JP2630040B2 - 梱包方法 - Google Patents
梱包方法Info
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- JP2630040B2 JP2630040B2 JP2227132A JP22713290A JP2630040B2 JP 2630040 B2 JP2630040 B2 JP 2630040B2 JP 2227132 A JP2227132 A JP 2227132A JP 22713290 A JP22713290 A JP 22713290A JP 2630040 B2 JP2630040 B2 JP 2630040B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 気圧変化によって損傷する恐れのある物の梱包方法に
関し、 従来より簡易な方法で該損傷をなくすことを目的と
し、 気圧変化によって損傷する恐れのある被梱包物を該気
圧変化に耐える強度の硬質容器に収容し、 該気圧変化に対し気密性を維持して変形可能な第１の
気密容器に該硬質容器を収容し、 該第１の気密容器の開口部を気密封止し、 該気圧変化に対し気密性を維持して変形可能な第２の
気密容器に該第１の気密容器を収容し、 該第２の気密容器の開口部を気密封止し、 該第２の気密容器内に連通する排気口より該第１の気
密容器と該第２の気密容器との間の空気抜きをし、 該第２の気密容器の排気口を気密封止することを特徴
とし構成する。
関し、 従来より簡易な方法で該損傷をなくすことを目的と
し、 気圧変化によって損傷する恐れのある被梱包物を該気
圧変化に耐える強度の硬質容器に収容し、 該気圧変化に対し気密性を維持して変形可能な第１の
気密容器に該硬質容器を収容し、 該第１の気密容器の開口部を気密封止し、 該気圧変化に対し気密性を維持して変形可能な第２の
気密容器に該第１の気密容器を収容し、 該第２の気密容器の開口部を気密封止し、 該第２の気密容器内に連通する排気口より該第１の気
密容器と該第２の気密容器との間の空気抜きをし、 該第２の気密容器の排気口を気密封止することを特徴
とし構成する。
本発明は気圧変化に弱い物の梱包方法、特に気圧変化
によって損傷し易い物を空輸する場合の梱包方法に関す
る。
によって損傷し易い物を空輸する場合の梱包方法に関す
る。
航空機の貨物室は客室のように気圧管理しないのが一
般的であり、飛行中の貨物室は0.5〜0.7気圧に減圧し、
離陸，着陸に際して気圧が急激に変化する。そのため、
気圧変化に弱い物の空輸には気圧変化に対する処置が必
要になる。
般的であり、飛行中の貨物室は0.5〜0.7気圧に減圧し、
離陸，着陸に際して気圧が急激に変化する。そのため、
気圧変化に弱い物の空輸には気圧変化に対する処置が必
要になる。
気圧変化に弱い者、例えば半導体装置の製造に使用す
るペリクル付レチクルやペリクル付マスクは、第３図に
その断面を示すように、レチクルまたはマスク基板11の
上面と下面とにその主要部を囲うフレーム12を接着し、
フレーム12の上に薄いペリクル膜13を張設し、基板11と
ペリクル膜13との間に気密空間14を設ける。
るペリクル付レチクルやペリクル付マスクは、第３図に
その断面を示すように、レチクルまたはマスク基板11の
上面と下面とにその主要部を囲うフレーム12を接着し、
フレーム12の上に薄いペリクル膜13を張設し、基板11と
ペリクル膜13との間に気密空間14を設ける。
基板11に塵が付着しないように、適当な間隔で基板11
の主要部を覆うペルクル膜13は、一般に厚さ2.85μｍ程
度のニトロセルロースを使用し、機械的強度が極めて弱
い。
の主要部を覆うペルクル膜13は、一般に厚さ2.85μｍ程
度のニトロセルロースを使用し、機械的強度が極めて弱
い。
従って、外気圧が大気圧から0.5気圧程度に低下し気
密空間14内の空気が膨張すると、そのことによって膨ら
んだペルクル膜13は比較的容易に破裂する。その結果、
基板11の主要部には大気中に浮遊する塵が付着し、ペリ
クル付レチクルやペリクル付マスクは使用できなくな
る。
密空間14内の空気が膨張すると、そのことによって膨ら
んだペルクル膜13は比較的容易に破裂する。その結果、
基板11の主要部には大気中に浮遊する塵が付着し、ペリ
クル付レチクルやペリクル付マスクは使用できなくな
る。
そのため、ペリクル付レチクルやペリクル付マスクの
如く気圧変化に弱い物の空輸用梱包には、従来、頑丈か
つ完全な気密容器を利用する必要があった。
如く気圧変化に弱い物の空輸用梱包には、従来、頑丈か
つ完全な気密容器を利用する必要があった。
しかしながら従来の前記気密容器は、製造が難しく高
価であるのみならず、ペリクル付レチクルやペリクル付
マスク等の被梱包物に比べて一般に大形かつ重くなり、
空輸運賃は梱包容器によって著しく高くなると共に、気
