KR20130040694A

KR20130040694A - 기판 상면 검출 방법 및 스크라이브 장치

Info

Publication number: KR20130040694A
Application number: KR1020120070614A
Authority: KR
Inventors: 케이고 요시다; 야스토모 오카지마; 마사요시 하야시
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2011-10-14
Filing date: 2012-06-29
Publication date: 2013-04-24
Also published as: JP2013086288A; KR101373001B1; TW201315696A; CN103047935B; CN103047935A; TWI495622B; JP5912395B2

Abstract

(과제) 스크라이브 장치 등에 있어서 기판까지의 거리를 검출하는 경우에 스크라이브 헤드의 상부 위치를 원점으로 하면, 스크라이브 장치마다 원점 위치가 상이하고, 공통된 레시피 테이블을 작성할 수 없다는 결점이 있었다.
(해결 수단) 비(非)접촉 센서를 이용하여 테이블까지의 거리(d1)를 산출하고, 기준 블록까지의 거리(d2)를 산출하고, 그 차(Δd)를 유지(holding)함과 함께, 스크라이브 헤드를 강하하여 기준 블록에 맞닿게 하여 날끝과 테이블과의 차를 검출하고, 테이블의 상면을 영점의 위치로 하여 스크라이브 헤드의 위치를 표현할 수 있도록 한다. 이에 따라 테이블의 상면을 영점으로 하여 기판의 두께를 포함하는 스크라이브 방법을 기술한 레시피 테이블을 작성해 둠으로써, 스크라이브 장치의 종류에 관계없이 동일한 종류의 취성 재료 기판에 대하여 스크라이브 가공을 행할 수 있다.

Description

기판 상면 검출 방법 및 스크라이브 장치{METHOD FOR DETECTING TOP SURFACE OF SUBSTRATE AND SCRIBING APPARATUS}

본 발명은 스크라이브 장치에 이용되고, 테이블 상에 배치되는 취성 재료 기판(brittle material substrate)의 상면을 검출하기 위한 기판 상면 검출 방법 및 스크라이브 장치에 관한 것이다.

종래 스크라이브 장치에서는 특허문헌 1 등에 나타나 있는 바와 같이, 테이블 상에 취성 재료 기판(이하, 단순히 '기판'이라고도 함)이 배치되고, 이 기판에 대하여 스크라이브 헤드를 상하이동함과 함께, 기판의 면에 평행하게 이동시킴으로써 기판을 스크라이브하고 있다. 이때 기판에 소정의 하중을 걸어 스크라이브하기 위해 스크라이브 헤드의 날끝의 위치를 인식해 둘 필요가 있다. 도 1은 종래의 스크라이브 장치의 주요부를 나타내고 있다. 스크라이브 장치는 테이블(101) 상에 배치된 취성 재료 기판(102)에 대하여 상하이동이 자유로운 스크라이브 헤드(103)를 갖고 있으며, 스크라이브 헤드(103)의 상부에는 기준 위치를 설정하기 위한 센서 도그(sensor dog;104)가 설치되어 있다. 센서 도그(104)에서는 투광기로부터 수광기를 향하여 레이저 광이 투광되고 있다. 그리고 스크라이브 헤드(103)에 부착된 차폐판(105)이 레이저 광을 차광하는 위치를 영점으로 하고, 이 점으로부터 하방으로 스크라이브 헤드(103)가 이동했을 때에 정(正)방향으로 한다. 차폐판(105)이 센서 도그(104)의 레이저 광을 차단하면, 스크라이브 헤드(103)는 상승을 정지하기 때문에, 센서 도그(104)의 위치보다 위로는 상승하지 않는다. 즉 스크라이브 헤드(103)의 상하 방향(z축 방향)의 이동 거리는 항상 영 또는 정(正)의 값이 되도록 제어된다.

그리고 종래의 스크라이브 장치 등에서는, 테이블(101) 상에 배치된 취성 재료 기판(102)의 기판 상면까지의 거리를 인식하기 위해, 도 2에 나타내는 바와 같이 스크라이브 헤드(103)를 서서히 저하시킨다. 그리고 취성 재료 기판(102)에 접촉하여 저항이 증가한 시점을 취성 재료 기판(102)의 상면의 위치로서 설정한다. 이때에는 스크라이브 헤드의 날끝이 취성 재료 기판(102)의 제품 부분(102a)을 손상시키지 않게 하기 위해, 취성 재료 기판(102)의 제품이 형성되어 있지 않은 주변의 부분(102b)에 스크라이브 헤드(103)를 맞닿게 하여 거리를 측정하고 있었다.

