KR20130035901A

KR20130035901A - 접합 부재의 제조장치 및 접합 부재의 제조방법

Info

Publication number: KR20130035901A
Application number: KR1020120106258A
Authority: KR
Inventors: 히데유키 고카지; 고지 야마구치
Original assignee: 오리진 일렉트릭 캄파니 리미티드
Priority date: 2011-09-30
Filing date: 2012-09-25
Publication date: 2013-04-09
Also published as: JP5411905B2; US20160263816A1; CN103031068B; CN103031068A; US20130081751A1; US10322547B2; KR101738184B1; TWI553376B; US9375905B2; JP2013078860A; TW201321836A

Abstract

[과제] 2매의 기판을 맞붙여서 접합 부재를 제조하는 경우에, 한쪽의 기판이 얇은 경우에도, 기판간의 상대적인 차이의 발생을 방지하고, 표면의 변형의 발생을 방지하여, 막두께를 균일하게 한다.
[해결 수단] 제 1의 기판(11)과 제 2의 기판(12)을 접합하는 접합 부재의 제조장치(10)로서, 제 1의 기판(11)상에 액체상태의 수지막(13)을 형성하는 수지막 형성 수단(20)과, 수지막 형성 수단(20)으로 형성된 수지막(13)의 외주 단부(14)를 미경화 상태로 유지하고, 외주 단부(14)로 둘러싸인 내주부(15)를 반경화 상태로 경화시키는 반경화 수단(30)과, 제 2의 기판(12)을, 외주 단부(14)가 미경화 상태이고 내주부(15)가 반경화 상태인 수지막(13)에, 외주 단부(14)의 한쪽의 단부를 기점(16)으로 해서, 기점(16)으로부터 반대측의 단부까지, 눌러서 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하도록 접촉시켜, 제 1의 기판(11)과 제 2의 기판(12)을 맞붙이는 기판 맞붙임 수단(40)을 구비한다.

Description

접합 부재의 제조장치 및 접합 부재의 제조방법{BONDED MEMBER MANUFACTURING APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING BONDED MEMBER}

본 발명은 접합 부재의 제조장치 및 접합 부재의 제조방법에 관한 것이다. 자세하게는, 수지막의 경화 상태를 조정해서 접합 부재로서의 2매의 기판을 접합하는 접합 부재의 제조장치 및 접합 부재의 제조방법에 관한 것이다.

종래, 접합 부재의 제조, 특히 액정 패널과 같이 기판이 원형상이 아닌 광학 디바이스의 제조에 있어서는, 이른바, 피쉬 본(fish bone)과 같은 형상으로 수지를 도포해서 맞붙이고 있었다. 즉, 한쪽의 기판의 중심 부근에 주요부가 되는 수지를 도포하고, 그 주요부로부터 기판의 외주(外周)를 향해 복수의 유도부를 도포한 후에, 다른쪽의 기판과 서로 마주 보게 하고, 쌍방의 간격을 서서히 접근하면서 도포한 수지를 기판 전체에 퍼지도록 맞붙임을 행하고 있었다. (특허문헌 1, 2 참조)

도 18에 종래의 접합 방법을 모식적으로 나타낸다. 비교적 두께가 있는 기판(11E, 12E)끼리의 맞붙임에 대해서는, 한쪽의 기판(12E)을 유지 수단(41E)에 의해 유지한 상태로, 유지 수단(41E)의 네 모퉁이의 잘림부(17E)로부터 자외선 조사 수단(31E)으로 자외선을 조사해서 가부착하는 것으로, 접합 후에 유지 상태를 해제해도, 서로 겹쳐진 2매의 기판(11E, 12E)의 초기 상태를 유지할 수 있었다.

일본 공개특허공보 평성 2011-22508호 일본 공개특허공보 평성 2011-67802호

그러나, 2매의 기판 중 하나 이상이 얇은 기판인 경우에는, 맞붙임 후의 막두께를 균일하게 유지하는 것이 곤란했다. 예를 들면, 유지 수단의 유지면의 형상이나, 흡착구멍의 존재에 의해서, 필름형상의 기판의 표면에 변형이 발생하고, 막두께의 균일성에 크게 영향을 준다.

종래의 유지 수단에 의해 필름형상의 얇은 기판을 유지 수단(41E)으로 유지한 상태로, 유지 수단(41E)의 네 모퉁이의 잘림부(17E)로부터 자외선 조사 수단(31E)으로 자외선을 조사해서 가부착한 경우에는, 다음과 같은 문제가 생긴다. 즉, 유지 수단(41E)의 단부와 기판(11E)과의 사이로부터 기판 내부에 입사하는 광이 유지 수단(41E)과 기판(11E)과의 사이에서 산란하거나, 자외선이 차단되고 있는 영역과 자외선이 조사되고 있는 영역이 발생하는 것에 의해, 자외선의 조사량에 차이가 발생하고, 수지막(13E)에 경화 얼룩이 발생한다. 그 때문에, 필름형상의 기판의 표면에 변형(꾸불거림)이 발생하여 막두께를 균일하게 유지할 수 없다고 하는 문제가 있었다.

여기서, 맞붙임 후의 수지막의 경화 공정에 있어서, 필름형상의 기판을 유지하고 있는 유지 수단(41E)을 떼어, 필름형상의 기판을 유지하지 않고 경화를 행할 수 있으면, 유지 수단(41E)이 장해가 되지 않고 수지막(13E)을 균일하게 경화할 수 있다. 그러나, 필름형상의 기판으로부터 유지 수단(41E)을 떼면, 기판(11E)상의 최적인 위치에 서로 겹쳐진 필름형상의 기판이 어긋나 버린다고 하는 문제가 있었다.

한편, 기판 사이에 상대적인 차이가 존재하거나, 필름형상의 기판의 표면에 변형(꾸불거림)이 발생해서 막두께가 불균일하게 되면, 시인성(視認性)을 현저하게 저하시키는 동시에 외관을 손상시킨다. 게다가, 필름형상의 기판으로서 터치 패널을 기판에 맞붙이는 경우에는, 터치 센서의 감도가 불균일하게 되어 버린다.

본 발명은, 2매의 기판을 맞붙여서 접합 부재를 제조하는 경우에, 한쪽의 기판이 얇은 기판인 경우에도, 기판간의 상대적인 차이의 발생을 방지하는 동시에, 얇은 기판의 표면에 변형(꾸불거림)이 발생하는 것을 방지하고, 막두께를 균일하게 하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제 1의 형태에 관한 접합 부재의 제조장치(10)는, 예를 들면 도 1에 도시하는 바와 같이(각 부분에 대해서는 도 3 참조), 제 1의 기판(11)과 제 2의 기판(12)을 접합하는 접합 부재의 제조장치(10)로서, 제 1의 기판(11)상에 액체상태의 수지막(13)을 형성하는 수지막 형성 수단(20)과, 수지막 형성 수단(20)으로 형성된 수지막(13)의 외주 단부(14)를 미경화 상태로 유지하고, 외주 단부(14)로 둘러싸인 내주부(內周部)(15)를 반경화 상태로 경화시키는 반경화 수단(30)과, 제 2의 기판(12)을, 외주 단부(14)가 미경화 상태이고 내주부(15)가 반경화 상태인 수지막(13)에, 외주 단부(14)의 한쪽의 단부를 기점(16)으로 해서, 기점(16)으로부터 반대측의 단부까지, 눌러서 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하도록 접촉시켜, 제 1의 기판(11)과 제 2의 기판(12)을 맞붙이는 기판 맞붙임 수단(40)을 구비한다.

여기에 있어서, 접합 부재란 2 이상의 부재가 접합제(접착제)에 의해 맞붙여져서 제조된 것을 말한다. 따라서, 접합 부재의 제조장치란, 2 이상의 부재를 접합제를 이용하여 맞붙이는 장치를 말한다. 본 명세서에서는 제 1의 기판(11)과 제 2의 기판(12)을 맞붙이는 경우를 취급한다. 제 1의 기판(11)과 제 2의 기판(12)으로서 임의의 기판을 선택할 수 있지만, 전형예로서, 제 1의 기판(11)이 액정 패널 등의 광학 디바이스용 기판, 제 2의 기판(12)으로서, 보호 필름 등의 투명한 얇은 기판의 예를 취급한다. 기판의 형상은, 전형적으로는 장방형 평판 형상이지만, 장방형에 한정되지 않고 원형, 하트형 등 임의의 형상이 가능하고, 평판 형상으로 한정되지 않고 다소의 만곡, 요철, 두께의 변화가 있어도 좋고, 플렉시블한 재료로 구성되어 있어도 좋다. 수지막(13)의 외주 단부(14)란, 제 1의 기판(11)에 도포된 수지막(13)을, 제 1의 기판(11)의 법선 방향에서 보았을 때의 외주로부터 소정의 폭 내의 영역을 말한다. 소정의 폭은 적절히 정할 수 있지만, 여기에서는, 액체상태의 수지 도포시에, 외주에 다른 부분에 비해서 부풀어오른 부분이 생기기 때문에, 이러한 부풀어오름이 생기는 폭과 거의 일치하거나, 그것을 조금 넘으면(예를 들면 상기 폭의 1～2배) 좋은 것으로 한다. 내주부(15)란 도포된 수지막(13) 중, 외주 단부(14)에 둘러싸인 영역을 말한다.

또, 수지막(13)의 경화 상태에 대해서, 제품으로서 충분한 경도를 갖는 상태를 완전 경화 상태라고 하며, 반경화 상태란, 완전 경화 상태보다도 경화도가 낮고, 제 2의 기판(12)에 대한 접착성이 남아 있는 상태를 말한다. 또, 탄성 계수(응력/변형)가 완전 경화 상태보다도 작은 상태를 말한다. 미경화 상태란 경화 처리(자외선 조사)되어 있지 않거나, 경화 처리가 되었다고 해도 충분하지 않고, 액체상태가 유지되고 있는 상태, 즉 유동성을 유지하고 있는 상태를 말한다.

본 형태와 같이 구성하면 2매의 기판을 맞붙여서 접합 부재를 제조하는 경우에, 한쪽의 기판이 얇은 기판인 경우에도, (1) 수지막(13)의 내주부(15)가 반경화하고 있는 것으로 수지가 증점(增粘)되고, 한쪽의 기판을 다른쪽의 기판에 맞붙일 때에, 한쪽의 기판이 다른쪽의 기판에 가부착되기 때문에, 기판간의 상대적인 차이의 발생을 방지하고, (2) 얇은 기판의 표면에 변형(꾸불거림)이 발생하는 것을 방지하여, 막두께를 균일하게 하는 접합 부재의 제조장치(10)를 제공할 수 있다.

또, 본 발명의 제 2의 형태에 관한 접합 부재의 제조장치(10)는, 예를 들면 도 1 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 제 1의 형태에 있어서, 반경화 수단(30)은, 수지막(13)을 경화하는 자외선을 조사하는 자외선 조사 수단(31)과, 수지막 형성 수단(20)에서 형성된 수지막(13)의 외주 단부(14)에 조사되어야 하는, 자외선 조사 수단(31)에 의한 자외선을 차단하는 광차단 수단(32)을 갖는다.

