KR20150044724A - 박막트랜지스터 어레이 기판, 유기 발광 표시 장치 및 박막트랜지스터 어레이 기판의 제조 방법 - Google Patents

박막트랜지스터 어레이 기판, 유기 발광 표시 장치 및 박막트랜지스터 어레이 기판의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 기판; 제1 실리콘 활성층, 제2 실리콘 활성층 및 상기 제1 실리콘 활성층과 상기 제2 실리콘 활성층 사이의 공간에 형성된 산화물 활성층을 포함하는 활성층; 게이트 절연층을 사이에 두고 상기 활성층 상에 형성된 게이트 전극; 및 층간 절연층을 사이에 두고 상기 게이트 전극 상에 형성되며, 상기 제1 실리콘 활성층과 접촉하는 소스 전극 및 상기 제2 실리콘 활성층과 접촉하는 드레인 전극; 을 포함하고, 상기 산화물 반도체는 상기 제1 활성층 및 제2 활성층 사이의 공간에 형성되는 박막트랜지스터 어레이 기판을 개시한다.

Description

박막트랜지스터 어레이 기판, 유기 발광 표시 장치 및 박막트랜지스터 어레이 기판의 제조 방법{Thin film transistor array substrate, organic light-emitting display apparatus and manufacturing of the thin film transistor array substrate}
본 발명의 실시예들은 박막트랜지스터 어레이 기판, 유기 발광 표시 장치 및 박막트랜지스터 어레이 기판의 제조방법에 관한 것이다.
박막트랜지스터 및 커패시터 등과 이들을 연결하는 배선을 포함하는 박막트랜지스터 어레이 기판(thin film transistor array substrate)은 액정 표시 장치나 유기 발광 표시 장치 등의 평판 표시 장치에 널리 사용되고 있다.
박막트랜지스터 어레이 기판을 사용하는 유기 발광 표시 장치는 다수의 게이트 라인 및 데이터 배선이 매트릭스 형태로 배열되어 각 화소를 정의한다. 각각의 화소는 박막트랜지스터와 커패시터 및 이들에 연결된 유기 발광 소자를 포함한다. 유기 발광 소자는 상기 박막트랜지스터와 커패시터로부터 적절한 구동 신호를 인가 받아서 발광하며 원하는 화상을 구현하게 된다.
본 발명은 소자 특성 및 표시 품질이 우수한 발광 표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예는 기판; 제1 실리콘 활성층, 제2 실리콘 활성층 및 상기 제1 실리콘 활성층과 상기 제2 실리콘 활성층 사이의 공간에 형성된 산화물 활성층을 포함하는 활성층; 게이트 절연층을 사이에 두고 상기 활성층 상에 형성된 게이트 전극; 및 층간 절연층을 사이에 두고 상기 게이트 전극 상에 형성되며, 상기 제1 실리콘 활성층과 접촉하는 소스 전극 및 상기 제2 실리콘 활성층과 접촉하는 드레인 전극; 을 포함하고, 상기 산화물 반도체는 상기 제1 활성층 및 제2 활성층 사이의 공간에 형성되는 박막트랜지스터 어레이 기판을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 실리콘 활성층 및 상기 제2 실리콘 활성층에서 상기 게이트 전극과 중첩되지 않는 영역은 N+ 또는 P+ 이온 불순물이 도핑될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극은 상기 게이트 전극과 중첩되지 않을 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 실리콘 활성층 및 제2 실리콘 활성층은 비정질 실리콘(amorphous silicon) 또는 결정질 실리콘(poly silicon)을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 산화물 활성층은 G-I-Z-O, 아연(Zn), 인듐(In), 갈륨(Ga), 주석(Sn) 카드뮴(Cd), 게르마늄(Ge), 또는 하프늄(Hf) 혹은 이들의 조합에서 선택된 하나 이상의 산화물를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는 제1 게이트 전극, 실리콘 활성층과 산화물 활성층을 포함하는 제1 활성층, 제1 소스 전극 및 제1 드레인 전극을 구비한 제1 트랜지스터; 상기 제1 게이트 전극과 동일 층에 동일 재료로 형성된 제2 게이트 전극, 상기 실리콘 활성층과 동일 층에 동일 재료로 형성된 제2 활성층, 상기 제1 소스 전극 및 제1 드레인 전극과 동일 층에 동일 재료로 형성된 제2 소스 전극 및 제2 드레인 전극을 구비한 제2 트랜지스터; 화소 전극, 중간층 및 대향 전극을 구비한 발광 소자; 를 포함하고, 상기 제1 트랜지스터의 실리콘 활성층은 제1 실리콘 활성층 및 제2 실리콘 활성층을 포함하고, 상기 산화물 활성층은 상기 제1 실리콘 활성층 및 제2 실리콘 활성층 사이에 형성된 유기 발광 표시 장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 트랜지스터는 상기 유기 발광 표시 장치의 스위칭 트랜지스터일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 트랜지스터는 상치 유기 발광 표시 장치의 구동 트랜지스터일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 트랜지스터의 제2 소스 전극 혹은 제2 드레인 전극 중 어느 하나와 상기 화소 전극이 연결될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 실리콘 활성층 및 상기 제2 실리콘 활성층에서 상기 제1 게이트 전극과 중첩되지 않는 영역은 N+ 또는 P+ 이온 불순물이 도핑될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 소스 전극 및 상기 제1 드레인 전극은 상기 제1 게이트 전극과 중첩되지 않을 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 실리콘 활성층 및 제2 실리콘 활성층은 비정질 실리콘(amorphous silicon) 또는 결정질 실리콘(poly silicon)을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 산화물 활성층은 G-I-Z-O, 아연(Zn), 인듐(In), 갈륨(Ga), 주석(Sn) 카드뮴(Cd), 게르마늄(Ge), 또는 하프늄(Hf) 혹은 이들의 조합에서 선택된 하나 이상의 산화물를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 기판 상에 실리콘층을 형성한 후 패터닝하여 제1 실리콘 활성층 및 제2 실리콘 활성층을 형성함; 산화물 반도체층을 형성한 후 패터닝하여 상기 제1 실리콘 활성층 및 제2 실리콘 활성층 사이의 공간에 산화물 활성층을 형성함; 게이트 절연층을 형성하고, 상기 게이트 절연층 상에 게이트 전극을 형성함; 상기 게이트 전극을 마스크로 하여 상기 제1 실리콘 활성층 및 제2 실리콘 활성층에 이온 불순물을 도핑함; 및 층간 절연층을 형성하고, 상기 게이트 절연층 및 층간 절연층에 형성된 콘택홀을 통해 상기 제1 실리콘 활성층에 접하는 소스 전극 및 상기 제2 실리콘 활성층에 접하는 드레인 전극을 형성함; 을 포함하는 박막트랜지스터 어레이 기판의 제조 방법을 개시한다.
