KR20170054290A

KR20170054290A - 펠리클 수납 용기의 포장 구조체 및 그 포장 방법

Info

Publication number: KR20170054290A
Application number: KR1020160145784A
Authority: KR
Inventors: 카즈토시 세키하라
Original assignee: 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
Priority date: 2015-11-09
Filing date: 2016-11-03
Publication date: 2017-05-17
Also published as: JP6494111B2; TW201716298A; TWI608969B; CN106672429A; JP2017090618A

Abstract

(과제) 본 발명의 목적은 포장에 사용하기 전의 클리닝이 용이하고, 또한 포장했을 때에는 내부 밀폐성이 우수함과 아울러, 펠리클 수납 용기의 수납, 인출 작업이 용이한 펠리클 수납 용기의 포장 구조체를 제공하는 것이다.
(해결 수단) 본 발명은 적어도 하나의 변 길이가 500mm를 초과하는 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기의 포장 구조체로서, 대전방지성을 갖는 평면 형상의 포장 시트로 펠리클 수납 용기를 덮어 곤포해서 이루어지는 내측 포장체와, 이 내측 포장체를 수납하는 자루 형상의 외측 포장체로 이루어지는 적어도 2중의 포장체로 구성되는 것을 특징으로 하는 것이다.

Description

펠리클 수납 용기의 포장 구조체 및 그 포장 방법{PACKAGING STRUCTURE OF PELLICLE STORAGE CONTAINER AND PACKAGING METHOD THEREOF}

본 발명은 반도체 디바이스, IC 패키지, 프린트 기판, 액정 디스플레이 또는 유기 EL 디스플레이 등을 제조할 때의 먼지막이로서 사용되는 펠리클 중 적어도 하나의 변 길이가 500mm를 초과하는 대형 펠리클을 수납하기 위한 펠리클 수납 용기의 포장 구조체 및 그 포장 방법에 관한 것이다.

LSI, 초 LSI 등의 반도체 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서는 반도체 웨이퍼 또는 액정용 유리판에 자외광을 조사해서 패턴을 제작하지만, 이때에 사용하는 포토마스크에 먼지가 부착되어 있으면, 이 먼지가 자외광을 차단하거나 반사하거나 하기 때문에, 전사한 패턴의 변형, 단락 등이 발생하여 품질이 손상된다고 하는 문제가 있었다.

이 때문에, 이들 작업은 통상 클린룸에서 행해지고 있지만, 그것에서도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어렵다. 그래서, 포토마스크 표면에 먼지막이로서 펠리클을 첩부한 후에 노광을 행하고 있다. 이 경우, 이물은 포토마스크의 표면에는 직접 부착되지 않고, 펠리클 상에 부착되기 때문에, 리소그래피 시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면 펠리클 상의 이물은 전사에 무관계가 된다.

이 펠리클은 일반적으로 광을 잘 투과시키는 니트로셀룰로오스, 아세트산 셀룰로오스 또는 불소계 수지 등으로 이루어지는 투명한 펠리클막을 알루미늄, 스테인레스강, 엔지니어링 플라스틱 등으로 이루어지는 펠리클 프레임의 상단면에 접착하여 제작된다. 또한, 펠리클 프레임의 하단에는 포토마스크에 장착하기 위한 폴리부텐 수지, 폴리아세트산 비닐 수지, 아크릴 수지, 실리콘 수지 등으로 이루어지는 점착층, 및 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세퍼레이터)이 형성된다.

또한, 변 길이가 500mm를 초과하는 대형 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기는 일반적으로는 펠리클을 적재하는 용기 본체와, 그것에 둘레 가장자리부에서 감합되어 밀봉하는 뚜껑체로 구성되어 있고, 이들 용기 본체와 뚜껑체는 두께 2mm∼8mm 정도의 수지판을 진공 성형 또는 압공 성형함으로써 제작된다. 이 제법은 대형의 것에서도 일체로 성형할 수 있기 때문에, 내부에 발진원이 적은 것 외에, 생산성이 높고 저비용으로 제조할 수 있다고 하는 이점이 있다.

대형 펠리클 수납 용기의 재질로서는 기계적 성질과 성형성의 장점으로부터, 대부분의 경우에서는 용기 본체에는 ABS 수지가 사용되고, 뚜껑체에는 ABS 수지 또는 PMMA 수지가 사용되고 있다. 이들 수지는 가연성이기 때문에, 대형 펠리클 수납 용기는 가연물로서의 용적이나 중량도 상당히 큰 것이 되어, 이 펠리클 수납 용기를 한 개소에 대량 보관하는 경우에는 안전성에 대한 염려 때문에 난연성의 부여가 요구되는 경우도 있다.

