JPH07330039A

JPH07330039A - 密閉袋体

Info

Publication number: JPH07330039A
Application number: JP12751394A
Authority: JP
Inventors: Masahisa Yamaguchi; 口正久山; Hiroshi Yamamoto; 本浩山
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1994-06-09
Filing date: 1994-06-09
Publication date: 1995-12-19

Abstract

(57)【要約】【目的】超純水による包装材料の洗浄等を要する事な
く、清浄度が安定した状態で内容物を密閉することので
きる密閉袋体を提供する。【構成】密閉袋体１は、クリーン包装袋２と、このク
リーン包装袋２内に収納されたハードケース３と、この
ハードケース３内に収納された複数枚のシリコンウエハ
４とから構成されている。クリーン包装袋２は、一対の
包装用クリーンフィルムからなり、この包装用クリーン
フィルムは保護フィルム層を剥離して形成された清浄面
を有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、特にチリ、ホコリを極
端に嫌うシリコンウエハ等の半導体製品、あるいはその
ような製品の製造が行われるクリーンルーム内で使用さ
れる衣料、備品等、さらには医薬品等を清浄な状態に保
ったまま密閉し、運搬等することのできる密閉袋体に関
する。

【０００２】

【従来の技術】たとえばシリコンウエハやシリコンウエ
ハを用いる半導体製品はチリ、ホコリを極端に嫌うこと
からクリーンルーム内で製造されている。そして、この
ようなクリーンな環境下で製造される製品あるいはその
ような製品の製造時に必要な衣料、備品等にもチリ、ホ
コリが付着していないことが要求される。そのため、従
来は、クリーンルーム内で製造した包装材料を超純水で
洗浄したものでこれらの製品等を包装し、密閉袋体とし
た状態でクリーンルームへの搬入を行っていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来
は、クリーンルーム内で製造された包装材料を、さらに
超純水で洗浄するための洗浄手段が必要であり、装置が
複雑であるとともに製造コストが高くつくという問題が
ある。また、超純水による包装材料の洗浄の程度によ
り、内容物の清浄度の確実性に欠けるという問題もあ
る。

【０００４】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、超純水による包装材料の洗浄等を要する事
なく、清浄度が安定した状態で内容物を密閉することの
できる密閉袋体を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
内側にヒートシール層を有する基材部からなる一対の包
装用クリーンフィルムを有し、前記基材部は保護フィル
ム層を剥離してなる清浄面を有するクリーン包装袋と、
このクリーン包装袋内に収納されたハードケースと、こ
のハードケース内に収納されたシリコンウエハとを備え
たことを特徴とする密閉袋体である。

【０００６】請求項２記載の発明は、内側にヒートシー
ル層を有する基材部からなる一対の包装用クリーンフィ
ルムを有し、前記基材部は保護フィルム層を剥離してな
る清浄面を有するクリーン包装袋と、このクリーン包装
袋内に収納された無塵衣料とを備えたことを特徴とする
密閉袋体である。

【０００７】請求項３記載の発明は、内側にヒートシー
ル層を有する基材部からなる一対の包装用クリーンフィ
ルムを有し、前記基材部は保護フィルム層を剥離してな
る清浄面を有するクリーン包装袋と、このクリーン包装
袋内に収納されたクリーンフィルタとを備えたことを特
徴とする密閉袋体である。

【０００８】請求項４記載の発明は、内側にヒートシー
ル層を有する基材部からなる一対の包装用クリーンフィ
ルムを有し、前記基材部は保護フィルム層を剥離してな
る清浄面を有するクリーン包装袋と、このクリーン包装
袋内に収納されたクリーンルーム内備品とを備えたこと
を特徴とする密閉袋体である。

【０００９】請求項５記載の発明は、内側にヒートシー
ル層を有する基材部からなる一対の包装用クリーンフィ
ルムを有し、前記基材部は保護フィルム層を剥離してな
る清浄面を有するクリーン包装袋と、このクリーン包装
袋内に収納された医薬品と、を備えたことを特徴とする
密閉袋体である。

