DE202014007963U1 - Vakuumpumpsystem - Google Patents

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Abstract

Vakuumpumpsystem mit einer mit einer zu evakuierenden Kammer (14) verbindbaren Hauptvakuumpumpe (10), einer mit einem Auslass (16) der Hauptvakuumpumpe (10) verbundenen Hilfspumpe (24) und einer Regeleinrichtung (32, 34) zum Zuschalten der Hilfspumpe (24) innerhalb eines definierten am Auslass (16) der Hauptvakuumpumpe herrschenden Druckbereichs (Δp) dadurch gekennzeichnet, dass die Regeleinrichtung (32, 34) ausschließlich mechanische Bauteile aufweist.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Vakuumpumpsystem.
  • Ein Vakuumpumpsystem weist beispielsweise mindestens eine Hauptvakuumpumpe sowie mindestens eine Hilfspumpe auf. Bei der Hauptvakuumpumpe handelt es sich beispielsweise um eine trockenverdichtende Vakuumpumpe wie eine Schraubenvakuumpumpe. Mit einem Auslass der Hauptvakuumpumpe ist eine Hilfspumpe zur Unterstützung verbunden. Als Hilfspumpen werden häufig Membranpumpen oder Ejektorpumpen eingesetzt. Bei derartigen Vakuumpumpensystemen ist das Fördervolumen der Hilfspumpe deutlich geringer als das Fördervolumen der Hauptvakuumpumpe. Insbesondere ist das Fördervolumen der Hilfsvakuumpumpe kleiner 1/50 der Hauptvakuumpumpe. Durch das Verwenden derartiger Hilfspumpen können niedrigere Enddrücke erzielt werden. Durch das Verwenden derartiger Hilfspumpen kann der Energieverbrauch des gesamten Systems reduziert werden, wobei die Hilfspumpe selbst den Nachteil aufweist, dass hierdurch ein zusätzlicher Energiebedarf erforderlich ist. Dies ist insbesondere dann der Fall, wenn die Hilfspumpe wie die Ejektorpumpe ununterbrochen betrieben wird. Dies hat ferner einen hohen Verbrauch an Treibgas für die Ejektorpumpe, bei dem es sich beispielsweise um Druckluft handelt zur Folge.
  • Aus US 2012/0219443 ist ein Vakuumpumpsystem mit einer Hauptpumpe und einer mit dem Auslass der Hauptpumpe verbundenen Ejektorpumpe bekannt.
  • Die Ejektorpumpe wird bei diesem System nur zugeschaltet, wenn am Auslass der Hauptvakuumpumpe Druck in einem vordefinierten Druckbereich herrscht. Hierdurch kann die Energieaufnahme der Ejektorpumpe sowie auch der Verbrauch an Treibgas verringert werden. Das Ein- und Ausschalten der Ejektorpumpe erfolgt bei dem in US 2012/0219443 beschriebenen Vakuumpumpsystem mit Hilfe einer elektronischen Regeleinrichtung. Diese schaltet die Ejektorpumpe in Abhängigkeit des am Auslass der Hauptvakuumpumpe gemessenen Drucks sowie in Abhängigkeit der Leistungsaufnahme der Hauptvakuumpumpe. Das in US 2012/0219443 beschriebene Vakuumpumpensystem weist daher den Nachteil auf, dass eine aufwendige elektronische Steuerung sowie Sensoren vorgesehen sein müssen. Insbesondere handelt es sich hierbei um kostenintensive Sensoren zur Absolutdruckmessung. Dies verringert die Betriebssicherheit, erhöht aber die Herstellungskosten.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, ein Vakuumpumpsystem zu schaffen, bei dem der Betrieb einer Hilfspumpe mit hoher Zuverlässigkeit gewährleistet werden kann.
  • Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch ein Vakuumpumpsystem gemäß Anspruch 1 oder 11.