이러한 펠리클 수납 용기를 보관할 경우, 일반적으로 펠리클 수납 용기를 포장 자루에 수납해서 보관하고 있는 것이 현 상태이다. 그리고, 이 포장 자루에는 청정성 외에, 내부의 펠리클 수납 용기에 이물을 부착시키지 않기 위한 밀폐성, 대전방지 성능 등이 요구되기 때문에, 종래부터 두께 100∼300㎛의 폴리에틸렌(PE), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 등의 수지 재질로 이루어지는 포장 자루가 사용되고 있다. 또한, 대전방지 성능을 확보하기 위해서, 통상 재질 중에 대전방지제 또는 도전 재료의 니딩이 행해지지만, 때로는 알루미늄박을 라미네이트한 것이나, 도전 인쇄를 실시한 것이 사용되는 경우도 있다.

예를 들면, 특허문헌 1에는 펠리클의 오염을 방지하기 위해서, 가장 내측의 제 1 자루에 청정도 1000 이하의 클린룸 내에서 제조된 깨끗한 자루를 사용하고, 제 2 자루, 제 3 자루로는 대전방지 타입의 자루를 이용하여 펠리클 수납 용기를 수납하는 방법이 기재되어 있다. 그러나, 이 수납 방법을 한 변이 500mm를 초과하는 대형 펠리클 수납 용기에 적용하는 경우에는 사용하는 포장 자루가 인플레이션 성형 등에 의해 제조되는 것이기 때문에, 그 설비의 크기, 수요가 적은 것 등으로부터, 클린룸 등의 청정한 환경에서 제조하는 것이 어렵다고 하는 문제가 있다.

일본 특허공개 2012-208158

그 때문에, 일반 환경에서 제조된 포장 자루를 클린룸 내에서 클리닝하고 나서 사용하는 경우가 많고, 이 경우의 클리닝 수단으로서는 수세나, 순수 와이핑 등의 웨트 세정 외에, 점착롤이나 에어 블로우에 의한 드라이 세정 등의 방법을 들 수 있다. 그러나, 대형 포장 자루가 되면, 특히 자루 내측에 대한 클리닝 작업이 매우 곤란하기 때문에, 제조공정이나 품질 상에서 큰 문제가 되고 있다.

그래서, 본 발명은 상기와 같은 문제를 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은 포장에 사용하기 전의 클리닝이 용이하고, 또한 포장했을 때에는 내부 밀폐성 이 우수함과 아울러, 펠리클 수납 용기의 수납, 인출 작업이 용이한 펠리클 수납 용기의 포장 구조체 및 그 포장 방법을 제공하는 것이다.

본 발명은 적어도 하나의 변 길이가 500mm를 초과하는 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기의 포장 구조체로서, 대전방지성을 갖는 평면 형상의 포장 시트로 펠리클 수납 용기를 덮어서 곤포해서 이루어지는 내측 포장체와, 이 내측 포장체를 수납하는 자루 형상의 외측 포장체로 이루어지는 적어도 2중의 포장체로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 포장 시트는 연질 폴리염화비닐 또는 폴리염화비닐리덴인 것이 바람직하고, 그 두께는 50∼300㎛인 것이 바람직하다. 또한, 본 발명의 외측 포장체는 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트 중에서 선택되는 것이 바람직하다.

본 발명의 포장 방법은 적어도 하나의 변 길이가 500mm를 초과하는 펠리클을 수납하기 위한 펠리클 수납 용기의 포장 방법으로서, 대전방지성을 갖는 평면 형상의 포장 시트를 복수회 뒤집어 접어서 펠리클 수납 용기를 곤포함으로써 내측 포장체를 제작하는 공정과, 이 내측 포장체를 자루 형상의 외측 포장체에 수납하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에 의하면, 특히 청정한 것이 요구되는 내측 포장체는 종래의 자루에 펠리클 수납 용기를 수납한 구성이 아니라, 평면 형상의 포장 시트로 펠리클 수납 용기를 덮어서 곤포한 구성이기 때문에, 곤포에 사용하기 전의 평면 형상의 포장 시트의 클리닝이 용이해져서 매우 청정한 클리닝이 가능해진다. 또한, 복수회 구부려서 펠리클 수납 용기를 곤포할 경우에서도 이 포장 시트가 펠리클 수납 용기에 밀착되기 때문에, 밀폐성이 충분하게 확보되어 내부의 펠리클 수납 용기를 청정하게 유지할 수 있다고 하는 메리트가 있다.

도 1은 본 발명의 펠리클 수납 용기의 포장 구조체의 개요를 나타내는 단면도이다.
도 2는 내측 포장체의 개요를 나타내는 사시도이다.
도 3은 내측 포장체를 외측 포장체에 수납한 개요를 나타내는 사시도이다.
도 4는 펠리클 수납 용기를 평면 형상 시트로 곤포하는 순서 (1)∼(3)를 나타내는 평면도이다.
도 5는 포장하는 펠리클 수납 용기의 사시도이다.
도 6은 실시예 2의 포장 구조체를 나타내는 개요의 단면도이다.
도 7은 비교예의 포장 구조체를 나타내는 개요의 단면도이다.

