JP2000342903A - 脱気方法およびその装置 - Google Patents
脱気方法およびその装置Info
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- JP2000342903A JP2000342903A JP11158942A JP15894299A JP2000342903A JP 2000342903 A JP2000342903 A JP 2000342903A JP 11158942 A JP11158942 A JP 11158942A JP 15894299 A JP15894299 A JP 15894299A JP 2000342903 A JP2000342903 A JP 2000342903A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 所望の脱気度の脱気液を確実に得ること
ができるとともに、省エネルギー化を図った脱気方法お
よびその装置を提供することである。 【解決手段】 脱気手段１を用いて真空脱気する脱気方
法において、真空吸引手段５の吸引側における真空圧力
と蒸気分圧とに基づいて、前記真空吸引手段５の運転を
制御する脱気方法である。脱気手段１と真空吸引手段５
とを真空吸引ライン４で接続し、前記真空吸引ライン４
に圧力検出手段９を設けるとともに、前記真空吸引手段
５の作動用流体の温度検出手段１０を設け、前記圧力検
出手段９からの圧力検出値と前記温度検出手段１０から
の温度検出値に基づいて、前記真空吸引手段５の運転を
制御する制御器１２を設けた脱気装置である。
ができるとともに、省エネルギー化を図った脱気方法お
よびその装置を提供することである。 【解決手段】 脱気手段１を用いて真空脱気する脱気方
法において、真空吸引手段５の吸引側における真空圧力
と蒸気分圧とに基づいて、前記真空吸引手段５の運転を
制御する脱気方法である。脱気手段１と真空吸引手段５
とを真空吸引ライン４で接続し、前記真空吸引ライン４
に圧力検出手段９を設けるとともに、前記真空吸引手段
５の作動用流体の温度検出手段１０を設け、前記圧力検
出手段９からの圧力検出値と前記温度検出手段１０から
の温度検出値に基づいて、前記真空吸引手段５の運転を
制御する制御器１２を設けた脱気装置である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、脱気手段を用い
て真空脱気する脱気方法およびその装置に関するもので
ある。
て真空脱気する脱気方法およびその装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、液体からその液体に溶け込ん
でいる空気（以下、「溶存空気」という）を除去する脱
気方法の一つに、脱気手段を用いて真空脱気する，所謂
真空脱気方法がある。この真空脱気方法を採用した脱気
装置においては、脱気手段内に被脱気液を導入し、この
脱気手段を真空吸引することで、被脱気液中の溶存空気
を除去している。このような脱気装置において、所望の
脱気度（たとえば、被脱気液に残留する溶存酸素濃度で
示される。）の脱気液を得るために、真空吸引の圧力
（以下、「真空圧力」という）が所定の値または所定の
範囲を維持するように真空吸引手段の運転を制御してい
る。
でいる空気（以下、「溶存空気」という）を除去する脱
気方法の一つに、脱気手段を用いて真空脱気する，所謂
真空脱気方法がある。この真空脱気方法を採用した脱気
装置においては、脱気手段内に被脱気液を導入し、この
脱気手段を真空吸引することで、被脱気液中の溶存空気
を除去している。このような脱気装置において、所望の
脱気度（たとえば、被脱気液に残留する溶存酸素濃度で
示される。）の脱気液を得るために、真空吸引の圧力
（以下、「真空圧力」という）が所定の値または所定の
範囲を維持するように真空吸引手段の運転を制御してい
る。
【０００３】しかし、このような脱気装置において、真
空吸引手段として水封式真空ポンプや水エゼクタ式真空
ポンプを用いたものでは、時刻や季節によって脱気度に
ばらつきが生じることがあった。また、このような脱気
装置においては、真空吸引手段の吸引側における真空圧
力に応じて真空吸引手段の運転を制御し、省エネルギー
化を図ったものがあるが、時刻や季節によって、運転の
制御に違いが生じ、省エネルギー化の効果を十分に発揮
できないことがあった。
空吸引手段として水封式真空ポンプや水エゼクタ式真空
ポンプを用いたものでは、時刻や季節によって脱気度に
ばらつきが生じることがあった。また、このような脱気
装置においては、真空吸引手段の吸引側における真空圧
力に応じて真空吸引手段の運転を制御し、省エネルギー
化を図ったものがあるが、時刻や季節によって、運転の
制御に違いが生じ、省エネルギー化の効果を十分に発揮
できないことがあった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明が解決しよう
とする課題は、所望の脱気度の脱気液を確実に得ること
ができるとともに、省エネルギー化を図った脱気方法お
よびその装置を提供することである。
とする課題は、所望の脱気度の脱気液を確実に得ること
ができるとともに、省エネルギー化を図った脱気方法お
よびその装置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記課題を
解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明
は、脱気手段を用いて真空脱気する脱気方法において、
真空吸引手段の吸引側における真空圧力と蒸気分圧とに