【００１０】

【作用】請求項１記載の発明によれば、クリーン包装袋
を構成する一対の包装用クリーンフィルムの基材部が、
保護フィルム層を剥離してなる清浄面を有するので、ク
リーン包装袋内に収納されたハードケースおよびシリコ
ンウエハをきわめて清浄な状態で密閉することができ
る。

【００１１】請求項２記載の発明によれば、クリーン包
装袋を構成する一対の包装用クリーンフィルムの基材部
が、保護フィルム層を剥離してなる清浄面を有するの
で、クリーン包装袋内に収納された無塵衣料をきわめて
清浄な状態で密閉することができる。

【００１２】請求項３記載の発明によれば、クリーン包
装袋を構成する一対の包装用クリーンフィルムの基材部
が、保護フィルム層を剥離してなる清浄面を有するの
で、クリーン包装袋内に収納されたクリーンフィルタを
きわめて清浄な状態で密閉することができる。

【００１３】請求項４記載の発明によれば、クリーン包
装袋を構成する一対の包装用クリーンフィルムの基材部
が、保護フィルム層を剥離してなる清浄面を有するの
で、クリーン包装袋内に収納されたクリーンルーム内備
品をきわめて清浄な状態で密閉することができる。

【００１４】請求項５記載の発明によれば、クリーン包
装袋を構成する一対の包装用クリーンフィルムの基材部
が、保護フィルム層を剥離してなる清浄面を有するの
で、クリーン包装袋内に収納された医薬品をきわめて清
浄な状態で密閉することができる。

【００１５】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。

【００１６】第１の実施例図１は本発明による密閉袋体の第１の実施例を示す図で
ある。図１において符号１で示す密閉袋体は、清浄面を
有するクリーン包装袋２と、このクリーン包装袋２内に
収納されたハードケース３と、このハードケース３内に
収納された複数枚のシリコンウエハ４とから構成され、
クリーン包装袋２内を真空脱気してハードケース３をク
リーン包装袋２の内面に密着することで、ハードケース
３のクリーン包装袋２内での移動に伴う塵の発生を防ぐ
ようにしている。

【００１７】上記クリーン包装袋２は、図２に示すよう
に、ヒートシール層５と基材フィルム層６とを有する基
材部７と、基材部７のヒートシール層５に積層された内
側保護フィルム層８と、基材部７のヒートシール層５と
反対側の面に積層された外側保護フィルム層９からなる
包装用クリーンフィルム１０を一対重ね合わせることに
よって形成されている。

【００１８】各包装用クリーンフィルム１０の内側保護
フィルム層８は、図２に示すように、クリーン包装袋２
を製造する段階で基材部７から剥離される。外側保護フ
ィルム層９は、図３に示すように、クリーン包装袋２に
シリコンウエハ４を収納したハードケース３を封入した
密閉袋体１を目的地に搬送した後の段階で剥離される。

【００１９】次に図４により、包装用クリーンフィルム
１０からクリーン包装袋２を作る包装袋製造装置につい
て説明する。図４において、この包装袋製造装置１１
は、クラス１００（０．５μｍ）程度に清浄化されたク
リーン室１２と、このクリーン室１２内に上流側から順
に配置された保護フィルム層剥離ロール１３，１３、一
対の押付ロール１４、流れ方向ヒートシール装置１５、
幅方向ヒートシール装置１６および切断装置と、クリー
ン室１２の上流側に配置された一対の給紙部１８，１９
および剥離された保護フィルム層を巻き取るための巻取
ロール２０，２０とから構成されている。

【００２０】上記クリーン包装袋２を包装用クリーンフ
ィルム１０から作るには、包装用クリーンフィルム１
０，１０を、一対の給紙部１８，１９に装着し、一対の
給紙部１８，１９から引き出される包装用クリーンフィ
ルム１０，１０を剥離ロール１３，１３に導き、この剥
離ロール１３，１３において、包装用クリーンフィルム
１０から内側保護フィルム層８を剥離する。この剥離ロ
ール１３で剥離された内側保護フィルム層８は、巻取ロ
ール２０に巻き取られる。