이하, 본 발명의 일 실시형태를 도면에 의거하여 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이것에 하등 한정되는 것은 아니다.

도 1, 도 2 및 도 3은 본 발명의 펠리클 수납 용기의 포장 구조의 일 실시형태를 나타내는 것이다. 도 1은 본 발명의 포장 구조의 전체 개요를 나타내는 단면도이며, 도 2는 펠리클 수납 용기(50)를 평면 형상의 포장 시트(11)로 덮어서 곤포한 내측 포장체(11')만을 실시한 상태의 사시도이며, 도 3은 그 외측에 자루 형상의 외측 포장체(12)를 더 설치한 상태의 사시도이다.

본 발명의 펠리클 수납 용기의 포장 구조체는 내측 포장체(11')와 외측 포장체(12)로 이루어지는 적어도 2중의 포장체로 구성되어 있다. 이 중, 내측 포장체(11')는 평면 형상의 포장 시트(11)를 사용해서 펠리클 수납 용기(50)를 덮어서 곤포한 구성이기 때문에, 곤포에 사용되기 전에 이 평면 형상의 포장 시트(11)를 클리닝 하는 작업이 종래의 포장 자루에 비해서 용이해져서, 내측 포장체(11')의 청정도의 확보나 제조 효율에 있어서 유리하게 된다.

이 평면 형상의 포장 시트(11)에는 이물 부착 방지를 위해서, 대전방지제 또는 도전 물질의 니딩에 의해 대전방지성을 부여하는 것이 바람직하다. 또한, 포장 시트의 색은 투명 또는 반투명인 편이 내부를 확인할 수 있으므로 바람직하지만, 반대로 용기의 변색, 열화의 원인이 되는 자외선으로부터 방호하기 위해서는 흑색 등의 불투명으로 하는 경우도 있다.

또한, 포장 시트(11)의 재료에 대해서는 특별히 한정하지 않지만, 폴리에틸렌, 폴리염화비닐리덴, 폴리염화비닐, 폴리메틸펜텐 등의 시트상으로 성형할 수 있는 재료에서 자유롭게 선택할 수 있다. 또한, 폴리에틸렌/폴리프로필렌과 같은 다층 구조로 해도 좋다. 난연성이나 밀착성의 관점으로부터, 특히 연질 폴리염화비닐 또는 폴리염화비닐리덴제의 시트가 바람직하고, 비용을 고려하면 연질 폴리염화비닐제의 시트가 보다 바람직하다.

여기에서, 연질 폴리염화비닐이란, 프탈산 에스테르 등으로 이루어지는 가소제를 중량비로 10% 이상 함유하고 있는 것을 가리킨다.

연질 폴리염화비닐 또는 폴리염화비닐리덴과 같은 밀착성을 부여할 수 있는 재료를 포장 시트(11)의 재료로서 사용하면, 포장 시트(11)를 복수회 뒤집어 접어서 펠리클 수납 용기(50)를 곤포할 때에 포장 시트(11)가 상호 접촉해서 밀착하여, 자루 형상의 것을 사용하지 않아도 용이하게 밀폐 공간을 구성할 수 있으므로 바람직하다.

내측 포장체(11')에 사용하는 포장 시트(11)의 두께는 50∼300㎛의 것이 바람직하지만, 밀착성, 비용, 취급 용이성으로부터 70∼200㎛의 범위의 것이 보다 바람직하다. 또한, 펠리클 수납 용기(50)를 덮어서 곤포한 내측 포장체(11')의 시트 단은 그대로 밀착시켜 두어도 좋고, 필요에 따라서 열밀봉 등으로 접착해도 좋다. 가장 바람직하게는 수 매의 점착테이프(13)로 고정하는 것이 바람직하고, 이렇게 함으로써 개봉시에 시트단을 떼어내는 것이 용이해진다.

또한, 내측 포장체(11')는 포장 자루가 아니라 평면 형상의 포장 시트(11)를 사용하고 있기 때문에, 중량이 있는 대형 펠리클 수납 용기(50)를 자루 중에 삽입하거나, 인출하거나 할 필요가 없어서, 곤포, 개봉이 매우 용이해진다. 또한, 포장 시트(11)의 재료가 연질 폴리염화비닐 또는 폴리염화비닐리덴일 경우에는 높은 난연성을 갖고 있기 때문에, 안전성의 점으로부터도 바람직하다.

펠리클 수납 용기(50)를 포장 시트(11)로 곤포해서 내측 포장체(11')로 하는 곤포 순서는 필요 최소한의 크기의 포장 시트(11)를 사용해서 적은 곤포 순서로 펠리클 수납 용기(50)가 완전히 덮여지면 좋지만, 그 바람직한 곤포 순서의 일례를 도 4(1)~(3)에 나타낸다.

