KR20140005241A - 초음파 세정 방법 및 장치 - Google Patents

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덴끼 가가꾸 고교 가부시키가이샤
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Abstract

접착제 성분이 경질 기판상에 부착되는 경우여도 확실하게 세정 제거할 수 있는 초음파 세정 방법을 제공한다. 하기 (1)∼(5)의 공정을 순서대로 실시하는 초음파 세정 방법. (1)접착제가 표면에 부착된 경질 기판을 25∼60℃의 방향족 알코올계 세정액에 침지시키는 공정, (2)공정(1)에 의해 경질 기판을 침지시킨 상태를 유지하면서 초음파의 발진에 의해 경질 기판상의 접착제를 세정하는 공정, (3)이어서 경질 기판을 25∼60℃의 글리콜에테르계 세정액에 침지시키는 공정, (4)공정(3)에 의해 경질 기판을 침지시킨 상태를 유지하면서 초음파의 발진에 의해 경질 기판상에 부착된 상기 방향족 알코올계 세정액을 씻는 공정, (5)이어서 경질 기판상에 부착된 상기 글리콜에테르계 세정액 및 방향족 알코올계 세정액을 물에 의해 씻어내는 공정.

Description

초음파 세정 방법 및 장치{Ultrasonic cleaning method and apparatus}
본 발명은 표면에 접착제가 부착된 경질 기판을 초음파 세정하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 특히 본 발명은 접착제를 이용하여 적층된 경질 기판 적층체를 박리한 후에 경질 기판상에 잔존하는 경화 또는 미경화된 접착제를 초음파 세정하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.
유리 등의 투광성 경질 기판을 형상 가공할 때에는 매엽(枚葉) 상태의 유리를 절단, 연마 등을 하여 왔다. 그러나 접착 후 온수중에 침지시킴으로써 박리할 수 있게 되는 임시 고정용 접착제의 등장에 따라 유리를, 접착제를 이용하여 여러 층으로 적층하여 일괄적으로 가공하는 방법이 시행되고 있었다.
그러나 적층 접착한 후에 접착제층에 공기가 혼입된 경우 접착제 경화시에 조사하는 UV광이 혼입 공기중의 산소를 분해 해체시켜 산소 래디칼을 발생시킨다. 이 산소 래디칼이 접착제의 경화 반응을 저해하여 그 부분이 미경화된다.
한편 유리 적층시에는 유리에 임시 고정용 자외선 경화형 아크릴 접착제를 도포하고 유리를 맞붙여 UV광을 조사함으로써 접착하고 적층한다. 유리 표면상에 UV광이 투과하기 어려운 인쇄 패턴이나 도금 패턴 등이 시행되어 있는 경우 그 부분 및 인접한 접착제의 중합도는 다른 부분에 비해 낮아져 미경화 상태가 된다.
일반적으로 미경화 부분은 경화 부분에 비해 접착제의 유리에 대한 부착성이 높아 나중에 유리 적층체와 접착제를 박리하여 매엽화하는 공정에서 유리 위에 접착제 성분이 남기 쉽다.
또 경화 상태여도 경화시에 부여하는 UV광의 방사 조도에 따라서는 적층 유리와 접착제를 박리하는 공정에서 유리 위에 접착제 성분이 남는 경우가 있다.
세정성을 향상시키기 위해 세정조에 저장한 세정액에 다른 2종류의 주파수를 동시에 발진하는 방법이 제안되어 있다(특허문헌 1). 세정액으로서는 탄화수소계 용제(하이드로클로로=HC, 하이드로클로로플루오로카본=HCFC)를 주성분으로 하는 세정액이나, 유기계 용제(퍼플루오로카본=PFC, 하이드로플루오로카본=HFC)를 주성분으로 하는 세정액이 기재되어 있다.
약액에 의한 침지 세정 후 수중에서 초음파를 조사하는 것에 의한 세정 방법이 제안되어 있다(특허문헌 2). 또 기판 표면에 부착되어 있는 약액은 가열에 의해 비산시키는 것이 기재되어 있다. 약액으로서는 산 또는 황산과 과산화수소수의 혼합액(POS)이 기재되어 있다.
세정 효과를 높이기 위해 세정조를 2중으로 배치하여 초음파의 전파(傳播) 얼룩을 억제하는 방법이 제안되어 있다(특허문헌 3). 세정액으로서는 물이면 되고, 산이나 알칼리 용액에 계면활성제를 첨가한 세정액이어도 된다는 것이 기재되어 있다.
특허문헌 1: 일본 특개평8-141527호 공보 특허문헌 2: 일본 특개평5-259144호 공보 특허문헌 3: 일본 특개2008-243342호 공보
특허문헌 1은 탄화수소계 용제(하이드로클로로=HC, 하이드로클로로플루오로카본=HCFC)를 주성분으로 하는 세정액이나 유기계 용제(퍼플루오로카본=PFC, 하이드로플루오로카본=HFC)를 주성분으로 하는 세정액을 이용하여 다른 2종의 주파수를 동시에 발진하는 방법인데 해당 방법에서는 할로겐 원소를 가진 용제를 사용하기 때문에 유리 위에 잔류하는 접착제를 제거하려면 제거성이나 환경보호의 관점에서 아직도 개선의 여지가 있다.
특허문헌 2는 약액을 이용한 침지 세정으로서, 나중에 초음파에 의한 세정을 하는 방법인데 약액에 의한 침지 세정시에 초음파 세정을 하는 것이 아니고 유리 형태로 잔류하는 접착제에 대한 제거성이 충분하다고는 볼 수 없다. 또 사용하는 세정액에 대해서도 개선의 여지가 남아 있다.
특허문헌 3은 2중으로 조(槽, bath)를 배치하여 초음파 얼룩을 억제하는 방법이다. 인쇄 패턴하의 임시 고정용 접착제는 중합도가 낮고 점착성이 있는 상태이다. 임시 고정용 접착제를 특허문헌 3에 사용한 경우 점착성이 있기 때문에 초음파 자체의 감쇠에 의해 세정 효과가 저하되는 경우가 있다. 특허문헌 3에서 초음파의 진행 방향과 다른 방향으로부터의 흐름은 조 안에서의 초음파 수진(受振) 불균일의 원인이 되어 세정 얼룩의 원인이 되는 경우가 있다. 또 사용하는 세정액에 대해서도 개선의 여지가 남아 있다.
이와 같이 특허문헌 1∼3에 기재되어 있는 세정 방법에서는, 유리 위에 잔류되어 있는 접착제 성분을 제거한다는 목적에 대해서는 아직도 개선의 여지가 남아 있다.
그래서 본 발명은 유리 등의 경질 기판에 부착된 접착제에 대해 안정적으로 높은 세정 효과를 얻는 방법을 제공하는 것을 과제로 한다. 바람직하게는, 본 발명은 환경 부하를 더 저감시키면서 유리 등의 경질 기판에 부착된 접착제에 대해 안정적으로 높은 세정 효과를 얻는 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명자 등은 상기 과제를 해결하기 위해 예의 검토한 바, 방향족 알코올계의 세정액이 경질 기판상에 부착된 접착제의 제거에 유효하다는 것을 발견했다. 그러나 방향족 알코올계 세정액은 BOD 및 COD가 각각 1,400,000mg/kg, 370,000mg/kg정도로 높아 희석 폐수가 어렵다는 문제가 있었다. 또 방향족 알코올계 세정액을 경질 기판에서 씻어낼 때 사용하는 헹굼물(샤워수 등)의 양도 세제량의 1,000∼1,500배로 다량이 되어 헹굼물의 회수가 어려웠다.
그래서 본 발명자는 더욱 검토를 거듭하여 방향족 알코올계 세정액을 이용하여 경질 기판을 세정한 후에 글리콜에테르계 세정액에 의해 방향족 알코올계 세정액을 씻어내고 추가로 물에 의해 경질 기판상에 잔류되어 있는 세정액을 제거한 경우 사용하는 물의 양을 대폭 저감할 수 있다는 것을 알았다.
또한 회수한 폐수를 증발시킴으로써 세정액 성분을 고체로서 회수할 수 있어 폐수 처리의 부담도 대폭 삭감할 수 있다는 것도 알았다.
즉, 본 발명은 일측면에서 하기 (1)∼(5)의 공정을 순서대로 실시하는 초음파 세정 방법이다.
(1)접착제가 표면에 부착된 경질 기판을 25∼60℃의 방향족 알코올계 세정액에 침지시키는 공정
(2)공정(1)에 의해 경질 기판을 침지시킨 상태를 유지하면서 초음파의 발진에 의해 경질 기판상의 접착제를 세정하는 공정
(3)이어서 경질 기판을 25∼60℃의 글리콜에테르계 세정액에 침지시키는 공정
(4)공정(3)에 의해 경질 기판을 침지시킨 상태를 유지하면서 초음파의 발진에 의해 경질 기판상에 부착된 상기 방향족 알코올계 세정액을 씻는 공정
(5)이어서 경질 기판상에 부착된 상기 글리콜에테르계 세정액 및 방향족 알코올계 세정액을 물에 의해 씻어내는 공정
본 발명은 다른 일측면에서 하기 (1)∼(5)의 공정을 순서대로 실시하는 초음파 세정 방법이다.
