JP6700800B2 - Blade cover - Google Patents
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Description
本発明は、ブレードカバーに関する。 The present invention relates to a blade cover.
表面にICなどのデバイスが形成された半導体ウエーハや、複数のデバイスチップを樹脂封止したパッケージ基板などの被加工物は、例えば、回転する円環状の切削ブレードを備える切削装置(ダイシング装置)で切削されて、複数のチップへと分割される。この切削装置の切削ブレードを覆うブレードカバーは、被加工物や切削ブレードを冷却及び洗浄するための切削水を供給するノズルを有する。 A workpiece such as a semiconductor wafer having a device such as an IC formed on its surface or a package substrate in which a plurality of device chips are resin-sealed is, for example, a cutting device (dicing device) including a rotating annular cutting blade. It is cut and divided into multiple chips. The blade cover that covers the cutting blade of this cutting device has a nozzle that supplies cutting water for cooling and cleaning the workpiece and the cutting blade.
ところで、パッケージ基板を分割する際は、例えば、分割後のチップに相当する領域のみをチャックテーブルで吸引保持し、不要な端材等を切削と同時に除去することが効率的である。そこで、切削によって発生し飛散した端材等が接触することを防止可能とするため、切削水を供給するノズルを備えたブレードカバーが知られている(例えば、特許文献1参照)。 By the way, when the package substrate is divided, for example, it is effective to suction and hold only a region corresponding to the divided chips with a chuck table and remove unnecessary scraps and the like simultaneously with cutting. Therefore, there is known a blade cover provided with a nozzle that supplies cutting water in order to prevent contact of scraps and the like generated and caused by cutting (see, for example, Patent Document 1).
特許文献1に記載の技術は、切削ブレードの外周端面に、切削水噴出口と補助切削水噴出口とから切削水を噴射するので、切削水が大量に必要である。 In the technique described in Patent Document 1, cutting water is jetted from the cutting water jet port and the auxiliary cutting water jet port to the outer peripheral end surface of the cutting blade, so a large amount of cutting water is required.
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、少量の切削水で端材等を除去可能なブレードカバーを提供することにある。 The present invention has been made in view of the above, and an object thereof is to provide a blade cover capable of removing a scrap material and the like with a small amount of cutting water.
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のブレードカバーは、スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングの先端に配設され、該スピンドルにフランジを介して装着された切削ブレードを覆うブレードカバーであって、該切削ブレードに供給された切削水が該切削ブレードの回転によって、該切削ブレードと被加工物との接触部分から該切削水が主に飛散する側とは反対側に配設され、該切削ブレードの両側面と対面して切削水を噴射するノズルブロックを備え、該ノズルブロックは、該切削ブレードを装着する該フランジ及び該切削ブレードの両側面の形状に沿って隙間を持って形成された内壁と、該内壁に形成され該フランジの両側面に向けて切削水を噴射する複数の切削水噴射口と、該切削ブレードの径方向外側に該内壁に連通して該切削ブレードの外周形状に沿って形成された円環状の溝と、該溝と連通して該切削ブレードの回転方向下流側の端部に形成された該切削ブレードの両側面に向けてエアーを噴射する高圧エアー噴射口とを備え、該切削水噴射口から切削水が供給されると、該切削ブレードの回転に伴って該内壁との該隙間及び該溝に切削水が充満し、該スピンドルの回転による遠心力により該溝から高速で切削水が噴射されるとともに該高圧エアー噴射口から噴射された高圧エアーと混合されて2流体が噴射される。 In order to solve the above-mentioned problems and to achieve the object, a blade cover of the present invention is provided at a tip of a spindle housing that rotatably supports a spindle, and a cutting blade mounted on the spindle via a flange. A blade cover for covering, wherein the cutting water supplied to the cutting blade is rotated by the rotation of the cutting blade to the side opposite to the side where the cutting water mainly scatters from the contact portion between the cutting blade and the workpiece. The nozzle block is provided with a nozzle block that faces both side surfaces of the cutting blade and jets cutting water, and the nozzle block has a gap along the shape of the flange on which the cutting blade is mounted and both side surfaces of the cutting blade. An inner wall formed with, a plurality of cutting water injection ports formed on the inner wall for injecting cutting water toward both side surfaces of the flange, and communicating with the inner wall radially outside the cutting blade. An annular groove formed along the outer peripheral shape of the cutting blade, and air is jetted toward both side surfaces of the cutting blade formed at the end of the cutting blade in the rotation direction downstream side in communication with the groove. When the cutting water is supplied from the cutting water injection port, the cutting water fills the gap and the groove with the inner wall as the cutting blade rotates, The cutting water is jetted from the groove at high speed by the centrifugal force due to the rotation, and the two fluids are jetted by being mixed with the high pressure air jetted from the high pressure air jet port.