최초로, 도 4(1)에 나타나 있는 바와 같이, 포장 시트(11) 상에 펠리클 수납 용기(50)를 배치하고, 펠리클 수납 용기(50)의 외측 가장자리(50a, 50b)를 따른 일점 쇄선에서 펠리클 수납 용기(50)의 상면을 완전히 덮도록 포장 시트(11)를 뒤집어 접는다. 도 4(2)는 뒤집어 접은 후의 상태를 나타낸다. 이때, 뒤집어 접은 포장 시트(11)의 둘레 가장자리는 서로 겹쳐진 상태이며, 이 시점에서 펠리클 수납 용기(50)가 완전히 포장 시트(11)로 덮여져 있는 것이 바람직하다.

다음에, 펠리클 수납 용기의 외측 가장자리(50c, 50d)를 따라 도 4(2) 중의 일점 쇄선의 개소에서 포장 시트(11)를 펠리클 수납 용기 상면쪽으로 뒤집어 접는다. 도 4(3)은 뒤집어 접은 후의 상태를 나타낸다. 내측 포장체(11')는 이 상태에서 완성되지만, 뒤집어 접은 포장 시트(11)의 선단을 상면 상의 포장 시트(11)에 몇 개소에서 점착테이프(13)에 의해 첩부하는 것이 바람직하다.

또한, 각 포장 시트(11) 상호의 겹침이 100∼300mm이도록 포장 시트의 크기를 설정하면, 포장 시트(11)의 밀착성에 의해 겹침 부분이 서로 밀착해서 확실한 밀폐가 가능하므로 바람직하다.

한편, 외측 포장체(12)는 도 3에 나타나 있는 바와 같이 내측 포장체(11')를 더 피복해서 내측 포장체(11')에 진애가 부착되는 것을 방지하기 위한 것이고, 보관 중이나 수송 중에 포장 내에 진애가 침입하지 않도록 하기 위한 것이다.

이 외측 포장체(12)는 자루 형상의 형상이며, 그 재료는 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 수지로 이루어지는 군에서 선택되는 것이 바람직하다. 자루 형상으로 제조하는 방법은 특별히 상관없지만, 자루의 개구부는 열 밀봉에 의해 밀봉하거나, 복수회 접어서 점착테이프(14)로 고정시키는 것이 바람직하다.

외측 포장체(12)의 두께는 50∼300㎛의 범위에서 선택하면 좋지만, 비용, 강도, 봉지 제조의 용이성 등의 관점으로부터, 100∼150㎛로 하는 것이 바람직하다. 이 외측 포장체(12)도 내측 포장체(11')와 마찬가지로 대전방지제나 도전 물질의 혼련에 의해 또는 도전 재질과의 라미네이트에 의해 대전방지성을 갖고 있는 것이 바람직하다. 또한, 색은 유색이어도 좋지만, 투명 또는 반투명이면 내부를 확인할 수 있으므로 바람직하다.

이 외측 포장체(12)는 자루 형상의 형상으로서 있기 때문에, 특히 내부로의 진애의 침입을 방지하기 쉬워서 내측 포장체(11')를 청정하게 유지할 수 있다. 또한, 외측 포장체(12)의 재료로서 바람직한 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 수지는 모두 약간 경질이고 슬라이딩성이 좋기 때문에, 미세 점착성을 갖는 내측 포장체(11')이어도 용이하게 이것을 수납할 수 있다.

내측 포장체(11')는 미세 점착성을 갖고 있기 때문에 진애가 부착되기 쉽고, 게다가 접촉한 여러가지 물품에 첩부되어 작업성을 악화시킨다고 하는 문제가 있지만, 이 내측 포장체(11')의 외측에 상기 재료를 사용한 외측 포장체(12)를 설치(내측 포장체(11')를 자루 형상의 외측 포장체(12)에 수납함)함으로써 진애의 부착을 방지할 수 있다고 하는 메리트가 있다. 또한, 곤포 상자나 수납 선반에의 수납이나 인출이라고 하는 반송 작업에 있어서도, 그 작업성이 개선되므로 적합하다.

이 외측 포장체(12)는 일반 환경하에서는 진애가 다수 부착되어 있기 때문에, 통상의 펠리클 사용시에 있어서는 클린룸으로의 펠리클 반입시에 외측 포장체(12)를 제거하여 내측 포장체(11')만의 상태에서 클린룸에 반입하여 보관하는 것이 특히 바람직하다.