(1)광경화성 (메타)아크릴 접착제에 의해 접착된 경질 기판 적층체를 박리하여 얻어진 경질 기판을 25∼60℃의 방향족 알코올계 세정액에 침지시키는 공정
(2)공정(1)에 의해 경질 기판을 침지시킨 상태를 유지하면서 초음파의 발진에 의해 경질 기판상의 접착제를 세정하여 제거하는 공정
(3)이어서 경질 기판을 25∼60℃의 글리콜에테르계 세정액에 침지시키는 공정
(4)공정(3)에 의해 경질 기판을 침지시킨 상태를 유지하면서 초음파의 발진에 의해 경질 기판상에 부착된 상기 방향족 알코올계 세정액을 씻는 공정
(5)이어서 경질 기판상에 부착된 상기 글리콜에테르계 세정액 및 방향족 알코올계 세정액을 물에 의해 씻어내는 공정
본 발명에 관한 초음파 세정 방법의 일실시형태에서는 공정(2)의 상기 접착제를 제거하기 위한 초음파의 주파수가 20kHz이상 40kHz이하이다.
본 발명에 관한 초음파 세정 방법의 다른 일실시형태에서는 방향족 알코올계 세정액이 방향족 알코올, 물 및 계면활성제를 함유하고, 글리콜에테르 세정액이 글리콜에테르, 물 및 계면활성제를 함유한다.
본 발명에 관한 초음파 세정 방법의 또다른 일실시형태에서는 방향족 알코올이 벤질알코올, 페네틸알코올, 히드로신나밀알코올 및 이들의 알킬 치환 유도체에서 선택되는 1종 이상이며, 글리콜에테르가 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르 및 3-메톡시-3-메틸-1-부탄올에서 선택되는 1종 이상이다.
본 발명에 관한 초음파 세정 방법의 또다른 일실시형태에서는 공정(5)는 샤워수를 경질 기판에 분사함으로써 이루어진다.
본 발명에 관한 초음파 세정 방법의 또다른 일실시형태에서는 공정(4)의 상기 방향족 알코올계 세정액을 제거하기 위한 초음파의 주파수가 16kHz이상 60kHz이하이다.
본 발명에 관한 초음파 세정 방법의 또다른 일실시형태에서는 공정(5)후의 폐수를 가온하여 물을 증발시키고, 잔존하는 접착제 성분 및 세정액 성분을 회수한다.
본 발명에 관한 초음파 세정 방법의 또다른 일실시형태에서는, 광경화성 (메타)아크릴 접착제가 (A)다관능(메타)아크릴레이트, (B)단관능(메타)아크릴레이트 및 (C)광중합 개시제를 함유한다.
본 발명에 관한 초음파 세정 방법의 또다른 일실시형태에서는 글리콜에테르계 세정액이 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬에테르/수계, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬에테르/폴리옥시에틸렌알킬아민/수계, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르/수계, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르/폴리옥시에틸렌알킬아민/수계로 이루어진 군 중 1종 이상이다.
본 발명에 관한 초음파 세정 방법의 또다른 일실시형태에서는 방향족 알코올계 세정액이 벤질알코올/물/크실렌술폰산나트륨계 계면활성제계이다.
본 발명은 또다른 일측면에서 하기 (1)∼(5)의 공정을 순서대로 실시하는 초음파 세정 장치이다.
(1)광경화성 (메타)아크릴 접착제에 의해 접착된 경질 기판 적층체를 박리하여 얻어진 경질 기판을 25∼60℃의 방향족 알코올계 세정액에 침지시키는 공정
(2)초음파의 발진에 의해 경질 기판상의 접착제를 세정하여 제거하는 공정
(3)이어서 경질 기판을 25∼60℃의 글리콜에테르계 세정액에 침지시키는 공정
(4)초음파의 발진에 의해 경질 기판상에 부착된 상기 방향족 알코올계 세정액을 씻는 공정
(5)이어서 경질 기판상에 부착된 상기 글리콜에테르계 세정액 및 방향족 알코올계 세정액을 물에 의해 씻어내는 공정
본 발명은 또다른 일측면에서
25∼60℃의 방향족 알코올계 세정액을 함유하고 초음파 발진기가 딸린 접착제가 표면에 부착된 경질 기판을 세정하기 위한 제1 세정액 조,
제1 세정액 조의 후단에 설치되어 25∼60℃의 글리콜에테르계 세정액을 함유하고 초음파 발진기가 딸린, 상기 경질 기판상에 부착된 상기 방향족 알코올계 세정액을 씻기 위한 제2 세정액 조,
제2 세정액 조의 후단에 설치되어 경질 기판상에 부착된 글리콜에테르계 세정액 및 방향족 알코올계 세정액을 물에 의해 씻어내기 위한 수세실,
을 구비한 접착제가 표면에 부착된 경질 기판을 세정하기 위한 장치이다.
본 발명에 관한 장치의 일실시형태에서는 수세실로부터의 폐수중에 포함되는 수분을 증발시키기 위한 증발기를 구비한다.
본 발명에 관한 장치의 다른 일실시형태에서는 수세실과 증발기 사이에 설치되어 수세실로부터의 폐수를 저장하기 위한 저장조를 구비한다.
본 발명에 관한 장치의 또다른 일실시형태에서는 경질 기판상에 부착된 글리콜에테르계 세정액 및 방향족 알코올계 세정액이 샤워수로 씻겨나간다.
본 발명에 관한 장치의 또다른 일실시형태에서는 글리콜에테르계 세정액이 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬에테르/수계, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬에테르/폴리옥시에틸렌알킬아민/수계, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르/수계, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르/폴리옥시에틸렌알킬아민/수계로 이루어진 군 중 1종 이상이다.
본 발명에 관한 장치의 또다른 일실시형태에서는 방향족 알코올계 세정액이 벤질알코올/물/크실렌술폰산나트륨계 계면활성제계이다.
본 발명에 관한 초음파 세정 방법에 의하면 접착제를 이용하여 경질 기판을 적층하고 일괄 가공한 후 적층 유리를 박리한 경우 경질 기판상에 접착제 성분이 잔존하는 경우여도 높은 세정 효율로 경질 기판에 잔류된 접착제를 세정할 수 있고, 바람직하게는 배수 처리의 부하를 경감하면서 세정할 수 있다.
도 1은, 본 발명에 의한 초음파 세정 장치의 일례를 도시한 개략도이다.
이하, 본 발명에 관한 초음파 세정 방법의 최선의 형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.
본 발명이 처리 대상으로 하는 경질 기판은 표면에 접착제가 부착된 경질 기판이다. 표면에 접착제가 부착된 경질 기판이라면 특별히 제한은 없지만, 전형적으로는 본 발명은 접착제에 의해 접착된 경질 기판 적층체를 박리한 경질 기판이 처리 대상이다.
경질 기판으로서는 투광성 경질 기판이나 투광성이 없는 경질 기판 등을 들 수 있다. 광에 의해 경화할 수 있다는 점에서 투광성 경질 기판이 바람직하다. 투광성 경질 기판으로서는 특별히 제한은 없지만, 판유리(소재 판유리, 투명 도전막 부착 유리 기판, 전극이나 회로가 형성된 유리 기판 등), 사파이어 기판, 석영 기판, 플라스틱 기판, 불화 마그네슘 기판 등을 들 수 있다. 유리로서 강화유리도 들 수 있다. 투광성 경질 기판의 크기에 특별히 제한은 없지만, 전형적으로는 10000∼250000mm2정도의 면적을 가지고 0.1∼2mm정도의 두께를 가진다. 각 경질 기판은 같은 사이즈인 것이 일반적이다. 한정적이지는 않지만, 각 경질 기판의 표면에는 판형 제품의 기능 중 하나를 발휘하기 위한 소정의 인쇄 패턴이나 도금 패턴을 붙일 수 있다. 인쇄 패턴의 예로서는 휴대 전화의 표시 화면 디자인, 도금 패턴의 예로서는 크롬 도금 패턴이 시행되어 있는 로터리 인코더를 들 수 있다.
경질 기판의 표면에 접착제를 도포한다. 접착제는 어느 한쪽의 경질 기판의 맞붙임면에 도포하면 되는데, 접착성을 향상시키는 관점에서는 양쪽 경질 기판의 맞붙임면에 도포하는 것이 바람직하다.
본 발명에 적합하게 사용되는 접착제로서는 아크릴 접착제, 에폭시 접착제, 우레탄 접착제, 폴리에스테르 접착제, 실리콘 접착제, 폴리이미드 접착제, 엔ㆍ티올 접착제, 올레핀 등의 핫멜트 접착제, 시아노아크릴레이트 접착제, 변성 실리콘 접착제, 불소계 접착제 등을 들 수 있다. 이들 중에서는 내열성, 내습성, 내광성이 우수하고 세정 효과가 크다는 점에서 아크릴 접착제 및/또는 에폭시 접착제가 바람직하고, 아크릴 접착제가 더욱 바람직하다.
아크릴 접착제로서는 가열 경화형 아크릴 접착제, 광경화성 아크릴 접착제, 상온 경화형 아크릴 접착제 등을 들 수 있다. 에폭시 접착제로서는 2제 경화형 에폭시 접착제, 1제 가열 경화형 에폭시 접착제, 자외선 경화형 에폭시 접착제 등을 들 수 있다. 이들 중에서는 효과가 크다는 점에서 아크릴 접착제가 바람직하다. 아크릴 접착제 중에서는 효과가 크다는 점에서 광경화성 아크릴 접착제 및/또는 상온 경화형 아크릴 접착제가 바람직하다.
투광성 경질 기판을 사용한 경우 본 발명에 적합하게 사용되는 접착제로서는 광경화성 접착제가 바람직하다. 광경화성 접착제는, 예를 들면 자외선 등의 광을 조사함으로써 경화되고, 고온에 가열하면 연화되는 접착제이다.
