KR20130001061U

KR20130001061U - 경질 취성판의 둘레가장자리 가공 장치

Info

Publication number: KR20130001061U
Application number: KR2020120006881U
Authority: KR
Inventors: 도모키 사카이
Original assignee: 나카무라 토메 세이미쓰고교 가부시키가이샤
Priority date: 2011-08-05
Filing date: 2012-07-31
Publication date: 2013-02-14
Also published as: KR200482799Y1; CN202701931U; JP5808190B2; JP2013035089A; TWM452037U

Abstract

[과제] 반입된 판형상의 워크의 위치 및 각도의 오차를 보정하는 보정수단을 구비한, 소형이고 장치구조도 간단하며 또한 부품개수도 적은, 둘레가장자리 가공장치를 제공한다.
[해결 수단] 연직 축 주위로 회전하는 테이블, 워크의 둘레가장자리를 가공하는 공구, 공구 이송 장치 및 워크의 모서리부의 화상을 취득하는 1개의 카메라를 구비한다. 테이블에 워크가 반입되었을 때, 카메라로 워크의 제1의 모서리부와 180도 대향하는 제2의 모서리부의 화상을 취득하고, 그러한 모서리부가 있어야 할 위치로부터의 2차원 평면 방향의 편차를 검출하고, 그러한 편차로부터, 테이블 중심에 대한 워크의 중심의 위치 편의 및 각도 편의를 연산한다.

Description

경질 취성판의 둘레가장자리 가공 장치{APPARATUS FOR CIRCUMFERENCE GRINDING HARD BRITTLE PLATE}

이 고안은, 텔레비전, 휴대형의 컴퓨터, 휴대 전화 등의 표시 패널에 이용하는 유리 기판, 그 밖의 경질 취성판(硬質脆性板)의 둘레가장자리 가공 장치에 관한 것으로, 특히 가공 장치의 테이블 상에 반입된 워크의 편의(偏倚)(위치 및 각도의 오차)를 보정하는 보정 수단을 구비한 상기 장치에 관한 것이다.

워크의 둘레가장자리의 가공을 정확하게 행하기 위해서는, 그 전제로서, 워크를 테이블 상에 정확하게 위치 결정해서 고정할 필요가 있다. 그러나, 평판 형상 워크의 둘레가장자리 전체를 가공하는 장치에서는, 둘레가장자리의 위치나 방향을 결정하는 가이드 등을 마련할 수 없고, 평판의 면을 흡착하거나 상하로 끼워지지하거나 해서 고정하지 않으면 안되기 때문에, 워크의 중심을 테이블의 중심에 정확하게 일치시키는 것이나, 워크의 방향을 소정의 방향으로 설정하는 것이 곤란하다. 그 때문에, 테이블 상에 반입된 워크의 중심 위치나 방향으로 오차가 생긴다.

휴대 전화용의 패널과 같이 워크가 작을 때는, 그 둘레가장자리를 파지하여 테이블에 반입하거나, 가공 장치에 반입하기 전에 둘레가장자리 기준으로 워크의 중심을 위치 결정하는 센터링대에 일단 워크를 두고 나서 가공 장치에 반입한다고 하는 수단에 의해, 편의를 실용상 문제가 생기지 않는 범위로(예를 들면, 편의량을 둘레가장자리 가공시에 있어서의 가공 여유분의 범위내로) 하는 것이 가능하다. 그러나, 워크가 커지면, 워크 반입시에 있어서의 워크와 테이블 사이의 편의량도 커지기 때문에, 편의량을 보정하여 가공을 행하는 것이 필요하게 된다.