일본공개특허공보 2011-148098호

이와 같이 종래의 기판의 상면 검출시에서는, 기판의 상면을 검출하기 위해 스크라이브 헤드를 기판에 대하여 하강시키고 있지만, 급격하게 하강시키면 기판에 과대한 힘이 가해져 버린다. 따라서 스크라이브 헤드를 서서히 하강시킬 필요가 있고, 기판의 상면 검출에 시간이 걸린다는 문제점이 있었다. 또한 기판마다 스크라이브 헤드의 영점 위치로부터의 거리를 확인할 필요가 있기 때문에, 기판의 상면 검출은 스크라이브 장치마다 행할 필요가 있었다. 또한 센서 도그의 위치가 스크라이브 장치마다 편차가 있기 때문에, 기판 상면까지의 거리나 스크라이브하는 패턴을 데이터로서 유지(holding)하는 레시피 테이블에 대해서도, 스크라이브 장치마다 상이하게 할 필요가 있다는 문제점이 있었다. 또한 기판의 주변 부분에 스크라이브 헤드를 접촉시키기 때문에, 기판의 중앙 부분까지의 거리는 반드시 정확하지는 않다는 문제점도 있었다.

본 발명은 이러한 종래의 기판의 상면 검출 방법의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 신속하고 그리고 정확하게 검출함과 함께, 스크라이브 장치의 종류에 관계없이 스크라이브할 때에 공통된 레시피 테이블을 이용할 수 있도록 하는 것을 기술적 과제로 한다.

이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 기판 상면 검출 방법은, 테이블 및 기준 블록을 상면에 유지하는 서브 테이블과, 하단에 스크라이빙 휠을 갖고, 상기 서브 테이블에 대하여 상하이동이 자유로운 스크라이브 헤드와, 상기 서브 테이블의 상면측 상방의 위치에 유지되어 하방의 반사면까지의 거리를 측정하는 비(非)접촉 변위계를 갖는 스크라이브 장치에 있어서의 기판 상면 검출 방법으로서, 상기 서브 테이블 상의 상기 테이블의 상면까지의 거리(d1)를 상기 비접촉 변위계에 의해 검출하고, 상기 서브 테이블 상에 배치된 기준 블록의 상면까지의 거리(d2)를 상기 비접촉 변위계에 의해 검출하고, 상기 테이블과 기준 블록과의 z축 방향의 차(Δd＝d2―d1)를 등록하고, 기준 위치로부터 스크라이브 헤드를 하강시켜 상기 기준 블록의 상면에 맞닿을 때까지의 거리(d3)를 등록하고, 스크라이브 헤드로부터 본 상기 테이블의 상면(d3―Δd)을 영점으로서 설정하고, 상기 테이블 상에 가공 대상이 되는 취성 재료 기판을 배치하고, 상기 비접촉 변위계에 의해 취성 재료 기판 중 적어도 일점까지의 거리(d4)를 검출하고, 상기 취성 재료 기판의 높이(D4)를 (D4＝d1―d4)로 하고, (d3―Δd)―D4를 스크라이빙 헤드로부터 상기 취성 재료 기판까지의 거리로 하는 것이다.

여기에서, 상기 취성 재료 기판의 높이를 상기 취성 재료 기판의 기능 영역을 포함하는 복수 부분에 대해서 측정하고, 그 평균치를 산출하여 구하도록 해도 좋다.

