JPH0975608A - 真空脱気における脱気度調整方法 - Google Patents
真空脱気における脱気度調整方法Info
- Publication number
- JPH0975608A JPH0975608A JP26231895A JP26231895A JPH0975608A JP H0975608 A JPH0975608 A JP H0975608A JP 26231895 A JP26231895 A JP 26231895A JP 26231895 A JP26231895 A JP 26231895A JP H0975608 A JPH0975608 A JP H0975608A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- degassing
- vacuum pump
- deaerating
- vacuum pressure
- Prior art date
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- Pending
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- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 所定の脱気度を有する脱気液を供給できる脱
気度調整方法の実現を図る。 【解決手段】 被脱気液の供給ラインと脱気液の排出ラ
インとを備えた脱気手段に真空ポンプを接続し、該真空
ポンプにより前記脱気手段内の被脱気液を真空脱気する
方法において、前記脱気手段内の真空圧力を検出し、該
検出値に基づいて前記真空ポンプのＯＮ，ＯＦＦを制御
することを特徴とする。
気度調整方法の実現を図る。 【解決手段】 被脱気液の供給ラインと脱気液の排出ラ
インとを備えた脱気手段に真空ポンプを接続し、該真空
ポンプにより前記脱気手段内の被脱気液を真空脱気する
方法において、前記脱気手段内の真空圧力を検出し、該
検出値に基づいて前記真空ポンプのＯＮ，ＯＦＦを制御
することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、真空脱気におけ
る脱気度調整方法に関するものである。
る脱気度調整方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、真空脱気手段を用いて液
体中の溶存気体を除去し、脱気液として各機器へ供給す
ることは知られているが、前記真空脱気手段を用いて供
給する脱気液は、ほぼ一定の溶存気体を除去した脱気液
として供給されている。しかしながら、脱気液の用途と
して、たとえば超音波洗浄に用いる洗浄液等は、被洗浄
物の種類により脱気度を調整することが要望されている
が、従来の真空脱気手段では、脱気度を調整しつつ、所
定の脱気度の範囲で運転するというものはなく、真空ポ
ンプの能力に応じて運転しているにすぎない。この場
合、真空ポンプは、常に連続運転を行うことになり、到
達真空圧は脱気液の流量や他の条件で変動し、脱気度も
変動していた。
体中の溶存気体を除去し、脱気液として各機器へ供給す
ることは知られているが、前記真空脱気手段を用いて供
給する脱気液は、ほぼ一定の溶存気体を除去した脱気液
として供給されている。しかしながら、脱気液の用途と
して、たとえば超音波洗浄に用いる洗浄液等は、被洗浄
物の種類により脱気度を調整することが要望されている
が、従来の真空脱気手段では、脱気度を調整しつつ、所
定の脱気度の範囲で運転するというものはなく、真空ポ
ンプの能力に応じて運転しているにすぎない。この場
合、真空ポンプは、常に連続運転を行うことになり、到
達真空圧は脱気液の流量や他の条件で変動し、脱気度も
変動していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、前記問題
点に鑑み、所定の脱気度を有する脱気液を供給すること
のできる真空脱気における脱気度調整方法を提供するこ
とを目的とするものである。
点に鑑み、所定の脱気度を有する脱気液を供給すること
のできる真空脱気における脱気度調整方法を提供するこ
とを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記課題を