도 10은, 대형의 직사각형의 유리 기판의 둘레가장자리 가공 장치를 모식적으로 나타낸 도면으로, 테이블(12)상에 고정한 유리 기판(w)을 도면의 Y방향으로 이동하면서 테이블(12)의 양측에 배치한 숫돌(3, 3)로 워크의 Y방향의 양측 변(邊)(e, e)의 가공을 행하는 장치이다. 이런 종류의 둘레가장자리 가공 장치에서는, 장치에 설치한 2대의 카메라(5, 5)로 워크의 모서리부(角部) 또는 모서리부 부근에 마련한 마크(m1, m2)를 읽어내서 Y방향과 직교하는 X방향의 편의를 구하고, 게다가 워크를 가공하기 전에 테이블(12)을 Y방향으로 주행하여 한쪽의 카메라(5)로 워크의 Y방향의 반대측의 모서리 또는 마크(m3)를 읽어내고, 양자의 X방향의 위치의 차이와 테이블의 Y방향의 이동량으로부터, 워크의 각도 편의(기울기)를 구한다. 그리고, 검출된 워크의 각도 편의는, 테이블(12)의 연직 축 회전의 회동으로 보정하고, X방향의 편의는, 제어기로부터 부여되는 공구(3)의 X방향의 위치 지령을 보정하여 공구의 위치를 설정하는 것에 의해 보정하고 있다. 한편, 워크의 Y방향의 편의는, 다른쪽의 양측 변(e, e)을 가공할 때에 테이블을 90도 회동하여 2개의 카메라(5, 5)로 마크(m1, m3)(또는 그 부분의 모서리)를 읽어내는 것에 의해 검출하고 있다.

테이블 상에 반입된 워크(가공전의 워크는, 일반적으로는 직사각형이다.)를 원호나 오목부를 포함한 자유 형상으로 가공하는 둘레가장자리 가공 장치는, 종래, 공구(일반적으로는 회전 숫돌)를 직교하는 2 방향(X－Y방향)으로 보내는 이송대를 마련하고, 가공되는 둘레가장자리 형상에 따라서 공구를 2차원 평면 형상으로 이동시킨다고 하는 머시닝 센터(machining center)에 의한 워크 가공과 동일한 방법으로 가공을 행하고 있었다. 이것에 대해서 본원 출원인은, 워크(w)를 고정한 테이블의 연직축(P) 주위로의 회전각(θ)과, 테이블 중심(P)을 향해서 접근 및 이격하는 도면의 X방향의 공구(3)의 이동을 관련지어서 제어하는 것에 의해, 도 3에 도시하는 바와 같이 워크(w)에 자유 형상의 둘레가장자리 가공을 행하는(이하, 「컨투어링(contouring) 방식」이라고 한다.) 장치를 제안하고 있다. 컨투어링 방식의 둘레가장자리 가공 장치는, 종래의 머시닝 센터 방식의 둘레가장자리 가공 장치에 비해서 장치의 설치 면적을 대폭으로 저감할 수 있다고 하는 특징이 있다.

특허문헌 1 : 일본 공개특허공보 2011-116118호

상술한 바와 같이, 가공하는 워크가 대형으로 되면 될수록, 가공 장치로의 워크 반입시의 편의량이 커지는 경향이 있기 때문에, 컨투어링 방식의 둘레가장자리 가공 장치에 있어서도, A4나 B5사이즈 등의 중형 이상의 기판의 가공에 있어서는, 테이블 상에 반입된 워크(통상은 직사각형이다)의 중심 위치의 편의와 방향의 편의(각도의 편의)를 검출하는 것이 불가결하게 된다. 이 경우, 도 10에 도시한 바와 같은 방법으로 워크의 중심과 방향의 편의를 검출하려고 하면, 카메라가 2대 필요한데다가, 워크의 변의 길이에 상당하는 거리만큼 테이블 또는 카메라를 이동하지 않으면 안되고, 워크가 대형으로 될수록, 그 이동거리가 길어지게 되기 때문에, 장치의 동작 면적이 커지고, 장치를 소형화할 때 장해가 된다.

