JPH0975609A - 真空脱気における脱気度調整方法 - Google Patents
真空脱気における脱気度調整方法Info
- Publication number
- JPH0975609A JPH0975609A JP26501095A JP26501095A JPH0975609A JP H0975609 A JPH0975609 A JP H0975609A JP 26501095 A JP26501095 A JP 26501095A JP 26501095 A JP26501095 A JP 26501095A JP H0975609 A JPH0975609 A JP H0975609A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- degassing
- line
- module
- vacuum suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 所定の脱気度を有する脱気液を供給できる脱
気度調整方法の実現を図る。 【解決手段】 被脱気液の供給ラインと脱気液の排出ラ
インとを備えた脱気手段に真空ポンプを接続し、該真空
ポンプにより前記脱気手段内の被脱気液を真空脱気する
方法において、前記脱気手段内の真空圧力を検出し、該
検出値に基づいて前記暖気手段内の真空吸引作動をＯ
Ｎ，ＯＦＦ制御することを特徴とする。
気度調整方法の実現を図る。 【解決手段】 被脱気液の供給ラインと脱気液の排出ラ
インとを備えた脱気手段に真空ポンプを接続し、該真空
ポンプにより前記脱気手段内の被脱気液を真空脱気する
方法において、前記脱気手段内の真空圧力を検出し、該
検出値に基づいて前記暖気手段内の真空吸引作動をＯ
Ｎ，ＯＦＦ制御することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、真空脱気におけ
る脱気度調整方法に関するものである。
る脱気度調整方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、真空脱気手段を用いて液
体中の溶存気体を除去し、脱気液として各機器へ供給す
ることは知られているが、前記真空脱気手段を用いて供
給する脱気液は、ほぼ一定の溶存気体を除去した脱気液
として供給されている。しかしながら、脱気液の用途と
して、たとえば超音波洗浄に用いる洗浄液等は、被洗浄
物の種類により脱気度を調整することが要望されている
が、従来の真空脱気手段では、脱気度を調整しつつ、所
定の脱気度の範囲で運転するというものはなく、真空ポ
ンプの能力に応じて運転しているにすぎない。この場
合、真空ポンプは、常に連続運転を行うことになり、到
達真空圧は脱気液の流量や他の条件で変動し、脱気度も
変動していた。
体中の溶存気体を除去し、脱気液として各機器へ供給す
ることは知られているが、前記真空脱気手段を用いて供
給する脱気液は、ほぼ一定の溶存気体を除去した脱気液
として供給されている。しかしながら、脱気液の用途と
して、たとえば超音波洗浄に用いる洗浄液等は、被洗浄
物の種類により脱気度を調整することが要望されている
が、従来の真空脱気手段では、脱気度を調整しつつ、所
定の脱気度の範囲で運転するというものはなく、真空ポ
ンプの能力に応じて運転しているにすぎない。この場
合、真空ポンプは、常に連続運転を行うことになり、到
達真空圧は脱気液の流量や他の条件で変動し、脱気度も
変動していた。
【０００３】また、この種の真空脱気装置の真空吸引を
行う手段としての真空ポンプは、必要真空レベルに応じ
た真空ポンプが個別に選定されており、工場内のユーテ
ィリティ機器としての真空ポンプと共用することができ
ないと云う問題点がある。
行う手段としての真空ポンプは、必要真空レベルに応じ
た真空ポンプが個別に選定されており、工場内のユーテ
ィリティ機器としての真空ポンプと共用することができ
ないと云う問題点がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、前記問題
点に鑑み、所定の脱気度を有する脱気液を供給すること
のできる真空脱気における脱気度調整方法を提供するこ
とを目的とするものであり、さらにユーティリティ機器
としての真空ポンプとの共用化の実現を図るものであ
る。
点に鑑み、所定の脱気度を有する脱気液を供給すること
のできる真空脱気における脱気度調整方法を提供するこ
とを目的とするものであり、さらにユーティリティ機器
