JP7232071B2

JP7232071B2 - 加工装置におけるカメラの位置ずれ検出方法

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Publication number: JP7232071B2
Application number: JP2019022532A
Authority: JP
Inventors: 諭宮田
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-02-12
Filing date: 2019-02-12
Publication date: 2023-03-02
Anticipated expiration: 2039-02-12
Also published as: JP2020129640A

Description

本発明は、加工装置におけるカメラの位置ずれ検出方法に関する。

分割予定ラインによって区画された領域にデバイスを形成したウェーハをチャックテーブルに保持させて、分割予定ラインに沿って切削ブレードを切削送りしてウェーハを切削する加工装置を用いた加工においては、加工前に分割予定ラインを認識するためにアライメントを行っている。

アライメントでは、デバイスに形成された特定の模様をアライメントマークとして、アライメントマークから分割予定ラインまでの距離を予め設定しておき、次にチャックテーブルにウェーハを保持させてアライメントマークをカメラで撮像し、設定した距離に基づきアライメントマークから分割予定ラインを確認している（特許文献１参照）。また、アライメントでは、同じくカメラを用いて分割予定ラインを撮像して、分割予定ラインの溝幅方向の中心と切削ブレードの厚み方向の中心との位置合わせである、いわゆるヘアライン合わせが行われる（特許文献２参照）。このとき、加工装置に配設されている切削ブレードとカメラとは、切削送り方向に直交する割り出し送り方向において所定の距離だけずれた位置に位置付けられている場合があり、かかる場合のヘアライン合わせにおいては、図８に示すように、ヘアラインＨのＹ軸方向の中心と分割予定ラインＬの溝幅方向（Ｙ軸方向）の中心との間に、このずれを考慮した補正値Ｃの分の間隔が置かれることとなる。

加工装置は、切削送り方向となるＸ軸方向にチャックテーブルを移動させるＸ軸方向移動手段と、水平方向でＸ軸方向に直交するＹ軸方向にカメラと切削ブレードとを移動させるＹ軸方向移動手段とを備えており、上記のヘアライン合わせの作業の効率を上げるために、アライメントでは、Ｘ軸方向移動手段とＹ軸方向移動手段とを用いてアライメントマークを探してカメラで撮像して、アライメントマークから分割予定ラインを確認して、分割予定ラインが所定の位置に確認できたら切削加工を実施している。また、加工装置は、カメラの中心と、チャックテーブルの中心とをＺ軸方向に平行な同一軸上に一致させたときのＸ軸の位置とＹ軸の位置とを基準座標として記憶している。

特許第４３４２８０７号特開２００１－３０８０３４号公報

例えば、メンテナンス作業や、ブレード交換作業など、作業者によるメンテナンス作業が行われたときに、誤って作業者がカメラに接触し、カメラの位置がずれてしまった場合、アライメントは正常通り完了して切削加工を開始できる状態となる。しかし、実際にはカメラの中心と切削ブレードの厚み方向の中心とが所定の位置関係が以前とは異なってしまっているので、事前にヘアライン合わせで記憶しているブレードの厚み中心と、カメラのヘアラインの幅中心とを一致させる補正量で切削すると、デバイスを切断してしまうおそれがあるという問題がある。本発明が解決すべき課題は、不覚にもカメラの位置が変わったとしても、デバイスを切断しないようにすることにある。