워크를 가공 장치에 반입하기 전에 센터링대에서 워크의 센터링을 행하고 나서 반입한다고 하는 방법에 있어서도, 워크가 대형으로 될수록 센터링대의 면적이 커지므로, 장치가 커지는 것을 피할 수 없고, 워크의 반입에 시간이 걸리고 생산성도 저하된다.

이 고안은, 가공하는 워크의 대형화에 수반하여 발생하는 상기와 같은 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 테이블 상에 반입된 워크의 편의량을 검출하고 보정하는 것에 의해, 정확한 워크의 가공을 가능하게 한, 소형이며 장치 구조도 간단하고 또한 부품 개수도 적은 둘레가장자리 가공 장치를 제공하는 것을 과제로 하고 있다.

이 고안의 둘레가장자리 가공 장치는, 표시 패널 등의 판 형상의 워크(w)를 수평으로 유지하여 연직 축 주위로 회전하는 테이블(12)과, 워크(w)의 둘레가장자리를 가공하는 공구(3)와, 제어기(4)와, 해당 제어기로부터의 지령값에 기초하여 공구(3)의 위치를 제어하는 이송장치(23)와, 워크(w)의 모서리부(A, B)의 화상을 취득하는 1개의 카메라(5)를 구비하고, 제어기(4)는, 카메라(5)를 이용한 화상 취득 및 화상 해석 수단과, 공구 위치의 보정 수단과 테이블 회전각의 보정 수단을 구비하고 있다.

화상 취득 수단은, 테이블(12)에 워크(w)가 반입되었을 때, 카메라(5)로 해당 워크의 제1의 모서리부(A)의 화상(a)을 취득하고, 다음에 테이블(12)을 180도 회동하여 동일한 카메라(5)로 제2의 모서리부(B)의 화상(b)을 취득한다. 화상 해석 수단은, 얻어진 2매의 화상의 각각에 대해서, 워크(w)의 제1의 모서리부(A) 및 제2의 모서리부(B)가 있어야 할 위치로부터의 2차원 평면상에서의 편차(δxa, δya, δxb, δyb)를 검출하고, 제어기(4)는, 그러한 편차로부터, 테이블 중심(P)에 대한 워크(w)의 중심(Q)의 위치 편의(Δx, Δy) 및 각도 편의(Δθ)를 연산한다.

카메라의 화상상에 있어서의 제1의 모서리부(A) 및 제2의 모서리부(B)의 위치 편차(δx, δy(직각 좌표계의 경우) 또는 δr, δθ(극좌표계의 경우))는, 모서리부에 마크(Ma, Mb)를 마련하고 있는 워크는, 그러한 마크(Ma, Mb)가 있어야 할 위치(Mo)로부터의 편차로 검출한다. 이러한 마크가 마련되어 않은 워크는, 허프(Hough) 변환 등의 수법에 따라, 워크의 모서리의 양측의 경계선(a1, a2, b1, b2)을 검출하고, 그 교점(Ca, Cb)이 있어야 할 위치(Co)로부터 편차를 검출한다. 또, 모서리부가 크게 라운딩되어 둥글게 형성된 워크는, 원호에 대한 허프 변환 등의 수법에 따라, 워크의 모서리의 원호의 중심(Oa, Ob)을 구하고, 그 있어야 할 위치(Oo)로부터 편차를 검출한다.

테이블 회전각의 보정 수단은, 얻어진 각도 편의(Δθ)에 기초하여, 테이블(12)의 회전각의 지령값을 보정한다. 또, 공구 위치 보정 수단은, 워크(w)의 위치 편의(Δx, Δy 또는 Δr, Δθ)에 기초하여, 가공 프로그램으로 지정되는 가공 형상을 실현하기 위한 공구 위치의 지령값을 보정한다.

