KR20140090164A

KR20140090164A - 희토류 영구 자석 및 희토류 영구 자석의 제조 방법

Info

Publication number: KR20140090164A
Application number: KR1020147011142A
Authority: KR
Inventors: 이즈미 오제키; 가츠야 구메; 도시아키 오쿠노; 도모히로 오무레; 다카시 오자키; 게이스케 다이하쿠; 다카시 야마모토
Original assignee: 닛토덴코 가부시키가이샤
Priority date: 2011-10-14
Filing date: 2012-10-01
Publication date: 2014-07-16
Also published as: EP2767988A4; JP2013089687A; CN103875047A; TW201330024A; WO2013054678A1; EP2767988A1; JP5969750B2; US20140210582A1

Abstract

Nd-Fe-B계의 희토류 영구 자석에서 소결 후에 잔존하는 질소 농도를 800ppm 이하로 함으로써, 보자력을 향상시키는 것을 가능하게 한 희토류 영구 자석 및 희토류 영구 자석의 제조 방법을 제공한다. Nd-Fe-B계의 희토류 영구 자석에 있어서, 자석 원료를 희가스 분위기 하에서 건식 분쇄에 의해 분쇄하고, 그 후, 동일하게 희가스 분위기 하에서 압분 성형한 성형체를 800℃ 내지 1180℃에서 소성을 행함으로써 소결 후에 잔존하는 질소 농도가 800ppm 이하, 보다 바람직하게는 300ppm 이하의 영구 자석(1)을 제조하도록 구성한다.

Description

희토류 영구 자석 및 희토류 영구 자석의 제조 방법{RARE EARTH PERMANENT MAGNET AND METHOD FOR PRODUCING RARE EARTH PERMANENT MAGNET}

본 발명은 희토류 영구 자석 및 희토류 영구 자석의 제조 방법에 관한 것이다.

최근 들어, 하이브리드카나 하드디스크 드라이브 등에 사용되는 영구 자석 모터에서는, 소형 경량화, 고출력화, 고효율화가 요구되고 있다. 그리고, 상기 영구 자석 모터에서 소형 경량화, 고출력화, 고효율화를 실현함에 있어서, 영구 자석 모터에 매설되는 영구 자석에 대해서, 한층 더 자기 특성의 향상이 요구되고 있다. 또한, 영구 자석으로서는 페라이트 자석, Sm-Co계 자석, Nd-Fe-B계 자석, Sm₂Fe₁₇N_x계 자석 등이 있지만, 특히 잔류 자속 밀도가 높은 Nd-Fe-B계 자석이 영구 자석 모터용의 영구 자석으로서 사용된다(예를 들어, 특허 제3298219호 공보 참조).

여기서, 영구 자석의 제조 방법으로서는, 일반적으로 분말 소결법이 이용된다. 여기서, 분말 소결법은, 우선 원재료를 조분쇄하고, 제트 밀(건식 분쇄)이나 습식 비즈 밀(습식 분쇄)에 의해 미분쇄한 자석 분말을 제조한다. 그 후, 그 자석 분말을 틀에 넣어 외부로부터 자장을 인가하면서 원하는 형상으로 프레스 성형한다. 그리고, 원하는 형상으로 성형된 고형 형상의 자석 분말을 소정 온도(예를 들어, Nd-Fe-B계 자석에서는 800℃ 내지 1150℃)에서 소결함으로써 제조한다.

일본 특허 공개 제3298219호 공보(제4 페이지, 제5 페이지)

여기서, Nd-Fe-B계 자석을 영구 자석 모터에 사용할 경우에는, 모터의 출력을 향상시키기 위해서, 자석의 보자력을 향상시키는 것이 도모되고 있다. 그러나, 종래의 Nd-Fe-B계 자석에서는 보자력을 충분히 향상시킬 수 없었다.

본 발명은 상기 종래에서의 문제점을 해소하기 위하여 이루어진 것이며, Nd-Fe-B계의 희토류 영구 자석에서 소결 후에 잔존하는 질소 농도를 800ppm 이하로 함으로써, 보자력을 향상시키는 것을 가능하게 한 희토류 영구 자석 및 희토류 영구 자석의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 관한 희토류 영구 자석은, Nd-Fe-B계의 희토류 영구 자석이며, 소결 후에 잔존하는 질소 농도가 800ppm 이하인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석은, 자석 원료를 희가스 분위기 하에서 분쇄하여 자석 분말을 얻는 공정과, 상기 자석 분말을 희가스 분위기 하에서 성형함으로써 성형체를 형성하는 공정과, 상기 성형체를 소결하는 공정에 의해 제조되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석은, 상기 성형체를 소결하기 전에 대기압 이상으로 가압한 수소 분위기 하에서 하소하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석은, 상기 자석 분말을 성형하기 전에 대기압 이상으로 가압한 수소 분위기 하에서 하소하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석은, 상기 성형체를 형성하는 공정에서는, 바인더 수지와 상기 자석 분말이 혼합된 혼합물을 시트 형상으로 성형함으로써 상기 성형체로서 그린 시트를 제작하고, 상기 그린 시트를 비산화성 분위기 하에서 바인더 수지 분해 온도로 일정 시간 유지함으로써 상기 바인더 수지를 비산시켜서 제거하는 공정을 제조 공정으로서 또한 구비하고, 상기 성형체를 소결하는 공정에서는, 상기 바인더 수지를 제거한 상기 그린 시트를 소성 온도로 온도를 상승시켜 소결하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석은, 상기 바인더 수지를 비산시켜서 제거하는 공정에서는, 상기 그린 시트를 대기압 이상으로 가압한 비산화성 분위기 하에서 일정 시간 유지하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석의 제조 방법은, Nd-Fe-B계의 희토류 영구 자석의 제조 방법이며, 자석 원료를 희가스 분위기 하에서 분쇄하여 자석 분말을 얻는 공정과, 상기 자석 분말을 희가스 분위기 하에서 성형함으로써 성형체를 형성하는 공정과, 상기 성형체를 소결하는 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석의 제조 방법은, 상기 성형체를 소결하기 전에 대기압 이상으로 가압한 수소 분위기 하에서 하소하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석의 제조 방법은, 상기 자석 분말을 성형하기 전에 대기압 이상으로 가압한 수소 분위기 하에서 하소하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석의 제조 방법은, 상기 성형체를 형성하는 공정에서는, 바인더 수지와 상기 자석 분말이 혼합된 혼합물을 시트 형상으로 성형함으로써 상기 성형체로서 그린 시트를 제작하고, 상기 그린 시트를 비산화성 분위기 하에서 바인더 수지 분해 온도로 일정 시간 유지함으로써 상기 바인더 수지를 비산시켜서 제거하는 공정을 또한 구비하고, 상기 성형체를 소결하는 공정에서는, 상기 바인더 수지를 제거한 상기 그린 시트를 소성 온도로 온도를 상승시켜 소결하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석의 제조 방법은, 상기 바인더 수지를 비산시켜서 제거하는 공정에서는, 상기 그린 시트를 대기압 이상으로 가압한 비산화성 분위기 하에서 일정 시간 유지하는 것을 특징으로 한다.