  • Das erfindungsgemäße Vakuumpumpsystem weist eine Hauptvakuumpumpe auf, die mit einer zu evakuierenden Kammer verbindbar ist. Bei der Hauptvakuumpumpe handelt es sich insbesondere um eine trockenverdichtende Vakuumpumpe wie eine Schraubenpumpe. Mit einem Auslass der Hauptvakuumpumpe ist eine Hilfspumpe verbunden, bei der es sich in bevorzugter Ausführungsform um eine Ejektorpumpe handelt. Des Weiteren ist eine Regeleinrichtung zum Zuschalten der Hilfspumpe vorgesehen. Mit Hilfe der Regeleinrichtung erfolgt ein Abschalten und/oder Zuschalten der Hilfspumpe innerhalb eines definierten am Auslass der Hauptvakuumpumpe herrschenden Druckbereichs. Der Druckbereich liegt vorzugsweise im Bereich von 500–150 mbar.
  • Vorzugsweise liegt die Druckdifferenz der beiden Drücke dieses Druckbereich in Bereich von 20–200 mbar.
  • Erfindungsgemäß weist die Regeleinrichtung ausschließlich mechanische Bauteile auf. Das Vorsehen einer elektronischen Steuerung oder entsprechender Sensoren ist daher erfindungsgemäß nicht erforderlich. Hierdurch kann die Betriebssicherheit und Zuverlässigkeit des Vakuumpumpsystems erheblich verbessert werden. Das vorstehend beschriebene Zu- und Abschalten der Hilfsvakuumpumpe, bei der es sich insbesondere um eine Ejektorpumpe handelt, erfolgt in besonders bevorzugter Ausführungsform während des Standbymodus. In diesem Modus wird beispielsweise eine Kammer auf einen vorgegebenen Druck gehalten. Im Standbymodus erfolgt kein Abpumpen von Medium aus der Kammer oder nur ein Abpumpen sehr geringer Mengen (insbesondere aufgrund von Leckagen). Dies erfolgt im Hauptpumpmodus. Durch das erfindungsgemäße Zu- und Abschalten der Hilfspumpe, insbesondere im Standbymodus, kann der Energieverbrauch des Gesamtsystems weiter gesenkt werden, da der zusätzliche Energieverbrauch für die Hilfsvakuumpumpe gesenkt wird. Ferner ist es auf Grund des besonderen mechanisch einfachen Aufbaus der Regeleinrichtung möglich die Herstellungskosten zu reduzieren.
  • Vorzugsweise weist die Regeleinrichtung eine Druckwippe auf. Mit Hilfe der mechanischen in Abhängigkeit von Grenzdrücken arbeitenden Druckwippe ist es insbesondere im Standbymodus möglich bei Unterschreiten eines unteren Grenzdrucks die Hilfspumpe abzuschalten und bei Überschreiten eines oberen Grenzdrucks die Hilfspumpe zuzuschalten. Der entsprechende Bereich des Grenzdrucks, der vorzugsweise im Auslassbereich der Hauptvakuumpumpe herrscht kann beispielsweise durch Vorsehen entsprechender mechanischer Federn definiert werden, wobei es sich insbesondere um einstellbare Federn beziehungsweise Druckelemente handelt. Durch Vorsehen einer derartigen Druckwippe ist es beim Vorsehen einer Ejektorpumpe als Hilfspumpe möglich die Zufuhr eines Treibgases wie Druckluft zu der Ejektorpumpe zu öffnen oder zu schließen. Hierdurch ist auf einfache Weise ein Zuschalten und Abschalten der Hilfspumpe möglich.
  • In besonders bevorzugter Ausführungsform weist die Druckwippe ein erstes Schaltventil auf, das in einer Zufuhrleitung des Treibgases zur Ejektorpumpe angeordnet ist. Dieses Ventil wird vorzugsweise in Abhängigkeit des im Auslassbereich der Vakuumpumpe herrschenden Drucks geöffnet oder geschlossen und hierdurch die Ejektorpumpe zu- oder abgeschaltet. Des Weiteren ist es besonders bevorzugt, dass die Druckwippe zusätzlich zu dem ersten Schaltventil ein zweites Schaltventil aufweist. Das zweite Schaltventil ist mit dem Auslass der Hauptvakuumpumpe verbunden. Des Weiteren ist es bevorzugt, dass die beiden Schaltventile über Druckleitungen miteinander verbunden sind. Hierbei ist es des Weiteren bevorzugt, dass an dem ersten Schaltventil einerseits der Druck des Treibgases anliegt und ferner ein druckabhängiges Schaltelement wie eine Feder vorgesehen ist. Des Weiteren liegt an diesem ersten Schaltelement vorzugsweise ein Schaltdruck an, der sich in Abhängigkeit der Stellung des zweiten Schaltventils ändert.