本願発明のブレードカバーによれば、少量の切削水で端材等を除去することができる。 According to the blade cover of the present invention, it is possible to remove the scraps and the like with a small amount of cutting water.
以下、本発明に係る実施形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。 Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the contents described in the embodiments below. Further, the constituent elements described below include those that can be easily conceived by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the configurations described below can be appropriately combined. In addition, various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the scope of the present invention.
図1は、実施形態に係るブレードカバーを備えた切削装置を示す斜視図である。図2は、実施形態に係るブレードカバーを示す斜視図である。図3は、実施形態に係るブレードカバーを示す正面図である。図4は、実施形態に係るブレードカバーを示す側面図である。図5は、実施形態に係るブレードカバーを示す斜視図である。図6は、実施形態に係るブレードカバーの内壁を示す正面図である。図7は、実施形態に係るブレードカバーの内壁を示す部分拡大正面図である。図8は、実施形態に係るブレードカバーを示す部分拡大断面図である。図9は、実施形態に係るブレードカバーの高圧エアー噴射口の他の例を示す部分拡大図である。 FIG. 1 is a perspective view showing a cutting device including a blade cover according to an embodiment. FIG. 2 is a perspective view showing the blade cover according to the embodiment. FIG. 3 is a front view showing the blade cover according to the embodiment. FIG. 4 is a side view showing the blade cover according to the embodiment. FIG. 5 is a perspective view showing the blade cover according to the embodiment. FIG. 6 is a front view showing the inner wall of the blade cover according to the embodiment. FIG. 7 is a partially enlarged front view showing the inner wall of the blade cover according to the embodiment. FIG. 8 is a partially enlarged cross-sectional view showing the blade cover according to the embodiment. FIG. 9 is a partially enlarged view showing another example of the high pressure air injection port of the blade cover according to the embodiment.
被加工物Wは、切削装置1により加工される板状の加工対象である。本実施形態では、被加工物Wは、矩形状のパッケージ基板とする。被加工物Wは、複数の分割予定ラインLによって区画された複数のデバイスDを有する。 The workpiece W is a plate-shaped processing target that is processed by the cutting device 1. In the present embodiment, the workpiece W is a rectangular package substrate. The workpiece W has a plurality of devices D partitioned by a plurality of planned dividing lines L.