解決するためになされたもので、被脱気液の供給ライン
と脱気液の排出ラインとを備えた脱気手段に真空ポンプ
を接続し、該真空ポンプにより前記脱気手段内の被脱気
液を真空脱気する方法において、前記脱気手段内の真空
圧力を検出し、該検出値に基づいて前記真空ポンプのＯ
Ｎ，ＯＦＦを制御することを特徴としている。
解決するためになされたもので、被脱気液の供給ライン
と脱気液の排出ラインとを備えた脱気手段に真空ポンプ
を接続し、該真空ポンプにより前記脱気手段内の被脱気
液を真空脱気する方法において、前記脱気手段内の真空
圧力を検出し、該検出値に基づいて前記真空ポンプのＯ
Ｎ，ＯＦＦを制御することを特徴としている。
【０００５】
【実施例】以下、この発明の具体的実施を図面に基づい
て詳細に説明する。図１は、この発明における第一実施
例を概略的に示す説明図である。
て詳細に説明する。図１は、この発明における第一実施
例を概略的に示す説明図である。
【０００６】図１は、この発明を実施した真空脱気装置
の構成を概略的に説明するもので、被脱気液を真空脱気
する脱気手段１として、中空糸膜等の気体透過膜により
形成された膜脱気モジュール２をもって構成した真空脱
気装置についての実施例である。この膜脱気モジュール
２の一側には被脱気液の供給ライン３が接続されてお
り、この供給ライン３の他端は、被脱気液の供給源（図
示省略）に接続されている。また、膜脱気モジュール２
の他側には脱気液を取り出す排出ライン４が接続されて
おり、この排出ライン４を介して脱気液を各機器（図示
省略）へ供給する構成となっている。
の構成を概略的に説明するもので、被脱気液を真空脱気
する脱気手段１として、中空糸膜等の気体透過膜により
形成された膜脱気モジュール２をもって構成した真空脱
気装置についての実施例である。この膜脱気モジュール
２の一側には被脱気液の供給ライン３が接続されてお
り、この供給ライン３の他端は、被脱気液の供給源（図
示省略）に接続されている。また、膜脱気モジュール２
の他側には脱気液を取り出す排出ライン４が接続されて
おり、この排出ライン４を介して脱気液を各機器（図示
省略）へ供給する構成となっている。
【０００７】前記膜脱気モジュール２内を真空脱気する
手段としては、たとえば水封式の真空ポンプ５があり、
この真空ポンプ５は封水ライン６と排気ライン７とを備
えている。この真空ポンプ５と前記膜脱気モジュール２
とは、真空吸引ライン８で接続されており、この真空吸
引ライン８に前記膜脱気モジュール２内の真空圧力を検
出する真空圧力センサ９が設けられている。この真空圧
力センサ９は、無段階に圧力範囲を設定できる半導体式
圧力センサが好適である。
手段としては、たとえば水封式の真空ポンプ５があり、
この真空ポンプ５は封水ライン６と排気ライン７とを備
えている。この真空ポンプ５と前記膜脱気モジュール２
とは、真空吸引ライン８で接続されており、この真空吸
引ライン８に前記膜脱気モジュール２内の真空圧力を検
出する真空圧力センサ９が設けられている。この真空圧
力センサ９は、無段階に圧力範囲を設定できる半導体式
圧力センサが好適である。
【０００８】そして、前記真空圧力センサ９と前記真空
ポンプ５とは、信号回線１０で接続されており、この信
号回線１０の途中に、前記真空圧力センサ９の検出信号
により前記真空ポンプ５の運転をＯＮ，ＯＦＦさせる制
御機構（図示省略）が設けられている。
ポンプ５とは、信号回線１０で接続されており、この信
号回線１０の途中に、前記真空圧力センサ９の検出信号
により前記真空ポンプ５の運転をＯＮ，ＯＦＦさせる制
御機構（図示省略）が設けられている。
【０００９】ここで、前記膜脱気モジュール２内の真空
圧力と被脱気液の脱気度（溶存気体濃度，すなわちＤＯ
値）の関係について説明すると、たとえば被脱気液とし
て水道水を用いた場合を図２に示す。図２において、こ
の水道水の当初の溶存気体濃度を８ppm とし、この水道
水の脱気後の所定溶存気体濃度を３ppm と設定すると、
前記膜脱気モジュール２内の真空圧力を約２５０torr〜
３００torrに設定すればよい。そこで、前記真空圧力セ
ンサ９の検出信号により前記真空ポンプ５の運転をＯ
Ｎ，ＯＦＦ制御する制御機構（図示省略）に、前記真空