상기 구성을 갖는 본 발명에 관한 희토류 영구 자석에 의하면, Nd-Fe-B계의 희토류 영구 자석에서 소결 후에 잔존하는 질소 농도를 800ppm 이하로 함으로써, 보자력을 향상시키는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석에 의하면, 자석 원료를 분쇄하는 공정 및 자석 분말로부터 성형체를 성형하는 공정을 헬륨이나 아르곤 등의 희가스 분위기 하에서 행하므로, 소결 후에 잔존하는 질소 농도를 800ppm 이하까지 감소시키는 것이 가능해진다. 그 결과, 질화 네오디뮴(NdN)의 불순물량을 저감시킬 수 있고, Nd 리치상을 낭비시키지 않고 희토류 영구 자석의 보자력을 향상시키는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석에 의하면, 자석 분말의 성형체를 소결 전에 대기압 이상으로 가압한 수소 분위기 하에서 하소함으로써, 자석 입자가 함유하는 탄소량을 미리 저감시킬 수 있다. 그 결과, 소결 후의 자석의 주상과 입계상의 사이에 공극을 발생시키지 않고, 또한, 자석 전체를 치밀하게 소결하는 것이 가능해져서 보자력이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 소결 후의 자석의 주상 내에 αFe가 다수 석출되지 않아서 자석 특성을 크게 저하시키는 일이 없다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석에 의하면, 자석 분말을 성형 전에 대기압 이상으로 가압한 수소 분위기 하에서 하소함으로써, 자석 입자가 함유하는 탄소량을 미리 저감시킬 수 있다. 그 결과, 소결 후의 자석의 주상과 입계상의 사이에 공극을 발생시키지 않고, 또한, 자석 전체를 치밀하게 소결하는 것이 가능해져서 보자력이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 소결 후의 자석의 주상 내에 αFe가 다수 석출되지 않아서 자석 특성을 크게 저하시키는 일이 없다.

또한, 분말 상태의 자석 입자에 대하여 하소를 행하므로, 성형 후의 자석 입자에 대하여 하소를 행하는 경우와 비교하여, 유기 화합물의 열분해를 자석 입자 전체에 대하여 보다 용이하게 행할 수 있다. 즉, 하소체 내의 탄소량을 보다 확실하게 저감시키는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석에 의하면, 자석 분말과 수지 바인더가 혼합된 혼합체를 성형한 그린 시트를 소결한 자석에 의해 희토류 영구 자석을 구성하므로, 소결에 의한 수축이 균일해짐으로써 소결 후의 휨이나 오목부 등의 변형이 발생하지 않고, 또한, 프레스 시의 압력 불균일이 없어지는 점에서, 종래에 행하고 있었던 소결 후의 수정 가공을 할 필요가 없어서 제조 공정을 간략화할 수 있다. 그에 의해, 높은 치수 정밀도로 희토류 영구 자석을 성형 가능하게 된다. 또한, 희토류 영구 자석을 박형화한 경우에도, 재료 수율을 저하시키지 않고 가공 공정수가 증가하는 것도 방지할 수 있다. 또한, 바인더 수지가 첨가된 자석 분말을, 소결 전에 비산화성 분위기 하에서 일정 시간 유지함으로써, 자석 내에 함유하는 탄소량을 미리 저감시킬 수 있다. 그 결과, 소결 후의 자석의 주상 내에 αFe가 석출되는 것을 억제하고, 자석 전체를 치밀하게 소결하는 것이 가능해져서 보자력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 희토류 영구 자석에 의하면, 바인더 수지를 비산시켜서 제거하는 공정에서는 대기압 이상으로 가압한 가압 분위기 하에서 유지하므로, 자석 입자가 함유하는 탄소량을 보다 확실하게 저감시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석의 제조 방법에 의하면, 자석 원료를 분쇄하는 공정 및 자석 분말로부터 성형체를 성형하는 공정을 헬륨이나 아르곤 등의 희가스 분위기 하에서 행하므로, 소결 후에 잔존하는 질소 농도를 800ppm 이하까지 감소시키는 것이 가능해진다. 그 결과, 질화 네오디뮴(NdN)의 불순물량을 저감시킬 수 있고, Nd 리치상을 낭비시키지 않고 희토류 영구 자석의 보자력을 향상시키는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석의 제조 방법에 의하면, 자석 분말의 성형체를 소결 전에 대기압 이상으로 가압한 수소 분위기 하에서 하소함으로써, 자석 입자가 함유하는 탄소량을 미리 저감시킬 수 있다. 그 결과, 소결 후의 자석의 주상과 입계상의 사이에 공극을 발생시키지 않고, 또한, 자석 전체를 치밀하게 소결하는 것이 가능해져서 보자력이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 소결 후의 자석의 주상 내에 αFe가 다수 석출되지 않아서 자석 특성을 크게 저하시키는 일이 없다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석의 제조 방법에 의하면, 자석 분말을 성형 전에 대기압 이상으로 가압한 수소 분위기 하에서 하소함으로써, 자석 입자가 함유하는 탄소량을 미리 저감시킬 수 있다. 그 결과, 소결 후의 자석의 주상과 입계상의 사이에 공극을 발생시키지 않고, 또한, 자석 전체를 치밀하게 소결하는 것이 가능해져서 보자력이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 소결 후의 자석의 주상 내에 αFe가 다수 석출되지 않아서 자석 특성을 크게 저하시키는 일이 없다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석의 제조 방법에 의하면, 자석 분말과 수지 바인더가 혼합된 혼합체를 성형한 그린 시트를 소결한 자석에 의해 희토류 영구 자석을 구성하므로, 소결에 의한 수축이 균일해짐으로써 소결 후의 휨이나 오목부 등의 변형이 발생하지 않고, 또한, 프레스 시의 압력 불균일이 없어지는 점에서, 종래에 행하고 있었던 소결 후의 수정 가공을 할 필요가 없어서 제조 공정을 간략화할 수 있다. 그에 의해, 높은 치수 정밀도로 희토류 영구 자석을 성형 가능하게 된다. 또한, 희토류 영구 자석을 박형화한 경우에도, 재료 수율을 저하시키지 않고 가공 공정수가 증가하는 것도 방지할 수 있다. 또한, 바인더 수지가 첨가된 자석 분말을, 소결 전에 비산화성 분위기 하에서 일정 시간 유지함으로써, 자석 내에 함유하는 탄소량을 미리 저감시킬 수 있다. 그 결과, 소결 후의 자석의 주상 내에 αFe가 석출되는 것을 억제하고, 자석 전체를 치밀하게 소결하는 것이 가능해져서 보자력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석의 제조 방법에 의하면, 바인더 수지를 비산시켜서 제거하는 공정에서는 대기압 이상으로 가압한 가압 분위기 하에서 유지하므로, 자석 입자가 함유하는 탄소량을 보다 확실하게 저감시킬 수 있다.

