KR20160039543A - 진공 펌프 시스템 - Google Patents

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vacuum pump
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outlet
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KR1020150136157A
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다니엘 슈나이덴바흐
크리스티안 바이어
하르트무트 크리흔
클라우스-페터 슐릭
Original Assignee
욀리콘 라이볼트 바쿰 게엠베하
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Abstract

진공 펌프 시스템은 챔버(14)를 배기하기 위한 주 진공 펌프(10)를 갖는다, 보조 펌프(24)는 주 진공 펌프(10)의 출구부(16)에 연결된다. 게다가, 제어 수단(32, 34)은 출구부(16)에서 우세한 압력의 규정된 범위 내에서 보조 펌프(24)를 활성화하기 위헤 제공된다. 제어 수단(32, 34)은 단지 기계적 구성요소들을 포함한다.

Description

진공 펌프 시스템 {VACUUM PUMP SYSTEM}
본 발명은 진공 펌프 시스템에 관한 것이다.
진공 펌프 시스템은, 예컨대, 하나 이상의 주 진공 펌프뿐만 아니라 하나 이상의 보조 펌프를 포함한다. 주 진공 펌프는 건식-압축 진공 펌프, 이를테면 스크류 타입 진공 펌프일 수 있다. 주 진공 펌프의 출구부는 지지를 위한 보조 펌프에 연결된다. 멤브레인 펌프들 또는 이젝터 펌프들이 종종 보조 펌프들로서 사용된다. 이러한 진공 펌프 시스템들에서, 보조 펌프의 방출 용적(delivery volume)은 분명히 주 진공 펌프의 방출 용적 미만이다. 특히, 보조 진공 펌프의 방출 용적은, 주 진공 펌프의 방출 용적의 1/50 미만이다. 이러한 보조 펌프들을 사용함으로써, 더 낮은 종압(END들을 획득하는 것이 가능하다. 이러한 보조 펌프들의 사용은, 전체 시스템의 에너지 소비의 감소를 더 허용하며, 이에 의해 보조 펌프 자체는 추가의 에너지가 요구된다는 문제점을 갖는다. 자세하게는, 이는 이젝터 펌프와 같은 보조 펌프가 연속적으로 작동되는 경우에 그렇다. 게다가, 이는, 예컨대 공기를 압축할 수 있는 이젝터 펌프를 위해 많은 동력 가스의 소비를 수반한다.
주 펌프 및 주 펌프의 출구부에 연결되는 이젝터 펌프를 갖는 진공 펌프 시스템이 US 2012/0219443으로부터 공지된다.
이 시스템에서, 이젝터 펌프는 단지 미리 정해진 압력 범위에서의 압력이 주 진공 펌프의 출구부에서 우세한 경우에만 활성화된다. 이는, 동력 가스의 소비뿐만 아니라 이젝터 펌프의 에너지 소비의 감소를 허용한다. US 2012/0219443에서 설명된 진공 펌프 시스템에서, 이젝터 펌프는 전자 제어 수단에 의해서 활성화 및 비활성화된다. 이 전자 제어 수단은 주 진공 펌프의 출구부에서 측정된 압력에 따라, 그리고 또한 주 진공 펌프의 소비 전력(power consumption)에 따라 이젝터 펌프의 전원을 차단한다(de-energize). 이에 따라, US 2012/0219443호에서 설명된 진공 펌프 시스템은, 복잡한 전자 제어부 및 센서들이 제공되어야 한다는 문제점을 갖는다. 자세하게는, 절대압력 측정을 위해서 값비싼 센서들이 존재한다. 이는 작동 안정성을 감소시키지만, 제조 비용을 증가시킨다.
본 발명의 목적은, 보조 펌프의 작동이 높은 신뢰성으로 획득될 수 있는 진공 펌프 시스템을 제공하는 것이다.
이 목적은 제 1 항 또는 제 11 항의 진공 펌프 시스템에 의해 본 발명에 따라 성취된다.