이 고안은, A4사이즈나 B5사이즈 등의 중형의 액정 패널의 둘레가장자리를 가공하는 가공 장치에 특히 적합하다. 중형의 액정 패널은, 도 10과 같은 종래 방식으로 테이블(12)상의 워크(w)의 편의를 검출하기에는 워크 치수가 너무 작고, 또, 테이블(12)상으로의 개개의 워크(w)의 반입 오차를 보정하지 않고 가공을 행하기에는, 워크 치수가 너무 커서, 반입 오차에 따른 가공 불량품의 발생이 많아진다.

이 고안에 의하면, 테이블 상에 반입된 워크 1개마다의 위치 편의와 각도 편의의 양쪽을, 1개의 카메라로 또한 테이블을 180도 회전시킬 뿐의 동작으로 검출할 수 있으며, 그 검출값에 기초하여 워크 1개마다 제어기로부터 출력되는 지령값을 보정하여 가공을 행할 수 있다. 그리고, 워크의 위치 검출을 위해서 테이블이나 카메라를 이동시킬 필요가 없기 때문에, 장치의 설치 면적 내지 동작 영역을 증대시키는 일이 없다.

또 이 고안에서는, 1개의 카메라로 워크의 위치 및 각도의 편의를 검출할 수 있기 때문에, 장치 구조가 간단하게 되어 장치를 염가로 제공할 수 있다. 특히 중형 이상의 표시 패널의 둘레가장자리를 컨투어링 방식으로 가공하는 둘레가장자리 가공 장치에서는, 이 고안을 채용하는 것에 의해, 공간절약되고 워크의 1매마다의 반입 오차를 신속하게 검출하고, 효율적으로 가공을 행하는 것이 가능한, 설치 면적 및 동작 면적이 작고, 구조가 간단하며 부품 개수도 적은 둘레가장자리 가공 장치를 얻을 수 있다고 하는 효과가 있다.

도 1은, 둘레가장자리 가공 장치의 모식적인 측면도이다.
도 2는, 도 1의 장치의 주요한 기기 배치를 나타내는 평면도이다.
도 3은, 컨투어링 방식의 가공을 나타내는 설명도이다.
도 4는, 도 2의 배치예에 있어서의 카메라의 화상을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 5는, 모서리부에 마크가 붙여져 있는 워크인 도 4와 동일한 도면이다.
도 6은, 모서리가 원호의 워크인 도 4와 동일한 도면이다.
도 7은, 기기 배치의 제 2 예를 나타내는 평면도이다.
도 8은, 도 7의 배치예에 있어서의 카메라의 화상을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 9는, 워크 위치의 검출 순서를 나타내는 플로우차트이다.
도 10은, 대형 워크의 둘레가장자리 가공 장치에 있어서의 종래의 워크의 편의 검출을 나타내는 모식적인 사시도이다.

이하, 도면을 참조하여 이 고안의 둘레가장자리 가공 장치의 실시형태를 설명한다. 도 1은 둘레가장자리 가공 장치의 모식적인 측면도, 도 2는 기기 배치를 나타내는 평면도이다.

도면에 있어서, 워크축(1)은, 연직 방향의 중공축이며, 프레임에 축받이(11)로 회전이 자유롭게 축지지되어 있다. 워크축(1)의 상단에는, 테이블(12)이 고정되어 있으며, 이 테이블의 상면은, 수평인 워크 유지면(13)으로 되어 있다. 워크 유지면(13)에는, 워크축(1)의 중공 구멍을 지나서 부압이 공급되고 있으며, 워크 유지면(13)에 놓여진 워크(w)는, 하면이 진공 흡착되어서 테이블(12)에 고정된다. 워크축(1)의 하단에는, 주축 모터(서보 모터)(15)가 연결되어 있다. 주축 모터(15)는, 서보 앰프(41)를 통하여 제어기(4)에 접속되고, 제어기(4)의 지령에 따라서 워크축(1)의 회전각이 제어되고 있다.

