KR20140148415A

KR20140148415A - 적층체의 박리검사방법 및 박리검사장치

Info

Publication number: KR20140148415A
Application number: KR1020147028516A
Authority: KR
Inventors: 다츠유키 나가이; 쥰이치 기타사카; 켄 엔도
Original assignee: 히하카이켄사 가부시키가이샤; 미쯔비시 가꼬끼 가이샤 리미티드
Priority date: 2012-04-24
Filing date: 2013-04-23
Publication date: 2014-12-31
Also published as: JPWO2013161835A1; KR20140148414A; JP5735706B2; JP5624250B2; KR101672916B1; WO2013161835A1; WO2013161834A1; KR101513142B1; JPWO2013161834A1

Abstract

간편하면서 적층체의 층간 박리를 명료하게 검출하는 것이 가능한 적층체의 박리검사방법 및 박리검사장치를 제공하는 것. 사전에, 적층체의 건전부 및 모의박리부에 있어서 다중반사파를 각각 수신하여, 건전부에 있어서 다중반사파의 에코높이와 모의박리부에 있어서 다중반사파의 에코높이와의 차가 소정값 이상이 되는 반사파의 반사횟수를 구한다. 적층체(10)의 검사부(E)에 있어서 다중반사파를 수신하여, 검사부(E)에 있어서 반사횟수의 반사파의 에코높이와 건전부에 있어서 반사횟수의 반사파의 에코높이를 비교하는 것에 의해 층간 박리의 유무를 검사한다.

Description

적층체의 박리검사방법 및 박리검사장치{LAYERED-BODY DETACHMENT-TESTING METHOD AND DETACHMENT-TESTING DEVICE}

본 발명은, 적층체의 박리검사방법 및 박리검사장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 복수의 부재가 적층한 적층체의 일측으로부터 초음파를 입사하는 동시에 다중반사파를 수신하고, 수신한 다중반사파를 평가하는 것에 의해 층간 박리의 유무를 검사하는 적층체의 박리검사방법 및 박리검사장치에 관한 것이다.

종래, 상술한 것처럼 적층체의 박리검사대상은, 관, 용기 등이 많고, 검사시에는 관, 용기 등의 내부로 인간이 들어가, 내부로부터의 목시 검사, 타음 검사, 핀홀 검사 등 이행하는 것이 통상이었다. 그 때문에, 검사시에는, 조업을 정지해야하고, 검사에 크나큰 시간을 필요로 했다.

한편, 예를 들어 적층체의 일례로써 특허문헌 1에 기재된 것처럼, 조업을 정지하지 않고 라이닝의 박리를 검사하는 방법이 제창되고 있다. 상기 문헌에 기재된 발명은, 배관 외부에서부터 초음파 펄스를 입사시켜, 배관 내부의 라이닝 내주면과 관 본체와의 각 반사 에코의 감쇠율을 산출하여, 박리의 유무를 조사하고 있다. 같은 종래방법에서는, 라이닝재와, 접착층으로 이루어지는 다층구조의 라이닝에는 언급하고 있지 않지만, 접착층과 라이닝재가 동시에 판재로부터 박리하는 경우에는, 상기 수법에서 박리를 추정할 수 있을지도 모른다.

그런데, 라이닝재만이 박리하여, 접착층이 판재 본체에 잔여하는 일도 있다. 그러나, 상기 종래방법에서는, 접착층만이 잔여하는 부분과 건전부와의 차이는 명확하지 않고, 라이닝재만의 박리를 검출하는 것까지도 어려웠다.

특허문헌 1: 일본 특개 2000-329751호 공보

관련된 종래의 실정에 비추어보아, 본 발명은, 간편하면서 적층체의 층간 박리를 명료하게 검출하는 것이 가능한 적층체의 박리검사방법 및 박리검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관계된 적층체의 박리검사방법의 특징은, 복수의 부재가 적층한 적층체의 일측에 배치한 탐촉자로부터 초음파를 입사하는 동시에 다중반사파를 수신하고, 수신한 다중반사파를 평가하는 것으로 인해 층간 박리의 유무를 검사하는 방법에 있어서, 사전에, 상기 적층체의 건전부 및 모의박리부에 있어서 다중반사파를 각각 수신하여, 상기 건전부에 있어서 다중반사파의 에코높이와 상기 모의박리부에 있어서 다중반사파의 에코높이와의 차가 소정값 이상이 되는 반사파의 반사횟수를 구하며, 상기 적층체의 검사부에 있어서 다중반사파를 수신하여, 상기 검사부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 에코높이와 상기 건전부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 에코높이를 비교하는 것에 의해 상기 층간 박리의 유무를 검사하는 것에 있다.

그런데, 검사대상이 되는 적층체의 계면에서 반사한 반사파의 에코높이(신호강도)는, 예를 들어, 도장막의 유무, 그 두께, 탐촉자의 탐상면에 대한 접촉상태, 탐상면이나 계면의 면 거칠기, 박리부내의 물질 등의 요인에 의해 변동한다. 그 때문에, 다중반사파 전체의 감쇠율이나 감쇠 곡선에만 착안하면, 상기 요인에 의한 변동에 의해, 건전부로부터의 신호와 박리부로부터의 신호를 명료하게 식별하는 것이 어려워지는 경우가 있다.

상기 구성에 의하면, 예를 들어 도 22에서 도시하는 바와 같이, 반사파의 에코높이는, 상기 각종 요인에 의한 변동(불균일)을 포함한다. 사전에, 상기 적층체의 건전부 및 모의박리부에 있어서 다중반사파를 각각 수신하여, 상기 건전부에 있어서 다중반사파의 에코높이와 상기 모의박리부에 있어서 다중반사파의 에코높이와의 차가 소정값 이상이 되는 반사파의 반사횟수를 구한다. 그 결과, 에코높이의 차가 소정값 이상이 되는 반사파의 반사횟수를 구하고, 구한 반사횟수의 건전부의 반사파의 에코높이와 같은 횟수의 반사횟수의 검사부의 반사파의 에코높이를 비교하면, 상기 요인에 의한 변동을 배제할 수 있으며, 정도 좋게 박리의 유무를 검출할 수 있게 된다.

상기 적층체는 상기 일측으로 도장막을 갖추고, 상기 소정값은, 상기 에코높이의 차로부터 상기 도장막의 막 두께에 의한 상기 에코높이의 변동값을 제외한 것이면 좋다. 예를 들어 도 20에서 도시하는 바와 같이, 반사파의 에코높이는, 도장막의 막 두께에 의한 변동을 포함한다. 따라서, 사전에 구한 반사횟수의 건전부의 반사파의 에코높이와 같은 횟수의 반사횟수의 검사부의 반사파의 에코높이를 비교하면, 도장막의 막 두께에 의한 에코높이의 변동을 배제할 수 있으며, 막 두께에 불균일이 생겼더라도, 정도 좋게 박리의 유무를 검출할 수 있다.

상기 소정값은, 상기 에코높이의 차로부터 상기 탐촉자의 상기 적층체에 대한 접촉상태에 의한 상기 에코높이의 변동값을 제외한 것이어도 좋다. 예를 들어 도 21에서 도시하는 바와 같이, 반사파의 에코높이는, 탐촉자의 접촉상태에 의한 변동을 포함한다. 따라서, 사전에 구한 반사횟수의 건전부의 반사파의 에코높이와 같은 횟수의 반사횟수의 검사부의 반사파의 에코높이를 비교하면, 촉자의 접촉상태에 의한 에코높이의 변동을 배제할 수 있으며, 접촉상태에 불균일이 생겼더라도, 정밀도가 좋게 박리의 유무를 검출할 수 있다.

사전에, 상기 건전부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 전파시간을 구하고, 상기 검사부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 전파시간을 구해, 이 전파시간들을 비교하는 것으로 상기 층간 박리의 유무를 검사하면 좋다. 예를 들어 도 6에서 도시하는 바와 같이, 제1부재와 제2부재와의 계면에 박리가 존재하는 경우, 상기 반사횟수의 반사를 반복한 반사파의 전파시간에 어긋남이 생긴다. 따라서, 사전에 구한 반사횟수의 건전부의 반사파의 전파시간과 같은 횟수의 반사횟수의 검사부의 반사파의 전파시간을 비교하면, 전파시간의 어긋남에 의해 적층체의 층간 박리의 검출이 가능해진다. 또한, 이 전파시간의 어긋남은, 초음파의 주파수에 의존하지 않으며, 원리적으로 주파수는 특별히 한정되지 않는다.

상기 복수의 부재는, 상기 일측에 위치하는 제1부재와, 이 제1부재에 설치되는 제2부재를 적어도 포함하며, 상기 제1부재는, 상기 제2부재의 음향 임피던스보다 작은 재료로 이루어지며, 사전에, 상기 건전부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 위상을 구하고, 상기 검사부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 위상을 구해, 이 위상들을 비교하는 것으로 상기 층간 박리의 유무를 검사하도록 해도 상관없다.

상기 구성에 의하면, 제1부재는, 제2부재의 음향 임피던스보다 작은 재료로부터 구성되어 있다. 관련된 경우, 예를 들어 도 18(a)에서 예시하는 적층체의 경우, 제1부재와 제2부재와의 계면에 도달한 초음파의 일부는, 음향 임피던스의 차에 의해 해당 계면에서 반사한다. 다른 한편, 예를 들어 도 18(b)에서 도시하는 바와 같이, 박리부가 존재하면, 해당 계면에 도달한 초음파는 이 박리부에서 대부분 반사하며, 제1부재로 투과하지 않는다. 여기서, 제1부재의 음향 임피던스는, 제2부재의 음향 임피던스보다 작으며 또한, 박리부를 구성하는 공기의 음향 임피던스는 더욱 작다. 따라서, 박리부의 존재에 의해 위상반전이 생긴다. 따라서, 건전부와 검사부와의 위상반전에 착안하는 것으로, 해당 계면에 있어서 박리의 검출이 가능해진다.