【００２１】内側保護フィルム層８を剥離してヒートシ
ール層５に清浄面を形成した一対の包装用クリーンフィ
ルム１０，１０は、ヒートシール層５を内側にして互い
に重ね合されてクリーン室１２へ送られる。クリーン室
１２内へ送られた一対の包装用クリーンフィルム１０，
１０は、押付ロール１４によって互いに押付けられ、そ
の後、流れ方向ヒートシール装置１５によって、両側部
を互いにヒートシール加工され筒状部を形成し、つい
で、幅方向ヒートシール装置１６によって、幅方向を互
いにヒートシール加工される。ヒートシール加工された
一対の包装用クリーンフィルム１０，１０は、切断装置
１７により切断されて一方が開口し、三方がヒートシー
ルされた一端開口のクリーン包装袋２が作られる。一対
の包装用クリーンフィルム１０，１０の四方をヒートシ
ールし、その後切断装置１７によって一方を切断して開
口を設けることにより一端開口のクリーン包装袋２を作
ることもできる。

【００２２】このようにして得られたクリーン包装袋２
は、クリーン室１２の直前で内側保護フィルム層８が剥
離された一対の包装用クリーンフィルム１０，１０から
なるので、クリーン包装袋２の内面は清浄な状態に保た
れる。クリーン包装袋２は、その後まとめられ、別途準
備された清浄な大型袋（図示せず）内に収納されて出荷
される。

【００２３】クリーン包装袋２に複数枚のシリコンウエ
ハ４を収納したハードケース３を封入して密閉袋体１を
作るには、図５に示すようにクリーン包装袋２の開口端
を開き、シリコンウエハ４を収納したハードケース３を
矢印方向にクリーン包装袋２の中に挿入する。

【００２４】つぎに、図６に示すように、ハードケース
３を入れたクリーン包装袋２の内部に、孔径０．１ミク
ロン程度のガスフィルターを通して、乾燥したクリーン
窒素ガスを吹き込み、クリーン包装袋２とハードケース
３の間の空気を窒素ガスと置換する。これにより、クリ
ーン包装袋２の内部の初期湿度が低下する。

【００２５】つぎに、窒素ガスと置換したハードケース
３を入れたクリーン包装袋２は、図７に示すように、脱
気シール装置に送られ、ここで、クリーン包装袋２とハ
ードケース３の間の窒素ガスを吸引し、クリーン包装袋
２とハードケース３が密着した状態とし、ついで、図８
に示すように、クリーン包装袋２の開口端をヒートシー
ルバー２１によりヒートシールされ、図９に示す密閉袋
体１が構成される。このように形成された密閉袋体１
は、通常の搬送ルートを経てシリコンウエハを加工する
ためのクリーンルームへ搬入され、搬入直前に外側保護
フィルム層９がクリーン包装袋２から剥離される。

【００２６】なお、上記実施例では、包装用クリーンフ
ィルム１０は、基材フィルム層の両面に保護層を設けた
ものであるが、基材フィルム層の片面に保護層を設けた
ものであってもよい。

【００２７】以下、本実施例の具体例について説明す
る。具体例１本具体例は図１に示す第１の実施例に対応するものであ
る。まず、基材部７のヒートシール層５は、厚さ３０ミ
クロンの中密度ポリエチレン樹脂（ＭＤＰＥ）フィルム
に厚さ２０ミクロンの低密度ポリエチレン樹脂（ＬＤＰ
Ｅ）フィルムを両面からラミネートした厚さ７０ミクロ
ンのポリエチレン樹脂フィルムである。また、基材フィ
ルム層６は、酸化珪素を蒸着した厚さ１２ミクロンのポ
リエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムと厚さ１
５ミクロンの２軸延伸ナイロン（ＯＮｙ）フィルムであ
る。また、内側保護フィルム層８は厚さ６０ミクロンの
未延伸ポリプロピレン（ＣＰＰ）フィルムであり、外側
保護フィルム層９は厚さ６０ミクロンの中密度ポリエチ
レン樹脂（ＭＤＰＥ）フィルムに厚さ２０ミクロンの低
密度ポリエチレン樹脂（ＬＤＰＥ）フィルムをラミネー
トしたものである。

【００２８】以上のような各フィルム層を用いて、以下
の構成となる包装用クリーンフィルムを作成した。ＭＤＰＥ６０μ／ＬＤＰＥ２０μ／／ＳｉＯｘ蒸着ＰＥ
Ｔ１２μ／ＯＮｙ１５μ／ＬＤＰＥ２０μ／ＭＤＰＥ３
０μ／ＬＤＰＥ２０μ／／ＣＰＰ６０μ