密容器の封止確認が難しいという問題点があった。
価であるのみならず、ペリクル付レチクルやペリクル付
マスク等の被梱包物に比べて一般に大形かつ重くなり、
空輸運賃は梱包容器によって著しく高くなると共に、気
密容器の封止確認が難しいという問題点があった。
本発明の目的は、従来より簡易かつ軽量の梱包構成と
し、被梱包物の損傷をなくすことである。
し、被梱包物の損傷をなくすことである。
本発明はその実施例を示す第１図によれば、気圧変化
によって損傷する恐れのある被梱包物１を該気圧変化に
耐える強度の硬質容器２に収容し、 該気圧変化に対し気密性を維持して変形可能な第１の
気密容器３に硬質容器２を収容し、 第１の気密容器３の開口部3aを気密封止し、 該気圧変化に対し気密性を維持して変形可能な第２の
気密容器４に第１の気密容器３を収容し、 第２の気密容器４の開口部4aを気密封止し、 第２の気密容器４内に連通する排気口５より第１の気
密容器３と第２の気密容器４との間の空気抜きをし、 第２の気密容器４の排気口５を気密封止することを特
徴とする梱包方法である。
によって損傷する恐れのある被梱包物１を該気圧変化に
耐える強度の硬質容器２に収容し、 該気圧変化に対し気密性を維持して変形可能な第１の
気密容器３に硬質容器２を収容し、 第１の気密容器３の開口部3aを気密封止し、 該気圧変化に対し気密性を維持して変形可能な第２の
気密容器４に第１の気密容器３を収容し、 第２の気密容器４の開口部4aを気密封止し、 第２の気密容器４内に連通する排気口５より第１の気
密容器３と第２の気密容器４との間の空気抜きをし、 第２の気密容器４の排気口５を気密封止することを特
徴とする梱包方法である。
上記手段によれば、被梱包物を収容した硬質容器を第
１の気密容器に収容し、気圧変化に対し気密性を維持し
変形可能な第１の気密容器と第２の気密容器との間を排
気し減圧する。そのため、大気中においては第１の気密
容器と第２の気密容器との間が圧縮された状態であり、
外気の減圧状態においては第１の気密容器と第２の気密
容器との間が膨らむようになる。
１の気密容器に収容し、気圧変化に対し気密性を維持し
変形可能な第１の気密容器と第２の気密容器との間を排
気し減圧する。そのため、大気中においては第１の気密
容器と第２の気密容器との間が圧縮された状態であり、
外気の減圧状態においては第１の気密容器と第２の気密
容器との間が膨らむようになる。
従って、大気中において被梱包物の雰囲気は１気圧と
なり、外気減圧時における被梱包物の雰囲気は第１の気
密容器が膨らむことによってやや低下するがほぼ１気圧
を維持するようになる。即ち、外気圧の変化によって第
１の気密容器と第２の気密容器との間は容積が変化する
と共にその内圧は、外気より高く，第１の気密容器内よ
り低くなり、第１の気密容器内の圧力変化は外気の圧力
変化より低減する。
なり、外気減圧時における被梱包物の雰囲気は第１の気
密容器が膨らむことによってやや低下するがほぼ１気圧
を維持するようになる。即ち、外気圧の変化によって第
１の気密容器と第２の気密容器との間は容積が変化する
と共にその内圧は、外気より高く，第１の気密容器内よ
り低くなり、第１の気密容器内の圧力変化は外気の圧力
変化より低減する。
さらに、硬質容器は第１の気密容器と第２の気密容器
によって２重に気密封止され、一方の気密容器が破れて
も他方の気密容器によって被梱包物は、減圧外気より保
護されるようになると共に、気圧変化によって気密性を
維持し変形可能な第1,第２の気密容器、例えば軟質ポリ
エチレン袋である第1,第２の気密容器は、気密封止およ
ひそのチェックが極めて容易である。
によって２重に気密封止され、一方の気密容器が破れて
も他方の気密容器によって被梱包物は、減圧外気より保
護されるようになると共に、気圧変化によって気密性を
維持し変形可能な第1,第２の気密容器、例えば軟質ポリ
エチレン袋である第1,第２の気密容器は、気密封止およ
ひそのチェックが極めて容易である。
以下に、図面を用いて本発明の実施例による梱包方法
を説明する。
を説明する。
第１図は本発明の一実施例による梱包方法を工程順に
示す説明図である。
示す説明図である。
第１図（イ）において、気圧変化に弱い物例えばペル
クル付レチクル１は、０〜１気圧の気圧変化に耐える硬
質容器２に収容する。
クル付レチクル１は、０〜１気圧の気圧変化に耐える硬
質容器２に収容する。
気密性を必要としない硬質容器２は、金属や木材また
はプラスチック等にて製造可能であるが、作り易いこと
および軽くできることから、プラスラックを利用するこ
とが望ましい。さらに、容器２内にはレチクル１を軽く
抑える手段が必要であるため、レチクル１を使用すると
き収容するステッパーケースまたはアライナーケース
を、そのまま容器２として利用することができる。
はプラスチック等にて製造可能であるが、作り易いこと
