる移動カバー部42と,から構成されている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
固定基台部44は,例えば,プラスチック等の合成樹脂で形成された略直方体形状の部材であり,スピンドルハウジング26の前面に固設されている。この固定基台部44の前面(Y軸方向手前側の面)の中央部には,切削ブレード22径より若干大径の略円形の凹部442が陥没形成されている。この凹部442内に切削ブレード22を配置することによって,切削ブレード22の外周のうち被加工物に切り込ませる下部を除く部分が,固定基台部44によって覆われる。これにより,固定基台部44によって,切削ブレード22を保護するとともに,切削加工時における切削液,切削屑等の飛散を防止できる。
The fixed
また,この固定基台部44には,図3に示すように,外周ノズル60が内蔵化されている。この外周ノズル60は,切削ブレード22の外周面と対向するように配置され,切削方向前方(X軸正方向)から切削ブレード22の外周に対して切削液を噴射する切削液供給ノズル(シャワーノズル)である。
Further, as shown in FIG. 3, an outer
この外周ノズル60は,固定基台部44の切削方向前方側の一部(後述するブレードカバー前部46)の内部に形成されている。かかる外周ノズル60は,切削液を噴射する例えば略円形の噴射口62と,この噴射口62に連通される流路64とを有する。噴射口62は,固定基台部44の凹部442の切削方向前方側の側面において,切削ブレード22の外周面と対向する位置に形成されている。また,流路64は,固定基台部44のブレードカバー前部46の内部に垂直方向に延びるように形成され,外部から供給された切削液を噴射口62に導く。
The outer
さらに,この固定基台部44の一側上部には,ホース連結部52が設けられており,このホース連結部52には,ブレードカバー装置40の外部に設けられた切削液供給手段(図示せず。)に連通された給液ホース521が連結される。かかる構成により,給液ホース521を介して供給された切削液は,固定基台部44の内部に形成された外周ノズル60の流路64を通り,噴射口62から切削ブレード22の外周面に向けて噴射される。
Further, a
このように,本実施形態にかかるブレードカバー装置40では,従来のように,外周ノズルユニットを固定基台部44に外付けするのではなく,固定基台部44自体に噴射口62および流路64を形成することによって,外周ノズル60が内蔵化(換言すると,外周ノズルユニットと固定基台部44とが一体化)されている。これによって,ブレードカバー装置40の部品数を低減し,外周ノズル60を設置するための構成を単純化することができる。
As described above, in the
また,移動カバー部42は,図2に示すように,例えば,ステンレス等の金属製であり,固定基台部44の上面全体と,固定基台部44のY軸方向の前面および背面の上部と,固定基台部44のX軸方向の一側面の上部とを覆うようにして配設されている。この移動カバー部42は,その上面にX軸方向に延びる長孔425が形成されており,この長孔425に挿入され固定基台部44と螺合するクランプボルト53によって固定基台部44に対して固定されている。かかる構成により,クランプボルト53を弛緩することによって,移動カバー部42を固定基台部44に対してX軸方向にスライドさせることができる。
Further, as shown in FIG. 2, the
また,この移動カバー部42の一側の下部には,図3に示すように,上記2つの側面ノズル27(正面ノズル27aおよび背面ノズル27b)が取り付けられている。さらに,移動カバー部42の一側上部には,例えば2つのホース連結部51が設けられており,この各ホース連結部51には,上記切削液供給手段と連通された給液ホース511が連結される。かかる構成により,給液ホース511を介して供給された切削液は,移動カバー部42の内部に形成された流路426を通って各側面ノズル27に達し,各側面ノズル27から切削ブレード22の両側面(前面及び背面)の下部および加工点に向けて噴射される。
Further, as shown in FIG. 3, the two side nozzles 27 (the
次に,上記構成のブレードカバー装置40において,上記外周ノズル60の噴射口62の位置調節する噴射口位置調節手段70について,図2〜4を参照して説明する。なお,図4は,図3(a)のA−A線における部分拡大断面図である。
Next, the nozzle position adjusting means 70 for adjusting the position of the
本実施形態にかかる噴射口位置調節手段70は,ブレードカバー装置40の外周ノズル60が形成された部分を,スピンドル25の軸方向(以下,「Y軸方向」という。)に弾性変形させることにより,外周ノズル60の噴射口42をY軸方向に移動させて,切削ブレード22の外周面位置と合うように位置調節するものである。
The injection port position adjusting means 70 according to the present embodiment elastically deforms the portion of the
この噴射口位置調節手段70は,例えば,図2〜図4に示すように,ブレードカバー装置40の固定基台部44の下部側をY軸方向に分断することによって形成されたブレードカバー前部46およびブレードカバー後部48と,押さえボルト74と,突き当てボルト76と,から構成される。
As shown in FIGS. 2 to 4, for example, the injection port position adjusting means 70 includes a blade cover front portion formed by dividing the lower side of the fixed
