KR20120112002A - 펠리클 수납 방법 - Google Patents

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Abstract

(과제)
보관?수송?개봉시에도 발진하는 것이 적고, 자루에 수납하는 제품, 특히 펠리클 용기의 내부에 수납된 펠리클을 오염시키지 않는 펠리클 수납 방법을 제공한다.
(해결 수단)
펠리클을 수납한 용기를 클린 사양의 제 1 자루에 넣어서 그 입구를 폐쇄하고, 이어서 이것을 대전 방지 기능을 갖는 제 2 자루에 넣어서 그 입구를 폐쇄하고, 또한 대전 방지 기능을 갖는 제 3 자루에 넣어서 밀폐하는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 방법이다.

Description

펠리클 수납 방법{A METHOD FOR STORING A PELLICLE}
본 발명은 클린룸 내에서 제조되는 제품(특히 펠리클)을 수납하는 펠리클 수납 방법에 관한 것이다.
클린룸 내에서 제조된 리소그래피용 펠리클은 전용 용기에 수납된 후, 수지제의 자루에 수납된다. 펠리클 용기(케이스)나 펠리클의 대전을 방지하기 위해서, 일반적으로 이 자루는 대전 방지 타입의 자루가 사용되어져 왔다.
대전 방지 타입의 자루인 경우, 자루에 도전성을 갖게 하기 위해서 대전 방지제가 이겨서 넣어져 있거나 표면에 금속 박막을 증착하거나 하고 있기 때문에, 이들이 발진(發塵)의 원인이 되어 펠리클 용기의 수송 상태나 환경에 따라서는 자루에 수납된 펠리클 용기를 오염시키거나, 또한 펠리클 용기를 자루로부터 꺼내서 뚜껑을 열 때에 펠리클 용기의 뚜껑 등에 부착된 대전 방지제 등에 의해 내부에 수납된 펠리클을 오염시키는 경우가 있었다.
이상의 사정을 감안하여 본 발명은 보관?수송?개봉시에도 발진하는 것이 적고 자루에 수납하는 제품, 특히 펠리클 용기의 내부에 수납된 펠리클을 오염시키지 않는 펠리클 수납 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명은 이러한 과제를 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 펠리클 수납 방법은 펠리클을 수납한 용기를 클린 사양의 제 1 자루에 넣어서 그 입구를 폐쇄하고, 이어서 이것을 대전 방지 기능을 갖는 제 2 자루에 넣어서 그 입구를 폐쇄하고, 또한 대전 방지 기능을 갖는 제 3 자루에 넣어서 밀폐하는 것을 특징으로 하고 있다.
상기 클린 사양의 자루는 적어도 청정도 1000 이하의 클린룸 내에서 제조된 청정도 관리가 된 것이며, 상기 대전 방지 기능을 갖는 자루는 적어도 9.9×1011Ω/㎠ 이하의 표면 저항에서 대전 방지 특성을 갖는다. 또한, 상기 밀폐 작업이 청정도 1 이상의 클린룸 내에 있어서 행해진다.
(발명의 효과)
본 발명에 의하면 가장 내측의 제 1 자루로 깨끗한 자루를 사용하고, 제 2 자루, 제 3 자루로 대전 방지 타입의 자루를 사용함으로써 제품(펠리클)을 수납하는 용기, 나아가서는 제품에 이물이 부착되는 것을 방지함과 아울러 자루로부터 용기를 꺼낼 때까지의 대전을 최소한으로 억제하여 제품의 오염을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 펠리클 수납 방법의 모식적인 실시형태를 나타내는 개략 설명도이다.
본 발명은 클린룸 내에서 펠리클을 넣은 펠리클 용기를 자루에 수납하는 펠리클 수납 방법에 관한 것으로서, 펠리클을 넣은 펠리클 용기를 내측으로부터 비대전 방지의 클린 자루, 대전 방지 자루, 대전 방지 자루의 순으로 3중으로 수납하고 포장하는 것이며, 펠리클 용기를 대전 방지제가 들어간 자루에 직접 접촉시키지 않음으로써 펠리클 용기, 나아가서는 내부에 수납한 펠리클의 오염을 방지함과 아울러 자루의 대전에 의한 정전기 장해를 가장 내측의 클린 자루에 의해 방지하는 것을 기본으로 한다.