としての真空ポンプとの共用化の実現を図るものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記課題を
解決するためになされたもので、被脱気液の供給ライン
と脱気液の排出ラインとを備えた脱気手段に真空ポンプ
を接続し、該真空ポンプにより前記脱気手段内の被脱気
液を真空脱気する方法において、前記脱気手段内の真空
圧力を検出し、該検出値に基づいて前記脱気手段内の真
空吸引作動をＯＮ，ＯＦＦ制御することを特徴としてい
る。
解決するためになされたもので、被脱気液の供給ライン
と脱気液の排出ラインとを備えた脱気手段に真空ポンプ
を接続し、該真空ポンプにより前記脱気手段内の被脱気
液を真空脱気する方法において、前記脱気手段内の真空
圧力を検出し、該検出値に基づいて前記脱気手段内の真
空吸引作動をＯＮ，ＯＦＦ制御することを特徴としてい
る。
【０００６】
【実施例】以下、この発明の具体的実施例を図面に基づ
いて詳細に説明する。図１は、この発明における第一実
施例を概略的に示す説明図である。
いて詳細に説明する。図１は、この発明における第一実
施例を概略的に示す説明図である。
【０００７】図１は、この発明を実施した真空脱気装置
の構成を概略的に説明するもので、被脱気液を真空脱気
する脱気手段１として、中空糸膜等の気体透過膜により
形成された膜脱気モジュール２をもって構成した真空脱
気装置についての実施例である。この膜脱気モジュール
２の一側には被脱気液の供給ライン３が接続されてお
り、この供給ライン３の他端は、被脱気液の供給源（図
示省略）に接続されている。また、膜脱気モジュール２
の他側には脱気液を取り出す排出ライン４が接続されて
おり、この排出ライン４を介して脱気液を各機器（図示
省略）へ供給する構成となっている。
の構成を概略的に説明するもので、被脱気液を真空脱気
する脱気手段１として、中空糸膜等の気体透過膜により
形成された膜脱気モジュール２をもって構成した真空脱
気装置についての実施例である。この膜脱気モジュール
２の一側には被脱気液の供給ライン３が接続されてお
り、この供給ライン３の他端は、被脱気液の供給源（図
示省略）に接続されている。また、膜脱気モジュール２
の他側には脱気液を取り出す排出ライン４が接続されて
おり、この排出ライン４を介して脱気液を各機器（図示
省略）へ供給する構成となっている。
【０００８】前記膜脱気モジュール２内を真空脱気する
手段としては、たとえば水封式の真空ポンプ５があり、
この真空ポンプ５は工場内のユーティリティ機器とし
て、他の真空吸引設備と共用のものとして設置されてい
る。この真空ポンプ５は、一般的な構成として、封水ラ
イン６と排気ライン７とを備えている。この真空ポンプ
５と前記膜脱気モジュール２とは、工場内配管としての
真空吸引ライン８で接続されており、この真空吸引ライ
ン８に前記膜脱気モジュール２内の真空圧力を検出する
真空圧力センサ９が設けられている。この真空圧力セン
サ９は、無段階に圧力範囲を設定できる半導体式圧力セ
ンサが好適である。
手段としては、たとえば水封式の真空ポンプ５があり、
この真空ポンプ５は工場内のユーティリティ機器とし
て、他の真空吸引設備と共用のものとして設置されてい
る。この真空ポンプ５は、一般的な構成として、封水ラ
イン６と排気ライン７とを備えている。この真空ポンプ
５と前記膜脱気モジュール２とは、工場内配管としての
真空吸引ライン８で接続されており、この真空吸引ライ
ン８に前記膜脱気モジュール２内の真空圧力を検出する
真空圧力センサ９が設けられている。この真空圧力セン
サ９は、無段階に圧力範囲を設定できる半導体式圧力セ
ンサが好適である。
【０００９】さて、前記真空吸引ライン８には、前記膜
脱気モジュール２内の真空吸引作動の開始と停止を行う
電磁弁等の自動弁１０が設けられている。すなわち、こ
の自動弁１０は、前記真空吸引ライン８の連通，遮断を
行う構成となっている。
脱気モジュール２内の真空吸引作動の開始と停止を行う
電磁弁等の自動弁１０が設けられている。すなわち、こ
の自動弁１０は、前記真空吸引ライン８の連通，遮断を
行う構成となっている。
【００１０】そして、この自動弁１０と前記真空圧力セ
ンサ９とは、信号回線１１で接続されており、この信号
回線１１の途中に、前記真空圧力センサ９の検出信号に
より、この自動弁１０の連通，遮断を制御する制御機構
（図示省略）が設けられている。すなわち、前記真空圧
力センサ９の検出信号により、前記真空吸引ライン８の