워크축(1)의 상방에는, 가로 이송대(21)가 마련되어 있다. 가로 이송대(21)는, 도시하지 않는 프레임에 설치된 수평방향의 가로 가이드에 이동이 자유롭게 안내되고, 가로 이송 모터(서보 모터)(23)로 회전 구동되는 가로 이송 나사(24)에 나사식 결합하고 있다. 가로 이송 모터(23)는, 서보 앰프(42)를 통하여 제어기(4)에 접속되어 있으며, 가로 이송대(21)의 이동 위치가 제어기(4)에 의해서 제어되고 있다.

가로 이송대(21)에는, 세로 이송대(25)가 마련되어 있다. 세로 이송대(25)는, 가로 이송대(21)에 고정한 연직 방향, 즉 워크축(1)과 평행한 방향의 세로 가이드(도시되어 있지 않다)에 이동이 자유롭게 장착되고, 세로 이송 모터(26)로 회전 구동되는 세로 이송 나사(27)에 나사식 결합하고 있다.

세로 이송대(25)에는, 숫돌축(31)이 축지지되고, 이 숫돌축의 하단에 숫돌(3)이 장착되어 있다. 숫돌축(31)은, 연직 방향의 축받이(32)로 워크축(1)과 평행으로 축지지되어 있다. 숫돌축(31)의 상단은, 톱니붙이 벨트(33)를 통하여 숫돌 구동 모터(34)에 연결되어 있다.

워크축(1)의 축심 및 숫돌축(31)의 축심은, 가로 이송대(21)의 이동 방향과 평행한 동일 연직면(s)상에 위치하고 있다. 도 3은, 컨투어링 방식에 따른 워크(w)의 외주 가공을 모식적으로 나타낸 도면으로, 제어기(4)로 가로 이송대(21)의 이동량(x)과 워크축(1)의 회전각(θ)을 관련지어서 제어하는 것에 의해, 소망하는 평면 형상의 둘레가장자리 가공을 행한다. 한편 도면에는 도시하지 않지만, 워크에 관통구멍이나 안지름 가공을 행하는 장치에서는, 세로 이송대(25)에, 숫돌(3)에 대해서 상대 승강 가능한 소경(小徑)의 숫돌을 마련하여, 관통구멍이나 안지름 가공을 행한다.

가로 이송대(21)에는, 테이블(12)상의 워크의 모서리부(A, B)의 화상을 취득하는 카메라(5)가 장착되어 있다. 도 1, 2의 예에서는, 카메라(5)는, 가로 이송대(21)에 Y방향(도 1의 지면 직각 방향)으로 이동 위치 결정되는 이동대(51)를 통하여 가로 이송대(21)에 장착되어 있다. 이동대(51)는, 이동 모터(52)로 구동되는 이송 나사(53)에 나사식 결합하고 있으며, 이동 모터(52)는, 서보 앰프(43)를 통하여 제어기(4)에 접속되고 있다.

반입되는 워크의 크기나 그것에 붙여진 마크의 위치는 알고 있기 때문에, 테이블(12)상에 반입된 워크(w)의 모서리나 마크가 있어야 할 위치는, 연산에 의해서 구할 수 있다. 제어기(4)로 가로 이송 모터(23)와 이동 모터(52)를 제어하는 것에 의해, 카메라(5)가 취득하는 화상의 원점을 워크(w)의 모서리부(A, B)가 있어야 할 검출 위치(Mo, Co, Oo)에 정확하게 위치 결정할 수 있다. 또, 카메라(5)는, 예를 들면 20㎜×25㎜ 정도의 촬영 영역을 구비하고 있으며, 테이블(12)상에 고정된 워크의 편의량은, 이 카메라의 촬영 영역에 비해서 충분히 작다. 따라서, 편의한 상태로 테이블에 고정된 워크의 모서리부(A, B)는, 이 카메라의 촬영 영역 내에 들어가 있다.