＜광경화성 아크릴 접착제＞
광경화성 접착제로서는 광경화성 (메타)아크릴 접착제를 들 수 있다. 광경화성 (메타)아크릴 접착제로서는, 예를 들면 WO2008/018252에 기재된 바와 같은 (A)다관능(메타)아크릴레이트, (B)단관능(메타)아크릴레이트, 및 (C)광중합 개시제를 함유하는 접착성 조성물을 들 수 있다.
(A)다관능(메타)아크릴레이트로서는 올리고머/폴리머 말단 또는 측쇄에 2개 이상 (메타)아크로일화된 다관능(메타)아크릴레이트 올리고머/폴리머나, 2개 이상의 (메타)아크로일기를 가진 다관능(메타)아크릴레이트 모노머를 사용할 수 있다. 예를 들면 다관능(메타)아크릴레이트 올리고머/폴리머로서는 1,2-폴리부타디엔 말단 우레탄(메타)아크릴레이트(예를 들면, 일본소다사제「TE-2000」, 「TEA-1000」), 그의 수소 첨가물(예를 들면, 일본소다사제「TEAI-1000」), 1,4-폴리부타디엔 말단 우레탄(메타)아크릴레이트(예를 들면, 오사카 유기화학사제「BAC-45」), 폴리이소프렌 말단 (메타)아크릴레이트, 폴리에스테르계 우레탄(메타)아크릴레이트(예를 들면, 일본 합성화학사제「UV-2000B」, 「UV-3000B」, 일본 합성화학사제「UV-7000B」, 네가미공업사제「KHP-11」, 「KHP-17」), 폴리에테르계 우레탄(메타)아크릴레이트(예를 들면, 일본 합성화학사제「UV-3700B」, 「UV-6100B」), 또는 비스페놀 A형 에폭시(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.
여기서 우레탄(메타)아크릴레이트란 폴리올 화합물(이후, X로 표시한다)과 유기 폴리이소시아네이트 화합물(이후, Y로 표시한다)과 히드록시(메타)아크릴레이트(이후, Z로 표시한다)를 반응시킴으로써 얻어지는 우레탄(메타)아크릴레이트를 말한다.
폴리올 화합물(X)로서는 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 트리에틸렌글리콜, 테트라에틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 디프로필렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 부티렌글리콜, 1,4-부탄디올, 폴리부티렌글리콜, 1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 1, 8-옥탄디올, 1,9-노난디올, 3-메틸-1,5-펜탄디올, 2, 4-디에틸-1,5-펜탄디올, 2,2-부틸에틸-1,3-프로판디올, 네오펜틸글리콜, 시클로헥산디메탄올, 수소화 비스페놀A, 폴리카프로락톤, 트리메틸올에탄, 트리메틸올프로판, 폴리트리메틸올프로판, 펜타에리스리톨, 폴리펜타에리스리톨, 솔비톨, 만니톨, 글리세린, 폴리글리세린, 폴리테트라메틸렌글리콜 등의 다가 알코올이나, 폴리에틸렌옥사이드, 폴리프로필렌옥사이드, 에틸렌옥사이드/프로필렌옥사이드의 블록 또는 랜덤 공중합 중 적어도 1종의 구조를 가진 폴리에테르폴리올, 해당 다가 알코올 또는 폴리에테르폴리올과 무수 말레인산, 말레인산, 푸마르산, 무수이타콘산, 이타콘산, 아디핀산, 이소프탈산 등의 다염기산과의 축합물인 폴리에스테르폴리올, 카프로락톤 변성 폴리테트라메틸렌폴리올 등의 카프로락톤 변성 폴리올, 폴리올레핀계 폴리올, 폴리카보네이트계 폴리올, 폴리부타디엔폴리올, 폴리이소프렌폴리올, 수소화 폴리부타디엔폴리올, 수소화 폴리이소프렌폴리올 등의 폴리디엔계 폴리올, 폴리디메틸실록산폴리올 등의 실리콘폴리올 등을 들 수 있다. 이들 중에서는 폴리에테르폴리올 및/또는 폴리에스테르폴리올이 더욱 바람직하다.
유기 폴리이소시아네이트 화합물(Y)로서는 특별히 한정될 필요는 없지만, 예를 들면 방향족계, 지방족계, 환식 지방족계, 지환식계 등의 폴리이소시아네이트를 사용할 수 있으며, 그 중에서도 톨릴렌디이소시아네이트(TDI), 디페닐메탄디이소시아네이트(MDI), 수첨화 디페닐메탄디이소시아네이트(H-MDI), 폴리페닐메탄폴리이소시아네이트(크루드MDI), 변성디페닐메탄디이소시아네이트(변성MDI), 수첨화 크실릴렌디이소시아네이트(H-XDI), 크실렌디이소시아네이트(XDI), 헥사메틸렌디이소시아네이트(HMDI), 트리메틸헥사메틸렌디이소시아네이트(TMXDI), 테트라메틸크실릴렌디이소시아네이트(m-TMXDI), 이소포론디이소시아네이트(IPDI), 노르보넨디이소시아네이트(NBDI), 1,3-비스(이소시아나토메틸)시클로헥산(H6XDI) 등의 폴리이소시아네이트 혹은 이들 폴리이소시아네이트의 3량체 화합물, 이들 폴리이소시아네이트와 폴리올의 반응 생성물 등이 적합하게 이용된다. 이들 중에서는 수첨화 크실릴렌디이소시아네이트(H-XDI) 및/또는 이소포론디이소시아네이트(IPDI)가 바람직하다.
히드록시(메타)아크릴레이트(Z)로서는, 예를 들면 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 2-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸아크릴로일 포스페이트, 4-부틸히드록시(메타)아크릴레이트, 2-(메타)아크릴로일옥시에틸-2-히드록시프로필프탈레이트, 글리세린디(메타)아크릴레이트, 2-히드록시-3-아크릴로일옥시프로필(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들 중에서는 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 2-히드록시부틸(메타)아크릴레이트로 이루어진 군 중 1종 이상이 바람직하다.
이들 중에서는 효과가 크다는 점에서 폴리에스테르계 우레탄(메타)아크릴레이트 및/또는 폴리에테르계 우레탄(메타)아크릴레이트가 바람직하고, 폴리에스테르계 우레탄(메타)아크릴레이트가 더욱 바람직하다.
다관능(메타)아크릴레이트올리고머/폴리머의 중량 평균 분자량은 7000∼60000이 바람직하고, 13000∼40000이 더욱 바람직하다. 실시예에서는 중량 평균 분자량은 하기의 조건에서 용제로서 테트라히드로퓨란을 이용하고 GPC시스템(도소사제 SC-8010)을 사용하여 시판되는 표준 폴리스티렌으로 검량선을 작성하여 구했다.
유속：1.0ml/min
설정 온도：40℃
칼럼 구성：도소사제「TSK guardcolumn MP(XL)」6.0mm ID×4.0cm 1개, 및 도소사제「TSK-GEL MULTIPOREHXL-M」7.8mm ID×30.0cm(이론단수 16,000단) 2개, 합계 3개(전체적으로 이론단수 32,000단), 샘플 주입량：100㎕(시료액 농도 1mg/ml)
송액 압력：39kg/cm2
검출기：RI검출기
2관능(메타)아크릴레이트 모노머로서는 1,3-부티렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 1,4-부탄디올디(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트, 1,9-노난디올디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 디시클로펜타닐디(메타)아크릴레이트, 2-에틸-2-부틸-프로판디올디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜 변성 트리메틸올프로판디(메타)아크릴레이트, 스테아린산 변성 펜타에리스톨디(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 2,2-비스(4-(메타)아크릴옥시디에톡시페닐)프로판, 2,2-비스(4-(메타)아크릴록시프로폭시페닐)프로판, 또는 2,2-비스(4-(메타)아크릴록시테트라에톡시페닐)프로판 등을 들 수 있다. 이들 중에서는 효과가 크다는 점에서 1,6-헥사디올디(메타)아크릴레이트 및/또는 디시클로펜타닐디(메타)아크릴레이트가 바람직하고, 디시클로펜타닐디(메타)아크릴레이트가 더욱 바람직하다.
3관능(메타)아크릴레이트 모노머로서는 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 트리스［(메타)아크릴록시에틸］이소시아누레이트 등을 들 수 있다.
4관능 이상의 (메타)아크릴레이트 모노머로서는 디메틸올프로판테트라(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨에톡시테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타(메타)아크릴레이트, 또는 디펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.
다관능(메타)아크릴레이트 중에서는 효과가 크다는 점에서 다관능(메타)아크릴레이트 올리고머/폴리머 및/또는 2관능(메타)아크릴레이트 모노머를 함유하는 것이 바람직하고, 다관능(메타)아크릴레이트 올리고머/폴리머와 2관능(메타)아크릴레이트 모노머를 병용하는 것이 더욱 바람직하다.
다관능(메타)아크릴레이트 올리고머/폴리머와 2관능(메타)아크릴레이트 모노머를 병용할 경우의 함유 비율은 다관능(메타)아크릴레이트 올리고머/폴리머와 2관능(메타)아크릴레이트 모노머의 합계 100질량부 중 질량비로 다관능(메타)아크릴레이트 올리고머/폴리머：2관능(메타)아크릴레이트 모노머=10∼90：90∼10이 바람직하고, 25∼75：75∼25가 보다 바람직하고, 30∼70：70∼30이 가장 바람직하다.