基づいて、前記真空吸引手段の運転を制御することを特
徴としている。
解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明
は、脱気手段を用いて真空脱気する脱気方法において、
真空吸引手段の吸引側における真空圧力と蒸気分圧とに
基づいて、前記真空吸引手段の運転を制御することを特
徴としている。
【０００６】請求項２に記載の発明は、前記蒸気分圧
を、前記真空吸引手段の作動用流体の温度に基づいて求
めることを特徴としている。
を、前記真空吸引手段の作動用流体の温度に基づいて求
めることを特徴としている。
【０００７】さらに、請求項３に記載の発明は、脱気手
段と真空吸引手段とを真空吸引ラインで接続し、前記真
空吸引ラインに圧力検出手段を設けるとともに、前記真
空吸引手段の作動用流体の温度検出手段を設け、前記圧
力検出手段からの圧力検出値と前記温度検出手段からの
温度検出値とに基づいて、前記真空吸引手段の運転を制
御する制御器を設けたことを特徴としている。
段と真空吸引手段とを真空吸引ラインで接続し、前記真
空吸引ラインに圧力検出手段を設けるとともに、前記真
空吸引手段の作動用流体の温度検出手段を設け、前記圧
力検出手段からの圧力検出値と前記温度検出手段からの
温度検出値とに基づいて、前記真空吸引手段の運転を制
御する制御器を設けたことを特徴としている。
【０００８】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態について説
明すると、この発明は、脱気手段と真空吸引手段とを真
空吸引ラインで接続し、脱気手段に被脱気液を導入する
とともに、脱気手段を真空吸引手段によって真空吸引す
ることによって脱気を行う脱気装置において実現され
る。真空吸引ラインには、真空圧力を検出するための圧
力検出手段を設けてあり、この圧力検出手段を、真空吸
引手段の運転を制御する制御器に接続してある。ここに
おいて、脱気手段は、中空糸膜などの気体透過膜を用い
た膜脱気手段や脱気塔などである。
明すると、この発明は、脱気手段と真空吸引手段とを真
空吸引ラインで接続し、脱気手段に被脱気液を導入する
とともに、脱気手段を真空吸引手段によって真空吸引す
ることによって脱気を行う脱気装置において実現され
る。真空吸引ラインには、真空圧力を検出するための圧
力検出手段を設けてあり、この圧力検出手段を、真空吸
引手段の運転を制御する制御器に接続してある。ここに
おいて、脱気手段は、中空糸膜などの気体透過膜を用い
た膜脱気手段や脱気塔などである。
【０００９】この発明では、真空吸引手段の吸引側にお
ける真空圧力と蒸気分圧とに基づいて、真空吸引手段の
運転を制御する。すなわち、脱気装置の制御器は、真空
圧力と蒸気分圧とから求めた空気分圧が、所定の脱気度
を得る真空圧力となるように真空吸引手段の運転を制御
する。たとえば、制御器により、予め設定した真空圧力
の設定値（または設定範囲）を蒸気分圧によって調整
し、圧力検出手段によって検出した真空圧力が、この調
整された設定値を維持するように真空吸引手段の運転を
制御する。
ける真空圧力と蒸気分圧とに基づいて、真空吸引手段の
運転を制御する。すなわち、脱気装置の制御器は、真空
圧力と蒸気分圧とから求めた空気分圧が、所定の脱気度
を得る真空圧力となるように真空吸引手段の運転を制御
する。たとえば、制御器により、予め設定した真空圧力
の設定値（または設定範囲）を蒸気分圧によって調整
し、圧力検出手段によって検出した真空圧力が、この調
整された設定値を維持するように真空吸引手段の運転を
制御する。
【００１０】また、制御器には、必要な脱気度を得るた
めの空気分圧を設定値（または設定範囲）として設定し
ておき、圧力検出手段によって検出した真空圧力と蒸気
分圧とから求めた空気分圧が、この空気分圧の設定値を
維持するように、真空吸引手段の運転を制御する。真空
吸引手段の運転の制御は、オン−オフ制御，真空吸引力
を段階的に調整する多段階制御，真空吸引力を連続的に
調整する比例制御などである。
めの空気分圧を設定値（または設定範囲）として設定し
ておき、圧力検出手段によって検出した真空圧力と蒸気
分圧とから求めた空気分圧が、この空気分圧の設定値を
維持するように、真空吸引手段の運転を制御する。真空
吸引手段の運転の制御は、オン−オフ制御，真空吸引力
を段階的に調整する多段階制御，真空吸引力を連続的に
調整する比例制御などである。
【００１１】以上のように、真空吸引手段の吸引側にお
ける真空圧力と蒸気分圧とに基づいて、真空吸引手段の
運転を制御することにより、脱気液の脱気度を一定にす
ることができ、しかも真空吸引手段を過度に運転する必
要がなくなるため、省エネルギー化を図ることができ
る。この理由を、水から溶存空気を除去する場合の例に
ついて説明すると、以下のとおりである。
ける真空圧力と蒸気分圧とに基づいて、真空吸引手段の
運転を制御することにより、脱気液の脱気度を一定にす
ることができ、しかも真空吸引手段を過度に運転する必
要がなくなるため、省エネルギー化を図ることができ
る。この理由を、水から溶存空気を除去する場合の例に
ついて説明すると、以下のとおりである。
【００１２】すなわち、前記のような脱気装置において
は、脱気手段を真空吸引することによって水から溶存空
気を分離しているため、真空吸引手段による真空圧力で
脱気度が決まる。しかし、真空吸引手段の吸引側に水蒸
気（蒸気）が存在すると、真空圧力が一定でも、脱気度
が低下する。これは、真空脱気方法においては、水にお
ける溶存空気の分圧（空気分圧）と、真空吸引手段の吸
引側における空気の分圧（空気分圧）との差に基づい
て、水から溶存空気が分離するためである。したがっ