連通，遮断を制御し、前記膜脱気モジュール２内の真空
吸引作動のＯＮ，ＯＦＦを制御する構成となっている。
ンサ９とは、信号回線１１で接続されており、この信号
回線１１の途中に、前記真空圧力センサ９の検出信号に
より、この自動弁１０の連通，遮断を制御する制御機構
（図示省略）が設けられている。すなわち、前記真空圧
力センサ９の検出信号により、前記真空吸引ライン８の
連通，遮断を制御し、前記膜脱気モジュール２内の真空
吸引作動のＯＮ，ＯＦＦを制御する構成となっている。
【００１１】ここで、前記膜脱気モジュール２内の真空
圧力と被脱気液の脱気度（溶存気体濃度，すなわちＤＯ
値）の関係について説明すると、たとえば被脱気液とし
て水道水を用いた場合を図２に示す。図２において、こ
の水道水の当初の溶存気体濃度を８ppm とし、この水道
水の脱気後の所定溶存気体濃度を３ppm と設定すると、
前記膜脱気モジュール２内の真空圧力を約２５０torr〜
３００torrに設定すればよい。そこで、前記真空圧力セ
ンサ９の検出信号により、前記膜脱気モジュール２内の
真空吸引作動をＯＮ，ＯＦＦ制御する制御機構（図示省
略）に、前記真空圧力２５０torr〜３００torrでＯＮ，
ＯＦＦするように前記自動弁１０の作動域をセットする
（図３参照）。すなわち、前記真空吸引ライン８の連通
により（すなわち、前記自動弁１０のＯＮ作動）、前記
膜脱気モジュール２内の真空圧力が２５０torrに達する
と、前記真空吸引ライン８が遮断される（すなわち、前
記自動弁１０のＯＦＦ作動）。
圧力と被脱気液の脱気度（溶存気体濃度，すなわちＤＯ
値）の関係について説明すると、たとえば被脱気液とし
て水道水を用いた場合を図２に示す。図２において、こ
の水道水の当初の溶存気体濃度を８ppm とし、この水道
水の脱気後の所定溶存気体濃度を３ppm と設定すると、
前記膜脱気モジュール２内の真空圧力を約２５０torr〜
３００torrに設定すればよい。そこで、前記真空圧力セ
ンサ９の検出信号により、前記膜脱気モジュール２内の
真空吸引作動をＯＮ，ＯＦＦ制御する制御機構（図示省
略）に、前記真空圧力２５０torr〜３００torrでＯＮ，
ＯＦＦするように前記自動弁１０の作動域をセットする
（図３参照）。すなわち、前記真空吸引ライン８の連通
により（すなわち、前記自動弁１０のＯＮ作動）、前記
膜脱気モジュール２内の真空圧力が２５０torrに達する
と、前記真空吸引ライン８が遮断される（すなわち、前
記自動弁１０のＯＦＦ作動）。
【００１２】また、図１の実施例にあっては、前記自動
弁１０の下流側には、空気導入弁１２が設けられてい
る。この空気導入弁１２は、前記真空ポンプ５を工場内
のユーティリティ機器としてのものと共用した場合の調
整手段となっている。工場内ユーティリティ機器として
の真空ポンプ５は、通常比較的吸引能力が大きいものが
設置されているため、前記真空ポンプ５の吸引能力と前
記膜脱気モジュール２の必要真空レベルとがかけ離れて
いる場合があり、この場合、空気導入弁１２を開いて、
前記真空ポンプ５の吸引能力を調整する。
弁１０の下流側には、空気導入弁１２が設けられてい
る。この空気導入弁１２は、前記真空ポンプ５を工場内
のユーティリティ機器としてのものと共用した場合の調
整手段となっている。工場内ユーティリティ機器として
の真空ポンプ５は、通常比較的吸引能力が大きいものが
設置されているため、前記真空ポンプ５の吸引能力と前
記膜脱気モジュール２の必要真空レベルとがかけ離れて
いる場合があり、この場合、空気導入弁１２を開いて、
前記真空ポンプ５の吸引能力を調整する。
【００１３】以上のように、前記膜脱気モジュール２内
の真空圧力は、前記真空吸引ライン８が遮断された時点
から脱気気体により上昇し、真空圧力が３００torrに至
ると、再び前記真空吸引ライン８が連通する。以後、こ
のサイクルを繰り返すことにより、所定の脱気度を有す
る脱気液を供給することができる。
の真空圧力は、前記真空吸引ライン８が遮断された時点
から脱気気体により上昇し、真空圧力が３００torrに至
ると、再び前記真空吸引ライン８が連通する。以後、こ
のサイクルを繰り返すことにより、所定の脱気度を有す
る脱気液を供給することができる。
【００１４】つぎに、この発明の第二実施例を図４に基
づいて説明すると、図４は、前記真空ポンプ５を共用す
る複数の脱気ライン１３，１３，…を設け、各脱気ライ
ン１３毎に所定の脱気度に調整する場合の実施例で、各
脱気ライン１３毎に前記膜脱気モジュール２をそれぞれ