상기 복수의 부재는, 상기 일측에 위치하는 제1부재와, 이 제1부재에 설치되는 제2부재와, 이 부재들을 밀착시키는 접착층을 적어도 포함하며, 상기 제1부재와 상기 접착층과의 계면에 있어서 층간 박리를 검사하도록 해도 상관없다. 제1부재와 접착층과의 계면에 박리가 존재하는 경우, 예를 들어 도 6에서 도시하는 바와 같이, 이들 반사파의 에코높이가 크게 다르다. 따라서, 사전에 구한 반사횟수의 건전부의 반사파의 에코높이와 같은 횟수의 반사횟수의 검사부의 반사파의 에코높이를 비교하면, 에코높이의 차이에 의해 해당 계면에 있어서 박리의 검출이 가능해진다.

관련된 경우, 사전에, 상기 건전부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 전파시간을 구하며, 상기 검사부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 전파시간을 구해, 이 전파시간들을 비교하는 것으로 상기 접착층과 상기 제2부재와의 계면에 있어서 층간 박리의 유무를 검사하면 좋다. 제2부재와 접착층과의 계면에 박리가 존재하는 경우, 예를 들어 도 6에서 도시하는 바와 같이, 이들 반사파의 전파시간에 어긋남이 생기는 것이 판명됐다. 따라서, 사전에 구한 반사횟수의 건전부의 반사파의 전파시간과 같은 횟수의 반사횟수의 검사부의 반사파의 전파시간을 비교하면, 전파시간의 어긋남에 의해 해당 계면에 있어서 박리의 검출이 가능해진다.

상기 제1부재는 그물재이며, 상기 제2부재는 불소수지 라이닝재로 구성되어 있어도 상관없다. 또한, 상기 접착층은, 상기 그물재에 상기 불소수지 라이닝재를 접착시키는 접착제와 글라스크로스로 구성되어 있어도 좋다. 상기 적층체는, 예를 들어, 액체용 컨테이너 탱크이다.

또한, 상기 적층체는, 곡면을 갖는 것이어도 좋다. 관련된 경우, 초음파는 그 곡면에서 산란반사하기 때문에, 크게 감쇠한다. 사전에 설정한 반사횟수의 반사파의 에코높이에 착안하므로, 곡면의 곡률에 따른 초음파의 감쇠는 상쇄된다. 따라서, 적층체가 곡면이어도, 평탄면에서의 박리검사와 동등한 결과를 얻을 수가 있다.

상기 탐촉자를 상기 일측을 따라 주사하는 동시에, 상기 검사부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 에코높이에 기초하여 주사 화상을 생성하면 좋다. 상술한 바와 같이, 사전에 설정한 반사횟수의 반사를 반복한 반사파에 착안하는 것으로, 주사 화상을 쉽게 생성할 수 있으며, 검사효율도 향상한다.

상기 검사부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 에코높이가, 상기 건전부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 에코높이보다 작은 경우에, 상기 층간 박리의 일부에 부식이 존재한다고 판정하도록 해도 좋다. 박리부가 부식하는 경우, 그 부식면에서 초음파는 산란 반사하기 때문에, 크게 감쇠한다. 따라서, 사전에 설정한 반사횟수의 건전부의 반사파의 에코높이와 같은 횟수의 반사횟수의 검사부의 반사파의 에코높이를 비교하면, 에코높이의 차이에 의해 박리의 유무에 더해 해당 부분의 부식의 유무까지도 검출하는 것이 가능해진다.

상기 탐촉자는, 분할형 탐촉자여도 좋다. 집점을 적절한 거리에 맞추는 것에 의해, 계면의 면 거칠기에 의한 감쇠를 크게 할 수 있으며, 건전부로부터의 신호와 부식부로부터의 신호를 더욱 명료하게 구별할 수 있다. 또한, 이 경우, 집점은 계면에 맞추지 않아도 좋다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관계된 적층체의 박리검사장치의 특징은, 복수의 부재가 적층한 적층체의 일측으로부터 초음파를 입사하는 동시에 다중반사파를 수신하는 탐촉자와, 수신한 다중반사파를 평가하는 신호처리장치를 갖추고, 수신한 다중반사파를 평가하는 것에 의해 층간 박리의 유무를 검사하는 구성에 있어서, 상기 신호처리장치는, 사전에, 상기 적층체의 건전부 및 모의박리부에 있어서 다중반사파를 각각 수신하고, 상기 건전부에 있어서 다중반사파의 에코높이와 상기 모의박리부에 있어서 다중반사파의 에코높이와의 차가 소정값 이상이 되는 반사파의 반사횟수를 구해 상기 적층체의 검사부에 있어서 다중반사파를 수신하며, 상기 검사부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 에코높이와 상기 건전부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 에코높이를 비교하는 것에 의해 상기 층간 박리의 유무를 검사하는 것에 있다.

상기 신호처리장치는, 상기 탐촉자를 주사하여 수신한 다중반사파에 의해 주사 화상을 생성하도록 해도 상관없다. 주사 화상으로써는, 예로, B스캔화상이나 C스캔화상을 들 수 있다. 또한, 상기 탐촉자에는, 1진동자형 탐촉자를 이용해도 좋고, 2진동자형 탐촉자를 이용하는 것도 가능하다.

상기 본 발명에 관계된 적층체의 박리검사방법 및 박리검사장치의 특징에 의하면, 간편하면서 적층체의 층간 박리를 명료하게 검출하는 것이 가능해졌다.

본 발명의 다른 목적, 구성 및 효과에 대해서는, 이하의 발명의 실시형태의 항목으로부터 명확해질 것이다.

도 1은 본 발명에 관계된 박리검사장치의 개략도,
도 2는 적층체의 각 층에 대한 초음파의 거동을 설명하기 위한 도이며, (a)는 건전부, (b)는 제1계면에서의 박리, (c)는 제2계면에서의 박리를 도시하는 도,
도 3은 각 시험체에 있어서 대역통과필터를 통해 얻어지는 RF파형의 일례를 도시하는 그래프이며, (a)는 B1 부근, (b)는 B10 부근, (c)는 B20 부근의 결과를 도시,
도 4는 (a)~(c)는, 도 3(a)~(c)에 각각 대응하는 검파파형을 도시하는 그래프,
도 5는 감쇠의 차이를 설명하는 그래프이며, (a)는 각 시험체에 있어서 감쇠의 경향을 도시하는 그래프, (b)는 건전시험체에 대한 제1, 제2박리시험체의 감도차를 도시하는 그래프, (c)는 각 시험체의 감쇠 계수를 도시하는 그래프,
도 6은 반사파의 피크시간 및 피크값의 비교를 설명하는 그래프,
도 7은 건전시험체, 제1박리시험체 및 제2박리시험체를 각각 비교한 그래프이며, (a)는 피크시간차, (b)는 에코높이를 비교한 그래프,
도 8은 다른 적층체의 일례를 도시하는 도,
도 9는 도 8에서 도시하는 적층체의 각 시험체에 있어서 도 3상당도,
도 10은 도 8에서 도시하는 적층체의 각 시험체에 있어서 도 4상당도,
도 11은 도 8에서 도시하는 적층체의 각 시험체에 있어서 도 5상당도,
도 12는 도 8에서 도시하는 적층체의 각 시험체에 있어서 도 7상당도,
도 13은 본 발명의 제2실시형태에 관계된 도 2상당도,
도 14는 본 발명의 제2실시형태에 관계된 도 3상당도,
도 15는 본 발명의 제2실시형태에 관계된 도 4상당도,
도 16은 본 발명의 제2실시형태에 관계된 도 5(a)상당도,
도 17은 본 발명의 제2실시형태에 관계된 도 6상당도,
도 18은 본 발명의 제3실시형태에 관계된 도 2상당도,
도 19는 도장막의 막 두께와 에코높이와의 관계를 도시하는 도,
도 20은 도장막의 막 두께의 불균일에 의한 에코높이의 변동을 도시하는 도,
도 21은 탐촉자의 접촉상태의 불균일에 의한 에코높이의 변동을 도시하는 도,
도 22는 건전부, 박리부, 부식부에 있어서 에코높이의 변동을 모식적으로 도시하는 도,
도 23은 다중반사파의 음압반사율의 변화를 도시하는 도, 및
도 24는 본 발명의 개변예를 도시하는 도 22상당도이다.

다음으로, 적절히 첨부도면을 참조하면서, 본 발명의 제1실시형태에 대해 더욱 상세하게 설명하겠다.

검사장치구성

도 1에서 도시하는 바와 같이, 본 발명의 제1실시형태에 관계된 박리검사장치(1)는, 대략, 복수의 부재로써의 제1부재(20), 제2부재(30)가 박층(40)을 통해 적층된 적층체(10)의 일측(11)(표면(21))으로부터 초음파를 입사하는 동시에 다중반사파를 수신하는 탐촉자(2)와, 수신한 다중반사파를 처리하여 평가하는 신호처리장치(3)를 갖춘다. 이 신호처리장치(3)는, 예를 들어, 퍼스널 컴퓨터에 의해 구성된다. 또한, 탐촉자(2)에는, 주사 위치를 검출하는 엔코더 등의 위치검출기(2a)가 장치되는 동시에, 신호처리장치(3)에 접속되어 있다. 본 실시형태에 있어서, 적층체(10)의 일측(11)(제1부재(20)의 표면(21))에는, 도장막(50)이 형성되어 있다.