て、真空吸引手段の吸引側における空気分圧が所定の値
となるように、蒸気分圧に基づいて吸引側における真空
圧力を調整することにより、所望の脱気度を得ることが
できる。また、過度の脱気が行われることも防止できる
ため、真空吸引手段の省エネルギー化も達成することが
できる。
は、脱気手段を真空吸引することによって水から溶存空
気を分離しているため、真空吸引手段による真空圧力で
脱気度が決まる。しかし、真空吸引手段の吸引側に水蒸
気（蒸気）が存在すると、真空圧力が一定でも、脱気度
が低下する。これは、真空脱気方法においては、水にお
ける溶存空気の分圧（空気分圧）と、真空吸引手段の吸
引側における空気の分圧（空気分圧）との差に基づい
て、水から溶存空気が分離するためである。したがっ
て、真空吸引手段の吸引側における空気分圧が所定の値
となるように、蒸気分圧に基づいて吸引側における真空
圧力を調整することにより、所望の脱気度を得ることが
できる。また、過度の脱気が行われることも防止できる
ため、真空吸引手段の省エネルギー化も達成することが
できる。
【００１３】さらに、この発明において、真空吸引手段
が、液封式真空ポンプやエゼクタ式真空ポンプなどのよ
うに、真空吸引作用を生じさせるために作動用流体を用
いる真空吸引手段の場合には、蒸気分圧を、真空吸引手
段の作動用流体の温度に基づいて求めることができる。
すなわち、真空吸引手段へ作動用流体を供給するための
供給ラインや、真空吸引手段から使用後の作動用流体を
排出する排出ライン（排気ラインと兼用される場合もあ
る）に温度検出手段を設け、この温度検出手段によって
作動用流体の温度を検出し、この検出した作動用流体の
温度に対応する飽和蒸気圧を求めて、この飽和蒸気圧を
蒸気分圧とする。
が、液封式真空ポンプやエゼクタ式真空ポンプなどのよ
うに、真空吸引作用を生じさせるために作動用流体を用
いる真空吸引手段の場合には、蒸気分圧を、真空吸引手
段の作動用流体の温度に基づいて求めることができる。
すなわち、真空吸引手段へ作動用流体を供給するための
供給ラインや、真空吸引手段から使用後の作動用流体を
排出する排出ライン（排気ラインと兼用される場合もあ
る）に温度検出手段を設け、この温度検出手段によって
作動用流体の温度を検出し、この検出した作動用流体の
温度に対応する飽和蒸気圧を求めて、この飽和蒸気圧を
蒸気分圧とする。
【００１４】また、温度検出手段は、真空吸引手段に直
接設けて、真空吸引手段内部の作動用流体の温度を検出
する構成とすることもできる。たとえば、真空吸引手段
が液封式真空ポンプの場合、作動用流体としての封液
は、インペラの回転に伴ってポンプ室周面に沿って周回
する流れを形成するため、この周回する封液の温度を検
出するように温度検出手段を設ける。また、液封式真空
ポンプの場合には、温度検出手段は、供給ラインからポ
ンプ室へ至るまでの流路や、ポンプ室から排出ライン
（または排気ライン）へ至る流路に設ける。また、真空
吸引手段が、エゼクタ式真空ポンプの場合には、作動用
流体を噴出するノズル部や、その下流側の排気ラインへ
至る流路に設ける。
接設けて、真空吸引手段内部の作動用流体の温度を検出
する構成とすることもできる。たとえば、真空吸引手段
が液封式真空ポンプの場合、作動用流体としての封液
は、インペラの回転に伴ってポンプ室周面に沿って周回
する流れを形成するため、この周回する封液の温度を検
出するように温度検出手段を設ける。また、液封式真空
ポンプの場合には、温度検出手段は、供給ラインからポ
ンプ室へ至るまでの流路や、ポンプ室から排出ライン
（または排気ライン）へ至る流路に設ける。また、真空
吸引手段が、エゼクタ式真空ポンプの場合には、作動用
流体を噴出するノズル部や、その下流側の排気ラインへ
至る流路に設ける。
【００１５】
【実施例】以下、この発明に係る脱気方法およびその装
置の具体的実施例について、図１〜図３を参照しながら
説明する。図１は、この発明に係る脱気装置の一実施例
の概略的な説明図であり、図２は、この発明に係る脱気
装置における真空吸引手段の運転の制御の一例を示す説
明図であり、また図３は、この発明に係る脱気装置にお
ける真空吸引手段の運転の制御の他の一例を示す説明図
である。
置の具体的実施例について、図１〜図３を参照しながら
説明する。図１は、この発明に係る脱気装置の一実施例
の概略的な説明図であり、図２は、この発明に係る脱気
装置における真空吸引手段の運転の制御の一例を示す説
明図であり、また図３は、この発明に係る脱気装置にお
ける真空吸引手段の運転の制御の他の一例を示す説明図
である。
【００１６】図１に示す脱気装置は、水（被脱気液）か
ら空気（溶存空気）を除去する脱気装置としてある。図
１において、脱気手段１は、たとえば膜脱気手段を用い
る。この脱気手段１には、被脱気水の導入ライン２と脱
気水の導出ライン３とを接続してある。前記脱気手段１
には、真空吸引ライン４を介して真空吸引手段としての
水封式真空ポンプ５を接続してある。この水封式真空ポ
ンプ５には、作動用流体としての封水を供給する封水供
給ライン６を接続してある。また、前記水封式真空ポン
プ５には、排気ライン７を接続してある。前記真空吸引
ライン４には、前記水封式真空ポンプ５の上流側に、前
記水封式真空ポンプ５の停止時においても前記脱気手段
１における真空圧力を維持するための逆止弁８を設けて
ある。
ら空気（溶存空気）を除去する脱気装置としてある。図
１において、脱気手段１は、たとえば膜脱気手段を用い
る。この脱気手段１には、被脱気水の導入ライン２と脱
気水の導出ライン３とを接続してある。前記脱気手段１
には、真空吸引ライン４を介して真空吸引手段としての