상기 광차단 수단(32)은, 상기 외주 단부(14)를 상기 자외선 조사 수단(31)에 의한 자외선의 조사로부터 차폐하는 차폐 수단으로 하는 것이 바람직하다.

이와 같이 구성하면, 광차단 수단(32)을 이용하여 자외선 조사를 행하는 것에 의해, 제 1의 기판(11)에 형성된 수지막(13)에 대해서, 확실히, 외주 단부(14)를 미경화 상태로 유지하고, 내주부(15)를 반경화 상태로 경화시킬 수 있다. 또, 예를 들면, 자외선 조사 시간 또는 자외선의 강도를 제어하는 것에 의해 반경화 상태를 적절히 조정할 수 있다.

또, 본 발명의 제 3의 형태에 관한 접합 부재의 제조장치(10)는, 예를 들면 도 5에 도시하는 바와 같이, 제 1 또는 제 2의 형태에 있어서, 제 2의 기판(12)이 투명성의 고분자 필름이며, 기판 맞붙임 수단(40)은, 제 1의 기판(11)을 탑재하는 탑재 수단(21)과, 제 2의 기판(12)을 제 1의 기판(11)측에 누르면서, 외주 단부(14)의 한쪽의 단부측에서 다른쪽의 단부측으로 굴림으로써, 제 2의 기판(12)을 제 1의 기판(11)에 맞붙이는 롤러 수단(42)을 갖는다.

여기에 있어서, 제 2의 기판(12)으로서의 고분자 필름에는, 투명성이 요구되지만, 제 1의 기판(11)을 구성하는 광학 디바이스에 따라서 여러 가지 특성이 요구된다. 고분자 필름은, 제 1의 기판(11)이 액정 패널과 같은 광디바이스인 경우에는, 투명성과 액정 패널의 표면을 오염으로부터 보호하는 보호 기능을 갖는다. 그 외에, 휴대 전화에 이용하는 경우에는, 광학 보상에 사용되는 폴리카보네이트(PC)계 필름이 바람직하고, 터치 패널에 이용하는 경우에는, 싱크로올레핀(COP)계 필름이 바람직하다. 또, 본 명세서에서는, 제 1의 기판(11)을 탑재하는 것을 탑재 수단(21), 제 2의 기판(12)을 유지하는 것을 유지 수단(41)(제 4의 형태 참조)으로서 구별하는 것으로 하지만, 탑재 수단(21)에서도 유지용 진공 흡착구멍이나 돌기를 가지고 유지 기능을 가져도 좋고, 유지 수단(41)에서도 단지 탑재할 뿐인 것이어도 좋다.

이와 같이 구성하면, 제 2의 기판(12)을 제 1의 기판(11)상에 도포된 수지막(13)에 맞붙일 때에, 내주부(15)를 반경화 상태로 한 수지막(13)에 대해서 롤러 수단(42)을 사용하기 때문에, 기판간의 상대적인 차이의 발생을 방지할 수 있는 동시에, 맞붙임 후의 기판의 표면에 변형(꾸불거림)이 발생하는 것을 방지하고, 평활하게, 막두께를 균일하게 할 수 있다. 또, 제 2의 기판(12)과 수지막(13)의 사이에 기포가 들어가기 어렵다고 하는 이점이 있다.

또, 본 발명의 제 4의 형태에 관한 접합 부재의 제조장치(10A)는, 예를 들면 도 8 및 도 9에 도시하는 바와 같이, 제 1 또는 제 2의 형태에 있어서, 기판 맞붙임 수단(40A)은, 제 1의 기판(11)을 탑재하는 탑재 수단(21)과, 제 2의 기판(12)을 유지하는 유지 수단(41)과, 유지 수단(41)과 연결되어 유지 수단(41)을 회동시키는 회동 수단(43)을 가지며, 탑재 수단(21)과 유지 수단(41)의 간격을 제어하고, 또한, 유지 수단(41)에 유지된 제 2의 기판(12)을, 외주 단부(14)가 미경화 상태로 유지되어 내주부(15)가 반경화 상태로 경화된 수지막(13)에, 외주 단부(14)의 한쪽의 단부를 기점(16)으로 해서, 기점(16)으로부터 반대측의 단부까지, 눌러서 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하면서 접촉하도록 회동 수단(43)을 제어하는 컨트롤러(50)를 구비한다.

이와 같이 구성하면, 제 2의 기판(12)을 유지 수단(41)으로 유지하고, 회동시켜서 제 1의 기판(11)상의 수지막에 접촉시키기 때문에, 기판 맞붙임 공정을 자동화하기 쉽다. 또, 기판 맞붙임 공정의 프로그램 처리도 가능하고, 이 경우, 탑재 수단(21)과 유지 수단(41)의 간격을 조정하면서, 회동 수단(43)을 제어하기 때문에, 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선을 일방향으로 이동시킬 수 있다.

또, 본 발명의 제 5의 형태에 관한 접합 부재의 제조장치(10D)는, 예를 들면 도 16 및 도 17에 도시하는 바와 같이, 제 4의 형태에 있어서, 게다가, 기판의 두께를 측정하는 기판 두께 측정 수단(70)을 구비하고, 기판 맞붙임 수단(40)은, 기판 두께 측정 수단(70)에 의한 적어도 제 1의 기판(11) 또는 제 2의 기판(12) 중 어느 하나의 두께 데이터에 기초하여, 탑재 수단(21)과 유지 수단(41)의 간격을 조정한다.

이와 같이 구성하면, 기판 두께 측정 수단(70)을 이용하여, 사전에 제 1의 기판 또는 제 2의 기판의 두께를 알 수 있기 때문에, 기판 맞붙임시의 탑재 수단(21) 또는 유지 수단(41)의 높이를 조정할 수 있다.

또, 본 발명의 제 6의 형태에 관한 접합 부재의 제조장치(10C)는, 예를 들면 도 14 및 도 15에 도시하는 바와 같이, 제 1 또는 제 2의 형태에 있어서, 수지막 형성 수단(20)은, 제 1의 기판(11)면에 평행한 수지 공급용 슬릿으로부터 액체상태의 수지를 공급하고, 수지 공급용 슬릿에 대해서 수직 또한 제 1의 기판(11)면에 평행하게 이동 가능한, 제 1의 기판(11)상에 액체상태의 수지막(13)을 도포하는 슬릿 코터(22)를 가지고, 반경화 수단(30)은, 수지막 형성 수단(20)에서 제 1의 기판(11)상에 형성된 액체상태의 수지막(13)에 자외선을 조사하는 자외선 조사 수단(31)으로서, 슬릿 코터(22)와 일체적으로 구성되고, 수지 공급용 슬릿에 평행한 방향으로 자외선 조사용 슬릿을 가지며, 자외선 조사용 슬릿은 길이방향의 양단부에서, 수지 공급용 슬릿의 길이방향에 비해 소정 길이 짧게 형성된 자외선 조사 수단(31)을 갖는다.

여기에 있어서, 소정의 길이는 전형적으로는 한쪽 측의 단부에서 외주 단부(14)의 폭이며, 양측을 합계하면 외주 단부(14)의 폭의 2배이다. 본 형태와 같이 구성하면, 슬릿 코터(22)와 자외선 조사 수단(31)이 일체적으로 형성되고 있기 때문에, 액체상태의 수지(13)를 적하한 일정시간 경과후에 자동적으로 자외선 조사가 이루어진다. 또, 자외선 조사용 슬릿은 길이방향의 양단부에서 수지 공급용 슬릿의 길이방향에 비해 짧게 형성되고 있기 때문에, 차폐 수단을 이용하지 않고, 자동적으로 외주 단부(14)에, 미조사 영역, 즉 미경화 영역이 형성된다. 전형적으로는, 일정시간은 수지 공급용 슬릿과 자외선 조사용 슬릿의 간격 플러스 외주 단부(14)의 폭을 주사 속도로 나눈 값이다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제 7의 형태에 관한 접합 부재의 제조방법은, 예를 들면 도 2에 도시하는 바와 같이(각 부분의 구성에 대해서는 도 3 참조), 제 1의 기판(11)과 제 2의 기판(12)을 접합하는 접합 부재의 제조방법으로서, 제 1의 기판(11)상에 액체상태의 수지막을 형성하는 수지막 형성 공정(Step 2)과, 수지막 형성 공정(Step 2)에서 형성된 수지막(13)의 외주 단부(14)를 미경화 상태로 유지하고, 외주 단부(14)로 둘러싸인 내주부(15)를 반경화 상태로 경화시키는 반경화 공정(Step 4)과, 제 2의 기판(12)을, 외주 단부(14)가 미경화 상태이고 내주부(15)가 반경화 상태인 수지막(13)에, 외주 단부(14)의 한쪽의 단부를 기점(16)으로 해서, 기점(16)으로부터 반대측의 단부까지, 눌러서 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하도록 접촉시켜, 제 1의 기판(11)과 제 2의 기판(12)을 맞붙이는 기판 맞붙임 공정(Step 6)을 구비한다.

이와 같이 구성하면, 2매의 기판을 맞붙여서 접합 부재를 제조하는 경우에, 한쪽의 기판이 얇은 기판인 경우에도, (1) 수지막(13)의 내주부(15)가 반경화하고 있는 것으로 수지가 증점되고, 한쪽의 기판을 다른쪽의 기판에 맞붙일 때에, 한쪽의 기판이 다른쪽의 기판에 가부착되기 때문에, 기판간의 상대적인 차이의 발생을 방지할 수 있는, (2) 얇은 기판의 표면에 변형(꾸불거림)이 발생하는 것을 방지하여, 막두께를 균일하게 하는 접합 부재의 제조방법을 제공할 수 있다.

또, 본 발명의 제 8의 형태에 관한 접합 부재의 제조방법은, 예를 들면 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 제 7의 형태에 있어서, 반경화 공정(Step 4)은, 수지막(13)을 경화하는 자외선을 조사하는 자외선 조사 공정(Step 4-1)과, 수지막 형성 공정(Step 2)에서 형성된 수지막(13)의 외주 단부(14)에 조사되어야 하는, 자외선 조사 공정(Step 4-1)에 의한 자외선을 차단하는 광차단 공정을 갖는다.

상기 광차단 공정은, 상기 외주 단부(14)를 상기 자외선 조사 공정(Step 4-1)에 의한 자외선의 조사로부터 차폐하는 차폐 공정(Step 4-2)(전형적으로는 외주 단부(14)를 차폐 부재(32)로 덮고(Step 3), 거기에 자외선을 조사함으로써 차폐)으로 하는 것이 바람직하다.

이와 같이 구성하면, 광차단 공정에 의해 광을 차단하는 것에 의해, 전형적으로는 자외선의 조사를 차폐하는 것에 의해, 제 1의 기판(11)에 형성된 수지막(13)에 대해서, 확실히, 외주 단부(14)를 미경화 상태로 유지하고, 내주부(15)를 반경화 상태로 경화시킬 수 있다. 또, 자외선 조사 시간 또는 자외선의 강도를 제어하는 것에 의해 반경화 상태를 적절히 조정할 수 있다.

또, 본 발명의 제 9의 형태에 관한 접합 부재의 제조방법은, 예를 들면 도 5에 도시하는 바와 같이, 제 7 또는 제 8의 형태에 있어서, 제 2의 기판(12)이 투명성의 고분자 필름이며, 기판 맞붙임 공정(Step 6)에서, 롤러 수단(42)에서 제 2의 기판(12)을 제 1의 기판(11)측에 누르면서, 롤러 수단(42)을 외주 단부(14)의 한쪽의 단부측에서 다른쪽의 단부(14)측으로 굴림으로써, 제 1의 기판(11)과 제 2의 기판(12)을 맞붙인다.

이와 같이 구성하면, 제 2의 기판(12)을 제 1의 기판(11)상에 도포된 수지막(13)에 맞붙일 때에, 내주부(15)를 반경화 상태로 한 수지막(13)에 대해서 롤러 수단(42)을 사용하기 때문에, 기판간의 상대적인 차이의 발생을 방지할 수 있는 동시에, 맞붙임 후의 기판의 표면에 변형(꾸불거림)이 발생하는 것을 방지하여, 평활하게, 막두께를 균일하게 할 수 있다. 또, 제 2의 기판(12)과 수지막(13)의 사이에 기포가 들어가기 어렵다고 하는 이점이 있다.

또, 본 발명의 제 10의 형태에 관한 접합 부재의 제조방법은, 예를 들면 도 9에 도시하는 바와 같이, 제 7 내지 제 9 중 어느 하나의 형태에 있어서, 기판 맞붙임 공정(Step 6)은, 제 1의 기판(11)을 탑재하는 탑재 수단(21)과, 제 2의 기판(12)을 유지하는 유지 수단(41)과, 유지 수단(41)과 연결되어 유지 수단(41)을 회동시키는 회동 수단(43)을 이용하여 탑재 수단(21)과 유지 수단(41)의 간격을 제어하고, 또한 유지 수단(41)에 유지된 제 2의 기판(12)을, 외주 단부(14)가 미경화 상태로 유지되어 내주부(15)가 반경화 상태로 경화된 수지막(13)에, 외주 단부(14)의 한쪽의 단부를 기점(16)으로 해서, 기점(16)으로부터 반대측의 단부까지, 눌러서 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하면서 접촉하도록 회동 수단(43)을 제어하여, 제 2의 기판(12)을 제 1의 기판(11)에 맞붙인다.

이와 같이 구성하면, 제 2의 기판(12)을 유지 수단(41)으로 유지하고, 회동시켜서 제 1의 기판(11)상의 수지막(13)에 접촉시키기 때문에, 기판 맞붙임 공정(Step 6)을 자동화하기 쉽다. 또, 기판 맞붙임 공정(Step 6)의 프로그램 처리도 가능하고, 이 경우, 탑재 수단(21)과 유지 수단(41)의 간격을 조정하면서, 회동 수단(43)을 제어하기 때문에, 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선을 일방향으로 이동시킬 수 있다.

본 발명에 의하면, 2매의 기판을 맞붙여서 접합 부재를 제조하는 경우에, 한쪽의 기판이 얇은 기판인 경우에도, 기판간의 상대적인 차이의 발생을 방지할 수 있는 동시에, 얇은 기판의 표면에 변형(꾸불거림)이 발생하는 것을 방지하여, 막두께를 균일하게 할 수 있다.

도 1은, 실시예 1에 있어서의 접합 부재의 제조장치의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 2는, 실시예 1에 있어서의 접합 부재의 제조방법의 처리 플로우 예를 나타내는 도면이다.
도 3은, 실시예 1에 있어서의 접합 부재의 제조장치의 각 부의 처리를 나타내는 도면이다.
도 4는, 수지막 형성 공정에서 형성된 액체상태의 수지막의 막두께 분포를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 5는, 실시예 1에 있어서의 접합 부재의 기판 맞붙임 공정의 예를 나타내는 도면이다.
도 6은, 실시예 1에 있어서의 유지 수단의 예를 나타내는 도면이다.
도 7은, 실시예 2에 있어서의 기판 맞붙임 수단을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 8은, 실시예 3에 있어서의 접합 부재의 제조장치의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 9는, 실시예 3에 있어서의 기판 맞붙임 공정의 예를 설명하는 도면이다.
도 10은, 필름이 수지막에 접촉했을 때의 모습을 나타내는 도면이다.
도 11은, 유지 수단이 제 2의 기판을 곡면형상으로 유지하는 예를 나타내는 도면이다.
도 12는, 실시예 5에 있어서의 접합 부재의 제조장치의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 13은, 제 1의 기판과 제 2의 기판 사이에 전계(電界)를 인가하는 예를 나타내는 도면이다.
도 14는, 실시예 6에 있어서의 접합 부재의 제조장치의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 15는, 도포 수단으로서의 슬릿 코터와 자외선 조사 수단이 일체적으로 형성되어 있는 예를 나타내는 도면이다.
도 16은, 실시예 7에 있어서의 접합 부재의 제조장치의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 17은, 제 1의 기판의 두께를 측정하는 예를 나타내는 도면이다.
도 18은, 종래의 접합 방법을 모식적으로 도시하는 도면이다.

이하에 도면에 기초하여 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다. 한편, 각 도면에 있어서, 서로 동일 또는 상당하는 부분에는 동일 부호를 붙이고, 중복한 설명은 생략한다.

[실시예 1]

실시예 1에서는, 광차단 수단으로서의 자외선 차폐 수단을 이용하여, 수지막의 외주 단부를 미경화 상태로 유지하고, 내주부를 반경화 상태로 경화시키는 예로, 제 1의 기판을 탑재 수단에 탑재하고, 롤러 수단을 이용하여 제 2의 기판을, 제 1의 기판측에 누르면서, 롤러 수단을 외주 단부의 한쪽의 단부측에서 다른쪽의 단부측으로 굴림으로써, 제 2의 기판을 제 1의 기판에 맞붙이는 예를 설명한다.

도 1에 실시예 1에 있어서의 접합 부재의 제조장치(10)의 구성예를 나타낸다. 접합 부재의 제조장치(10)의 각부에 대해서는 도 3, 도 5를 참조하기 바란다. 도 1에 있어서, 접합 부재의 제조장치(10)는, 제 1의 기판(11)과 제 2의 기판(12)을 접합하는 장치이다. 접합 부재의 제조장치(10)는, 제 1의 기판(11)상에 액체상태의 수지막(13)을 형성하는 수지막 형성 수단(20)과, 수지막 형성 수단(20)으로 형성된 수지막(13)의 외주 단부(14)를 미경화 상태로 유지하고, 외주 단부(14)로 둘러싸인 내주부(15)를 반경화 상태로 경화시키는 반경화 수단(30)과, 외주 단부(14)가 미경화 상태이고 내주부(15)가 반경화 상태인 수지막(13)에 제 2의 기판(12)을 접촉시켜, 눌러서 제 1의 기판(11)과 제 2의 기판(12)을 맞붙이는 기판 맞붙임 수단(40)을 구비한다. 맞붙일 때에는, 예를 들면, 수지막(13)의 외주 단부(14)의 한쪽의 단부를 기점(16)으로 해서, 기점(16)으로부터 반대측의 단부까지, 눌러서 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하도록 접촉시켜, 제 2의 기판을 제 1의 기판에 맞붙이는 것이 가능하다.

제 1의 기판(11)이 액정 등의 광학 디바이스, 제 2의 기판(12)이 필름형상의 얇은 기판의 예를 나타낸다. 제 2의 기판(12)은 투명하고 광학 디바이스를 오염으로부터 보호하는 필름이면 좋지만, 예를 들면 휴대 전화에 사용하는 경우에는, 광학 보상에 사용되는 폴리카보네이트(PC)계 필름이 바람직하고, 터치 패널에 사용하는 경우에는, 싱크로 올레핀(COP)계 필름이 바람직하다. 수지막(13)은 제 1의 기판(11)과 제 2의 기판을 접합하는 접합제(접착제)로서 사용된다. 수지막(13)에는, 투명하고, 점착성이 있는 자외선 경화성 고분자 수지를 사용할 수 있지만, 예를 들면 에폭시, 폴리에스테르 또는 우레탄을 주쇄로 하는 변성 아크릴레이트를 사용할 수 있다. 수지막(13)(접합제)은 도포시에는 액체상태로, 자외선 조사에 의해 경화하여, 유동성이 없어진다.

수지막(13)의 경화 상태에 대해서, 제품으로서 충분한 경도를 갖는 상태를 완전 경화 상태라고 하며, 반경화 상태란, 완전 경화 상태보다도 경화도가 낮고, 제 2의 기판(12)에 대한 접착성이 남아 있는 상태를 말한다. 또, 탄성 계수(응력/변형)가 완전 경화 상태보다도 작은 상태를 말한다. 미경화 상태란 경화 처리(자외선 조사)되어 있지 않거나, 경화 처리가 되었다고 해도 충분하지 않고, 액체상태가 유지되고 있는 상태, 즉 유동성을 유지하고 있으며, 반경화 상태와 비교해서 점도가 낮은 상태를 말한다.

수지막 형성 수단(20)은, 제 1의 기판(11)을 탑재하는 탑재 수단(21)과, 접합제(13)로서의 수지를 제 1의 기판(11)에 도포하는 도포 수단(22)과, 탑재 수단(21)에 대해서 도포 수단(22)을 주사하는 주사 수단(23)을 갖는다. 본 실시예에서는 탑재 수단(21)으로서 재치대를 사용하고, 재치대(21)에 제 1의 기판(11)의 접합면을 위로 향해서 수평으로 유지하는 예를 설명하지만, 기판의 접합면의 방위는 수평으로 한정되지 않고, 임의의 방위를 향해도 좋고, 아래로 향해도 좋다(도 7 참조). 또, 본 실시예에서는 진공 흡인해서 유지하지만, 진공 흡인에 대신해서 기판의 단부를 돌기로 잡도록 파지해도 좋고, 정전기나 접착력이 비교적 약한 접착제로 유지해도 좋다.

또, 본 실시예에서는 도포 수단(22)으로서, 제 1의 기판(11)면에 평행한 수지 공급용 슬릿으로부터 액체상태의 수지를 공급하는 슬릿 코터를 이용하고, 주사 수단(23)의 주사 방향을 제 1의 기판(11)면에 평행하고 수지 공급용 슬릿에 수직인 방향으로 한다. 슬릿 코터(22)로부터 제 1의 기판(11) 직하의 선형상 영역으로의 액체상태의 수지의 적하와 주사 수단(23)에 의한 슬릿 코터(22)의 주사에 의해서, 제 1의 기판(11)의 표면에 액체상태의 수지막(13)이 형성된다. 수지막(13)의 막두께는 예를 들면 50～200㎛ 정도이다. 수지막(13)은 내주부(15)에 비해서 외주 단부(14)에서 부풀어오르는 경향이 있다. 이와 같은 현상은 수지막(13)의 유동성과 표면장력의 작용에 의한다고 생각할 수 있다. 슬릿 코터(22)에는 슬릿 코터(22)의 상방에 마련된, 도시하지 않는 수지 용기로부터 적절히 수지가 공급된다. 한편, 슬릿 코터(22)에 대신해서, 노즐(멀티 노즐을 포함한다)로부터 액체상태의 수지를 적하하고, 주사 수단(23)에 의한 주사 방향을 제 1의 기판(11)면에 평행으로, 서로 수직인 2 방향으로 해도 좋다. 다만, 슬릿 코터(22)를 이용하면 빨리 박막형상으로 도포할 수 있다고 하는 이점이 있다.

반경화 수단(30)은, 수지막(13)을 경화하는 자외선을 조사하는 자외선 조사 수단(31)과, 수지막 형성 수단(20)에서 형성된 수지막(13)의 외주 단부(14)를, 자외선 조사 수단(31)에 의한 자외선을 차단하는 광차단 수단(32)을 갖는다. 본 실시예에서는, 광차단 수단(32)으로서, 외주 단부(14)를 자외선 조사 수단(31)에 의한 자외선의 조사로부터 차폐하는 차폐 수단을 이용한다.

자외선 조사 수단(31)으로서, 예를 들면 제 1의 기판(11) 전체면을 조사할 수 있는 자외선(UV) 램프나 자외선 발광 다이오드(UVLED) 램프를 사용할 수 있다. 또, 차폐 수단(32)으로서, 틀 내에서는 자외선 조사 수단을 투과시키고, 틀의 부분에서 자외선을 차단하도록 한 틀형상의 차단판을 사용할 수 있다. 예를 들면, 속이 빈 금속틀을 이용하여도 좋고, 산화아연 등을 포함한 자외선 필터로 틀을 형성한 유리판을 이용하여도 좋다. 틀의 부분에서 자외선을 자외선 조사 수단(31)으로부터 차단하는 것에 의해, 수지막 형성 수단(20)으로 형성된 수지막(13)의 외주 단부(14)를 미경화 상태로 유지하고, 외주 단부(14)로 둘러싸인 내주부(15)를 반경화 상태로 경화시킬 수 있다.

이 상태에서는, 내주부(15)는 반경화 상태가 되기 때문에 유동성은 없어지지만, 점착성은 남고, 제 2의 기판(12)에 접촉하면 제 2의 기판(12)과 접착 가능하다. 또, 내주부(15)는 표면이 평탄한 액체상태로부터 경화하기 때문에, 표면의 평탄성과 막두께의 균일성을 유지한 상태로 반경화 상태가 된다. 이 때문에, 제 1의 기판(11)에 형성된 수지막(13)의 내주부(15)의 점도가 증가하고, 제 2의 기판(12)을 제 1의 기판(11)에 맞붙일 때에, 제 2의 기판(12)이 제 1의 기판(11)에 고정되어서 제 2의 기판(12)의 제 1의 기판에 대한 상대적 위치가 변동하는 일 없이 가부착된다. 또, 제 2의 기판(12)이 제 1의 기판(11)에 가부착되는 것으로, 유지 수단(41) 또는 롤러 수단(42)에 의한 누름을 없앤 후에도, 제 2의 기판(12)이 제 1의 기판(11)으로부터 어긋나는 일이 없다. 이 때문에, 제 2의 기판(12)을 유지해 둘 필요가 없기 때문에, 자외선 조사의 장해가 되는 수단이 없고, 균일하게 자외선을 수지막(13)의 내주부(15)에 조사할 수 있기 때문에, 제 2의 기판(12)의 표면에 변형(꾸불거림)이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 한편, 수지막(13)의 외주 단부(14)는 여전히 미경화 상태이다.

기판 맞붙임 수단(40)은, 제 1의 기판(11)을 탑재하는 탑재 수단(21)과, 제 2의 기판(12)을 제 1의 기판(11)측에 누르면서, 외주 단부(14)의 한쪽의 단부측에서 다른쪽의 단부측으로 굴림으로써, 제 2의 기판(12)을 제 1의 기판(11)에 맞붙이는 롤러 수단(42)을 갖는다. 롤러 수단(42) 사용시에 제 1의 기판(11)을 탑재하는 탑재 수단으로서 수지막 형성 수단(20)의 탑재 수단(21)을 공용할 수 있다. 롤러 수단(42)에 대해서 재치대(21)를 수평면내에서 롤러 수단(42)의 축에 수직방향으로 상대적으로 이동 가능하게 구성하고, 이동하는 것에 의해 롤러 수단(42)이 회전한다.

롤러 수단(42)으로 제 2의 기판(12)을 외주 단부(14)의 한쪽의 단부측에 접촉시키면, 외주 단부(14)의 수지가 부풀어오른 부분에 접촉하여, 접촉 부분이 외측으로부터 내측에 퍼져 간다. 그리고, 부풀어오른 미경화 부분이 내주부(15)측으로 이동하고, 머지않아 제 2의 기판(12)에 눌러지고, 외주 단부(14)와 내주부(15)에서 수지막의 두께가 동일하게 된다. 이와 같이 하여, 외주 단부(14)의 한쪽의 단부를 기점(16)으로 해서, 기점(16)으로부터 반대측의 단부까지, 제 2의 기판(12)에 눌러서 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하도록 제 1의 기판(11)상의 수지막(13)에 접촉시켜 간다. 수지막(13)의 접촉 부분이 점차 퍼지고, 머지않아 기점(16)의 반대측의 외주 단부에 도달한다. 이 부분에서는 수지는 미경화 상태이기 때문에, 일부는 유동하지만, 여기에서도, 제 2의 기판(12)이 수지막(13)을 통하여 제 1의 기판(11)에 동일하게 눌려져 평탄하게 된다. 롤러 수단(42)이 제 2의 기판(12)의 위를 한쪽의 단부로부터 다른쪽의 단부까지 통과하면, 제 2의 기판(12)은 수지막(13)을 통하여 제 1의 기판(11)에 접합되어 제 1의 기판(11)측에 남는다. 그리고, 제 2의 기판(12)이 제 1의 기판(11)에 고정되어서 제 2의 기판(12)의 제 1의 기판에 대한 상대적 위치가 변동하는 일 없이 가부착된다. 또, 제 2의 기판(12)과 수지막(13)의 사이에 평탄한 계면이 형성되고, 제 2의 기판(12) 표면에 변형(꾸불거림)이 없거나 매우 적은 접합 부재가 형성된다.

컨트롤러(50)는 접합 부재의 제조장치(10)의 전체와 각 부를 제어하여, 접합 부재의 제조장치(10)로서의 기능을 발휘시킨다.

도 2에 접합 부재의 제조방법의 처리 플로우 예를 나타낸다. 또, 도 3에 접합 부재의 제조장치(10)(이하, 단지 '제조장치'라고 한다.)의 각 부의 처리를 처리 플로우와 관련지어 나타낸다.

우선, 제 1의 기판(11)을 제조장치(10)의 탑재 수단(21)에 탑재하는(기판 탑재 공정：(a), Step 1). 제 1의 기판(11)은, 예를 들면, 액정 패널이다(이하, 제 1의 기판(11)을 단지 '기판'이라고 칭한다). 기판(11)의 두께는, 0.3～2㎜ 정도이다. 다음에, 도포 수단(22)에 의해, 기판(11)에 액상 수지를 도포하고, 기판(11)상에 액체상태의 수지막(13)을 형성한다(수지막 형성 공정：(b), Step 2). 본 실시예에서는, 도포 수단(22)으로서 슬릿 코터를 이용하여, 소정의 막두께가 되도록 수지막(13)을 형성한다. 소정의 막두께는, 50～200㎛이다. 슬릿 코터에 대신해서 다른 도포 수단(22)도 사용 가능하다. 예를 들면 토출 노즐에 의해 선형상으로 도포한 액상 수지를, 솔 등에 의해 소정의 막두께가 되도록 고르게 하여 수지막을 형성하는 것도 가능하다.

도 4에 수지막 형성 공정(Step 1)에서 형성된 액체상태의 수지막(13)의 막두께 분포를 모식적으로 나타낸다. 도 4(a)는, 제 1의 기판(11)으로의 수지막(13)의 도포 방향을, 도 4(b) 및 도 4(c)는 각각 X방향, Y방향의 수지막(13)의 막두께 분포를 나타낸다. 도 4(b) 및 도 4(c)에 도시하는 바와 같이, 4변의 외주 단부(14)가 내주부(15)에 비해서 부풀어오르는 경향이 있다. 따라서, 이 상태로 필름형상의 제 2의 기판(12)(이하, 제 2의 기판을 '필름'이라고 칭한다)을 맞붙인 경우에는, 막두께를 균일하게 할 수 없고, 또 맞붙이는 과정에서 기포가 혼입할 우려가 있다. 따라서, 이 실시형태에서는, 이하에 나타내는 수단 및 공정을 도입하고 있다.

여기서 도 2 및 도 3으로 돌아간다. 먼저, 기판(11)에 형성한 수지막(13)의 4변의 외주 단부(14)를 덮는 차폐 부재(32)를 수지막(13)상에 배치한다((c), Step 3). 기판(11)에 형성한 수지막(13)의 4변의 외주 단부(14)를 차폐 수단(32)으로 덮고, 그 상부로부터 자외선 조사 수단(31)에 의해 자외선을 조사한다(반경화 공정：(d), Step 4). 수지막(13)의 4변의 외주 단부(14)는, 차폐 수단(32)으로 차폐되기 때문에, 자외선이 조사되지 않고, 미경화의 액체상태를 유지하고, 차폐 수단(32)으로 차폐되지 않는 내주부(15)는 반경화된다.

다음에, 필름(12)을 유지 수단(41)(도시하지 않음)으로 유지한다(제 2의 기판 유지 공정；(e), Step 5). 필름(12)은, 예를 들면, 액정 패널(11)의 표시면을 보호하기 위한 보호 필름이다. 필름(12)의 두께는, 0.05～0.2㎜ 정도이다. 예를 들면, 플렉시블하고 하측에 돌출 형상의 만곡면을 갖는 유지 수단(41)으로 필름(12)을 유지하고, 기판 맞붙임 수단(40)은, 유지 수단(41)의 일단을 기판(11)에 대해 소정의 거리 상측, 즉 수지막(13)에 접촉하는 것 같은 높이로 유지한다.

다음에, 외주 단부(14)가 미경화 상태이고 내주부(15)가 반경화 상태인 수지막(13)에 있어서, 미경화의 외주 단부(14)를 기점(16)으로 해서, 필름(12)을 수지막(13)에 접촉시키고, 눌러서, 기판(11)과 필름(12)을 서로 겹쳐서 맞붙인다. 본 실시예에서는 롤러 수단(42)을 이용하여, 외주 단부(14)의 한쪽의 단부를 기점(16)으로 해서, 기점(16)으로부터 반대측의 단부까지, 눌러서 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하도록 접촉시켜, 기판(11)과 필름(12)을 맞붙인다(기판 맞붙임 공정：(f), Step 6).