본 발명의 진공 펌프 시스템은 배기될 챔버에 연결하도록 구성된 주 진공 펌프를 포함한다. 특히, 주 진공 펌프는 건식-압축 진공 펌프, 이를테면 스크류 타입 펌프이다. 주 진공 펌프의 출구부는 바람직한 실시예에서 이젝터 펌프인 보조 펌프에 연결된다. 게다가, 제어 수단이 보조 펌프를 활성화하기 위해 제공된다. 제어 수단을 사용하면, 보조 펌프는 주 진공 펌프의 출구부에서 우세한 규정된 압력 범위 내에서 비활성화 또는 활성화된다. 압력 범위는, 바람직하게는 500 내지 150 mbar이다. 바람직하게는, 이러한 압력 범위의 2 개의 압력들 사이의 압력 차이는 20 내지 200 mbar 범위이다.
본 발명에 따르면, 제어 수단은 단지 기계적 구성요소들을 포함한다. 이에 따라, 전자 제어부의 또는 대응하는 센서들의 제공은, 본 발명에 따르면 필수적인 것은 아니다. 이런 식으로, 진공 펌프 시스템의 작동 안정성 및 신뢰성이 상당히 개선될 수 있다. 특히 바람직한 실시예에서, 특히 이젝터 펌프인, 보조 진공 펌프의 상기 설명된 활성화 및 비활성화는 준비 모드 중 시행된다. 이 모드에서, 챔버는 예컨대, 미리 정해진 압력으로 유지된다. 준비 모드에서, 챔버로부터 펌핑되는 매체는 없으며 또는 단지 매우 소량이 펌핑된다(자세하게는, 이는 누출 때문임). 본 발명에 의해 제공되는 바와 같은 보조 펌프를 특히 준비 모드에서, 활성화 및 비활성화함으로써, 전체 시스템의 에너지 소비를 더 감소시킬 수 있는데, 이는 보조 진공 펌프의 추가 에너지 소비가 감소되기 때문이다. 게다가, 특히, 기계적으로 단순한 제어 수단의 구조로 인해, 제조 비용들을 감소시키는 것이 가능하다.
바람직하게는, 제어 수단은 압력 로커(pressure rocker)를 포함한다. 제한 압력들에 따라 작동하는 기계적 압력 로커에 의해서, 특히, 준비 모드에서, 압력 하한에 미달될 때 보조 펌프를 비활성화시키고 압력 상한이 초과될 때 보조 펌프를 활성화시키는 것이 가능하다. 바람직하게는, 주 진공 펌프의 출구부 구역에서 우세한 제한 압력의 해당 범위는, 예컨대 대응하는 기계적 스프링들(특히, 조절가능한 스프링들 또는 압력 소자들임)을 제공함으로써 규정될 수 있다. 이러한 압력 로커를 제공함으로써, 이젝터 펌프가 보조 펌프로서 사용된다면, 압축된 공기와 같은 동력 가스의 이젝터 펌프로의 공급을 개방 또는 폐쇄하는 것이 가능하다. 이는, 보조 펌프의 단순한 활성화 및 비활성화를 허용한다.
특히 바람직한 실시예에서, 압력 로커는 이젝터 펌프로의 동력 가스 공급 라인에 배열된 제 1 스위치 밸브를 갖는다. 이러한 밸브는, 바람직하게는 진공 펌프의 출구부 구역에서 우세한 압력에 따라 개방 또는 폐쇄되며, 이에 의해 이젝터 펌프가 활성화 또는 비활성화된다. 게다가, 압력 로커가 제 1 스위치 밸브에 추가로 제 2 스위치 밸브를 갖는 것이 특히 바람직하다. 제 2 스위치 밸브는 주 진공 펌프의 출구부에 연결된다. 2 개의 스위치 밸브들이 압력 라인들을 통해 상호연결되는 것이 또한 바람직하다. 이와 관련하여, 한편으로는, 동력 가스의 압력이 제 1 스위치 밸브 상에 부과되고, 다른 한편으로, 스프링과 같은 압력 의존 스위칭 소자가 제공되는 것이 또한 바람직하다. 게다가, 스위칭 압력이, 바람직하게는 제 1 스위치 소자에 작용하고, 이는 제 2 스위치 밸브의 위치에 따라서 변한다.