図1を用いて、本実施形態に係るブレードカバーを備えた切削装置1を説明する。切削装置1は、切削ブレード22を有する切削手段20と被加工物Wを保持した保持部10とを相対移動させることで、被加工物Wを切削する。切削装置1は、被加工物Wを表面11aで吸引保持する保持部10と、切削手段20と、保持部10をX軸方向に移動させるX軸移動手段30と、切削手段20をX軸方向に直交するY軸方向に移動させるY軸移動手段40と、切削手段20をX軸方向及びY軸方向に直交するZ軸方向に移動させるZ軸移動手段50と、入力手段100と、制御手段90とを備えている。なお、切削装置1は、装置本体2上に門型の柱部3が設けられている。
A cutting device 1 including a blade cover according to this embodiment will be described with reference to FIG. 1. The cutting device 1 cuts the workpiece W by relatively moving the cutting means 20 having the
保持部10は、図1に示すように、表面11aを有した保持テーブル11と、回転テーブル19とを含んで構成されている。保持テーブル11は、表面11a上に被加工物Wを載置し、表面11aに設けられた図示しない吸引孔を通して吸引することで、負圧により被加工物Wを吸引保持する。吸引孔は、被加工物WのデバイスDと1対1で対応して設けられている。保持テーブル11の表面11aには、各分割予定ラインLに対応した切削手段20の切削ブレード22用の図示しない逃げ溝が形成されている。逃げ溝には、被加工物Wを各デバイスDに分割する際に、切削ブレード22が挿入する。回転テーブル19は、表面11aと直交するZ軸方向と平行な図示しない軸線回りに保持テーブル11を回転可能である。また、保持部10は、X軸移動手段30によりX軸方向に移動自在に設けられている。保持部10の動作は、制御手段90で制御する。
As shown in FIG. 1, the
切削手段20は、保持部10に保持された被加工物Wを切削ブレード22で切削する。切削手段20は、Y軸移動手段40、Z軸移動手段50などを介して柱部3に設けられている。切削手段20は、Y軸移動手段40によりY軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Z軸移動手段50によりZ軸方向に移動自在に設けられている。切削手段20の動作は、制御手段90で制御する。
The cutting means 20 cuts the workpiece W held by the
切削手段20は、中心軸線がY軸方向(割り出し方向に相当)と一致するスピンドル21と、スピンドル21の先端に装着された切削ブレード22とを有する。スピンドル21は、図示しないスピンドルハウジングに回転可能に支持され、スピンドルハウジングに収納されている図示しないブレード駆動源に連結されている。ブレード駆動源は、図示しない電源から供給される電力によりスピンドル21を中心軸線回りに回転させる。
The cutting means 20 has a
図2に示す切削ブレード22は、略リング形状を有する極薄の切削砥石であり、スピンドル21に着脱自在に装着される。切削ブレード22は、ブレード駆動源により発生した回転力により回転駆動する。本実施形態では、切削ブレード22の回転方向は、図2に示す回転方向Rである。本実施形態では、切削ブレード22は、円盤状のフランジ221の外周部分に、被加工物Wを切削するリング状の切り刃222が固定されている。切削ブレード22は、例えば、電鋳・電着ボンドをボンド剤とし、ダイヤモンド等の砥粒が固定されている。切削ブレード22は、切り刃のみで構成されたワッシャーブレードを使用してもよい。
The
図1に戻って、X軸移動手段30は、スピンドル21の中心軸線方向に対して垂直で、かつ、保持部10の表面11aに平行な方向にスピンドル21に対して保持部10を相対的に移動させる。
Returning to FIG. 1, the X-axis moving means 30 moves the holding
入力手段100は、制御手段90に接続され、加工動作の状態を表示する表示手段101に配置されている。表示手段101は、例えば、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ等の表示パネルなどで構成される。表示手段101は、制御手段90から入力される信号に応じて、文字、図形、画像等の情報を表示する。入力手段100は、オペレータがキー操作するものであり、表示手段101の表示面全面に設けられたタッチパネルなどで構成される。入力手段100は、受け付けた操作に応じた信号を制御手段90へ入力する。
The input means 100 is connected to the control means 90 and is arranged on the display means 101 for displaying the state of the machining operation. The display means 101 is composed of, for example, a display panel such as a liquid crystal display or an organic EL display. The