および軽くできることから、プラスラックを利用するこ
とが望ましい。さらに、容器２内にはレチクル１を軽く
抑える手段が必要であるため、レチクル１を使用すると
き収容するステッパーケースまたはアライナーケース
を、そのまま容器２として利用することができる。
次いで、第１図（ロ）に示すように容器２を第１の気
密容器３に収容し、その開口部3aを第１図（ハ）に示す
如く気密封止する。
密容器３に収容し、その開口部3aを第１図（ハ）に示す
如く気密封止する。
気圧変化に対し気密性を維持すると共に気圧変化に対
し変形可能である気密容器３は、製造が容易かつ安価で
ある樹脂、特に開口部3aの気密封止が容易である軟質の
樹脂例えばポリエチレンの袋が利用できる。その開口部
3aの気密封止には接着剤を使用してもよいが、加熱溶着
によって容易に気密封止が可能になる。
し変形可能である気密容器３は、製造が容易かつ安価で
ある樹脂、特に開口部3aの気密封止が容易である軟質の
樹脂例えばポリエチレンの袋が利用できる。その開口部
3aの気密封止には接着剤を使用してもよいが、加熱溶着
によって容易に気密封止が可能になる。
次いで、第１図（ニ）に示すように、邪魔しないよう
に開口部3aを折り曲げた気密容器３を、第２の気密容器
４に収容する。気密容器４は、気密容器３と同じ理由か
らポリエチレン袋の利用が望ましい。
に開口部3aを折り曲げた気密容器３を、第２の気密容器
４に収容する。気密容器４は、気密容器３と同じ理由か
らポリエチレン袋の利用が望ましい。
次いで、第１図（ホ）に示すように、気密容器４が排
気パイプ５を銜えるようにその開口部4aを気密封止した
のち、排気パイプ５を真空ポンプに接続し、気密容器３
と４の間を排気すると、第１図（ヘ）に示すように気密
容器４は大気に圧縮され縮むようになる。
気パイプ５を銜えるようにその開口部4aを気密封止した
のち、排気パイプ５を真空ポンプに接続し、気密容器３
と４の間を排気すると、第１図（ヘ）に示すように気密
容器４は大気に圧縮され縮むようになる。
そこで、排気パイプ５の中間部を潰すまたは、排気パ
イプ５を抜くと同時に排気パイプ５の貫通孔（排気口）
を第１図（ト）に示すように気密封止し、レチクル１の
梱包が完了する。
イプ５を抜くと同時に排気パイプ５の貫通孔（排気口）
を第１図（ト）に示すように気密封止し、レチクル１の
梱包が完了する。
ポリエチレン袋を利用した気密容器3,4の開口部3a,3b
および排気口の気密封止には、例えば食料品の真空パッ
クに用いられているヒートシーラが利用可能であり、気
密容器３と４の間の排気は、気密容器４が変形しないと
仮定したとき0.5〜0.7気圧，望ましくは0.5気圧より高
真空に減圧する。
および排気口の気密封止には、例えば食料品の真空パッ
クに用いられているヒートシーラが利用可能であり、気
密容器３と４の間の排気は、気密容器４が変形しないと
仮定したとき0.5〜0.7気圧，望ましくは0.5気圧より高
真空に減圧する。
このように梱包されたレチクル１は、空路輸送中に気
密容器４の外気が0.5気圧程度に減圧すると、第２図に
示すように気密容器４が膨らむようになり、容器２内即
ちレチクル１の周囲の気圧低下は極めて僅かになるた
め、レチクル１に損傷を与えないようになる。
密容器４の外気が0.5気圧程度に減圧すると、第２図に
示すように気密容器４が膨らむようになり、容器２内即
ちレチクル１の周囲の気圧低下は極めて僅かになるた
め、レチクル１に損傷を与えないようになる。
なお、前記実施例において気密容器3,4の少なくとも
一方の外面にアルミニーム箔を貼着すれば、該アルミニ
ーム箔は静電防止膜として作用し有用である。
一方の外面にアルミニーム箔を貼着すれば、該アルミニ
ーム箔は静電防止膜として作用し有用である。
以上説明したように本発明方法によれば、外気の気圧
変化に対して、被梱包物雰囲気の気圧変化が少なくなっ
て被梱包物が保護されるようになり、第1,第２の気密容
器の一方が破れても他方の気密容器によって被梱包物は
保護されるようになると共に、気圧変化に対し気密性を
維持し変形可能な第1,第２の気密容器、例えば軟質ポリ
エチレン袋の如き第1,第２の気密容器は、気密封止が容
易かつ気密性のチェックが極めて簡易であると共に、第
1,第２の気密容器の少なくとも一方の外面にアルミニウ
ム箔を貼着することによって静電気対策が図るれるとい
う効果がある。
変化に対して、被梱包物雰囲気の気圧変化が少なくなっ
て被梱包物が保護されるようになり、第1,第２の気密容
器の一方が破れても他方の気密容器によって被梱包物は
保護されるようになると共に、気圧変化に対し気密性を
維持し変形可能な第1,第２の気密容器、例えば軟質ポリ
エチレン袋の如き第1,第２の気密容器は、気密封止が容
易かつ気密性のチェックが極めて簡易であると共に、第
1,第２の気密容器の少なくとも一方の外面にアルミニウ