【００２９】この包装用クリーンフィルムを原反とし、
クリーン雰囲気（クラス１００（０．５μｍ））中でＣ
ＰＰ６０μフィルムを剥離しながら製袋を行い、クリー
ン包装袋を得る。このクリーン包装袋の中に、上記実施
例において説明したような方法で、シリコンウエハを収
納したハードケースを封入し、密閉袋体を得た。

【００３０】以上のような具体例において、比較例とし
て厚さ８０ミクロンのポリエチレンフィルムと厚さ４０
ミクロンのナイロンフィルムとからなる内袋と、厚さ１
００ミクロンのポリエチレンフィルムからなる外袋とを
包装袋（２重袋）とし、内袋と外袋の間に乾燥剤を封入
したものを用いて密閉袋体を作った。

【００３１】比較実験以上のような具体例及びその比較例により得られた密閉
袋体について、温度４０度、相対湿度９０％の条件で包
装袋内部の相対湿度の経時変化を調べた。その結果、図
１０に示すようなデータが得られた。図１０において、
本発明による密閉袋体の実験値を符号ａ，ｂで示し、比
較例の実験値を符号ｃ，ｄで示す。このデータによれ
ば、本発明による密閉袋体の包装袋内の相対湿度がで６
０日経過後に８０％程度になったのに対して、比較例で
は１５日経過の時点ですでに相対湿度が８０％程度にな
っている。これより本発明で提供される密閉袋体が、湿
気に対するバリアー性にも優れたものであることが確認
された。

【００３２】第２の実施例次に、本発明による密閉袋体の第２の実施例について説
明する。図１１は本発明の第２の実施例を示す図であ
る。本実施例の密閉袋体３０は、清浄面を有するクリー
ン包装袋３２と、このクリーン包装袋３２内に収納され
た無塵衣料３３から構成される。

【００３３】この無塵衣料３３は、たとえばクリーンル
ーム内で使用される無塵服、帽子、靴、手袋等の、クリ
ーンルーム内を汚染しないように特殊な材料で製造され
た衣料品である。これらの製品は、新規購入時だけでは
なく、クリーニング後にも清浄に保たれている必要があ
り、これを包装する包装袋にも清浄性が要求される。

【００３４】上記クリーン包装袋３２は、図１２に示す
ように、ヒートシール層５と基材フィルム層６とを有す
る基材部７と、基材部７のヒートシール層５に積層され
た内側保護フィルム層８と、基材部７のヒートシール層
５と反対側の面に積層された外側保護フィルム層９から
なる包装用クリーンフィルム１０を一対重ね合わせるこ
とによって形成されている。

【００３５】各包装用クリーンフィルム１０の内側保護
フィルム層８および外側保護フィルム層９は、図１２に
示すように、クリーン包装袋３２を製造する段階で基材
部７から剥離され、図１３に示すようなクリーン包装袋
３２が形成される。

【００３６】次に、図１４によりクリーン包装用袋３２
を作る包装袋製造装置について説明する。なお、図４に
示す第１の実施例の包装袋製造装置１１と同一部分には
同一符号を付して詳細な説明は省略する。図１４におい
て符号３１で示す製造装置は、上述した図４に示す製造
装置１１と略同一の構成であるが、さらにクリーン室１
２の上流側に、包装用クリーンフィルム１０から剥離さ
れた外側保護フィルム層９を巻取るための巻取ロール２
２，２２を備えている。

【００３７】上記クリーン包装袋３２を包装用クリーン
フィルム１０から作るには、剥離ロール１３，１３に導
かれた包装用クリーンフィルム１０，１０から、剥離ロ
ール１３，１３によって外側保護フィルム層９および内
側保護フィルム層８を剥離する。包装用クリーンフィル
ム１０，１０から剥離された外側保護フィルム層９およ
び内側保護フィルム層８は、各々巻取ロール２２および
巻取ロール２０に巻取られる。