본 발명에서 수납하는 펠리클 수납 용기(50)에 대해서는 특별히 그 구조, 재질은 상관없지만, 일반적으로는 ABS, PMMA, PC 등의 수지판을 진공 성형해서 제작한 것이 바람직하다. 이 펠리클 수납 용기(50)는 도 5에 나타나 있는 바와 같이 통상 펠리클(53)을 적재하는 수납 용기 본체(51)와, 그 둘레 가장자리부에서 감합되어 펠리클(53)과 수납 용기 본체(51)를 덮는 뚜껑체(52)로 구성되어 있다. 그리고, 그 둘레 가장자리부는 클립 등으로 고정되어 있거나, 점착테이프로 밀봉되어 있다(도시하지 않음).

특히, 변 길이가 1m를 초과하는 대형 펠리클 수납 용기(50)에서는 강성 향상을 위해서 수지를 진공 성형해서 제작한 펠리클 수납 용기의 외측에 금속이나 섬유 강화 수지제의 보강체를 장착하는 것도 좋고, 또한 알루미늄 합금, 마그네슘 합금 등의 경량 금속으로 펠리클 수납 용기 자체 또는 특히 하측이 되는 용기 본체를 제작하는 것도 좋다.

또한, 펠리클 수납 용기(50)의 외측에 취급을 위해서 핸들이나 다리부를 장착하는 것도 좋지만, 본 발명에서 사용하는 평면 형상의 포장 시트(11)는 유연성이 있기 때문에, 핸들이나 다리부 등과 같은 돌기물이 있어도 적합하게 대응할 수 있다.

또한, 펠리클 수납 용기(50)의 표면은 평탄한 편이 내측 포장체(11')와의 밀착성이 좋아 바람직하지만, 굳이 펠리클 수납 용기(50)의 표면에 요철을 설치함으로써 작업성 등을 고려해서 밀착성을 제어하는 것도 가능하다.

(실시예)

이하에, 본 발명의 실시예 및 비교예를 구체적으로 설명하지만, 실시예 및 비교예의 각 작업은 클래스 10의 클린룸 내에 두고 행했다.

<실시예 1>

실시예 1에서는 도 1∼도 3에 나타나 있는 바와 같은 펠리클 수납 용기의 포장 구조체(10)를 제작했다. 이 포장 구조체(10)는 내측 포장체(11')와 외측 포장체(12)의 2중의 포장체로 구성되어 있고, 내측 포장체(11')의 내부에는 평면 형상의 포장 시트(11)를 사용해서 도 5에 나타내는 펠리클 수납 용기(50)가 곤포되어 있다.

펠리클 수납 용기(50)는 두께 5mm이고 흑색의 난연 대전방지 ABS 수지를 진공 성형한 펠리클 수납 용기 본체(51)와, 그것에 둘레 가장자리부에서 감합되는 동 재료를 진공 성형한 뚜껑체(52)로 이루어지고, 그 조합 후의 외측 치수는 1350×1532×높이 120mm이다. 그리고, 이 펠리클 수납 용기(50)를 계면활성제와 순수로 세정하고, 잘 건조시켰다.

다음에, 외측 치수 1146×1366mm의 크기이고, 높이 7mm의 펠리클(53)을 제작하고, 암실 내에서 집광 램프를 사용한 목시 이물 검사를 행한 후, 펠리클 수납 용기(50)에 수납하고, 주위를 점착테이프(도시하지 않음)에 의해 밀폐했다. 펠리클(53)에 사용한 펠리클 프레임은 A5052 알루미늄 합금을 기계 가공해서 흑색 알루마이트를 실시한 것이며, 외측 치수 1146×1366mm의 크기, 내측 치수 1122×1342mm의 크기로 하고, 높이는 5.8mm로 하고, 다리부는 외측 R3, 내측 R2이라고 했다.

이 펠리클 프레임의 일면에는 펠리클막 접착층으로서 실리콘 수지를 도포하고, 두께 4.5㎛의 불소계 수지로 이루어지는 펠리클막을 접착했다. 또한, 별도의 일면에는 마스크 점착층으로서 실리콘 점착제를 도포하고, 그 표면에는 프레임 외형과 대략 동 형상으로 절단한 PET 수지에 이형제를 도포해서 제작한 세퍼레이터를 첩부했다. 이 펠리클(53)을 수납한 펠리클 수납 용기(50)의 외면을 순수로 와이핑 세정하고, 주위를 어둡게 해서 집광 램프에 의한 목시 검사를 행하면서, 시인할 수 있는 부착 이물은 모두 제거했다.

또한, 평면 형상의 포장 시트(11)로서 1830×3300mm의 크기로 절단한 두께 100㎛의 대전방지 투명 연질 PVC 시트를 준비하고, 이 시트를 순수로 와이핑 세정하고, 잘 건조시켰다. 이 세정 작업은 준비한 포장 시트(11)가 평판상이기 때문에, 매우 작업성이 좋고, 또한 건조의 목시 확인도 용이했다.