図2および図3(b)に示すように,ブレードカバー装置40の固定基台部44は,少なくとも外周ノズル60の噴出口62が配設された箇所を含む下部側の部分が,垂直方向に延びるスリット状の隙間72によって,ブレードカバー装置40の前面側に位置するブレードカバー前部46と,ブレードカバー装置40の背面側に位置するブレードカバー後部48とに分断されている。このうち,ブレードカバー前部46には,上記外周ノズル60が内蔵化されている。
As shown in FIGS. 2 and 3B, the fixed
この隙間72は,例えば,固定基台部44の下面から垂直方向に所定高さまでスリットを入れることによって形成される。この隙間72のY軸方向の形成位置は,例えば,固定基台部44のY軸方向の中心位置であり,また,隙間72のY軸方向の幅は,外周ノズル60の噴射口32の位置調整幅(最大で例えば1mm程度)に応じて決定される。また,隙間72のZ軸方向の長さは,固定基台部44の下面から少なくとも外周ノズル60の噴射口32よりも上部に達する長さであり,この隙間72により分断されたブレードカバー前部46がY軸方向に十分に弾性変形可能となるような長さに決定される。
The
さらに,この隙間72の上端部には,隙間72のY軸方向の幅より大きい直径を有する円形拡幅孔721が形成されている。この円形拡幅孔721により,ブレードカバー前部46がブレードカバー後部48に対してY軸方向に弾性変形するときに,隙間72の上端部における応力が緩和されるので,円形拡幅孔721周辺における固定基台部44の破損を防止し,ブレードカバー前部46をY軸方向に円滑に弾性変形させることができる。
Further, a
押さえボルト74は,図4に示すように,ブレードカバー装置40の前面側(即ち,ブレードカバー前部46の前面461側)から,Y軸方向にブレードカバー前部46のボルト通過孔462を貫通して,ブレードカバー後部48の雌ネジ孔482と螺合する。この押さえボルト74の頭部74aとブレードカバー前部46の前面461との間には,ワッシャー741が介在されており,押さえボルト74の回転によってブレードカバー前部46の前面461が傷つかないようになっている。
As shown in FIG. 4, the holding
上記ブレードカバー前部46のボルト貫通孔462は,ブレードカバー前部46をY軸方向に貫通形成されている。このボルト貫通孔462の内径は,押さえボルト74の雄ねじ部74bの径より大径である。このため,押さえボルト74の雄ねじ部74bとブレードカバー前部46とが係合することはないが,押さえボルト74の頭部74aによって,ブレードカバー前部46がブレードカバー後部48側に向けて係止される。
The bolt through
一方,突き当てボルト76は,図4に示すように,ブレードカバー装置40の前面側(即ち,ブレードカバー前部46の前面461側)から,ブレードカバー前部46の雌ネジ孔464にY軸方向に挿入される。この突き当てボルト76の雄ねじ部76bは,ブレードカバー前部46にY軸方向に貫通形成された雌ネジ孔464と螺合する。
On the other hand, as shown in FIG. 4, the abutting
さらに,この突き当てボルト76の先端部76cは,隙間72内において,ブレードカバー後部48の前面481に突き当てられる。図4に示すようにブレードカバー前部46が弾性変形していない状態で,突き当てボルト76の先端部76cがブレードカバー後部48の前面481に突き当てられたとしても,突き当てボルト76の頭部76aとブレードカバー前部46の前面461とが所定間隔離隔するように,雄ねじ部76bの長さが調整されている。このため,図4の状態から,突き当てボルト76を締結方向に回転させて,さらに深くブレードカバー前部46に螺合させることが可能である。
Further, the
以上のような構成の押さえボルト74および突き当てボルト76を用いて,噴射口62の位置をY軸方向前後に移動させて調節できる。
Using the holding
具体的には,噴射口62の位置をY軸方向後方に移動させる場合には,突き当てボルト76を弛緩方向に回転させて,突き当てボルト76の雄ねじ部76bをブレードカバー前部46の雌ネジ孔464に対して浅く螺合させるとともに,押さえボルト74を締結方向に回転させて,押さえボルト74の雄ねじ部74bをブレードカバー後部48の雌ネジ孔482に対して深く螺合させる。これにより,押さえボルト74によってブレードカバー前部46がY軸方向後方に押圧されるため,ブレードカバー前部46がブレードカバー後部48に接近するようにY軸方向後方に弾性変形する。このとき,ブレードカバー前部46がブレードカバー後部48との間には,隙間72が存在するので,この隙間72の幅だけブレードカバー前部46はブレードカバー後部48側に弾性変形できる。このようにして,ブレードカバー前部46に設けられた外周ノズル60の噴射孔62を,ブレードカバー装置40背面側(Y軸方向後方)に移動させることができる。
Specifically, when the position of the
一方,噴射口62の位置をY軸方向前方に移動させる場合には,突き当てボルト76を締結方向に回転させて,突き当てボルト76の雄ねじ部76bをブレードカバー前部46の雌ネジ孔464に対して深く螺合させるとともに,押さえボルト74を弛緩方向に回転させて,押さえボルト74の雄ねじ部74bをブレードカバー後部48の雌ネジ孔482に対して浅く螺合させる。これにより,突き当てボルト76の先端部76cがブレードカバー後部48の前面481を押圧するため,ブレードカバー前部46がブレードカバー後部48から離隔するようにY軸方向前方に弾性変形する。これにより,ブレードカバー前部46に設けられた外周ノズル60の噴射孔62を,ブレードカバー装置40前面側(Y軸方向前方)に移動させることができる。