(B)1개의 (메타)아크로일기를 가진 단관능(메타)아크릴레이트 모노머로서는 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 프로필(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메타)아크릴레이트, 이소옥틸(메타)아크릴레이트, 이소데실(메타)아크릴레이트, 라우릴(메타)아크릴레이트, 스테아릴(메타)아크릴레이트, 페닐(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 디시클로펜타닐(메타)아크릴레이트, 디시클로펜테닐(메타)아크릴레이트, 디시클로펜테닐옥시에틸(메타)아크릴레이트, 이소보닐(메타)아크릴레이트, 메톡시화 시클로데카트리엔(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 3-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 테트라히드로푸르푸릴(메타)아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필(메타)아크릴레이트, 글리시딜(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 테트라히드로푸르푸릴(메타)아크릴레이트, 3-클로로-2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, N,N-디메틸아미노에틸(메타)아크릴레이트, N,N-디에틸아미노에틸(메타)아크릴레이트, t-부틸아미노에틸(메타)아크릴레이트, 에톡시카르보닐메틸(메타)아크릴레이트, 페놀에틸렌옥사이드 변성(메타)아크릴레이트, 페놀(에틸렌옥사이드 2몰 변성)(메타)아크릴레이트, 페놀(에틸렌옥사이드 4몰 변성)(메타)아크릴레이트, 파라쿠밀페놀에틸렌옥사이드 변성(메타)아크릴레이트, 노닐페놀에틸렌옥사이드 변성(메타)아크릴레이트, 노닐페놀(에틸렌옥사이드 4몰 변성)(메타)아크릴레이트, 노닐페놀(에틸렌옥사이드 8몰 변성)(메타)아크릴레이트, 노닐페놀(프로필렌옥사이드 2.5몰 변성)(메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실카르비톨(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥시드 변성 프탈산(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥시드 변성 숙신산(메타)아크릴레이트, 트리플로로에틸(메타)아크릴레이트, 아크릴산, 메타크릴산, ω-카복시폴리카프로락톤모노(메타)아크릴레이트, 프탈산모노히드록시에틸(메타)아크릴레이트, (메타)아크릴산다이머, β-(메타)아크로일옥시에틸하이드로젠숙시네이트, n-(메타)아크릴로일옥시알킬헥사히드로프탈이미드, 2-(1,2-시클로헥사카복시이미드)에틸(메타)아크릴레이트, 에톡시디에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.
단관능(메타)아크릴레이트 중에서는 효과가 크다는 점에서 페놀에틸렌옥사이드 2몰 변성(메타)아크릴레이트, 2-(1,2-시클로헥사카르복시이미드)에틸(메타)아크릴레이트 및 2-히드록시-3-페녹시프로필(메타)아크릴레이트로 이루어진 군 중 1종 이상이 바람직하다. 페놀에틸렌옥사이드 2몰 변성(메타)아크릴레이트와 2-(1,2-시클로헥사카르복시이미드)에틸(메타)아크릴레이트 및/또는 2-히드록시-3-페녹시프로필(메타)아크릴레이트를 병용하는 것이 더욱 바람직하다.
페놀에틸렌옥사이드 2몰 변성(메타)아크릴레이트와 2-(1,2-시클로헥사카르복시이미드)에틸(메타)아크릴레이트 및/또는 2-히드록시-3-페녹시프로필(메타)아크릴레이트를 병용할 경우의 함유 비율은 페놀에틸렌옥사이드 2몰 변성(메타)아크릴레이트, 2-(1,2-시클로헥사카르복시이미드)에틸(메타)아크릴레이트 및 2-히드록시-3-페녹시프로필(메타)아크릴레이트의 합계 100질량부 중 질량비로 페놀에틸렌옥사이드 2몰 변성(메타)아크릴레이트:2-(1,2-시클로헥사카르복시이미드)에틸(메타)아크릴레이트 및/또는 2-히드록시-3-페녹시프로필(메타)아크릴레이트=5∼80：95∼20이 바람직하고, 15∼60：85∼40이 보다 바람직하고, 20∼45：80∼55가 가장 바람직하다.
(A)다관능(메타)아크릴레이트와 (B)단관능(메타)아크릴레이트의 배합비로서는 (A)：(B)=5：95∼95：5(질량부)인 것이 바람직하다. 5 질량부 이상이면 초기의 접착성이 저하될 우려도 없고, 95 질량부 이하이면 박리성을 확보할 수 있다. 경화된 고착제는 온수에 침지함으로써 필름 형태로 박리된다. (B)단관능(메타)아크릴레이트의 함유량은 (A) 및 (B)의 합계량 100질량부 중 40∼80질량부가 더욱 바람직하다.
(C)광중합 개시제는 가시광선이나 자외선의 활성 광선에 의해 증감시켜 수지 조성물의 광경화를 촉진하기 위해 배합하는 것으로서, 공지의 각종 광중합 개시제를 사용할 수 있다. 구체적으로는 벤조페논 또는 그의 유도체；벤질 또는 그의 유도체；안트라퀴논 또는 그의 유도체；벤조인；벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인프로필에테르, 벤조인이소부틸에테르, 벤질디메틸케탈 등의 벤조인 유도체；디에톡시아세토페논, 4-t-부틸트리클로로아세토페논 등의 아세토페논 유도체；2-디메틸아미노에틸벤조에이트；p-디메틸아미노에틸벤조에이트；디페닐디설파이드；티옥산톤 또는 그의 유도체；캠퍼 퀴논；7,7-디메틸-2,3-디옥소비시클로［2.2.1］헵탄-1-카본산, 7,7-디메틸-2,3-디옥소비시클로［2.2.1］헵탄-1-카복시-2-브로모에틸에스테르, 7,7-디메틸-2,3-디옥소비시클로［2.2.1］헵탄-1-카복시-2-메틸에스테르, 7,7-디메틸-2,3-디옥소비시클로［2.2.1］헵탄-1-카본산클로라이드 등의 캠퍼 퀴논 유도체；2-메틸-1-［4-(메틸티오)페닐］-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논-1 등의 α-아미노알킬페논 유도체；벤조일디페닐포스핀옥사이드, 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드, 벤조일디에톡시포스핀옥사이드, 2,4,6-트리메틸벤조일디메톡시페닐포스핀옥사이드, 2,4,6-트리메틸벤조일디에톡시페닐포스핀옥사이드 등의 아실포스핀옥사이드 유도체, 옥시-페닐-아세트산2-［2-옥소-2-페닐-아세톡시-에톡시］-에틸에스테르 및/또는 옥시-페닐-아세트산2-［2-히드록시-에톡시］-에틸에스테르 등을 들 수 있다. 광중합 개시제는 1종 또는 2종 이상을 조합하여 이용할 수 있다. 이들 중에서는 효과가 크다는 점에서 1벤질디메틸케탈, 옥시-페닐-아세트산2-［2-옥소-2-페닐-아세톡시-에톡시］-에틸에스테르 및 옥시-페닐-아세트산2-［2-히드록시-에톡시］-에틸에스테르로 이루어진 군 중의 1종 또는 2종 이상이 바람직하다.
(C)광중합 개시제의 함유량은 (A) 및 (B)의 합계 100질량부에 대해 0.1∼20질량부가 바람직하고, 0.5∼10질량부가 더욱 바람직하다. 0.1질량부 이상이면 경화 촉진의 효과를 확실히 얻을 수 있고, 20질량부 이하에서 충분한 경화 속도를 얻을 수 있다. (C)성분을 1질량부 이상 첨가하는 것은 광조사량에 의존하지 않고 경화할 수 있게 되고 나아가 조성물의 경화체의 가교도가 높아지고 절삭 가공시에 위치 어긋남 등을 일으키지 않게 되는 점이나 박리성이 향상되는 점에서 더욱 바람직하다.
광경화성 접착제는 고착제의 성분(A), (B) 및 (C)에 용해되지 않는 입자형 물질(D)을 함유하는 것이 바람직하다. 이로써 경화 후의 조성물이 일정한 두께를 유지할 수 있기 때문에 가공 정밀도가 향상된다. 또한 접착성 조성물의 경화체와 입자형 물질(D)의 선팽창 계수가 다르기 때문에 상기 접착제 조성물을 이용하여 투광성 경질 기판을 맞붙인 후에 박리할 때의 박리성이 향상된다.
입자형 물질(D)의 재질로서는 일반적으로 사용되는 유기 입자, 또는 무기 입자 중 어느 것이어도 무관하다. 구체적으로는 유기 입자로서는 폴리에틸렌 입자, 폴리프로필렌 입자, 가교 폴리메타크릴산 메틸 입자, 가교 폴리스티렌 입자 등을 들 수 있다. 무기 입자로서는 유리, 실리카, 알루미나, 티타늄 등 세라믹 입자를 들 수 있다.
입자형 물질(D)은 가공 정밀도의 향상, 즉 접착제의 막두께 제어의 관점에서 구형인 것이 바람직하다. 입자형 물질(D)의 레이저법에 의한 평균 입경은 20∼200㎛의 범위에 있는 것이 바람직하다. 상기 입자형 물질의 평균 입경이 20㎛이상이면 박리성이 우수하고, 200㎛이하이면 임시 고정한 부재의 가공시에 어긋남이 발생하기 어려워 치수 정밀도면에서 우수하다. 박리성과 치수 정밀도의 관점에서 보다 바람직한 평균 입경(D50)은 35∼150㎛이며, 더욱 바람직하게는 50∼120㎛이다. 입경 분포는 레이저 회절식 입도 분포 측정 장치에 의해 측정된다.
입자형 물질(D)의 사용량은 접착성, 가공 정밀도, 박리성 관점에서 (A) 및 (B)의 합계량 100질량부에 대해 0.01∼20질량부가 바람직하고, 0.05∼10질량부가 보다 바람직하며, 0.1∼6 질량부가 가장 바람직하다.