이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 스크라이브 장치는, 테이블 및 기준 블록을 상면에 유지하는 서브 테이블과, 하단에 스크라이브 헤드를 갖고, 상기 서브 테이블에 대하여 상하이동이 자유로운 스크라이브 헤드와, 상기 서브 테이블의 상면측 상방(예를 들면, CCD 카메라(27) 안쪽)의 위치에 유지되어, 하방의 반사면까지의 거리를 측정하는 비접촉 변위계와, 상기 스크라이브 헤드와 상기 테이블 상의 취성 재료 기판을 그 기판의 스크라이브되는 면에 평행한 방향에서 상대적으로 이동시키는 이동 수단과, 상기 서브 테이블의 상면을 영의 위치로 하여 상기 테이블 상에 가공 대상이 되는 취성 재료 기판을 배치하고, 상기 이동 수단 및 스크라이브 헤드를 이동시켜 스크라이브하는 제어부를 구비하는 것이다.

여기에서 상기 제어부는, 상기 서브 테이블 상의 테이블의 상면까지의 거리(d1) 및 기준 블록의 상면까지의 거리(d2)를 각각 상기 비접촉 변위계에 의해 검출하고, 기준 위치로부터 스크라이브 헤드를 하강시켜 상기 기준 블록의 상면에 맞닿을 때까지의 거리(d3)를 검출하고, d2―d1을 Δd로 하면 스크라이브 헤드로부터 본 상기 테이블의 상면(d3―Δd)을 영점으로서 설정하고, 상기 비접촉 변위계에 의해 취성 재료 기판 중 적어도 일점까지의 거리(d4)를 검출하고, 상기 취성 재료 기판의 높이(D4)를 (D4＝d1―d4)로 하고, (d3―Δd)―D4를 스크라이빙 헤드로부터 상기 취성 재료 기판까지의 거리로 해도 좋다.

여기에서 상기 제어부는, 상기 취성 재료 기판의 높이를 상기 취성 재료 기판의 기능 영역을 포함하는 복수 부분에 대해서 측정하고, 그 평균치를 산출하여 구하도록 해도 좋다.

이러한 특징을 갖는 본 발명에 의하면, 테이블의 상면을 영점으로서 설정하고 있고, 테이블 상에 배치되는 취성 재료 기판의 상면까지의 거리가 레시피 테이블에 설정되기 때문에, 스크라이브 장치의 종류에 관계없이 동일 종류의 기판에 대해서는 공통된 레시피 테이블을 이용할 수 있다. 또한 취성 재료 기판의 주변 부분이 아니라 제품이 구성되어 있는 부분에 빛을 조사하여 비접촉으로 그 높이를 검출하기 때문에, 신속하게 기판의 상면의 높이를 설정할 수 있다는 효과가 얻어진다. 또한 청구항 2 및 5의 발명에서는, 취성 재료 기판의 제품이 구성되어 있는 복수 부분에 빛을 조사하여 거리를 측정하고, 평균치를 이용하기 때문에, 보다 정확하게 기판의 높이를 설정할 수 있다는 효과가 얻어진다.

도 1은 종래의 스크라이브 장치에 있어서의 기판의 상면 검출 전의 주요부를 나타내는 도면이다.
도 2는 종래의 스크라이브 장치에 있어서의 기판의 상면 검출시의 동작을 나타내는 도면이다.
도 3a는 본 발명의 실시 형태에 의한 기판 상면 검출 방법을 적용한 스크라이브 장치의 일 예를 나타내는 개략 사시도이다.
도 3b는 이 스크라이브 장치의 주요부를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 실시 형태에 의한 스크라이브 장치의 테이블을 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 실시 형태가 적용되는 스크라이브 장치의 컨트롤러를 나타내는 블록도이다.
도 6a는 영점 검출시의 서브 테이블 상의 테이블까지의 레이저 변위계에 의한 거리 측정을 나타내는 도면이다.
도 6b는 영점 검출시의 서브 테이블 상의 기준 블록까지의 레이저 변위계에 의한 거리 측정을 나타내는 도면이다.
도 6c는 영점 검출시의 서브 테이블 상의 기준 블록까지의 스크라이브 헤드에 의한 거리 측정을 나타내는 도면이다.
도 6d는 테이블 상의 취성 재료 기판의 높이를 측정하는 상태를 나타내는 도면이다.
도 7은 영점 검출 및 레시피 테이블 작성시의 동작을 나타내는 플로우 차트이다.
도 8은 레이저 변위계에 의한 기판의 측정점을 나타내는 도면이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