상기와 같은 본 실시예에 따른 박막트랜지스터 기판, 표시 장치 및 박막트랜지스터 어레이 기판의제조 방법에 따르면 다음과 같은 효과를 제공한다.
첫째, 박막트랜지스터의 기생 커패시턴스를 저감할 수 있다.
둘째, 박막트랜지스터의 OFF 시 누설 전류를 저감할 수 있고, ON 시 흐르는 전류를 증가시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 하나의 화소를 구성하는 등가 회로를 예시한 도면이다.
도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막트랜지스터의 일 예를 나타낸 도면이다.
도 4(a) 및 도 4(b)는 본 발명의 비교예를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)의 단면도를 간략히 나타낸 도면이다.
이하, 도 6a 내지 도 6g를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)의 제조 방법을 설명한다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)의 기판(10) 상에는 복수의 화소(P)가 포함되어 화상을 표시하는 표시 영역(DA)이 구비된다. 표시 영역(DA)은 밀봉 라인(SL) 내부에 형성되고, 밀봉 라인(SL)을 따라 표시 영역(DA)을 봉지하는 봉지 부재(미도시)가 구비된다. 표시 영역(DA)에는 박막트랜지스터 및 유기 발광 소자가 복수개의 화소(P)를 구성하여 배열되어 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 하나의 화소를 구성하는 등가 회로를 예시한 도면이다.
복수개의 화소(P)는 스위칭 트랜지스터(M1), 구동 트랜지스터(M2), 저장 캐패시터(Cst) 및 발광 소자(OLED)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 스캔 라인(Sn)의 신호가 활성화되면, 스위칭 트랜지스터(M1)을 통해서 데이터 배선(Dm)의 전압 레벨이 저장 커패시터(Cst)에 저장된다. 구동 트랜지스터(M2)는 저장 커패시터(Cst)에 저장된 전압 레벨에 의해 결정되는 게이트-소스 간 전압(Vgs) 에 따라 발광 전류(IOLED)를 생성하여 발광 소자(OLED)에 출력한다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 발광 소자(OLED)는 유기 발광 다이오드일 수 있다.
발광 소자(OLED)를 구동하기 위해서는 주어진 한 프레임의 시간 동안 스캔 라인(Sn)에 인가되는 게이트 신호에 의해 스위칭 트랜지스터(M1)가 순차적으로 ON/OFF 되어야 하고, 스위칭 트랜지스터(M1)가 ON 되어 있는 시간 동안 데이터 라인(Dn)에 인가되는 데이터 전압을 구동 트랜지스터(M2)에 연결된 저장 커패시터(Cst)에 저장할 수 있어야 한다. 스위칭 트랜지스터(M1) 및 구동 트랜지스터(M2)는 박막트랜지스터(thin film transistor)로 구비될 수 있다.
그러나, 유기 발광 표시 장치(1)의 해상도 및 사이즈가 증가함에 따라 스캔 라인(Sn)의 전압 강하로 인해 주어진 시간 안에 복수개의 화소(P)에 존재하는 스위칭 트랜지스터(M1)들의 일괄적인 ON/OFF가 불가능할 수 있다. 이를 개선하기 위해, 스캔 라인(Sn)과 같은 배선들의 저항을 줄이기 위해 고전도성 배선을 사용하거나 배선의 두께를 증가시킬 수 있다. 또한, 오버랩되는 배선들 간에 발생하는 기생 커패시턴스(parasitic capacitance)을 줄이기 위해 절연체의 두께를 증가시키거나, 배선에 연결된 박막트랜지스터의 기생 커패시턴스를 감소시킬 필요가 있다.
도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막트랜지스터의 일 예를 나타낸 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 제1 트랜지스터(21)는 기판(110) 및 버퍼층(111) 상에 형성되며, 활성층(212a, 212b, 212c), 게이트 절연층(113), 게이트 전극(214), 층간 절연층(115), 소스 전극(216a) 및 드레인 전극(216b)을 포함한다.
기판(110)은 유리 기판뿐만 아니라, PET(Polyethylen terephthalate), PEN(Polyethylen naphthalate), 폴리이미드(Polyimide) 등을 포함하는 플라스틱 기판으로 구비될 수 있다.
