KR20130033292A

KR20130033292A - 반송 로봇 및 기판 처리 장치

Info

Publication number: KR20130033292A
Application number: KR1020120098023A
Authority: KR
Inventors: 마사토시 후루이치
Original assignee: 가부시키가이샤 야스카와덴키
Priority date: 2011-09-26
Filing date: 2012-09-05
Publication date: 2013-04-03
Also published as: TWI504491B; US9266234B2; CN103009382B; TW201328837A; JP2013073968A; KR101495957B1; CN103009382A; US20130078060A1; JP5364769B2

Abstract

피반송물을 유지 가능한 핸드를 갖는 아암부와, 상기 아암부를 수평 방향으로 회전 자유롭게 지지하는 동시에, 소정의 기대 설치 프레임에 설치되는 기대부와, 상기 기대부내에 마련되고, 해당 기대부내에 세워 마련한 종축을 따라 상기 아암부에 연접한 승강 부재를 승강시키는 것에 의해, 상기 아암부를, 상기 기대부의 위쪽에 규정된 승강 범위내에서 승강시키는 승강 기구를 구비하고, 상기 기대부는, 상기 기대 설치 프레임에 형성된 기대 수용 오목부내에, 해당 기대부의 저벽에서 소정 높이에 설정된 기대 부착부의 하단까지를 매몰시킨 상태에서 고정되어 있는 반송 로봇을 제공한다.

Description

반송 로봇 및 기판 처리 장치{TRANSFER ROBOT AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}

개시된 실시형태는 반송 로봇 및 기판 처리 장치에 관한 것이다．

종래, 반도체 웨이퍼나 액정 등의 기판을 반송하는 수평 다관절 형의 반송 로봇의 일례로서, EFEM(Equipment Front End Module)으로 불리는 하우징체내에 배치된 것이 알려져 있다 (예를 들면, 특허문헌 1 참조).

또, EFEM은 반도체 처리 장치의 앞면 측에 마련되는 모듈의 하나이며, 국소 클린화되는 동안에, 기판 공급부와 소정의 기판 처리부의 사이에서 반송 로봇을 이용하여 기판의 수수를 실행할 수 있다.

반송 로봇은 일반적으로, 피반송물을 유지 가능한 핸드를 갖는 아암부와, 아암부를 수평 방향으로 회전 자유롭게 지지하는 기대부(基臺部)와, 기대부내의 종축을 따라 아암부에 연접한 승강 부재를 승강시키는 것에 의해, 아암부를 승강 가능하게 한 승강 기구를 구비하고 있다.

(특허문헌 1) 일본 특허 공개 공보 제 2008-103755 호

상술한 EFEM에서는 기판 공급부로 되는 기판 수납 용기 외에, 예를 들면, 기판의 방향성을 검지해서 정렬하는 얼라이너 장치 등과 같은 다른 장치가 마련되는 경우가 있다. 또한, 이러한 장치 등은 EFEM의 설치 면적을 작게 하는 관점에서, 하우징체내에 있어서, 기판 수납 용기보다도 위쪽에 배치되는 경우가 있다.

따라서, 얼라이너 장치 등의 다른 장치를 구비한 EFEM에 이용되는 반송 로봇에 대해, 아암의 승강 범위로서는 기판을 취출하는데 필요한 기판 수납 용기의 하단에서 상단까지의 사이보다도 더욱 위쪽으로 신장된 범위가 요망되는 경우가 있다.

그를 위해서는 반송 로봇의 신장을 단순히 늘리는 것이 고려되지만, 하우징체의 저면에서 기판 수납 용기의 하단까지의 높이는 규격으로 정해지고 있다. 그 때문에, 상술한 승강 기구를 구비한 반송 로봇에서는 필요한 승강 범위를 얻으려고 하여, 아암을 지지하는 기대부를 위쪽으로 늘려 버리면, 최하한까지 강하한 아암이 기판 수납 용기의 하단보다도 위쪽에 위치해 버리는 경우가 있다.

즉, 아암을 기판 수납 용기의 하단 위치까지 강하시키려고 하면, 기대부의 상면에 간섭해 버리는 것이다.

