WO2018108479A1 - Vakuumpumpsystem sowie verfahren zum betreiben eines vakuumpumpsystems - Google Patents

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control variable
auxiliary
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Max PELIKAN
Daniel SCHNEIDENBACH
Raffaello GHISLOTTI
Dirk Schiller
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Leybold Gmbh
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Definitions

  • the invention relates to a vacuum pumping system and a method for operating a vacuum pumping system.
  • a vacuum pumping system has, for example, at least one main vacuum pump and at least one auxiliary pump.
  • the main vacuum pump is, for example, a dry-compressing vacuum pump such as a screw vacuum pump.
  • An auxiliary pump is connected to an outlet of the main vacuum pump for assistance.
  • Diaphragm pumps or ejector pumps are frequently used as auxiliary pumps.
  • the delivery volume of the auxiliary pump is significantly lower than the delivery volume of the main vacuum pump.
  • the delivery volume of the auxiliary vacuum pump is less than 1/50 of the main vacuum pump.
  • a vacuum pumping system in which also a control device for connecting the auxiliary pump, in particular an ejector is provided, said control device having exclusively mechanical components.
  • sealing gas is often supplied to the pump.
  • Barrier gas is used in particular to protect shaft seals and oil compartments from dust and other particles.
  • the use of sealing gas has the disadvantage that a penetrating into the vacuum pump gas must be additionally funded by the vacuum pump system (ejector). This causes an additional energy requirement.
  • the object of the invention is to provide a vacuum pumping system and a method for operating a vacuum pumping system, in which the energy requirement can be reduced even when using sealing gas.
  • the vacuum pumping system has a main vacuum pump, which can be connected to a chamber to be evacuated.
  • the main vacuum pump is in particular a dry-compressing vacuum pump such as a screw pump.
  • an auxiliary pump Connected to an outlet of the main vacuum pump is an auxiliary pump, which in a preferred embodiment is an ejector.
  • the vacuum pump system has a sealing gas supply device and a control device connected to the sealing gas supply device.
  • the control device With the control device, it is possible to turn off and on the Sperrgaszu211 announced. This switching off and on of the sealing gas supply device takes place as a function of a predetermined control variable.
  • the amount of purge gas may exceed the amount of gas that the ejector can deliver, therefore sealing gas must be shut off to evacuate the outlet.
  • control device may be connected to the auxiliary vacuum pump, so that the auxiliary vacuum pump can be switched off and on. This also takes place as a function of a control variable.
  • control variables used when switching off and on the barrier gas supply device or the auxiliary vacuum pump may be different or even the same control variable.
  • the preferred control variables described below are in a preferred embodiment both for controlling the auxiliary vacuum pump and for controlling the Sperrgaszu- used, wherein any combinations of the individual control variables are possible, so that, for example, the control of the locking gas supply means using a different control variable than the control of the auxiliary vacuum pump.
  • the auxiliary vacuum pump such as the ejector pump
  • the auxiliary vacuum pump is switched on, preferably only when the main pumping mode is completed and the vacuum pumping system goes into standby mode (end pressure mode).
  • a shutdown of the sealing gas supply in standby mode is carried out in a particularly preferred embodiment.
  • the connection of the auxiliary vacuum pump and / or the Sperrgaszulite accordingly preferably takes place in response to a control variable, which is defined that the system is now in standby mode, or is just before or shortly after the standby mode.
  • a pressure value in the chamber to be evacuated and / or at the inlet of the main vacuum pump and / or at the outlet of the main vacuum pump can be determined as the control variable.
  • the auxiliary vacuum pump is switched on.
  • the limit values may differ with respect to the chamber, the pump inlet or the pump outlet. These values can also be combined with one another, so that the auxiliary vacuum pump is switched on, for example, only if two limit values are undershot at the same time.
  • a check valve is provided at the outlet of the main vacuum pump.
  • This check valve is preferably connected to the control device.
  • the position of the check valve can be used as a control variable.
  • the control of the check valve can be determined by a sensor and transmitted to the control device. It is preferred that when the check valve is closed and the sealing gas supply is closed.
  • a connection of the auxiliary vacuum pump It takes place when the check valve is open in zugter embodiment, a connection of the sealing gas and preferably simultaneously switching off the auxiliary vacuum pump.
  • a predetermined control variable is a characteristic of an electric motor driving the main vacuum pump.
  • the current consumption of the electric motor or a signal of a frequency converter is particularly suitable.
  • the auxiliary vacuum pump is switched on and / or the barrier gas supply is switched off.
  • the predetermined control variable is the undershooting of a pressure value at the main vacuum pump.