水封式真空ポンプ５を接続してある。この水封式真空ポ
ンプ５には、作動用流体としての封水を供給する封水供
給ライン６を接続してある。また、前記水封式真空ポン
プ５には、排気ライン７を接続してある。前記真空吸引
ライン４には、前記水封式真空ポンプ５の上流側に、前
記水封式真空ポンプ５の停止時においても前記脱気手段
１における真空圧力を維持するための逆止弁８を設けて
ある。
【００１７】前記真空吸引ライン４には、前記逆止弁８
の上流側に圧力検出手段９を設けてあり、また前記封水
供給ライン６には、温度検出手段１０を設けてある。前
記水封式真空ポンプ５，前記圧力検出手段９および前記
温度検出手段１０は、回線１１を介してそれぞれ制御器
１２に接続してある。
の上流側に圧力検出手段９を設けてあり、また前記封水
供給ライン６には、温度検出手段１０を設けてある。前
記水封式真空ポンプ５，前記圧力検出手段９および前記
温度検出手段１０は、回線１１を介してそれぞれ制御器
１２に接続してある。
【００１８】前記制御器１２は、予め設定した真空圧力
の設定範囲に基づき、前記各検出手段９，１０によって
検出した真空圧力および封水温度とに応じて前記水封式
真空ポンプ５の運転を制御する。この実施例において
は、前記制御器１２は、前記温度検出手段１０によって
検出した封水温度に基づいて前記設定範囲を調整しなが
ら、前記真空吸引ライン４における真空圧力が前記設定
範囲を維持するように、前記水封式真空ポンプ５の運転
を制御する構成としてある。前記制御器１２における前
記水封式真空ポンプ５の運転の制御は、検出された真空
圧力が前記設定範囲の下限値以下になると前記水封式真
空ポンプ５を低速運転させ、前記設定範囲の上限値を超
えると前記水封式真空ポンプ５を高速運転させる制御を
行う。前記水封式真空ポンプ５の運転を低速運転と高速
運転とに切り替える制御は、たとえばインバータ手段を
用いることによって行う。
の設定範囲に基づき、前記各検出手段９，１０によって
検出した真空圧力および封水温度とに応じて前記水封式
真空ポンプ５の運転を制御する。この実施例において
は、前記制御器１２は、前記温度検出手段１０によって
検出した封水温度に基づいて前記設定範囲を調整しなが
ら、前記真空吸引ライン４における真空圧力が前記設定
範囲を維持するように、前記水封式真空ポンプ５の運転
を制御する構成としてある。前記制御器１２における前
記水封式真空ポンプ５の運転の制御は、検出された真空
圧力が前記設定範囲の下限値以下になると前記水封式真
空ポンプ５を低速運転させ、前記設定範囲の上限値を超
えると前記水封式真空ポンプ５を高速運転させる制御を
行う。前記水封式真空ポンプ５の運転を低速運転と高速
運転とに切り替える制御は、たとえばインバータ手段を
用いることによって行う。
【００１９】前記制御器１２における前記設定範囲の調
整は、前記温度検出手段１０によって検出した封水温度
に基づいて蒸気分圧を求め、この蒸気分圧に基づいて前
記設定範囲の上限値および下限値を増減することによっ
て行う。前記制御器１２において、封水温度から蒸気分
圧を求める機能は、前記制御器１２に、封水温度から飽
和蒸気圧への変換表をデータとして記憶させ、このデー
タを参照して飽和蒸気圧を求める構成によって実現する
こともできるし、また所定の変換式を記憶させ、この変
換式に基づいて封水温度から飽和蒸気圧を求める構成に
よって実現することもできる。
整は、前記温度検出手段１０によって検出した封水温度
に基づいて蒸気分圧を求め、この蒸気分圧に基づいて前
記設定範囲の上限値および下限値を増減することによっ
て行う。前記制御器１２において、封水温度から蒸気分
圧を求める機能は、前記制御器１２に、封水温度から飽
和蒸気圧への変換表をデータとして記憶させ、このデー
タを参照して飽和蒸気圧を求める構成によって実現する
こともできるし、また所定の変換式を記憶させ、この変
換式に基づいて封水温度から飽和蒸気圧を求める構成に
よって実現することもできる。
【００２０】つぎに、前記制御器１２の制御内容ととも
に、前記脱気装置の機能について説明する。まず、前記
封水供給ライン６から前記水封式真空ポンプ５へ封水の
供給を開始し、前記水封式真空ポンプ５の運転を開始す
るとともに、前記導入ライン２から前記脱気手段１へ被
脱気水を供給する。前記脱気手段１内では、被脱気水
は、前記水封式真空ポンプ５によって発生する真空圧力
によって真空脱気され、得られた脱気水は、前記導出ラ
イン３から取り出される。
に、前記脱気装置の機能について説明する。まず、前記
封水供給ライン６から前記水封式真空ポンプ５へ封水の
供給を開始し、前記水封式真空ポンプ５の運転を開始す
るとともに、前記導入ライン２から前記脱気手段１へ被
脱気水を供給する。前記脱気手段１内では、被脱気水
は、前記水封式真空ポンプ５によって発生する真空圧力
によって真空脱気され、得られた脱気水は、前記導出ラ
イン３から取り出される。
【００２１】前記制御器１２は、前記真空吸引ライン４
における真空圧力を前記圧力検出手段９からの圧力検出
値として入力し、また前記封水供給ライン６における封
水温度を前記温度検出手段１０からの温度検出値として
入力している。前記制御器１２は、前記温度検出手段１
０によって検出した封水温度に基づいて封水の飽和蒸気
圧を求める。そして、この飽和蒸気圧を前記真空吸引ラ
イン４における蒸気分圧とし、この蒸気分圧に基づいて
前記設定範囲の上限値および下限値を調整し、この調整
された前記上限値および前記下限値と検出された真空圧
力とを比較することにより前記水封式真空ポンプ５の運
転を制御する。
における真空圧力を前記圧力検出手段９からの圧力検出
値として入力し、また前記封水供給ライン６における封