도 3a는, 본 발명의 실시 형태에 의한 기판 상면 검출 장치를 적용한 스크라이브 장치의 일 예를 나타내는 개략 사시도이다. 이 스크라이브 장치(10)는, 이동대(11)가 한 쌍의 안내 레일(12a, 12b)을 따라서, y축 방향으로 이동이 자유롭게 유지되어 있다. 볼 나사(13)는 이동대(11)와 나사결합되어 있다. 볼 나사(13)는 모터(14)의 구동에 의해 회전되고, 이동대(11)를 안내 레일(12a, 12b)을 따라서 y축 방향으로 이동시킨다. 이동대(11)의 상면에는 모터(15)가 설치되어 있다. 모터(15)는 서브 테이블(16)을 xy 평면에서 회전시켜 소정 각도로 위치 결정하는 것이다.

스크라이브 장치(10)에는, 이동대(11)와 그 상부의 서브 테이블(16)을 걸치도록 브리지(20)가 x축 방향을 따라서 지주(21a, 21b)에 의해 설치되어 있다. 브리지(20)는 서보 모터(23)에 의해 스크라이브 헤드(22) 및 CCD 카메라(27)를 이동이 자유롭게 유지하고 있다. 스크라이브 헤드(22)의 선단부에는, 홀더(24)를 통하여 스크라이빙 휠(25)이 부착되어 있다. CCD 카메라(27)는 서브 테이블(16) 상의 상태를 모니터하기 위한 카메라이다. 서보 모터(23)는 볼 나사(26)를 회전시킴으로써 스크라이브 헤드(22) 및 CCD 카메라(27)를 안내 레일(28a, 28b)에 의해 x축 방향을 따라서 직선 구동하는 것이다. 스크라이브 헤드(22)는, 스크라이빙 휠(25)을 취성 재료 기판의 표면 상에 적절한 하중으로 압접하면서 전동(rolling)시켜, 스크라이브 라인을 형성하는 것이다.

다음으로 서브 테이블(16) 상에 배치되는 테이블과 워크에 대해서 도 4를 이용하여 설명한다. 본 실시 형태에서는 서브 테이블(16) 상에 4개의 테이블(31, 32, 33, 34)이 설치되어 있고, 또한 그 측방에는 기준 블록(35)이 설치된다. 기준 블록(35)의 높이는 4개의 테이블(31～34)과 거의 동일하고, 예를 들면 1.5㎜의 높이를 갖는 것으로 한다. 테이블(31～34)의 상면에는 각각 취성 재료 기판(36～39)이 고정된다. 취성 재료 기판(36～39)은 예를 들면 저온 소성 세라믹스 기판이고, 도시하지 않는 진공 흡인 수단 등에 의해 테이블(31～34) 상에 유지된다.

또한 도 3b에 나타내는 바와 같이 브리지(20)에는 CCD 카메라(27) 안쪽의 위치에 서브 테이블과의 사이의 거리를 측정하기 위한 레이저 변위계(41)가 고정되어 있다. 레이저 변위계(41)는 후술하는 바와 같이, 서브 테이블(16)의 상부에 배치되는 기판 및 기준 블록까지의 높이를 검출하는 비접촉 변위계이다.

또한 스크라이브 헤드(22)에는 그 상단 위치에 센서 도그(42)가 배치되어 있다. 센서 도그(42)는 한 쌍의 투수광기로 이루어지는 광전 센서에 의해 구성되어 있고, 그 광전 센서의 빛을 차폐할 수 있는 바와 같은 차폐판(43)이 스크라이브 헤드(22)에 설치된다. 센서 도그(42)의 광전 센서의 빛을 차폐판(43)이 차폐하는 위치가 스크라이브 헤드(22)의 최상단 위치가 되고, 항상 이보다 하방에 위치하도록 제어되고 있다.

또한 서보 모터(44)는 스크라이브 헤드(22)를 z축 방향으로 이동시키는 모터이고, 그 축에는 서보 인코더(45)가 설치된다. 또한 서보 모터(44)의 출력축에는 풀리(46a)가 부착되고, 풀리(46a, 46b)와 그 사이에 걸쳐져 있는 전달 벨트(47)를 통하여 볼 나사(48)에 회전력이 전해진다. 스크라이브 헤드(22)는 볼 나사(48)의 회전에 의해 상하이동하도록 구성되어 있다.