  • This pressure value can be determined, for example, with a pressure sensor.
  • the corresponding pressure limit is preferably 1 mbar.
  • the undershooting of a pressure value at the outlet of the main vacuum pump can be used.
  • This pressure value can also be determined by a pressure sensor, wherein the pressure limit is preferably 1020 mbar.
  • Another optionally additional control variable may be a characteristic of an electric motor which drives the main vacuum pump.
  • it may be the current consumption.
  • an increase in power consumption at final pressure by preferably 10% serve as a predetermined control variable.
  • the control device has an electrically switchable valve or is connected thereto.
  • This is arranged in the flow direction, preferably in front of the auxiliary vacuum pump. A corresponding switching of the valve thus takes place when switching on or off the auxiliary vacuum pump.
  • this electric valve can be integrated into the vacuum pump.
  • an electrically switchable valve may be provided at a barrier gas inlet. This electrical switchable valve may in turn be part of the control device or be connected to this, so that it is possible in a simple manner, off and on the barrier gas supply.
  • two correspondingly switchable valves can be provided for switching on and off the auxiliary pump and for switching off and on the blocking gas supply.
  • a pressure rocker can be provided.
  • the pressure rocker is connected to corresponding pressure lines, so that the pressure rocker is switched as soon as one or more of the pressures defined above should fall below or exceed a predetermined limit.
  • the additional pressure rocker is released and thus supplying propellant gas to the ejector. Accordingly, the propellant gas supply to the ejector can be switched off.
  • a mechanical pressure rocker also switching off and on of the barrier gas supply possible.
  • the power consumption can be reduced.
  • the limits are chosen such that the auxiliary vacuum pump, which is in particular an ejector, is not operated during the main pumping mode.
  • the energy demand of the auxiliary vacuum pump is in poor proportion to the amount of gas delivered, so that it is advantageous for reducing the energy demand of the entire system when the auxiliary vacuum pump remains switched off during the main pumping mode.
  • the limit values are preferably selected such that no barrier gas is supplied in an auxiliary pump mode. This can also be done energy savings.
  • the combination of shutting off the purge gas supply during the auxiliary pumping mode and shutting off the auxiliary pump during the main pumping mode results in significant energy savings.
  • the invention relates to a method for operating a vacuum pumping system.
  • This is in particular a vacuum pumping system as described above, the method preferably being developed as described above with reference to the vacuum pumping system.
  • the method according to the invention for operating a vacuum pump system has a control device which is connected to the sealing gas supply device and serves for switching off and on the blocking gas supply device as a function of a predetermined control variable. It is further preferred that not only the Sperrgaszutax overlooked off and is switched on, but that in addition also the auxiliary pump in dependence of a control variable off and is switched on. This may be the same or a different control variable, wherein it is preferred that when switching off and on of the sealing gas supply device and when switching off and on the auxiliary vacuum pump is the same control variable.
  • switching off the barrier gas supply is preferably carried out in standby mode.
  • the method according to the invention is preferably further developed as described above with reference to the vacuum pumping system according to the invention, in particular in a preferred embodiment.
  • FIG. 1 shows a schematic schematic diagram of a vacuum pumping system with control device.
  • the vacuum pumping system has a main vacuum pump 10.
  • the outlet of the main vacuum pump 10 is connected to an auxiliary vacuum pump 12, which is in particular an ejector.
  • the inlet of the main vacuum pump 10 is connected to a chamber 14 to be evacuated.
  • a pump 16 is connected to the main vacuum pump 10. This is connected via a controllable valve 18 to a container 24, is provided in the sealing gas. With the help of the pump 16 is thus a supply of sealing gas to the main vacuum pump 10. If the sealing gas is under pressure, the pump 16 can also be omitted.
  • a control device 20 is connected in the illustrated embodiment with a pressure sensor 22 which is disposed between the chamber 14 to be evacuated and the main vacuum pump 10.
  • the pressure measured by the pressure sensor 22 serves as a control variable for the control device 20.
  • the electric valve 18 is controlled by means of which blocking gas is supplied to the main vacuum pump 10. Furthermore, a corresponding regulation of the ejector 12 is carried out. In this case, an electric valve can also be regulated so that the propellant gas supply to the ejector 12 is regulated.

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Abstract

Ein Vakuumpumpsystem weist eine Hauptvakuumpumpe (10) auf, die mit einer zu evakuierenden Kammer (14) verbunden ist. Mit einem Auslass der Hauptvakuumpumpe (10) ist ein Hilfspumpe (12) verbunden. Ferner ist mit der Hauptvakuumpumpe eine Sperrgaszuführeinrichtung verbunden. Mit Hilfe einer Regeleinrichtung (20) erfolgt ein Ab- und Zuschalten der Sperrgaszuführeinrichtung in Abhängigkeit einer vorgegebenen Steuergröße. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Steuerung des Vakuumpumpsystems.