水温度を前記温度検出手段１０からの温度検出値として
入力している。前記制御器１２は、前記温度検出手段１
０によって検出した封水温度に基づいて封水の飽和蒸気
圧を求める。そして、この飽和蒸気圧を前記真空吸引ラ
イン４における蒸気分圧とし、この蒸気分圧に基づいて
前記設定範囲の上限値および下限値を調整し、この調整
された前記上限値および前記下限値と検出された真空圧
力とを比較することにより前記水封式真空ポンプ５の運
転を制御する。
【００２２】前記制御器１２における制御において、冬
期に所定の脱気度の脱気水を得るために、前記設定範囲
の上限値を、冬期上限設定値Ａ，たとえば１０．６７ｋ
Ｐａ（８０torr）に設定し、前記設定範囲の下限値を、
冬期下限設定値Ｂ，たとえば５．３３ｋＰａ（４０tor
r）に設定した場合の例について、図２を参照しながら
説明する。ここにおいて、冬期における封水の温度を１
０℃とすると、飽和蒸気圧は１．２３ｋＰａ（９．２to
rr）であり、また夏期における封水の温度を３５℃とす
ると、飽和蒸気圧は５．６３ｋＰａ（４２．２torr）で
ある。
期に所定の脱気度の脱気水を得るために、前記設定範囲
の上限値を、冬期上限設定値Ａ，たとえば１０．６７ｋ
Ｐａ（８０torr）に設定し、前記設定範囲の下限値を、
冬期下限設定値Ｂ，たとえば５．３３ｋＰａ（４０tor
r）に設定した場合の例について、図２を参照しながら
説明する。ここにおいて、冬期における封水の温度を１
０℃とすると、飽和蒸気圧は１．２３ｋＰａ（９．２to
rr）であり、また夏期における封水の温度を３５℃とす
ると、飽和蒸気圧は５．６３ｋＰａ（４２．２torr）で
ある。
【００２３】以上の設定の場合、前記制御器１２は、図
２に実線で示すように、前記圧力検出手段９によって検
出した真空圧力が、前記冬期下限設定値Ｂ以下になると
前記水封式真空ポンプ５を低速運転へ移行させ、前記冬
期上限設定値Ａ以上になると前記水封式真空ポンプ５を
高速運転へ移行させる。前記真空圧力が前記冬期下限設
定値Ｂに達したとき、前記真空吸引ライン４における空
気分圧は、５．３３−１．２３＝４．１ｋＰａ（３０．
８torr）である。ここで、夏期においては、前記のよう
に、蒸気分圧が５．６３ｋＰａとなるため、前記冬期上
限設定値Ａおよび前記冬期下限設定値Ｂのそれぞれを、
蒸気分圧の変化分，すなわち５．６３−１．２３＝４．
４ｋＰａ（３３torr）増加させる。
２に実線で示すように、前記圧力検出手段９によって検
出した真空圧力が、前記冬期下限設定値Ｂ以下になると
前記水封式真空ポンプ５を低速運転へ移行させ、前記冬
期上限設定値Ａ以上になると前記水封式真空ポンプ５を
高速運転へ移行させる。前記真空圧力が前記冬期下限設
定値Ｂに達したとき、前記真空吸引ライン４における空
気分圧は、５．３３−１．２３＝４．１ｋＰａ（３０．
８torr）である。ここで、夏期においては、前記のよう
に、蒸気分圧が５．６３ｋＰａとなるため、前記冬期上
限設定値Ａおよび前記冬期下限設定値Ｂのそれぞれを、
蒸気分圧の変化分，すなわち５．６３−１．２３＝４．
４ｋＰａ（３３torr）増加させる。
【００２４】すなわち、前記制御器１２は、前記設定範
囲の上限値を、前記蒸気分圧の変化分増加させた夏期上
限調整値Ｃ，すなわち１５．０７ｋＰａ（１１３torr）
に調整するとともに、前記設定範囲の下限値を前記蒸気
分圧の変化分増加させた夏期下限調整値Ｄ，すなわち
９．７３ｋＰａ（７３torr）に調整する。すると、前記
制御器１２は、この調整後の前記設定範囲の上限値およ
び下限値に基づき、図２に点線で示すように、前記真空
圧力が、前記夏期下限調整値Ｄ以下になると前記水封式
真空ポンプ５を低速運転へ移行させ、前記夏期上限調整
値Ｃ以上になると前記水封式真空ポンプ５を高速運転へ
移行させる。
囲の上限値を、前記蒸気分圧の変化分増加させた夏期上
限調整値Ｃ，すなわち１５．０７ｋＰａ（１１３torr）
に調整するとともに、前記設定範囲の下限値を前記蒸気
分圧の変化分増加させた夏期下限調整値Ｄ，すなわち
９．７３ｋＰａ（７３torr）に調整する。すると、前記
制御器１２は、この調整後の前記設定範囲の上限値およ
び下限値に基づき、図２に点線で示すように、前記真空
圧力が、前記夏期下限調整値Ｄ以下になると前記水封式
真空ポンプ５を低速運転へ移行させ、前記夏期上限調整
値Ｃ以上になると前記水封式真空ポンプ５を高速運転へ
移行させる。
【００２５】このような前記設定範囲の上限値および下
限値の調整により、前記冬期下限設定値Ｂにおける空気
分圧と前記夏期下限調整値Ｄにおける空気分圧とが同じ
になる。また、前記設定範囲の上限値および下限値の調
整では、前記冬期上限設定値Ａと前記冬期下限設定値Ｂ
との差と、前記夏期上限調整値Ｃと前記夏期下限調整値
Ｄとの差とが同じになっている。したがって、前記水封
式真空ポンプ５は、常に前記脱気手段１を所定の空気分
圧の範囲で真空吸引するため、季節の変化による封水温
度の変化に関係なく、所望の脱気度の脱気水を得ること
ができる。
限値の調整により、前記冬期下限設定値Ｂにおける空気
分圧と前記夏期下限調整値Ｄにおける空気分圧とが同じ
になる。また、前記設定範囲の上限値および下限値の調
整では、前記冬期上限設定値Ａと前記冬期下限設定値Ｂ
との差と、前記夏期上限調整値Ｃと前記夏期下限調整値
Ｄとの差とが同じになっている。したがって、前記水封
式真空ポンプ５は、常に前記脱気手段１を所定の空気分
圧の範囲で真空吸引するため、季節の変化による封水温
度の変化に関係なく、所望の脱気度の脱気水を得ること
ができる。
【００２６】また、前記設定範囲の下限値を、前記夏期
下限調整値Ｄ（９．７３ｋＰａ）に調整して制御するこ