  • Das zweite Schaltventil, das vorzugsweise einen ähnlichen mechanischen Aufbau wie das erste Schaltventil aufweist, ist vorzugsweise einerseits mit dem Druck des Treibgases und andererseits mit dem am Auslass der Hauptvakuumpumpe herrschenden Druck beaufschlagt. Über ein insbesondere als Feder ausgebildetes druckabhängiges Schaltelement erfolgt sodann ein entsprechendes Schalten des zweiten Schaltventils.
  • Vorzugsweise ist die Hilfspumpe in einer Abzweigleitung angeordnet, die mit einer mit dem Auslass der Hauptvakuumpumpe verbundenen Auslassleitung verbunden ist. Hierbei ist es ferner bevorzugt, dass in der Abzweigleitung in Strömungsrichtung vor der Hilfspumpe ein Zusatz-Rückschlagventil angeordnet ist. Hierbei handelt es sich vorzugsweise um ein Mikrorückschlagventil, welches der Saugleistung der Ejektorpumpe angepasst ist.
  • Des Weiteren ist es bevorzugt, dass in Strömungsrichtung nach der Verbindung der Auslassleitung mit der Abzweigleitung ebenfalls ein Rückschlagventil angeordnet ist.
  • Bei einem Vakuumpumpsystem, das eine selbständige Erfindung darstellt, erfolgt eine Energieersparnis insbesondere während des Hauptpumpmodus. Dieses Vakuumpumpsystem weist ebenfalls eine mit einer zu evakuierenden Kammer verbundene Hauptvakuumpumpe auf. Mit einem Auslass der Pumpe ist wiederum eine Hilfsvakuumpumpe, wie eine Ejektorpumpe, verbunden. Mit Hilfe einer Zusatz-Regeleinrichtung erfolgt ein Zuschalten der Hilfsvakuumpumpe in Abhängigkeit einer vorgegebenen Steuergröße. Hierbei erfolgt das Zuschalten der Hilfsvakuumpumpe, wie der Ejektorpumpe, vorzugsweise erst dann, wenn der Hauptpumpmodus abgeschlossen ist und das Vakuumpumpsystem in den Standbymodus geht. Das Zuschalten der Hilfsvakuumpumpe erfolgt daher vorzugsweise in Abhängigkeit einer Steuergröße, durch die definiert ist, dass das System nunmehr in den Standbymodus geht, oder sich zeitlich kurz vor oder kurz nach dem Standbymodus befindet. Als Steuergröße kann hierbei ein Druckwert in der zu evakuierenden Kammer und/oder am Einlass der Hauptvakuumpumpe und/oder am Auslass der Hauptvakuumpumpe, ermittelt werden. Sobald dieser Druckwert einen vorgegebenen Grenzwert unterschreitet, erfolgt ein Zuschalten der Hilfsvakuumpumpe. Hierbei können sich die Grenzwerte je nach Anordnung des Drucksensors bezogen auf die Kammer, den Pumpeneinlass oder den Pumpenauslass unterscheiden. Auch können diese Werte miteinander kombiniert werden, sodass die Hilfsvakuumpumpe beispielsweise erst bei gleichzeitigem Unterschreiten von zwei Grenzwerten zugeschaltet wird.
  • Eine weitere Möglichkeit einer vorgegebenen Steuergröße ist eine Kenngröße eines die Hauptvakuumpumpe antreibenden Elektromotors. Hierzu ist besonders die Stromaufnahme des Elektromotors oder ein Signal eines Frequenzumrichters geeignet. Sobald die Stromaufnahme einen vorgegebenen Grenzwert unterschreitet, erfolgt ein Zuschalten der Hilfsvakuumpumpe.