기판(110)의 상부에 평활한 면을 형성하고 불순 원소가 침투하는 것을 차단하기 위한 버퍼층(111)이 더 구비될 수 있다. 버퍼층(111)은 실리콘질화물 및/또는 실리콘산화물 등으로 단층 또는 복수층으로 형성될 수 있다.
버퍼층(111) 상에 활성층(212a, 212b, 212c)이 구비된다. 활성층(212)은 제1 실리콘 활성층(212a), 제2 실리콘 활성층(212b) 및 산화물 활성층(212c)를 포함하다. 산화물 활성층(212c)은 제1 실리콘 활성층(212a)와 제2 실리콘 활성층(212b) 사이의 공간에 위치할 수 있다.
제1 실리콘 활성층(212a) 및 제2 실리콘 활성층(212b)은 비정질 실리콘(amorphous silicon) 또는 결정질 실리콘(poly silicon)을 포함한다. 이때, 제1 실리콘 활성층(212a) 및 제2 실리콘 활성층(212b)의 실리콘에 N+ 또는 P+ 이온 불순물이 도핑된 도핑 영역(L1)과 도핑되지 않은 미도핑 영역(L2)를 포함한다. 도핑 영역(L1)은 게이트 전극(214)과 중첩되지 않는 영역으로, 이온 불순물이 도핑되어 전도도가 증가하므로 전자 이동도(mobility)가 우수하다.
제1 실리콘 활성층(212a)과 제2 실리콘 활성층(212b) 사이의 공간을 메우는 산화물 활성층(212c)은 산화물 반도체를 포함할 수 있다. 예를 들어 산화물 활성층(212c)은 G-I-Z-O[a(In2O3)b(Ga2O3)c(ZnO)층](a, b, c는 각각 a≥0, b≥0, c＞0의 조건을 만족시키는 실수)를 포함할 수 있으며, 이외에도 아연(Zn), 인듐(In), 갈륨(Ga), 주석(Sn) 카드뮴(Cd), 게르마늄(Ge), 또는 하프늄(Hf) 과 같은 12, 13, 14족 금속 원소 및 이들의 조합에서 선택된 물질의 산화물을 포함할 수 있다.
산화물 활성층(212c)이 게이트 전극(214)과 중첩되는 영역 및 제1 실리콘 활성층(212a) 및 제2 실리콘 활성층(212b)의 미도핑 영역(L2)는 제1 트랜지스터(21)의 채널 영역(LT)을 형성한다.
활성층(212a, 212b, 212c) 상에 게이트 절연층(113)이 구비된다. 게이트 절연층(113)은 단층 또는 복수층의 무기 절연층으로 구비되고, 게이트 절연층(113)을 형성하는 무기 절연층으로는 SiO2, SiNx, SiON, Al2O3, TiO2, Ta2O5, HfO2, ZrO2, BST, PZT 등이 포함될 수 있다.
게이트 절연층(113) 상에 게이트 전극(214)이 구비된다. 게이트 전극(214)은, 예를 들어, 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 니켈(Li), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 구리(Cu) 가운데 선택된 하나 이상의 금속으로 단층 또는 복수층으로 형성될 수 있다.
게이트 전극(214) 상에 층간 절연층(115)이 구비된다. 층간 절연층(115)은 단층 또는 복수층의 무기 절연층으로 구비되고, 층간 절연층(115)을 형성하는 무기 절연층으로는 SiO2, SiNx, SiON, Al2O3, TiO2, Ta2O5, HfO2, ZrO2, BST, PZT 등이 포함될 수 있다.
층간 절연층(115) 상에는 소스 전극(216a) 및 드레인 전극(216b)이 구비된다. 소스 전극(216a) 및 드레인 전극(216b)은 게이트 절연층(113) 및 층간 절연층(115)에 구비된 콘택홀을 통해 각각 제1 실리콘 활성층(212a) 및 제2 실리콘 활성층(212b)에 연결된다.
소스 전극(216a) 및 드레인 전극(216b)은, 전자 이동도가 다른 이종의 금속층이 2층 이상 형성된 것일 수 있다. 예를 들어, 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 니켈(Li), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 구리(Cu) 및 이들의 합금 가운데 선택된 금속층이 2층 이상 형성된 것일 수 있다.
도 3의 제1 트랜지스터(21)와 같이 게이트와 중첩되지 않는 도핑 영역(L1)에만 N+ 혹은 P+ 이온 불순물을 도핑하는 경우, 도핑 영역(L1)은 전자 이동도가 높고, 미도핑 영역(L2)은 절연체로 작용하므로, 게이트 전극과 제1 실리콘 활성층(212a) 및 제2 실리콘 활성층(212b)은 영역은 기생 커패시턴스를 형성하지 않는다.(산화물 반도체(212c)와 게이트 전극(214)은 기생 커패시턴스를 형성하지 않나요?)
또한, 제1 트랜지스터(21)는 제1 실리콘 활성층(212a) 및 제2 실리콘 활성층(212b)의 도핑 영역(L1)에 이온 불순물을 도핑함으로써 소스 전극(216a) 및 드레인 전극(216b)과 채널 영역으로 동작하는 산화물 활성층(212c) 사이의 저항을 감소시켜 제1 트랜지스터(21)가 ON 되었을 때의 전류를 증가시킬 수 있다. 즉, 실리콘 반도체를 이온 도핑하여 사용함으로써 산화물 반도체에 이온 불순물을 도핑하는 경우보다 전도도를 개선하는 동시에 소자 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 제1 트랜지스터(21)는 채널 영역(LT)에 산화물 활성층(212c)이 존재하므로, 채널 영역(LT)에 실리콘만 구비되는 경우보다 박막트랜지스터가 OFF 되었을 때의 누설 전류가 억제될 수 있다.
도 4(a) 및 도 4(b)는 본 발명의 비교예를 나타낸 도면이다. 도 4(a) 및 도 4(b)의 비교예에서, 도 3와 같은 도면부호는 같은 구성을 의미할 수 있다.
도 4(a)는 도 3의 트랜지스터(21)의 제1 비교예에 따른 박막트랜지스터(31)를 도시하고 있다.
도 4(a)의 제2 트랜지스터(22)는 도 3과 달리 활성층으로 단일 실리콘 활성층(222)을 구비한다. 실리콘 활성층(222)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘을 포함하는 반도체로 형성될 수 있다. 실리콘 활성층(222)은 가운데의 채널 영역(LT)과, 채널 영역의 외측에 이온 불순물이 도핑된 도핑 영역(L1)을 포함할 수 있다. 이때, 도핑 영역(L1)은 소스 영역(좌측 L1) 및 드레인 영역(우측 L1)을 포함하고, 도핑 영역(L1)에는 상부의 게이트 전극(224)을 마스크로 하여 N+ 또는 P+ 이온 불순물이 도핑되므로 전도도가 증가될 수 있다.
실리콘 활성층(222)의 소스 도핑 영역(L1)은 게이트 절연층(113) 및 층간 절연층(115)에 형성된 콘택홀을 통해 소스 전극(226a) 및 드레인 전극(226b)과 접촉된다.
제2 트랜지스터(22)의 실리콘 활성층(222)은 전자 이동도가 우수하지만, 고전압에서 누설 전류가 발생하여 박막트랜지스터의 구동 시 저장 캐패시터(Cst)에 저장된 전압이 변화 혹은 감소될 수 있다. 따라서, 전압의 변화를 방지하기 위해 저장 캐패시터(Cst)의 사이즈를 증가시킬 필요가 있으나, 이는 한정된 유기 발광 표시 장치(1)의 공간에서 개구율의 감소를 가져와 유기 발광 표시 장치(1)의 수명을 감소시키고 구동 전압의 증가로 인하여 소비 전력이 감소된다. 따라서, 누설 전류의 발생을 억제하기 위하여 전자 이동도는 낮지만 누설 전류 억제 특성이 우수한 산화물 반도체를 스위칭 트랜지스터의 활성층으로 사용할 수 있다.
도 4(b)는 도 3의 트랜지스터(21)의 제2 비교예에 따른 트랜지스터(23)를 도시하고 있다.
도 4(b)의 박막트랜지스터는 버퍼층(111) 상에 게이트 전극(231)이 형성된다. 또한, 게이트 절연층(113)을 사이에 두고 게이트 전극(232) 상부에 산화물 활성층(234)가 구비된다.
산화물 활성층(234)은 산화물 반도체를 포함할 수 있다. 예를 들어 산화물 활성층(234)은 G-I-Z-O[a(In2O3)b(Ga2O3)c(ZnO)층](a, b, c는 각각 a≥0, b≥0, c＞0의 조건을 만족시키는 실수)를 포함할 수 있으며, 이외에도 아연(Zn), 인듐(In), 갈륨(Ga), 주석(Sn) 카드뮴(Cd), 게르마늄(Ge), 또는 하프늄(Hf) 과 같은 12, 13, 14족 금속 원소 및 이들의 조합에서 선택된 물질의 산화물을 포함할 수 있다.
산화물 활성층(234)는 상에 층간 절연층(115)이 구비되고, 층간 절연층(115)에 형성된 컨택홀을 통해 소스 전극(236a) 및 드레인 전극(236b)와 산화물 활성층(234)이 접촉된다. 도 4(b)의 실시예에서, 층간 절연층(115)은 소스 전극(236a) 및 드레인 전극(236b)의 패터닝 시 산화물 활성층(234)을 보호하기 위한 에지 스탑층(etch stop layer)으로 역할할 수 있다.
제3 트랜지스터(23)는 박막트랜지스터의 구조 상 게이트 전극(232)과 소스 전극(236a), 드레인 전극(236b)이 절연층을 사이에 두고 중첩되는 오버랩 영역(Lov)이 존재한다. 오버랩 영역(Lov)의 게이트 전극(232)과 소스 전극(236a), 드레인 전극(236b)은 각각 커패시터로 작용하여 기생 커패시턴스를 발생시키므로, 유기 발광 표시 장치(1)의 구동 시 전압 강하(RC load)의 원인이 된다. 도 4 (b)에서 볼 수 있듯이, 바텀게이트 타입의 박막트랜지스터 구조에서 제3 트랜지스터(23)가 ON 상태일 때 산화물 활성층(234)는 도체로 작용하여 게이트 전극(232)-게이트 절연층(113)-산화물 활성층(234)이 커패시터를 형성하며, OFF 상태일 때 게이트 전극(232)-게이트 절연층(113)-산화물 활성층(234)-층간 절연층(115)-소스,드레인 전극(236a, 236b)이 커패시터를 형성하여 기생 커패시턴스가 발생한다.
따라서, 도 2에 도시된 박막트랜지스터가 제3 트랜지스터(23)인 경우, 박막트랜지스터가 ON 일 때와 OFF 일 때 기생 커패시턴스로 인해 구동 시 배선에 연결된 저항(레지스턴스)의 값이 증가하며, 대면적 고해상도 디스플레이의 경우 저항과 기생 커패시턴스에 의한 신호 지연으로 인하여 짧은 시간에 스위칭 트랜지스터(Cst)의 ON/OFF가 불가능할 수 있다. 또한, 데이터 라인(Dm)의 신호 전압을 구동 트랜지스터에 연결된 저장 커패시터(Cst)에 저장할 때도 데이터 신호선의 저항 및 기생 커패시턴스에 의한 신호 지연으로 데이터 전압을 충전할 시간이 부족할 수 있다.
기생 커패시턴스를 감소시키기 위해 게이트 절연층(113)의 두께를 증가시키는 경우 박막트랜지스터의 ON 상태의 전류가 감소하여, 스위칭 트랜지스터(M2)에 연결된 화소 회로(P)에 사용되는 저장 커패시터(Cst)를 빠른 시간에 충전시킬 수 없다. 또한, 신호 지연을 감소시키기 위해 게이트 전극(232) 등 신호 배선의 두께를 증가시킬 수 있지만, 단차에 의한 단락을 방지하기 위해 게이트 절연층(113)의 두께를 증가시켜야 하므로 제3 트랜지스터(23)의 전류 구동 능력이 감소하고 저장 커패시터(Cst)의 충전 시간이 길어진다.
즉, 기생 저항을 감소시키기 위해 금속 배선(게이트 전극, 소스 전극, 드레인 전극)의 두께를 증가시켜 저항을 감소시킬 수 있지만, 도 4(b)를 참고할 때 게이트 전극(232)의 두께를 증가시키는 경우 단차에 의한 쇼트(short)를 막기 위해 게이트 절연층(113)의 두께를 증가시켜야 한다. 이 경우 제3 트랜지스터(23)의 전류 구동 능력이 감소하여 저장 커패시터를 충전하는 시간이 길어지게 되어 고해상도 대면적 구동이 어려워진다.
산화물 활성층(234)을 사용하는 박막트랜지스터의 경우, 상술한 오버랩에 의한 기생 커패시턴스를 저감시키기 위해 도 4(a)와 같은 탑게이트 구조의 박막 트랜지스터를 사용할 수도 있다. 즉, 도 4(a)의 실리콘 활성층(222) 대신 산화물 활성층을 사용할 수 있다. 이와 같은 경우, 게이트 전극을 마스크로 하여 채널 영역(LT)를 제외한 나머지 부분을 도핑 처리하여 도핑 영역(L1)의 저항을 감소시키고 전도성을 증가시킬 수 있다. 그러나, 이와 같은 구조의 박막트랜지스터는 실리콘 활성층(222)을 갖는 제2 트랜지스터(22)와는 달리 도핑을 통해 소스 영역(L1) 및 드레인 영역(L2)의 저항을 낮추는 것이 쉽지 않고, 전도성을 증가시키기 위해 이온 도핑을 수해하였을 때 박막트랜지스터의 특성 편차가 생기거나 신뢰성이 감소할 수 있다.
따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 트랜지스터(21)는 제2 트랜지스터(22) 및 제3 트랜지스터(23)의 비교예보다 기생 커패시턴스가 감소하고, ON 상태 시 박막트랜지스터에 흐르는 전류가 능가하며, OFF 상태 시 누설 전류가 저감되는 특징을 가진다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)의 단면도를 간략히 나타낸 도면이다.
도 5의 유기 발광 표시 장치(1)는 제1 트랜지스터 영역(TRs), 제2 트랜지스터 영역(TRd) 및 픽셀 영역(PXL)을 포함할 수 있다. 제1 트랜지스터 영역(TRs)은 도 3에서 상술한 제1 트랜지스터(21)를 포함할 수 있으며, 제2 트랜지스터 영역(TRd)은 도 4(a)에서 상술한 제2 트랜지스터(22)를 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서, 제1 트랜지스터 영역(TRs)에는 스위칭 트랜지스터가 위치하고 제2 트랜지스터 영역(TRd)에는 화소 전극(251)과 연결되는 구동 트랜지스터가 위치할 수 있다. 픽셀 영역(PXL)에는 발광 소자(25)가 위치하며, 발광 소자(25)는 화소 전극(251), 중간층(252) 및 대향 전극(253)을 포함할 수 있다.
제1 트랜지스터 영역(TRs)에는 제1 트랜지스터(21)가 구비된다. 제1 트랜지스터(21)는 제2 트랜지스터(22)보다 박막트랜지스터의 OFF 시 누설 전류가 작다. 따라서, 누설 전류가 억제 특성이 중요한 스위칭 트랜지스터(M1)으로는 제1 트랜지스터(21)가 사용되고, 누설 전류의 영향이 적은 구동 트랜지스터(M2)로는 전자 이동도가 높은 제2 트랜지스터(22)를 사용할 수 있다. 또한, 도 5와 같은 구조의 유기 발광 표시 장치(1)는 스위칭 트랜지스터(M1)으로 역할하는 제1 트랜지스터(21)는 누설 전류가 억제되는 동시에 기생 커패시턴스가 발생하지 않으므로 대면적 유기 발광 표시 장치(1)의 구동에 적합하다.
이하, 도 6a 내지 도 6g를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)의 제조 방법을 설명한다.
도 6a는 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)의 제1 마스크 공정을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 6a를 참조하면, 기판(110) 상에 버퍼층(111)을 형성하고, 버퍼층(111) 상에 실리콘 반도체층(미도시)을 형성한 후, 실리콘 반도체층(미도시)을 패터닝하여 제1 트랜지스터(21)의 제1 실리콘 활성층(212a) 및 제2 실리콘 활성층(212b)과 제2 트랜지스터(22)의 실리콘 활성층(222)을 형성한다.
상기 도면에는 도시되어 있지 않지만, 반도체층(미도시) 상에 포토레지스터(미도시)가 도포된 후, 제1 포토마스크(미도시)를 이용한 포토리소그라피 공정에 의해 반도체층(미도시)을 패터닝하여, 전술한 제1 실리콘 활성층(212a), 제2 실리콘 활성층(212b) 및 실리콘 활성층(222)이 형성된다. 포토리소그라피에 의한 제1 마스크 공정은 제1 포토마스크(미도시)에 노광 장치(미도시)로 노광 후, 현상(developing), 식각(etching), 및 스트립핑(stripping) 또는 에싱(ashing) 등과 같은 일련의 공정을 거쳐 진행된다.
실리콘 반도체층(미도시)은 비정질 실리콘(amorphous silicon) 또는 결정질 실리콘(poly silicon)으로 구비될 수 있다. 이때, 결정질 실리콘은 비정질 실리콘을 결정화하여 형성될 수도 있다. 비정질 실리콘을 결정화하는 방법은 RTA(rapid thermal annealing)법, SPC(solid phase crystallization)법, ELA(excimer laser annealing)법, MIC(metal induced crystallization)법, MILC(metal induced lateral crystallization)법, SLS(sequential lateral solidification)법 등 다양한 방법에 의해 결정화될 수 있다.
도 6b는 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)의 제2 마스크 공정을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 6a의 제1 마스크 공정의 결과물 상에 산화물 반도체층(미도시)을 형성한 후, 산화물 반도체층(미도시)을 패터닝하여 제1 트랜지스터(21)의 산화물 활성층(212c)을 형성한다. 산화물 활성층(212c)은 제1 실리콘 활성층(212a)과 제2 실리콘 활성층(212b)의 사이 공간에 위치하며, 도 6b에서 볼 수 있는 바와 같이 활성층(212a)과 제2 실리콘 활성층(212b)과 일부 중첩되도록 형성될 수 있다.
산화물 활성층(212c)은 산화물 반도체를 포함할 수 있다. 예를 들어 반도체층(미도시)은 G-I-Z-O[a(In2O3)b(Ga2O3)c(ZnO)층](a, b, c는 각각 a≥0, b≥0, c＞0의 조건을 만족시키는 실수)를 포함할 수 있으며, 이외에도 아연(Zn), 인듐(In), 갈륨(Ga), 주석(Sn) 카드뮴(Cd), 게르마늄(Ge), 또는 하프늄(Hf) 과 같은 12, 13, 14족 금속 원소 및 이들의 조합에서 선택된 물질의 산화물을 포함할 수 있다.
도 6c는 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)의 제3 마스크 공정을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 6b의 제2 마스크 공정의 결과물 상에 게이트 절연층(113)을 형성하고, 게이트 절연층(113) 상에 제1 금속층(미도시)을 적층한 후 이를 패터닝한다. 이때, 제1 금속층(미도시)은 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 니켈(Li), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 타이타늄(Ti), 텅스텐(W), 구리(Cu) 가운데 선택된 하나 이상의 금속으로 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다.
패터닝 결과, 게이트 절연층(113) 상에 제1 트랜지스터(21)의 게이트 전극(214) 및 제2 트랜지스터(22)의 게이트 전극(224)이 형성된다.
상기와 같은 구조물 위에 이온 불순물이 도핑 된다. 이온 불순물은 N+ 또는 P+ 이온을 도핑할 수 있는데, 1×1015 atoms/㎠ 이상의 농도로 제1 실리콘 활성층(212a), 제2 실리콘 활성층(212b) 및 실리콘 활성층(222)을 타겟으로 하여 도핑한다.
게이트 전극(214) 및 게이트 전극(224)을 셀프-얼라인(self-align) 마스크로 사용하여 제1 실리콘 활성층(212a), 제2 실리콘 활성층(212b), 실리콘 활성층(222)에 이온 불순물을 도핑함으로써 도핑 영역(L1)은 전자 이동도가 증가한다. 제1 트랜지스터(21) 및 제2 트랜지스터(22)에서 도핑 영역(L1)을 제외한 나머지 영역은 채널 영역(L2)이 된다.
도 6d는 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)의 제4 마스크 공정을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 6c의 제3 마스크 공정의 결과물 상에 층간 절연층(115)을 형성하고, 층간 절연층(115)을 패터닝하여 제1 실리콘 활성층(212a) 및 제2 실리콘 활성층(212b)을 노출시키는 개구를 형성한다.
도 6e는 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)의 제5 마스크 공정의 결과를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 6e를 참조하면, 도 6d의 제4 마스크 공정의 결과물 상에 제2 금속층(미도시)을 형성하고, 제2 금속층(미도시)을 패터닝하여 제1 트랜지스터(21)의 소스 전극(216a)과 드레인 전극(216b), 제2 트랜지스터(22)의 소스 전극(226a)과 드레인 전극(226b)을 동시에 형성한다.
제2 금속층(미도시)은 전자 이동도가 다른 이종의 금속층이 2층 이상 형성된 것일 수 있다. 예를 들어, 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 니켈(Li), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 구리(Cu) 및 이들의 합금 가운데 선택된 금속층이 2층 이상 형성된 것일 수 있다.
도 6f는 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)의 제6 마스크 공정의 결과를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 6f를 참조하면, 도 6e의 제5 마스크 공정의 결과물 상에 평탄화층(117)을 형성하고, 평탄화층(117)을 패터닝하여 제2 트랜지스터(22)의 소스 전극(226s) 혹은 드레인 전극(226d)를 노출시키는 콘택홀을 형성한다.
평탄화층(117)은 유기 절연층으로 형성하여 평탄화막으로도 기능할 수 있다. 유기 절연층으로는 일반 범용고분자(PMMA, PS), phenol그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자 및 이들의 블렌드 등이 사용될 수 있다.
도 6g는 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)의 제7 마스크 공정의 결과를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 6f의 제6 마스크 공정의 결과물 상에 제3 도전층(미도시)을 형성한 후, 제3 도전층(미도시)을 패터닝하여 평탄화층(117)에 형성된 콘택홀을 통해 제2 소스 전극(226s) 혹은 제2 드레인 전극(226d)와 접촉하는 화소 전극(231)을 생성한다.
제3 도전층(미도시)은 본 발명의 표시 장치가 배면 발광형인 경우 투명 전극으로 구비되고 전면 발광형인 경우 반사형 전극으로 구비될 수 있다.
배면 발광형인 경우 제3 도전층(미도시)은 인듐틴옥사이드(indium tin oxide: ITO), 인듐징크옥사이드(indium zinc oxide: IZO), 징크옥사이드(zinc oxide: ZnO), 인듐옥사이드(indium oxide: In2O3), 인듐갈륨옥사이드(indium gallium oxide: IGO), 및 알루미늄징크옥사이드(aluminum zinc oxide: AZO)을 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다. 혹은, 화소 전극(231)은 투명 도전성 산화물층/반투과 금속층/투명 도전성 산화물층으로 구성된 3중 구조로 구비될 수 있다.
전면 발광형인 경우 제3 도전층(미도시)은 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 마그네슘(Mg) 및 이들의 화합물 등으로 반사막을 형성한 후, 그 위에 인듐틴옥사이드(ITO), 인듐징크옥사이드(IZO), 징크옥사이드(ZnO), 인듐옥사이드(In2O3), 인듐갈륨옥사이드(IGO) 혹은 알루미늄징크옥사이드(AZO)를 형성할 수 있다.
도 6h는 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)의 제8 마스크 공정의 결과를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 6g의 제7 마스크 공정의 결과물 상에 화소 정의막(119)을 형성한 후, 화소 전극(231) 상부를 노출시키는 개구를 형성하는 제8 마스크 공정을 실시한다.
화소 정의막(119)은 화소 정의막(pixel define layer) 역할을 하는 것으로, 예를 들어, 일반 범용고분자(PMMA, PS), phenol그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자 및 이들의 블렌드 등을 포함하는 유기 절연층으로 형성될 수 있다.
도 6h의 제8 마스크 공정의 결과물 상에 도 5와 같이 유기 발광층(미도시)을 포함하는 중간층(252)을 형성하고, 대향 전극(253)을 형성한다.
중간층(252)은 적색, 녹색 또는 청색 광을 방출하는 유기 발광층을 포함하며, 유기 발광층은 저분자 유기물 또는 고분자 유기물을 사용할 수 있다. 유기 발광층이 저분자 유기물로 형성된 저분자 유기층인 경우에는 유기 발광층을 중심으로 화소 전극(251)의 방향으로 홀 수송층(hole transport layer: HTL) 및 홀 주입층(hole injection layer:HIL)등이 위치하고, 대향 전극(233)의 방향으로 전자 수송층(electron transport layer: ETL) 및 전자 주입층(electron injection layer:EIL) 등이 적층된다. 물론, 이들 홀 주입층, 홀 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층 외에도 다양한 층들이 필요에 따라 적층되어 형성될 수 있다.
한편, 상술한 실시예에서는 각 화소 별로 별도의 유기 발광층이 형성된 경우를 예로 설명하였다. 이 경우에는 화소 별로 적색, 녹색 및 청색의 광을 각각 방출할 수 있으며, 적색, 녹색 및 청색의 광을 방출하는 화소 그룹이 하나의 단위 화소를 이룰 수 있다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 유기 발광층이 화소 전체에 공통으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 적색, 녹색, 및 청색의 광을 방출하는 복수의 유기 발광층이 수직으로 적층되거나 혼합되어 형성되어 백색광을 방출할 수 있다. 물론, 백색광을 방출하기 위한 색의 조합은 상술한 바에 한정되지 않는다. 한편, 이 경우 방출된 백색광을 소정의 컬러로 변환하는 색변환층이나 컬러필터가 별도로 구비될 수 있다.
중간층(252) 상에는 화소 전극(241)과 대향하는 대향 전극(253)이 구비된다. 대향 전극(253)도 투명 전극 또는 반사형 전극으로 구비될 수 있는데, 투명전극으로 사용될 때에는 일함수가 작은 금속 즉, Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg 및 이들의 화합물을 유기 발광막을 향하도록 얇게 증착한 후, 그 위에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3 등의 투명 도전성 산화물로 보조 전극층이나 버스 전극 라인을 형성할 수 있다. 그리고 반사형 전극으로 사용될 때에는 위 Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg 및 이들의 화합물을 전면 증착하여 형성한다. 그러나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 화소 전극(241) 및 대향 전극(233)으로 전도성 폴리머 등 유기물을 사용할 수도 있다.