광경화성 접착제에는 저장 안정성 향상을 위해 중합 금지제(E)를 첨가할 수 있다. 중합 금지제로서는 메틸하이드로퀴논, 하이드로퀴논, 2,2-메틸렌-비스(4-메틸-6-터셔리-부틸페놀), 카테콜, 하이드로퀴논모노메틸에테르, 모노터셔리-부틸하이드로퀴논, 2,5-디터셔리-부틸하이드로퀴논, p-벤조퀴논, 2,5-디페닐-p-벤조퀴논, 2,5-디터셔리-부틸-p-벤조퀴논, 피크린산, 구연산, 페노티아진, 터셔리-부틸카테콜, 2-부틸-4-히드록시아니솔 및 2, 6-디터셔리-부틸-p-크레솔 등을 들 수 있다.
중합 금지제(E)의 사용량은 (A) 및 (B)의 합계량 100질량부에 대해 0.001∼3질량부가 바람직하고, 0.01∼2질량부가 더욱 바람직하다. 0.001질량부 이상이면 저장 안정성이 확보되고, 3 질량부 이하이면 양호한 접착성을 얻을 수 있어 미경화될 우려도 없다.
조사하는 광의 파장은 사용하는 접착제의 특성에 따라 적절히 변경하면 되는데, 예를 들면 마이크로파, 적외선, 가시광선, 자외선, X선, γ선, 전자선 등을 조사할 수 있다. 간편하게 사용할 수 있고 비교적 고에너지를 갖기 때문에 일반적으로는 조사광은 자외선이다. 이와 같이 본 발명에서 광과는 가시광선 뿐 아니라 폭넓은 파장 영역을 포함한 전자파(에너지선)를 가리킨다.
조사하는 광의 조사량은 365nm의 수광기를 사용한 적산 조도계로 측정하며, 일반적으로 10∼5,000mJ/cm2, 전형적으로는 30∼3,000mJ/cm2이며, 보다 전형적으로는 100∼2,500mJ/cm2, 바람직하게는 300∼2,000mJ/cm2이다. 조사 시간으로서는 일반적으로 0.1∼200초, 전형적으로는 0.1∼30초, 보다 전형적으로는 0.1∼20초 정도이다.
＜상온 경화형 아크릴 접착제＞
상온 경화형 아크릴 접착제는 (A)(메타)아크릴레이트, (B)래디칼 중합 개시제 및 (C)분해 촉진제를 함유하는 것이 바람직하다.
(메타)아크릴레이트로서는 다관능(메타)아크릴레이트나 단관능(메타)아크릴레이트를 들 수 있다.
(B)래디칼 중합 개시제로서는 유기 과산화물을 들 수 있다.
(C)분해 촉진제는 상온에서 래디칼 중합 개시제와 반응하여 래디칼을 발생시키는 것이 바람직하다. 분해 촉진제로서는 제3급 아민, 티오 요소 유도체 및 금속염 등을 들 수 있다.
상온 경화형 아크릴 접착제는 2제 상온 경화형 아크릴 접착제로서 사용하는 것이 바람직하다. 2제 상온 경화형 아크릴 접착제의 실시형태로서는 2제형 접착제로서 사용하는 것을 들 수 있다. 2제형에 대해서는 본 발명의 접착제의 필수 성분 모두를 저장중에는 혼합하지 않고, 접착제를 A제 및 B제로 나누어 A제에 적어도 래디칼 중합 개시제를, B제에 적어도 분해 촉진제를 따로따로 저장한다. 이 경우 양제를 동시에 또는 따로따로 피착체에 도포하여 접촉, 경화시킴으로써 2제형의 상온 경화형 아크릴 접착제로서 사용할 수 있다.
＜2제 경화형 에폭시 접착제＞
2제 경화형 에폭시 접착제는 접착제를 A제 및 B제로 나누어 A제에 적어도 주제(主劑)를, B제에 적어도 경화제를 따로따로 저장한다. 이 경우 양제를 동시에 또는 따로따로 피착체에 도포하여 접촉, 경화시킴으로써 2제 경화형의 에폭시 접착제로서 사용할 수 있다.
2제 경화형 에폭시 접착제에 사용하는 에폭시 수지로서는, 방향족 에폭시 수지, 지방족 에폭시 수지 및 지환식 에폭시 수지 등을 들 수 있다.
경화제는 에폭시 수지를 경화시킬 수 있는 성분이다. 경화제로서는 아민 화합물, 메르캅탄 화합물 및 산무수물 등을 들 수 있다.
판형 제품의 생산 효율 향상 관점에서는 투광성 경질 기판을 여러 장 적층하는 것이 바람직하다. 판형 제품의 생산 효율 향상 관점에서는 10장 이상의 투광성 경질 기판, 전형적으로는 8∼30장의 투광성 경질 기판이 적층된 투광성 경질 기판 적층체를 제조하는 것이 바람직하다.
다음으로 투광성 경질 기판 적층체를 두께 방향으로 분할하여 원하는 수의 분할된 투광성 경질 기판 적층체를 형성한다. 분할 방법은 특별히 제한은 없지만, 원판 커터(다이아몬드 디스크, 초경합금 디스크), 고정 지립식 또는 유리 지립식 와이어 소, 레이저 빔, 워터제트, 식각(예：불화수소산이나 황산 등을 이용한 화학 식각이나 전해 식각), 및 적열대(니크롬선)를 각각 단독으로 또는 조합하여 사용하여 같은 크기의 직육면체 형상으로 분할하는 방법을 들 수 있다. 식각은 분할 후 절단면의 표면 처리에 이용할 수도 있다.
분할된 투광성 경질 기판 적층체 각각에 대해 원하는 형상 가공을 해도 된다.
분할된 투광성 경질 기판 적층체를 가열함으로써 맞붙여져 있던 투광성 경질 기판끼리를 박리하여 복수의 판형 제품을 형성한다. 가열 방법으로서는 특별히 제한은 없지만 접착제가 필름 형태로 연화되어 각 판형 제품에서 잘 박리되도록 하기 위해 온수에 형상 가공 후의 투광성 경질 기판 적층체를 침지하는 방법이 바람직하다. 바람직한 온수의 온도는 채용하는 접착제에 따라 다르지만, 통상은 60∼95℃정도, 바람직하게는 80∼90℃이다.
도 1은 본 발명에 의한 초음파 세정 장치의 일례를 도시한 개략도이다.
본 실시형태를 도 1에 예시한다. 본 실시형태는 방향족 알코올계 세정액을 넣은 초음파 세정조(1), 글리콜에테르계 세정액을 넣은 초음파 세정조(2), 세정액을 흐르게 하여 제거하는 샤워 세정조(3), 샤워 폐수를 일시 회수하는 저장조(4) 및 샤워 폐수를 증발시키는 증발기(5)로 이루어진다. 본 발명은 경질 기판상에 존재하는 접착제를 세정 제거하면서 폐수를 회수한 후 폐수중의 물을 증발시킴으로써 세정액, 접착제 성분을 고형분으로서 회수한다.
＜1. 초음파 세정조(1) 및 초음파 세정조(2)＞
경질 기판상의 접착제 성분을 제거하기 위한 방향족 알코올계 세정액(10)을 저장한 초음파 세정조(1), 주로 경질 기판에 부착한 방향족 알코올계 세정액(10)을 제거 회수하기 위한 글리콜에테르계 세정액(11)을 저장한 초음파 세정조(2)를 가진다.
경질 기판을 세정할 때 여러 장의 경질 기판(21)을 등간격으로 정렬하여 수용하는 수납 선반(22)을 사용해도 좋다.
＜2.샤워 세정조(3), 저장조(4), 증발기(5)＞
경질 기판상에 부착된 글리콜에테르계 세정액을 물로 씻어내기 위한 샤워 세정조(3), 샤워수를 일시적으로 회수 저장하기 위한 저장조(4) 및 증발기(5)를 가진다.
＜초음파 세정조(1)＞
초음파 세정조(1)의 초음파 발진 주파수는 유리에 접착된 접착제 성분을 박리시킬 필요가 있기 때문에 캐비테이션을 일으키는 능력이 더욱 높은 16kHz이상 40kHz이하가 바람직하고, 20kHz이상 40kHz이하가 더욱 바람직하다. 초음파 세정조(1)의 세정액 온도는 세정액 농도 조정에 의한 액체의 온도 변화가 적은 영역이면서 제어가 가능한 25℃이상 60℃이하가 바람직하고, 35℃이상 50℃이하가 바람직하다.
초음파 세정조(1)의 저부에는 초음파 발진기(1a)를 설치하였다. 초음파 발진기(1a)는 초음파 세정조(1)의 측부에 설치해도 좋다.
＜초음파 세정조(2)＞
초음파 세정조(2)의 초음파 발진 주파수는 전조(前槽)에서의 처리로 팽윤된 미박리 잔사의 제거 및 전조 세정액을 제거하기 위해 전조와 동일한 이유에 의해 16kHz이상 60kHz이하가 바람직하고, 20kHz이상 40kHz이하가 더욱 바람직하다. 초음파 세정조(2)의 세정액 온도는 세정액 농도 조정에 의한 액체의 온도 변화가 적은 영역이면서 제어가 가능한 25℃이상 60℃이하가 바람직하고, 35℃이상 50℃이하가 바람직하다.
초음파 세정조(2)의 저부에는 초음파 발진기(2a)를 설치하였다. 초음파 발진기(2a)는 초음파 세정조(2)의 측부에 설치해도 좋다.
초음파 세정조(1)나 초음파 세정조(2)에서 초음파를 발진할 때 초음파의 진폭을 변화시켜 세정 효율을 조절하는 기구, 발진 주파수 자체를 변화시킴으로써 세정 효과를 균일하게 발현하는 기구, 유리를 요동시킴으로써 세정 효과를 균일하게 발현하는 기구를 포함해도 좋다. 예를 들면 유리를 수용한 수납 선반(22)을 요동시키면서 초음파를 발진할 수 있다.