  • Vorzugsweise handelt es sich bei der vorgegebenen Steuergröße um das Unterschreiten eines Druckwerts an der Hauptvakuumpumpe. Dieser Druckwert kann beispielsweise mit einem Drucksensor ermittelt werden. Die entsprechende Druckgrenze liegt vorzugweise bei 1 mbar.
  • Als zusätzliche oder alternative Steuergröße kann das Unterschreiten eines Druckwerts am Auslass der Hauptvakuumpumpe genutzt werden. Auch dieser Druckwert kann durch einen Drucksensor ermittelt werden, wobei die Druckgrenze vorzugsweise 1020 mbar beträgt.
  • Eine weitere gegebenenfalls zusätzliche Steuergröße kann eine Kenngröße eines Elektromotors sein, der die Hauptvakuumpumpe antreibt. Insbesondere kann es sich um die Stromaufnahme handeln. Vorzugsweise kann eine Erhöhung der Stromaufnahme bei Enddruck um vorzugsweise 10% als vorgegebene Steuergröße dienen.
  • Vorzugsweise weist die Zusatz-Regeleinrichtung ein elektrisch schaltbares Ventil auf. Dies ist in Strömungsrichtung, vorzugsweise vor der Hilfsvakuumpumpe, angeordnet. Ein entsprechendes Schalten des Ventils erfolgt somit beim Ein- oder Ausschalten der Hilfsvakuumpumpe. Selbstverständlich kann dieses elektrische Ventil in die Vakuumpumpe integriert sein.
  • Zusätzlich oder anstelle eines elektrisch schaltbaren Ventils kann eine Zusatz-Druckwippe vorgesehen sein. Die Druckwippe ist mit entsprechenden Druckleitungen verbunden, sodass die Druckwippe geschaltet wird, sobald einer oder mehrere der vorstehend definierten Drücke einen vorgegebenen Grenzwert unterschreiten sollten. Durch ein entsprechendes Schalten der Zusatz-Druckwippe erfolgt eine Freigabe und somit ein Zuführen von Treibgas zu der Ejektorpumpe. Mit Hilfe des vorstehend beschriebenen Vakuumpumpensystems kann der Energieverbrauch während des Hauptpumpenmodus verringert werden. Insbesondere sind die Grenzwerte derart gewählt, dass die Hilfsvakuumpumpe, bei der es sich insbesondere um eine Ejektorpumpe handelt, während des Hauptpumpmodus nicht betrieben wird. In dem Hauptpumpmodus, im dem große Gasmengen gefördert werden, steht der Energiebedarf der Hilfsvakuumpumpe in einem rechten Verhältnis zu der geförderten Gasmenge, sodass es zur Reduzierung des Energiebedarfes des Gesamtsystems vorteilhaft ist, wenn die Hilfsvakuumpumpe während des Hauptpumpmodus ausgeschalten bleibt.
  • Eine weitere Energieeinsparung kann durch Kombination der beiden vorstehend beschriebenen erfindungsgemäßen Vakuumpumpsysteme erfolgen. Ein derartiges Vakuumpumpsystem weist einerseits eine Regeleinrichtung zum Zu- und Abschalten der Hilfspumpe während des Standbymodus auf. Andererseits ist zusätzlich die Zusatz-Regeleinrichtung vorgesehen, durch die die Hilfspumpe vorzugsweise während des Hauptpumpmodus ausgeschalten bleibt und grundsätzlich nur ein Einschalten während des Standbymodus möglich ist. Durch eine Kombination der beiden Systeme ist einerseits sichergestellt, dass die Hilfspumpe während des Hauptpumpmodus nicht eingeschaltet wird und somit eine Energieersparnis erfolgt. Andererseits ist gewährleistet, dass die Hilfspumpe auch während des Standbymodus nicht ununterbrochen weiter läuft, sondern nur dann läuft, wenn es erforderlich ist. Hierdurch kann eine weitere Energieeinsparung erzielt werden.
  • Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer bevorzugten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.
  • Es zeigen:
  • 1 eine schematische Prinzipskizze eines Vakuumpumpsystems mit Regeleinrichtung mit angeschalteter Hilfspumpe, insbesondere im Standbymodus,
  • 2 eine schematische Prinzipskizze eines Vakuumpumpsystems mit Regeleinrichtung mit abgeschalteter Hilfspumpe, insbesondere im Standbymodus,
  • 3 ein Diagramm, das schematisch den Druckverlauf an einem Auslass der Hauptpumpe zeigt und
  • 4 eine schematische Prinzipskizze eines Vakuumpumpsystems mit Zusatz-Regeleinrichtung.
  • In den 1 und 2 ist das Vakuumpumpsystem in unterschiedlichen Zuständen dargestellt, wobei es sich hierbei um das System handelt, mit dem insbesondere im Standbymodus durch Zu- und Abschalten der Ejektorpumpe in Abhängigkeit des in der Hauptvakuumpumpe herrschenden Drucks ein Energieersparnis erfolgt.
  • Das Vakuumpumpsystem weist eine Hauptvakuumpumpe 10, wie eine Schraubenpumpe auf, deren Einlass 12 ist mit einer zu evakuierenden Kammer 14 verbunden ist. Ein Auslass 16 der Hauptvakuumpumpe 10 ist mit einer Auslassleitung 18 verbunden. Durch diese wird das durch die Hauptvakuumpumpe geförderte Medium in Richtung eines Pfeils 20 beispielsweise zum Auspuffsystem gefördert.
  • Die Auslassleitung 18 ist mit einer Abzweigleitung 22 verbunden. Die Abzweigleitung 22 ist in dem dargestellten Ausführungsbeispiel mit einer als Ejektorpumpe 24 ausgebildeten Hilfspumpe verbunden. Eine Auslassleitung 26 der Ejektorpumpe 24 ist wiederum mit der Auslassleitung 18 verbunden. In der Abzweigleitung 22 ist ein Zusatz-Rückschlagventil 28 angeordnet. Ferner ist in der Auslassleitung in Strömungsrichtung nach der Verbindung mit der Abzweigleitung 22 ein Rückschlagventil 30 angeordnet. Die beiden Rückschlagventile 28, 30 verhindern jeweils ein Strömen von Medium in Richtung der Hauptvakuumpumpe 10. Des Weiteren weist das Vakuumpumpsystem eine mechanische Regeleinrichtung auf, die ein erstes Schaltventil 32 sowie ein zweites Schaltventil 34 aufweist. Die beiden Schaltventile 32, 34 bilden insbesondere eine Druckwippe aus.
  • Das erste Schaltventil 32 ist in einer Zuführleitung 36 angeordnet. Die Zuführleitung 36 ist mit der Ejektorpumpe 24 verbunden und dient zur Zufuhr von Treibgas, bei dem es sich beispielsweise um Druckluft handelt, wie durch Pfeil 39 dargestellt. Mit einem Anschluss 38 des ersten Schaltventils 32 ist eine Leitung 40 verbunden, die mit der Zuleitung 36 verbunden ist. Am Anschluss 38 des ersten Schaltventils liegt somit der Druck des Treibgases an. Ein weiterer Einlass des ersten Schaltventils 32 ist über eine Leitung 44 mit dem zweiten Schaltventil 34 verbunden. Ferner weist das erste Schaltventil 32 eine auf der Seite des Anschlusses 42 angeordnete Feder 46 auf. Das erste Schaltventil 32 befindet sich somit in der Offenstellung (1), wenn der Druck am Anschluss 38 höher ist als der Druck am Anschluss 42 und die durch die Feder 46 aufgebrachte Kraft.