바람직하게는, 제 1 스위치 밸브와 유사한 기계적 구조를 갖는 제 2 스위치 밸브는, 한편으로는, 바람직하게는 동력 가스의 압력을 받게 되며, 다른 한편으로는 주 진공 펌프의 출구부에서 우세한 압력을 받게 된다. 제 2 스위치 밸브는, 특히 스프링으로서 구성된 압력 의존 스위치 소자를 통해 적절하게 스위치된다.
바람직하게는, 보조 펌프는 주 진공 펌프의 출구부에 연결되는 출구부 라인에 연결되는 분기 라인(branch line)에 배열된다. 이와 관련하여, 추가의 체크 밸브가 보조 펌프의 상류 분기 라인에 배열되는 것이 또한 바람직하다. 바람직하게는, 이는 이젝터 펌프의 흡입 용량(suction capacity)에 적응되는 마이크로 체크 밸브이다.
다른 체크 밸브가 출구부 라인과 분기 라인의 연결의 하류에 배열되는 것이 또한 바람직하다.
독립적인 발명인 진공 펌프 시스템에서, 특히 주 펌핑 모드 중 에너지가 절약된다. 이러한 진공 펌프 시스템은, 또한 배기될 챔버에 연결되는 주 진공 펌프를 포함한다. 또한, 이젝터 펌프와 같은 보조 진공 펌프가 펌프의 출구부에 연결된다. 보조 제어 수단이 미리 규정된 제어 파라미터에 따라 보조 진공 펌프를 활성화하도록 사용된다. 여기서, 이젝터 펌프와 같은 보조 진공 펌프는, 바람직하게는 주 펌핑 모드가 종료되고 진공 펌프 시스템이 준비 모드로 천이된 후에만 활성화된다. 이에 따라, 보조 진공 펌프의 활성화는, 제어 파라미터에 따라 발생하며, 이 파라미터에 의해 시스템은 이제 준비 모드로 천이하고, 또는 시간의 관점에서 준비 모드 직전 또는 직후인 것이 규정된다. 배기될 챔버 및/또는 주 진공 펌프의 입구부 및/또는 주 진공 펌프의 출구부에서의 압력 값은, 제어 파라미터로서 판정될 수 있다. 이 압력 값이 미리 정해진 한계 값 미만으로 떨어지자마자, 보조 진공 펌프가 활성화된다. 이와 관련하여, 한계 값들은 챔버, 펌프 입구부 또는 펌프 출구부에 대한 압력 센서의 위치에 따라 상이할 수 있다. 게다가, 이러한 값들은, 예컨대 2 개의 한계 값들에 동시에 미달될 때만 보조 진공 펌프가 활성화되도록 서로 조합될 수 있다.
미리 정해진 제어 파라미터에 대한 다른 가능성은 주 진공 펌프를 구동하는 전동 모터의 특성이다. 전동 모터의 소비 전력 또는 주파수 변환기로부터의 신호가 이를 위해 특히 적합하다. 소비 전력이 미리 정해진 한계 값 미만으로 떨어지자마자, 보조 진공 펌프가 활성화된다.
바람직하게는, 미리 정해진 제어 파라미터는 주 진공 펌프에서의 압력 값에의 미달(undershooting)을 나타낸다. 이러한 압력 값은 예컨대, 압력 센서에 의해 판정될 수 있다. 대응하는 압력 한계는 바람직하게는 1 mbar이다.
주 진공 펌프의 출구부에서의 압력 값에의 미달은 추가 또는 대안의 제어 파라미터로서 또한 사용될 수 있다. 이러한 압력 값은 또한 압력 센서에 의해 판정될 수 있으며, 압력 한계는 바람직하게는 1020 mbar이다.
또한, 가능한 추가 제어 파라미터는 주 진공 펌프를 구동하는 전동 모터의 특성일 수 있다. 특히, 이는 소비 전력일 수 있다. 바람직하게는, 약 10 % 만큼의 종압에서의 소비 전력 증가는, 미리 정해진 제어 파라미터로서 작용할 수 있다.
바람직하게는, 보조 제어 수단은 전기적으로 스위치 가능한 밸브를 포함한다. 바람직하게는, 보조 진공 펌프의 상류에도 동일한 것이 배열된다. 밸브의 대응하는 스위칭은 이에 따라 보조 진공 펌프가 활성화되거나 비활성화될 때 시행된다. 물론, 이러한 전기 밸브는 진공 펌프에 통합될 수 있다.