실시형태의 일 태양은 상기 내용을 감안해서 이루어진 것으로써, 아암부의 승강 범위를 크게 하면서, 최대한 필요한 위치까지 아암부를 강하 가능하게 한 반송 로봇 및 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

실시형태의 일 태양에 따른 반송 로봇은 피반송물을 유지 가능한 핸드를 갖는 아암부를 구비한다. 또한, 상기 아암부를 수평 방향으로 회전 자유롭게 지지하는 동시에, 소정의 기대 설치 프레임에 설치되는 기대부를 구비한다. 또한, 상기 기대부내에 마련되고, 해당 기대부내에 세워 마련한 종축을 따라 상기 아암부에 연접한 승강 부재를 승강시키는 것에 의해, 상기 아암부를, 상기 기대부의 위쪽에 규정된 승강 범위내에서 승강시키는 승강 기구를 구비한다. 그리고, 상기 기대부는 상기 기대 설치 프레임에 형성된 기대 수용 오목부내에, 해당 기대부의 저벽에서 소정 높이에 설정된 기대 부착부까지를 매몰시킨 상태에서 고정되어 있다.

실시형태의 일 태양에 따르면, 반송 로봇의 대형화를 방지하면서, 핸드를 포함하는 아암부의 높이 방향에 있어서의 액세스 범위를 확장할 수 있다.

도 1은 실시형태에 따른 반송 로봇을 구비하는 기판 처리 장치의 모식적 설명도이다.
도 2는 실시형태에 따른 반송 로봇의 모식적 설명도이다.
도 3은 비교예에 따른 반송 로봇의 모식적 설명도이다.

이하, 첨부 도면을 참조해서, 본원이 개시하는 반송 로봇 및 기판 처리 장치의 실시형태를 상세하게 설명한다. 단, 이하의 실시형태에 있어서의 예시로 본 발명이 한정되는 것은 아니다.

(기판 처리 장치)

우선, 실시형태에 관한 기판 처리 장치(1)에 대해 설명한다. 도 1은 실시형태에 관한 반송 로봇(10)을 구비하는 기판 처리 장치(1)의 모식적 설명도이다.

도시하는 바와 같이, 기판 처리 장치(1)는 반송 로봇(10)과, 이 반송 로봇(10)을 내부 대략 중앙에 배치한 하우징체(20)와, 하우징체(20)의 한쪽의 측면(21)에 마련된 기판 공급부(3)와, 하우징체(20)의 다른 쪽의 측면(22)에 마련된 기판 처리부(4)를 구비하고 있다. 또, 도면 중, 부호 ‘100’은 기판 처리 장치(1)를 설치하는 바닥면을 나타내고 있다.

하우징체(20)는 기체를 정화하는 필터(2)를 상부에 구비하고, 이 필터(2)에 의해 정화되어 다운 플로되는 청정 기류를 외부와 차단해서 내부를 클린화 가능하게 한 소위 EFEM(Equipment Front End Module)이다. 하우징체(20)의 저벽부를 형성하는 기대 설치 프레임(23)의 하면에는 하우징체(20)를 바닥면(100)으로부터 소정 거리 D(예를 들면, 100㎜)만큼 이격(離隔)해서 지지할 수 있도록 한 다리 기구(24)가 마련되어 있다.

반송 로봇(10)은 피반송물인 반도체 웨이퍼나 액정 패널 등의 기판(5)을 유지 가능한 핸드(11)를 갖는 아암부(12)를 구비하고 있다. 아암부(12)는 하우징체(20)의 저벽부를 형성하는 기대 설치 프레임(23)상에 설치한 기대부(13)의 위에서 승강 자유롭게 또한 수평 방향으로 회전 자유롭게 지지되어 있다. 또, 반송 로봇(10)에 대해서는 후에 상세하게 기술한다.

기판 공급부(3)는, 구체적으로, 복수의 기판(5)을 높이 방향에 다단으로 수납한 상자형상의 카세트(30)와, 이 카세트(30)의 덮개를 개폐하여, 하우징체(20)내에 기판(5)을 꺼낼 수 있도록 한 카세트 오프너(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 카세트(30)와 카세트 오프너의 세트는 소정 높이의 테이블(31)의 위에 마련되고, 하우징체(20)의 한쪽의 측면(21)에 소정의 간격을 두고 병설되어 있다.

한편, 기판 처리부(4)는, 예를 들면, CVD, 에칭, 노광 등과 같은 소정의 처리가 기판(5)에 대해 실행되는 것이다. 본 실시형태에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 기판 처리부(4)에는 필요한 처리 장치(40)가, 하우징체(20)의 다른 쪽의 측면(22)에, 각 기판 공급부(3)에 각각 대향해서 마련되어 있다.