신호처리장치(3)는, 펄서(4a)를 제어하여 탐촉자(2)로부터 초음파 펄스를 발생시킨다. 송신된 초음파 펄스는, 제1, 제2부재(20, 30)내 및 박층(40)내를 통과(혹은 투과) 및 각 계면(F1, F2)에서 반사하여, 탐촉자(2)로 수신된다. 수신한 다중반사파는, 리시버(4b) 및 프리앰프(5)에 의해 증폭되고, 필터(6)에 의해 노이즈가 제거된 상태에서 A/D컨버터(7)에 의해 디지털신호로 변환된다. 그리고, 신호처리장치(3)로 신호처리가 이루어져, 모니터(8)에 표시된다. 모니터(8)에는, 예를 들어, 도 3, 4, 6에서 도시하는 것처럼, 횡축을 전파거리를 대표하는 시간축으로 하고, 종축에 같은 반사파의 강도로 하는 그래프가 표시된다.

또한, 신호처리장치(3)는, 위치검출기(2a)가 검출한 탐촉자(2)의 주사 위치 데이터와 함께 수신신호를 처리하고, B스캔화상이나 C스캔화상 등의 주사 화상을 생성하여, 모니터(8)에 표시시킨다. 게다가, 신호처리장치(3)는, 박리의 존재를 경고하는 경고수단(3a)을 더욱 갖춘다. 본 실시형태에 있어서, 경고수단(3a)은, 검사부에 있어서 전파시간이 건전부에 있어서 전파시간(기준전파시간)에 대해 소정시간 이상인 경우, 또는, 검사부에 있어서 피크값이 건전부에 있어서 피크값(기준피크값)에 대해 소정값 이상인 경우에 경고를 이행한다. 이 경고는, 예를 들어, 경고음이나 모니터(8)로의 표시 등에 의해 실행된다.

적층체 구성

여기서, 본 실시형태에 있어서 검사대상이 되는 적층체(10)는, 예를 들어 액체를 보존하는 액체용 컨테이너 탱크의 벽부이다. 이 탱크는, 예를 들어 ISO규격에 준하는 컨네이너 탱크이다. 도 2에서 도시하는 바와 같이, 적층체(10)는, 제1부재(20)로써의 판재와, 이 판재(20)를 내용물로부터의 침식을 막기 위한 제2부재(30)로써의 불소수지 라이닝재를 갖는다. 그리고, 이 불소수지 라이닝재(30)가 박층(40)으로써의 접착제로 이루어지는 접착층에 의해 판재(20)에 접착되어 있다.

본 실시형태에 있어서, 판재(20)는, 예를 들어 두께 5mm의 스테인리스 그물판(SUS판) 등에 의해 구성되어 있다. 또한, 불소수지 라이닝재(30)로써는, 예를 들어 두께 3.5mm의 불소수지 라이닝(PTFE)이 이용된다.

또한, 본 실시형태에 있어서 접착층(40)은, 예를 들어, 에폭시수지계 접착제 등의 불소수지 라이닝재(30)(이하, 단순히 '라이닝재(30)'라고 부른다.)를 판재(20)에 접착시키는 접착제에 의해 구성된다. 그 두께는, 예를 들어 0.1mm 이하이며, 판재(20)나 라이닝재(30)에 대해 충분히 얇다. 여기서, 가령, 접착층(40)의 음속을 1800m/s, 초음파의 주파수를 5MHz라고 하면, 파장은 0.36mm가 되며, 접착층(40)의 두께보다도 크다. 그 때문에, 접착층(40)의 상면(41)으로부터의 반사파와 하면(42)으로부터의 반사파와는 분리할 수 없으며, 종래의 수직법에서는 각 면(41, 42)의 신호를 식별할 수는 없다. 본 발명은, 이러한 초음파의 파장보다 짧은(얇은) 두툼한 접착층(40)의 상하면(41, 42)에 있어서 박리검출에 유리하다.

그런데, 도장막(50)의 막 두께는, 시공상태나 경년 변화에 의해, 예를 들어 100~500μm정도의 오차(불균일)가 생기는 경우가 있다. 도 19에 도장막의 막 두께에 대한 에코높이의 상대적인 변동의 예를 도시한다. 종축은 상대에코높이(dB), 횡축은 막 두께(μm)이다. 도 19의 예에 있어서, 예를 들어 막 두께가 300μm에 대해 ±100μm 변동하면, 에코높이는, 1회 반사(B1)에서는 ±약 0.9dB(90%~111%, 도중의 M1), 10회 반사(B10)에서는 ±약 1.1dB(88%~114%), 20회 반사(B20)에서는 ±약 1.5dB(84%~119%, 도중의 M2) 변동한다. 이렇게, 막 두께가 클수록, 또한, 반사횟수가 많을수록, 에코높이는 크게 변동한다. 그 때문에, 박리부와 건전부의 신호가 서로 겹쳐서, 양자의 판별이 어려워지는 경우가 생긴다. 또한, 같은 도는 에폭시수지의 예이지만, 도장막의 재질에 한정되지 않고, 상기와 마찬가지로 에코높이는 변동한다.

또한, 도 20에, 건전부를 본뜬 건전시험체(E0)와 박리부를 본뜬 모의박리시험체(E1)에 있어서, 도장막(50)의 막 두께를 150~300μm에서 변화시킨 측정결과의 예를 도시한다. 종축은 상대에코높이(dB), 횡축은 반사횟수이다. 어느 시험체에 있어서도, 막 두께에 따라 각 반사횟수에서 에코높이로 변동(불균일)이 생긴다. 반사횟수가 8회 이하에서는, 건전부의 변동범위(r0)와 박리부의 변동범위(r1)가 중복하기 때문에, 건전부와 박리부의 신호의 구별이 어려워진다. 반사횟수가 8회째 이후에서는, 변동범위(r0, r1)의 차는 반사횟수가 증가함에 따라 넓어진다.

게다가, 반사파의 에코높이에 변동을 주는 요인은, 도장막(50)의 막 두께에 한정되지 않는다. 예를 들어, 탐촉자(2)의 적층체(10)에 대한 접촉상태도 에코높이에 변동을 주는 요인이 된다. 도 21에, 복수의 다른 대상물(A~E)에 대해, 탐촉자(2)의 접촉상태를 다르게 한 측정결과의 예를 도시한다. 종축은 상대에코높이(dB)이다. 접촉상태에 대한 변동의 평균이 ±2.5dB가 되었다. 또한, 접촉상태란, 탐촉자의 대상물에 대한 기울기나 압압력, 접촉매질의 두께, 종류 등을 포함한 개념이다. 또한, 다른 변동요인으로써, 적층체 표면이나 계면의 거친 정도나 박리부내의 내용물 등도 있다. 이렇게, 다중반사파는 각종 요인의 영향을 받기 때문에, 다중반사파 전체의 감쇠곡선이나 감쇠율에 의한 박리검사에서는, 판정 정도가 낮아진다.

도 22에, 각종 시험체에 있어서 상기 변동요인을 포함한 에코높이의 변동을 모식적으로 도시한다. 상술한 바와 같이, 반사파의 신호에는, 상기 각종 요인에 의한 변동범위(R0~R2)가 포함된다. 건전시험체(E0)와 모의박리시험체(E1)에서는, 반사횟수가 많아짐에 따라, 건전부의 변동범위(R0)와 박리부의 변동범위(R1)의 차가 커지게 된다. 이는, 박리부에 존재하는 공기의 음압반사율은 거의 1로 그다지 변화하지 않지만, 건전부에서는 계면에 있어서 음압반사율은 1보다 작기 때문에, 이 음압반사율의 차가 반사를 반복할수록 적산되어 커지게 되기 때문이다. 그리고, 이 변동범위의 차에는, 상기 요인에 의한 변동이 제외된다. 따라서, 소정값 이상의 차가 되는 반사횟수를 구해, 반사횟수가 많은 반사파의 에코높이에 착안하는 것으로, 상기 변동요인의 영향을 배제하고, 박리부와 건전부와의 신호를 명료하게 구별할 수 있으며, 검출 정도가 향상한다.

그런데, 박리부에는, 부식이 생기는 경우도 상정된다. 관련된 경우, 부식면에서 초음파는 산란하기 때문에, 부식이 진행할(면 거칠기 정도가 클)수록 크게 감쇠하고, 건전부에 비해 에코높이는 작아진다. 부식부를 본뜬 모의박리시험체(E2)의 신호에도 마찬가지로 상기 요인에 의한 변동이 포함된다. 도 22와 같이, 모의박리시험체(2)에 있어서도, 소정값 이상의 차가 되는 반사횟수를 사전에 구해, 반사횟수가 많은 반사파의 에코높이에 착안하는 것으로, 상기 변동 요인의 영향을 배제하여, 박리의 유무에 더해 부식의 유무까지도 정도 좋게 검출할 수 있다. 또한, 발명자들의 실험에 의하면, 면 거칠기 Ra(250μm)≒Rz1000(μm)에 상당하는 약 1mm의 요철부식을 검출할 수 있었다.

이렇게, 사전에, 건전시험체와 모의박리시험체에 있어서, 반사파의 에코높이가 소정값 이상의 차가 되는 반사횟수를 구해, 해당 횟수에 있어서 반사파의 에코높이를 비교하는 것으로, 상기 변동요인에 의한 영향을 배제하여, 고정도로 박리의 유무를 검사하는 것이 가능해진다. 또한, 반사횟수 및 소정값은, 각종 변동요인이 배제되면 좋고, 신호가 명료하게 식별할 수 있는 범위에 있어서, 이들은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 22에서 도시하는 바와 같이, 박리검출에 대해 반사횟수를 20회로 하여, 부식검출에는 20회의 소정값 Z'보다 큰 Z''가 되는 10회의 반사횟수로써도 좋다.

다중반사파의 거동

여기서, 초음파의 거동과 반사파형과의 관계에 대해 설명하겠다.

도 2(a)는, 판재(20), 라이닝재(30) 및 접착층(40)이 서로 밀착하여 박리가 존재하지 않는 건전부에서의 반사의 거동을 도시한다. 탐촉자(2)로부터 판재(20) 내부로 그 상면(표면)(21)(용기외면(11))으로부터 입사한 초음파는, 그 일부가 판재(20)의 하면(이면(22))과 접착층(40)의 상면(41)과의 계면이 되는 제2계면(F2)에서 부호 P2로 도시하는 것처럼 반사한다.

한편, 제2계면(F2)을 투과한 초음파는, 접착층(40)내를 전파하여, 접착층(40)의 하면(42)과 라이닝재(30)의 상면(31)과의 계면이 되는 제1계면(F1)에 이른다. 여기서, 라이닝재(30)와 접착층(40)과의 음향 임피던스가 유사한(라이닝재(30)와 접착층(40)과의 음향 임피던스의 차가 작은) 경우, 제1계면(F1)에서의 반사는 거의 생기지 않는다. 그 때문에, 부호 P1에서 도시하는 반사파는 거의 수신되지 않는다. 따라서, 건전부에서의 다중반사에 의한 수신파형은, 주로 제2계면(F2)으로부터의 반사파(P2)에 의해 형성된다.

도 2(b)는, 제1계면(F1)에 박리가 생기지 않는 경우의 반사의 거동을 도시한다. 박리부(D1)는 제2계면(F2)의 반사에 관계가 없기 때문에, 건전부와 마찬가지로, 제2계면(F2)에서 부호 P2에서 도시하는 것처럼 반사한다. 한편, 박리부(D1)에 있어서는, 접착층(40)과 공기(A)와의 계면이 형성된다. 그 때문에, 건전부와는 달리, 제2계면(F2)을 투과한 초음파는, 그 대부분이 접착층(40)과 공기(A)와의 계면에서 부호 P1'로 도시하는 것처럼 반사한다. 따라서, 박리부(D1)가 존재하는 경우의 다중반사에 의한 수신파형은, 박리부(D1)로부터의 반사파(P1') 및 제2계면(F2)로부터의 반사파(P2)가 서로 더해진 파형이 된다.

도 2(c)는, 제2계면(F2)에 박리가 생기는 경우의 반사의 거동을 도시한다. 박리부(D2)에 있어서는, 판재(20)와 공기(A)와의 계면이 형성된다. 그 때문에, 제2계면(F2)에 도달한 초음파는, 그 대부분이 판재(20)와 공기(A)와의 계면에서 부호 P2'에서 도시하는 것처럼 반사하고, 제1계면(F1)에서의 반사파는 생기지 않는다. 따라서, 박리부(D2)가 존재하는 경우의 다중반사에 의한 수신파형은, 대부분 박리부(D2)로부터의 반사파(P2')에 의해 형성된다. 여기서, 판재(20)와 박리부(D2)의 공기(A)의 음압반사율은 대부분 1이며 반사를 반복해도 그다지 변화하지 않는다. 다른 한편, 건전부의 반사파(P2)는, 제2계면(F2)을 구성하는 판재(20)와 접착층(40)과의 음압반사율이 1보다 작기 때문에, 제2계면(F2)에서의 반사에 의해 감쇠한다.

또한, 도 23에, 각종 재질의 음압반사율의 변동을 도시한다. 종축은 상대에코높이(dB), 횡축은 반사횟수이다. 재질에 따라 음압반사율은 다르지만, 공기의 음압반사율 1보다 작고, 반사횟수가 많아짐에 따라 그 차는 커진다. 즉, 공기의 음압반사율보다 작은 재질이면, 박리의 유무를 검출할 수 있다. 또한, 같은 도중의 (a)는 공기, (b)는 물, (c)는 불소수지, (d)는 경질고무, (e)는 에폭시수지를 도시하지만, 이들은 일례에 지나지 않는다.

수신파형의 상위

여기서, 건전부, 박리부(D1) 및 박리부(D2)에 있어서 수신파형의 상위에 대해, 도 3~5를 참조하면서 설명하겠다.

도 3에 건전시험체(TP0), 제1, 제2박리시험체(TP1, TP2)로 수신한 신호에 대역통과필터(중심주파수 5MHz)를 입혀 생성한 RF파형의 일례를 도시한다. 또한, 도 4는, 도 3에 대응하는 검파파형을 도시한다. 여기서, 건전시험체(TP0)는, 판재(20), 라이닝재(30) 및 접착층(40)이 서로 밀접한 건전부를 본떴다. 제1박리시험체(TP1)는, 판재(20) 및 접착층(40)을 접착시켜 제1계면(F1)의 박리부(D1)를 본떴다. 제2박리시험체(TP2)는, 판재(20)만으로 구성한 제2계면(F2)의 박리부(D2)를 본떴다. 도 3, 4의 종축은 에코높이(%), 횡축은 전파시간(μm)을 도시한다.

도 3(a) 및 도 4(a)에서 도시하는 바와 같이, 반사가 1회인 경우, 각 수신파형이 대부분 서로 겹쳐지기 때문에, 파형의 식별은 어렵다. 한편, 도 3(b) (c) 및 도 4(b) (c)에서 도시하는 바와 같이, 반사횟수가 증가함에 따라, 각 파형의 에코높이에 어긋남이 생기는 동시에 파형의 겹침도 해소되어, 파형의 식별이 가능해진다. 이로부터, 관측 당초에 있어서는 박리검출이 어렵지만, 다중반사파를 이용하는 것으로, 박리검출이 가능해지는 것을 알 수 있다.

더욱이, 발명자들은, 상기 각 시험체에 있어서 감쇠의 경향을 측정했다. 도 5(a) (c)에서 도시하는 바와 같이, 감쇠의 경향(감쇠 계수)은, 제2박리시험체(TP2), 제1박리시험체(TP1), 건전시험체(TP0)의 순으로 큰 것을 알 수 있었다. 또한, 같은 도(b)에서 도시하는 바와 같이, 건전시험체(TP0)의 감쇠 경향을 기준으로 하면, 제1박리시험체(TP1)보다 제2박리시험체(TP2) 쪽이 더욱 감도차가 크고, 감쇠 경향이 큰 것을 알 수 있었다. 도 5(a)의 종축은 에코높이(dB), 횡축은 전파시간(μ초)을 도시한다. 도 5(b)의 종축은 감도차(dB), 횡축은 반사횟수를 도시한다. 도 5(c)의 종축은 감쇠 계수(dB/mm)를 도시한다.

상기 현상의 메커니즘은, 이하와 같이 추측된다.

건전시험체(TP0)의 반사파(P2)는, 제2계면(F2)에서의 반사 및 접착층(40)으로의 투과에 의해 감쇠한다. 한편, 제2박리시험체(TP2)의 반사파(P2')는, 박리부(D2)의 공기(A)에서의 반사이기 때문에, 건전시험체(TP0)에 비해 반사에 의한 감쇠는 작다. 또한, 제2박리시험체(TP2)에서는 접착층(40)으로의 투과가 생기지 않기 때문에, 접착층(40)에 의한 감쇠의 영향을 받지 않는다. 따라서, 제2박리시험체(TP2)(박리부(D2))의 감쇠는, 건전시험체(TP0)에 비해 작아진다. 따라서, 복수회 반사한 반사파의 피크값(에코높이)을 비교하는 것으로 박리부(D2)의 검출이 가능해진다.

다른 한편으로, 제1박리시험체(TP1)의 파형은, 박리부(D1)로부터의 반사파(P1') 및 제2계면(F2)으로부터의 반사파(P2)의 쌍방이 더해진다. 제1박리시험체(TP1)의 반사파(P1')는, 박리부(D1)의 공기(A)에 의한 반사이기 때문에, 반사에 의한 감쇠의 영향은 적고, 도 5에서 도시하는 것처럼, 제1박리시험체(TP1)의 감쇠는 건저시험체(TP0)보다 작다. 그 때문에, 복수회의 반사를 반복하면, 반사파(P2)가 더욱 크게 감쇠하고, 반사파(P1')가 상대적으로 커진다. 이로 인해, 반사파(P1')가 파형의 형성에 영향을 주어, 건전시험체(TP0)의 파형에 대해, 시간이 어긋난 것 같은 파형이 된다. 이 시간의 어긋남은, 접착층(40)의 두께이다. 한편, 건전시험체(TP0)의 파형은, 제2계면(F2)으로부터의 반사파(P2)에서 형성되고, 반사파(P1')에 대응하는 제1계면(F1)으로부터의 반사파(P1)는 포함되지 않는다. 따라서, 복수회 반사한 반사파의 전파시간을 비교하는 것으로 박리부(D1)의 검출이 가능해진다.

이렇게, 발명자들의 예의연구 결과, 소정값 이상의 차가 되는 반사횟수를 사전에 구해, 해당 반사횟수의 반사파의 에코높이 및 전파시간에 착안하는 것으로, 상기 요인에 의한 변동의 영향을 배제하며, 또한, 건전부에 대한 파형의 식별성(시인성)을 향상시키고, 각 계면(F1, F2)에 있어서 박리를 검출할 수 있는 것이 판명됐다.

피크시간 및 에코높이

다음으로, 제1, 제2계면(F1, F2)에 있어서 박리의 검출에 대해, 도 6을 참조하면서 설명하겠다. 또한, 본 실시형태에 있어서, 전파시간으로써, 반사파의 피크시간을 예로 이하 설명하겠다.

제1계면(F1)의 박리부(D1)의 경우, 그 신호파형(S1)에 있어서 소정횟수의 반사를 반복한 반사파의 피크시간(T1)은, 건전부의 신호파형(S0)에 있어서 같은 횟수의 반사를 반복한 반사파의 피크시간(T0)보다도 늦게 출현하고, 시간 어긋남(△T)이 생긴다. 이는, 건전부의 감쇠가 박리부(D1)보다도 크기 때문에, 복수회의 반사를 반복하면, 박리부(D1)로부터의 반사파가 상대적으로 커지며, 건전부의 파형에 대해 시간이 어긋난 파형이 되기 때문이다. 한편, 제2계면(F2)의 박리부(D2)의 경우, 그 신호파형(S2)에 있어서 피크시간(T2)은 건전부의 피크시간(T0)과 거의 같은 시간이 된다. 이는, 어느 반사파도 제2계면(F2)에서의 반사이기 때문이다.

또한, 제1계면(F1)의 박리부(D1)의 경우, 그 신호파형(S1)에 있어서 소정횟수의 반사를 반복한 반사파의 피크값으로써의 에코높이(H1)는, 건전부의 신호파형(S0)에 있어서 같은 횟수의 반사를 반복한 반사파의 에코높이(H0)와 비교하여 약간 크지만, 그렇게 큰 차는 없다. 한편, 제2계면(F2)의 박리부(D2)의 경우, 그 신호파형(S2)에 있어서 에코높이(H2)는, 건전부의 신호파형(S0)의 에코높이(H0)와 비교하여, 명백히 돌출하여 크다. 이는, 제2계면(F2)의 박리부(D2)의 경우, 건전부와 비교하여 보다 반사율이 큰 공기(A)에서 대부분 반사하여 투과하지 않기 때문에, 감쇠가 적기 때문이다.

평가방법

이렇게, 이하의 적층체의 박리검사방법에 의해, 제1, 제2계면(F1, F2)에 있어서 박리의 유무를 검사하는 것이 가능해진다.

사전에, 판재(20), 라이닝재(30) 및 접착층(40)이 밀착한 건전부 및 모의박리부에 있어서 판재(20)의 표면(21)으로부터 초음파를 입사하는 동시에 다중반사파를 수신하여, 도 22에서 도시하는 것처럼, 건전부에 있어서 다중반사파의 에코높이와 모의박리부에 있어서 다중반사파의 에코높이와의 차가 소정값 이상이 되는 반사파의 반사횟수를 구한다. 그리고, 그 반사횟수의 반사를 반복한 반사파의 피크시간 및 에코높이를 기준전파시간으로써의 기준피크시간(T0) 및 기준에코높이로써의 기준피크값(H0)으로 하여 구해둔다. 또한, 모의박리부에는, 박리 외에, 박리부가 부식한 부식부도 포함된다.

여기서, 반사횟수의 결정에서는, 예를 들어, 적층체(10)에 있어서 건전부에 상당하는 부분 및 박리부에 상당하는 부분을 각각 선정한다. 또한, 상술한 것처럼, 건전시험체(TP0), 제1박리시험체(TP1), 제2박리시험체(TP2)를 이용하거나, 이 시험체들에 상당하는 다른 장치나 다른 부재를 이용하는 것도 가능하다. 게다가, 예를 들어 박리부를 본떠 제작한 모의박리시험체(대비시험편)와 적층체에 있어서 건전부에 상당하는 부분으로써 선정한 부분과의 비교라도 좋다. 이렇게, '건전부' 및 '모의박리부'는 모두 '부'이기 때문에, 이들에는 '검사대상이 되는 적층체(10)의 임의의 부분' 및 '적층체(10)와는 별체의 시험체(편) 및 이에 상당하는 다른 장치나 부재'의 쌍방이 포함된다. 또한, 상기의 방법에 더해, 예를 들어 곡률을 갖는 적층체의 경우, 곡률에 따른 에코높이의 보정값을 구해두고, 감도를 보정하도록 해도 좋다.

다음으로, 판재(20)의 소정의 검사부(E)에 있어서, 판재(20)의 표면(21)을 따라 적절히 간격을 두고 탐촉자(2)를 주사하는 동시에 초음파를 입사시켜 다중반사파를 수신하고, 그 다중반사파에 있어서 사전에 구한 반사횟수와 같은 횟수의 반사를 반복한 반사파의 전파시간으로써의 피크시간(T) 및 에코높이(H)를 구한다. 그리고, 이들의 피크시간 및 에코높이를 비교하는 것에 의해, 라이닝재(30)와 접착층(40)과의 제1계면(F1)에 있어서 박리 및 판재(20)와 접착층(40)과의 제2계면(F2)에 있어서 박리의 유무를 각각 평가한다.

또한, 사전에, 신호처리장치(3)에 기준피크시간에 대해 소정의 역치(시간)를 설정해두어, 피크시간이 소정의 게이트를 넘은 경우에 경고수단(3a)에 의해 경고하도록 해도 좋다. 마찬가지로, 기준피크값에 대해 소정의 역치(진폭)를 설정해두고, 피크값이 소정값을 넘은 경우에 경고수단(3a)에 의해 경고하도록 해도 좋다. 게다가, 위치검출기(2a)의 탐촉자(2)의 주사위치데이터와 함께 다중반사파를 처리하고, 예를 들어 도 6에서 도시하는 것처럼 그래프와 함께, 또는, 독립적으로 B스캔화상이나 C스캔화상 등의 주사화상을 생성해도 좋다. 이 화상들에 박리의 유무를 표시시켜도 좋다. 종래의 다중반사파의 감쇠곡선에 착안하는 방법에서는, 다중신호가 탐촉자의 이동에 따라 변화하기 때문에, 건전부와 박리부의 신호의 구별이 어려워진다. 또한, 주사 후에 데이터를 해석하는 방법에서는, 해석처리가 방대한데다가, 각종 요인이 신호에 영향을 주고 있기 때문에, 정밀도도 저하한다. 한편, 본 발명은, 소정값 이상의 차가 되는 반사횟수를 사전에 구해, 해당 반사횟수의 반사파의 에코높이에 착안하기 때문에, 신호처리를 간편하고 쉽게 생성할 수 있다.

여기서, 피크시간(T) 및 에코높이(H)의 비교시에, 상술한 소정횟수는, 감쇠 계수를 고려하여, 건전부에서의 파형에 대해 피크시간(T) 및 에코높이(H)의 비교가 가능해지는 횟수로 설정한다. 도 5에서 도시하는 바와 같이, 건전부에 있어서 감쇠의 경향과, 박리부(D)가 존재하는 경우에 있어서 감쇠의 경향은 다르다.

따라서, 예를 들어, 신호처리장치(3)에 있어서, 도 6에서 도시하는 것처럼 테스트피스 등의 건전부에 있어서 반사파의 에코높이가 100% 진폭표시의 20%정도의 강도로 표시되도록 횟수로 하면 좋다. 이로 인해, 검사부(E)에 있어서 제1, 제2계면(F1, F2)의 박리부로부터의 각 반사 에코가 건전부에 대해 식별이 가능해진다. 도 3(a) 및 도 4(a)에서 도시하는 바와 같이, 반사횟수가 적은 경우, 수신신호에 명료한 차이가 나타나지 않고, 신호의 식별(건전인지 박리인지의 식별)이 어렵다. 한편, 도 3(b) (c) 및 도 4(b) (c)에서 도시하는 바와 같이, 반사횟수가 증가함에 따라, 건전인지 박리인지의 식별이 쉬워진다. 반사횟수가 증가하면, 다중반사파의 전파시간(거리)의 차가 확대하고, 시간의 어긋남이 커지며, 제2계면(F2)의 박리부로부터의 신호가 명료해진다. 또한, 도 5(a)에서 도시하는 바와 같이 감쇠의 차가 확대하여 에코높이의 차도 커지기 때문에, 제1계면(F1)의 박리부로부터의 신호도 명료해진다. 또한, 본 실시형태에서는, 20회 정도로 설정하고 있다. 물론, 적절히 감도 조정해도 좋다.

발명자들은, 본 발명에 관계된 박리검사방법 및 박리검사장치의 유용성을 검증하기 위해 실험을 했다. 상술한 각 시험체를 이용하여, 중심주파수 5MHz의 1진동자탐촉자(2)에 의해 다중반사파를 복수회 수신했다. 도 7에 그 결과를 비교한 그래프를 도시한다.

도 7(a)은, 건전부에 있어서 피크시간이 가장 빠른 것을 기준으로 한 각 시험체의 피크시간 차를 도시하는 그래프이다. 종축이 피크시간 차(μ초)이다. 같은 도로부터 명백한 바와 같이, 건전시험체(TP0)와 제2박리시험체(TP2)와는, 피크시간 차에 대부분 차이가 없다. 한편, 제1박리시험체(TP1)에서는, 피크시간 차에 명료한 차이가 나타났다. 이렇게, 건전부의 피크시간과 검사부의 피크시간을 비교하는 것으로, 제1계면(F1)에 있어서 박리의 유무를 검출 가능한 것을 알 수 있었다.

도 7(b)은, 각 시험체의 에코높이(%)를 비교한 그래프이다. 종축이, 에코높이(%)이다. 같은 도로부터 명백한 것처럼, 건전시험체(TP0)와 제1박리시험체(TP1)와는, 에코높이에 그다지 차는 없다. 한편, 제2박리시험체(TP2)에서는, 피크값에 명료한 차이가 나타났다. 이렇게, 건전부의 피크값과 검사부의 피크값을 비교하는 것으로, 제2계면(F2)에 있어서 박리의 유무를 검출 가능한 것을 알 수 있었다.

게다가, 발명자들은, 도 8에서 도시한 것처럼, 라이닝재(30')로써 불소수지 라이닝(PFA)을 이용하고, 접착층(40')을 접착제(33)와 글라스크로스(34)에 의해 구성한 시험체에 대해서도, 상기 실시예 1과 마찬가지로 실험을 했다. 도 12(a) (b)에서 도시하는 바와 같이, 상기 실시예 1과 마찬가지의 결과가 되며, 검출 가능한 것이 판명됐다. 또한, 도 9~11에 이 시험체에 있어서 RF파형, 검파파형의 일례 및 감쇠 계수를 도시한다. 이 라이닝재(30')에 있어서도, 상기와 같은 결과를 얻을 수 있었다.

다음으로, 도 13~17을 참조하면서, 본 발명의 제2실시형태에 대해 설명하겠다. 또한, 이하의 실시형태에 있어서, 같은 부재에는 동일한 부호를 붙이고 있다.

상기 제1실시형태에 있어서, 접착층(40)을 통해 판재(20)(제1부재)에 불소수지 라이닝재(30)(제2부재)를 접착시킨 적층체(10)를 예로 설명했다. 그러나, 검사대상으로써의 적층체(10)는, 접착층(40)을 통해 복수의 부재(20, 30)가 적층된 것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 13에서 도시하는 제2실시형태와 같이, 제1부재(20')에 제2부재(30')가 직접 설치된 적층체(10')에 있어서도, 층간 박리의 검출이 가능하다. 또한, 이 제1, 제2부재(20', 30')는, 상기 제1실시형태의 재료에 한정되지 않는다.

도 13에서 도시하는 바와 같이, 제2실시형태에 있어서 적층체(10')는, 초음파의 입사위치가 되는 적층체(10')의 일측(11')을 구성하는 제1부재(20')와, 이 제1부재(20')의 타측(22')에 직접 설치된 제2부재(30')로부터 이루어지는 2층 구조를 보인다.

도 13(a)은, 제1부재(20') 및 제2부재(30')가 서로 밀착하여 박리가 존재하지 않는 건전부에서의 반사의 거동을 도시한다. 탐촉자(2)로부터 제1부재(20') 내부로 그 상면(표면)(21')으로부터 입사한 초음파는, 그 일부가 제1부재(20')의 하면(이면(22'))과 제2부재(30')의 상면(31')과의 계면이 되는 계면(F3)에서 부호 P3로 도시한 것처럼 반사한다. 또한, 계면(F3)을 투과한 초음파는, 제2부재(30')내를 전파하고, 제2부재(30')의 하면(32')에 달하며, 부호 P4로 도시한 것처럼 반사한다. 따라서, 건전부에서의 다중반사에 의한 수신파형은, 계면(F3)으로부터의 반사파(P3) 및 제2부재(30')의 하면(32')으로부터의 반사파(P4)가 서로 더해진 파형이 된다.

한편, 도 13(b)은, 계면(F3)에 박리가 생기는 경우의 반사의 거동을 도시한다. 박리부(D3)에 있어서는, 제1부재(20')와 공기(A)와의 계면이 형성된다. 그 때문에, 계면(F3)에 도달한 초음파는, 그 대부분이 제1부재(20')와 공기(A)와의 계면에서 부호 P3'로 도시하는 것처럼 반사하고, 제2부재(30')의 하면(32')에서의 반사파는 생기지 않는다. 따라서, 박리부(D3)가 존재하는 경우의 다중반사에 의한 수신파형은, 대부분 박리부(D3)로부터의 반사파(P3')에 의해 형성된다.

여기서, 건전부 및 박리부(D3)에 있어서 수신파형의 상위에 대해, 도 14~17을 참조하면서 설명하겠다.

도 14에 건전시험체(TP0), 제 3 박리시험체(TP3)로 수신한 신호에 대역통과필터(중심주파수 5MHz)를 입혀 생성한 RF파형의 일례를 도시한다. 또한, 도 15는, 도 14에 대응하는 검파파형을 도시한다. 여기서, 건전시험체(TP0)는, 제1부재(20') 및 제2부재(30')가 서로 밀착한 건전부를 본떴다. 제 3박리시험체(TP3)는, 제1부재(20')만으로 구성한 계면(F3)의 박리부(D3)를 본떴다.

도 14, 15에서 도시하는 바와 같이, 본 실시형태에 있어서도, 반사횟수가 증가함에 따라, 각 파형의 에코높이에 어긋남이 생기는 동시에 파형이 겹쳐지는 것도 해소되며, 파형의 식별이 가능하다. 이로부터, 관측 당초에 있어서는 박리검출이 어렵지만, 다중반사파를 이용하는 것으로, 박리검출이 가능해지는 것을 알 수 있다. 게다가, 상기 제1실시형태와 마찬가지로, 상기 각 시험체에 있어서 감쇠의 경향을 측정하면, 도 16에서 도시하는 바와 같이, 감쇠의 경향(감쇠 계수)은, 건전시험체(TP0) 쪽이 제 3박리시험체(TP3)보다 큰 것을 알 수 있었다

건전시험체(TP0)의 반사파(P3)는, 계면(F3)에서의 반사 및 제2부재(30')로의 투과에 의해 감쇠한다. 한편, 제 3박리시험체(TP3)의 반사파(P3')는, 박리부(D3)의 공기(A)에서의 반사이기 때문에, 건전시험체(TP0)에 비해 반사에 의한 감쇠는 작다. 또한, 제 3박리시험체(TP3)에서는, 제2부재(30')로의 투과가 생기지 않기 때문에, 제2부재(30')에 의한 감쇠의 영향을 받지 않는다. 따라서, 제 3박리시험체(TP3)(박리부(D3))의 감쇠는, 건전시험체(TP0)에 비해 작아진다. 따라서, 사전에 구한 반사횟수 반사한 반사파의 피크값을 비교하는 것으로 박리부(D3)의 검출이 가능해진다.

또한, 건전시험체(TP0)의 파형은, 계면(F3)으로부터의 반사파(P3) 및 제2부재(30')의 하면(32')으로부터의 반사파(P4)의 쌍방이 서로 더해진다. 한편, 제 3박리시험체(TP3)의 파형은, 계면(F3)으로부터의 반사파(P3')에서 형성되며, 제2부재(30')의 하면(32')으로부터의 반사파(P4)는 포함되지 않는다. 제 3박리시험체(TP3)의 반사파(P3')는, 박리부(D3)의 공기(A)에 의한 반사이기 때문에, 반사에 의한 감쇠의 영향은 적고, 도 16에서 도시하는 것처럼, 제 3박리시험체(TP3)의 감쇠는 건전시험체(TP0)보다 작다. 그 때문에, 복수회의 반사를 반복하면, 반사파(P3)가 더욱 크게 감쇠하여, 반사파(P4)가 상대적으로 커진다. 이로 인해, 반사파(P4)가 파형의 형성에 영향을 주어, 건전시험체(TP0)의 파형에 대해, 제 3박리시험체(TP3)의 파형은 시간이 어긋난(빨라진) 것 같은 파형이 된다. 이 시간의 어긋남은, 제2부재(30')의 두께이다. 따라서, 사전에 구한 반사횟수 반사한 반사파의 전파시간을 비교하는 것으로 박리부(D3)의 검출이 가능해진다.

다음으로, 계면(F3)에 있어서 박리의 검출에 대해, 도 17을 참조하면서 설명하겠다.

계면(F3)의 박리부(D3)의 경우, 그 신호파형(S3)에 있어서 소정횟수의 반사를 반복한 반사파의 피크시간(T3)은, 건전부의 신호파형(S0')에 있어서 같은 횟수의 반사를 반복한 반사파의 피크시간(T0')보다도 빠르게 출현하며, 시간 어긋남(△T')이 생긴다. 이는, 건전부의 감쇠가 박리부(D3)보다도 크기 때문에, 복수회의 반사를 반복하면, 박리부(D3)로부터의 반사파가 상대적으로 커지며, 건전부의 파형에 대해 시간이 어긋난 파형이 되기 때문이다.

또한, 신호파형(S3)에 있어서 소정횟수의 반사를 반복한 반사파의 피크값으로써의 에코높이(H3)는, 건전부의 신호파형(S0')에 있어서 같은 횟수의 반사를 반복한 반사파의 에코높이(H0')와 비교하여 크게 나타난다. 이는, 박리부(D3)의 경우, 건전부와 비교하여 보다 반사율이 큰 공기(A)에서 대부분 반사하여 투과하지 않아서, 감쇠가 적기 때문이다.

이렇게, 2개의 부재(20', 30')로 이루어지는 적층체(10')에 있어서도, 상기 제1실시형태와 마찬가지로, 건전부 및 박리부의 수신신호파형(반사파)에 차이가 생긴다. 따라서, 사전에 구한 반사횟수 반사한 반사파의 피크시간(T) 및/또는 에코높이(H)를 비교하는 것으로, 제1부재(20')와 제2부재(30')와의 계면에 있어서 박리부(D3)의 검출이 가능해진다.

마지막으로, 본 발명의 또 다른 실시형태의 가능성에 대해 설명하겠다.

상기 제1, 제2실시형태에 있어서, 비교대상으로써 피크시간(T)을 이용했다. 그러나, 제 3실시형태에서는, 피크시간(T)과 함께, 또는, 피크시간(T)을 대리하여 반사파의 위상을 이용한다. 구체적으로는, 사전에, 건전부에 있어서 소정횟수의 반사를 반복한 반사파의 위상을 기준위상으로써 구해둔다. 그리고, 검사부에 있어서 같은 횟수의 반사를 반복한 반사파의 위상을 구해, 이 위상들을 비교한다. 여기서, 접착층(40)은, 제2부재(30)의 음향 임피던스보다 작은 재료로 이루어진다.

도 18(a)에서 도시하는 건전부의 경우, 탐촉자(2)로부터 제1부재(20)의 표면(21)(적층체(10)의 일측(11))으로부터 입사한 초음파의 일부는, 앞의 실시형태와 마찬가지로 제2계면(F2)에서 부호 P2에서 도시하는 것처럼 반사한다. 또한, 제2계면(F2)을 투과한 초음파는, 접착층(40)과 제2부재(30)와의 음향 임피던스의 차로 인해, 부호 P1''에서 도시한 것처럼 제1계면(F1)에서도 반사한다.

도 18(b)에서 도시하는 제1계면(F1)의 박리부(D1)에 있어서는, 접착층(40)과 공기(A)와의 계면이 형성된다. 그 때문에, 건전부와는 달리, 제2경계면(F2)을 투과한 초음파는, 그 대부분이 접착층(40)과 공기(A)와의 계면에서 부호 P1'로 도시하는 것처럼 반사한다.

여기서, 공기의 음향 임피던스는 지극히 작고, 접착층(40)의 음향 임피던스보다도 작다. 따라서, 접착층(40)의 음향 임피던스가 제2부재(30)의 음향 임피던스보다도 작은 경우, 건전부의 신호에 대해 위상이 반전하게 된다. 즉, 박리부(D1)의 유무에 의해 위상이 반전한 것으로부터, 위상반전의 유무를 검출하는 것에 의해, 제1계면(F1)의 박리검출이 가능해진다. 이렇게, 본 실시형태는, 제1계면(F1)에 있어서 박리의 유무에 관계없이 반사에코가 검출되는 경우에 유리하다. 또한, 상기 제2실시형태에 있어서도, 제1부재(20')가, 제2부재(30')의 음향 임피던스보다 작은 재료로 이루어지는 경우, 위상반전에 의해 제1부재(20')와 제2부재(30')와의 계면(F3)의 박리를 검출하는 것은 가능하다. 또한, 본 실시형태에 있어서는, 신호처리장치(3)에, 검사부에서의 위상이 건전부에 대해 반전하고 있는 경우에 경고하는 경고수단(3a)을 설치하면 좋다.

상기 제1, 제2실시형태에 있어서, 소정횟수의 반사를 반복한 반사파의 피크시간(T) 및 에코높이(H)의 쌍방을 비교하는 것으로, 각 계면에 있어서 박리를 각각 검출가능하게 했다. 그러나, 피크시간(T) 및 에코높이(H)의 비교는, 각각 단독으로 비교하는 것도 가능하다. 더욱이, 상기 제 3실시형태에 도시하는 위상의 비교에 대해서도, 단독으로 또는, 피크시간(T) 및/또는 에코시간(H)과 조합하여 실시하는 것도 가능하다.

또한, 상기 제1, 제2실시형태에 있어서, 전파시간으로써 반사파의 피크시간을 이용했다. 그러나, 전파시간은 피크시간에 한정되지 않고, 예를 들어, 반사파의 올라서는(내려가는) 시간이나, 소정의 진폭을 넘는(내려가는) 시간을 이용해도 상관없다. 즉, 전파시간은, 건전부 및 검사부의 각 파형에 있어서 시간의 어긋남이 비교(식별)가능하게 되는 시간이면 좋다.

상기 각 실시형태에 있어서, 탐촉자(2)로써는 송수신을 겸무하는 1진동자형 탐촉자를 이용했다. 그러나, 송수신이 다른 유닛으로 되어 있는 2진동자형 탐촉자를 이용해도 상관없다. 또한, 상기 실시형태에 있어서 탐촉자(2)로써 5MHz의 탐촉자를 이용했지만, 이 주파수에 한정되지 않는다. 단, 주파수는 크면 감쇠가 커져 신호가 작아지며, 주파수가 작으면 파형이 분리되지 못하기 때문에, 접착층(40)의 재질이나 두께 등을 고려하여 설정하면 좋다.

일반적으로, 초음파는 다음 식에서 나타내는 근거리음장한계거리 L을 넘으면, 일정한 지향각

에서 넓어진다.

근거리음장한계거리 L＝(진동자의 직경)의 2승/(4×파장)···(1)

지향각

＝(70×파장)/(진동자의 직경)···(2)

본 발명은, 사전에 구한 반사횟수 반사한 반사파에 착안하기 때문에, 초음파는 넓어짐에 따른 감쇠가 적은 것이 바람직하다. 그 때문에, 근거리음장한계거리 L이 커지며, 또한 지향각

가 작은 주파수인 것이 바람직하다. 또한, 부식부를 검출하는 경우, 부식면의 면의 거칠기에 따라 크게 감쇠하기 때문에, 면의 거칠기의 영향을 받기 쉬운 주파수가 바람직하다. 상기의 점에서, 진동자의 직경이 20mm, 주파수 5MHz의 수직탐촉자를 이용해도 좋다. 또한, 부식부를 검출하는 경우, 부식면의 면의 거칠기에 따른 감쇠의 영향을 크게 하기 위해, 분할형 탐촉자를 이용할 수도 있다.

또한, 상기 각 실시형태에 있어서, 탐촉자(2)를 직접 제1부재(20)의 표면(21)에 꽉 갖다대서 초음파를 송수신했지만, 수침법에도 적용가능하다.

상기 제1실시형태에 있어서, 검사대상의 적층체(10)의 일부를 구성하는 제1부재(20)로써 그물재를 이용했다. 그러나, 제1부재는 그물재에 한정되지 않고, 다른 금속, 유리, 수지 등, 초음파의 전달물질이면 좋다. 또한, 검사대상이 되는 적층체(10)는, 상기 제1실시형태와 같이 컨테이너 탱크에 한정되지 않고, 다른 탱크, 컨테이너 등의 용기 외에, 관의 구성부분이어도 상관없다. 게다가, 제2부재(30)도 제1부재와 마찬가지로, 초음파의 전달물질이면, 그 재질은 불소수지에 특별히 한정되는 것이 아니며, 예를 들어 경질고무나 에폭시 수지 등의 각종 라이닝재에 적용가능하다. 물론, 라이닝재에 한정되지 않는다. 또한, 제2, 제 3실시형태에 있어서 제1, 제2부재(20)((20')), (30)((30'))에 대해서도, 마찬가지이다. 즉, 복수의 부재는, 이종재료 및 동종재료의 어느 조합이어도 좋다.

또한, 상기 제1, 제 3실시형태에 있어서, 적층체(10)를 제1, 제2부재(20, 30)를 접착층(40)을 통해 적층했다. 그러나, 적층시키는 부재의 수는 특별히 한정되지 않으며, 3층 이상이어도 상관없다. 또한, 접착층(40)은, 적층체(10)를 구성하는 복수의 부재간의 적어도 일부에 개재하고 있으면 좋고, 예를 들어, 땜질용의 땜질제나, 인접하는 한쪽의 부재의 표층부의 일부를 변질시킨 변질부 등이어도 좋다. 그 접착층(40)의 상하면(41, 42)에 있어서 박리의 검출이 가능하다. 접착층(40)의 재료에는, 이 접착층(40)에 인접하여 초음파의 입사위치로부터 격리된 쪽에 위치하는 부재의 음향 임피던스에 유사하는 재료를 선택할 수 있다. 건전부에 있어서, 해당 부재와 접착층(40)과의 계면(F1)으로부터의 반사파(P1)가 검출이 어려운 정도로 유사하고 있으면, 건전부와의 전파시간의 비교에 의해 박리의 유무를 검출하는 것이 가능해지게 되기 때문이다. 한편, 접착층(40)의 재료에, 전자와 달리 음향 임피던스가 유사하지 않은 재료를 선택하는 것도 가능하다. 관련된 경우, 접착층(40)의 계면에 있어서 반사파의 감쇠에 차가 생기기 쉽고, 건전부와의 에코높이의 비교에 의해 박리의 유무를 검출할 수 있다.

상기 각 실시형태에 있어서, 박리부에 공기가 존재하고 있는 경우를 예로 설명했지만, 박리부(부식부)에 액체가 존재하고 있는 경우도 검출 가능하다. 즉, 건전부와 내부에 액체를 갖는 박리부와의 음압반사율에 차이가 있으면, 반사횟수가 커져감에 따라 음압반사율의 차에 의해, 반사파의 에코높이에도 차가 생기므로, 건전부와 박리부와의 구별이 가능해진다. 게다가, 내부에 공기를 갖는 모의박리부의 에코높이와 비교하는 것으로, 액체의 유무의 판정도 가능하다. 또한, 박리(부식)를 검출하는 대상계면을 구성하는 부재 및 액체의 재질에 의해서는, 반사파의 전파시간의 차에 의해서도 검출이 가능하다.