전기적으로 스위치 가능한 밸브에 추가로 또는 그 대신에, 보조 압력 로커가 제공될 수 있다. 압력 로커는 대응하는 압력 라인들에 연결되어, 상기 규정된 압력들 중 하나 또는 복수 개의 압력이 미리 정해진 한계 값 아래로 떨어지자마자 압력 로커가 스위치된다. 대응하는 방식으로 보조 압력 로커를 스위칭함으로써, 동력 가스가 해제되고 이에 따라 이젝터 펌프에 공급된다. 상기 언급된 진공 펌프 시스템에 의해, 주 펌핑 모드 중 에너지 소비가 감소될 수 있다. 특히, 보조 진공 펌프(특히, 이젝터 펌프임)가 주 펌핑 모드 중 작동되지 않도록, 한계 값들이 선택된다. 대량의 가스가 이송되는 주 펌핑 모드에서, 보조 진공 펌프에 대한 파워 요구는, 이송되는 가스 량에 대해 적절한 관계이므로, 보조 진공 펌프를 주 펌핑 모드에서 비활성화 상태로 두는 것이 파워 요구를 감소시키는 목적에 유리하다.
본 발명의 2 개의 상기 설명된 진공 펌프 시스템들의 조합에 의해 추가의 에너지 절약이 성취될 수 있다. 이러한 진공 펌프 시스템은, 준비 모드 중 보조 펌프를 활성화 및 비활성화하기 위한 제어 수단을 포함한다. 다른 한편으로, 보조 제어 수단이 추가로 제공되며, 이에 의해 보조 펌프가 바람직하게는 주 펌핑 모드 동안 비활성화 상태를 유지하며, 일반적으로 단지 준비 모드 동안만 활성화가 가능하다. 한편으로 양자의 시스템들의 조합은, 보조 펌프가 주 펌핑 모드 중 활성화되지 않고 에너지가 이에 의해 절약되는 것을 보장한다. 다른 한편으로, 보조 펌프가 심지어 준비 모드일 때조차 심지어 연속으로 작동하는 것이 아니라 요구될 때만 작동하는 것이 보장된다. 이에 의해, 추가의 에너지 절약이 성취될 수 있다.
이하, 바람직한 실시예 및 첨부 도면을 참조한 본 발명의 상세한 설명이다.
도 1은 특히 준비 모드(standby mode)에서 활성화되는 보조 펌프 및 제어 수단을 갖는 진공 펌프 시스템의 개략 선도를 도시한다.
도 2는 특히 준비 모드(standby mode)에서 비활성화되는 보조 펌프 및 제어 수단을 갖는 진공 펌프 시스템의 개략 선도를 도시한다.
도 3은 주 펌프의 출력시 압력 개설을 개략적으로 예시하는 선도를 도시한다.
도 4는 보조 제어 수단을 갖는 진공 펌프 시스템의 개략 선도를 도시한다.
도 1 및 도 2는 상이한 상태들에서의 진공 펌프 시스템을 예시하며, 이 시스템은 특히 주 진공 펌프에서 우세한 압력에 의존하여 이젝터 펌프를 활성화 및 비활성화시킴으로써 준비 모드에서 에너지 절약이 성취되는 시스템이다.
진공 펌프 시스템은 스크류 타입 펌프와 같은 주 진공 펌프(10)를 포함하며, 그의 입구부(12)는 배기될 챔버(14)에 연결된다. 주 진공 펌프(10)의 출구부(16)는 출구부 라인(18)에 연결된다. 주 진공 펌프에 의해 이송되는 매체는, 예컨대, 배기 시스템에 화살표 방향(20)으로 이 출구부 라인을 통해 이송된다.