여기에서 이동대(11), 안내 레일(12a, 12b)이나 서브 테이블(16) 및 이들을 구동하는 모터(14, 15) 및 스크라이브 헤드(22)를 이동시키는 서보 모터(23)는, 스크라이브 헤드와 취성 재료 기판을 그 기판의 스크라이브되는 면에 평행한 방향에서 상대적으로 이동시키는 이동 수단을 구성하고 있다.

다음으로 본 실시 형태에 의한 스크라이브 장치(10)의 컨트롤러의 구성에 대해서, 블록도를 이용하여 설명한다. 도 5는 스크라이브 장치(10)의 컨트롤러(50)의 블록도이다. 본 도면에 있어서 CCD 카메라(27)로부터의 출력은 컨트롤러(50)의 화상 처리부(51)를 통하여 제어부(52)로 부여된다. 입력부(53)는 레시피 테이블 작성시에 필요한 데이터를 입력하는 것이다. 제어부(52)에는 X 모터 구동부(54)가 접속되고, 또한 Y 모터 구동부(55), 회전용 모터 구동부(56) 및 스크라이브 헤드 구동부(57)가 접속된다. X 모터 구동부(54)는 서보 모터(23)를 구동하는 것이다. Y 모터 구동부(55)는 모터(14)를 구동하는 것이다. 회전용 모터 구동부(56)는 모터(15)를 구동하는 것이다. 스크라이브 헤드 구동부(57)는 모터(44)를 구동하는 것이다. 제어부(52)는 스크라이브 라인의 데이터에 기초하여, 서브 테이블(16)의 y축 방향의 위치를 제어하고, 서브 테이블(16)을 회전 제어한다. 또한 제어부(52)는 스크라이브 헤드 구동부(57)를 통하여 스크라이브 헤드를 z축 방향으로 구동함과 함께, 스크라이빙 휠(25)의 전동시에 스크라이빙 휠(25)이 취성 재료 기판의 표면 상을 적절한 하중으로 압접하도록 구동하는 것이다. 또한 제어부(52)에는 모니터(58) 및 데이터 유지부(59)가 접속된다. 데이터 유지부(59)는 후술하는 촬상 포인트의 위치 데이터나 스크라이브를 위한 스크라이브 데이터를 유지하는 것이다. 또한 제어부(52)에는 스크라이브 헤드를 z 방향으로 구동하는 모터에 연결된 서보 인코더(45) 및 레이저 변위계(41)의 출력이 입력되어 있다. 제어부(52)는 이들 입력에 기초하여 후술하는 바와 같이 테이블의 상면과 기판의 상면 위치를 검출하여, 스크라이브를 실행할 수 있도록 하는 것이다.

다음으로 본 실시 형태에 의한 테이블의 영점 위치 검출 및 그 후의 레시피 테이블 작성에 대해서 설명한다. 도 6a～도 6d는 스크라이브 장치의 서브 테이블(16) 상의 1개의 테이블(31)과 레이저 변위계(41), 스크라이브 헤드(22) 등을 나타내는 개략도이고, 도 7은 플로우 차트이다.

우선 도 6a에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(22)가 가장 상부 위치이고, 차폐판(43)이 센서 도그(42)의 광전 센서의 빛을 차폐하는 위치로 한다. 그리고 도 7에 나타내는 스텝 S1에 있어서, 테이블(31)을 교환했을 때에 서브 테이블(16) 상에 설치되는 테이블(31)의 상면 위치를 레이저 변위계(41)에 의해 측정한다. 이때의 테이블(31)까지의 거리를 d1로 하면, 일단 데이터 유지부(59)에 유지한다.

스텝 S2에 있어서, 도 6b에 나타내는 바와 같이 레이저 변위계(41)의 하방에 기준 블록(35)이 위치하도록 서브 테이블(16)을 이동시킨다. 그리고 기준 블록(35) 상에 레이저 광을 조사하여 레이저 변위계(41)에 의해 기준 블록(35)의 상면의 위치를 검출한다. 이때 기준 블록(35)의 상면까지의 거리를 d2로 한다.

이어서 스텝 S3에 있어서 측정된 d1과 d2와의 차(d2―d1)를 파라미터(Δd)로서 등록한다. Δd는 기준 블록(35)과 테이블(31)과의 z축 방향의 차이다.