다음에, 이 포장 시트(11)를 사용하여, 도 4 에 나타나 있는 바와 같은 곤포 순서로 펠리클 수납 용기(50)를 곤포했다. 처음에, 도 4(1)에 나타나 있는 바와 같이, 평면에 배치한 포장 시트(11) 상에 펠리클 수납 용기(50)를 배치하고, 펠리클 수납 용기(50)의 외측 가장자리(50a, 50b)를 따른 일점 쇄선에서 펠리클 수납 용기(50)의 상면을 완전히 덮도록 포장 시트(11)를 뒤집어 접어서 도 4(2)에 나타내는 상태로 했다. 다음에, 용기 외측 가장자리(50c, 50d)를 따라 도 4(2) 중의 일점 쇄선에서 포장 시트(11)를 용기 상면쪽으로 뒤집어 접어서 도 4(3)에 나타내는 상태로 했다. 최후에, 뒤집어 접은 포장 시트(11)의 둘레 가장자리부를 잘 밀착시킨 후, 그 선단을 상면 상의 포장 시트(11)에 PVC제 점착테이프(13)에 의해 첩부하여, 도 2에 나타내는 내측 포장체(11')를 완성시켰다.

다음에, 외측 곤포체(12)로서 1700×1650의 크기이고, 두께 100㎛의 대전방지 PE제 투명 자루를 준비하고, 이 자루를 내측 포장체(11')의 외측에 씌워서 이것을 수납하고, 그 개구를 2중으로 뒤집어 접어서 말은 후, PVC제 점착테이프(14)로 고정하여 도 3에 나타내는 포장 구조체(10)를 완성시켰다.

그 후, 이 포장 구조체(10)를 클린룸으로부터 반출해서 온도 20∼30℃, 습도 30∼80%의 일반실에서 3개월간 보관하고, 그 후 내부를 확인하기 위해서 다시 클린룸에 반입했다. 이 반입시에 진애가 다수 부착된 외측 포장체(12)를 클린룸 입실 직전에 제거하여 내측 포장체(11')만의 상태로 해서 클린룸 내에 반입했다.

최후에, 내측 포장체(11')를 도 4에 나타내는 곤포 순서와는 역순서로 개방했다. 그리고, 주위를 어둡게 하고 나서 펠리클 수납 용기(50)의 외면을 집광 램프로 조사해서 관찰한 바, 오염이나 이물의 부착은 보여지지 않고, 청정한 상태가 유지되어 있는 것을 확인했다. 또한, 펠리클 수납 용기(50)의 뚜껑체(52)를 주의 깊게 개방하고, 그대로 펠리클 수납 용기 본체(51) 상에서 펠리클(53)을 관찰한 바, 펠리클(53)에도 이물의 부착은 보여지지 않고, 청정한 상태가 유지되어 있는 것을 확인했다.

<실시예 2>

실시예 2에서는 도 6에 나타나 있는 바와 같은 펠리클 수납 용기의 포장 구조체(60)를 제작했다. 이 제작에서는 우선 펠리클 수납 용기(64)를 평면 형상의 포장 시트(61)로 곤포해서 내측 포장체(61')를 구성하고, 이것을 자루 형상의 외측 포장체(62)에 수납해서 포장 구조체(60)를 제작했다.

실시예 2에서 수납하는 펠리클 수납 용기(64)는 알루미늄 합금제 본체(64a)와, 두께 5mm의 투명 PC 수지판을 진공 성형해서 제작한 뚜껑체(64b)로 구성되고, 그 외부에는 핸들(64c, 64d), 다리부(64e)가 장착되어 있다. 또한, 그 주위는 PVC제 점착테이프(도시하지 않음)로 밀폐된 후, 버클(64f)로 조임 고정되어 있다.

또한, 이 펠리클 수납 용기(64) 내에 수납되는 펠리클(65)은 흑색 알루마이트를 실시한 A5052 알루미늄 합금제 프레임에 두께 4㎛의 불소계 수지로 이루어지는 펠리클막을 접착해서 제작한 것이며, 외측 치수 1526×1748mm의 크기, 내측 치수 1493×1715mm의 크기로 하고, 펠리클 프레임 높이는 6.2mm로 했다. 다리부는 외측 R6mm, 내측 R2mm으로 하고, 마스크 점착층을 포함한 높이는 8mm로 했다.

이 펠리클(65)을 암실 내에서 집광 램프에 의한 목시 이물 검사 후 펠리클 수납 용기(64)에 수납하고, 이 펠리클 수납 용기(64)의 외면에 대해서 주위를 어둡게 한 다음 집광 램프를 조사해서 목시 확인을 행하면서 부착되어 있는 이물을 모두 제거했다.