이와 같이, 기판 공급부(3)와 기판 처리부(4)는 반송 로봇(10)을 사이에 두고 서로 대향해서 배치되어 있다.

또한, 하우징체(20)의 내부에는 얼라이너 장치(6)가 마련되어 있다. 얼라이너 장치(6)는 기판 공급부(3)의 카세트(30)나, 기판 처리부(4)의 처리 장치(40)보다도 위쪽에 위치하고 있다.

이와 같은 구성에 의해, 기판 처리 장치(1)에 있어서의 반송 로봇(10)은 기대부(13)로부터 위쪽으로 아암부(12)를 승강시키거나 회전시키면서, 핸드(11)에 탑재한 기판(5)을 원하는 위치에 반송할 수 있다.

즉, 본 실시형태에 있어서의 반송 로봇(10)은 국소 클린화된 하우징체(20)내에 있어서, 우선, 카세트(30)내의 기판(5)을 취출하고, 얼라이너 장치(6)에 반송한다. 얼라이너 장치(6)에서 기판(5)을 정렬시킨 후에는 정렬이 종료한 기판(5)을 처리 장치(40)에 반송한다. 그리고, 처리 장치(40)에서 처리가 종료된 기판(5)을 재차 카세트(30)에 수납한다.

(반송 로봇)

여기서, 본 실시형태에 관한 반송 로봇(10)에 대해, 도 2 및 도 3을 참조하면서 더욱 구체적으로 설명한다. 도 2는 실시형태에 관한 반송 로봇(10)의 모식적 설명도, 도 3은 비교예에 관한 반송 로봇(50)의 모식적 설명도이다.

도 3에 나타낸 비교예에 관한 반송 로봇(50)은 실시형태에 관한 반송 로봇(10)에 대해, 기대부(53)의 높이 치수나 기대 고정용 플랜지(8)의 부착 위치가 실시형태에 관한 반송 로봇(10)의 기대부(13)와 다를 뿐, 기능적으로는 동일하다. 따라서, 도 3에 있어서는 실시형태에 관한 반송 로봇(10)과 동일한 구성요소에는 기대부(13)를 제외하고 도 2와 동일한 부호를 붙이고, 비교예에 관한 반송 로봇(50)에 대한 설명은 생략한다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 반송 로봇(10)은 전술한 바와 같이, 기판(5)을 유지 가능한 핸드(11)를 갖는 아암부(12)를 구비하고 있다. 아암부(12)는 기단부가 연결체(120)에 연결된 제 1 아암(121)과, 이 제 1 아암(121)의 선단부에 기단부가 연결된 제 2 아암(122)과, 이 제 2 아암(122)의 선단부에 기단부가 연결된 핸드(11)를 구비하고 있다.

또, 기판(5)을 유지 가능한 핸드(11)의 구조로서는 도 2에 도시한 본 실시형태에 관한 반송 로봇(10)과 같이, 기판(5)을 반송 가능한 상태로 탑재 가능한 구조로 하였다. 그러나, 그 밖에도, 예를 들면, 도시하고 있지 않지만, 피반송물을 유지 가능한 구조이면, 기판(5)을 흡착하는 구조로 해도 좋고, 기판(5)을 파지(把持) 가능하거나 협지 가능한 구조로 해도 좋다.

제 1 아암(121)은 후술하는 승강 기구(7)를 거쳐서 승강 자유롭게 마련된 연결체(120)의 상단에, 도시하지 않은 회전운동축을 거쳐서 수평 방향으로 회전운동 자유롭게 연결되어 있다. 제 2 아암(122)은 제 1 아암(121)의 선단부에, 수직 방향으로 연장하는 제 1 회전운동축(123)을 거쳐서 회전운동 자유롭게 연결되어 있다. 그리고, 핸드(11)는 이 제 2 아암(122)의 선단부에, 수직 방향으로 연장하는 제 2 회전운동축(124)을 거쳐서 회전운동 자유롭게 연결되어 있다.

또한, 반송 로봇(10)은 아암부(12)를 수평 방향으로 회전 자유롭게 지지하는 동시에, 하우징체(20)의 저벽부를 형성하는 기대 설치 프레임(23)에 설치되는 기대부(13)와, 이 기대부(13)의 내부에 마련된 이하에 구체적으로 설명하는 승강 기구(7)를 구비하고 있다.