【００３８】外側保護フィルム層９および内側保護フィ
ルム層８が剥離されて、ヒートシール層５と基材フィル
ム層６に清浄面が形成された一対の包装用クリーンフィ
ルム１０，１０は、ヒートシール層５を内側にして互い
に重ね合わされてクリーン室１２へ送られる。その後、
上述の図４に示す製造装置１１による場合と同様の工の
程を経て、一端開口のクリーン包装袋３２が作られる。

【００３９】このようにして得られたクリーン包装袋３
２は、クリーン室１２直前で外側保護フィルム層９およ
び内側保護フィルム層８が剥離された一対の包装用クリ
ーンフィルム１０，１０からなるので、クリーン包装袋
３２の内面および外面ともに清浄な状態に保たれる。

【００４０】クリーン包装用袋３２は、その後まとめら
れ、別途準備された清浄な大型袋（図示せず）内に収納
されて出荷される。出荷先（たとえば、無塵衣料の製造
工場、あるいはクリーニング工場等）において、クリー
ン包装用袋３２に無塵衣料３１を入れ、クリーン包装袋
３２の開口端をヒートシールし、図１１に示す密閉袋体
３０が構成される。

【００４１】なお、本実施例においては外側保護フィル
ム層９をクリーン包装袋３２の製袋時に剥離している
が、上述した第１の実施例と同様、外側保護フィルム層
９を残したまま製袋し、密閉袋体をクリーンルームに搬
入する直前に外側保護フィルム層９を剥離するようにし
てもよい。また、ヒートシール層５と基材フィルム層６
とを分けることなく、ヒートシール層と基材フィルム層
の役割を果たす単一の基材部７を用いてもよい。

【００４２】以下、本実施例の具体例について説明す
る。具体例２本具体例は図１１に示す第２の実施例に対応するもので
ある。まず、ナイロン樹脂（ＣＮｙ）と低密度ポリエチ
レン樹脂（ＬＤＰＥ）を多層溶融押出機にて製膜し、以
下の構成となる３層共押出フィルム（包装用クリーンフ
ィルム）を作成した。ＣＮｙ１５μ／／ＬＤＰＥ５０μ／／ＣＮｙ１５μ

【００４３】上記３層共押出フィルムにおいて、一方の
ＣＮｙ１５μが外側保護フィルム層９となり、ＬＤＰＥ
５０μがヒートシール層と基材フィルム層の役割を果た
す基材部７となり、他方のＣＮｙ１５μが内側保護フィ
ルム層８となる。この場合、ＬＤＰＥ５０μの内側保護
フィルム層８側がヒートシール層５としての役割を果た
すことになる。

【００４４】この３層共押出フィルムを原反とし、クリ
ーン雰囲気（クラス１００（０．５μｍ））中で両面の
ＣＮｙ１５μフィルムを剥離しながら製袋を行い、クリ
ーン包装袋を得る。このクリーン包装袋の中に、クリー
ン雰囲気中でクリーニング済の無塵服を入れて密封し、
密閉袋体を得た。

【００４５】以上のような具体例において、比較例とし
て一般のＬＤＰＥフィルム（タマポリＶ−１５０
μ）をインパルスシーラによって製袋したものを包装袋
として密閉袋体を作った。

【００４６】以上のような具体例及びその比較例により
得られた密閉袋体について、密閉袋体を軽く手で叩いた
後でクリーン包装袋を開封して無塵服を取り出し、イオ
ン化エアガンで表面をブローし、飛散した塵埃粒子をパ
ーティクルカウンターで計数した。そして、粒径０．５
μｍ以上の粒子のエア１リットルあたりの付着粒子数を
計算し、内容物の汚染度を比較評価した。その結果、比
較例でエア１リットルあたり１，２７０個であったのに
対して、本具体例ではエア１リットルあたり８個であっ
た。

【００４７】この結果から明らかなように、本具体例の
密閉袋体は、比較例の密閉袋体と比較し、包装袋内面の
付着粒子数が著しく少ないことがわかる。これより本発
明で提供される密閉袋体が、内容物の汚染度合の低い清
浄度に優れたものであることが確認された。

【００４８】第３の実施例次に、本発明による密閉袋体の第３の実施例について説
明する。なお、図１１に示す第２の実施例の密閉袋体３
０と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略す
る。