圧力２５０torr〜３００torrでＯＮ，ＯＦＦするように
前記真空ポンプ５の作動域をセットする（図３参照）。
すなわち、前記真空ポンプ５の作動により、前記膜脱気
モジュール２内の真空圧力が２５０torrに達すると、前
記真空ポンプ５が停止する。前記膜脱気モジュール２内
の真空圧力は、前記真空ポンプ５を停止した時点から脱
気気体により上昇し、真空圧力が３００torrに至ると、
再び前記真空ポンプ５が作動する。以後、このサイクル
を繰り返すことにより、所定の脱気度を有する脱気液を
供給することができる。
圧力と被脱気液の脱気度（溶存気体濃度，すなわちＤＯ
値）の関係について説明すると、たとえば被脱気液とし
て水道水を用いた場合を図２に示す。図２において、こ
の水道水の当初の溶存気体濃度を８ppm とし、この水道
水の脱気後の所定溶存気体濃度を３ppm と設定すると、
前記膜脱気モジュール２内の真空圧力を約２５０torr〜
３００torrに設定すればよい。そこで、前記真空圧力セ
ンサ９の検出信号により前記真空ポンプ５の運転をＯ
Ｎ，ＯＦＦ制御する制御機構（図示省略）に、前記真空
圧力２５０torr〜３００torrでＯＮ，ＯＦＦするように
前記真空ポンプ５の作動域をセットする（図３参照）。
すなわち、前記真空ポンプ５の作動により、前記膜脱気
モジュール２内の真空圧力が２５０torrに達すると、前
記真空ポンプ５が停止する。前記膜脱気モジュール２内
の真空圧力は、前記真空ポンプ５を停止した時点から脱
気気体により上昇し、真空圧力が３００torrに至ると、
再び前記真空ポンプ５が作動する。以後、このサイクル
を繰り返すことにより、所定の脱気度を有する脱気液を
供給することができる。
【００１０】つぎに、この発明の第二実施例を図４に基
づいて説明すると、図４は、この発明を実施した真空脱
気装置の構成を概略的に説明するもので、被脱気液を真
空脱気する脱気手段１として、脱気塔１１をもって構成
した真空脱気装置についての実施例である。この脱気塔
１１の上部には被脱気液の供給ライン１２が接続されて
おり、この供給ライン１２の先端部には脱気塔１内にお
いてスプレーノズル１３が装着されている。そして、こ
の供給ライン１２の他端は、被脱気液の供給源（図示省
略）に接続されている。また、脱気塔１１の下部には脱
気液を取り出す排出ライン１４が接続されており、この
排出ライン１４を介して脱気液を各機器（図示省略）へ
供給する構成となっている。
づいて説明すると、図４は、この発明を実施した真空脱
気装置の構成を概略的に説明するもので、被脱気液を真
空脱気する脱気手段１として、脱気塔１１をもって構成
した真空脱気装置についての実施例である。この脱気塔
１１の上部には被脱気液の供給ライン１２が接続されて
おり、この供給ライン１２の先端部には脱気塔１内にお
いてスプレーノズル１３が装着されている。そして、こ
の供給ライン１２の他端は、被脱気液の供給源（図示省
略）に接続されている。また、脱気塔１１の下部には脱
気液を取り出す排出ライン１４が接続されており、この
排出ライン１４を介して脱気液を各機器（図示省略）へ
供給する構成となっている。
【００１１】前記脱気塔１１内を真空脱気する手段とし
ては、たとえば水封式の真空ポンプ１５があり、この真
空ポンプ１５は封水ライン１６と排気ライン１７とを備
えている。この真空ポンプ１５と前記脱気塔１１の上部
とは、真空吸引ライン１８で接続されており、この真空
吸引ライン１８の接続部下方には、前記脱気塔１内の真
空圧力を検出する真空圧力センサ１９が設けられてい
る。こん真空圧力センサ１９は、前記第一実施例におけ
る真空圧力センサ９と同様、無段階に圧力範囲を設定で
きる半導体式圧力センサが好適である。
ては、たとえば水封式の真空ポンプ１５があり、この真
空ポンプ１５は封水ライン１６と排気ライン１７とを備
えている。この真空ポンプ１５と前記脱気塔１１の上部
とは、真空吸引ライン１８で接続されており、この真空
吸引ライン１８の接続部下方には、前記脱気塔１内の真
空圧力を検出する真空圧力センサ１９が設けられてい
る。こん真空圧力センサ１９は、前記第一実施例におけ
る真空圧力センサ９と同様、無段階に圧力範囲を設定で
きる半導体式圧力センサが好適である。
【００１２】そして、前記真空圧力センサ１９と前記真
空ポンプ１５とは、信号回線２０で接続されており、こ
の信号回線２０の途中に、前記真空圧力センサ１９の検
出信号により前記真空ポンプ１５の運転をＯＮ，ＯＦＦ
させる制御機構（図示省略）が設けられている。
空ポンプ１５とは、信号回線２０で接続されており、こ
の信号回線２０の途中に、前記真空圧力センサ１９の検
出信号により前記真空ポンプ１５の運転をＯＮ，ＯＦＦ
させる制御機構（図示省略）が設けられている。
【００１３】以上のように、この発明は、脱気手段とし
て、膜脱気モジュール方式によっても、また脱気塔方式
によっても同様の作用効果を奏することができるもの
で、実施に応じて、いずれかの脱気手段を採用すること
ができる。
て、膜脱気モジュール方式によっても、また脱気塔方式
によっても同様の作用効果を奏することができるもの
で、実施に応じて、いずれかの脱気手段を採用すること
ができる。
【００１４】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、脱気
手段の真空圧力を検出し、この検出値に基づいて真空ポ
ンプをＯＮ，ＯＦＦさせて真空圧力を調整するので、所
定の脱気度を有する脱気液とすることができる。また、
真空ポンプをＯＮ，ＯＦＦ制御するので、従来の真空ポ
ンプを連続運転するものに比べて、省エネルギー効果は
大きい。
手段の真空圧力を検出し、この検出値に基づいて真空ポ
ンプをＯＮ，ＯＦＦさせて真空圧力を調整するので、所
定の脱気度を有する脱気液とすることができる。また、
真空ポンプをＯＮ，ＯＦＦ制御するので、従来の真空ポ
ンプを連続運転するものに比べて、省エネルギー効果は
大きい。
【図１】この発明の第一実施例を概略的に示す説明図で
ある。
ある。
【図２】図１の膜脱気モジュール内の真空圧力とＤＯ値
の関係を示す線図である。
の関係を示す線図である。
【図３】図１の真空圧力センサの検出信号により、真空
ポンプをＯＮ，ＯＦＦ制御する作動域を示す説明図であ
る。
ポンプをＯＮ，ＯＦＦ制御する作動域を示す説明図であ
る。
【図４】この発明の第二実施例を概略的に示す説明図で
ある。
ある。
１…脱気手段 ２…膜脱気モジュール ３…供給ライン ４…排出ライン ５…真空ポンプ ８…真空吸引ライン ９…真空圧力センサ １１…脱気塔 １２…供給ライン １４…排出ライン １５…真空ポンプ １８…真空吸引ライン １９…真空圧力センサ
Claims (1)
- 【請求項１】 被脱気液の供給ラインと脱気液の排出ラ
インとを備えた脱気手段に真空ポンプを接続し、該真空
ポンプにより前記脱気手段内の被脱気液を真空脱気する
方法において、前記脱気手段内の真空圧力を検出し、該
検出値に基づいて前記真空ポンプのＯＮ，ＯＦＦを制御
することを特徴とする真空脱気における脱気度調整方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26231895A JPH0975608A (ja) | 1995-09-13 | 1995-09-13 | 真空脱気における脱気度調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26231895A JPH0975608A (ja) | 1995-09-13 | 1995-09-13 | 真空脱気における脱気度調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0975608A true JPH0975608A (ja) | 1997-03-25 |
Family
ID=17374110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26231895A Pending JPH0975608A (ja) | 1995-09-13 | 1995-09-13 | 真空脱気における脱気度調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0975608A (ja) |
-
1995
- 1995-09-13 JP JP26231895A patent/JPH0975608A/ja active Pending
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