制御手段90は、切削装置1を構成する上述した構成要素をそれぞれ制御する。制御手段90は、被加工物Wに対する加工動作即ち切削動作を切削装置1に行わせる。なお、制御手段90は、例えばCPU等で構成された演算処理装置やROM、RAM等を備える図示しないマイクロプロセッサを主体として構成されている。制御手段90は、表示手段101や、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力手段100などと接続されている。
The
図2ないし図4に示すブレードカバー60は、切削ブレード22に切削水F1を供給する。ブレードカバー60は、切削手段20のスピンドル21を回転自在に支持するスピンドルハウジングの先端に配設され、スピンドル21にフランジ23を介して装着された切削ブレード22を覆う。ブレードカバー60は、切削手段20のスピンドルハウジングの前端部に固定され、切削ブレード22の外周を覆う。ブレードカバー60は、スピンドルハウジングの前端部に固定された支持部61と、支持部61に固定されたノズルブロック62とを有する。
The blade cover 60 shown in FIGS. 2 to 4 supplies the cutting water F1 to the
支持部61は、切削手段20のスピンドルハウジングの前端部に固定される。支持部61は、切削手段20のスピンドルハウジングの前端部に沿った板状のベース部611と、切削ブレード22の外周の一部を覆うカバー部612とを有する。ベース部611は、貫通孔613と、切削手段20のスピンドルハウジングの前端部に形成され、内周に雌ねじが形成された図示しない貫通孔とを重ね合わせた状態で雄ねじ614を挿通し切削手段20のスピンドルハウジングに固定されている。カバー部612は、ベース部611からY軸方向に突出している。カバー部612は、切削ブレード22の回転による切削水が飛散する方向に配設されている。カバー部612は、切削ブレード22の外周のうち、ノズルブロック62によって覆われない部分を覆って配置されている。
The
ノズルブロック62は、切削手段20の切削ブレード22の両側面と対面して切削水F1を噴射する。ノズルブロック62は、切削ブレード22の外周の一部を覆い、切削ブレード22の切り刃222の刃先222aに切削水F1及び高圧エアーF2を噴射する。ノズルブロック62は、支持部61を介してスピンドルハウジングに固定されている。ノズルブロック62は、切削ブレード22の回転方向Rへの回転によって切削水が主に飛散する側とは反対側に配置されている。より詳しくは、ノズルブロック62は、切削ブレード22の回転方向Rへの回転によって、切削水が被加工物Wとの接触部分から主に飛散する側(図3における左側)とは反対側(図3における右側)に配置されている。ノズルブロック62は、図4に図示するように、切削ブレード22を装着するフランジ23及び切削ブレード22の両側面の形状に沿って隙間を持って形成された内壁632を有する本体部63と、内壁632に形成され、切削ブレード22のフランジ221の両側面に向けて切削水F1を噴射する複数の切削水噴射口64と、切削ブレード22の径方向外側に内壁632に連通して切削ブレード22の外周形状に沿って形成された円環状の溝65と、溝65と連通して切削ブレード22の回転方向下流側の端部に形成された切削ブレード22の両側面に向けて高圧エアーF2を噴射する高圧エアー噴射口66と、切削水噴射口64から噴射する切削水F1が供給される切削水供給口67と、高圧エアー噴射口66から噴射する高圧エアーF2が供給される高圧エアー供給口68とを有する。
The
本体部63は、切削ブレード22の外周の一部を覆う。本体部63は、切削ブレード22を装着するフランジ23及び切削ブレード22の両側面を挟んで位置する、一対の壁部631を有する。一対の壁部631は、切削ブレード22を装着するフランジ23及び切削ブレード22の両側面の形状に沿って隙間を持つように、向かい合って配置されている。一対の壁部631は、壁部631に形成された貫通孔633同士を重ね合わせた状態で雄ねじ69を挿通し締結することで組み付けられる。内壁632は、一対の壁部631の内側の壁部である。被加工物Wの切削中、一対の壁部631と、切削ブレード22を装着するフランジ23及び切削ブレード22の両側面との隙間には、切削水F1が充満する。より詳しくは、切削ブレード22の回転方向Rへの回転に伴って、内壁632と切削ブレード22を装着するフランジ23及び切削ブレード22の両側面との隙間に切削水F1が充満する。
The
図5ないし図7に示す切削水噴射口64は、切削ブレード22のフランジ221に向かって切削水F1を供給することで、被加工物Wに向けて切削水F1を供給する切削水供給部である。切削水噴射口64は、内壁632に複数形成されている。本実施形態において、内壁632には、3つの切削水噴射口64がスピンドル21の中心軸線から等距離で、周方向に等間隔で配置されている。切削水噴射口64は、切削ブレード22のフランジ221に向けて開口している。切削水噴射口64は、切削ブレード22のフランジ221の上側と向かい合う位置に配置されている。切削水噴射口64は、切削ブレード22のフランジ221を挟んでY軸方向の両側に配設されている。これにより、切削水噴射口64は、切削ブレード22の両側方に切削水F1を供給する。切削水噴射口64は、円形状に形成されている。本実施形態において、切削水噴射口64は、例えば直径1.5〜2mmとする。切削水噴射口64は、壁部631内に形成された第一供給路641を介して、切削水供給口67と接続されている。切削水噴射口64は、切削水供給口67から供給された切削水F1を噴射する。
