JPH04114880A

JPH04114880A - 梱包方法

Info

Publication number: JPH04114880A
Application number: JP2227132A
Authority: JP
Inventors: Takayoshi Matsuyama; 松山　隆義
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1990-08-29
Filing date: 1990-08-29
Publication date: 1992-04-15
Anticipated expiration: 2012-07-16
Also published as: JP2630040B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［概要］気圧変化によって損傷する恐れのある物の梱包方法に関
し、従来より簡易な方法で該損傷をなくすことを目的とし、気圧変化によって損傷する恐れのある被梱包物を該気圧
変化に耐える強度の硬質容器に収容し、該気圧変化に対
し気密性を維持して変形可能な第１の気密容器に該硬質
容器を収容し、該第１の気密容器の開口部を気密封止し
、該気圧変化に対し気密性を維持して変形可能な第２の
気密容器に該第１の気密容器を収容し、該第２の気密容
器の開口部を気密封止し、該第２の気密容器内に連通ず
る排気口より該第１の気密容器と該第２の気密容器との
間の空気抜きをし、該第２の気密容器の排気口を気密封止することを特徴と
し構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は気圧変化に弱い物の梱包方法、特に気圧変化に
よって損傷し易い物を空輸する場合の梱包方法に関する
。

航空機の貨物室は客室のように気圧管理しないのが一般
的であり、飛行中の貨物室は０．５〜０．７気圧に減圧
し、離陸１着陸に際して気圧が急激に変化する。そのた
め、気圧変化に弱い物の空輸には気圧変化に対する処置
が必要になる。

［従来の技術］気圧変化に弱い物、例えば半導体装置の製造に使用する
ペリクル付レチクルやペリクル付マスクは、第３図にそ
の断面を示すように、レチクルまたはマスク基板１１の
上面と下面とにその主要部を囲うフレーム１２を接着し
、フレーム１２の上に薄いペリクル膜１３を張設し、基
板１１とペリクル膜１３との間に気密空間１４を設ける
。

基板１１に塵が付着しないように、適当な間隔で基板１
１の主要部を覆うペリクル膜１３は、一般に厚さ２．８
５μｍ程度のニトロセルロースを使用し、機械的強度が
極めて弱い。

従って、外気圧が大気圧から０．５気圧程度に低下し気
密空間１４内の空気が膨張すると、そのことによって膨
らんだペリクル膜１３は比較的容易に破裂する。その結
果、基板１１の主要部には大気中に浮遊する塵が付着し
、ペリクル付レチクルやペリクル付マスクは使用できな
くなる。

そのため、ペリクル付レチクルやペリクル付マスクの如
く気圧変化に弱い物の空輸用梱包には、従来、頑丈かつ
完全な気密容器を利用する必要があった。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら従来の前記気密容器は、製造が難しく高価
であるのみならず、ペリクル付レチクルやペリクル付マ
スク等の被梱包物に比べて一般に大形かつ重くなり、空
輸運賃は梱包容器によって著しく高くなると共に、気密
容器の封止確認が難しいという問題点があった。

本発明の目的は、従来より簡易かつ軽量の梱包構成とし
、被梱包物の損傷をなくすことである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明はその実施例を示す第１図によれば、気圧変化に
よって損傷する恐れのある被梱包物ｌを該気圧変化に耐
える強度の硬質容器２に収容し、該気圧変化に対し気密
性を維持して変形可能な第１の気密容器３に硬質容器２
を収容し、第１の気密容器３の開口部３ａを気宇封止し
、該気圧変化に対し気密性を維持して変形可能な第２の
気密容器４に第１の気密容器３を収容し、第２の気密容
器４の開口部４ａを気密封止し、第２の気密容器４内に
連通ずる排気口５より第１の気密容器３と第２の気密容
器４との間の空気抜きをし、第２の気密容器４の排気口５を気密封止することを特徴
とする梱包方法である。

〔作用］上記手段によれば、被梱包物を収容した硬質容器を第１
の気密容器に収容し、気圧変化に対し気密性を維持し変
形可能な第１の気密容器と第２の気密容器との間を排気
し減圧する。そのため、大気中においては第１の気密容
器と第２の気密容器との間が圧縮された状態であり、外
気の減圧状態においでは第１の気密容器と第２の気密容
器との間が膨らむようになる。

従って、大気中において被梱包物の雰囲気は１気圧とな
り、外気減圧時における被梱包物の雰囲気は第１の気密
容器が膨らむことによってやや低下するがほぼ１気圧を
維持するようになる。即ち、外気圧の変化によって第１
の気密容器と第２の気密容器との間は容積が変化すると
共にその内圧は、外気より高く、第１の気密容器内より
低くなり、第１の気密容器内の圧力変化は外気の圧力変
化より低減する。

さらに、硬質容器は第１の気密容器と第２の気密容器に
よって２重に気密封止され、一方の気密容器が破れでも
他方の気密容器によって被梱包物は、減圧外気より保護
されるようになると共に、気圧変化によって気密性を維
持し変形可能な第１゜第２の気密容器、例えば軟質ポリ
エチレン袋である第１．第２の気密容器は、気密封止お
よびそのチエツクが極めて容易である。