도 1은, 본 발명에 관한 영구 자석을 도시한 전체도이다.
도 2는, 본 발명에 관한 영구 자석의 입계 부근을 확대하여 도시한 모식도이다.
도 3은, 본 발명에 관한 영구 자석의 제1 제조 방법에서의 제조 공정을 나타낸 설명도이다.
도 4는, 본 발명에 관한 영구 자석의 제2 제조 방법에서의 제조 공정을 나타낸 설명도이다.
도 5는, 수소중 하소 처리를 행한 경우와 행하지 않은 경우의 산소량의 변화를 나타낸 도면이다.
도 6은, 실시예와 비교예의 영구 자석에 대해서, 소결 후의 영구 자석 내의 잔존 질소 농도와 보자력을 나타낸 도면이다.

이하, 본 발명에 관한 희토류 영구 자석 및 희토류 영구 자석의 제조 방법에 대하여 구체화한 실시 형태에 대하여 이하에 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

[영구 자석의 구성]

우선, 본 발명에 관한 영구 자석(1)의 구성에 대하여 설명한다. 도 1은 본 발명에 관한 영구 자석(1)을 도시한 전체도이다. 또한, 도 1에 도시하는 영구 자석(1)은 원기둥 형상을 구비하지만, 영구 자석(1)의 형상은 성형에 사용하는 캐비티의 형상에 따라 변화한다.

본 발명에 관한 영구 자석(1)으로서는 예를 들어 Nd-Fe-B계 희토류 영구 자석을 사용한다. 또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 영구 자석(1)은 자화 작용에 기여하는 자성상인 주상(11)과, 비자성으로 희토류 원소가 농축된 저융점의 Nd 리치상(12)이 공존하는 합금이다. 도 2는 영구 자석(1)을 구성하는 Nd 자석 입자를 확대하여 도시한 도면이다.

여기서, 주상(11)은 화학양론 조성인 Nd₂Fe₁₄B 금속간 화합물상(Fe는 부분적으로 Co에서 치환해도 됨)이 높은 체적 비율을 차지한 상태가 된다. 한편, Nd 리치상(12)은 동일하게 화학양론 조성인 Nd₂Fe₁₄B(Fe는 부분적으로 Co에서 치환해도 됨)보다 Nd의 조성 비율이 많은 금속간 화합물상(예를 들어, Nd_2.0~3.0Fe₁₄B 금속간 화합물상)으로 이루어진다. 또한, Nd 리치상(12)에는 자기 특성 향상을 위해서, Dy, Tb, Co, Cu, Ag, Al, Si, Ga 등의 다른 원소를 소량 포함해도 된다.

그리고, 영구 자석(1)에 있어서, Nd 리치상(12)은 이하와 같은 역할을 담당하고 있다.

(1)융점이 낮아서(약 600℃) 소결 시에 액상이 되어, 자석의 고밀도화, 즉 자화의 향상에 기여한다. (2)입계의 요철을 없애어 역자구의 뉴클리에이션 사이트를 감소시켜서 보자력을 높인다. (3)주상을 자기적으로 절연하여 보자력을 증가시킨다.

따라서, 소결 후의 영구 자석(1) 내에서의 Nd 리치상(12)의 분산 상태가 나쁘면, 국부적인 소결 불량, 자성의 저하를 초래하므로, 소결 후의 영구 자석(1) 내에는 Nd 리치상(12)이 균일하게 분산되어 있는 것이 중요해진다.

또한, Nd-Fe-B계 자석의 제조에서 발생하는 문제로서, 소결된 합금 내에 αFe가 생성하는 것을 예로 들 수 있다. 원인으로서는, 화학양론 조성에 기초하는 함유량을 포함하는 자석 원료 합금을 사용하여 영구 자석을 제조한 경우에, 제조 과정에서 희토류 원소가 산소나 탄소와 결부되고, 화학양론 조성에 대하여 희토류 원소가 부족한 상태가 되는 것을 예로 들 수 있다. 여기서, αFe는, 변형능을 갖고, 분쇄되지 않고 분쇄기 내에 잔존하므로, 합금을 분쇄할 때의 분쇄 효율을 저하시킬뿐만 아니라, 분쇄 전후에서의 조성 변동, 입도 분포에도 영향을 미친다. 또한, αFe가, 소결 후에도 자석 내에 잔존하면, 자석의 자기 특성의 저하를 초래한다. 그러나, 본 발명에서는 소결 전에 후술하는 수소중 하소 처리를 행함으로써, 자석 입자가 함유하는 탄소량을 미리 저감시켜서 상기 문제를 피하는 것이 가능해진다.

또한, Nd-Fe-B계 자석의 제조에서 발생하는 문제로서, Nd와 탄소의 반응성이 매우 높으므로, 소결 공정에서 고온까지 C함유물이 남으면, 카바이드를 형성하는 것에 대해서도 예로 들 수 있다. 카바이드가 형성되면, 형성된 카바이드에 의해 소결 후의 자석의 주상과 입계상(Nd 리치상)의 사이에 공극이 발생하고, 자석 전체를 치밀하게 소결할 수 없어서 자기 성능이 현저하게 저하되는 문제가 있다. 그러나, 본 발명에서는 소결 전에 후술하는 수소중 하소 처리를 행함으로써, 자석 입자가 함유하는 탄소량을 미리 저감시켜서 상기 문제를 피하는 것이 가능해진다.