本発明は、ウェーハを保持する保持面を有するチャックテーブルと、該保持面の中心を軸に該チャックテーブルを回転させる回転手段と、該保持面の上方から該保持面もしくは該保持面が保持したウェーハを撮像するカメラと、該保持面が保持したウェーハの該分割予定ラインに沿って加工する加工手段と、該チャックテーブルをＸ軸方向に加工送りするＸ軸方向移動手段と、該カメラと該加工手段とを該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動手段と、を備えた加工装置におけるカメラの位置ずれ検出方法であって、該保持面に対し垂直なＺ軸方向に平行な同一軸上に該保持面の中心と該カメラの撮像領域中心とを一致させたときの該Ｘ軸方向移動手段による制御上の該チャックテーブルのＸ軸位置と、該Ｙ軸方向移動手段による制御上の該カメラのＹ軸位置とを基準座標として記憶していて、該保持面の中心から径方向にずれた位置にある該保持面上のマークもしくは該保持面が保持したウェーハ上面のマークを該カメラが撮像した第一の撮像画を記憶する画像記憶工程と、該画像記憶工程で該マークを撮像したときの該Ｘ軸方向移動手段のＸ軸位置と該Ｙ軸方向移動手段のＹ軸位置とを第１の座標として記憶する座標記憶工程と、該チャックテーブルを所定の角度回転させたとき該マークが移動した移動先の仮想の第２の座標を算出する座標算出工程と、該チャックテーブルを実際に該所定の角度回転させる回転工程と、該第２の座標と該カメラの撮像領域中心とを該Ｚ軸方向に平行な同一軸上に位置づけ、該カメラで該保持面又は該保持面が保持したウェーハ上面を撮像し第二の撮像画を取得する撮像工程と、該撮像工程で撮像した第二の撮像画と該画像記憶工程で記憶している第一の撮像画を所定の角度回転させた画像とを照合させる照合工程と、該照合工程で画像が一致したときは、該カメラがずれていないと判断し、該照合工程で両画像が一致しないときは、該カメラがずれていると判断し、オペレータに通知する判断工程と、を備えた、カメラの位置ずれ検出方法である。

本発明は、ある方向の分割予定ラインを検出した後、チャックテーブルを９０度回転させある方向の該分割予定ラインに対し直交する方向の分割予定ラインを検出するときに、カメラずれの有無を確認するので、切削加工に入る前にカメラの位置のずれを認識し、デバイスを切削するのを防止できる。

加工装置全体を表す斜視図である。チャックテーブルの保持面に対して垂直な軸上にチャックテーブルの保持面の中心とカメラの撮像領域の中心とを一致させた際のチャックテーブルとカメラとを表す平面図である。カメラでマークを撮像して第一の撮像画として記憶する様子及び、そのカメラの位置におけるチャックテーブルのＸ軸位置と、カメラのＹ軸位置とを第１の座標として記憶する様子を表す平面図である。第１の座標を基にして算出された仮想の第２の座標を表す平面図である。マークが移動する前後のマークの様子を表す平面図である。第２の座標にカメラを位置付けてマークを撮像し、第二の撮像画を取得する様子を表す平面図である。第二の撮像画と第一の撮像画を９０度回転させた画像とを照合するために、２つの画像を重ねて表示した画像である。ヘアライン合わせの際の加工装置の画面を表す説明図である。

１加工装置について
図１に示す加工装置１は、表面Ｗａに分割予定ラインＬが形成されている円板形状のウェーハＷの分割予定ラインＬに沿って切削ブレード７３を切り込ませて、切削加工を行う加工装置である。ウェーハＷの裏面Ｗｂに貼着テープＴが貼着した状態で貼着テープＴの端部が環状フレームＦに貼着されており、これにより、ウェーハＷが環状フレームＦに支持されている。

加工装置１は、ベース１０を備えており、ベース１０の上における－Ｘ側には、門型コラム１１が立設されている。

ベース１０の上には、チャックテーブル２が備えられている。チャックテーブル２は、ウェーハＷが載置される吸引部２０と、吸引部２０を囲繞する枠体２１とから構成されている。チャックテーブル２の吸引部２０には吸引手段２４が接続されており、吸引部２０の上面である保持面２０ａの上にウェーハＷを載置して、吸引手段２４により生み出される吸引力を保持面２０ａに伝達することによって、保持面２０ａの上に載置されているウェーハＷを吸引保持することができる。また、チャックテーブル２の周囲には、四つのクランプ２２が配設されており、ウェーハＷが貼着テープＴを介して支持されている環状フレームＦを四方から挟持することによって、ウェーハＷをチャックテーブル２に固定することができる。

チャックテーブル２の下方には、有底筒状のケーシング２３が配設されており、チャックテーブル２は、ケーシング２３を介して可動板６３に接続されている。ケーシング２３の内部には回転手段２６が配設されており、チャックテーブル２は、回転手段２６によりチャックテーブル２の中心を回転中心として、Ｚ軸方向の回転軸２５のまわりに回転可能となっている。