출구부 라인(18)은 분기 라인(22)에 연결된다. 예시된 실시예에서, 분기 라인(22)은 이젝터 펌프(24)로서 설계되는 보조 펌프에 연결된다. 이젝터 펌프(24)의 출구부 라인(26)은 출구부 라인(18)에 연결된다. 보조 체크 밸브(28)가 분기 라인(22)에 배열된다. 게다가, 체크 밸브(30)는 분기 라인(22)과의 연결의 출구부 라인 하류에 배열된다. 2 개의 체크 밸브(28, 30)들이 주 진공 펌프(10)를 향한 매체의 유동을 제각기 방지한다. 진공 펌프 시스템은 제 1 스위치 밸브(32) 및 제 2 스위치 밸브(34)를 갖는 기계적 제어 수단을 더 포함한다. 2 개의 스위치 밸브(32, 34)들이 특히 압력 로커(pressure rocker)를 형성한다.
제 1 스위치 밸브(32)는 공급 라인(36)에 배열된다. 공급 라인(36)은 이젝터 펌프(24)에 연결되며, 예컨대 화살표(39)에 의해 예시된 바와 같이 압축 공기일 수 있는 동력 가스를 공급하도록 작동한다. 라인(40)은 제 1 스위치 밸브(32)의 커넥터(38)에 연결되며, 이 라인은 공급 라인(36)에 연결된다. 이에 따라, 동력 가스의 압력은 제 1 스위치 밸브의 커넥터(38)에서 우세하다. 제 1 스위치 밸브(32)의 다른 입구부는 라인(44)을 경유하여 제 2 스위치 밸브(34)에 연결된다. 게다가, 제 1 스위치 밸브(32)는 커넥터(42)의 측면에 배열된 스프링(46)을 포함한다. 이에 따라, 제 1 스위치 밸브(32)는, 커넥터(38)에서의 압력이 커넥터(42)에서의 압력 및 스프링(46)에 의해 부과된 힘보다 높을 때 개방 위치(도 1)에 있다.
제 2 스위치 밸브는 주 진공 펌프(10)의 출구부(16)의 구역에서 라인(50)을 경유하여 연결되는 커넥터(48)를 갖는다. 커넥터(52)는 라인(44)을 경유하여 제 1 스위치 밸브(32)의 커넥터(42)에 연결된다. 제 2 스위치 밸브(34)의 다른 커넥터(54)는 라인(56)을 경유하여 동력 가스 공급 라인에 연결된다. 이에 따라, 동력 가스의 압력은 커넥터(54)에서 우세하다. 게다가, 제 2 스위치 밸브는 커넥터(48)의 구역에서 조절가능한 스프링(58)에 연결된다.
주 진공 펌프(10)의 출구부(16)에서의 압력 그리고 이에 따라서 또한 제 2 스위치 밸브의 커넥터(48)의 구역에서의 압력이 강하하자마자, 제 2 스위치 밸브는 도 2에 예시된 위치로 이동된다. 이들은 예컨대, 도 3에서 t3 및 t4로 나타낸 시간들에 있을 수 있다. 이런 식으로 제 2 스위치 밸브를 스위칭함으로써, 라인(56)이 라인(44)에 연결되어, 동력 가스 압력이 제 1 스위치 밸브(32)의 커넥터(42)에서 우세하다. 스프링(46)에 의해 추가로 부가된 힘으로 인해, 제 1 스위치 밸브는 도 2에 예시된 폐쇄 위치로 스위치된다. 이에 따라, 더 이상 동력 가스가 이젝터 펌프(24)에 공급되지 않는다.
주 진공 펌프의 출구부(16)에서의 압력이 예컨대, 준비 모드에서, 특히 기존 누출(leakage)들로 인해서 증가한다면, 스위치 밸브(34)는 시간(t3, t5)들에서 압력 상한(p1)에 도달될 때(도 3), 도 1에 예시된 위치로 복귀된다. 그 결과, 제 1 스위치 밸브(32)의 커넥터(42)에서의 압력이 강하하여, 밸브가 커넥터(38)에서 여전히 우세한 동력 가스 압력에 의해서 도 1에 예시된 위치로 역으로 전환된다. 이에 따라, 이젝터 펌프(24)에 공급 라인(36)을 경유하여 동력 가스가 공급되어, 펌핑이 실행된다.