＜샤워 세정조(3) 및 저장조(4)＞
샤워 세정조(3)의 샤워(3a)로부터 샤워수를 경질 기판 적층체에 분사하여 경질 기판상에 부착된 글리콜에테르계 세정액이나 방향족 알코올계 세정액을 물로 씻어낸다. 샤워수를 경질 기판 적층체에 분사할 수 있다면 샤워 세정조(3)를 설치하지 않아도 좋다. 또 씻어낼 수 있는 물이라면 샤워로 한정할 필요는 없으며, 경질 기판 적층체를 수조중에 침지시키거나 경질 기판 적층체에 물을 끼얹는 방법으로 세정액을 씻어내도 되지만, BOD, COD가 높은 세정제를 씻어내는 목적 및 회수하여 증발시킨다는 관점에서는 처리량의 문제로 비용이 증대되기 때문에 샤워수가 바람직하다.
샤워 세정조(3)에 의해 씻어낸 후의 샤워 폐수는 회수되어 일시적으로 저장조(4)에 저장되고 차례대로 증발기(5)에 송액된다.
＜증발기(5)＞
증발기(5)에 보내진 샤워 폐수(31)는 가온된다. 증발기(5)는 샤워 폐수의 증발 효율을 향상시키기 위해 다단 선반 구성으로 해도 좋다.
샤워 폐수(31)는 증발기(5)에 배치한 히터(5a) 등으로 50℃이상 100℃이하로 가온하는 것이 바람직하다. 가온함으로써 샤워 폐수(31)중의 물성분을 증발시키고 샤워 폐수(31)중의 세정액 성분 및 접착제 성분을 고형분으로서 회수할 수 있다. 이로써 폐수 처리의 부담을 경감시킬 수 있다. 일반적으로 방향족 알코올 및 글리콜에테르는 비점이 물보다 높아 분리 회수가 가능하다. 방향족 알코올 및 글리콜에테르는 바람직하게는 비점이 150℃이상이며, 보다 바람직하게는 150∼300℃이다.
방향족 알코올계 세정액(10)은 특별히 한정되지는 않지만 방향족 알코올, 물 및 계면활성제를 함유하는 방향족 알코올/물/계면활성제계의 것을 사용할 수 있으며 25℃이상 60℃이하의 온도 범위에서 세정에 필요한 유효 성분의 방향족 알코올 및 계면활성제가 휘발 또는 변질되기 어려운 것을 사용할 수 있다. 방향족 알코올계 세정액의 사용에 있어서 휘발하는 수분은 첨가에 의해 조정해도 좋다.
방향족 알코올로서는 벤질알코올, 페네틸알코올, 히드로신나밀알코올, 1-페닐-1-부탄올, 페녹시에탄올, 이들의 알킬 치환 유도체(벤젠환상의 수소가 저급 알킬기, 예를 들면 탄소수 1∼3의 알킬기로 치환된 유도체) 등을 들 수 있다. 이들 중에서는 벤질알코올, 페네틸알코올, 히드로신나밀알코올 및 이들의 알킬 치환 유도체로 이루어진 군의 1종 이상을 바람직하게 사용할 수 있으며 접착제 성분에 대한 팽윤 능력이 높다는 점에서 벤질알코올이 더욱 바람직하다.
계면활성제로서는 음이온 계면활성제, 비이온 계면활성제, 양이온 계면활성제, 양성 계면활성제 등을 들 수 있다. 이 중 음이온 계면활성제는 전리(電離)되어 알칼리성을 나타내고 세정 효과가 높기 때문에 음이온 계면활성제가 바람직하다. 음이온 계면활성제 중에서는 효과가 크다는 점에서 방향족 술폰산이나 방향족 술폰산염이 바람직하다. 방향족 술폰산으로서는 큐멘술폰산, 크실렌술폰산, 톨루엔술폰산, 페놀술폰산 등을 들 수 있다. 방향족 술폰산염으로서는 방향족 술폰산의 염을 들 수 있다. 염으로서는 나트륨염, 암모늄염 등을 들 수 있다. 염 중에서는 효과가 크다는 점에서 나트륨염이 바람직하다. 방향족 술폰산이나 방향족 술폰산염 중에서는 효과가 크다는 점에서 크실렌술폰산이나 크실렌술폰산염이 바람직하고, 크실렌술폰산나트륨이 더욱 바람직하다.
특히 바람직하게는 벤질알코올/물/크실렌술폰산나트륨계 계면활성제계이다. 벤질알코올/물/크실렌술폰산나트륨계 계면활성제계의 방향족 알코올계 세정액(10)은 벤질알코올 30∼50질량%, 물 30∼50질량%, 크실렌술폰산나트륨계 계면활성제 5∼20질량%를 함유하는 것이 바람직하다.
이어서 글리콜에테르계 세정액(11)은 특별히 한정되지는 않지만 글리콜에테르, 물 및 계면활성제를 함유한 글리콜에테르/물/계면활성제계의 것을 사용할 수 있다. 글리콜에테르계 세정액(11)의 사용에 있어서 휘발되는 수분은 첨가에 의해 조정해도 좋다.
글리콜에테르로서는 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 3-메톡시-3-메틸-1-부탄올, 에틸렌글리콜모노부틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노부틸에테르, 디프로필렌글리콜모노부틸에테르, 에틸렌글리콜페닐에테르 등을 들 수 있다. 이들 중에서는 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 3-메톡시-3-메틸-1-부탄올로 이루어진 군의 1종 이상을 적합하게 사용할 수 있으며 입수하기 쉬운 점 뿐 아니라 혼합물로서의 구름점(cloud point)을 높여 사용 가능한 온도 범위를 넓히고, 또 방부 효과가 크다는 점에서 디에틸렌글리콜모노부틸에테르가 더욱 바람직하다.
계면활성제로서는 음이온 계면활성제, 비이온 계면활성제, 양이온 계면활성제, 양성 계면활성제 등을 들 수 있다. 이들 중에서는 저농도에서의 세정성이 우수하고 세정이 곤란한 부착 유지분의 세정 효과가 크다는 점에서 비이온 계면활성제가 바람직하다. 비이온 계면활성제 중에서는 효과가 크다는 점에서 적어도 폴리옥시에틸렌계로 에테르 구조를 갖는 것을 1종 이상 포함하고, 더욱 바람직하게는 알킬아민계를 포함하는 것이 바람직하다.
글리콜에테르계 세정액(11)은 글리콜에테르계의 화합물을 함유하는 세정액이다. 글리콜에테르계 세정액(11)은 바람직하게는 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬에테르/수계, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬에테르/폴리옥시에틸렌알킬아민/수계, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르/수계, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르/폴리옥시에틸렌알킬아민/수계로 이루어진 군 중 1종 이상이며, 보다 바람직하게는 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르/수계나 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬에테르/폴리옥시에틸렌알킬아민/수계이며, 가장 바람직하게는 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬에테르/폴리옥시에틸렌알킬아민/수계이다.
알킬의 탄소수는 1∼20개가 바람직하다. 알킬의 탄소수는 폴리옥시에틸렌알킬에테르나 폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르의 경우 2∼16개가 바람직하고, 10∼16개가 더욱 바람직하다. 알킬의 탄소수는 폴리옥시에틸렌알킬아민의 경우 12∼18개가 바람직하다.
폴리옥시에틸렌알킬에테르로서는, 예를 들면 RO(CH2CH2O)nH로 나타나는 화합물을 들 수 있다. 예를 들면 R는 알킬기이며, n＞0이다. n는 1∼150이 바람직하고, 5∼10이 더욱 바람직하다. 폴리옥시에틸렌알킬에테르로서는 예를 들면 펜타에틸렌글리콜모노도데실에테르나 옥타에틸렌글리콜모노도데실에테르를 들 수 있다.
폴리옥시에틸렌알킬아민으로서는, 예를 들면 RNH(CH2CH2O)nH나 RN((CH2CH2O)xH)((CH2CH2O)yH)로 나타나는 화합물을 들 수 있다. 예를 들면 R은 알킬기이며 n＞0, x＞0, y＞0이다. n, x, y는 1∼150이 바람직하고, 1∼10이 더욱 바람직하다. 폴리옥시에틸렌알킬아민으로서는, 예를 들면 폴리옥시에틸렌라우릴아민, 폴리옥시에틸렌밀리스틸아민, 폴리옥시에틸렌팔미틸아민, 폴리옥시에틸렌스테아릴아민을 들 수 있다.
글리콜에테르계 세정액이 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬에테르 및/또는 폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르/수계인 경우, 글리콜에테르계 세정액은 디에틸렌글리콜모노부틸에테르 4.5∼95질량%, 폴리옥시에틸렌알킬에테르 및/또는 폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르 0∼25질량%, 물 0.5∼91질량%를 함유하는 것이 바람직하다. 글리콜에테르계 세정액이 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬에테르 및/또는 폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르/폴리옥시에틸렌알킬아민/수계인 경우, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르 3∼15질량%, 폴리옥시에틸렌알킬에테르 2∼15질량%, 폴리옥시에틸렌알킬아민 2∼15질량%, 물 35∼87질량%를 함유하는 것이 보다 바람직하고, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르 4.5∼10질량%, 폴리옥시에틸렌알킬에테르 4∼10질량%, 폴리옥시에틸렌알킬아민 4∼10질량%, 물 55∼84.5질량%를 함유하는 것이 더욱 바람직하다.
<실시예>
이하, 본 발명을 실시예에 의해 더 설명하는데, 본 발명은 이들로 한정되는 것이 아니다.