기대부(13)는 저벽(131)과 천장벽(132)과 측벽(133)으로 상자형으로 구성되어 있다. 본 실시형태에 있어서의 기대부(13)의 외형형상은, 평면에서 보았을 때, 사각형으로 하고 있지만, 반드시 사각형에는 한정되지 않고, 적절한 다각형이어도 좋고, 원형이어도 상관없다.

기대부(13)에 내장된 승강 기구(7)는 구동원으로 되는 모터(70)와, 모터(70)에 연동 연결되고, 기대부(13)의 내부에 세워 마련된 종축인 스크류 로드(screw rod)(71)을 구비하고 있다. 또, 모터(70)와 스크류 로드(71)은, 도시하는 바와 같이, 모터축(700)에 마련한 제 1 풀리(701)와, 스크류 로드(71)의 하단 근방에 마련한 제 2 풀리(702)를 전동 벨트(703)를 거쳐서 연동되도록 연결되어 있다.

또한, 승강 기구(7)는 또한, 아암부(12)의 연결체(120)에 연접하는 동시에, 스크류 로드(71)에 나사 결합한 승강 부재(72)와, 이 승강 부재(72)의 승강 동작을 가이드하는 한 쌍의 리니어 가이드(73)를 구비하고 있다. 리니어 가이드(73)는 기대부(13)의 저벽(131)에서 천장벽(132)에 걸쳐, 측벽(133)을 따라 마주본 상태로 세워서 마련하고 있다.

승강 기구(7)를 이러한 구성으로 한 것에 의해, 모터(70)를 구동해서 스크류 로드(71)을 회전시키면, 스크류 로드(71)을 따라 승강 부재(72)가 직선적으로 소정의 승강 범위에서 승강하고, 기대부(13)의 위쪽에 규정된 아암부 승강 범위 α내에 있어서 아암부(12)가 승강한다. 여기서, 기대부(13)의 내부에 있어서의 승강 부재(72)의 승강 범위는 기대부(13)의 위쪽에 규정된 아암부(12)의 승강 범위인 아암부 승강 범위 α와 대략 동 거리에 규정되어 있다. 또, 설치시의 높이 방향의 편차나, 기판(5)의 수수를 위해서는 반송 로봇(10)은 기판(5)에 대해 상하 방향으로 여유를 갖고 액세스할 필요가 있기 때문에, 기대부(13)의 내부에 있어서의 승강 부재(72)의 승강 범위는 실제로는 아암부 승강 범위 α보다 약간 크게 하고 있다.

또한, 스크류 로드(71)은 기대부(13)의 저벽(131)에 하단이, 기대부(13)의 천장벽(132)에 상단이, 각각 축받이(74)를 거쳐서 회전 자유롭게 지지되어 있지만, 지지하는 위치로서는 저벽(131)이나 천장벽(132)에 한정되는 것은 아니다.

스크류 로드(71)은 승강 부재(72)가 일정한 승강 범위에서 승강할 수 있는 만큼의 나사부가 형성되어 있으면 좋고, 저벽(131)과 천장벽(132)의 사이에 적절히 마련한 브래킷 등을 거쳐서 배치되어 있어도 좋다.

또, 본 실시형태에 있어서의 스크류 로드(71)은, 예를 들면, 볼 스크류 샤프트(ball screw shaft) 등을 바람직하게 이용할 수 있고, 승강 부재(72)에는 볼 스크류 너트(ball screw nut)를 마련할 수 있다.

상기 구성에 있어서, 본 실시형태에 관한 기대부(13)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 해당 기대부(13)의 측면이 되는 측벽(133)에, 저벽(131)으로부터 소정 높이 h가 되는 위치에, 기대 부착부로서의 기대 고정용 플랜지(8)를 마련하고 있다.

그리고, 하우징체(20)의 기대 설치 프레임(23)에 기대 수용 오목부(25)를 형성하고, 이 기대 수용 오목부(25)내에, 기대부(13)를 기대부(13)의 저벽(131)에서 기대 고정용 플랜지(8)의 하단에 대응하는 부분까지를 매몰시킨 상태에서 고정시키고 있다. 또, 도시하지 않지만, 기대 고정용 플랜지(8)에는 볼트 삽입통과 구멍이 마련되어 있고, 연결 볼트를 거쳐서 기대 고정용 플랜지(8)와 기대 설치 프레임(23)을 연결해서 고정시키고 있다.