ベース１０の上には、チャックテーブル２をＸ軸方向に加工送りするＸ軸方向移動手段６が備えられている。Ｘ軸方向移動手段６は、Ｘ軸方向の回転軸６５を有するボールネジ６０と、ボールネジ６０に平行に配設された一対のガイドレール６１と、ボールネジ６０を回動するモータ６２と、内部のナットがボールネジ６０に螺合し底部がガイドレール６１に摺接する可動板６３とから構成される。モータ６２によって駆動させられてボールネジ６０が回転軸６５のまわりに回動すると、これに伴い可動板６３がガイドレール６１にガイドされてＸ軸方向に移動し、可動板６３にケーシング２３を介して支持されているチャックテーブル２が同じくＸ軸方向に移動する。これにより、チャックテーブル２の保持面２０ａの上で保持されたウェーハＷをＸ軸方向に移動することができる。

また、ベース１０の上における一対のガイドレール６１のうちの－Ｙ側に載置されている一本のガイドレールに隣接した位置には、Ｘ軸方向移動手段６のＸ軸位置を測定するためのスケール６４が配設されており、測定されたＸ軸位置の情報はＸ座標として制御手段９に伝達される。

門型コラム１１の＋Ｘ側の側面には、加工手段７が配設されている。例えば、加工装置１は門型コラム１１の±Ｙ軸側の両方にそれぞれ加工手段７を備えているが、本発明を実施するための加工装置１の構成はこれに限定されるものではなく、加工装置１は、１つの加工手段７を備えるものであってもよい。なお、加工装置１に備える２つの加工手段７は同様に構成されており、同じ符号を付す。

加工手段７は、スピンドル７１と、スピンドル７１を収容する直方体形状のハウジング７４と、スピンドル７１に接続された切削ブレード７３と、切削ブレード７３の上側を覆うブレードカバー７２とを備えている。また、ハウジング７４のＹ軸方向における切削ブレード７３の反対側の端部には、モータ７５が配設されている。モータ７５によって駆動されてスピンドル７１がＹ軸方向の回転軸７６のまわりに回転すると、それに伴って切削ブレード７３が、同じく回転軸７６のまわりに回転する構成となっている。

なお、本発明において加工装置１に備える加工の手段として、上記の切削ブレード７３の代わりにレーザー加工を行うためのレーザー発振器等を備える構成であってもよい。

ハウジング７４の＋Ｘ側の側面には、切削加工の実施前に、ウェーハＷと切削ブレード７３との位置合わせを行うためのアライメント手段３が備えられており、アライメント手段３の下端には、保持面２０ａや保持面２０ａで保持されたウェーハＷを撮像するカメラ３０が配設されている。図２に示すように、カメラ３０は円形の撮像領域Ａを有し、円の中心の点は撮像領域Ａの中心Ａｏとなっている。カメラ３０によって撮像された画像の情報は、制御手段９に伝達される。

門型コラム１１の＋Ｘ側の側面には、カメラ３０と加工手段７とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向に移動するＹ軸方向移動手段４が備えられている。Ｙ軸方向移動手段４は、Ｙ軸方向の回転軸４５を有するボールネジ４０と、ボールネジ４０に平行に配設された一対のガイドレール４１と、ボールネジ４０を回動させるモータ４２と、内部のナットがボールネジ４０に螺合し側部がガイドレール４１に摺接する可動板４３とから構成される。モータ４２に駆動されてボールネジ４０が回転軸４５のまわりに回動すると、これに伴い可動板４３がガイドレール４１にガイドされてＹ軸方向に移動し、カメラ３０と加工手段７とが一体的にＹ軸方向に移動することとなる。

また、門型コラム１１の＋Ｘ側の側面におけるガイドレール４１に隣接した位置には、Ｙ軸方向移動手段４のＹ軸位置を測定するためのスケール４４が配設されており、測定されたＹ軸位置の情報はＹ座標として制御手段９に伝達される。