＜실험예＞
경질 기판 적층체로서 하기 유리 적층체를 박리한 유리를 사용했다. 판유리는 1장의 치수가 가로 530mm×세로 420mm×두께 0.7mm인 도금 패턴을 붙인 판유리를 사용했다. 특기하지 않는 한 23℃, 습도 50%에서 실험했다.
＜실험예 1＞
접착제(I)로서 하기의 (A)∼(E)의 성분을 혼합하여 임시 고정용 아크릴 자외선 경화형 접착제(I)를 제작했다.
(A)다관능(메타)아크릴레이트로서 일본합성사제「UV-3000B」(우레탄아크릴레이트 이하 「UV-3000B」로 약칭. 중량 평균 분자량 18000, 폴리올 화합물은 폴리에스테르폴리올, 유기 폴리이소시아네이트 화합물은 이소포론디이소시아네이트, 히드록시(메타)아크릴레이트는 2-히드록시에틸아크릴레이트)20질량부, 디시클로펜타닐디아크릴레이트(일본화약사제「KAYARADR-684」, 이하 「R-684」로 약칭) 15질량부,
(B)단관능(메타)아크릴레이트로서 2-(1,2-시클로헥사카르복시이미드)에틸아크릴레이트(도아합성사제「아로닉스M-140」, 이하 「M-140」으로 약칭) 50질량부, 페놀에틸렌옥사이드 2몰 변성 아크릴레이트(도아합성사제「아로닉스M-101A」) 15질량부,
(C)광중합 개시제로서 벤질디메틸케탈(BASF사제「IRGACURE651」), 이하 「BDK」로 약칭) 8질량부,
(D)입자형 물질로서 평균 입경 100㎛의 구형 가교 폴리스티렌 입자(간츠 화성사제「GS-100S」) 1질량부,
(E)중합 금지제로서 2,2-메틸렌비스(4-메틸-6-터셔리-부틸페놀)(스미토모 화학사제「스미라이저MDP-S」, 이하 「MDP」로 약칭) 0.1질량부.
경화 조건은 이하와 같다. 접착제(I)의 경화시 UV(자외선)조사량은 2000mJ/cm2(365nm의 수광기에 의한 적산 조도계에 의한 측정)으로 하고 UV조사 시간은 20초로 했다.
판유리를 차례대로 접착제에 의해 접착하여 판유리 12장으로 이루어진 판유리 적층체를 제조했다. 이 판유리 적층체를 원판 커터(다이아몬드 디스크)에 의해 가로 47.6mm×세로 108mm×두께 9.55mm의 직육면체 형상으로 분할했다.
이 분할한 판유리 적층체를 85℃의 온수에 침지하여 박리하고 다수의 판형 유리를 얻었다.
이 유리(21)를 도 1에 도시한 장치를 이용하여 표 1에 나타내는 조건, 하기의 순서에 의해 상하로 요동시키면서 세정하여 세정 효과를 측정했다. 세정은 유리 20장을 간격 10mm의 등간격으로 평행하게 유지하고 수용한 수납 선반(22)에 대해 실시했다. 유리 수납 선반(22)을 5개 사용했다(세정한 유리는 100장이다).
(1)접착제에 의해 접착된 경질 기판 적층체를 방향족 알코올계 세정액(벤질알코올 50질량%, 물 35질량%, 크실렌술폰산나트륨계 계면활성제 15질량%)에 침지시키는 공정
(2)공정(1)에 의해 경질 기판을 침지시킨 상태를 유지하면서 초음파의 발진에 의해 경질 기판상의 접착제를 세정하여 제거하는 공정
(3)이어서 경질 기판 적층체를 글리콜에테르계 세정액(I)(디에틸렌글리콜모노부틸에테르 4.5질량%, 폴리옥시에틸렌라우릴페닐에테르(n=9∼10) 5.5질량%, 물 90질량%)에 침지시키는 공정
(4)공정(3)에 의해 경질 기판을 침지시킨 상태를 유지하면서 초음파의 발진에 의해 경질 기판상에 부착된 상기 방향족 알코올계 세정액을 씻는 공정
(5)이어서 경질 기판상에 부착된 상기 글리콜에테르계 세정액 및 방향족 알코올계 세정액을 샤워수에 의해 씻어내는 공정
세정 효과는 이하와 같이 표 1에 나타냈다. 세정한 유리의 외관을 관찰했다. 세정한 유리 100장 중 세정액과 접착제 성분이 유리 표면에 남지 않은 유리의 장수를 기재했다.
Figure pct00001
　상기 표 1에 나타난 것처럼 유리 위에 부착되는 임시 고정용 자외선 경화형 아크릴 접착제 성분을 제거할 때 세정액 온도를 제어하면서 초음파 주파수를 선정함으로써 유리를 높은 세정성으로 세정할 수 있다는 것을 알 수 있었다.
샤워 폐수를 80℃로 가온하여 샤워 폐수중의 수분을 증발시킴으로써 세정액, 접착제 성분을 고형분으로서 회수할 수 있었다.
＜실험예 2＞
접착제(I) 대신에 접착제(II)를 이용한 것 외에는 실험예 1과 동일하게 수행했다. 접착제(II)로서 가켄테크사제 아크릴계 상온 경화형 임시 고정 2제 접착제 CT-2026A/B를, A제：B제=1：1(질량비)로 혼합하여 제작했다. 접착제(II)의 경화 조건은 이하와 동일하게 하였다. 경화시의 환경 온도는 25℃로 하고 시간은 60분으로 하였다.
세정 효과는 이하와 같이 표 2에 나타냈다.
Figure pct00002
상기 표 2에 나타난 바와 같이 유리 위에 부착되는 상온 경화형 아크릴 접착제 성분을 제거할 때 세정액 온도를 제어하면서 초음파 주파수를 선정함으로써 유리를 높은 세정성으로 세정할 수 있다는 것을 알 수 있었다. 그러나 세정 효과는 접착제(I)가 컸다.
＜실험예 3＞
접착제(I) 대신에 접착제(III)를 이용한 것 외에는 실험예 1과 동일하게 수행했다. 접착제(III)로서 가켄테크사제 에폭시계 임시 고정 접착제CT-2450M(주제), CT-2451H(경화제)를 혼합하여 제작했다. 경화제의 사용량은, 에폭시 수지의 에폭시기 1당량에 대해 경화제의 활성 수소 당량으로 1당량이다. 접착제(III)의 경화 조건은 이하와 같이 하였다. 접착제(III)의 경화에서의 환경 온도는 50℃로 하고 시간은 60분으로 했다.
세정 효과는 이하와 같이 표 3에 나타냈다.
Figure pct00003
상기 표 3에 나타난 것처럼 유리 위에 부착되는 2제 경화형 에폭시 접착제 성분을 제거할 때 세정액 온도를 제어하면서 초음파 주파수를 선정함으로써 유리를 확실하게 세정할 수 있다는 것을 알 수 있었다. 그러나 세정 효과는 접착제(I)이나 접착제(II)가 컸다.
＜실험예 4＞
접착제(I) 대신에 접착제(IV)를 이용한 것 외에는 실험예 1과 동일하게 수행했다.
접착제(IV)로서 하기의 (A)∼(E)의 성분을 혼합하여 임시 고정용 아크릴 자외선 경화형 접착제(IV)를 제작했다.
(A)다관능(메타)아크릴레이트로서 일본합성사제 「UV-3000B」(우레탄 아크릴레이트, 이하 「UV-3000B」로 약칭) 20질량부, 디시클로펜타닐디아크릴레이트(일본화약사제 「KAYARADR-684」, 이하 「R-684」로 약칭) 25질량부,
(B)단관능(메타)아크릴레이트로서 2-히드록시-3-페녹시프로필아크릴레이트(도아합성사제「알로닉스M-5700」, 이하 「M-5700」으로 약칭) 35질량부, 페놀에틸렌옥사이드 2몰 변성 아크릴레이트(도아합성사제「알로닉스M-101A」) 20질량부,
(C)광중합 개시제로서 벤질디메틸케탈(BASF사제「IRGACURE651」), 이하 「BDK」로 약칭) 10질량부,
(D)입자형 물질로서 평균 입경 100㎛의 구형 가교 폴리스티렌 입자(간츠화성사제「GS-100 S」) 1질량부,
(E)중합 금지제로서 2,2-메틸렌-비스(4-메틸-6-터셔리-부틸페놀)(스미토모화학사제「스미라이저MDP-S」, 이하 「MDP」로 약칭) 0.1질량부.
세정 효과는 이하와 같이 표 4에 나타냈다.
Figure pct00004
상기 표 4에 나타난 것처럼 유리 위에 부착되는 임시 고정용 자외선 경화형 아크릴 접착제를 제거할 때 세정액 온도를 제어하면서 초음파 주파수를 선정함으로써 유리를 높은 세정성으로 세정할 수 있다는 것을 알 수 있었다. 세정 효과는 접착제(I)과 같았다.
샤워 폐수를 80℃로 가온하여 샤워 폐수중의 수분을 증발시킴으로써 세정액, 접착제 성분을 고형분으로서 회수할 수 있었다.
＜실험예 5＞
글리콜에테르계 세정액(I) 대신에 글리콜에테르계 세정액(II)(디에틸렌글리콜모노부틸에테르 4.5질량%, 펜타에틸렌글리콜모노도데실에테르 5.5질량%, 폴리옥시에틸렌라우릴아민 5.5질량%, 물 84.5질량%)를 사용한 것 외에는 실험예 1과 동일하게 수행했다.
세정 효과는 이하와 같이 표 5에 나타냈다.