그리고, 상술한 영구 자석(1)에서의 Nd를 포함하는 전체 희토류 원소의 함유량은, 상기 화학양론 조성에 기초하는 함유량(26.7wt％)보다도 0.1wt％ 내지 10.0wt％, 보다 바람직하게는 0.1wt％ 내지 5.0wt％ 많은 범위 내인 것이 바람직하다. 구체적으로는, 각 성분의 함유량은 Nd: 25 내지 37wt％, B: 0.8 내지 2wt％, Fe(전해철): 60 내지 75wt％로 한다. 영구 자석(1) 내의 희토류 원소의 함유량을 상기 범위로 함으로써, 소결 후의 영구 자석(1) 내에 Nd 리치상(12)을 균일하게 분산하는 것이 가능해진다. 또한, 제조 과정에서 희토류 원소가 산소나 탄소와 결부되었다고 해도, 화학양론 조성에 대하여 희토류 원소가 부족하지 않아서 소결 후의 영구 자석(1) 내에 αFe가 생성되는 것을 억제하는 것이 가능해진다.

또한, 영구 자석(1) 내의 희토류 원소의 함유량이 상기 범위보다도 적은 경우에는, Nd 리치상(12)이 형성되기 어려워진다. 또한, αFe의 생성을 충분히 억제할 수 없다. 한편, 영구 자석(1) 내의 희토류 원소의 조성이 상기 범위보다 많은 경우에는, 보자력의 증가가 둔화되고, 또한 잔류 자속 밀도가 저하되어버려서 실용적이지 않다.

또한, 주상(11)의 결정립 직경은 0.1㎛ 내지 5.0㎛로 하는 것이 바람직하다. 또한, 주상(11)과 Nd 리치상(12)의 구성은, 예를 들어 SEM이나 TEM이나 3차원 아톰 프로브법에 의해 확인할 수 있다.

또한, Nd 리치상(12)에 자기 이방성이 높은 Dy 또는 Tb를 포함하면, Dy나 Tb가 입계의 역자구의 생성을 억제함으로써 보자력의 향상이 가능해진다.

또한, Nd 리치상(12)에 고융점 금속인 V, Mo, Zr, Ta, Ti, W 또는 Nb를 포함하면, 영구 자석(1)의 소결 시에 Nd 결정 입자의 평균 입경이 증가하는 소위 입성장을 억제하는 것이 가능해진다.

또한, Nd 리치상(12)에 Cu, Al을 포함하면, 소결 후의 영구 자석(1) 내에서의 Nd 리치상(12)을 균일하게 분산시켜서 보자력을 높이는 것이 가능해진다.

또한, 영구 자석(1)의 소결 후에 잔존하는 질소 농도는 800ppm 이하, 보다 바람직하게는 300ppm 이하로 한다. 소결 후에 잔존하는 질소 농도를 저하시킴으로써 질화 네오디뮴(NdN)의 불순물량을 저감시킬 수 있고, Nd 리치상을 낭비시키지 않고 후술하는 바와 같이 영구 자석(1)의 보자력을 향상시키는 것이 가능해진다.

[영구 자석의 제조 방법1]

이어서, 본 발명에 관한 영구 자석(1)의 제1 제조 방법에 대하여 도 3을 사용하여 설명한다. 도 3은 본 발명에 관한 영구 자석(1)의 제1 제조 방법에서의 제조 공정을 나타낸 설명도이다.

우선, 소정 분율의 Nd-Fe-B(예를 들어, Nd: 32.7wt％, Fe(전해철): 65.96wt％, B: 1.34wt％)를 포함하는 잉곳을 제조한다. 그 후, 잉곳을 스탬프 밀이나 크러셔 등에 의해 200㎛ 정도의 크기로 조분쇄한다. 또는, 잉곳을 용해하여, 스트립 캐스트법으로 플레이크를 제작하고, 수소 해쇄법으로 조분화한다. 그에 의해, 조분쇄 자석 분말(31)을 얻는다.

계속해서, 조분쇄 자석 분말(31)을 (a)산소 함유량이 실질적으로 0％인 Ar 가스, He 가스 등의 희가스 분위기중, 또는 (b)산소 함유량이 0.0001 내지 0.5％인 Ar 가스, He 가스 등의 희가스 분위기중에서, 제트 밀(41)에 의해 미분쇄하고, 소정 크기 이하(예를 들어, 0.1㎛ 내지 5.0㎛)의 평균 입경을 갖는 미분말로 한다. 여기서, 본 발명에 관한 영구 자석(1)의 제조 방법에서는, 불활성 가스 중에서도 특히 질소를 포함하지 않는 Ar나 He 등의 불활성 가스 분위기 하에서 자석 원료의 분쇄를 행하므로, 후술하는 바와 같이 소결 후에 잔존하는 질소 농도를 800ppm 이하, 보다 바람직하게는 300ppm 이하로 하는 것이 가능해진다. 또한, 산소 농도가 실질적으로 0％란, 산소 농도가 완전히 0％인 경우에 한정되지 않고, 미분의 표면에 지극히 약간 산화 피막을 형성할 정도의 양의 산소를 함유해도 되는 것을 의미한다.

또한, 조분쇄 자석 분말(31)은 비즈 밀 등에 의한 습식 분쇄에 의해 분쇄해도 된다. 또한, 습식 분쇄를 사용하는 경우에 있어서도, Ar 가스, He 가스 등의 희가스 분위기중에서 행한다. 또한, 습식 분쇄에 사용하는 용매는 유기 용매이지만, 용매의 종류에 특별히 제한은 없고, 이소프로필알코올, 에탄올, 메탄올 등의 알코올류, 아세트산 에틸 등의 에스테르류, 펜탄, 헥산 등의 저급 탄화수소류, 벤젠, 톨루엔, 크실렌 등 방향족류, 케톤류, 그들의 혼합물 등을 사용할 수 있다. 또한, 바람직하게는 용매 내에 산소 원자를 포함하지 않는 탄화수소계 용매가 사용된다.

그 후, 제트 밀(41)로 미분쇄된 자석 분말(42)을 성형 장치(50)에 의해 소정 형상으로 압분 성형한다. 또한, 습식 분쇄에 의해 조분쇄 자석 분말(31)을 분쇄한 경우에는, 유기 용매를 휘발시킨 자석 분말(42)을 캐비티에 충전하는 건식법과, 유기 용매를 포함하는 슬러리를 건조시키지 않고 캐비티에 충전하는 습식법이 있다. 또한, 유기 용매는 성형 후의 소성 단계에서 휘발시키는 것도 가능하다. 그리고, 본 발명에 관한 영구 자석(1)의 제조 방법에서는, (a)산소 함유량이 실질적으로 0％인 Ar 가스, He 가스 등의 희가스 분위기중, 또는 (b)산소 함유량이 0.0001 내지 0.5％인 Ar 가스, He 가스 등의 희가스 분위기중에서, 압분 성형을 행한다. 그리고, 불활성 가스 중에서도 특히 질소를 포함하지 않는 Ar나 He 등의 불활성 가스 분위기 하에서 자석 분말(42)의 성형을 행하므로, 후술하는 바와 같이 소결 후에 잔존하는 질소 농도를 800ppm 이하, 보다 바람직하게는 300ppm 이하로 하는 것이 가능해진다.