On the other hand, when the position of the
なお,微調整する場合には,押さえボルト74または突き当てボルト76のいずれか一方を回転させるだけでも,外周ノズル60の噴射孔62をY軸方向前方/後方にある程度移動させることは可能である。
In the case of fine adjustment, it is possible to move the
(第2の実施形態)
次に,本発明の第2の実施形態にかかるブレードカバー装置40について説明する。なお,第2の実施形態にかかるブレードカバー装置40は,上述した第1の実施形態にかかるブレードカバー装置40と比べて,噴射口位置調節手段70の構成が下記の点で相違するのみであり,その他の機能構成は上記第1の実施形態の場合と略同一であるので,詳細説明は省略する。
(Second Embodiment)
Next, a
以下に,図5及び図6に基づいて,第2の実施形態にかかるブレードカバー装置40について説明する。なお,図5は,第2の実施形態にかかるブレードカバー装置40を示す正面図(a)および右側面図(b)である。図6は,図5(a)のB−B線における部分拡大断面図である。
Below, based on FIG.5 and FIG.6, the
図5および図6に示すように,ブレードカバー装置40の固定基台部44は,外周ノズル60が内蔵化された正面側のブレードカバー前部46と,背面側のブレードカバー後部48とに垂直方向に完全に分断されており,このブレードカバー前部46とブレードカバー後部48と別部品として構成されている。このように完全に分断されたブレードカバー前部46とブレードカバー後部48とは,これらの間の上部に所定厚みのスペーサ79を介在させて,例えば2つの連結ボルト78によって連結固定されている。
As shown in FIGS. 5 and 6, the fixed
この連結ボルト78は,図6に示すように,ブレードカバー装置40の前面側(即ち,ブレードカバー前部46の前面461側)からY軸方向に挿入され,ブレードカバー前部46およびスペーサ79を貫通してブレードカバー後部48にまで至る。この連結ボルト78の雄ねじ部78bは,ブレードカバー前部46の雌ネジ孔466およびブレードカバー後部48の雌ネジ孔486と螺合し,連結ボルト78の頭部78aは,ブレードカバー前部46の前面461側を係止する。このようにして,連結ボルト78は,分断されたブレードカバー前部46とブレードカバー後部48とを連結固定する。
As shown in FIG. 6, the connecting
このようにして連結固定されたブレードカバー前部46とブレードカバー後部48との間には,連結ボルト78付近より上部側にスペーサ79が介在している,このため,かかるブレードカバー前部46とブレードカバー後部48との間の下部側には,上記スペーサ79のY軸方向幅分の隙間72が存在している。この隙間72が存在する箇所には,上述した押さえボルト74および突き当てボルト76が配設されている。かかる押さえボルト74および突き当てボルト76は,上記第1の実施形態と略同一の機能構成を有するので,詳細説明は省略する。
Between the blade cover
このように,第2の実施形態にかかる噴射口位置調節手段70では,第1の実施形態のように固定基台部44にスリット状の隙間72を形成して部分的にブレードカバー前部46とブレードカバー後部48とに分断するのではなく,固定基台部44をブレードカバー前部46とブレードカバー後部48とに完全に分断し,これらの間にスペーサ79を介在させて連結ボルト78で連結することで,ブレードカバー前部46の弾性変形に必要な隙間72を形成する構造である。
As described above, in the injection port position adjusting means 70 according to the second embodiment, the
このような構造であっても,上記第1の実施形態と同様に,押さえボルト74及び/又は突き当てボルト76を締結/弛緩させることにより,ブレードカバー前部45をY軸方向に弾性変形させて,外周ノズル60の噴射口62の位置をY軸方向に調節することができる。さらに,ブレードカバー前部46とブレードカバー後部48とを別部品に分離することで,隙間72が設けられた固定基台部44を比較的簡単に製造できるようになる。
Even in such a structure, the blade cover front portion 45 is elastically deformed in the Y-axis direction by fastening / relaxing the holding
以上,第1および第2の実施形態にかかる外周ノズル内蔵型のブレードカバー装置40が具備する噴射口位置調節手段70について説明した。かかる噴射口位置調節手段70を用いて,外周ノズル60の噴射口62の位置をY軸方向に微調整して,切削ブレード22の外周面に容易かつ正確に位置合わせすることができる。
The injection port position adjusting means 70 provided in the outer peripheral nozzle built-in type
具体的には,外周ノズル60の噴射口62をブレードカバー装置40の背面側(図4の右側)に移動させる場合には,六角レンチ等の一般的な工具を用いて,突き当てボルト76を弛緩させ,押さえボルト74を締結させる。これにより,外周ノズル60が内蔵化されたブレードカバー前部46をY軸方向後方弾性変形させて,外周ノズル60の噴射口62をY軸方向後方に移動させ,切削ブレード22の外周面に位置合わせできる。
Specifically, when the
