KR20150082519A - 챔버를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템, 및 진공 펌프 시스템을 제어하기 위한 방법 - Google Patents

챔버를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템, 및 진공 펌프 시스템을 제어하기 위한 방법 Download PDF

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욀리콘 라이볼트 바쿰 게엠베하
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Abstract

챔버(10)를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템은 상기 챔버(10)와 연결된 메인 펌프 시스템(12, 14)을 포함한다. 보조 펌프 시스템(20)은 상기 메인 펌프 시스템(12, 14)과 연결되고, 상기 보조 펌프 시스템(10)은 이젝터 펌프를 포함한다. 그런 보조 펌프를 제공함으로써, 특히 진공 펌프 시스템이 한도 압력 범위 내에서 동작될 때 효율성 증가를 달성하는 것이 가능하다. 본 발명의 방법을 사용하여, 메인 펌프 시스템(12, 14)의 적어도 하나의 펌프의 회전 속도는 메인 펌프 시스템(12, 14)의 출구(16) 또는 입구(50)에서 측정된 압력에 좌우되어 제어된다.

Description

챔버를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템, 및 진공 펌프 시스템을 제어하기 위한 방법{VACUUM PUMP SYSTEM FOR EVACUATING A CHAMBER, AND METHOD FOR CONTROLLING A VACUUM PUMP SYSTEM}
본 발명은 챔버를 진공 배기시키거나 특히 10 mbar 미만의 미리 결정된 진공에서 챔버를 유지할 뿐 아니라, 그런 진공 펌프 시스템을 제어하기 위한 방법에 관한 것이다.
진공 펌프 시스템들은 복수의 진공 펌프들을 포함한다. 이런 맥락에서, 보조 펌프 시스템에 의해 지원되는 하나 또는 복수의 진공 펌프들을 가진 메인 펌프 시스템을 제공하는 것은 알려져 있다. 통상적으로, 보조 펌프 시스템은 전달 방향에서 보아 메인 펌프 시스템의 다운스트림에 배열되거나, 메인 펌프 시스템의 출구와 연결된다. 보조 펌프 시스템은 대기압에 대해 가스를 펌핑하고 메인 펌프 시스템이 대기압에 대해 펌핑할 필요가 없도록 메인 펌프 시스템의 출구 구역 내 압력을 감소시킨다. 이에 의해 진공될 챔버 또는 수용부(recipient) 내 매우 작은 한도 압력들을 실현하는 것은 가능하다. 그런 진공 펌프 시스템들은 예를 들어 WO 03/023229, US 5,709,537 또는 WO 03/093678에 설명된다.
본 발명의 목적은 챔버를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템의 에너지 효율성을 증가시키는 것이다.
목적은 청구항 제 1 항에 정의된 바와 같은 진공 펌프 시스템 및 청구항 제 8 항에 정의된 바와 같은 진공 펌프 시스템을 제어하기 위한 방법으로 달성된다.
챔버 또는 수용부를 진공 배기시키기 위한 본 진공 펌프 시스템은 특히 챔버와 직접 연결되는 메인 펌프 시스템을 포함한다. 메인 펌프 시스템은 하나, 특히 복수의 진공 펌프들을 포함할 수 있다. 바람직하게, 메인 펌프 시스템에 제공된 진공 펌프들은 나사-타입 진공 펌프들 또는 루츠 펌프(Roots pump)들이다. 특히, 높은 내부 압축을 가진 펌프들은 메인 펌프 시스템에 사용된다. 내부 압축은 진공으로 압축 전 펌프 입구에서의 볼륨 대 압축 후 펌프 출구에서의 볼륨의 비율을 설명한다. 예를 들어 1:10의 보다 높은 내부 압축 비율들은 큰 가스 볼륨들을 펌핑하는 것을 가능하게 한다. 진공의 시작시, 단시간에 큰 볼륨을 펌핑하는 그런 펌프들은 매우 유용하다. 챔버 내 한도 압력에 도달할 때, 그런 큰-볼륨 펌프들의 동작은 진공을 유지하거나 낮은 한도 압력을 유지하기 위하여 챔버 내 낮은 압력을 유지하도록 큰 에너지 소비로 계속되어야 한다. 메인 펌프 시스템이 특히 한도 압력 범위 내에서, 단지 작은 가스 볼륨들만을 펌핑하여야 하기 때문에, 보조 펌프 시스템은 메인 펌프 시스템의 출구와 연결된 메인 펌프 시스템의 다운스트림에 제공된다.
본 발명에 따라, 보조 펌프 시스템은 이젝터 펌프(ejector pump)를 포함한다. 특히 진공 시스템이 한도 압력 범위 내에서 동작될 때, 이젝터 펌프들은 그들이 낮은 에너지 소비를 갖고 작은 가스 볼륨들을 펌핑하기 보다 남아있게 펌핑하는 것을 가능하게 하는 장점을 가진다. 본 발명에 따라, 이것은 보조 펌프 시스템에 이젝트 펌프를 제공함으로써, 한도 압력 범위 내로 메인 펌프 시스템 중 적어도 하나의 펌프의 회전 속도를 감소시키는 것이 가능하다는 필연적 장점을 제공한다. 따라서, 이 메인 펌프 시스템의 펌프의 에너지 소비는 크게 감소한다. 보조 펌프 시스템에 이젝터 펌프를 제공함으로써, 따라서 에너지 효율성은 크게 증가될 수 있다.
이젝터 펌프는 액체 또는 가스 이젝터 펌프일 수 있다. 응용 분야에 따라, 가스들이 펌핑될 때 가스 이젝터 펌프를 제공하는 것이 바람직할 수 있지만, 액체 이젝터 펌프는 액체가 펌핑된 가스로부터 간단한 방식으로 분리될 수 있는 장점을 가진다.
본 발명의 진공 펌프 시스템을 사용하여, 고효율 펌핑 속도로 낮은 입구 압력들을 달성 및 유지하는 것은 가능하다. 챔버의 진공 배기 후, 즉 챔버가 예를 들어 대기압으로부터 특히 10 mbar 미만의 낮은 압력으로 진공된 후 연장된 프로세스 시간 동안 낮은 압력을 유지하기 위하여 진공 펌프 시스템을 사용하는 것은 특히 바람직하다.
진공 펌프 시스템의 특히 바람직한 실시예에서, 밸브 수단은 이젝터 펌프와 병렬로 제공된다. 여기서, 밸브 수단은 예를 들어 스프링-로딩되는 스위칭 가능 밸브 또는 리턴 밸브(return valve)를 포함할 수 있다. 그런 밸브 수단을 제공하는 것은 가스의 큰 볼륨들이 펌핑되는, 특히 진공의 시작시, 메인 펌프 시스템이 대기압에 대해 매체가 즉각 전달되게 펌핑한다는 점에서 유리하다. 이것은 특히 진공의 시작시 가능한데, 그 이유는 압력 차가 여전히 비교적 낮기 때문이다. 밸브 수단을 통한 펌핑은, 제한된 전달 레이트 때문에 이젝터 펌프에 의해 펌핑될 수 없는 가스의 볼륨들이 펌핑될 수 있다는 점에서 유리하다.
특히 메인 펌프 시스템의 출구 구역에 압력 센서를 배열하는 것이 추가로 바람직하다. 따라서, 예를 들어, 특히 의도된 한도 압력에 근접한 압력 제한에 도달할 때, 메인 펌프 시스템 중 적어도 하나의 펌프의 회전 속도를 감소시키는 것이 가능하다. 특히 오히려 낮은 압력이 이미 메인 펌프 시스템의 출구 구역 내에서 우세할 때, 펌핑될 가스의 볼륨은 비교적 작다. 결과적으로, 특히 가스의 이런 볼륨이 간단한 방식으로 이젝터 펌프에 의해 펌핑될 수 있기 때문에, 가스의 볼륨은 낮은 회전 속도들에서도 메인 펌프 시스템 중 적어도 하나의 펌프에 의해 펌핑될 수 있다. 메인 펌프 시스템 중 적어도 하나의 펌프의 회전 속도의 이제 가능한 감소는 에너지의 상당한 절약을 유도한다. 이런 맥락에서 어떠한 펌핑된 매체의 리턴 흐름도 낮은 회전 속도들에서도 발생하지 않는 것이 유리하다.
이젝터 펌프를 제공함으로써, 압력이 메인 펌프 시스템의 출구 구역에서 감소되는 것은 본 진공 펌프 시스템의 필수적 장점이다. 이것은 메인 펌프 시스템 중 적어도 하나의 펌프의 입구와 출구 사이의 차동 압력의 감소를 초래하고, 이에 의해 펌프의 밀봉성이 개선된다. 특히 대응하는 펌프의 밀봉 갭의 밀봉성은 이에 의해 개선된다.