도 3에 도시한 바와 같이, 성형 장치(50)는, 원통 형상의 몰드(51)와, 몰드(51)에 대하여 상하 방향으로 미끄럼 이동하는 하부 펀치(52)와, 동일하게 몰드(51)에 대하여 상하 방향으로 미끄럼 이동하는 상부 펀치(53)를 갖고, 이들에 둘러싸인 공간이 캐비티(54)를 구성한다.

또한, 성형 장치(50)에는 한 쌍의 자계 발생 코일(55, 56)이 캐비티(54)의 상하 위치에 배치되어 있고, 자력선을 캐비티(54)에 충전된 자석 분말(42)에 인가한다. 인가시키는 자장은 예를 들어 1MA/m로 한다.

그리고, 압분 성형을 행할 때에는, 우선 건조한 자석 분말(42)을 캐비티(54)에 충전한다. 그 후, 하부 펀치(52) 및 상부 펀치(53)를 구동하고, 캐비티(54)에 충전된 자석 분말(42)에 대하여 화살표(61) 방향으로 압력을 가하여 성형한다. 또한, 가압과 동시에 캐비티(54)에 충전된 자석 분말(42)에 대하여 가압 방향과 평행한 화살표(62) 방향으로 자계 발생 코일(55, 56)에 의해 펄스 자장을 인가한다. 그에 의해, 원하는 방향으로 자장을 배향시킨다. 또한, 자장을 배향시키는 방향은, 자석 분말(42)로부터 성형되는 영구 자석(1)에 요구되는 자장 방향을 고려하여 결정할 필요가 있다.

또한, 습식법을 이용할 경우에는, 캐비티(54)에 자장을 인가하면서 슬러리를 주입하고, 주입 도중 또는 주입 종료 후에, 당초의 자장보다 강한 자장을 인가하여 습식 성형해도 된다. 또한, 가압 방향에 대하여 인가 방향이 수직이 되도록 자계 발생 코일(55, 56)을 배치해도 된다.

또한, 상기 압분 성형이 아니고 그린 시트 성형에 의해 성형체를 성형해도 된다. 또한, 그린 시트 성형에 의해 성형체를 성형하는 방법으로서는 예를 들어 이하와 같은 방법이 있다. 제1 방법으로서는, 분쇄된 자석 분말과 유기 용매와 바인더 수지를 혼합하여 슬러리를 생성하고, 생성한 슬러리를 닥터 블레이드 방식이나 다이 방식이나 콤마 도포 시공 방식 등의 각종 도포 시공 방식에 의해 기재 상에 소정 두께로 도포 시공함으로써 그린 시트에 성형하는 방법이다. 또한, 제2 방법으로서는, 자석 분말과 바인더 수지를 혼합한 분체 혼합물을 핫 멜트 도포 시공에 의해 기재 상에 도포 시공함으로써 그린 시트에 성형하는 방법이다. 또한, 제1 방법으로 그린 시트를 성형할 경우에는, 도포 시공한 슬러리가 건조되기 전에 자장을 인가함으로써 자장 배향을 행한다. 한편, 제2 방법으로 그린 시트를 성형할 경우에는, 일단 성형된 그린 시트를 가열한 상태에서 자장을 인가함으로써 자장 배향을 행한다. 또한, 그린 시트 성형에 의해 성형체를 성형할 경우에도, Ar나 He 등의 불활성 가스 분위기 하에서 성형을 행한다.

이어서, 압분 성형 등에 의해 성형된 성형체(71)를 대기압 이상(예를 들어, 0.5MPa나 1.0MPa)으로 가압한 비산화성 분위기 하(특히 본 발명에서는 수소 분위기 하 또는 수소와 불활성 가스의 혼합 가스 분위기 하)에서 200℃ 내지 900℃, 보다 바람직하게는 400℃ 내지 900℃(예를 들어, 600℃)에서 수시간(예를 들어, 5시간) 유지함으로써 수소중 하소 처리를 행한다. 하소중의 수소의 공급량은 5L/min으로 한다. 이 수소중 하소 처리에서는, 잔존하는 유기 화합물을 열분해시켜서 하소체 내의 탄소량을 저감시키는 소위 탈카본이 행해진다. 또한, 수소중 하소 처리는, 하소체 내의 탄소량이 1500ppm 이하, 보다 바람직하게는 1000ppm 이하로 하는 조건에서 행하기로 한다. 그에 의해, 그 후의 소결 처리에서 영구 자석(1) 전체를 치밀하게 소결시키는 것이 가능해져서 잔류 자속 밀도나 보자력을 저하시키는 일이 없다.

또한, 그린 시트 성형에 의해 성형체를 성형한 경우에는, 대기압 이상(예를 들어, 0.5MPa나 1.0MPa)으로 가압한 비산화성 분위기 하(특히 본 발명에서는 수소 분위기 하 또는 수소와 불활성 가스의 혼합 가스 분위기 하)에서 바인더 수지 분해 온도에서 수시간(예를 들어, 5시간) 유지함으로써 수소중 하소 처리를 행한다. 수소중 하소 처리를 행함으로써, 바인더 수지를 해중합 반응 등에 의해 단량체로 분해하여 비산시켜서 제거하는 것이 가능해진다. 또한, 바인더 수지 분해 온도는, 바인더 수지 분해 생성물 및 분해 잔사의 분석 결과에 기초하여 결정한다. 구체적으로는 바인더의 분해 생성물을 보집하여 단량체 이외의 분해 생성물이 생성되지 않고, 또한 잔사의 분석에서도 잔류하는 바인더 성분의 부반응에 의한 생성물이 검출되지 않는 온도 범위가 선택된다. 바인더 수지의 종류에 따라 상이하지만 200℃ 내지 900℃, 보다 바람직하게는 400℃ 내지 600℃(예를 들어, 600℃)로 한다.