도 4는, 카메라가 취득한 화상의 예를 나타낸 도면으로, 화상상에 있어서의 워크의 경계선의 교점으로부터 워크의 모서리를 검출하는 경우의 것이다. 워크(w)가 테이블(12)에 고정된 후, 해당 워크가 있어야 할 모서리 위치에 원점(Co)을 위치 결정한 카메라(5)로 워크의 제1의 모서리부(A)의 화상을 취득한다. 취득한 화상은, 예를 들면 도 4의 (a)와 같이 된다.

다음에 카메라(5)의 위치를 고정한 채로 테이블(12)을 180도 회전하여, 워크(w)의 제2의 모서리부(B)의 화상을 취득한다. 이 화상은, 예를 들면 도 4의 (b)와 같이 된다. 화상(a), (b)의 각각의 직교하는 2개의 선분(a1, a2, b1, b2)상의 임의의 2점에 대해서 허프 변환의 방법 등에 따라, 선분(a1, a2, b1, b2) 및 그 교점(Ca, Cb)의 화상상에서의 좌표를 취득할 수 있다. 그리고, 교점(Ca, Cb)의 원점(Co)(테이블 상에 워크가 정확하게 놓여졌을 때의 교점(Ca, Cb)의 위치)으로부터의 X방향의 및 Y방향의 좌표(편의)(δxa, δya, δxb, δyb)로부터, 테이블(12)의 중심(P)과 워크(w)의 중심(Q)과의 X방향 및 Y방향의 화상상에서의 편의량을 검출할 수 있다.

화상상에서의 편의량과 실제의 편의량과의 비는, 예를 들면 NC장치로 가로 이송대(21)를 1㎜ 이동했을 때의 화상상에서의 점(Ca 또는 Cb)의 이동량을 검출하는 것에 의해서 설정할 수 있다. 따라서 이러한 4개의 편의량의 검출값(δxa, δya, δxb, δyb)으로부터, 기하학의 원리로부터 유도되는 연산식을 이용하여, 테이블(12)상에서의 워크(w)의 위치 편의량(Δx, Δy) 및 각도 편의량(Δθ)을 구할 수 있다.

도 4는, 모서리부(A, B)의 2직선의 교점(Ca, Cb)으로부터 각 모서리부가 있어야 할 위치(Co)로부터의 편차를 검출하는 예이지만, 예를 들면, 워크의 모서리부에 마크(M)가 붙여져 있을 때는, 해당 마크의 화상(Ma, Mb)과 그러한 마크가 본래 있어야 할 위치(Mo)와의 편차를 검출하면 좋고(도 5), 또, 워크의 모서리부가 크게 라운딩되어 있을 때는, 원호에 대한 허프 변환 등에 의해 구한 해당 원호의 식으로부터 그 중심(Oa, Ob)을 구하고, 그 있어야 할 위치(Oo)로부터의 편차를 검출하고(도 6), 동일한 순서에 따라, 테이블(12)상에 반입된 개개의 워크(w)의 위치 편차 및 각도 편차를 연산할 수 있다.

이상의 예는, 테이블(12)을 원점 각도로 하여 카메라(5)를 X방향 및 Y방향으로 이동하는 것에 의해서, 워크의 크기에 따라서 바뀌는 모서리부의 위치로 카메라를 이동하고, 해당 모서리부의 화상을 취득하는 것이지만, 카메라를 가로 이송대(21)의 정위치에 고정하고 크기가 다른 워크의 모서리부의 화상을 취득하는 것도 가능하다.