다른 바람직한 실시예에서 차동 압력 게이지는 보조 펌프 시스템과 밸브 수단 사이의 차동 압력을 측정하기 위하여 제공된다. 따라서, 차동 압력이 미리 결정된 값 아래에 속할 때 완전히 또는 부분적으로 보조 펌프 시스템을 스위칭 오프하는 것이 가능하다. 이것은 특히 진공의 시작시 유리한데, 그 이유는 보조 펌프 시스템이 이때 아직 필요하지 않고 전체 시스템의 에너지 소비가 보조 펌프 시스템을 스위칭 오프함으로써 감소될 수 있기 때문이다. 본 발명에 따라 따라서 특정 차동 압력을 초과할 때만 보조 펌프 시스템을 스위칭 온 하는 것이 바람직하므로, 에너지 효율성은 추가로 개선될 수 있다.
메인 펌프 시스템의 출구 구역에 압력 센서를 제공하는 대신, 메인 펌프 시스템의 입구 부분에 압력 센서를 제공하는 것은 또한 가능하다. 이것은 이젝터 펌프와 병렬로 제공된 스위칭 가능 밸브와 결합시 특히 유리하다. 밸브의 개방 상태에서, 메인 펌프 시스템의 출구 구역 압력은, 이 구역 내 압력 측정치가 단지 작은 유익한 값만을 가지도록 감소한다. 이와 같이, 스위칭 가능 밸브가 제공되면, 메인 펌프 시스템의 펌프들 중 하나의 입구 구역 또는 메인 펌프 시스템의 입구 구역 내 압력에 좌우되어 밸브의 스위칭을 제어하는 것이 바람직하다.
추가로 바람직한 실시예에서, 제어 수단은 제공되고 바람직하게 이는 메인 펌프 시스템과 보조 펌프 시스템의 모든 펌프들이 제어되게 하는 공통 중앙 제어 수단이다. 게다가, 이 제어 수단은 만약 하나가 제공되면, 스위칭 가능 밸브를 제어하기 위하여 사용된다. 특히, 제어 수단은 적어도 하나의 압력 센서에 의해 측정된 압력에 좌우되어 메인 펌프 시스템 중 적어도 하나의 펌프의 회전 속도를 제어한다.
본 발명은 추가로 챔버를 진공 배기시키기 위한 펌프 시스템을 제어하기 위한 방법에 관한 것이다. 그런 펌프 시스템은 챔버와 연결된 메인 펌프 시스템을 포함한다. 메인 펌프 시스템의 출구는 보조 펌프 시스템과 연결된다.
상기 설명된 바와 같이, 진공 펌프 시스템은 바람직하게 유리한 방식으로 구현되지만; 본 발명에 따른 방법의 구현은 보조 펌프 시스템에 이젝터 펌프를 요구하지 않는다.
본 발명의 방법에 따라, 압력은 메인 펌프 시스템의 출구 및/또는 입구 구역에서 결정된다. 측정된 압력 대신, 메인 펌프 시스템의 적어도 하나의 펌프의 회전 속도가 제어된다. 이들 방법 단계들의 수행을 가능하게 하기 위하여, 펌프 시스템이 출구 구역 및/또는 입구 구역 내에 압력 센서를 가지는 것이 바람직하다. 특히, 본 방법은 진공 펌프 시스템이 한도 압력 범위 내에서 동작될 때 에너지 효율성 증가를 가능하게 한다. 한도 압력 범위 내에서 메인 펌프 시스템 중 적어도 하나의 펌프의 회전 속도가 감소될 수 있도록 단지 매우 작은 가스 볼륨들만이 펌핑되어야 한다. 펌핑될 가스는 특히 또한 보조 펌프에 의해 펌핑되고, 보조 펌프의 에너지 소비는 메인 펌프 시스템의 에너지 소비보다 상당히 낮다.
바람직하게, 압력이 미리 결정된 제한 값 아래에 속할 때 메인 펌프 시스템 중 적어도 하나의 펌프의 회전 속도가 감소된다. 압력이 추가로 낮추어질 때 회전 속도가 다시 감소되는 추가로, 보다 낮은 압력 제한 값을 정의하는 것은 추가로 가능하다. 특히, 메인 펌프 시스템 중 적어도 하나의 펌프의 회전 속도의 변화가 또한 무단계 방식으로 수행될 수 있다.