また、同じく門型コラム１１の＋Ｘ側の側面には、２つのＹ軸方向移動手段４の可動板４３にそれぞれ支持される形で２つのＺ軸方向移動手段５が配設されている。２つのＺ軸方向移動手段５は同様に構成されており、同様の符号を付す。Ｚ軸方向の回転軸５５を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０に平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０を回動させるモータ５２と、内部のナットがボールネジ５０に螺合し、側部がガイドレール５１に摺接する支持部材５３とから構成される。また、支持部材５３の下端は、加工手段７のハウジング７４と連結されている。モータ５２に駆動されてボールネジ５０がＺ軸方向の回転軸５５の周りに回動すると、これに伴い支持部材５３がガイドレール５１にガイドされてＺ軸方向に移動し、カメラ３０と加工手段７とが一体的にＺ軸方向に昇降移動する構成となっている。

加工装置１には、制御手段９が備えられている。制御手段９は切削加工のために用いられる各種の機構を制御する。また、制御手段９には、制御手段９に伝達されたＸ軸方向移動手段６及びＹ軸方向移動手段４から伝達されたＸ軸位置の座標の情報及びＹ軸位置の座標の情報、そしてカメラ３０によって撮像された保持面２０ａの画像又は保持面２０ａで保持されたウェーハＷの画像を記憶する記憶部９０が備えられている。さらに、制御手段９には、算出部９１が備えられており、算出部９１では、記憶部９０に伝達されて記憶された座標の情報をもとに、その座標を所定の点のまわりに所定の角度だけ回転させた座標を算出することができる。

なお、記憶部９０では、例えば加工装置１の組み立ての段階等において、保持面２０ａに対し垂直なＺ軸方向に平行な軸のうち、保持面２０ａの中心Ｏを通る軸（回転軸２５）の上に、保持面２０ａの中心Ｏとカメラ３０の撮像領域Ａの中心Ａｏとを一致させたときの、Ｘ軸方向移動手段６による制御上のチャックテーブル２のＸ軸位置とＹ軸方向移動手段４による制御上のカメラ３０のＹ軸位置とが基準位置として記憶される。以下では、Ｘ軸方向移動手段６による制御上のチャックテーブル２のＸ軸位置を、単にチャックテーブル２のＸ軸位置とし、Ｙ軸方向移動手段４による制御上のカメラ３０のＹ軸位置を、単にカメラ３０のＹ軸位置とする。

また、図２に示すように、チャックテーブル２の保持面２０ａ又は、ウェーハＷの表面Ｗａには、アライメントのためのマークＭが形成されている。以後、マークＭはチャックテーブル２の保持面２０ａの上における保持面２０ａの中心Ｏから径方向にずれた位置に何らかの模様によって形成されているものとし、図においては単色の十字模様のマークＭによって示すが、本発明において、マークＭが形成される位置、マークＭの色や形状等の様態は限定されず、例えば、マークＭはポーラス部材の模様やデバイス模様でもよい。

加工装置１によるウェーハＷの切削加工の際には、図１に示すように、貼着テープＴを介して環状フレームＦに支持された状態のウェーハＷをチャックテーブル２の保持面２０ａの中心ＯとウェーハＷの中心とが合致するように保持面２０ａの上に載置し、吸引手段２４が発揮する吸引力を保持面２０ａに伝達することで、ウェーハＷを保持面２０ａの上で吸引保持する。このとき、ウェーハＷが保持面２０ａの上に吸引保持された状態で、４つのクランプ２２を用いて環状フレームＦを四方から挟持することにより、ウェーハＷを保持面２０ａの上に固定する。

そして、Ｘ軸方向移動手段６のモータ６２の駆動力によりボールネジ６０を回転軸６５のまわりに回転させることにより可動板６３を－Ｘ方向に移動させて、可動板６３に支持されたチャックテーブル２及びチャックテーブル２に保持されたウェーハＷを切削ブレード７３の下方に位置付ける。

次いで、アライメント手段３のカメラ３０によりウェーハＷの表面Ｗａに形成された分割予定ラインＬが撮像され、撮像されたウェーハＷの表面Ｗａの画像により、アライメント手段３がパターンマッチング等の画像処理を実行し、第１の切削ブレード１１３Ａを切り込ませるべき分割予定ラインＬが検出される。