ム箔を貼着することによって静電気対策が図るれるとい
う効果がある。
第１図は本発明の一実施例による梱包方法の説明図、 第２図は第１図に示す梱包品の外気減圧時の断面図、 第３図はペリクル付レチクルやペリクル付マスクの断面
図、 である。 図中において、 １はペリクル付レチクル（被梱包物）、 ２は硬質容器、 ３は第１の気密容器、3aは開口部、 ４は第２の気密容器、4aは開口部、 ５は排気パイプ（排気口）、 を示す。
図、 である。 図中において、 １はペリクル付レチクル（被梱包物）、 ２は硬質容器、 ３は第１の気密容器、3aは開口部、 ４は第２の気密容器、4aは開口部、 ５は排気パイプ（排気口）、 を示す。
Claims (4)
- 【請求項１】気圧変化によって損傷する恐れのある被梱
包物（１）を該気圧変化に耐える強度の硬質容器（２）
に収容し、 該気圧変化に対し気密性を維持して変形可能な第１の気
密容器（３）に該硬質容器（２）を収容し、 該第１の気密容器（３）の開口部（3a）を気密封止し、 該気圧変化に対し気密性を維持して変形可能な第２の気
密容器（４）に該第１の気密容器（３）を収容し、 該第２の気密容器（４）の開口部（4a）を気密封止し、 該第２の気密容器（４）内に連通する排気口（５）より
該第１の気密容器（３）と該第２の気密容器（４）との
間の空気抜きをし、 該第２の気密容器（４）の排気口（５）を気密封止する
ことを特徴とする梱包方法。 - 【請求項２】前記第1,第２の気密容器（3,4）の開口部
（3a,4a）の気密封止および前記排気口（５）の気密封
止が、該開口部（3a,4a），排気口（５）の溶着である
ことを特徴とする前記請求項１記載の梱包方法。 - 【請求項３】加熱・押圧によって溶着する軟質樹脂の袋
を前記第1,第２の気密容器（3,4）に使用することを特
徴とする前記請求項２記載の梱包方法。 - 【請求項４】前記第1,第２の気密容器（3,4）の少なく
とも一方には、外面にアルミニーム箔の貼着されたもの
を使用することを特徴とする前記請求項１記載の梱包方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2227132A JP2630040B2 (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 | 梱包方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2227132A JP2630040B2 (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 | 梱包方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04114880A JPH04114880A (ja) | 1992-04-15 |
| JP2630040B2 true JP2630040B2 (ja) | 1997-07-16 |
Family
ID=16855981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2227132A Expired - Fee Related JP2630040B2 (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 | 梱包方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2630040B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4684079B2 (ja) * | 2005-10-25 | 2011-05-18 | 東洋自動機株式会社 | エアバッグ付き袋及びその製造方法並びにエアバッグ付き袋への気体封入方法及びエアバッグ付き袋の包装方法 |
| JP5349519B2 (ja) * | 2011-03-29 | 2013-11-20 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納方法 |
| JP6494111B2 (ja) * | 2015-11-09 | 2019-04-03 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納容器の包装構造体及びその包装方法 |
-
1990
- 1990-08-29 JP JP2227132A patent/JP2630040B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04114880A (ja) | 1992-04-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |