JP2011121596A - ペリクル梱包用緩衝材 - Google Patents

Abstract

【課題】リソグラフィ用ペリクルを外部からの衝撃から保護すると供に、塵が発生しにくく、開封時にペリクルに塵や埃が付着するのを防ぐことができる緩衝材の提供。
【解決手段】リソグラフィ用ペリクルの梱包に用いられる緩衝材。所定の形状に成形したクッション材を、該クッション材と略同サイズのプラスチック袋で覆い、該プラスチック袋の継ぎ目を密着し、前記クッション材を密封してなることを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、リソグラフィ用ペリクルを出荷する際に使用する梱包材に関する。

ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体製造及び液晶表示板等は、半導体ウエハー或いは液晶用原板に光を照射してパターニングする、リソグラフィによって製造される。リソグラフィは、リソグラフィ用マスクにゴミが付着して、製品のパターンの変形、エッジのがさつき等が生じることを防ぐ必要があるため、通常クリーンルームで行われる。
更に、露光原板の表面に、ゴミが付着するのを防ぐと供に、露光用の光を良好に通過させるために、リソグラフィ用マスクにペリクルを貼着する。

ペリクルはフォトマスク上に直接貼り付けて使用されるため、特に異物の付着や傷を防ぐ必要があるので、高度に清浄化した搬送用容器内に収納され、更にその外側が二重又は三重に包装される。また、包装されたペリクルが、輸送中に不用意に振動や衝撃が加わってペリクルが破損したり、ペリクルが容器ごと押されて容器内部と擦れて発塵することにより、ペリクル自身を汚したりしないように、充分に緩衝材を入れた輸送用ダンボール等に梱包されて輸送される。

上記の緩衝材としては、従来、ポリエチレン製のクッション（エアパッキン：エアープロダクツ社製の商品名）や発泡スチロール、生分解性プラスチックからなるクッション材などが使用されているが、特に、高度な衝撃吸収性を有していることから、ポリウレタンが用いられる。
しかしながら、ポリウレタンは多数の連続孔を持つ構造であることから汚れやすく、押されてつぶれたり元に戻ったりする際に発塵するという問題点がある。従って、ポリウレタン製の緩衝材を使用した場合、輸送中にペリクルを包装している袋が汚れると開封する際に、順次内部の袋、最終的には収納ケースやペリクルまで汚染されるという問題点があった。

従って、本発明の目的は、ペリクルを外部からの衝撃から保護すると供に、塵が発生しにくく、開封時にペリクルに塵や埃が付着するのを防ぐことができる緩衝材を提供することにある。

この様な問題を解決するために、本発明者は鋭意検討を重ねた結果、クッション材料をプラスチック製の袋に密封したものを緩衝材として使用すると、クッション材からの発塵を防止することができると供に、適当な強度のプラスチック製の袋を用いることにより、輸送中にクッション材に外力が加わって、表面にキズが付いたり凹んだりした場合に、梱包されたペリクルが輸送中に受けた外力を確認することができるという効果を有することを発見し、本発明を完成するに至った。

即ち本発明は、リソグラフィ用ペリクルの梱包に用いられる緩衝材であって、所定の形状に成形したクッション材を、該クッション材と略同サイズのプラスチック袋で覆い、該プラスチック袋の口を密着し、前記クッション材を密封してなることを特徴とする緩衝材である。

前記クッション材は、ポリウレタン、発泡スチロール、生分解性プラスチックからなる群より選択される少なくとも１種の樹脂からなることが好ましく、特に、硬度が10〜300Nであり、セル数が30個〜50個/25mmのクッション材であることが好ましい。
また、前記プラスチック袋の材質は、ポリエチレン、PET、ナイロン又はそれらの積層材料であることが好ましい。

本発明により、クッション材の汚れや、クッション材自体から発生する塵が製品包装に付着することを防止することができると供に、クッション材の受けた外力等を、開封前に容易に確認することが可能となった。

図１は本発明の緩衝材の概念図である。 図２はペリクルを梱包した段ボール箱の側断面である。

更に、本発明について、図１を用いて詳細に説明する。
本発明の緩衝材は、所定の形状に成形したクッション材１を、該クッション材と略同サイズのプラスチック袋２で覆い、該プラスチック袋の口を密着してなる。
本発明の緩衝材に使用されるクッション材は、特に限定されるものではなく、適度な固さを有し、ペリクルの輸送時に製品を保護することができる、適度なクッション性を有していればよい。具体的には、ポリウレタン、発泡スチロール、生分解性プラスチックより選択される少なくとも１種のクッション材を用いることが好ましく、特に、軟質ポリウレタンのような、硬度が10〜300N、セル数が30個〜50個/25mmのクッション材を用いることが好ましい。
また、クッション材の形状は特に限定されるものではなく、梱包する製品の形状に応じて、適宜成形される。