分割予定ラインＬが検出されるのに伴って、加工手段７がＹ軸方向移動手段４によってＹ軸方向に駆動され、切削すべき分割予定ラインＬと切削ブレード７３とのＹ軸方向における位置合わせが行われる。Ｙ軸方向移動手段４による加工手段７の移動の際には、Ｙ軸方向移動手段４のモータ４２により駆動されたボールネジ４０が回転軸４５のまわりに回転して、これに伴い可動板４３がＹ軸方向に移動し、可動板４３に支持された加工手段７がＹ軸方向に移動する。

Ｙ軸方向の位置合わせが完了した後、Ｚ軸方向移動手段５のモータ５２の駆動力によりボールネジ５０を回転軸５５のまわりに回転させることで、支持部材５３をガイドレール５１に沿ってＺ軸方向に移動させて、切削ブレード７３をウェーハＷの切削加工の開始のための高さ位置に位置付ける。

ウェーハＷと切削ブレード７３とのＹ軸方向及びＺ軸方向における位置合わせが完了した後、さらにＸ軸方向移動手段６を同様に制御してチャックテーブル２を－Ｘ方向に移動することで、切削ブレード７３がチャックテーブル２に対して相対的に＋Ｘ方向に向けて加工送りされ、これにより、切削ブレード７３がウェーハＷに切り込む。

次に、Ｙ軸方向移動手段４によって加工手段７を移動制御して、隣り合う分割予定ラインＬの間隔だけ加工手段７をＹ軸方向に割り出し送りして、同様の切削を行うことにより、切削済みの分割予定ラインＬの隣の分割予定ラインＬを切削する。このようにして、割り出し送りと切削加工とを繰り返し行うことにより、同方向の分割予定ラインＬがすべて切削される。さらに、チャックテーブル２を回転手段２６により駆動させ、９０度回転させてから同様の切削を行うことにより、すべての分割予定ラインＬを縦横に切削する。

２カメラの位置ずれ検出方法
上述したウェーハＷの切削加工の前に行われるアライメントにおいては、カメラ３０と切削ブレード７３との位置関係が加工装置１の組み立て時に予め定められており、その定められた両者の位置関係を基にして、カメラ３０とウェーハＷとの位置関係を調整することによって、間接的に、切削ブレード７３とウェーハＷとの位置関係の調整を行っている。
また、カメラ３０と切削ブレード７３との位置関係は、切削ブレード７３を交換したときに切削ブレード７３の厚みによって変わることがあるので、切削ブレード７３を交換したときには位置関係を再調整するとよい。
従って、例えば、カメラ３０が作業者と接触して、固定された基準の位置からずれてしまうと、アライメントを行ったとしても切削ブレード７３を切削加工のための正しい位置に位置付けられなくなる。そこで、切削ブレード７３を正しい位置に位置付けるために、前もってカメラ３０の位置ずれを検出する。以下に、上記の加工装置１を用いたカメラ３０の位置ずれの検出方法について記す。

（画像記憶工程）
図３に示すように、保持面２０ａの上における保持面２０ａの中心Ｏから径方向にずれた位置にあるマークＭの上にカメラ３０の撮像領域Ａが位置するように両者の位置を調節した後、カメラ３０を用いてマークＭを撮像する。撮像された画像の情報は第一の撮像画として記憶部９０に記憶される。保持面２０ａの上に形成されたマークＭとカメラ３０の撮像領域ＡとをＺ軸方向に平行な同一軸上に位置付ける際には、チャックテーブル２をＸ軸方向移動手段６により移動制御してＸ軸方向に移動させ、さらにカメラ３０をＹ軸方向移動手段４により移動制御してＹ軸方向に移動する。

（座標記憶工程）
上記のように、マークＭの上にカメラ３０の撮像領域Ａが位置付けられているときのチャックテーブル２のＸ軸位置とカメラ３０のＹ軸位置とをそれぞれスケール４４とスケール６４とによって読み取り、読み取られた位置を第１の座標Ｐ１として制御手段９の記憶部９０に記憶させる。図２に示したカメラ３０の撮像領域Ａの中心Ａｏが保持面２０ａの中心Ｏに位置付けられている状態におけるチャックテーブル２のＸ軸位置及びカメラ３０のＹ軸位置から、図３に示すように、－Ｘ方向にａ、そして＋Ｙ方向にｂ、それぞれ移動した位置が、第１の座標Ｐ１となっている。