Description

Va ku u m p u m PS vstem
sowie Verfahren zum Betreiben eines Vakuumpumpsvstems
Die Erfindung betrifft ein Vakuumpumpsystem sowie ein Verfahren zum Betreiben eines Vakuumpumpsystems.
Ein Vakuumpumpsystem weist beispielsweise mindestens eine Hauptvakuumpumpe sowie mindestens eine Hilfspumpe auf. Bei der Hauptvakuumpumpe handelt es sich beispielsweise um eine trockenverdichtende Vakuumpumpe wie eine Schraubenvakuumpumpe. Mit einem Auslass der Hauptvakuumpumpe ist eine Hilfspumpe zur Unterstützung verbunden. Als Hilfspumpen werden häufig Membranpumpen oder Ejektorpumpen eingesetzt. Bei derartigen Vakuumpumpensystemen ist das Fördervolumen der Hilfspumpe deutlich geringer als das Fördervolumen der Hauptvakuumpumpe. Insbesondere ist das Fördervolumen der Hilfsvakuumpumpe kleiner 1/50 der Hauptvakuumpumpe. Durch das Verwenden derartiger Hilfspumpen können niedrigere Enddrücke erzielt werden. Durch das Verwenden derartiger Hilfspumpen kann der Energieverbrauch des gesamten Systems reduziert werden, wobei die Hilfspumpe selbst den Nachteil aufweist, dass hierdurch ein zusätzlicher Energiebedarf erforderlich ist. Dies ist insbesondere dann der Fall, wenn die Hilfspumpe wie die Ejektorpumpe ununterbrochen betrieben wird. Dies hat ferner einen hohen Verbrauch an Treibgas für die Ejektorpumpe, bei dem es sich beispielsweise um Druckluft handelt zur Folge. Aus US 2012/0219443 ist ein Vakuumpumpsystem mit einer Hauptpumpe und einer mit dem Auslass der Hauptpumpe verbundenen Ejektorpumpe bekannt. Die Ejektorpumpe wird bei diesem System nur zugeschaltet, wenn am Auslass der Hauptvakuumpumpe Druck in einem vordefinierten Druckbereich herrscht. Hierdurch kann die Energieaufnahme der Ejektorpumpe sowie auch der Verbrauch an Treibgas verringert werden. Das Ein- und Ausschalten der Ejektorpumpe erfolgt bei dem in US 2012/0219443 beschriebenen Vakuumpumpsystem mit Hilfe einer elektronischen Regeleinrichtung. Diese schaltet die Ejektorpumpe in Abhängigkeit des am Auslass der Hauptvakuumpumpe gemessenen Drucks sowie in Abhängigkeit der Leistungsaufnahme der Hauptvakuumpumpe. Das in US 2012/0219443 beschriebene Vakuumpumpsystem weist daher den Nachteil auf, dass eine aufwendige elektronische Steuerung sowie Sensoren vorgesehen sein müssen. Insbesondere handelt es sich hierbei um kostenintensive Sensoren zur Absolutdruckmessung. Dies verringert die Betriebssicherheit, erhöht aber die Herstellungskosten.
Ferner ist aus DE 20 2014 007 963 ein Vakuumpumpsystem bekannt, bei dem ebenfalls eine Regeleinrichtung zum Zuschalten der Hilfspumpe insbesondere eine Ejektorpumpe vorgesehen ist, wobei diese Regeleinrichtung ausschließlich mechanische Bauteile aufweist. Hierdurch kann bei hoher Betriebssicherheit auch unter Verwendung ausschließlich mechanischer Bauteile der Einsatz kostenintensiver Sensoren vermieden werden, so dass die Herstellungskosten reduziert sind.
Ferner wird bei Vakuumpumpsystemen häufig Sperrgas der Pumpe zugeführt. Sperrgas wird insbesondere verwendet, um Wellendichtungen und Ölräume vor Staub und anderen Partikeln zu schützen. Das Verwenden von Sperrgas weist jedoch den Nachteil auf, dass eine in die Vakuumpumpe eindringende Gasmenge zusätzlich von dem Vakuumpumpensystem (Ejektor) gefördert werden muss. Dies bewirkt einen zusätzlichen Energiebedarf. Aufgabe der Erfindung ist es, ein Vakuumpumpsystem sowie ein Verfahren zum Betreiben eines Vakuumpumpsystems zu schaffen, bei dem auch bei Verwendung von Sperrgas der Energiebedarf gesenkt werden kann.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt durch die Merkmale des Anspruchs 1 bzw. 10.