とにより、前記水封式真空ポンプ５を早めに低速運転へ
移行させることができるため、前記水封式真空ポンプ５
を無駄に高速運転させるのを回避できる。たとえば、前
記設定例において、夏期においても前記冬期下限設定値
Ｂ（５．３３ｋＰａ）をそのまま用いたとすると、夏期
においては、蒸気分圧（５．６３ｋＰａ）だけで前記冬
期下限設定値Ｂを超えているため、前記水封式真空ポン
プ５は、高速運転から低速運転へ移行せず、高速運転を
維持するので、無駄な運転となる。
下限調整値Ｄ（９．７３ｋＰａ）に調整して制御するこ
とにより、前記水封式真空ポンプ５を早めに低速運転へ
移行させることができるため、前記水封式真空ポンプ５
を無駄に高速運転させるのを回避できる。たとえば、前
記設定例において、夏期においても前記冬期下限設定値
Ｂ（５．３３ｋＰａ）をそのまま用いたとすると、夏期
においては、蒸気分圧（５．６３ｋＰａ）だけで前記冬
期下限設定値Ｂを超えているため、前記水封式真空ポン
プ５は、高速運転から低速運転へ移行せず、高速運転を
維持するので、無駄な運転となる。
【００２７】また、図３に示すように、夏期に所定の脱
気度の脱気水を得るために、前記設定範囲の上限値を、
夏期上限設定値Ｅ，たとえば１２．６７ｋＰａ（９５to
rr）に設定し、前記設定範囲の下限値を、夏期下限設定
値Ｆ，たとえば７．３３ｋＰａ（５５torr）に設定した
場合の例について説明する。この設定の場合、前記制御
器１２は、図３に実線で示すように、前記圧力検出手段
９によって検出した真空圧力が、前記夏期下限設定値Ｆ
以下になると前記水封式真空ポンプ５を低速運転へ移行
させ、前記夏期上限設定値Ｅ以上になると前記水封式真
空ポンプ５を高速運転へ移行させる。この設定の場合、
夏期においては、前記水封式真空ポンプ５は、真空圧力
が前記夏期下限設定値Ｆに達したときの空気分圧，すな
わち７．３３−５．６３＝１．７ｋＰａ（１２．８tor
r）の空気分圧で真空吸引を行う。
気度の脱気水を得るために、前記設定範囲の上限値を、
夏期上限設定値Ｅ，たとえば１２．６７ｋＰａ（９５to
rr）に設定し、前記設定範囲の下限値を、夏期下限設定
値Ｆ，たとえば７．３３ｋＰａ（５５torr）に設定した
場合の例について説明する。この設定の場合、前記制御
器１２は、図３に実線で示すように、前記圧力検出手段
９によって検出した真空圧力が、前記夏期下限設定値Ｆ
以下になると前記水封式真空ポンプ５を低速運転へ移行
させ、前記夏期上限設定値Ｅ以上になると前記水封式真
空ポンプ５を高速運転へ移行させる。この設定の場合、
夏期においては、前記水封式真空ポンプ５は、真空圧力
が前記夏期下限設定値Ｆに達したときの空気分圧，すな
わち７．３３−５．６３＝１．７ｋＰａ（１２．８tor
r）の空気分圧で真空吸引を行う。
【００２８】そして、冬期においては、前記制御器１２
は、前記夏期上限設定値Ｅおよび前記夏期下限設定値Ｆ
を、前記のように、封水温度の変化に応じた蒸気分圧の
変化に基づいて調整する。すなわち、前記制御器１２
は、前記設定範囲の上限値を前記蒸気分圧の変化分減少
させて冬期上限調整値Ｇ，すなわち８．２７ｋＰａ（６
２torr）に調整するとともに、前記設定範囲の下限値も
前記蒸気分圧の変化分減少させて冬期下限調整値Ｈ，す
なわち２．９３ｋＰａ（２２torr）に設定する。
は、前記夏期上限設定値Ｅおよび前記夏期下限設定値Ｆ
を、前記のように、封水温度の変化に応じた蒸気分圧の
変化に基づいて調整する。すなわち、前記制御器１２
は、前記設定範囲の上限値を前記蒸気分圧の変化分減少
させて冬期上限調整値Ｇ，すなわち８．２７ｋＰａ（６
２torr）に調整するとともに、前記設定範囲の下限値も
前記蒸気分圧の変化分減少させて冬期下限調整値Ｈ，す
なわち２．９３ｋＰａ（２２torr）に設定する。
【００２９】前記設定範囲の上限値および下限値を調整
することにより、前記制御器１２は、図３に二点鎖線で
示すように、前記真空圧力が、前記冬期下限調整値Ｈ以
下になると前記水封式真空ポンプ５を低速運転へ移行さ
せ、前記冬期上限調整値Ｇ以上になると前記水封式真空
ポンプ５を高速運転へ移行させる。前記制御器１２は、
冬期においては、前記冬期下限調整値Ｈに基づいて前記
水封式真空ポンプ５を制御することにより、夏期と同様
に２．９３−１．２３＝１．７ｋＰａ（１２．８torr）
の空気分圧の状態で脱気を行うことができ、所定の脱気
度の脱気水を得ることができる。ここで、この設定例に
おいて、冬期においても、前記夏期下限設定値Ｆをその
まま用いたとすると、前記水封式真空ポンプ５は、７．
３３−１．２３＝６．１ｋＰａ（４５．８torr）の空気
分圧の状態で低速運転へ移行してしまうため、それ以上
真空圧力が下がらないので、脱気性能が低下する。
することにより、前記制御器１２は、図３に二点鎖線で
示すように、前記真空圧力が、前記冬期下限調整値Ｈ以
下になると前記水封式真空ポンプ５を低速運転へ移行さ
せ、前記冬期上限調整値Ｇ以上になると前記水封式真空
ポンプ５を高速運転へ移行させる。前記制御器１２は、
冬期においては、前記冬期下限調整値Ｈに基づいて前記
水封式真空ポンプ５を制御することにより、夏期と同様
に２．９３−１．２３＝１．７ｋＰａ（１２．８torr）
の空気分圧の状態で脱気を行うことができ、所定の脱気
度の脱気水を得ることができる。ここで、この設定例に
おいて、冬期においても、前記夏期下限設定値Ｆをその
まま用いたとすると、前記水封式真空ポンプ５は、７．
３３−１．２３＝６．１ｋＰａ（４５．８torr）の空気
分圧の状態で低速運転へ移行してしまうため、それ以上
真空圧力が下がらないので、脱気性能が低下する。
【００３０】したがって、前記水封式真空ポンプ５は、