（座標算出工程）
次いで、チャックテーブル２を所定の角度だけ回転させた場合に想定されるマークＭの移動先の仮想の座標を、第２の座標Ｐ２として算出する。以下においては、本発明を実施するための一態様として、所定の回転角度を例えば９０度とし、図４に示すような第１の座標Ｐ１を、基準座標を中心としてチャックテーブル２の上からみて反時計回りに９０度回転させた位置の座標を第２の座標Ｐ２とする。第２の座標Ｐ２は、カメラ３０の撮像領域Ａの中心Ａｏが保持面２０ａの中心Ｏに位置付けられている状態におけるカメラ３０のＸ軸位置から、－Ｙ方向にａ、－Ｘ方向にｂ、移動した位置となっている。なお、回転角度及び、回転角度によって定まる第１の座標Ｐ１と第２の座標Ｐ２との位置関係はこれに限定されるものではない。

第２の座標Ｐ２の算出においては、チャックテーブル２が回転することによってマークＭが移動した移動先におけるマークＭの上にカメラ３０の撮像領域Ａが位置付けられたときのチャックテーブル２のＸ軸位置とカメラ３０のＹ軸位置とを算出部９１にて算出する。算出の際には、第１の座標Ｐ１を予め記憶部９０に記憶されている基準座標を中心として反時計回りに９０度回転する回転変換を行うことによって第２の座標Ｐ２を算出する。

（回転工程）
図５に示すように、回転手段２６を用いて、実際に、回転軸２５を中心として所定の回転速度でチャックテーブル２の上方からみて反時計回りに９０度回転させる。

（撮像工程）
上記の回転工程にてチャックテーブル２を９０度回転させた後、カメラ３０及びチャックテーブル２をそれぞれＹ軸方向移動手段４及びＸ軸方向移動手段６によって駆動させて、図６に示すように、第２の座標Ｐ２とカメラ３０の撮像領域Ａの中心ＡｏとをＺ軸方向に平行な同一軸上に位置付ける。その後、カメラ３０を用いて保持面２０ａを撮像して第二の撮像画を取得する。第二の撮像画は、制御手段９の記憶部９０に記憶される。

（照合工程）
そして、カメラ３０を用いて撮像した第二の撮像画と画像記憶工程において記憶部９０に記憶した第一の撮像画を９０度回転した画像とを照合する。図７は、第二の撮像画と、第一の撮像画を反時計回りに９０度回転させた画像とを、撮像領域Ａの中心Ａｏを重ね合わせた重畳画像を表している。なお、照合工程において第二の撮像画と第一の撮像画を反時計回りに９０度回転させた画像とを重ねて比べる際には、例えば加工装置１に備えられた図示しないディスプレイ等に両者の画像を表示して行うという構成が考えられる。

（判断工程）
照合工程において第二の撮像画と、第一の撮像画を反時計回りに９０度回転させた画像とを重ねて二つの画像を比較する。このとき、画像が一致したときは、カメラ３０がずれていないと制御手段９によって判断され、かかる場合においては、加工装置１によるウェーハＷの切削加工が開始される。一方、画像が一致しないときは、カメラ３０がずれていると判断して、オペレータに通知する。図７に示した比較画像においては、画像が一致しておらず、これにより、カメラ３０がずれていると判断する。

なお、画像が一致しない場合にオペレータにカメラ３０の位置ずれを通知する方法としては、例えば、撮像画像や加工条件が表示される図示しないディスプレイ等にカメラ３０の位置がずれているという旨を示す表示をすることによってオペレータに視覚的に認識させる方法や、加工装置１に図示しない音源やスピーカー等を備えて通知音を発信することによってオペレータに伝えるといった方法が挙げられる。

上記のように、第二の撮像画と第一の撮像画を９０度回転変換した画像とを照合することによって、カメラ３０の位置ずれを発見することができ、これにより誤って切削ブレード７３によってデバイスを切削するのを防ぐことができる。