Das erfindungsgemäße Vakuumpumpsystem weist eine Hauptvakuumpumpe auf, die mit einer zu evakuierenden Kammer verbindbar ist. Bei der Hauptvakuumpumpe handelt es sich insbesondere um eine trockenverdichtende Vakuumpumpe wie eine Schraubenpumpe. Mit einem Auslass der Hauptvakuumpumpe ist eine Hilfspumpe verbunden, bei der es sich in bevorzugter Ausführungsform um eine Ejektorpumpe handelt.
Des Weiteren weist das Vakuumpumpensystem eine Sperrgaszuführeinrich- tung sowie eine mit der Sperrgaszuführeinrichtung verbundene Regeleinrichtung auf. Mit der Regeleinrichtung ist es möglich, die Sperrgaszuführeinrichtung ab- und zuzuschalten. Dieses Ab- und Zuschalten der Sperrgaszufuhreinrichtung erfolgt in Abhängigkeit einer vorgegebenen Steuergröße.
Die Sperrgasmenge übersteigt ggf. die Gasmenge, welche der Ejektor fördern kann, daher muss zwingend Sperrgas abgeschaltet werden, um den Auslass zu evakuieren.
Zusätzlich kann die Regeleinrichtung mit der Hilfsvakuumpumpe verbunden sein, so dass die Hilfsvakuumpumpe ab- und zugeschaltet werden kann. Dies erfolgt ebenfalls in Abhängigkeit einer Steuergröße.
Bei den beim Ab- und Zuschalten der Sperrgaszuführeinrichtung bzw. der Hilfsvakuumpumpe genutzten Steuergrößen kann es sich um unterschiedliche oder auch um dieselbe Steuergröße handeln. Die nachfolgend beschriebenen bevorzugten Steuergrößen werden in bevorzugter Ausführungsform sowohl zum Steuern der Hilfsvakuumpumpe als auch zum Steuern der Sperrgaszu- führeinrichtung genutzt, wobei auch beliebige Kombinationen der einzelnen Steuergrößen möglich sind, so dass beispielsweise die Steuerung der Sperr- gaszuführeinrichtung mit Hilfe einer anderen Steuergröße erfolgt als die Steuerung der Hilfsvakuumpumpe.
Vorzugsweise erfolgt das Zuschalten der Hilfsvakuumpumpe, wie der Ejektorpumpe, vorzugsweise erst dann, wenn der Hauptpumpmodus abgeschlossen ist und das Vakuumpumpsystem in den Standbymodus (Enddruckbetrieb) geht. Zusätzlich oder anstelle dieses Schaltens der Hilfsvakuumpumpe erfolgt in besonders bevorzugter Ausführungsform ein Abschalten der Sperrgaszufuhr im Standbymodus. Das Zuschalten der Hilfsvakuumpumpe und/oder der Sperrgaszuführeinrichtung erfolgt daher vorzugsweise in Abhängigkeit einer Steuergröße, durch die definiert ist, dass das System nunmehr in den Standbymodus geht, oder sich zeitlich kurz vor oder kurz nach dem Standbymodus befindet. Als Steuergröße kann hierbei ein Druckwert in der zu evakuierenden Kammer und/oder am Einlass der Hauptvakuumpumpe und/oder am Auslass der Hauptvakuumpumpe, ermittelt werden. Sobald dieser Druckwert einen vorgegebenen Grenzwert unterschreitet, erfolgt ein Zuschalten der Hilfsvakuumpumpe. Hierbei können sich die Grenzwerte je nach Anordnung des Drucksensors bezogen auf die Kammer, den Pumpeneinlass oder den Pumpenauslass unterscheiden. Auch können diese Werte miteinander kombiniert werden, sodass die Hilfsvakuumpumpe beispielsweise erst bei gleichzeitigem Unterschreiten von zwei Grenzwerten zugeschaltet wird.
Insbesondere ist am Auslass der Hauptvakuumpumpe ein Rückschlagventil vorgesehen. Dieses Rückschlagventil ist vorzugsweise mit der Regeleinrichtung verbunden. Die Stellung des Rückschlagventils kann als Steuergröße genutzt werden. Hierbei kann die Steuerung des Rückschlagventils von einem Sensor ermittelt und der Regeleinrichtung übermittelt werden. Bevorzugt ist es, dass wenn das Rückschlagventil geschlossen ist auch die Sperrgaszufuhr geschlossen wird. Gleichzeitig erfolgt in bevorzugter Ausführungsform ein Zuschalten der Hilfsvakuumpumpe. Es erfolgt bei geöffnetem Rückschlagventil in bevor- zugter Ausführungsform ein Zuschalten des Sperrgases und vorzugsweise gleichzeitig ein Abschalten der Hilfsvakuumpumpe.