도 5에, 실시예 1에 있어서의 접합 부재의 맞붙임 공정(Step 6)의 예를 나타낸다. 재치대(21)상에, 외주 단부(14)가 미경화 상태이고 내주부(15)가 반경화 상태인 수지막(13)이 형성되어 있는 기판(11)이 재치되어 있다. 수지막(13)의 4변의 외주 단부(14)는 미경화로 액체상태이고, 내주부(15)는 반경화 상태로 액체상태에 비해서 증점하고 있다. 본 실시예에서는, 기판(11), 수지막(13) 및 필름(12)을 재치대(21) 및 롤러 수단(42)과의 사이에 끼워넣고, 롤러 수단(42)을 필름(12)상에서 회전시키는 것으로, 필름(12)을 수지막(13)을 통하여 기판(11)에 맞붙인다.

도 6에 실시예 1에 있어서의 유지 수단의 예를 나타낸다. 필름(12)의 양단은, 롤러 수단(42)에 의한 누름 전에는, 진공 흡착, 정전기 흡착, 접착력이 약한 접착제 혹은 기계적인 파지(예를 들면 유지 클립)에 의한 유지 수단(41B1 및 41B2)에 의해서 유지되고 있다. 기판(11)의 상부에 반송된 필름(12)은, 먼저, 유지 수단(41B1)에 의해서, 필름(12)의 한쪽의 단부를 수지막(13)의 미경화부인 맞붙인 기점(16)에 접액(接液)시킨다. 다음에, 유지 수단(41B1)을 원래의 대피 위치로 대피시켜, 롤러 수단(42)을 이용하여, 필름(12)을 수지막(13)에, 외주 단부(14)의 한쪽의 단부를 기점(16)으로 해서, 기점(16)으로부터 반대측의 단부까지, 눌러서 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하도록 접촉시켜, 기판(11)과 필름(12)을 맞붙인다. 이때, 필름(12)의 다른쪽의 단부는, 필름(12)의 다른쪽의 단부가, 기판(11)상의 수지막(13)의 미경화의 반대측의 단부에 맞붙여질 때까지, 유지 수단(41B2)에 의해서 유지되고 있다.

여기서 도 5로 돌아간다. 롤러 수단(42)이 필름(12)상을 한쪽의 단부로부터 반대측의 단부로 이동하는 것에 따라서 필름(12)이 기판(11)에 붙여져 간다(a～e). 즉, 필름(12)은 롤러 수단(42)에 의해 기판(11)에 눌린 후에는, 수지막(13)에 밀착해서 기판(11)에 맞붙여지고, 롤러 수단(42)이 통과 후, 접합 부재를 얻을 수 있다.

롤러 수단(42)에서 필름(12)을 외주 단부(14)의 한쪽의 단부측에 접촉시키면, 그 부분의 수지가 부풀어오른 부분에 접촉하고, 접촉 부분이 외주측에서 내주측으로 퍼져 간다. 그리고, 부풀어오른 미경화 부분이 내주측으로 이동하고, 머지않아 필름(12)에 눌러져, 외주 단부(14)와 내주부(15)에서 수지막(13)의 두께가 동일하게 된다. 이와 같이 하여, 외주 단부(14)의 한쪽의 단부를 기점(16)으로 해서, 기점(16)으로부터 반대측의 단부까지, 필름(12)에 눌러서 일방향으로 위치를 바꿔서 제 1의 기판(11)상의 수지막(13)에 접촉시켜 간다. 수지막(13)의 접촉 부분이 점차 퍼지고, 머지않아 기점(16)의 반대측의 외주 단부(14)에 도달한다. 유지 수단(41B2)의 위치는 필름(12)이 수지막(13)에 맞붙여지는 것에 따라서 수지막(13)에 가까워져 간다. 이 부분에서는 미경화 상태의 부분이 있기 때문에, 일부는 유동하지만, 여기에서도, 제 2의 기판(12)이 수지막(13)을 통하여 제 1의 기판(11)에 동일하게 눌려져, 평탄하게 된다. 롤러 수단(42)이 통과 후, 접합 부재 전체에 있어서는, 제 2의 기판(12)과 수지막(13)의 사이에 평탄한 계면이 형성된다. 그리고, 기판간의 상대적인 차이가 없고, 제 2의 기판(12) 표면에 변형(꾸불거림)이 없거나 매우 적은 접합 부재가 형성된다.

다음에, 맞붙인 기판(11)과 필름(12)과의 사이에 개재하는 수지막(13) 전체를 자외선 조사 수단(31)에 의해 완전 경화시킨다((g), Step 7)(도 3 참조). 이것에 의해, 기판(11)과 필름(12)을 접합제(13)로 맞붙인 접합 부재가 완성된다. 예를 들면, 제 1의 기판(11)으로서의 액정 패널의 표시부가 제 2의 기판(12)으로서의 필름에 의해 보호된다.

한편, 완전 경화시키는 수단에 대해서는 수지막 형성 공정으로부터 기판 맞붙임 공정까지를 행하는 접합 장치와는 별개의 장치(예를 들면 자외선 조사 장치)를 사용해도 좋다.

이상에 의해, 본 실시예에 의하면, 2매의 기판을 맞붙여서 접합 부재를 제조하는 경우에, 한쪽의 기판이 얇은 기판인 경우에도, 기판간의 상대적인 차이의 발생을 방지하고, 얇은 기판의 표면에 변형(꾸불거림)이 발생하는 것을 방지하여, 막두께를 균일하게 할 수 있다.

즉, 필름형상 기판과 같이 얇은 기판인 경우에도, 다음의 효과를 얻을 수 있다. (1) 수지막(13)의 4변의 외주 단부(14)를 제외한 내주부(15)를 소정의 막두께로 반경화시키는 것으로, 수지(13)가 증점되고, 필름(12)을 맞붙일 때에, 필름(12)이 기판(11)에 가부착된다. 그 때문에, 필름(12)을 유지하는 유지 수단(41)을 없애도, 필름(12)을 기판(11)에 맞붙인 상태가 유지되어서 필름(12)이 기판(11)으로부터 어긋나는 일이 없다. (2) 그 후의 제조 공정에 있어서 막두께의 변동이 없어져서 일정하게 유지할 수 있기 때문에, 필름(12)을 맞붙인 후에, 필름(12)의 표면에 변형(꾸불거림)이 발생하지 않는다. 또, 꾸불거림이 생겼다고 해도 매우 적다. (3) 또, 수지막(13)의 4변의 외주 단부(14)를 미경화 상태로 하고, 수지막(13)의 외주 단부(14)를 맞붙임의 기점(16)으로 하는 것으로, 필름(12)이 수지막(13)의 액막에 접촉하는 순간에 기포가 혼입되기 어렵게 된다. (4) 수지막(13)의 4변의 외주 단부(14)를 미경화 상태로 필름(12)을 맞붙이는 것으로, 외주 단부(14)의 부풀어오름이 평탄화되어, 전체의 막두께를 균일화할 수 있다.

[실시예 2]

실시예 1에서는, 기판(11)의 상방으로부터 수지막(13)을 통하여 필름(12)을 서로 겹쳐서 맞붙이는 예를 설명했지만, 실시예 2에서는, 기판(11)의 수지막(13)이 형성되어 있는 면을 하측으로 하고, 하방으로부터 필름을 맞붙이는 예를 설명한다. 실시예 1에 비해서 제 1의 기판(11)과 제 2의 기판(12)의 상하 관계가 다르지만, 그 외의 구성은 동일하다. 주로 실시예 1과 다른 점에 대해서 설명한다.

도 7에 실시예 2에 있어서의 기판 맞붙임 수단을 모식적으로 나타낸다. 제 1의 기판(기판)(11)상에, 외주 단부(14)가 미경화 상태이고 내주부(15)가 반경화 상태인 수지막(13)을 형성하고, 상하 반전하여, 재치대(21)에 수지막(13)이 형성된 기판(11)을, 예를 들면 진공 흡인에 의해 유지한다. 수지막(13)의 외주 단부(14)는 미경화 상태이기 때문에 유동성을 가지지만, 표면장력이 작용하여 적하되지 않는다. 플렉시블한 제 2의 기판(필름)(12)의 맞붙임의 기점으로 되는 일단을 도 6과 동일한 유지 수단(41B1)에 의해 끼워 유지한다(도 7에서는 유지 수단을 생략해서 나타낸다). 유지 수단(41B1)의 높이를 필름(12)을 수평으로 유지했을 때에 필름(12)이 수지막(13)에 접촉하도록 조정한다. 필름(12)은 플렉시블하고 상측에 돌출 형상인 만곡면을 가지도록 유지 수단(41B1)에 끼워져서 유지된다. 본 실시예에서는, 필름(12)의 타단은 중력에 의해서 자연히 늘어져 있기 때문에, 이 필름(12)의 타단을 유지하지 않아도 좋다. 또, 상술한 바와 같은 유지 수단(41B2)에 의해서 필름(12)의 타단을 유지하고, 롤러 수단(42)의 회동에 연동시켜, 유지 수단(41B2)을 이동시켜도 좋다.

필름(12)의 아래로부터 롤러 수단(42)을 꽉 누른다. 필름(12)은 플렉시블하기 때문에, 상기 일단에서 수지막(13)에 접촉하지만, 다른 부분에서는 접촉하지 않고, 하측으로 휜다. 롤러 수단(42)을, 외주 단부(14)의 한쪽의 단부를 기점(16)으로 해서, 기점(16)으로부터 반대측의 단부까지, 눌러서 이동한다. 이때, 롤러 수단(42)의 이동에 따라서, 필름(12)은 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하면서 접촉해 간다. 이와 같이 하여, 기판(11)과 필름(12)이 맞접된다.

그 외의 구성 및 처리 플로우는 실시예 1과 동일하며, 동일한 효과를 이룬다.

[실시예 3]

실시예 3에서는, 자외선 차폐 수단을 이용하여, 수지막의 외주 단부를 미경화 상태로 유지하고, 내주부를 반경화 상태로 경화시키는 예로, 제 1의 기판(기판)을 탑재 수단(재치대)에 재치하고, 제 2의 기판(필름)을 유지 수단으로 유지하여, 제 1의 기판측에 조금씩 접근하면서 누르고, 제 2의 기판을 제 1의 기판에 맞붙이는 예를 설명한다.

도 8에 실시예 3에 있어서의 접합 부재의 제조장치(10A)의 구성예를 나타낸다. 실시예 1에 비해서 기판 맞붙임 수단(40A)의 내용이 다르지만, 그 외의 구성은 동일하다. 주로 실시예 1과 다른 점에 대해서 설명한다. 기판 맞붙임 수단(40A)의 처리에 대해서는 도 9를 참조하기 바란다. 기판 맞붙임 수단(40A)은, 기판(11)을 재치하는 재치대(21)(수지막 형성 수단(20)의 재치대와 공용한다)와, 필름(12)을 유지하는 유지 수단(41)과, 재치대(21)와 연결되어 유지 수단(41)을 회동축(43B)의 회전으로 회동시키는 회동 수단(43)과, 재치대(21)에 대한 회동축(43B)의 위치를 조정하는 회동축 위치 조정 수단(44)을 갖는다.