예를 들어, 압력의 변동들 및/또는 압력 센서의 부정확성들을 보상하기 위하여, 회전 속도가 미리 결정된 시간 기간 후에만 낮추어지는 것이 바람직하다.
본 방법의 바람직한 실시예에서, 보조 펌프 시스템과, 보조 펌프 시스템과 병렬로 배열된 밸브 수단 사이의 압력 차는 결정된다. 압력 차에 좌우되어, 보조 펌프 시스템의 적어도 하나의 펌프는 스위칭 온 및 오프된다. 특히 압력 차가 제한 값 아래에 속할 때, 보조 펌프 시스템은 스위칭 오프된다. 이것은 보조 펌프 시스템이 메인 펌프 시스템을 지원하지 않거나, 단지 작은 정도만 지원하는 범위이고, 그러므로 보조 펌프 시스템에 의한 전력 소비는 보조 펌프 시스템을 스위칭 오프함으로써 절약될 수 있다.
특히 본 발명에 따라 제어되는 보조 펌프 시스템의 제공으로 인해, 본 방법의 다른 바람직한 실시예에서 냉각 수 흐름을 제어하는 것은 가능하다. 이것은 보조 펌프 시스템의 제공으로부터 발생하는 메인 펌프 시스템의 출구 구역 내 압력의 감소가 메인 펌프 시스템의 압축 성능의 감소를 가능하게 한다는 사실로 인한 것이다. 이것은 기계적 마찰의 감소 및 따라서 생성된 열 량의 감소를 유도한다. 이에 의해 냉각 액 같은 냉각제의 상당히 더 적은 가열을 달성하는 것은 가능하다. 결과적으로, 진공 펌프 시스템에 의해 가열된 냉각 액은 바람직하게, 냉각 시스템으로 리턴되기 전에 덜 냉각되어야 한다. 이것은 이미 에너지의 절약을 유도한다. 게다가, 냉각 유체는 예를 들어 보다 낮은 속도로 냉각 시스템을 통해 펌핑될 수 있는데, 그 이유는 낮은 열 생성으로 인해, 충분한 열은 여전히 냉각 액에 의해 방출되기 때문이다. 이것은 또한 에너지의 상당한 절약을 유도한다.
본 발명은 아래에서 바람직한 실시예들 및 첨부 도면들을 참조하여 보다 상세히 설명될 것이다.
도 1은 진공 펌프 시스템의 제 1 실시예의 개략도이다.
도 2는 진공 펌프 시스템의 가능한 제어의 흐름도를 도시한다.
도 3은 진공 펌프 시스템의 제 2 실시예의 개략도이다.
도 4는 진공 펌프 시스템의 제 3 실시예의 개략도이다.
도 1에 예시된 실시예에서, 챔버 또는 수용부(10)는 먼저 루츠 펌프(12)와 그 다음 나사-타입 펌프(14)와 직렬로 연결된다. 이 경우, 두 개의 펌프들은 메인 펌프 시스템을 형성한다. 실시예에서 예시된 보조 펌프(20)는 가스 이젝터 펌프이고, 나사-타입 펌프(14)의 출구(16) 또는 도관(18)을 통해 메인 펌프 시스템과 연결된다. 예시된 실시예에서, 체크 밸브(check valve)(22) 형태의 밸브 수단은 보조 펌프(20)와 병렬로 제공된다. 이젝터 펌프(20)의 출구와 연결될뿐 아니라, 체크 밸브(22)의 도관들(24, 26)은 예를 들어 대기에 연결된 하나의 도관(28)에 결합된다. 물론, 이젝터 가스 등을 복구하기 위한 수단은 또한 제공될 수 있다.
압력 센서(30)는 메인 펌프 시스템의 출구(16)의 구역에 제공된다. 압력 센서(30)는 제어 수단(32)과 연결된다. 특히 주파수 컨버터들인 두 개의 제어 수단(32)은 두 개의 펌프들(12, 14)을 제어하기 위하여, 특히 이들 두 개의 펌프들의 회전 속도를 제어하기 위하여 서빙한다.