Eine weitere Möglichkeit einer vorgegebenen Steuergröße ist eine Kenngröße eines die Hauptvakuumpumpe antreibenden Elektromotors. Hierzu ist besonders die Stromaufnahme des Elektromotors oder ein Signal eines Frequenzumrichters geeignet. Sobald die Stromaufnahme einen vorgegebenen Grenzwert unterschreitet, erfolgt ein Zuschalten der Hilfsvakuumpumpe und/oder ein Abschalten der Sperrgaszufuhr.
Vorzugsweise handelt es sich bei der vorgegebenen Steuergröße um das Unterschreiten eines Druckwerts an der Hauptvakuumpumpe. Dieser Druckwert kann beispielsweise mit einem Drucksensor ermittelt werden. Die entsprechende Druckgrenze liegt vorzugweise bei 1 mbar.
Als zusätzliche oder alternative Steuergröße kann das Unterschreiten eines Druckwerts am Auslass der Hauptvakuumpumpe genutzt werden. Auch dieser Druckwert kann durch einen Drucksensor ermittelt werden, wobei die Druckgrenze vorzugsweise 1020 mbar beträgt.
Eine weitere gegebenenfalls zusätzliche Steuergröße kann eine Kenngröße eines Elektromotors sein, der die Hauptvakuumpumpe antreibt. Insbesondere kann es sich um die Stromaufnahme handeln. Vorzugsweise kann eine Erhöhung der Stromaufnahme bei Enddruck um vorzugsweise 10 % als vorgegebene Steuergröße dienen.
Vorzugsweise weist die Regeleinrichtung ein elektrisch schaltbares Ventil auf bzw. ist mit diesem verbunden. Dies ist in Strömungsrichtung, vorzugsweise vor der Hilfsvakuumpumpe, angeordnet. Ein entsprechendes Schalten des Ventils erfolgt somit beim Ein- oder Ausschalten der Hilfsvakuumpumpe. Selbstverständlich kann dieses elektrische Ventil in die Vakuumpumpe integriert sein. Ebenso kann ein elektrisch schaltbares Ventil an einem Sperrgaseinlass vorgesehen sein. Dieses elektrische schaltbare Ventil kann wiederum Teil der Regeleinrichtung oder mit dieser verbunden sein, so dass es auf einfache Weise möglich ist, die Sperrgaszufuhr ab- und zuzuschalten. Selbstverständlich können zwei entsprechend schaltbare Ventile zum Ein- und Ausschalten der Hilfspumpe sowie zum Ab- und Zuschalten der Sperrgaszufuhr vorgesehen sein.
Zusätzlich oder anstelle eines elektrisch schaltbaren Ventils kann eine Druckwippe vorgesehen sein. Die Druckwippe ist mit entsprechenden Druckleitungen verbunden, sodass die Druckwippe geschaltet wird, sobald einer oder mehrere der vorstehend definierten Drücke einen vorgegebenen Grenzwert unterschreiten bzw. überschreiten sollten. Durch ein entsprechendes Schalten der Zusatz- Druckwippe erfolgt eine Freigabe und somit ein Zuführen von Treibgas zu der Ejektorpumpe. Entsprechend kann auch die Treibgaszufuhr zu der Ejektorpumpe abgeschaltet werden. Ebenso ist mit einer mechanischen Druckwippe auch ein Ab- und Zuschalten der Sperrgaszufuhr möglich.
Mit Hilfe des vorstehend beschriebenen Vakuumpumpensystems kann der Energieverbrauch verringert werden. Insbesondere sind die Grenzwerte derart gewählt, dass die Hilfsvakuumpumpe, bei der es sich insbesondere um eine Ejektorpumpe handelt, während des Hauptpumpmodus nicht betrieben wird. In dem Hauptpumpmodus, im dem große Gasmengen gefördert werden, steht der Energiebedarf der Hilfsvakuumpumpe in einem schlechten Verhältnis zu der geförderten Gasmenge, sodass es zur Reduzierung des Energiebedarfes des Gesamtsystems vorteilhaft ist, wenn die Hilfsvakuumpumpe während des Hauptpumpmodus ausgeschalten bleibt.