즉, 기판 처리 장치(1)에서는 반송 로봇(10)을 하우징체(20)내에 배치한 상태에 있어서, 핸드(11)가 카세트(30)내의 최하단에 수납된 기판(5)으로 액세스할 수 있도록 하기 위해, 기대부 높이 H0이 미리 규정되어 있다. 여기서, 기대부 높이 H0은 기대 설치 프레임(23)의 상면에서 기대부(13)의 천장벽(132)까지의 높이이다.

한편, 얼라이너 장치(6)에까지 핸드(11)가 닿도록 하기 위해서는 아암부 승강 범위 α로서는 단지, 카세트(30)의 최하단에 위치하는 기판(51)과 최상단에 위치하는 기판(52)의 사이의 이간 거리로 규정되는 제 1 승강 범위 X1만으로는 부족하다. 즉, 제 1 승강 범위 X1보다도 소정 길이만큼 신장해야 한다.

또, 여기서 소정 길이는 카세트(30)의 최상단에 위치하는 기판(52)으로부터의 소정 높이의 치수이다. 즉, 카세트(30)의 최상단에 위치하는 기판(52)과, 해당 최상단에 위치하는 기판(52)보다도 위쪽에 마련된, 예를 들어, 얼라이너 장치(6)의 사이에 규정되는 제 2 승강 범위 X2에 상당하는 이간 거리이다.

따라서, 본 실시형태에 관한 반송 로봇(10)은 아암부 승강 범위 α 중에 제 2 승강 범위 X2를 확보하기 위해, 기대부(13)의 길이 H1을 제 2 승강 범위 X2에 상당하는 길이만큼 길게 하고 있다.

즉, 기대부(13)의 신장을, 제 2 승강 범위 X2에 상당하는 길이 분만큼 높게 한 것에 의해, 이 연장 분만큼 기대부(13)의 내부에 있어서의 승강 부재(72)의 승강 범위를 길게 하는 것을 가능하게 하고 있다.

또한, 이 연장한 제 2 승강 범위 X2에 상당하는 길이 치수를, 기대 고정용 플랜지(8)의 설치 높이 치수와 동일하게 하여, 기대부(13)의 높이의 연장분을 기대 설치 프레임(23)의 두께 t 중에서 흡수하고 있다.

본 실시형태에서는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 기대 고정용 플랜지(8)의 부착 높이로 되는, 저벽(131)으로부터의 소정 높이 h의 치수와, 기대 설치 프레임(23)의 두께 t의 치수를 동등하게 하고 있다. 따라서, 도시하는 바와 같이, 기대부(13)의 저면벽(131)의 이면과 기대 설치 프레임(23) 이면은 대략 면일치로 되어 있다.

이와 같이, 본 실시형태에 관한 반송 로봇(10)의 기대부(13)의 길이 H1는 기판 처리 장치(1)로서 규정되는 기대부 높이 H0(기대 설치 프레임(23)의 상면에서 기대부(13)의 천장벽(132)까지의 높이)보다도 높게 형성되어 있다. 그러나, 그럼에도 불구하고, 아암부(12)의 핸드(11)는 카세트(30)내의 최하단에 수납된 기판(5)으로, 기대부(13)의 천장벽(132)과 간섭하는 일 없이 원활하게 액세스할 수 있다.

또한, 물론, 아암부 승강 범위 α 중에 제 2 승강 범위 X2가 확보되어 있기 때문에, 아암부(12)의 핸드(11)는 얼라이너 장치(6)에까지 문제없이 닿는다.

여기서, 실시형태에 관한 반송 로봇(10)의 기대부(13)의 구성을, 도 3에 도시된, 반송 로봇(50)과 비교한다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 비교예에 관한 반송 로봇(50)의 기대부(53)는 측벽(133)의 최하단에 기대 고정용 플랜지(8)가 마련되어 있다. 즉, 기대부(53)는 하우징체(20)의 기대 설치 프레임(23)상에 탑재된 상태에서 기대 고정용 플랜지(8)를 거쳐서 연결 고정되고, 기대 설치 프레임(23)의 상면과 기대부(53)의 저면벽(131)의 이면이 맞닿음 상태에 있다.

즉, 비교예에 관한 반송 로봇(50)은 기대부(53)의 길이 H2를 기판 처리 장치(1)로서 규정되는 기대부 높이 H0(기대 설치 프레임(23)의 상면에서 기대부(53)의 천장벽(132)까지의 높이)과 동등하게 하지 않을 수 없다.