また、カメラ３０の位置ずれの検出を、チャックテーブル２の保持面２０ａの上に、表面ＷａにマークＭが形成されたウェーハＷを載置して保持面２０ａでウェーハＷを吸引保持した状態で行う場合は、カメラ３０の位置ずれの検出をカメラ３０で分割予定ラインを検出するアライメント作業と並行して実施することができる。カメラ３０の位置ずれの検出をアライメント作業と並行して行う場合には、ある一方向の分割予定ラインＬをアライメントした後、チャックテーブル２を９０度回転させて、上記の分割予定ラインＬに交差する分割予定ラインＬをアライメントするときにカメラ３０の位置ずれの有無を確認することができる。これによって、加工作業の効率化を図ることができる。

１：加工装置１０：ベース１１：門型コラム
２：チャックテーブル２０：吸引部２０ａ：保持面２１：枠体
２２：クランプ２３：ケーシング２４：吸引手段２５：回転軸２６：回転手段
３：アライメント手段３０：カメラ４：Ｙ軸方向移動手段４０：ボールネジ
４１：ガイドレール４２：モータ４３：可動板４４：スケール４５：回転軸
５：Ｚ軸方向移動手段５０：ボールネジ５１：ガイドレール５２：モータ
５３：支持部材５４：スケール５５：回転軸
６：Ｘ軸方向移動手段６０：ボールネジ６１：ガイドレール６２：モータ
６３：可動板６４：スケール６５：回転軸
７：加工手段７１：スピンドル７２：ブレードカバー７３：切削ブレード
７４：ハウジング７５：モータ７６：回転軸
９：制御手段９０：記憶部９１：算出部
Ｗ：ウェーハＷａ：ウェーハの表面Ｗｂ：ウェーハの裏面
Ｔ：貼着テープＦ：環状フレームＭ：マーク
Ｌ：分割予定ラインＨ：ヘアラインＣ：補正値Ｏ：保持面の中心
Ａ：撮像領域Ａｏ：撮像領域の中心Ｐ１：第１の座標Ｐ２：第２の座標

Claims

ウェーハを保持する保持面を有するチャックテーブルと、該保持面の中心を軸に該チャックテーブルを回転させる回転手段と、該保持面の上方から該保持面又は該保持面が保持したウェーハを撮像するカメラと、該保持面が保持したウェーハの分割予定ラインに沿って加工する加工手段と、該チャックテーブルをＸ軸方向に加工送りするＸ軸方向移動手段と、該カメラと該加工手段とを該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動手段と、を備えた加工装置におけるカメラの位置ずれ検出方法であって、
該保持面に対し垂直なＺ軸方向に平行な同一軸上に該保持面の中心と該カメラの撮像領域中心とを一致させたときの該Ｘ軸方向移動手段による制御上の該チャックテーブルのＸ軸位置と、該Ｙ軸方向移動手段による制御上の該カメラのＹ軸位置とを基準座標として記憶していて、
該保持面の中心から径方向にずれた位置にある該保持面上のマーク又は該保持面が保持したウェーハ上面のマークを該カメラが撮像した第一の撮像画を記憶する画像記憶工程と、
該画像記憶工程で該マークを撮像したときの該Ｘ軸方向移動手段による制御上の該チャックテーブル２のＸ軸位置と、該Ｙ軸方向移動手段による制御上の該カメラのＹ軸位置とを第１の座標として記憶する座標記憶工程と、
該チャックテーブルを所定の角度回転させたときに想定される該マークの移動先の仮想の第２の座標を算出する座標算出工程と、
該チャックテーブルを実際に該所定の角度回転させる回転工程と、
該第２の座標と該カメラの撮像領域中心とを該Ｚ軸方向に平行な同一軸上に位置づけ、該カメラで該保持面又は該保持面が保持したウェーハ上面を撮像し第二の撮像画を取得する撮像工程と、
該撮像工程で撮像した第二の撮像画と該画像記憶工程で記憶している第一の撮像画を所定の角度回転させた画像とを照合する照合工程と、
該照合工程で両画像が一致したときは、該カメラがずれていないと判断し、
該照合工程で両画像が一致しないときは、該カメラがずれていると判断し、オペレータに通知する判断工程と、を備えた、カメラの位置ずれ検出方法。