여기서, 상술한 수소중 하소 처리에 의해 하소된 성형체(71)에는, NdH₃이 존재하여 산소와 결부되기 쉬워지는 문제가 있지만, 제1 제조 방법에서는, 성형체(71)는 수소 하소 후에 외기와 접촉시키지 않고 후술하는 소성으로 이동하므로, 탈수소 공정은 불필요해진다. 소성중에 성형체 내의 수소는 빠지게 된다. 또한, 상술한 수소중 하소 처리를 행할 때의 가압 조건은 대기압보다 높은 압력이면 되지만, 15MPa 이하로 하는 것이 바람직하다. 또한, 대기압(약 0.1MPa)에서 행해도 된다.

계속해서, 수소중 하소 처리에 의해 하소된 성형체(71)를 소결하는 소결 처리를 행한다. 또한, 성형체(71)의 소결 방법으로서는, 일반적인 진공 소결 이외에 성형체(71)를 가압한 상태에서 소결하는 가압 소결 등도 사용하는 것이 가능하다. 예를 들어, 진공 소결로 소결을 행할 경우에는, 소정의 승온 속도에서 800℃ 내지 1080℃ 정도까지 승온하여 2시간 정도 유지한다. 이 동안에는 진공 소성이 되지만 진공도로서는 5Pa 이하, 바람직하게는 10^-2Pa 이하로 하는 것이 바람직하다. 그 후 냉각하고, 다시 300℃ 내지 1000℃에서 2시간 열처리를 행한다. 그리고, 소결한 결과, 영구 자석(1)이 제조된다.

한편, 가압 소결로서는, 예를 들어 핫 프레스 소결, 열간 정수압 가압(HIP) 소결, 초고압 합성 소결, 가스 가압 소결, 방전 플라즈마(SPS) 소결 등이 있다. 단, 소결 시의 자석 입자의 입성장을 억제함과 함께 소결 후의 자석에 발생하는 휨을 억제하기 위해서, 1축 방향으로 가압하는 1축 가압 소결이며 또한 통전 소결에 의해 소결하는 SPS 소결을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, SPS 소결로 소결을 행할 경우에는, 가압값을 30MPa로 하고, 수Pa 이하의 진공 분위기에서 940℃까지 10℃/분으로 상승시키고, 그 후 5분 유지하는 것이 바람직하다. 그 후 냉각하고, 다시 300℃ 내지 1000℃에서 2시간 열처리를 행한다. 그리고, 소결한 결과, 영구 자석(1)이 제조된다.

[영구 자석의 제조 방법2]

이어서, 본 발명에 관한 영구 자석(1)의 다른 제조 방법인 제2 제조 방법에 대하여 도 4를 사용하여 설명한다. 도 4는 본 발명에 관한 영구 자석(1)의 제2 제조 방법에서의 제조 공정을 나타낸 설명도이다.

또한, 자석 분말(42)을 생성할 때까지의 공정은, 도 3을 사용하여 이미 설명한 제1 제조 방법에서의 제조 공정과 마찬가지이므로 설명은 생략한다.

우선, 자석 분말(42)을 대기압 이상(예를 들어, 0.5MPa나 1.0MPa)으로 가압한 수소 분위기 하에서 200℃ 내지 900℃, 보다 바람직하게는 400℃ 내지 900℃(예를 들어, 600℃)에서 수시간(예를 들어, 5시간) 유지함으로써 수소중 하소 처리를 행한다. 하소중의 수소의 공급량은 5L/min으로 한다. 이 수소중 하소 처리에서는, 잔존하는 유기 화합물을 열분해시켜서 하소체 내의 탄소량을 저감시키는 소위 탈카본이 행해진다. 또한, 수소중 하소 처리는, 하소체 내의 탄소량이 1500ppm 이하, 보다 바람직하게는 1000ppm 이하로 하는 조건에서 행하기로 한다. 그에 의해, 그 후의 소결 처리에서 영구 자석(1) 전체를 치밀하게 소결시키는 것이 가능해져서 잔류 자속 밀도나 보자력을 저하시키는 일이 없다.

이어서, 수소중 하소 처리에 의해 하소된 분말 상태의 하소체(82)를 진공 분위기에서 200℃ 내지 600℃, 보다 바람직하게는 400℃ 내지 600℃에서 1 내지 3시간 유지함으로써 탈수소 처리를 행한다. 또한, 진공도로서는 0.1Torr 이하로 하는 것이 바람직하다.

여기서, 상술한 수소중 하소 처리에 의해 하소된 하소체(82)에는, NdH₃이 존재하여 산소와 결부되기 쉬워지는 문제가 있다.

도 5는 수소중 하소 처리를 한 Nd 자석 분말과 수소중 하소 처리를 하지 않은 Nd 자석 분말을, 산소 농도 7ppm 및 산소 농도 66ppm의 분위기에 각각 폭로했을 때, 폭로 시간에 대한 자석 분말 내의 산소량을 나타낸 도면이다. 도 5에 나타낸 바와 같이 수소중 하소 처리한 자석 분말은, 고산소 농도 66ppm 분위기에 놓이면, 약 1000sec에 자석 분말 내의 산소량이 0.4％부터 0.8％까지 상승한다. 또한, 저산소 농도 7ppm 분위기에 놓여도, 약 5000sec에서 자석 분말 내의 산소량이 0.4％부터 동일하게 0.8％까지 상승한다. 그리고, Nd가 산소와 결부되면, 잔류 자속 밀도나 보자력의 저하의 원인이 된다.

따라서, 상기 탈수소 처리에서는, 수소중 하소 처리에 의해 생성된 하소체(82) 내의 NdH₃(활성도 큼)을 NdH₃(활성도 큼)→NdH₂(활성도 작음)으로 단계적으로 변화시킴으로써, 수소 하소중 처리에 의해 활성화된 하소체(82)의 활성도를 저하시킨다. 그에 의해, 수소중 하소 처리에 의해 하소된 하소체(82)를 그 후에 대기중으로 이동시킨 경우에도, Nd가 산소와 결부되는 것을 방지하여 잔류 자속 밀도나 보자력을 저하시키는 일이 없다.

그 후, 탈수소 처리가 행해진 분말 상태의 하소체(82)를 성형 장치(50)에 의해 소정 형상으로 압분 성형한다. 성형 장치(50)의 상세에 대해서는 도 3을 사용하여 이미 설명한 제1 제조 방법에서의 제조 공정과 마찬가지이므로 설명은 생략한다.

그 후, 성형된 하소체(82)를 소결하는 소결 처리를 행한다. 또한, 소결 처리는, 상술한 제1 제조 방법과 마찬가지로, 진공 소결이나 가압 소결 등에 의해 행한다. 소결 조건의 상세에 대해서는 이미 설명한 제1 제조 방법에서의 제조 공정과 마찬가지이므로 설명은 생략한다. 그리고, 소결한 결과, 영구 자석(1)이 제조된다.

또한, 상술한 제2 제조 방법에서는, 분말 상태의 자석 입자에 대하여 수소중 하소 처리를 행하므로, 성형 후의 자석 입자에 대하여 수소중 하소 처리를 행하는 상기 제1 제조 방법과 비교하여, 잔존하는 유기 화합물의 열분해를 자석 입자 전체에 대하여 보다 용이하게 행할 수 있는 이점이 있다. 즉, 상기 제1 제조 방법과 비교하여 하소체 내의 탄소량을 보다 확실하게 저감시키는 것이 가능해진다.

한편, 제1 제조 방법에서는, 성형체(71)는 수소 하소 후에 외기와 접촉시키지 않고 소성으로 이동하므로, 탈수소 공정은 불필요해진다. 따라서, 상기 제2 제조 방법과 비교하여 제조 공정을 간략화하는 것이 가능해진다. 단, 상기 제2 제조 방법에 있어서도, 수소 하소 후에 외기와 접촉시키지 않고 소성을 행할 경우에는, 탈수소 공정은 불필요해진다.

(실시예)

이하에, 본 발명의 실시예에 대하여 비교예와 비교하면서 설명한다.

(실시예)

실시예의 네오디뮴 자석 분말의 합금 조성은, 화학양론 조성에 기초하는 분율(Nd: 26.7wt％, Fe(전해철): 72.3wt％, B: 1.0wt％)보다도 Nd의 비율을 높게 하고, 예를 들어 wt％로 Nd/Fe/B=32.7/65.96/1.34로 한다. 또한, 분쇄 방식으로서는 건식 분쇄를 사용하고, He 분위기 하에서 분쇄를 행하였다. 또한, 하소 처리나 탈수소 처리에 대해서는 생략하였다. 또한, 성형체의 성형은 압분 성형을 사용하고, Ar 분위기 하에서 성형을 행하였다. 또한, 성형체의 소결은 진공 소결에 의해 행하였다. 또한, 다른 공정은 상술한 [영구 자석의 제조 방법1]과 동일한 공정으로 한다.

(비교예)

자석 원료의 분쇄 및 성형체의 성형을, 각각 질소 분위기 하에서 행하였다. 다른 조건은 실시예와 마찬가지이다.

(실시예와 비교예의 비교 검토)

실시예와 비교예의 영구 자석에 대해서, 소결 후의 영구 자석 내의 잔존 질소 농도[ppm]와 보자력[kOe]을 측정하였다. 도 6은 측정 결과를 나타낸 도면이다.

도 6에 나타낸 바와 같이, 실시예와 비교예를 비교하면, 자석 원료의 분쇄 및 성형체의 성형을 각각 질소를 포함하지 않는 희가스 분위기 하에서 행한 경우에는, 자석 원료의 분쇄 및 성형체의 성형을 각각 질소 분위기 하에서 행한 경우와 비교하여, 소결 후의 자석 내의 질소 농도를 크게 저감시킬 수 있는 것을 알 수 있다. 특히, 실시예에서는, 소결 후의 자석 내에 잔존하는 질소 농도를 800ppm 이하, 보다 구체적으로는 300ppm 이하로 할 수 있다. 그리고, 소결 후의 질소 농도가 낮은 실시예에서는, 질소 농도가 높은 비교예와 비교하여 보자력을 향상시키는 것이 가능해지는 것을 알 수 있다.

이상에서, 소결 후에 잔존하는 질소 농도를 800ppm 이하, 보다 바람직하게는 300ppm 이하로 함으로써, 보자력을 향상시킨 높은 자기 성능을 갖는 영구 자석(1)을 제조하는 것이 가능한 것을 알 수 있다.

또한, 상기 실시예 및 비교예는, [영구 자석의 제조 방법1]의 공정에서 제조된 영구 자석을 사용했지만, [영구 자석의 제조 방법2]의 공정에서 제조된 영구 자석을 사용한 경우에도 동일한 결과가 얻어진다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에 관한 영구 자석(1) 및 영구 자석(1)의 제조 방법에서는, Nd-Fe-B계의 희토류 영구 자석에 있어서, 자석 원료를 희가스 분위기 하에서 건식 분쇄에 의해 분쇄하고, 그 후, 동일하게 희가스 분위기 하에서 압분 성형한 성형체를 800℃ 내지 1180℃에서 소성을 행함으로써 소결 후에 잔존하는 질소 농도가 800ppm 이하, 보다 바람직하게는 300ppm 이하의 영구 자석(1)을 제조한다. 그에 의해, 질화 네오디뮴(NdN)의 불순물량을 저감시킬 수 있고, Nd 리치상을 낭비시키지 않고 영구 자석의 보자력을 향상시키는 것이 가능해진다.

또한, 자석 분말의 성형체를 소결 전에 대기압 이상으로 가압한 수소 분위기 하에서 하소하는 것으로 하면, 자석 입자가 함유하는 탄소량을 미리 저감시킬 수 있다. 그 결과, 소결 후의 자석의 주상과 입계상의 사이에 공극을 발생시키지 않고, 또한, 자석 전체를 치밀하게 소결하는 것이 가능해져서 보자력이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 소결 후의 자석의 주상 내에 αFe가 다수 석출되지 않아서 자석 특성을 크게 저하시키는 일이 없다.

또한, 자석 분말을 성형 전에 대기압 이상으로 가압한 수소 분위기 하에서 하소하는 것으로 하면, 자석 입자가 함유하는 탄소량을 미리 저감시킬 수 있다. 그 결과, 소결 후의 자석의 주상과 입계상의 사이에 공극을 발생시키지 않고, 또한, 자석 전체를 치밀하게 소결하는 것이 가능해져서 보자력이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 소결 후의 자석의 주상 내에 αFe가 다수 석출되지 않아서 자석 특성을 크게 저하시키는 일이 없다.