常に前記脱気手段１を所定の空気分圧で真空吸引するた
め、季節の変化による封水温度の変化に関係なく、所望
の脱気度の脱気水を得ることができる。しかも、前記水
封式真空ポンプ５を無駄に高速運転することなく、適切
な運転を行えるので、省エネルギー化を達成する。した
がって、前記水封式真空ポンプ５は、常に前記脱気手段
１を所定の空気分圧で真空吸引するため、季節の変化に
よる封水温度の変化に関係なく、所望の脱気度の脱気水
を得ることができる。
常に前記脱気手段１を所定の空気分圧で真空吸引するた
め、季節の変化による封水温度の変化に関係なく、所望
の脱気度の脱気水を得ることができる。しかも、前記水
封式真空ポンプ５を無駄に高速運転することなく、適切
な運転を行えるので、省エネルギー化を達成する。した
がって、前記水封式真空ポンプ５は、常に前記脱気手段
１を所定の空気分圧で真空吸引するため、季節の変化に
よる封水温度の変化に関係なく、所望の脱気度の脱気水
を得ることができる。
【００３１】以上のように、この実施例においては、封
水温度から蒸気分圧を求め、この蒸気分圧に基づいて、
前記水封式真空ポンプ５の運転を制御するための前記設
定範囲の上限値および下限値を調整することにより、封
水温度の変化に起因する脱気度の変化を防止することが
でき、しかも脱気度に応じた最適な前記水封式真空ポン
プ５の運転を可能とするため、省エネルギー化も同時に
達成する。
水温度から蒸気分圧を求め、この蒸気分圧に基づいて、
前記水封式真空ポンプ５の運転を制御するための前記設
定範囲の上限値および下限値を調整することにより、封
水温度の変化に起因する脱気度の変化を防止することが
でき、しかも脱気度に応じた最適な前記水封式真空ポン
プ５の運転を可能とするため、省エネルギー化も同時に
達成する。
【００３２】ここで、前記封水温度の変化に応じた前記
設定範囲の上限値および下限値の調整は、一定時間ごと
（たとえば１時間ごと）に行うこともできるし、封水温
度が所定温度（たとえば５℃）変化するごとに行うこと
もできる。さらに、飽和蒸気圧が所定圧力，たとえば
０．６７ｋＰａ（５torr）変化する封水の温度域を設定
しておき、この温度域を越えるごとに前記設定範囲の上
限値および下限値を調整するように構成することもでき
る。
設定範囲の上限値および下限値の調整は、一定時間ごと
（たとえば１時間ごと）に行うこともできるし、封水温
度が所定温度（たとえば５℃）変化するごとに行うこと
もできる。さらに、飽和蒸気圧が所定圧力，たとえば
０．６７ｋＰａ（５torr）変化する封水の温度域を設定
しておき、この温度域を越えるごとに前記設定範囲の上
限値および下限値を調整するように構成することもでき
る。
【００３３】さらに、この実施例においては、前記制御
器１２によって、前記真空吸引ライン４内の空気分圧が
前記所望の脱気度に対応する所定の値（または所定の範
囲）を維持するように前記水封式真空ポンプ５の運転を
制御する構成とすることもできる。すなわち、前記圧力
検出手段９によって検出した真空圧力から、前記温度検
出手段１０によって検出した封水温度に基づいて求めた
蒸気分圧を差し引くことにより、空気分圧を求め、この
空気分圧が、所定の脱気度を得るのに必要な空気分圧と
なるように、前記水封式真空ポンプ５の回転数を増減さ
せる制御とすることもできる。
器１２によって、前記真空吸引ライン４内の空気分圧が
前記所望の脱気度に対応する所定の値（または所定の範
囲）を維持するように前記水封式真空ポンプ５の運転を
制御する構成とすることもできる。すなわち、前記圧力
検出手段９によって検出した真空圧力から、前記温度検
出手段１０によって検出した封水温度に基づいて求めた
蒸気分圧を差し引くことにより、空気分圧を求め、この
空気分圧が、所定の脱気度を得るのに必要な空気分圧と
なるように、前記水封式真空ポンプ５の回転数を増減さ
せる制御とすることもできる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明に係る脱
気方法およびその装置によれば、真空吸引手段の吸引側
における真空圧力と蒸気分圧とに基づいて、真空吸引手
段の運転を制御することにより、所望の脱気度の脱気液
を安定して得ることができる。しかも、真空吸引手段
は、過度の脱気や脱気不足を生じることなく、所望の脱
気度の脱気液を得るために適切な運転が行われるため、
省エネルギー化を達成することができる。
気方法およびその装置によれば、真空吸引手段の吸引側
における真空圧力と蒸気分圧とに基づいて、真空吸引手
段の運転を制御することにより、所望の脱気度の脱気液
を安定して得ることができる。しかも、真空吸引手段
は、過度の脱気や脱気不足を生じることなく、所望の脱
気度の脱気液を得るために適切な運転が行われるため、
省エネルギー化を達成することができる。
【図１】この発明に係る脱気装置の一実施例の概略的な
説明図である。
説明図である。
【図２】この発明に係る脱気装置における真空吸引手段
の運転の制御の一例を示す説明図である。
の運転の制御の一例を示す説明図である。
【図３】この発明に係る脱気装置における真空吸引手段
の運転の制御の他の一例を示す説明図である。
の運転の制御の他の一例を示す説明図である。
１ 脱気手段 ４ 真空吸引ライン ５ 水封式真空ポンプ（真空吸引手段） ９ 圧力検出手段 １０ 温度検出手段 １２ 制御器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D006 GA32 KE08Q KE13P KE16Q MA01 PA10 PB62 4D011 AA16 AA17 AD06
Claims (3)