컨트롤러(50)는, 외주 단부(14)가 미경화 상태로 유지되어 내주부(15)가 반경화 상태로 경화된 수지막(13)에, 필름(12)을, 외주 단부(14)의 한쪽의 단부를 기점(16)으로 해서, 기점(16)으로부터 반대측의 단부까지, 눌러서 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하면서 접촉하도록 회동 수단(43)과 회동축 위치 조정 수단(44)을 제어하여, 필름(12)을 제 1의 기판(11)에 맞붙인다.

회동 수단(43)은 회동축으로서의 회동축(43B)과, 회동축(43B)의 회동을 구동하는 구동부(43C)와 회동축(43B)에 연결된 유지 수단(41)과 탑재 수단(21)을 개방 측으로 미는 힌지부(43A)를 갖는다. 유지 수단(41)은 예를 들면 진공 흡착에 의해 필름(12)을 유지한다. 회동축 위치 조정 수단(44)은, 회동축(43B)의 위치를, 회동축(43B)을 탑재대(21)의 표면에 대해서 평행하게 유지하면서, 수직방향으로 미소 거리만큼 이동 가능하게 하고 있다. 컨트롤러(50)는, 탑재 수단(21)과 유지 수단(41)의 간격을 제어하는 동시에 회동 수단(43)을 제어한다. 이러한 제어는, 예를 들면, 회동 수단(43)의 구동부(43C)에 의한 유지 수단(41)의 회전 각도의 제어, 회동 위치 조정 수단(44)에 의한 회동축(43B)의 위치의 제어 및 탑재 수단(21)의 위치의 제어에 의해 행해진다. 필름(12)을, 외주 단부(14)가 미경화 상태이고 내주부(15)가 반경화 상태인 수지막(13)에, 외주 단부(14)의 한쪽의 단부를 기점(16)으로 해서, 기점(16)으로부터 반대측의 단부까지, 눌러서 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하면서 접촉하도록, 구동부(43C)와 회동축 위치 조정 수단(44)을 제어한다.

기판 맞붙임 수단(40A)은, 유지 수단(41)에서 필름(12)을 유지한다. 컨트롤러(50)는, 구동부(43C)를 제어하여 유지 수단(41)의 기판(11)의 수평면과의 이루는 각도를 작게 해가며, 외주 단부(14)의 한쪽의 단부측에 접촉시킨다, 게다가, 회동축 위치 조정 수단(44)을 제어하여 회동축(43B)의 위치를 조금씩 높게 해간다. 접촉시는, 외주 단부(14)의 수지가 부풀어오른 부분에 접촉하고, 접촉 부분이 외주측에서 내주측으로 퍼져 간다. 그리고, 부풀어오른 미경화 부분이 내주측으로 이동하고, 머지않아 필름에 눌러져서, 외주 단부(14)와 내주부(15)에서 수지막의 두께가 동일하게 된다.

이와 같이 하여, 외주 단부(14)의 한쪽의 단부를 기점(16)으로 해서, 기점(16)으로부터 반대측의 단부까지, 필름(12)에 눌러서 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하도록 제 1의 기판(11)상의 수지막(13)에 접촉시켜 간다. 수지막(13)의 기접촉 부분이 점차 퍼지고, 머지않아 기점(16)의 반대측의 외주 단부(14)에 도달한다. 여기에서는 미경화 상태의 부분이 있기 때문에, 수지는 일부 유동하지만, 최종적으로는, 필름(12)이 수지막(13)을 통하여 기판(11)에 동일하게 눌려, 필름(12)과 수지막(13)의 사이에 평탄한 계면이 형성된다. 컨트롤러(50)는, 필름(12)의 전체면이 접촉 후, 꽉 누를 때에는 회동축 위치 조정 수단(44)을 제어하고 회동축(43B)의 위치를 조금씩 낮게 해간다. 유지 수단(41)을 해제하면, 필름(12)을 수지막(13)을 통하여 기판(11)에 접합한 접합 부재가 얻어진다. 그리고, 기판 사이에 상대적인 차이가 없고, 필름(12) 표면에 변형(꾸불거림)이 없거나 매우 적은 접합 부재가 형성된다.

실시예 3에 있어서의 처리 플로우는, 도 2를 적용할 수 있다. 기판 맞붙임 공정의 내용이 다르지만, 그 외의 공정은 동일하다.

도 9에, 실시예 3에 있어서의 기판 맞붙임 수단(40A)의 예를 나타낸다. 재치대(21)에는, 수지막(13)이 형성되어 있는 기판(11)이 재치되어 있다. 수지막(13)의 4변의 외주 단부(14)는 미경화의 액체상태이며, 내주부(15)는 반경화해서 증점하고 있다. 필름(12)을 유지 수단(41)에 의해서 유지한다(a). 기판 맞붙임 수단(40A)에는 힌지부(43A), 회동축(43B) 및 구동부(43C)로 이루어지는 회동 수단(43)이 마련되어 있다. 또, 필름(12)과 기판(11)상에 형성된 수지막(13)과의 맞붙임시의 간격을 조정하기 위해, 회동축 위치 조정 수단(44)을 구동부(43C)에 직접 연결해서 설치하고, 유지 수단(41)을 회동하기 위한 회동축(43B)의 재치대(21)에 대한 수직 위치를 조정하고 있다. 회동축 위치 조정 수단(44)으로서는, 링크 기구, 가이드 레일 등을 이용할 수 있다. 회동축의 수직방향의 이동은, 전형적으로는 전동기에 의해 구동하지만, 스테핑 모터로 구동하는 것이 바람직하다.

컨트롤러(50)는, 구동부(43C)와 회동축 위치 조정 수단(44)을 제어하고, 이것에 의해, 유지 수단(41)의 승강 위치(회동의 각도와 회동축(43B)의 높이)를 제어한다. 구동부(43C)에 의해서 회동축(43B)을 회전하는 것으로 힌지부(43A)를 통하여 유지 수단(41)을 회전시키고, 유지 수단(41)과 재치대(21)와의 각도를 180° 벌린 상태로부터 서서히 작게 한다(b). 기판(11)상에 형성된 수지막(13)의 미경화 영역인 외주 단부(14)를 기점(16)으로 해서, 필름(12)을 수지막(13)에 접촉시켜 기판(11)과 필름(12)을 서로 겹쳐서 맞붙인다(c)(d).

도 10에 필름(12)이 수지막(13)에 접촉했을 때의 모습을 나타낸다. 기판(11)상의 수지막(13)의 4변의 외주 단부(14)는 미경화의 액상 상태이다. 필름(12)을 기판(11)상의 수지막(13)의 미경화 영역인 외주 단부(14)의 기점(16)에 접촉시키고, 재치대(21)에 대한 유지 수단(41)의 각도를 서서히 작게 하면, 필름(12)과 수지막(13)의 접촉 면적이 서서히 커진다. 기판(11)상의 수지막(13)의 외주 단부(14)는 미경화의 액상 상태이기 때문에, 필름(12)이 수지막(13)의 액막에 접액하는 순간에 기포가 말려 들어가기 어려워지고, 게다가, 서서히 필름(12)을 수지막(13)의 위에 접액시켜 가기 때문에, 전체적으로, 필름(12)과 수지막(13)과의 사이에 기포를 혼입시키지 않고 필름(12)을 기판(11)에 맞붙일 수 있다.

여기서, 도 9로 돌아간다. 맞붙임이 완료되면, 유지 수단(41)을 원래의 위치로 되돌린다(e).

한편, 회동축 위치 조정 수단(44)이 없어도 좋지만, 회동축 위치 조정 수단(44)을 가지면, 필름(12)과 기판(11)과의 간격 조정을 하기 쉬워진다. 또, 상기와 같이 유지 수단(41)의 높이를 제어하는 대신에, 재치대(21)에 위치 조정 수단을 마련하여, 재치대(21)의 수직 위치를 제어해도 좋다.

또, 회동축 위치 조정 수단(44)을 마련하는 대신에, 회동축(43B)의 축받이부에 여유를 주거나, 스프링으로 유지 수단(41)의 회동축 부근의 위치가 가변되도록 해서 재치대(21)측으로 밀어도 좋다. 축받이부에 여유가 있는 경우는 유지 수단(41)의 자중(自重)으로 재치대(21)측으로 밀어도 좋다.

[실시예 4]

실시예 3에서는 유지 수단(41)이 평면인 경우를 설명했지만, 실시예 4에서는 유지 수단(41)이 돌출 형상의 곡면을 갖는 예를 설명한다. 유지 수단(41)이 곡면으로 되어 있기 때문에 롤러 수단(42)과 동일하게, 제 2의 기판(필름)을 수지막(13)의 외주 단부(14)의 기점(16)으로부터 차례차례 수지막(13)에 접촉시킬 수 있다. 이것은 롤러 수단의 직경이 실시예 1(도 5 참조)에 비해서 큰 경우라고 할 수 있다. 롤러 수단의 직경이 기판에 대해서 충분히 큰 경우에는, 예를 들면 원호의 일부를 잘라서 유지 수단으로 해도 좋다(즉, 유지 수단이 롤러 수단을 겸용한다). 또, 롤러면은 원호가 아니고, 다른 돌출 형상 곡면이어도 좋다. 그 외의 장치 구성 및 처리 플로우는 실시예 3과 동일하며, 동일한 효과를 이룬다.

도 11에 유지 수단(41)이 필름(12)을 곡면형상으로 유지하는 예를 나타낸다. 유지 수단(41)은, 곡면형상(볼록면)의 유지부(41A)에 필름(12)을 유지한다. 유지 수단(41)은, 유지부(41A)에 대해서 기판(11)과 반대측에 유지부 지지판(41B)을 갖는다. 유지부 지지판(41B)은 회동 가능하게 회동축(43B)에 연결되고, 회동축(43B)의 회동에 따라서 기판(11)과의 이루는 벌린 각도가 변화한다. 먼저, 필름(12)은, 외주 단부(14)의 한쪽의 단부를 기점(16)으로 해서, 수지막(13)에 접액한다(a). 다음에, 회동축(43B)을 회전시키면서, 지면 오른쪽 방향으로 이동시키고, 필름(12)을 수지막(13)에 서서히 접액시킨다(b). 게다가, 회동축(43B)을 회전시키면서, 지면 오른쪽 방향으로 이동시켜 가는 것으로, 필름(12)을 수지막(13)의 외주 단부(14)의 다른쪽의 단부에 접액시키고, 필름(12)을 수지막(13)을 통하여 기판(11)에 맞붙인다(c).

이와 같이, 기점(16)으로부터 반대측의 단부까지, 눌러서 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하도록 접촉시키는 것으로, 기판 사이에 상대적인 차이가 없고, 필름(12)의 표면에 변형(꾸불거림)이 없거나 매우 적은 접합 부재가 형성되고, 필름(12)과 수지막(13)의 사이에 평탄한 계면이 형성된다.

그 외의 구성 및 처리 플로우는 실시예 3과 동일하며, 동일한 효과를 이룬다.