실시예 2에서는 평면 형상의 포장 시트(61)로서 상기 실시예 1과 같은 재료의 대전방지 투명 연질 PVC 시트를 준비하고, 이것을 1830×4200mm의 크기로 절단해서 포장 시트(61a)로 하고, 다음에 915×4200mm의 크기로 2매를 절단해서 포장 시트(61a)로 하고, 또한 500×400mm의 크기로 4매를 절단해서 포장 시트(61c)로 했다. 이들 7매의 포장 시트의 양면을 순수로 와이핑 세정하고, 잘 건조시켰다.

다음에, 포장 시트(61a)를 다리부(64e)의 내측에 배치하여 펠리클 수납 용기(64)를 피복하고, 단부를 포개서 밀착시키고 점착테이프로 첩부했지만, 펠리클 수납 용기(64)가 포장 시트(61a)의 폭보다 크기 때문에 다리부(64e)보다 외측의 양단에 포장되지 않은 영역이 남았다.

또한, 2매의 포장 시트(61a)를 각각 포장 시트(61a)의 외측에 배치하고, 포장 시트(61a)에 200mm 겹치도록 해서 포장하고, 단부를 포개서 밀착시켰다. 이때 포장 시트(61a)에는 미리 다리부(64e) 부분에 상당하는 개구를 형성해 두고, 이 개구를 통해서 다리부가 외부로 나오도록 했다. 그리고, 포장 시트(61a)의 단부는 그 잉여부를 상방으로 뒤집어 접어서 포장 시트(61a)의 상면에 점착테이프(63)로 첩부했다.

또한, 포장 시트(61c)를 각 다리부(64e) 아래에 끼워넣고, 상방으로 뒤집어 접어서 다리부(64e)를 피복함과 아울러, 단부를 점착테이프(63)로 첩부하여 밀폐하여 내측 포장체(61')를 완성시켰다.

이 실시예 2의 펠리클 수납 용기(64)에는 다리부(64e) 이외에도 핸들(64c, 64d), 버클(64f)의 돌기부가 있었지만, 포장 시트(61)에 유연성이 있기 때문에 돌기부에 포장 시트(61)를 밀착시켜서 포장할 수 있었다.

다음에, 외측 포장체(62)로서 2700×5000mm의 크기의 대전방지 투명 PE 자루를 준비하고, 이 PE 자루의 내부에 펠리클 수납 용기(64)를 곤포한 내측 포장체(61')를 수납한 후, 그 개구부를 뒤집어 접어서 점착테이프(63)로 첩부하여 도 6에 나타내는 포장 구조체(60)를 완성시켰다.

그 후, 이 포장 구조체(60)를 상기 실시예 1과 마찬가지로 클린룸으로부터 반출해서 온도 20∼30℃, 습도 30∼80%의 일반실에서 3개월간 보관하고, 그 후에 내부를 확인하기 위해서 다시 클린룸에 반입했다. 이 반입시에 진애가 다수 부착된 외측 포장체(62)를 클린룸 입실 직전에 제거하여, 내측 포장체(61')만의 상태로 해서 클린룸 내에 반입했다.

최후에, 내측 포장체(61')를 개방하고, 이어서 주위를 어둡게 하고 나서 펠리클 수납 용기(60)의 외면을 집광 램프로 조사해서 관찰한 바, 오염이나 이물의 부착은 보여지지 않고, 청정한 상태가 유지되어 있는 것을 확인했다. 또한, 펠리클 수납 용기(60)의 뚜껑체(64b)를 주의 깊게 개방하고, 그대로 펠리클 수납 용기 본체 (64b) 상에 수납한 펠리클(65)에 집광 램프를 조사해서 목시 관찰한 바, 이물의 부착은 보여지지 않고, 청정한 상태가 유지되어 있는 것을 확인했다.

(비교예)

비교예에서는 상기 실시예 1과 같은 수단이나 순서로 제작한 펠리클(53)과 펠리클 수납 용기(50)에 대해서, 클래스 10의 클린룸 내에서 도 7에 나타나 있는 바와 같은 포장 구조체(70)를 제작했다. 이 포장 구조체(70)는 실시예 1, 2와 비교하여, 내측 포장체(71) 및 외측 포장체(72)의 2중의 포장체로 구성되어 있는 점 및 수납한 펠리클(53)과 펠리클 수납 용기(50)가 동일한 것인 점에서 공통하여 있지만, 내측 포장체(71)가 평면 형상의 포장 시트가 아니라, 외측 포장체(72)와 같은 포장 자루인 점에서 다르다.

이 비교예에서는 최초에 상기 실시예 1, 2에서 외측 포장체(12)로서 사용한 동일한 대전방지 투명 PE 자루를 준비하고, 이 PE 자루의 내측과 외측을 순수로 와이핑 세정함과 아울러, 개구부를 벌려서 잘 건조시켰다. 이때, PE 자루의 내측의 세정에서는 작업자가 신체를 자루 내에 넣어서 작업하지 않으면 안되기 때문에 매우 작업성이 나빴다.