クッション材から発生する塵や、異物を袋内に留めクッション材が梱包する製品を汚染することを最小限に留めるために、前記プラスチック袋でクッション材を覆った後、プラスチック袋の口を、熱シールなどによって閉じる。
前記プラスチック袋は、前記クッション材を覆うため、該クッション材と略同サイズであることが必要である。

また、プラスチック袋の材質は、著しく破れやすいものでなければよいが、外力が加わった際に表面にキズが付いたり、凹んだりするものを使用すると、輸送中に製品に外力が加わったことを事後的に確認することができるので好ましい。
本発明に使用されるプラスチック袋としては、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート（PET）、ナイロンまたはこれらの積層材料からなる群から選択される樹脂からなるプラスチック袋を使用することが好ましく、安価であることから、ポリエチレンの袋を使用することが特に好ましい。

以下、本発明を実施例によってより詳細に説明するが、本発明はこれによって何等限定されるものではない。

硬度100N、縦310mm×横410mm×厚さ50mmの軟質ポリウレタンを、375mm×490mmのポリエチレン袋で覆い、袋の口を熱シールで密着してなる緩衝材４を２つ、及び硬度100N、縦190mm×横290mm×厚さ40mmの軟質ポリウレタンを、375mm×260mmのポリエチレン袋で覆った後、袋の口を熱シールで密着してなる緩衝材５を４つ作製した。

図２に、ペリクルを梱包した段ボール箱の側断面を示す。
得られた緩衝材４及び５を、内寸が、長さ380mm×幅320mm×高さ300mmのダンボール箱６の上下及び壁面に押し込んだ。
ペリクル７をケース８に収納し、2重にポリエチレン袋９に入れて密封したものを5段に重ね、更に他のポリエチレン袋１０に入れて密封した。
このようペリクルを収納したペリクルケースを五段重ねして密封したものを2つ重ねて
前記段ボール箱６中に入れ、箱を閉じた。

このようにしてペリクルを梱包した段ボール箱を、振動試験装置に載せ、20Hz、3Gの加速度で24時間振動させた。
次に、箱を開封して中身を取り出しエアシャワー付きパスボックスを通してクリーンルーム内に入れ、袋を開封して内部のペリクルを取り出し、膜上の異物を検査した結果、膜上に異物は確認されなかった。

［比較例１］
軟質ポリウレタンをポリエチレン袋で覆わなかったこと以外は、実施例１と同様にして、ペリクルの膜上の異物を検査した。
その結果、1枚のペリクルの膜上に異物が見つかった。この異物を顕微IRによって分光スペクトル分析したところ、ポリウレタンであると同定された。この異物は、ペリクルが入ったケースを包んだポリエチレン袋に付着したポリウレタンの緩衝材の破片が、パスボックス内で十分除去されず、開封時に容器上に移り、更に容器を開けた際にペリクル膜上に付着した物であることが確認された。

本発明の緩衝材は、ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置又は液晶表示板の製造に使用されるリソグラフィ用ペリクルを輸送する際の、梱包材として有用である。

１ クッション材
２ プラスチック袋
３ 密着部
４ 緩衝材
５ 緩衝材
６ 段ボール箱
７ ペリクル
８ ケース
９ ポリエチレン袋
１０ 他のポリエチレン袋

Claims (4)

1. リソグラフィ用ペリクルの梱包に用いられる緩衝材であって、所定の形状に成形したクッション材を、該クッション材と略同サイズのプラスチック袋で覆い、該プラスチック袋の継ぎ目を密着し、前記クッション材を密封してなることを特徴とする緩衝材。
2. 前記クッション材が、ポリウレタン、発泡スチロール、生分解性プラスチックからなる群より選択される少なくとも１種の樹脂からなる、請求項１に記載された緩衝材。
3. 前記クッション材が、硬度が10〜300Nであり、セル数が30個〜50個/25mmのクッション材である、請求項１又は２に記載された緩衝材。
4. 前記プラスチック袋の材質がポリエチレン、PET、ナイロン又はそれらの積層材料である、請求項１〜３の何れかに記載された緩衝材。

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