  • Das zweite Schaltventil weist einen Anschluss 48 auf, der über eine Leitung 50 mit dem Bereich des Auslass 16 der Hauptvakuumpumpe 10 verbunden ist. Ein Anschluss 52 ist über die Leitung 44 mit dem Anschluss 42 des ersten Schaltventils 32 verbunden. Ein weiterer Anschluss 54 des zweiten Schaltventils 34 ist über eine Leitung 56 mit der Teibgaszuführleitung verbunden. Am Anschluss 54 herrscht somit der Druck des Treibgases. Ferner ist das zweite Schaltventil im Bereich des Anschlusses 48 mit einer einstellbaren Feder 58 verbunden.
  • Sobald der Druck am Auslass 16 der Hauptvakuumpumpe 10 und somit auch im Bereich des Anschlusses 48 des zweiten Schaltventils sinkt, wird das zweite Schaltventil in die in 2 dargestellte Stellung gebracht. Hierbei handelt es sich beispielsweise um die mit t2 und t4 in 3 bezeichneten Zeitpunkte. Durch dieses Schalten des zweiten Schaltventils wird die Leitung 56 mit der Leitung 44 verbunden, so dass am Anschluss 42 des ersten Schaltventils 32 der Druck des Treibgases anliegt. Aufgrund der zusätzlich von der Feder 46 aufgebrachten Kraft erfolgt ein Schalten des ersten Schaltventils in die in 2 dargestellte Geschlossenstellung. Es wird insofern kein Treibgas mehr der Ejektorpumpe 24 zugeführt.
  • Steigt der Druck am Auslass 16 der Hauptvakuumpumpe insbesondere aufgrund vorhandener Leckagen z. B. im Standbymodus an, so wird bei Erreichen einer oberen Druckgrenze p1 (3) beispielsweise zu einem Zeitpunkt t3 und t5 das Schaltventil 34 wieder in die in 1 dargestellte Stellung gebracht. Hierdurch sinkt der Druck am Anschluss 42 des ersten Schaltventils 32, so dass dieses aufgrund des weiterhin am Anschluss 38 anliegenden Drucks des Treibgases wieder in die in 1 dargestellte Position verschoben wird. Der Ejektorpumpe 24 wird somit Treibgas über die Zuführleitung 36 zugeführt, so dass ein Abpumpen erfolgt.
  • Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des Vakuumpumpensystems (4) sind ähnliche und identische Bauteile mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet. Insbesondere kann das in 4 dargestellte Vakuumpumpensystem mit dem in den 1 und 2 dargestellten Vakuumpumpensystem kombiniert werden. Das in 4 dargestellte Vakuumpumpensystem dient insbesondere dazu, dass die Ejektorpumpe 24 während eines Hauptpumpenmodus abgeschaltet bleibt. Hierzu weist die Zusatz-Regeleinrichtung im dargestellten Ausführungsbeispiel ein elektrisches Schaltventil 60 auf. Dieses ist in Strömungsrichtung 62 des Treibgases der Ejektorpumpe 24 vorgeschaltet. Insofern wird die Ejektorpumpe 24 nur bei geöffnetem Ventil 60 betrieben. Das Ventil 60, bei dem es sich in bevorzugter Ausführungsform um ein elektrisch schaltbares Ventil handelt, ist im dargestellten Ausführungsbeispiel mit einer elektrischen Steuerung 64 verbunden, wobei die Steuerung 64 auch in das Ventil 60 integriert sein kann. Die Steuerung 64 kann mit einem Drucksensor 66 am Pumpeneinlass 12, einem Drucksensor 68 am Pumpenauslass 16 und/oder mit einem Sensor 70 eines nicht dargestellten Elektromotors zum Antreiben der Hauptvakuumpumpe 10 verbunden sein. Über gepunktet dargestellte Leitungen werden die entsprechenden Daten an die Steuerung 64 übermittelt. Hierbei können sowohl beide Sensoren 66, 68 als auch nur einer der beiden Drucksensoren 66, 68 vorgesehen sein. Zusätzlich oder anstelle der beiden Drucksensoren 66, 68 kann der Sensor 70, der eine Kenngröße des Elektromotors erfasst, vorgesehen sein. Die Steuerung 64 kann hierbei die entsprechenden Signale verarbeiten, insbesondere wenn mehrere Sensoren abgefragt werden. In Abhängigkeit von Grenzwerten, die gegebenenfalls miteinander kombiniert werden, erfolgt sodann ein Schalten des Ventils 60. Die Werte sind hierbei vorzugsweise derart gewählt, dass das Ventil 60 während des Hauptpumpmodus geschlossen ist.