다음에, 펠리클(53)이 수납된 펠리클 수납 용기(50)를 PE 자루 내에 수납하고, 그 개구부를 가열 밀봉에 의해 밀봉해서 내측 포장체(71)를 완성시켰다. 또한, 펠리클 수납 용기(50)를 PE 자루 내에 수납하기 전에, 펠리클 수납 용기(50)의 표면에 부착되어 있는 이물은 주위를 어둡게 하고 집광 램프를 사용해서 목시 확인하면서 제거해 두었다.

그 후, 이 내측 포장체(71) 전체를 외측 포장체(72)와 같은 대전방지 투명 PE 자루에 수납하고, 그 개구부를 2중으로 뒤집어 접어서 점착테이프(73)로 고정하여 비교예의 포장 구조체(70)를 완성시켰다.

그리고, 이 포장 구조체(70)를 클린룸으로부터 반출하고, 상기 실시예 1, 2과 같은 온도 20∼30℃, 습도 30∼80%의 일반실에서 3개월간 보관한 후, 내부를 확인하기 위해서 다시 클린룸에 반입했다. 이 반입시에 진애가 다수 부착된 외측 포장체(72)를 반입 직전에 클린룸 밖에서 제거하여 내측 포장체(71) 만의 상태로 해서 클린룸 내에 즉시 반입했다.

최후에, 내측 포장체(71)를 개봉하고, 주위를 어둡게 해서 펠리클 수납 용기(50)의 외면을 집광 램프로 조사하면서 관찰한 바, 밀봉되어 있었음에도 불구하고 펠리클 수납 용기(50)의 모서리 부근의 둘레 가장자리부의 1개소에 100㎛ 이하의 수십 개의 이물로 이루어지는 오염을 확인했다.

또한, 수납된 펠리클 수납 용기(50)의 뚜껑체(52)를 주의 깊게 개방하고, 펠리클 수납 용기 본체(51) 상에 적재한 펠리클(53)에 이물이 부착되어 있지 않은지 목시 확인한 바, 펠리클막 면에 20㎛ 정도의 2개의 이물의 부착을 확인했다. 이들 이물은 이온화 에어건으로 용이하게 제거할 수 있었기 때문에 부착된지 얼마 안 된 것으로 생각되고, 뚜껑체(52)를 열었을 때에 뚜껑체(52)로부터 비래 또는 낙하해서 부착된 것은 아닐까라고 추찰되었다.

10: 펠리클 수납 용기의 포장 구조체 11: 평면 형상의 포장 시트
11': 내측 포장체 12: 자루 형상의 외측 포장체
13: 점착테이프 14: 점착테이프
50: 펠리클 수납 용기 50a: 펠리클 수납 용기 외측 가장자리
50b: 펠리클 수납 용기 외측 가장자리
50c: 펠리클 수납 용기 외측 가장자리
50d: 펠리클 수납 용기외측 가장자리
51: 펠리클 수납 용기 본체
52: 펠리클 수납 용기 뚜껑체
53: 펠리클
60: 펠리클 수납 용기의 포장 구조체 61a: 평면 형상의 포장 시트
61a: 평면 형상의 포장 시트 61c: 평면 형상의 포장 시트
61': 내측 포장체 62: 자루 형상의 외측 포장체
63: 점착테이프 64: 펠리클 수납 용기
64a: 펠리클 수납 용기 본체 64b: 펠리클 수납 용기 뚜껑체
64c: 핸들 64d: 핸들
64e: 다리부 64f: 버클
65: 펠리클
70: 펠리클 수납 용기의 포장 구조체
71: 내측 포장체
72: 자루 형상의 외측 포장체
73: 점착테이프

Claims

적어도 하나의 변 길이가 500mm를 초과하는 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기의 포장 구조체로서,
그 포장 구조체는 대전방지성을 갖는 평면 형상의 포장 시트로 펠리클 수납 용기를 덮어 곤포해서 이루어지는 내측 포장체와, 상기 내측 포장체를 수납하는 자루 형상의 외측 포장체로 이루어지는 적어도 2중의 포장체로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기의 포장 구조체.
제 1 항에 있어서,
상기 평면 형상의 포장 시트는 연질 폴리염화비닐 또는 폴리염화비닐리덴으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기의 포장 구조체.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 평면 형상의 포장 시트의 두께는 50∼300㎛인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기의 포장 구조체.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 외측 포장체는 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기의 포장 구조체.
적어도 하나의 변 길이가 500mm를 초과하는 펠리클을 수납하기 위한 펠리클 수납 용기의 포장 방법으로서,
대전방지성을 갖는 평면 형상의 포장 시트를 복수회 뒤집어 접어서 상기 펠리클 수납 용기를 곤포함으로써 내측 포장체를 제작하는 공정과, 상기 내측 포장체를 자루 형상의 외측 포장체에 수납하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기의 포장 방법.