一方,外周ノズル60の噴射口62をブレードカバー装置40の正面側(図4の左側)に移動させる場合には,上記一般的な工具を用いて,押さえボルト74を弛緩させ,突き当てボルト76を締結させる。これにより,ブレードカバー前部46をY軸方向前方に弾性変形させて,外周ノズル60の噴射口62をY軸方向前方に正面側に移動させ,切削ブレード22の外周面に位置合わせできる。
On the other hand, when the
従って,破損や消耗等が原因で切削ブレード22を交換した場合に,上記噴射口位置調節手段70によって,外周ノズル60の噴射口62の位置を切削ブレード22の外周位置に正確に合わせることができる。このため,外周ノズル60から切削液を適切な位置に供給して,切削ブレード22および加工点の冷却効果を向上させることができるので,被加工物におけるチッピングの発生を防止できる。
Therefore, when the
また,この位置調節の際に,オペレータは,ブレードカバー装置40の前面側からアクセスして噴射口位置調節手段70を操作(押さえボルト74および突き当てボルト76を締結/弛緩)できる。このため,オペレータは,特殊な工具を用いることなく,外周ノズル60の噴射口62の位置をY軸方向に容易かつ迅速に調節でき,作業の熟練度も必要としない。
In this position adjustment, the operator can operate from the front side of the
また,外周ノズル60がブレードカバー装置40に内蔵されているので,従来の外周ノズルユニットを後付けするオペレータの作業が不要になるとともに,ブレードカバー装置40の構造をシンプルにすることができる。
Further, since the outer
以上,添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが,本発明はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば,特許請求の範囲に記載された範疇内において,各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり,それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。 As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described referring an accompanying drawing, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to this example. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope of the claims, and these are naturally within the technical scope of the present invention. Understood.
例えば,上記実施形態では,切削装置としてダイシング装置10の例を挙げて説明したが,本発明はかかる例に限定されない。例えば,スピンドル25により高速回転する切削ブレード22を用いて被加工物を切削加工する装置であれば,例えば,ダイシング加工以外の切削加工を行う各種の切削装置であってもよい。
For example, in the above-described embodiment, the dicing
また,上記実施形態では,ブレードカバー装置40は,移動カバー部42と固定基台部44とから構成されていたが,本発明はかかる例に限定されず,移動カバー部42と固定基台部44とを一体化してもよいし,或いは,側面ノズル27を固定基台部44に設置して移動カバー部42を省略してもよい。
In the above embodiment, the
また,上記実施形態では,ブレードカバー装置40の固定基台部44の材質はプラスチック等の合成樹脂であったが,本発明はかかる例に限定されない。固定基台部44の材質は,外周ノズル60が形成されたブレードカバー前部46を,最大位置調節幅だけ弾性変形させることが可能な材質であれば,例えば,金属類など任意の材質であってよい。
Moreover, in the said embodiment, although the material of the fixed
また,上記実施形態にかかるブレードカバー装置40では,押さえボルト74および突き当てボルト76は,押さえボルト74がZ軸方向上部側に位置するように上下に隣接して配置されていたが,本発明は,かかる例に限定されない。例えば,押さえボルト74および突き当てボルト76を上下逆に配置してもよいし,或いは,水平方向または斜め方向に並べて配置してもよい。
Further, in the
また,上記実施形態では押さえボルト74および突き当てボルト76は,それぞれ1個ずつ設置されていたが,かかる例に限定されず,複数個設置してもよい。
In the above embodiment, one holding
また,上記実施形態では,押さえボルト74および突き当てボルト76の双方を締結/弛緩方向に回転させて,噴射口62の位置をY軸方向に調節したが,かかる例に限定されない。例えば,押さえボルト74または突き当てボルト76のいずれか一方を締結/弛緩方向に回転させることで,噴射口62の位置をある程度はY軸方向に移動させて微調節することも可能である。
In the above embodiment, both the holding
本発明は,切削装置における切削ブレードを覆うブレードカバー装置に適用可能である。 The present invention is applicable to a blade cover device that covers a cutting blade in a cutting device.