【００４９】図１５は本発明の第３の実施例を示す図で
ある。本実施例の密閉袋体４０は、清浄面を有するクリ
ーン包装袋３２と、このクリーン包装袋３２内に収納さ
れたクリーンフィルタ４３から構成される。このクリー
ンフィルタ４３は、たとえばクリーンルーム内のクリー
ンエア製造用や、超純水製造装置用に用いられる高性能
フィルタである。

【００５０】クリーン包装袋３２の出荷先（たとえば、
フィルタ製造工場等）において、クリーン包装用袋３２
にクリーンフィルタ４３を入れ、クリーン包装袋３２の
開口端をヒートシールし、図１５に示す密閉袋体４０が
構成される。

【００５１】以下、本実施例の具体例について説明す
る。具体例３本具体例は図１４に示す第３の実施例に対応するもので
ある。まず、ナイロン樹脂（ＣＮｙ）と低密度ポリエチ
レン樹脂（ＬＤＰＥ）を多層溶融押出機にて製膜し、以
下の構成となる３層共押出フィルム（包装用クリーンフ
ィルム）を作成した。ＣＮｙ１５μ／／ＬＤＰＥ５０μ／／ＣＮｙ１５μ

【００５２】上記３層共押出フィルムにおいて、一方の
ＣＮｙ１５μが外側保護フィルム層９となり、ＬＤＰＥ
５０μが基材部７となり、他方のＣＮｙ１５μが内側保
護フィルム層８となる。また、ＬＤＰＥ５０μの内側保
護フィルム層８側がヒートシール層５としての役割を果
たすことになる。

【００５３】この３層共押出フィルムを原反とし、クリ
ーン雰囲気（クラス１００（０．５μｍ））中で両面の
ＣＮｙ１５μフィルムを剥離しながら製袋を行い、クリ
ーン包装袋を得る。このクリーン包装袋の中にクリーン
雰囲気中で、イオン化エアガンを用いて十分にブローし
たクリーンエア製造用のエアフィルタを入れて密封し、
密閉袋体を得た。

【００５４】以上のような具体例において、比較例とし
て一般のＬＤＰＥフィルム（タマポリＶ−１５０
μ）をインパルスシーラによって製袋したものを包装袋
として密閉袋体を作った。

【００５５】以上のような具体例及びその比較例により
得られた密閉袋体について、クリーン包装袋中でエアフ
ィルタを攪拌した後でクリーン包装袋を開封してエアフ
ィルタを取り出し、イオン化エアガンで表面をブロー
し、飛散した塵埃粒子をパーティクルカウンターで計数
した。そして、粒径０．５μｍ以上の粒子のエア１リッ
トルあたりの付着粒子数を計算し、内容物の汚染度を比
較評価した。その結果、比較例でエア１リットルあたり
３５０個であったのに対して、本具体例ではエア１リッ
トルあたり１２個であった。

【００５６】この結果から明らかなように、本具体例の
密閉袋体は、比較例の密閉袋体と比較し、包装袋内面の
付着粒子数が著しく少ないことがわかる。これより本発
明で提供される密閉袋体が、内容物の汚染度合の低い清
浄度に優れたものであることが確認された。

【００５７】第４の実施例次に、本発明による密閉袋体の第４の実施例について説
明する。なお、図１１に示す第２の実施例の密閉袋体３
０と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略す
る。

【００５８】図１６は本発明の第４の実施例を示す図で
ある。本実施例の密閉袋体５０は、清浄面を有するクリ
ーン包装袋３２と、このクリーン包装袋３２内に収納さ
れたクリーンルーム内備品５３から構成される。このク
リーンルーム内備品５３は、たとえばクリーンルーム内
で使用するノート、出力用紙等のサプライ品である。

【００５９】クリーン包装用袋３２の出荷先（たとえ
ば、クリーンルーム内備品製造工場等）において、クリ
ーン包装用袋３２にクリーンルーム内備品５３を入れ、
クリーン包装袋３２の開口端をヒートシールし、図１６
に示す密閉袋体５０が構成される。