이하, 본 발명에 대해서 도 1을 이용하여 더욱 상세하게 설명한다.
도 1에 있어서, 펠리클(1)을 내부에 넣은 펠리클 용기(2)가 클린 사양의 제 1 자루(3)에 수납되고, 그 외측에 대전 방지 기능을 갖는 제 2 자루(4)에 수납되고, 또한 그 외측에 대전 방지 기능을 갖는 제 3 자루(5)에 수납되어 있다.
본 발명에서 사용되는 자루는 치수에 관해서는 펠리클의 수납 용기(케이스)를 수납할 수 있고, 또한 내부에 수납하는 자루를 외측의 자루가 수납할 수 있는 사이즈이면 특별히 제한은 없다. 두께에 관해서는 각 자루의 입구를 폐쇄할 때에, 예를 들면 열 밀봉에 의해 폐쇄될 경우 지나치게 연화되어서 찢어지거나 끊어지거나 할 일이 없도록 어느 정도의 두께가 있는 것이 바람직하다. 반대로, 융착하기 어려울 정도로 두꺼우면 밀폐가 잘 되지 않는 경우가 있기 때문에, 두께로서는 50?200㎛인 것이 바람직하다.
자루의 재질로서는 특별히 제한은 없지만, 가장 내측의 펠리클 용기와 접촉하는 자루(제 1 자루)에 관해서는 폴리에틸렌, 나일론, 폴리프로필렌, 폴리에스테르 등의 수지만으로 이루어지는 것, 또는 이것들을 적당하게 적층한 것을 사용하는 것이 바람직하다. 제 1 자루는 직접 제품을 수납한 용기와 접촉하는 것이기 때문에 클린 사양의 것이고, 청정도 1000 이하의 클린룸 내에서 제조된 청정도 관리가 된 것일 필요가 있다.
이 제 1 자루는 제 2 자루에 수납된다. 이 제 2 자루에 대해서는 제 1 자루와 마찬가지로 폴리에틸렌, 나일론, 폴리프로필렌, 폴리에스테르 등의 수지로 이루어지고, 이들 수지에 금속 박막을 증착한 것이나 대전 방지제를 첨가한 것, 또한 상기 수지를 적층한 것에 대전 방지 기능을 부여한 것 등을 들 수 있다. 대전 방지 성능으로서는 일반적으로 사용되는 정도의 대전 방지 성능을 갖고 있으면 좋지만, 대전 방지 자루로서 일반적인 성능인 적어도 9.9×1011Ω/㎠ 이하의 표면 저항인 것이 바람직하다.
이 제 2 자루에까지 넣어진 펠리클 용기는 또한 제 3 자루에 수납된다. 이 제 3 자루는 외부와 직접 접촉하는 것이기 때문에 클린룸 내에 반입하기 직전에 개봉되어서 외부의 오염을 클린룸 내로 가지고 들어가지 않도록 하기 위한 것이다.
따라서, 반입하는 클린룸의 클린도에 따라서 이 제 3 자루는 제 4 자루, 제 5 자루 등으로 수납하는 자루를 더 늘려도 좋다.
제 3 자루의 재질에 대해서는 제 2 자루와 마찬가지로 폴리에틸렌, 나일론, 폴리프로필렌, 폴리에스테르 등의 수지로 이루어지고, 이들 수지에 금속 박막을 증착한 것이나 대전 방지제를 첨가한 것, 또한 상기 수지를 적층한 것에 대전 방지 기능을 부여한 것 등을 들 수 있다.
제 4 자루 이후의 자루에 대해서도 마찬가지이다.
[실시예]
이하에 실시예에 대해서 서술한다. 또한, 이하의 실시예, 참고예 및 비교예에서 사용한 클린 사양의 자루는 청정도 1000 이하의 클린룸 내에서 제조 세정된 폴리에틸렌제의 자루이고, 대전 방지 자루에는 폴리에틸렌에 대전 방지제를 첨가해서 대전 방지 기능(적어도 9.9×1011Ω/㎠ 이하의 표면 저항에서 대전 방지 특성)을 갖게 한 폴리에틸렌제의 자루를 사용했다.
[실시예 1]
우선, 두께 70㎛의 클린 사양의 제 1 자루에 펠리클을 수납한 펠리클 용기를 자루의 가장 안쪽부까지 넣고 자루의 입구를 열 밀봉에 의해 폐쇄했다. 이어서, 두께 70㎛의 대전 방지 자루인 제 2 자루에 펠리클 용기를 수납한 제 1 자루를 넣고 자루의 입구를 열 밀봉으로 폐쇄했다.
최후에, 이것을 두께 100㎛의 대전 방지 자루인 제 3 자루에 넣고 자루의 입구를 열 밀봉으로 폐쇄했다. 이것을 쿠션재를 넣은 골판지 상자에 수납하고 밀폐해서 진동 시험기에 싣고, 10㎐, 상하 방향으로 1G의 가속도에서 24시간 진동을 주었다.