  • Anstelle des elektrisch schaltbaren Ventils 60 kann auch eine Zusatz-Druckwippe vorgesehen sein. Die Druckwippe schaltet derart in Abhängigkeit des am Einlass 12 und/oder am Auslass 16 der Hauptvakuumpumpe 10 anliegenden Drucks, dass die Treibgaszufuhr zu der Hilfsvakuumpumpe 24 vorzugsweise nur erfolgt, wenn der Hauptpumpmodus abgeschlossen ist.
  • Aus der schematischen Darstellung in dem Diagramm in 3 kann ein Hauptpumpmodus zwischen dem Zeitpunkt t0 und t1 definiert werden. Ab dem Zeitpunkt t1 ist sodann ein Standbymodus definiert. Zu einem Zeitpunkt t0 startet die Evakuierung der Kammer 14. Hierzu wird die Hauptvakuumpumpe 10 betrieben. Zischen dem Zeitpunkt t0 und t1 wird die Ejektorpumpe 24, wie vorstehend anhand des Pumpensystems gemäß 4 beschrieben, nicht betrieben. Je nach Anwendungsfall kann die Ejektorpumpe auch während des Abpumpens der Kammer 14 in dem Zeitraum t0 bis t1 betrieben werden. Ein Betrieb der Ejektorpumpe während des Hauptpumpzyklus ist beispielsweise akzeptabel wenn eine Anlage im Wesentlichen im Standbybetrieb läuft und insofern eine gesonderte Steuerung zur Einsparung von Treibgas während des Hauptpumpzyklus nicht erforderlich ist, bzw. eine verhältnismäßig geringe Kosteneinsparung bewirkt. Das Einschalten der Ejektorpumpe 24 erfolgt somit vorzugsweise bei Erreichen eines Drucks p1 zum Zeitpunkt t1. Ab diesem Zeitpunkt erfolgt der Standbymodus. Zum Zeitpunkt t1 wird die Ejektorpumpe 24 zugeschaltet. Bei Erreichen des geforderten Drucks p0 am Auslass 16 zum Zeitpunkt t2 erfolgt eine Ausschalten der Ejektorpumpe 24. Durch Anstieg des Drucks am Auslass 16 insbesondere aufgrund von Leckagen bis auf einen Druck p1 erfolgt sodann zum Zeitpunkt t3 wieder eine Zuschalten der Ejektorpumpe 24. Die Ejektorpumpe 24 wird somit innerhalb eines Druckbereichs Δp in Abhängigkeit des am Auslass herrschenden Drucks mit Hilfe einer rein mechanischen Regeleinrichtung zu- und abgeschaltet.
  • Der obere Druckgrenze p1 liegt vorzugsweise im Bereich von 500–150 mbar, vorzugsweise im Bereich von 200–300 mbar. Die untere Druckgrenze p0 liegt vorzugsweise im Bereich von 450–100 mbar, insbesondere im Bereich von 150–250 mbar. Der Druckunterschied in Δp liegt vorzugsweise im Bereich von 20–200 mbar, insbesondere bei ca. 50 mbar.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • US 2012/0219443 [0003, 0004, 0004]

Claims (18)

  1. Vakuumpumpsystem mit einer mit einer zu evakuierenden Kammer (14) verbindbaren Hauptvakuumpumpe (10), einer mit einem Auslass (16) der Hauptvakuumpumpe (10) verbundenen Hilfspumpe (24) und einer Regeleinrichtung (32, 34) zum Zuschalten der Hilfspumpe (24) innerhalb eines definierten am Auslass (16) der Hauptvakuumpumpe herrschenden Druckbereichs (Δp) dadurch gekennzeichnet, dass die Regeleinrichtung (32, 34) ausschließlich mechanische Bauteile aufweist.