Des Weiteren sind hinsichtlich des Sperrgases die Grenzwerte vorzugsweise derart gewählt, dass in einem Hilfspumpenmodus keine Sperrgaszufuhr erfolgt. Hierdurch kann ebenfalls eine Energieeinsparung erfolgen. Insbesondere die Kombination des Abschaltens der Sperrgaszufuhr während des Hilfspumpmodus und das Abschalten der Hilfspumpe während des Hauptpumpmodus bewirkt eine erhebliche Energieeinsparung.
Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betreiben eines Vakuumpumpsystems. Hierbei handelt es sich insbesondere um ein Vakuumpumpsystem wie vorstehend beschreiben, wobei das Verfahren vorzugsweise wie vorstehend anhand des Vakuumpumpsystems beschrieben, weitergebildet ist.
Insbesondere weist das erfindungsgemäße Verfahren zum Betreiben eines Vakuumpumpsystems eine Regeleinrichtung auf, die mit der Sperrgaszuführein- richtung verbunden ist und zum Ab- und Zuschalten der Sperrgaszuführein- richtung in Abhängigkeit einer vorgegebenen Steuergröße dient. Bevorzugt ist es ferner, dass nicht nur die Sperrgaszuführeinrichtung ab- und zugeschaltet wird, sondern dass zusätzlich auch die Hilfspumpe in Abhängigkeit einer Steuergröße ab- und zugeschaltet wird. Hierbei kann es sich um dieselbe oder eine andere Steuergröße handeln, wobei es bevorzugt ist, dass es sich beim Ab- und Zuschalten der Sperrgaszuführeinrichtung sowie beim Ab- und Zuschalten der Hilfsvakuumpumpe um dieselbe Steuergröße handelt.
Wie vorstehend insbesondere in bevorzugter Ausführungsform des Vakuumpumpsystems beschrieben, erfolgt ein Abschalten der Sperrgaszufuhr vorzugsweise im Standbymodus.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist vorzugsweise wie vorstehend anhand des erfindungsgemäßen Vakuumpumpsystems insbesondere in bevorzugter Weiterbildung beschrieben, weitgebildet.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer bevorzugten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert. Fig. 1 zeigt eine schematische Prinzipskizze eines Vakuumpumpsystems mit Regeleinrichtung.
Im dargestellten Ausführungsbeispiel weist das Vakuumpumpsystem eine Hauptvakuumpumpe 10 auf. Der Auslass der Hauptvakuumpumpe 10 ist mit einer Hilfsvakuumpumpe 12, bei der es sich insbesondere um eine Ejektorpumpe handelt, verbunden. Der Einlass der Hauptvakuumpumpe 10 ist mit einer zu evakuierenden Kammer 14 verbunden. Ferner ist mit der Hauptvakuumpumpe 10 eine Pumpe 16 verbunden. Diese ist über ein regelbares Ventil 18 mit einem Behälter 24 verbunden, in dem Sperrgas bereitgestellt wird. Mit Hilfe der Pumpe 16 erfolgt somit ein Zuführen von Sperrgas zu der Hauptvakuumpumpe 10. Sofern das Sperrgas unter Druck steht, kann die Pumpe 16 auch entfallen.
Eine Regeleinrichtung 20 ist im dargestellten Ausführungsbeispiel mit einem Drucksensor 22 verbunden, der zwischen der zu evakuierenden Kammer 14 und der Hauptvakuumpumpe 10 angeordnet ist.
Der von dem Drucksensor 22 gemessene Druck dient als Steuergröße für die Regeleinrichtung 20. In Abhängigkeit des Drucks erfolgt ein Steuern des elektrischen Ventils 18 über das der Hauptvakuumpumpe 10 Sperrgas zugeführt wird. Ferner erfolgt ein entsprechendes Regeln der Ejektorpumpe 12. Hierbei kann ebenfalls ein elektrisches Ventil geregelt werden, dass die Treibgaszufuhr zu der Ejektorpumpe 12 regelt.

Claims

Ansprüche
1. Vakuumpumpsystem mit einer mit einer zu evakuierenden Kammer (14) verbindbaren Hauptvakuumpumpe (10), einer mit einem Auslass der Hauptvakuumpumpe (10) verbundenen Hilfspumpe (12), einer Sperrgaszuführeinrichtung (24) und einer mit der Sperrgaszuführeinrichtung (24) verbunden Regeleinrichtung (20) zum Ab- und Zuschalten der Sperrgaszuführeinrichtung (24) in Abhängigkeit einer vorgegebenen Steuergröße.
2. Vakuumpumpensystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Regeleinrichtung (20) mit der Hilfsvakuumpumpe (12) verbunden ist zum Ab- und Zuschalten der Hilfsvakuumpumpe (12) in Abhängigkeit einer weiteren oder derselben Steuergröße.
3. Vakuumpumpensystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die vorgegebene Steuergröße für die Sperrgaseinrichtung (24) und/oder die Hilfsvakuumpumpe (12) das Erreichen oder Beenden eines Standbymodus ist.
4. Vakuumpumpensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die vorgegebenen Steuergröße für die Sperrgaseinrichtung (24) und/oder die Hilfsvakuumpumpe (12) das Unterschreiten eines Druckwertes am Einlass der Hauptvakuumpumpe (10) ist, der insbesondere mit Hilfe eines Drucksensors (22) ermittelt wird, wobei die Druckgrenze vorzugsweise 1 mbar ist.
5. Vakuumpumpensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die vorgegebenen Steuergröße für die Sperrgaseinrichtung (24) und/oder die Hilfsvakuumpumpe (12) das Unterschreiten eines Druckwertes am Auslass der Hauptvakuumpumpe (10) ist, der insbesondere mit Hilfe eines Drucksensors ermittelt wird, wobei die Druckgrenze vorzugsweise 1020 mbar ist.
6. Vakuumpumpensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die vorgegebene Steuergröße für die Sperrgaseinrichtung (24) und/oder die Hilfsvakuumpumpe (12) eine Kenngröße eines die Hauptvakuumpumpe (10) antreibenden Elektromotors, insbesondere ein Stromaufnahme ist.
7. Vakuumpumpensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 6 dadurch gekennzeichnet, dass die Regeleinrichtung (20) ein elektrisch schaltbares Ventil aufweist oder mit diesem verbunden ist, das vorzugsweise der Hilfspumpe (24) in Strömungsrichtung vorgeschaltet ist.
8. Vakuumpumpensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Regeleinrichtung (20) ein elektrisch schaltbares Ventil (18) aufweist oder mit diesem verbunden ist, das in einer Zuführleitung für das Sperrgas angeordnet ist.
9. Vakuumpumpensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Stellung eines an einem Auslass der Hauptvakuumpumpe (10) vorgesehenen Rückschlagventils als Steuergröße genutzt wird.
10. Verfahren zum Betreiben eines Vakuumpumpsystems, insbesondere nach einem der Ansprüche 1 bis 9, bei welchem eine Sperrgaszuführein- richtung (24) mit Hilfe einer Regeleinrichtung (20) in Abhängigkeit einer vorgegebenen Steuergröße ab- und zugeschaltet wird.
11. Verfahren zum Betreiben eines Vakuumpumpsystems nach Anspruch 10, bei welchem zusätzlich oder anstelle der Sperrgaszuführeinrichtung (24) die Hilfsvakuumpumpe (12) ab- und zugeschaltet wird, wobei das Ab- und Zuschalten vorzugsweise in Abhängigkeit einer weiteren oder derselben Steuergröße erfolgt.
12. Verfahren zum Betreiben eines Vakuumpumpsystems nach Anspruch 10 oder 11, bei welchem als Steuergröße das Erreichen oder Beenden eines Standbymodus genutzt wird.
13. Verfahren zum Betreiben eines Vakuumpumpsystems nach einem der Ansprüche 10 bis 12, bei welchem als Steuergröße das Unterschreiten eines Druckwertes am Einlass der Hauptvakuumpumpe verwendet wird, wobei die Druckgrenze vorzugsweise 1 mbar beträgt.
14. Verfahren zum Betreiben eines Vakuumpumpsystems nach einem der Ansprüche 10 bis 13, bei welchem als Steuergröße das Unterschreiten eines Druckwertes am Auslass der Hauptvakuumpumpe verwendet wird, wobei die Druckgrenze vorzugsweise 1020 mbar beträgt.
15. Verfahren zum Betreiben eines Vakuumpumpsystems nach einem der Ansprüche 10 bis 14, bei welchem als Steuergröße eine Kenngröße eines die Hauptvakuumpumpe antreibenden Elektromotors, insbesondere die Stromaufnahme, verwendet wird.
16. Verfahren zum Betreiben eines Vakuumpumpsystems nach einem der Ansprüche 10 bis 15, bei welchem mit Hilfe der Regeleinrichtung ein in Strömungsrichtung der Hilfspumpe vorgeschaltetes Ventil geregelt wird.
17. Verfahren zum Betreiben eines Vakuumpumpsystems nach einem der Ansprüche 10 bis 16, bei welchem mit Hilfe der Regeleinrichtung ein in der Zuführleitung für das Sperrgas angeordnetes Ventil geregelt wird.