따라서, 상술한 승강 기구(7)(도 2 및 도 3 참조)를 갖는 한, 비교예에 관한 반송 로봇(50)에서는 아암부 승강 범위 α를, 제 1 승강 범위 X1보다도 신장하는 것은 어렵다. 즉, 비교예에 관한 반송 로봇(50)에서는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 제 1 승강 범위 X1이 그대로 아암부 승강 범위 α가 된다.

이에 반해, 본 실시형태에 관한 반송 로봇(10)은 기대부(13)를, 기대 설치 프레임(23)에 형성한 기대 수용 오목부(25)내에, 저벽(131)에서 소정 높이 h에 설정된 기대 고정용 플랜지(8)까지를 매몰시킨 상태에서 고정시키고 있다.

그 때문에, 카세트(30)보다도 위쪽에 위치하는 얼라이너 장치(6)에까지 핸드(11)가 닿는 동시에, 예를 들면, 제 1 아암(121)이 기대부(13)의 천장벽(132)에 간섭하는 일 없이, 카세트(30)의 최하단에 위치하는 기판(51)으로도 액세스할 수 있다.

또한, 기대부(13)를, 기대 설치 프레임(23)에 대해, 이와 같이 매몰시킨 상태에서 고정시킨 것에 의해, 비교예에 관한 반송 로봇(50)과 같이, 기대부(53)를 기대 설치 프레임(23)상에 탑재한 상태에서 고정시키는 것보다도, 고정 강도를 높이는 것이 가능해진다.

또한, 아암부 승강 범위 α는 카세트(30)의 최하단에 위치하는 기판(51)과 최상단에 위치하는 기판(52)의 사이의 이간 거리로 규정되는 제 1 승강 범위 X1과, 최상단에 위치하는 기판(52)과, 이것보다도 소정 높이만큼 위쪽에 설정된 위치의 사이의 이간 거리로 규정되는 제 2 승강 범위 X2를 포함하는 것으로 하였다.

그리고, 제 2 승강 범위 X2에 따라서, 저벽(131)에서 기대 고정용 플랜지(8)까지의 소정 높이 h를 설정하고 있다. 그리고, 이 소정 높이 h를 기대 설치 프레임(23)의 두께 t에 상당하는 치수 이내로 설정하고 있다. 따라서, 기대부(13)의 저벽(131)이 기대 설치 프레임(23)의 아래쪽으로 돌출되지 않는다.

그 때문에, 예를 들면, 하우징체(20)를 포크 리프트 등으로 반송하는 경우, 포크 리프트의 포크를 기대 설치 프레임(23)의 하부에 꽂아 넣어도 기대부(13)의 저벽(131)에 부딪힐 우려가 없다.

또한, 본 실시형태에 관한 반송 로봇(10)은 스크류 로드(71)인 볼 스크류 샤프트에 있어서의 나사부의 하단이, 도 2에 도시하는 바와 같이, 기대 설치 프레임(23)의 두께 t의 범위내에 위치하고 있다. 그리고, 승강 부재(72)의 승강 가능한 범위의 하단에 대해서도 기대 설치 프레임(23)의 두께 t의 범위내에 위치시키고 있다.

따라서, 기대 설치 프레임(23)의 상면에서 기대부(13)의 천장벽(132)까지의 높이인 기대부 높이 H0이 제한되는 중에서, 기대부(13)의 내부에 있어서, 아암부 승강 범위 α에 따른 승강 부재(72)의 승강 범위를 효율적으로 설정할 수 있다.

상술한 실시형태의 새로운 효과나 변형예는 당업자에 의해서 용이하게 도출할 수 있다. 이 때문에, 본 발명의 더욱 광범한 형태는 이상과 같이 나타내고 또한 기술한 특정의 상세 및 대표적인 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 첨부한 특허청구의 범위 및 그 균등물에 의해서 정의되는 총괄적인 발명의 개념의 정신 또는 범위에서 이탈하는 일 없이, 각종 변경이 가능하다.

예를 들면, 본 실시형태에 있어서의 기대 고정용 플랜지(8)의 부착 높이, 즉, 저벽(131)으로부터의 소정 높이 h의 치수를, 기대 설치 프레임(23)의 두께 t의 치수와 동등하게 했지만, 반드시 동등하게 할 필요는 없다. 소정 높이 h의 치수는 기대 설치 프레임(23)의 두께 t의 치수 이내로 설정되어 있으면 좋다. 즉, 기대부(13)의 저면벽(131)이 기대 설치 프레임(23)의 아래쪽으로 돌출되지 않으면 좋다.