  2. Vakuumpumpsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Regeleinrichtung (32, 34) eine Druckwippe aufweist, die bei Unterschreiten eines unteren Grenzdrucks (p0) die Hilfspumpe (24) abschaltet und bei Überschreiten eines oberen Grenzdrucks (p1) die Hilfspumpe (24) zuschaltet.
  3. Vakuumpumpsystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Hilfspumpe als Ejektorpumpe (24) ausgebildet ist.
  4. Vakuumpumpsystem nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckwippe (32, 34) die Zufuhr eines Treibgases öffnet oder schließt.
  5. Vakuumpumpsystem nach Anspruch 3 oder 4, gekennzeichnet durch ein in einer Zuführleitung (36) zur Zufuhr von Treibgas zur Ejektorpumpe (24) angeordnetes erstes Schaltventil (32).
  6. Vakuumpumpsystem nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch ein mit dem Auslass (16) der Hauptvakuumpumpe verbundenes zweite Schaltventil (34).
  7. Vakuumpumpsystem nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch zwischen dem ersten und zweiten Schaltventil angeordneten Druckleitungen (44, 56).
  8. Vakuumpumpsystem nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Hilfspumpe (24) in eine Abzweigleitung (22) einer mit dem Auslass (16) der Hauptvakuumpumpe (10) verbundenen Auslassleitung (18) angeordnet ist.
  9. Vakuumpumpsystem nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass in der Auslassleitung (18) in Strömungsrichtung nach der Verbindung mit der Abzweigleitung (22) ein Rückschlagventil (30) angeordnet ist.
  10. Vakuumpumpsystem nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass in der Abzweigleitung (22) in Strömungsrichtung vor der Hilfspumpe (24) ein Zusatzrückschlagventil (28) angeordnet ist.
  11. Vakuumpumpsystem mit einer mit einer zu evakuierenden Kammer (14) verbindbaren Hauptvakuumpumpe (10), einer mit einem Auslass (16) der Hauptvakuumpumpe (10) verbundenen Hilfspumpe (24) und einer Zusatz-Regeleinrichtung (60) zum Zuschalten der Hilfspumpe in Abhängigkeit einer vorgegebenen Steuergröße.
  12. Vakuumpumpensystem nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die vorgegebene Steuergröße das Erreichen eines Standbymodus ist.
  13. Vakuumpumpensystem nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass die vorgegebenen Steuergröße das Unterschreiten eines Druckwertes am Einlass (12) der Hauptvakuumpumpe (10) ist, der insbesondere mit Hilfe eines Drucksensors (66) ermittelt wird, wobei die Druckgrenze vorzugsweise 1 mbar ist.
  14. Vakuumpumpensystem nach Anspruch 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die vorgegebenen Steuergröße das Unterschreiten eines Druckwertes am Auslass (16) der Hauptvakuumpumpe (10) ist, der insbesondere mit Hilfe eines Drucksensors (68) ermittelt wird, wobei die Druckgrenze vorzugsweise 1020 mbar ist.
  15. Vakuumpumpensystem nach Anspruch 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die vorgegebene Steuergröße eine Kenngröße eines die Hauptvakuumpumpe (10) antreibenden Elektromotors, insbesondere ein Stromaufnahme ist.
  16. Vakuumpumpensystem nach Anspruch 11 bis 15 dadurch gekennzeichnet, dass die Zusatz-Regeleinrichtung (60) ein elektrisch schaltbares Ventil aufweist, das vorzugsweise der Hilfspumpe (24) in Strömungsrichtung (62) vorgeschaltet ist.
  17. Vakuumpumpensystem nach Anspruch 11 bist 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Zusatz-Regeleinrichtung (60) eine Zusatz-Druckwippe aufweist, die bei Unterschreiten eines am Auslass (16) und/oder Einlass (12) der Hauptvakuumpumpe anliegenden Drucks die Hilfspumpe (24) zuschaltet.
  18. Vakuumpumpensystem nach Anspruch 11 bis 17, mit einer Regeleinrichtung (32, 34) zum Zuschalten der Hilfspumpe (24) nach einem der Ansprüche 1 bis 10.
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