또한, 자석 분말과 수지 바인더가 혼합된 혼합체를 성형한 그린 시트를 소결함으로써 영구 자석(1)을 구성하면, 소결에 의한 수축이 균일해짐으로써 소결 후의 휨이나 오목부 등의 변형이 발생하지 않고, 또한, 프레스 시의 압력 불균일이 없어지는 점에서, 종래에 행하고 있었던 소결 후의 수정 가공을 할 필요가 없어서 제조 공정을 간략화할 수 있다. 그에 의해, 높은 치수 정밀도로 영구 자석(1)을 성형 가능하게 된다. 또한, 영구 자석(1)을 박형화한 경우에도, 재료 수율을 저하시키지 않고, 가공 공정수가 증가하는 것도 방지할 수 있다. 또한, 바인더 수지가 첨가된 자석 분말을 소결 전에 비산화성 분위기 하에서 일정 시간 유지함으로써, 자석 내에 함유하는 탄소량을 미리 저감시킬 수 있다. 그 결과, 소결 후의 자석의 주상 내에 αFe가 석출되는 것을 억제하고, 자석 전체를 치밀하게 소결하는 것이 가능해져서 보자력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 바인더 수지를 비산시켜서 제거하는 공정에서는, 그린 시트를 대기압 이상으로 가압한 비산화성 분위기 하에서 일정 시간 유지함으로써 행하므로, 소결 전에 잔존하는 유기 화합물을 열분해시켜서 자석 입자 내에 함유하는 탄소를 미리 소실(탄소량을 저감)시킬 수 있어, 소결 공정에서 카바이드가 대부분 형성되는 일이 없다. 그 결과, 소결 후의 자석의 주상과 입계상의 사이에 공극을 발생시키지 않고, 또한, 자석 전체를 치밀하게 소결하는 것이 가능해져서 보자력이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 소결 후의 자석의 주상 내에 αFe가 다수 석출되지 않아서 자석 특성을 크게 저하시키는 일이 없다.

또한, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 내에서 다양한 개량, 변형이 가능한 것은 물론이다.

또한, 자석 분말의 분쇄 조건, 혼련 조건, 하소 조건, 탈수소 조건, 소결 조건 등은 상기 실시예에 기재한 조건에 한정되지 않는다. 예를 들어, 하소 처리나 탈수소 처리에 대해서는 생략해도 된다. 예를 들어, 상기 실시예에서는 하소 처리를 0.5MPa로 가압한 수소 분위기 하에서 행하고 있지만, 대기압보다 높은 가압 분위기 하이면 다른 압력값으로 설정해도 된다. 또한, 대기압으로 설정해도 된다. 단, 대기압보다 높은 가압 분위기 하에서 행하면 하소 처리에 의한 탈탄의 효과가 커지는 것을 기대할 수 있다. 또한, 실시예에서는 진공 소결에 의해 소결을 행하고 있지만, SPS 소결 등의 가압 소결에 의해 소결해도 된다.

또한, 본 발명에서는 Nd-Fe-B계 자석을 예로 들어 설명했지만, 다른 자석을 사용해도 된다. 또한, 자석의 합금 조성은 본 발명에서는 Nd 성분을 양론 조성보다 많게 하고 있지만, 양론 조성으로 해도 된다.

1 : 영구 자석
11 : 주상
12 : Nd 리치상
42 : 자석 분말
71 : 성형체
82 : 하소체

Claims

Nd-Fe-B계의 희토류 영구 자석이며,
소결 후에 잔존하는 질소 농도가 800ppm 이하인 것을 특징으로 하는 희토류 영구 자석.
제1항에 있어서, 자석 원료를 희가스 분위기 하에서 분쇄하여 자석 분말을 얻는 공정과,
상기 자석 분말을 희가스 분위기 하에서 성형함으로써 성형체를 형성하는 공정과,
상기 성형체를 소결하는 공정에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 희토류 영구 자석.
제2항에 있어서, 상기 성형체를 소결하기 전에 대기압 이상으로 가압한 수소 분위기 하에서 하소하는 것을 특징으로 하는 희토류 영구 자석.
제2항에 있어서, 상기 자석 분말을 성형하기 전에 대기압 이상으로 가압한 수소 분위기 하에서 하소하는 것을 특징으로 하는 희토류 영구 자석.
제2항에 있어서, 상기 성형체를 형성하는 공정에서는, 바인더 수지와 상기 자석 분말이 혼합된 혼합물을 시트 형상으로 성형함으로써 상기 성형체로서 그린 시트를 제작하고,
상기 그린 시트를 비산화성 분위기 하에서 바인더 수지 분해 온도로 일정 시간 유지함으로써 상기 바인더 수지를 비산시켜서 제거하는 공정을 제조 공정으로서 또한 구비하고,
상기 성형체를 소결하는 공정에서는, 상기 바인더 수지를 제거한 상기 그린 시트를 소성 온도로 온도를 상승시켜 소결하는 것을 특징으로 하는 희토류 영구 자석.
제5항에 있어서, 상기 바인더 수지를 비산시켜서 제거하는 공정에서는, 상기 그린 시트를 대기압 이상으로 가압한 비산화성 분위기 하에서 일정 시간 유지하는 것을 특징으로 하는 희토류 영구 자석.
Nd-Fe-B계의 희토류 영구 자석의 제조 방법이며,
자석 원료를 희가스 분위기 하에서 분쇄하여 자석 분말을 얻는 공정과,
상기 자석 분말을 희가스 분위기 하에서 성형함으로써 성형체를 형성하는 공정과,
상기 성형체를 소결하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 희토류 영구 자석의 제조 방법.
제7항에 있어서, 상기 성형체를 소결하기 전에 대기압 이상으로 가압한 수소 분위기 하에서 하소하는 것을 특징으로 하는 희토류 영구 자석의 제조 방법.
제7항에 있어서, 상기 자석 분말을 성형하기 전에 대기압 이상으로 가압한 수소 분위기 하에서 하소하는 것을 특징으로 하는 희토류 영구 자석의 제조 방법.
제7항에 있어서, 상기 성형체를 형성하는 공정에서는, 바인더 수지와 상기 자석 분말이 혼합된 혼합물을 시트 형상으로 성형함으로써 상기 성형체로서 그린 시트를 제작하고,
상기 그린 시트를 비산화성 분위기 하에서 바인더 수지 분해 온도로 일정 시간 유지함으로써 상기 바인더 수지를 비산시켜서 제거하는 공정을 더 구비하고,
상기 성형체를 소결하는 공정에서는, 상기 바인더 수지를 제거한 상기 그린 시트를 소성 온도로 온도를 상승시켜 소결하는 것을 특징으로 하는 희토류 영구 자석의 제조 방법.
제10항에 있어서, 상기 바인더 수지를 비산시켜서 제거하는 공정에서는, 상기 그린 시트를 대기압 이상으로 가압한 비산화성 분위기 하에서 일정 시간 유지하는 것을 특징으로 하는 희토류 영구 자석의 제조 방법.