The cutting
図7、図8に示す溝65は、切削水噴射口64から噴射されて切削ブレード22のフランジ221に到達した切削水F1を、切削ブレード22の径方向外側において収集する。溝65は、内壁632の切削ブレード22の径方向外側に形成されている。溝65は、一対の壁部631を向かい合って配置した状態で、切削ブレード22の径方向外側において、一対の壁部631の間に隙間を形成する。溝65は、切削ブレード22の外周形状に沿って円弧状に形成されている。より詳しくは、溝65は、切削ブレード22の径より大径を有する円弧状に形成されている。溝65は、切削ブレード22の径方向外側に、スピンドル21の中心軸線方向に張り出した張り出し部651を有する。言い換えると、溝65は、切削ブレード22の径方向外側の端部において、深く形成されている。このような溝65は、各切削水噴射口64から噴射されてフランジ23に接触した切削水F1が流入可能な大きさ、形状に形成されている。被加工物Wの切削中、溝65には、切削ブレード22の回転方向Rへの回転に伴って、切削水F1が充満する。溝65に充満した切削水F1は、スピンドル21の回転による遠心力により溝65から高速で噴射される。
The
図2、図4に示す高圧エアー噴射口66は、被加工物Wの切削中に高圧エアーF2を切削ブレード22の切り刃222の刃先222a(図2参照)に向けて供給する。高圧エアー噴射口66は、壁部631内に形成された第二供給路661を介して、高圧エアー供給口68と接続されている。また、高圧エアー噴射口66の上流側に配置された第二供給路661は、溝65の下端と連通している。これらにより、高圧エアー噴射口66は、溝65から高速で噴射された切削水F1と、高圧エアー供給口68から供給された高圧エアーF2とが混合された、2流体を含んだ混合流体F3を噴射する。高圧エアー噴射口66は、混合流体F3を切り刃222の刃先222aに向けて切削ブレード22の両側面と平行に吹き付ける。高圧エアー噴射口66は、混合流体F3を切り刃222の刃先222aに吹き付けることで、切削屑を刃先222aから除去する。高圧エアー噴射口66は、切り刃222の刃先222aと対面する。高圧エアー噴射口66は、ノズルブロック62の下側に配置されている。高圧エアー噴射口66は、長方形状に形成されている。高圧エアー噴射口66のY軸方向の幅は、切削ブレード22の厚みよりも大きな幅に形成されている。本実施形態において、高圧エアー噴射口66は、例えばY軸方向の幅11mm、Z軸方向の幅1.2mmとする。本実施形態では、高圧エアー噴射口66のZ軸方向の幅が高圧エアー噴射口66のY軸方向の幅より小さくなるように扁平状に形成されている。
The high-pressure
なお、高圧エアー噴射口66は、図9に示すように、Y軸方向において切削ブレード22を挟む一対として形成されていてもよい。これにより、切削ブレード22の両側面に向けてより効果的にエアーを噴射することができる。
Note that the high-pressure
第二供給路661は、壁部631内に扁平状に形成され、高圧エアー噴射口66と高圧エアー供給口68とを連通する。第二供給路661は、溝65の下端と連通している。これにより、第二供給路661において、溝65から流入した切削水F1と、高圧エアー供給口68から供給された高圧エアーF2とが混合した混合流体F3となる。溝65から高速で噴射された切削水F1と、高圧エアー供給口68から供給された高圧エアーF2とが混合されて、2流体を含んだ混合流体F3となる。混合流体F3は、切削水F1と高圧エアーF2とが扁平状の第二供給路661において混合することで、切削水F1や高圧エアーF2より高速になる。
The
切削水供給口67は、ノズルブロック62の上側に配置されている。切削水供給口67は、図示しない切削水源から切削水F1が供給される。本実施形態では、加圧された例えば2.5L/min〜5L/min、好ましくは3L/minの切削水F1を使用している。
The cutting
高圧エアー供給口68は、ノズルブロック62の下側に配置されている。高圧エアー供給口68は、図示しないエアー供給源から高圧エアーF2が供給される。本実施形態では、加圧された例えば0.2MPa(ゲージ圧)〜0.6MPa(ゲージ圧)、好ましくは0.3MPa(ゲージ圧)の高圧エアーF2を使用している。
The high-pressure
次に、本実施形態に係る切削装置1の加工動作について説明する。 Next, the processing operation of the cutting device 1 according to the present embodiment will be described.