18. Verfahren zum Betreiben eines Vakuumpumpsystems nach einem der Ansprüche 10 bis 17, bei welchem als Steuergröße die Stellung eines an dem Auslass der Hauptvakuumpumpe vorgesehenen Rückschlagventils genutzt wird.
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CN201780075018.XA CN110036204A (zh) 2016-12-15 2017-11-23 真空泵系统和用于操作真空泵系统的方法
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202016007609U1 (de) * 2016-12-15 2018-03-26 Leybold Gmbh Vakuumpumpsystem

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3508758A (en) * 1966-10-12 1970-04-28 Sulzer Ag Fluid-tight seal for rotating shaft
EP0752531A1 (de) * 1995-07-06 1997-01-08 Leybold Aktiengesellschaft Vorrichtung zum raschen Evakuieren einer Vakuumkammer
EP0974756A2 (de) * 1998-07-21 2000-01-26 Seiko Seiki Kabushiki Kaisha Vakuumpumpe und vakuumvorrichtung
EP1065385A2 (de) * 1999-06-28 2001-01-03 Pfeiffer Vacuum GmbH Verfahren zum Betrieb einer Mehrkammer-Vakuumanlage
JP3494457B2 (ja) * 1993-07-07 2004-02-09 株式会社大阪真空機器製作所 真空ポンプ装置
US20120219443A1 (en) 2009-11-18 2012-08-30 Adixen Vacuum Products Method And Device For Pumping With Reduced Power Use
DE202012002684U1 (de) * 2012-03-15 2013-06-17 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Untersuchungseinrichtung
DE202014007963U1 (de) 2014-10-01 2016-01-05 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpsystem
US20160356273A1 (en) * 2015-06-05 2016-12-08 Agilent Technologies, Inc. Vacuum pump system with light gas pumping and leak detection apparatus comprising the same

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3116872A (en) * 1959-05-18 1964-01-07 Bendix Balzers Vacuum Inc Gas ballast pumps
JPH11257277A (ja) * 1998-03-05 1999-09-21 Hitachi Ltd ターボ真空ポンプ
DE19962445A1 (de) * 1999-12-22 2001-06-28 Leybold Vakuum Gmbh Trockenverdichtende Vakuumpumpe mit Gasballasteinrichtung
GB0502149D0 (en) 2005-02-02 2005-03-09 Boc Group Inc Method of operating a pumping system
DE102008030788A1 (de) * 2008-06-28 2009-12-31 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Verfahren zum Reinigen von Vakuumpumpen
GB2501735B (en) * 2012-05-02 2015-07-22 Edwards Ltd Method and apparatus for warming up a vacuum pump arrangement
US11215180B2 (en) 2012-06-28 2022-01-04 Sterling Industry Consult Gmbh Method and pump arrangement for evacuating a chamber
FR2993614B1 (fr) * 2012-07-19 2018-06-15 Pfeiffer Vacuum Procede et dispositif de pompage d'une chambre de procedes
DE102012220442A1 (de) * 2012-11-09 2014-05-15 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpensystem zur Evakuierung einer Kammer sowie Verfahren zur Steuerung eines Vakuumpumpensystems
DE102013223556A1 (de) * 2013-11-19 2015-05-21 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpen-System sowie Verfahren zum Betreiben eines Vakuumpumpen-Systems
DE202016007609U1 (de) * 2016-12-15 2018-03-26 Leybold Gmbh Vakuumpumpsystem

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3508758A (en) * 1966-10-12 1970-04-28 Sulzer Ag Fluid-tight seal for rotating shaft
JP3494457B2 (ja) * 1993-07-07 2004-02-09 株式会社大阪真空機器製作所 真空ポンプ装置
EP0752531A1 (de) * 1995-07-06 1997-01-08 Leybold Aktiengesellschaft Vorrichtung zum raschen Evakuieren einer Vakuumkammer
EP0974756A2 (de) * 1998-07-21 2000-01-26 Seiko Seiki Kabushiki Kaisha Vakuumpumpe und vakuumvorrichtung
EP1065385A2 (de) * 1999-06-28 2001-01-03 Pfeiffer Vacuum GmbH Verfahren zum Betrieb einer Mehrkammer-Vakuumanlage
US20120219443A1 (en) 2009-11-18 2012-08-30 Adixen Vacuum Products Method And Device For Pumping With Reduced Power Use
DE202012002684U1 (de) * 2012-03-15 2013-06-17 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Untersuchungseinrichtung
DE202014007963U1 (de) 2014-10-01 2016-01-05 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpsystem
US20160356273A1 (en) * 2015-06-05 2016-12-08 Agilent Technologies, Inc. Vacuum pump system with light gas pumping and leak detection apparatus comprising the same

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Publication number Publication date
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