또한, 승강 기구(7)의 구조에 대해서도, 기대부(13)의 내부에 세워 마련된 종축을 따라 아암부(12)에 연접한 승강 부재(72)가 승강하는 구조이면, 종축은 반드시 상술한 볼 나사 샤프트와 같은 스크류 로드(71)일 필요는 없다. 또한, 모터(70)의 레이아웃이나, 스크류 로드(71)에의 동력 전달 구조 등도 반드시 풀리나 벨트(예를 들면, 제 1 풀리(701), 제 2 풀리(702), 전동 벨트(703)) 등을 이용할 필요도 없다.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)

1: 기판 처리 장치 2: 필터

3: 기판 공급부 4: 기판 처리부

5, 51, 52: 기판(피반송물)

6: 얼라이너 장치 7: 승강 기구

8: 기대 고정용 플랜지(기대 부착부)

10, 50: 반송 로봇 11: 핸드

12: 아암부 13, 53: 기대부

20: 하우징체 23: 기대 설치 프레임

30: 카세트 71: 스크류 로드(종축)

72: 승강 부재 α: 아암부 승강 범위(승강 범위)

X1: 제 1 승강 범위 X2: 제 2 승강 범위

Claims

피반송물을 유지 가능한 핸드를 갖는 아암부와,
상기 아암부를 수평 방향으로 회전 자유롭게 지지하고, 소정의 기대 설치 프레임에 설치되는 기대부와,
상기 기대부를 상기 설치 프레임에 부착하도록 구성된 부착부와,
상기 기대부 내에 마련되고, 해당 기대부 내에 세워 마련한 종축을 따라 상기 아암부에 연접한 승강 부재를 승강시키는 것에 의해, 상기 아암부를, 상기 기대부의 위쪽에 규정된 승강 범위 내에서 승강시키는 승강 기구를 구비하고,
상기 기대부는,
상기 기대 설치 프레임에 형성된 기대 수용 오목부 내에, 해당 기대부의 저벽에서 소정 높이에 설정된 기대 부착부까지를 매몰시킨 상태에서 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 로봇.
제 1 항에 있어서,
상기 기대 부착부는 상기 기대부의 측면에 마련된 기대 고정용 플랜지인 것을 특징으로 하는 반송 로봇.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 피반송물은 높이 방향의 소정 영역 내에 다단으로 배치되어 있고,
상기 아암부의 상기 승강 범위는
상기 소정 영역의 최하단에 위치하는 피반송물과, 최상단에 위치하는 피반송물 사이의 이간 거리로 규정되는 제 1 승강 범위와,
상기 최상단에 위치하는 피반송물과, 해당 최상단에 위치하는 피반송물보다도 소정 거리만큼 위쪽에 설정된 위치 사이의 이간 거리로 규정되는 제 2 승강 범위를 포함하고,
상기 제 2 승강 범위에 따라, 상기 저벽에서 상기 기대 부착부까지의 상기 소정 높이를 설정한 것을 특징으로 하는 반송 로봇.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 기대부에 있어서의 상기 저벽에서 상기 기대 부착부까지의 상기 소정 높이는 상기 기대 설치 프레임의 두께 치수 이내로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 로봇.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 기대 설치 프레임은 기체를 정화하는 필터를 상부에 구비하고, 해당 필터에 의해 정화되어 다운 플로되는 청정 기류를 외부와 차단해서 내부를 클린화 가능한 하우징체의 저벽부를 구성하는 것을 특징으로 하는 반송 로봇.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 종축을, 나사부가 형성된 스크류 로드(screw rod)로 하고, 상기 나사부의 하단이, 상기 기대 설치 프레임의 두께의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 반송 로봇.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 승강 부재의 승강 가능한 범위의 하단이, 상기 기대 설치 프레임의 두께의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 반송 로봇.
청구항 1 또는 2에 기재된 반송 로봇과,
상기 반송 로봇을 배치한 하우징체의 한쪽의 측면에 마련된 기판 공급부와,
상기 하우징체의 다른 쪽의 측면에 마련되고, 상기 반송 로봇을 사이에 두고 상기 기판 공급부와 대향해서 위치하는 기판 처리부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.