진공 펌프 시스템(도 4)의 다른 바람직한 실시예에서, 유사하고 동일한 구성요소들은 동일한 도면 부호들에 의해 식별된다. 자세하게는, 도 4에 예시된 진공 펌프 시스템에는, 도 1 및 도 2에 예시된 진공 펌프 시스템이 조합될 수 있다. 도 4에 예시된 진공 펌프 시스템은, 특히 주 펌프 모드 중 이젝터 펌프(24)가 비활성화되는 상태를 유지하도록 작동한다. 이를 위해서, 예시된 실시예에서, 보조 제어 수단은 전기 스위치 밸브(60)를 갖는다. 이 전기 스위치 밸브가 동력 가스의 유동 방향(62)에서 볼 때 이젝터 펌프(24)의 상류에 제공된다. 이에 따라, 이젝터 펌프(24)는 밸브(60)가 개방될 때에만 작동된다. 예시된 실시예에서, 밸브(60)(바람직한 실시예에서, 전기적으로 스위치 가능한 밸브임)가 전기 제어부(64)에 연결되지만, 이는 또한 밸브(60)에서 제어부(64)와 통합하는 것이 가능하다. 제어부(64)에는 펌프 입구부(12)에서 압력 센서(66), 펌프 출구부(16)에서 압력 센서(68), 및/또는 주 진공 펌프(10)를 구동하기 위한 전기 모터(본원에서 예시 생략됨)의 센서(70)가 연결될 수 있다. 대응하는 데이터가 도트들로 도시된 라인들을 통해 제어부(64)에 전송된다. 이와 관련하여, 압력 센서(66, 68)들 양자 모두, 뿐만 아니라 2 개의 압력 센서(66, 68) 중 단지 하나가 제공될 수 있다. 2 개의 압력 센서(66, 68)들에 추가로 또는 대신에, 전기 모터의 특성을 검출하는 센서(70)가 제공될 수 있다. 제어부(64)는 특히, 센서들 중 복수의 센서들이 샘플링된다면, 대응하는 신호들을 프로세스할 수 있다. 서로 조합되는 제한 값들에 따라, 원한다면, 밸브(60)가 스위치된다. 여기서, 주 펌핑 모드 중 밸브(60)가 폐쇄되도록 값들이 바람직하게 선택된다.
전기적으로 스위치 가능한 밸브(60) 대신에, 보조 압력 로커를 제공하는 것이 또한 가능하다. 압력 로커는 주 진공 펌프(10)의 입구부(12) 및/또는 출구부(16)에서 우세한 압력에 따라 스위치되어, 단지 주 펌핑 모드가 종료된다면 보조 진공 펌프(24)로의 동력 가스 공급이 바람직하게 발생한다.
도 3의 다이어그램에서의 개략적 예시에 기초하여, 주 펌핑 모드가 시간(t0)과 시간(t1) 사이에서 규정될 수 있다. 준비 모드는 시간(t1) 정각으로부터 규정된다. 챔버(14)의 배기는 시간(t0)에서 시작한다. 이를 위해, 주 진공 펌프(10)가 작동된다. 도 4에 예시된 펌프 시스템에 관하여 상기 설명된 바와 같이, 이젝터 펌프(24)는 시간(t0)과 시간(t1) 사이에서는 작동되지 않는다. 적용에 따라, 이젝터 펌프는 또한 챔버(14)의 배기 중 주기(t0 내지 t1)에서 작동될 수 있다. 주 펌핑 사이클 중 이젝터 펌프를 작동하는 것이 이용가능하며, 예컨대, 인스톨레이션이 본질적으로 준비 모드에서 실시될 때, 이에 따라 주 펌핑 사이클 중 또는 이러한 제어부가 단지 무시 가능한 비용 감소에 영향을 미칠 때 동력 가스를 세이브하기 위해서 별도의 제어부가 요구되지 않는다. 이에 따라, 이젝터 펌프(24)는 시간(t1)에서 압력(p1)에 도달할 때 바람직하게 활성화된다. 이로부터, 준비 모드가 시행된다. 시간(t1)에서, 이젝터 펌프(24)가 활성화된다. 시간(t2)에서 출구부(16)에서 요구되는 압력(p0)에 도달하자마자, 이젝터 펌프(24)가 비활성화된다. 출구부(16)에서 압력(p1)으로의 압력 증가로 인해, 특히 누출들로 인해, 이젝터 펌프(24)가 시간(t3)에서 다시 활성화된다. 이에 따라, 이젝터 펌프(24)는, 완전 기계적 제어 수단을 사용하여 출구부에서 우세한 압력에 따라 압력 범위(Δp) 내에서 활성화 그리고 비활성화된다.