도 7 및 8은, 그 예를 나타낸 도면으로, 카메라(5)는, 가로 이송대(21)의 정위치(도면의 예에서는, 숫돌축(31)의 축심과 워크축(1)의 축심을 포함한 평면(s)상의 위치)에 고정적으로 마련되어 있다. 이 구조의 경우, 테이블(12)에 워크(w)가 반입된 상태에서는, 워크의 모서리부는, 카메라(5)의 촬영 영역에는 들어가지 않는다. 따라서, 워크를 테이블(12)에 고정한 후, 미리 알고 있는 워크의 대각(對角) 치수(L)의 1/2만큼 테이블 중심(P)으로부터 떨어진 위치에 카메라(5)가 오도록 가로 이송대(21)를 이동하고, 또한 그 대각선의 X축에 대한 각도(α)만큼 테이블(12)을 회전하고, 제1의 모서리부(A)가 카메라(5)의 촬영 영역에 들어가도록 한다. 그리고, 카메라(5)로 제1의 모서리부(A)의 화상을 취득하고, 다음에 테이블(12)을 180도 회동하는 것에 의해, 워크의 제2의 모서리부(B)가 카메라(5)의 촬영 영역에 오기 때문에, 제2의 모서리부(B)의 화상을 취득한다.

따라서 얻어진 화상으로부터 도 4의 경우와 동일하게, 교점 내지 모서리의 원호 중심을 구하고, 이러한 점이 있어야 할 위치로부터의 편차(워크가 α만큼 비스듬하게 된 상태에서의)(δxa, δya, δxb, δyb)를 구한다. 이러한 값과 테이블의 각도(α)로부터, 테이블(12)과 워크(w)의 위치 및 각도 편차(Δx, Δy, Δθ)를 구할 수 있다.

상술한 워크의 편의량(Δx, Δy, Δθ)의 검출은, 워크(w)가 테이블(12)에 반입될 때마다 행해지며, 워크마다 얻어진 보정값을 이용하여 워크의 가공이 행해진다. 도 9는, 그 검출 순서를 나타내는 도면이다.

도면에 나타내는 바와 같이, 워크(w)가 테이블(12)상에 반입되면, 이송대(21) 및 이동대(51)의 이동(도 2의 구조인 경우) 또는 이송대(21)의 이동 및 테이블(12)의 회전에 의해(도 7의 경우), 카메라(5)를 계측점으로 이동하여, 제1의 모서리부(A)의 화상을 취득한다. 다음에 워크축(1)을 180도 회전해서 제2의 모서리부(B)의 화상을 취득한다. 그리고 스텝 71에서, 취득한 2매의 화상으로부터, 공구의 이송장치(23)나 워크축의 선회 구동장치(15)에 부여하는 지령값의 보정값을 연산한다. 그리고 스텝 72에서, 연산 결과, 즉 지령값의 보정량이 미리 제어기에 등록한 규정 범위내에 있는지 어떤지가 판정되고, 규정 범위내이면 보정값을 제어기에 등록해서 종료하고, 다음의 공정인 워크의 가공 공정으로 이행한다.

만약, 스텝 72의 연산 결과가 규정 범위로부터 벗어나 있으면, 게다가 스텝 73에서, 제어기에 미리 설정한 측정의 재시도(retry) 조건, 예를 들면 재시도의 횟수나 연산 결과의 범위 등에 대한 재시도 조건에 합치하는지 어떤지를 조사하여 합치하고 있으면 제1의 모서리부의 화상 취득으로부터 시작되는 검출 절차를 재차 행한다. 이 경우에는, 예를 들면 워크의 둘레가장자리에 깨짐이 있었기 때문에 1회째의 연산 결과가 규정 범위로부터 벗어난 경우 등, 이 측정의 재시도에 의해서 바른 보정값을 얻을 수 있다. 측정의 재시도 조건, 예를 들면 재시도 횟수가 설정한 재시도 횟수를 넘었는지, 재시도시의 연산 결과가 역시 규정 범위로부터 벗어나 있다거나 하는 경우에는, 화상 처리에 의한 보정 처리의 실패 플래그(Flag)를 온으로 하여 검출 절차를 종료한다. 이 경우에는, 통상, 다음 공정의 가공을 행하지 않고, 반입된 워크를 가공하는 일 없이 장치로부터 배출한다.