또한 스텝 S4에 있어서 도 6c에 나타내는 바와 같이 서브 테이블(16)을 이동시켜, 스크라이브 헤드(22)의 바로 아래에 기준 블록(35)이 위치하도록 한다. 그리고 기준 위치로부터 스크라이브 헤드(22)를 하강시켜, 그 날끝이 기준 블록(35)의 상면에 맞닿을 때까지 하강시킨다. 이때 서보 인코더(45)로 검출되는 거리를 d3으로 하고, 메모리 파라미터로서 등록한다. 이렇게 하여 스텝 S1～S4에 의해 스크라이브 헤드의 날끝의 선단과 테이블의 상면과의 거리를 인식할 수 있다. 즉 테이블(36)은 스크라이브 헤드로부터 보아 d3―Δd의 위치가 상면이 된다. 이 거리를 영점으로서 등록한다(스텝 S5).

그 후 도 6d에 나타내는 바와 같이, 스텝 S6에 있어서 테이블(31) 상에 스크라이브의 가공 대상이 되는 취성 재료 기판(36)을 배치한다. 취성 재료 기판(36)은 그 내측에 다수의 기능 영역이 격자 형상으로 형성된 저온 소성 세라믹 기판으로 한다. 그리고 이 기판의 상면까지의 거리를 레이저 변위계(41)를 이용하여 측정한다. 이때 기판(36)의 복수점의 거리를 측정하는 것이 바람직하고, 예를 들면 도 8에 나타내는 바와 같이 기판(36)의 중심(61)과 그 주위의 점(62～65), 합계 5점에 대해서 레이저 변위계에 의해 거리를 검출한다. 그리고 계측한 5점의 거리의 평균치를 d4로 하면, 이 값을 레이저 변위계(41)로부터 기판(36)의 상면까지의 거리로서 인식한다. 단 테이블(31)의 상면을 영점으로 하고 있기 때문에, 도 6a, 도 6b로부터 분명한 바와 같이 기판(36)의 높이(D4)는 (d1―d4)이다. 스텝 S7에서는 스크라이브 헤드(22)로부터 기판(36)의 상면까지의 거리를 도 6d에 나타내는 바와 같이 (d3―Δd)―D4로 하여 산출한다. 이 거리 계측은 레이저 변위계(41)에 의한 비접촉의 검출이기 때문에, 취성 재료 기판을 조금도 손상시키는 일 없이, 매우 단시간에 계측을 끝낼 수 있다. 또한 기판이 저온 소성 세라믹 기판 등의 두께의 편차가 큰 기판이라도, 복수 개소에 대해서 기판의 두께를 측정할 수 있기 때문에, 보다 정확하게 기판의 높이의 데이터를 얻을 수 있다.

이렇게 하여 기판의 두께를 검출한 후, 레시피 테이블에 기판의 높이에 기초하여 스크라이브 헤드를 하강시키는 거리를 레시피 테이블에 기입하고, 레시피 테이블을 완성시킨다(스텝 S8).

이렇게 하여 완성한 레시피 테이블에 기초하여 취성 재료 기판을 스크라이브 한다. 또한 다른 취성 재료 기판을 다른 스크라이브 장치에서 동일하게 스크라이브하는 경우라도, 이 레시피 테이블을 읽어내 기판에 가하는 하중을 산출하여 스크라이브를 행한다. 이와 같이 레시피 테이블에 대해서는 기판의 종류가 정해지면 스크라이브 장치의 종류를 변경해도 그대로 적용할 수 있다.

또한 전술한 실시 형태에서는 비접촉 변위계의 예로서 레이저 변위계를 이용하고 있지만, 비접촉으로 기판이나 테이블의 상면까지의 거리를 정확하게 검출할 수 있는 것이면 다른 변위계라도 좋다.

본 발명은 스크라이브 장치의 테이블의 기준 위치를 검출하기 위한 것으로, 스크라이브 장치에 적합하게 이용할 수 있다.