まず、オペレータが加工内容情報を制御手段90に登録して、切削手段20から離間した保持部10に被加工物Wを載置し、オペレータから加工動作の開始指示があった場合に、切削装置1が加工動作を開始する。加工動作において、制御手段90は、保持部10に載置された被加工物Wを吸引保持し、被加工物Wを吸引保持した保持部10を切削手段20の下方に移動させる。
First, the operator registers the processing content information in the control means 90, places the workpiece W on the holding
制御手段90は、アライメントを実行した後、加工内容情報に基づいて、切削ブレード22を回転させながら保持部10と切削ブレード22とを分割予定ラインLに沿って相対的に移動させて被加工物Wを切削する。制御手段90は、切削中は、切削水源を駆動状態とし、切削水F1を切削水噴射口64から切削ブレード22に供給する。また、制御手段90は、切削中は、エアー供給源を駆動状態とし、高圧エアーF2を高圧エアー噴射口66から切削ブレード22に供給する。
After performing the alignment, the
このようにして、切削中は、切削水F1が切削水噴射口64から切削ブレード22のフランジ221に噴射される。そして、切削水噴射口64から切削ブレード22のフランジ221に供給された切削水F1は、切削ブレード22の回転方向Rへの回転に伴って、内壁632との隙間及び溝65に充満する。そして、スピンドル21の回転による遠心力により溝65から高速で切削水F1が噴射される。そして、第二供給路661において、溝65から高速で噴射された切削水F1と高圧エアー供給口68から供給された高圧エアーF2とが混合されて2流体を含んだ混合流体F3となって、混合流体F3が高圧エアー噴射口66から噴射される。そして、混合流体F3は、高圧エアー噴射口66から、切削ブレード22の切り刃222の刃先222aに吹き付けられる。そして、混合流体F3は、図示しない排出口を通して切削装置1外に排出される。
In this way, the cutting water F1 is jetted from the cutting
制御手段90は、切削が終了したと判定すると、切削手段20をZ軸移動手段50により被加工物Wから離間させた後、X軸移動手段30により保持部10を切削手段20の下方から離間させる。制御手段90は、保持部10が切削手段20の下方から離間すると、保持部10の吸引保持を解除し、オペレータが保持部10上の切削加工済みの被加工物Wを取り除き、切削加工前の被加工物Wを保持部10に載置する。このような工程を繰返して、切削装置1は、被加工物Wを切削する。
When the
以上のように、本実施形態に係るブレードカバー60によれば、切削水F1が切削水噴射口64から切削ブレード22のフランジ221に噴射される。さらに、切削水噴射口64から切削ブレード22のフランジ221に供給された切削水F1は、切削ブレード22の回転方向Rへの回転に伴って、内壁632との隙間及び溝65に充満し、スピンドル21の回転による遠心力により溝65から高速で噴射される。第二供給路661において、溝65から高速で噴射された切削水F1と高圧エアー供給口68から供給された高圧エアーF2とは、混合されて混合流体F3となる。混合流体F3は、高圧エアー噴射口66から、切削ブレード22の切り刃222の刃先222aに吹き付けられる。このため、切削ブレード22の切り刃222の刃先222aには、切削水F1や高圧エアーF2より高速となった混合流体F3が吹き付けられる。つまり、混合流体F3は、少量の切削水F1でも切削時に生じた端材等を除去することができる。このように、ブレードカバー60は、切削水量を増加することなく、少量の切削水F1で端材等を除去することができる。
As described above, according to the
ブレードカバー60には切削ブレード22の外周形状に沿って溝65が形成されているので、切削水噴射口64から噴射されてフランジ23に接触した切削水F1は、溝65に流入する。これにより、溝65に流入した切削水F1は、高圧エアー供給口68から供給された高圧エアーF2とともに、端材等を吹き飛ばす混合流体F3として再利用することができる。このように、ブレードカバー60は、切削水F1を再利用することで、省水効果を得ることができる。
Since the
しかも、ブレードカバー60は、高圧エアー噴射口66のZ軸方向の幅が高圧エアー噴射口66のY軸方向の幅より小さくなるように扁平状に形成されているので、切削屑が発生する、切削ブレード22と被加工物Wとの接触部分(切削部分)に対して、より広い面積に、混合流体F3を吹き付けることができる。これにより、ブレードカバー60は、少量の切削水F1で端材等を除去することができる。
Moreover, since the
ブレードカバー60は、混合流体F3を、高圧エアー噴射口66から、切削ブレード22の切り刃222の刃先222a付近に吹き付けるので、少量の切削水F1で切削ブレード22と被加工物Wとを洗浄することができる。
The blade cover 60 sprays the mixed fluid F3 from the high-pressure
ブレードカバー60は、切削ブレード22を、切削ブレード22と内壁632との隙間及び溝65に充満し、溝65内を高速で流れる切削水F1によって覆われた状態とすることで、高い洗浄力を得ることができる。これにより、ブレードカバー60は、少量の切削水F1で切削ブレード22を洗浄することができる。
The
ブレードカバー60は、切削ブレード22を、切削ブレード22と内壁632との隙間及び溝65に充満した切削水F1によって覆われた状態とすることで、冷却することができる。このように、切削ブレード22は、その外周の一部が切削水F1で覆われた状態となるので、例えば冷却水をノズルなどから切削ブレード22に噴射する場合に比べて、より高い冷却効果を得ることができる。
The
このように、ブレードカバー60は、1系統の切削水源から供給された切削水F1を、切削ブレード22の冷却と、端材等の除去と、切削ブレード22と被加工物Wとの洗浄とに使用する。このように、ブレードカバー60は、例えば切削水F1を切削ブレード22の冷却と、端材等の除去と、切削ブレード22と被加工物Wとの洗浄とに、別々に供給する構成に比べ、切削水F1の使用量を抑制することができる。
As described above, the