【００６０】以下、本実施例の具体例について説明す
る。具体例４本具体例は図１６に示す第４の実施例に対応するもので
ある。まず、ナイロン樹脂（ＣＮｙ）と低密度ポリエチ
レン樹脂（ＬＤＰＥ）を多層溶融押出機にて製膜し、以
下の構成となる３層共押出フィルム（包装用クリーンフ
ィルム）を作成した。ＣＮｙ１５μ／／ＬＤＰＥ５０μ／／ＣＮｙ１５μ

【００６１】上記３層共押出フィルムにおいて、一方の
ＣＮｙ１５μが外側保護フィルム層９となり、ＬＤＰＥ
５０μが基材部７となり、他方のＣＮｙ１５μが内側保
護フィルム層８となる。また、ＬＤＰＥ５０μの内側保
護フィルム層８側がヒートシール層５としての役割を果
たすことになる。

【００６２】この３層共押出フィルムを原反とし、クリ
ーン雰囲気（クラス１００（０．５μｍ））中で両面の
ＣＮｙ１５μフィルムを剥離しながら製袋を行い、クリ
ーン包装袋を得る。このクリーン包装袋の中にクリーン
雰囲気中で、イオン化エアガンを用いて十分ブローした
無塵紙ノートを入れて密封し、密閉袋体を得た。

【００６３】以上のような具体例において、比較例とし
て一般のＬＤＰＥフィルム（タマポリＶ−１５０
μ）をインパルスシーラによって製袋したものを包装袋
として密閉袋体を作った。

【００６４】以上のような具体例及びその比較例により
得られた密閉袋体について、クリーン包装袋中で無塵紙
ノートを攪拌した後でクリーン包装袋を開封して無塵紙
ノートを取り出し、イオン化エアガンで表面をブロー
し、飛散した塵埃粒子をパーティクルカウンターで計数
した。そして、粒径０．５μｍ以上の粒子のエア１リッ
トルあたりの付着粒子数を計算し、内容物の汚染度を比
較評価した。その結果、比較例でエア１リットルあたり
８５３個であったのに対して、本具体例ではエア１リッ
トルあたり２０個であった。

【００６５】この結果から明らかなように、本具体例の
密閉袋体は、比較例の密閉袋体と比較し、包装袋内面の
付着粒子数が著しく少ないことがわかる。これより本発
明で提供される密閉袋体が、内容物の汚染度合の低い清
浄度に優れたものであることが確認された。

【００６６】第５の実施例次に、本発明による密閉袋体の第５の実施例について説
明する。なお、図１１に示す第２の実施例の密閉袋体３
０と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略す
る。

【００６７】図１７は本発明の第４の実施例を示す図で
ある。本実施例の密閉袋体６０は、清浄面を有するクリ
ーン包装袋３２と、このクリーン包装袋３２内に収納さ
れた医薬品６３から構成される。この医薬品６３は、た
とえば包装前の錠剤等であり、チリ、ホコリの他、細菌
等による汚染をも極端に嫌うものである。

【００６８】クリーン包装用袋３２の出荷先（たとえ
ば、製薬工場等）において、クリーン包装用袋３２に医
薬品６３を入れ、クリーン包装袋３２の開口端をヒート
シールし、図１６に示す密閉袋体６０が構成される。

【００６９】なお、上記各実施例以外に、内容物として
半導体（デバイス）、光デバイス、ペリクル、液晶フィ
ルタ、フォトマスク、クリーンルーム用部材等を収納し
て密閉袋体を構成してもよい。

【００７０】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、密閉袋体
を構成するクリーン包装袋の清浄面が保護フィルム層を
剥離して形成されているので、超純水による包装材料の
洗浄等を要する事なく容易に、安定した清浄度でハード
ケースおよびシリコンウエハを密閉することができる。

【００７１】請求項２記載の発明によれば、密閉袋体を
構成するクリーン包装袋の清浄面が保護フィルム層を剥
離して形成されているので、超純水による包装材料の洗
浄等を要する事なく容易に、安定した清浄度で無塵衣料
を密閉することができる。

【００７２】請求項３記載の発明によれば、密閉袋体を
構成するクリーン包装袋の清浄面が保護フィルム層を剥
離して形成されているので、超純水による包装材料の洗
浄等を要する事なく容易に、安定した清浄度でクリーン
フィルタを密閉することができる。