도 1에 예시된 실시예에서, 메인 펌프 시스템의 두 개의 펌프들(12, 14) 중 적어도 하나의 회전 속도는 본 발명에 따른 방법의 구현을 위하여 제어된다. 이것은 압력 센서(30)에 의해 출구 구역(16)에서 측정된 압력에 좌우되어 수행된다. 이에 의해 특히 챔버(10) 내 한도 압력 또는 한도 압력 근처의 압력에 도달될 때, 두 개의 펌프들(12, 14) 중 적어도 하나의 회전 속도를 감소시키는 것은 가능하다. 이것은 이런 동작 상태에서 가능한데, 그 이유는 가스의 단지 작은 볼륨들만이 챔버(10)로부터 펌핑되기 때문이다. 그런 작은 가스 볼륨은 이젝터 펌프(20)에 의해 펌핑될 수 있다. 만약 압력 센서(30)에 의해 측정된 압력이 제한 값을 다시 초과하면, 이것은 펌핑될 가스의 볼륨이 증가되었고 이젝터 펌프(20)에 의해 완전히 전달될 수 없다는 사실로 인한 것이다. 본 발명의 제어에서, 이것은 특히 메인 펌프 시스템의 양쪽 펌프들(12, 14) 중 적어도 하나의 회전 속도가 다시 증가되게 한다.
그런 제어는 도 2에 개략적으로 예시된다. 여기서, "펙스(pex)"는 메인 펌프 시스템의 출구(16)에서 압력 센서(30)에 의해 측정된 압력을 지칭한다. 단계(34)에서, 이 압력이 <800 mbar인지 결정된다. 이것이 상기 경우가 아닌 한, 압력은 예를 들어 다시 정규적 간격들에서 결정된다. 출구(16)에서 압력("pex")이 800 mbar 아래에 속하자마자, 타이머(36)는 예를 들어 우선 60 s로 설정된다. 단계(38)에서, 60 s의 시간 기간이 경과되었는지 체크된다. 그 후에만, 출구(16)의 압력은 단계(40)에서 다시 체크된다. 타이머를 제공함으로써, 펌프의 회전 속도의 변화가 이미 약간의 압력 변동들에서 이루어지지 않음이 보장될 수 있다. 출구(16)에서의 압력이 여전히 <800 mbar이면, 특히 양쪽 펌프들(12, 14)의 회전 속도는 단계(42)에서 주파수 컨버터들(32)에 의해 감소된다. 출구에서의 압력이 다시 800 mbar 위로 증가되면, 전체 질의 루프는 단계(34)로부터 재시작된다. 단계(44)에서, 출구(16)에서의 압력은 다시 결정된다. 만약 예를 들어 900 mbar의 상한을 초과하면, 펌프들(12, 14)의 회전 속도는 단계(46)에서 다시 증가된다. 압력이 900 mbar 아래에 있는 한, 펌프들(12, 14)의 회전 속도는 감소된 채로 있는다. 회전 속도가 단계(46)에서 증가된 후, 압력은 단계(34)에서 제공된 바와 같이 다시 체크된다.
대안적인, 본 발명에 따른 디바이스뿐 아니라 본 발명의 대응하는 방법의 추가의 바람직한 실시예들을 예시하는 도 3 및 도 4에서, 유사한 및/또는 동일한 컴포넌트들은 동일한 참조 번호들에 의해 식별된다.
도 3에 예시된 실시예에서, 차동 압력 게이지(48)는 도 1에 도시된 실시예에서 제공된 컴포넌트들에 부가하여 제공된다. 차동 압력 게이지를 사용하여, 보조 펌프(20)와 체크 밸브(22) 사이의 차동 압력은 측정된다. 차동 압력이 미리 결정된 제한 값을 초과할 때, 이젝터 펌프(20)는 스위칭 오프된다. 큰 가스 볼륨들이 챔버(10)로부터 펌핑될 때 특히 프로세스의 시작에서 차동 압력들은 매우 우세하다. 그런 큰 가스 볼륨들은 이젝터 펌프(20)에 의해 펌핑될 수 없지만 체크 밸브(22)를 통해 직접 전달될 수 있다. 이것은, 메인 펌프 시스템에 대한 압력 차가 여전히 비교적 작기 때문에 가능하다. 동작의 시작시, 메인 펌프 시스템의 펌프(14)는 대기에 대해 여전히 펌핑할 수 있다. 체크 밸브(22)와 이젝터 펌프(20) 사이의 차동 압력이 대략 낮을 때에만, 이젝터 펌프(20)는 활성화되는데, 그 이유는 그 순간에 적어도 전달된 가스의 대부분이 이젝터 펌프(20)에 의해 펌핑되기 때문이다.