さらに、ブレードカバー60は、上記のように混合流体F3によって端材等を除去することができるので、端材等との接触による、ブレードカバー60自身の損傷、変形、位置ずれ等の不具合の発生を抑制することができる。このように、ブレードカバー60は、飛散した端材等の接触に伴う不具合の発生を抑制可能である。
Further, since the
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、上記実施の形態では、矩形状のパッケージ基板等を切削する切削装置1にブレードカバー60を適用しているが、一般的な半導体ウエーハ等を切削する切削装置にブレードカバー60を適用してもよい。
The present invention is not limited to the above embodiment. That is, various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. For example, in the above embodiment, the
1 切削装置
10 保持部
20 切削手段
21 スピンドル
22 切削ブレード
221 フランジ
222 切り刃
222a 刃先
23 フランジ
60 ブレードカバー
61 支持部
62 ノズルブロック
63 本体部
632 内壁
64 切削水噴射口
65 溝
66 高圧エアー噴射口
67 切削水供給口
68 高圧エアー供給口
F1 切削水
F2 高圧エアー
F3 混合流体
R 回転方向
W 被加工物
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (1)
該切削ブレードに供給された切削水が該切削ブレードの回転によって、該切削ブレードと被加工物との接触部分から該切削水が主に飛散する側とは反対側に配設され、該切削ブレードの両側面と対面して切削水を噴射するノズルブロックを備え、
該ノズルブロックは、該切削ブレードを装着する該フランジ及び該切削ブレードの両側面の形状に沿って隙間を持って形成された内壁と、該内壁に形成され該フランジの両側面に向けて切削水を噴射する複数の切削水噴射口と、該切削ブレードの径方向外側に該内壁に連通して該切削ブレードの外周形状に沿って形成された円環状の溝と、該溝と連通して該切削ブレードの回転方向下流側の端部に形成された該切削ブレードの両側面に向けてエアーを噴射する高圧エアー噴射口とを備え、
該切削水噴射口から切削水が供給されると、該切削ブレードの回転に伴って該内壁との該隙間及び該溝に切削水が充満し、該スピンドルの回転による遠心力により該溝から高速で切削水が噴射されるとともに該高圧エアー噴射口から噴射された高圧エアーと混合されて2流体が噴射されるブレードカバー。 A blade cover disposed at the tip of a spindle housing that rotatably supports a spindle and covering a cutting blade mounted on the spindle via a flange,
The cutting water supplied to the cutting blade is disposed on the side opposite to the side where the cutting water mainly scatters from the contact portion between the cutting blade and the workpiece by the rotation of the cutting blade. Equipped with a nozzle block that sprays cutting water facing both sides of the
The nozzle block includes an inner wall formed with a gap along the shape of the flange on which the cutting blade is mounted and the both side surfaces of the cutting blade, and cutting water directed to both side surfaces of the flange formed on the inner wall. A plurality of cutting water jetting ports, an annular groove formed along the outer peripheral shape of the cutting blade in communication with the inner wall on the outer side in the radial direction of the cutting blade, and in communication with the groove. A high-pressure air injection port for injecting air toward both side surfaces of the cutting blade, which is formed at the downstream end of the cutting blade in the rotational direction,
When cutting water is supplied from the cutting water jet port, the clearance between the inner wall and the groove is filled with the cutting water as the cutting blade rotates, and the centrifugal force generated by the rotation of the spindle causes the cutting water to flow at high speed. A blade cover in which the cutting fluid is jetted in and the two fluids are jetted by being mixed with the high pressure air jetted from the high pressure air jet port.
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