〔実施例）以下に、図面を用いて本発明の実施例による梱包方法を
説明する。

第１図は本発明の一実施例による梱包方法を工程順に示
す説明図である。

第１図（イ）において、気圧変化に弱い物例えばペリク
ル付レチクル１は、０〜１気圧の気圧変化に耐える硬質
容器２に収容する。

気密性を必要としない硬質容器２は、金属や木材または
プラスランク等にて製造可能であるが、作り易いことお
よび軽くできることから、プラスランクを利用すること
が望ましい。さらに、容器２内にはレチクル１を軽く抑
える手段が必要であるため、レチクル１を使用するとき
収容するステッパーケースまたはアライナ−ケースを、
そのまま容器２として利用することができる。

次いで、第１図（Ｕ）に示すように容器２を第１の気密
容器３に収容し、その開口部３ａを第１図（ハ）に示す
如く気密封止する。

気圧変化に対し気密性を維持すると共に気圧変化に対し
変形可能である気密容器３は、製造が容易かつ安価であ
る樹脂、特に開口部３ａの気密封止が容易である軟質の
樹脂例えばポリエチレンの袋が利用できる。その開口部
３ａの気密封止には接着剤を使用してもよいが、加熱溶
着によって容易に気密封止が可能になる。

次いで、第１図（ニ）に示すように、邪魔しないように
開口部３ａを折り曲げた気密容器３を、第２の気密容器
４に収容する。気密容器４は、気密容器３と同じ理由か
らポリエチレン袋の利用が望ましい。

次いで、第１図（ネ）に示すように、気密容器４が排気
バイブ５を衡えるようにその開口部４ａを気密封止した
のち、排気バイブ５を真空ポンプに接続し、気密容器３
と４の間を排気すると、第１図（へ）に示すように気密
容器４は大気に圧縮され縮むようになる。

そこで、排気バイブ５の中間部を潰すまたは、排気バイ
ブ５を抜くと同時に排気バイブ５の貫通孔（排気口）を
第１図（ト）に示すように気密封止し、レチクル１の梱
包が完了する。

ポリエチレン袋を利用した気密容器３．４の開口部３ａ
、３ｂおよび排気口の気密封止には、例えば食料品の真
空バンクに用いられているヒートシーラが利用可能であ
り、気密容器３と４の間の排気は、気密容器４が変形し
ないと仮定したとき０゜５〜０．７気圧、望ましくは０
．５気圧より高真空に減圧する。

このように梱包されたレチクル１は、空路輸送中に気密
容器４の外気が０．５気圧程度に減圧すると、第２図に
示すように気密容器４が膨らむようになり、容器２内即
ちレチクル１の周囲の気圧低下は極めて僅かになるため
、レチクル１に損傷を与えないようになる。

なお、前記実施例において気密容器３，４の少なくとも
一方の外面にアルミニーム箔を貼着すれば、該アルミニ
ーム箔は静電気防止膜として作用し有用である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明方法によれば、外気の気圧変
化に対して、被梱包物雰囲気の気圧変化が少なくなって
被梱包物が保護されるようになり、第１．第２の気密容
器の一方が破れても他方の気密容器によって被梱包物は
保護されるようになると共に、気圧変化に対し気密性を
維持し変形可能な第１．第２の気密容器、例えば軟質ポ
リエチレン袋の如き第１．第２の気密容器は、気密封止
が容易かつ気密性のチェフクが極めて簡易であると共に
、第１．第２の気密容器の少なくとも一方の外面にアル
ミニウム箔を貼着することによって静電気対策が図るれ
るという効果がある。

りの断面図、である。

図中において、１はペリクル付レチクル（被梱包物）、２は硬質容器、３は第１の気密容器、　３ａは開口部、４は第２の気密
容器、　４ａは開口部、５は排気パイプ（排気口）、を示す。

【図面の簡単な説明】

゛第１図は本発明の一実施例による梱包方法の説明図、第２図は第１図に示す梱包品の外気減圧時の断面図、第３図はペリクル付レチクルやペリクル付マス５ｔｌＥ
ｃハ′イフ。木号明の一突着汐’ＩＩｆ３□ｍどケ沃の贋明図第１図
（マめ２）第　７図　（ダの１）射１図（＝示Ｔ梱凹品のタト丸；減圧町のｌｉｌ［ｉ［
司第　２図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）気圧変化によって損傷する恐れのある被梱包物（
１）を該気圧変化に耐える強度の硬質容器（２）に収容
し、該気圧変化に対し気密性を維持して変形可能な第１の気
密容器（３）に該硬質容器（２）を収容し、該第１の気
密容器（３）の開口部（３ａ）を気密封止し、該気圧変化に対し気密性を維持して変形可能な第２の気
密容器（４）に該第１の気密容器（３）を収容し、該第２の気密容器（４）の開口部（４ａ）を気密封止し
、該第２の気密容器（４）内に連通する排気口（５）より
該第１の気密容器（３）と該第２の気密容器（４）との
間の空気抜きをし、該第２の気密容器（４）の排気口（５）を気密封止する
ことを特徴とする梱包方法。
（２）前記第１，第２の気密容器（３，４）の開口部（
３ａ，４ａ）の気密封止および前記排気口（５）の気密
封止が、該開口部（３ａ，４ａ），排気口（５）の溶着
であることを特徴とする前記請求項１記載の梱包方法。
（３）加熱・押圧によって溶着する軟質樹脂の袋を前記
第１，第２の気密容器（３，４）に使用することを特徴
とする前記請求項２記載の梱包方法。
（４）前記第１，第２の気密容器（３，４）の少なくと
も一方には、外面にアルミニーム箔の貼着されたものを
使用することを特徴とする前記請求項１記載の梱包方法
。