[실시예 5]

실시예 5에서는, 실시예 3에 있어서의 유지 수단(41)에 전압을 인가하는 예를 설명한다. 실시예 5에서는, 실시예 3(도 8 참조)의 접합 부재의 제조장치(10A)에 전압 인가 수단(60)이 추가된다. 전압은 탑재 수단(재치대)(21)과 유지 수단(41)의 사이에 인가된다. 그 외의 구성은 실시예 3과 동일하다.

도 12에 실시예 5에 있어서의 접합 부재의 제조장치(10B)의 구성예를 나타낸다. 또, 도 13에 제 1의 기판(기판)(11)과 제 2의 기판(필름)(12) 사이에 전계를 인가하는 예를 나타낸다. 유지 수단(41)에 직류 전원(60)을 접속하고, 재치대(21)를 그라운드에 접속한다. 기판(11)과 필름(12)과의 사이에 전계를 형성하면, 기판(11)상의 수지막(13)의 선단이 필름(12)에 끌어당겨지기 때문에, 필름(12)을 작은 접촉 면적에서 수지막(13)에 접촉시킬 수 있다. 그 때문에, 필름(12)을 수지막(13)에 접촉시킬 때에, 기포가 혼입되기 어려워진다. 한편, 직류 전원(60) 대신에 교류 전원 또는 펄스형상의 전압원을 접속해도 상관없다.

[실시예 6]

실시예 1에서는 자외선의 차폐 수단을 이용하고, 수지막의 외주 단부를 미경화 상태로 유지하고, 내주부를 반경화 상태로 경화시키는 예를 설명했지만, 실시예 6에서는 광차단 수단의 다른 예로서, 슬릿 코터와 일체적으로 구성된 자외선 조사용 슬릿을 갖는 자외선 조사 수단을 이용하여, 수지막의 외주 단부를 미경화 상태로 유지하고, 내주부를 반경화 상태로 경화시키는 예를 설명한다. 실시예 1과는, 자외선 조사 수단과 슬릿 코터가 일체적으로 구성되어 있는 점이 다르다.

도 14에 실시예 6에 있어서의 접합 부재의 제조장치(10C)의 구성예를 나타낸다. 또, 도 15에, 도포 수단(22)으로서의 슬릿 코터와 자외선 조사 수단(31C)이 일체적으로 형성되어 있는 예를 나타낸다. 도포 수단(22)으로서의 슬릿 코터의 수지 공급용 슬릿에 평행한 자외선 조사용 슬릿을 갖는 자외선 조사 수단(31C)이 마련되어 있으며, 액상 수지의 도포를 행하는 동시에, 연동해서 액상 수지에 자외선을 조사해서 수지막(13)을 반경화시킨다. 슬릿 코터(22)의 수지 공급용 슬릿에 대해서 자외선 조사용 슬릿은, 길이방향의 양단부에서, 수지 공급용 슬릿의 길이방향에 비해서 소정 길이 짧게 형성되고 있다. 소정의 길이는 전형적으로는 한쪽 측의 단부로 외주 단부(14)의 폭이며, 양측을 합계하면 외주 단부(14)의 폭의 2배이다. 그리고, 주사 수단(23)은 수평면내에서 양 슬릿의 길이방향에 수직방향으로, 일체화된 슬릿 코터(22)와 자외선 조사수단(31C)을 주사한다. 이 주사에 의해, 제 1의 기판(기판)(11)면에서는, 슬릿 코터(22)에 의해 수지 공급용 슬릿으로부터 액체상태의 수지막(13)이 선형상으로 도포된 후, 일정한 시간 후에 자외선 조사용 슬릿으로부터 선형상으로 자외선 조사가 행해진다. 일정한 시간은 수지 공급용 슬릿과 자외선 조사용 슬릿의 간격 플러스 외주 단부(14)의 폭을 주사 속도로 나눈 시간이다.

이때, 수지 공급용 슬릿에 대해서 자외선 조사용 슬릿은, 길이방향의 양단부에서 짧기 때문에, 수지막(13)의 길이방향 양단부(외주 단부(14)가 된다)에서는 자외선 조사되지 않는다. 따라서, 수지막(13)은, 길이방향(주사 방향과 수직방향) 양단부는 미경화 상태로, 양단부의 내측(내주부(15)가 된다)에서 반경화 상태로 형성된다. 주사 방향과 평행한 방향에 대해서는, 자외선 조사용 슬릿이 도포 영역의 단(端)으로부터 소정 거리가 되었을 때에 자외선 조사를 개시 및 종료하는 것에 의해서, 수지막(13)의 양단부에 미경화 상태의 영역을 형성할 수 있다. 소정 거리는 전형적으로는 외주 단부의 폭이다. 즉, 수지막의 반경화는, 도포된 수지막의 4변의 외주 단부(14)를 제외한 내주부(15)에만 자외선 조사해서 행하게 된다. 이 실시예에서는, 자외선의 차폐 수단(32)을 마련하지 않아도, 외주 단부(14)를 제외한 내주부(15)만을 반경화시키는 것이 가능하게 된다.

그 외의 구성과 처리 플로우는 실시예 1과 동일하며, 동일한 효과를 이룬다.

[실시예 7]

실시예 7에서는 실시예 3에 있어서, 게다가, 슬릿 코터에 의한 기판(11)으로 수지막(13)을 형성하기 전에 제 1의 기판(기판)(11)의 두께를 측정하는 예를 설명한다.

도 16에 실시예 7에 있어서의 접합 부재의 제조장치(10D)의 구성예를 나타낸다. 또, 도 17에, 기판(11)의 두께를 측정하는 예를 나타낸다. 기판 두께 측정 수단(70)으로서의 레이저 변위계에 의해서, 기판(11)의 두께, 즉, 탑재 수단(재치대)(21)으로부터 기판(11) 표면까지의 높이를 측정하고, 그 측정 결과인 기판(11)의 두께 정보를 컨트롤러(50)에 입력한다. 컨트롤러(50)는, 도포 수단(22), 기판 맞붙임 수단(40D) 또는/및 재치대(21)의 승강을 제어하는 제어 신호를 출력한다. 이것에 의해, 기판(11)의 표면에 대한 슬릿 코터(22)의 수지 공급용 슬릿의 높이, 기판 맞붙임 수단(40D)의 유지 수단(41)의 높이를 조정한다. 즉, 도포 수단(22)에 있어서는, 도포 수단으로서의 슬릿 코터(22)의 선단과 기판과의 간격을 조정하기 위해서 슬릿 코터(22) 또는 재치대(21)를 승강한다. 도포해야 하는 수지막(13)의 막두께에 따라서 슬릿 코터(22)의 선단과 기판(11)과의 간격을 조정한다. 또, 기판 맞붙임 수단(40D)에 있어서는, 기판(11)과 필름(12)의 간격을 조정하기 위해서, 필름(12)을 유지하는 유지 수단(41) 또는 기판(11)을 재치하는 재치대(21)를 승강한다. 또, 수지막(13)의 막두께에 따라서 기판(11)과 필름(12)의 간격, 즉 유지 수단(41)과 재치대(21)의 간격을 조정한다.

한편, 기판 맞붙임 수단(40D)에 있어서는, 기판(11) 이외에도, 필름(12)의 두께도 측정하고, 기판(11) 및 필름(12)의 두께 데이터에 기초하여, 기판(11)과 필름(12)의 간격을 조정하는 것으로, 보다 최적인 간격 조정이 가능하게 된다. 제 2의 기판의 두께도, 예를 들면, 재치대(21)상에서 측정해도 좋다. 한편, 실시예 1 및 실시예 2와 같이, 롤러 수단(42)을 이용하여 필름(12)과 기판(11)을 맞붙일 때에도, 두께 측정 수단(70)에 의한 필름(12) 및 기판(11)의 두께 정보를 이용할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.

그 외의 구성 및 처리 플로우는 실시예 1이나 실시예 3과 동일하며, 동일한 효과를 이룬다.

이상, 본 실시의 형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 이상의 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서, 실시형태로 여러 가지의 변경을 가하는 것은 명백하다.

예를 들면, 이상의 실시예에서는, 제 2의 기판이 필름형상인 얇은 기판의 예를 설명했지만, 얇은 기판은 필름형상으로 한정되지 않고, 평판 형상의 기판이어도 좋다. 또, 제 2의 기판은 얇은 기판에 한정되지 않고, 두꺼운 기판에 대해서도 본 발명은 적용 가능하다. 또, 제 1의 기판 및 제 2의 기판은 임의의 기판이어도 좋고, 양자를 교환해서 적용해도 좋다. 액체상태 수지의 도포 수단(22)으로서 슬릿 코터를 이용하는 예를 설명했지만, 단일 노즐을 탑재 수단의 탑재면내 2 방향으로 주사하면서 도포해도 좋고, 멀티 노즐을 이용하여, 상기 주사 범위를 작게 해도 좋다. 또, 자외선 조사 수단(31)으로서, 제 1의 기판(11) 전체에 조사하는 예와, 자외선 조사용 슬릿을 주사하는 예를 설명했지만, 원형 스폿을 갖는 자외선 램프를 탑재면내 2 방향으로 주사해서 조사해도 좋다.

또, 라인형상의 자외선 조사 수단을 천정에 배치한 베이크로(bake furnace)내를, 수지막(13)을 도포한 제 1의 기판(11)과 차폐 수단(32)을 탑재한 트레이를 벨트 컨베이어에 실어서 통과시켜도 좋다. 또, 실시예 3에 있어서의, 기판 맞붙임 수단(40)이 유지 수단(41)을 회동시키는 예를, 도포 수단(22)이 단독의 슬릿 코터로 자외선 조사 수단(31)과 차폐 수단(32)을 조합해서 제 1의 기판(11)에 조사하는 예와 조합해서 설명했지만, 슬릿 코터와 자외선 조사 수단을 일체적으로 형성한 실시예 5로 조합해도 좋다. 또, 실시예 5에 있어서의, 기판 사이에 전압을 인가하는 예에 대해서도 동일하게, 슬릿 코터와 자외선 조사 수단을 일체적으로 형성한 실시예 6과 조합해도 좋다. 또, 실시예 7에 있어서, 제 1의 기판(11)의 두께를 사전에 도모하는 예를, 기판 맞붙임 수단(40)이 유지 수단(41)을 회동시키는 예와 조합해서 설명했지만, 기판 맞붙임 수단(40)이 롤러 수단(42)을 이용하는 예와 조합, 수지 공급용 슬릿의 높이와 함께, 롤러의 높이 조정에 사용해도 좋다. 그 외, 액상 수지의 점도, 자외선 조사 시간·강도, 맞붙임시의 롤러의 누름 등은 적절히 선택 가능하다.