이어서, 이것을 클린룸 내에 가지고 들어가서 개봉했더니 제 2 자루, 제 3 자루의 표면에 희고 대전 방지제로 생각되는 것이 블리드아웃(bleed out)되어 있었다. 이것은 제 1 자루 표면에도 부착되어 있었지만, 그 안의 용기 표면은 청정하고, 클린룸 내의 암실에서 30만 럭스의 집광 램프로 검사했지만 부착 이물 등은 확인되지 않았다.
또한, 수납 용기를 열어서 제품(펠리클)을 상기 방법으로 검사했지만, 특별히 제품 표면에 부착물은 없었다.
[참고예 1, 참고예 2]
참고예 1은 제 1 자루, 제 2 자루에 두께 70㎛의 클린 사양의 자루를 사용하고, 제 3 자루에는 두께 100㎛의 대전 방지 자루를 사용했다. 참고예 2는 제 1 자루, 제 2 자루, 제 3 자루 모두 두께 70㎛의 클린 사양의 자루를 사용했다. 이 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 해서 자루의 입구를 열 밀봉하고 24시간의 진동 시험을 행한 후 클린룸 내에서 개봉하고, 수납 용기를 열어서 제품(펠리클)을 인출하여 클린룸 내의 암실에서 30만 럭스의 집광 램프에 의해 검사한 바 모두 제품 상에 이물의 증가가 확인되었다. 이 결과를 실시예 1의 결과와 함께 정리하여 표 1에 나타냈다.
[참고예 3?참고예 5]
제 1 자루로서 두께 70㎛의 대전 방지 자루를 사용하고, 제 2 자루, 제 3 자루에는 대전 방지 자루 또는 클린 자루를 적당하게 조합하여 사용한 것 이외에는 실시예 1과 같은 구성으로 시험을 행하였다(표 1 참조). 이것을 클린룸 내에 가지고 들어가서 개봉했더니, 제 1 자루, 제 2 자루, 제 3 자루의 어느 표면에나 희고 대전 방지제로 생각되는 것이 블리드아웃되어 있었다.
또한, 용기 표면에도 흰 분말상의 것이 부착되어 있는 것이 확인되었다. 클린룸 내의 암실에서 30만 럭스의 집광 램프에 의해 검사했지만 용기 표면에 흰 분말상의 부착물이 있었다. 또한, 수납 용기를 열어서 제품을 상기 방법으로 검사했지만 부착 이물이 있고, 현미 IR 분광 분석에 의해 이 부착물이 제 1 자루에 함유되는 대전 방지제와 같은 성분인 것이 확인되었다. 이 결과는 표 1에 정리해서 나타냈다.
[비교예 1]
종래 행해지고 있었던 대전 방지 자루만을 사용한 예이며, 두께 100㎛의 대전 방지 자루에 펠리클을 수납한 펠리클 용기를 넣고 자루의 입구를 열 밀봉에 의해 폐쇄한 후 실시예 1과 마찬가지로 해서 24시간의 진동 시험 후 클린룸 내에서 개봉하고, 수납 용기를 열어서 제품(펠리클)을 인출하여 클린룸 내의 암실에서 30만 럭스의 집광 램프에 의해 검사했더니, 제품 상에 이물의 증가가 확인되었다. 이 결과를 상기 실시예, 참고예의 결과와 함께 표 1에 나타냈다.
Figure pat00001
1 : 펠리클 2 : 펠리클 용기
3 : (클린 사양의)제 1 자루
4 : (대전 방지 자루로 이루어진)제 2 자루
5 : (대전 방지 자루로 이루어진)제 3 자루

Claims (4)

  1. 펠리클을 수납한 용기를 클린 사양의 제 1 자루에 넣어서 그 입구를 폐쇄하고, 이어서 이것을 대전 방지 기능을 갖는 제 2 자루에 넣어서 그 입구를 폐쇄하고, 또한 대전 방지 기능을 갖는 제 3 자루에 넣어서 밀폐하는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 클린 사양의 자루는 적어도 청정도 1000 이하의 클린룸 내에서 제조된 청정도 관리가 된 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 대전 방지 기능을 갖는 자루는 적어도 9.9×1011Ω/㎠ 이하의 표면 저항에서 대전 방지 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 밀폐 작업은 청정도 1 이상의 클린룸 내에 있어서 행해지는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 방법.
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