표 5에 나타난 것처럼 유리 위에 부착되는 임시 고정용 자외선 경화형 아크릴 접착제를 제거할 때 폴리옥시에틸렌알킬아민을 함유하는 글리콜에테르계 세정액을 사용함으로써 유리를 높은 세정성으로 세정할 수 있다는 것을 알 수 있었다. 세정 효과는 글리콜에테르계 세정액(I)보다 컸다.
샤워 폐수를 80℃로 가온하여 샤워 폐수중의 수분을 증발시킴으로써 세정액, 접착제 성분을 고형분으로서 회수할 수 있었다.
Figure pct00005
＜실험예 6＞
글리콜에테르계 세정액(I) 대신에 글리콜에테르계 세정액(II)(디에틸렌글리콜모노부틸에테르 4.5질량%, 펜타에틸렌글리콜모노도데실에테르 5.5질량%, 폴리옥시에틸렌라우릴아민 5.5질량%, 물 84.5질량%)를 사용한 것 외에는 실험예 4와 동일하게 수행했다.
세정 효과는 이하와 같이 표 6에 나타냈다.
표 6에 나타난 것처럼 유리 위에 부착되는 임시 고정용 자외선 경화형 아크릴 접착제를 제거할 때 폴리옥시에틸렌알킬아민을 함유하는 글리콜에테르계 세정액을 사용함으로써 유리를 높은 세정성으로 세정할 수 있다는 것을 알 수 있었다. 세정 효과는 글리콜에테르계 세정액(I)보다 컸다.
샤워 폐수를 80℃로 가온하여 샤워 폐수중의 수분을 증발시킴으로써 세정액, 접착제 성분을 고형분으로서 회수할 수 있었다.
Figure pct00006
본 발명은 접착제의 제거에 유효한 방향족 알코올계 세정액을 이용하여 초음파를 발진함으로써 경질 기판을 세정할 수 있다.
본 발명은 BOD, COD가 높은 방향족 알코올계 세정액을 글리콜에테르계 세정액중에 분산 회수함으로써 방향족 알코올계 세정액의 배출을 억제할 수 있다. 본 발명은 물과의 상용성이 높은 글리콜에테르계 세정액을 소량의 물로 씻어낼 수 있다. 본 발명은 세정액을 회수 후 물을 증발시킴으로써 BOD, COD가 높은 세정액 및 접착제를 고체 상태로 회수할 수 있다.
예를 들면 유리 표면상에 UV광이 투과하기 어려운 인쇄 패턴이나 도금패턴 등이 붙어 있는 경우, 그 부분에 인접한 접착제는 유리에 대한 부착성이 높아 유리 적층체와 접착제를 박리해도 유리 표면상에 접착제 성분이 남기 쉽다. 본 발명은 유리 표면상에 UV광이 투과하기 어려운 인쇄 패턴이나 도금 패턴 등이 시행되어 있어도 유리 표면상의 접착제 성분을 세제와 함께 제거할 수 있다. 본 발명의 산업상 이용성은 매우 크다.
1　초음파 세정조
1a　초음파 발진기
2　초음파 세정조
2a　초음파 발진기
3　샤워 세정조
3a　샤워
4　저장조
5　증발기
5a　히터
10　방향족 알코올계 세정액
11　글리콜에테르계 세정액
21　경질 기판
22　수납선반
31　샤워 폐수

Claims (18)

  1. 하기 (1)∼(5)의 공정을 순서대로 실시하는 초음파 세정 방법:
    (1)접착제가 표면에 부착된 경질 기판을 25∼60℃의 방향족 알코올계 세정액에 침지시키는 공정,
    (2)공정(1)에 의해 경질 기판을 침지시킨 상태를 유지하면서 초음파의 발진에 의해 경질 기판상의 접착제를 세정하는 공정,
    (3)이어서 경질 기판을 25∼60℃의 글리콜에테르계 세정액에 침지시키는 공정,
    (4)공정(3)에 의해 경질 기판을 침지시킨 상태를 유지하면서 초음파의 발진에 의해 경질 기판상에 부착된 상기 방향족 알코올계 세정액을 씻는 공정,
    (5)이어서 경질 기판상에 부착된 상기 글리콜에테르계 세정액 및 방향족 알코올계 세정액을 물에 의해 씻어내는 공정.
  2. 하기 (1)∼(5)의 공정을 순서대로 실시하는 초음파 세정 방법:
    (1)광경화성 (메타)아크릴 접착제에 의해 접착된 경질 기판 적층체를 박리하여 얻어진 경질 기판을 25∼60℃의 방향족 알코올계 세정액에 침지시키는 공정,
    (2)공정(1)에 의해 경질 기판을 침지시킨 상태를 유지하면서 초음파의 발진에 의해 경질 기판상의 접착제를 세정하여 제거하는 공정,
    (3)이어서 경질 기판을 25∼60℃의 글리콜에테르계 세정액에 침지시키는 공정,
    (4)공정(3)에 의해 경질 기판을 침지시킨 상태를 유지하면서 초음파의 발진에 의해 경질 기판상에 부착된 상기 방향족 알코올계 세정액을 씻는 공정,
    (5)이어서 경질 기판상에 부착된 상기 글리콜에테르계 세정액 및 방향족 알코올계 세정액을 물에 의해 씻어내는 공정.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 공정(2)의 상기 접착제를 제거하기 위한 초음파의 주파수가 20kHz이상 40kHz이하인 초음파 세정 방법.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 방향족 알코올계 세정액이 방향족 알코올, 물 및 계면활성제를 함유하고, 글리콜에테르 세정액이 글리콜에테르, 물 및 계면활성제를 함유하는 초음파 세정 방법.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 방향족 알코올이 벤질알코올, 페네틸알코올, 히드로신나밀알코올 및 이들의 알킬 치환 유도체에서 선택되는 1종 이상이며, 글리콜에테르가 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르 및 3-메톡시-3-메틸-1-부탄올에서 선택되는 1종 이상인 초음파 세정 방법.
  6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서, 공정(5)는 샤워수를 경질 기판에 분사함으로써 이루어지는 초음파 세정 방법.
  7. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서, 공정(4)의 상기 방향족 알코올계 세정액을 제거하기 위한 초음파의 주파수가 16kHz이상 60kHz이하인 초음파 세정 방법.
  8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서, 공정(5) 후의 폐수를 가온하여 물을 증발시키고 잔존하는 접착제 성분 및 세정액 성분을 회수하는 초음파 세정 방법.
  9. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서, 광경화성 (메타)아크릴 접착제가 (A)다관능(메타)아크릴레이트, (B)단관능(메타)아크릴레이트 및 (C)광중합 개시제를 함유하는 초음파 세정 방법.
  10. 청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 있어서, 글리콜에테르계 세정액이 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬에테르/수계, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬에테르/폴리옥시에틸렌알킬아민/수계, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르/수계, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르/폴리옥시에틸렌알킬아민/수계로 이루어진 군 중 1종 이상인 초음파 세정 방법.
  11. 청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서, 방향족 알코올계 세정액이 벤질알코올/물/크실렌술폰산나트륨계 계면활성제계인 초음파 세정 방법.
  12. 하기 (1)∼(5)의 공정을 순서대로 실시하는 초음파 세정 장치:
    (1)광경화성 (메타)아크릴 접착제에 의해 접착된 경질 기판 적층체를 박리하여 얻어진 경질 기판을 25∼60℃의 방향족 알코올계 세정액에 침지시키는 공정,
    (2)초음파의 발진에 의해 경질 기판상의 접착제를 세정하여 제거하는 공정,
    (3)이어서 경질 기판을 25∼60℃의 글리콜에테르계 세정액에 침지시키는 공정,
    (4)초음파의 발진에 의해 경질 기판상에 부착된 상기 방향족 알코올계 세정액을 씻는 공정,
    (5)이어서 경질 기판상에 부착된 상기 글리콜에테르계 세정액 및 방향족 알코올계 세정액을 물에 의해 씻어내는 공정.
  13. 25∼60℃의 방향족 알코올계 세정액을 함유하고 초음파 발진기가 딸린, 접착제가 표면에 부착된 경질 기판을 세정하기 위한 제1 세정액 조,
    제1 세정액조의 후단에 설치되어 25∼60℃의 글리콜에테르계 세정액을 함유하고 초음파 발진기가 딸린, 상기 경질 기판상에 부착된 상기 방향족 알코올계 세정액을 씻어내기 위한 제2 세정액 조,
    제2 세정액 조의 후단에 설치되어 경질 기판상에 부착된 글리콜에테르계 세정액 및 방향족 알코올계 세정액을 물에 의해 씻기 위한 수세실
    을 구비한, 접착제가 표면에 부착된 경질 기판을 세정하기 위한 장치.
  14. 청구항 13에 있어서, 수세실로부터의 폐액 중에 포함되는 수분을 증발시키기 위한 증발기를 구비한 장치.
  15. 청구항 14에 있어서, 수세실과 증발기 사이에 설치되어 수세실로부터의 폐수를 저장하기 위한 저장조를 구비한 장치.
  16. 청구항 12 내지 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서, 경질 기판상에 부착된 글리콜에테르계 세정액 및 방향족 알코올계 세정액이 샤워수에 의해 씻겨나가는 장치.
  17. 청구항 12 내지 청구항 16 중 어느 한 항에 있어서, 글리콜에테르계 세정액이 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬에테르/수계, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬에테르/폴리옥시에틸렌알킬아민/수계, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르/수계, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르/폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르/폴리옥시에틸렌알킬아민/수계로 이루어진 군 중 1종 이상인 장치.
  18. 청구항 12 내지 청구항 17 중 어느 한 항에 있어서, 방향족 알코올계 세정액이 벤질알코올/물/크실렌술폰산나트륨계 계면활성제계인 장치.
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