配置し、その各膜脱気モジュール２の前記真空吸引ライ
ン８毎に前記真空圧力検出センサ９，前記自動弁１０お
よび制御機構（図示省略）をそれぞれ設けた構成となっ
ている。なお、図１において使用した符号と同一の符号
は、図１の構成部材と同様の構成部材を表すもので、詳
細な説明は省略する。
づいて説明すると、図４は、前記真空ポンプ５を共用す
る複数の脱気ライン１３，１３，…を設け、各脱気ライ
ン１３毎に所定の脱気度に調整する場合の実施例で、各
脱気ライン１３毎に前記膜脱気モジュール２をそれぞれ
配置し、その各膜脱気モジュール２の前記真空吸引ライ
ン８毎に前記真空圧力検出センサ９，前記自動弁１０お
よび制御機構（図示省略）をそれぞれ設けた構成となっ
ている。なお、図１において使用した符号と同一の符号
は、図１の構成部材と同様の構成部材を表すもので、詳
細な説明は省略する。
【００１５】図４の実施例において、前記各制御機構
（図示省略）により、各脱気ライン１３毎に、所定の脱
気度となるように、前記各自動弁１０の作動域をそれぞ
れセットする。これにより、前記各真空吸引ライン８毎
にその連通，遮断が行われ、前記各脱気ライン１３毎に
所定の脱気度に調整される。
（図示省略）により、各脱気ライン１３毎に、所定の脱
気度となるように、前記各自動弁１０の作動域をそれぞ
れセットする。これにより、前記各真空吸引ライン８毎
にその連通，遮断が行われ、前記各脱気ライン１３毎に
所定の脱気度に調整される。
【００１６】以上のように、この発明の実施例における
脱気手段として、膜脱気モジュール方式について説明し
たが、この発明は脱気手段として膜脱気モジュール方式
に限定されるものではなく、脱気塔方式によっても同様
の作用効果を奏することができる。したって、実施に応
じて、脱気手段として脱気塔方式を採用することができ
る。
脱気手段として、膜脱気モジュール方式について説明し
たが、この発明は脱気手段として膜脱気モジュール方式
に限定されるものではなく、脱気塔方式によっても同様
の作用効果を奏することができる。したって、実施に応
じて、脱気手段として脱気塔方式を採用することができ
る。
【００１７】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、脱気
手段内の真空圧力を検出し、この検出値に基づいて脱気
手段内の真空吸引作動をＯＮ，ＯＦＦさせて真空圧力を
調整するので、所定の脱気度を有する脱気液とすること
ができる。また、真空ポンプを共用することができるの
で、設備費，ランニングコスト等の低減化を図ることが
できる。さらには、真空ポンプの共用化が可能となるの
で、この種真空脱気装置のコンパクト化，省スペース化
を図ることができ、この種の調整方法として頗る効果的
である。
手段内の真空圧力を検出し、この検出値に基づいて脱気
手段内の真空吸引作動をＯＮ，ＯＦＦさせて真空圧力を
調整するので、所定の脱気度を有する脱気液とすること
ができる。また、真空ポンプを共用することができるの
で、設備費，ランニングコスト等の低減化を図ることが
できる。さらには、真空ポンプの共用化が可能となるの
で、この種真空脱気装置のコンパクト化，省スペース化
を図ることができ、この種の調整方法として頗る効果的
である。
【図１】この発明の第一実施例を概略的に示す説明図で
ある。
ある。
【図２】図１の膜脱気モジュール内の真空圧力とＤＯ値
の関係を示す線図である。
の関係を示す線図である。
【図３】図１の真空圧力センサの検出信号により、真空
ポンプをＯＮ，ＯＦＦ制御する作動域を示す説明図であ
る。
ポンプをＯＮ，ＯＦＦ制御する作動域を示す説明図であ
る。
【図４】この発明の第二実施例を概略的に示す説明図で
ある。
ある。
１…脱気手段 ２…膜脱気モジュール ３…供給ライン ４…排出ライン ５…真空ポンプ ８…真空吸引ライン ９…真空圧力センサ １０…自動弁 １１…信号回線 １２…空気導入弁 １３…脱気ライン
Claims (1)
- 【請求項１】 被脱気液の供給ラインと脱気液の排出ラ
インとを備えた脱気手段に真空ポンプを接続し、該真空
ポンプにより前記脱気手段内の被脱気液を真空脱気する
方法において、前記脱気手段内の真空圧力を検出し、該
検出値に基づいて前記脱気手段内の真空吸引作動をＯ
Ｎ，ＯＦＦ制御することを特徴とする真空脱気における