10 : ダイシング装置
20 : 切削ユニット
22 : 切削ブレード
25 : スピンドル
27 : 側面ノズル
40 : ブレードカバー装置
42 : 移動カバー部
44 : 固定基台部
46 : ブレードカバー前部
48 : ブレードカバー後部
60 : 外周ノズル
62 : 噴射口
70 : 噴射口位置調節手段
72 : 隙間
74 : 押さえボルト
76 : 突き当てボルト
78 : 連結ボルト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10: Dicing apparatus 20: Cutting unit 22: Cutting blade 25: Spindle 27: Side nozzle 40: Blade cover apparatus 42: Moving cover part 44: Fixed base part 46: Blade cover front part 48: Blade cover rear part 60: Outer peripheral nozzle 62: Injecting port 70: Injecting port position adjusting means 72: Clearance 74: Holding bolt 76: Abutting bolt 78: Connecting bolt
Claims (1)
前記ブレードカバー装置に内蔵化され,前記切削ブレードの外周面と対向配置され,前記切削ブレードに切削液を供給する外周ノズルと;
前記外周ノズルの噴射口の位置を前記スピンドルの軸方向に移動させる噴射口位置調節手段と;
を備え,
前記ブレードカバー装置の上部側は一体的に構成され,前記ブレードカバー装置の下部側は,前記スピンドルの軸方向に,前記外周ノズルが内蔵化されたブレードカバー前部と,前記ブレードカバー前部と所定の隙間を空けて配置されるブレードカバー後部とに分断されており,
前記噴射口位置調節手段は,
前記ブレードカバー装置の前面側から前記スピンドルの軸方向に前記ブレードカバー前部を貫通して,前記ブレードカバー後部と螺合する押さえボルトと;
前記ブレードカバー装置の前面側から前記スピンドルの軸方向に前記ブレードカバー前部に挿入されて前記ブレードカバー前部と螺合し,その先端部が前記ブレードカバー後部の前面に当接する突き当てボルトと;
を備え,
前記押さえボルト及び前記突き当てボルトを前記ブレードカバー装置の前面側から回転させることにより,前記外周ノズルの噴射口の位置を前記スピンドルの軸方向に移動させることを特徴とする,ブレードカバー装置。
A blade cover device that covers a cutting blade mounted on the tip of a spindle, comprising:
An outer peripheral nozzle that is built in the blade cover device, is disposed opposite to the outer peripheral surface of the cutting blade, and supplies cutting fluid to the cutting blade;
Injection port position adjusting means for moving the position of the injection port of the outer peripheral nozzle in the axial direction of the spindle;
With
The upper side of the blade cover device is integrally formed, and the lower side of the blade cover device is arranged in the axial direction of the spindle, a blade cover front portion in which the outer peripheral nozzle is built, and the blade cover front portion. It is divided into the blade cover rear part with a predetermined gap,
The injection port position adjusting means includes:
A holding bolt that penetrates the blade cover front portion from the front side of the blade cover device in the axial direction of the spindle and is screwed with the blade cover rear portion;
An abutting bolt that is inserted into the front part of the blade cover in the axial direction of the spindle from the front side of the blade cover device and is screwed with the front part of the blade cover, and a tip part of which abuts against the front surface of the rear part of the blade cover; ;
With
The blade cover device, wherein the position of the injection port of the outer peripheral nozzle is moved in the axial direction of the spindle by rotating the holding bolt and the abutting bolt from the front side of the blade cover device.
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