- 【請求項１】 脱気手段１を用いて真空脱気する脱気方
法において、真空吸引手段５の吸引側における真空圧力
と蒸気分圧とに基づいて、前記真空吸引手段５の運転を
制御することを特徴とする脱気方法。 - 【請求項２】 前記蒸気分圧を、前記真空吸引手段５の
作動用流体の温度に基づいて求めることを特徴とする請
求項１に記載の脱気方法。 - 【請求項３】 脱気手段１と真空吸引手段５とを真空吸
引ライン４で接続し、前記真空吸引ライン４に圧力検出
手段９を設けるとともに、前記真空吸引手段５の作動用
流体の温度検出手段１０を設け、前記圧力検出手段９か
らの圧力検出値と前記温度検出手段１０からの温度検出
値とに基づいて、前記真空吸引手段５の運転を制御する
制御器１２を設けたことを特徴とする脱気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15894299A JP4214620B2 (ja) | 1999-06-07 | 1999-06-07 | 脱気装置における脱気方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15894299A JP4214620B2 (ja) | 1999-06-07 | 1999-06-07 | 脱気装置における脱気方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000342903A true JP2000342903A (ja) | 2000-12-12 |
| JP4214620B2 JP4214620B2 (ja) | 2009-01-28 |
Family
ID=15682718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15894299A Expired - Fee Related JP4214620B2 (ja) | 1999-06-07 | 1999-06-07 | 脱気装置における脱気方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4214620B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1529560A2 (en) * | 2003-10-10 | 2005-05-11 | ERC Inc. | Vacuum control system |
| JP2009285641A (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-10 | Toyobo Engineering Kk | 窒素式脱酸素装置の効率的制御方法 |
| JP2014016208A (ja) * | 2012-07-06 | 2014-01-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 自動分析装置 |
| JP2014184379A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Miura Co Ltd | 水処理装置 |
| EP3765744A4 (en) * | 2018-03-14 | 2021-09-08 | Edwards Technologies Vacuum Engineering (Qingdao) Co Ltd | CONTROL OF A LIQUID RING PUMP |
-
1999
- 1999-06-07 JP JP15894299A patent/JP4214620B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1529560A2 (en) * | 2003-10-10 | 2005-05-11 | ERC Inc. | Vacuum control system |
| EP1529560A3 (en) * | 2003-10-10 | 2005-09-28 | ERC Inc. | Vacuum control system |
| JP2009285641A (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-10 | Toyobo Engineering Kk | 窒素式脱酸素装置の効率的制御方法 |
| JP2014016208A (ja) * | 2012-07-06 | 2014-01-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 自動分析装置 |
| JP2014184379A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Miura Co Ltd | 水処理装置 |
| EP3765744A4 (en) * | 2018-03-14 | 2021-09-08 | Edwards Technologies Vacuum Engineering (Qingdao) Co Ltd | CONTROL OF A LIQUID RING PUMP |
| US11619232B2 (en) | 2018-03-14 | 2023-04-04 | Edwards Limited | Liquid ring pump control |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4214620B2 (ja) | 2009-01-28 |
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