脱気度調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26501095A JPH0975609A (ja) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | 真空脱気における脱気度調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26501095A JPH0975609A (ja) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | 真空脱気における脱気度調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0975609A true JPH0975609A (ja) | 1997-03-25 |
Family
ID=17411331
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26501095A Pending JPH0975609A (ja) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | 真空脱気における脱気度調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0975609A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014016208A (ja) * | 2012-07-06 | 2014-01-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 自動分析装置 |
-
1995
- 1995-09-18 JP JP26501095A patent/JPH0975609A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014016208A (ja) * | 2012-07-06 | 2014-01-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 自動分析装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2740458B2 (ja) | 閉式液体循環システムにおける脱気方法及び装置 | |
| JP2000350902A (ja) | 脱気方法 | |
| JPH0975609A (ja) | 真空脱気における脱気度調整方法 | |
| JPH08332307A (ja) | 脱気装置 | |
| JPH0985011A (ja) | 脱気モジュールの液漏れ検出装置 | |
| JPH0776873A (ja) | 廃水ポンプステーション内に循環を起こすための方法及び装置 | |
| JPH0332792A (ja) | 脱酸素システムの制御装置 | |
| JPH0975608A (ja) | 真空脱気における脱気度調整方法 | |
| JPH081118A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP3215835B2 (ja) | サイホン式放水装置 | |
| JPH08907A (ja) | 真空脱気における脱気度調整方法 | |
| JP2556404Y2 (ja) | 脱気装置の自動台数制御装置 | |
| JP2737468B2 (ja) | 逆洗機能を備えた脱気装置 | |
| JPS61178088A (ja) | 純水製造装置 | |
| JPH07136472A (ja) | 気体分離膜の洗浄方法およびその装置 | |
| JPH0671108A (ja) | ビル給水系における脱気装置の運転制御装置 | |
| JP2000342903A (ja) | 脱気方法およびその装置 | |
| JPH07108255A (ja) | 真空ポンプシステムの制御方法 | |
| JPS60257810A (ja) | 脱気装置 | |
| JPH0615254A (ja) | 純水の膜脱気装置 | |
| JPH1122911A (ja) | 脱気装置およびその運転方法 | |
| JP2564655Y2 (ja) | 小型貫流ボイラの給水装置 | |
| JP3342364B2 (ja) | 汚水処理施設の運転制御方法 | |
| JP2737586B2 (ja) | 脱気装置における溶存酸素濃度一定化方法 | |
| JP2553852Y2 (ja) | 脱気装置用水封式真空ポンプの封水利用機構 |