110: 기판 111: 버퍼층
113: 게이트 절연층 115: 층간 절연층
117: 평탄화층 119: 화소 정의막
21: 제1 트랜지스터 22: 제2 트랜지스터
23: 제3 트랜지스터 212a, 212b, 222: 실리콘 활성층
212c, 234: 산화물 활성층 214, 224, 232: 게이트 전극
216a, 226a, 236a: 소스 전극 226b, 226b, 236b: 드레인 전극
251: 화소 전극 252: 중간층
253: 대향 전극

Claims (14)

  1. 기판;
    제1 실리콘 활성층, 제2 실리콘 활성층 및 상기 제1 실리콘 활성층과 상기 제2 실리콘 활성층 사이의 공간에 형성된 산화물 활성층을 포함하는 활성층;
    게이트 절연층을 사이에 두고 상기 활성층 상에 형성된 게이트 전극; 및
    층간 절연층을 사이에 두고 상기 게이트 전극 상에 형성되며, 상기 제1 실리콘 활성층과 접촉하는 소스 전극 및 상기 제2 실리콘 활성층과 접촉하는 드레인 전극;
    을 포함하고, 상기 산화물 활성층 상기 제1 실리콘 활성층 및 제2 실리콘 활성층 사이의 공간에 형성되는 박막트랜지스터 어레이 기판.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 실리콘 활성층 및 상기 제2 실리콘 활성층에서 상기 게이트 전극과 중첩되지 않는 영역은 N+ 또는 P+ 이온 불순물이 도핑된 박막트랜지스터 어레이 기판.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극은 상기 게이트 전극과 중첩되지 않는 박막트랜지스터 어레이 기판.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 실리콘 활성층 및 제2 실리콘 활성층은 비정질 실리콘(amorphous silicon) 또는 결정질 실리콘(poly silicon)을 포함하는 박막트랜지스터 어레이 기판.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 산화물 활성층은 G-I-Z-O, 아연(Zn), 인듐(In), 갈륨(Ga), 주석(Sn) 카드뮴(Cd), 게르마늄(Ge), 또는 하프늄(Hf) 혹은 이들의 조합에서 선택된 하나 이상의 산화물를 포함하는 박막트랜지스터 어레이 기판.
  6. 제1 게이트 전극, 실리콘 활성층과 산화물 활성층을 포함하는 제1 활성층, 제1 소스 전극 및 제1 드레인 전극을 구비한 제1 트랜지스터;
    상기 제1 게이트 전극과 동일 층에 동일 재료로 형성된 제2 게이트 전극, 상기 실리콘 활성층과 동일 층에 동일 재료로 형성된 제2 활성층, 상기 제1 소스 전극 및 제1 드레인 전극과 동일 층에 동일 재료로 형성된 제2 소스 전극 및 제2 드레인 전극을 구비한 제2 트랜지스터;
    화소 전극, 중간층 및 대향 전극을 구비한 발광 소자;
    를 포함하고, 상기 제1 트랜지스터의 실리콘 활성층은 제1 실리콘 활성층 및 제2 실리콘 활성층을 포함하고, 상기 산화물 활성층은 상기 제1 실리콘 활성층 및 제2 실리콘 활성층 사이에 형성된 유기 발광 표시 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 트랜지스터는 상기 유기 발광 표시 장치의 스위칭 트랜지스터인 유기 발광 표시 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제2 트랜지스터는 상치 유기 발광 표시 장치의 구동 트랜지스터인 유기 발광 표시 장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 제2 트랜지스터의 제2 소스 전극 혹은 제2 드레인 전극 중 어느 하나와 상기 화소 전극이 연결되는 유기 발광 표시 장치.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 제1 실리콘 활성층 및 상기 제2 실리콘 활성층에서 상기 제1 게이트 전극과 중첩되지 않는 영역은 N+ 또는 P+ 이온 불순물이 도핑된 유기 발광 표시 장치.
  11. 제6항에 있어서,
    상기 제1 소스 전극 및 상기 제1 드레인 전극은 상기 제1 게이트 전극과 중첩되지 않는 유기 발광 표시 장치.
  12. 제6항에 있어서,
    상기 제1 실리콘 활성층 및 제2 실리콘 활성층은 비정질 실리콘(amorphous silicon) 또는 결정질 실리콘(poly silicon)을 포함하는 유기 발광 표시 장치.
  13. 제6항에 있어서,
    상기 산화물 활성층은 G-I-Z-O, 아연(Zn), 인듐(In), 갈륨(Ga), 주석(Sn) 카드뮴(Cd), 게르마늄(Ge), 또는 하프늄(Hf) 혹은 이들의 조합에서 선택된 하나 이상의 산화물를 포함하는 유기 발광 표시 장치.
  14. 기판 상에 실리콘층을 형성한 후 패터닝하여 제1 실리콘 활성층 및 제2 실리콘 활성층을 형성함;
    산화물 반도체층을 형성한 후 패터닝하여 상기 제1 실리콘 활성층 및 제2 실리콘 활성층 사이의 공간에 산화물 활성층을 형성함;
    게이트 절연층을 형성하고, 상기 게이트 절연층 상에 게이트 전극을 형성함;
    상기 게이트 전극을 마스크로 하여 상기 제1 실리콘 활성층 및 제2 실리콘 활성층에 이온 불순물을 도핑함; 및
    층간 절연층을 형성하고, 상기 게이트 절연층 및 층간 절연층에 형성된 콘택홀을 통해 상기 제1 실리콘 활성층에 접하는 소스 전극 및 상기 제2 실리콘 활성층에 접하는 드레인 전극을 형성함;
    을 포함하는 박막트랜지스터 어레이 기판의 제조 방법.
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