또한, 상기 각 실시형태에 있어서는, 대략 평탄한 탐상면을 예로 설명했지만, 곡면을 갖는 적층체에도 적용가능하다. 곡면의 경우, 적층체 표면 및 계면에 있어서 초음파는 산란반사하기 때문에, 반사횟수가 증가함에 따라 감쇠가 커진다. 그러나, 건전부 및 검사부도 모두 같은 곡률을 갖는 곡면이면, 곡률에 의한 영향은 상쇄되게 된다. 따라서, 배관 등의 곡면을 갖는 부재에 있어서, 박리의 유무를 검출하는 것이 가능하다.

또한, 상기 각 실시형태에서는, 사전에 구한 반사횟수의 1개의 반사파의 신호를 비교했다. 그러나, 비교하는 반사파는 복수여도 좋고, 예를 들어 사전에 구한 반사횟수의 전후의 신호를 비교하도록 해도 좋다. 게다가, 수신한 다중반사파의 파형을 표시하도록 해도 좋다. 관련된 경우, 예를 들어 도 24에서 도시하는 바와 같이, 사전에 구한 반사횟수에 있어서 건전부의 에코높이와 동등해지는 에코높이가 되는 반사횟수가, 사전에 구한 반사횟수에 대해 소정의 횟수(Y1, Y2) 이상 떨어지는 경우에, 박리(Y1의 경우) 또는 부식(Y2의 경우)으로 판정해도 좋다. 이 경우에 있어서도, 사전에 건전부에 있어서 다중반사파의 에코높이와 모의박리부에 있어서 다중반사파의 에코높이와의 차가 소정값 이상이 되는 반사파의 반사횟수를 구하고, 검사부와 건전부와의 에코높이를 비교하는 것이며, 본 발명에 포함된다. 또한, 같은 도의 예에서는, 횡축은 반사횟수이지만, 시간으로 교체하는 것도 가능하다. 또한, 파형의 표시는, 파형 전체 또는 소정횟수(시간)의 범위내의 파형 중 어느 것이어도 좋다.

상기 각 실시형태에 있어서, 도장막(50)을 갖는 적층체(10)를 예로 설명했다. 그러나, 상술한 바와 같이, 도장막(50)의 막 두께의 불균일은, 반사파의 에코높이의 변동요인의 일례에 지나지 않는다. 따라서, 검사대상이 되는 적층체(10)는, 도장막(50)을 갖는 것에 한정되지 않으며, 도장막(50)을 갖지 않는 적층체(10)여도 마찬가지로 검사가능하다.

본 발명은, 예를 들어, 복수의 부재를 적층시킨 적층체로써의 저장용기나 배관 등에 있어서 부재간에 개재하는 박층의 각 계면에 있어서 박리를 검사하는 적층체의 박리검사방법 및 박리검사장치로써 이용할 수 있다. 예를 들어, CFRP재와 알루미늄과의 접착, 알루미늄과 구리와의 접착 등의 이재적층체에 있어서 층간 박리의 검출에 적용가능하다. 더욱이, 알루미늄과 구리의 땜질, 터빈 깃과 스텔라이트(내열합금)의 땜질이나 알루미늄끼리의 납땜 등에도 적용가능하다.

1 : 박리검사장치 2 : 탐촉자
2a : 위치검출기 3 : 신호처리장치
3a : 경고수단 4a : 펄서
4b : 리시버 5 : 프리앰프
6 : 필터 7 : A/D컨버터
8 : 모니터 10 : 적층체
11 : 일측 20 : 제1부재(판재)
21 : 상면 22 : 하면
30 : 제2부재(라이닝재) 31 : 상면
32 : 하면 40 : 박층(접착층)
41 : 상면 42 : 하면
50 : 도장막 D1~3 : 박리부
E : 검사부 F1 : 제1계면
F2 : 제2계면 F3 : 계면
H, H0~3 : 에코높이(피크값)
P1~P4, P1'~P3' : 초음파
S0~2, S0' : 신호파형
T, T0~2, T0' : 피크시간

Claims

복수의 부재가 적층한 적층체의 일측에 배치한 탐촉자로부터 초음파를 입사하는 동시에 다중반사파를 수신하고, 수신한 다중반사파를 평가하는 것에 의해 층간 박리의 유무를 검사하는 적층체의 박리검사방법에 있어서, 사전에, 상기 적층체의 건전부 및 모의박리부에 있어서 다중반사파를 각각 수신하고, 상기 건전부에 있어서 다중반사파의 에코높이와 상기 모의박리부에 있어서 다중반사파의 에코높이와의 차가 소정값 이상이 되는 반사파의 반사횟수를 구해, 상기 적층체의 검사부에 있어서 다중반사파를 수신하며, 상기 검사부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 에코높이와 상기 건전부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 에코높이를 비교하는 것에 의해 상기 층간 박리의 유무를 검사하는 적층체의 박리검사방법.
제1항에 있어서, 상기 적층체는 상기 일측에 도장막을 갖추고, 상기 소정값은, 상기 에코높이의 차로부터 상기 도장막의 막 두께에 의한 상기 에코높이의 변동값을 제외한 것인 것을 특징으로 하는 적층체의 박리검사방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 소정값은, 상기 에코높이의 차로부터 상기 탐촉자의 상기 적층체에 대한 탐촉상태에 의한 상기 에코높이의 변동값을 제외한 것인 것을 특징으로 하는 적층체의 박리검사방법.
제1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 사전에, 상기 건전부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 전파시간을 구하고, 상기 검사부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 전파시간을 구해, 이 전파시간들을 비교하는 것으로 상기 층간 박리의 유무를 검사하는 것을 특징으로 하는 적층체의 박리검사방법.
제1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 부재는, 상기 일측에 위치하는 제1부재와, 이 제1부재에 설치되는 제2부재를 적어도 포함하고, 상기 제1부재는, 상기 제2부재의 음향 임피던스보다 작은 재료로부터 이루어지며, 사전에, 상기 건전부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 위상을 구하고, 상기 검사부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 위상을 구해, 이 위상들을 비교하는 것으로 상기 층간 박리의 유무를 검사하는 것을 특징으로 하는 적층체의 박리검사방법.
제1항에 있어서, 상기 복수의 부재는, 상기 일측에 위치하는 제1부재와, 이 제1부재에 설치되는 제2부재와, 이 부재들을 밀착시키는 접착층을 적어도 포함하며, 상기 제1부재와 상기 접착층과의 계면에 있어서 층간 박리를 검사하는 것을 특징으로 하는 적층체의 박리검사방법.
제 6항에 있어서, 사전에, 상기 건전부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 전파시간을 구하고, 상기 검사부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 전파시간을 구해, 이 전파시간들을 비교하는 것으로 상기 접착층과 상기 제2부재와의 계면에 있어서 층간 박리의 유무를 검사하는 것을 특징으로 하는 적층체의 박리검사방법.
제 6항 또는 제 7항에 있어서, 상기 제1부재는 그물재이며, 상기 제2부재는 불소수지 라이닝재인 것을 특징으로 하는 적층체의 박리검사방법.
제 8항에 있어서, 상기 접착층은, 상기 그물재에 상기 불소수지 라이닝재를 접착시키는 접착제와 글라스크로스로부터 이루어지는 것을 특징으로 하는 적층체의 박리검사방법.
제 8항 또는 제 9항에 있어서, 상기 적층체는, 액체용 컨테이너 탱크인 것을 특징으로 하는 적층체의 박리검사방법.
제1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 적층체는, 곡면을 갖는 것을 특징으로 하는 적층체의 박리검사방법.
제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 탐촉자를 상기 한쪽을 따라 주사하는 동시에, 상기 검사부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 에코높이에 기초하여 주사화상을 생성하는 것을 특징으로 하는 적층체의 박리검사방법.
제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 검사부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 에코높이가, 상기 건전부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 에코높이보다 작은 경우에, 상기 층간 박리의 일부에 부식이 존재한다고 판정하는 것을 특징으로 하는 적층체의 박리검사방법.
제13항에 있어서, 상기 탐촉자는, 분할형 탐촉자인 것을 특징으로 하는 적층체의 박리검사방법.
복수의 부재가 적층한 적층체의 일측으로부터 초음파를 입사하는 동시에 다중반사파를 수신하는 탐촉자와, 수신한 다중반사파를 평가하는 신호처리장치를 갖추고, 수신한 다중반사파를 평가하는 것에 의해 층간 박리의 유무를 검사하는 적층체의 박리검사장치에 있어서,
상기 신호처리장치는, 사전에, 상기 적층체의 건전부 및 모의박리부에 있어서 다중반사파를 각각 수신하고, 상기 건전부에 있어서 다중반사파의 에코높이와 상기 모의박리부에 있어서 다중반사파의 에코높이와의 차가 소정값 이상이 되는 반사파의 반사횟수를 구해, 상기 적층체의 검사부에 있어서 다중반사파를 수신하고, 상기 검사부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 에코높이와 상기 건전부에 있어서 상기 반사횟수의 반사파의 에코높이를 비교하는 것에 의해 상기 층간 박리의 유무를 검사하는 적층체의 박리검사장치.
제15항에 있어서, 상기 신호처리장치는, 상기 탐촉자를 주사하여 수신한 다중반사파에 의해 주사화상을 생성하는 것을 특징으로 하는 적층체의 박리검사장치.