1 : 워크축
3 : 숫돌
4 : 제어기
5 : 카메라
12 : 테이블
15 : 주축 모터
21 : 가로 이송대
23 : 이송장치(가로 이송 모터)
A, B : 워크의 모서리부
a1, a2, b1, b2 : 워크의 경계선
Ca, Cb　경계선의 교점
Ma, Mb : 위치 결정 마크
Oa, Ob : 모서리의 원호 중심
P : 테이블의 중심
Q : 워크의 중심
w : 워크

Claims

판 형상의 워크를 수평으로 유지하여 연직 축 주위로 회전하는 선회 테이블과,
상기 워크의 둘레가장자리를 가공하는 공구와,
제어기로부터의 지령값에 기초하여 상기 공구의 위치를 제어하는 이송장치와,
워크의 모서리부의 화상을 촬영하는 1개의 카메라와,
화상 취득 및 해석 수단과, 공구 위치 보정 수단을 구비하며,
화상 취득 수단은, 상기 카메라를 미리 정해진 워크의 모서리부를 촬영하는 위치로 설정하고, 선회 테이블에 워크가 반입되었을 때에 해당 카메라로 제1의 화상을 취득하고, 다음에 선회 테이블을 180도 회동하여 상기 카메라로 제2의 화상을 취득하고,
화상 해석 수단은, 제1의 화상 및 제2의 화상에 대해서, 촬영된 워크의 모서리부의 위치와 그것이 본래 있어야 할 위치와의 편차를 검출하고, 그 검출값으로부터 테이블 상에서의 워크의 위치 편의와 각도 편의를 연산하고,
공구 위치 보정 수단은, 검출된 위치 편의 및 각도 편의에 기초하여 상기 이송장치에게 부여하는 지령값을 보정하는,
경질 취성판의 둘레가장자리 가공 장치.
판 형상의 워크를 수평으로 유지하고 연직 축 주위로 회전하는 선회 테이블과,
제어기로부터의 지령값에 기초하여 해당 선회 테이블의 회전 및 회전각을 제어하는 선회 구동장치와,
상기 워크의 둘레가장자리를 가공하는 공구와,
상기 제어기로부터의 지령값에 기초하여 상기 공구를 상기 연직 축에 근접 이격하는 방향의 이동 및 위치를 제어하는 이송장치와,
워크의 모서리부의 화상을 촬영하는 1개의 카메라와,
화상 취득 및 해석 수단과, 공구 위치 보정 수단을 구비하고,
화상 취득 수단은, 상기 카메라를 미리 정해진 워크의 모서리부를 촬영하는 위치로 설정하고, 선회 테이블에 워크가 반입되었을 때에 해당 카메라로 제1의 화상을 취득하고, 다음에 선회 테이블을 180도 회동하여 상기 카메라로 제2의 화상을 취득하고,
화상 해석 수단은, 제1의 화상 및 제2의 화상에 대해서, 촬영된 워크의 모서리부의 위치와 그것이 본래 있어야 할 위치와의 편차를 검출하고, 그 검출값으로부터 테이블 상에서의 워크의 위치 편의와 각도 편의를 연산하고,
공구 위치 보정 수단은, 검출된 위치 편의 및 각도 편의에 기초하여 상기 이송장치 및 선회 구동장치에 부여하는 지령값을 보정하는,
경질 취성판의 둘레가장자리 가공 장치.
제 2 항에 있어서,
유리 기판을 부압(負壓)에 의해 흡착 고정한 테이블의 연직 축 주위의 회전각과, 해당 테이블의 회전 중심을 향하여 접근 및 이격하는 회전 숫돌의 1차원 방향의 이동을 관련지어서 제어하는 것에 의해, 상기 유리 기판에 자유 형상의 둘레가장자리 가공을 행하는, 둘레가장자리 가공 장치.
제 3 항에 있어서,
상기 테이블이, A4 내지 B5사이즈의 유리 기판을 그 전체둘레가 해당 테이블의 가장자리에서 비어져 나온 상태로 유지하는 평면 치수를 구비한 테이블인, 둘레가장자리 가공 장치.