본 발명의 설명에 관련해서(특히 이하의 청구항에 관련해서) 이용되는 명사 및 동일한 지시어의 사용은, 본 명세서 중에서 특별히 지적하거나, 분명하게 문맥과 모순되거나 하지 않는 한, 단수 및 복수의 양자에 미치는 것이라고 해석된다. 어구 '구비한다', '갖는다', '함유한다' 및 '포함한다'는, 특별한 한정이 없는 한, 오픈엔드 텀(openended term)(즉 '～를 포함하지만 한정되지 않는다'라는 의미)으로서 해석된다. 본 명세서 중의 수치 범위의 구진(具陳)은, 본 명세서 중에서 특별히 지적하지 않는 한, 단지 그 범위 내에 해당하는 각 값을 개개로 언급하기 위한 약기법(略記法)으로서의 역할을 다하는 것만을 의도하고 있으며, 각 값은, 본 명세서중에서 개개로 열거된 것과 같이, 명세서에 편입된다. 본 명세서 중에서 설명되는 모든 방법은, 본 명세서 중에서 특별히 지적하거나, 분명하게 문맥과 모순되거나 하지 않는 한, 모든 적절한 순서로 행할 수 있다. 본 명세서 중에서 사용하는 모든 예 또는 예시적인 표현(예를 들면 '등')은, 특별히 주장하지 않는 한, 단지 본 발명을 보다 좋게 설명하는 것만을 의도하고, 본 발명의 범위에 대한 제한을 마련하는 것은 아니다. 명세서 중의 어떠한 표현도, 청구항에 기재되어 있지 않은 요소를, 본 발명의 실시에 불가결한 것으로서 나타내는 것이라고는 해석되지 않는 것으로 한다.

본 명세서 중에서는, 본 발명을 실시하기 위해 본 발명자가 알고 있는 최선의 형태를 포함하며, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해서 설명하고 있다. 당업자에게 있어서는, 상기한 설명을 읽으면, 이러한 바람직한 실시형태의 변형이 분명해질 것이다. 본 발명자는, 숙련자가 적절히 이러한 변형을 적용하는 것을 기대하고 있으며, 본 명세서 중에서 구체적으로 설명되는 이외 방법으로 본 발명이 실시되는 것을 예정하고 있다. 따라서 본 발명은, 준거법에서 허락되고 있는 것 같이, 본 명세서에 첨부된 청구항에 기재된 내용의 수정 및 균등물을 모두 포함한다. 게다가, 본 명세서 중에서 특별히 지적하거나, 분명하게 문맥과 모순되거나 하지 않는 한, 모든 변형에 있어서의 상기 요소의 어떤 편성도 본 발명에 포함된다.

본 발명은, 접합 부재의 제조에 이용된다.

10, 10A～10D : 접합 부재의 제조장치
11, 11E : 제 1의 기판(액정 패널)
12, 12E : 제 2의 기판(필름)
13, 13E : 수지막(접합제)
14 : 외주 단부
15 : 내주부
16 : 기점
17E : 잘림부
20 : 수지막 형성 수단
21 : 탑재 수단(재치대)
22 : 도포 수단(슬릿 코터)
23 : 주사 수단
30 : 반경화 수단
31, 31E : 자외선 조사 수단
32 : 광차단 수단(차폐 수단)
40, 40A～40D : 기판 맞붙임 수단
41, 41B1, 41B2, 41E : 유지 수단
41A : 유지부
41B : 유지부 지지판
42 : 롤러 수단
43 : 회동 수단
43A : 힌지부
43B : 회동축
43C : 구동부
44 : 회동축 위치 조정 수단
50 : 컨트롤러
51 : 도포 수단 구동부
60 : 전압 인가 수단(직류 전원)
70 : 기판 두께 측정 수단(레이저 변위계)

Claims

제 1의 기판과 제 2의 기판을 접합하는 접합 부재의 제조장치로서,
상기 제 1의 기판상에 액체상태의 수지막을 형성하는 수지막 형성 수단과,
상기 수지막 형성 수단에서 형성된 수지막의 외주 단부를 미경화 상태로 유지하고, 상기 외주 단부로 둘러싸인 내주부를 반경화 상태로 경화시키는 반경화 수단과,
상기 제 2의 기판을, 상기 외주 단부가 미경화 상태이고 상기 내주부가 반경화 상태인 수지막에, 상기 외주 단부의 한쪽의 단부를 기점으로 해서, 상기 기점으로부터 반대측의 단부까지, 눌러서 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하도록 접촉시켜, 상기 제 1의 기판과 상기 제 2의 기판을 맞붙이는 기판 맞붙임 수단을 구비하는 접합 부재의 제조장치.
제 1 항에 있어서,
상기 반경화 수단은, 상기 수지막을 경화하는 자외선을 조사하는 자외선 조사 수단과, 상기 수지막 형성 수단으로 형성된 수지막의 외주 단부를, 상기 자외선 조사 수단에 의한 자외선을 차단하는 광차단 수단을 갖는 접합 부재의 제조장치.
제 2 항에 있어서,
상기 광차단 수단은, 상기 외주 단부를 상기 자외선 조사 수단에 의한 자외선의 조사로부터 차폐하는 차폐 수단인, 접합 부재의 제조장치.
제 2 항에 있어서,
상기 수지막 형성 수단은, 상기 제 1의 기판면에 평행한 수지 공급용 슬릿으로부터 상기 액체상태의 수지를 공급하고, 상기 수지 공급용 슬릿에 대해서 수직 또한 상기 제 1의 기판면에 평행으로 이동 가능한, 상기 제 1의 기판상에 액체상태의 수지막을 도포하는 슬릿 코터를 가지며,
상기 반경화 수단은, 상기 수지막 형성 수단에서 상기 제 1의 기판상에 형성된 액체상태의 수지막에 자외선을 조사하는 자외선 조사 수단으로서, 상기 슬릿 코터와 일체적으로 구성되고, 상기 수지 공급용 슬릿에 평행한 방향으로 자외선 조사용 슬릿을 가지며, 상기 자외선 조사용 슬릿은 길이방향의 양단부에 있어서, 상기 수지 공급용 슬릿의 길이방향에 비해서 소정 길이 짧게 형성된 자외선 조사 수단을 가지며；
상기 자외선 조사 수단이 상기 수지 공급용 슬릿의 길이방향에 비해서 소정 길이 짧게 형성되는 것에 의해서, 상기 광차단 수단이 구성된；
접합 부재의 제조장치.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 2의 기판이 투명성 고분자 필름이며,
상기 기판 맞붙임 수단은, 상기 제 1의 기판을 탑재하는 탑재 수단과, 상기 제 2의 기판을 상기 제 1의 기판측에 누르면서, 상기 외주 단부의 한쪽 단부측에서 다른쪽 단부측으로 굴림으로써, 상기 제 2의 기판을 상기 제 1의 기판에 맞붙이는 롤러 수단을 갖는 접합 부재의 제조장치.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판 맞붙임 수단은, 상기 제 1의 기판을 탑재하는 탑재 수단과, 상기 제 2의 기판을 유지하는 유지 수단과, 상기 유지 수단과 연결되어 상기 유지 수단을 회동시키는 회동 수단을 가지며,
상기 탑재 수단과 상기 유지 수단의 간격을 제어하고, 또한, 상기 유지 수단에 유지된 제 2의 기판을, 상기 외주 단부가 미경화 상태로 유지되어 상기 내주부가 반경화 상태로 경화된 수지막에, 상기 외주 단부의 한쪽의 단부를 기점으로 해서, 상기 기점으로부터 반대측의 단부까지, 눌러서 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하면서 접촉하도록 상기 회동 수단을 제어하는 컨트롤러를 구비하는 접합 부재의 제조장치.
제 6 항에 있어서,
기판의 두께를 측정하는 기판 두께 측정 수단을 더 구비하고,
상기 기판 맞붙임 수단은, 상기 기판 두께 측정 수단에 의한 적어도 상기 제 1의 기판 또는 상기 제 2의 기판 중 어느 하나의 두께 데이터에 기초하여, 상기 탑재 수단과 상기 유지 수단의 간격을 조정하는 접합 부재의 제조장치.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판 맞붙임 수단은, 상기 제 1의 기판을 탑재하는 탑재 수단과, 상기 제 2의 기판을 유지하는 유지 수단과, 상기 유지 수단과 연결되어 상기 유지 수단을 회동시키는 회동 수단을 가지며,
상기 유지 수단은 상기 제 2의 기판을 곡면형상으로 유지하는 돌출 형상의 곡면을 가지며, 상기 기판 맞붙임 수단은, 상기 유지 수단이 상기 회동 수단에 의해 회동되는 것에 의해, 상기 제 2의 기판을 상기 제 1의 기판에 맞붙이도록 구성된 접합 부재의 제조장치.
제 1의 기판과 제 2의 기판을 접합하는 접합 부재의 제조방법으로서,
상기 제 1의 기판상에 액체상태의 수지막을 형성하는 수지막 형성 공정과,
상기 수지막 형성 공정에서 형성된 수지막의 외주 단부를 미경화 상태로 유지하고, 상기 외주 단부로 둘러싸인 내주부를 반경화 상태로 경화시키는 반경화 공정과,
상기 제 2의 기판을, 상기 외주 단부가 미경화 상태이고 상기 내주부가 반경화 상태인 수지막에, 상기 외주 단부의 한쪽의 단부를 기점으로 해서, 상기 기점으로부터 반대측의 단부까지, 눌러서 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하도록 접촉시켜, 상기 제 1의 기판과 상기 제 2의 기판을 맞붙이는 기판 맞붙임 공정을 구비하는 접합 부재의 제조방법.
제 9 항에 있어서,
상기 반경화 공정은, 상기 수지막을 경화하는 자외선을 조사하는 자외선 조사 공정과, 상기 수지막 형성 공정에서 형성된 수지막의 외주 단부를, 상기 자외선 조사 공정에 의한 자외선을 차단하는 광차단 공정을 갖는 접합 부재의 제조방법.
제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,
상기 제 2의 기판이 투명성의 고분자 필름이며,
상기 기판 맞붙임 공정에서, 롤러 수단으로 상기 제 2의 기판을 상기 제 1의 기판측에 누르면서, 상기 롤러 수단을 상기 외주 단부의 한쪽의 단부측에서 다른쪽의 단부측으로 굴림으로써, 상기 제 1의 기판과 상기 제 2의 기판을 맞붙이는 접합 부재의 제조방법.
제 9 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판 맞붙임 공정은, 상기 제 1의 기판을 탑재하는 탑재 수단과, 상기 제 2의 기판을 유지하는 유지 수단과, 상기 유지 수단과 연결되어 상기 유지 수단을 회동시키는 회동 수단을 이용하고,
상기 탑재 수단과 상기 유지 수단의 간격을 제어하고, 또한 상기 유지 수단에 유지된 제 2의 기판을, 상기 외주 단부가 미경화 상태로 유지되어 상기 내주부가 반경화 상태로 경화된 수지막에, 상기 외주 단부의 한쪽의 단부를 기점으로 해서, 상기 기점으로부터 반대측의 단부까지, 눌러서 기접촉 부분과 미접촉 부분의 경계선이 일방향으로 이동하면서 접촉하도록 상기 회동 수단을 제어하여, 상기 제 2의 기판을 상기 제 1의 기판에 맞붙이는 접합 부재의 제조방법.