도 4에 예시된 추가 실시예에서, 메인 펌프 시스템의 입구(50)와 연결된 압력 센서(52)는 출구(16)와 연결된 압력 센서(20) 대신 제공된다. 추가로, 체크 밸브(22) 대신, 스위칭 가능 밸브(54)가 제공된다. 스위칭 가능 밸브(54)의 제공으로 인해, 체크 밸브와 상이한 스위칭 가능 밸브가 카운터 압력을 생성하지 않기 때문에, 출구(16)의 구역에서 압력을 통한 제어를 수행하는 것은 더 이상 가능하지 않다. 도 4에 예시된 실시예에서, 제어는 압력 센서(52) 및 스위칭 가능 밸브(54) 둘 다와 연결된 중간 제어 디바이스(56)를 통해 수행된다. 게다가, 제어 디바이스(56)는, 동작 조건들에 좌우되어 이젝터 펌프(20)를 스위칭 온 또는 오프하기 위하여, 이젝터 펌프(20)와 연결된다. 게다가, 제어 디바이스(56)는 주파수 컨버터들(32)을 통해 두 개의 펌프들(12, 14)의 회전 펌프 속도를 제어하기 위하여 사용된다.

Claims (12)

  1. 챔버(10)를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템으로서,
    상기 챔버(10)와 연결된 메인 펌프 시스템(12, 14), 및 상기 메인 펌프 시스템(12, 14)의 출구(16)와 연결된 보조 펌프 시스템(20)을 포함하고,
    상기 보조 펌프 시스템(20)은 이젝터 펌프(ejector pump), 특히 가스 이젝터 펌프를 포함하는,
    챔버(10)를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    밸브 수단(22), 특히 체크 밸브(check valve)는 상기 보조 펌프 시스템(20)과 병렬로 연결되는,
    챔버(10)를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    압력 센서(30)는 상기 메인 펌프 시스템(12, 14)의 상기 출구 구역(16) 내 압력을 결정하는,
    챔버(10)를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    차동 압력 게이지(48)는 상기 보조 펌프 시스템(20)과 상기 밸브 수단(22) 사이의 차동 압력을 측정하는,
    챔버(10)를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    압력 센서(52)는 입구 구역(50) 내 압력을 결정하는,
    챔버(10)를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 메인 펌프 시스템(12, 14)은 나사-타입 펌프(14) 및/또는 루츠 펌프(Roots pump)(12)를 포함하는,
    챔버(10)를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    적어도 하나의 압력 센서(22, 52)에 의해 측정된 압력에 좌우되어 상기 메인 펌프 시스템의 적어도 하나의 펌프(12, 14)의 회전 속도를 제어하기 위한 제어 수단(56)을 특징으로 하는,
    챔버(10)를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템.
  8. 챔버(10)를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템을 제어하기 위한 방법으로서,
    상기 진공 펌프 시스템은, 상기 챔버(10)와 연결된 메인 펌프 시스템(12, 14), 및 상기 메인 펌프 시스템(12, 14)의 출구(16)와 연결된 보조 펌프 시스템(20)을 포함하고,
    상기 메인 펌프 시스템(12, 14)의 출구 구역(16) 및/또는 입구 구역(50) 내 압력을 결정하는 단계, 및
    측정된 압력에 좌우되어 상기 메인 펌프 시스템의 적어도 하나의 펌프(12, 14)의 회전 속도를 제어하는 단계
    를 포함하는,
    챔버(10)를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템을 제어하기 위한 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 메인 펌프 시스템(12, 14) 중 적어도 하나의 펌프의 회전 속도는 압력이 압력 제한 값 아래에 속할 때 감소되는,
    챔버(10)를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템을 제어하기 위한 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 회전 속도의 감소는, 상기 압력이 상기 압력 제한 아래에 속할 때, 적어도 미리 결정된 시간 기간 동안 수행되는,
    챔버(10)를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템을 제어하기 위한 방법.
  11. 제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 압력이 상기 보조 펌프 시스템(20)과 상기 보조 펌프 시스템(20)과 병렬로 배열된 밸브 수단(22) 사이의 압력 차에 대한 제한 값 아래에 속할 때, 상기 보조 펌프 시스템(320)은 비활성화되는,
    챔버(10)를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템을 제어하기 위한 방법.
  12. 제 8 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    냉각제 흐름은 상기 메인 펌프 시스템(12, 14)의 온도에 좌우되어 제어되는,
    챔버(10)를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템을 제어하기 위한 방법.
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