압력 상한(p1)은, 바람직하게는 500 내지 150 mbar 범위이며, 바람직하게는 200 내지 300 mbar 범위이다. 압력 하한(p0)은, 바람직하게는 450 내지 100 mbar 범위이며, 특히 150 내지 250 mbar 범위이다. Δp에서 압력 차이는, 바람직하게는 20 내지 200 mbar 범위이며, 특히 대략 50 mbar이다.

Claims (18)

  1. 배기될 챔버(14)와의 연결을 위해 구성된 주 진공 펌프(10),
    주 진공 펌프(10)의 출구부(16)에 연결되는 보조 펌프(24), 및
    주 진공 펌프의 출구부(16)에서 우세한 압력(Δp)의 규정된 범위 내에서 보조 펌프(24)를 활성화하기 위한 제어 수단(32, 34)을 포함하는 진공 펌프 시스템에 있어서,
    상기 제어 수단(32, 34)은 단지 기계적 구성요소들을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어 수단(32, 34)은 압력 하한(p0)에 미달될(undershot) 때 보조 펌프(24)를 비활성화시키고 압력 상한(p1)이 초과될 때 보조 펌프(24)를 활성화하는 압력 로커를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 보조 펌프는 이젝터 펌프(24)로서 설계되는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 압력 로커(32, 34)는 동력 가스의 공급을 개방 또는 폐쇄하는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
    이젝터 펌프(24)로의 동력 가스의 공급을 위한 공급 라인(36)에 배열된 제 1 스위치 밸브(32)를 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 주 진공 펌프의 배출구(16)에 연결되는 제 2 스위치 밸브(34)를 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 스위치 밸브와 제 2 스위치 밸브 사이에 배열된 압력 라인(44, 56)들을 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 보조 펌프(24)는 주 진공 펌프(10)의 출구부(16)에 연결되는 출구부 라인(18)의 분기 라인(22)에 배열되는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    체크 밸브(30)가 상기 분기 라인(22)과의 연결부 하류에서 출구부 라인(18)에 배열되는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
  10. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
    보조 체크 밸브(28)가 보조 펌프(24)의 상류에서 분기 라인(22)에 배열되는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
  11. 배기될 챔버(14)와의 연결을 위해 구성된 주 진공 펌프(10),
    주 진공 펌프(10)의 출구부(16)에 연결되는 보조 펌프(24), 및
    미리 정해진 제어 파라미터에 따라 보조 펌프를 활성화하는 보조 제어 수단(60)을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 미리 정해진 제어 파라미터는 준비 모드에 도달한 것으로 규정되는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
  13. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
    상기 미리 정해진 제어 파라미터는 주 진공 펌프(10)의 입구부(12)에서의 압력 값에 미달되는(undershot) 것으로 규정되며, 이 값은 특히 압력 센서(66)에 의해 결정되며, 압력 상한은 바람직하게는 1mbar인 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
  14. 제 11 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 미리 정해진 제어 파라미터는 주 진공 펌프(10)의 출구부(16)에서의 압력 값에 미달되는 것으로 규정되며, 이 값은 특히 압력 센서(68)에 의해 결정되며, 압력 상한은 바람직하게는 1020 mbar인 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
  15. 제 11 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 미리 정해진 제어 파라미터는 특성이 있는 파라미터, 특히 주 진공 펌프(10)를 구동하는 전기 모터의 소비 전력인 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
  16. 제 11 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 보조 제어 수단(60)은 바람직하게는 유동 방향(62)에서 보면 보조 펌프(24)의 상류에 배열되는 전기적으로 스위치 가능한 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
  17. 제 11 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 보조 제어 수단(60)은 주 진공 펌프의 출구부(16) 및/또는 입구부(12)에서 우세한 압력에 미달될 때 보조 펌프(24)를 활성화하는 보조 압력 로커를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
  18. 제 11 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
    제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항의 보조 펌프(24)를 활성화하는 제어 수단(32, 34)을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프 시스템.
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