【００７３】請求項４記載の発明によれば、密閉袋体を
構成するクリーン包装袋の清浄面が保護フィルム層を剥
離して形成されているので、超純水による包装材料の洗
浄等を要する事なく容易に、安定した清浄度でクリーン
ルーム内備品を密閉することができる。

【００７４】請求項５記載の発明によれば、密閉袋体を
構成するクリーン包装袋の清浄面が保護フィルム層を剥
離して形成されているので、超純水による包装材料の洗
浄等を要する事なく容易に、安定した清浄度で医薬品を
密閉することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による密閉袋体の第１の実施例を示す斜
視図。

【図２】図１に示す密閉袋体の、クリーン包装袋を構成
する包装用クリーンフィルムの積層構造を部分的に示す
断面図。

【図３】図１に示す密閉袋体の、クリーン包装袋から外
側保護フィルム層を剥離する状態を示す断面図。

【図４】図１に示す密閉袋体の、クリーン包装袋の包装
袋製造装置を示す図。

【図５】図１に示す密閉袋体の製造工程の第１段階を示
す断面図。

【図６】図１に示す密閉袋体の製造工程の第２段階を示
す断面図。

【図７】図１に示す密閉袋体の製造工程の第３段階を示
す断面図。

【図８】図１に示す密閉袋体の製造工程の最終段階を示
す断面図。

【図９】図１に示す密閉袋体の完成状態を示す断面図。

【図１０】本発明による密閉袋体の、クリーン包装袋内
の相対湿度の経時変化を示すグラフ。

【図１１】本発明による密閉袋体の第２の実施例を示す
斜視図。

【図１２】図１１に示す密閉袋体の、クリーン包装袋を
構成する包装用クリーンフィルムの積層構造を部分的に
示す断面図。

【図１３】図１１に示す密閉袋体の、クリーン包装袋の
構造を示す断面図。

【図１４】図１３に示すクリーン包装袋の包装袋製造装
置を示す図。

【図１５】本発明による密閉袋体の第３の実施例を示す
斜視図。

【図１６】本発明による密閉袋体の第４の実施例を示す
斜視図。

【図１７】本発明による密閉袋体の第５の実施例を示す
斜視図。

【符号の説明】

１，３０，４０，５０，６０密閉袋体２，３２クリーン包装袋３ハードケース４シリコンウエハ５ヒートシール層６基材フィルム層７基材部８内側保護フィルム層９外側保護フィルム層１０包装用クリーンフィルム３３無塵衣料４３クリーンフィルタ５３クリーンルーム内備品６３医薬品

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】内側にヒートシール層を有する基材部から
なる一対の包装用クリーンフィルムを有し、前記基材部
は保護フィルム層を剥離してなる清浄面を有するクリー
ン包装袋と、このクリーン包装袋内に収納されたハードケースと、このハードケース内に収納されたシリコンウエハと、を備えたことを特徴とする密閉袋体。
【請求項２】内側にヒートシール層を有する基材部から
なる一対の包装用クリーンフィルムを有し、前記基材部
は保護フィルム層を剥離してなる清浄面を有するクリー
ン包装袋と、このクリーン包装袋内に収納された無塵衣料と、を備えたことを特徴とする密閉袋体。
【請求項３】内側にヒートシール層を有する基材部から
なる一対の包装用クリーンフィルムを有し、前記基材部
は保護フィルム層を剥離してなる清浄面を有するクリー
ン包装袋と、このクリーン包装袋内に収納されたクリーンフィルタ
と、を備えたことを特徴とする密閉袋体。
【請求項４】内側にヒートシール層を有する基材部から
なる一対の包装用クリーンフィルムを有し、前記基材部
は保護フィルム層を剥離してなる清浄面を有するクリー
ン包装袋と、このクリーン包装袋内に収納されたクリーンルーム内備
品と、を備えたことを特徴とする密閉袋体。
【請求項５】内側にヒートシール層を有する基材部から
なる一対の包装用クリーンフィルムを有し、前記基材部
は保護フィルム層を剥離してなる清浄面を有するクリー
ン包装袋と、このクリーン包装袋内に収納された医薬品と、を備えたことを特徴とする密閉袋体。