10 : 스크라이브 장치
16 : 서브 테이블
22 : 스크라이브 헤드
23 : 서보 모터
24 : 홀더
25 : 스크라이빙 휠
27 : CCD 카메라
31～34 : 테이블
36～39 : 취성 재료 기판
41 : 레이저 변위계
42 : 센서 도그(sensor dog)
43 : 차폐판
44 : 서보 모터
45 : 서보 인코더
50 : 컨트롤러
52 : 제어부
53 : 입력부
59 : 데이터 유지부

Claims

테이블 및 기준 블록을 상면에 유지(holding)하는 서브 테이블과, 하단에 스크라이빙 휠을 갖고, 상기 서브 테이블에 대하여 상하이동이 자유로운 스크라이브 헤드와, 상기 서브 테이블의 상면측 상방의 위치에 유지되어 하방의 반사면까지의 거리를 측정하는 비(非)접촉 변위계를 갖는 스크라이브 장치에 있어서의 기판 상면 검출 방법으로서,
상기 서브 테이블 상의 상기 테이블의 상면까지의 거리(d1)를 상기 비접촉 변위계에 의해 검출하고,
상기 서브 테이블 상에 배치된 기준 블록의 상면까지의 거리(d2)를 상기 비접촉 변위계에 의해 검출하고,
상기 테이블과 기준 블록과의 z축 방향의 차(Δd＝d2―d1)를 등록하고,
기준 위치로부터 스크라이브 헤드를 하강시켜 상기 기준 블록의 상면에 맞닿을 때까지의 거리(d3)를 등록하고,
스크라이브 헤드로부터 본 상기 테이블의 상면(d3―Δd)을 영점으로서 설정하고,
상기 테이블 상에 가공 대상이 되는 취성 재료 기판을 배치하고, 상기 비접촉 변위계에 의해 취성 재료 기판 중 적어도 일점까지의 거리(d4)를 검출하고, 상기 취성 재료 기판의 높이(D4)를 (D4＝d1―d4)로 하고, (d3―Δd)―D4를 스크라이빙 헤드로부터 상기 취성 재료 기판까지의 거리로 하는 기판 상면 검출 방법.
제1항에 있어서,
상기 취성 재료 기판의 높이를 상기 취성 재료 기판의 기능 영역을 포함하는 복수 부분에 대해서 측정하고, 그 평균치를 산출하여 구하는 기판 상면 검출 방법.
테이블 및 기준 블록을 상면에 유지하는 서브 테이블과,
하단에 스크라이브 헤드를 갖고, 상기 서브 테이블에 대하여 상하이동이 자유로운 스크라이브 헤드와,
상기 서브 테이블의 상면측 상방의 위치에 유지되어, 하방의 반사면까지의 거리를 측정하는 비접촉 변위계와,
상기 스크라이브 헤드와 상기 테이블 상의 취성 재료 기판을 그 기판의 스크라이브되는 면에 평행한 방향에서 상대적으로 이동시키는 이동 수단과,
상기 서브 테이블의 상면을 영점의 위치로 하여 상기 테이블 상에 가공 대상이 되는 취성 재료 기판을 배치하고, 상기 이동 수단 및 스크라이브 헤드를 이동시켜 스크라이브하는 제어부를 구비하는 스크라이브 장치.
제3항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 서브 테이블 상의 테이블의 상면까지의 거리(d1) 및 기준 블록의 상면까지의 거리(d2)를 각각 상기 비접촉 변위계에 의해 검출하고, 기준 위치로부터 스크라이브 헤드를 하강시켜 상기 기준 블록의 상면에 맞닿을 때까지의 거리(d3)를 검출하고, d2―d1을 Δd로 하면 스크라이브 헤드로부터 본 상기 테이블의 상면(d3―Δd)을 영점으로서 설정하고, 상기 비접촉 변위계에 의해 취성 재료 기판 중 적어도 일점까지의 거리(d4)를 검출하고, 상기 취성 재료 기판의 높이(D4)를 (D4＝d1―d4)로 하고, (d3―Δd)―D4를 스크라이빙 헤드로부터 상기 취성 재료 기판까지의 거리로 하는 스크라이브 장치.
제4항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 취성 재료 기판의 높이를 상기 취성 재료 기판의 기능 영역을 포함하는 복수 부분에 대해서 측정하고, 그 평균치를 산출하여 구하는 스크라이브 장치.